KR20090017910A - Shadow mask and method of forming organic electroluminescene device using the same - Google Patents

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KR20090017910A
KR20090017910A KR1020070082428A KR20070082428A KR20090017910A KR 20090017910 A KR20090017910 A KR 20090017910A KR 1020070082428 A KR1020070082428 A KR 1020070082428A KR 20070082428 A KR20070082428 A KR 20070082428A KR 20090017910 A KR20090017910 A KR 20090017910A
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Abstract

A shadow mask and method of forming organic electroluminescence device using the same is provided to realize high definition by reducing a diagonal distance between each organic layer patterns while handing shadowing effect. A shadow mask(101) includes a shielding unit and a plurality of transmission parts(105) which is opened to the hexagon form having the regular interval while corresponding to the pixels domain of the substrate. An organic thin film pattern includes a red, green, blue pattern and plurality of transmission parts corresponds to the organic thin film pattern.

Description

쉐도우 마스크 및 이를 이용한 유기 전계발광소자의 제조방법{SHADOW MASK AND METHOD OF FORMING ORGANIC ELECTROLUMINESCENE DEVICE USING THE SAME}SHADOW MASK AND METHOD OF FORMING ORGANIC ELECTROLUMINESCENE DEVICE USING THE SAME}

본 발명은 쉐도우 마스크 및 이를 이용한 유기 전계발광소자(organic electroluminescence device : OELD, 이하, '유기 전계 발광소자'라 칭함)에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 고해상도를 구현할 수 있는 쉐도우 마스크 및 이를 이용한 유기 전계 발광소자의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a shadow mask and an organic electroluminescent device using the same (organic electroluminescence device: OELD, hereinafter referred to as an 'organic electroluminescent device'), and more particularly to a shadow mask capable of realizing high resolution and an organic electric field using the same The present invention relates to a method of manufacturing a light emitting device.

최근 표시장치(디스플레이)의 대형화에 따라 공간 점유가 적은 평면표시소자의 요구가 증대되고 있다. 이러한 문제를 해결할 가능성이 있는 디스플레이로서 최근 유기 발광 재료를 사용한 유기 전계 발광소자가 많은 주목을 받고 있다.In recent years, as the size of a display device (display) increases, the demand for a flat display device having less space is increasing. As a display capable of solving such a problem, an organic electroluminescent device using an organic light emitting material has recently attracted much attention.

유기 전계 발광소자는 저전압구동, 자기발광, 높은 발광 효율, 경량박형, 넓은 시야각 및 빠른 응답속도 등의 장점을 가지고 있고, 발광물질을 선택하여 풀 칼라 발광이 가능하여 차세대 평판 디스플레이 기술 중의 하나로서 기술개발이 활발하게 진행되고 있다. 여기서, 상기 유기 전계 발광은 유기물(저분자 또는 고분자) 박막에 음극과 양극을 통하여 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 재결합(recombination)하여 여기자 (exition)를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너 지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생되는 현상이다. 이러한 현상을 이용한 유기 전계 발광 소자는 도 1에 도시된 바와 같은 기본적인 구조를 가지고 있다. Organic electroluminescent device has advantages such as low voltage driving, self luminescence, high luminous efficiency, light weight, wide viewing angle and fast response speed. Development is underway. The organic electroluminescence is formed by recombination of electrons and holes injected through a cathode and an anode into an organic (low molecular or polymer) thin film to form an exciton, and an energy from the formed excitons. It is a phenomenon that light of a specific wavelength is generated by the paper. The organic EL device using this phenomenon has a basic structure as shown in FIG. 1.

도 1은 통상의 유기 전계 발광 소자를 나타내는 개략도이다.1 is a schematic view showing a conventional organic electroluminescent device.

도 1에 도시된 바와 같이, 통상적인 유기 전계 발광소자는 투명기판(1)과, 상기 투명기판(1) 상부에 스트라이프 형태로 일렬로 배열된 양극 전극(2)과, 상기 양극 전극(2) 상에 적층되어 형성된 유기 전계발광층인 유기 박막 패턴(3) 및 상기 유기 박막 패턴(3) 상에서 양극 전극(2)과 교차하고 띠 모양으로 형성된 음극 전극(4)인 금속 전극이 순차적으로 적층된 구조를 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 1, a conventional organic EL device includes a transparent substrate 1, an anode electrode 2 arranged in a stripe shape on the transparent substrate 1, and the anode electrode 2. A structure in which an organic thin film pattern 3, which is an organic electroluminescent layer formed by being stacked on it, and a metal electrode, which is a cathode electrode 4 formed in a band shape and intersecting with the anode electrode 2 on the organic thin film pattern 3, are sequentially stacked. It is configured to include.

상기 유기 박막 패턴(3)은, 양극 전극(2)으로부터 주입된 정공을 발광층으로 수송하는 정공 수송층(3B, hole transport layer); 양극 전극(2)과 음극 전극(4)으로부터 공급된 정공과 전자의 재결합이 이루어지면서 발광이 일어나는 영역인 발광층(3C, emitting layer); 및 음극 전극(4)으로부터 공급되는 전자의 원활한 수송을 위한 전자 수송층(3D, electron transport layer)이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다. 경우에 따라서는 소자 내에 정공 및 전자의 주입이 원활하게 하기 위한 정공 주입층(hole injection layer) 및 전자 주입층(electron injection layer)을 더 적층할 수 있다.The organic thin film pattern 3 may include a hole transport layer (3B) for transporting holes injected from the anode electrode 2 to the light emitting layer; A light emitting layer (3C), which is a region where light is emitted while recombination of holes and electrons supplied from the anode electrode 2 and the cathode electrode 4 is performed; And an electron transport layer (3D) for sequentially transporting electrons supplied from the cathode electrode 4 in a stacked manner. In some cases, a hole injection layer and an electron injection layer may be further stacked to smoothly inject holes and electrons into the device.

