KR20020047040A - Multi-shell device for storing and transporting chemicals - Google Patents

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KR20020047040A
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한한스율리히
뷔트너붸르너
벤징거마르틴
플린너한스게오르그
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허니웰 스페셜티 케미칼스 젤체 게엠베하
알텐커르케너 쿤스트스토프 게엠베하
플레믹 크리스티안
메르크 파텐트 게엠베하
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Abstract

본 발명은 화학물질, 특히 전자 산업에 사용되는 액상의 고순도 화학물질의 저장 및 운반용 장치에 관한 것으로, 적어도 a) 무안정화제 HD-PE로 제조되며 내용물과 접하는 내부 쉘 및 이 내부 쉘을 포위하는 폴리에틸렌으로 제조된 하나 이상의 쉘을 포함하는 다중 쉘형 내부 용기와, b) 플라스틱으로 제조된 무금속 운반 설비를 포함한다. 또한, 본 발명은 화학물질, 특히 전자 산업용 고순도 화학물질을 저장 및 운반하기 위한 장치를 생산하기 위한 공압출 방법에 관한 것으로, 이 방법은 적어도 a) 블로우 방법으로 무안정화제 HD-PE로 제조된 중공형 본체를 생산하는 단계와, b) a)의 단계에서 얻은 중공형 본체를 폴리에틸렌으로 제조된 하나 이상의 쉘로 동시에 포위하는 단계(공압출)와, c) 폴리에틸렌으로 제조된 하나 이상의 쉘로 포위된 a)의 단계에서 얻은 중공형 본체가 그 내부에 삽입될 수 있도록, 플라스틱으로 제조된 용기를 생산하는 단계를 포함한다.FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a device for the storage and transport of chemicals, in particular liquid high purity chemicals used in the electronics industry, comprising at least a) an inner shell made of stabilizer HD-PE and contacting the contents and a polyethylene surrounding the inner shell And a multi-shell inner container comprising one or more shells made of plastic, and b) a metal-free conveying facility made of plastic. The invention also relates to a coextrusion method for producing a device for storing and transporting chemicals, in particular high purity chemicals for the electronics industry, which method comprises at least a) a hollow process made of stabilizer HD-PE with a blow method. Producing a shaped body, b) simultaneously enclosing the hollow body obtained in step a) with at least one shell made of polyethylene (coextrusion), and c) surrounded with at least one shell made of polyethylene. Producing a container made of plastic so that the hollow body obtained in the step of can be inserted therein.

Description

화학물질 저장 및 운반용 다중 쉘형 장치{MULTI-SHELL DEVICE FOR STORING AND TRANSPORTING CHEMICALS}MULTI-SHELL DEVICE FOR STORING AND TRANSPORTING CHEMICALS}

전자 부품의 생산에 있어서, 대개 액상 화학물질이 요구되며, 이들 화학물질은 고순도일 필요가 있다. 특히, 고집적 마이크로칩 생산에 있어서는, 공정 화학물질을 사용하여 생산되는 이들 마이크로칩의 치수가 계속 줄어들고 있기 때문에 매우 높은 순도일 필요가 있다. 일반적으로, 특정 액상 화학물질, 예컨대 전자 산업용 공정 화학물질에 대한 순도 요건은 지난 수년을 지나면서 현저히 증대되었다. 필요한 순도를 갖는 화학물질을 생산하는 것으로는 더 이상 충족시킬 수 없고, 운반, 저장 및 취급 중에 제품이 불순하게 되지 않는 것이 보장되어야만 한다. 또한, 이들 화학물질 중 일부는 공격적이거나 또는 독성이 있으므로, 확실히 안전하게 저장 및 운반하여야 한다. 예컨대, 운반 용기의 손상 또는 누출로 인한 이들 화학물질의 우발적인 누출은 가능한 가장 확실한 정도로 배제되어야 한다. 비용상의 이유로, 단지 크기만 한 패킹 드럼이 액상의 고순도 화학물질을 이송하는 데 사용될 수 있다. 이들 패킹 드럼은 용기의 내용물의 오염을 방지하고, 포크리프트및 이와 유사한 장비로 거칠게 취급될 때에도 파손을 방지하는 방식으로 설계되어야 한다. 또한, 용기는 저비용으로 생산하기가 용이하여야 한다. 이들 용기는 운반시 위험 없이, 포크리프트 트럭과 그 밖의 운반 장비에 의해 이동될 수 있어야 한다.In the production of electronic components, liquid chemicals are usually required, and these chemicals need to be of high purity. In particular, in the production of highly integrated microchips, they need to be of very high purity since the dimensions of these microchips produced using process chemicals continue to shrink. In general, purity requirements for certain liquid chemicals, such as process chemicals for the electronics industry, have increased significantly over the last few years. The production of chemicals with the required purity can no longer be met and it must be ensured that the product is not impure during transportation, storage and handling. In addition, some of these chemicals are aggressive or toxic and must be safely stored and transported. For example, accidental leakage of these chemicals due to damage or leakage of the shipping container should be ruled out to the greatest extent possible. For cost reasons, only large packing drums can be used to transport liquid high purity chemicals. These packing drums should be designed in a manner that prevents contamination of the contents of the container and prevents breakage even when roughly handled with forklifts and similar equipment. In addition, the container should be easy to produce at low cost. These containers should be able to be moved by forklift trucks and other conveying equipment, without risk during transportation.

