KR20110020049A - Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and methode of fabricating the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유기전계 발광소자(Organic Electroluminescent Device)에 관한 것이며, 특히 인셀 타입으로 터치 센서(touch sensor)가 내장된 유기전계 발광 소자 및 이의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an organic electroluminescent device having a touch sensor built in an in-cell type and a method of manufacturing the same.
평판 디스플레이(FPD ; Flat Panel Display)중 하나인 유기전계 발광소자는 높은 휘도와 낮은 동작 전압 특성을 갖는다. 또한 스스로 빛을 내는 자체발광형이기 때문에 명암대비(contrast ratio)가 크고, 초박형 디스플레이의 구현이 가능하며, 응답시간이 수 마이크로초(㎲) 정도로 동화상 구현이 쉽고, 시야각의 제한이 없으며 저온에서도 안정적이고, 직류의 5V 내지 15V의 낮은 전압으로 구동하므로 구동회로의 제작 및 설계가 용이하다.The organic light emitting diode, which is one of the flat panel displays (FPDs), has high luminance and low operating voltage characteristics. In addition, the self-luminous self-illuminating type provides high contrast ratio, enables ultra-thin display, easy response time with several microsecond response time, no restriction on viewing angle, and stable at low temperatures. Since it is driven at a low voltage of 5V to 15V of DC, it is easy to manufacture and design a driving circuit.
이러한 특성을 갖는 유기전계 발광소자는 크게 패시브 매트릭스 타입과 액티 브 매트릭스 타입으로 나뉘어지는데, 패시브 매트릭스 방식에서는 주사선(scan line)과 신호선(signal line)이 교차하면서 매트릭스 형태로 소자를 구성하므로, 각각의 픽셀을 구동하기 위하여 주사선을 시간에 따라 순차적으로 구동하므로, 요구되는 평균 휘도를 나타내기 위해서는 평균 휘도에 라인수를 곱한 것 만큼의 순간 휘도를 내야만 한다. The organic light emitting device having such characteristics is largely divided into a passive matrix type and an active matrix type. In the passive matrix method, since the scan line and the signal line cross each other and constitute the device in a matrix form, Since the scanning lines are sequentially driven in time to drive the pixels, in order to represent the required average luminance, the instantaneous luminance must be equal to the average luminance multiplied by the number of lines.
그러나, 액티브 매트릭스 방식에서는, 화소(pixel)를 온(on)/오프(off)하는 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 화소(pixel)별로 위치하고, 이 박막트랜지스터와 연결된 제 1 전극은 화소 단위로 온(on)/오프(off)되고, 상기 제 1 전극과 대향하는 제 2 전극은 전면에 형성되어 공통전극이 된다. However, in the active matrix method, a thin film transistor, which is a switching element for turning on / off a pixel, is positioned for each pixel, and the first electrode connected to the thin film transistor is turned on per pixel. The second electrode which is turned on / off and opposes the first electrode is formed on the entire surface to become a common electrode.
그리고, 상기 액티브 매트릭스 방식에서는 픽셀에 인가된 전압이 스토리지 커패시터(CST ; storage capacitor)에 충전되어 있어, 그 다음 프레임(frame) 신호가 인가될 때까지 전원을 인가해 주도록 함으로써, 주사선 수에 관계없이 한 화면동안 계속해서 구동한다. 따라서, 낮은 전류를 인가하더라도 동일한 휘도를 나타내므로 저소비전력, 고정세, 대형화가 가능한 장점을 가지므로 최근에는 액티브 매트릭스 타입의 유기전계 발광소자가 주로 이용되고 있다. In the active matrix method, a voltage applied to a pixel is charged in a storage capacitor (C ST ), and the power is applied until the next frame signal is applied, thereby relating to the number of scan lines. Run continuously for one screen without Therefore, since low luminance, high definition, and large size can be obtained even when a low current is applied, an active matrix type organic light emitting diode is mainly used in recent years.
이하, 이러한 액티브 매트릭스형 유기전계 발광소자의 기본적인 구조 및 동작특성에 대해서 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, the basic structure and operation characteristics of the active matrix organic light emitting diode will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 일반적인 액티브 매트릭스형 유기전계 발광소자의 한 화소에 대한 회로도이다. 1 is a circuit diagram of one pixel of a typical active matrix organic electroluminescent device.
도시한 바와 같이 액티브 매트릭스형 유기전계발광 소자의 하나의 화소는 스위칭(switching) 박막트랜지스터(STr)와 구동(driving) 박막트랜지스터(DTr), 스토리지 캐패시터(StgC), 그리고 유기전계발광 다이오드(E)로 이루어진다. As illustrated, one pixel of the active matrix organic light emitting diode is a switching thin film transistor STr, a driving thin film transistor DTr, a storage capacitor StgC, and an organic light emitting diode E. Is made of.
즉, 제 1 방향으로 게이트 배선(GL)이 형성되어 있고, 이 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 형성되어 화소영역(P)을 정의하며 데이터 배선(DL)이 형성되어 있으며, 상기 데이터 배선(DL)과 이격하며 전원전압을 인가하기 위한 전원배선(PL)이 형성되어 있다. That is, the gate line GL is formed in the first direction, is formed in the second direction crossing the first direction to define the pixel region P, and the data line DL is formed. A power supply line PL is formed to be spaced apart from the DL and to apply a power supply voltage.
또한, 상기 데이터 배선(DL)과 게이트 배선(GL)이 교차하는 부분에는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 형성되어 있으며, 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)와 전기적으로 연결된 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있다. In addition, a switching thin film transistor STr is formed at a portion where the data line DL and the gate wiring GL cross, and a driving thin film transistor DTr electrically connected to the switching thin film transistor STr is formed. have.
이때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)는 유기전계 발광 다이오드(E)와 전기적으로 연결되고 있다. 즉, 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 일측 단자인 제 1 전극은 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극과 연결되고, 타측 단자인 제 2 전극은 전원배선(PL)과 연결되고 있다. 이때, 상기 전원배선(PL)은 전원전압을 상기 유기전계발광 다이오드(E)로 전달하게 된다. 또한, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극과 소스 전극 사이에는 스토리지 커패시터(StgC)가 형성되고 있다. In this case, the driving thin film transistor DTr is electrically connected to the organic light emitting diode E. That is, the first electrode, which is one terminal of the organic light emitting diode E, is connected to the drain electrode of the driving thin film transistor DTr, and the second electrode, which is the other terminal, is connected to the power line PL. In this case, the power line PL transfers a power supply voltage to the organic light emitting diode E. In addition, a storage capacitor StgC is formed between the gate electrode and the source electrode of the driving thin film transistor DTr.
