KR20090094911A - Linear Transfer Stage Apparatus - Google Patents

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Abstract

A linear transfer stage apparatus is provided to prevent productivity degradation due to operation abortion by not changing a horizontal position of a work head although a transfer stage is changed due to a long time operation. A stator(S) is fixed to a top surface of a base frame(110). A transfer stage(120) is installed in a top part of the base frame. A mover(M) is fixed to a bottom surface of the transfer stage. A first guide unit(130) is installed in order to guide the transfer stage. A Y direction movable block(140) is installed into a Y direction in order to prevent deformation of the transfer stage. A guide protrusion is formed in a bottom surface of the Y direction movable block, and is inserted to a guide groove which is formed in a top surface of the base frame.

Description

리니어 이송 스테이지 장치{Linear Transfer Stage Apparatus}Linear Transfer Stage Apparatus {Linear Transfer Stage Apparatus}

본 발명은 리니어 모터 구조를 갖는 반도체 제조설비에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 장시간 사용시에도 리니어 모터의 가동자의 과열에 의해 워크 헤드의 수평 작업 위치가 변하지 않도록 이송 스테이지의 구조를 개선한 리니어 이송 스테이지 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor manufacturing facility having a linear motor structure, and more particularly, to a linear transfer stage device in which the structure of the transfer stage is improved so that the horizontal working position of the work head does not change due to overheating of the mover of the linear motor even during long time use. It is about.

일반적으로 회전형 모터를 이용하는 직선 운동 시스템은 대부분 회전 운동을 직선 운동으로 변환시키는 동력 전환 장치, 예컨대, 벨트나 볼 스크류(ball screw) 등을 사용하여 직선 방향으로 이동된다.In general, a linear motion system using a rotary motor is moved in a linear direction using a power conversion device, for example, a belt or a ball screw, which converts the rotational motion into a linear motion.

그러나 이러한 회전형 모터를 이용하는 직선 운동 시스템들은 모터 등에 상기 동력 전환 장치를 추가로 부가한 시스템이어서, 상기 회전형 모터를 이용하는 직선 운동 시스템의 에너지 효율을 떨어뜨리고, 마찰이나 진동과 같은 2차적인 문제를 야기하는 단점이 있을 수 있다.However, linear motion systems using such rotary motors are systems in which the power conversion device is additionally added to a motor, thereby reducing energy efficiency of the linear motion system using the rotary motors, and causing secondary problems such as friction and vibration. There may be disadvantages that cause.

이에 근래 들어, 리니어 모터를 이용한 직선 운동 시스템이 고정밀도 및 고속을 요구하는 장비들에 적용되고 있다.In recent years, linear motion systems using linear motors have been applied to equipment requiring high precision and high speed.

리니어 모터는 전기적 입력에 대해 직접적으로 직선 운동을 할 수 있어, 회 전 운동을 직선 운동으로 변환시키기 위한 별도의 동력 전환 장치를 필요로 하지 않는다. 그리고 리니어 모터는 비접촉식 운동 방식으로 직선 운동을 하여 고속 및 저소음으로 작동할 수 있는 장점이 있다.The linear motor can make linear motion directly with respect to the electrical input, eliminating the need for a separate power converter to convert the rotational motion into linear motion. In addition, the linear motor has the advantage of operating at high speed and low noise by performing a linear motion in a non-contact motion method.

도 1은 종래 이송 스테이지 장치를 보인 정면도로서, 과열에 의한 워크 헤드의 변형을 설명하는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a front view which shows the conventional transfer stage apparatus, and is a figure explaining the deformation | transformation of the work head by overheating.

도 1을 참조하면, 종래 이송 스테이지 장치(10)는 베이스 프레임(11)과, 상기 베이스 프레임(11)에 설치되는 고정자(12)와, 이송 스테이지(13)와, 상기 이송 스테이지(13)에 고정 설치되며 상기 고정자(12)와 대향되어 배치되는 가동자(14)로 구성되어 있다. 상기 베이스 프레임(11)과 이송 스테이지(13)의 양쪽 사이에는 이송 안내부(15)가 구비되어 있다.Referring to FIG. 1, the conventional transfer stage apparatus 10 includes a base frame 11, a stator 12 installed on the base frame 11, a transfer stage 13, and the transfer stage 13. It is fixedly installed and is composed of a mover (14) disposed opposite the stator (12). A transfer guide 15 is provided between both the base frame 11 and the transfer stage 13.