따라서, 이러한 용기용 재료를 선택할 때 2가지 측면이 고려되어야 한다. 첫째로, 저장 및 운반되는 화학물질과 접촉하는 용기의 벽의 재료에 의한 임의의 오염을 배제하는 측면에서 선택되어야 한다. 운반되는 화학물질의 오염 방지 및 운반되는 화학물질의 가능한 침출에 대한 저항력 이외에도, 용기가 내압성이고, 내충격성이며, 단단하고 그리고 변형 또는 균열되는 경향이 없다는 것을 보장하기 위해, 용기는 또한 충분한 강도뿐만 아니라 어느 정도의 탄성을 가져야 한다. 또한, 용기는 비교적 용량이 크고, 신속하고 쉽게 생산 가능한 것이 바람직하다.Therefore, two aspects should be considered when selecting such container materials. First, it should be chosen in terms of excluding any contamination by the material of the walls of the container in contact with the chemicals stored and transported. In addition to preventing contamination of the chemicals transported and resistance to possible leaching of the chemicals transported, the containers also provide sufficient strength to ensure that the containers are pressure resistant, impact resistant, hard and prone to deformation or cracking. Rather, it must have some degree of elasticity. In addition, it is preferable that the container has a relatively large capacity and that can be produced quickly and easily.

독일 특허 196 28 653호에는 특정 폴리에틸렌, 특히 불안정화된 HD 폴리에틸렌이 전자 산업에 사용되는 액상의 고순도 화학물질용 저장 및 운반 용기의 생산에 매우 적합하다는 것이 공지되어 있다. 특히, 비밀도(specific density)가 0.940 내지 0.970 g/cm3, 특히 0.942 내지 0.961 g/cm3인 HD 폴리에틸렌이 언급되어 있다. 특히, 이는 등록상표 루폴렌(Lupolen) 하에서 분류되는 폴리에틸렌을 포함한다. 루폴렌(등록상표) 6021D, 루폴렌(등록상표) 5021D, 루폴렌(등록상표) 4261AQ149 및 루폴렌(등록상표) 4261AQ135이 예로서 언급되어 있다. 종래 기술에 따르면, 해당 장치는 전술한 재료로 구성된 판을 용접함으로써 생산된다. 상응하게 압출된 판을 용접하면 이러한 용기를 생산하는 데 시간이 많이 소요되고 많은 비용이 들게 된다. 또한, 루폴렌(등록상표) 6021D의 품질 유지 특성은 용접과 그에 따른 용접 시임(seam)으로 인해 만족할 만한 정도로 보장될 수 없다. 한편으로는, 예를 들어 그 용적이 200 ℓ이 되게 단일 블로우에 압출되는 운반 용기를 압출 블로우(blow-extrude)하는 것은 아직 불가능하고, 또는 이러한 방식으로 생산된 용기는 위험 화물 패킹 시험의 기계적 요건을 충족시킬 수 없다.In German patent 196 28 653 it is known that certain polyethylenes, in particular unstable HD polyethylenes, are very suitable for the production of storage and transport containers for liquid high purity chemicals used in the electronics industry. In particular, HD polyethylene with a specific density of 0.940 to 0.970 g / cm 3 , in particular 0.942 to 0.961 g / cm 3 , is mentioned. In particular, this includes polyethylenes classified under the trademark Lupolen. Lupolen® 6021D, Lupolen® 5021D, Lupolen® 4261AQ149 and Lupolen® 4261AQ135 are mentioned by way of example. According to the prior art, the device is produced by welding a plate made of the above-mentioned material. Welding correspondingly extruded plates is time consuming and expensive to produce such containers. In addition, the quality maintenance properties of Lupolen® 6021D cannot be guaranteed to a satisfactory level due to welding and thus welding seams. On the one hand, it is not yet possible to blow-extrude a conveying vessel which is extruded in a single blow, for example to a volume of 200 liters, or the vessel produced in this way is a mechanical requirement of the dangerous cargo packing test. Can not meet.

