KR20100000129A - A deposition mask unit for fabrication of organic light emitting display device - Google Patents

A deposition mask unit for fabrication of organic light emitting display device Download PDF

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Abstract

PURPOSE: A deposition mask unit for an organic light emitting diode is provided to be prevented from sagging due to the weight of a mask and a substrate by comprising a supporting member which is formed vertically to the divided mask. CONSTITUTION: A frame(110) is composed of four sides surrounding an opening area. A pair of align masks(102) are fixed on the frame and formed on both sides among the four sides of the frame. A plurality of divided masks(120) are composed of an opening(122) transmitting deposition material and a dummy area(124) except the opening area. A plurality of gap masks(104) are positioned between the divided mask and align mask. The frame is placed between the other both sides except the two sides on which the both ends of the divided mask are fixed.

Description

유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛{A Deposition Mask Unit For Fabrication of Organic Light Emitting Display Device}A Deposition Mask Unit For Fabrication of Organic Light Emitting Display Device

본 발명은 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 분할 마스크를 사용함과 아울러 상기 분할 마스크의 처짐을 방지하는 구조를 가지는 증착 마스크 유닛에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a deposition mask unit for an organic light emitting display device, and more particularly, to a deposition mask unit having a structure in which a division mask is used and a deflection of the division mask is prevented.

정보화 사회의 발전에 따라, 종래의 CRT(Cathode Ray Tube)가 가지는 무거운 중량과 큰 부피와 같은 단점들을 개선한, 새로운 영상 표시 장치의 개발이 요구되고 있으며, With the development of the information society, it is required to develop a new image display device that improves disadvantages such as heavy weight and large volume of the conventional CRT (Cathode Ray Tube).

이에 따라, LCD(Liquid Crystal Display Device, 액정 표시 장치), 유기 발광 표시장치(OLED : Organic Light Emitting Diode Display Device), PDP(Plasma Panel Display Device), SED(Surface-conduction Electron-emitter Display Device)등과 같은 여러 가지 평판 표시 장치들이 주목받고 있다.Accordingly, liquid crystal display devices (LCDs), organic light emitting diode display devices (OLEDs), plasma panel display devices (PDPs), surface-conduction electron-emitter display devices (SEDs), and the like. The same various flat panel display devices are attracting attention.

그 중 유기 발광 표시장치는 전자(electron)와 정공(hole)의 재결합(recombination)하여 여기자(exciton)을 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생하는 자발광 소자인 유기 발광 다이오드를 이용 한 것으로, 콘트라스트 비(Contrast Ratio)와 응답 속도(response time) 등의 표시 특성이 우수하며, 플렉서블 디스플레이(Flexible Display)의 구현이 용이하여 가장 이상적인 차세대 디스플레이로 주목받고 있다.Among them, the organic light emitting diode display is an organic light emitting device that is a self-luminous device in which light of a specific wavelength is generated by recombination of electrons and holes to form excitons and energy from the formed excitons. By using a diode, the display characteristics such as contrast ratio and response time are excellent, and a flexible display can be easily implemented to attract attention as an ideal next-generation display.

상기 유기 발광 표시장치는 일반적으로, 기판 상에 유기 재료로 이루어진 여러 층의 박막을 음극과 양극이 싸고 있는 구조로 이루어져 있으며, 상기 음극과 양극에 수 볼트의 전압을 인가하면 전류가 흐르게 되면서 유기 박막 내에서 발광 현상이 발생하게 된다. 즉, 전류 주입에 의해 유기 분자가 여기 상태(excited state)로 들뜨게 되었다가 다시 원래의 기저 상태(ground state)로 돌아오면서 여분의 에너지를 빛으로 방출하게 된다.In general, the organic light emitting diode display has a structure in which a cathode and an anode are wrapped around a thin film of organic material on a substrate, and when a voltage of several volts is applied to the cathode and the anode, current flows while the organic thin film is formed. The luminescence phenomenon will occur within. In other words, the organic molecules are excited into the excited state by the current injection, and then return to the original ground state to emit extra energy as light.

이와 같이, 여러 층의 유기 박막을 포함하고 있는 유기 발광 표시장치를 형성하기 위해서는, 기판 전체에 걸쳐 균일한 두께로 유기 박막을 증착하는 것이 중요하다.As described above, in order to form an organic light emitting diode display including several layers of organic thin films, it is important to deposit the organic thin films with a uniform thickness over the entire substrate.

일반적으로, 기판에 박막을 형성하는 방법으로는 진공 속에서 물질을 증발시켜 그 속에 놓아 둔 물체 표면에 균일한 막을 입히는 진공증착법(Evaporation)과, 증착하고자 하는 물질을 증발법으로 기상(gas phase)화 한 뒤 활성 가스(reactive gas)나 불활성 기체들과 함께 이온화하여 음의 전압이 가해진 기판으로 가속화함으로써 증착하는 이온 플레이팅법(Ion plating)과, 금속판에 아르곤 등의 불활성 원소의 이온을 충돌시켜서 금속 원자 또는 분자를 방출시켜서 기판 표면에 막을 입치히는 스퍼터링(sputtering)법과 같은 물리증착법(PVD: Physical Vaporized Deposition)과, 가스 반응을 이용하여 기판 상에 박막을 형성하는 화학기상 증착 법(CVD: Chemical Vaporized Deposition)이 있다. 이 중에서 유기 발광 표시장치를 구성하는 유기 박막을 형성하기 위해서는 주로 진공증착법이 이용되고 있다.In general, a method of forming a thin film on a substrate includes evaporation of a material in a vacuum and coating a uniform film on the surface of an object placed therein, and a gas phase of the material to be deposited by evaporation. Ion plating, which is deposited by ionization with reactive gases or inert gases, and then accelerated to a negatively charged substrate, and metal ions of an inert element such as argon collide with a metal plate. Physical Vaporized Deposition (PVD), such as sputtering, which deposits a film on the surface of a substrate by releasing atoms or molecules, and chemical vapor deposition (CVD), which forms a thin film on a substrate using a gas reaction. Vaporized Deposition). Among them, a vacuum deposition method is mainly used to form the organic thin film constituting the organic light emitting display.

도1은 유기 발광 표시장치의 유기 박막 등을 형성하는 데 사용되는 증착 장치를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a deposition apparatus used to form an organic thin film and the like of an organic light emitting diode display.