따라서, 상기 게이트 배선(GL)을 통해 신호가 인가되면 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 온(on) 되고, 상기 데이터 배선(DL)의 신호가 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극에 전달되어 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 되므로 유기 전계발광 다이오드(E)를 통해 빛이 출력된다. 이때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 상태가 되면, 전원배선(PL)으로부터 유기전계 발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨이 정해지며 이로 인해 상기 유기전계발광 다이오드(E)는 그레이 스케일(gray scale)을 구현할 수 있게 되며, 상기 스토리지 커패시터(StgC)는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 되었을 때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전압을 일정하게 유지시키는 역할을 함으로써 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 상태가 되더라도 다음 프레임(frame)까지 상기 유기전계발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨을 일정하게 유지할 수 있게 된다.Therefore, when a signal is applied through the gate line GL, the switching thin film transistor STr is turned on, and the signal of the data line DL is transferred to the gate electrode of the driving thin film transistor DTr to drive the driving signal. Since the thin film transistor DTr is turned on, light is output through the organic electroluminescent diode E. At this time, when the driving thin film transistor DTr is in an on state, the level of the current flowing from the power supply line PL to the organic light emitting diode E is determined, and thus the organic light emitting diode E is The gray scale may be implemented, and the storage capacitor StgC maintains the gate voltage of the driving thin film transistor DTr constant when the switching thin film transistor STr is turned off. As a result, even when the switching thin film transistor STr is turned off, the level of the current flowing through the organic light emitting diode E may be maintained until the next frame.
도 2는 종래의 일반적인 유기전계 발광소자에 대한 개략적인 단면도이다. 2 is a schematic cross-sectional view of a conventional organic EL device.
도시한 바와 같이, 제 1, 2 기판(10, 70)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 제 1, 2 기판(10, 70)의 가장자리부는 씰패턴(seal pattern)(80)에 의해 봉지되어 있으며, 제 1 기판(10)의 상부에는 각 화소영역(P)별로 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있고, 상기 각각의 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결되어 제 1 전극(47)이 형성되어 있고, 상기 제 1 전극(47) 상부에는 적(Red), 녹(Green), 청(Blue)색에 대응되는 발광물질을 포함하는 유기 발광층(55)이 형성되어 있고, 유기 발광층(55) 상부에는 전면에 제 2 전극(58)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1, 2 전극(47, 58)은 상기 유기 발광층(55)에 전계를 인가해주는 역할을 한다. As illustrated, the first and
그리고, 전술한 씰패턴(80)에 의해서 상기 제 1 기판(10) 상에 형성된 제 2 전극(47)과 제 2 기판(58)은 일정간격 이격하고 있다. The
도 3은 종래의 일반적인 유기전계 발광소자의 구동 박막트랜지스터를 포함하 는 하나의 화소영역에 대한 단면도이다. 3 is a cross-sectional view of one pixel area including a driving thin film transistor of a conventional organic EL device.
도시한 바와 같이, 제 1 기판(10) 상에는 순수 폴리실리콘의 제 1 영역(13a)과 불순물이 도핑된 제 2 영역(13b)으로 구성된 반도체층(13), 게이트 절연막(16), 게이트 전극(20), 상기 제 2 영역(13b)을 각각 노출시키는 반도체층 콘택홀(25)을 갖는 층간절연막(23), 소스 및 드레인 전극(33, 36)이 순차적으로 적층 형성되어 구동 박막트랜지스터(DTr)를 구성하고 있으며, 상기 소스 및 드레인 전극(33, 36)은 각각 전원배선(미도시) 및 유기전계 발광 다이오드(E)와 연결되어 있다. As shown, on the
또한, 상기 유기전계 발광 다이오드(E)는 유기 발광층(55)이 개재된 상태로 서로 대향된 제 1 전극(47) 및 제 2 전극(58)으로 구성된다. 이때 상기 제 1 전극(47)은 각 화소영역(P)별로 구동 박막트랜지스터(DTr)의 일전극과 접촉하며 형성되고 있으며, 상기 제 2 전극(58)은 상기 유기 발광층(55) 위로 전면에 형성되고 있다.In addition, the organic light emitting diode E includes a
또한, 전술한 구조를 갖는 제 1 기판(10)과 마주하며 인캡슐레이션을 위해 제 2 기판(70)이 구성되고 있다.In addition, the
한편, 상기 제 1 전극(47)은 특히, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 p타입인 경우, 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지고 있으며, 제 2 전극(58)은 캐소드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al)으로서 이루어지고 있다. On the other hand, the
한편, 근래에 들어서는 개인 휴대가 가능한 휴대폰, PDA 또는 노트북 등에서 터치 센서가 내장된 제품이 출시되어 사용자의 많은 관심을 끌고 있으며, 유기전계 발광소자 또한 이러한 제품에 모두 표시장치로 이용되고 있으므로 이러한 추세에 발맞추어 터치 센서가 부착된 제품이 최근 출시되고 있다.On the other hand, in recent years, a product with a touch sensor is introduced in mobile phones, PDAs, and laptops that can be personally carried, and attracts a lot of users' attention, and organic light emitting diodes are also used as display devices in these products. In line with this, products with a touch sensor have recently been released.
도 4는 종래의 터치 센서가 부착된 유기전계 발광소자의 개략적인 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode with a conventional touch sensor.
이러한 종래의 터치 센서를 구비한 유기전계 발광소자(2)는 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr)와 유기전계 발광 다이오드(E)가 형성된 제 1 기판(10)과 이와 마주하는 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(70)으로 구성된 제 1 패널(PA1)과, 상기 제 1 패널(PA1) 외측으로 제 1 점착층(72)을 개재하여 그 하부 및 상부에 각각 터치 제 1 전극(82)과 이격하는 다수의 바(bar) 형태를 갖는 터치 제 2 전극(86)이 구성된 제 3 기판(80)과 제 2 점착층(92)을 개재하여 상기 제 3 기판(80) 외측면에 형성된 보호시트(90)를 포함하여 구성된 제 2 패널(PA2)로 구성되고 있다. The organic
따라서, 종래의 터치 센서가 구비된 유기전계 발광소자(2)는 상기 보호시트(90)를 배제하더라고 총 3개의 기판(10, 70, 90)으로 이루어지고 있음을 알 수 있다.Therefore, it can be seen that the organic
이때, 상기 유기전계 발광소자(2)에 이용되는 기판(10, 70, 90)은 주로 투명한 특성을 갖는 유리기판이 되고 있으며, 이러한 유리기판을 3장 이용하여 터치 센서(TS)를 구비한 유기전계 발광소자(2)를 구성하는 경우 그 두께가 매우 두꺼워지며, 그 무게가 상대적으로 많이 무거워지게 되므로 표시장치의 경량박형의 추세에 역행을 하게되는 문제가 발생하고 있다.In this case, the
또한, 터치 센서(TS) 형성을 위한 별도의 공정 진행을 실시해야 하므로 공정이 복잡해지는 문제가 발생하고 있다. In addition, since a separate process for forming the touch sensor TS needs to be performed, a problem of complicated process occurs.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명은 기판 사용을 최소화함으로써 경량박형의 터치센서를 구비한 유기전계 발광소자를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an organic light emitting device having a light and thin touch sensor by minimizing the use of a substrate.