도 2는 상술한 유기 박막 패턴을 형성하기 위한 통상의 쉐도우 마스크를 도시한 단면도이다. 또한, 도 3는 도 2의 쉐도우 마스크를 사용하여 얻은 유기 박막 패턴의 평면도이다.2 is a cross-sectional view showing a conventional shadow mask for forming the organic thin film pattern described above. 3 is a plan view of an organic thin film pattern obtained by using the shadow mask of FIG. 2.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상술한 유기 박막 패턴(3)을 형성하기 위 한 쉐도우 마스크(12)는 차단부(21)와, 기판(미도시)의 화소영역과 대응하는 투과부(20)으로 구성된다. As shown in FIGS. 2 and 3, the shadow mask 12 for forming the organic thin film pattern 3 may include a blocking portion 21 and a transmission portion corresponding to a pixel region of a substrate (not shown). 20).

상기 쉐도우 마스크(12)의 투과부(20)는 사각 형태로서, 형성하고자 하는 유기 박막 패턴의 각 레드(R), 그린(G) 및 블루(B)패턴(3R)(3G)(3B)들과 대응된 부위가 개구되도록 형성된다. 보다 구체적으로는, 상기 쉐도우 마스크(12)의 투과부(20)은 직사각형 형태로 형성된다.The transparent part 20 of the shadow mask 12 has a rectangular shape, and each of the red (R), green (G), and blue (B) patterns (3R) (3G) and 3B of the organic thin film pattern to be formed. The corresponding part is formed to be open. More specifically, the transmission portion 20 of the shadow mask 12 is formed in a rectangular shape.

한편, 상기 쉐도우 마스크(12)는 서스 재질이 이용된다.Meanwhile, the shadow mask 12 is made of sus material.

상기 쉐도우 마스크에 의해 형성된 유기 박막 패턴(3)은 각각의 레드(R), 그린(G) 및 블루(B)패턴(3R)(3G)(3B)들을 포함한다. 이때, 상기 쉐도우 마스크(12)를 이용하여 얻은 상기 유기 박막 패턴(3)들 간의 수직 또는 수평 거리(l1)는 50㎛ 이하, 바람직하게는 30∼50㎛에 해당된다. 또한, 상기 유기 박막 패턴(3)들 간의 대각선 상의 거리(d1)은 50㎛ 이하, 바람직하게는 30∼50㎛에 해당된다.The organic thin film pattern 3 formed by the shadow mask includes red (R), green (G), and blue (B) patterns (3R) (3G) and 3B, respectively. In this case, the vertical or horizontal distance l1 between the organic thin film patterns 3 obtained by using the shadow mask 12 corresponds to 50 μm or less, preferably 30 to 50 μm. In addition, the distance d1 on the diagonal between the organic thin film patterns 3 corresponds to 50 μm or less, preferably 30 to 50 μm.

도 4는 도 2의 쉐도우 마스크를 사용하여 유기 전계 발광소자 중 유기 박막 패턴을 제조하는 방법을 설명하기 위한 단면도이다.FIG. 4 is a cross-sectional view for describing a method of manufacturing an organic thin film pattern in an organic light emitting diode by using the shadow mask of FIG. 2.

이하, 도 4를 참고로 하여 상술한 쉐도우 마스크(12)를 이용하여 상기 유기 전계 발광소자에서의 유기박막 패턴을 형성하는 방법에 대해 알아보면 다음과 같다. Hereinafter, a method of forming an organic thin film pattern in the organic electroluminescent device using the shadow mask 12 described above with reference to FIG. 4 will be described.

도 4에서 나타낸 것과 같이, 먼저, 유기 박막 패턴 형성을 위해 스트라이프 형태의 양극이 형성된 기판(10)에 상술한 통상의 쉐도우 마스크(12)를 제공한다. 그런 다음, 유기물 소스(16)에 열을 가하여 상기 유기물 소스(16)를 증기화시켜 상 기 쉐도우 마스크(12)의 투과부(20)을 통해 상기 양극이 형성된 기판(10) 위에 레드(R), 그린(G), 블루(B)을 발광하는 유기 박막 패턴(3)을 형성한다.  As shown in FIG. 4, first, the above-described conventional shadow mask 12 is provided on a substrate 10 on which a stripe-shaped anode is formed to form an organic thin film pattern. Then, the organic material source 16 is heated to vaporize the organic material source 16 and the red (R) on the substrate 10 on which the anode is formed through the transmission part 20 of the shadow mask 12. The organic thin film pattern 3 which emits green (G) and blue (B) is formed.

