KR20110020049A - Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and methode of fabricating the same - Google Patents

Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and methode of fabricating the same Download PDF

Info

Publication number
KR20110020049A
KR20110020049A KR1020090077727A KR20090077727A KR20110020049A KR 20110020049 A KR20110020049 A KR 20110020049A KR 1020090077727 A KR1020090077727 A KR 1020090077727A KR 20090077727 A KR20090077727 A KR 20090077727A KR 20110020049 A KR20110020049 A KR 20110020049A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
light emitting
organic light
layer
pixel
Prior art date
Application number
KR1020090077727A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101589272B1 (en
Inventor
이영학
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020090077727A priority Critical patent/KR101589272B1/en
Publication of KR20110020049A publication Critical patent/KR20110020049A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101589272B1 publication Critical patent/KR101589272B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/0412Digitisers structurally integrated in a display
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104Forming layers
    • H01L21/02107Forming insulating materials on a substrate
    • H01L21/02296Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
    • H01L21/02299Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment
    • H01L21/02304Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment formation of intermediate layers, e.g. buffer layers, layers to improve adhesion, lattice match or diffusion barriers
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0445Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using two or more layers of sensing electrodes, e.g. using two layers of electrodes separated by a dielectric layer
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0446Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0224Electrodes
    • H01L31/022466Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
    • H01L31/022475Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers composed of indium tin oxide [ITO]
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/14Carrier transporting layers
    • H10K50/16Electron transporting layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/17Carrier injection layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • H10K59/351Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels comprising more than three subpixels, e.g. red-green-blue-white [RGBW]
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/40OLEDs integrated with touch screens
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04103Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

PURPOSE: A touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and a method for manufacturing the same are provided to use the second electrode of an organic electroluminescent diode as the first electrode of a touch sensor, thereby reducing manufacturing costs by minimizing the number of components for the touch sensor. CONSTITUTION: The first electrode(147) contacts a drain electrode of a driving thin film transistor(DTr). A buzzer pattern(150) covers the frame of the first electrode. An organic electroluminescent layer(155) is formed on the first electrode. The second electrode(158) is formed on a display area of the organic electroluminescent layer. The first material layer is formed on a display area of the second electrode. A touch electrode corresponds to a specific pixel area.

Description

터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자 및 그 제조 방법 {Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and methode of fabricating the same}Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and manufacturing method thereof {Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and methode of fabricating the same}

본 발명은 유기전계 발광소자(Organic Electroluminescent Device)에 관한 것이며, 특히 인셀 타입으로 터치 센서(touch sensor)가 내장된 유기전계 발광 소자 및 이의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an organic electroluminescent device having a touch sensor built in an in-cell type and a method of manufacturing the same.

평판 디스플레이(FPD ; Flat Panel Display)중 하나인 유기전계 발광소자는 높은 휘도와 낮은 동작 전압 특성을 갖는다. 또한 스스로 빛을 내는 자체발광형이기 때문에 명암대비(contrast ratio)가 크고, 초박형 디스플레이의 구현이 가능하며, 응답시간이 수 마이크로초(㎲) 정도로 동화상 구현이 쉽고, 시야각의 제한이 없으며 저온에서도 안정적이고, 직류의 5V 내지 15V의 낮은 전압으로 구동하므로 구동회로의 제작 및 설계가 용이하다.The organic light emitting diode, which is one of the flat panel displays (FPDs), has high luminance and low operating voltage characteristics. In addition, the self-luminous self-illuminating type provides high contrast ratio, enables ultra-thin display, easy response time with several microsecond response time, no restriction on viewing angle, and stable at low temperatures. Since it is driven at a low voltage of 5V to 15V of DC, it is easy to manufacture and design a driving circuit.

이러한 특성을 갖는 유기전계 발광소자는 크게 패시브 매트릭스 타입과 액티 브 매트릭스 타입으로 나뉘어지는데, 패시브 매트릭스 방식에서는 주사선(scan line)과 신호선(signal line)이 교차하면서 매트릭스 형태로 소자를 구성하므로, 각각의 픽셀을 구동하기 위하여 주사선을 시간에 따라 순차적으로 구동하므로, 요구되는 평균 휘도를 나타내기 위해서는 평균 휘도에 라인수를 곱한 것 만큼의 순간 휘도를 내야만 한다. The organic light emitting device having such characteristics is largely divided into a passive matrix type and an active matrix type. In the passive matrix method, since the scan line and the signal line cross each other and constitute the device in a matrix form, Since the scanning lines are sequentially driven in time to drive the pixels, in order to represent the required average luminance, the instantaneous luminance must be equal to the average luminance multiplied by the number of lines.

그러나, 액티브 매트릭스 방식에서는, 화소(pixel)를 온(on)/오프(off)하는 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 화소(pixel)별로 위치하고, 이 박막트랜지스터와 연결된 제 1 전극은 화소 단위로 온(on)/오프(off)되고, 상기 제 1 전극과 대향하는 제 2 전극은 전면에 형성되어 공통전극이 된다. However, in the active matrix method, a thin film transistor, which is a switching element for turning on / off a pixel, is positioned for each pixel, and the first electrode connected to the thin film transistor is turned on per pixel. The second electrode which is turned on / off and opposes the first electrode is formed on the entire surface to become a common electrode.

그리고, 상기 액티브 매트릭스 방식에서는 픽셀에 인가된 전압이 스토리지 커패시터(CST ; storage capacitor)에 충전되어 있어, 그 다음 프레임(frame) 신호가 인가될 때까지 전원을 인가해 주도록 함으로써, 주사선 수에 관계없이 한 화면동안 계속해서 구동한다. 따라서, 낮은 전류를 인가하더라도 동일한 휘도를 나타내므로 저소비전력, 고정세, 대형화가 가능한 장점을 가지므로 최근에는 액티브 매트릭스 타입의 유기전계 발광소자가 주로 이용되고 있다. In the active matrix method, a voltage applied to a pixel is charged in a storage capacitor (C ST ), and the power is applied until the next frame signal is applied, thereby relating to the number of scan lines. Run continuously for one screen without Therefore, since low luminance, high definition, and large size can be obtained even when a low current is applied, an active matrix type organic light emitting diode is mainly used in recent years.

이하, 이러한 액티브 매트릭스형 유기전계 발광소자의 기본적인 구조 및 동작특성에 대해서 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, the basic structure and operation characteristics of the active matrix organic light emitting diode will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 일반적인 액티브 매트릭스형 유기전계 발광소자의 한 화소에 대한 회로도이다. 1 is a circuit diagram of one pixel of a typical active matrix organic electroluminescent device.

도시한 바와 같이 액티브 매트릭스형 유기전계발광 소자의 하나의 화소는 스위칭(switching) 박막트랜지스터(STr)와 구동(driving) 박막트랜지스터(DTr), 스토리지 캐패시터(StgC), 그리고 유기전계발광 다이오드(E)로 이루어진다. As illustrated, one pixel of the active matrix organic light emitting diode is a switching thin film transistor STr, a driving thin film transistor DTr, a storage capacitor StgC, and an organic light emitting diode E. Is made of.

즉, 제 1 방향으로 게이트 배선(GL)이 형성되어 있고, 이 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 형성되어 화소영역(P)을 정의하며 데이터 배선(DL)이 형성되어 있으며, 상기 데이터 배선(DL)과 이격하며 전원전압을 인가하기 위한 전원배선(PL)이 형성되어 있다. That is, the gate line GL is formed in the first direction, is formed in the second direction crossing the first direction to define the pixel region P, and the data line DL is formed. A power supply line PL is formed to be spaced apart from the DL and to apply a power supply voltage.

또한, 상기 데이터 배선(DL)과 게이트 배선(GL)이 교차하는 부분에는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 형성되어 있으며, 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)와 전기적으로 연결된 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있다. In addition, a switching thin film transistor STr is formed at a portion where the data line DL and the gate wiring GL cross, and a driving thin film transistor DTr electrically connected to the switching thin film transistor STr is formed. have.

이때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)는 유기전계 발광 다이오드(E)와 전기적으로 연결되고 있다. 즉, 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 일측 단자인 제 1 전극은 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극과 연결되고, 타측 단자인 제 2 전극은 전원배선(PL)과 연결되고 있다. 이때, 상기 전원배선(PL)은 전원전압을 상기 유기전계발광 다이오드(E)로 전달하게 된다. 또한, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극과 소스 전극 사이에는 스토리지 커패시터(StgC)가 형성되고 있다. In this case, the driving thin film transistor DTr is electrically connected to the organic light emitting diode E. That is, the first electrode, which is one terminal of the organic light emitting diode E, is connected to the drain electrode of the driving thin film transistor DTr, and the second electrode, which is the other terminal, is connected to the power line PL. In this case, the power line PL transfers a power supply voltage to the organic light emitting diode E. In addition, a storage capacitor StgC is formed between the gate electrode and the source electrode of the driving thin film transistor DTr.

따라서, 상기 게이트 배선(GL)을 통해 신호가 인가되면 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 온(on) 되고, 상기 데이터 배선(DL)의 신호가 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극에 전달되어 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 되므로 유기 전계발광 다이오드(E)를 통해 빛이 출력된다. 이때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 상태가 되면, 전원배선(PL)으로부터 유기전계 발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨이 정해지며 이로 인해 상기 유기전계발광 다이오드(E)는 그레이 스케일(gray scale)을 구현할 수 있게 되며, 상기 스토리지 커패시터(StgC)는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 되었을 때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전압을 일정하게 유지시키는 역할을 함으로써 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 상태가 되더라도 다음 프레임(frame)까지 상기 유기전계발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨을 일정하게 유지할 수 있게 된다.Therefore, when a signal is applied through the gate line GL, the switching thin film transistor STr is turned on, and the signal of the data line DL is transferred to the gate electrode of the driving thin film transistor DTr to drive the driving signal. Since the thin film transistor DTr is turned on, light is output through the organic electroluminescent diode E. At this time, when the driving thin film transistor DTr is in an on state, the level of the current flowing from the power supply line PL to the organic light emitting diode E is determined, and thus the organic light emitting diode E is The gray scale may be implemented, and the storage capacitor StgC maintains the gate voltage of the driving thin film transistor DTr constant when the switching thin film transistor STr is turned off. As a result, even when the switching thin film transistor STr is turned off, the level of the current flowing through the organic light emitting diode E may be maintained until the next frame.

도 2는 종래의 일반적인 유기전계 발광소자에 대한 개략적인 단면도이다. 2 is a schematic cross-sectional view of a conventional organic EL device.

도시한 바와 같이, 제 1, 2 기판(10, 70)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 제 1, 2 기판(10, 70)의 가장자리부는 씰패턴(seal pattern)(80)에 의해 봉지되어 있으며, 제 1 기판(10)의 상부에는 각 화소영역(P)별로 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있고, 상기 각각의 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결되어 제 1 전극(47)이 형성되어 있고, 상기 제 1 전극(47) 상부에는 적(Red), 녹(Green), 청(Blue)색에 대응되는 발광물질을 포함하는 유기 발광층(55)이 형성되어 있고, 유기 발광층(55) 상부에는 전면에 제 2 전극(58)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1, 2 전극(47, 58)은 상기 유기 발광층(55)에 전계를 인가해주는 역할을 한다. As illustrated, the first and second substrates 10 and 70 are disposed to face each other, and the edge portions of the first and second substrates 10 and 70 are sealed by a seal pattern 80. In addition, a driving thin film transistor DTr is formed in each pixel region P on the first substrate 10, and a first electrode 47 is formed by being connected to each of the driving thin film transistors DTr. In addition, an organic light emitting layer 55 including a light emitting material corresponding to red, green, and blue colors is formed on the first electrode 47, and on the organic light emitting layer 55. The second electrode 58 is formed on the front surface. In this case, the first and second electrodes 47 and 58 serve to apply an electric field to the organic light emitting layer 55.

