KR20090125667A

KR20090125667A - A photo mask manufacturing unit and a photo mask using it

Info

Publication number: KR20090125667A
Application number: KR1020080051881A
Authority: KR
Inventors: 이종오
Original assignee: 이종오
Priority date: 2008-06-02
Filing date: 2008-06-02
Publication date: 2009-12-07

Abstract

PURPOSE: An apparatus for manufacturing a photo mask and a photo mask manufactured using the same are provided to reduce manufacturing time and to improve productivity, by patterning ultraviolet ray ink and thermoplastic ink on a glass substrate directly to be used as a photo mask. CONSTITUTION: A supporting part(10) has a rectangular panel shape. An aluminum flat plate supporting panel(40) is installed on one side of the top of the supporting part. A glass substrate supporting panel(50) is installed next to the aluminum flat plate supporting panel. An aluminum flat plate(41) is fixed to the top of the aluminum flat plate supporting panel and is formed with a pattern. A glass substrate(51) is fixed to the top of the glass flat plate supporting panel, and the pattern of the aluminum flat plate is transferred to the glass substrate. A proximity sensor senses the glass substrate without contacting the glass substrate.

Description

Photomask Manufacturing Unit and A Photo Mask Using It

본 발명은 포토 마스크 제조장치 및 이를 이용해 제조되는 포토 마스크에 관한 것으로, 특히 자외선 잉크 및 열경화성 잉크를 평판인쇄방식을 통해 유리기판에 직접 패터닝하되 유리기판의 높이를 지지판에 일치시켜 정밀한 패턴이 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 포토 마스크 제조장치 및 이를 이용해 제조되는 포토 마스크에 관한 것이다.The present invention relates to a photo mask manufacturing apparatus and a photo mask manufactured using the same, and in particular, UV ink and thermosetting ink are directly patterned onto a glass substrate through a flat plate printing method, so that the height of the glass substrate matches the support plate so that a precise pattern is formed. The present invention relates to a photo mask manufacturing apparatus and a photo mask manufactured using the same.

일반적으로 포토마스크는 빛을 이용하여 회로 등의 패턴을 패터닝화하는 포토리소그래피공정에 사용되는 것으로서, 반도체나 LCD/PDP 등의 디스플레이용 패널을 포함하는 고도의 정밀성을 요구하는 전자장치의 제조에 사용되며, 통상 감광액(포토레지스트)이 입혀진 웨이퍼나 스테인리스, LCD/PDP용 유리기판 위에 노광공정을 통해서 회로패턴이 형성되게 하는 제품이다.In general, photomasks are used in photolithography processes that pattern patterns of circuits using light, and are used in the manufacture of electronic devices requiring high precision, including display panels such as semiconductors and LCD / PDPs. In general, a circuit pattern is formed on a wafer coated with a photoresist (photoresist), stainless steel, or a glass substrate for LCD / PDP through an exposure process.

이러한 포토마스크로는 통상 에멀전마스크 또는 크롬마스크가 사용되고 때로는 마스크용 필름과 유리기판을 접합한 것을 사용하기도 하는데, 포토마스크를 포토마스크지그 등에 고정시킨 후 노광공정에 의한 회로패턴이 형성되게 한다.As such a photomask, an emulsion mask or a chrome mask is usually used, and sometimes a mask film and a glass substrate are bonded to each other. The photomask is fixed to a photomask jig or the like to form a circuit pattern by an exposure process.

그런데, 종래 노광공정을 위하여 사용되는 포토마스크에 있어서, 필름을 유리기판에 접합하여 사용하는 경우 광투과성을 고려하여 필름의 모서리 부분에 접착테이프를 붙여 유리기판 위에 고정시키는 방식을 이용한다. 상기의 경우 모서리 부분만 접합을 하므로 유리기판과 필름의 접합시 필름의 가운데 부분이 떨어져 노광 작업시 필름이 처지는 문제점이 발생되고 이에 따라 초점 및 얼라인이 맞지 않으므로 패턴형성대상물에 정교한 회로패턴의 형성이 어렵고, 이러한 접착테이프에 의한 필름과 유리기판의 모서리 부분 고정방식은 작업의 불편함을 야기할 뿐만 아니라 제조시간을 증대시키고 생산성의 저하를 초래하는 요인이 되고 있다.By the way, in the photomask used for the conventional exposure process, in the case where the film is bonded to the glass substrate, the adhesive tape is attached to the edge of the film in consideration of the light transmittance, and a method of fixing on the glass substrate is used. In the above case, since only the edges are bonded, a problem arises that the film is sag when the glass substrate and the film are bonded, and the film sags during the exposure operation. This difficult, and the method of fixing the edge portion of the film and the glass substrate by the adhesive tape not only causes the inconvenience of work, but also increases the production time and causes a decrease in productivity.