그러나, 상기 새도우 마스크(12)는 실제로는 투과부의 측면 프로파일이 오목하게 형성된 구조를 가지고 있다. 따라서, 상기 유기 박막 패턴을 형성하는 과정에서 투과부의 모서리 부위가 중앙부위에 비해 유기물 증착 두께가 상대적으로 얇게 되는 쉐도잉 현상(shadowing effect)이 발생된다. 또한, 이러한 쉐도우 마스크(12)는 서스(sus)재질로 되어 있어, 유기물 소스에서 유기물을 증착함과 동시에 열에 의해 마스크가 팽창하게 되며, 특히 풀컬러 마스크의 경우 열을 받는 면적이 대면적이기 때문에 열팽창이 쉽게 일어난다. However, the shadow mask 12 actually has a structure in which the side profile of the transmissive part is formed concave. Therefore, in the process of forming the organic thin film pattern, a shadowing effect occurs in which the edge portion of the permeation part is relatively thinner than the central portion. In addition, since the shadow mask 12 is made of a sus material, the mask is expanded by heat at the same time as the organic material is deposited from an organic material source, and in the case of a full-color mask, the thermal expansion area is large because the area subjected to heat is large. This happens easily.

이와 같이, 종래의 유기 전계 발광소자의 제조에 있어 문제점은 한 개의 쉐도우 마스크를 사용하여 유기물을 증착하기 때문에, 유기물 소스에 의해 풀컬러 마스크의 열 팽창으로 인한 마스크의 처짐 현상이 발생하고, 레드(R), 그린(G), 블루(B) 화소 구현시 정 위치가 아닌 인접 셀에 쉐도잉 현상이 발생하는 문제가 있다. 또한 열팽창이 심하게 되면 열에 의한 쉐도우 마스크의 변형이 발생하게 된다. As described above, a problem in manufacturing a conventional organic electroluminescent device is that the organic material is deposited using one shadow mask, so that the phenomenon of sagging of the mask due to thermal expansion of the full color mask occurs by the organic material source, When R, green, and blue pixels are implemented, there is a problem in that a shadowing phenomenon occurs in an adjacent cell instead of a home position. In addition, when the thermal expansion is severe, deformation of the shadow mask due to heat occurs.

이외에도, 레드(R), 그린(G), 블루(B) 패턴을 가진 유기 박막 패턴(3)에 있어서, 상기 각 레드(R), 그린(G), 블루(B) 패턴 간의 수직 또는 수평 거리(l1)는 현 기술로는 50㎛ 이하로 줄이기는 어렵다. 따라서, 고해상도를 구현하기 위해, 상기 각 유기 박막 패턴 간의 대각선 상의 거리(d1)를 감소시킴으로써 각 유기 박막 패턴(3R,3G,3B) 간의 간격을 조밀하게 하는 방법을 제안할 수 있다. 그러나, 통상적인 사각형태의 투과부를 가진 쉐도우 마스크 구조에서는 이러한 거리(d1)를 줄이 는 데에는 한계가 있다.In addition, in the organic thin film pattern 3 having red (R), green (G), and blue (B) patterns, a vertical or horizontal distance between the red (R), green (G), and blue (B) patterns (l1) is difficult to reduce to 50 µm or less with the current technology. Therefore, in order to realize high resolution, a method of densifying the gap between the organic thin film patterns 3R, 3G, and 3B may be proposed by reducing the distance d1 on the diagonal between the organic thin film patterns. However, there is a limit in reducing such a distance d1 in a shadow mask structure having a transparent rectangular section.

상기 문제점을 해결하고자, 본 발명의 목적은 쉐도잉 효과에 대처가능하면서 각 유기 박막 패턴들 간의 대각선 상의 거리를 줄여 고해상도를 실현할 수 있는 쉐도우 마스크 및 이를 이용한 유기전계 발광소자의 제조방법을 제공하려는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a shadow mask capable of coping with shadowing effects and realizing a high resolution by reducing a distance between diagonal lines between organic thin film patterns and a method of manufacturing an organic light emitting device using the same. .

상기 목적을 달성하고자, 복수개의 화소영역을 가진 기판의 상부에 유기 박막 패턴을 형성하기 위한 쉐도우 마스크에 있어서, 본 발명은 차단부와, 상기 기판의 복수개의 화소영역에 각각 대응하며, 규칙적인 간격을 가지고 육각형 형태로 개구된 다수의 투과부를 포함한다. In order to achieve the above object, in a shadow mask for forming an organic thin film pattern on a substrate having a plurality of pixel regions, the present invention corresponds to a blocking portion and a plurality of pixel regions of the substrate, respectively, at regular intervals. And a plurality of transmission portions opened in a hexagonal shape.

상기 차단부는 서스 재질인 것이 바람직하다. Preferably, the blocking part is made of sus material.

상기 유기 박막 패턴은 각각의 레드(R), 그린(G) 및 블루(B) 패턴을 포함한 다. 이때, 상기 각 투과부들은 상기 유기 박막 패턴과 대응되도록 형성된 것이 바람직하다.The organic thin film pattern includes a red (R), green (G) and blue (B) pattern, respectively. In this case, each of the transmission portion is preferably formed to correspond to the organic thin film pattern.

