KR20080026831A - Interlock system of semiconductor processing equipment - Google Patents
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Abstract
Description
도1은 종래의 반도체 공정 설비의 인터록 시스템의 구성을 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram showing the configuration of an interlock system of a conventional semiconductor processing equipment.
도2는 본 발명에 따른 반도체 공정 설비의 인터록 시스템의 구성을 나타낸 블록도이다.2 is a block diagram showing the configuration of an interlock system of a semiconductor processing apparatus according to the present invention.
도3은 본 발명을 설명하기 위한 반도체 공정 설비 내의 전원공급장치들의 구성을 나타낸 블록도이다.3 is a block diagram showing the configuration of power supplies in a semiconductor process facility for explaining the present invention.
도4 내지 도6은 도3의 전원공급장치들에 대한 실시간 전원 모니터링부의 설정 화면 구성의 실시예이다.4 to 6 are exemplary embodiments of configuration screens of a real-time power monitoring unit for the power supplies of FIG. 3.
본 발명은 반도체 공정 설비의 인터록 시스템에 관한 것으로, 특히 반도체 공정 설비의 전원공급장치들의 장치 각각의 입, 출력 전압을 실시간 확인하여 자동(AUTO) 예방 점검(Preventive Maintenance: PM) 기능을 하는 장치를 구비한 반도체 공정 설비의 인터록 시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
반도체 장치에 있어서 집적도, 신뢰도 및 동작 속도 등에서 높은 성능의 디바이스를 요구하는 사용자들이 많아짐에 따라 반도체 제조기술도 지속적으로 발전되고 있다. 이에 반도체 소자를 제조하는 제조설비의 전기적 동작 안정성 또한 매우 중요한 부분으로 인식되고 있으며, 전기적 동작 안정성을 제공하기 위해 일반적으로 반도체 제조설비는 각종 공정을 감시하고 제어하기 위한 장치를 구비한다. 또한, 공정 진행 중 공정 설비에 문제가 발생했을 경우 이를 제어하기 위한 인터록(interlock) 시스템을 구성하고 있다.BACKGROUND With the increasing number of users who demand high-performance devices in terms of integration, reliability, and operation speed, semiconductor manufacturing technology continues to develop. Therefore, the electrical operation stability of a manufacturing facility for manufacturing a semiconductor device is also recognized as a very important part, and in order to provide electrical operation stability, a semiconductor manufacturing facility generally includes a device for monitoring and controlling various processes. In addition, when a problem occurs in the process equipment during the process is configured an interlock system for controlling this.
도1은 종래의 반도체 공정 설비의 인터록 시스템을 설명하기 위한 블록도로서, 반도체 공정 설비(10)와 감지부(20), 알람부(30), 인터록 신호 발생부(40) 및 제어부(50)로 구성된다.FIG. 1 is a block diagram illustrating an interlock system of a conventional semiconductor processing apparatus, and includes a
반도체 공정 설비(10)는 상기 감지부(20)와 상기 제어부(50)와 연결되어 있으며, 반도체 디바이스를 제조하기 위해 필요한 전 반도체 공정 설비가 포함된다. 각 설비는 증착공정, 사진공정, 식각공정 등 그 목적에 따라 이루어지는 동작이 다르기 때문에 설비의 이상 발생 유무를 확인하기 위해서는 각 설비마다의 특성을 고려한 파라미터들을 검사하여야 한다. 특성을 고려한 파라미터로는 전압, 전류, 온도, 진공도 등이 있으며, 이러한 설비의 파라미터 값들은 상기 값을 인가받아 기준값과 비교하여 이상이 발생했는지를 검사하는 상기 감지부(20)로 송출된다.The