그리고, 전술한 씰패턴(80)에 의해서 상기 제 1 기판(10) 상에 형성된 제 2 전극(47)과 제 2 기판(58)은 일정간격 이격하고 있다. The second electrode 47 and the second substrate 58 formed on the first substrate 10 are spaced apart by a predetermined interval by the seal pattern 80 described above.

도 3은 종래의 일반적인 유기전계 발광소자의 구동 박막트랜지스터를 포함하 는 하나의 화소영역에 대한 단면도이다. 3 is a cross-sectional view of one pixel area including a driving thin film transistor of a conventional organic EL device.

도시한 바와 같이, 제 1 기판(10) 상에는 순수 폴리실리콘의 제 1 영역(13a)과 불순물이 도핑된 제 2 영역(13b)으로 구성된 반도체층(13), 게이트 절연막(16), 게이트 전극(20), 상기 제 2 영역(13b)을 각각 노출시키는 반도체층 콘택홀(25)을 갖는 층간절연막(23), 소스 및 드레인 전극(33, 36)이 순차적으로 적층 형성되어 구동 박막트랜지스터(DTr)를 구성하고 있으며, 상기 소스 및 드레인 전극(33, 36)은 각각 전원배선(미도시) 및 유기전계 발광 다이오드(E)와 연결되어 있다. As shown, on the first substrate 10, the semiconductor layer 13, the gate insulating film 16, and the gate electrode composed of the first region 13a of pure polysilicon and the second region 13b doped with impurities 20), an interlayer insulating film 23 having a semiconductor layer contact hole 25 exposing the second region 13b, and source and drain electrodes 33 and 36 are sequentially stacked to form a driving thin film transistor DTr. The source and drain electrodes 33 and 36 are connected to a power supply wiring (not shown) and an organic light emitting diode E, respectively.

또한, 상기 유기전계 발광 다이오드(E)는 유기 발광층(55)이 개재된 상태로 서로 대향된 제 1 전극(47) 및 제 2 전극(58)으로 구성된다. 이때 상기 제 1 전극(47)은 각 화소영역(P)별로 구동 박막트랜지스터(DTr)의 일전극과 접촉하며 형성되고 있으며, 상기 제 2 전극(58)은 상기 유기 발광층(55) 위로 전면에 형성되고 있다.In addition, the organic light emitting diode E includes a first electrode 47 and a second electrode 58 facing each other with the organic light emitting layer 55 interposed therebetween. In this case, the first electrode 47 is formed in contact with one electrode of the driving thin film transistor DTr for each pixel region P, and the second electrode 58 is formed on the entire surface of the organic light emitting layer 55. It is becoming.

또한, 전술한 구조를 갖는 제 1 기판(10)과 마주하며 인캡슐레이션을 위해 제 2 기판(70)이 구성되고 있다.In addition, the second substrate 70 is configured to face the first substrate 10 having the above-described structure for encapsulation.

한편, 상기 제 1 전극(47)은 특히, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 p타입인 경우, 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지고 있으며, 제 2 전극(58)은 캐소드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al)으로서 이루어지고 있다. On the other hand, the first electrode 47 is an indium-tin-oxide (ITO) or indium, which is a transparent conductive material having a high work function value to serve as an anode electrode, especially when the driving thin film transistor DTr is p type. It is made of zinc oxide (IZO), and the second electrode 58 is made of a metal material having a low work function value, for example, aluminum (Al) to serve as a cathode electrode.

한편, 근래에 들어서는 개인 휴대가 가능한 휴대폰, PDA 또는 노트북 등에서 터치 센서가 내장된 제품이 출시되어 사용자의 많은 관심을 끌고 있으며, 유기전계 발광소자 또한 이러한 제품에 모두 표시장치로 이용되고 있으므로 이러한 추세에 발맞추어 터치 센서가 부착된 제품이 최근 출시되고 있다.On the other hand, in recent years, a product with a touch sensor is introduced in mobile phones, PDAs, and laptops that can be personally carried, and attracts a lot of users' attention, and organic light emitting diodes are also used as display devices in these products. In line with this, products with a touch sensor have recently been released.

도 4는 종래의 터치 센서가 부착된 유기전계 발광소자의 개략적인 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode with a conventional touch sensor.

이러한 종래의 터치 센서를 구비한 유기전계 발광소자(2)는 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr)와 유기전계 발광 다이오드(E)가 형성된 제 1 기판(10)과 이와 마주하는 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(70)으로 구성된 제 1 패널(PA1)과, 상기 제 1 패널(PA1) 외측으로 제 1 점착층(72)을 개재하여 그 하부 및 상부에 각각 터치 제 1 전극(82)과 이격하는 다수의 바(bar) 형태를 갖는 터치 제 2 전극(86)이 구성된 제 3 기판(80)과 제 2 점착층(92)을 개재하여 상기 제 3 기판(80) 외측면에 형성된 보호시트(90)를 포함하여 구성된 제 2 패널(PA2)로 구성되고 있다. The organic light emitting device 2 including the conventional touch sensor includes an encapsulation facing the first substrate 10 having a switching and driving thin film transistor (DTr) and an organic light emitting diode (E) formed thereon. The first panel PA1 configured as the second substrate 70 for the touch panel, and the touch first electrode 82 at the bottom and the top thereof, respectively, through the first adhesive layer 72 to the outside of the first panel PA1. Protection formed on the outer surface of the third substrate 80 via the third substrate 80 and the second adhesive layer 92 having the touch second electrode 86 having a plurality of bar shapes spaced apart from the second adhesive layer 92. It consists of 2nd panel PA2 comprised including the sheet | seat 90.

따라서, 종래의 터치 센서가 구비된 유기전계 발광소자(2)는 상기 보호시트(90)를 배제하더라고 총 3개의 기판(10, 70, 90)으로 이루어지고 있음을 알 수 있다.Therefore, it can be seen that the organic light emitting diode 2 including the conventional touch sensor is made of a total of three substrates 10, 70, and 90 even though the protective sheet 90 is excluded.

이때, 상기 유기전계 발광소자(2)에 이용되는 기판(10, 70, 90)은 주로 투명한 특성을 갖는 유리기판이 되고 있으며, 이러한 유리기판을 3장 이용하여 터치 센서(TS)를 구비한 유기전계 발광소자(2)를 구성하는 경우 그 두께가 매우 두꺼워지며, 그 무게가 상대적으로 많이 무거워지게 되므로 표시장치의 경량박형의 추세에 역행을 하게되는 문제가 발생하고 있다.In this case, the substrates 10, 70, and 90 used in the organic light emitting diode 2 are mainly glass substrates having transparent characteristics, and the organic substrate having a touch sensor TS using three such glass substrates is used. In the case of configuring the EL device 2, the thickness thereof becomes very thick, and the weight thereof becomes relatively heavy, thereby causing a problem of reversing the trend of lighter and thinner display devices.

또한, 터치 센서(TS) 형성을 위한 별도의 공정 진행을 실시해야 하므로 공정이 복잡해지는 문제가 발생하고 있다. In addition, since a separate process for forming the touch sensor TS needs to be performed, a problem of complicated process occurs.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명은 기판 사용을 최소화함으로써 경량박형의 터치센서를 구비한 유기전계 발광소자를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an organic light emitting device having a light and thin touch sensor by minimizing the use of a substrate.

또한, 터치 센서 구현을 위한 소자를 최소화함으로써 제조 공정을 단순화함으로써 제조 비용을 저감시키는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, another object is to reduce manufacturing costs by simplifying the manufacturing process by minimizing a device for implementing a touch sensor.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자는, 표시영역 다수의 화소영역이 정의되며, 서로 교차하는 게이트 및 데이터 배선과, 전원배선과, 상기 게이트 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와 유기전계 발광 다이오드를 포함하는 제 1 기판과 이와 마주하는 투명한 제 2 기판을 포함하는 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자에 있어서, 상기 각 화소영역 내에 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 형성된 제 1 전극과; 상기 각 화소영 역을 둘러싸며 상기 제 1 전극의 테두리를 덮으며 형성된 버퍼패턴과; 상기 화소영역에 상기 제 1 전극 위로 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 위로 상기 표시영역 전면에 형성된 제 2 전극과; 상기 제 2 전극 상부로 상기 표시영역 전면에 형성된 제 1 물질층과; 상기 제 1 물질층 상부로 다수의 상기 화소영역 중 다수의 특정 화소영역에 대응하여 형성된 터치 전극을 포함하며, 상기 제 2 전극과 상기 제 1 층과 상기 터치 전극은 터치 센서를 이루는 것이 특징이다.In the touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention for achieving the above object, a plurality of pixel regions of a display area are defined, and gate and data lines, power lines, and power lines are connected to each other. A touch sensor in-cell type organic light emitting device comprising a switching thin film transistor, a first substrate including a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor, an organic light emitting diode, and a transparent second substrate facing the pixel; A first electrode formed in contact with the drain electrode of the driving thin film transistor in the region; A buffer pattern formed around the pixel area and covering an edge of the first electrode; An organic emission layer formed on the first electrode in the pixel region; A second electrode formed over the organic light emitting layer on the entire display area; A first material layer formed over the second electrode and over the display area; And a touch electrode formed on the first material layer to correspond to a plurality of specific pixel areas of the plurality of pixel areas, wherein the second electrode, the first layer, and the touch electrode form a touch sensor.

이때, 상기 유기 발광층은 적, 녹, 청색 유기 발광물질로 이루어지며 각 화소영역에는 순차적으로 적, 녹 및 청색 유기 발광층이 형성되어 적, 녹 및 청색을 각각 발광하는 것이 특징이며, 상기 특정 화소영역은, 상기 적, 녹 및 청색을 발광하는 화소영역 중 어느 하나의 색을 발광하는 화소영역이거나, 또는 상기 표시영역에서 1개 내지 10개의 화소영역의 이격간격을 가지며 배치된 화소영역인 것이 특징이다.In this case, the organic light emitting layer is formed of red, green, and blue organic light emitting materials, and red, green, and blue organic light emitting layers are sequentially formed in each pixel area to emit red, green, and blue light, respectively. Is a pixel area that emits any one color among the pixel areas emitting red, green, and blue, or a pixel area having a spacing interval of 1 to 10 pixel areas in the display area. .

또한, 상기 특정 화소영역은, 상기 유기 발광층이 각 화소영역에 순차적으로 적, 녹, 청 및 화이트를 발광하는 유기 발광 물질로 이루어지는 경우, 화이트의 유기 발광층이 형성되어 화이트를 발광하는 화소영역인 것이 특징이다.The specific pixel area may be a pixel area in which a white organic light emitting layer is formed to emit white light when the organic light emitting layer is formed of an organic light emitting material emitting red, green, blue, and white sequentially in each pixel area. It is characteristic.

상기 제 2 기판의 외측면에는 편광판이 구성될 수 있다. The polarizing plate may be configured on the outer surface of the second substrate.

