KR19980018384A - Production control method and production control device - Google Patents
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Abstract
제조 라인을 제어하는 생산제어 장치는 가공처리 플로우 기억 수단과, 가공처리 조건 기억 수단과, 피가공물체의 상황를 기억하는 작업 상황 기억 수단과, 운반 기억 수단과, 실질적 진행 시간 연산 수단과, 가공처리 이력 데이터 기억 수단과, 가공처리 경로 설정 수단과, 상기 주목할만한 다양한 수단을 제어하는 중앙 가공처리 수단과, 또한 적절한 정보 입력 수단을 가진다.The production control apparatus for controlling the production line includes processing flow storage means, processing condition storage means, working condition storage means for storing the state of the workpiece, transport storage means, substantial travel time calculation means, and processing History data storage means, processing path setting means, central processing means for controlling the above mentioned various means, and also suitable information input means.
Description
본 발명은 생산 제어 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 더 상세히는, 복수의 처리로 이루어진 소정의 수순에 따라 피가공물체로부터 소정의 가공물체를 제조하는 경우에, 각각의 처리 실적에 의해 산출된 처리 시간으로부터 필요한 처리 시간을 예측하고, 납기를 고려하여 생산 작업의 가공 처리 순서, 즉, 가공 경로를 결정하는 생산 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a production control method and an apparatus thereof, and more particularly, to a process calculated by each process result when manufacturing a predetermined workpiece from a workpiece according to a predetermined procedure consisting of a plurality of processes. The present invention relates to a production control method for estimating the required processing time from time and determining a processing sequence of a production operation, that is, a processing path in consideration of the delivery date.
특히, 본 발명은 가공 생산으로서 반도체 장치의 제조를 제어하기 위한 생산 제어 방법 및 장치에 관한 것이다.In particular, the present invention relates to a production control method and apparatus for controlling the manufacture of semiconductor devices as processing production.
종래에는, 복수로 이루어진 소정의 가공 처리를 소정의 플로우로 실행하므로써 소정의 피가공물체로부터 소정의 가공물체를 제조하는 생산 제어 방법 및 그 장치에 관한 기술이 많이 개시되어 있다.DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the technology regarding the production control method and apparatus which produce a predetermined | prescribed processed object from a predetermined to-be-processed object by performing a predetermined | prescribed several process process by multiple flows are disclosed.
특히, 그 가공물체로서 반도체 장치를 고려하는 경우, 그 반도체 장치의 제조에 있어서, 피가공물체를 처리하는 각각의 가공 처리의 작업 순위를 결정하는 방법으로서는 다음과 같은 형태의 기술이 사용되었다.In particular, in the case of considering a semiconductor device as the workpiece, in the manufacture of the semiconductor device, a technique of the following form has been used as a method for determining the work order of each processing for processing a workpiece.
즉, 제 1 방법으로서는, 제조 개시일로부터 납기기간의 일수와 그 피가공물체의 처리 공정수를 카운트하여 1 일에 처리할 수 있는 처리목표 공정수를 구한다.That is, as the first method, the number of processing target steps that can be processed in one day is counted by counting the number of days between delivery devices and the number of processing steps of the workpiece from the start date of manufacture.
생산라인에서는, 각각의 처리설비앞에 처리를 기다리는 피가공물체군중에서 처리 목표 공정수를 달성할 때까지의 잔존 공정수가 가장 큰 피가공물체부터 가공 처리 작업을 행하였다.In the production line, the processing work was performed from the work object having the largest number of remaining steps until the target processing step number was achieved among the work object groups waiting for processing in front of each processing equipment.
제 2 방법으로서는, 생산 개시일, 납기일 및 가공물체 품종을 고려하여 생산 개시 시간에 우선도를 설정한다. 한편, 생산 라인에서는, 각각의 가공 처리 설비앞에 처리를 기다리는 피가공물체군중에서 우선도가 높은 생산부터 처리 작업을 행하였다.As a 2nd method, priority is set at a production start time in consideration of the production start date, the delivery date, and the processed object variety. On the other hand, in a production line, processing operation was performed from production of high priority among the to-be-processed object group waiting for a process in front of each processing facility.
그러나, 상술한 종래의 문제점으로서, 제 1 방법에서는, 가공 처리 공정 플로우내의 각각의 공정 처리 시간이 동일하면 유효한 효과를 얻는 것이 가능하지만, 가공물체가 반도체 장치이면, 품종의 다양화, 미세 가공을 위한 처리 공정 등의 영향에 의해 처리 공정 플로우내의 각각의 공정 처리 시간의 값이 크게 다르게 된다는 점이다.However, in the above-described conventional problem, in the first method, it is possible to obtain an effective effect if the respective processing times in the processing flow are the same. However, if the processed object is a semiconductor device, variety of varieties and fine processing can be achieved. The value of each process treatment time in the treatment process flow is greatly different due to the influence of the treatment process.
구체적으로, 주어진 가공물체의 가공 처리 플로우가 가공 처리 공정 (A), 가공 처리 공정 (B), 가공 처리 공정 (S), 가공 처리 공정 (T) 의 20 공정이고, 가공 처리 공정 (O) 의 처리 시간은 20 시간이고, 이외의 나머지 가공 처리 시간은 30 분 내지 40 분인 것으로 가정한다.Specifically, the processing flow of the given processing object is 20 steps of the processing step (A), the processing step (B), the processing step (S), and the processing step (T), and the processing step (O) It is assumed that the treatment time is 20 hours, and the remaining processing treatment times other than 30 minutes to 40 minutes.
이 가공 처리를 2일간에 제조하는 경우, 가공 처리 목표 공정수는 10 공정/1일로 한다. 그러나, 가공 처리 공정 (O) 의 가공 처리 시간이 20 시간이므로, 10 공정/1일의 가공 처리 목표 공정수는 사실상 실행 불가능한 값이다.When this processing is manufactured in two days, the number of processing targets is 10 steps / day. However, since the processing time of the processing step (O) is 20 hours, the number of processing target target steps of 10 steps / day is practically infeasible value.
또한, 동일한 가공 처리 공정에서도 가공 처리 설비, 가공 처리 매수에 의해 가공 처리 시간에 큰 오차가 발생하므로, 상술한 종래의 제 1 방법에서는 유효한 효과를 얻는 것이 곤란하다.Further, even in the same processing step, a large error occurs in the processing time due to the processing equipment and the number of processing, and thus it is difficult to obtain an effective effect in the above-described conventional first method.
제 2 방법에서는, 사람의 경험이나 감각, 또는 주관에 의해 우선도가 부여되므로, 무의미하게 높은 우선도가 부여되고, 제조 라인에서 높은 우선도의 생산이 과도하게 되어 우선도자체의 의미가 없어지게 되는 문제가 있었다.In the second method, since priority is given by human experience, sensation, or subjectivity, meaninglessly high priority is given, and high priority production is excessive in the production line, so that the priority of the priority itself is lost. There was a problem.
또한, 이 방법에서는, 한번 설정한 우선도를 상황에 따라 도중에 변경할 수 없으므로, 과도하게 가공 처리 공정이 진행되는 문제점도 있었다.Moreover, in this method, since the priority set once cannot be changed midway depending on a situation, there also existed a problem that processing process proceeds excessively.
또한, 상술한 종래의 방법을 다시 개량하여 보다 효과적으로 가공물체의 제조를 행하기 위한 방법으로서, 예를 들어, 특개평 4-303256, 특개평 5-114535, 특개평 1-257553, 특개평 4-199401 의 각 공보에 개시되어 있는 시케쥴링 기술이 방법이 제안되었다.Moreover, as a method for further improving the conventional method mentioned above and manufacturing a processed object more effectively, For example, Unexamined-Japanese-Patent 4-303256, Unexamined-Japanese-Patent 5-114535, Unexamined-Japanese-Patent 1-257553, A method has been proposed for the scheduling techniques disclosed in each publication of 199401.
그러나, 상기의 스케줄링 기술의 경우, 일반적으로, 시뮬레이션에 의해 가공물체의 플로우를 예측하여 각각의 가공 처리를 스케쥴링하는 방법이 사용되었다.However, in the case of the above-described scheduling technique, in general, a method of predicting the flow of the workpiece by simulation to schedule each machining process is used.