도1에서 알 수 있듯이, 유기 발광 표시장치용 증착 장치는, 내부를 진공 상태로 유지하는 챔버(10)와, 상기 챔버 내부에 배치되는 증착원(20)과, 상기 증착원(20)의 상부에 배치되는 증착 마스크 유닛(30)과, 상기 증착 마스크 유닛과 기판(40)을 사이로 배치되는 마그넷 유닛(magnet unit)(50)을 포함한다.As can be seen in FIG. 1, the deposition apparatus for an organic light emitting display device includes a chamber 10 which maintains an interior in a vacuum state, a deposition source 20 disposed inside the chamber, and an upper portion of the deposition source 20. And a magnet unit 50 disposed between the deposition mask unit 30 and the substrate 40.

상기 챔버의 내부는 기판(40)에 박막을 증착하여 형성할 때, 높은 진공도 및 높은 온도로 유지된다. 이와 같이, 높은 진공도를 유지하기 위해서 도시하지는 않았지만, TMP(Turbo Molecular Pump)와 같은 진공 펌프를 구비한다.The inside of the chamber is maintained at a high degree of vacuum and high temperature when a thin film is formed on the substrate 40. As such, although not shown in order to maintain a high degree of vacuum, a vacuum pump such as a turbo molecular pump (TMP) is provided.

또한, 도시하지는 않았으나, 증발하는 재료의 속도를 측정하기 위한 두께 센서(thickness monitoring sensor)와, 측정된 두께에 따라 증착원의 움직임을 제어하는 컨트롤러(thickness controller)와, 상기 증착원으로부터의 증발된 물질을 차단할 수 있는 셔터(shutter) 등이 추가로 더 구비될 수 있다.In addition, although not shown, a thickness monitoring sensor for measuring the speed of evaporating material, a thickness controller for controlling the movement of the deposition source according to the measured thickness, and the evaporation from the deposition source. A shutter may be further provided to block the material.

상기 증착원(20)은 챔버 내부의 하단부(bottom portion)에 배치되며, 내부에 증착 물질을 포함하는 가열 용기(crucible)형태로서, 열로 상기 증착 물질을 증발시켜 기판에 증착시킨다. The deposition source 20 is disposed in a bottom portion inside the chamber, and is in the form of a crucible containing a deposition material therein, and deposits the deposition material on a substrate by heat.

상기 증착 마스크 유닛(30)은, 중앙에 개구 영역을 가지며 상기 개구 영역을 둘러싸도록 형성된 네 변으로 구성되는 프레임과, 상기 프레임에 고정되어 선택적 으로 증착 물질을 기판에 증착시키는 마스크로 구성된다.The deposition mask unit 30 is composed of a frame composed of four sides having an opening region in the center and formed to surround the opening region, and a mask fixed to the frame to selectively deposit a deposition material on a substrate.

상기 기판은, 복수의 셀이 매트릭스 형태로 배열되어 증착 물질이 증착되는 액티브 영역 및 상기 액티브 영역을 제외한 더미 영역으로 구성되며, 상기 마스크는 각 액티브 영역에 대응되는 영역이 개구된 개구부를 가진다.The substrate may include an active region in which a plurality of cells are arranged in a matrix to deposit a deposition material and a dummy region other than the active region, and the mask has an opening in which a region corresponding to each active region is opened.

또한, 상기 챔버 내부에는 기판과 마스크를 정렬시키기 위한 정렬기(aligner)를 구비할 수 있다.In addition, the chamber may include an aligner for aligning the substrate and the mask.

상기 마그넷 유닛(50)은, 기판(40)을 사이로 상기 증착 마스크 유닛과 대향하도록 배치되며, 자기력을 이용하여 기판과 마스크가 서로 밀착되도록 한다.The magnet unit 50 is disposed to face the deposition mask unit with the substrate 40 therebetween, and the substrate and the mask are brought into close contact with each other by using a magnetic force.

도2는 상기 증착 마스크 유닛을 나타낸 평면도이다.2 is a plan view showing the deposition mask unit.

도2에서 알 수 있듯이, 상기 증착 마스크 유닛(30)은, 중앙에 대략 직사각형 형태의 개구 영역을 가지며 상기 개구 영역을 둘러싸도록 형성된 네 변으로 구성되는 프레임(32)과, 상기 프레임에 고정되어 선택적으로 증착 물질을 기판에 증착시키기 위하여 각각이 셀 영역에 대응되는 복수의 개구부(36)를 가지는 마스크(34)를 포함한다.As can be seen in Figure 2, the deposition mask unit 30 has a frame 32 composed of four sides formed to surround the opening area and having an opening area of a substantially rectangular shape in the center, and is fixed to the frame and selectively And a mask 34 having a plurality of openings 36 each corresponding to a cell region for depositing a deposition material on a substrate.

그러나, 이와 같이 종래에 유기 박막 등을 형성하기 위하여 사용되는 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛의 경우에, 하나의 마스크가 기판 전체에 대응되는 원장 방식이어서, 기판 사이즈(size)의 대형화 및 고해상도 디스플레이 구현을 위한 패턴의 고정세화(高精細化)에 대응하는 것이 용이하지 않다는 한계를 가지고 있다.However, in the case of the deposition mask unit for an organic light emitting display, which is conventionally used to form an organic thin film or the like, one mask is a mother-field method corresponding to the entire substrate, so that the substrate size and the high resolution display are increased. It has a limitation that it is not easy to cope with the high definition of the pattern for implementation.

즉, 기판이 대형화되면서 증착 마스크 역시 대형화되고, 이에 따라 마스크 자체의 하중에 의하여 마스크가 평탄한 상태를 유지하지 못하고 휘어져 버리는 문제점이 발생하였다.That is, as the substrate is enlarged, the deposition mask is also enlarged, and thus, the mask does not maintain a flat state due to the load of the mask itself.

또한, 기판이 대형화됨에 따라 기판 자체의 하중에 의해 도3과 같이, 기판이 중력 방향으로 휘어지게(sagging) 되고, 이러한 기판의 휘어짐은 마스크에도 영향을 주어서 증착 패턴이 왜곡되어지는 문제가 발생하였다.In addition, as the size of the substrate increases, the substrate is bent (sagging) in the direction of gravity due to the load of the substrate itself, and the bending of the substrate affects the mask, thereby causing a problem in that the deposition pattern is distorted. .