또한, 상기 제 1 전극 하부에는 반사효율이 우수한 알루미늄(Al) 또는 은(Ag) 으로 이루어진 반사판이 형성되며, 상기 제 1 전극은 애노드 전극을 역할을 할 수 있도록 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지며, 상기 제 2 전극은 캐소드 전극을 역 할을 할 수 있도록 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 하나로 이루어지며, 상기 터치 전극은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지며, 이때, 상기 제 1 전극과 상기 유기 발광층 사이에는 정공주입층(hole injection layer)과 정공수송층(hole transporting layer)이 형성되며, 상기 유기 발광층과 상기 제 2 전극 사이에는 전자수송층(electron transporting layer)과 전자주입층(electron injection layer)이 형성될 수 있다. In addition, a reflecting plate made of aluminum (Al) or silver (Ag) having excellent reflection efficiency is formed below the first electrode, and the first electrode has a relatively large work function value to serve as an anode electrode. It is made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), and the second electrode is aluminum (Al), which is a metal material having a relatively low work function value to serve as a cathode electrode, It is made of one of aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), aluminum magnesium alloy (AlMg), the touch electrode is a transparent conductive material indium-tin-oxide (ITO) or indium -Zinc-oxide (IZO), wherein a hole injection layer and a hole transporting layer are formed between the first electrode and the organic light emitting layer, and the organic light emitting layer and the second light emitting layer Between the electrodes An electron transporting layer and an electron injection layer may be formed.

본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 제조 방법은, 표시영역 내에 다수의 화소영역이 정의된 제 1 기판 상에 서로 교차하는 게이트 및 데이터 배선과, 전원배선과, 상기 게이트 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀을 갖는 제 1 보호층을 형성하는 단계와; 상기 제 1 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하는 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 각 화소영역을 둘러싸며 상기 제 1 전극의 테두리를 덮는 버퍼패턴을 형성하는 단계와; 상기 각 화소영역에 상기 제 1 전극 위로 유기 발광층을 각각 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층 위로 상기 표시영역 전면에 제 2 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 2 전극 상부로, 상기 표시영역 전면에 제 2 보호층을 형성하는 단계와; 상기 제 2 보호층 위로 상기 각 화소영역 중 특정 화소영역에 대응하여 터치 전극을 형성하는 단계와; 상기 터치 전극과 마주하도록 상기 제 1 기판과 투명한 제 2 기판을 접착시키는 단계를 포함한다. A method of manufacturing a touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention includes a gate and data wiring, a power wiring, and a gate and data wiring crossing each other on a first substrate having a plurality of pixel regions defined in a display area. Forming a switching thin film transistor connected to the switching thin film transistor and a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor; Forming a first protective layer having a drain contact hole exposing the drain electrode of the driving thin film transistor; Forming a first electrode on the first passivation layer in contact with the drain electrode of the driving thin film transistor through the drain contact hole in each pixel area; Forming a buffer pattern surrounding each pixel area and covering an edge of the first electrode; Forming organic light emitting layers on the first electrodes in the pixel areas, respectively; Forming a second electrode over the display area on the organic light emitting layer; Forming a second passivation layer over the second electrode, over the display area; Forming a touch electrode on the second passivation layer corresponding to a specific pixel area of each pixel area; Bonding the first substrate and the transparent second substrate to face the touch electrode.

이때, 상기 유기 발광층은 적, 녹, 청색을 발광하는 유기 발광물질로 이루어지며, 상기 화소영역은 순차 반복적으로 적, 녹 및 청색 유기 발광층이 각각 형성되어 적, 녹, 및 청색을 발광하도록 하는 경우, 상기 특정 화소영역은 상기 적, 녹, 청색을 발광하는 화소영역 중 어느 한색을 발광하는 화소영역이거나, 또는 1개 내지 10개의 화소영역의 이격간격을 갖도록 배치된 화소영역이 되며, 또는, 상기 유기 발광층은 적, 녹, 청색 이외에 화이트를 발광하는 유기 발광물질을 포함하며, 상기 화소영역은 순차 반복적으로 적, 녹, 청 및 화이트 유기 발광층이 각각 형성되어 적, 녹, 청 및 화이트를 발광하도록 하는 경우, 상기 특정 화소영역은 상기 화이트를 발광하는 화소영역 것이 특징이다.In this case, the organic light emitting layer is made of an organic light emitting material that emits red, green, and blue, and the pixel region is sequentially formed red, green, and blue organic light emitting layer to emit red, green, and blue, respectively. The specific pixel region may be a pixel region that emits any one of the red, green, and blue pixel regions, or may be a pixel region arranged to have a spacing interval of 1 to 10 pixel regions. The organic light emitting layer includes an organic light emitting material that emits white in addition to red, green, and blue, and the pixel region sequentially forms red, green, blue, and white organic light emitting layers to emit red, green, blue, and white, respectively. In this case, the specific pixel area is characterized in that the pixel area for emitting the white light.

또한, 상기 제 2 기판의 외측면에 편광판을 부착하는 단계를 포함한다. The method may further include attaching a polarizing plate to an outer surface of the second substrate.

본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자는 유기전계 발광 다이오드가 형성된 제 1 기판과 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판 사이에 터치를 감지할 수 있는 센서를 구비함으로써 종래의 3개의 기판을 이용하는 것 대비 1개의 기판 사용을 줄임으로써 경략박형을 구현하는 효과가 있다.The touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention includes a sensor capable of detecting a touch between a first substrate on which an organic light emitting diode is formed and a second substrate for encapsulation. By reducing the use of one substrate compared to the one has the effect of implementing a thin thin.

또한, 유기전계 발광 다이오드의 제 2 전극을 터치 센서의 터치 제 1 전극으로 이용함으로써 터치 센서 구현을 위한 구성요소를 최소화함으로써 공정 단순화를 이루며 나아가 제조 비용을 저감 시키는 효과가 있다.In addition, by using the second electrode of the organic light emitting diode as the touch first electrode of the touch sensor, it minimizes the components for implementing the touch sensor to simplify the process and further reduce the manufacturing cost.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위해 스위칭 박막트랜지스터가 형성될 영역을 스위칭 영역, 구동 박막트랜지스터가 형성될 영역을 구동 영역이라 정의한다.5 is a cross-sectional view of a touch sensor in-cell type organic light emitting device according to an exemplary embodiment of the present invention. In this case, for convenience of description, a region in which the switching thin film transistor is to be formed is defined as a switching region and a region in which the driving thin film transistor is to be formed as a driving region.

도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)는 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기전계 발광 다이오드(E) 및 터치 센서가 형성된 제 1 기판(110)과, 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(170)으로 구성되고 있다. As illustrated, the touch sensor in-cell type organic light emitting diode 101 according to the present invention includes a driving and switching thin film transistor DTr (not shown), an organic light emitting diode E, and a first substrate 110 on which a touch sensor is formed. ) And a second substrate 170 for encapsulation.

우선, 제 1 기판(110)의 구성에 대해 설명한다. First, the configuration of the first substrate 110 will be described.

상기 제 1 기판(110) 상부에는 각 화소영역(P) 내에 순수 폴리실리콘으로 이루어지며 그 중앙부는 채널을 이루는 제 1 영역(113a) 그리고 상기 제 1 영역(113a) 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 제 2 영역(113b)으로 구성된 반도체층(113)이 형성되어 있다. 이때, 상기 반도체층(113)과 상기 제 1 기판(110) 사이에는 전면에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)으로 이루어진 버퍼층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. 상기 버퍼층(미도시)은 상기 반도체층(113)의 결정화 시 유리재질인 상기 제 1 기판(110) 내부로부터 나오는 알 카리 이온의 방출에 의한 상기 반도체층(113)의 특성 저하를 방지하기 위함이다. The upper portion of the first substrate 110 is made of pure polysilicon in each pixel region P, and a central portion of the first substrate 110 is doped with a high concentration of impurities on both sides of the first region 113a and the first region 113a. The semiconductor layer 113 composed of the second region 113b is formed. In this case, a buffer layer (not shown) made of an inorganic insulating material, for example, silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx) may be further formed between the semiconductor layer 113 and the first substrate 110. have. The buffer layer (not shown) is for preventing the deterioration of the characteristics of the semiconductor layer 113 due to the release of alkali ions from the inside of the first substrate 110, which is a glass material during crystallization of the semiconductor layer 113. .

또한, 상기 반도체층(113)을 덮으며 전면에 게이트 절연막(116)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(116) 위로는 상기 반도체층(113)의 제 1 영역(113a)에 대응하여 게이트 전극(120)이 형성되어 있다. 또한, 상기 게이트 절연막(116) 위로는 스위칭 박막트랜지스터(미도시)를 이룰 게이트 전극(미도시)과 연결되며 일방향으로 연장하며 게이트 배선(미도시)이 형성되어 있다. In addition, a gate insulating layer 116 is formed on the entire surface of the semiconductor layer 113, and the gate electrode 116 is formed on the gate insulating layer 116 to correspond to the first region 113a of the semiconductor layer 113. 120 is formed. In addition, the gate insulating layer 116 is connected to a gate electrode (not shown) to form a switching thin film transistor (not shown), extends in one direction, and a gate wiring (not shown) is formed.

또한, 상기 게이트 전극(120)과 게이트 배선(미도시) 위로 전면에 층간절연막(123)이 형성되어 있다. 이때, 상기 층간절연막(123)과 그 하부의 게이트 절연막(116)은 상기 제 1 영역(113a) 양측면에 위치한 상기 제 2 영역(113b) 각각을 노출시키는 반도체층 콘택홀(125)이 형성되어 있다. In addition, an interlayer insulating layer 123 is formed over the gate electrode 120 and the gate wiring (not shown). In this case, the interlayer insulating layer 123 and the gate insulating layer 116 thereunder are formed with a semiconductor layer contact hole 125 exposing each of the second regions 113b located on both sides of the first region 113a. .

다음, 상기 반도체층 콘택홀(125)을 포함하는 층간절연막(123) 상부에는 상기 게이트 배선(미도시)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터 배선(미도시)과, 이와 이격하여 전원배선(미도시)이 형성되고 있다. 또한, 상기 층간절연막(123) 위로 각 구동영역(DA) 및 스위칭 영역(미도시)에는 서로 이격하며 상기 반도체층 콘택홀(125)을 통해 노출된 제 2 영역(113b)과 각각 접촉하며 소스 및 드레인 전극(133, 136)이 형성되어 있다. 이때, 상기 소스 및 드레인 전극(133, 136)과, 이들 전극(133, 136)과 접촉하는 제 2 영역(113b)을 포함하는 반도체층(113)과, 상기 반도체층(113) 상부에 형성된 게이트 절연막(116) 및 게이트 전극(120)은 각각 구동 박막트랜지스터(DTr) 및 스위칭 박막트랜지스터(미도시)를 이룬다. 이때, 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)와 게이 트 배선(미도시) 및 데이터 배선(미도시)과 전기적으로 연결되며 형성되어 있다. 한편, 상기 데이터 배선(미도시)은 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 소스 전극(미도시)과 연결되고 있다. Next, a data line (not shown) intersecting the gate line (not shown) and defining a pixel area (P) on the interlayer insulating layer 123 including the semiconductor layer contact hole 125 and a power source spaced apart from the power line. Wiring (not shown) is formed. In addition, the driving area DA and the switching area (not shown) are spaced apart from each other on the interlayer insulating layer 123 and contact the second area 113b exposed through the semiconductor layer contact hole 125, respectively. Drain electrodes 133 and 136 are formed. In this case, the semiconductor layer 113 including the source and drain electrodes 133 and 136, the second region 113b in contact with the electrodes 133 and 136, and a gate formed on the semiconductor layer 113. The insulating layer 116 and the gate electrode 120 form a driving thin film transistor DTr and a switching thin film transistor (not shown), respectively. In this case, the switching thin film transistor (not shown) is electrically connected to the driving thin film transistor DTr, the gate line (not shown), and the data line (not shown). The data line (not shown) is connected to a source electrode (not shown) of the switching thin film transistor (not shown).

