KR20160006357A - Apparatus for carrying a substrate - Google Patents

Apparatus for carrying a substrate Download PDF

Info

Publication number
KR20160006357A
KR20160006357A KR1020140085461A KR20140085461A KR20160006357A KR 20160006357 A KR20160006357 A KR 20160006357A KR 1020140085461 A KR1020140085461 A KR 1020140085461A KR 20140085461 A KR20140085461 A KR 20140085461A KR 20160006357 A KR20160006357 A KR 20160006357A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
roller
ring
chamber
fitting groove
Prior art date
Application number
KR1020140085461A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
신재윤
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020140085461A priority Critical patent/KR20160006357A/en
Publication of KR20160006357A publication Critical patent/KR20160006357A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

Provided is a substrate returning device. The substrate returning device comprises: a plurality of shafts arranged in a second direction which is perpendicular to a first direction, wherein the first direction is provided as the longitudinal direction of the substrate returning device individually; and a roller member fixedly installed to an outer peripheral surface of the returning shafts and comprising a roller and an O-ring, wherein the O-ring is fixedly installed on an outer peripheral surface of the roller and becomes in contact with the substrate, and the O-ring and the roller are coupled to each other in a convex-concave structure.

Description

기판 반송 장치 {Apparatus for carrying a substrate}[0001] Apparatus for carrying a substrate [0002]

본 발명은 기판을 반송하는 기판 반송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transport apparatus for transporting a substrate.

평판형 디스플레이 장치를 제조하기 위해서는 다양한 공정들이 수행되며, 평판형 디스플레이 장치에 사용되는 기판은 반송 유닛을 통해 각각의 공정들이 수행되는 챔버로 이송된다. 일반적인 반송 유닛은 나란하게 배치되어 회전하는 샤프트들과, 각각의 샤프트들에 설치되어 기판의 하면에 접촉되는 롤러들을 포함한다. 기판 하부에 설치된 롤러를 통해 기판이 챔버 내 또는 챔버들 사이로 반송된다. 또한 기판 반송시, 마찰력을 증가시키기 위해 롤러에 오링을 설치한다. 오링을 설치함으로써, 미끄럼을 방지하고 기판에 손상을 주지 않으면서 기판을 원활하게 반송할 수 있다.Various processes are carried out to manufacture the flat panel display device, and the substrate used in the flat panel display device is transported to the chamber through which the respective processes are performed through the transport unit. A common conveying unit includes shafts arranged in parallel and rotating, and rollers mounted on the respective shafts and contacting the lower surface of the substrate. The substrate is transported into the chamber or between the chambers through the rollers provided under the substrate. When the substrate is transported, an O-ring is provided on the roller to increase frictional force. By providing an O-ring, it is possible to smoothly transport the substrate without preventing slippage and damaging the substrate.

다만, 오링과 롤러 사이에 마찰력이 적어 오링이 헛도는 현상이 발생한다. 이에 따라, 반송효율이 떨어지고 반송에러가 높아지는 문제점이 발생한다.However, there is little friction between the O-ring and the roller, resulting in the O-ring becoming idle. As a result, there arises a problem that the conveying efficiency is lowered and the conveying error is increased.

본 발명의 일 기술적 과제는 기판을 효율적으로 반송하는 기판 반송 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate transport apparatus for efficiently transporting a substrate.

본 발명의 일 기술적 과제는 기판 반송시 오링이 헛도는 현상을 방지하는 기판 반송 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus for preventing the occurrence of a loose O-ring during substrate transfer.

본 발명은 기판 반송 장치를 제공한다. 기판을 반송하는 장치는 각각 그 길이방향이 제 1 방향으로 제공되고, 서로 간에 상기 제1방향에 대해 수직한 제 2 방향으로 배열되는 샤프트들 및 상기 반송 샤프트들의 외주면에 고정 설치되고, 롤러와 오링을 포함하는 롤러 부재를 포함하되, 상기 오링은 상기 롤러의 외주면에 고정 설치되며 기판과 접촉되고, 상기 오링과 상기 롤러는 요철 구조에 의해 서로 간에 결합된다.The present invention provides a substrate transport apparatus. The apparatus for conveying a substrate includes: shafts arranged in a first direction in a longitudinal direction thereof and arranged in a second direction mutually perpendicular to the first direction, and a plurality of shafts fixedly installed on an outer circumferential surface of the conveying shafts, Wherein the O-ring is fixed to the outer circumferential surface of the roller and is in contact with the substrate, and the O-ring and the roller are coupled to each other by a concave-convex structure.