본 발명은 이러한 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로써, 분할 마스크를 채택하여 마스크 자체 하중을 감소시켜 마스크의 휘어짐을 방지함과 아울러, 분할 마스크를 가로지르도록 프레임에 구비된 지지부재를 통하여 기판 및 마스크의 하중에 의한 휘어짐을 방지하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve these problems, by adopting a split mask to reduce the mask itself load to prevent the bending of the mask, and also through the support member provided in the frame to cross the split mask and the substrate and It aims at preventing curvature by the load of a mask.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛은, 중앙에 개구 영역을 가지는 프레임과 상기 개구 영역과 중 첩되는 영역을 가지도록 사이드부에 배치된 한 쌍의 얼라인 마스크와, 상기 얼라인 마스크 사이에 서로 나란하도록 배치되며 형성하고자 하는 증착 물질의 패턴에 대응되는 개구부를 가지는 복수의 분할 마스크와, 이웃하는 분할 마스크 사이나 상기 분할 마스크 및 얼라인 마스크 사이에 구비되어 증착 물질이 불필요한 영역에 증착되는 것을 방지하는 틈새 마스크를 포함하고, In order to achieve the above object, a deposition mask unit for an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention, a pair disposed in the side portion to have a frame having an opening area in the center and an area overlapping the opening area A plurality of division masks having an alignment mask of the plurality of alignment masks and an opening corresponding to the pattern of the deposition material to be formed between the alignment masks, and having an opening corresponding to the pattern of the deposition material to be formed; It includes a gap mask to prevent the deposition material is deposited in the unnecessary area,

상기 프레임에는 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크, 및 틈새 마스크 등을 지지하기 위한 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.The frame may include a support member for supporting the alignment mask, the division mask, and the gap mask.

또한, 상기 지지부재는 틈새 마스크와 중첩된 영역에 홈을 구비하고, 상기 홈 내부에 틈새 마스크가 삽입됨으로써, 분할 마스크와의 밀착성을 향상시킬 수 있다.In addition, the support member may have a groove in an area overlapping the gap mask, and the gap mask may be inserted into the groove to improve adhesion to the division mask.

또한, 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크, 및 틈새 마스크는 상기 지지부재와 중첩되는 영역에 지지부재가 삽입되는 홈을 구비하는 것도 가능하다.In addition, the alignment mask, the division mask, and the gap mask may include a groove into which the support member is inserted in an area overlapping the support member.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛은, As described above, the deposition mask unit for the organic light emitting diode display according to the embodiment of the present invention,

증착 마스크가 하나의 원장 형태가 아닌 복수로 분할된 분할 마스크 방식을 채택함으로써, 기판의 대형화 및 고정세화에 대응할 수 있을 뿐만 아니라, 국부적으로 불량이 발생한 마스크를 효과적으로 리페어(repair)할 수 있는 효과를 가진다. By adopting a split mask method in which a deposition mask is divided into a plurality of divided masks instead of a single ledger, it is possible not only to cope with the enlargement and high definition of the substrate, but also to effectively repair a mask in which local defects occur. Have

또한, 하나의 마스크 자체의 하중을 감소시킴으로써, 마스크 자체의 하중에 의한 처짐을 방지함과 아울러, 상기 분할 마스크와 수직한 방향으로 구비되는 지지부재를 포함하여서 마스크 및 기판의 하중에 의한 처짐 현상을 방지할 수 있는 효과를 가진다.In addition, by reducing the load of one mask itself, it prevents sagging due to the load of the mask itself, and includes a support member provided in a direction perpendicular to the division mask to prevent sagging due to the load of the mask and the substrate. It has an effect that can be prevented.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛은, 분할 마스크의 변형 및 왜곡을 최소화하여 마스크의 정렬(alignment)에 소요되는 시간을 줄일 수 있어서 생산성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, the deposition mask unit for an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention may reduce the time required for alignment of the mask by minimizing deformation and distortion of the division mask, thereby improving productivity. to provide.

다음으로, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛에 대하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Next, a deposition mask unit for an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail.

본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시장치용 증착 마스크는, 중앙에 개구 영역을 가지며, 상기 개구 영역을 둘러싼 네 변으로 이루어진 프레임과, 상기 프레임의 네 변 중에서 서로 대향하는 두 변에 대응되는 양 사이드부에 구비되어 상기 프레임에 고정된 한 쌍의 얼라인 마스크와, 상기 한 쌍의 얼라인 마스크 사이에 서로 이격하여 상기 얼라인 마스크와 나란하도록 배치되며 양 끝단이 각각 프레임의 다른 두 변에 고정된 복수의 분할 마스크와, 서로 이웃하는 분할 마스크 사이 또는 분할 마스크 및 얼라인 마스크 사이에 배치되어 마스크 사이의 공간이 오픈되는 것을 방지하는 복수의 틈새 마스크를 포함하며,The deposition mask for an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a frame having an opening area at a center thereof and having four sides surrounding the opening area, and an amount corresponding to two opposite sides of the four sides of the frame. A pair of alignment masks provided on the side part and fixed to the frame, and spaced apart from each other between the pair of alignment masks so as to be parallel to the alignment masks, and both ends of which are fixed to two other sides of the frame, respectively. A plurality of divided masks and a plurality of gap masks disposed between adjacent neighboring masks or between the divided masks and the align mask to prevent the space between the masks from being opened;

상기 프레임은 상기 분할 마스크와 수직한 방향으로 서로 나란하도록 배치되며, 상기 틈새 마스크와 교차하는 영역에 홈을 구비함과 아울러, 상기 틈새 마스크가 상기 홈 내부에 삽입되어 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크를 지지하는 복수의 지지부재를 구비한 것을 특징으로 한다. The frame is arranged to be parallel to each other in a direction perpendicular to the split mask, and has a groove in an area intersecting the gap mask, and the gap mask is inserted into the groove so that the alignment mask, the split mask, and It is characterized by including a plurality of support members for supporting the gap mask.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛은, In addition, the deposition mask unit for an organic light emitting diode display according to another embodiment of the present invention,