또한, 종래 포토마스크로 사용되는 크롬마스크 및 에멀전마스크는 매우 고가로서 연구나 개발 또는 생산에 사용시 그다지 경제성을 갖는다 할 수 없었으며, 산업발전을 이루기 위한 더욱 더 많은 연구와 개발 시도를 위해서 저가의 비용으로 대체할 수 있을 포토마스크가 절실히 요구되고 있는 실정에 있다.In addition, chromium masks and emulsion masks used as conventional photomasks are very expensive and cannot be economically used in research, development, or production, and are inexpensive for further research and development attempts to achieve industrial development. There is an urgent need for a photomask that can be replaced.

본 발명은 상기한 문제점 등을 감안하여 창출된 것으로서, The present invention has been made in view of the above problems,

유리기판에 자외선 잉크 및 열경화성 잉크를 직접 패터닝하여 포토 마스크로 활용토록 함으로서 기존 접착테이프 사용에 의한 작업자의 불편을 해소할 수 있도록 하며 제조시간의 절감 및 생산성의 향상을 기대할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.By patterning UV and thermosetting inks directly on glass substrates and using them as photo masks, it is possible to solve the inconveniences of workers by using existing adhesive tapes, and to reduce manufacturing time and improve productivity. .

상기 목적을 달성하기 위한 수단으로,As a means for achieving the above object,

본 발명은 사각패널 형상의 지지수단과; 상기 지지수단의 일측 상부에 설치되는 알루미늄 평판 지지용 패널과; 상기 알루미늄 평판 지지용 패널의 바로 옆에 설치되는 유리기판 지지용 패널과; 상기 알루미늄 평판 지지용 패널의 상부에 고정되며 일정한 패턴이 형성된 알루미늄 평판과; 상기 유리기판 지지용 패널의 상부에 고정되며 알루미늄 평판의 패턴이 전사되는 유리기판과; 상기 유리기판 지지용 패널이 위치하는 지지수단의 양 사이드면 상부에 설치되어 비접촉식으로 유리기판을 센싱하기 위한 근접센서와; 상기 근접센서의 정보를 송신하여 유리기판이 설정위치보다 높은 위치에 있는지 또는 설정위치보다 낮은 위치에 있는지 파악하여 설정위치인 지지수단의 양사이드면 끝단부에 일치하도록 제어하는 제어부와; 상기 제어부의 제어명령에 따라 유리기판 지지용 패널이 설정위치보다 높게 위치하면 낮아지도록 구동하고, 유리기판 지지용 패널이 설정위치보다 낮게 위치하면 높아지도 록 구동하는 모터장치와; 상기 지지수단의 타측에 설치되며 알루미늄 평판에 물을 공급하기 위한 물공급롤러와; 상기 물공급 롤러 사이드에 설치되며 알루미늄 평판에 자외선 잉크 및 열경화성 잉크를 공급하기 위한 잉크공급 롤러와; 상기 물공급 롤러와 잉크공급 롤러 사이에 설치되며 알루미늄 평판에 묻는 잉크를 전이시킨후에 유리기판에 전사시켜 패턴이 유리기판에 형성되도록 하는 고무 블랑켓과; 상기 물공급롤러와, 잉크공급롤러 및 고무 블랑켓을 수평방향으로 이동시키기 위한 수평이동수단을 포함하여 구성함이 특징이다.The present invention and the support means of the rectangular panel shape; An aluminum plate supporting panel installed at an upper portion of one side of the supporting means; A glass substrate support panel installed next to the aluminum plate support panel; An aluminum flat plate fixed to an upper portion of the aluminum flat plate support panel and having a predetermined pattern formed thereon; A glass substrate fixed to an upper portion of the glass substrate support panel and to which a pattern of an aluminum flat plate is transferred; Proximity sensors for sensing the glass substrate in a non-contact manner is installed on both side surfaces of the support means in which the glass substrate support panel is located; A control unit which transmits information of the proximity sensor to determine whether the glass substrate is at a position higher than the setting position or at a position lower than the setting position, and controls the glass substrate to correspond to both side end portions of the supporting means at the setting position; A motor device for driving the glass substrate support panel to be lower when the glass substrate support panel is positioned higher than the setting position according to a control command of the controller, and driving the glass substrate support panel to be higher when the glass substrate support panel is lower than the setting position; A water supply roller installed at the other side of the support means to supply water to the aluminum flat plate; An ink supply roller installed at a side of the water supply roller and configured to supply ultraviolet ink and thermosetting ink to an aluminum flat plate; A rubber blanket installed between the water supply roller and the ink supply roller and transferred to the glass substrate after transferring the ink buried in the aluminum flat plate so that a pattern is formed on the glass substrate; It characterized in that it comprises a horizontal moving means for moving the water supply roller, the ink supply roller and the rubber blanket in the horizontal direction.

