KR200460399Y1 - Syringe Pump - Google Patents

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KR200460399Y1 KR2020070019306U KR20070019306U KR200460399Y1 KR 200460399 Y1 KR200460399 Y1 KR 200460399Y1 KR 2020070019306 U KR2020070019306 U KR 2020070019306U KR 20070019306 U KR20070019306 U KR 20070019306U KR 200460399 Y1 KR200460399 Y1 KR 200460399Y1
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장범권
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

본 고안은 시린지 펌프를 제공한다. 상기 시린지 펌프는 플런져의 이동과 연동하여 수축/팽창되는 탄성격막을 실린더 내부에 배치하여 감광액이 유입/정체되는 실린더 내부공간과 씰링부재 사이를 단절시킨 것을 구성의 요지로 하며, 이러한 본 고안에 의하면, 탄성격막을 통한 실린더 내부공간과 씰링부재의 단절로 인하여, 감광액을 흡입하고 토출시키는 과정에서 실린더 내부의 체적변화 시 씰링부재에 압이 가해지지 않으며, 탄성격막 배치로 인하여 플런져와 긴밀히 접하는 씰링부재 마모에 의한 미세한 파티클(particle)들이 상기 실린더 내부공간으로 유입되는 것을 원천 차단할 수 있는 장점을 가진다.The present invention provides a syringe pump. The syringe pump is arranged to the elastic diaphragm contraction / expansion in conjunction with the movement of the plunger to the interior of the cylinder is a configuration of the separation between the cylinder inner space and the sealing member inflow / stagnation, and the subject of the present invention According to the present invention, due to the disconnection of the inner space of the cylinder through the elastic diaphragm and the sealing member, pressure is not applied to the sealing member when the volume inside the cylinder changes during the suction and discharge of the photosensitive liquid, and is closely contacted with the plunger due to the elastic diaphragm arrangement. The fine particles (particles) due to the wear of the sealing member has an advantage that can be prevented from entering the cylinder interior space.

Description

시린지 펌프{Syringe Pump}Syringe Pump {Syringe Pump}

본 고안은 시린지 펌프에 관한 것으로, 상세하게는 플런져 직선 운동에 의한 실린더 내부의 체적변화에 따라 외부로부터 유체를 끌어들이고 소정의 토출압으로 정량 배출하는 시린지 펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a syringe pump, and more particularly, to a syringe pump that draws fluid from the outside and quantitatively discharges it at a predetermined discharge pressure according to a volume change inside the cylinder by a plunger linear motion.

일반적으로, 반도체 디바이스 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display)의 제조공정에서는 피처리기판(실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판)상의 특정 기능을 수행하는 박막, 예를 들면, 산화 박막, 금속 박막, 반도체 박막 등이 원하는 형상으로 패터닝(patterning)되도록 광원과 반응하는 감광액(sensitive material)을 상기 박막상에 도포하는 공정이 수행된다.In general, in the manufacturing process of a semiconductor device or flat panel display (FPD), a thin film that performs a specific function on a substrate (silicon wafer or glass substrate), for example, an oxide thin film, a metal thin film, a semiconductor thin film, or the like. A process of applying a sensitive material on the thin film, which reacts with a light source so as to be patterned into this desired shape, is performed.

이처럼, 피처리기판의 박막에 소정의 회로패턴이 구현되도록 감광액을 도포하여 감광막 코팅하고, 회로패턴에 대응하여 상기 감광막을 노광하며, 노광된 부위 또는 노광되지 않은 부위를 현상처리하여 제거하는 일련의 과정을 사진공정 또는 포토리소그래피(Photolithography)공정이라 한다.As described above, a photoresist is coated by applying a photoresist to a thin film of a substrate to be processed so as to realize a predetermined circuit pattern, the photoresist is exposed in correspondence with a circuit pattern, and a series of developing and removing exposed or unexposed parts are developed. The process is called photolithography or photolithography.