감지부(20)는 상기 반도체 공정 설비(10)에서 출력되는 파라미터 값(전압, 전류, 온도, 진공도 등)들을 측정하여 설비의 정상적 동작을 위해 설정된 파라미터의 기준값들과 비교함으로써 공정 설비의 이상 유무를 판단한다. 설비에 이상이 있 다고 판단되면, 설비에 이상이 발생했음을 알리는 이상 발생 신호(P1)를 발생한다.The
알람부(30)는 상기 감지부(20)로부터 발생된 설비에 이상이 발생했음을 알리는 이상 발생 신호(P1)가 수신되면 이에 응답하여 설비에 이상이 발생했음을 외부의 작업자가 알 수 있도록 알람을 발생시킨다.The
인터록 신호 발생부(40)는 상기 감지부(20)로부터 발생된 설비에 이상이 발생했음을 알리는 이상 발생 신호(P1)를 수신하면, 이에 응답하여 이상이 발생한 상기 반도체 공정 설비(10)를 인터록 시키기 위한 인터록 신호(P2)를 발생시킨다.When the
제어부(50)는 상기 인터록 신호 발생부(40)로부터 발생된 인터록 신호를 수신하면 제어 신호(P3)를 발생하여 이상이 발생한 설비의 동작을 인터록 한다.When the
상기한 바와 같이 종래에도 반도체 공정 설비에 예기치 못한 문제가 발생하였을 경우 이를 감시하고 제어하기 위한 인터록 시스템이 구비되어 있지만, 반도체 공정 설비의 전원공급장치들의 유닛(unit)별 전압을 실시간(real-time)으로 측정하는 것이 불가능하였기 때문에 동작 전압의 전위차에 의한 품질 사고가 많이 발생하였고, 사고 발생 이후에도 사고 발생의 정확한 원인을 분석하고 발생 부분을 확인하는데 어려움이 따르는 등 많은 문제가 있었다.As described above, an interlock system for monitoring and controlling an unexpected problem in a semiconductor process facility is provided in the related art, but real-time voltages of units of power supplies of the semiconductor process facility are provided. Since it was impossible to measure by), many quality accidents occurred due to the potential difference of the operating voltage, and even after the accident, there were many problems such as difficulty in analyzing the exact cause of the accident and confirming the occurrence part.
전원공급장치에 이상이 발생한다면, 공급 전압들을 확인하기 위해서는 전압 계측기로 하나하나 수동(Manual) 측정을 통해 확인을 하여야 하는 불편함 뿐만 아니라, 전원공급장치는 전압을 디지털 볼티지 미터(Digital Voltage Meter)로 체크하지 않으면 전압을 확인할 수 없기 때문에 전압이 정상적으로 공급되고 있는지 판단할 수 없어 설비가 중단 되고 나서 조치를 취하게 되므로 공정사고를 미연에 방 지할 수가 없어 피해가 발생하는 문제가 있었다.If there is a problem with the power supply, it is inconvenient to check the voltage by manual measurement one by one with a voltage meter. In addition, the power supply has a digital voltage meter. If it is not checked, the voltage cannot be checked. Therefore, it is impossible to determine whether the voltage is being supplied normally. Therefore, since the facility is stopped, actions can be taken to prevent the accident.
더욱이 순간적인 전원전압의 변동으로 인한 설비 셧-다운(shut-down)현상에 대한 설비 시스템의 대응은 무방비 상태이므로 실제로 어떠한 문제가 발생되었는지에 대하여 확실히 확인할 수 없고, 설비에 이력이 남지 않기 때문에 발생원인을 찾기가 어렵고 많은 시간이 소요되기 때문에 설비의 고장원인을 찾아내는데 많은 어려움이 발생한다.Moreover, the response of the equipment system to the equipment shutdown-down phenomenon caused by the instantaneous power supply voltage change is defenseless, so it is not possible to confirm with certainty what actually happened, and it is caused by the fact that no history is left in the equipment. Since it is difficult to find the cause and it takes a lot of time, it is difficult to find the cause of the failure of the equipment.