본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.Other objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the preferred embodiments associated with the accompanying drawings.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의한 반도체 및 디스플레이 패널용 포토마스크에 의하면, 유리기판에 아주 정교하면서도 정밀한 패턴을 직접 형성하여 제작함으로서 포토 마스크의 제조시간 절감 및 생산성의 향상을 기대할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the photomask for the semiconductor and the display panel according to the present invention, by forming a very precise and precise pattern directly on the glass substrate it can be expected to reduce the manufacturing time of the photomask and improve the productivity. .

또한, 종래 사용되는 고가의 노광용 크롬마스크 및 에멀전마스크를 저가의 비용으로 대체할 수 있어 그에 따른 경제성을 추구할 수 있고 반도체 및 디스플레이패널의 초기 연구나 개발 또는 생산시 저가로 널리 활용할 수 있어 산업발전의 기대효과를 높일 수 있다.In addition, it is possible to replace expensive chrome masks and emulsion masks used at low cost and pursue economics accordingly, and can be widely used at low cost during the initial research, development or production of semiconductors and display panels. Can increase the expected effect.

비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지 만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 첨부된 청구의 범위는 본 발명의 진정한 범위내에 속하는 그러한 수정 및 변형을 포함할 것이라고 여겨진다.Although the invention has been described in connection with the preferred embodiments mentioned above, other various modifications and variations may be made without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, it is intended that the appended claims cover such modifications and variations as fall within the true scope of the invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are used as much as possible even if displayed on different drawings. In addition, in the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 포토 마스크 제조장치 전체 구성도.1 is an overall configuration diagram of a photomask manufacturing apparatus of the present invention.

도 2는 본 발명의 포토 마스크 제조장치 평면도.2 is a plan view of the photomask manufacturing apparatus of the present invention.

도 3은 본 발명의 포토 마스크 제조장치 측면도.Figure 3 is a side view of the photomask manufacturing apparatus of the present invention.

도 4는 본 발명의 회로 구성 블록도.4 is a circuit block diagram of the present invention.

도 5는 본 발명의 포토 마스크 제조장치의 작업후 상태도로서,5 is a state diagram after the operation of the photomask manufacturing apparatus of the present invention,

본 발명에 포토 마스크는 알루미늄 평판에 인쇄된 패턴을 유리기판으로 전사한 잉크 인쇄층을 갖는 유리기판으로 이루어진다.In the present invention, the photomask is made of a glass substrate having an ink print layer on which a pattern printed on an aluminum flat plate is transferred onto a glass substrate.

아울러, 상기 알루미늄 평판은 패턴이 형성된 필름 마스크를 제작한 상태에서, 상기 필름 마스크를 알루미늄 평판에 밀착후 노광 및 식각하여 패턴이 형성된 알루미늄 평판을 제작한다.In addition, in the state in which the aluminum flat plate is formed with a patterned film mask, the film mask is exposed to the aluminum flat plate and then exposed and etched to produce an aluminum flat plate with a pattern.

상기 필름마스크는 투명한 PET(Poly Ethylene Terephthalate; 폴리에틸렌 테레프탈레이트)필름으로 이루어지고, 표면에 캐드/캠(CAD/CAM) 프로그램 출력에 의한 레이저 플로팅을 행하여 패턴을 인쇄한 후 노광을 행하여 패턴이 감광되어 형성되는 인쇄필름으로 구성된다.The film mask is made of a transparent PET (Poly Ethylene Terephthalate) film, the surface is subjected to laser plotting by CAD / CAM (CAD / CAM) program output to print the pattern and then exposed the pattern is exposed to the pattern It consists of a printing film formed.