이 방법을 사용하면, 품종수, 제조 생산수가 적은 잡 플로우 (job-flow) 형의 제조에서는 문제가 없다.If this method is used, there is no problem in the production of a job-flow type having a small number of varieties and a production number.
그러나, 다품종으로, 대량의 생산을 제조하는 경우, 시뮬레이션을 행하기 위하여 장시간을 필요로 하므로, 실시간 (real time) 에 정확하게 예측 효과를 얻는 것이 곤란하다.However, in the case of producing a large amount of production in a variety of varieties, it is difficult to obtain a predictive effect accurately in real time because a long time is required for simulation.
이 문제는, 반도체 장치를 제조하는 잡 샵 (job-shop)에서, 다품종 생산은 다수의 가공 처리 플로우와 대량의 가공 처리 설비, 가공 처리 조건을 필요로 하므로, 상술한 문제점이 보다 현저하게 발생한다.This problem is more prominent in the job shop for manufacturing a semiconductor device, since the production of a variety of products requires a large number of processing flows, a large amount of processing equipment, and processing conditions. .
따라서, 종래에서는, 복수의 가공 처리 공정을 통해 소정의 피가공물체로부터 소정의 가공물체를 제조할 때, 효율이 양호하고, 플렉시블하며 생산의 납기와 잔존 가공 처리 공정을 고려한 가공물체의 생산 제어 방법을 성취할 수 없었다.Therefore, in the related art, when manufacturing a predetermined workpiece from a predetermined workpiece through a plurality of processing steps, the production control method of the workpiece to be efficient, flexible, and taking into account the delivery time and the remaining processing step of production. Could not be achieved.
상술한 종래의 단점을 고려하여, 본 발명의 목적은 사람의 경험이나 감각, 또는 주관을 개입하지 않고 처리 생산의 납기와 잔존하는 가공 처리를 고려하여 설정된 우선도에 따라 피가공물체를 처리하므로써 상술한 기술을 개선한 실시간, 플렉시블 가공 처리 생산 생산 제어 방법 및 장치를 제공하는 것이다.In view of the above-mentioned drawbacks of the prior art, the object of the present invention is to be described by treating the workpiece according to the set priority in consideration of the delivery process and the remaining processing of the treatment production without intervention of human experience, sensation, or subjectivity. It is to provide a real-time, flexible processing production production control method and apparatus that have improved the technology.
상기 목적을 이루기 위하여, 본 발명은 이하의 기본적인 기술 구성을 가진다.In order to achieve the above object, the present invention has the following basic technical configuration.
특히, 본 발명의 제 1 태양은 소정의 플로우에 따라 복수의 서로 다른 소정의 가공처리 공정을 통과하도록 물체를 가공처리하여 가공처리된 물체를 제조하는 방법이며, 상기 방법은, 피가공물체를 가공처리하는 각 가공처리 공정에서 가공처리 상황을 기억하는 작업 상황 기억 수단과, 피가공물체의 납기를 기억하는 납기 기억 수단과, 피가공물체에 관하여 각 가공처리 공정의 개시 시간과 종료 시간을 취득하는 타이머 수단과, 피가공물체에 관하여 각 가공처리 공정을 위해 가공처리 플로우를 기억하는 가공처리 플로우 기억 수단과, 또한 가공처리 제어 수단으로서 가공처리되는 물체에 관하여 각 가공처리 공정을 위해 가공처리 조건을 기억하는 가공처리 조건 기억 수단을 준비하는 것과,In particular, the first aspect of the present invention is a method of processing an object so as to pass through a plurality of different predetermined processing steps according to a predetermined flow to produce a processed object, and the method comprises processing a workpiece. Work condition storage means for storing the processing status in each processing step to be processed, delivery date storage means for storing the delivery date of the object to be processed, and obtaining start time and end time of each processing step for the workpiece. Processing means for processing each processing step with respect to a processing-process flow storage means for storing a processing flow for each processing step with respect to a workpiece, and a processing control means. Preparing processing condition storage means for storing;
가공처리 개시 및 종료 시간에 관하여 정보를 이용하는 상기 피가공물체에 관해 소정의 가공처리에서 실가공처리 시간을 산출하고, 실가공처리 시간을 근거로 하여 실가공처리 시간을 연속적으로 산출하는 것과,Calculating the actual processing time in a predetermined processing for the object to be processed using information about the processing start and end time, and continuously calculating the processing time based on the processing time;
소정의 가공처리 이력 데이터 기억 수단에서 이력 데이터로서 실가공처리 시간에 관하여 데이터를 기억하는 것과,Storing data with respect to the actual processing time as history data in a predetermined processing history data storage means;
이력 데이터로부터 가공처리에서 최신의 기준 가공처리 시간을 연속적으로 산출하는 방법과, 또한A method of continuously calculating the latest reference machining time in machining from historical data; and
기준 가공처리 시간을 취하는 데이터로부터 피가공 물체에 관하여, 잔존하는 가공처리 공정, 납기, 및 잔존하는 각 가공처리 공정의 실가공처리 시간을 고려할 때, 가공처리 경로를 결정하는 것을 포함한다.Determining a processing path in consideration of the remaining processing step, the delivery date, and the actual processing time of each remaining processing step with respect to the workpiece to be processed from the data taking the standard processing time.
본 발명의 제 2 태양은 소정의 플로우에 따라 복수의 서로다른 소정의 가공처리 공정을 통과하도록 물체를 가공처리하여 가공처리된 물체를 제조하는 방법이며, 상기 제어 장치는, 가공처리 공정의 플로우를 기억하는 가공처리 공정 플로우 기억 수단과, 각 가공처리 공정에 대해 가공처리 조건을 기억하는 가공처리 조건 기억 수단과, 각 가공처리 공정에 가공처리 상황을 기억하는 작업 조건 기억 수단과, 가공처리된 물체의 납기를 기억하는 납기 기억수단과, 각 가공처리 공정에서 피가공 물체를 가공처리 하기 위하여 현재 요구되는 실가공처리 시간을 연속적으로 산출하는 실가공처리 시간 연산 수단과, 실가공처리 시간 연산 수단으로부터 출력된 정보를 기억하는 가공처리 이력 데이터 기억 수단과, 다양한 수단으로부터의 정보를 근거로한, 가공처리되는 상기 물체에 관하여 복수의 잔존 가공처리 공정 가공처리 경로를 설정하는 가공처리 경로 설정 수단과, 또한 다양한 수단을 제어하는 중앙 가공처리 수단을 포함한다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of processing an object so as to pass through a plurality of different predetermined processing steps according to a predetermined flow, and manufacturing the processed object. Processing step flow storage means for storing, processing condition storage means for storing processing conditions for each processing step, working condition storage means for storing processing conditions in each processing step, and processed objects From the delivery date storage means for storing the delivery date of the present invention, the actual processing time calculation means for continuously calculating the actual processing time currently required to process the workpiece in each processing step, and the actual processing time calculation means. From processing history data storage means for storing the outputted information and various means The information on the basis of setting processing path means for establishing a plurality of the remaining machining process processing path with respect to the object to be processed, and also includes a central processing unit that controls various means.
본 발명에 따른 생산 제어 방법 및 생산 제어 장치가 상술한 기술적 구성, 게다가 모든 피가공 물체에 대해 가공처리 플로우를 기억하는 수단과, 또한 가공처리 상황과 가공처리 조건 및 가공처리 라인상에서 피가공 물체에 대한 납기 수단을 이용하기 때문에, 물체에 대해 잔존 가공처리되는 각 물체의 가공처리에 관하여 우선도를 결정하는 수단과 마찬가지로, 수단은 실시간에서 현재에 연속적으로 피가공 물체에 대해 실가공처리 시간에서 산출하는데 제공되고, 피가공 물체의 생산은 이러한 우선도를 근거로 제어된다.The production control method and the production control apparatus according to the present invention provide a means for storing the processing flow for the above-described technical configuration, as well as for all the processed objects, and also for processing objects, processing conditions and processing objects on the processing line. As a means for determining the priority with respect to the machining of each object to be processed for the object because of using the delivery date for the object, the means are calculated from the actual processing time for the object to be processed continuously in real time. Production of the workpiece is controlled on the basis of this priority.