상기 사진공정에서는 감광막이 소정 두께로 균일하게 생성되어야 제조공정 중 불량이 발생되지 않는다. 예를 들어, 감광막이 기준치보다 두껍게 생성될 경우 박막 중 원하는 부분이 식각되지 않을 수 있고, 감광막이 기준치보다 얇게 생성될 경우 박막이 원하는 식각량보다 더 많이 식각될 수 있다. 이처럼 피처리기판에 균일한 두께의 감광막을 생성하려면, 우선 피처리기판에 감광액을 균일한 두께로 도포하는 것이 중요하다.In the photographing process, the photoresist film should be uniformly formed to a predetermined thickness so that no defects occur during the manufacturing process. For example, when the photoresist film is formed thicker than the reference value, a desired portion of the thin film may not be etched. When the photoresist film is formed thinner than the reference value, the thin film may be etched more than the desired etching amount. In order to produce a photosensitive film having a uniform thickness on the substrate to be processed as described above, it is important to first apply a photosensitive liquid having a uniform thickness on the substrate to be processed.

이에 유리 기판의 경우, 기판을 정반(surface plate)에 지지한 상태에서 감광액을 배출을 위한 슬릿(slit)이 형성된 노즐을 기판을 따라 주행시키고, 상기 슬릿을 통해서는 기판 표면에 일정두께로 감광액을 도포하는 방식인 스핀리스 코팅(spinless coating)법 또는 슬릿 코팅(slit coating)법이 주로 사용된다.In the case of the glass substrate, the nozzle is formed along the substrate with a slit for discharging the photoresist while the substrate is supported on a surface plate. The photoresist is applied to the surface of the substrate at a predetermined thickness through the slit. Spinless coating or slit coating, which is a coating method, is mainly used.

도 1은 스핀리스 코팅법에 의한 종래 코터(coater) 시스템을 개략적으로 보인 도면으로, 종래 감광액 도포를 위한 코터 시스템은, 감광액을 저장하는 저장유닛(1) 및 상기 저장유닛(1)에 저장된 감광액을 제공받아 기판 상에 도포하는 코터유닛(2)을 포함한다. 상기 코터유닛(2)은 기판이 로딩되는 스테이지(200) 및 스테이지(200) 상에 로딩된 기판(S)에 감광액을 도포하는 슬릿 노즐(210)로 이루어져, 상기 슬릿 노즐(210)이 미도시된 갠트리에 지지된 채 스테이지(200) 상에 로딩된 기판(S) 상을 스캔(scan) 하듯 이동하면서 기판 표면에 감광액을 도포한다.1 is a view schematically showing a conventional coater system by a spinless coating method, wherein a coater system for applying a conventional photoresist includes a storage unit 1 storing a photoresist and a photoresist stored in the storage unit 1 It is provided with a coater unit (2) for applying on the substrate. The coater unit 2 includes a stage 200 on which a substrate is loaded and a slit nozzle 210 to apply a photoresist to the substrate S loaded on the stage 200, so that the slit nozzle 210 is not shown. The photoresist is applied to the surface of the substrate while moving as if scanned on the substrate S loaded on the stage 200 while being supported by the gantry.

감광액은 저장유닛(1)과 코터유닛(2) 사이에 배치되는 토출유닛(3)를 통해 저장유닛(1)으로부터 상기 코터유닛(2)에 제공되고, 상기 토출유닛(3)으로는 유체 정량 배출에 매우 용이한 구조를 가진 시린지 펌프(Syringe Pump)가 적용된다. 이러한 시린지 펌프는 플런져의 왕복운동에 의한 실린더 내부의 체적변화에 따라 감 광액을 끌어들이고 소정의 토출압으로 배출하여 슬릿 노즐에 정량 공급하는 기능을 가진다. The photosensitive liquid is provided to the coater unit 2 from the storage unit 1 via a discharge unit 3 disposed between the storage unit 1 and the coater unit 2, and the discharge unit 3 is used to determine the fluid. A syringe pump with a very easy construction for discharge is applied. Such a syringe pump has a function of attracting the photosensitive liquid in accordance with the volume change in the cylinder by the reciprocating motion of the plunger and discharging it at a predetermined discharge pressure to quantitatively supply the slit nozzle.

