KR20140073903A - Manufacturing method of water-repellent surface having improved durability, and substrate having water-repellent surface - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing a water-repellent surface with improved durability and a substrate having the water-repellent surface. Particularly, the present invention enables a nano-protrusion to be formed by etching a water-repellent layer after coating a substrate with the water-repellent layer so as to provide both anti-reflection and water-repellent properties to a surface even without coating the surface of the substrate along the shape of the nano-protrusion with the water-repellent layer. According to the present invention, water repellency can be maintained until the water-repellent layer having the nano-protrusion is completely worn out, and thus, durability of a water-repellent surface can be remarkably improved.

Description

내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판{Manufacturing method of water-repellent surface having improved durability, and substrate having water-repellent surface}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a water repellent surface having improved durability and a substrate having water repellent surface having improved durability,

본 발명은 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판에 관한 것이다. 자세하게는 본 발명은 기판 위에 발수층을 코팅한 후 상기 발수층을 식각하여 나노돌기를 형성함으로써, 발수층을 기판 표면의 나노돌기 형상을 따라 코팅하지 않고도 표면에 반사방지 및 발수 특성을 함께 부여할 수 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면 나노돌기가 형성된 발수층이 완전히 마모될 때까지 발수성을 유지할 수 있어 발수성 표면의 내구성을 매우 향상시킬 수 있다.
The present invention relates to a method for producing a water-repellent surface having improved durability and a substrate on which a water-repellent surface is formed. In detail, the present invention is characterized in that a water repellent layer is coated on a substrate and then the water repellent layer is etched to form nano protrusions, thereby imparting anti-reflection and water repellent properties to the surface without coating the water repellent layer along the nano- . According to the present invention, water repellency can be maintained until the water repellent layer formed with the nano protrusions is completely worn, so that the durability of the water repellent surface can be greatly improved.

터치스크린패널 등에 사용되는 투명소재 기판은 표면에 반사방지 기능과 더불어 내지문 또는 방오염 특성을 함께 부여하기 위하여, 도 1에 도시된 바와 같이 기판 표면에 나노돌기와 같은 나노구조물을 형성한 후 발수층을 코팅하는 것이 일반적이다.A transparent material substrate used for a touch screen panel or the like has a structure in which nanostructures such as nano-protrusions are formed on the surface of a substrate as shown in FIG. 1 and a water repellent layer .

이때 상기 발수층이 기판 표면에 형성된 나노구조물을 덮을 만큼 두꺼워지게 되면 나노돌기의 효과인 반사방지 기능이 저하되게 되므로, 상기 발수층의 코팅 두께는 나노돌기가 묻히지 않을 정도로 얇아야 한다. 따라서, 통상적으로 사용되는 SAMs (Self Assembled Monolayers) 물질에 의한 발수층 코팅 두께는 10~30nm 범위인 것이 일반적이다.At this time, if the water-repellent layer is thick enough to cover the nanostructure formed on the substrate surface, the antireflection function, which is the effect of the nano protrusions, is lowered. Therefore, the coating thickness of the water-repellent layer should be thin enough to prevent the nano- Therefore, the thickness of the water repellent layer coating by SAMs (self assembled monolayers) generally used is generally in the range of 10 to 30 nm.

그러나, 이러한 코팅층이 형성된 기판이 터치스크린패널 등에 사용되는 경우, 잦은 접촉으로 인해 발수층의 마모가 쉽게 발생할 수 있으며 그에 따라 내지문 또는 방오염성 효과도 쉽게 사라지게 된다. 이를 해결하기 위해서는 진공증착 등의 공정을 통하여 상기 발수층 자체의 내구성을 높여야 하는데, 이는 공정이 복잡해질 뿐만 아니라 전체 공정 비용이 커지는 원인이 된다.However, when the substrate on which such a coating layer is formed is used for a touch screen panel or the like, abrasion of the water-repellent layer can easily occur due to frequent contact, and the effect of fingerprint or stain resistance is easily lost. In order to solve this problem, the durability of the water-repellent layer itself must be increased through a process such as vacuum deposition, which causes complicated processes and increases the overall process cost.