또한, 터치 센서 구현을 위한 소자를 최소화함으로써 제조 공정을 단순화함으로써 제조 비용을 저감시키는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, another object is to reduce manufacturing costs by simplifying the manufacturing process by minimizing a device for implementing a touch sensor.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자는, 표시영역 다수의 화소영역이 정의되며, 서로 교차하는 게이트 및 데이터 배선과, 전원배선과, 상기 게이트 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와 유기전계 발광 다이오드를 포함하는 제 1 기판과 이와 마주하는 투명한 제 2 기판을 포함하는 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자에 있어서, 상기 각 화소영역 내에 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 형성된 제 1 전극과; 상기 각 화소영 역을 둘러싸며 상기 제 1 전극의 테두리를 덮으며 형성된 버퍼패턴과; 상기 화소영역에 상기 제 1 전극 위로 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 위로 상기 표시영역 전면에 형성된 제 2 전극과; 상기 제 2 전극 상부로 상기 표시영역 전면에 형성된 제 1 물질층과; 상기 제 1 물질층 상부로 다수의 상기 화소영역 중 다수의 특정 화소영역에 대응하여 형성된 터치 전극을 포함하며, 상기 제 2 전극과 상기 제 1 층과 상기 터치 전극은 터치 센서를 이루는 것이 특징이다.In the touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention for achieving the above object, a plurality of pixel regions of a display area are defined, and gate and data lines, power lines, and power lines are connected to each other. A touch sensor in-cell type organic light emitting device comprising a switching thin film transistor, a first substrate including a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor, an organic light emitting diode, and a transparent second substrate facing the pixel; A first electrode formed in contact with the drain electrode of the driving thin film transistor in the region; A buffer pattern formed around the pixel area and covering an edge of the first electrode; An organic emission layer formed on the first electrode in the pixel region; A second electrode formed over the organic light emitting layer on the entire display area; A first material layer formed over the second electrode and over the display area; And a touch electrode formed on the first material layer to correspond to a plurality of specific pixel areas of the plurality of pixel areas, wherein the second electrode, the first layer, and the touch electrode form a touch sensor.
이때, 상기 유기 발광층은 적, 녹, 청색 유기 발광물질로 이루어지며 각 화소영역에는 순차적으로 적, 녹 및 청색 유기 발광층이 형성되어 적, 녹 및 청색을 각각 발광하는 것이 특징이며, 상기 특정 화소영역은, 상기 적, 녹 및 청색을 발광하는 화소영역 중 어느 하나의 색을 발광하는 화소영역이거나, 또는 상기 표시영역에서 1개 내지 10개의 화소영역의 이격간격을 가지며 배치된 화소영역인 것이 특징이다.In this case, the organic light emitting layer is formed of red, green, and blue organic light emitting materials, and red, green, and blue organic light emitting layers are sequentially formed in each pixel area to emit red, green, and blue light, respectively. Is a pixel area that emits any one color among the pixel areas emitting red, green, and blue, or a pixel area having a spacing interval of 1 to 10 pixel areas in the display area. .
또한, 상기 특정 화소영역은, 상기 유기 발광층이 각 화소영역에 순차적으로 적, 녹, 청 및 화이트를 발광하는 유기 발광 물질로 이루어지는 경우, 화이트의 유기 발광층이 형성되어 화이트를 발광하는 화소영역인 것이 특징이다.The specific pixel area may be a pixel area in which a white organic light emitting layer is formed to emit white light when the organic light emitting layer is formed of an organic light emitting material emitting red, green, blue, and white sequentially in each pixel area. It is characteristic.
상기 제 2 기판의 외측면에는 편광판이 구성될 수 있다. The polarizing plate may be configured on the outer surface of the second substrate.
또한, 상기 제 1 전극 하부에는 반사효율이 우수한 알루미늄(Al) 또는 은(Ag) 으로 이루어진 반사판이 형성되며, 상기 제 1 전극은 애노드 전극을 역할을 할 수 있도록 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지며, 상기 제 2 전극은 캐소드 전극을 역 할을 할 수 있도록 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 하나로 이루어지며, 상기 터치 전극은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지며, 이때, 상기 제 1 전극과 상기 유기 발광층 사이에는 정공주입층(hole injection layer)과 정공수송층(hole transporting layer)이 형성되며, 상기 유기 발광층과 상기 제 2 전극 사이에는 전자수송층(electron transporting layer)과 전자주입층(electron injection layer)이 형성될 수 있다. In addition, a reflecting plate made of aluminum (Al) or silver (Ag) having excellent reflection efficiency is formed below the first electrode, and the first electrode has a relatively large work function value to serve as an anode electrode. It is made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), and the second electrode is aluminum (Al), which is a metal material having a relatively low work function value to serve as a cathode electrode, It is made of one of aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), aluminum magnesium alloy (AlMg), the touch electrode is a transparent conductive material indium-tin-oxide (ITO) or indium -Zinc-oxide (IZO), wherein a hole injection layer and a hole transporting layer are formed between the first electrode and the organic light emitting layer, and the organic light emitting layer and the second light emitting layer Between the electrodes An electron transporting layer and an electron injection layer may be formed.
본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 제조 방법은, 표시영역 내에 다수의 화소영역이 정의된 제 1 기판 상에 서로 교차하는 게이트 및 데이터 배선과, 전원배선과, 상기 게이트 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀을 갖는 제 1 보호층을 형성하는 단계와; 상기 제 1 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하는 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 각 화소영역을 둘러싸며 상기 제 1 전극의 테두리를 덮는 버퍼패턴을 형성하는 단계와; 상기 각 화소영역에 상기 제 1 전극 위로 유기 발광층을 각각 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층 위로 상기 표시영역 전면에 제 2 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 2 전극 상부로, 상기 표시영역 전면에 제 2 보호층을 형성하는 단계와; 상기 제 2 보호층 위로 상기 각 화소영역 중 특정 화소영역에 대응하여 터치 전극을 형성하는 단계와; 상기 터치 전극과 마주하도록 상기 제 1 기판과 투명한 제 2 기판을 접착시키는 단계를 포함한다. A method of manufacturing a touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention includes a gate and data wiring, a power wiring, and a gate and data wiring crossing each other on a first substrate having a plurality of pixel regions defined in a display area. Forming a switching thin film transistor connected to the switching thin film transistor and a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor; Forming a first protective layer having a drain contact hole exposing the drain electrode of the driving thin film transistor; Forming a first electrode on the first passivation layer in contact with the drain electrode of the driving thin film transistor through the drain contact hole in each pixel area; Forming a buffer pattern surrounding each pixel area and covering an edge of the first electrode; Forming organic light emitting layers on the first electrodes in the pixel areas, respectively; Forming a second electrode over the display area on the organic light emitting layer; Forming a second passivation layer over the second electrode, over the display area; Forming a touch electrode on the second passivation layer corresponding to a specific pixel area of each pixel area; Bonding the first substrate and the transparent second substrate to face the touch electrode.