중앙에 개구 영역을 가지며 상기 개구 영역을 둘러싼 네 변으로 이루어진 프레임과, 상기 프레임의 네 변 중에서 서로 대향하는 두 변에 대응되는 양 사이드부에 구비되어 상기 프레임에 고정된 한 쌍의 얼라인 마스크와, 상기 한 쌍의 얼라인 마스크 사이에 서로 이격하여 상기 얼라인 마스크와 나란하도록 배치되며 양 끝단이 각각 프레임의 다른 두 변에 고정된 복수의 분할 마스크와, 서로 이웃하는 분할 마스크 사이에 마스크 사이의 공간을 가리도록 배치된 복수의 틈새 마스크를 포함하며,A pair of four-sided frames surrounding the opening region, a pair of alignment masks provided at both side portions corresponding to two opposite sides of the four sides of the frame, and fixed to the frame; A plurality of splitting masks disposed to be parallel to the alignment mask and spaced apart from each other between the pair of alignment masks, and both ends of which are fixed to two other sides of the frame, and between the masks that are adjacent to each other; Includes a plurality of crevice masks positioned to cover the space,

상기 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크는 상기 지지부재와 교차하는 영역에 구비된 홈 내부에 삽입되어 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크를 지지하는 지지부재를 구비한 것을 특징으로 한다.The alignment mask, the division mask, and the gap mask may be inserted into a groove provided in an area intersecting with the support member to support the alignment mask, the division mask, and the gap mask.

다음으로 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 실시예에 따른 증착 마스크 유닛에 대하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Next, a deposition mask unit according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도4는 본 발명의 실시예에 따른 증착 마스크 유닛의 구성을 나타낸 평면도이고, 도5는 도4에서 Ⅰ∼Ⅰ´부분의 단면을 나타낸 단면도이다.4 is a plan view showing the configuration of the deposition mask unit according to the embodiment of the present invention, and FIG.

도4에서 알 수 있듯이, 본 발명의 실시예에 따른 증착 마스크 유닛(100)은, 중앙에 대략 직사각형 형태의 개구 영역(105)을 가지며 상기 개구 영역을 둘러싼 네 변으로 이루어진 프레임(110)과, 상기 프레임의 네 변 중에서 서로 대향하는 두 변(112a, 112b)에 대응되는 양 사이드부에 구비되어 상기 프레임에 고정된 한 쌍의 얼라인 마스크(102)와, 상기 한 쌍의 얼라인 마스크(102) 사이에 서로 이격하여 상기 얼라인 마스크와 나란하도록 배치되며 양 끝단이 각각 프레임의 다른 두 변(112c, 112d)에 고정된 복수의 분할 마스크(120)와, 서로 이웃하는 분할 마스크 사이 또는 분할 마스크 및 얼라인 마스크 사이에 배치되어 마스크 사이의 공간이 오픈되는 것을 방지하는 복수의 틈새 마스크(104)를 포함하며,As can be seen in Figure 4, the deposition mask unit 100 according to an embodiment of the present invention, a frame 110 having four sides surrounding the opening area and having an opening area 105 of a substantially rectangular shape in the center, A pair of alignment masks 102 and two pairs of alignment masks 102 provided on both side portions corresponding to two sides 112a and 112b facing each other among the four sides of the frame and fixed to the frame. A plurality of split masks 120 disposed to be parallel to the alignment mask and spaced apart from each other, and fixed at two ends 112c and 112d of the frame, respectively, and between or adjacent to the split masks. And a plurality of gap masks 104 disposed between the alignment masks to prevent the space between the masks from being opened.

상기 프레임(110)은 상기 분할 마스크(120)의 양 끝단이 고정된 두 변(112c, 112d)을 제외한 나머지 두 변(112a, 112b)에 걸쳐 상기 분할 마스크(120)와 수직한 방향으로 서로 나란하도록 배치되며, 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크를 지지하는 복수의 지지부재(130)를 구비한 것을 특징으로 한다.The frame 110 is parallel to each other in a direction perpendicular to the division mask 120 over the two sides 112a and 112b except for two sides 112c and 112d at which both ends of the division mask 120 are fixed. And a plurality of support members 130 for supporting the alignment mask, the division mask, and the gap mask.

또한, 상기 지지부재는 상기 틈새 마스크와 교차하는 영역에 형성되어, 상기 틈새 마스크가 삽입되는 복수의 틈새 마스크 삽입홈(132)을 가진다.In addition, the support member is formed in an area that intersects the gap mask, and has a plurality of gap mask insertion grooves 132 into which the gap mask is inserted.

상기 프레임(110)은, 얼라인 마스크(102)와 틈새 마스크(104) 및 분할 마스크(120) 등을 고정하여 지지하는 역할을 한다. 또한, 상기 프레임은 소정의 탄성력을 가지면서도 특히, 인장된 상태의 분할 마스크를 안정된 상태로 지지하여야 하므로 충분한 강성을 지닌 재질로 형성한다.The frame 110 serves to fix and support the alignment mask 102, the gap mask 104, the division mask 120, and the like. In addition, the frame is formed of a material having a sufficient rigidity, because it has a predetermined elastic force, in particular, to support the split mask in a stable state in a stable state.

상기 얼라인 마스크(102)는, 도시된 바와 같이, 장방형의 박판으로 구성되며, 상기 개구 영역 중에서 상기 프레임의 네 변 가운데 서로 대향하는 두 변(112a, 112b)에 대응되는 사이드부에 위치하며, 일부는 개구 영역과 중첩됨과 아울러 나머지 일부는 프레임 상부에 위치하게 된다. 상기 얼라인 마스크는 개구 영 역과 중첩되는 영역과, 프레임 상부에 위치하는 영역 각각에 별도의 얼라인 마크를 구비하여서, 프레임 및 분할 마스크를 정렬시킴과 아울러, 증착 마스크 유닛과 기판을 정렬시키는 것이 가능하다.The alignment mask 102 is formed of a rectangular thin plate, as shown, and is located at side portions corresponding to two sides 112a and 112b of the four sides of the frame facing each other in the opening region. Some overlap with the opening area while the other is located above the frame. The alignment mask includes a separate alignment mark in each of the regions overlapping the opening area and the region located above the frame, to align the frame and the division mask, and to align the deposition mask unit and the substrate. Do.

상기 얼라인 마스크는 상기 프레임에 레이저 등으로 용접되어 고정될 수도 있으며, 볼트 등으로 착탈 가능하도록 고정되는 것도 가능할 것이다.The alignment mask may be fixed to the frame by welding with a laser or the like, or may be fixed to be detachable with a bolt or the like.