한편, 터치스크린패널 등에 사용되는 투명소재 기판은 식각이 용이치 않아 반사방지를 위한 나노돌기를 형성하는 것 자체도 어렵다는 문제가 있었다. On the other hand, a transparent material substrate used for a touch screen panel or the like has a problem that it is difficult to form nano protrusions for preventing reflection because etching is inconvenient.

이에, 간단한 공정으로 기판 표면에 반사방지 기능과 내지문 또는 방오염 특성을 함께 부여할 수 있을 뿐만 아니라 진공증착 등을 사용하지 않고도 발수층 자체의 내구성을 향상시킬 수 있는 기술의 개발이 필요하였다.
Therefore, it is necessary to develop a technique that can improve the durability of the water repellent layer itself without using the vacuum evaporation or the like as well as being capable of imparting antireflection function, fingerprint or antifouling property to the substrate surface by a simple process.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 진공증착 등을 사용하지 않고도 간단한 공정으로 발수층 자체의 내구성을 향상시킬 수 있는 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다. In order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a water-repellent surface and a substrate on which a water-repellent surface is formed, in which the durability of the water-repellent layer itself can be improved by a simple process without using vacuum deposition .

또한, 본 발명은 기판에 직접적으로 나노돌기를 형성하지 않고도 간단한 공정으로 기판 표면에 반사방지 기능과 내지문 또는 방오염 특성을 함께 부여할 수 있는 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다.
The present invention also provides a method for producing a water-repellent surface and a substrate on which a water-repellent surface is formed, in which an antireflection function, an intrinsic fingerprint or an anti-fouling characteristic can be imparted to the surface of a substrate by a simple process without forming nano- .

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 i) 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하는 단계, 및 ⅱ) 상기 발수층(20)을 식각하여 나노돌기(21)를 형성하는 단계로 이루어진 발수성 표면의 제조방법과, 표면에 코팅된 발수층(20)에 나노돌기(21)가 형성된 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판(10)을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: i) coating a water repellent layer 20 on a substrate 10; and ii) etching the water repellent layer 20 to form a nano protrusion 21 A method for producing a water repellent surface, and a substrate (10) having a water repellent surface formed by forming nano protrusions (21) on a water repellent layer (20) coated on the surface.

본 발명은 종래기술과 같이 기판 표면에 나노돌기를 형성한 후 발수층을 코팅하는 것이 아니라, 기판 표면에 먼저 발수층을 코팅한 후 상기 발수층에 나노돌기를 형성함으로써 초발수 표면의 내구성을 향상시키는 것을 특징으로 한다.The present invention can improve the durability of the super water-repellent surface by forming nano protrusions in the water-repellent layer after coating the water-repellent layer on the surface of the substrate instead of coating the water-repellent layer after forming nano- .

상기 초발수 표면이 형성되는 기판(10)은 유리, 세라믹, 금속 또는 플라스틱 등 다양한 소재로 이루어질 수 있으며, 상기 나노돌기(21)의 형성단계는 상기 기판(10)의 소재와 상관없이 단일한 장비와 공정으로 이루어질 수 있다.The substrate 10 on which the super water-repellent surface is formed may be formed of various materials such as glass, ceramics, metal, or plastic. The nano protrusions 21 may be formed in a single device And processes.

상기 발수층(20)은 발수성을 가지는 다양한 물질로 이루어질 수 있으며, 일 실시예로 발수성을 가지면서 높은 경도의 구현이 가능한 저온 경화형 세라믹 코팅제로 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 저온 경화형 세라믹 코팅제는 금속과 유기물 성분으로 이루어져 있는 용액으로써 졸-겔법에 의해 경화가 이루어지며, 경화 후에는 세라믹화하는 기초 원료이다.The water-repellent layer 20 may be made of a variety of materials having water repellency. In one embodiment, the water-repellent layer 20 is preferably a low-temperature curing ceramic coating material having water repellency and high hardness. The low-temperature curable ceramic coating agent is a solution composed of a metal and an organic component, which is cured by a sol-gel method and is a starting material for ceramicization after curing.