이때, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)는 상기 제 2 영역(113b)에 도핑되는 불순물에 따라 p타입 또는 n타입 박막트랜지스터를 이루게 된다. p타입 박막트랜지스터의 경우는 제 2 영역(113b)에 3족의 원소 예를들면 붕소(B)를 도핑함으로써 이루어지게 되며, 캐리어로서 정공이 이용된다. In this case, the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) forms a p-type or n-type thin film transistor according to an impurity doped in the second region 113b. In the case of the p-type thin film transistor, the second region 113b is formed by doping element 3, for example, boron (B), and holes are used as carriers.

따라서, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 연결되는 제 1 전극(147)은 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 타입에 따라 애노드 또는 캐소드 전극의 역할을 하게 되는 것이다. 본 발명의 실시예에 있어서는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결된 제 1 전극(147)은 애노드 전극의 역할을 하게 되는 것이 특징이다. Therefore, the first electrode 147 connected to the drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr serves as an anode or a cathode according to the type of the driving thin film transistor DTr. In the exemplary embodiment of the present invention, the first electrode 147 connected to the driving thin film transistor DTr serves as an anode electrode.

또한, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시) 위로는 전면에 제 1 보호층(140)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1 보호층(140)에는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)이 형성되어 있다. In addition, a first passivation layer 140 is formed on an entire surface of the driving and switching thin film transistor DTr (not shown). In this case, a drain contact hole 143 exposing the drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr is formed in the first passivation layer 140.

한편, 도면에는 나타나지 않았지만, 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 게이트 전극(미도시)은 상기 게이트 배선(미도시)과 연결되며, 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 소스 전극(미도시)은 상기 데이터 배선(미도시)과 연결된다.Although not shown in the drawings, a gate electrode (not shown) of the switching thin film transistor (not shown) is connected to the gate wiring (not shown), and a source electrode (not shown) of the switching thin film transistor (not shown) is It is connected to the data line (not shown).

또한, 상기 드레인 콘택홀(143)을 구비한 상기 제 1 보호층(140) 위로는 상 기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 상기 드레인 콘택홀(143)을 통해 접촉되며, 각 화소영역(P) 별로 제 1 전극(147)이 형성되어 있다. 이때, 도면에 나타나지 않았지만, 상기 제 1 전극(147)은 이중층 구조를 이루거나 또는 상기 제 1 전극(147) 하부에 반사판(미도시)이 구비되는 것이 광효율 극대화 측면에서 바람직하다. 즉, 상기 제 1 전극(147)이 이중층 구조를 이루는 경우, 상부층(미도시)은 애노드 전극의 역할을 하며, 하부층(미도시)은 반사판의 역할을 할 수 있는 도전성 물질로 각각 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr is in contact with the drain contact hole 143 on the first passivation layer 140 including the drain contact hole 143. The first electrode 147 is formed for each pixel region P. FIG. At this time, although not shown in the drawing, it is preferable that the first electrode 147 has a double layer structure or a reflecting plate (not shown) is provided below the first electrode 147 in terms of maximizing light efficiency. That is, when the first electrode 147 forms a double layer structure, an upper layer (not shown) serves as an anode electrode, and a lower layer (not shown) is preferably formed of a conductive material that can serve as a reflector. Do.

조금 더 상세히 설명하면, 상기 제 1 전극(147)의 상부층(미도시)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 크며 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지며, 상기 제 1 전극(147)의 하부층(미도시)은 반사효율이 우수한 금속물질 예를들면 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)으로써 이루어짐으로써 상기 제 1 전극(147) 상부에 형성되는 유기 발광층(155)으로부터 발광된 빛을 상부로 반사시켜 발광 효율을 향상시키는 역할을 하게 된다. 한편, 상기 제 1 전극(147)을 도시한 바와같이 단일층 구조를 이루도록 하는 경우, 상기 제 1 전극(147) 하부에는 전술한 반사효율이 우수한 금속물질로서 반사판(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. In more detail, the upper layer (not shown) of the first electrode 147 has a relatively large work function value to serve as an anode electrode, and is a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc. -Made of oxide (IZO), and the lower layer (not shown) of the first electrode 147 is made of a metal material having excellent reflection efficiency, for example, aluminum (Al) or silver (Ag), thereby providing the first electrode 147. By reflecting the light emitted from the organic light emitting layer 155 formed on the upper part to improve the luminous efficiency. Meanwhile, when the first electrode 147 is formed as shown in a single layer structure, a reflector (not shown) may be further formed below the first electrode 147 as a metal material having excellent reflection efficiency described above. have.

다음, 상기 제 1 전극(147) 위로 각 화소영역(P)의 경계에는 각 화소영역(P)을 둘러싸는 형태로 상기 제 1 전극(147)의 테두리와 중첩하도록 버퍼패턴(150)이 형성되어 있다. Next, a buffer pattern 150 is formed on the boundary of each pixel region P on the first electrode 147 so as to overlap the edge of the first electrode 147 in a form surrounding the pixel region P. have.

또한, 상기 버퍼패턴(150)으로 둘러싸인 각 화소영역(P)에 있어 상기 제 1 전극(147) 위로는 유기 발광층(155)이 형성되고 있으며, 상기 유기 발광층(155) 위로는 표시영역 전면에 제 2 전극(158)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1, 2 전극(147, 158)과 그 사이에 형성된 유기 발광층(155)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루게 된다.In addition, in each pixel area P surrounded by the buffer pattern 150, an organic emission layer 155 is formed on the first electrode 147, and an organic emission layer 155 is formed on the entire display area above the organic emission layer 155. 2 electrodes 158 are formed. In this case, the first and second electrodes 147 and 158 and the organic light emitting layer 155 formed therebetween form an organic light emitting diode (E).

도면에 나타나지 않았지만, 상기 제 1 전극(147)과 유기 발광층(155) 사이 및 상기 유기 발광층(155)과 제 2 전극(158) 사이에는 각각 상기 유기 발광층(155)의 발광 효율 향상을 위해 다층 구조의 제 1 발광보상층(미도시)과 제 2 발광보상층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. 이때, 다층의 상기 제 1 발광보상층(미도시)은 상기 제 1 전극(147)으로부터 순차 적층되며 정공주입층(hole injection layer)과 정공수송층(hole transporting layer)으로 이루어지며, 또한, 상기 제 2 발광보상층(미도시)은 상기 유기 발광층(155)으로부터 전자수송층(electron transporting layer)과 전자주입층(electron injection layer)으로 이루어진다. 상기 다층 구조의 제 1 발광보상층(미도시)과 상기 제 2 발광보상층(미도시)은 상기 표시영역 전면에 판형태로 형성될 수도 있고, 또는 각 화소영역(P)별로 분리 형성될 수도 있다.Although not shown in the figure, a multilayer structure is formed between the first electrode 147 and the organic light emitting layer 155 and between the organic light emitting layer 155 and the second electrode 158 to improve the luminous efficiency of the organic light emitting layer 155, respectively. The first light emitting compensation layer (not shown) and the second light emitting compensation layer (not shown) may be further formed. In this case, the multilayer first emission compensation layer (not shown) is sequentially stacked from the first electrode 147 and includes a hole injection layer and a hole transporting layer. The light emitting compensation layer (not shown) includes an electron transporting layer and an electron injection layer from the organic light emitting layer 155. The first emission compensation layer (not shown) and the second emission compensation layer (not shown) of the multilayer structure may be formed in a plate shape on the entire surface of the display area, or may be separately formed for each pixel area (P). have.

한편, 상기 유기 발광층(155) 상부에 형성된 상기 제 2 전극(158)은 상기 제 1 전극(147)은 캐소드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄 마그네슘 합금(AlMg) 중 하나로 빛의 투과가 이루어지도록 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖도록 형성되는 것이 특징이다.On the other hand, the second electrode 158 formed on the organic light emitting layer 155 is a metal material having a relatively low work function value, such as aluminum (Al), aluminum so that the first electrode 147 serves as a cathode electrode One of the alloys (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), aluminum magnesium alloy (AlMg) is characterized in that it is formed to have a thickness of about 10 ~ 200 Å to transmit light.

다음, 상기 표시영역 전면에 형성된 상기 제 2 전극(158) 위로 상기 유기 발광층(155)의 광효율을 향상시키고, 상기 제 2 전극(158)의 보호와 상기 유기 발광층(155)으로의 습기 침투 방지를 위해 무기절연물질 또는 유기절연물질로써 제 2 보호층(160)이 형성되고 있다.Next, the light efficiency of the organic light emitting layer 155 may be improved over the second electrode 158 formed on the entire display area, and the protection of the second electrode 158 and prevention of moisture penetration into the organic light emitting layer 155 may be prevented. The second protective layer 160 is formed of an inorganic insulating material or an organic insulating material.

다음, 본 발명의 가장 특징적인 구성으로서 상기 제 2 보호층(160) 위로 서로 일정간격 이격하는 바(bar) 형태의 터치 제 2 전극(165)이 형성되고 있다. 이때, 상기 이격하는 터치 제 2 전극(165)은 그 하부에 위치하는 상기 제 2 보호층(160)과 표시영역 전면에 형성된 상기 제 2 전극(158, 터치 제 1 전극)과 더불어 터치 센서(TS)를 이루는 것이 특징이다.Next, as the most characteristic configuration of the present invention, a touch-type second electrode 165 having a bar shape spaced apart from each other on the second protective layer 160 is formed. In this case, the spaced apart touch second electrode 165 is a touch sensor TS together with the second protective layer 160 disposed below the second protective layer 160 and the second electrode 158 (the touch first electrode) formed in front of the display area. ) Is a feature.

따라서, 상기 제 2 전극(165)은 유기전계 발광 다이오드(E)의 일 구성요소도 되며, 터치 센서(TS)의 일 구성요소도 되는 것이 특징이다. Accordingly, the second electrode 165 may be one component of the organic light emitting diode E and also may be one component of the touch sensor TS.

다음, 상기 터치 제 2 전극(165) 위로는 그 내부에 불활성 기체, 유기절연물질 또는 페이스 씰(face sael)을 개재하여 투명한 유리재질 또는 투명한 플라스틱 재질의 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(170)이 구비됨으로써 본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)를 이루고 있다.Next, the second substrate 170 for encapsulation of a transparent glass material or a transparent plastic material through an inert gas, an organic insulating material, or a face seal inside the touch second electrode 165 therein. By providing the touch sensor in-cell type organic light emitting device 101 according to the present invention.