그리고 상기 이송 스테이지(13)의 상부에는 본딩 헤드와 같은 장비를 설치하기 위한 워크 헤드(16)가 고정되어 있다.And the work head 16 is fixed to the upper portion of the transfer stage 13 for installing equipment such as a bonding head.

전자기력에 의하여 상기 가동자(14)는 상기 고정자(12)에 대하여 슬라이드 되는 구조로 이루어져 있다.The mover 14 is configured to slide relative to the stator 12 by an electromagnetic force.

종래 이송 스테이지 장치(10)는 가동자(14)가 반복적인 직선 슬라이드 운동을 진행함에 따라, 상기 고정자의 코일에 인가된 전류에 의해 상기 코일에서 상당히 높은 열이 발생한다. 이러한 과열은 가동자(14) 및 이송 스테이지(13)의 변형을 초래하여, 도 1의 가상 선으로 도시된 바와 같이, 이송 스테이지(13)의 워크헤드(16)의 위치 왜곡을 초래하여 제품의 질을 떨어뜨리는 문제점이 있었다.The conventional transfer stage apparatus 10 generates considerably higher heat in the coil by the current applied to the coil of the stator as the mover 14 undergoes repeated linear slide movements. This overheating causes deformation of the mover 14 and the transfer stage 13, resulting in a positional distortion of the workhead 16 of the transfer stage 13, as shown by the imaginary line in FIG. 1. There was a problem that degraded the quality.

종래에는 과열을 방지하기 위하여 이송 스테이지와 가동자 사이에 공냉식 냉 각장치 또는 수냉식 냉각장치를 설치하는 기술도 제안된바 있었으나, 공냉식 냉각장치를 설치할 경우, 공냉식 냉각장치를 설치하지 않을 때와 비교하여 냉각효율은 30 %정도 밖에는 더 얻지 못하여 매우 비효율적이었다.Conventionally, a technique of installing an air-cooled or water-cooled chiller between the transfer stage and the mover has been proposed to prevent overheating. However, when the air-cooled chiller is installed, it is compared with the case of not installing the air-cooled chiller. Cooling efficiency was only 30%, which was very inefficient.

또 수냉식 냉각장치를 설치할 경우, 공냉식 냉각장치를 설치할 때보다 냉각효율은 좀더 올라가지만, 별도의 냉각 시스템을 구비해야 하고 누수가 발생할 경우 치명적인 손상을 입을 수 있는 문제점이 있었다.In addition, when the water-cooled cooling device is installed, the cooling efficiency is higher than when installing the air-cooled cooling device, but a separate cooling system has to be provided and there is a problem that can cause a fatal damage if the leak occurs.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로, 장시간 운전으로 인하여 이송 스테이가 변형되더라도 워크 헤드의 수평 위치가 변형되지 않기 때문에 제품에 대한 신뢰성을 높일 수 있는 리니어 이송 스테이지 장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above-mentioned problems, and the object of the present invention is to provide a linear transfer stage device that can increase the reliability of the product because the horizontal position of the work head is not deformed even if the transfer stay is deformed due to long time operation. have.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 리니어 이송 스테이지 장치는 리니어 모터에 의해서 이송 스테이지가 베이스 프레임의 상부에서 X방향으로 슬라이드 가능하게 설치되고, 상기 이송 스테이지의 슬라이드 이송을 가이드 하도록 상기 이송 스테이지의 양쪽에 제 1 가이드 유닛과 제 2 가이드 유닛이 구비되며, 상기 제 1 가이드 유닛과 상기 제 2 가이드 유닛 중에서 상기 제 2 가이드 유닛이 Y방향으로 가동 가능하게 설치되어 상기 이송 스테이지의 열 변형을 방지한다.In order to achieve the above object, in the linear transfer stage apparatus of the present invention, the transfer stage is slidably installed in the X direction at the top of the base frame by a linear motor, and both sides of the transfer stage are configured to guide the slide transfer of the transfer stage. The first guide unit and the second guide unit is provided, the second guide unit of the first guide unit and the second guide unit is installed to be movable in the Y direction to prevent thermal deformation of the transfer stage.