이때, 상기 저온 경화형 세라믹 코팅제로 이루어진 코팅층은 발수성으로 인하여 기판과의 밀착력이 떨어질 수 있는데, 이를 해결하기 위하여 상기 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하는 i) 단계 전에, 상기 기판(10)과 발수층(20)의 저온 경화형 세라믹 코팅제와의 밀착력을 높이기 위하여, 기판(10) 표면을 대기압 플라즈마로 세정하여 -OH 기를 활성화하는 단계를 추가로 포함하는 것이 바람직하다.In this case, the coating layer made of the low-temperature curable ceramic coating agent may have poor adhesion to the substrate due to water repellency. To solve this problem, before the step i) of coating the water repellent layer 20 on the substrate 10, ) And the water-repellent layer 20 with the low-temperature curable ceramic coating agent, the surface of the substrate 10 may be cleaned with an atmospheric plasma to activate the -OH group.

또한, 상기 코팅층의 밀착력 및 경도를 높이기 위하여, 상기 저온 경화형 세라믹 코팅제는 함침법, 스프레이 코팅, 스핀코팅 또는 에어나이프코팅(Air-knife coating) 방식을 통하여 이루어지는 것이 바람직하며, 상기 저온 경화형 세라믹 코팅제의 점도는 1 ~ 10cP(20℃)에서 제어되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 발수층(20)의 두께는 100~3,000nm 이고, 상기 나노돌기(21)의 크기가 50~500nm 인 것이 바람직하다.In order to increase the adhesion and hardness of the coating layer, the low-temperature curing type ceramic coating agent is preferably formed by an impregnation method, a spray coating method, a spin coating method or an air-knife coating method. The viscosity is preferably controlled at 1 to 10 cP (20 캜). The thickness of the water-repellent layer 20 is 100 to 3,000 nm, and the size of the nano-protrusions 21 is preferably 50 to 500 nm.

한편, 상기 나노돌기(21)의 접촉에 의한 무너짐을 최소화하기 위하여, 상기 나노돌기(21)와 함께 마이크로 돌기가 함께 형성될 수 있으며, 이때 상기 마이크로 돌기의 크기는 1~50㎛ 인 것이 바람직하다. 또한, 상기 마이크로 돌기(22)와 나노돌기(21)가 기판 위에 혼재하고 있으며 마이크로 돌기들 사이의 간격은 20㎛~1mm인 것이 바람직하다.
In order to minimize the collapse of the nano protrusions 21 due to contact, microprojections may be formed together with the nano protrusions 21, and the size of the micro protrusions is preferably 1 to 50 μm . In addition, it is preferable that the microprojections 22 and the nano protrusions 21 are mixed on the substrate, and the interval between the microprojections is 20 μm to 1 mm.

본 발명에 따라 발수성 표면이 형성된 기판은 진공증착 등을 사용하지 않고도 간단한 공정으로 발수층 자체의 내구성을 향상시킬 수 있으며, 기판에 직접적으로 나노돌기를 형성하지 않고도 간단한 공정으로 기판 표면에 반사방지 기능과 내지문 또는 방오염 특성을 함께 부여할 수 있어 제조공정을 단순화하고 제조비용을 낮추는 효과를 얻을 수 있다.
The substrate having the water repellent surface formed according to the present invention can improve the durability of the water repellent layer itself by a simple process without using a vacuum evaporation or the like and can prevent reflection on the substrate surface by a simple process without forming nano- And fingerprinting or anti-fouling properties can be imparted together, so that the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be lowered.

