KR20080000856A - Data transforming apparatus for network of semiconductor equipment - Google Patents

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KR20080000856A KR1020060058687A KR20060058687A KR20080000856A KR 20080000856 A KR20080000856 A KR 20080000856A KR 1020060058687 A KR1020060058687 A KR 1020060058687A KR 20060058687 A KR20060058687 A KR 20060058687A KR 20080000856 A KR20080000856 A KR 20080000856A
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Abstract

A data converting device for a semiconductor equipment network is provided to realize network among semiconductor equipments by receiving transfer message protocols different from each other and message protocols from the semiconductor equipments, and converting the received message into one format. A data collector(111) collects a preset data group by receiving monitoring data from the semiconductor equipments using different message formats and transfer protocols. A data converter(113) converts the data group collected by the data collector into standard format data. A network interface(115) is connected to a server through the network, receives the standard format data from the data converter, and transmits the received data to the server. The standard format is XML(eXtensible Markup Language) and the network is LAN(Local Area Network).

Description

반도체 설비장치 네트워크를 위한 데이터 변환장치{Data transforming Apparatus for Network of Semiconductor Equipment}Data transforming Apparatus for Network of Semiconductor Equipment

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 XML 데이터 변환장치를 포함하는 반도체 설비 네트워크의 개념도, 1 is a conceptual diagram of a semiconductor facility network including an XML data conversion apparatus according to an embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 데이터 변환장치의 블록도, 그리고2 is a block diagram of a data conversion apparatus according to an embodiment of the present invention, and

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 설비장치 네트워크를 위한 데이터 변환장치의 동작 설명에 제공되는 흐름도이다.3 is a flowchart provided to explain an operation of a data conversion apparatus for a semiconductor device network according to an embodiment of the present invention.

본 발명은, 본 발명의 목적은, 반도체 설비 장치로부터 획득 또는 추출하는 서로 다른 형태의 메시지를 입력받아 한 개 형태의 데이터로 변환함으로써 규격화하여 네트워크 서버(Server)로 제공하는 반도체 설비장치 네트워크를 위한 데이터 변환장치에 관한 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a semiconductor equipment network for providing a network server by standardizing by receiving different types of messages obtained or extracted from the semiconductor equipment and converting the data into one type of data. A data converter.

정보통신 산업의 핵심구성요소로 떠오른 반도체의 생산 공정도 다른 정보통 신 산업과 마찬가지로 온라인화 및 체계적인 유지 보수가 필요하다. 더욱이 반도체 소자의 집적도 향상에 따라 제조 현장에 있어 고도의 청정도를 유지하고 제품의 신뢰도를 향상시키기 위한 제조공정의 자동화 요구는 날로 증가하고 있다. 이에 많은 반도체 공장에서는 이미 자동 반송장치, AGV(Automated Guided Vehicle), 로봇 등을 이용하여 생산현장의 무인화를 위한 많은 진전을 이루고 있으며, 관련 기술 개발을 통한 생산성 향상을 도모하기 위해 노력을 배가하고 있다.The semiconductor manufacturing process, which has emerged as a key component of the information and telecommunications industry, needs to be brought online and systematically maintained like any other telecommunications industry. Furthermore, as the integration of semiconductor devices increases, the demand for automation of manufacturing processes to maintain a high degree of cleanliness and improve the reliability of products in manufacturing sites is increasing day by day. Many semiconductor factories have already made great progress for unmanned production sites using automatic conveying devices, automated guided vehicles (AGVs), robots, etc., and are making efforts to improve productivity through related technology development. .

반도체 생산 장비를 모니터링하고 네트워크화 하는 분야는 아직까지 하나의 표준으로 통일되지 못하거나, 표준이 있더라도 아직까지 표준을 따르지 않은 반도체 생산 장비들로 인하여 제대로 된 네트워크화가 이루어지지 못하고 있는 상태이다. The field of monitoring and networking semiconductor production equipment has not yet been unified as a standard, or even if there is a standard, it is not properly networked due to semiconductor production equipment that has not yet followed the standard.

본 발명의 목적은, 반도체 설비 장치로부터 획득 또는 추출하는 서로 다른 형태의 메시지를 입력받아 한 개 형태의 데이터로 변환함으로써 규격화하여 네트워크 서버로 제공하는, 반도체 설비장치 네트워크를 위한 데이터 변환장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a data conversion apparatus for a semiconductor equipment network, which standardizes by receiving different types of messages acquired or extracted from the semiconductor equipment and converts the data into one type of data. have.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 데이터 변환장치는 데이터수집부, 데이터변환부 및 네트워크 인터페이스부를 포함한다.In order to achieve the above object, the data conversion apparatus according to the present invention includes a data collection unit, a data conversion unit, and a network interface unit.