이러한 시스템의 결과는 실시간 가공처리 조건이 각 피가공 물체에 관하여 각 가공처리를 위해 얻어진다는 것이고, 이러한 조건으로부터 연산된 우선도, 납기, 및 잔존 가공처리는 작동자의 경험, 직관, 다른 주관적인 요소의 조정없이 우선도를 설정하는 것이 가능하다는 것이다. 부가적으로, 스케줄 기술을 적용하는 것이 요구되지 않을때와 같이 장시간이 시뮬레이션을 사용하여 요구되기 때문에, 우선도의 잦은 변경이 가능하다.The result of such a system is that real-time processing conditions are obtained for each processing with respect to each workpiece, and the priority, delivery, and remaining processing calculated from these conditions are based on the operator's experience, intuition, and other subjective factors. It is possible to set the priority without adjustment. In addition, frequent changes of priority are possible because a long time is required using simulation, such as when applying a schedule technique is not required.
도 1 은 본 발명에 따른 생산제어 장치의 보기를 도시한 블록 다이아그램.1 is a block diagram showing an example of a production control apparatus according to the invention;
도 2 는 본 발명에 사용된 가공처리 플로우 기억 수단의 보기를 도시한 블록 다이아그램.Fig. 2 is a block diagram showing an example of processing flow storage means used in the present invention.
도 3 은 본 발명에 사용된 가공처리 조건 기억 수단의 보기를 도시한 블록 다이아그램.Fig. 3 is a block diagram showing an example of processing condition storage means used in the present invention.
도 4 는 본 발명에 사용된 작업 상황 기억 수단의 보기를 도시한 블록 다이아그램.Fig. 4 is a block diagram showing an example of working situation storage means used in the present invention.
도 5 는 본 발명에 사용된 가공처리 이력 데이터 기억 수단의 보기를 도시한 블록 다이아그램.Fig. 5 is a block diagram showing an example of processing history data storing means used in the present invention.
도 6 은 본 발명에 따른 생산제어 방법의 보기에서 작동 가공처리를 도해한 블록 다이아그램.6 is a block diagram illustrating an operational machining process in an example of a production control method in accordance with the present invention.
도 7 은 본 발명에 따른 생산제어 방법에 사용된 실질적 가공처리 시간 연산 수단의 보기에서 작동 절차를 도해한 순서도.7 is a flow chart illustrating the operation procedure in the example of the actual processing time calculation means used in the production control method according to the present invention.
도 8 은 본 발명에 따른 생산제어 방법에 사용된 가공처리 경로 설정 수단의 보기에서 작동 절차를 도해한 순서도.8 is a flow chart illustrating the operation procedure in the example of the processing route setting means used in the production control method according to the present invention.
도 9 는 본 발명에 따른 생산제어 방법의 제 2 실시예에 사용된 가공처리 경로 설정 수단의 보기에서 작동 절차를 도해한 순서도.9 is a flowchart illustrating an operation procedure in an example of the processing route setting means used in the second embodiment of the production control method according to the present invention;
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ※※ Explanation of code about main part of drawing ※
1 : 생산제어장치 101 : 중앙처리연산장치1: Production control device 101: Central processing unit
102 : 입력장치 103 : 가공처리공정플로우기억수단102 input device 103 processing processing flow storage means
104 : 가공처리조건기억수단 105 : 작업상황기억수단104: processing conditions storage means 105: working situation storage means
106 : 실가공처리시간산출수단 107 : 네트워크106: actual processing time calculation means 107: network
108 : 제조라인 109 : 장치군108: manufacturing line 109: device group
110 : 제품보관선반 111 : 반송장치110: product storage shelf 111: conveying device
112 : 가공처리경로경로수단 113 : 가공처리이력플로우기억수단112: processing path path means 113: processing history flow storage means
114 : 납기기억수단 115 : 평균값연산수단114: storage means for storage 115: means for calculating the average value
116 : 데이터갱신수단 117 : 우선도산출모듈116: data update means 117: priority calculation module
118 : 납기잔존시간연산수단 119 : 잔존가공처리시간연산수단118: delivery time remaining time calculation means 119: remaining processing time calculation means
120 : 레이트연산수단 121 : 타이머수단120: rate calculation means 121: timer means
122 : 실가공처리시간연산수단122: actual processing time calculation means
본 발명의 실시예가 수반한 도면을 참조하여 이하 설명되었다.Embodiments of the present invention have been described below with reference to the accompanying drawings.
먼저, 도 1 은 본 발명에 따른 생산제어 장치의 배치를 도시한 것이다. 이러한 도면은 본 발명에 따른 생산제어 장치와 그것에 의해 제어된 물체 가공처리 장치 사이의 연결을 도시한 것이며, 본질적으로 제조 라인을 도시한 것이다.First, Figure 1 shows the arrangement of the production control apparatus according to the present invention. This figure shows the connection between the production control device according to the invention and the object processing device controlled by it, essentially showing the production line.
이러한 도면에 있어서, 소정의 플로우에 따른 다수의 다른 공정을 통해 물체을 통과하는 수단에 의해 가공물체를 제조하는 방법에서, 제어 장치는 생산라인 (108) 과 같은 소정의 가공처리 물체를 제조하도록 수단을 제어하고, 이 제어 장치 (1) 는 가공처리 플로우 기억 수단 (103) 과, 각 가공처리를 위해 가공처리 조건을 기억하는 가공처리 조건 기억 수단 (104) 과, 가공처리한 각 물체의 가공처리 상황를 기억하는 작업 상황 기억 수단 (105) 과, 가공처리된 각 물체의 납기를 기억하는 운반 기억 수단 (114) 과, 각각의 가공처리에 의해 가공처리된 각 물체을 위해 현재 시간에서 실 시간을 연속적으로 산출하는 실가공처리 시간 연산 수단 (106) 과 실가공 시간 연산 수단 (106) 으로부터 출력된 정보를 기억하는 가공처리 역사적 데이터 기억 수단 (113) 과, 상기 각각 주목할만한 수단의 정보를 근거로 가공처리될 수 있는 물체에 관해서는 잔존 가공처리의 다수 가공처리 경로를 설정하는 가공처리 경로 설정 수단 (112) 과, 상기 각각 주목할만한 수단을 제어하는 중앙 가공처리 수단 (101) 과, 또한 적절한 정보 입력 수단 (102) 을 가진다.In this figure, in a method of manufacturing a workpiece by means of passing an object through a number of different processes in accordance with a given flow, the control device employs means to produce a predetermined workpiece, such as production line 108. This control device 1 controls the processing flow storage means 103, the processing condition storage means 104 for storing processing conditions for each processing, and the processing status of each processed object. The real time is continuously calculated at the present time for the work status storage means 105 for storing, the transport storage means 114 for storing the delivery date of each processed object, and each object processed by the respective processing. Processing historical data machine for storing the information output from the processing time calculation means 106 and the processing time calculation means 106 The processing means path setting means 112 for setting a plurality of processing paths for the remaining processings with respect to the object 113 and the objects that can be processed based on the information of the respective notable means; It has a central processing unit 101 for controlling possible means, and also an appropriate information input unit 102.
생산제어 장치 (1) 는 적절한 네트워크 (107) 를 경유하여 제조 라인 (108) 에 연결되고, 이러한 제조 라인 (108) 은 가공처리될 수 있는 물체를 소정의 가공처리로 행하여 소정의 가공처리 물체를 제조할 목적으로 장치군으로 형성되고, 생산제어 장치는 다양한 장비 및 제조 라인 (108) 을 조합한 장비의 제어를 행한다.The production control device 1 is connected to the production line 108 via an appropriate network 107, which manufactures the object which can be processed in a predetermined processing to produce a predetermined processing object. Formed into a group of devices for the purpose of manufacturing, the production control device controls the equipment in which the various equipment and the manufacturing line 108 are combined.
도면에 도시된 바와 같이, 제조 라인 (108) 의 특정 보기는 가공처리될 수 있는 물체를 가공처리하는 다양한 장치, 즉 소정의 가공처리를 기다리는 피가공 물체의 기억용 기억 선반 (110) 과, 가공처리 기억 선반 (110) 과 각각의 장비사이, 또는 가공처리 기억 선반 (110) 아래 물체 사이를 가공처리시 물체을 운반할 목적으로 적절한 로봇 장치인 운반 장치를 포함한다.As shown in the figure, a particular example of the manufacturing line 108 is a variety of devices for processing an object that can be processed, that is, a storage shelf 110 for storing objects to be processed waiting for a predetermined processing, and And a conveying device which is a suitable robotic device for the purpose of conveying the object during the processing between the processing storage shelf 110 and the respective equipment, or between the objects under the processing storage shelf 110.