본 발명은 화학물질, 특히 전자 산업에 사용되는 액상의 고순도 화학물질을 저장 및 운반하기 위한 다중 쉘형 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-shell type device for storing and transporting chemicals, especially liquid high purity chemicals used in the electronics industry.

본 발명의 일 과제는 화학물질, 특히 전자 산업에 사용되는 액상의 고순도 화학물질을 저장 및 운반하기 위한 다른 장치를 제공하는 것이며, 전술한 요건을 충족시키고 나아가 간단하고 신속한 생산을 허용하는 본 발명에 따른 장치의 상응한 생산 방법을 제공하는 것이다.One object of the present invention is to provide another apparatus for storing and transporting chemicals, in particular liquid high-purity chemicals used in the electronics industry, which meets the above requirements and further allows for simple and rapid production. To provide a corresponding method of production of the device.

상기 과제는 청구항 1항에 따른 장치와 청구항 9항에 따른 방법에 의해 해결된다. 다른 실시예 및 장점은 종속항에 기술되어 있다.The problem is solved by an apparatus according to claim 1 and a method according to claim 9. Other embodiments and advantages are described in the dependent claims.

따라서, 본 발명은 화학물질, 특히 전자 산업에 사용되는 액상의 고순도 화학물질의 저장 및 운반용 장치로서, 적어도 다음의 요소를 포함한다.Accordingly, the present invention is a device for the storage and transport of chemicals, in particular liquid high purity chemicals used in the electronics industry, comprising at least the following elements.

a) 무안정화제 HD-PE로 제조되며 내용물과 접하는 내부 쉘 및 이 내부 쉘을 포위하는 폴리에틸렌으로 제조된 하나 이상의 쉘을 포함하는 다중 쉘형 내부 용기와,a) a multi-shell inner container made of a stabilizer HD-PE and comprising an inner shell in contact with the contents and at least one shell made of polyethylene surrounding the inner shell,

b) 플라스틱으로 제조된 무금속 운반 설비b) metal-free conveying equipment made of plastic;

본 발명의 범위 내에서, 무안정화제 HD-PE는 일반적으로 사용되는 안정화제를 사용하지 않으면서 생산된 HD-PE이다. 특히, 일반적으로 사용되는 안정화제로는 당업자에 공지된[참조. 쿤스트슈토페 78(2), 142(1988)] 산화 방지제(antioxidants)가 있다.Within the scope of the present invention, stabilizer HD-PE is HD-PE produced without the use of commonly used stabilizers. In particular, commonly used stabilizers are known to those skilled in the art. Kunststoff 78 (2), 142 (1988)].

본 발명에 따르면, 다층 압출 블로우 방법 또는 공압출(coextrusion)은 고순도 화학물질의 저장 및 운반용 장치를 생산하는 데 사용된다. 본 발명에 따르면, 기계적으로 취약하고 고순도인 무안정화제 HD-PE로 제조된 최내측 쉘이 화학물질과 접촉하는 측에 사용되는 반면에, 최내측 쉘을 포위하는 쉘에 사용되는 재료는 공지의 압출 가능한 재료, 예를 들어 밀도가 0.94 내지 0.97 g/cm3인 일반적인 HD-PE(예컨대, 루폴렌(등록상표) 4261AQ135 또는 루폴렌(등록상표) 5261Z 뿐만 아니라 이에 상응하는 호스탈렌(등록상표) 제품 등)로부터 자유롭게 선택될 수 있다. 다층 압출 블로우법에 의하면 본 발명에 따른 장치의 내부 용기를 하나의 연속 생산 공정에서 생산할 수 있다. 따라서, 현재까지 사용되던 용접 방법에 비하여 상당한 비용과 시간을 절약할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 장치는 단일체로 제조되고 용접 시임 또는 그 밖의 취약 지점들을 갖지 않으므로, 현재까지 알려진 용기보다 압력 및 낙하에 대한 저항력이 상당히 크다. 공압출에서, 폴리머 용융체의 여러 층이 중첩되고 압출 노즐의 내측에서 연결된다. 이러한 다층 노즐은 몇몇 용융체용 입구 및 하나의 공통 출구에 설치된다.According to the present invention, multilayer extrusion blow methods or coextrusion are used to produce devices for the storage and transport of high purity chemicals. According to the present invention, the innermost shell made of mechanically fragile and high purity stabilizer HD-PE is used on the side in contact with the chemical, while the material used for the shell surrounding the innermost shell is known extrusion. Possible materials, such as general HD-PE (e.g., Lupolen® 4261AQ135 or Lupolen® 5261Z with a density of 0.94 to 0.97 g / cm 3 , as well as corresponding Hostalene®) Product, etc.). According to the multilayer extrusion blow method, the inner container of the apparatus according to the invention can be produced in one continuous production process. Therefore, it is possible to save considerable cost and time compared to the welding method used to date. Furthermore, the device according to the invention is made of a single piece and does not have weld seams or other weak points, so the resistance to pressure and drop is considerably greater than that of containers known to date. In coextrusion, several layers of polymer melt overlap and are connected inside the extrusion nozzle. Such multilayer nozzles are installed at several inlets and one common outlet for the melt.