본 발명의 일 관점에 따른 리니어 이송 스테이지 장치는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임 상면에 고정되는 고정자; 상기 베이스 프레임 상부에 X방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 이송 스테이지; 상기 이송 스테이지의 하면에 고정되는 가동자; 상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 베이스 프레임의 일 측 끝단 부와, 상기 이송 스테이지의 일 측 끝단 부 사이에 설치되는 제 1 가이드 유닛; 상기 베이스 프레임의 타 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지의 타 측 끝단 부 사이에 상기 이송 스테이지의 변형 방지를 위해 Y 방향 으로 슬라이드 이동되는 Y 방향 가동 블럭; 상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 Y 방향 가동 유닛과, 상기 이송 스테이지의 타 측 끝단 부 사이에 설치되는 제 2 가이드 유닛을 포함한다.According to an aspect of the present invention, a linear transfer stage apparatus includes a base frame; A stator fixed to an upper surface of the base frame; A transfer stage installed on the base frame to be slidably moved in the X direction; A mover fixed to a lower surface of the transfer stage; A first guide unit installed between one end of the base frame and one end of the transport stage to guide the slide movement in the X direction of the transport stage; A Y-direction movable block slidably moved in the Y direction to prevent deformation of the transfer stage between the other end portion of the base frame and the other end portion of the transfer stage; And a second guide unit installed between the Y direction movable unit and the other end of the transfer stage to guide the slide movement in the X direction of the transfer stage.

상기 Y방향 가동 블럭의 하면에 형성된 가이드 돌기는 상기 베이스 프레임의 상면에 형성된 가이드 홈에 삽입된다.Guide protrusions formed on the lower surface of the Y-direction movable block are inserted into guide grooves formed on the upper surface of the base frame.

상기 제 1 가이드 유닛은 가이드 홈을 가지며 상기 이송 스테이지에 고정되는 고정 블럭; 및 상기 가이드 홈에 삽입되며 상기 베이스 프레임에 고정되는 가이드 돌기로 구성된다.The first guide unit has a guide block fixed to the transfer stage; And guide protrusions inserted into the guide grooves and fixed to the base frame.

상기 제 2 가이드 유닛은 가이드 홈을 가지며 상기 이송 스테이지에 고정되는 고정 블럭; 및 상기 가이드 홈에 삽입되며 상기 Y 방향 가동 블럭에 고정되는 가이드 돌기로 구성된다.The second guide unit has a guide block fixed to the transfer stage; And guide protrusions inserted into the guide grooves and fixed to the movable block in the Y direction.