상기 각 투과부들은 상기 레드(R) 패턴 및 상기 레드(R) 패턴과 인접한 레드 (R) 패턴들과 대응되도록 형성되되 "<"형태로 배열되고, 상기 각 투과부들은 상기 그린(G) 패턴 및 상기 그린(G) 패턴과 인접한 그린(G) 패턴들과 대응되도록 형성되되 "<"형태로 배열되고, 상기 각 투과부들은 상기 블루(B) 패턴 및 상기 블루(B) 패턴과 인접한 블루(B) 패턴들과 대응되도록 형성되되, "<"형태로 배열된 것이 바람직하다.The transmissive parts are formed to correspond to the red (R) pattern and the red (R) patterns adjacent to the red (R) pattern and are arranged in a "<" shape, and the transmissive parts are the green (G) pattern and the It is formed to correspond to the green (G) pattern and the green (G) patterns adjacent to each other, and are arranged in a "<" shape, each of the transmission portion is a blue (B) pattern and a blue (B) pattern adjacent to the blue (B) pattern It is preferably formed to correspond to them, but arranged in a "<" form.

상기 각 투과부들 간의 대각선 상의 거리는 적어도 50㎛ 인 것이 바람직하다.Preferably, the distance on the diagonal line between the transmission portions is at least 50 μm.

본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 제조방법은 화소영역이 정의된 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판의 일면이 아래 방향으로 향하도록 배열하는 단계와, 상기 기판의 하부에 위치하되, 차단부 및 상기 각 화소영역에 각각 대응하며 규칙적인 간격을 가지고 육각형 형태로 개구된 다수의 투과부를 포함하는 쉐도우 마스크를 제공하는 단계와, 상기 쉐도우 마스크를 통해 상기 기판의 화소영역에 선택적으로 유기물질을 증착하여 유기 박막 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.The method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention includes the steps of preparing a substrate in which a pixel region is defined, arranging one side of the substrate to face downward, and positioned below the substrate, wherein the blocking portion and Providing a shadow mask corresponding to each pixel area and having a plurality of transmissive parts opened in a hexagonal shape at regular intervals, and selectively depositing an organic material on the pixel area of the substrate through the shadow mask; Forming an organic thin film pattern.

상기 각 투과부 간의 대각선 상의 거리는 적어도 50㎛ 인 것이 바람직하다.Preferably, the distance on the diagonal line between each transmission portion is at least 50 μm.

상기 유기물질은 열증착법에 의해 형성하는 것이 바람직하다.The organic material is preferably formed by thermal evaporation.

상기 유기 박막 패턴은 다수개의 레드(R), 그린(G) 및 블루(B) 패턴을 갖도록 형성하는 것이 바람직하다.The organic thin film pattern may be formed to have a plurality of red (R), green (G), and blue (B) patterns.

상기 유기 박막 패턴의 각 레드(R), 그린(G) 및 블루(B) 패턴은 상기 투과부들과 대응된 위치에 형성된 것이 바람직하다. Each of the red (R), green (G), and blue (B) patterns of the organic thin film pattern is preferably formed at a position corresponding to the transmission portions.

상기 유기 박막 패턴의 각 레드(R) 패턴들은 인접한 레드 패턴들과 "<"형태로 길게 배열되고, 상기 유기 박막 패턴의 각 그린(G) 패턴들은 인접한 그린 (G)패턴들과 "<"형태로 길게 배열되고, 상기 유기 박막 패턴의 각 블루(B) 패턴들은 인접한 블루 (B)패턴들과는 "<"형태로 길게 배열된 것이 바람직하다.Each of the red (R) patterns of the organic thin film pattern is arranged in a "<" shape with adjacent red patterns, and each of the green (G) patterns of the organic thin film pattern is of a "<" shape with adjacent green (G) patterns. It is preferably arranged in a long way, each blue (B) pattern of the organic thin film pattern is preferably arranged long in the "<" form with the adjacent blue (B) patterns.

본 발명에 따르면, 기판의 복수개의 화소영역에 각각 대응하며, 규칙적인 간 격을 가지고 육각형 형태로 개구된 다수의 투과부를 포함하는 쉐도우 마스크를 제공한다. 즉, 본 발명은 기존의 사각형태의 쉐도우 마스크에서 쉐도잉 효과가 극대화된 각진 코너 부위를 제거하여 육각형 형태로 개구된 투과부를 얻을 수 있다. According to the present invention, there is provided a shadow mask corresponding to a plurality of pixel regions of a substrate, the shadow mask including a plurality of transmission portions opened in a hexagonal shape at regular intervals. That is, according to the present invention, the transmissive portion opened in a hexagonal shape may be obtained by removing the angular corner portion in which the shadowing effect is maximized in the conventional rectangular shadow mask.

따라서, 본 발명은 기존의 쉐도잉 효과를 억제할 뿐만 아니라 각 유기층 패턴 간의 대각선 상의 거리(d2)를 줄일 수 있다. 이로써, 고해상도 쉐도우 마스크 제작이 가능한 이점이 있다. Therefore, the present invention can not only suppress the existing shadowing effect but also reduce the distance d2 on the diagonal line between the organic layer patterns. As a result, there is an advantage that a high-resolution shadow mask can be produced.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명에 따른 쉐도우 마스크 및 이를 이용한 유기전계 발광소자의 제조방법에 대해 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, a shadow mask and a method of manufacturing an organic light emitting diode using the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명에 따른 쉐도우 마스크의 평면도이다. 또한, 도 6은 도 5의 쉐도우 마스크를 이용하여 형성한 유기 전계발광소자의 유기 박막 패턴의 평면도이다. 5 is a plan view of a shadow mask according to the present invention. 6 is a plan view of an organic thin film pattern of an organic electroluminescent device formed using the shadow mask of FIG. 5.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 쉐도우 마스크(101)는 복수개의 화소영역을 가진 기판(111)의 상부에 유기 박막 패턴((113)을 형성하기 위한 것으로서, 차단부(103) 및 상기 기판의 화소영역과 대응하는 부위를 개구시키는 다수개의 투과부(105)로 구성된다. As shown in FIGS. 5 and 6, the shadow mask 101 according to the present invention is for forming the organic thin film pattern 113 on the substrate 111 having a plurality of pixel regions. 103 and a plurality of transmission portions 105 for opening portions corresponding to the pixel regions of the substrate.