데이터수집부는 서로 다른 메시지 형태 및 전송 프로토콜에 따른 적어도 하나의 반도체 설비로부터 전송되는 모니터링 데이터를 수신하여 기 설정된 데이터 군을 수집하고, 데이터변환부는 상기 데이터수집부가 수집한 데이터 군을 표준 포맷의 데이터로 변환한다. 네트워크 인터페이스부는 소정의 네트워크를 통해 서버에 접속할 수 있으며, 상기 데이터변환부로부터 상기 표준 포맷의 데이터를 수신하여 상기 서버로 전송하게 된다.The data collection unit receives monitoring data transmitted from at least one semiconductor device according to different message types and transmission protocols to collect a preset data group, and the data conversion unit converts the data group collected by the data collection unit into data in a standard format. Convert. The network interface unit may access a server through a predetermined network, and receive data of the standard format from the data conversion unit and transmit the data to the server.

상기 표준 포맷은 XML(eXtensible Markup Language)이고, 상기 네트워크는 랜(LAN)인 것이 바람직하다.The standard format is XML (eXtensible Markup Language), and the network is preferably a LAN.

이하에서는, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 데이터 변환장치를 포함하는 반도체 설비 네트워크의 개념도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 데이터 변환장치의 블록도이다. 1 is a conceptual diagram of a semiconductor facility network including a data conversion device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of the data conversion device according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 반도체 설비장치 네트워크를 위한 데이터 변환장치(110)는 직렬 또는 병렬접속을 통해 적어도 하나의 반도체 설비장치와 연결되어, 반도체 설비장치로부터 전송되는 메시지를 수신할 수 있다. 여기서, 반도체 설비장치(이하 'EQ'라 함)라 함은 반도체 제조공정에 필요한 일반적인 장치들을 의미하는 것으로, 세정장치, 식각장치, 도포장치, 포토(Photo) 설비장치, CMP(Chemical and Mechanical Polishing) 장치 등은 물론 제품 검사장치 등을 포함한다. 이러한 EQ 들은 각각의 공정을 수행하기 위한 제어기(미도시)를 포함하거나 장치 내의 상태를 체크할 수 있는 여러 형태의 센서 장치들을 포함할 수 있다.The data converting apparatus 110 for a semiconductor equipment network of the present invention may be connected to at least one semiconductor equipment through a serial or parallel connection to receive a message transmitted from the semiconductor equipment. Here, the semiconductor equipment (hereinafter referred to as "EQ") refers to the general equipment required for the semiconductor manufacturing process, cleaning equipment, etching equipment, coating equipment, photo equipment, chemical and mechanical polishing (CMP) ) As well as a product inspection device. These EQs can include various types of sensor devices that can include a controller (not shown) to perform each process or can check status within the device.

여기서, EQ는 반도체 장비와 외부 컴퓨터간 인터페이스를 위한 데이터 통신의 표준 규약인 SECS(SEMI Equipment Communications Standard) 프로토콜을 사용하는 SECS 장치이거나 SECS 프로토콜을 사용하지 않는 Non-SECS 장치가 해당할 수 있다. 또한, SECS 프로토콜을 개량한 HSMS(High-Speed SECS Message Services) 프로토콜을 사용하는 HSMS 장치가 해당할 수 있다. 다만 HSMS 장치는 네트워크를 통해 데이터 변환장치(110)와 연결될 수 있다. GEM(Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment) 도 1에서, 제1EQ(131)는 SECS 장치, 제2EQ(133)는 Non-SECS 장치이고, 제3EQ(135)는 HSMS 장치이다.Here, the EQ may correspond to a SECS device that uses the SECS (SEMI Equipment Communications Standard) protocol, which is a standard protocol for data communication between a semiconductor device and an external computer, or a non-SECS device that does not use the SECS protocol. In addition, the HSMS device using the High-Speed SECS Message Services (HSMS) protocol that is an improvement of the SECS protocol may correspond. However, the HSMS device may be connected to the data converter 110 through a network. Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM) In FIG. 1, the first EQ 131 is a SECS device, the second EQ 133 is a non-SECS device, and the third EQ 135 is an HSMS device.