본 발명의 다른 관점에 따른 리니어 이송 스테이지 장치는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임 상면에 고정되는 고정자; 상기 베이스 프레임 상부에 X 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 이송 스테이지; 상기 이송 스테이지의 하면에 고정되는 가동자; 상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 베이스 프레임의 일 측 끝단 부와, 상기 이송 스테이지의 일 측 끝단 부 사이에 설치되는 제 1 가이드 유닛; 상기 이송 스테이지의 변형 방지를 위해 상기 베이스 프레임의 타 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지의 타 측 끝단 부 사이에 Y 방향으로 슬라이드 이동되게 설치되는 Y 방향 가동 블럭; 상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 Y 방향 가동 유닛과, 상기 이송 스 테이지의 타 측 끝단 하부 사이에 설치되는 제 2 가이드 유닛을 포함하되, 상기 Y 방향 가동 블럭이 2단 구조로 구성된다.According to another aspect of the present invention, a linear transfer stage apparatus includes a base frame; A stator fixed to an upper surface of the base frame; A transfer stage installed on the base frame to be slidably moved in an X direction; A mover fixed to a lower surface of the transfer stage; A first guide unit installed between one end of the base frame and one end of the transport stage to guide the slide movement in the X direction of the transport stage; A Y-direction movable block installed to slide in a Y direction between the other end portion of the base frame and the other end portion of the transfer stage to prevent deformation of the transfer stage; And a second guide unit installed between the Y direction movable unit and the lower end of the other end of the transfer stage to guide the slide movement in the X direction of the transfer stage, wherein the Y direction movable block has a two-stage structure. It is composed.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 리니어 모터 구동시 발생하는 과열로 인하여 가동자 및 이송 스테이지가 변형되더라도 워크 헤드의 작업 위치가 변형되지 않아 제품의 질 저하를 효과적으로 방지할 수 있다.As described above, according to the present invention, even if the mover and the transfer stage are deformed due to overheating generated when the linear motor is driven, the work position of the work head is not deformed, thereby effectively preventing the quality of the product.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 스테이지 장치를 보인 정면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 이송 스테이지 장치를 보인 측면도이며, 도 4는 도 2의 I-I'선 단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 가이드 돌기의 변형 예를 보인 종단면도이다.2 is a front view showing a transfer stage apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a side view showing the transfer stage apparatus shown in FIG. 2, FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 2, and FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a modified example of the guide protrusion shown in FIG.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치(100)는 리니어 모터 구조에 의해서 이송 스테이지(120)가 베이스 프레임(110)의 상부에서 X 방향으로 슬라이드 가능하게 설치되고, 상기 이송 스테이지(120)의 슬라이드 이송을 가이드 하도록 상기 이송 스테이지(120)의 양쪽에 제 1 가이드 유닛(130)과 제 2 가이드 유닛(150)이 구비되며, 상기 제 1 가이드 유닛(130)과 상기 제 2 가이드 유닛(150) 중에서 상기 제 2 가이드 유닛(150)이 Y 방향으로 가동 가능하게 설치되어 상기 이송 스테이지(120)의 열 변형을 방지하는 구조로 이루어져 있다.2 to 4, the linear transfer stage apparatus 100 according to an embodiment of the present invention allows the transfer stage 120 to slide in the X direction from the top of the base frame 110 by a linear motor structure. It is installed, the first guide unit 130 and the second guide unit 150 is provided on both sides of the transfer stage 120 to guide the slide transfer of the transfer stage 120, the first guide unit 130 ) And the second guide unit 150 is installed to be movable in the Y direction among the second guide unit 150 to prevent thermal deformation of the transfer stage 120.

좀더 상세하게는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치(100)는 베이스 프레임(110)을 구비한다.More specifically, the linear transfer stage apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a base frame 110.

상기 베이스 프레임(110) 상면에는 리니어 모터의 고정자(S)가 고정되어 있다.The stator S of the linear motor is fixed to the upper surface of the base frame 110.

상기 베이스 프레임(110) 상부에는 이송 스테이지(120)가 X 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치되어 있다. 상기 이송 스테이지(120)의 하면에는 리니어 모터의 가동자(M)가 고정되어 있다.The transfer stage 120 is installed on the base frame 110 to be slidably moved in the X direction. The mover M of the linear motor is fixed to the lower surface of the transfer stage 120.

상기 이송 스테이지(120)의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 베이스 프레임(110)의 일 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지(120)의 일 측 끝단 부 사이에 제 1 가이드 유닛(130)이 설치되어 있다.A first guide unit 130 is installed between one side end portion of the base frame 110 and one side end portion of the transfer stage 120 to guide the slide movement in the X direction of the transfer stage 120. have.

상기 제 1 가이드 유닛(130)은 가이드 홈(132)을 가지며 상기 이송 스테이지(120)에 고정되는 고정 블럭(131)을 구비한다. 상기 베이스 프레임(110)에는 가이드 돌기(133)가 고정되고, 상기 가이드 돌기(113)는 상기 가이드 홈(132)에 삽입되어 있다.The first guide unit 130 includes a fixing block 131 having a guide groove 132 and fixed to the transfer stage 120. The guide protrusion 133 is fixed to the base frame 110, and the guide protrusion 113 is inserted into the guide groove 132.

상기 베이스 프레임(110)의 타 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지(120)의 타 측 끝단 부 사이에는 상기 이송 스테이지(120)의 변형 방지를 위해 Y 방향으로 슬라이드 이동되는 Y 방향 가동 블럭(140)이 설치되어 있다.Between the other end portion of the base frame 110 and the other end portion of the transfer stage 120, the Y-direction movable block 140 which is slid in the Y direction to prevent deformation of the transfer stage 120 is It is installed.