도 1 - 종래의 표면처리 기술에 따라 나노돌기가 형성된 기판 위에 발수층을 코팅하는 과정을 보여주는 공정 흐름도
도 2 - 본 발명에 따라 기판 위에 발수층을 코팅한 후, 상기 코팅된 발수층에 나노돌기를 형성하는 과정을 보여주는 공정 흐름도
도 3 - 본 발명에 따라 기판 위에 발수층을 코팅한 후, 상기 코팅된 발수층에 나노돌기 및 마이크로 돌기를 형성하는 과정을 보여주는 공정 흐름도1 is a flow chart showing a process of coating a water repellent layer on a substrate having nano protrusions according to a conventional surface treatment technique
2 is a flow chart showing a process of coating a water repellent layer on a substrate and forming nano protrusions in the coated water repellent layer according to the present invention
FIG. 3 is a flow chart showing a process of forming a nano-protrusion and a microprojection on the coated water-repellent layer after coating a water-repellent layer on a substrate according to the present invention

이하에서는, 본 발명의 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a method for producing a water-repellent surface having improved durability and a substrate on which a water-repellent surface is formed will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 발수성 표면의 제조방법은 도 2에 도시한 바와 같이 i) 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하는 단계, 및 ⅱ) 상기 발수층(20)을 식각하여 나노돌기(21)를 형성하는 단계로 이루어진다. 또한, 상기 방법에 의하여 제조된 본 발명의 기판은 기판(10) 자체가 아닌 기판 표면에 코팅된 발수층(20)에 나노돌기(21)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
2, the method of manufacturing a water repellent surface according to the present invention comprises the steps of: i) coating a water repellent layer 20 on a substrate 10; and ii) etching the water repellent layer 20 to form a nano protrusion 21, . In addition, the substrate of the present invention manufactured by the above method is characterized in that nano-protrusions 21 are formed on the water-repellent layer 20 coated on the substrate surface, not on the substrate 10 itself.

종래에는 기판 표면에 반사방지 기능과 내지문 또는 방오염 특성을 함께 부여하기 위하여, 도 1에 도시된 바와 같이 기판(10) 표면에 나노돌기(11)와 같은 나노구조물을 형성한 후 발수층을 코팅하는 것이 일반적이었다. Conventionally, as shown in FIG. 1, a nanostructure such as the nano protrusion 11 is formed on the surface of the substrate 10 and a water repellent layer is formed on the surface of the substrate 10 Coating.

그러나, 이와 같이 나노구조물을 형성한 후 발수층을 코팅하는 경우, 발수층의 코팅 두께가 나노돌기가 묻히지 않을 정도로 얇아야 하기 때문에 터치스크린패널 등 잦은 접촉이 필요한 기판에서는 발수층이 쉽게 마모된다는 문제가 있었다. 따라서, 얇은 두께를 가지는 발수층의 내구성을 높이기 위하여 진공증착과 같은 고비용의 공정을 거쳐야만 하였다. However, when the water repellent layer is coated after forming the nanostructure as described above, the coating thickness of the water repellent layer must be thin enough that the nano protrusions are not buried, so that the water repellent layer is easily worn on a substrate requiring frequent contact, . Therefore, in order to increase the durability of the water-repellent layer having a thin thickness, a high cost process such as vacuum deposition has been required.

또한, 기판이 식각이 어려운 소재로 이루어진 경우 기판에 나노돌기 형성이 어려울 뿐만 아니라, 기판의 소재가 달라질 때마다 이에 적합한 식각 공정을 개발해야 하기에 많은 시간 및 비용이 소요되었다.
In addition, when the substrate is made of a material difficult to etch, it is difficult to form nano protrusions on the substrate, and it takes much time and cost to develop an etching process suitable for each substrate material.

본 발명에서는 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 종래기술과 같이 기판 표면에 나노돌기를 형성한 후 발수층을 코팅하는 것이 아니라, 기판(10) 표면에 먼저 발수층(20)을 코팅한 후 상기 발수층에 나노돌기(21)를 형성함으로써 초발수 표면의 내구성을 향상시키는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a water repellent layer (20) coated on the surface of the substrate (10) instead of coating the water repellent layer after forming nano protrusions on the surface of the substrate, And the durability of the super water repellent surface is improved.