본 발명에 따르면, 장치의 다중 쉘형 내부 용기는 플라스틱으로 제조된 무금속 운반 설비 안에 배치될 수 있다. 무금속 운반 장치는 무금속 플라스틱으로 제조된 견고한 플라스틱 운반 상자인 것이 바람직하다. 다른 바람직한 실시예에서,운반 상자는 운반 중에 부과되는 손상에 대한 보호체의 기능을 하는 통합 팰릿(pallet)을 포함한다. 또한, 상기 통합 팰릿은 본 발명에 따른 장치의 내부 용기를 더 안정화시키고 지지한다.According to the invention, the multi-shell inner container of the device can be arranged in a metal-free conveying facility made of plastic. The metal-free transport device is preferably a rigid plastic transport box made of metal-free plastic. In another preferred embodiment, the carrying box includes an integrated pallet that functions as a protector against damages imposed during transportation. In addition, the integrated pallet further stabilizes and supports the inner container of the device according to the invention.

무안정화제 HD-PE는 비밀도가 0.940 내지 0.970 g/cm3, 특히 0.942 내지 0.961 g/cm3, 가장 바람직하게는 0.946 내지 0.960 g/cm3인 폴리에틸렌인 것이 바람직하며, 이러한 타입의 폴리에틸렌은 불순물과 같은 입자의 극소량을 방출한다.The stabilizer HD-PE is preferably polyethylene having a secretivity of 0.940 to 0.970 g / cm 3 , in particular 0.942 to 0.961 g / cm 3 , most preferably 0.946 to 0.960 g / cm 3 , this type of polyethylene being an impurity Emits very small amounts of particles such as

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 무안정화제 HD-PE는 비밀도가 0.940 내지 0.970 g/cm3, 특히 0.942 내지 0.961 g/cm3, 가장 바람직하게는 0.946 내지 0.960 g/cm3인 폴리에틸렌인 것이며, 이러한 타입의 폴리에틸렌은 염기성, 중성, 산성의 고순도 화학물질과 접할 때 다음 리스트에 따른 다음 이온 불순물 중 하나 이상을 방출한다.According to another embodiment of the invention, the stabilizer HD-PE is a polyethylene having a secretivity of 0.940 to 0.970 g / cm 3 , in particular 0.942 to 0.961 g / cm 3 , most preferably 0.946 to 0.960 g / cm 3 . Polyethylene of this type emits one or more of the following ionic impurities according to the following list when contacted with basic, neutral and acidic high purity chemicals.

Al ≤60 ng/g,Al ≤60 ng / g,

Ca ≤60 ng/g,Ca ≤60 ng / g,

Fe ≤63 ng/g,Fe ≤ 63 ng / g,

Mg ≤16 ng/g,Mg ≤ 16 ng / g,

Ti ≤4 ng/g,Ti ≤ 4 ng / g,

Zn ≤6 ng/g,Zn ≤ 6 ng / g,

Mn ≤0.3 ng/g,Mn ≤0.3 ng / g,

Cu ≤1.5 ng/g,Cu ≤1.5 ng / g,

또한, 불안정화된 HD-PE는 염기성 또는 산성의 고순도 화학물질과 접할 때 극소량의 이온 불순물을 방출시키는 저함량의 촉매 잔류물에 의해 특징지어진다. 또한, 저장 또는 운반되는 화학물질과 재료 사이의 상호 작용에 의해 비교적 저함량의 입자가 생성된다. 입자의 함량은 다음과 같다.In addition, destabilized HD-PE is characterized by low levels of catalyst residues that release trace amounts of ionic impurities when encountered with basic or acidic high purity chemicals. In addition, relatively low content particles are produced by the interaction between the chemicals and the materials stored or transported. The content of particles is as follows.

입자 ( ≤0.5 ㎛) : 함유 ( ≤5/㎖ 액체),Particles (≦ 0.5 μm): containing (≦ 5 / ml liquid),

입자 ( ≤0.2 ㎛) : 함유 ( ≤50/㎖ 액체),Particles (≦ 0.2 μm): containing (≦ 50 / ml liquid),

입자 ( ≤0.1 ㎛) : 함유 ( ≤500/㎖ 액체).Particles (≦ 0.1 μm): containing (≦ 500 / ml liquid).