SECS 는 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)의 장비 자동화 부문에서 정한 반도체 장비의 통신규약으로서, 메시지에 관한 프로토콜인 SECS-II와 메시지의 전송에 관한 프로토콜인 SECS-I 을 포함한다. SECS-I은 직렬(Serial)통신을 기반으로 한다. HSMS는 SECS를 개량한 것으로, 메시지 프로토콜은 SECS-II를 그대로 사용하면서, 전송 프로토콜은 SECS-I의 직렬 통신을 대신하여 랜(LAN) 통신을 기반으로 한다.SECS is a communication protocol for semiconductor equipment defined by SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International), which includes SECS-II, a protocol for messages, and SECS-I, a protocol for the transmission of messages. SECS-I is based on serial communication. HSMS is an improvement on SECS. The message protocol uses SECS-II as it is, while the transmission protocol is based on LAN communication instead of serial communication of SECS-I.

또한, 데이터 변환장치(110)는 별도의 네트워크를 통해 서버(101)와 연결되어 제1 내지 제3EQ(131,133,135)로부터 전달받은 메시지를 HTML(Hiper Text Markup Language) 또는 XML(eXtensible Markup Language) 형태로 변환하여 규격화한 후, 서버(101)로 전송할 수 있다. 바람직하게는 데이터 변환장치(110)는 제1 내지 제3EQ(131,133,135)로부터 전달받은 데이터를 XML 형태로 변환한다.In addition, the data conversion apparatus 110 is connected to the server 101 through a separate network to receive the message received from the first to third EQ (131, 133, 135) in the form of HTML (Hiper Text Markup Language) or XML (eXtensible Markup Language) After converting and normalizing, it may transmit to the server 101. Preferably, the data converter 110 converts the data received from the first to third EQs 131, 133, and 135 into an XML form.

서버(101)는 네트워크 호스트로서 역할을 하여 데이터 변환장치(110)를 포함하는 적어도 하나의 변환장치와 연결될 수 있으며, 제1 내지 제3EQ(131,133,135)를 모니터링 하기 위한 모니터링 장치이다. 서버(101)는 데이터 변환장치(110)에 의해 XML 형태로 변환되어 전송되는 제1 내지 제3EQ(131,133,135)의 각종 데이터를 사용자에게 표시할 뿐 아니라, 각종 제어명령을 데이터 변환장치(110)를 통해 제1 내지 제3EQ(131,133,135)로 전송한다. 서버(101)는 통상의 네트워크 호스트 장치가 해당할 수 있을 뿐 아니라, 오류 감시제어장치(FDC: Fault Detection and Classification) 또는 생산 실행장치(MES: Manufacturing Execution System) 등이 해당할 수 있다. The server 101 may serve as a network host and may be connected to at least one converter including the data converter 110, and may be a monitoring device for monitoring the first to third EQs 131, 133, and 135. The server 101 not only displays various types of data of the first to third EQs 131, 133, and 135 transmitted to the XML format by the data converter 110, but also sends various control commands to the data converter 110. Through the first to the third EQ (131, 133, 135). The server 101 may not only correspond to a general network host device but also a fault detection and classification (FDC) or a manufacturing execution system (MES).

서버(101)는 데이터 변환장치(110)로부터 전송되는 데이터가 XML 형태를 가지므로, 웹 브라우저(Web Browser) 등을 이용하여 간단히 사용자에게 표시할 수 있다. Since the data transmitted from the data converter 110 has an XML form, the server 101 may simply display the data to a user using a web browser or the like.

오류 감시제어장치(FDC)는 반도체 설비장치(EQ)에 대한 관리 또는 유지보수를 목적으로 하는 장치로서, EQ를 실시간으로 모니터링하고 각종 설비, 공정 데이터 및 파라미터 값을 수신하여 이를 비교, 분석할 수 있다. 다르게는 오류 감시제어장치(FDC)는 각 EQ에서 발생하는 이벤트에 대한 정보들을 조회함으로써, EQ에서 발생하는 문제점들을 사전에 진단하거나 또는 사후에 치유, 조치할 수 있는 여러 가지 형태의 장치들을 모두 포함한다. 또한, 생산 실행장치(MES)는 EQ에 대한 실시간 모니터링, 제어, 물류 및 작업내역 추적 관리, 상태 파악, 불량 관리 등을 수행하는 장치이다. Fault Monitoring Control Device (FDC) is a device for the management or maintenance of semiconductor equipment (EQ). It monitors EQ in real time, receives various equipment, process data and parameter values, and compares and analyzes them. have. Alternatively, the FDC includes all types of devices that can diagnose the problems occurring in the EQ in advance or heal or remedy them by inquiring information about events occurring in each EQ. do. In addition, the production execution device (MES) is a device that performs real-time monitoring, control, logistics and work history tracking, status grasp, defect management for the EQ.