상기 분할 마스크(120)는, 역시 장방형의 박판으로 형성되며, 길이 방향을 따라 소정의 간격으로 이격하여 증착 물질이 통과할 수 있도록 각각이 하나의 셀 영역에 대응되는 개구부(122)와 상기 개구부를 제외한 더미 영역(124)으로 구성된다. The division mask 120 is also formed as a rectangular thin plate, and the openings 122 and the openings respectively corresponding to one cell region are spaced apart at predetermined intervals along the length direction so that the deposition material can pass therethrough. The dummy area 124 is excluded.

도면에서는 상기 개구부를 장방형 형태로 도시하였으나, 필요에 따라서는 미세 패턴을 증착하기 위하여 상기 개구부가 패터닝된 형태를 가지는 것도 가능할 것이다.In the drawings, the opening is shown in a rectangular shape, but if necessary, the opening may be patterned to deposit a fine pattern.

상기 분할 마스크는, 인장력에 대해서도 안정될 수 있도록 충분한 강성을 지니면서도 열에 따른 팽창율이 낮으며, 자성을 지니는 물질로 형성되는 것이 바람직하다. 구체적으로는 니켈이나, 니켈 합금 특히, 미세 패턴을 형성할 수 있으면서도 표면 거칠기가 양호한 니켈-코발트 합금으로 형성할 수 있을 것이다.The division mask is preferably formed of a material having sufficient rigidity and low thermal expansion, and having magnetic properties so as to be stable to tensile force. Specifically, it may be formed of nickel or a nickel alloy, especially a nickel-cobalt alloy capable of forming a fine pattern and having a good surface roughness.

이와 같이, 개구부를 가지는 분할 마스크는, 포토레지스트를 이용하여 각각의 개구부와 동일한 패턴을 가지는 레지스트층을 박판 상에 형성하거나 개구부와 동일한 패턴을 가지는 필름을 박판에 부착한 후, 상기 박판을 에칭(etching)하여 제조할 수 있을 것이다. 또한, 전기 도금법을 이용한 전주법(electroforming)으로 제조하는 것도 가능할 것이다.As described above, in the division mask having the openings, a resist layer having the same pattern as each opening is formed on the thin plate using a photoresist, or a film having the same pattern as the opening is attached to the thin plate, and then the thin plate is etched ( by etching). It will also be possible to produce by electroforming using the electroplating method.

상기 분할 마스크 각각은, 프레임의 상부에서 서로 대향하는 다른 두 변(112c, 112d)에 양 끝단이 고정된다. 이 때, 분할 마스크가 충분한 평평도를 유지할 수 있도록 분할 마스크에 인장력을 가하여 고정하는 것이 바람직할 것이다. 예를 들면, 레이저로 프레임에 용접하여 고정하거나, 볼트 등으로 착탈 가능하도록 고정하는 것도 가능하다.Each end of the split mask is fixed to two other sides 112c and 112d facing each other at the top of the frame. At this time, it may be preferable to apply a tensile force to the splitting mask to fix the splitting mask so as to maintain sufficient flatness. For example, it can also be fixed by welding to a frame with a laser, or fixing so that attachment or detachment is possible with a bolt etc.

상기 틈새 마스크(104)는, 역시 장방형의 박판으로 형성되며, 서로 이웃하는 분할 마스크 사이나 분할 마스크 및 얼라인 마스크 사이에 배치되어 마스크 사이의 공간이 오픈되지 않도록 하여서, 기판 상의 셀 영역을 제외한 불필요한 영역에 증착 물질이 증착되는 것을 방지한다. The gap mask 104 is also formed of a rectangular thin plate, and is disposed between the partition masks adjacent to each other, or between the partition masks and the alignment masks, so that the space between the masks is not opened, thereby eliminating unnecessary cell regions on the substrate. Prevent deposition of deposition material in the area.

상기 틈새 마스크는 역시 양 끝단이, 분할 마스크의 양 끝단이 고정된 서로 대향하는 프레임의 두 변(112c, 112d)에 고정되며, 예를 들면 레이저 용접 등으로 고정되거나 볼트 등으로 착탈 가능하도록 고정될 수 있다.The gap mask may be fixed to two sides 112c and 112d of opposite frames to which both ends of the split mask are fixed, for example, to be fixed by laser welding or removable by bolts. Can be.

또한, 상기 틈새 마스크는 도5에 도시된 바와 같이, 상기 얼라인 마스크 및 분할 마스크의 바닥면, 즉 증착원과 대향한 면에 구비된다.In addition, as shown in FIG. 5, the gap mask is provided on the bottom surface of the alignment mask and the division mask, that is, the surface facing the deposition source.

상기 지지부재(130)는 상기 프레임에서 분할 마스크의 양 끝단이 고정된 두 변을 제외한 나머지 두 변(112a,112b) 사이에 걸쳐 개구 영역을 가로지르도록 형성된다. 즉, 분할 마스크의 길이 방향과 수직한 방향으로 형성되며 각각이 서로 이격되어 나란하도록 형성된다. 또한, 상기 지지부재는 상기 분할 마스크의 개구 영역을 제외한 나머지 더미 영역과 중첩되도록 형성된다. The support member 130 is formed to traverse the opening region between the two sides 112a and 112b except for two sides on which both ends of the split mask are fixed in the frame. That is, they are formed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the division mask and are formed to be spaced apart from each other and side by side. In addition, the support member is formed to overlap the remaining dummy region except for the opening region of the division mask.

또한, 상기 지지부재는 상기 프레임과 일체형으로 형성될 수도 있을 것이다. 이와 같이, 프레임과 지지부재가 일체형으로 형성되면, 온도 변화에 따라 팽창 및 수축하는 프레임과 동일한 비율로 지지부재가 팽창 및 수축하기 때문에, 열팽창율 차이에 의한 장력이 지지부재에 인가되지 않도록 하여 마스크의 평탄도를 더욱 높일 수 있는 효과를 가진다.In addition, the support member may be formed integrally with the frame. As such, when the frame and the support member are integrally formed, since the support member expands and contracts at the same rate as the frame that expands and contracts with temperature changes, the mask is prevented from applying tension due to the difference in thermal expansion rate to the support member. Has the effect of further increasing the flatness.