상기 Y 방향 가동 블럭(140)의 하면에 형성된 가이드 돌기(141)는 상기 베이스 프레임(110)의 상면에 형성된 가이드 홈(142)에 삽입되어 있다.The guide protrusion 141 formed on the lower surface of the Y-direction movable block 140 is inserted into the guide groove 142 formed on the upper surface of the base frame 110.

상기 가이드 돌기(141)가 상기 가이드 홈(142)에 삽입된 상태를 유지하여, 상기 Y 방향 가동 블럭(140)이 Y 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 되는 것이다.The guide protrusion 141 is maintained in the state of being inserted into the guide groove 142, so that the Y-direction movable block 140 can slide in the Y direction.

상기 가이드 돌기(141) 및 상기 가이드 홈(142)은 설계 조건에 따라 여러 가지 형상으로 구성될 수 있는바, 도 4에 도시된 더브 테일 형상뿐만 아니라 도 5에 도시된 직사각 형상으로도 가능하다.The guide protrusions 141 and the guide grooves 142 may be configured in various shapes according to design conditions. The guide protrusions 141 and the guide grooves 142 may be formed in a rectangular shape as shown in FIG.

상기 이송 스테이지(120)의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 Y 방향 가동 유닛(140)과 상기 이송 스테이지(120)의 타 측 끝단 부 사이에는 제 2 가이드 유닛(150)이 설치되어 있다.A second guide unit 150 is installed between the Y direction movable unit 140 and the other end of the transfer stage 120 to guide the slide movement in the X direction of the transfer stage 120.

상기 제 2 가이드 유닛(150)은 가이드 홈(152)을 가지며 상기 이송 스테이지(120)에 고정되는 고정 블럭(151)을 구비한다. 상기 베이스 프레임(110)에는 가이드 돌기(153)가 고정되고, 상기 가이드 돌기(153)는 상기 가이드 홈(152)에 삽입되어 있다.The second guide unit 150 includes a fixing block 151 having a guide groove 152 and fixed to the transfer stage 120. The guide protrusion 153 is fixed to the base frame 110, and the guide protrusion 153 is inserted into the guide groove 152.

이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치 작동을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the linear transfer stage apparatus according to an embodiment of the present invention configured as described above are as follows.

전원이 인가되면, 리니어 모터의 고정자(S)와 가동자(M)의 전자기력 작용에 의하여 상기 가동자(M)는 추진력을 받는다.When power is applied, the mover M is driven by the electromagnetic force of the stator S and the mover M of the linear motor.

이때 상기 가동자(M)가 고정 설치된 이송 스테이지(120)는 상기 제 1 가이드 유닛(130) 및 상기 제 2 가이드 유닛(150)에 의해서 X 방향으로 슬라이드 이동될 수 있다.In this case, the transfer stage 120 in which the mover M is fixed may be slid in the X direction by the first guide unit 130 and the second guide unit 150.

통상, 칩마운터와 같은 장비에 채택되는 리니어 이송 스테이지 장치는 장시 간 운전시에 고온의 열이 발생할 수 있고, 이러한 열 팽창으로 인하여 이송 스테이지의 수평 위치가 변형될 수 있다.In general, the linear transfer stage apparatus employed in equipment such as a chip mounter may generate high temperature heat during long time operation, and this thermal expansion may deform the horizontal position of the transfer stage.

이송 스테이지의 수평 위치가 변경될 경우, 이송 스테이지에 장착된 작업 헤드의 수평 위치도 변경되어 정밀 운전이 어렵게 되는 것이다.When the horizontal position of the transfer stage is changed, the horizontal position of the work head mounted on the transfer stage is also changed, which makes it difficult to precisely operate.