네트워크로는 유선 랜(LAN: Local Area Network), 무선 랜(WLAN :Wireless LAN) 등이 해당할 수 있으며, 이하에서는 유선 랜 중 버스 구조 방식의 이더넷(Ethernet)(103)을 중심으로 설명한다. 따라서 데이터 변환장치(110)는 이더넷 인터페이스(미도시)를 포함하여 서버(101)와 통신을 수행할 수 있다. 도 1을 참조하면, HSMS 프로토콜을 사용하는 제3EQ(135)는 이더넷(103)을 통해 데이터 변환장치(110)와 연결되어 있다.The network may correspond to a wired LAN (LAN), a wireless LAN (WLAN), and the like, and will be described below with reference to the Ethernet 103 having a bus structure among wired LANs. Accordingly, the data converter 110 may communicate with the server 101 including an Ethernet interface (not shown). Referring to FIG. 1, the third EQ 135 using the HSMS protocol is connected to the data converter 110 through the Ethernet 103.

데이터 변환장치(110)는 서버(101)에서 제1 내지 제3EQ(131,133,135)로 제어 프로그램의 전송, 제1 내지 제3EQ(131,133,135)에서 서버(101)로 반도체 재료 이동정보, 측정 데이터, 요약된 테스트 데이터, 알람 정보 등의 전송을 수행한다. The data converter 110 transmits the control program from the server 101 to the first to third EQs 131, 133, and 135, and transfers semiconductor material movement information, measurement data, and summary information from the first to third EQs 131, 133, and 135 to the server 101. Transfer of test data, alarm information, etc.

데이터 변환장치(110)는 제1 및 제3EQ(131,135)로부터 수신되는 SECS-II 메시지나 제2EQ(133)로부터 수신되는 Non-SECS 메시지를 XML 형태의 데이터로 변환하여 규격화 한 후, 서버(101)로 전송한다. The data conversion apparatus 110 converts the SECS-II message received from the first and third EQs 131 and 135 or the non-SECS message received from the second EQ 133 into XML data and normalizes the server 101. To send).

SECS-II 메시지는 스트림(Stream)과 기능(Function) 메시지로 구성된다. 스트림은 액티비티(Activity)의 카테고리(Category)를 의미하며, 스트림이 가지고 있는 세부 메시지를 '기능 메시지'라고 한다.SECS-II messages consist of a Stream and a Function message. The stream refers to the category of activity, and the detailed message of the stream is called a 'function message'.

도 2를 참조하면, 데이터 변환장치(110)는 데이터수집부(111), 데이터변환부(113) 및 네트워크인터페이스부(115)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the data converter 110 includes a data collector 111, a data converter 113, and a network interface 115.

데이터수집부(111)는 제1 내지 제3EQ(131,133,135)와 연결될 수 있으며, 제1 내지 제3EQ(131,133,135)로부터 수신된 데이터들이 기 설정된 데이터 군(Set)이 된 경우 데이터군을 데이터변환부(113)로 전달한다. 데이터군은 SECS-II 메시지 형태 및 Non-SECS 메시지 형태 중 적어도 한 개 형태의 데이터를 포함하며, 표준 포맷의 데이터로 변환하기 위하여 필요한 것으로 기 설정되어 각 EQ로부터 수신된 데이터들의 집합이다. 따라서 데이터수집부(111)는 제1 내지 제3EQ(131,133,135)와의 직렬 또는 병렬 통신 인터페이스를 포함한다. 만약 제3EQ(135)가 도 1과 같이 이더넷(103)를 통해 연결되는 경우, 데이터 변환장치(110)는 제3EQ(135)로부터 전송되는 데이터는 네트워크인터페이스부(115)를 통해 수신할 수 있다. The data collector 111 may be connected to the first to third EQs 131, 133, and 135. When the data received from the first to third EQs 131, 133, and 135 become a preset data group, the data group is converted into a data converter. 113). The data group includes data in at least one of the SECS-II message type and the Non-SECS message type, and is a set of data received from each EQ, which is preset to be necessary for conversion into data in a standard format. Accordingly, the data collector 111 includes a serial or parallel communication interface with the first to third EQs 131, 133, and 135. If the third EQ 135 is connected via the Ethernet 103 as shown in FIG. 1, the data conversion apparatus 110 may receive data transmitted from the third EQ 135 through the network interface 115. .