상기와 같이 제작된 상기 필름 마스크를 알루미늄 평판에 밀착시키고 고정시킨후 노광하여 필름 마스크에 새겨진 패턴이 알루미늄 평판으로 이동되도록 하고, 이후 식각하게 되면 필름 마스크에 존재하는 패턴의 형상이 알루미늄 평판에서 그대로 재현된다.The film mask manufactured as described above is closely adhered to the aluminum flat plate, fixed and exposed so that the pattern engraved on the film mask is moved to the aluminum flat plate. After etching, the shape of the pattern present in the film mask is reproduced as it is. do.

상기와 같이 패턴을 형성한 알루미늄 평판이 완성되면 유리기판에 전사사키기 위해 포토 마스크 인쇄장치를 이용한다.When the aluminum plate formed with the pattern as described above is completed, a photo mask printing apparatus is used to transfer the glass substrate.

상기 포토 마스크 인쇄장치(100)는, 직사각 형태의 패널 형상의 지지수단(10)과, 상기 지지수단을 따라 유동하는 각종 롤러수단(20)과, 상기 롤러수단(20)을 좌우로 유동시키기 위한 수평 이동수단(30)과, 수평이동수단을 구동하기 위한 모터(도시하지 않음)와, 필름마스크의 패턴이 노광된 알루미늄 평판(41)과, 알루미늄 평판의 패턴이 전사되는 유리기판(51)과, 지지수단의 일측 상부에 설치되어 알루미늄 평판을 배치하기 위한 평판 지지용 패널(40)과, 지지수단의 타측 상부에 설치되어 유리기판을 배치하는 유리기판 지지용 패널(50)과, 유리기판의 존재를 확인하기 위한 근접센서(60)와, 근접센서의 정보를 송신하여 유리기판의 위치를 파악하기 위한 제어부(70)와, 제어부의 제어명령에 따라 유리기판 지지용 패널을 상하로 유동시키는 모터장치(80)로 이루어진다.The photomask printing apparatus 100 includes a rectangular panel-shaped support means 10, various roller means 20 flowing along the support means, and the roller means 20 for moving the left and right sides. A horizontal moving means 30, a motor (not shown) for driving the horizontal moving means, an aluminum flat plate 41 on which the pattern of the film mask is exposed, a glass substrate 51 on which the pattern of the aluminum flat plate is transferred, A panel supporting panel 40 for arranging an aluminum flat plate on one side of the supporting means, a glass substrate supporting panel 50 for arranging a glass substrate on the other side of the supporting means, and a glass substrate Proximity sensor 60 to confirm the presence, the control unit 70 for determining the position of the glass substrate by transmitting the information of the proximity sensor, and the motor for moving the glass substrate support panel up and down in accordance with the control command of the controller Made of device 80 The.

상기 각종 롤러수단(20)은 물공급용 롤러(21)와, 잉크 공급용 롤러(22) 및, 고무 블랑켓(23)으로 이루어지며, 상기 각종 롤러수단(20)은 수평 이동수단(30)에 의해 연결되고, 수평 이동수단(30)은 모터와 연결되어 모터의 구동에 따라서 상기 롤러 이동수단(30)을 좌우로 유동시킨다. 상기에서 모터에 의해서 수평 이동수단(30)이 이동되고, 아울러 롤러수단(20)이 구동되는 것은 옵셋 인쇄기의 일반적인 기술이므로 더이상의 설명은 생략토록 한다. 즉, 옵셋 인쇄기의 기본 구조에 각종 롤러수단과 수평 이동수단 및 모터가 장착되어 있으며, 상기 모터를 구동하여 수평 이동수단을 좌우로 유동하고 동시에 롤러를 적절히 회전시키는 구성등은 옵셋 인쇄기에서 이미 공지된 기술이기 때문에 이들의 조합된 구성 및 구체적인 동작설명은 생략토록 한다.The various roller means 20 is composed of a water supply roller 21, an ink supply roller 22, and a rubber blanket 23, the various roller means 20 is a horizontal moving means (30) Is connected by, the horizontal moving means 30 is connected to the motor to move the roller moving means 30 to the left and right in accordance with the driving of the motor. Since the horizontal movement means 30 is moved by the motor and the roller means 20 is driven in the general technique of the offset printing machine, further description thereof will be omitted. That is, the basic structure of the offset printing machine is equipped with various roller means, horizontal moving means and a motor, and the configuration for driving the motor to move the horizontal moving means to the left and right and at the same time appropriately rotate the roller is known in the offset printing machine Because of the technology, their combined configuration and detailed operation description will be omitted.