더욱 특별하게는, 상기 주목할만한 제조 라인 (108) 은 A 장치군 (109A), B 장치군 (109B), C 장치군 (109C) 등에 의해 보기용으로 형성되었고, A 장치군은 제 1 기계 (A#1), 제 2 기계 (A#2), 제 3 기계 (A#3) 등인 다수의 개별 가공처리 기계 (기계 장비) 에 의해 형성된다. 동일 방법으로, B 장치군은 제 1 기계 (B#1), 제 2 기계 (B#2), 제 3 기계 (B#3) 등인 다수의 개별 번호로된 가공처리 기계에 의해 형성되며, 또한 C 장치군은 제 1 기계 (C#1), 제 2 기계 (C#2), 제 3 기계 (C#3) 등인 다수의 개별 번호로된 가공처리 기계에 의해 형성된다.More particularly, the remarkable manufacturing line 108 was formed for viewing by the A device group 109A, the B device group 109B, the C device group 109C, and the like, and the A device group was formed by the first machine ( A # 1), a second machine A # 2, a third machine A # 3, etc., and a plurality of individual processing machines (machine equipment). In the same way, the B device group is formed by a plurality of individual numbered processing machines, which are the first machine B # 1, the second machine B # 2, the third machine B # 3, and the like. The C device group is formed by a plurality of individual numbered processing machines, which are a first machine C # 1, a second machine C # 2, a third machine C # 3, and the like.
이러한 제조 라인 (108) 의 보기로서, 반도체 소자용 제조 라인이 고려된다. 가공처리하의 물체인, 웨이퍼를 가공처리할 목적인 A 장치군은 플레이팅 가공처리이고, B 장치군은 레지스트층 형성 가공처리이며, 또한 C 장치군은 에칭 가공처리이다.As an example of such a manufacturing line 108, a manufacturing line for a semiconductor device is considered. The A device group for processing the wafer, which is an object under processing, is a plating processing, the B device group is a resist layer forming processing, and the C device group is an etching processing.
상기 주목할만한 제조 라인 (108) 에 제공된 각각의 장치는 본 발명의 생산제어 장치 (1) 의 제어 프로그램의 제어하의 소정의 스케줄과 일치하게 개별적으로 제어된다.Each device provided in the remarkable manufacturing line 108 is individually controlled in accordance with a predetermined schedule under the control of the control program of the production control device 1 of the present invention.
본 발명에 따른 생산제어 장치 (1) 의 구성 소자의 기능 및 배치가 이하 상세히 설명될 것이다.The function and arrangement of the components of the production control apparatus 1 according to the present invention will be described in detail below.
도 2 는 본 발명의 가공처리 플로우 기억 수단 (103) 에 기억된 정보의 구조를 도시한 도면이다.Fig. 2 is a diagram showing the structure of information stored in the processing flow storage means 103 of the present invention.
본질적으로, 도 2(a) 에 도시된 바와 같이, 가공처리 플로우 기억 수단 (103) 은 제조될 수 있는 피가공물체 제품명을 기억하는 피가공물체 제품명 데이터베이스 (201) 를 가지고 그곳에 연결된 가공처리 플로우 데이터베이스 (202) 를 가지며, 도 2(b) 에 도시된 바와 같이, 피가공물체 생산명 데이터베이스 (201) 는 제조될 수 있는 피가공물체의 생산명의 리스트 (201') 를 포함한다.In essence, as shown in Fig. 2 (a), the processing flow storing means 103 has a processing product database having a workpiece product name database 201 storing therein the workpiece product name that can be manufactured. 202, and as shown in FIG. 2 (b), the workpiece production name database 201 includes a list 201 'of production names of workpieces that can be manufactured.
가공처리 플로우 데이터베이스 (202) 에 있어서, 가공처리 플로우 데이터베이스 (202') 는 가공처리 플로우, 가공처리 장치군, 또한 가공처리 조건을 기억하고, 내부의 각각 피가공물체 제품명에 연결된다.In the processing flow database 202, the processing flow database 202 'stores the processing flow, the processing apparatus group, and the processing conditions, and is connected to the respective workpiece names.
도 3 은 본 발명의 가공처리 조건 기억 수단 (104) 에 기억된 정보의 배치를 도시한 것이다.Fig. 3 shows the arrangement of information stored in the processing condition storage means 104 of the present invention.
본질적으로, 도 3(a) 에 도시된 바와 같이, 이런 가공처리 조건 기억 수단 (104) 내에서, 그것은 동일 기능을 갖는 장비에 의해 형성된 가공처리 장치군을 지시하고 제조 라인 (108) 의 장비 (109) 에 존재하는 데이터베이스 (301) 에 연결된다. 또한, 도 3(b) 에 도시된 바와 같이, 그것은 데이터베이스에 연결된 리스트 (301') 이며, 제조 라인 (108), 예를 들면, A 장비 그룹 (109A), B 장치군 (109B), 또한 C 장치군 (109C) 을 조립하는 가공처리 장치군을 모두 기억한다.In essence, as shown in Fig. 3 (a), within this processing condition storing means 104, it indicates a processing apparatus group formed by equipment having the same function and the equipment of the manufacturing line 108 ( 109 is connected to a database 301 that is present. In addition, as shown in FIG. 3 (b), it is a list 301 ′ connected to a database, which is a manufacturing line 108, for example, A equipment group 109A, B device group 109B, and also C. All of the processing apparatus groups for assembling the apparatus group 109C are stored.
부가적으로, 도 3(a) 에 도시된 바와 같이, 가공처리 장치군 데이터베이스 (301) 에서, 그것은 군으로된 장치군을 조립한 각각의 장비를 기억하는 장비가 기계 장비 데이터베이스 (302) 이며, 또한 가공처리 조건 데이터베이스 (303) 이다.In addition, as shown in Fig. 3 (a), in the processing apparatus group database 301, it is the mechanical equipment database 302 which stores the respective equipment which assembled the group of apparatus into a group, Also a processing condition database 303.
장비가 기계 장비 데이터베이스 (302) 에서, 데이터베이스 (302') 는 도 3(c) 에 도시된 바와 같은 배치를 가지며, 또한 가공처리 제어 데이터베이스 (303) 에서, 연결된 가공처리 제어 데이터베이스 (303') 는, 기계 장비가 사용될 수 있는지 아닌지와 각각의 장치군과 가공처리 조건에 대한 가공처리 시간을 기억한, 도 3(d) 에 도시된 바와 같은 배치를 가진다.When the equipment is in the mechanical equipment database 302, the database 302 ′ has the arrangement as shown in FIG. 3 (c), and in the processing control database 303, the connected processing control database 303 ′ is And (b) the arrangement as shown in FIG. 3 (d), which stores whether or not mechanical equipment can be used and the processing time for each device group and processing conditions.
상기 장비에서, 기계 장비 데이터베이스 (302') 는 가공처리 형태와 가공처리될 수 있는 다수의 물체를 군으로된 기계 장비에 의해 기억된다. 반도체 소자 제조의 경우에 있어서, 가공처리 필드에서 가공처리 형태에 대해, 로트 작동 은 한번에 전체 가공처리의 경우에 기억되고, 웨이퍼 작동 은 만약 한번에 로트의 하나의 웨이퍼가 가공처리된다면 기억되고, 또한 배수 (multiple) 가 한번에 로트의 둘 이상의 웨이퍼 가공처리의 경우에 기억된다.In the above equipment, the mechanical equipment database 302 'is stored by the mechanical equipment in groups of processing forms and a plurality of objects that can be processed. In the case of semiconductor device fabrication, for the processing type in the processing field, the lot operation is memorized for the whole processing at once, and the wafer operation is memorized if one wafer of the lot is processed at once, and also the drainage Multiples are stored in the case of more than one wafer processing of a lot at a time.
가공처리 형태가 배수 웨이퍼 작동 인 경우에 있어서, 수량 필드는 한번에 가공처리될 수 있는 웨이퍼 수량을 기억한다.In the case where the processing type is a drained wafer operation, the quantity field stores the quantity of wafers that can be processed at one time.