이때, 상기 유기 발광층은 적, 녹, 청색을 발광하는 유기 발광물질로 이루어지며, 상기 화소영역은 순차 반복적으로 적, 녹 및 청색 유기 발광층이 각각 형성되어 적, 녹, 및 청색을 발광하도록 하는 경우, 상기 특정 화소영역은 상기 적, 녹, 청색을 발광하는 화소영역 중 어느 한색을 발광하는 화소영역이거나, 또는 1개 내지 10개의 화소영역의 이격간격을 갖도록 배치된 화소영역이 되며, 또는, 상기 유기 발광층은 적, 녹, 청색 이외에 화이트를 발광하는 유기 발광물질을 포함하며, 상기 화소영역은 순차 반복적으로 적, 녹, 청 및 화이트 유기 발광층이 각각 형성되어 적, 녹, 청 및 화이트를 발광하도록 하는 경우, 상기 특정 화소영역은 상기 화이트를 발광하는 화소영역 것이 특징이다.In this case, the organic light emitting layer is made of an organic light emitting material that emits red, green, and blue, and the pixel region is sequentially formed red, green, and blue organic light emitting layer to emit red, green, and blue, respectively. The specific pixel region may be a pixel region that emits any one of the red, green, and blue pixel regions, or may be a pixel region arranged to have a spacing interval of 1 to 10 pixel regions. The organic light emitting layer includes an organic light emitting material that emits white in addition to red, green, and blue, and the pixel region sequentially forms red, green, blue, and white organic light emitting layers to emit red, green, blue, and white, respectively. In this case, the specific pixel area is characterized in that the pixel area for emitting the white light.
또한, 상기 제 2 기판의 외측면에 편광판을 부착하는 단계를 포함한다. The method may further include attaching a polarizing plate to an outer surface of the second substrate.
본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자는 유기전계 발광 다이오드가 형성된 제 1 기판과 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판 사이에 터치를 감지할 수 있는 센서를 구비함으로써 종래의 3개의 기판을 이용하는 것 대비 1개의 기판 사용을 줄임으로써 경략박형을 구현하는 효과가 있다.The touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention includes a sensor capable of detecting a touch between a first substrate on which an organic light emitting diode is formed and a second substrate for encapsulation. By reducing the use of one substrate compared to the one has the effect of implementing a thin thin.
또한, 유기전계 발광 다이오드의 제 2 전극을 터치 센서의 터치 제 1 전극으로 이용함으로써 터치 센서 구현을 위한 구성요소를 최소화함으로써 공정 단순화를 이루며 나아가 제조 비용을 저감 시키는 효과가 있다.In addition, by using the second electrode of the organic light emitting diode as the touch first electrode of the touch sensor, it minimizes the components for implementing the touch sensor to simplify the process and further reduce the manufacturing cost.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위해 스위칭 박막트랜지스터가 형성될 영역을 스위칭 영역, 구동 박막트랜지스터가 형성될 영역을 구동 영역이라 정의한다.5 is a cross-sectional view of a touch sensor in-cell type organic light emitting device according to an exemplary embodiment of the present invention. In this case, for convenience of description, a region in which the switching thin film transistor is to be formed is defined as a switching region and a region in which the driving thin film transistor is to be formed as a driving region.
도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)는 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기전계 발광 다이오드(E) 및 터치 센서가 형성된 제 1 기판(110)과, 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(170)으로 구성되고 있다. As illustrated, the touch sensor in-cell type organic
우선, 제 1 기판(110)의 구성에 대해 설명한다. First, the configuration of the
상기 제 1 기판(110) 상부에는 각 화소영역(P) 내에 순수 폴리실리콘으로 이루어지며 그 중앙부는 채널을 이루는 제 1 영역(113a) 그리고 상기 제 1 영역(113a) 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 제 2 영역(113b)으로 구성된 반도체층(113)이 형성되어 있다. 이때, 상기 반도체층(113)과 상기 제 1 기판(110) 사이에는 전면에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)으로 이루어진 버퍼층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. 상기 버퍼층(미도시)은 상기 반도체층(113)의 결정화 시 유리재질인 상기 제 1 기판(110) 내부로부터 나오는 알 카리 이온의 방출에 의한 상기 반도체층(113)의 특성 저하를 방지하기 위함이다. The upper portion of the
또한, 상기 반도체층(113)을 덮으며 전면에 게이트 절연막(116)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(116) 위로는 상기 반도체층(113)의 제 1 영역(113a)에 대응하여 게이트 전극(120)이 형성되어 있다. 또한, 상기 게이트 절연막(116) 위로는 스위칭 박막트랜지스터(미도시)를 이룰 게이트 전극(미도시)과 연결되며 일방향으로 연장하며 게이트 배선(미도시)이 형성되어 있다. In addition, a
또한, 상기 게이트 전극(120)과 게이트 배선(미도시) 위로 전면에 층간절연막(123)이 형성되어 있다. 이때, 상기 층간절연막(123)과 그 하부의 게이트 절연막(116)은 상기 제 1 영역(113a) 양측면에 위치한 상기 제 2 영역(113b) 각각을 노출시키는 반도체층 콘택홀(125)이 형성되어 있다. In addition, an