구체적으로, 상기 시린지 펌프는 도 2에서와 같이, 입구과 토출구를 갖는 주사기 형태의 실린더(300)와, 이 실린더(300) 내부를 직선 왕복운동 하면서 실린더 내부의 체적을 변화시키는 플런져(310) 및, 실린더(300)와 플런져(310)의 사이에 개입되어 밀봉성을 유지시켜 주는 씰링부재(320)를 포함하는 구성으로 이루어져, 실린더(300) 내부에서의 상기 플런져(310)의 직선 운동에 의한 체적변화에 따라 외부로부터 감광액을 끌어들이고 소정의 토출압으로 배출하여 슬릿 노즐에 정량 공급한다.Specifically, the syringe pump, as shown in Figure 2, the syringe-shaped cylinder 300 having an inlet and discharge port, and the plunger 310 for changing the volume inside the cylinder while linearly reciprocating the inside of the cylinder 300 and , Comprising a sealing member 320 interposed between the cylinder 300 and the plunger 310 to maintain the sealing property, and linear movement of the plunger 310 inside the cylinder 300. In accordance with the volume change by the photosensitive liquid is drawn from the outside, discharged at a predetermined discharge pressure and quantitatively supplied to the slit nozzle.

그러나 위와 같은 일반적인 종래의 시린지 펌프는 약액을 흡입하고 토출시키는 과정에서 그 체적변화에 따른 외압 또는 내압이 씰링부재(320)에 직접적으로 가해져 씰링부재의 터짐 또는 들뜸이 발생되는 문제가 있고, 이 경우 실린더 내부로 에어가 유입되어 이를 통해 배출되는 감광액에 다량의 기포가 포함될 수 밖에 없었다.However, in the conventional conventional syringe pump as described above, in the process of inhaling and discharging the chemical liquid, an external pressure or an internal pressure is directly applied to the sealing member 320 due to a change in volume thereof, thereby causing the sealing member to burst or lift. Air flowed into the cylinder and the photoresist discharged through it had to contain a large amount of bubbles.

더욱이, 플런져의 왕복에 따라 플런져와 긴밀히 접한 씰링부재 마모가 발생했을 경우에, 그 마모로 인해 발생한 미세한 파티클(particle)들이 상기 실린더 내부 공간으로 유입될 수 밖에 없는 구조이어서, 유입된 미세한 파티클들이 실린더 내부에 퇴적되면 실린더 토출구가 막히거나 감광액과 함께 슬릿 노즐로 제공되어 도포 불량의 원인이 된다.Furthermore, when the sealing member wears in intimate contact with the plunger due to the reciprocation of the plunger, the fine particles generated due to the wear are forced to flow into the inner space of the cylinder. When these deposits are deposited inside the cylinder, the cylinder discharge port is clogged or provided to the slit nozzle together with the photoresist to cause a coating failure.

상기한 문제점을 해소하기 위하여 본 고안은, 감광액을 흡입하고 토출시키는 과정에서 실린더 내부의 체적변화 시 씰링부재에 압이 가해지지 않는 구조의 시린지 펌프를 제공함에 그 목적이 있다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a syringe pump having a structure in which pressure is not applied to the sealing member when the volume inside the cylinder is changed in the process of sucking and discharging the photosensitive liquid.

또한 본 고안은, 플런져와 긴밀히 접하는 씰링부재 마모에 의한 미세한 파티클(particle) 들이 상기 실린더 내부 공간으로 유입되는 것을 원천차단할 수 있는 구조의 시린지 펌프를 제공하는 데에 다른 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a syringe pump having a structure capable of blocking the entry of fine particles due to wear of a sealing member in close contact with a plunger into the inner space of the cylinder.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 일단부에 감광액이 내부로부터 토출되는 토출구가 형성되고, 상기 토출구로부터 타방으로 이격된 위치에 상기 감광액이 내부로 유입되는 입구가 형성된 실린더와; 상기 입구로부터 타방으로 이격된 위치에 상기 실린더의 내부에 설치된 씰링부재를 사이에 두고 상기 실린더의 내부에서 왕복 직선 운동을 하여 상기 실린더 내부의 체적 변화를 일으켜, 상기 입구로 유입된 감광액을 상기 토출구를 통해 토출시키는 플런져와; 상기 입구와 상기 씰링부재 사이에 상기 실린더의 내부를 가로질러 배치되어 상기 입구와 상기 씰링 부재를 단절시키고, 상기 플런져의 이동과 연동하여 수축/팽창되는 탄성 격막을; 포함하여 구성되어, 상기 플런져가 상기 실린더 내부로 유입되는 방향으로 전진 이동하면 상기 탄성 격막이 팽창하여 상기 토출구를 통해 감광액을 토출시키고, 상기 플런져가 상기 실린더 내부로부터 인출하는 방향으로 후퇴 이동하면 상기 탄성 격막이 원상태로 복귀하는 수축을 하면서 상기 입구를 통해 상기 실린더 내부로 상기 감광액을 유입시키는 시린지 펌프를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a discharge port for discharging the photoresist liquid from the inside at one end thereof, and a cylinder having an inlet through which the photoresist liquid flows into the other space from the discharge port; A reciprocating linear motion is performed inside the cylinder at a position spaced apart from the inlet with the sealing member interposed therebetween to cause a volume change in the cylinder, thereby causing the discharge port to A plunger for discharging through; An elastic diaphragm disposed across the interior of the cylinder between the inlet and the sealing member to disconnect the inlet and the sealing member and contract / expand in conjunction with movement of the plunger; And moving forward in the direction in which the plunger flows into the cylinder, and when the elastic diaphragm expands and discharges the photosensitive liquid through the discharge port, the plunger moves backward in the direction of drawing out from the cylinder. It provides a syringe pump for introducing the photosensitive liquid into the cylinder through the inlet while the contraction of the elastic diaphragm is returned to its original state.