상기 물공급용 롤러(21)는 수평 이동수단(30)에 의해서 이동중에 알루미늄 평판(41)에 접면하면서 물을 공급하여 패턴을 제외한 나머지 부분을 물로 체우는 기능을 담당하며, 잉크공급용 롤러(22)는 수평 이동수단(30)에 의해서 이동중에 알루미뉴 평판(41)에 접면하면서 잉크를 공급하여 물이 체워진 나머지 패턴 부분에 잉크를 체우는 역할을 하며, 고무 블랑켓(23)은 수평 이동수단(30)에 의해서 이동중에 먼저 알루미늄 평판(41)에 접면하여 패턴을 전이시킨 다음 이후 유리기판(51)에 패턴을 전사시키는 역할을 한다.The water supply roller 21 is in contact with the aluminum flat plate 41 during the movement by the horizontal moving means 30 to supply water to fill the remaining portion except the pattern with water, the ink supply roller ( 22 serves to fill the remaining pattern portion filled with water by supplying ink while contacting the aluminium flat plate 41 while being moved by the horizontal moving means 30, and the rubber blanket 23 is horizontal During movement by the moving means 30, the aluminum plate 41 is first contacted to transfer the pattern, and then the pattern is transferred to the glass substrate 51.

즉, 상기 알루미늄 평판(41)을 인쇄장치(100)의 알루미늄 평판 지지용 패널 (40)상부에 배치하고, 알루미늄 평판 지지용 패널(40)의 바로 옆에 배치되는 유리기판 지지용 패널(50)의 상부에 유리기판(51)을 배치하여, 알루미늄 평판(41)의 패 턴에 잉크를 공급하고, 상기 패턴을 고무 블랑켓(23)에 전이시킨다음 유리기판(51)에 패턴을 전사시켜 알루미늄 평판(41)에 존재하는 패턴용 잉크가 유리기판(51)에 그대로 복사되도록 하는 것이다.That is, the aluminum plate 41 is disposed on the aluminum plate support panel 40 of the printing apparatus 100, and the glass substrate support panel 50 disposed right next to the aluminum plate support panel 40. The glass substrate 51 is disposed on the upper part of the substrate, ink is supplied to the pattern of the aluminum flat plate 41, the pattern is transferred to the rubber blanket 23, and the pattern is transferred to the glass substrate 51. The pattern ink existing on the flat plate 41 is copied onto the glass substrate 51 as it is.

한편, 상기 유리기판(51)은 유리기판 고정용 패널(50) 상부에 장착되는바, 유리기판(51)을 지지수단의 상부 사이드면(11)에 일치시켜야 하기 때문에 유리기판의 두께에 따라서 상하로 유동하는 수단을 부가 설치한다.On the other hand, the glass substrate 51 is mounted on the glass substrate fixing panel 50, the bar, because the glass substrate 51 must match the upper side surface 11 of the support means up and down according to the thickness of the glass substrate Additional means for flowing into the

즉, 알루미늄 평판(41)은 두께가 얇기 때문에 지지용 패널(40)의 일측에 고정하면 되지만, 유리기판(51)은 일정한 두께를 갖고 있으며, 상기 유리기판(51)의 을 지지수단(10)의 사이드면(11) 상부 끝단부와 일치시켜야 하기 때문에 유리기판의 높이를 자동 센싱하여 높낮이를 조절할 필요가 있다. 만약에 유리기판(51)이 지지수단(10)의 사이드면(11) 상부 끝단부 높게 배치되면 고무 블랑켓(23)으로 인쇄하는 과정에서 과다하게 접면되면서 파손이 이루어지고, 유리기판(51)이 지지수단(10)의 사이드면(11) 상부 끝단부 보다 낮게 배치되면 고무 블랑켓(23)의 접면이 제대로 이루어지지 못하여 잉크의 전사가 정확히 이루어지지 못한다.That is, since the aluminum flat plate 41 has a thin thickness, the aluminum flat plate 41 may be fixed to one side of the supporting panel 40, but the glass substrate 51 has a constant thickness, and the support plate 10 of the glass substrate 51 is supported. Since the side surface 11 of the upper end should be matched with the height of the glass substrate needs to be adjusted automatically. If the glass substrate 51 is placed high on the upper end of the side surface 11 of the support means 10, the glass substrate 51 is damaged while being excessively folded in the process of printing with the rubber blanket 23, and the glass substrate 51 If lower than the upper end of the side surface 11 of the support means 10, the contact surface of the rubber blanket 23 is not made properly, so that the transfer of ink cannot be made accurately.

