KR20130136125A - Cassette stocker and substrate processing apparatus - Google Patents

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Abstract

A substrate processing device of the present invention includes a chamber with a load port on which a cassette is placed on one surface; a cassette stocker in which the cassette is received; and a cassette return unit which returns the cassette to the cassette stocker. The cassette stocker includes shelves on which the cassette is place; a shaft which is installed by penetrating through the central portions of the shelves and in which shelves are installed at multiple stages; a rotating unit which rotates the shaft; and a purge member which charges the inside of the cassette with purge gas when the cassette is seated on the shelves.

Description

카세트 스토커 및 기판 처리 장치{CASSETTE STOCKER AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS} [0001] CASSETTE STOCKER AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS [0002]

본 발명은 기판을 처리하기 위한 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for processing a substrate.

반도체나 평판 디스플레이 패널을 생산하는 크린룸에서는 생산공정 중인 기판을 다음 공정으로 이동하는 과정에서 기판을 임시로 보관하기 위하여 스토커(Stocker)를 운영하고 있다. In the clean room, which produces semiconductor and flat panel display panels, Stocker is operated to temporarily store the substrate in the process of moving the substrate from the production process to the next process.

즉, 기판은 각 공정으로부터 반송되는 과정에서 오염으로부터 보호하기 위해 카세트(Cassette)에 적재보관되며, 카세트는 각 공정마다 마련되어 있는 스토커에 보관된다. 스토커는 다른 공정에 공급되어질 카세트를 대기상태로 보관하거나 공정을 마친 카세트를 다음 공정으로 공급하기 전까지 대기상태로 보관하는 역할을 한다. That is, the substrate is stored in a cassette for protection against contamination in the process of being returned from each process, and the cassette is stored in a stocker provided for each process. The stoker stores the cassettes to be supplied to the other process in a standby state or holds the processed cassettes in a standby state until they are supplied to the next process.

본 발명의 실시예들은 카세트의 내부를 퍼지할 수 있는 카세트 스토커 및 그것을 갖는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.Embodiments of the present invention are to provide a cassette stocker capable of purging the interior of a cassette and a substrate processing apparatus having the cassette stocker.

본 발명의 실시예들은 카세트가 수납 선반에 수납되어 있는 경우에만 카세트 내부를 불활성 가스로 치환할 수 있는 카세트 스토커 및 그것을 갖는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.Embodiments of the present invention are to provide a cassette stocker capable of replacing the inside of a cassette with an inert gas only when the cassette is housed in a storage rack, and a substrate processing apparatus having the cassette stocker.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 측면에 따르면, 카세트가 안착되는 선반; 상기 선반의 중심부를 관통하여 설치되고, 상기 선반이 다단으로 설치되는 샤프트; 및 상기 카세트가 상기 선반에 안착되면 상기 카세트 내부를 퍼지가스로 충진하기 위한 퍼지 부재를 포함하는 카세트 스토커가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a shelf in which a cassette is seated; A shaft installed through the center of the shelf and having the shelves installed in multiple stages; And a purge member for filling the inside of the cassette with the purge gas when the cassette is seated on the shelf.

또한, 상기 카세트는 내부공간으로 퍼지가스가 유입되는 인렛(inlet)부와, 내부공간으로부터 기체가 배출되는 아웃렛(outlet)부가 저면에 형성된 용기 몸체를 포함하고, 상기 퍼지 부재는 상기 선반의 상면에 설치되고 상기 카세트의 상기 인렛부에 삽입되는 공급 포트; 상기 공급포트와 연결되고, 퍼지 가스를 공급하는 공급라인; 상기 공급라인상에 설치되는 개폐밸브; 및 상기 퍼지 가스의 공급을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.The cassette further includes an inlet portion through which the purge gas flows into the inner space and a container body formed on the bottom surface of the outlet portion through which the gas is discharged from the inner space. A supply port installed and inserted into the inlet portion of the cassette; A supply line connected to the supply port and supplying purge gas; An on-off valve installed on the supply line; And a control unit for controlling supply of the purge gas.

또한, 상기 퍼지 부재는 상기 개폐밸브와 상기 공급포트 사이에 설치되는 필터를 더 포함할 수 있다.In addition, the purge member may further include a filter provided between the opening / closing valve and the supply port.