여기서, 상기 실린더는 주사기 형태의 실린더 본체와, 상기 본체 개방단에 분리/체결 가능하게 조립되는 체결단을 포함하며, 상기 탄성격막은 상기 실린더 본체 개방단과 이와 접촉하는 상기 체결단 사이에 그 외연이 압착되어 고정된다.Here, the cylinder includes a syringe-shaped cylinder body and a fastening end detachably assembled to the main body open end, and the elastic diaphragm has an outer edge between the open end of the cylinder body and the fastening end in contact therewith. It is compressed and fixed.

그리고, 상기 체결단과 실린더 본체 개방단 사이에는 상기 탄성격막 외연을 압착 고정시켜주는 압압부재 및 체결단과 실린더 본체 경계면을 통해 감광액이 외부로 누출되는 것을 차단하는 오링이 설치된다.And, between the fastening end and the cylinder body open end is provided with a pressing member for pressing and fixing the outer periphery of the elastic diaphragm and an O-ring for blocking the leakage of the photosensitive liquid to the outside through the fastening end and the cylinder body interface.

상기한 본 고안에 의하면, 탄성격막을 통한 실린더 내부공간과 씰링부재의 단절로 인하여, 감광액을 흡입하고 토출시키는 과정에서 실린더 내부의 체적변화 시 씰링부재에 압이 가해지지 않는다. 따라서, 종래와 같은 씰링부재 터짐 또는 들뜸에 따른 실린더 내부로의 에어 유입을 원천 차단할 수 있다.According to the present invention described above, due to the disconnection of the inner space of the cylinder through the elastic diaphragm and the sealing member, pressure is not applied to the sealing member when the volume inside the cylinder changes in the process of sucking and discharging the photosensitive liquid. Therefore, the inflow of air into the cylinder due to the bursting or lifting of the sealing member as in the prior art can be blocked.

또한, 탄성격막 배치로 인하여 플런져와 긴밀히 접하는 씰링부재 마모에 의한 미세한 파티클(particle)들이 상기 실린더 내부공간으로 유입되는 것이 원천 차단된다. 따라서, 미세한 파티클에 의한 토출구 막힘 또는 도포 불량이 예방될 수 있다. In addition, due to the elastic diaphragm arrangement, the fine particles (particles) due to the wear of the sealing member in close contact with the plunger is blocked at the source. Therefore, clogging or poor application of the ejection opening by the fine particles can be prevented.

이하, 첨부도면에 의거하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 고안의 실시예에 따른 시린지 펌프의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of the syringe pump according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 고안은 플런져와 실린더 사이에 밀봉성을 유지시켜주는 씰링부재의 파손 또는 들뜸을 방지하기 위하여, 실린더 내부에 플런져 이동에 따라 수축/팽창되는 탄성격막을 배치함으로써, 감광액이 유입/정체되는 실린더 내부공간과 상기 씰링부재 사이를 단절시킨 것을 요지로 한다.Referring to Figure 3, the present invention by placing an elastic diaphragm that is contracted / expanded in accordance with the plunger movement in the cylinder, in order to prevent breakage or lifting of the sealing member that maintains the sealing property between the plunger and the cylinder, The main point is that the interior space between the cylinder and the sealing member into which the photoresist is introduced / stuck is disconnected.