다음, 상기 반도체층 콘택홀(125)을 포함하는 층간절연막(123) 상부에는 상기 게이트 배선(미도시)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터 배선(미도시)과, 이와 이격하여 전원배선(미도시)이 형성되고 있다. 또한, 상기 층간절연막(123) 위로 각 구동영역(DA) 및 스위칭 영역(미도시)에는 서로 이격하며 상기 반도체층 콘택홀(125)을 통해 노출된 제 2 영역(113b)과 각각 접촉하며 소스 및 드레인 전극(133, 136)이 형성되어 있다. 이때, 상기 소스 및 드레인 전극(133, 136)과, 이들 전극(133, 136)과 접촉하는 제 2 영역(113b)을 포함하는 반도체층(113)과, 상기 반도체층(113) 상부에 형성된 게이트 절연막(116) 및 게이트 전극(120)은 각각 구동 박막트랜지스터(DTr) 및 스위칭 박막트랜지스터(미도시)를 이룬다. 이때, 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)와 게이 트 배선(미도시) 및 데이터 배선(미도시)과 전기적으로 연결되며 형성되어 있다. 한편, 상기 데이터 배선(미도시)은 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 소스 전극(미도시)과 연결되고 있다. Next, a data line (not shown) intersecting the gate line (not shown) and defining a pixel area (P) on the
이때, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)는 상기 제 2 영역(113b)에 도핑되는 불순물에 따라 p타입 또는 n타입 박막트랜지스터를 이루게 된다. p타입 박막트랜지스터의 경우는 제 2 영역(113b)에 3족의 원소 예를들면 붕소(B)를 도핑함으로써 이루어지게 되며, 캐리어로서 정공이 이용된다. In this case, the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) forms a p-type or n-type thin film transistor according to an impurity doped in the
따라서, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 연결되는 제 1 전극(147)은 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 타입에 따라 애노드 또는 캐소드 전극의 역할을 하게 되는 것이다. 본 발명의 실시예에 있어서는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결된 제 1 전극(147)은 애노드 전극의 역할을 하게 되는 것이 특징이다. Therefore, the
또한, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시) 위로는 전면에 제 1 보호층(140)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1 보호층(140)에는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)이 형성되어 있다. In addition, a
한편, 도면에는 나타나지 않았지만, 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 게이트 전극(미도시)은 상기 게이트 배선(미도시)과 연결되며, 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 소스 전극(미도시)은 상기 데이터 배선(미도시)과 연결된다.Although not shown in the drawings, a gate electrode (not shown) of the switching thin film transistor (not shown) is connected to the gate wiring (not shown), and a source electrode (not shown) of the switching thin film transistor (not shown) is It is connected to the data line (not shown).
또한, 상기 드레인 콘택홀(143)을 구비한 상기 제 1 보호층(140) 위로는 상 기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 상기 드레인 콘택홀(143)을 통해 접촉되며, 각 화소영역(P) 별로 제 1 전극(147)이 형성되어 있다. 이때, 도면에 나타나지 않았지만, 상기 제 1 전극(147)은 이중층 구조를 이루거나 또는 상기 제 1 전극(147) 하부에 반사판(미도시)이 구비되는 것이 광효율 극대화 측면에서 바람직하다. 즉, 상기 제 1 전극(147)이 이중층 구조를 이루는 경우, 상부층(미도시)은 애노드 전극의 역할을 하며, 하부층(미도시)은 반사판의 역할을 할 수 있는 도전성 물질로 각각 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the
조금 더 상세히 설명하면, 상기 제 1 전극(147)의 상부층(미도시)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 크며 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지며, 상기 제 1 전극(147)의 하부층(미도시)은 반사효율이 우수한 금속물질 예를들면 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)으로써 이루어짐으로써 상기 제 1 전극(147) 상부에 형성되는 유기 발광층(155)으로부터 발광된 빛을 상부로 반사시켜 발광 효율을 향상시키는 역할을 하게 된다. 한편, 상기 제 1 전극(147)을 도시한 바와같이 단일층 구조를 이루도록 하는 경우, 상기 제 1 전극(147) 하부에는 전술한 반사효율이 우수한 금속물질로서 반사판(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. In more detail, the upper layer (not shown) of the
다음, 상기 제 1 전극(147) 위로 각 화소영역(P)의 경계에는 각 화소영역(P)을 둘러싸는 형태로 상기 제 1 전극(147)의 테두리와 중첩하도록 버퍼패턴(150)이 형성되어 있다. Next, a
또한, 상기 버퍼패턴(150)으로 둘러싸인 각 화소영역(P)에 있어 상기 제 1 전극(147) 위로는 유기 발광층(155)이 형성되고 있으며, 상기 유기 발광층(155) 위로는 표시영역 전면에 제 2 전극(158)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1, 2 전극(147, 158)과 그 사이에 형성된 유기 발광층(155)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루게 된다.In addition, in each pixel area P surrounded by the
도면에 나타나지 않았지만, 상기 제 1 전극(147)과 유기 발광층(155) 사이 및 상기 유기 발광층(155)과 제 2 전극(158) 사이에는 각각 상기 유기 발광층(155)의 발광 효율 향상을 위해 다층 구조의 제 1 발광보상층(미도시)과 제 2 발광보상층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. 이때, 다층의 상기 제 1 발광보상층(미도시)은 상기 제 1 전극(147)으로부터 순차 적층되며 정공주입층(hole injection layer)과 정공수송층(hole transporting layer)으로 이루어지며, 또한, 상기 제 2 발광보상층(미도시)은 상기 유기 발광층(155)으로부터 전자수송층(electron transporting layer)과 전자주입층(electron injection layer)으로 이루어진다. 상기 다층 구조의 제 1 발광보상층(미도시)과 상기 제 2 발광보상층(미도시)은 상기 표시영역 전면에 판형태로 형성될 수도 있고, 또는 각 화소영역(P)별로 분리 형성될 수도 있다.Although not shown in the figure, a multilayer structure is formed between the
한편, 상기 유기 발광층(155) 상부에 형성된 상기 제 2 전극(158)은 상기 제 1 전극(147)은 캐소드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄 마그네슘 합금(AlMg) 중 하나로 빛의 투과가 이루어지도록 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖도록 형성되는 것이 특징이다.On the other hand, the
다음, 상기 표시영역 전면에 형성된 상기 제 2 전극(158) 위로 상기 유기 발광층(155)의 광효율을 향상시키고, 상기 제 2 전극(158)의 보호와 상기 유기 발광층(155)으로의 습기 침투 방지를 위해 무기절연물질 또는 유기절연물질로써 제 2 보호층(160)이 형성되고 있다.Next, the light efficiency of the organic