이와 같이, 형성된 지지부재는, 중력 방향에 대하여 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크의 처짐을 방지하는 효과를 가진다.Thus, the formed support member has the effect of preventing sagging of the alignment mask, the division mask and the clearance mask with respect to the gravity direction.

도6은 상기 지지부재(130)와 프레임을 도시한 사시도이다. 도6에 도시된 바와 같이, 상기 지지부재(130)는 상기 틈새 마스크와 대응되는 영역에 복수의 틈새 마스크 삽입홈(132)을 구비하며, 상기 틈새 마스크 삽입홈의 깊이는 상기 틈새 마스크의 두께와 대응되도록 형성된다. 즉, 상기 틈새 마스크와 지지부재가 교차하는 영역에서, 틈새 마스크들이 상기 틈새 마스크 삽입홈에 삽입됨으로써, 도5와 같이, 상기 지지부재와 분할 마스크 사이의 밀착성이 증가하게 된다. 6 is a perspective view illustrating the support member 130 and the frame. As shown in FIG. 6, the support member 130 includes a plurality of gap mask insertion grooves 132 in a region corresponding to the gap mask, and the depth of the gap mask insertion groove is equal to the thickness of the gap mask. It is formed to correspond. That is, in the area where the gap mask and the support member intersect, the gap masks are inserted into the gap mask insertion groove, thereby increasing the adhesion between the support member and the division mask as shown in FIG. 5.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 증착 마스크 유닛에서는 지지부재가 직접 분할 마스크를 지지하는 구조를 가짐으로써, 지지부재가 보다 안정적으로 분할 마스크를 지지하는 것을 가능하게 하는 효과를 가진다.As described above, in the deposition mask unit according to the exemplary embodiment of the present invention, the support member has a structure in which the split mask is directly supported, thereby enabling the support member to more stably support the split mask.

다음으로, 도7 및 도8을 참조로 하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 유닛에 대하여 설명하기로 한다.Next, the deposition mask unit according to another exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 and 8.

도7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 유닛에서 도4의 Ⅰ∼Ⅰ´부분의 단면을 나타낸 단면도이고, 도8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스 크 유닛에서, 얼라인 마스크와 틈새 마스크 및 분할 마스크를 도시한 사시도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional view of parts I to I of FIG. 4 in a deposition mask unit according to another embodiment of the present invention, and FIG. 8 is an alignment mask in the deposition mask unit according to another embodiment of the present invention. And a perspective view showing a crevice mask and a split mask.

도7 및 도8에서 알 수 있듯이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 유닛은, 중앙에 대략 직사각형 형태의 개구 영역을 가지며 상기 개구 영역을 둘러싼 네 변으로 이루어진 프레임(110)과, 상기 프레임의 네 변 중에서 서로 대향하는 두 변에 대응되는 양 사이드부에 구비되어 상기 프레임에 고정된 한 쌍의 얼라인 마스크(102)와, 상기 한 쌍의 얼라인 마스크(102) 사이에 서로 이격하여 상기 얼라인 마스크와 나란하도록 배치되며 양 끝단이 각각 프레임의 다른 두 변에 고정되어 증착 패턴에 대응되는 개구부(122) 및 상기 개구부를 제외한 더미 영역(124)을 가지는 복수의 분할 마스크(120)와, 서로 이웃하는 분할 마스크 사이 또는 분할 마스크 및 얼라인 마스크 사이에 배치되어 마스크 사이의 공간이 오픈되는 것을 방지하는 복수의 틈새 마스크(104)를 포함하며,As can be seen in Figures 7 and 8, the deposition mask unit according to another embodiment of the present invention, the frame 110 having an opening area of approximately rectangular shape in the center and surrounding the opening area, and the frame 110, A pair of alignment masks 102 fixed to the frame and spaced apart from each other between the pair of alignment masks 102 provided at both side portions corresponding to two sides of the four sides opposite to each other; A plurality of split masks 120 arranged parallel to the alignment mask and having end portions fixed to two other sides of the frame, respectively, having openings 122 corresponding to the deposition patterns and dummy regions 124 excluding the openings; A plurality of gap masks 104 are disposed between neighboring split masks or between split masks and alignment masks to prevent the space between the masks from opening. Together,

상기 프레임(110)은 상기 분할 마스크(120)의 양 끝단이 고정된 두 변을 제외한 나머지 두 변에 걸쳐 상기 분할 마스크(120)와 수직한 방향으로 서로 나란하도록 배치되며, 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크를 지지하는 복수의 지지부재(130)를 구비하고, The frame 110 is arranged to be parallel to each other in a direction perpendicular to the split mask 120 over two sides except for two sides where both ends of the split mask 120 are fixed. A plurality of support members 130 for supporting the mask and the gap mask,

상기 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크 각각은 상기 지지부재와 교차하는 영역에 구비된 복수의 홈을 가지며, 상기 지지부재는 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크 각각에 구비된 홈 내부에 삽입되는 것을 특징으로 한다.Each of the alignment mask, the division mask, and the gap mask has a plurality of grooves provided in an area crossing the support member, and the support member is inserted into the groove provided in each of the alignment mask, the division mask, and the gap mask. It is characterized by.

도8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 유닛에서, 얼라인 마스크 와 틈새 마스크 및 분할 마스크를 도시한 사시도이다.8 is a perspective view illustrating an alignment mask, a gap mask, and a division mask in a deposition mask unit according to another embodiment of the present invention.

도8에 도시된 바와 같이, 상기 얼라인 마스크(102)와 틈새 마스크(104) 및 분할 마스크(120) 각각은 복수의 홈들을 가지며, 각 마스크에 구비된 홈들은 서로 나란하도록 형성된다. 이와 같이, 각 마스크에 나란하도록 형성된 홈 내부에 지지부재가 삽입된다.As shown in FIG. 8, each of the alignment mask 102, the gap mask 104, and the division mask 120 has a plurality of grooves, and the grooves provided in each mask are formed to be parallel to each other. In this way, the support member is inserted into the groove formed to be parallel to each mask.