이때, 상기 제 2 기판(170)의 외측면에는 상기 유기 발광층(155)으로부터 나오는 빛을 효율증대를 위해 편광판(175)이 더욱 구비될 수도 있다. 상기 편광판(175)은 통상적으로 휴대 가능한 핸드폰, PDA 및 노트북은 주로 개인 위주로 사용되는 것이므로 화상의 정면에서의 휘도 특성 등이 가장 중요하므로 선택적으로 특성 각도로 입사되는 빛에 대해서만 통과시키고 그 이외의 빛은 다시 하부로 돌려 보낸 뒤 반사판(미도시)에 의해 반사되어 다시 특정 각도로 입사시켜 투과시키는 역할을 하는 것이다. 이러한 편광판(175)은 반드시 구성될 필요는 없으며 생략될 수도 있다.In this case, a polarizer 175 may be further provided on the outer surface of the second substrate 170 to increase the efficiency of light emitted from the organic light emitting layer 155. Since the polarizer 175 is a mobile phone, a PDA, and a laptop, which are usually used mainly for personal use, the luminance characteristic at the front of the image is the most important, and thus selectively passes only light that is incident at a characteristic angle. After returning back to the lower part is reflected by a reflector (not shown) and serves to enter again at a specific angle to transmit. The polarizer 175 is not necessarily configured and may be omitted.

한편, 전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)에 있어서, 상기 터치 센서(TS)는 상기 제 2 전극(158)과 제 2 보호층(160)과 상기 터치 제 2 전극(165)으로 구성되는 커패시터 형태를 이루게 되며, 이때 손가락 등이 접촉하게 되면 상기 커패시터의 프린지 필드 변동에 의한 용량 변화를 인식하여 터치 센서(TS)로서의 작용을 하게 되는 것이다.Meanwhile, in the touch sensor in-cell type organic light emitting device 101 according to the present invention having the above-described configuration, the touch sensor TS includes the second electrode 158, the second protective layer 160, and the touch. A capacitor formed of the second electrode 165 may be formed, and when a finger or the like comes into contact, the capacitor may recognize a change in capacitance caused by a change in the fringe field of the capacitor to act as a touch sensor TS.

도 6a 내지 6b는 본 발명에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자에 있어 터치 센서의 동작을 설명한 간략한 단면도이다. 설명의 편의를 위해 구동 및 스위칭 박막트랜지스터와 유기전계 발광 다이오드는 생략하고 제 1 기판에 구비된 터치센서와 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판만을 간략히 도시하였다. 6A to 6B are simplified cross-sectional views illustrating the operation of the touch sensor in the touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention. For convenience of description, the driving and switching thin film transistors and the organic light emitting diode are omitted, and only the touch sensor provided in the first substrate and the second substrate for encapsulation are briefly shown.

도 6a에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)에 있어 제 2 기판(170) 표면에 대해 사용자의 손가락(195) 등의 터치가 이루어지지 않았을 경우, 상기 제 2 전극(158)과 상기 터치 제 2 전극(165) 간에 형성되는 프린지 필드가 일정하게 유지됨으로써 커패시터의 용량변화가 없으므로, 동작을 하지 않으며, 도 6b에 도시한 바와 같이, 상기 제 2 기판(170)의 표면에 사용자의 손가락(195) 등의 터치가 발생하면 상기 제 2 전극(158, 터치 제 1 전극)과 상기 터치 제 2 전극(165)과 프린지 필드가 터치가 이루어진 손가락(195) 등에 영향을 받아 변화를 일으키게 됨으로써 터치 센서가 터치된 것을 감지하게 됨으 로써 터치 시의 동작을 실시하게 된다.As shown in FIG. 6A, in the touch sensor in-cell type organic light emitting device 101 according to the present invention, when the user's finger 195 or the like is not touched on the surface of the second substrate 170, Since the fringe field formed between the second electrode 158 and the touch second electrode 165 is kept constant, there is no change in capacitance of the capacitor, and thus, the operation is not performed. As shown in FIG. 6B, the second substrate ( When a touch of the user's finger 195 or the like occurs on the surface of the 170, the second electrode 158 (the touch first electrode), the touch second electrode 165, and the fringe field are touched 195. The change occurs under the influence of the touch sensor, so that the touch sensor detects that the touch has been touched.

한편, 도 5를 참조하면, 전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)는 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루는 하나의 구성요소인 제 2 전극(158)을 터치 센서(TS)의 터치 제 1 전극으로 이용하고, 이의 상부에 통상적으로 유기 발광층(155)의 투습 방지를 위해 형성하는 상기 제 2 보호층(160)을 유전체층으로 이용하고, 별도로 상기 제 2 보호층(160) 상부에 이격하는 바(bar) 형태를 갖는 터치 제 2 전극(165)을 형성한 후, 인캡슐레이션용 제 2 기판(170)을 합착함으로써 완성되고 있다. Meanwhile, referring to FIG. 5, the touch sensor in-cell type organic light emitting device 101 according to the present invention having the above-described configuration includes a second electrode 158 which is one component constituting the organic light emitting diode E. Referring to FIG. The second protective layer 160, which is used as a touch first electrode of the touch sensor TS and is formed on the upper portion thereof to prevent moisture permeation of the organic light emitting layer 155, is used as a dielectric layer, and the second protective layer is separately provided. After forming the touch second electrode 165 having a bar shape spaced apart on the layer 160, the second substrate 170 for encapsulation is bonded to each other.

따라서, 종래의 터치센서를 구비한 유기전계 발광소자 대비 보호시트와 하나의 기판과, 터치 제 1 전극 및 유전체층을 생략할 수 있으므로, 보호시트와 하나의 기판 및 2개의 물질층이 생략됨으로써 박형화 및 경량화를 이루게 되며, 2개의 물질층 생략에 의해 공정 단순화를 실현할 수 있는 것이 특징이다. Therefore, since the protective sheet and one substrate, the touch first electrode and the dielectric layer can be omitted, compared to the organic light emitting device having a touch sensor, the protective sheet, one substrate, and two material layers are omitted. The weight is reduced, and the process simplification is realized by omitting two material layers.

이때, 도면에 있어서는 상기 터치 제 2 전극(165)은 표시영역 내에서 하나의 화소영역 내에 다수개 형성된 것으로 도시되고 있지만, 이는 설명의 편의를 위해 도시한 것이며, 실제적으로는 상기 터치 제 2 전극(165) 하나의 화소영역(P) 내에는 하나의 바(bar) 형태를 갖는 형태로 이루어지고 있는 것이 특징이다. In this case, in the drawing, the touch second electrode 165 is illustrated as being formed in one pixel area in the display area. However, this is illustrated for convenience of description, and in reality, the touch second electrode ( 165) One pixel area P is characterized by being formed in a bar shape.

한편, 이러한 바(bar) 형태의 터치 제 2 전극(165)은 반드시 하나의 화소영역(P)마다 형성될 필요는 없으며, 주로 적, 녹, 청색의 발광 물질층(155)이 각각 형성된 화소영역(P) 중 어느 하나의 색의 발광 물질층(155)이 형성된 화소영역(P)에 대응해서만 형성되는 것이 바람직하다. 또는, 하나의 화소영역(P)에 터치 제 2 전극(165)이 형성된 경우, 이와 이웃한 1개 내지 10개의 화소영역에 대해서는 상기 터치 제 2 전극(165)은 형성되지 않고, 상기 1개 내지 10개의 화소영역을 이격간격으로 형성되어도 무방하다. Meanwhile, the bar-shaped touch second electrode 165 does not necessarily need to be formed every one pixel region P, and mainly includes pixel regions in which red, green, and blue light emitting material layers 155 are formed, respectively. It is preferable to form only the pixel region P in which the light emitting material layer 155 of any of (P) is formed. Alternatively, in the case where the touch second electrode 165 is formed in one pixel area P, the touch second electrode 165 is not formed in one to ten pixel areas adjacent thereto. Ten pixel areas may be formed at a spaced interval.

이렇게 상기 터치 제 2 전극(165)을 일정한 이겨간격을 갖도록 형성하는 이유는, 상기 터치 제 2 전극(165)과 하부의 제 2 전극(158, 터치 제 1 전극)은 프린지 필드를 형성해야 하므로 이격간격을 필요로 하기 때문이며, 통상 패널 표면의 터치는 손가락이 이용되고 있으며, 터치되는 손가락의 면적은 수 개 내지 수십 개의 화소영역에 대응되므로 상기 터치 제 2 전극(165)은 화소영역(P) 단위로 이격하며 형성되어도 터치 되는 영역에 상기 터치 제 2 전극(165)이 미형성되어 터치를 감지하지 못하는 등의 문제는 발생되지 않는다. The reason why the touch second electrode 165 is formed to have a predetermined beat interval is because the touch second electrode 165 and the lower second electrode 158 (the touch first electrode) must form a fringe field. This is because a touch is required on the panel surface, and a finger is used, and since the area of the touched finger corresponds to several to several tens of pixel areas, the touch second electrode 165 is a pixel area P unit. Even if the gaps are formed to be spaced apart from each other, the touch second electrode 165 is not formed in the touched area, so that a problem such as not detecting a touch does not occur.

한편, 도 7a와 7b는 본 발명의 변형예에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 평면도 일부를 각각 도시한 도면이다. 7A and 7B illustrate a part of a plan view of a touch sensor in-cell type organic light emitting diode according to a modified example of the present invention.

도시한 바와 같이, 본 발명의 변형예에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자는 유기 발광층이 적, 녹, 청색을 발광하는 화소영역(R, G, B) 이외에 화이트를 발광하는 화이트 발광층(미도시)이 구비된 화소영역(W)을 포함하여 구성되고 있다. As shown, the touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the modification of the present invention has a white light emitting layer (not shown) in which the organic light emitting layer emits white in addition to the pixel areas R, G, and B that emit red, green, and blue light. Is configured to include the pixel region W provided with the eye.

이렇게, 적, 녹, 청 및 화이트 4개의 화소영역(R, G, B, W)을 하나의 색을 표현하는 도트로 구성되는 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 경우, 상기 터치 제 2 전극(165)은 화이트를 발광하는 유기 발광층(미도시)이 형성된 화소영역(W)에 형성되는 것이 특징이다. As such, in the case of the touch sensor in-cell type organic light emitting device including four red, green, blue, and white pixel areas R, G, B, and W representing one color, the touch second electrode ( 165 is formed in the pixel region W in which an organic emission layer (not shown) emitting white light is formed.

이렇게 터치 제 2 전극(165)을 화이트 유기 발광층(미도시)이 형성된 화소영역(W)에 대응하여 형성하는 이유는 상기 터치 센서 구동을 위해 구성된 상기 터치 제 2 전극(165)을 형성함으로써 발생될 수 있는 휘도 저하의 문제를 최소화하기 위함이다. The reason for forming the touch second electrode 165 corresponding to the pixel area W in which the white organic emission layer (not shown) is formed may be generated by forming the touch second electrode 165 configured to drive the touch sensor. This is to minimize the problem of luminance deterioration.