기계 장비가 각 장치군과 가공처리 조건을 위해 가공처리할수 있는지 아닌지를 기억하는 가공처리 조건 데이터베이스 (303') 내에서, 연산될 수 있는 최소 및 최대 시간 가공처리 시간과, 또한 가공처리 시간 연산 모듈에 의해 산출된 다수의 가공처리를 위한 가공처리 시간이 이하 서술될 것이다.In the processing condition database 303 'which stores whether or not the machine equipment can be processed for each device group and processing conditions, the minimum and maximum time processing time that can be calculated, and also the processing time calculation module The processing time for the multiple processing calculated by will be described below.
최소 및 최대 가공처리 시간에 관한 데이터는 가공처리시 물체의 보통 가공처리를 위해 예견된 허용할 수 있는 가공처리 시간을 나타내며, 또한 가공처리 시간이 주어진 물체의 가공처리 시간의 상하 범위를 나타내는 경우에, 비정상적인 형태가 발생하다는 것을 판단하여, 경계를 하거나 작동기를 경고한다.The data relating to the minimum and maximum machining times represent the allowable machining times foreseen for normal machining of the object in the machining process, and if the machining time represents the upper and lower ranges of the machining time of a given object, Determining that an abnormal shape has occurred, warn or warn the actuator.
다수의 물체을 위한 가공처리 시간에 대한 데이터에 관하여, 도 3(d) 에 도시된 보기는 장치군 (A) 의 제 1 기계 (A#1) 에서 웨이퍼의 수에 불구하고 가공처리에 하나의 웨이퍼가 28분이 요구되는 것을 가리키고, 장치군 (A) 의 제 2 기계 (A#2) 는 가공처리 시간이 피가공물체의 수와 일치하여 어떻게 변하는가를, 또한 제 3 기계 (A#3) 은 한번에 웨이퍼의 수가 가공처리되고 필요한 가공처리시간과 관련있다는 것을 지시한다.Regarding the data on the processing time for a large number of objects, the example shown in Fig. 3 (d) shows that one wafer in the processing despite the number of wafers in the first machine A # 1 of the apparatus group A. Indicates that 28 minutes is required, the second machine A # 2 of the apparatus group A shows how the processing time changes in accordance with the number of workpieces, and the third machine A # 3 at once It indicates that the number of wafers is processed and related to the required processing time.
본 발명에 있어서, 그러한 가공처리된 웨이퍼의 다수를 위한 가공처리 시간이 이하 서술되는 것과 같이, 어떠한 실제 시간으로 갱신될 수 있는 배치이다.In the present invention, the processing time for a large number of such processed wafers is a batch that can be updated to any actual time, as described below.
도 4 는 가공처리중인 물체에 관하여 데이터의 구조를 도시한 도면이며, 상기 데이터는 작업 상황 기억 수단 (105) 에 기억되었다.4 is a diagram showing the structure of data with respect to an object being processed, which is stored in the work situation storage means 105. FIG.
본질적으로, 도 4(a) 에 도시된 바와 같이, 본 발명의 작업 상황 기억 수단 (105) 에서, 제조 라인 (108) 에 가공처리중인 생산의 이름의 생산이름 데이터베이스 (401) 를 제공하며, 또한 가공처리시 이러한 물체을 위한 가공처리 플로우에 관하여, 그곳에 데이터베이스 (402) 가 연결된다.In essence, as shown in Fig. 4 (a), in the working situation storage means 105 of the present invention, the production line 108 is provided with a production name database 401 of the name of the production being processed. Regarding the processing flow for this object in the processing, a database 402 is connected thereto.
도 4(b) 에 도시된 바와 같이, 상기 생산이름 데이터베이스 (401) 는 자체적으로 가공처리시 각 생산의 이름의 리스트 (401') 를 포함하고, 도 4(c) 에 도시된 바와 같이, 가공처리의 플로우에 관한 데이터베이스 (402) 가공처리는 가공처리중인 물체의 로트 번호, 관련된 가공처리, 이러한 가공처리의 가공처리 상황와, 또한 완성의 운반 시간을 위한 소정의 시간 제한을 기억하는 가공처리중인 데이터베이스 (402') 를 포함한다.As shown in Fig. 4 (b), the production name database 401 itself includes a list 401 'of names of each production in processing, and as shown in Fig. 4 (c), processing Database 402 relating to the flow of processing Processing is a processing database that stores the lot number of the object being processed, the associated processing, the processing status of such processing, and also a predetermined time limit for the transport time of completion. 402 '.
본 발명에 있어서, 가공처리중인 데이터베이스 (402') 내 데이터는 연속적으로, 중앙 가공처리 수단 (101) 으로부터 네트워크 (107) 를 매개로하여 보내어지는 다야안 데이터를 근거로한, 실제 시간으로 갱신된다.In the present invention, the data in the processing database 402 'is continuously updated at the actual time based on the multi-eye data sent from the central processing means 101 via the network 107. .
다음으로, 가공처리 히스토리컬 데이터 기억 수단 (113) 에 기억된 정보의 데이터 구조가 도 5 를 참조하여, 서술될 것이다.Next, the data structure of the information stored in the processing historical data storage means 113 will be described with reference to FIG.
본질적으로, 본 발명의 가공처리 이력 데이터 기억 수단 (113)은 제조 라인 (108) 을 조립하는 각각의 장비군 관하여 정보를 기억하고, 또한 기본적으로, 장치군 이름 데이터베이스 (501) 및 각 장비에 가공처리 데이터의 이력을 기억하는 가공처리 이력 데이터베이스 (502) 를 갖는, 도 5(a) 에 도시된 바와 같이 배치된다.In essence, the processing history data storage means 113 of the present invention stores information about each group of equipment for assembling the production line 108, and also basically processes the equipment group name database 501 and the respective equipment. A processing history database 502 for storing a history of the processing data is arranged as shown in Fig. 5A.
도 5(b) 에 도시된 바와 같이, 장비 이름 데이터베이스 (501) 는 제조 라인 (108) 에 제공된 각 장비의 장치군 리스트 데이터베이스 (501') 를 포함하고, 도 5(c) 내지 도 5(e) 에 도시된 바와 같이, 가공처리 이력 데이터베이스 (502) 는 기억된 가공처리 시간 이력이 들어가는 가공처리 이력 데이터베이스 (502A 내지 502C) 및 각각의 장치군과, 기계 장비와, 또한 가공처리 조건을 위한 가공처리 시간 데이터를 가진다.As shown in FIG. 5 (b), the equipment name database 501 includes a device group list database 501 ′ of each equipment provided in the manufacturing line 108, and FIGS. 5 (c) to 5 (e). Processing history database 502 includes processing history databases 502A to 502C containing respective stored processing time histories and respective device groups, mechanical equipment, and processing for processing conditions. Has processing time data.
각 가공처리 이력 데이터 데이터베이스 (502) 에 있어서, 데이터베이스 구조는 가공처리 형태에 따라 차이가 있다. 도 5(c) 에 도시된 바와 같이, 로트 작동 가공처리 형태의 경우, 가공처리 시간이 웨이퍼의 수에 의존하지 않기 때문에, 모든 가공처리 이력 데이터는 동일 데이터베이스 (502A) 에 기억된다.In each processing history data database 502, the database structure differs depending on the processing form. As shown in Fig. 5 (c), in the case of the lot operation processing form, since the processing time does not depend on the number of wafers, all processing history data is stored in the same database 502A.
그러나, 웨이퍼 작동 가공처리 형태의 경우, 가공처리 시간이 도 5(d) 에 도시된 바와 같이, 웨이퍼의 수에 의존하기 때문에, 가공처리 이력 데이터 (502B) 는 가공처리된 웨이퍼의 수에 대응하는 데이터베이스내에 기억된다.However, in the case of the wafer-operated processing type, since the processing time depends on the number of wafers, as shown in Fig. 5D, the processing history data 502B corresponds to the number of processed wafers. It is stored in the database.