일 예에 의하여, 상기 오링은 그 하부로 돌출되는 복수의 돌기들을 가지고,According to an example, the O-ring has a plurality of protrusions projecting downwardly therefrom,

상기 롤러에는 상기 돌기가 삽입되는 끼움 홈이 형성된다.The roller has a fitting groove into which the projection is inserted.

일 예에 의하여, 상기 돌기가 삽입되는 끼움 홈은 상기 롤러의 외주면을 따라 서로 이격되게 형성된다. According to an example, the fitting grooves into which the protrusions are inserted are formed to be spaced apart from each other along the outer circumferential surface of the roller.

일 예에 의하여, 상기 끼움 홈의 형태는 다각형이다. 상기 다각형은 사각형일 수 있다.By way of example, the shape of the fitting groove is polygonal. The polygon may be a rectangle.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 기판을 효율적으로 반송할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the substrate can be efficiently transported.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 롤러와 오링 사이의 마찰력을 증가시켜 오링이 헛도는 현상을 방지할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the frictional force between the roller and the O-ring can be increased to prevent the O-ring from being idle.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 단면도이다.
도 2는 도 1의 기판 반송 장치의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 2의 롤러 부재의 일 예를 보여주는 분해 사시도이다.
도 4는 도 3의 선 A-A`를 따라 절단한 일 예를 보여주는 측단면도이다.
도 5는 도 3의 선 A-A`를 따라 절단한 다른 예를 보여주는 측단면도이다.1 is a cross-sectional view of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view showing an example of the substrate transfer apparatus of FIG.
3 is an exploded perspective view showing an example of the roller member of Fig.
4 is a side cross-sectional view showing an example of cutting along the line AA 'in FIG.
5 is a side sectional view showing another example of cutting along the line AA 'in FIG.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish them, will become apparent by reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치(1)의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a substrate processing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 공정 챔버(100) 및 기판 반송 장치(200)를 포함한다. Referring to FIG. 1, the substrate processing apparatus 1 includes a process chamber 100 and a substrate transfer apparatus 200.

공정 챔버(100)는 기판(S)을 처리하기 위한 공간을 제공한다. 일 예로, 공정 챔버(100)는 에칭 챔버(102), 세정 챔버(104) 및 건조 챔버(106)를 포함할 수 있다. 에칭 챔버(102), 세정 챔버(104) 및 건조 챔버(106)는 제 1 방향(12)을 따라 순차적으로 배열된다. 제 1 방향(12)은 기판(S)의 이동방향으로 정의한다. 에칭 챔버(102)는 기판(S)에 케미컬을 공급하여 식각 공정을 진행한다. 에칭 챔버(102)는 식각 가스를 배출하는 분사부재를 포함한다. 세정 챔버(104)는 에칭 공정이 완료된 기판(S) 상에 순수를 공급하여 케미컬을 제거한다. 세정 챔버(104)는 순수를 분사하는 분사부재를 포함한다. 건조 챔버(106)는 기판(S)에 건조 가스를 분사하여 기판(S) 표면에 잔류하는 케미컬 또는 순수를 건조시킨다. 건조 챔버(106)는 건조 가스를 배출하는 분사부재를 포함한다.The process chamber 100 provides a space for processing the substrate S. [ In one example, the process chamber 100 may include an etch chamber 102, a cleaning chamber 104, and a drying chamber 106. The etching chamber 102, the cleaning chamber 104, and the drying chamber 106 are sequentially arranged along the first direction 12. The first direction 12 defines the direction of movement of the substrate S. The etching chamber 102 supplies a chemical to the substrate S and proceeds the etching process. The etching chamber 102 includes a jetting member for discharging the etching gas. The cleaning chamber 104 removes the chemical by supplying pure water onto the substrate S having been subjected to the etching process. The cleaning chamber 104 includes a jetting member for jetting pure water. The drying chamber 106 blows dry gas onto the substrate S to dry the chemical or pure water remaining on the surface of the substrate S. The drying chamber 106 includes a jetting member for discharging the drying gas.

에칭 챔버(102), 세정 챔버(104) 및 건조 챔버(106) 각각에는 기판 유입구(110) 및 기판 유출구(120)가 제공된다. 에칭 챔버(102), 세정 챔버(104) 및 건조 챔버(106)의 분사부재는 기판 반송 장치(200) 상에 존재한다.
Each of the etching chamber 102, the cleaning chamber 104, and the drying chamber 106 is provided with a substrate inlet 110 and a substrate outlet 120. The etching member 102, the cleaning chamber 104, and the jetting member of the drying chamber 106 are present on the substrate transport apparatus 200.