도 3을 다시 참조하면, 상기 시린지 펌프는, 일단부에 토출구가 형성되고 이로부터 타방으로 이격된 위치에 입구가 형성된 주사기 형태의 실린더(10) 및 이 실린더(10) 내부를 직선 왕복운동 하면서 실린더 내부의 체적을 가변시키는 플런져(20)를 포함한다. 상기 실린더(10)와 플런져(20)는 그 사이에 가로질러 개재된 상태로 설치되는 씰링부재(30)에 의해 밀봉성이 유지되며, 상기 씰링부재(30)와 감광액이 유입/정체되는 실린더 내부공간은 탄성격막(40)을 통해 단절된다. 상기 탄성격막(40)은 플런져(20) 전방에 배치되어 이 플런져(20)의 이동에 따라 수축 또는 팽창하면서 실린더 본체(10a) 내부의 체적을 가변시킨다..Referring to FIG. 3 again, the syringe pump has a syringe-shaped cylinder 10 having an inlet formed at one end thereof and an inlet formed at a position spaced apart from the other, and the cylinder while linearly reciprocating inside the cylinder 10. And a plunger 20 for varying the volume therein. The cylinder 10 and the plunger 20 are kept sealed by a sealing member 30 installed in a state interposed therebetween, and the cylinder in which the sealing member 30 and the photosensitive liquid flows into / stops. The inner space is cut through the elastic diaphragm 40. The elastic diaphragm 40 is disposed in front of the plunger 20 to change the volume inside the cylinder body 10a while contracting or expanding according to the movement of the plunger 20.

구체적으로, 상기 실린더(10)는 주사기 형태의 실린더 본체(10a) 및 실린더 본체 개방단에 분리/체결 가능하게 조립되는 체결단(10b)으로 구성되며, 탄성격막(40)은 상기 실린더 본체(10a) 개방단과 이와 접촉하는 체결단(10b) 사이에 그 외연이 압착되어 고정된다. 따라서, 상기 탄성격막(40) 파손으로 인해 교체가 요구되는 경우, 상기 실린더 본체(10a)로부터 체결단(10b)을 분리시켜 파손된 탄성격막(40)을 용이하게 교체할 수 있다.Specifically, the cylinder 10 is composed of a syringe-shaped cylinder body 10a and a fastening end 10b that is detachably assembled to the cylinder body open end, and the elastic diaphragm 40 is the cylinder body 10a. The outer edge is compressed and fixed between the open end and the fastening end 10b in contact with the open end. Therefore, when replacement is required due to breakage of the elastic diaphragm 40, it is possible to easily replace the damaged elastic diaphragm 40 by separating the fastening end (10b) from the cylinder body (10a).

상기 체결단(10b)과 실린더 본체(10a) 개방단 사이에는 압압부재(33) 및 오링(35)이 설치된다. 상기 압압부재(33)는 탄성격막(40) 외연을 압착 고정시켜주는 역할을 하며, 오링(35)은 상기 체결단(10b)과 실린더 본체(10a) 경계면을 통해 감광액이 외부로 누출되는 것을 차단하는 씰링재 역할을 한다.The pressing member 33 and the O-ring 35 are installed between the fastening end 10b and the open end of the cylinder body 10a. The pressing member 33 serves to squeeze the outer edge of the elastic diaphragm 40, and the O-ring 35 blocks photoresist from leaking to the outside through an interface between the fastening end 10b and the cylinder body 10a. Serves as a sealing material.

도 4a 내지 도 4b는 본 고안에 따른 시린지 펌프의 동작을 나타낸 도면으로서, 도 4a는 감광액을 실린더 내부로 끌어들이는 과정을 나타낸 도면이고, 도 4b는 실린더에 유입된 감광액을 토출구를 통해 외부로 정량 배출하는 과정을 나타낸 도면이다. 이들 도면을 참조하여 본 고안의 시린지 펌프의 동작을 간단히 살펴본다.4a to 4b is a view showing the operation of the syringe pump according to the present invention, Figure 4a is a view showing a process of drawing the photosensitive liquid into the cylinder, Figure 4b is a photosensitive liquid introduced into the cylinder to the outside through the discharge port A diagram illustrating a process of quantitative discharge. With reference to these drawings looks at the operation of the syringe pump of the present invention briefly.