본 발명의 나노돌기(21)는 기판(10)에 직접 형성되는 것이 아니라 기판 위에 코팅된 발수층(20)에 형성되는 것이므로, 상기 기판(10)은 식각 조건을 고려할 필요없이 유리, 세라믹, 금속 또는 플라스틱 등 다양한 소재로 이루어질 수 있으며, 상기 나노돌기(21)의 형성이 기판(10)의 소재와 상관없이 단일한 장비와 공정으로 이루어질 수 있다.
The nano protrusion 21 of the present invention is not formed directly on the substrate 10 but is formed on the water repellent layer 20 coated on the substrate 10 so that the substrate 10 can be made of glass, Or nano protrusions 21 may be formed of a single material and process irrespective of the material of the substrate 10.

한편, 상기 발수층(20)은 발수성을 가지는 다양한 물질로 이루어질 수 있으나, 일 실시예로 발수성을 가지면서도 높은 경도의 발수층 구현이 가능한 저온 경화형 세라믹 코팅제가 사용될 수 있다. Meanwhile, the water-repellent layer 20 may be made of various materials having water repellency. In one embodiment, a low-temperature curing ceramic coating material capable of realizing a water repellent layer having water repellency and high hardness can be used.

이때, 상기 코팅층은 재료 자체가 가지는 발수 특성으로 인하여 기판과의 밀착력이 떨어질 수 있기 때문에, 상기 기판(10)과 발수층(20)의 저온 경화형 세라믹 코팅제와의 밀착력을 높이기 위하여, 상기 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하기 전에 기판(10) 표면을 대기압 플라즈마로 세정함으로써, 기판 표면의 -OH 기를 활성화하는 것이 바람직하다.In order to increase the adhesion between the substrate 10 and the low temperature curable ceramic coating agent of the water repellent layer 20, the substrate 10 It is preferable to activate the -OH group on the substrate surface by cleaning the surface of the substrate 10 with an atmospheric plasma before coating the water repellent layer 20 on the substrate 10.

또한, 상기 발수층의 코팅은 진공증착 등의 공정을 거칠 필요는 없으나, 코팅층의 밀착력 및 경도를 높이기 위하여, 함침법, 스프레이 코팅, 스핀코팅 또는 에어나이프코팅(Air-knife coating) 방식을 통하여 이루어지는 것이 바람직하며, 상기 저온 경화형 세라믹 코팅제의 점도는 1 ~ 10cP(20℃)에서 제어되는 것이 바람직하다. The coating of the water-repellent layer is not required to be performed by a process such as vacuum evaporation. However, in order to increase the adhesion and hardness of the coating layer, the coating may be performed by an impregnation method, a spray coating method, a spin coating method or an air- And the viscosity of the low temperature curable ceramic coating agent is preferably controlled at 1 to 10 cP (20 캜).

또한, 기판 표면에 반사방지 기능을 부여하면서도 발수층의 내구성을 높이기 위하여 상기 발수층(20)의 두께는 100~3,000nm 범위에서 제어되는 것이 바람직하며, 상기 나노돌기(21)의 크기는 50~500nm 범위에서 제어되는 것이 바람직하다.
In order to enhance the durability of the water-repellent layer, the thickness of the water-repellent layer 20 is preferably controlled in the range of 100 to 3,000 nm, Preferably in the range of 500 nm to 500 nm.

한편, 표면에 나노돌기(21)를 형성하게 되면 외부 접촉에 의해 나노돌기들이 무너질 수 있으므로, 상기 나노돌기(21)의 접촉에 의한 무너짐을 최소화하기 위하여, 상기 나노돌기(21)와 함께 마이크로 돌기(22)를 함께 형성되는 것이 바람직하다. 이때, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 마이크로 돌기(22)와 나노돌기(21)가 기판 위에 혼재하고 있으며 마이크로 돌기들 사이의 간격은 20㎛~1mm인 것이 바람직하다.If the nano protrusions 21 are formed on the surface, the nano protrusions may collapse due to external contact. Therefore, in order to minimize the collapse due to the contact of the nano protrusions 21, (22) are formed together. At this time, as shown in FIG. 3, the microprojections 22 and the nano protrusions 21 are mixed on the substrate, and the interval between the microprojections is preferably 20 μm to 1 mm.