다수의 웨이퍼 작동 가공처리 형태의 경우, 가공처리 시간이 도 5(e) 에 도시된 바와 같이, 한번에 가공처리되는는 웨이퍼의 수에 의존하기 때문에, 가공처리 이력 데이터 (502B) 는 한번에 가공처리되는 웨이퍼의 수에 대응하는 데이터베이스내에 기억된다.In the case of multiple wafer-operated processing forms, the processing history data 502B is processed at one time because the processing time depends on the number of wafers processed at one time, as shown in FIG. 5 (e). It is stored in the database corresponding to the number of.
예를 들면, 한번에 3 웨이퍼를 가공처리할 수 있는 장비의 경우에, 데이터는 1 내지 3 웨이퍼, 4 내지 6 웨이퍼, 또한 7 내지 9 웨이퍼를 위해 세 개의 데이터베이스내에 기억된다 (502C).For example, in the case of equipment capable of processing three wafers at a time, the data is stored in three databases for one to three wafers, four to six wafers, and also seven to nine wafers (502C).
본 발명의 생산제어 장치 (1) 는 운반 기억 수단 (114) 을 제공하고, 이러한 운반 기억 수단 (114) 은 고객이 주문한 피가공물체에 관한 납기를 위해 데이터가 기억된 적절한 기억 수단에 의해 형성된 데이터베이스를 제공한다.The production control apparatus 1 of the present invention provides a conveying storage means 114, which is a database formed by suitable storage means in which data is stored for a delivery date concerning a workpiece to be ordered by a customer. To provide.
본 발명에 사용된 실제 가공처리 시간 연산 수단 (106) 은 실제 개시 시간 및 소정의 가공처리에서 가공처리시 물체을 위한 소정의 가공처리의 종료 시간을 기억하는 타이머 수단 (121) 을 가지며, 또한 가공처리 시간의 실제량을 산출하는 실가공처리 시간 연산 모듈 (122) 은 타이머 수단 (121) 에 기억된 정보를 근거로 한다.The actual processing time calculation means 106 used in the present invention has a timer means 121 for storing the actual start time and the end time of the predetermined processing for the object during the processing in the predetermined processing, and also the processing The real processing time calculation module 122 that calculates the actual amount of time is based on the information stored in the timer means 121.
타이머 수단은 공지된 클록수단 및 적절한 메모리 수단을 사용하여 바람직하게 배치된다. 상기 중앙 가공처리 수단 (101) 으로부터의 명령을 근거로하면, 타이머 수단은 소정의 장치군내 소정의 기계 장비 그룹에서의 물체에 관하여 소정의 가공처리의 개시 시간에 응답하여 시간을 기억하며, 또한 그곳에서의 가공처리 종료 시간을 기억한다.The timer means is preferably arranged using known clock means and appropriate memory means. Based on the command from the central processing means 101, the timer means stores a time in response to the start time of the predetermined processing for the object in the predetermined group of machine equipment in the predetermined device group, and there Memorizes the end time of processing.
실가공처리시간 연산 모듈 (122) 은 실 시간에서 연속적으로 산출할 수 있는 연산 수단을 포함하고, 실 연산 시간은 메모리 수단 (113) 에 기억된 정보를 근거로한다.The real machining time calculation module 122 includes arithmetic means that can continuously calculate in real time, and the real arithmetic time is based on the information stored in the memory means 113.
각 공정에서의 실제 가공처리 시간은, 중앙 가공처리 수단 (101) 의 적절한 제어하에서, 가공처리 이력 데이터 기억 수단 (113) 에 기억된 실제 가공처리 시간 연산 모듈 (122) 에 의해 연속적으로 산출된다.The actual processing time in each process is continuously calculated by the actual processing time calculation module 122 stored in the processing history data storage means 113 under appropriate control of the central processing means 101.
부가적으로, 본 발명의 생산제어 장치 (1) 가 각각의 기계 장비 및 각각의 장치군에서 각각의 가공처리에 관하여 실제 가공처리 시간 데이터로부터, 소정의 가공처리에서 가공처리 시간의 평균값을 산출할 목적으로 실가공처리 평균 수단 (115)을 갖는 것이 바람직하며, 또한 본 발명의 생산제어 장치 (1) 가 실제 시간에서, 연속적으로 갱신되는 실가공처리 시간 갱신 수단 (116) 을 가지는 것이 바람직하고, 소정의 시간에서 상기 가공처리 시간 기억 수단 (104) 에 이미 기억된 실가공처리 시간은 상기 실시간 평균 수단 (115) 으로부터 출력되는 정보를 근거로한다.In addition, the production control apparatus 1 of the present invention can calculate an average value of processing time in a predetermined processing from the actual processing time data with respect to each processing in each machine and each group of devices. It is preferable to have the processing average means 115 for the purpose, and it is preferable that the production control apparatus 1 of the present invention also has the processing time update means 116 which is continuously updated at the actual time, The actual processing time already stored in the processing time storage means 104 at a predetermined time is based on the information output from the real time averaging means 115.
본 발명의 생산제어 장치 (1) 에 제공된 가공처리 경로 설정 수단 (112) 은 가공처리시 물체가 현재이후에 제때 포인트시킬 수 있는 가공처리의 수에 관하여 가공처리 경로의 우선을 설정하는 우선 연산 모듈 (117) 을 가지는 것이 바람직하다.The processing path setting means 112 provided in the production control device 1 of the present invention is a priority calculation module that sets the priority of the processing path with respect to the number of processing points that an object can point in time afterwards during the processing. It is preferable to have (117).
본 발명에 사용된 우선 연산 모듈 (117) 이 현재부터 가공처리시 물체의 납기까지 잔류 시간을 산출하는 운반용 잔류 시간 연산 수단 (118) 과, 가공처리시 물체에 관하여 현재 시간후 잔류하는 각각의 가공처리용으로 요구되는 시간의 전체 합을 산출하는 잔류 가공처리 연산 수단 (119) 과, 운반 연산용 잔류 수단 (118) 과 잔류 가공처리 시간 연산 수단 (119) 의 출력으로부터 우선 가공처리 리이트 (rate) 를 산출하는 레이트 연산 수단 (120) 을 최소한도로 가지는 것이 바람직하다.Priority calculation module 117 used in the present invention is a transport residual time calculating means 118 for calculating the remaining time from the present to the delivery date of the object in the processing, and each machining remaining after the current time with respect to the object in the processing. Priority is given from the outputs of the residual processing calculating means 119 which calculates the total sum of the time required for the processing, the residual calculating means for conveyance calculation 118 and the residual processing time calculating means 119. It is preferable to have the rate calculating means 120 which calculates () at a minimum.
다음으로, 생산제어 장치 (1) 를 사용하는 생산제어 방법의 보기는 도 1 에 도시되었고 도 6 내지 도 9 의 순서도를 참조하여 서술될 것이다.Next, an example of a production control method using the production control apparatus 1 is shown in FIG. 1 and will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 6 to 9.
특히, 도 6 은 피가공물체의 가공처리의 순서도이며, 본 발명에 따른 생산제어 방법의 일 보기이다.In particular, Figure 6 is a flow chart of the processing of the workpiece, a view of a production control method according to the present invention.
이러한 도면에서, 제조 라인 (108) 에서 각각의 장비에 의해 가공처리될 수 있는 물체을 가공처리하기에 가능한 경우에, 요구는 피가공 물체를 운반하기 위해 네트워크를 경유하는 중앙 가공처리 수단을 만든다 (단계 601).In this figure, where it is possible to process an object that can be processed by each piece of equipment in the manufacturing line 108, the request creates a central processing means via the network for transporting the workpiece (step 601).
가공처리 플로우 기억 수단 (103) 과, 가공처리 조건 기억 수단 (104) 과, 또한 작업 상황 기억 수단 (105) 의 기억된 데이터를 근거로한 중앙 가공처리 수단 (101) 은, 요구가 일어나는 장치군의 기계장비에서 소정의 가공처리에 의해 가공처리될 수 있는 생산을 위해 탐색한다 (단계 602).The processing unit flow storage means 103, the processing condition storage means 104, and the central processing means 101 based on the stored data of the work condition storage means 105 are groups of devices in which a request occurs. Search for production that can be processed by a given processing in the machine equipment (step 602).
탐색의 결과로서, 만약 피가공 물체가 하나도 가공처리되지 않았다면, 상기 가공처리는 반복된다. 만약 물체가 정말로 피가공되는 것을 의미하는 탐색을 한다면, 피가공 물체의 수는 억제된다 (단계 603).As a result of the search, if none of the workpieces have been processed, the processing is repeated. If the search is meant that the object is really to be processed, the number of the workpiece is suppressed (step 603).