먼저, 도 4a를 참조하면, 플런져(20)가 화살표 방향으로 후퇴하면, 탄성격막(40) 역시 자체 탄성에 의해 원상태로 복귀되고, 이 과정에서 탄성격막(40) 전방 의 실린더 본체(10a) 내부 공간의 체적증가에 따른 감압으로 인하여 입구를 통해 외부로부터 감광액이 유입된다.First, referring to FIG. 4A, when the plunger 20 retreats in the direction of the arrow, the elastic diaphragm 40 also returns to its original state by its elasticity, and in this process, the cylinder body 10a in front of the elastic diaphragm 40. Due to the decompression due to the increase in the volume of the internal space, the photosensitive liquid is introduced from the outside through the inlet.

이 같은 상태에서 도 4b에서와 같이 플런져(20)가 전진하면, 탄성격막(40) 역시 플런져(20) 이동방향으로 탄성 확장하면서 실린더 본체(10a) 내부 체적이 감소되고, 이 과정에서 탄성격막(40) 전방의 실린더 본체(10a) 내부 공간에 유입/정체되어 있던 감광액은 플런져(20)에 의해 외압을 받아 토출구를 통해 외부로 강제 배출된다.In this state, when the plunger 20 moves forward as shown in FIG. 4B, the inner volume of the cylinder body 10a is reduced while the elastic diaphragm 40 also expands elastically in the moving direction of the plunger 20. The photosensitive liquid which has flowed into and stagnated in the inner space of the cylinder body 10a in front of the diaphragm 40 is forcibly discharged to the outside through the discharge port by receiving an external pressure by the plunger 20.

이와 같이 작동하는 본 고안은, 감광액이 유입/정체되는 실린더(10) 내부 공간과 씰링부재(30)가 탄성격막(40)을 통해 단절되어 있다. 따라서, 감광액 흡입/토출 시 상기 씰링부재(30) 외면에 압이 전달되지 않으므로 종래와 같은 씰링부재(30) 터짐 또는 들뜸이 발생하지 않는다.According to the present invention operating as described above, the inner space of the cylinder 10 and the sealing member 30 through which the photosensitive liquid is introduced / stuck are disconnected through the elastic diaphragm 40. Therefore, since pressure is not transmitted to the outer surface of the sealing member 30 when the photosensitive liquid is inhaled / discharged, the sealing member 30 does not burst or lift as in the related art.

또한 본 고안은, 탄성격막(40) 배치로 인하여 플런져(20)와 긴밀히 접하는 씰링부재(30) 마모에 의한 미세한 파티클(particle)들 상기 실린더 내부공간으로 유입되는 것이 원천 차단된다. 따라서, 토출구 막힘 또는 차후 미세 이물에 의한 도포 불량이 예방될 수 있다. In addition, the present invention, due to the arrangement of the elastic diaphragm 40 is blocked at the source of the fine particles (particles) due to the wear of the sealing member 30 in close contact with the plunger 20 to the inner space of the cylinder. Therefore, clogging of the discharge port or subsequent application failure due to fine foreign matter can be prevented.

이상에서 설명한 것은 본 고안을 실시하기 위한 하나의 실시 예에 불과한 것으로서, 본 고안은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하의 청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 고안의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is just one embodiment for carrying out the present invention, and the present invention is not limited to the above-described embodiment, and the present invention without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims. Anyone with ordinary knowledge in the field will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

도 1은 스핀리스 코팅법에 의한 종래 코터 시스템 구성을 개략적 나타낸 도면.1 is a schematic view showing a conventional coater system configuration by a spinless coating method.

도 2는 종래 코터 시스템에 적용되는 일반적인 시린지 펌프의 개략 단면도.2 is a schematic cross-sectional view of a typical syringe pump applied to a conventional coater system.