이때, 상기 유기 박막 패턴(113)은 각각의 레드(R), 그린(G) 및 블루(B) 패턴(113R)(113G)(113B)을 포함한다. In this case, the organic thin film pattern 113 includes red (R), green (G), and blue (B) patterns 113R, 113G, and 113B, respectively.

상기 투과부(105)들은 규칙적인 간격을 가지면서 기존의 사각 형태와는 달리 육각형 형태로 개구된 형상을 가진다. 즉, 본 발명에 따른 쉐도우 마스크의 투과 부(105)는 쉐도잉 효과가 극대화되던 기존의 사각 형태의 투과부 에지부위를 없애어 육각형 형태로 형성된다. The transmissive parts 105 have a regular shape and have an open shape in a hexagonal shape unlike a conventional rectangular shape. That is, the transparent part 105 of the shadow mask according to the present invention is formed in a hexagonal shape by eliminating the edge portion of the conventional rectangular shape in which the shadowing effect is maximized.

상기 투과부(105)들은 상기 유기 박막 패턴(113)들과 대응된 부위에 형성되며, 제 1투과부(105P1), 제 2투과부(105P2) 및 제 3투과부(105P3)로 이루어진다. 이때, 상기 제 1투과부(105P1)는 상기 레드(R) 패턴(113R) 및 상기 레드(R) 패턴(113R)과 인접한 레드(R) 패턴들과 대응된 부위가 개구되도록 형성된다. 또한, 상기 제 2투과부(105P2)는 그린(G) 패턴(113G) 및 상기 그린(G) 패턴(113G)과 인접한 그린(G) 패턴들과 대응된 부위가 개구되도록 형성된다. 그리고, 상기 제 3투과부(105P3)는 블루(B) 패턴(113B) 및 상기 블루(B) 패턴(113B)과 인접한 블루(B) 패턴들과 대응된 부위가 개구되도록 형성된다. The transmissive parts 105 may be formed at portions corresponding to the organic thin film patterns 113, and may include a first through part 105P1, a second through part 105P2, and a third through part 105P3. In this case, the first penetrating portion 105P1 is formed such that portions corresponding to the red (R) pattern 113R and the red (R) patterns adjacent to the red (R) pattern 113R are opened. In addition, the second penetrating portion 105P2 is formed such that a portion corresponding to the green G pattern 113G and the green G patterns adjacent to the green G pattern 113G is opened. The third penetrating portion 105P3 is formed such that a portion corresponding to the blue (B) pattern 113B and the blue (B) patterns adjacent to the blue (B) pattern 113B is opened.

한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 본 발명에 따른 쉐도우 마스크(101)의 제 1투과부(105P1), 제 2투과부(105P2) 및 제 3투과부(105P3)는 각각 "<" 형태로 배열된 구조를 가진다. 따라서, 상기 레드(R) 패턴(113R) 및 상기 레드(R) 패턴(113R)과 인접한 레드(R) 패턴들, 그린(G) 패턴(113G) 및 상기 그린(G) 패턴(113G)과 인접한 그린(G) 패턴들, 및 블루(B) 패턴(113B) 및 상기 블루(B) 패턴(113B)과 인접한 블루(B) 패턴들도 "<" 형태로 배열된 구조를 가진다. Meanwhile, as shown in FIG. 5, the first penetrating portion 105P1, the second penetrating portion 105P2, and the third penetrating portion 105P3 of the shadow mask 101 according to the present invention are arranged in a “<” form, respectively. Has a structure. Therefore, the red (R) pattern 113R and the red (R) patterns adjacent to the red (R) pattern 113R, the green (G) pattern 113G and the green (G) pattern 113G are adjacent to each other. The green (G) patterns, the blue (B) pattern 113B, and the blue (B) patterns adjacent to the blue (B) pattern 113B also have a structure arranged in a "<" shape.

동일 크기의 쉐도우 마스크를 사용한 경우, 본 발명에서는 상기 각 유기 박막 패턴(113R,113G,113B:113) 간의 수직 또는 수평 거리(l2)는 50㎛ 이하, 바람직하게는 30∼50㎛를 가진다. 또한, 본 발명에 따른 상기 각 유기 박막 패턴(113R,113G,113B:113) 간의 대각선 상의 거리(d2)는 기존의 거리(d1)보다도 넓게 된다. 따라서, 본 발명에서는 각 유기 박막 패턴(113R,113G,113B:113) 간의 대각선 상의 거리(d2)를 기존과 동일한 50㎛ 로 할 경우, 기존 쉐도우 마스크보다도 조밀하게 투과부들을 제작할 수 있다. When a shadow mask of the same size is used, in the present invention, the vertical or horizontal distance l2 between the organic thin film patterns 113R, 113G, and 113B: 113 has a thickness of 50 μm or less, preferably 30 to 50 μm. Further, the distance d2 on the diagonal line between the organic thin film patterns 113R, 113G, and 113B: 113 according to the present invention becomes wider than the existing distance d1. Therefore, in the present invention, when the distance d2 between the organic thin film patterns 113R, 113G, and 113B: 113 is set to 50 μm, which is the same as before, the transmission parts may be manufactured more densely than the conventional shadow mask.