데이터변환부(113)는 데이터수집부(111)로부터 전달받은 데이터군에 대하여 표준 포맷(여기서는 XML)의 데이터로 변환작업을 수행하여 표준 포맷의 데이터(여기서는 XML 데이터)를 생성한다. 데이터변환부(113)는 데이터수집부(111)로부터 전달받은 데이터군을 이루는 각종 데이터들을 기 설정된 방법으로 머지(Merge)하고 XML 형태로 변환하여 XML 데이터를 만든다. 데이터변환부(113)가 생성한 XML 데이터는 데이터수집부(111)가 수집한 데이터군에 대해 부가적인 정보를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, XML 데이터는 제1 내지 제3EQ로부터 전달받은 데이터에 더하여 사용자 인터페이스를 위한 정보를 포함할 수 있다.The data converter 113 converts the data group received from the data collector 111 into data in a standard format (here, XML) to generate data in a standard format (here, XML data). The data converter 113 merges the various data forming the data group received from the data collector 111 in a predetermined manner and converts the data into an XML form to create XML data. The XML data generated by the data converter 113 may further include additional information about the data group collected by the data collector 111. For example, the XML data may include information for the user interface in addition to the data received from the first to third EQs.

XML 형태로 변환함에 있어서, 데이터변환부(113)는 연결된 제1 내지 제3EQ(131,133,135), 다시 말해 연결된 EQ의 메시지 프로토콜에 적합한 XML 스키마를 기 보유함에 따라 서로 다른 형태의 메시지를 간단히 XML 형태로 변환할 수 있다. 따라서 또 다른 메시지 형태를 제공하는 EQ라도 XML 스키마만 변경하면 간단히 데이터 변환장치(110)에 접속할 수 있다. XML 스키마는 확장성 생성 언어(XML) 문서에서 각 요소를 형식적으로 기술하는 방법을 규정한 월드 와이드 웹 컨소시엄(W3C) 의 권고 사항이다. XML 스키마는 XML 객체의 속성과 요소 간 상호 관계의 추상적 표현으로, 통상 XML 문서의 구조와 내용을 정의하는 파일을 가리킨다. In converting the XML format, the data converter 113 simply stores the first to third EQs 131, 133 and 135, that is, the XML schema suitable for the message protocol of the connected EQ. I can convert it. Therefore, even if the EQ that provides another message type can be connected to the data converter 110 simply by changing the XML schema. XML Schema is a recommendation from the World Wide Web Consortium (W3C) that specifies how to formally describe each element in an Extensible Generation Language (XML) document. An XML schema is an abstract representation of the interrelationships between attributes and elements of an XML object, usually a file that defines the structure and content of an XML document.

네트워크인터페이스부(115)는 이더넷(103)을 통해 서버와 접속할 수 있으며, 데이터변환부(113)에서 생성한 제2 데이터 집합을 이더넷(103)을 통해 서버(101)로 전송한다. 또한, 제3EQ(135)가 이더넷(103)을 통해 연결되는 경우, 네트워크인터페이스부(115)는 제3EQ(135)로부터 소정의 데이터를 수신하여 데이터수집부(111)로 전송할 수 있다.The network interface unit 115 may access the server through the Ethernet 103 and transmit the second data set generated by the data converter 113 to the server 101 through the Ethernet 103. In addition, when the third EQ 135 is connected via the Ethernet 103, the network interface 115 may receive predetermined data from the third EQ 135 and transmit the predetermined data to the data collector 111.