도 3은 본 고안의 실시예에 따른 시린지 펌프의 단면도.3 is a cross-sectional view of the syringe pump according to an embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4b는 본 고안에 따른 시린지 펌프의 동작을 나타낸 도면으로서, 4a to 4b is a view showing the operation of the syringe pump according to the present invention,

도 4a는 감광액을 실린더 내부로 끌어들이는 과정을 나타낸 도면.4A is a view illustrating a process of drawing a photosensitive liquid into a cylinder.

도 4b는 실린더에 유입된 감광액을 토출구를 통해 외부로 정량 배출하는 과정을 나타낸 도면.Figure 4b is a view showing a process for quantitatively discharged to the outside through the discharge port the photosensitive liquid introduced into the cylinder.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>Description of the Related Art [0002]

10a...실린더 본체 10b...체결단10a ... cylinder body 10b ... fastening

20...플런져 30...씰링부재20.Plunger 30.Sealing member

33...압압부재 35...오링(O-Ring)33 ... Pressure member 35 ... O-ring

40...탄성격막40.Elastic diaphragm

Claims (3)

일단부에 감광액이 내부로부터 토출되는 토출구가 형성되고, 상기 토출구로부터 타방으로 이격된 위치에 상기 감광액이 내부로 유입되는 입구가 형성된 실린더와;A cylinder having one end formed with a discharge port through which the photosensitive liquid is discharged from the inside, and an inlet through which the photosensitive liquid flows into the inside at a position spaced apart from the discharge port; 상기 입구로부터 타방으로 이격된 위치에 상기 실린더의 내부에 설치된 씰링부재를 사이에 두고 상기 실린더의 내부에서 왕복 직선 운동을 하여 상기 실린더 내부의 체적 변화를 일으켜, 상기 입구로 유입된 감광액을 상기 토출구를 통해 토출시키는 플런져와;A reciprocating linear motion is performed inside the cylinder at a position spaced apart from the inlet with the sealing member interposed therebetween to cause a volume change in the cylinder, thereby causing the discharge port to A plunger for discharging through; 상기 입구와 상기 씰링부재 사이에 상기 실린더의 내부를 가로질러 배치되어 상기 입구와 상기 씰링 부재를 단절시키고, 상기 플런져의 이동과 연동하여 수축/팽창되는 탄성 격막을;An elastic diaphragm disposed across the interior of the cylinder between the inlet and the sealing member to disconnect the inlet and the sealing member and contract / expand in conjunction with movement of the plunger; 포함하여 구성되어, 상기 플런져가 상기 실린더 내부로 유입되는 방향으로 전진 이동하면 상기 탄성 격막이 팽창하여 상기 토출구를 통해 감광액을 토출시키고, 상기 플런져가 상기 실린더 내부로부터 인출하는 방향으로 후퇴 이동하면 상기 탄성 격막이 원상태로 복귀하는 수축을 하면서 상기 입구를 통해 상기 실린더 내부로 상기 감광액을 유입시키는 시린지 펌프.And moving forward in the direction in which the plunger flows into the cylinder, and when the elastic diaphragm expands and discharges the photosensitive liquid through the discharge port, the plunger moves backward in the direction of drawing out from the cylinder. A syringe pump for introducing the photosensitive liquid into the cylinder through the inlet while the contraction of the elastic diaphragm is returned to its original state. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 실린더는 주사기 형태의 실린더 본체와, The cylinder is a cylinder body in the form of a syringe, 상기 본체 개방단에 분리/체결 가능하게 조립되는 체결단을 포함하며, It includes a fastening end that is detachably assembled to the main body open end, 상기 탄성격막은 상기 실린더 본체 개방단과 이와 접촉하는 상기 체결단 사이에 그 외연이 압착되어 고정된 것을 특징으로 하는 시린지 펌프.The elastic diaphragm is a syringe pump, characterized in that the outer edge is pressed and fixed between the open end of the cylinder body and the fastening end in contact with it. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 탄성격막 외연을 압착 고정시켜주는 압압부재 및 체결단과 실린더 본체 경계면을 통해 감광액이 외부로 누출되는 것을 차단하는 오링이 상기 체결단과 실 린더 본체 개방단 사이에 설치된 것을 특징으로 하는 시린지 펌프. And a pressing member for pressing and fixing the outer edge of the elastic diaphragm, and an O-ring for blocking the leakage of the photosensitive liquid to the outside through the fastening end and the cylinder body boundary surface, between the fastening end and the cylinder body opening end.
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