상기 얼라인 마스크(102)는, 도시된 바와 같이, 장방형의 박판으로 구성되며, 상기 개구 영역 중에서 상기 프레임의 네 변 가운데 서로 대향하는 두 변에 대응되는 사이드부에 위치하며, 일부는 개구 영역과 중첩됨과 아울러 나머지 일부는 프레임 상부에 위치하게 된다. 상기 얼라인 마스크는 개구 영역과 중첩되는 영역과, 프레임 상부에 위치하는 영역 각각에 별도의 얼라인 마크를 구비하여서, 프레임 및 분할 마스크를 정렬시킴과 아울러, 증착 마스크 유닛과 기판을 정렬시키는 것이 가능하다.The alignment mask 102 is formed of a rectangular thin plate, as shown in the figure, and is located in a side portion corresponding to two sides of the four sides of the frame facing each other among the opening regions, and part of the alignment mask 102 In addition to the overlap, the remaining part is located at the top of the frame. The alignment mask includes a separate alignment mark in each of the regions overlapping the opening region and the region located above the frame, to align the frame and the division mask, and to align the deposition mask unit and the substrate. Do.

상기 얼라인 마스크는 상기 프레임에 레이저 등으로 용접되어 고정될 수도 있으며, 볼트 등으로 착탈 가능하도록 고정되는 것도 가능할 것이다.The alignment mask may be fixed to the frame by welding with a laser or the like, or may be fixed to be detachable with a bolt or the like.

상기 분할 마스크(120)는, 역시 장방형의 박판으로 형성되며, 길이 방향을 따라 소정의 간격으로 이격하여 증착 물질이 통과할 수 있도록 각각이 하나의 셀 영역에 대응되는 개구부(122)와 상기 개구부를 제외한 더미 영역(124)으로 구성된다. The division mask 120 is also formed as a rectangular thin plate, and the openings 122 and the openings respectively corresponding to one cell region are spaced apart at predetermined intervals along the length direction so that the deposition material can pass therethrough. The dummy area 124 is excluded.

도면에서는 상기 개구부를 장방형 형태로 도시하였으나, 필요에 따라서는 미세 패턴을 증착하기 위하여 상기 개구부가 패터닝된 형태를 가지는 것도 가능할 것 이다.In the drawings, the opening is illustrated in a rectangular shape, but if necessary, the opening may be patterned to deposit a fine pattern.

상기 분할 마스크는, 인장력에 대해서도 안정될 수 있도록 충분한 강성을 지니면서도 열에 따른 팽창율이 낮으며, 자성을 지니는 물질로 형성되는 것이 바람직하다. 구체적으로는 니켈이나, 니켈 합금 특히, 미세 패턴을 형성할 수 있으면서도 표면 거칠기가 양호한 니켈-코발트 합금으로 형성할 수 있을 것이다.The division mask is preferably formed of a material having sufficient rigidity and low thermal expansion, and having magnetic properties so as to be stable to tensile force. Specifically, it may be formed of nickel or a nickel alloy, especially a nickel-cobalt alloy capable of forming a fine pattern and having a good surface roughness.

상기 분할 마스크 각각은, 프레임의 상부에서 서로 대향하는 다른 두 변에 양 끝단이 고정된다. 이 때, 분할 마스크가 충분한 평평도를 유지할 수 있도록 분할 마스크에 인장력을 가하여 고정하는 것이 바람직할 것이다. 예를 들면, 레이저로 프레임에 용접하여 고정하거나, 볼트 등으로 착탈 가능하도록 고정하는 것도 가능하다.Each of the split masks has both ends fixed to two other sides opposing each other at the top of the frame. At this time, it may be preferable to apply a tensile force to the splitting mask to fix the splitting mask so as to maintain sufficient flatness. For example, it can also be fixed by welding to a frame with a laser, or fixing so that attachment or detachment is possible with a bolt etc.

상기 틈새 마스크(104)는, 역시 장방형의 박판으로 형성되며, 서로 이웃하는 분할 마스크 사이나 분할 마스크 및 얼라인 마스크 사이에 배치되어 마스크 사이의 공간이 오픈되지 않도록 하여서, 기판 상의 셀 영역을 제외한 불필요한 영역에 증착 물질이 증착되는 것을 방지한다. The gap mask 104 is also formed of a rectangular thin plate, and is disposed between the partition masks adjacent to each other, or between the partition masks and the alignment masks, so that the space between the masks is not opened, thereby eliminating unnecessary cell regions on the substrate. Prevent deposition of deposition material in the area.

상기 틈새 마스크는 역시 양 끝단이, 분할 마스크의 양 끝단이 고정된 서로 대향하는 프레임의 두 변에 고정되며, 예를 들면 레이저 용접 등으로 고정되거나 볼트 등으로 착탈 가능하도록 고정될 수 있다.The gap mask is fixed to two sides of the frame opposite to each other, both ends of which are fixed to both ends of the division mask, for example, may be fixed by laser welding or the like by detachable bolts.

또한, 상기 틈새 마스크는 상기 얼라인 마스크 및 분할 마스크의 바닥면, 즉 증착원과 대향한 면에 구비된다.In addition, the gap mask is provided on the bottom surface of the alignment mask and the division mask, that is, the surface facing the deposition source.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 유닛에서, 프레임은 분할 마스크의 양 끝단이 고정된 두 변을 제외한 나머지 두 변(112a,112b) 사이에 걸쳐 개구 영역을 가로지르도록 형성된 지지부재(130)를 구비한다.In addition, in the deposition mask unit according to another embodiment of the present invention, the frame includes a support member formed to cross the opening region between two sides 112a and 112b except for two sides at which both ends of the split mask are fixed. 130).

상기 지지부재(130)는 분할 마스크의 길이 방향과 수직한 방향으로 형성되며 각각이 서로 이격되어 나란하도록 형성된다. 또한, 상기 지지부재는 상기 분할 마스크의 개구 영역을 제외한 나머지 더미 영역과 중첩되도록 형성된다. 또한, 상기 지지부재는 상기 프레임과 일체형으로 형성될 수도 있을 것이다. The support member 130 is formed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the splitting mask and is formed to be spaced apart from each other and side by side. In addition, the support member is formed to overlap the remaining dummy region except for the opening region of the division mask. In addition, the support member may be formed integrally with the frame.

상기 지지부재는 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크와 예를 들면 레이저 용접에 의하여 고정되는 것도 가능하며, 볼트 등을 이용하여 착탈 가능하도록 고정되는 것도 가능할 것이다.The support member may be fixed to the alignment mask, the division mask, and the gap mask by, for example, laser welding, or may be fixed to be detachable using a bolt or the like.