본 발명의 목적은 반도체 공정 설비에 있어, 실시간으로 전원공급장치의 각 단자의 전압을 측정하고, 이를 실시간으로 화면에 모니터링 시키는 장치를 구비하여 자동(AUTO) 예방 점검(Preventive maintenance) 기능을 갖는 인터록 시스템을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an interlock having an automatic preventive maintenance function by measuring a voltage of each terminal of a power supply device in real time and monitoring the voltage on a screen in real time in a semiconductor processing facility. To provide a system.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 전원공급장치들을 구비하는 반도체 공정 설비, 상기 전원공급장치들 각각의 입, 출력 전압을 실시간으로 감시하여 이상 발생 신호를 출력하는 실시간 전원 모니터링부, 상기 이상 발생 신호에 응답하여 인터록 신호를 발생시키는 인터록 신호 발생부, 상기 인터록 신호에 응답하여 제어 신호를 출력하여 상기 반도체 공정 설비를 제어하기 위한 제어부, 및 상기 실시간 전원 모니터링부로부터 송출되는 전원공급장치들 각각의 입, 출력 전압을 디스플레이 하는 디스플레이부를 구비하는 반도체 공정 설비의 인터록 시스템인 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a semiconductor process equipment having power supply, real-time power monitoring unit for outputting an abnormal signal by monitoring the input and output voltage of each of the power supply in real time, the abnormal signal generation An interlock signal generator for generating an interlock signal in response to the interlock signal, a controller for controlling the semiconductor process facility by outputting a control signal in response to the interlock signal, and an input of each of the power supply devices output from the real-time power monitoring unit. And an interlock system of a semiconductor process facility having a display unit for displaying an output voltage.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 공정 설비의 인터록 시스템은 상기 이상 발생 신호에 응답하여 알람을 발생시키는 알람부를 더 구비하는 반도체 공정 설비의 인터록 시스템인 것을 특징으로 한다. The interlock system of the semiconductor processing equipment of the present invention for achieving the above object is characterized in that the interlock system of the semiconductor processing equipment further comprises an alarm unit for generating an alarm in response to the abnormal occurrence signal.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 공정 설비의 전원공급장치들 은 전원을 분배하는 복수개의 전원배분장치, 상기 전원배분장치에서 출력되는 전원 을 인가받아 서로 다른 기능을 수행 하는 장치에 전압을 제공하는 복수개의 전원장 치, 및 상기 복수개의 전원배분장치 및 복수개의 전원장치 각각의 입, 출력 전압을 감시하여 시스템에 안정적인 전원이 유지되도록 하는 전원 제어 장치를 구비하는 반도체 공정 설비의 인터록 시스템인 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the power supply apparatuses of the semiconductor processing apparatus of the present invention provide a voltage to a plurality of power distribution devices for distributing power and devices that perform different functions by receiving power output from the power distribution device. It is an interlock system of a semiconductor process equipment having a plurality of power supplies, and a power control device for monitoring the input and output voltage of each of the plurality of power distribution devices and the plurality of power supplies to maintain a stable power supply to the system. It features.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 전원제어장치는 상기 반도체 공정설 비 내의 아날로그 값을 갖는 전원 공급장치들의 전압을 상기 실시간 전원 모니터링 부에서 실시간으로 전원 감시가 이루어질 수 있도록 디지털 신호로 변환하기 위한 아날로그/디지털 변환기를 구비하는 반도체 공정 설비의 인터록 시스템인 것을 특 징으로 한다. The power supply control apparatus of the present invention for achieving the above object is an analog for converting the voltage of the power supply having an analog value in the semiconductor process equipment to a digital signal so that the power can be monitored in real time in the real-time power monitoring unit It is an interlock system of the semiconductor processing equipment provided with the / digital converter, It is characterized by the above-mentioned.