도 2는 도 1의 기판 반송 장치(200)의 일 예를 보여주는 평면도이다.2 is a plan view showing an example of the substrate transport apparatus 200 of FIG.

도 2를 참조하면, 기판 반송 장치(200)는 챔버 내에서 또는 챔버들 간에 기판(S)을 제 1 방향(12)으로 반송한다. 기판 반송 장치(200)는 에칭 챔버(102), 세정 챔버(104) 및 건조 챔버(106) 각각에 제공될 수 있다. 기판 반송 장치(200)는 샤프트(220), 롤러 부재(240) 및 구동부(260)를 포함한다. 복수의 샤프트들(220)은 제1방향(12)을 따라 배열된다. 각각의 샤프트(220)는 그 길이 방향이 제2방향(16)으로 제공된다. 제 2 방향(16)은 공정 챔버(100) 상부에서 본 경우 제 1 방향(12)과 수직한다. 샤프트들(220)은 서로 나란하게 배치된다. 샤프트들(220)은 각각의 챔버 내에서 기판 유입구(110)와 인접한 위치에서부터 기판 유출구(120)와 인접한 위치까지 제공된다. 각각의 샤프트(220)에는 그 길이방향을 따라 복수의 롤러 부재들(240)이 고정 결합된다. 롤러 부재(240)에는 오링(249)가 포함된다. 샤프트들 (220)은 그 중심축을 기준으로 구동부(260)에 의해 회전된다. 구동부(260)는 풀리들(262), 벨트들(264), 그리고 모터(266)를 가진다. 풀리들(262)은 각각의 샤프트(220)의 양단에 각각 결합된다. 서로 인접하게 배치된 풀리들(262)은 벨트(264)에 의해 서로 연결된다. 풀리들(262) 중 어느 하나에는 이를 회전시키는 모터(266)가 결합된다. 상술한, 풀리(262), 벨트(264), 그리고 모터(266)의 조립체에 의해 샤프트들(220)과 롤러 부재들(240)이 회전되고, 기판(S)은 그 하면이 롤러에 접촉된 상태로 샤프트들(220)을 따라 직선 이동된다. 각각의 샤프트(220)는 수평으로 배치되어 기판(S)은 수평 상태로 이송될 수 있다.Referring to FIG. 2, the substrate transfer apparatus 200 transports the substrate S in the first direction 12 in the chamber or between the chambers. The substrate transfer apparatus 200 may be provided in each of the etching chamber 102, the cleaning chamber 104, and the drying chamber 106. The substrate transfer apparatus 200 includes a shaft 220, a roller member 240, and a driving unit 260. A plurality of shafts (220) are arranged along the first direction (12). Each shaft 220 is provided with its longitudinal direction in a second direction 16. The second direction 16 is perpendicular to the first direction 12 when viewed from above the process chamber 100. The shafts 220 are disposed side by side. Shafts 220 are provided in each chamber from a location adjacent the substrate inlet 110 to a location adjacent to the substrate outlet 120. A plurality of roller members 240 are fixedly coupled to the respective shafts 220 along the longitudinal direction thereof. The roller member 240 includes an O-ring 249. The shafts 220 are rotated by the driving unit 260 about the center axis thereof. The drive portion 260 has pulleys 262, belts 264, and a motor 266. The pulleys 262 are coupled to both ends of the respective shafts 220, respectively. The pulleys 262 disposed adjacent to each other are connected to each other by a belt 264. [ One of the pulleys 262 is coupled to a motor 266 for rotating it. The shaft 220 and the roller members 240 are rotated by the assembly of the pulley 262, the belt 264 and the motor 266 described above, and the substrate S has its bottom surface contacted with the roller Lt; RTI ID = 0.0 > 220 < / RTI > Each shaft 220 is horizontally disposed and the substrate S can be transported in a horizontal state.

도 3은 도 2의 롤러 부재(240)의 일 예를 보여주는 분해 사시도이고, 도 4는 도 3의 선 A-A`를 따라 절단한 일 예를 보여주는 측단면도이다.FIG. 3 is an exploded perspective view showing an example of the roller member 240 of FIG. 2, and FIG. 4 is a side sectional view showing an example of cutting along the line A-A 'of FIG.