상기와 같이 마이크로 돌기와 나노돌기가 혼재된 형태의 기판은 외부 접촉에 의한 하중이 가해지는 경우, 마이크로 돌기는 표면 하중을 지지하여 나노 스케일의 돌기들이 무너지는 것을 방지하는 역할을 하게 되며, 이때 상기 마이크로 돌기의 크기는 상기 나노 돌기들이 무너지는 것을 효율적으로 방지하기 위하여 1~50㎛ 인 것이 바람직하다.
As described above, when a load due to external contact is applied to a substrate in which a microprojection and a nano protrusion are mixed, the microprojection supports the surface load to prevent the nanoscale protrusions from collapsing. In this case, The size of the protrusion is preferably 1 to 50 mu m in order to effectively prevent the nano protrusions from collapsing.

본 발명은 상술한 특정의 실시예 및 설명에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능하며, 그와 같은 변형은 본 발명의 보호 범위 내에 있게 된다.
The present invention is not limited to the above-described specific embodiments and descriptions, and various modifications can be made to those skilled in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. And such modifications are within the scope of protection of the present invention.

10 : 기판
20: 발수층
11, 21 : 나노돌기
22 : 마이크로 돌기10: substrate
20: Water repellent layer
11, 21: nano protrusions
22: microprojection

Claims (20)