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시간 전원 모니터링부는 상기 전원제어장치에서 출력되는 전원공급장치들의 입, 출력 전압 값에 대응되는 디지털 신호를 인가받아 실시간으로 디스플레이부의 화면에 전원공급장치들의 입, 출력 전 압을 디스플레이 시키는 실시간 모니터링 프로그램이 설치되어 있으며, 인가 받은 전압 값과 설정된 전압의 기준 값과 비교하여 이상이 발생하면 이상이 발생했음을 알려주기 위한 상기 이상 발생 신호를 송출하는 반도체 공정 설비의 인터록 시스템 인 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the real-time power monitoring unit of the present invention receives a digital signal corresponding to input and output voltage values of the power supply devices output from the power supply control device in real time. A real-time monitoring program for displaying the voltage is installed, and the interlock system of the semiconductor processing equipment that sends out the above occurrence signal to indicate that an abnormality has occurred when the abnormality is compared with the applied voltage value and the reference value of the set voltage. It is characterized by that.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 반도체 공정 설비의 인터록 시스템을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an interlock system of a semiconductor processing apparatus of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도2는 본 발명에 따른 반도체 공정 설비의 인터록 시스템의 구성을 나타낸 것으로, 반도체 공정 설비(110), 실시간 전원 모니터링부(120), 알람부(130), 인터록 신호 발생부(140), 제어부(150), 디스플레이부(160)를 구비하고 있다.2 illustrates a configuration of an interlock system of a semiconductor processing apparatus according to the present invention, and includes a
반도체 공정 설비(110)는 설비 내의 전원공급장치들의 유닛별 입, 출력 전압을 감시하는 상기 실시간 전원 모니터링부(120)와 설비의 동작을 제어하는 상기 제어부(150)와 연결되어 있으며, 반도체 디바이스를 제조하기 위해 필요한 전 반도체 공정 설비가 포함된다.The
각 설비는 증착공정, 사진공정, 식각공정, EDS검사 등 그 목적에 따라 이루어지는 동작이 다르기 때문에 설비의 이상 발생 유무를 확인하기 위해서는 각 설비마다의 특성을 고려한 파라미터들을 검사하여야 한다. 특성을 고려한 파라미터로는 전압, 전류, 온도, 진공도 등이 있으나, 본 발명에서는 이러한 파라미터 중 전압을 실시간 감시하여 이상 유무를 확인하여 인터록하기 위한 시스템에 관한 발명이므로 이하 전압과 관련해서 설명한다. 이러한 설비의 파라미터 값들 중 전원공급장치들의 유닛별 전압 값들은 동작을 위해 설정된 기준값과 비교하여 이상이 발생했는지를 검사하는 상기 실시간 전원 모니터링부(120)로 송출된다.Since each equipment has different operation according to its purpose such as deposition process, photographic process, etching process, EDS inspection, etc., it is necessary to inspect the parameters considering the characteristics of each facility in order to check whether any abnormality occurs. Parameters considering the characteristics include voltage, current, temperature, vacuum degree, etc. In the present invention, since the invention relates to a system for interlocking by checking the voltage in real time and checking for abnormality, the following description will be made with respect to voltage. Among the parameter values of the facility, the unit-specific voltage values of the power supplies are sent to the real-time
반도체 공정 설비(110)는 외부로부터 전원을 인가받은 설비 내의 전원공급장치들이 인가받은 전원을 장치에서 필요한 적정의 전압으로 변환하고 분배하여 설비 의 동작을 위해 전원을 공급하게 된다. 설비의 구성 장치들을 동작시키기 위한 적정량의 전압이 장치에 인가되는 않는다면 설비에 작업에 문제가 발생하게 된다.The
본 발명을 위한 상기 반도체 공정 설비(110)는 설비 내에 전원공급장치들의 유닛 별 입, 출력 전압을 모두 인가받아 상기 실시간 전원 모니터링부(120)로 출력하는 전원제어장치(Power Control Unit: PCU)를 구비하고 있다.The
설비 내에는 디지털 신호뿐만 아니라 상당수의 아날로그 신호도 포함하게 되는데, 본 발병의 실시간 전압을 측정하는데 있어서 이러한 아날로그 기반의 회로는 테스트하기가 매우 어려우며, 수정하는 것은 더욱 더 어렵다.In addition to digital signals, the facility includes a large number of analog signals. In measuring the real-time voltage of this outbreak, these analog-based circuits are very difficult to test and even more difficult to modify.
따라서 본 발명에서는 실시간 전압 검사를 위해서 상기 전원제어장치에는 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 아날로그/디지털 변환기를 구비되어 있다. Therefore, in the present invention, the power control device is provided with an analog / digital converter for converting an analog signal into a digital signal for real-time voltage inspection.
아날로그 전원과 다르게 디지털 제어형 전원은 아날로그/디지털 변환기를 사용해 아날로그 파라미터(입력 및 출력 전압, 전류 등)를 디지털 영역으로 변화시키며, 그 다음에 필요에 따라 디지털 영역에서 이러한 파라미터들을 처리한다. 또한 완전히 프로그램 가능하며 따라서 쉽게 수정이 가능하다.Unlike analog power supplies, digitally controlled power supplies use analog-to-digital converters to convert analog parameters (input and output voltages, currents, etc.) into the digital domain, which then processes these parameters in the digital domain as needed. It is also fully programmable and therefore easily modified.