따라서 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치(100)에서는 이송 스테이지(120)의 수평 위치 변경에 따른 작업 헤드(16)의 수평 위치 변경을 방지하기 위하여, 장시간 운전으로 인하여 이송 스테이지(120)가 Y 방향으로 변형되더라도, Y 방향 가동 블럭(140)이 Y 방향으로 움직이게 되기 때문에, 이송 스테이지(120)의 수평 위치 변경을 효과적으로 방지할 수 있다.Therefore, in the linear transfer stage apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, in order to prevent the horizontal position change of the work head 16 according to the horizontal position change of the transfer stage 120, the transfer stage 120 due to long time operation. Even if Y) is deformed in the Y direction, since the Y-direction movable block 140 moves in the Y direction, it is possible to effectively prevent the horizontal position change of the transfer stage 120.

한편, 도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 이송 스테이지 장치를 보인 정면도이고 도 7은 도 6에 도시된 이송 스테이지 장치의 측면도이다.6 is a front view illustrating a transfer stage apparatus according to another exemplary embodiment, and FIG. 7 is a side view of the transfer stage apparatus illustrated in FIG. 6.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치(200)는 베이스 프레임(210)을 구비한다.6 and 7, the linear transfer stage apparatus 200 according to another embodiment of the present invention includes a base frame 210.

상기 베이스 프레임(210) 상면에는 리니어 모터의 고정자(S)가 고정되어 있다.The stator S of the linear motor is fixed to the upper surface of the base frame 210.

상기 베이스 프레임(210) 상부에는 이송 스테이지(220)가 X 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치되어 있다.The transfer stage 220 is installed on the base frame 210 to be slidably moved in the X direction.

상기 이송 스테이지(220)의 하면에는 리니어 모터의 가동자(M)가 고정되어 있다.The mover M of the linear motor is fixed to the lower surface of the transfer stage 220.

상기 이송 스테이지(220)의 X방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 베이스 프레임(210)의 일 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지(220)의 일 측 끝단 부 사이에 제 1 가이드 유닛(230)이 설치되어 있다.A first guide unit 230 is installed between one end portion of the base frame 210 and one end portion of the transfer stage 220 to guide the slide movement in the X direction of the transfer stage 220. have.

상기 제 1 가이드 유닛(230)은 가이드 홈(232)을 가지며 상기 이송 스테이지(220)에 고정되는 고정 블럭(231)을 구비한다. 상기 베이스 프레임(210)에는 가이드 돌기(233)가 고정되고, 상기 가이드 돌기(233)는 상기 가이드 홈(232)에 삽입되어 있다.The first guide unit 230 has a fixing block 231 having a guide groove 232 and fixed to the transfer stage 220. The guide protrusion 233 is fixed to the base frame 210, and the guide protrusion 233 is inserted into the guide groove 232.

상기 베이스 프레임(210)의 타 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지(220)의 타 측 끝단 부 사이에는 상기 이송 스테이지(220)의 변형 방지를 위해 Y 방향으로 슬라이드 이동되는 Y 방향 가동 블럭(240)(240')이 설치되어 있다.Between the other end portion of the base frame 210 and the other end portion of the transfer stage 220 Y-direction movable block 240 which is slid in the Y direction to prevent deformation of the transfer stage 220 ( 240 ') is installed.

상기 이송 스테이지(220)의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 Y 방향 가동 블럭(240)(240')과 상기 이송 스테이지(220)의 타 측 끝단 부 사이에는 제 2 가이드 유닛(250)이 설치되어 있다.A second guide unit 250 is installed between the Y-direction movable blocks 240 and 240 'and the other end of the transfer stage 220 to guide the slide movement in the X direction of the transfer stage 220. It is.

상기 제 2 가이드 유닛(250)도 가이드 홈(252)을 가지며 상기 이송 스테이지(220)에 고정되는 고정 블럭(252)을 구비한다. 상기 베이스 프레임(210)에는 가이드 돌기(253)가 고정되고, 상기 가이드 돌기(253)는 상기 가이드 홈(252)에 삽입되어 있다.The second guide unit 250 also includes a guide block 252 and a fixing block 252 fixed to the transfer stage 220. The guide protrusion 253 is fixed to the base frame 210, and the guide protrusion 253 is inserted into the guide groove 252.