이상의 설명에서, 데이터수집부(111), 데이터변환부(113) 및 네트워크인터페이스부(115)를 포함하는 데이터 변환장치(110)는 제1 내지 제3EQ(131,133,135)로부터 서버(101)로의 데이터 전송을 중심으로 설명하였으나, 서버(101)로부터 제1 내지 제3EQ(131,133,135)로의 데이터 전송도 마찬가지로 가능함은 당연하다. In the above description, the data converter 110 including the data collector 111, the data converter 113, and the network interface 115 transmits data from the first to third EQs 131, 133, and 135 to the server 101. As described above, the data transmission from the server 101 to the first to third EQs 131, 133, and 135 may be similarly possible.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 설비장치 네트워크를 위한 데이터 변환장치의 동작 설명에 제공되는 흐름도이다. 이하 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 데이터 변환장치(110)의 동작을 설명한다.3 is a flowchart provided to explain an operation of a data conversion apparatus for a semiconductor device network according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, an operation of the data converter 110 of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

제1 내지 제3EQ(131,133,135)에서 각각에서 데이터가 발생하면(S301 내지 S305), 제1 내지 제3EQ(131,133,135) 각각은 기존의 전송 프로토콜에 따라 각각의 메시지 포맷으로 데이터를 데이터 변환장치(110)로 전송한다(S307 내지 S311).When data occurs in each of the first to third EQs 131, 133 and 135 (S301 to S305), each of the first to third EQs 131, 133 and 135 converts the data into a respective message format according to an existing transmission protocol. To transmit (S307 to S311).

데이터 변환장치(110)는 제1 내지 제3EQ(131,133,135)로부터 각각 데이터를 수집하여, 기 설정된 데이터군이 되면(S313), 표준 포맷의 데이터로 변환한다. 바 람직하게는 XML 포맷으로 변환하여 XML 데이터를 생성한다(S315).The data converter 110 collects data from the first through third EQs 131, 133, and 135, respectively, and converts the data into a standard format data when it is a preset data group (S313). Preferably, XML data is generated by converting to XML format (S315).

데이터 변환장치(110)는 생성된 XML 데이터를 이더넷(103)을 통해 서버(101)로 전송한다(S317). The data converter 110 transmits the generated XML data to the server 101 through the Ethernet 103 (S317).

서버(101)는 데이터 변환장치(110)로부터 이더넷(103)을 통해 XML 데이터를 수신하면, 소정의 표시부(미도시)를 통해 사용자에게 표시한다. 표준 포맷이 XML 인 경우, 서버(101)는 통상의 웹 브라우저 등을 이용하여 데이터를 표시할 수 있다(S319).When the server 101 receives the XML data from the data conversion apparatus 110 via the Ethernet 103, the server 101 displays the data to the user through a predetermined display unit (not shown). If the standard format is XML, the server 101 can display data using a normal web browser or the like (S319).

이상의 방법을 통해 본 발명의 데이터 변환장치(110)의 동작이 수행된다.Through the above method, the operation of the data conversion apparatus 110 of the present invention is performed.

본 발명은 방법, 디바이스 및 시스템으로 구현될 수 있다. 또한 본 발명이 컴퓨터 소프트웨어로 구현될 때는, 본 발명의 구성요소는 필요한 동작의 수행에 필요한 코드 세그먼트(code segment)로 대치될 수 있다. 프로그램이나 코드 세그먼트는 마이크로프로세서에 의해 처리될 수 있는 매체에 저장될 수 있으며, 전송매체나 통신 네트워크를 통하여 반송파(carrier waves)와 결합된 컴퓨터 데이터로서 전송될 수 있다.The invention can be implemented in methods, devices and systems. In addition, when the present invention is implemented in computer software, the components of the present invention may be replaced with code segments necessary for performing necessary operations. The program or code segment may be stored in a medium that can be processed by a microprocessor and transmitted as computer data coupled with carrier waves via a transmission medium or communication network.

마이크로프로세서에 의해 처리될 수 있는 매체는 전자회로, 반도체 메모리 소자, 롬(ROM), 플래시(Flash) 메모리, EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory), 플로피 디스크(Floppy Disk), 광학적 디스크, 하드(Hard) 디스크, 광섬유, 무선 네트워크 등과 같이 정보를 전달하고 저장할 수 있는 것을 포함한다. 또한, 컴퓨터 데이터는 전기적 네트워크 채널, 광섬유, 전자기 장, 무선 네트워크 등을 통해 전송될 수 있는 데이터를 포함한다. The media that can be processed by the microprocessor include electronic circuits, semiconductor memory devices, ROMs, flash memory, electrically erasable programmable read-only memory (EEPROM), floppy disks, optical disks, and hard disks. (Hard) Includes the ability to transmit and store information such as disks, fiber optics, wireless networks, and the like. Computer data also includes data that can be transmitted over electrical network channels, optical fibers, electromagnetic fields, wireless networks, and the like.