루폴렌(등록상표) 4261A!149 란 등록상표로 시판되는 HD-PE가 특히 바람직하다. 이 물질은 고순도 화학물질용에서 요구되는 순도를 갖는다. 또한, 이 재료는 압출하기에 매우 적합하다.Particularly preferred is HD-PE, which is available under the registered trademark Lululene® 4261A! 149. This material has the purity required for high purity chemicals. This material is also very suitable for extrusion.

상기 장치의 적어도 하나 이상의 쉘, 바람직하게는 최외측 쉘은 압출 가능한 폴리머 또는 코폴리머, 바람직하게는 비밀도가 0.940 내지 0.970 g/cm3, 특히 0.942 내지 0.961 g/cm3, 가장 바람직하게는 0.946 내지 0.960 g/cm3인 HD-PE로 제조되는 것이 바람직하다.At least one shell of the device, preferably the outermost shell, is an extrudable polymer or copolymer, preferably has a hermeticity of 0.940 to 0.970 g / cm 3 , in particular 0.942 to 0.961 g / cm 3 , most preferably 0.946 It is preferably made of HD-PE, which is from -0.960 g / cm 3 .

바람직한 실시예에 따르면, 최외측 층은 루폴렌(등록상표) 5261D, 루폴렌(등록상표) 4261AQ135, 호스탈렌(등록상표) GM6255, 피나(등록상표) 56020, 보레알리스(등록상표) 8214, 스태밀란(등록상표) 7731 과 7890, 대플렌(등록상표) AH5493 으로 이루어진 그룹에서 선택되는 하나 이상의 HD-PE 또는 2개 이상의 상기 그룹의HD-PE의 혼합물을 포함한다.According to a preferred embodiment, the outermost layer is Lupolene (R) 5261D, Lupollen (R) 4261AQ135, Hostalene (R) GM6255, Pina (R) 56020, Borealis (R) 8214, One or more HD-PEs or a mixture of two or more of these groups of HD-PEs selected from the group consisting of Stamilan® 7731 and 7890, Daplan® AH5493.

또 다른 바람직한 실시예에 따르면, 최외측 층은 안료를 포함하여, 자외선에 대해 층을 보호한다. 따라서, 장치는 특히 운반 중에 일어나는 입사 광선에 의해 야기되는 임의의 손상을 방지한다. 최외측 층은 기계적 안정성에 관한 그 특성을 유지한다. 사용되는 안료는 검댕(soot)인 것이 바람직하다. 그러나, 석영과, 일반적인 마스터 배치와, 그리고 구리-프탈로시아닌 또는 TiO2뿐만 아니라 유기성 자외선 안정화제 및 비페닐 합성물 등과 같은 그 외의 일반적인 안료도 사용될 수 있다.According to another preferred embodiment, the outermost layer comprises a pigment to protect the layer against ultraviolet radiation. Thus, the device prevents any damage caused by incident light rays, especially during transportation. The outermost layer retains its properties regarding mechanical stability. The pigment used is preferably soot. However, quartz, a general master batch, and other common pigments such as copper-phthalocyanine or TiO 2 as well as organic ultraviolet stabilizers and biphenyl compounds and the like can also be used.

본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따르면, 본 발명에 의한 장치의 압력, 낙하 또는 충격에 대한 저항력을 증대시키기 위하여, 최외측 층은 예를 들어, 유리 섬유에 의해 또는 폴리머와 같은 기계적으로 더 안정한 재료를 첨가함으로써 보강된다. 폴리아미드로 제조된 작은판이 상기한 바와 같이 최외측 층을 보강하기 위해 통합되는 것이 바람직하다. 이를 위해, 예컨대 실러(selar)와 같은 PE-합성물이 사용될 수 있다.According to another preferred embodiment of the present invention, in order to increase the resistance to pressure, drop or impact of the device according to the invention, the outermost layer is made of, for example, glass fiber or a mechanically more stable material such as a polymer. It is reinforced by adding. It is preferred that a plate made of polyamide be integrated to reinforce the outermost layer as described above. For this purpose, a PE-composite such as for example a sealer can be used.

특히 바람직한 실시예에 따르면, 장치는 2개의 쉘로 구성된다. 루폴렌(등록상표) 4261AQ149로 제조되는 것이 바람직한 최내측 쉘은 벽의 두께의 20 내지 40%를 차지하는 반면에, 최외측 층은 이에 상응하게 60 내지 80%를 차지한다. 이러한 구조는 매우 안정적인 것으로 판명되었다.According to a particularly preferred embodiment, the device consists of two shells. The innermost shell, preferably made of Lupolen® 4261AQ149, accounts for 20-40% of the thickness of the wall, while the outermost layer accounts for 60-80% accordingly. This structure proved to be very stable.