실시간 전원 모니터링부(120)는 상기 반도체 공정 설비(110)의 전원공급장치들의 유닛별 입, 출력을 상기 전원제어장치(PCU)로부터 인가받아 화면에 실시간으로 출력하기 위한 전압 모니터링 프로그램이 셋-업(Set-up)되어 있다.The real-time
실시간 전원 모니터링부(120)는 실시간으로 설비 내의 전원공급장치들의 유닛별 입, 출력 상태를 실시간으로 화면에 출력하기 위해 상기 디스플에이부(160)에 값을 전송하고, 상기 반도체 공정 설비(110)의 전원공급장치들의 유닛별 출력값과 설정된 파라미터 기준값을 비교하여 전압변동이 발생하였을 경우 이상이 발생하였다는 이상 발생 신호(P1ㅄ)를 출력한다. The real-time
알람부(130)는 상기 실시간 전원 모니터링부(120)로부터 송출된 이상 발생 신호(P1ㅄ)에 응답하여 상기 반도체 공정 설비(110) 내의 전원공급장치에 이상이 발생하였음을 외부 작업자가 알 수 있도록 알람을 발생시킨다.The
인터록 신호 발생부(140)는 상기 실시간 전원 모니터링부(120)로부터 송출된 이상 발생 신호(P1ㅄ))에 응답하여 설비를 인터록 시키기 위한 인터록 신호(P2ㅄ)를 발생시킨다.The
제어부(150)는 상기 인터록 신호 발생부(140)에서 발생된 인터록 신호(P2ㅄ)에 응답하여 제어 신호(P3ㅄ)를 출력하고, 연결되어 있는 상기 반도체 공정 설비(110)를 중단시킨다.The
디스플레이부(160)는 상기 실시간 전원 모니터링부(120)로부터 송출되는 상기 반도체 공정 설비(110) 내의 전원공급장치들의 유닛별 전압 값을 인가받아 화면에 디스플레이 한다.The
도3은 본 발명을 적용하기 위한 반도체 공정 설비 내의 전원공급장치들의 구성을 나타낸 블록도로서, 외부로부터 들어오는 AC208V 3상3선식 전원(300)은 ACC전장(310)과 퓨즈(320)를 거쳐 설비 내에 전원을 공급하게 되며, 각각의 전원공급장치들은 인가받은 전원을 공급해주어야 할 동작 장치들에게 필요한 전원으로 바꾸어 전원을 공급하게 된다.Figure 3 is a block diagram showing the configuration of the power supply in the semiconductor processing equipment for applying the present invention, the AC208V three-phase three-
반도체 공정 설비의 각 세부 장치에 필요한 동작 전원을 분배하는 복수개의 전원배분장치(Power Distribution Unit: PDU)(330~333), 항상 전원의 공급 상태, 전원 유닛의 과부하·순간정전 등의 상태를 감시하여 시스템에 안정적인 전원이 유지되도록 하는 전원제어장치(Power Control Unit: PCU)(340), 설비의 구성과 기능에 따라 구성된 회로에 동작을 위해 전원을 공급하는 로직 전원(350), 비교기, 오류 증폭기, 아날로그 변조기 등 아날로그 회로의 동작을 위한 전원을 공급하는 2개의 Analog전원(360, 361), 그리고 Fan의 동작을 위한 전원을 공급하는 2개의 Fan전원(370, 371)을 구비하고 있다.A plurality of power distribution units (330-333) for distributing the operating power required for each detailed device of the semiconductor processing equipment, and monitoring the status of power supply, overload and instantaneous power failure of the power unit. Power control unit (PCU) 340 to maintain a stable power supply to the system,
외부전원은 설비 내 장치들의 동작을 위한 전압으로 바꾸어 전원을 분배하는 전원분배장치에 인가되고, 전원분배장치로부터 출력되는 전압들은 전원공급라인(380)을 통해 각각의 전원공급장치들(350 ~ 371)에 공급된다. 로직 전원(350)은 설비의 구성와 기능에 따른 동작을 하는 장치 구동부(390)에 전원을 공급하고, Analog전원1, 2(360, 361)는 각각 Analog장치부1, 2(400, 401)에 전원을 공급하며, Fan전원1, 2(370, 371)는 각각 Fan장치1, 2(410, 411)에 전원을 공급한다. 상기 각 전원 유닛의 입, 출력은 전원제어장치(340)에 인가되도록 구성되며, 전원제어장치는 인가된 아날로그 신호인 전압들을 디지털 신호로 변환하여 출력신호(P_out)를 송출한다.External power is applied to a power distribution device that distributes power by converting it into a voltage for operation of devices in the facility, and the voltages output from the power distribution device are supplied to the respective
도4 내지 도6은 상기 도3의 전원공급장치들에 대한 실시간 전원 모니터링부의 설정 화면의 실시예이다. 4 to 6 are exemplary embodiments of a setting screen of a real-time power monitoring unit for the power supply devices of FIG.