또한, 상기 선반에 설치되고, 카세트의 안착 여부를 감지하는 감지기를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 감지기로부터 카세트 감지신호를 제공받아 상기 개폐밸브를 제어할 수 있다.The apparatus may further include a sensor installed on the shelf for detecting whether the cassette is seated, and the controller may receive the cassette sensing signal from the sensor and control the opening / closing valve.

또한, 상기 선반은 상기 카세트의 상기 아웃렛(outlet)부와 대향되는 위치에 형성되는 관통구를 더 포함할 수 있다.The shelf may further include a through-hole formed at a position opposite to the outlet of the cassette.

또한, 상기 선반은 원주방향을 따라 등각도 간격으로 4개의 지지부를 갖고, 상기 지지부들 사이에는 컷아웃(cutout)이 형성될 수 있다.In addition, the shelf has four supports at regular angular intervals along the circumferential direction, and a cutout may be formed between the supports.

또한, 상기 카세트 스토커는 상기 샤프트를 회전시키는 회전 구동부를 더 포함할 수 있다.In addition, the cassette stocker may further include a rotation driving unit for rotating the shaft.

또한, 상기 공급라인은 상기 샤프트의 회전에 의한 꼬임방지를 위해 스파이럴 형상으로 권선되는 스파이럴 공급라인을 더 포함할 수 있다.The supply line may further include a spiral supply line wound in a spiral shape to prevent twisting due to rotation of the shaft.

본 발명의 일 측면에 따르면, 일면에 카세트가 놓여지는 로드포트를 갖는 챔버; 상기 챔버 내부에 설치되고, 카세트가 수납되는 카세트 스토커; 및 상기 카세트 스토커로 카세트를 반송하는 카세트 반송 유닛을 포함하되; 상기 카세트 스토커는 카세트가 안착되는 선반; 상기 선반의 중심부를 관통하여 설치되고, 상기 선반이 다단으로 설치되는 샤프트; 상기 샤프트를 회전시키는 회전 구동부; 및 상기 카세트가 상기 선반에 안착되면 상기 카세트 내부를 퍼지가스로 충진하기 위한 퍼지 부재를 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the invention, there is provided a chamber comprising: a chamber having a load port on one side of which a cassette is placed; A cassette stocker installed inside the chamber and accommodating the cassette; And a cassette transport unit for transporting the cassette to the cassette stocker; Wherein the cassette stocker comprises: a shelf on which the cassette is seated; A shaft installed through the center of the shelf and having the shelves installed in multiple stages; A rotation driving unit for rotating the shaft; And a purge member for filling the inside of the cassette with purge gas when the cassette is seated on the shelf.

또한, 상기 카세트는 내부공간으로 퍼지가스가 유입되는 인렛(inlet)부와, 내부공간으로부터 기체가 배출되는 아웃렛(outlet)부가 저면에 형성된 용기 몸체를 포함하고, 상기 퍼지 부재는 상기 선반의 상면에 설치되고 상기 카세트의 상기 인렛부에 삽입되는 공급 포트; 상기 공급포트와 연결되고, 퍼지 가스를 공급하는 공급라인; 상기 공급라인상에 설치되는 개폐밸브; 상기 선반에 설치되어 카세트의 안착 여부를 감지하는 감지기; 상기 감지기로부터 카세트 감지신호를 제공받아 상기 개폐밸브를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.The cassette further includes an inlet portion through which the purge gas flows into the inner space and a container body formed on the bottom surface of the outlet portion through which the gas is discharged from the inner space. A supply port installed and inserted into the inlet portion of the cassette; A supply line connected to the supply port and supplying purge gas; An on-off valve installed on the supply line; A sensor installed on the shelf and detecting whether the cassette is seated; And a controller for receiving the cassette sensing signal from the sensor and controlling the opening / closing valve.

또한, 상기 개폐 밸브는 상기 선반의 끝단에 설치될 수 있다.Further, the opening / closing valve may be installed at an end of the shelf.

또한, 상기 선반은 상기 카세트의 상기 아웃렛(outlet)부와 대향되는 위치에 형성되는 관통구를 더 포함할 수 있다.The shelf may further include a through-hole formed at a position opposite to the outlet of the cassette.

또한, 상기 선반은 원주방향을 따라 등각도 간격으로 4개의 지지부를 갖고, 상기 지지부들 사이에는 컷아웃이 형성될 수 있다.In addition, the shelf has four supports at regular angular intervals along the circumferential direction, and a cutout may be formed between the supports.