만약 피가공 물체의 수가 2 개 이상이면, 각 피가공 물체의 우선도는 최고의 우선도로 설정된다 (단계 604). 다시말해, 그것의 운반에 관하여, 가장 큰 속도로써 가공처리될 수 있는 물체의 우선이 높게 설정된다.If the number of workpieces is two or more, the priority of each workpiece is set to the highest priority (step 604). In other words, with respect to its transport, the priority of the object that can be processed at the largest speed is set high.
피가공물체가 한번 설정되면, 네트워크 (107) 를 경유하는 중앙 가공처리 유니트 (101) 는 생산기억 선반 (110) 으로 명령을 보내고, 수신된 명령에 대한 응답으로, 생산기억 선반 (110) 은 외면선반 (100) 으로 피가공 물체를 운반하는 적절한 운반 로봇인 운반 장치 (111) 를 사용하며, 외면 선반 (110) 에 운반된 피가공 물체는, 예를 들면 기계 A#1 로 운반하는 장비 (109A) 인, 장비로 운반된다 (단계 606).Once the workpiece is set up, the central processing unit 101 via the network 107 sends a command to the production storage lathe 110 and, in response to the received command, the production storage lathe 110 A conveying device 111, which is a suitable conveying robot for conveying a workpiece to the shelf 100, is used, and the workpiece to be conveyed to the outer shelf 110 is, for example, an equipment 109A for conveying by machine A # 1. Is carried to the equipment (step 606).
가공처리시 운반된 물체는 소정의 장비 (109) 내 소정의 기계 장비에 설정한다 (단계 607).The object carried in the processing is set in predetermined mechanical equipment in the predetermined equipment 109 (step 607).
본 발명에서 이러한 포인트에서, 타이머 수단 (121) 은 가공처리의 개시 시간을 감지하고 기억한다.At this point in the present invention, the timer means 121 senses and stores the start time of the processing.
다음으로, 장비 (109) 의 소정의 번호 기계는 피가공 물체상에서 소정의 가공처리를 행한다 (단계 608).Next, the predetermined numbering machine of the equipment 109 performs a predetermined processing on the workpiece (step 608).
상기 가공처리가 완료될 때, 여전히 불완전하게 피가공물체인, 가공처리시 물체는 장비 (109) 의 번호로 소정의 기계로부터 운반된다 (단계 609).When the processing is completed, the object in the processing, which is still incompletely processed, is conveyed from the predetermined machine to the number of the equipment 109 (step 609).
본 발명의 이러한 포인트에서, 타이머 수단 (121) 은 가공처리의 종료 시간을 감지하고 기억한다.At this point of the present invention, the timer means 121 senses and stores the end time of the processing.
본 발명에 있어서, 가공처리의 개시 시간과 가공처리의 종료 시간은 네트워크 (107)를 경유하여 중앙 가공처리 수단 (101) 으로 보내고, 적절한 연산 수단은 각각의 가공처리에 요구되는 가공처리의 실시간을 산출하는 중앙 가공처리 수단 (101) 내에서 사용할 수 있다. 또한 타이머 수단 (121) 및 도 1 에 도시된 바와 같이, 실가공 시간 연산 수단 (106) 내에 제공된 실가공 시간 연산 수단 (122) 에 의한 산출을 행하는 것이 가능하다.In the present invention, the start time of the processing and the end time of the processing are sent to the central processing means 101 via the network 107, and the appropriate computing means provides the real time of the processing required for each processing. It can be used in the central processing means 101 to calculate. In addition, as shown in the timer means 121 and in FIG. 1, it is possible to perform calculation by the real time calculation means 122 provided in the real time calculation means 106.
본 발명에 있어서, 장비 (109) 의 번호로 소정의 기계에 의해 운반된 가공처리하의 물체는 최초의 위치나 다음 가공처리를 위한 장비의 그룹에 대응하는 적절한 다른 생산기억 선반 (110') 의 하나로 운반 장치 (111) 에 의해 운반된다 (단계 610).In the present invention, an object under processing carried by a given machine to the number of equipment 109 is one of the other suitable production memory shelves 110 'corresponding to the first position or the group of equipment for the next processing. Carried by the conveying device 111 (step 610).
생산기억 수단 (110 및 110') 은 가공처리시 그들의 각각 물체을 기억하고, 중앙 가공처리 수단 (101) 으로부터 요구가 있을때마다 그곳에 운반된다 (단계 611).The production storage means 110 and 110 'memorize their respective objects in the processing, and are transported there whenever there is a request from the central processing means 101 (step 611).
도 7 은 본 발명에 사용된 실가공 시간 연산 수단 (106) 에서의 작동 절차를 도시한 순서도이다.Fig. 7 is a flowchart showing an operation procedure in the raw time calculating means 106 used in the present invention.
특히, 피가공 물체의 소정의 가공처리가 상술한 바와 같이 번호로 소정의 기계에서 시작될 때, 기계 장비 (109) 는 가공처리 개시 및 종료 시간을, 네트워크 (107) 를 경유하여, 중앙 가공처리 수단 (101) 으로 보내고, 또한 중앙 가공처리 수단 (101) 은 상기 데이터를 실가공 시간 연산 수단 (106) 으로 보낸다.In particular, when a predetermined processing of a workpiece is started on a predetermined machine with a number as described above, the mechanical equipment 109 has a processing start and end time, via the network 107, through the central processing unit. And the central processing means 101 sends the data to the real time calculating means 106. As shown in FIG.
상기 실가공 시간 연산 수단 (106) 에서, 가공처리는 예를 들면, 상기 타이머 수단 (121) 에 기억된 개시 및 종료 가공처리 시간으로부터, 기계 장비내에서 소모된 실가공 시간을 산출하기 위해, 실가공 시간 연산 모듈에서 행해진다 (단계 701).In the processing time calculating means 106, the processing is performed, for example, in order to calculate the actual processing time consumed in the mechanical equipment from the starting and ending processing time stored in the timer means 121. The processing time calculation module is performed (step 701).
다음으로, 가공처리 조건 기억 수단 (104) 내 가공처리 조건 데이터베이스 (303 및 303') 가 탐색되고 기계 장비에 실제적으로 소모된 가공처리 시간용으로 비유되는데, 키이로서 기계 장비 (109) 및 가공처리 조건을 사용한다. 상기 단계에서 산출된 실가공 가공처리 조건 데이터베이스 (303 및 303') 내에 기억된 최소 및 최대 가공처리 시간에 의해 설정된 시간 범위내인지 아닌지를 판단한다 (단계 702).Next, the processing condition databases 303 and 303 'in the processing condition storage means 104 are searched and compared for the processing time actually consumed by the mechanical equipment, as the machine equipment 109 and the processing. Use conditions. It is judged whether or not it is within a time range set by the minimum and maximum processing time stored in the real processing conditions database 303 and 303 'calculated in the above step (step 702).
산출된 실가공 가공처리 시간의 값이 가공처리 조건 기억 수단 (104) 에 의해 설정된 허용 가능한 범위내인 경우에서, 가공처리는 상술한 경우와 유사한 단계 703 으로 진행하며, 검색은 가공 가공처리가 행해지는 기계 장비를 사용한 가공처리 이력 데이터 기억 수단 (113) 내의 가공처리 이력 데이터베이스 (502) 와, 가공처리 조건과, 또한 가공처리된 웨이퍼의 수로 이루어지며, 체크는 가공처리 시간 및 이미 기억된 이력 데이터로 수행된다.In the case where the calculated value of the actual machining time is within the allowable range set by the machining condition storage means 104, the machining proceeds to step 703 similar to the above case, and the retrieval is performed. Is a processing history database 502 in the processing history data storage means 113 using the mechanical equipment, processing conditions and the number of processed wafers, and the check is the processing time and the already stored history data. Is performed.