전체 화면(1)은 3개의 탭(Current Status, Last Fall Status, AD & Alarm Status)으로 구성되는 메뉴 선택 창(5)과 각 탭에 따른 세부 목록을 나타내는 메인 창(10), 상태 창(20), 설정 창(30)으로 구분되어 있다.The full screen (1) includes a menu selection window (5) consisting of three tabs (Current Status, Last Fall Status, and AD & Alarm Status), a main window (10), and a status window (20) showing a detailed list of each tab. ), And a setting
도4는 메뉴 선택 창에서 Current Status 탭을 활성화했을 경우의 메인 창과 상태 창, 설정 창의 구성을 나타낸 화면이다. 메인 창(10)에는 설비 내의 전원공급장치의 유닛별 전압 상태 및 AC 및 전원제어장치에서의 전압 출력 등을 확인할 수 있도록 유닛별 전압을 출력하며, 기본적으로 1초 간격으로 측정하며 시간설정 변경이 가능하다.4 is a screen showing the configuration of the main window, the status window, and the setting window when the Current Status tab is activated in the menu selection window. The
또한, 전원공급장치나 전원배분장치 등 기타 배치에 따른 위치 설정도 고정된 것이 아니며 원하는 단자만 바꾸어 연결하면 간단히 변경이 가능하다.In addition, the position setting according to other arrangements such as a power supply device or a power distribution device is not fixed, and can be simply changed by changing only a desired terminal.
상태 창(20)은 Current Status 항, System Status 항, Output Status 항으로 구분되어 있다. Current Status 항(21)은 공급되는 전원의 이상 유무를 표시하는 Voltage 항목과 전체 경보(Alarm) 상태를 보여주는 Alarm 항목으로 구분되어 있다. 경보 상태는 문제 발생시 램프가 적색으로 바뀌고 정상 상태에서는 녹색을 유지한다. 전원의 상태는 고정 값으로 항상 정상이며 이상 발생시에만 적색으로 바뀌게 된다.
SYSTEM STATUS 항(22)은 외부에서 전원제어장치로 입력되는 신호의 상태를 보여준다. 입력 상태가 오프(off)일 때는 진한 회색, 정상일 경우에는 녹색, 에러 상태일 경우에는 적색으로 표시된다.The
상기 SYSTEM STATUS 항(22)은 AC 항목, Power 항목, Total Fall 항목, Fan 항목으로 구분되어 있다. AC 항목은 입력 전원의 상태를 나타내며, Power 항목은 DC 전원의 상태를 나타낸다. TOTAL FAIL 항목은 전원제어장치로 입력되는 신호의 상태 중 하나라도 이상이 발생되면 비정상으로 표시하여 상태를 보여주며, FAN 항목은 팬(Fan)의 상태를 보여준다. 이 항목은 SCNT/SPA BOARD에서 이상 유무를 확인하며 전원제어장치에 하드웨어적으로 연결되어 있지 않기 때문에 항상 정상으로 표시되어진다.The
OUT STATUS 항(23)은 전원제어장치에서 출력하는 제어 출력의 상태를 보여주며, LOGIC 항목, ANALOG1 항목, ANALOG2 항목, PS Fall 항목, SCNT/SPA 항목, LED Reset 항목으로 구분되어 있다.OUT STATUS section (23) shows the status of the control output from the power supply controller, and is divided into LOGIC item, ANALOG1 item, ANALOG2 item, PS Fall item, SCNT / SPA item, and LED Reset item.