도 3 및 도 4를 참조하면, 롤러 부재(240)는 롤러(245) 및 오링(249)을 포함한다. 샤프트(220)는 롤러(245)의 중심을 관통한다. 롤러(245)는 그 외주면에 오목부(242)를 가진다. 오목부(242)를 통해서 오링(249)이 삽입되는 공간이 제공된다. 오목부(242)에는 복수개의 끼움 홈(244)이 형성된다. 끼움 홈(244)은 롤러 바디(241)를 향해 오목부(242)로부터 연장되게 형성되어 있다. 선택적으로, 롤러(245)의 상면으로 돌기가 형성될 수도 있다. 끼움 홈(244)은 롤러(245)의 외주면을 따라 서로 이격되게 형성될 수 있다. 끼움 홈(244)들은 롤러(245)의 외주면을 따라 서로 일정한 간격으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 끼움 홈(244)의 단면은 사각형일 수 있다. 끼움 홈(244)을 사각형으로 형성하여 끼움 홈(244)과 돌기 사이의 마찰력을 증가시킬 수 있다. 선택적으로, 끼움 홈홈(244)의 단면은 반원, 타원형 및 다각형 등을 포함할 수 있다. 도 5의 경우, 홈은 삼각형 형태일 수 있다. 예를 들어, 삼각형의 끼움 홈(242)은 롤러 바디(241)의 하부로 갈수록 그 너비가 넓어지는 형태일 수 있다. 끼움 홈(244)을 삼각형 형태로 형성하여 끼움 돌기(248)가 끼움 홈(244)에서 쉽게 빠지는 것을 방지할 수 있다.3 and 4, the roller member 240 includes a roller 245 and an O-ring 249. The shaft 220 passes through the center of the roller 245. The roller 245 has a concave portion 242 on its outer circumferential surface. A space through which the O-ring 249 is inserted is provided through the concave portion 242. A plurality of fitting grooves 244 are formed in the concave portion 242. The fitting groove 244 is formed to extend from the concave portion 242 toward the roller body 241. Alternatively, a projection may be formed on the upper surface of the roller 245. The fitting grooves 244 may be formed apart from each other along the outer circumferential surface of the roller 245. The fitting grooves 244 may be formed at regular intervals along the outer circumferential surface of the roller 245. For example, the cross section of the fitting groove 244 may be rectangular. The fitting groove 244 may be formed in a rectangular shape to increase the frictional force between the fitting groove 244 and the projection. Optionally, the cross-section of the fitting groove 244 may include semicircular, elliptical, polygonal, and the like. In the case of FIG. 5, the groove may be in the form of a triangle. For example, the fitting groove 242 of the triangular shape may have a wider width toward the lower portion of the roller body 241. The fitting groove 244 can be formed in a triangular shape to prevent the fitting projection 248 from being easily detached from the fitting groove 244.

오링(249)은 그 하부에 돌출되는 복수의 돌기(248)들 및 바디부(246)를 포함한다. 오링(249)은 롤러(245)의 오목부(242) 및 끼움 홈(244)에 삽입된다. 오링(249)의 바디부(246)는 사각형 또는 원형의 단면을 가지며, 오링(249)의 연장방향과 수직되는 방향은 일정한 폭과 두께로 형성된다. 끼움 돌기(248)는 롤러(245)의 오목부(242)의 끼움 홈(244)에 연결된다. 오링(249)과 롤러(245)의 오목부(242) 및 끼움 홈(244)과 접촉하는 면은 롤러(245)의 오목부(242) 및 끼움 홈(244)의 형태에 따라 달라질 수 있다. 오링(249)의 소재는 고무소재를 포함한다. 오링(249)이 고정됨에 따라 오링(249)과 롤러(245)가 헛도는 현상이 방지된다. 또한, 오링(249)은 롤러(245)와 기판(S) 사이의 마찰력을 증가시킨다.
The O-ring 249 includes a plurality of projections 248 and a body portion 246 protruding below the O-ring 249. The O-ring 249 is inserted into the concave portion 242 of the roller 245 and the fitting groove 244. The body portion 246 of the O-ring 249 has a rectangular or circular cross section, and a direction perpendicular to the extending direction of the O-ring 249 is formed to have a constant width and thickness. The fitting protrusion 248 is connected to the fitting groove 244 of the concave portion 242 of the roller 245. The surface that contacts the concave portion 242 and the fitting groove 244 of the O-ring 249 and the roller 245 may vary depending on the shape of the concave portion 242 and the fitting groove 244 of the roller 245. The material of the O-ring 249 includes a rubber material. As the O-ring 249 is fixed, the O-ring 249 and the roller 245 are prevented from loosening. In addition, the O-ring 249 increases the frictional force between the roller 245 and the substrate S. [