또한, 상기 공급라인은 상기 샤프트의 회전에 의한 꼬임방지를 위해 스파이럴 형상으로 권선되는 스파이럴 공급라인을 더 포함할 수 있다.The supply line may further include a spiral supply line wound in a spiral shape to prevent twisting due to rotation of the shaft.

본 발명에 의하면, 카세트가 수납선반에 보관될 때 카세트 내부를 불활성가스로 치환하여 카세트에 적재된 기판의 자연산화막 형성, 유기물 부착 등으로 인한 불량 발생을 최소화할 수 있다.According to the present invention, when a cassette is stored in a storage rack, the inside of the cassette is replaced with an inert gas, so that occurrence of defects due to formation of a natural oxide film and adhesion of organic substances on the cassette can be minimized.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 카세트 스토커의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 카세트 스토커의 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 카세트 스토커의 측면도이다.
도 5는 퍼지부재의 구성을 설명하기 위한 개략도이다. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of the cassette stocker shown in Fig.
3 is a plan view of the cassette stocker shown in Fig.
4 is a side view of the cassette stocker shown in Fig.
Fig. 5 is a schematic view for explaining the configuration of the purge member. Fig.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 5를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings 1 to 5. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. Thus, the shape of the elements in the figures has been exaggerated to emphasize a clearer description. In the drawings, the same reference numerals are assigned to components that perform the same function.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 보여주는 단면도이다. 도 1에서 상하, 좌우를 각기 상하, 좌우라고 설명한다.1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. In Fig. 1, the vertical direction and the horizontal direction are respectively referred to as vertical and horizontal directions.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 직방체 형상의 밀폐된 챔버(10)를 구비한다. 챔버(10)는 좌측 측벽(11)에 카세트(C)가 출입할 수 있는 카세트 출입구(12)와, 카세트가 안착되는 로드 포트(13)가 제공된다. 챔버(10)는 카세트 반송실(2)과 기판 반송실(3) 그리고 반응로(4)를 포함한다. 카세트 반송실(2)과 기판 반송실(3)을 구획하는 부분에는 카세트(C)가 놓여지는 카세트 오프너(14)가 설치된다. 도시하지 않았지만, 챔버(10)는 내부 공간으로 입자 오염물이 들어오는 것을 방지하기 위하여, 벤트들(vents), 층류 시스템(laminar flow system)과 같은 제어된 공기 유동 시스템을 포함할 수 있다. Referring to Fig. 1, the substrate processing apparatus 1 has a closed chamber 10 having a rectangular parallelepiped shape. The chamber 10 is provided with a cassette entrance 12 through which the cassette C can enter and exit the left side wall 11 and a load port 13 on which the cassette is placed. The chamber 10 includes a cassette transport chamber 2, a substrate transport chamber 3, and a reaction chamber 4. A cassette opener 14 in which a cassette C is placed is provided at a portion where the cassette transport chamber 2 and the substrate transport chamber 3 are partitioned. Although not shown, the chamber 10 may include a controlled airflow system, such as vents, a laminar flow system, to prevent particulate contaminants from entering the interior space.

카세트 반송실(2)에는 카세트 반송 유닛(20)과, 카세트(C)가 보관되는 카세트 스토커(100)가 설치된다. In the cassette transportation chamber 2, a cassette transport unit 20 and a cassette stocker 100 for storing the cassette C are provided.

카세트 반송 유닛(20)은 승강이동, 회전이동, 진퇴이동으로 카세트 반송실 내에서의 카세트 반송을 담당한다. 카세트 반송 유닛(20)은 로드포트(13)와 카세트 스토커(100) 그리고 카세트 오프너(14) 간의 카세트(C)를 이송시키도록 구성된다. 카세트 스토커(100)는 카세트(C)를 수납할 수 있는 선반(110)이 4단으로 제공되며, 카세트 스토커(100)에 대해서는 아래에서 좀 더 구체적으로 설명하기로 한다. The cassette transportation unit 20 takes charge of cassette transportation in the cassette transportation chamber by elevating movement, rotation movement, and back and forth movement. The cassette transport unit 20 is configured to transport the cassette C between the load port 13 and the cassette stocker 100 and the cassette opener 14. [ The cassette stocker 100 is provided with a shelf 110 capable of accommodating the cassette C in four stages, and the cassette stocker 100 will be described in more detail below.