다음, 본 발명의 가장 특징적인 구성으로서 상기 제 2 보호층(160) 위로 서로 일정간격 이격하는 바(bar) 형태의 터치 제 2 전극(165)이 형성되고 있다. 이때, 상기 이격하는 터치 제 2 전극(165)은 그 하부에 위치하는 상기 제 2 보호층(160)과 표시영역 전면에 형성된 상기 제 2 전극(158, 터치 제 1 전극)과 더불어 터치 센서(TS)를 이루는 것이 특징이다.Next, as the most characteristic configuration of the present invention, a touch-type
따라서, 상기 제 2 전극(165)은 유기전계 발광 다이오드(E)의 일 구성요소도 되며, 터치 센서(TS)의 일 구성요소도 되는 것이 특징이다. Accordingly, the
다음, 상기 터치 제 2 전극(165) 위로는 그 내부에 불활성 기체, 유기절연물질 또는 페이스 씰(face sael)을 개재하여 투명한 유리재질 또는 투명한 플라스틱 재질의 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(170)이 구비됨으로써 본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)를 이루고 있다.Next, the
이때, 상기 제 2 기판(170)의 외측면에는 상기 유기 발광층(155)으로부터 나오는 빛을 효율증대를 위해 편광판(175)이 더욱 구비될 수도 있다. 상기 편광판(175)은 통상적으로 휴대 가능한 핸드폰, PDA 및 노트북은 주로 개인 위주로 사용되는 것이므로 화상의 정면에서의 휘도 특성 등이 가장 중요하므로 선택적으로 특성 각도로 입사되는 빛에 대해서만 통과시키고 그 이외의 빛은 다시 하부로 돌려 보낸 뒤 반사판(미도시)에 의해 반사되어 다시 특정 각도로 입사시켜 투과시키는 역할을 하는 것이다. 이러한 편광판(175)은 반드시 구성될 필요는 없으며 생략될 수도 있다.In this case, a
한편, 전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)에 있어서, 상기 터치 센서(TS)는 상기 제 2 전극(158)과 제 2 보호층(160)과 상기 터치 제 2 전극(165)으로 구성되는 커패시터 형태를 이루게 되며, 이때 손가락 등이 접촉하게 되면 상기 커패시터의 프린지 필드 변동에 의한 용량 변화를 인식하여 터치 센서(TS)로서의 작용을 하게 되는 것이다.Meanwhile, in the touch sensor in-cell type organic
도 6a 내지 6b는 본 발명에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자에 있어 터치 센서의 동작을 설명한 간략한 단면도이다. 설명의 편의를 위해 구동 및 스위칭 박막트랜지스터와 유기전계 발광 다이오드는 생략하고 제 1 기판에 구비된 터치센서와 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판만을 간략히 도시하였다. 6A to 6B are simplified cross-sectional views illustrating the operation of the touch sensor in the touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention. For convenience of description, the driving and switching thin film transistors and the organic light emitting diode are omitted, and only the touch sensor provided in the first substrate and the second substrate for encapsulation are briefly shown.
도 6a에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)에 있어 제 2 기판(170) 표면에 대해 사용자의 손가락(195) 등의 터치가 이루어지지 않았을 경우, 상기 제 2 전극(158)과 상기 터치 제 2 전극(165) 간에 형성되는 프린지 필드가 일정하게 유지됨으로써 커패시터의 용량변화가 없으므로, 동작을 하지 않으며, 도 6b에 도시한 바와 같이, 상기 제 2 기판(170)의 표면에 사용자의 손가락(195) 등의 터치가 발생하면 상기 제 2 전극(158, 터치 제 1 전극)과 상기 터치 제 2 전극(165)과 프린지 필드가 터치가 이루어진 손가락(195) 등에 영향을 받아 변화를 일으키게 됨으로써 터치 센서가 터치된 것을 감지하게 됨으 로써 터치 시의 동작을 실시하게 된다.As shown in FIG. 6A, in the touch sensor in-cell type organic
한편, 도 5를 참조하면, 전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)는 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루는 하나의 구성요소인 제 2 전극(158)을 터치 센서(TS)의 터치 제 1 전극으로 이용하고, 이의 상부에 통상적으로 유기 발광층(155)의 투습 방지를 위해 형성하는 상기 제 2 보호층(160)을 유전체층으로 이용하고, 별도로 상기 제 2 보호층(160) 상부에 이격하는 바(bar) 형태를 갖는 터치 제 2 전극(165)을 형성한 후, 인캡슐레이션용 제 2 기판(170)을 합착함으로써 완성되고 있다. Meanwhile, referring to FIG. 5, the touch sensor in-cell type organic
따라서, 종래의 터치센서를 구비한 유기전계 발광소자 대비 보호시트와 하나의 기판과, 터치 제 1 전극 및 유전체층을 생략할 수 있으므로, 보호시트와 하나의 기판 및 2개의 물질층이 생략됨으로써 박형화 및 경량화를 이루게 되며, 2개의 물질층 생략에 의해 공정 단순화를 실현할 수 있는 것이 특징이다. Therefore, since the protective sheet and one substrate, the touch first electrode and the dielectric layer can be omitted, compared to the organic light emitting device having a touch sensor, the protective sheet, one substrate, and two material layers are omitted. The weight is reduced, and the process simplification is realized by omitting two material layers.
이때, 도면에 있어서는 상기 터치 제 2 전극(165)은 표시영역 내에서 하나의 화소영역 내에 다수개 형성된 것으로 도시되고 있지만, 이는 설명의 편의를 위해 도시한 것이며, 실제적으로는 상기 터치 제 2 전극(165) 하나의 화소영역(P) 내에는 하나의 바(bar) 형태를 갖는 형태로 이루어지고 있는 것이 특징이다. In this case, in the drawing, the touch
한편, 이러한 바(bar) 형태의 터치 제 2 전극(165)은 반드시 하나의 화소영역(P)마다 형성될 필요는 없으며, 주로 적, 녹, 청색의 발광 물질층(155)이 각각 형성된 화소영역(P) 중 어느 하나의 색의 발광 물질층(155)이 형성된 화소영역(P)에 대응해서만 형성되는 것이 바람직하다. 또는, 하나의 화소영역(P)에 터치 제 2 전극(165)이 형성된 경우, 이와 이웃한 1개 내지 10개의 화소영역에 대해서는 상기 터치 제 2 전극(165)은 형성되지 않고, 상기 1개 내지 10개의 화소영역을 이격간격으로 형성되어도 무방하다. Meanwhile, the bar-shaped touch
이렇게 상기 터치 제 2 전극(165)을 일정한 이겨간격을 갖도록 형성하는 이유는, 상기 터치 제 2 전극(165)과 하부의 제 2 전극(158, 터치 제 1 전극)은 프린지 필드를 형성해야 하므로 이격간격을 필요로 하기 때문이며, 통상 패널 표면의 터치는 손가락이 이용되고 있으며, 터치되는 손가락의 면적은 수 개 내지 수십 개의 화소영역에 대응되므로 상기 터치 제 2 전극(165)은 화소영역(P) 단위로 이격하며 형성되어도 터치 되는 영역에 상기 터치 제 2 전극(165)이 미형성되어 터치를 감지하지 못하는 등의 문제는 발생되지 않는다. The reason why the touch
한편, 도 7a와 7b는 본 발명의 변형예에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 평면도 일부를 각각 도시한 도면이다. 7A and 7B illustrate a part of a plan view of a touch sensor in-cell type organic light emitting diode according to a modified example of the present invention.