LOGIC 항목, ANALOG1 항목, ANALOG2 항목은 각 온(on) 신호 출력 상태를 보여준다. 출력이 온일 경우 노란색으로 표시되며, 오프일 경우 진한 회색으로 표시된다. PS FAIL 항목은 PS FAIL 출력 상태를 표시하며, 에러가 발생 했을 때 적색으로, 정상상태 시 진한 회색으로 표시된다. SCNT/SPA 항목은 순간정전 발생 시 SCNT/SPA BOARD로 순간정전 발생 알림 신호를 출력한다. 출력이 온일 경우 노란색으로 표시되며, 오프일 경우 진한 회색으로 표시된다. LED RESET 항목은 순간정전 발생 10초 후 SCNT/SPA BOARD로 RESET 신호 출력 상태를 표시한다. 출력이 온일 경우 노란색으로 표시되며, 오프일 경우 진한 회색으로 표시된다.The LOGIC item, ANALOG1 item, and ANALOG2 item show the status of each on signal output. When the output is on, it is displayed in yellow and when it is off, it is displayed in dark gray. The PS FAIL item displays the output status of the PS FAIL. It is displayed in red when an error occurs and in dark gray in normal condition. SCNT / SPA item outputs an instantaneous power failure notification signal to SCNT / SPA BOARD when momentary power failure occurs. When the output is on, it is displayed in yellow and when it is off, it is displayed in dark gray. LED RESET item displays RESET signal output status by SCNT / SPA BOARD after 10 seconds of power failure. When the output is on, it is displayed in yellow and when it is off, it is displayed in dark gray.
설정 창(30)은 DC POWER CONTROL 항(31), CONNECT 항(32), 환경설정 항(33), 종료 항(34)으로 구분된다.The setting
DC POWER CONTROL 항은 AC, DC 전원이 정상적으로 들어와 LOGIC, ANALOG1, ANALOG2가 정상적으로 출력되는 상태에서 LOGIC, ANALOG1, ANALOG2의 출력을 제어 한다. "오프"버튼을 누르면 LOGIC, ANALOG1, ANALOG2 출력은 오프되고, 온 버튼을 누르면 온이 된다.DC POWER CONTROL section controls the output of LOGIC, ANALOG1, ANALOG2 while AC, DC power is normally on and LOGIC, ANALOG1, ANALOG2 are normally output. Pressing the "Off" button turns off the LOGIC, ANALOG1, and ANALOG2 outputs, and pressing the On button turns it on.
CONNECT 항(32)은 시리얼 포트(RS-232)의 연결 상태를 나타내며, 환경 설정 항(33)은 프로그램 사용 시 필요한 설정 값들을 설정하며, 종료 항(34)은 프로그램을 종료하는 기능을 갖는다.The
도5는 메뉴 선택 창에서 Last Fail Status 탭을 활성화했을 경우의 메인 창과 상태 창, 설정 창의 구성을 나타낸 화면이다.5 is a screen showing the configuration of the main window, the status window, and the setting window when the Last Fail Status tab is activated in the menu selection window.
Last Fail Status 탭을 활성화했을 경우 메인 창(10ㅄ)에서는 마지막 발생한 전원공급장치의 각 단자 및 전원분배장치의 전원 상태를 확인할 수 있다. 종래에는 갑작스런 셧-다운이 발생하면 발생 부분과 이유를 확인하기가 어려웠지만, 본 발명에서는 시스템 다운 시 마지막 전원 상태 값을 저장하고 있기 때문에 발생 부분과 이유를 확인할 수 있다. If you activate the Last Fail Status tab, the main window (10 ㅄ) allows you to check the power status of each terminal and power distribution unit of the last power supply. In the past, it was difficult to identify the occurrence part and the reason when a sudden shut-down occurred, but in the present invention, since the last power state value is stored when the system is down, the occurrence part and the reason can be confirmed.
도5의 상태 창(20ㅄ) 및 설정 창(30ㅄ)은 상기 도4에서 설명한 상태 창(20) 및 설정 창(30)과 동일한 구성 항목과 기능을 갖는다.The state window 20 'and the setting window 30' of FIG. 5 have the same configuration items and functions as the
도6은 메뉴 선택 창에서 AD & Alarm Status 탭을 활성화시켰을 경우의 메인 창과 상태 창, 설정 창의 구성을 나타낸 화면이다.6 is a diagram showing the configuration of the main window, the status window, and the setting window when the AD & Alarm Status tab is activated in the menu selection window.