기판 반송실(3)에는 기판을 반송하는 기판 반송 유닛(16)과 기판들이 적재되는 보우트(18)가 설치된다. 보우트(18)는 보우트 승강장치(미도시됨)에 의해 반응로(4)로 로딩/언로딩된다. 반응로는 히터와 공정튜브를 갖는 열처리로이다. A substrate transfer unit (16) for transferring a substrate and a boat (18) for loading substrates are provided in the substrate transfer chamber (3). The boat 18 is loaded / unloaded into the reactor 4 by a boat elevator (not shown). The reaction furnace is a heat treatment furnace having a heater and a process tube.

도 2는 도 1에 도시된 카세트 스토커의 사시도이다. 도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 카세트 스토커의 평면도 및 측면도이다.2 is a perspective view of the cassette stocker shown in Fig. 3 and 4 are a plan view and a side view of the cassette stocker shown in Fig.

카세트(C)는 전면 개방 일체식 포드(front open unified pod)로써, 전방이 개방된 용기(30)와 용기(30)의 전방을 개폐하는 도어(32)를 포함한다. 용기(30)의 저면에는 기체가 공급되거나 배출될 수 있는 인렛(inlet)부(34)와 아웃렛(outlet)부(36)가 제공된다. 인렛부(34)는 내부공간으로 퍼지가스가 유입되는 통로이고, 아웃렛부(36)는 내부공간으로부터 기체가 배출되는 통로이다. 아웃렛부(36)는 인렛부(34)를 통해 퍼지가스가 공급되어 카세트 내부의 압력이 상승되면 자동적으로 개방되는 타입으로 제공된다. The cassette C is a front open unified pod and includes a container 30 that is opened frontward and a door 32 that opens and closes the front of the container 30. The bottom of the container 30 is provided with an inlet portion 34 and an outlet portion 36 through which gas can be supplied or discharged. The inlet portion 34 is a passage through which the purge gas flows into the inner space, and the outlet portion 36 is a passage through which gas is discharged from the inner space. The outlet portion 36 is provided with a type in which purge gas is supplied through the inlet portion 34 and automatically opened when the pressure inside the cassette is increased.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 카세트 스토커(100)는 샤프트(102), 선반(110), 회전 구동부(104) 그리고 퍼지 부재(120)를 포함한다. 2 to 4, the cassette stocker 100 includes a shaft 102, a shelf 110, a rotation driving unit 104, and a purge member 120. [

선반(110)은 동일 수직선상에 상하 방향으로 소정 간견을 두고 배치되며, 수직한 샤프트(102)에 고정 설치된다. 회전 구동부(104)는 샤프트(102) 하단에 설치되며, 샤프트(102)는 회전 구동부(104)에 의해 회전된다. 각 단의 선반(110)은 4개의 카세트(C)를 수납할 수 있도록 제공되며, 카세트(C)는 카세트 스토커(100)에 16개까지 수납될 수 있다. The shelves 110 are arranged on the same vertical line with a predetermined gap in the vertical direction, and fixed to the vertical shaft 102. The rotation driving unit 104 is installed at the lower end of the shaft 102, and the shaft 102 is rotated by the rotation driving unit 104. Each stage shelf 110 is provided to accommodate four cassettes C and the cassette C can be accommodated up to 16 in the cassette stocker 100.

선반(110)은 원주방향을 따라 등각도 간격으로 4개의 지지부(112)를 갖으며, 지지부들 사이에는 컷아웃(cutout)(114)이 형성된다. 컷아웃(114)은 카세트 반송 유닛(20)의 앤드이펙터(22)보다 다소 큰 직경을 갖는다. 카세트 반송 유닛(20)가 카세트(C)를 카세트 스토커(100)의 선반(110)으로 이송시킬 때, 앤드이펙터(22)는 선반(110) 내의 하나의 컷아웃(114)을 통해 하향되어 선반(110)의 지지부(112) 상에 카세트(C)를 적치하게 된다. 그리고 나서 카세트 반송 유닛(20)은 카세트 스토커(100)로부터 철수된다. 선반(110)은 카세트(C)의 저면에 형성된 고정홀들에 삽입되는 고정핀(119)들을 갖는다. 선반(110)은 카세트(C)가 놓여졌을 때 카세트(C)의 아웃렛부(36)와 마주하는 위치에 관통공(118)이 형성된다. 관통공(118)에 의해 기체는 아웃렛부(36)로부터 원활하게 배출될 수 있다. The shelf 110 has four supports 112 at equal angular intervals along the circumferential direction and a cutout 114 is formed between the supports. The cutout 114 has a slightly larger diameter than the end effector 22 of the cassette transport unit 20. [ When the cassette transport unit 20 transports the cassette C to the shelf 110 of the cassette stocker 100, the end effector 22 is lowered through one cutout 114 in the shelf 110, The cassette C is mounted on the support portion 112 of the cassette 110. Then, the cassette transport unit 20 is evacuated from the cassette stocker 100. The shelf 110 has fixing pins 119 which are inserted into fixing holes formed in the bottom surface of the cassette C. [ The shelf 110 is formed with a through hole 118 at a position facing the outlet portion 36 of the cassette C when the cassette C is placed. The gas can be smoothly discharged from the outlet portion 36 by the through hole 118.