상기 터치 제 2 전극(165)을 투명 도전성 물질로 형성한다 하여도 이는 유기 발광층(미도시)으로부터 발광된 빛을 100% 투과시키는 것이 아니며 그 내부에서 투과율 저하가 발생하게 되며, 적, 녹, 청색을 발광하는 화소영역(R, G, B)대비 화이트를 발광하는 화소영역(W)은 휘도 특성이 제일 우수하므로 상기 화이트를 발광하는 화소영역(W)에 상기 터치 제 2 전극(165)이 형성되면 휘도 저하의 문제를 최소화 할 수 있기 때문이다.Even if the touch second electrode 165 is formed of a transparent conductive material, it does not transmit 100% of light emitted from the organic light emitting layer (not shown), and a decrease in transmittance occurs therein. Since the pixel region W emitting white light has the best luminance characteristic compared to the pixel regions R, G, and B emitting light, the touch second electrode 165 is formed in the pixel region W emitting white light. This is because the problem of luminance deterioration can be minimized.

이후에는 전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 제조 방법에 대해 도 5를 참조하여 간단히 설명한다. 이때, 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 형성하는 방법은 일반적인 어레이 기판의 제조 방법과 동일하므로 유기전계 발광 다이오드와 터치 센서를 형성하는 방법을 위주로 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing the touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention having the above-described configuration will be briefly described with reference to FIG. 5. In this case, since the method of forming the switching and driving thin film transistor is the same as the method of manufacturing a general array substrate, a method of forming an organic light emitting diode and a touch sensor will be described.

우선, 투명한 유리재질 또는 플라스틱 재질의 절연기판(110) 상의 표시영역에 서로 교차하는 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(미도시)과 전원배선(미도시)을 형성하고, 각 화소영역(P)에 상기 게이트 및 데이터 배선(미도시)과 연결된 스위칭 박막트랜지스터(미도시)와 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)와 연결된 구동 박막트랜지스터(DTr)를 형성한다. First, gate lines (not shown), data lines (not shown), and power lines (not shown) that cross each other are formed in the display area on the transparent glass or plastic insulating substrate 110, and each pixel area P is formed. A thin film transistor (not shown) connected to the gate and data lines (not shown) and a driving thin film transistor (DTr) connected to the switching thin film transistor (not shown) are formed on the substrate.

다음, 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr) 위로 상기 구동 박 막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)을 갖는 제 1 보호층(140)을 형성한다.Next, a first passivation layer 140 having a drain contact hole 143 exposing the drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr is formed on the switching and driving thin film transistor DTr. .

다음, 상기 드레인 콘택홀을 갖는 상기 제 1 보호층 위로 반사효율이 우수한 금속물질 예를들면 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)을 증착함으로써 제 1 금속층(미도시)을 전면 형성하고, 상기 제 1 금속층(미도시) 위로 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착하여 투명 도전성 물질층(미도시)을 형성한다. Next, a first metal layer (not shown) is entirely formed by depositing a metal material having excellent reflection efficiency, for example, aluminum (Al) or silver (Ag), on the first protective layer having the drain contact hole. A transparent conductive material having a relatively large work function value, for example, indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), is deposited over the metal layer (not shown) to form a transparent conductive material layer (not shown).

이후 상기 투명 도전성 물질층(미도시)과 상기 제 1 금속층(미도시)을 포토레지스트의 도포, 노광 마스크를 이용한 노광, 노광된 포토레지스트의 현상, 식각 및 스트립 등 일련의 단위공정을 포함하는 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 각 화소영역(P)에 상기 드레인 콘택홀(143)을 통해 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 접촉하는 반사판 및 제 1 전극(147)을 형성한다. Subsequently, the transparent conductive material layer (not shown) and the first metal layer (not shown) include a photoresist, a mask including a series of unit processes such as exposure using an exposure mask, development of an exposed photoresist, etching and stripping, and the like. The patterning process is performed to form the reflective plate and the first electrode 147 in contact with the drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr through the drain contact hole 143 in each pixel region P. Referring to FIG.

다음, 상기 제 1 전극(147) 위로 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 증착하여 무기절연층(미도시)을 형성하고, 이를 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 각 화소영역(P)을 둘러싸는 형태로 상기 제 1 전극(147)의 끝단부를 덮는 버퍼패턴(150)을 형성한다.Next, an inorganic insulating material, such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx), is deposited on the first electrode 147 to form an inorganic insulating layer (not shown), and then patterned by performing a mask process. A buffer pattern 150 is formed to cover the end portion of the first electrode 147 in a form surrounding the pixel region P. Referring to FIG.

다음, 상기 버퍼패턴(150) 위로 적, 녹 및 청색을 발광하는 유기 발광물질 또는 적, 녹, 청 및 화이트를 발광하는 유기 발광물질을 오픈부(OA)와 차단부(BA)를 갖는 쉐도우 마스크(193)를 이용하여 순차적으로 증착함으로써 각 화소영역(P) 에 상기 버퍼패턴(150) 외부로 노출된 상기 제 1 전극(147) 위로 적, 녹, 청색 또는 적, 녹, 청 및 화이트의 유기 발광층(155)을 형성한다.Next, a shadow mask having an open portion (OA) and a blocking portion (BA) is an organic light emitting material emitting red, green, and blue or an organic light emitting material emitting red, green, blue, and white on the buffer pattern 150. By sequentially depositing using 193, organic light of red, green, blue or red, green, blue, and white is formed on the first electrode 147 exposed to the outside of the buffer pattern 150 in each pixel region P. The light emitting layer 155 is formed.

이때, 도면에 나타나지 않았지만, 상기 적, 녹, 및 청색 또는 적, 녹, 청 및 화이트의 유기 발광층(155)을 형성하기 전에 표시영역 전면 또는 각 화소영역(P) 별로 상기 제 1 전극(147) 위로 정공주입층(hole injection layer)과 정공수송층(hole transporting layer)의 제 1 발광보상층(미도시)을 형성할 수도 있다. 이 경우 상기 유기 발광층(155)은 상기 제 1 발광보상층(미도시) 상부에 형성되게 된다. In this case, although not shown in the drawing, before forming the red, green, and blue or red, green, blue, and white organic light emitting layers 155, the first electrode 147 in front of the display area or for each pixel area P is formed. A first light emitting compensation layer (not shown) of a hole injection layer and a hole transporting layer may also be formed. In this case, the organic emission layer 155 is formed on the first emission compensation layer (not shown).

또한, 도면에 나타나지 않았지만, 상기 유기 발광층(155) 상부로 표시영역 전면 또는 각 화소영역(P)별로 전자수송층(electron transporting layer) 및 전자주입층(electron injection layer)으로 이루어진 제 2 발광보상층(미도시)을 더욱 형성할 수도 있다.Although not shown in the drawings, a second light emitting compensation layer including an electron transporting layer and an electron injection layer on the entire display area or each pixel area P is disposed on the organic light emitting layer 155. May be further formed).

다음, 상기 유기 발광층(155) 또는 상기 제 2 발광보상층(미도시) 위로 표시영역 전면에 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄 마그네슘 합금(AlMg) 중 하나를 상기 유기 발광층(155)으로부터 발광된 빛이 투과할 수 있도록 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖도록 증착함으로써 제 2 전극(158)을 형성한다. 이때, 표시영역 전면에 형성된 상기 제 2 전극(158) 그 하부에 위치하는 유기 발광층(155)과 상기 제 1 전극(147)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이룬다. 또한, 상기 제 2 전극(158)은 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 구성요소도 되지만, 터치 센서(TS)의 터치 제 1 전극의 역할을 하는 것이 특징이다.  Next, a metal material having a relatively low work function value over the organic light emitting layer 155 or the second light emitting compensation layer (not shown), for example, aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), or silver (Ag). , By depositing one of magnesium (Mg), gold (Au), and aluminum magnesium alloy (AlMg) to have a thickness of about 10 μs to about 200 μs so that light emitted from the organic light emitting layer 155 may pass through. ). In this case, the organic light emitting layer 155 and the first electrode 147 disposed below the second electrode 158 formed on the entire display area form an organic light emitting diode (E). In addition, although the second electrode 158 may also be a component of the organic light emitting diode E, the second electrode 158 serves as a touch first electrode of the touch sensor TS.

다음, 상기 제 2 전극(158)이 위로 상기 유기 발광층(155)으로의 투습 방지 및 광경로 조절을 통해 발광효율을 극대화하기 위해 무기절연물질을 증착하거나 또는 유기절연물질을 도포함으로써 상기 표시영역 전면에 제 2 보호층(160)을 형성한다. 이때, 상기 제 2 보호층(160)은 터치 센서(TS)의 유전체층의 역할을 하게 되는 것이 특징이다. Next, in order to maximize luminous efficiency by preventing the moisture permeation to the organic light emitting layer 155 and adjusting the light path, the second electrode 158 is deposited with an inorganic insulating material or by applying an organic insulating material to the entire surface of the display area. The second protective layer 160 is formed on the substrate. In this case, the second protective layer 160 serves as a dielectric layer of the touch sensor TS.

다음, 상기 제 2 보호층(160) 위로 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착하고 이를 패터닝함으로써 적, 녹, 청색을 발광하는 화소영역(P) 중 어느 하나의 화소영역(P) 또는 화이트를 발광하는 화소영역이 구비되는 경우 상기 화이트 화소영역 또는 1개 내지 10개의 화소영역 거리의 이격간격을 갖도록 특정 화소영역(P)에 대응하여 바(bar) 형태의 터치 제 2 전극(165)을 형성한다.Next, a pixel region emitting red, green, and blue light by depositing and patterning a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) on the second protective layer 160. When one of the pixel areas P or the pixel areas emitting white light is provided, the corresponding pixel areas P may be spaced apart from the white pixel areas or 1 to 10 pixel areas. A bar-shaped touch second electrode 165 is formed.

이때, 표시영역 전면에 형성된 제 2 전극(158, 터치 제 1 전극)과 제 2 보호층(160)과 상기 터치 제 2 전극(165)은 프린지 필드 커패시턴스를 갖는 터치 센서(TS)를 이루게 된다. In this case, the second electrode 158 (the touch first electrode), the second protective layer 160, and the touch second electrode 165 formed on the entire display area form a touch sensor TS having a fringe field capacitance.

다음, 상기 유기발광 다이오드(E)와 상기 터치 센서(TS)를 구성한 제 1 기판(110)에 대해 표시영역 외측의 테두리를 따라 씰패턴(미도시)을 형성하고, 투명한 유리재질 또는 플라스틱 재질의 제 2 기판(170)을 진공 또는 불활성 기체 분위기에서 접착시킴으로써 본 발명에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자(101)를 완성할 수 있다. Next, a seal pattern (not shown) is formed along the outer edge of the display area with respect to the first substrate 110 including the organic light emitting diode E and the touch sensor TS, and is formed of a transparent glass material or a plastic material. By bonding the second substrate 170 in a vacuum or inert gas atmosphere, the touch sensor in-cell type organic light emitting device 101 according to the present invention may be completed.

이때, 상기 제 2 기판(170)과 제 1 기판(110) 사이에는 상기 불활성 기체 또는 진공의 분위기 이외에, 투명한 페이스 씰이 전면에 도포되어 접착층으로 구성될 수도 있다.At this time, between the second substrate 170 and the first substrate 110, in addition to the atmosphere of the inert gas or vacuum, a transparent face seal may be applied to the entire surface to form an adhesive layer.