상기 차단부(103)를 가지는 쉐도우 마스크(101)는 서스(sus)재질 또는 서스와 다른 금속을 혼합한 물질을 이용할 수 있다. The shadow mask 101 having the blocking part 103 may use a sus material or a material in which the sus and other metals are mixed.

도 7a 내지 도 7e는 본 발명에 따른 쉐도우 마스크를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법을 나타낸 공정별 단면도이다. 7A to 7E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode using a shadow mask according to the present invention.

이하에서는 도 7a 내지 도 7e를 참고로 하여 상기와 같은 구성을 가진 본 발명에 따른 쉐도우 마스크를 이용하여 유기전계 발광소자를 제조하는 방법에 대해 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing an organic light emitting diode using the shadow mask according to the present invention having the configuration as described above with reference to FIGS. 7A to 7E will be described in detail.

도 7a에 도시된 바와 같이, 화소영역이 정의된 기판(111)을 준비한다. 이때, 상기 기판(111)에는 어레이배선(미도시) 및 박막 트랜지스터(미도시) 등이 형성되어 있다. As shown in FIG. 7A, a substrate 111 in which a pixel region is defined is prepared. In this case, an array wiring (not shown) and a thin film transistor (not shown) are formed on the substrate 111.

이어, 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 기판(111)의 일면이 아래 방향으로 향하도록 배열한다. Subsequently, as shown in FIG. 7B, one surface of the substrate 111 is arranged to face downward.

그 다음, 도 7c에 도시된 바와 같이, 상기 기판(111)의 하부에 본 발명에 따른 쉐도우 마스크(111)를 제공한다. 이때, 상기 쉐도우 마스크(111)는 차단부(103) 상기 각 화소영역에 각각 대응하며 규칙적인 간격을 가지고 육각형 형태로 개구된 다수의 투과부(105)를 포함하여 구성된다. 여기서, 상기 각 투과부(105)는 형성하고자 하는 상기 유기 박막 패턴의 각 레드(R), 그린(G) 및 블루(B) 패턴들과 대응 된 부위에 형성된다. 또한, 상기 쉐도우 마스크(111)는 상기 각 투과부(105) 간의 대각선 상의 거리가 적어도 50㎛ 이내가 되도록 패터닝된다. Next, as shown in FIG. 7C, a shadow mask 111 according to the present invention is provided under the substrate 111. In this case, the shadow mask 111 includes a plurality of transmissive portions 105 corresponding to the respective blocking regions 103 and openings in a hexagonal shape at regular intervals. Here, each of the transmission part 105 is formed in a portion corresponding to each of the red (R), green (G) and blue (B) patterns of the organic thin film pattern to be formed. In addition, the shadow mask 111 is patterned such that the distance on the diagonal line between the transmission portions 105 is at least 50 μm or less.

이 후, 상기 쉐도우 마스크(101)를 통해 상기 기판의 화소영역에 선택적으로 레드 유기물질을 증착하여 레드(R) 패턴(113R)들을 형성한다. 이때, 상기 쉐도우 마스크(101)는 상기 레드 패턴(113R)들이 형성될 부위는 개구되어 있고 상기 그린 및 블루 패턴들이 형성될 부위는 덮여져 있다. 여기서, 상기 레드(R) 패턴(113R)들은 상기 레드 유기물질을 열증착하여 형성할 수 있다. 또한, 레드(R) 패턴(113R)들은 인접한 레드 패턴들과는 "<" 형태로 길게 배열된다.Thereafter, a red organic material is selectively deposited on the pixel area of the substrate through the shadow mask 101 to form red (R) patterns 113R. In this case, the shadow mask 101 has a portion where the red patterns 113R are to be opened and a portion where the green and blue patterns are to be formed. The red (R) patterns 113R may be formed by thermally depositing the red organic material. In addition, the red (R) patterns 113R are elongated in a "<" form with adjacent red patterns.

이어, 도 7d에 도시된 바와 같이, 상기 레드(R) 패턴(113R)들이 형성된 기판 위에 상기 쉐도우 마스크(101)를 일정 간격만큼 쉬프트한 다음, 선택적으로 그린 유기물질을 증착하여 그린(G) 패턴(113G)들을 형성한다. 이때, 상기 쉐도우 마스크(101)는 상기 그린(G)(113R)들이 형성될 부위는 개구되어 있고 상기 레드 패턴(113R)들 및 상기 블루 패턴들이 형성될 부위는 덮여져 있다. 여기서, 상기 그린(G) 패턴(113G)들은 열증착법에 의해 형성할 수 있다. 또한, 상기 그린(G) 패턴(113G)들은 인접한 그린 패턴들과는 "<" 형태로 길게 배열된다.Subsequently, as shown in FIG. 7D, the shadow mask 101 is shifted by a predetermined interval on the substrate on which the red (R) patterns 113R are formed, and then the green (G) pattern is selectively deposited by depositing the green organic material. Form 113G. In this case, the shadow mask 101 has a portion where the green (G) 113R is formed to be opened and a portion where the red patterns 113R and the blue patterns are formed is covered. The green G patterns 113G may be formed by thermal evaporation. In addition, the green (G) patterns 113G are arranged long in a "<" shape with adjacent green patterns.