도 5는 퍼지부재의 구성을 설명하기 위한 개략도이다. Fig. 5 is a schematic view for explaining the configuration of the purge member. Fig.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 퍼지부재(120)는 선반(110)에 안착된 카세트 내부를 퍼지가스로 충진하기 위한 것이다. 퍼지 부재(120)는 공급포트(130), 공급라인(140), 개폐밸브(150), 필터(160), 감지기(170) 그리고 제어부(180)를 포함한다. 2 to 5, the purge member 120 is for purging the inside of the cassette placed on the shelf 110 with purge gas. The purge member 120 includes a supply port 130, a supply line 140, an on-off valve 150, a filter 160, a detector 170, and a control unit 180.

공급라인(140)은 퍼지가스 공급원과 연결된 외부라인(142)과 연결되는 스파이럴 공급라인(144), 샤프트(102)를 따라 수직하게 설치되고 스파이럴 공급라인(144)과 연결되는 메인라인(146), 메인라인(146)으로부터 분기되고 개폐밸브(150)와 필터(160)가 설치되고 공급포트(130)와 연결되는 분기라인(148)을 포함한다. The supply line 140 includes a spiral supply line 144 connected to an external line 142 connected to the purge gas source, a main line 146 vertically installed along the shaft 102 and connected to the spiral supply line 144, And a branch line 148 branched from the main line 146 and provided with an on-off valve 150 and a filter 160 and connected to the supply port 130.

스파이럴 공급라인(144)은 카세트 스토커(100)의 상부에 위치된다. 스파이럴 공급라인(144)은 샤프트(102)의 회전에 의한 꼬임방지를 위해 스파이럴 형상으로 권선되어 샤프트 회전 동작시 샤프트(102)와 함께 회전되는 메인라인(146)의 풀림 및 꼬임을 최소화한다. The spiral feed line 144 is located on top of the cassette stocker 100. The spiral feed line 144 is wound in a spiral shape to prevent twisting by rotation of the shaft 102 to minimize unwinding and twisting of the main line 146 rotated with the shaft 102 during shaft rotation operation.

개폐밸브(150)와 필터(160)는 카세트(C)와 간섭이 발생되지 않도록 지지부(112)의 끝단과 지지부(112) 중간에 설치된다. 감지기(170)는 카세트(C)의 안착 여부를 감지하기 위해 지지부(112) 상면에 설치된다. The opening and closing valve 150 and the filter 160 are installed between the end of the supporting part 112 and the supporting part 112 so that interference with the cassette C is not generated. The sensor 170 is installed on the upper surface of the support portion 112 to detect whether or not the cassette C is seated.

공급포트(130)는 지지부(112) 상면에 감지기(170)와 인접하게 설치된다. 공급포트(130)는 지지부(112) 상면으로부터 돌출되어 형성되고, 카세트(C)가 지지부(112)에 안착되면 인렛부(34)에 삽입되고, 인렛부(34)에 설치된 마개(미도시됨)는 공급포트(130)에 의해 오픈된다. The supply port 130 is installed adjacent to the sensor 170 on the upper surface of the support portion 112. The supply port 130 protrudes from the upper surface of the support portion 112 and is inserted into the inlet portion 34 when the cassette C is seated in the support portion 112, Is opened by the supply port 130. [

제어부(180)는 감지기(170)로부터 카세트 감지신호를 제공받아 개폐밸브(150)를 제어한다. 퍼지부재(120)는 카세트가 선반에 안착된 경우에만 퍼지가스를 공급함으로 퍼지 가스의 불필요한 사용을 절감할 수 있다.The control unit 180 receives the cassette sensing signal from the sensor 170 and controls the opening / closing valve 150. The purge member 120 can reduce the unnecessary use of the purge gas by supplying the purge gas only when the cassette is seated on the shelf.