상기 Y 방향 가동 블럭(240)(240')의 하면에 형성된 가이드 돌기(241)는 상기 베이스 프레임(210)의 상면에 형성된 가이드 홈(242)에 삽입되어 있다.The guide protrusion 241 formed on the lower surface of the Y-direction movable blocks 240 and 240 'is inserted into the guide groove 242 formed on the upper surface of the base frame 210.

상기 가이드 돌기(241)가 상기 가이드 홈(242)에 삽입된 상태를 유지하여, 상기 Y 방향 가동 블럭(240)(240')이 Y방향으로 슬라이드 이동 가능하게 되는 것이 다. 여기서, 상기 Y방향 가동 블럭(240)(240')은 다단, 예를 들어 2단 구조로 나누어져 구성되어 있다.The guide protrusion 241 is maintained in the state of being inserted into the guide groove 242, so that the Y-direction movable blocks 240 and 240 'can be slidably moved in the Y direction. Here, the Y-direction movable blocks 240 and 240 'are divided into a multistage structure, for example, a two-stage structure.

이와 같이 구성된 본 발명의 다른 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치의 작동은 일 실시 예에 따른 리니어 이송 스테이지 장치의 작동과 거의 동일 하므로, 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.Since the operation of the linear transfer stage apparatus according to another embodiment of the present invention configured as described above is substantially the same as the operation of the linear transfer stage apparatus according to an embodiment, a detailed description thereof will be omitted.

다만, 상기 Y 방향 가동 블럭(240)(240')이 2단 구조로 구성되기 때문에 하나의 Y 방향 가동 블럭(240)이 고장 나더라도 나머지 Y 방향 가동 블럭(240')이 작동하기 때문에 운전 중단으로 인한 생산성 저하를 사전에 방지할 수 있다.However, since the Y-direction movable blocks 240 and 240 'are configured in a two-stage structure, even if one Y-direction movable block 240 fails, the remaining Y-direction movable blocks 240' are operated, so the operation stops. The productivity decrease due to this can be prevented in advance.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형 가능함은 물론이다.As described above, in the detailed description of the present invention has been described with respect to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications can be made without departing from the scope of the present invention Of course.

따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라, 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be determined not only by the claims below, but also by the equivalents of the claims.

도 1은 종래 이송 스테이지 장치의 워크 헤드의 변형을 설명하는 정면도1 is a front view illustrating a deformation of a work head of a conventional transfer stage apparatus.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 스테이지 장치를 보인 정면도2 is a front view showing a transfer stage device according to an embodiment of the present invention

도 3은 도 2에 도시된 이송 스테이지 장치를 보인 측면도3 is a side view showing the transfer stage apparatus shown in FIG.

도 4는 도 2의 I-I'선 단면도4 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 2.

도 5는 도 4에 도시된 가이드 돌기의 변형 예를 보인 종단면도5 is a longitudinal sectional view showing a modified example of the guide protrusion shown in FIG.

도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 이송 스테이지 장치를 보인 정면도6 is a front view showing a transfer stage device according to another embodiment of the present invention

도 7은 도 6에 도시된 이송 스테이지 장치의 측면도FIG. 7 is a side view of the transfer stage apparatus shown in FIG. 6

* 주요부분에 대한 도면부호* Reference numerals for the main parts

110: 베이스 프레임110: base frame

120: 이송 스테이지120: transfer stage

130: 제 1 가이드 유닛130: first guide unit

131: 고정 블럭131: fixed block

132: 가이드 홈132: guide groove

133: 가이드 돌기133: guide projection

S: 리니어 모터의 고정자S: stator of linear motor

M: 리니어 모터의 가동자M: mover of linear motor

140: Y 방향 가동 블럭140: Y direction moving block

141: 가이드 돌기141: guide turning

142: 가이드 홈142: guide groove

150: 제 2 가이드 유닛150: second guide unit

151: 고정 블럭151: fixed block

152: 가이드 홈152: guide groove

153: 가이드 돌기153: guide projection

210: 베이스 프레임210: base frame

220: 이송 스테이지220: transfer stage

230: 제 1 가이드 유닛230: first guide unit

240: Y 방향 가동 블럭240: Y direction moving block

241: 가이드 돌기241: guide projection

242: 가이드 홈242: guide groove

250,250': 제 2 가이드 유닛250,250 ': second guide unit

251: 고정 블럭251: fixed block

252: 가이드 홈252: guide groove

253: 가이드 돌기253: guide turning

Claims (6)