Claims (5)

기판을 반송하는 장치에 있어서,
각각 그 길이방향이 제 1 방향으로 제공되고, 서로 간에 상기 제1방향에 대해
수직한 제 2 방향으로 배열되는 샤프트들; 및
상기 반송 샤프트들의 외주면에 고정 설치되고, 롤러와 오링을 포함하는 롤러 부재를 포함하되,
상기 오링은 상기 롤러의 외주면에 고정 설치되며 기판과 접촉되고, 상기 오링과 상기 롤러는 요철 구조에 의해 서로 간에 결합되는 기판 반송 장치.An apparatus for transporting a substrate,
Each of which is provided with a longitudinal direction in a first direction,
Shafts arranged in a second vertical direction; And
And a roller member fixed to an outer circumferential surface of the conveying shafts and including a roller and an O-ring,
Wherein the O-ring is fixed to the outer circumferential surface of the roller and is in contact with the substrate, and the O-ring and the roller are coupled to each other by a concave-convex structure. 제 1 항에 있어서,
상기 오링은 그 하부로 돌출되는 복수의 돌기들을 가지고,
상기 롤러에는 상기 돌기가 삽입되는 끼움 홈이 형성되는 기판 반송 장치.The method according to claim 1,
The O-ring has a plurality of protrusions projecting downwardly,
And the roller has a fitting groove into which the projection is inserted. 제 2 항에 있어서,
상기 돌기가 삽입되는 끼움 홈은 상기 롤러의 외주면을 따라 서로 이격되게 형성되는 기판 반송 장치.3. The method of claim 2,
And the fitting grooves into which the protrusions are inserted are formed to be spaced apart from each other along the outer peripheral surface of the roller. 제 3 항에 있어서,
상기 끼움 홈의 형태는 다각형인 기판 반송 장치.The method of claim 3,
Wherein the shape of the fitting groove is polygonal. 제 4 항에 있어서,
상기 다각형은 사각형인 기판 반송 장치.

5. The method of claim 4,
Wherein the polygon is a square.

KR1020140085461A 2014-07-08 2014-07-08 Apparatus for carrying a substrate KR20160006357A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140085461A KR20160006357A (en) 2014-07-08 2014-07-08 Apparatus for carrying a substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140085461A KR20160006357A (en) 2014-07-08 2014-07-08 Apparatus for carrying a substrate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160006357A true KR20160006357A (en) 2016-01-19

Family

ID=55305959

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140085461A KR20160006357A (en) 2014-07-08 2014-07-08 Apparatus for carrying a substrate

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20160006357A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5936611B2 (en) Sprocket and conveyor belt system for flexible conveyor belt
KR101147662B1 (en) Substrate transfer apparatus
US20180178993A1 (en) Floating conveyor and substrate processing apparatus
KR20160005851A (en) Apparatus for carrying a substrate
KR20160006357A (en) Apparatus for carrying a substrate
KR20200056922A (en) Substrate transfer apparatus
WO2017130395A1 (en) Conveyance device and washing device
JP5997203B2 (en) Single-wafer workpiece dust remover
KR100730742B1 (en) Roller for conveyer of glass substrate
KR20110112260A (en) Substrate transfer apparatus
KR101116654B1 (en) Module for transferring a substrate and apparatus for processing a substrate including the same
KR102232985B1 (en) Rotation support for substrate spinning apparatus
KR20160005852A (en) Apparatus for processing substrate
JP6320849B2 (en) Substrate transfer apparatus and substrate processing apparatus
KR102278073B1 (en) Apparatus for treating substrate
KR102160935B1 (en) Transporting unit and substrate treating apparatus
JP6720758B2 (en) Plate-like processing device and processing method
JP4856888B2 (en) Curve conveyor
KR102232662B1 (en) Apparatus for treating substrate and Shaft assembly
KR101121200B1 (en) Apparatus for conveying substrate
KR101605714B1 (en) Transfer Unit and Apparatus for treating substrate with the unit
KR102202465B1 (en) Unit for conveying substrate and apparatus for treating substrate with the unit and substrate conveying method
JP2007250806A (en) Substrate treatment equipment
KR20070048044A (en) Apparatus for conveying glass substrate
KR102147687B1 (en) Substrate treating apparatus and transporting method

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application