또한, 상기 제 2 기판(170)의 외측면에 편광판(175)이 더욱 구성함으로써 특정 각도로 입사되는 빛만을 선택적으로 투과시키고, 나머지 빛은 상기 제 1 기판(110)상의 반사판(미도시) 쪽으로 반사시키도록 하여 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170) 사이에서 특정 각도를 가지고 상기 편광판(175)에 입사될 수 있도록 계속적으로 반사되도록 하여 발광효율을 극대화하는 역할을 하도록 할 수도 있다. In addition, the polarizing plate 175 is further configured on the outer surface of the second substrate 170 to selectively transmit only the light incident at a specific angle, and the remaining light toward the reflecting plate (not shown) on the first substrate 110. In order to reflect the light, the light may be continuously reflected to be incident on the polarizer 175 at a specific angle between the first substrate 110 and the second substrate 170 to maximize the luminous efficiency. .

도 1은 일반적인 액티브 매트릭스형 유기전계 발광소자의 한 화소에 대한 회로도.1 is a circuit diagram of one pixel of a typical active matrix organic electroluminescent device.

도 2는 종래의 일반적인 유기전계 발광소자에 대한 개략적인 단면도.2 is a schematic cross-sectional view of a conventional organic EL device.

도 3은 종래의 상부발광 방식 유기전계 발광소자의 구동 박막트랜지스터를 포함하는 하나의 화소영역에 대한 단면도.3 is a cross-sectional view of one pixel area including a driving thin film transistor of a conventional top emission type organic light emitting device.

도 4는 종래의 터치 센서가 부착된 유기전계 발광소자의 개략적인 단면도.4 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode with a conventional touch sensor.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 단면도.5 is a cross-sectional view of a touch sensor in-cell type organic light emitting device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 6a 내지 6b는 본 발명에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자에 있어 터치 센서의 동작을 설명한 간략한 단면도.Figure 6a to 6b is a simplified cross-sectional view illustrating the operation of the touch sensor in the touch sensor in-cell type organic light emitting device according to the present invention.

도 7a와 7b는 본 발명의 변형예에 따른 터치센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 평면도 일부를 각각 도시한 도면.7A and 7B are views respectively showing a plan view of a touch sensor in-cell type organic light emitting device according to a modification of the present invention;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of the drawings>

101 : 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자101: touch sensor in-cell type organic light emitting device

110 : 제 1 기판 113 : 반도체층110: first substrate 113: semiconductor layer

113a : 제 1 영역 113b : 제 2 영역113a: first region 113b: second region

116 : 게이트 절연막 120 : (구동 박막트랜지스터의)게이트 전극116: gate insulating film 120: gate electrode (of driving thin film transistor)

123 : 층간절연막 125 : 반도체층 콘택홀 123: interlayer insulating film 125: semiconductor layer contact hole

133 : (구동 박막트랜지스터의)소스 전극 133: source electrode (of the driving thin film transistor)

136 : (구동 박막트랜지스터의)드레인 전극136: drain electrode (of driving thin film transistor)

140 : 제 1 보호층 143 : 드레인 콘택홀140: first protective layer 143: drain contact hole

147 : 제 1 전극 150 : 버퍼패턴147: first electrode 150: buffer pattern

155 : 유기 발광층 158 : 제 2 전극(터치 제 1 전극)155: organic light emitting layer 158: second electrode (touch first electrode)

160 : 제 2 보호층 165 : 터치 제 2 전극160: second protective layer 165: touch second electrode

170 : 제 2 기판 175 : 편광판170: second substrate 175: polarizing plate

DA : 구동영역 E : 유기전계 발광 다이오드 DA: driving region E: organic light emitting diode

P : 화소영역 TS : 터치 센서P: Pixel Area TS: Touch Sensor

Claims (10)

표시영역 다수의 화소영역이 정의되며, 서로 교차하는 게이트 및 데이터 배선과, 전원배선과, 상기 게이트 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와 유기전계 발광 다이오드를 포함하는 제 1 기판과 이와 마주하는 투명한 제 2 기판을 포함하는 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자에 있어서, Display area A plurality of pixel areas are defined, and gate and data lines crossing each other, power lines, a switching thin film transistor connected to the gate and data lines, a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor, and an organic light emitting diode In the touch sensor in-cell type organic light emitting device comprising a first substrate comprising a transparent second substrate facing the same, 상기 각 화소영역 내에 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 형성된 제 1 전극과;A first electrode formed in each pixel area in contact with the drain electrode of the driving thin film transistor; 상기 각 화소영역을 둘러싸며 상기 제 1 전극의 테두리를 덮으며 형성된 버퍼패턴과;A buffer pattern surrounding each pixel area and covering an edge of the first electrode; 상기 화소영역에 상기 제 1 전극 위로 형성된 유기 발광층과;An organic emission layer formed on the first electrode in the pixel region; 상기 유기 발광층 위로 상기 표시영역 전면에 형성된 제 2 전극과;A second electrode formed over the organic light emitting layer on the entire display area; 상기 제 2 전극 상부로 상기 표시영역 전면에 형성된 제 1 물질층과;A first material layer formed over the second electrode and over the display area; 상기 제 1 층 상부로 다수의 상기 화소영역 중 다수의 특정 화소영역에 대응하여 형성된 터치 전극을 포함하며, 상기 제 2 전극과 상기 제 1 물질층과 상기 터치 전극은 터치 센서를 이루는 것이 특징인 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자.And a touch electrode formed on the first layer to correspond to a plurality of specific pixel areas of the plurality of pixel areas, wherein the second electrode, the first material layer, and the touch electrode form a touch sensor. Sensor in-cell type organic light emitting device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 발광층은 적, 녹, 청색 유기 발광물질로 이루어지며 각 화소영역에는 순차적으로 적, 녹 및 청색 유기 발광층이 형성되어 적, 녹 및 청색을 각각 발광하는 것이 특징인 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자.The organic light emitting layer is composed of red, green, and blue organic light emitting materials, and the red, green, and blue organic light emitting layers are sequentially formed in each pixel area to emit red, green, and blue light, respectively. device. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 특정 화소영역은, 상기 적, 녹 및 청색을 발광하는 화소영역 중 어느 하나의 색을 발광하는 화소영역이거나, 또는 상기 표시영역에서 1개 내지 10개의 화소영역의 이격간격을 가지며 배치된 화소영역인 것이 특징인 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자.The specific pixel area may be a pixel area that emits any color among the pixel areas emitting red, green, and blue, or a pixel area disposed at a spacing interval of 1 to 10 pixel areas in the display area. Touch sensor in-cell type organic light emitting device characterized in that the. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 특정 화소영역은, 상기 유기 발광층이 각 화소영역에 순차적으로 적, 녹, 청 및 화이트를 발광하는 유기 발광 물질로 이루어지는 경우, 화이트의 유기 발광층이 형성되어 화이트를 발광하는 화소영역인 것이 특징인 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자.The specific pixel region may be a pixel region in which a white organic light emitting layer is formed to emit white light when the organic light emitting layer is formed of an organic light emitting material that sequentially emits red, green, blue, and white light in each pixel area. Touch sensor in-cell type organic light emitting device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 기판의 외측면에는 편광판이 구성된 것이 특징인 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자.Touch sensor in-cell type organic light emitting device, characterized in that the polarizing plate is configured on the outer surface of the second substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 전극 하부에는 반사효율이 우수한 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)으로이루어진 반사판이 형성되며, A reflector plate made of aluminum (Al) or silver (Ag) having excellent reflection efficiency is formed under the first electrode. 상기 제 1 전극은 애노드 전극을 역할을 할 수 있도록 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지며, The first electrode is made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), which is a transparent conductive material having a large work function value to serve as an anode electrode. 상기 제 2 전극은 캐소드 전극을 역할을 할 수 있도록 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 하나로 이루어지며,The second electrode is aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), aluminum magnesium, a metal material having a relatively low work function value to act as a cathode electrode Made of one of the alloys (AlMg), 상기 터치 전극은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어진 것이 특징인 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자.The touch electrode is a touch sensor in-cell type organic light emitting device, characterized in that made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) transparent conductive material. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 1 전극과 상기 유기 발광층 사이에는 정공주입층(hole injection layer)과 정공수송층(hole transporting layer)이 형성되며, A hole injection layer and a hole transporting layer are formed between the first electrode and the organic light emitting layer. 상기 유기 발광층과 상기 제 2 전극 사이에는 전자수송층(electron transporting layer)과 전자주입층(electron injection layer)이 형성된 것이 특징인 유기전계 발광소자.And an electron transporting layer and an electron injection layer between the organic light emitting layer and the second electrode. 표시영역 내에 다수의 화소영역이 정의된 제 1 기판 상에 서로 교차하는 게이트 및 데이터 배선과, 전원배선과, 상기 게이트 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터를 형성하는 단계와;A gate and data wiring crossing each other on a first substrate having a plurality of pixel regions defined in the display area, a power supply wiring, a switching thin film transistor connected to the gate and data wiring, and a driving thin film transistor connected to the switching thin film transistor. Forming; 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀을 갖는 제 1 보호층을 형성하는 단계와;Forming a first protective layer having a drain contact hole exposing the drain electrode of the driving thin film transistor; 상기 제 1 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하는 제 1 전극을 형성하는 단계와;Forming a first electrode on the first passivation layer in contact with the drain electrode of the driving thin film transistor through the drain contact hole in each pixel area; 상기 각 화소영역을 둘러싸며 상기 제 1 전극의 테두리를 덮는 버퍼패턴을 형성하는 단계와;Forming a buffer pattern surrounding each pixel area and covering an edge of the first electrode; 상기 각 화소영역에 상기 제 1 전극 위로 유기 발광층을 각각 형성하는 단계와;Forming organic light emitting layers on the first electrodes in the pixel areas, respectively; 상기 유기 발광층 위로 상기 표시영역 전면에 제 2 전극을 형성하는 단계와;Forming a second electrode over the display area on the organic light emitting layer; 상기 제 2 전극 상부로, 상기 표시영역 전면에 제 2 보호층을 형성하는 단계와;Forming a second passivation layer over the second electrode, over the display area; 상기 제 2 보호층 위로 상기 각 화소영역 중 특정 화소영역에 대응하여 터치 전극을 형성하는 단계와;Forming a touch electrode on the second passivation layer corresponding to a specific pixel area of each pixel area; 상기 터치 전극과 마주하도록 상기 제 1 기판과 투명한 제 2 기판을 접착시키는 단계Bonding the first substrate and the transparent second substrate to face the touch electrode; 를 포함하는 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 제조 방법.Method of manufacturing a touch sensor in-cell type organic light emitting device comprising a. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 유기 발광층은 적, 녹, 청색을 발광하는 유기 발광물질로 이루어지며, 상기 화소영역은 순차 반복적으로 적, 녹 및 청색 유기 발광층이 각각 형성되어 적, 녹, 및 청색을 발광하도록 하는 경우, 상기 특정 화소영역은 상기 적, 녹, 청색을 발광하는 화소영역 중 어느 한색을 발광하는 화소영역이거나, 또는 1개 내지 10개의 화소영역의 이격간격을 갖도록 배치된 화소영역이 되며, The organic light emitting layer is formed of an organic light emitting material emitting red, green, and blue, and the pixel region is formed when the red, green, and blue organic light emitting layers are sequentially formed to emit red, green, and blue, respectively. The specific pixel region may be a pixel region emitting one of the red, green, and blue pixel regions, or may be a pixel region arranged to have a spacing interval of 1 to 10 pixel regions. 또는, 상기 유기 발광층은 적, 녹, 청색 이외에 화이트를 발광하는 유기 발광물질을 포함하며, 상기 화소영역은 순차 반복적으로 적, 녹, 청 및 화이트 유기 발광층이 각각 형성되어 적, 녹, 청 및 화이트를 발광하도록 하는 경우, 상기 특정 화소영역은 상기 화이트를 발광하는 화소영역 것이 특징인 터치 센서 인셀 타입 유 기전계 발광소자의 제조 방법.Alternatively, the organic light emitting layer includes an organic light emitting material that emits white in addition to red, green, and blue, and the pixel region is formed by sequentially forming red, green, blue, and white organic light emitting layers, respectively, red, green, blue, and white. In the case of emitting light, the specific pixel area is a manufacturing method of the touch sensor in-cell type organic light emitting device, characterized in that the pixel area for emitting the white light. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 제 2 기판의 외측면에 편광판을 부착하는 단계를 포함하는 터치 센서 인셀 타입 유기전계 발광소자의 제조 방법.Method of manufacturing a touch sensor in-cell type organic light emitting device comprising attaching a polarizing plate on the outer surface of the second substrate.
KR1020090077727A 2009-08-21 2009-08-21 Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and methode of fabricating the same KR101589272B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090077727A KR101589272B1 (en) 2009-08-21 2009-08-21 Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and methode of fabricating the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090077727A KR101589272B1 (en) 2009-08-21 2009-08-21 Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and methode of fabricating the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110020049A true KR20110020049A (en) 2011-03-02
KR101589272B1 KR101589272B1 (en) 2016-01-27