본 발명에 의하면, 카세트 스토커(100)에 보관되는 카세트(C)는 내부에 퍼지 가스가 공급되고, 카세트 내부의 오염원은 가스 흐름에 편승되어 외부로 배출된다. 퍼지 가스에는 질소가스, 헬륨가스 등과 같은 불활성 가스가 사용된다. According to the present invention, the cassette (C) stored in the cassette stocker (100) is supplied with the purge gas therein, and the contamination source inside the cassette is piled up in the gas flow and discharged to the outside. As the purge gas, an inert gas such as nitrogen gas, helium gas or the like is used.

이상에서, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.While the invention has been shown and described with reference to certain embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. Of course.

100 : 카세트 스토커 102 : 샤프트
104 : 회전 구동부 110 : 선반
120 : 퍼지 부재 100: cassette stocker 102: shaft
104: rotation drive part 110: shelf
120: purge member

Claims (14)

카세트 스토커에 있어서:
카세트가 안착되는 선반;
상기 선반의 중심부를 관통하여 설치되고, 상기 선반이 다단으로 설치되는 샤프트; 및
상기 카세트가 상기 선반에 안착되면 상기 카세트 내부를 퍼지가스로 충진하기 위한 퍼지 부재를 포함하는 카세트 스토커.In the cassette stocker:
A shelf on which the cassette is seated;
A shaft installed through the center of the shelf, the shelf being installed in multiple stages; And
And a purge member configured to fill the cassette with purge gas when the cassette is seated on the shelf. 제1항에 있어서.
상기 카세트는
내부공간으로 퍼지가스가 유입되는 인렛(inlet)부와, 내부공간으로부터 기체가 배출되는 아웃렛(outlet)부가 저면에 형성된 용기 몸체를 포함하고,
상기 퍼지 부재는
상기 선반의 상면에 설치되고 상기 카세트의 상기 인렛부에 삽입되는 공급 포트;
상기 공급포트와 연결되고, 퍼지 가스를 공급하는 공급라인;
상기 공급라인상에 설치되는 개폐밸브; 및
상기 퍼지 가스의 공급을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 스토커.The method of claim 1,
The cassette is
An inlet portion through which purge gas flows into the inner space, and an outlet portion through which gas is discharged from the inner space, and a container body formed on a bottom surface thereof,
The purge member
A supply port installed on an upper surface of the shelf and inserted into the inlet portion of the cassette;
A supply line connected to the supply port and supplying purge gas;
An on-off valve installed on the supply line; And
And a control unit for controlling the supply of the purge gas. 제2항에 있어서.
상기 퍼지 부재는
상기 개폐밸브와 상기 공급포트 사이에 설치되는 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 스토커.The method of claim 2,
The purge member
Further comprising a filter provided between the on-off valve and the supply port. 제2항에 있어서.
상기 선반에 설치되고, 카세트의 안착 여부를 감지하는 감지기를 더 포함하고,
상기 제어부는 상기 감지기로부터 카세트 감지신호를 제공받아 상기 개폐밸브를 제어하는 것을 특징으로 하는 카세트 스토커. The method of claim 2,
Further comprising a sensor installed on the shelf and detecting whether the cassette is seated,
Wherein the control unit controls the opening / closing valve by receiving a cassette sensing signal from the sensor. 제2항에 있어서.
상기 선반은
상기 카세트의 상기 아웃렛(outlet)부와 대향되는 위치에 형성되는 관통구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 스토커. The method of claim 2,
The shelf
Further comprising a through-hole formed at a position opposite to the outlet of the cassette. 제1항 또는 제2항에 있어서.
상기 선반은
원주방향을 따라 등각도 간격으로 4개의 지지부를 갖고, 상기 지지부들 사이에는 컷아웃(cutout)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 카세트 스토커. 3. The method according to claim 1 or 2,
The shelf
Wherein the cassette stocker has four support portions at equal angular intervals along the circumferential direction, and a cutout is formed between the support portions. 제1항 또는 제2항에 있어서.
상기 카세트 스토커는
상기 샤프트를 회전시키는 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 스토커. 3. The method according to claim 1 or 2,
The cassette stocker
Cassette stocker further comprises a rotation drive for rotating the shaft. 제7항에 있어서.