i) 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하는 단계; 및
ⅱ) 상기 발수층(20)을 식각하여 나노돌기(21)를 형성하는 단계;
를 포함하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.i) coating the water repellent layer (20) on the substrate (10); And
Ii) etching the water-repellent layer 20 to form nano-protrusions 21;
Wherein the water-repellent surface is a water-repellent surface. 제1항에 있어서,
상기 기판(10)이 유리, 세라믹, 금속 또는 플라스틱 중 어느 하나 이상의 소재로 이루어지며,
상기 나노돌기(21)의 형성단계가 상기 기판(10)의 소재와 상관없이 단일한 장비와 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.The method according to claim 1,
The substrate 10 is made of at least one of glass, ceramics, metal, or plastic,
Wherein the step of forming the nano protrusions (21) is performed by a single equipment and a process regardless of the material of the substrate (10). 제1항에 있어서,
상기 발수층(20)이 저온 경화형 세라믹 코팅제로 이루어진 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the water-repellent layer (20) is made of a low-temperature curable ceramic coating material. 제3항에 있어서,
상기 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하는 i) 단계 전에,
상기 기판(10)과 발수층(20)의 저온 경화형 세라믹 코팅제와의 밀착력을 높이기 위하여, 기판(10) 표면을 대기압 플라즈마로 세정하여 -OH 기를 활성화하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법. The method of claim 3,
Before step i) of coating the water repellent layer 20 on the substrate 10,
Further comprising the step of cleaning the surface of the substrate (10) with an atmospheric pressure plasma to activate the -OH group in order to enhance adhesion between the substrate (10) and the low temperature curable ceramic coating agent of the water repellent layer (20) Wherein the surface of the water repellent surface is coated with the water repellent surface. 제3항에 있어서,
상기 저온 경화형 세라믹 코팅제의 코팅이 함침법, 스프레이 코팅, 스핀코팅 또는 에어나이프코팅(Air-knife coating) 방식을 통하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법. The method of claim 3,
Wherein the coating of the low temperature curable ceramic coating agent is carried out by impregnation, spray coating, spin coating or air-knife coating. 제3항에 있어서,
상기 저온 경화형 세라믹 코팅제의 점도가 1 ~ 10cP(20℃)에서 제어되는 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법. The method of claim 3,
Wherein the viscosity of the low temperature curable ceramic coating agent is controlled at 1 to 10 cP (20 캜). 제1항에 있어서,
상기 발수층(20)의 두께가 100~3,000nm 인 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the water-repellent layer (20) has a thickness of 100 to 3,000 nm. 제1항에 있어서,
상기 나노돌기(21)의 크기가 50~500nm 인 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the nano-protrusions (21) have a size of 50 to 500 nm. 제1항에 있어서,
상기 나노돌기(21)의 무너짐을 막기 위하여, 상기 나노돌기(21)와 함께 마이크로 돌기(22)가 함께 형성되는 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the nano protrusion (21) is formed together with a microprojection (22) to prevent the nano protrusion (21) from being collapsed. 제9항에 있어서,
상기 마이크로 돌기(22)의 크기가 1~50㎛ 인 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.10. The method of claim 9,
Wherein the microprojections (22) have a size of 1 to 50 mu m. 제9항에 있어서,
상기 마이크로 돌기(22)와 나노돌기(21)가 기판 위에 혼재하고 있으며 마이크로 돌기들 사이의 간격은 20㎛~1mm인 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.10. The method of claim 9,
Wherein the microprojections (22) and the nano protrusions (21) are mixed on a substrate, and the interval between the microprojections is 20 占 퐉 to 1 mm. 표면에 발수층(20)이 코팅된 기판(10)에 있어서,
상기 발수층(20)에 나노돌기(21)가 형성된 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.In a substrate (10) having a water repellent layer (20) coated on its surface,
Wherein a water repellent surface is formed on the water-repellent layer (20). 제12항에 있어서,
상기 기판(10)이 유리, 세라믹, 금속 또는 플라스틱 중 어느 하나 이상의 소재로 이루어지며,
상기 나노돌기(21)가 상기 기판(10)의 소재와 상관없이 단일한 장비와 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.13. The method of claim 12,
The substrate 10 is made of at least one of glass, ceramics, metal, or plastic,
Characterized in that the nano protrusions (21) are formed by a single equipment and process irrespective of the material of the substrate (10). 제12항에 있어서,
상기 발수층(20)이 저온 경화형 세라믹 코팅제로 이루어진 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.13. The method of claim 12,
Wherein the water-repellent layer (20) is made of a low temperature curable ceramic coating material. 제14항에 있어서,
상기 저온 경화형 세라믹 코팅제의 점도가 1 ~ 10cP(20℃)에서 제어되는 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.15. The method of claim 14,
Wherein a viscosity of the low temperature curable ceramic coating agent is controlled at 1 to 10 cP (20 캜). 제12항에 있어서,
상기 발수층(20)의 두께가 100~3,000nm 인 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.13. The method of claim 12,
Wherein the water-repellent layer (20) has a thickness of 100 to 3,000 nm. 제12항에 있어서,
상기 나노돌기(21)의 크기가 50~500nm 인 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.13. The method of claim 12,
Wherein the nano protrusion (21) has a size of 50 to 500 nm. 제12항에 있어서,
상기 나노돌기(21)의 무너짐을 막기 위하여, 상기 나노돌기(21)와 함께 마이크로 돌기가 함께 형성되는 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.13. The method of claim 12,
And a microprojection is formed together with the nano protrusion (21) to prevent the nano protrusion (21) from being collapsed. 제18항에 있어서,
상기 마이크로 돌기(22)의 크기가 1~50㎛ 인 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.19. The method of claim 18,
Wherein the microprojections (22) have a size of 1 to 50 mu m. 제18항에 있어서,
상기 마이크로 돌기(22)와 나노돌기(21)가 기판 위에 혼재하고 있으며 마이크로 돌기들 사이의 간격은 20㎛~1mm인 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.19. The method of claim 18,
Wherein the microprojections (22) and the nano protrusions (21) are mixed on a substrate, and the interval between the microprojections is 20 占 퐉 to 1 mm.
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