메인 창(10˝)은 AD Status 창(10˝_1), Relay Status 창(10˝_2), 버전 표시창(10˝_3)으로 구분되며, AD Status 창(10˝_1)은 각 전원공급장치의 단자별 전압을 체크되는 것을 확인할 수 있으며 최대 32단자까지 가능하다. Relay Status 창(10˝_2)은 전원공급장치 및 전원분배장치 등의 배치 변경 시 그에 맞는 위치를 설정해 준다. 버전 표시창(10˝_3)은 전원제어장치의 프로그램 업데이트 시 버전 확인을 할 수 있다.Main window (10˝) is divided into AD Status window (10˝_1), Relay Status window (10˝_2) and version display window (10˝_3), and AD Status window (10˝_1) is used for each power supply. You can check the voltage of each terminal and up to 32 terminals can be checked. Relay Status window (10˝_2) sets the position according to the change of layout of power supply and power distribution device. The version display window 10__3 may check the version when the program of the power control device is updated.
도6의 상태 창(20˝) 및 설정 창(30˝)은 상기 도4에서 설명한 상태 창(20) 및 설정 창(30)과 동일한 구성 항목과 기능을 갖는다.The state window 20 'and the setting window 30' of FIG. 6 have the same configuration items and functions as the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.
본 발명의 반도체 공정 설비의 인터록 시스템은 전원공급장치를 갖는 반도체 공정 설비에 있어서 전원공급장치의 각 유닛별 입, 출력 전압을 실시간으로 측정할 수 있도록 하기 위해, 전원제어장치에 아날로그/디지털 변환기를 구비시키고, 전원 모니터링 프로그램이 셋-업(Set-up)되어 있는 전원공급기 모니터링부를 구비시킴으로써 설비 자동(AUTO) 예방 점검(Preventive Maintenance)을 구현하였다.The interlock system of the semiconductor processing equipment of the present invention uses an analog / digital converter in a power supply control device in order to enable real-time measurement of input and output voltages of each unit of a power supply device in a semiconductor processing equipment having a power supply device. In addition, a power supply monitoring unit having a power monitoring program set-up is provided to implement automatic preventive maintenance.
따라서, 종래의 테스터 설비의 전압을 실시간 측정하는 것이 불가능하여 전압의 전위차에 의한 품질 사고가 많이 발생하였고, 사고 발생 후 정확한 원인 분석이 어려웠으나, 본 발명은 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하여 실시간 측정이 가능하고, 프로그램을 통한 수정이 쉽고, 실시간 측정된 파라미터 값들이 화면에 출력되기 때문에 기준 파라미터 값들과의 비교가 용이하고, 갑작스런 시스템 다운의 경우에도 다운되는 순간의 파라미터 값을 저장하고 있기 때문에 사고 발생 원인 을 밝히는데 있어서도 편리함을 제공한다.Therefore, since it is impossible to measure the voltage of the conventional tester equipment in real time, many quality accidents occurred due to the potential difference of voltage, and it was difficult to analyze the exact cause after the occurrence of the accident, but the present invention converts the analog signal into a digital signal and measures the real time. Because it is possible, it is easy to modify through the program, and the measured parameter values are displayed on the screen, so it is easy to compare with the reference parameter values, and it stores the parameter values at the moment of down even in case of sudden system down. It also provides convenience in identifying the cause of occurrence.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020060091893A KR20080026831A (en) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | Interlock system of semiconductor processing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020060091893A KR20080026831A (en) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | Interlock system of semiconductor processing equipment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20080026831A true KR20080026831A (en) | 2008-03-26 |
Family
ID=39414047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020060091893A KR20080026831A (en) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | Interlock system of semiconductor processing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20080026831A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130019223A (en) * | 2011-08-16 | 2013-02-26 | 한국전력공사 | Digital modularized inter-lock apparatus and method of construction thereof |
| KR20170061173A (en) * | 2012-02-21 | 2017-06-02 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | Enhanced rehosting capability for legacy hardware and software |
-
2006
- 2006-09-21 KR KR1020060091893A patent/KR20080026831A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| TWI640924B (en) * | 2012-02-21 | 2018-11-11 | 應用材料股份有限公司 | System for enhanced re-hosting legacy hardware and software (2) |
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