이를 해결하기 위해 본 발명에서는 유리기판(51)이 존재하는 영역의 사이드면(11) 끝단부에 근접센서(60)를 추가 설치하고, 근접센서(60)의 정보를 입력받아 위치이동 거리를 판단하는 제어부(70)를 구비하며, 상기 제어부(70)의 제어명령에 따라서 유리기판 지지용 패널(50)을 상하로 유동하는 모터 장치(80)를 구비한다.In order to solve this problem, in the present invention, the proximity sensor 60 is additionally installed at the end of the side surface 11 of the region where the glass substrate 51 exists, and the position movement distance is determined by receiving the information of the proximity sensor 60. And a motor device 80 that vertically flows the glass substrate support panel 50 according to a control command of the controller 70.

이에 따라 상기 근접센서(60)에 의해서 유리기판(51)이 지지수단(10)과 평행하게 배치되는지를 판단하여 유리기판(51)이 지지수단(10)의 사이드면(11) 끝단부 와 평행해 질때까지 유리기판 지지용 패널(50)을 상하로 유동시킨다.Accordingly, it is determined by the proximity sensor 60 whether the glass substrate 51 is disposed in parallel with the support means 10 so that the glass substrate 51 is parallel with the end of the side surface 11 of the support means 10. The glass substrate support panel 50 is flowed up and down until it disappears.

즉, 지지수단(10)의 사이드면(11) 끝단부에 위치하는 근접센서(60)로부터 유리기판(51)의 위치 정보를 출력받아 유리기판(51)이 인지되지 않으면 유리기판(51)이 지지수단(10)의 양 사이드면(11) 보다 밑에 있는 것으로 판단하여 유리기판이 상부로 올라오도록 모터장치(80)를 구동하여 유리기판 지지용 패널(50)을 상부로 이송시키고, 이때 유리기판(51)이 상승되어 근접센서(60)에 감지되면 유리기판 지지용 패널(50)을 약간 하강시켜 유리기판(51)이 사라지는 시점에서 모터장치(80)의 구동을 중단시켜 지지수단(10)의 사이드면(11) 끝단부와 평행하게 배치되도록 한다.That is, when the glass substrate 51 is not recognized by receiving the position information of the glass substrate 51 from the proximity sensor 60 located at the end of the side surface 11 of the support means 10, the glass substrate 51 It is judged that it is lower than both side surfaces 11 of the support means 10, and drives the motor device 80 so that the glass substrate is raised to the upper portion, and transfers the glass substrate support panel 50 to the upper portion. When the 51 is raised and sensed by the proximity sensor 60, the glass substrate support panel 50 is slightly lowered to stop the driving of the motor device 80 at the time when the glass substrate 51 disappears. To be parallel to the end of the side surface 11 of the.

그리고, 초기 근접센서(60)로 유리기판(51)의 위치정보를 판독하여 유리기판(51)이 감지되면 유리기판(51)이 지지수단(10)의 양사이드면(11) 끝단부 보다 높게 배치된 것으로 판단하여 모터장치(80)를 구동하여 유리기판 지지용 패널(50)을 하부로 이송시키고, 이때 유리기판(51)이 하강되어 유리기판(51)이 사라지는 시점에서 모터장치(80)의 구동을 중단시켜 지지수단(10)의 사이드면(11) 끝단부와 유리기판(51)이 평행하게 위치하도록 한다.When the glass substrate 51 is detected by reading the position information of the glass substrate 51 by the initial proximity sensor 60, the glass substrate 51 is higher than the end portions of both side surfaces 11 of the support means 10. It is determined that the motor device 80 is driven to transfer the glass substrate supporting panel 50 to the lower portion, and the motor device 80 at the time when the glass substrate 51 is lowered and the glass substrate 51 disappears. The driving of the side surface 11 of the support means 10 and the glass substrate 51 are placed in parallel.