바람직한 다른 실시예에 따르면, 장치는 3개 이상의 층을 포함하며, 하나 이상의 중간층은 생산에서의 폐기물로 구성된다. 이러한 타입의 폐기물은 소위 "군집 폐기물(clump waste)"이라 불리는 것으로, 장치의 "최종 형성" 중에 상단 및 하단으로부터 떨어내어지는 부품과 관련된 것이다.According to another preferred embodiment, the device comprises three or more layers, wherein the one or more intermediate layers consist of waste in production. This type of waste is called "clump waste" and is associated with parts falling off the top and bottom during the "final formation" of the device.

본 발명에 따른 장치는 하나 이상의 개구, 바람직하게는 복수 개의 개구를 구비하는 것이 바람직하다. 그 안에는, 개구는 직경이 ≤150 mm 인 것이 바람직하며, ≤70 mm 인 것이 가장 바람직하다. 개구는 플런저 관 또는 플러그 스토퍼를 수납하는 기능을 한다. 이들은 PE-HD, PFA(perfluor alkoxy polymers), 폴리프로필렌, PVdF 및 FEP(perfluorized polyethylene propylene) 중 하나 이상의 물질로 제조되는 것이 바람직하다.The device according to the invention preferably has one or more openings, preferably a plurality of openings. In it, the opening preferably has a diameter of ≦ 150 mm, most preferably ≦ 70 mm. The opening serves to receive the plunger tube or plug stopper. They are preferably made of at least one of PE-HD, perfluor alkoxy polymers (PFA), polypropylene, PVdF and perfluorized polyethylene propylene (FEP).

특정 몰드를 블로우 몰드에 삽입함으로써, 또는 플런저 관이나 연결 시스템 등과 같은 다양한 압출 시스템의 해당 어댑터에 의해서 상기 개구를 적합하게 형성할 수 있다. 이로써, 제품을 용기에 채우고 및/또는 용기로부터 빼내는 동안 매우 낮은 수준의 오염이 일어난다.The opening can be suitably formed by inserting a particular mold into the blow mold or by corresponding adapters of various extrusion systems such as plunger tubes or connection systems. This results in a very low level of contamination while filling the product into the container and / or removing it from the container.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 장치는 충진 용량이 ≥200 ℓ, 바람직하게는 ≥500 ℓ이다. 다층 압출 블로우법에 의해 그리고 무금속 운반 설비를 추가로 제공하여 생산함으로써, 안전 요건을 충족시키는 고순도 화학물질 저장 및 운반용 장치를 간단하고 신속하게 생산할 수 있게 되었다. 이로써, 상당한 비용과 시간의 절약이 야기된다.According to a preferred embodiment of the invention, the device has a filling capacity of ≧ 200 L, preferably ≧ 500 L. By the production of multilayer extrusion blows and the provision of additional metal-free conveying equipment, it is possible to simply and quickly produce high-purity chemical storage and transportation devices that meet safety requirements. This results in significant cost and time savings.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 무금속 운반 설비는 다중 쉘형 내부 용기를 완전히 포위할 수 있도록 설계되어 있다. 무금속 운반 설비는 고형 플라스틱으로 제조된 무금속 상자이며, 그 안에 다중 쉘형 내부 용기가 배치될 수 있는것이 바람직하다. 바람직한 실시예에 따르면, 운반 상자는 LLD-PE로 제조된다. 이 실시예에서, 상자는 외부층과 내부층이 모두 회전 소결되는 이층 방법에 따라 제조되며, 예를 들어 펜탄 또는 헥산이 점재되어 있는 LLPD-PE 입자를 사용하여 발포된다. 이 운반 상자에는 그것과 동일한 재료로 제조되는 것이 바람직한 보호 덮개가 마련되는 것이 바람직하며, 이에 의해 운반 상자는 그 내부에 포함된 내부 용기가 외부 영향에 대해 모두 보호되도록 완전히 밀폐될 수 있다. 전술한 바와 같이, 운반 상자의 내부에는 팰릿이 마련되어 더 안정화되고 운반에 의해 야기되는 손상으로부터 내부 용기를 보호한다.According to a preferred embodiment of the present invention, the metal-free conveying facility is designed to be able to completely enclose a multi-shell inner container. The metal-free transport facility is a metal-free box made of solid plastic, in which multiple shell-type inner containers can be arranged. According to a preferred embodiment, the transport box is made of LLD-PE. In this embodiment, the box is made according to a two-layer method in which both the outer and inner layers are rotationally sintered and foamed using, for example, LLPD-PE particles dotted with pentane or hexane. This carrying box is preferably provided with a protective cover which is preferably made of the same material, whereby the carrying box can be completely sealed so that the inner container contained therein is all protected against external influences. As mentioned above, pallets are provided inside the transport box to further stabilize and protect the inner container from damage caused by transport.