베이스 프레임;Base frame; 상기 베이스 프레임 상면에 고정되는 고정자;A stator fixed to an upper surface of the base frame; 상기 베이스 프레임 상부에 X 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 이송 스테이지;A transfer stage installed on the base frame to be slidably moved in an X direction; 상기 이송 스테이지의 하면에 고정되는 가동자;A mover fixed to a lower surface of the transfer stage; 상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 베이스 프레임의 일 측 끝단 부와, 상기 이송 스테이지의 일 측 끝단 부 사이에 설치되는 제 1 가이드 유닛;A first guide unit installed between one end of the base frame and one end of the transport stage to guide the slide movement in the X direction of the transport stage; 상기 이송 스테이지의 변형 방지를 위해 상기 베이스 프레임의 타 측 끝단 부와 상기 이송 스테이지의 타 측 끝단 부 사이에 Y 방향으로 슬라이드 이동되게 설치되는 Y 방향 가동 블럭; 및A Y-direction movable block installed to slide in a Y direction between the other end portion of the base frame and the other end portion of the transfer stage to prevent deformation of the transfer stage; And 상기 이송 스테이지의 X 방향으로 슬라이드 이동을 가이드 하도록 상기 Y 방향 가동 유닛과, 상기 이송 스테이지의 타 측 끝단 부 사이에 설치되는 제 2 가이드 유닛을 포함하는 리니어 이송 스테이지 장치.And a second guide unit provided between the Y direction movable unit and the other end of the transfer stage to guide the slide movement in the X direction of the transfer stage. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 Y 방향 가동 블럭의 하면에 형성된 가이드 돌기는 상기 베이스 프레임의 상면에 형성된 가이드 홈에 삽입되는 것을 특징으로 하는 리니어 이송 스테이지 장치.The guide projection formed on the lower surface of the Y-direction movable block is inserted into the guide groove formed on the upper surface of the base frame. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 가이드 유닛은 가이드 홈을 가지며 상기 이송 스테이지에 고정되는 고정 블럭; 및The first guide unit has a guide block fixed to the transfer stage; And 상기 가이드 홈에 삽입되며 상기 베이스 프레임에 고정되는 가이드 돌기로 구성되는 것을 특징으로 하는 리니어 이송 스테이지 장치.And a guide protrusion inserted into the guide groove and fixed to the base frame. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 가이드 유닛은 가이드 홈을 가지며 상기 이송 스테이지에 고정되는 고정 블럭; 및The second guide unit has a guide block fixed to the transfer stage; And 상기 가이드 홈에 삽입되며 상기 Y 방향 가동 블럭에 고정되는 가이드 돌기로 구성되는 것을 특징으로 하는 리니어 이송 스테이지 장치.And a guide protrusion inserted into the guide groove and fixed to the movable block in the Y direction. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 Y 방향 가동 블럭은 2단 구조로 구성되는 것을 특징으로 하는 리니어 이송 스테이지 장치.And the Y-direction movable block has a two-stage structure. 리니어 모터에 의해서 이송 스테이지가 베이스 프레임의 상부에서 X 방향으로 슬라이드 가능하게 설치되고, 상기 이송 스테이지의 슬라이드 이송을 가이드 하 도록 상기 이송 스테이지의 양쪽에 제 1 가이드 유닛과 제 2 가이드 유닛이 구비되며, 상기 제 1 가이드 유닛과 상기 제 2 가이드 유닛 중에서 상기 제 2 가이드 유닛이 Y 방향으로 가동 가능하게 설치되어 상기 이송 스테이지의 열 변형을 방지하는 것을 특징으로 하는 리니어 이송 스테이지 장치.The transfer stage is slidably installed in the X direction on the upper part of the base frame by a linear motor, and the first guide unit and the second guide unit are provided on both sides of the transfer stage to guide the slide transfer of the transfer stage. And the second guide unit is movably installed in the Y direction among the first guide unit and the second guide unit to prevent thermal deformation of the transfer stage.
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