이하에서 본 발명의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.Referring to the effects of the present invention below.

먼저, 인쇄장치의 상부에 설치되는 알루미늄 평판 지지용 패널(40)과, 유리기판 지지용 패널(50)에 각각 알루미늄 평판(41)과 유리기판(51)을 배치하고 고정한다. 상기 알루미늄 평판(41)에는 필름 마스크에 새겨진 패턴을 노광시켜 일정한 패턴이 형성된 상태이며, 유리기판(51)에는 아무런 패턴이 새겨지지 않은 깨끗한 상태이다.First, the aluminum flat plate 41 and the glass substrate 51 are disposed and fixed to the aluminum flat plate supporting panel 40 and the glass plate supporting panel 50 respectively installed on the printing apparatus. The aluminum plate 41 is exposed to a pattern engraved in a film mask, and a predetermined pattern is formed, and the glass substrate 51 is in a clean state in which no pattern is engraved.

그러면, 인쇄장치(100)를 구성하는 지지수단(10)의 양 사이드면(11)에 존재하는 근접센서(60)를 구동하여 현재 유리기판(51)의 위치를 판독하며, 유리기판(51)이 사이드면(11) 끝단부보다 상승된 상태이면 하강하도록 모터장치(80)를 구동하고, 유리기판(51)이 사이드면(11) 끝단부 보다 하강된 상태이면 상승하도록 모터장치를 구동한다.Then, by driving the proximity sensor 60 present on both side surfaces 11 of the support means 10 constituting the printing apparatus 100 to read the position of the current glass substrate 51, the glass substrate 51 The motor device 80 is driven to descend when the side surface 11 is raised above the end, and the motor device is driven to rise when the glass substrate 51 is lowered than the side near the end.

이에 따라 유리기판(51)이 지지수단(10)의 양사이드면(11)에 완전히 일치하면 평행이 이루어진 것으로 판단하여 알루미늄 평판(41)에 새겨진 패턴을 유리기판에 전사시키는 작업을 행한다.Accordingly, when the glass substrate 51 is completely coincident with both side surfaces 11 of the support means 10, it is determined that parallelism is made, and the operation of transferring the pattern engraved on the aluminum flat plate 41 to the glass substrate is performed.

상기 알루미늄 평판(41)에 새겨진 패턴을 전이시키는 방법으로는 먼저, 물을 알루미늄 평판(41)에 제공하여 패턴 이외의 부분이 물로 채워지도록 하고, 이후 기름 성분이 있는 반발성 잉크를 알루미늄 평판(41)에 공급하여 패턴 부분만 잉크가 존재하도록 한다.As a method of transferring the pattern engraved on the aluminum flat plate 41, first, water is provided to the aluminum flat plate 41 so that portions other than the pattern are filled with water, and then the repellent ink containing oil is added to the aluminum flat plate 41. ) So that only the pattern part is present with ink.

이후, 고무 블랑켓(23)을 구동하여 알루미늄 평판(41)에 접면되면서 구르도록 하며 이에 따라 고무 블랑켓(23)의 외측에 패턴이 전이되도록 한후, 다시 반대로 회전시켜 유리기판(51)에 접면되면서 구르도록 하여 알루미늄 평판(41)에 새겨진 패턴이 유리기판(51)에 그대로 전사되도록 한다.Subsequently, the rubber blanket 23 is driven to be folded while being folded on the aluminum flat plate 41. Accordingly, the pattern is transferred to the outside of the rubber blanket 23, and then rotated again to be in contact with the glass substrate 51. While rolling, the pattern engraved on the aluminum flat plate 41 is transferred to the glass substrate 51 as it is.

결국, 본 발명은 알루미늄 평판(41)에 새겨진 패턴을 유리기판(51)에 전사시키기 위해 자외선 잉크 또는 열경화성 잉크를 알루미늄 평판(41)에 공급하고, 고무 블랑켓(23)을 이용하여 알루미늄 평판(41)에 존재하는 잉크를 전이후 다시 회전하 여 유리기판(51)에 그대로 전사시켜 유리기판(51)에 자외선 잉크 및 열경화성 잉크가 배치되도록 하고 이를 건조시켜 잉크 패턴이 새겨진 유리기판(51)의 제작이 완료된다.As a result, the present invention supplies UV ink or thermosetting ink to the aluminum flat plate 41 to transfer the pattern engraved on the aluminum flat plate 41 to the glass substrate 51, and uses the rubber blanket 23 to provide the aluminum flat plate ( 41) the ink existing in the glass is rotated again and then transferred to the glass substrate 51 as it is, so that the ultraviolet ink and the thermosetting ink are disposed on the glass substrate 51 and dried to dry the ink pattern of the glass substrate 51 having the ink pattern engraved thereon. The production is complete.