또한, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.In addition, although the preferred embodiment of the present invention has been shown and described above, the present invention is not limited to the above-described specific embodiment, the technical field to which the invention belongs without departing from the spirit of the invention claimed in the claims. Of course, various modifications can be made by those skilled in the art, and these modifications should not be individually understood from the technical spirit or the prospect of the present invention.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 데이터 변환장치는 반도체 설비의 네트워크를 가능하게 한다. 다시 말해, 본 발명의 데이터 변환장치는 서로 다른 전송 프로토콜 및 메시지 프로토콜에 따른 반도체 설비들의 메시지 및 전송을 하나의 포맷으로 규격화함으로써 반도체 설비들간의 네트워크를 가능하게 한다.As described in detail above, the data conversion apparatus according to the present invention enables a network of semiconductor facilities. In other words, the data conversion apparatus of the present invention enables a network between semiconductor facilities by standardizing messages and transmissions of semiconductor facilities according to different transmission protocols and message protocols into one format.

서버로서는 각종 메시지 형태에 따른 데이터를 별도로 수신하여 처리하지 않아도 되며, 하나의 메시지 형태로 수신할 수 있으며, 표준 포맷이 XML 인 경우 별도의 전용 프로그램이 없더라도 범용의 XML 뷰어 프로그램을 사용하여 사용자에게 모니터링 결과를 표시할 수 있다.The server does not need to separately receive and process data according to various message types, and can receive it in one message type. If the standard format is XML, the user can be monitored using a general-purpose XML viewer program even if there is no separate program. The results can be displayed.

네트워크 서버는, 본 발명의 데이터 변환장치와 네트워크를 이루어 통신을 하게 됨으로써, 개별 전송 프로토콜에 따른 반도체 설비장치와 직접 통신을 하지 않게 됨으로써 서버의 시스템 자원의 부담을 감소시킬 수 있다.The network server communicates with the data conversion apparatus of the present invention in a network, so that the network server does not directly communicate with the semiconductor equipment according to the individual transmission protocol, thereby reducing the burden on system resources of the server.

반도체 설비장치의 네트워크 상 확장성이 매우 좋아진다. 장비마다 별도의 장치를 추가하지 않아도 되고, 변환장치에 접속하는 것만으로 간단하게 네트워크에 장비를 연결할 수 있다.Network scalability of semiconductor equipment is very good. There is no need to add a separate device for each device, and simply connect the device to the network by simply connecting to the converter.

Claims (3)

서로 다른 메시지 형태 및 전송 프로토콜에 따른 적어도 하나의 반도체 설비로부터 전송되는 모니터링 데이터를 수신하여 기 설정된 데이터 군을 수집하는 데이터수집부;A data collector configured to receive monitoring data transmitted from at least one semiconductor device according to different message types and transmission protocols and collect a preset data group; 상기 데이터수집부가 수집한 데이터 군을 표준 포맷의 데이터로 변환하는 데이터변환부; 및A data converter converting the data group collected by the data collector into data of a standard format; And 소정의 네트워크를 통해 서버에 접속할 수 있으며, 상기 데이터변환부로부터 상기 표준 포맷의 데이터를 수신하여 상기 서버로 전송하는 네트워크 인터페이스부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 변환장치.And a network interface unit for accessing a server through a predetermined network and receiving data of the standard format from the data conversion unit and transmitting the received data to the server. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 표준 포맷은 XML(eXtensible Markup Language) 인 것을 특징으로 하는 데이터 변환장치.And the standard format is XML (eXtensible Markup Language). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 네트워크는 랜(LAN)인 것을 특징으로 하는 데이터 변환장치.And said network is a LAN.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100932157B1 (en) * 2008-04-16 2009-12-16 주식회사 인투텍 Large surveillance system based on IP monitoring
KR101421635B1 (en) * 2013-10-02 2014-07-22 (주)시스윈일렉트로닉스 Apparatus for environment data monitoring in semiconductor fabrication process
KR20160015505A (en) * 2014-07-30 2016-02-15 삼성전자주식회사 Method and system for processing a data from equipment

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100932157B1 (en) * 2008-04-16 2009-12-16 주식회사 인투텍 Large surveillance system based on IP monitoring
KR101421635B1 (en) * 2013-10-02 2014-07-22 (주)시스윈일렉트로닉스 Apparatus for environment data monitoring in semiconductor fabrication process
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