상기 공급라인은
상기 샤프트의 회전에 의한 꼬임방지를 위해 스파이럴 형상으로 권선되는 스파이럴 공급라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 스토커. The method of claim 7,
The supply line
Cassette stocker further comprises a spiral supply line wound in a spiral shape to prevent twisting by the rotation of the shaft. 기판 처리 장치에 있어서:
일면에 카세트가 놓여지는 로드포트를 갖는 챔버;
상기 챔버 내부에 설치되고, 카세트가 수납되는 카세트 스토커; 및
상기 카세트 스토커로 카세트를 반송하는 카세트 반송 유닛을 포함하되;
상기 카세트 스토커는
카세트가 안착되는 선반;
상기 선반의 중심부를 관통하여 설치되고, 상기 선반이 다단으로 설치되는 샤프트;
상기 샤프트를 회전시키는 회전 구동부; 및
상기 카세트가 상기 선반에 안착되면 상기 카세트 내부를 퍼지가스로 충진하기 위한 퍼지 부재를 포함하는 기판 처리 장치.A substrate processing apparatus comprising:
A chamber having a load port on which a cassette is placed;
A cassette stocker installed inside the chamber and accommodating the cassette; And
And a cassette transport unit for transporting the cassette to the cassette stocker;
The cassette stocker
A shelf on which the cassette is seated;
A shaft installed through the center of the shelf and having the shelves installed in multiple stages;
A rotation driving unit for rotating the shaft; And
And a purge member for filling the cassette with purge gas when the cassette is seated on the shelf. 제9항에 있어서.
상기 카세트는
내부공간으로 퍼지가스가 유입되는 인렛(inlet)부와, 내부공간으로부터 기체가 배출되는 아웃렛(outlet)부가 저면에 형성된 용기 몸체를 포함하고,
상기 퍼지 부재는
상기 선반의 상면에 설치되고 상기 카세트의 상기 인렛부에 삽입되는 공급 포트;
상기 공급포트와 연결되고, 퍼지 가스를 공급하는 공급라인;
상기 공급라인상에 설치되는 개폐밸브;
상기 선반에 설치되어 카세트의 안착 여부를 감지하는 감지기;
상기 감지기로부터 카세트 감지신호를 제공받아 상기 개폐밸브를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The method of claim 9.
The cassette is
An inlet portion through which purge gas flows into the inner space, and an outlet portion through which gas is discharged from the inner space, and a container body formed on a bottom surface thereof,
The purge member
A supply port installed on an upper surface of the shelf and inserted into the inlet portion of the cassette;
A supply line connected to the supply port and supplying purge gas;
An on-off valve installed on the supply line;
A sensor installed on the shelf and detecting whether the cassette is seated;
And a controller configured to receive the cassette detection signal from the detector and control the opening / closing valve. 제10항에 있어서.
상기 개폐 밸브는 상기 선반의 끝단에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.11. The method of claim 10,
Wherein the open / close valve is installed at an end of the shelf. 제10항에 있어서.
상기 선반은
상기 카세트의 상기 아웃렛(outlet)부와 대향되는 위치에 형성되는 관통구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.11. The method of claim 10,
The shelf
Further comprising a through-hole formed at a position opposite to the outlet of the cassette. 제10항에 있어서,
상기 선반은
원주방향을 따라 등각도 간격으로 4개의 지지부를 갖고, 상기 지지부들 사이에는 컷아웃(cutout)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The method of claim 10,
The shelf
Wherein four support portions are provided at equal angular intervals along the circumferential direction, and a cutout is formed between the support portions. 제10항에 있어서.
상기 공급라인은
상기 샤프트의 회전에 의한 꼬임방지를 위해 스파이럴 형상으로 권선되는 스파이럴 공급라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
11. The method of claim 10,
The supply line
Substrate processing apparatus further comprises a spiral supply line wound in a spiral shape to prevent the twist by the rotation of the shaft.
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JP2952748B2 (en) * 1994-11-24 1999-09-27 光洋リンドバーグ株式会社 Heat treatment equipment
KR100730736B1 (en) * 2005-11-29 2007-06-21 세메스 주식회사 Apparatus for fabricating semiconductor device
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