이후, 유리기판(51)에 패턴의 전사가 완료되면 경화장치를 통해 유리기판상에 존재하는 잉크를 경화시킨다.After the transfer of the pattern to the glass substrate 51 is completed, the ink existing on the glass substrate is cured through the curing apparatus.

경화장치로는 자외선 잉크의 경우 이를 경화하기 위해 자외선 공급통을 이용할 수 있는바, 상기 자외선 공급통에 패턴이 형성된 유리기판을 삽입후 자외선을 조사하면 잉크가 경화되어 유리기판에 안정적으로 고정된다.In the case of ultraviolet ink, the ultraviolet ink can be used to cure the ultraviolet ink, and when the glass substrate having the pattern is inserted into the ultraviolet light supply is irradiated with ultraviolet rays, the ink is cured to be stably fixed to the glass substrate.

아울러, 경화장치로 열경화성 잉크를 사용한 경우 이를 경화하기 위해 열공급통을 이용할 수 있는바, 상기 열공급통에 패턴이 형성된 유리기판을 삽입후 일정한 열을 공급하여 잉크를 경화시켜 유리기판에 안정적으로 고정된다.In addition, when a thermosetting ink is used as a curing apparatus, a heat supply cylinder may be used to cure it. After inserting a glass substrate having a pattern into the heat supply cylinder, the ink is cured by supplying a certain heat to stably fix the ink to the glass substrate. .

도 5는 본 발명의 포토 마스크 제조장치의 작업후 상태도.Figure 5 is a state diagram after the operation of the photomask manufacturing apparatus of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10: 지지수단10: supporting means

20: 롤러수단20: roller means

30: 수평 이동수단30: horizontal vehicle

40: 알루미늄 평판 지지용 롤러40: aluminum plate support roller

41: 알루미늄 평판41: aluminum flat plate

50: 유리기판 지지용 롤러50: glass substrate support roller

51: 유리기판51: glass substrate

60: 근접센서60: proximity sensor

70: 제어부70: control unit

80: 모터장치80: motor unit

100: 포토 마스크 인쇄장치100: photo mask printing device

Claims

Support means 10 of the rectangular panel shape;

An aluminum flat plate support panel 40 installed on one side of the support unit;

A glass substrate support panel 50 installed directly next to the aluminum plate support panel;

An aluminum plate 41 fixed to an upper portion of the aluminum plate support panel and having a predetermined pattern formed thereon;

A glass substrate 51 fixed to an upper portion of the glass substrate supporting panel and on which a pattern of an aluminum flat plate is transferred;

A proximity sensor (60) installed on both side surfaces of the support means on which the glass substrate support panel is located and for sensing the glass substrate in a non-contact manner;

A control unit 70 which transmits the information of the proximity sensor to determine whether the glass substrate is at a position higher than the setting position or at a position lower than the setting position and controls the glass substrate to correspond to both side end portions of the supporting means which is the setting position;

A motor device 80 for driving the glass substrate support panel to be lower when the glass substrate support panel is positioned higher than the setting position according to a control command of the controller, and driving the glass substrate support panel to be higher when the glass substrate support panel is lower than the setting position;

A water supply roller 21 installed at the other side of the support means to supply water to the aluminum flat plate;

An ink supply roller 22 installed at the water supply roller side to supply ultraviolet ink and thermosetting ink to the aluminum flat plate;

A rubber blanket (23) installed between the water supply roller and the ink supply roller and transferred to a glass substrate after transferring the ink buried in the aluminum plate so that a pattern is formed on the glass substrate;

And a horizontal moving means (30) for moving the water supply roller, the ink supply roller and the rubber blanket in the horizontal direction.

It is manufactured through the manufacturing apparatus of claim 1,

A glass substrate;

A photo mask comprising an ink layer cured on the glass substrate.