그 다음, 도 7e에 도시된 바와 같이, 상기 그린(G) 패턴(113G)들이 형성된 기판 위에 상기 쉐도우 마스크(101)를 다시 일정 간격만큼 쉬프트한 다음, 선택적으로 블루 유기물질을 증착하여 블루(B) 패턴(113B)들을 형성한다. 이때, 상기 쉐도우 마스크(101)는 상기 블루(B)(113B)들이 형성될 부위는 개구되어 있고 상기 레드 패턴(113R)들 및 그린(G) 패턴(113G)들은 덮여져 있다. Next, as shown in FIG. 7E, the shadow mask 101 is again shifted by a predetermined interval on the substrate on which the green (G) patterns 113G are formed, and then selectively blue organic material is deposited to form blue (B). ) Patterns 113B are formed. In this case, the shadow mask 101 has an opening where the blue (B) 113B is to be formed and the red patterns 113R and the green (G) pattern 113G are covered.

그 결과, 상기 기판(111) 상에 레드(R) 패턴(113R)들, 그린(G) 패턴(113G)들 및 블루(B) 패턴(113B)들로 이루어진 유기 박막 패턴(113) 제조가 완료된다. 여기서, 상기 블루(B) 패턴(113B)들도 상기 레드(R) 패턴(113R)들 및 그린(G) 패턴(113G)들과 마찬가지로 열증착법에 의해 형성할 수 있다. 또한, 상기 블루(B) 패턴(113B)들은 상기 레드(R) 패턴(113R)들 및 그린(G) 패턴(113G)들과 마찬가지로 인접한 블루 패턴들과 "<" 형태로 길게 배열된다.As a result, fabrication of the organic thin film pattern 113 including red (R) patterns 113R, green (G) patterns 113G, and blue (B) patterns 113B is completed on the substrate 111. do. Here, the blue (B) pattern 113B may be formed by a thermal evaporation method similarly to the red (R) pattern 113R and the green (G) pattern 113G. In addition, the blue (B) pattern 113B is arranged long in a "<" shape with adjacent blue patterns similarly to the red (R) patterns 113R and the green (G) pattern 113G.

상술한 바와 같이, 상기 유기 박막 패턴(113)을 이루는 각각의 레드(R) 패턴(113R), 그린(G) 패턴(113G) 및 블루(B) 패턴(113B)은 육각형 형태로 제작되며, 이들 각각의 레드(R) 패턴(113R)들로 이루어진 레드(R) 패턴(113R)군(113RG), 그린(G) 패턴(113G)들로 이루어진 그린(G) 패턴(113G)군(113RG) 및 블루(B) 패턴(113B)들로 이루어진 블루(B) 패턴(113B)군(113BG)는 "<" 형태로 길게 배열된다.As described above, each of the red (R) pattern 113R, the green (G) pattern 113G, and the blue (B) pattern 113B constituting the organic thin film pattern 113 are manufactured in a hexagonal shape. Red (R) pattern 113R group 113RG consisting of red (R) pattern 113R, green (G) pattern 113G group 113RG consisting of green (G) pattern 113G, and The blue (B) pattern 113B group 113BG formed of the blue (B) pattern 113B is elongated in a "<" form.

도 1은 일반적인 유기 전계발광소자를 나타내는 개략도이다.1 is a schematic view showing a general organic electroluminescent device.

도 2는 통상의 쉐도우 마스크를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a conventional shadow mask.

도 3는 도 2의 쉐도우 마스크를 사용하여 얻은 유기 박막 패턴의 평면도이다.FIG. 3 is a plan view of an organic thin film pattern obtained by using the shadow mask of FIG. 2.

도 4는 도 2의 쉐도우 마스크를 사용하여 유기 전계 발광소자 중 유기 박막 패턴을 제조하는 방법을 설명하기 위한 단면도이다.FIG. 4 is a cross-sectional view for describing a method of manufacturing an organic thin film pattern in an organic light emitting diode by using the shadow mask of FIG. 2.

도 5는 본 발명에 따른 쉐도우 마스크의 평면도이다. 5 is a plan view of a shadow mask according to the present invention.

도 6은 도 5의 쉐도우 마스크를 이용하여 형성한 유기 전계발광소자의 유기 박막 패턴의 평면도이다. 6 is a plan view of an organic thin film pattern of an organic electroluminescent device formed using the shadow mask of FIG. 5.

도 7a 내지 도 7e는 본 발명에 따른 쉐도우 마스크를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법을 나타낸 공정별 단면도이다. 7A to 7E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode using a shadow mask according to the present invention.