운반 상자는 회전 소결법에 의해 제조되는 것이 바람직하다. 이 생산 방법은 내충격성이고 낮은 생산 비용을 수반하는 상자를 만들어 낸다.The transport box is preferably manufactured by a rotary sintering method. This production method produces a box that is impact resistant and has low production costs.

또한, 본 발명은 화학물질, 특히 전자 산업용 고순도 화학물질을 저장 및 운반하기 위한 장치를 생산하기 위한 공압출 방법에 관한 것이며, 이 방법은 적어도 다음의 단계를 포함한다.The invention also relates to a coextrusion method for producing a device for storing and transporting chemicals, in particular high purity chemicals for the electronics industry, which method comprises at least the following steps.

a. 블로우 방법으로 무안정화제 HD-PE로 제조된 중공형 본체를 생산하는 단계;a. Producing a hollow body made of stabilizer HD-PE by a blow method;

b. a)의 단계에서 얻은 중공형 본체를 폴리에틸렌으로 제조된 하나 이상의 쉘로 동시에 포위하는 단계(공압출);b. simultaneously enclosing the hollow body obtained in step a) with at least one shell made of polyethylene (coextrusion);

c. 폴리에틸렌으로 제조된 하나 이상의 쉘로 포위된 a)의 단계에서 얻은 중공형 본체가 그 내부에 삽입될 수 있도록, 플라스틱으로 제조된 용기를 생산하는 단계.c. Producing a container made of plastic so that the hollow body obtained in step a) surrounded by at least one shell made of polyethylene can be inserted therein.

본 발명에 따른 방법 중 가소화(plastification) 단계는 불활성 가스의 첨가 조건하에서 수행되는 것이 바람직하다. 불활성 가스로는 질소가 사용되는 것이 바람직하다. 이는 블로우 방법에 의한 생산에 있어서 공기 대신에 블로우 가스로서 불활성 가스, 바람직하게는 질소가 사용된다는 것을 의미한다.The plastification step of the process according to the invention is preferably carried out under the conditions of addition of an inert gas. Nitrogen is preferably used as the inert gas. This means that in production by the blow method an inert gas, preferably nitrogen, is used as blow gas instead of air.

본 발명에 따라 장치를 생산하는 중에 질소를 첨가하면, 주변 공기로부터 산소를 저지시키거나 생산에 필요한 폴리에틸렌을 차폐하여, 각 방법 단계 중에 불안정화된 폴리에틸렌의 산화성 간섭을 피한다. 산화성 간섭은, 전술한 바와 같이 예를 들어 저장된 산소 분자로 인한 격자형 방해물이거나 매듭형 형성체일 수 있다.The addition of nitrogen during the production of the device according to the invention prevents oxygen from surrounding air or shields the polyethylene for production, thereby avoiding oxidative interference of the polyethylene destabilized during each process step. Oxidative interference may be a lattice blockage or knotted formation due to, for example, stored oxygen molecules, as described above.

본 발명에 따른 방법으로 인해 본 발명에 따른 다중 쉘형 장치를 간단하고 빠르게 생산할 수 있게 된다. 실제로, 내부 용기를 형성하는 데 단지 하나의 연속 작업 공정이 요구된다. 미리 제조된 판을 뒤이어 용접하는 단계가 생략되므로, 완성된 장치는 용접 시임을 갖지 않는다. 생산 중에 개개의 층을 직접 연결함으로써, 특정 안정도에 이를 수 있고 개개의 층 사이가 특히 견고하게 접촉할 수 있다.The method according to the invention makes it possible to produce a multi-shell type device according to the invention simply and quickly. In practice, only one continuous working process is required to form the inner container. Since the subsequent welding of the prefabricated plate is omitted, the finished device does not have a weld seam. By directly connecting the individual layers during production, certain stability can be achieved and the contact between the individual layers can be particularly firmly contacted.

Claims (11)