도시한 바와 같이, 본 발명의 변형예에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자는 유기 발광층이 적, 녹, 청색을 발광하는 화소영역(R, G, B) 이외에 화이트를 발광하는 화이트 발광층(미도시)이 구비된 화소영역(W)을 포함하여 구성되고 있다. As shown, the touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the modification of the present invention has a white light emitting layer (not shown) in which the organic light emitting layer emits white in addition to the pixel areas R, G, and B that emit red, green, and blue light. Is configured to include the pixel region W provided with the eye.
이렇게, 적, 녹, 청 및 화이트 4개의 화소영역(R, G, B, W)을 하나의 색을 표현하는 도트로 구성되는 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 경우, 상기 터치 제 2 전극(165)은 화이트를 발광하는 유기 발광층(미도시)이 형성된 화소영역(W)에 형성되는 것이 특징이다. As such, in the case of the touch sensor in-cell type organic light emitting device including four red, green, blue, and white pixel areas R, G, B, and W representing one color, the touch second electrode ( 165 is formed in the pixel region W in which an organic emission layer (not shown) emitting white light is formed.
이렇게 터치 제 2 전극(165)을 화이트 유기 발광층(미도시)이 형성된 화소영역(W)에 대응하여 형성하는 이유는 상기 터치 센서 구동을 위해 구성된 상기 터치 제 2 전극(165)을 형성함으로써 발생될 수 있는 휘도 저하의 문제를 최소화하기 위함이다. The reason for forming the touch
상기 터치 제 2 전극(165)을 투명 도전성 물질로 형성한다 하여도 이는 유기 발광층(미도시)으로부터 발광된 빛을 100% 투과시키는 것이 아니며 그 내부에서 투과율 저하가 발생하게 되며, 적, 녹, 청색을 발광하는 화소영역(R, G, B)대비 화이트를 발광하는 화소영역(W)은 휘도 특성이 제일 우수하므로 상기 화이트를 발광하는 화소영역(W)에 상기 터치 제 2 전극(165)이 형성되면 휘도 저하의 문제를 최소화 할 수 있기 때문이다.Even if the touch
이후에는 전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 제조 방법에 대해 도 5를 참조하여 간단히 설명한다. 이때, 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 형성하는 방법은 일반적인 어레이 기판의 제조 방법과 동일하므로 유기전계 발광 다이오드와 터치 센서를 형성하는 방법을 위주로 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing the touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention having the above-described configuration will be briefly described with reference to FIG. 5. In this case, since the method of forming the switching and driving thin film transistor is the same as the method of manufacturing a general array substrate, a method of forming an organic light emitting diode and a touch sensor will be described.
우선, 투명한 유리재질 또는 플라스틱 재질의 절연기판(110) 상의 표시영역에 서로 교차하는 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(미도시)과 전원배선(미도시)을 형성하고, 각 화소영역(P)에 상기 게이트 및 데이터 배선(미도시)과 연결된 스위칭 박막트랜지스터(미도시)와 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)와 연결된 구동 박막트랜지스터(DTr)를 형성한다. First, gate lines (not shown), data lines (not shown), and power lines (not shown) that cross each other are formed in the display area on the transparent glass or plastic insulating
다음, 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr) 위로 상기 구동 박 막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)을 갖는 제 1 보호층(140)을 형성한다.Next, a
다음, 상기 드레인 콘택홀을 갖는 상기 제 1 보호층 위로 반사효율이 우수한 금속물질 예를들면 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)을 증착함으로써 제 1 금속층(미도시)을 전면 형성하고, 상기 제 1 금속층(미도시) 위로 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착하여 투명 도전성 물질층(미도시)을 형성한다. Next, a first metal layer (not shown) is entirely formed by depositing a metal material having excellent reflection efficiency, for example, aluminum (Al) or silver (Ag), on the first protective layer having the drain contact hole. A transparent conductive material having a relatively large work function value, for example, indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), is deposited over the metal layer (not shown) to form a transparent conductive material layer (not shown).
이후 상기 투명 도전성 물질층(미도시)과 상기 제 1 금속층(미도시)을 포토레지스트의 도포, 노광 마스크를 이용한 노광, 노광된 포토레지스트의 현상, 식각 및 스트립 등 일련의 단위공정을 포함하는 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 각 화소영역(P)에 상기 드레인 콘택홀(143)을 통해 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 접촉하는 반사판 및 제 1 전극(147)을 형성한다. Subsequently, the transparent conductive material layer (not shown) and the first metal layer (not shown) include a photoresist, a mask including a series of unit processes such as exposure using an exposure mask, development of an exposed photoresist, etching and stripping, and the like. The patterning process is performed to form the reflective plate and the
다음, 상기 제 1 전극(147) 위로 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 증착하여 무기절연층(미도시)을 형성하고, 이를 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 각 화소영역(P)을 둘러싸는 형태로 상기 제 1 전극(147)의 끝단부를 덮는 버퍼패턴(150)을 형성한다.Next, an inorganic insulating material, such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx), is deposited on the
다음, 상기 버퍼패턴(150) 위로 적, 녹 및 청색을 발광하는 유기 발광물질 또는 적, 녹, 청 및 화이트를 발광하는 유기 발광물질을 오픈부(OA)와 차단부(BA)를 갖는 쉐도우 마스크(193)를 이용하여 순차적으로 증착함으로써 각 화소영역(P) 에 상기 버퍼패턴(150) 외부로 노출된 상기 제 1 전극(147) 위로 적, 녹, 청색 또는 적, 녹, 청 및 화이트의 유기 발광층(155)을 형성한다.Next, a shadow mask having an open portion (OA) and a blocking portion (BA) is an organic light emitting material emitting red, green, and blue or an organic light emitting material emitting red, green, blue, and white on the
이때, 도면에 나타나지 않았지만, 상기 적, 녹, 및 청색 또는 적, 녹, 청 및 화이트의 유기 발광층(155)을 형성하기 전에 표시영역 전면 또는 각 화소영역(P) 별로 상기 제 1 전극(147) 위로 정공주입층(hole injection layer)과 정공수송층(hole transporting layer)의 제 1 발광보상층(미도시)을 형성할 수도 있다. 이 경우 상기 유기 발광층(155)은 상기 제 1 발광보상층(미도시) 상부에 형성되게 된다. In this case, although not shown in the drawing, before forming the red, green, and blue or red, green, blue, and white organic