이와 같이, 형성된 지지부재는, 중력 방향에 대하여 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크의 처짐을 방지하는 효과를 가진다.Thus, the formed support member has the effect of preventing sagging of the alignment mask, the division mask and the clearance mask with respect to the gravity direction.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 유닛에서, 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크, 및 틈새 마스크들은 상기 지지부재와 교차하는 영역에 형성된 복수의 홈을 구비하며, 상기 홈 내부에는 상기 지지부재가 삽입되는 구조를 가진다. 즉, 지지부재가 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크에 구비된 홈 내부에 삽입됨으로써, 지지부재와 분할 마스크 사이의 밀착성이 증가하게 된다. In addition, in the deposition mask unit according to another embodiment of the present invention, the alignment mask, the division mask, and the gap mask have a plurality of grooves formed in an area crossing the support member, and the support member inside the groove. Has a structure to be inserted. That is, the support member is inserted into the groove provided in the alignment mask, the division mask, and the gap mask, thereby increasing the adhesion between the support member and the division mask.

이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 마스크 유닛 역시, 지지부재가 직접 분할 마스크를 지지하는 구조를 가짐으로써, 지지부재가 보다 안정적으로 분할 마스크를 지지하는 것을 가능하게 하는 효과를 가진다.As described above, the deposition mask unit according to another exemplary embodiment of the present invention also has a structure in which the support member directly supports the division mask, thereby enabling the support member to more stably support the division mask.

또한, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.In addition, the present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, it is possible that various substitutions, modifications and changes within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art.

도1은 일반적인 유기 발광 표시장치용 증착 장치의 구성을 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view showing the configuration of a deposition apparatus for a general organic light emitting display.

도2는 종래의 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛의 구성을 나타낸 평면도.2 is a plan view showing the structure of a deposition mask unit for a conventional organic light emitting display.

도3은 종래의 유기 발광 표시장치용 증착 마스크의 문제점을 설명하기 위한 도면.3 is a view for explaining a problem of a deposition mask for a conventional organic light emitting display.

도4는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛의 구성을 나타낸 평면도.4 is a plan view illustrating a configuration of a deposition mask unit for an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도5는 도4에서 Ⅰ∼Ⅰ´의 단면을 나타낸 단면도.Fig. 5 is a sectional view showing a cross section of I to I 'in Fig. 4;

도6은 본 발명의 실시에에 따른 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛에서 프레임 및 지지부재를 도시한 사시도.6 is a perspective view illustrating a frame and a supporting member in a deposition mask unit for an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.

도7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛에서 도4의 Ⅰ∼Ⅰ´에 대응되는 부분의 단면을 나타낸 단면도.FIG. 7 is a cross-sectional view of a portion corresponding to I to I ′ of FIG. 4 in a deposition mask unit for an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment of the present disclosure; FIG.

도8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛에서 얼라인 마스크, 분할 마스크, 및 틈새 마스크를 도시한 사시도.8 is a perspective view illustrating an alignment mask, a division mask, and a gap mask in a deposition mask unit for an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.

Claims (6)

중앙의 개구 영역을 둘러싸는 네 변으로 이루어진 프레임;A frame consisting of four sides surrounding a central opening area; 상기 프레임의 네 변 중에서 서로 대향하는 두 변에 대응되는 양 사이드부에 고정되어 구비된한 쌍의 얼라인 마스크;A pair of alignment masks fixed to both side portions corresponding to two opposite sides of the four sides of the frame; 상기 한 쌍의 얼라인 마스크 사이에 서로 이격하여 나란하도록 배치되며, 프레임의 다른 두 변에 양 끝단이 고정되어 증착 패턴을 형성하기 위한 개구부 및 상기 개구부를 제외한 더미 영역으로 구성된 복수의 분할 마스크;A plurality of split masks disposed between the pair of alignment masks to be spaced apart from each other, and having an opening for forming a deposition pattern at both ends of the pair of alignment masks, and a dummy region excluding the opening; 서로 이웃하는 분할 마스크 사이 또는 분할 마스크 및 얼라인 마스크 사이에 배치되어 마스크 사이의 공간을 통해 증착 물질이 증착되는 것을 방지하도록 배치된 복수의 틈새 마스크를 포함하며,A plurality of crevice masks disposed between neighboring split masks or between split masks and alignment masks to prevent deposition of deposition material through the spaces between the masks; 상기 프레임은 상기 분할 마스크의 양 끝단이 고정된 두 변을 제외한 나머지 두 변 사이에 걸치도록 배치되어서 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크를 지지하는 복수의 지지부재를 구비한 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛.The frame has a plurality of support members disposed so as to span between the remaining two sides except the two sides fixed to both ends of the split mask to support the alignment mask, the split mask and the gap mask Deposition mask unit for light emitting display device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지부재는 상기 틈새 마스크와 교차하는 영역에 형성된 복수의 틈새 마스크 삽입홈을 가지고, 상기 틈새 마스크는 상기 틈새 마스크 삽입홈 내부에 삽입되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛.And the support member has a plurality of gap mask insertion grooves formed in an area intersecting the gap mask, and the gap mask is inserted into the gap mask insertion grooves. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 지지부재에 형성된 틈새 마스크 삽입홈의 깊이는, 상기 틈새 마스크의 두께와 대응되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛.The depth of the gap mask insertion groove formed in the support member, the depth of the gap mask corresponding to the thickness of the gap mask deposition mask unit for an organic light emitting display device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크, 및 틈새 마스크는 상기 지지부재와 교차하는 영역에 형성된 홈을 구비하고, 상기 지지부재는 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크, 및 틈새 마스크에 형성된 홈 내부에 삽입되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛.The alignment mask, the division mask, and the gap mask have grooves formed in an area crossing the support member, and the support member is inserted into the grooves formed in the alignment mask, the division mask, and the gap mask. A deposition mask unit for an organic light emitting display device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지부재는, 상기 프레임과 일체형으로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛.The support member is integrally formed with the frame, the deposition mask unit for an organic light emitting display. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 얼라인 마스크, 분할 마스크 및 틈새 마스크와, 상기 지지부재는 서로 용접되어 고정되거나, 볼트로 고정된 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시장치용 증착 마스크 유닛.And the alignment mask, the division mask, and the gap mask, and the support member are welded to each other or fixed by bolts.
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