화학물질, 특히 전자 산업용 고순도 화학물질 저장 및 운반용 장치로서,A device for storing and transporting chemicals, especially high purity chemicals for the electronics industry, a. 무안정화제 HD-PE로 제조되며 내용물과 접하는 내부 쉘 및 이 내부 쉘을 포위하는 폴리에틸렌으로 제조된 하나 이상의 쉘을 포함하는 다중 쉘형 내부 용기와,a. A multi-shell inner container made of an stabilizer HD-PE and comprising an inner shell in contact with the contents and at least one shell made of polyethylene surrounding the inner shell, b. 플라스틱으로 제조된 무금속 운반 설비b. Metal-free conveying equipment made of plastic 를 적어도 포함하는 것인 화학물질 저장 및 운반용 장치.At least comprising a device for storing and transporting chemicals. 제1항에 있어서, 상기 장치의 내부 용기는 블로우 방법에 의해 생산되는 것을 특징으로 하는 화학물질 저장 및 운반용 장치.The device of claim 1, wherein the inner container of the device is produced by a blow method. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 장치의 내부 용기는 압출 블로우법에 의해 생산되는 것을 특징으로 하는 화학물질 저장 및 운반용 장치.The device of claim 1 or 2, wherein the inner container of the device is produced by an extrusion blow method. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 무안정화제 HD-PE는 비밀도가 0.940 내지 0.970 g/cm3인 폴리에틸렌인 것을 특징으로 하는 화학물질 저장 및 운반용 장치.The apparatus of claim 1, wherein the stabilizer HD-PE is polyethylene having a secretivity of 0.940 to 0.970 g / cm 3 . 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 무안정화제 HD-PE는 비밀도가 0.940내지 0.970 g/cm3인 폴리에틸렌이며, 이러한 타입의 폴리에틸렌은 염기성, 중성, 산성의 고순도 화학물질과 접할 때 다음 리스트에 따른 다음 이온 불순물 중 하나 이상을 방출하는 것을 특징으로 하는 화학물질 저장 및 운반용 장치.The method according to any one of the preceding claims, wherein the stabilizer HD-PE is a polyethylene having a hermeticity of 0.940 to 0.970 g / cm 3 , and this type of polyethylene is in contact with basic, neutral and acidic high purity chemicals. Apparatus for the storage and transportation of chemicals, characterized in that for releasing one or more of the following ionic impurities according to: Al ≤60 ng/g,Al ≤60 ng / g, Ca ≤60 ng/g,Ca ≤60 ng / g, Fe ≤63 ng/g,Fe ≤ 63 ng / g, Mg ≤16 ng/g,Mg ≤ 16 ng / g, Ti ≤4 ng/g,Ti ≤ 4 ng / g, Zn ≤6 ng/g,Zn ≤ 6 ng / g, Mn ≤0.3 ng/g,Mn ≤0.3 ng / g, Cu ≤1.5 ng/g,Cu ≤1.5 ng / g, 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 무금속 운반 설비는 무금속 플라스틱으로 제조된 운반 상자인 것을 특징으로 하는 화학물질 저장 및 운반용 장치.The device of claim 1, wherein the metal-free transport facility is a transport box made of metal-free plastic. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 장치는 충진 용량이 ≥200 ℓ인 것을 특징으로 하는 화학물질 저장 및 운반용 장치.The device of claim 1, wherein the device has a fill capacity of ≧ 200 liters. 선행항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 무금속 상자는 내부 용기를 완전히 포위할 수 있는 방식으로 제조되는 것을 특징으로 하는 화학물질 저장 및 운반용장치.The device of claim 1, wherein the metal-free box is manufactured in such a way that it can completely enclose an inner container. 각각 청구항 1항에 따른 하나 이상의 다중 쉘형 내부 용기와, 하나 이상의 무금속 운반 설비를 포함하며, 화학물질, 특히 전자 산업용 고순도 화학물질을 저장 및 운반하기 위한 장치를 생산하기 위한 공압출 방법으로서,A coextrusion method for producing a device for storing and transporting chemicals, in particular high purity chemicals for the electronics industry, each comprising at least one multi-shell inner container according to claim 1 and at least one metal-free conveying facility, a. 블로우 방법으로 무안정화제 HD-PE로 제조된 중공형 본체를 생산하는 단계와,a. Producing a hollow body made of stabilizer HD-PE by a blow method, b. a)의 단계에서 얻은 중공형 본체를 폴리에틸렌으로 제조된 하나 이상의 쉘로 동시에 포위하는 단계(공압출)와,b. simultaneously enclosing the hollow body obtained in step a) with at least one shell made of polyethylene (coextrusion), c. 폴리에틸렌으로 제조된 하나 이상의 쉘로 포위된 a)의 단계에서 얻은 중공형 본체가 그 내부에 삽입될 수 있도록, 플라스틱으로 제조된 용기를 생산하는 단계c. Producing a container made of plastic so that the hollow body obtained in step a) surrounded by at least one shell made of polyethylene can be inserted therein 를 적어도 포함하는 방법.At least including the method. 제9항에 있어서, a) 생산 단계와 b) 포위 단계는 불활성 가스의 분위기 하에서 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.10. The process according to claim 9, wherein the a) production step and the b) enveloping step are carried out under an atmosphere of inert gas. 제9항 또는 제10항에 있어서, c) 생산 단계에서 용기는 회전 소결되는 것을 특징으로 하는 방법.The process according to claim 9 or 10, wherein in the production step the vessel is rotationally sintered.
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