또한, 도면에 나타나지 않았지만, 상기 유기 발광층(155) 상부로 표시영역 전면 또는 각 화소영역(P)별로 전자수송층(electron transporting layer) 및 전자주입층(electron injection layer)으로 이루어진 제 2 발광보상층(미도시)을 더욱 형성할 수도 있다.Although not shown in the drawings, a second light emitting compensation layer including an electron transporting layer and an electron injection layer on the entire display area or each pixel area P is disposed on the organic
다음, 상기 유기 발광층(155) 또는 상기 제 2 발광보상층(미도시) 위로 표시영역 전면에 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄 마그네슘 합금(AlMg) 중 하나를 상기 유기 발광층(155)으로부터 발광된 빛이 투과할 수 있도록 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖도록 증착함으로써 제 2 전극(158)을 형성한다. 이때, 표시영역 전면에 형성된 상기 제 2 전극(158) 그 하부에 위치하는 유기 발광층(155)과 상기 제 1 전극(147)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이룬다. 또한, 상기 제 2 전극(158)은 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 구성요소도 되지만, 터치 센서(TS)의 터치 제 1 전극의 역할을 하는 것이 특징이다. Next, a metal material having a relatively low work function value over the organic
다음, 상기 제 2 전극(158)이 위로 상기 유기 발광층(155)으로의 투습 방지 및 광경로 조절을 통해 발광효율을 극대화하기 위해 무기절연물질을 증착하거나 또는 유기절연물질을 도포함으로써 상기 표시영역 전면에 제 2 보호층(160)을 형성한다. 이때, 상기 제 2 보호층(160)은 터치 센서(TS)의 유전체층의 역할을 하게 되는 것이 특징이다. Next, in order to maximize luminous efficiency by preventing the moisture permeation to the organic
다음, 상기 제 2 보호층(160) 위로 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착하고 이를 패터닝함으로써 적, 녹, 청색을 발광하는 화소영역(P) 중 어느 하나의 화소영역(P) 또는 화이트를 발광하는 화소영역이 구비되는 경우 상기 화이트 화소영역 또는 1개 내지 10개의 화소영역 거리의 이격간격을 갖도록 특정 화소영역(P)에 대응하여 바(bar) 형태의 터치 제 2 전극(165)을 형성한다.Next, a pixel region emitting red, green, and blue light by depositing and patterning a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) on the second
이때, 표시영역 전면에 형성된 제 2 전극(158, 터치 제 1 전극)과 제 2 보호층(160)과 상기 터치 제 2 전극(165)은 프린지 필드 커패시턴스를 갖는 터치 센서(TS)를 이루게 된다. In this case, the second electrode 158 (the touch first electrode), the second
다음, 상기 유기발광 다이오드(E)와 상기 터치 센서(TS)를 구성한 제 1 기판(110)에 대해 표시영역 외측의 테두리를 따라 씰패턴(미도시)을 형성하고, 투명한 유리재질 또는 플라스틱 재질의 제 2 기판(170)을 진공 또는 불활성 기체 분위기에서 접착시킴으로써 본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)를 완성할 수 있다. Next, a seal pattern (not shown) is formed along the outer edge of the display area with respect to the
이때, 상기 제 2 기판(170)과 제 1 기판(110) 사이에는 상기 불활성 기체 또는 진공의 분위기 이외에, 투명한 페이스 씰이 전면에 도포되어 접착층으로 구성될 수도 있다.At this time, between the
또한, 상기 제 2 기판(170)의 외측면에 편광판(175)이 더욱 구성함으로써 특정 각도로 입사되는 빛만을 선택적으로 투과시키고, 나머지 빛은 상기 제 1 기판(110)상의 반사판(미도시) 쪽으로 반사시키도록 하여 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170) 사이에서 특정 각도를 가지고 상기 편광판(175)에 입사될 수 있도록 계속적으로 반사되도록 하여 발광효율을 극대화하는 역할을 하도록 할 수도 있다. In addition, the
도 1은 일반적인 액티브 매트릭스형 유기전계 발광소자의 한 화소에 대한 회로도.1 is a circuit diagram of one pixel of a typical active matrix organic electroluminescent device.
도 2는 종래의 일반적인 유기전계 발광소자에 대한 개략적인 단면도.2 is a schematic cross-sectional view of a conventional organic EL device.
도 3은 종래의 상부발광 방식 유기전계 발광소자의 구동 박막트랜지스터를 포함하는 하나의 화소영역에 대한 단면도.3 is a cross-sectional view of one pixel area including a driving thin film transistor of a conventional top emission type organic light emitting device.
도 4는 종래의 터치 센서가 부착된 유기전계 발광소자의 개략적인 단면도.4 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode with a conventional touch sensor.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 단면도.5 is a cross-sectional view of a touch sensor in-cell type organic light emitting device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 6a 내지 6b는 본 발명에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자에 있어 터치 센서의 동작을 설명한 간략한 단면도.Figure 6a to 6b is a simplified cross-sectional view illustrating the operation of the touch sensor in the touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention.
도 7a와 7b는 본 발명의 변형예에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 평면도 일부를 각각 도시한 도면.7A and 7B are views respectively showing a plan view of a touch sensor in-cell type organic light emitting device according to a modification of the present invention;
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of the drawings>
101 : 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자101: touch sensor in-cell type organic light emitting device
110 : 제 1 기판 113 : 반도체층110: first substrate 113: semiconductor layer
113a : 제 1 영역 113b : 제 2 영역113a:
116 : 게이트 절연막 120 : (구동 박막트랜지스터의)게이트 전극116: gate insulating film 120: gate electrode (of driving thin film transistor)
123 : 층간절연막 125 : 반도체층 콘택홀 123: interlayer insulating film 125: semiconductor layer contact hole
133 : (구동 박막트랜지스터의)소스 전극 133: source electrode (of the driving thin film transistor)
136 : (구동 박막트랜지스터의)드레인 전극136: drain electrode (of driving thin film transistor)
140 : 제 1 보호층 143 : 드레인 콘택홀140: first protective layer 143: drain contact hole
147 : 제 1 전극 150 : 버퍼패턴147: first electrode 150: buffer pattern
155 : 유기 발광층 158 : 제 2 전극(터치 제 1 전극)155: organic light emitting layer 158: second electrode (touch first electrode)
160 : 제 2 보호층 165 : 터치 제 2 전극160: second protective layer 165: touch second electrode
170 : 제 2 기판 175 : 편광판170: second substrate 175: polarizing plate
DA : 구동영역 E : 유기전계 발광 다이오드 DA: driving region E: organic light emitting diode
P : 화소영역 TS : 터치 센서P: Pixel Area TS: Touch Sensor
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