Claims (16)

복수개의 화소영역을 가진 기판의 상부에 유기 박막 패턴을 형성하기 위한 쉐도우 마스크에 있어서, In the shadow mask for forming an organic thin film pattern on the substrate having a plurality of pixel regions, 차단부와, With the blocking part, 상기 기판의 복수개의 화소영역에 각각 대응하며, 규칙적인 간격을 가지고 육각형 형태로 개구된 다수의 투과부를 포함하는 쉐도우 마스크. A shadow mask corresponding to a plurality of pixel regions of the substrate, the shadow mask including a plurality of transmissive portions opening in a hexagonal form at regular intervals. 제 1항에 있어서, 상기 차단부는 서스 재질인 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크. The shadow mask of claim 1, wherein the blocking part is made of a sus material. 제 1항에 있어서, 상기 유기 박막 패턴은 각각의 레드(R), 그린(G) 및 블루(B) 패턴을 포함한 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크. The shadow mask of claim 1, wherein the organic thin film patterns include red, green, and blue patterns, respectively. 제 1항에 있어서, 상기 각 투과부들은 상기 유기 박막 패턴과 대응되도록 형성된 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크. The shadow mask of claim 1, wherein each of the transmission parts is formed to correspond to the organic thin film pattern. 제 4항에 있어서, 상기 각 투과부들은 상기 레드(R) 패턴 및 상기 레드(R) 패턴과 인접한 레드(R) 패턴들과 대응되도록 형성되되, "<"형태로 배열된 제 1투과부를 포함하는 쉐도우 마스크. The method of claim 4, wherein each of the transmissive parts is formed to correspond to the red (R) pattern and the red (R) patterns adjacent to the red (R) pattern, and includes a first transmissive part arranged in a “<” shape. Shadow mask. 제 4항에 있어서, 상기 각 투과부들은 상기 그린(G) 패턴 및 상기 그린(G) 패턴과 인접한 그린(G) 패턴들과 대응되도록 형성되되, "<"형태로 배열된 제 2투과부를 포함하는 쉐도우 마스크. The method of claim 4, wherein each of the transmission parts is formed to correspond to the green (G) pattern and the green (G) patterns adjacent to the green (G) pattern, and includes a second transmission part arranged in a “<” shape. Shadow mask. 제 4항에 있어서, 상기 각 투과부들은 상기 블루(B) 패턴 및 상기 블루(B) 패턴과 인접한 블루(B) 패턴들과 대응되도록 형성되되, "<"형태로 배열된 재 3투과부를 포함하는 쉐도우 마스크. The method of claim 4, wherein each of the transmission parts is formed to correspond to the blue (B) pattern and the blue (B) patterns adjacent to the blue (B) pattern, and includes re-transmission parts arranged in a “<” shape. Shadow mask. 제 1항에 있어서, 상기 각 투과부들 간의 대각선 상의 거리는 적어도 50㎛ 인 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크. 2. The shadow mask of claim 1, wherein the distance on the diagonal line between each transmissive portion is at least 50 [mu] m. 화소영역이 정의된 기판을 준비하는 단계와,Preparing a substrate in which pixel regions are defined; 상기 기판의 일면이 아래 방향으로 향하도록 배열하는 단계와,Arranging one side of the substrate to face downward; 상기 기판의 하부에 위치하되, 차단부 및 상기 각 화소영역에 각각 대응하며 규칙적인 간격을 가지고 육각형 형태로 개구된 다수의 투과부를 포함하는 쉐도우 마스크를 제공하는 단계와, Providing a shadow mask disposed under the substrate, the shadow mask including a blocking portion and a plurality of transmissive portions corresponding to each pixel area and opened in a hexagonal shape at regular intervals; 상기 쉐도우 마스크를 통해 상기 기판의 화소영역에 선택적으로 유기물질을 증착하여 유기 박막 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 유기전계 발광소자의 제조방법.And depositing an organic material selectively on the pixel region of the substrate through the shadow mask to form an organic thin film pattern. 제 9항에 있어서, 상기 각 투과부 간의 대각선 상의 거리는 적어도 50㎛ 인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 제조방법.10. The method of claim 9, wherein a distance on the diagonal line between each transmissive portion is at least 50 μm. 제 9항에 있어서, 상기 유기물질은 열증착법에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 제조방법. 10. The method of claim 9, wherein the organic material is formed by thermal evaporation. 제 9항에 있어서, 상기 유기 박막 패턴은 다수개의 레드(R), 그린(G) 및 블루(B) 패턴을 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 제조방법. The method of claim 9, wherein the organic thin film pattern is formed to have a plurality of red (R), green (G), and blue (B) patterns. 제 12항에 있어서, 상기 유기 박막 패턴의 각 레드(R), 그린(G) 및 블루(B) 패턴은 상기 투과부들과 대응된 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 제조방법. The method of claim 12, wherein each of the red (R), green (G), and blue (B) patterns of the organic thin film pattern is formed at a position corresponding to the transmissive parts. 제 12항에 있어서, 상기 유기 박막 패턴의 각 레드(R) 패턴들은 인접한 레드 패턴들과 "<"형태로 배열된 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 제조방법. The method of claim 12, wherein each of the red (R) patterns of the organic thin film pattern is arranged in a "<" shape with adjacent red patterns. 제 12항에 있어서, 상기 유기 박막 패턴의 각 그린(G) 패턴들은 인접한 그린 (G)패턴들과 "<"형태로 배열된 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 제조방법. The method of claim 12, wherein each of the green (G) patterns of the organic thin film pattern is arranged in a "<" shape with adjacent green (G) patterns. 제 12항에 있어서, 상기 유기 박막 패턴의 각 블루(B) 패턴들은 인접한 블루 (B)패턴들과 "<"형태로 배열된 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 제조방법.The method of claim 12, wherein each of the blue (B) patterns of the organic thin film pattern is arranged in a "<" shape with adjacent blue (B) patterns.
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