Family

ID=43929455

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090077727A KR101589272B1 (en) 2009-08-21 2009-08-21 Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and methode of fabricating the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101589272B1 (en)

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140082089A (en) * 2012-12-21 2014-07-02 엘지디스플레이 주식회사 Large Area Organic Light Emitting Diode Display And Method For Manufacturing The Same
CN103928493A (en) * 2013-12-27 2014-07-16 上海天马有机发光显示技术有限公司 Organic light-emitting display device and manufacturing method thereof
KR20140125578A (en) * 2013-04-19 2014-10-29 삼성디스플레이 주식회사 Touch screen display device
US8884921B2 (en) 2012-04-09 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Display device including touch sensor
KR20150001965A (en) * 2013-06-28 2015-01-07 삼성디스플레이 주식회사 Display device having touch sensor and manufacturing method thereof
KR20150026921A (en) * 2013-08-30 2015-03-11 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 Display device
KR20150061682A (en) * 2013-11-27 2015-06-05 엘지디스플레이 주식회사 Fabricating Method Of Organic Light Emitting Diode Display
CN105097883A (en) * 2015-08-03 2015-11-25 京东方科技集团股份有限公司 Display panel, preparation method thereof and display device
US9201533B2 (en) 2011-04-21 2015-12-01 Lg Display Co., Ltd. Substrate for in-cell type touch sensor liquid crystal display device and method of fabricating the same
US9256097B2 (en) 2013-04-19 2016-02-09 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatuses
KR20170055858A (en) * 2015-11-12 2017-05-22 엘지디스플레이 주식회사 In-cell touch type liquid crystal display device and method of manufacturing the same
US9927939B2 (en) 2014-08-13 2018-03-27 Samsung Display Co., Ltd. Touch panel and display apparatus including the same
EP3316092A1 (en) * 2016-10-28 2018-05-02 LG Display Co., Ltd. Touch sensor integrated type electroluminescent display device
WO2018080076A1 (en) * 2016-10-31 2018-05-03 Samsung Electronics Co., Ltd. Display apparatus and manufacturing method thereof
KR20180046865A (en) * 2016-10-28 2018-05-09 엘지디스플레이 주식회사 Touch sensor integrated type electroluminescent desplay device
KR20180116205A (en) * 2016-06-17 2018-10-24 보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드 A touch display substrate, a touch display device having the touch display substrate, a pixel array, and a method of manufacturing the touch display substrate
JP2019521466A (en) * 2016-07-07 2019-07-25 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Boe Technology Group Co.,Ltd. Organic light emitting diode substrate, method of manufacturing the same, display device
US10606397B2 (en) 2014-10-10 2020-03-31 Samsung Display Co., Ltd. Touch screen panel and display device having the same

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102308514B1 (en) * 2014-08-05 2021-10-01 엘지디스플레이 주식회사 Organic light emitting display device having touch structure of in-cell type
KR101965063B1 (en) 2017-08-04 2019-04-02 경희대학교 산학협력단 Touch sensor in-cell type organic electroluminesence device
KR102112501B1 (en) 2018-10-29 2020-06-04 경희대학교 산학협력단 Touch sensor in-cell type organic electroluminesence device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030079756A (en) * 2002-04-03 2003-10-10 파이오니아 가부시키가이샤 Display portion integrated type touch panel apparatus and method for manufacturing the same
KR20080080912A (en) * 2007-03-02 2008-09-05 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Organic electroluminescence device having input function and electronic apparatus
KR20090041793A (en) * 2007-10-24 2009-04-29 한국표준과학연구원 Touch screen using the tactile sensor and method for manufacturing the same
KR20090078446A (en) * 2008-01-15 2009-07-20 삼성전자주식회사 Organic light emitting dispaly and manufacturing method thereof

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030079756A (en) * 2002-04-03 2003-10-10 파이오니아 가부시키가이샤 Display portion integrated type touch panel apparatus and method for manufacturing the same
KR20080080912A (en) * 2007-03-02 2008-09-05 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Organic electroluminescence device having input function and electronic apparatus
KR20090041793A (en) * 2007-10-24 2009-04-29 한국표준과학연구원 Touch screen using the tactile sensor and method for manufacturing the same
KR20090078446A (en) * 2008-01-15 2009-07-20 삼성전자주식회사 Organic light emitting dispaly and manufacturing method thereof

Cited By (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9201533B2 (en) 2011-04-21 2015-12-01 Lg Display Co., Ltd. Substrate for in-cell type touch sensor liquid crystal display device and method of fabricating the same
US9465246B2 (en) 2011-04-21 2016-10-11 Lg Display Co., Ltd. Substrate for in-cell type touch sensor liquid crystal display device and method of fabricating the same
US8884921B2 (en) 2012-04-09 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Display device including touch sensor
KR20140082089A (en) * 2012-12-21 2014-07-02 엘지디스플레이 주식회사 Large Area Organic Light Emitting Diode Display And Method For Manufacturing The Same
KR20140125578A (en) * 2013-04-19 2014-10-29 삼성디스플레이 주식회사 Touch screen display device
US9256097B2 (en) 2013-04-19 2016-02-09 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatuses
KR20150001965A (en) * 2013-06-28 2015-01-07 삼성디스플레이 주식회사 Display device having touch sensor and manufacturing method thereof
US10170727B2 (en) 2013-08-30 2019-01-01 Japan Display Inc. Display device
US10804488B2 (en) 2013-08-30 2020-10-13 Japan Display Inc. Display device
US9660003B2 (en) 2013-08-30 2017-05-23 Japan Display Inc. Display device
KR20150026921A (en) * 2013-08-30 2015-03-11 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 Display device
KR20150061682A (en) * 2013-11-27 2015-06-05 엘지디스플레이 주식회사 Fabricating Method Of Organic Light Emitting Diode Display
CN103928493A (en) * 2013-12-27 2014-07-16 上海天马有机发光显示技术有限公司 Organic light-emitting display device and manufacturing method thereof
US10254908B2 (en) 2014-08-13 2019-04-09 Samsung Display Co., Ltd. Touch panel and display apparatus including the same
US9927939B2 (en) 2014-08-13 2018-03-27 Samsung Display Co., Ltd. Touch panel and display apparatus including the same
US10782842B2 (en) 2014-08-13 2020-09-22 Samsung Display Co., Ltd. Touch panel and display apparatus including the same
US11662845B2 (en) 2014-10-10 2023-05-30 Samsung Display Co., Ltd. Touch screen panel and display device having the same
US11003271B2 (en) 2014-10-10 2021-05-11 Samsung Display Co., Ltd. Touch screen panel including conductive layer for shielding noise and display device having the same
US10606397B2 (en) 2014-10-10 2020-03-31 Samsung Display Co., Ltd. Touch screen panel and display device having the same
US10180742B2 (en) 2015-08-03 2019-01-15 Boe Technology Group Co., Ltd. Display panel, method for fabricating the same, and display apparatus
CN105097883A (en) * 2015-08-03 2015-11-25 京东方科技集团股份有限公司 Display panel, preparation method thereof and display device
KR20170055858A (en) * 2015-11-12 2017-05-22 엘지디스플레이 주식회사 In-cell touch type liquid crystal display device and method of manufacturing the same
KR20180116205A (en) * 2016-06-17 2018-10-24 보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드 A touch display substrate, a touch display device having the touch display substrate, a pixel array, and a method of manufacturing the touch display substrate
US10700143B2 (en) 2016-06-17 2020-06-30 Boe Technology Group Co., Ltd. Touch display substrate, touch display apparatus having the same, pixel arrangement, and fabricating method thereof
JP2019521466A (en) * 2016-07-07 2019-07-25 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Boe Technology Group Co.,Ltd. Organic light emitting diode substrate, method of manufacturing the same, display device
KR20180046865A (en) * 2016-10-28 2018-05-09 엘지디스플레이 주식회사 Touch sensor integrated type electroluminescent desplay device
US11003265B2 (en) 2016-10-28 2021-05-11 Lg Display Co., Ltd. Touch sensor integrated type electroluminescent display device
EP3316092A1 (en) * 2016-10-28 2018-05-02 LG Display Co., Ltd. Touch sensor integrated type electroluminescent display device
US10684715B2 (en) 2016-10-31 2020-06-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Display apparatus and manufacturing method thereof
WO2018080076A1 (en) * 2016-10-31 2018-05-03 Samsung Electronics Co., Ltd. Display apparatus and manufacturing method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
KR101589272B1 (en) 2016-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101589272B1 (en) Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and methode of fabricating the same
KR101588450B1 (en) Touch sensor in-cell type organic electroluminescent device and methode of fabricating the same
KR102503642B1 (en) Organic light emitting display device
KR101692896B1 (en) Organic electro luminescent device having touch sensing function
US9965069B2 (en) Organic electroluminescent device having touch panel and method for fabricating the same
KR101697611B1 (en) Organic electro luminescent device
EP2416363B1 (en) Organic electroluminescent device
US7909671B2 (en) System and method for differentiating pictures and texts
TW201332100A (en) Organic light emitting display device
KR20120133955A (en) Organic electro luminescent device and method of fabricating the same
US9590022B2 (en) Dual emitting device for active matrix organic electroluminescence
KR20110064672A (en) Organic light emitting diode display
WO2021155627A1 (en) Oled display device
US11963423B2 (en) Transparent display device
KR20100137272A (en) Organic light emitting display device and method for fabricating the same
KR20150131428A (en) Organic electroluminescent device and method for fabricating the same
US10700144B2 (en) Organic light emitting display device including touch sensor
US20220320472A1 (en) Display device
KR20130068920A (en) Organic light emitting diode display device
JP2019129221A (en) Display device and method for manufacturing the same
KR101770592B1 (en) Organic electro-luminescent Device
US11094758B1 (en) Organic light emitting diode (OLED) display device
US20230217692A1 (en) Display apparatus
CN117813938A (en) Display panel, preparation method thereof and display device
KR20150033406A (en) Organic electro-luminescent device and methode of fabricating the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181226

Year of fee payment: 4