만약 데이터가 가공처리 이력 데이터 기억 수단 (113) 에 기억된 표준 (예를 들면, 기억의 데이터가 현시점에서 한달 이내가 아니라면) 에 적응시키지 못한다면, 이러한 데이터는 데이터베이스로부터 제거되고, 또한 이전 단계에서 산출된 새로운 가공처리 시간과 같은 가공처리 데이터가 부가된다 (단계 703 내지 단계 705)If the data does not adapt to the standards stored in the processing history data storage means 113 (e.g., if the data in the memory is not within one month at the present time), this data is removed from the database and also calculated in the previous step. Processing data such as a new processing time has been added (steps 703 to 705).
상기 단계 702 에서, 산출된 실가공처리 시간의 값이 가공처리 조건 기억 수단 (104) 에 의해 설정된 허용할 수 있는 범위외인 경우에, 문제가 발생하는 것이 분명하기 때문에, 예를 들면, 경고음이 발생하는 것과 같은, 또한 가공처리 작동이 종결된다.In step 702, when a value of the calculated real processing time is outside the allowable range set by the processing condition storing means 104, it is clear that a problem occurs, for example, a warning sound is generated. Also, the processing operation is terminated.
다음으로, 가공처리 시간 평균 수단 (115) 이나 그와 유사한 것이 각각의 기계 장비에서 가공처리용으로 요구되는 현재 시간에서 평균 가공처리 시간을 산출하기 위해 사용되었다.Next, the processing time averaging means 115 or the like was used to calculate the average processing time from the current time required for processing in each mechanical equipment.
본 발명에 있어서, 상기 산출된 실가공처리 시간의 평균 가공처리 시간이 적당한 데이터 갱신수단 (116) 을 사용하여, 교체하여 사용되고, 각각의 데이터는 가공처리 조건 기억 수단 (104) 의 가공처리 조건 데이터베이스 (303) 에서 가공처리된 각각의 웨이퍼 수에 대해 기억된 가공처리 시간을 지시하여, 이러한 데이터의 각각을 갱신한다 (단계 707).In the present invention, the calculated average processing time of the actual processing time is used by using an appropriate data updating means 116, and each data is used in the processing condition database of the processing condition storage means 104. The stored processing time is indicated for each wafer number processed at 303, and each of these data is updated (step 707).
결과적으로, 본 발명에서의 생산 제어 장치 (1) 내의 각각의 데이터베이스는 실시간으로 갱신되어, 전체 시간에서 가장 늦은 가공처리 조건을 기억하게한다.As a result, each database in the production control apparatus 1 in the present invention is updated in real time, so as to memorize the latest processing conditions in the entire time.
이렇게함에 있어서, 만약 가공처리 형태가 로트라면, 전체 웨이퍼 수에 대한 가공처리 시간이 갱신된다. 만약 가공처리 형태가 어떠한 시간이라면, 단지 웨이퍼의 수에 대응하기 위한 가공처리 형태가 갱신된다. 만약 가공처리 형태가 다중이라면, 웨이퍼 수의 대응 범위를 위한 가공처리 시간이 갱신된다.In doing so, if the processing type is low, the processing time for the entire wafer number is updated. If the processing type is any time, the processing type is updated only to correspond to the number of wafers. If the processing type is multiple, the processing time for the corresponding range of wafer numbers is updated.
다음으로, 본 발명의 가공처리 경로 설정 수단 (112) 의 가공처리 절차가 도 8 을 참조하여 서술될 것이다.Next, the processing procedure of the processing route setting means 112 of the present invention will be described with reference to FIG.
특히, 본 발명에 있어서, 가공처리 경로 설정 수단 (112) 이 중앙 가공처리 수단 (101) 으로부터 제조 라인 (108) 에서 소정의 장치군내의 소정의 기계 장비에서 소정의 피가공 물체에 관한 요구를 받아들일 때, 제일 우선은 단계 801 에서 로트 번호를 수용하는 것이다.In particular, in the present invention, the processing route setting means 112 receives a request from the central processing means 101 in the manufacturing line 108 at a predetermined mechanical equipment in a predetermined apparatus group in a predetermined machine object. When entering, the first priority is to accept the lot number in step 801.
이렇게할 때, 만약 소정의 장치군내 소정의 기계 장비에서 피가공 물체의 수가 2 이상이면, 그것의 로트 번호는 가공처리 경로 설정 수단 (112) 에 제공된 우선 연산 모듈 (117) 로 통과된다.In doing so, if the number of workpieces in a given machine equipment in a given device group is two or more, its lot number is passed to the preferential calculation module 117 provided in the processing route setting means 112.
다음으로, 우선 연산 모듈 (117) 에서, 예를 들면, 가공처리시 물체에 관하여 현재 시간후에 잔존물을 각각 가공처리하기 위해 요구된 시간의 전체 합계를 연산하는, 잔존 가공처리 시간 연산 수단 (119) 은 가공처리 플로우 기억 수단 (103) 으로부터 가공처리시 물체의 로트를 위해 다수의 잔존물 가공처리를 위해 검색에 사용된다 (단계 802).Next, in the calculation module 117, the remaining processing time calculation means 119 for calculating, for example, the total sum of the time required for processing each of the residues after the current time with respect to the object in the processing. Is used for retrieval from the processing flow storing means 103 for processing a plurality of residues for processing of lots of objects in the processing (step 802).
검색이 완료될 때, 발견되어진 잔존 가공처리를 위한 필요한 가공처리 시간량이 가공처리 조건 기억 수단 (104) 으로부터 검색된다 (단계 803).When the retrieval is completed, the required processing time amount for the found remaining processing is retrieved from the processing condition storage means 104 (step 803).
이렇게 할 때, 개개 가공처리 기계 장비사이에서 다른 가공처리 시간이 발생하는 경우에, 그들 사이에서 가장 긴 가공처리 시간이 선택된다 (단계 804).In doing so, if different processing times occur between individual processing machine equipment, the longest processing time is selected between them (step 804).
검색이 완료된후, 가공처리시 개개 물체에 관하여 잔존 가공처리를 하기 위해 요구되는 가공처리 시간의 합계가 얻어지고, 또한 가동처리시 개개 물체에 대해 로트에 의해 잔존 단계를 위한 가공처리 시간의 전체 합계가 결정된다 (단계 804).After the retrieval is completed, the sum of the processing times required for the remaining machining on the individual objects in the processing is obtained, and the total sum of the processing times for the remaining steps by lot for the individual objects in the operation processing. Is determined (step 804).
다음으로, 예를 들면, 우선 연산 모듈 (117) 내에 제공된 납기잔존시간연산수단 (118) 은, 각각 피가공물체 로트 및 현존일시로부터, 연산에 의해 납기되는 시간을 결정하는데 사용된다.Next, for example, first, the delivery time remaining time calculating means 118 provided in the calculation module 117 is used to determine the time to be delivered by calculation from the lot of the workpiece and the existing date and time, respectively.
납기되는 시간이 결정될 때, 부가적으로 상기 잔존 가공처리를 위한 전체 가공처리 시간의 합계를 취할 때, 출력으로부터 우선 가공처리 레이트를 연산하는 레이트 연산 수단 (120), 예를 들면, 납기 잔존 시간 연산수단 (118) 과 잔존 가공처리 시간 연산 수단 (119) 이 아래의 연산에 의해 우선 가공처리 레이트를 결정하는데 사용된다.When the time to be delivered is determined, additionally, when calculating the total of the total processing time for the remaining processing, rate calculating means 120 for calculating the processing speed first from the output, for example, calculating the delivery time remaining The means 118 and the remaining machining time calculating means 119 are used to first determine the machining rate by the following calculation.
우선 가공처리 레이트 = (납기까지의 시간)/(잔존 가공처리를 위한 전체 가공처리 시간의 합계)First processing rate = (time to delivery date) / (total processing time for remaining processing)
결정된 우선 가공처리 레이트가 작아지면 작아질수록, 고객에 대한 피가공물체의 납기를 위한 시간이 임계적으로 더욱 제한되기 때문에, 우선은 가공처리시 가장 작은 우선 레이트를 갖는 물체으로써 개시한다 (단계 807).As the determined preferred processing rate becomes smaller, the time for delivery of the workpiece to the customer is more critically limited, therefore, first of all, it starts with the object having the smallest priority rate during processing (step 807). ).
따라서, 작은 우선 가공처리 레이트를 갖는 로트를 가공처리시 물체에 관하여, 현재 개시가 행해질 수 있는 가공처리에서, 검색이 자유롭게 소정의 장치군내 기계장비를 위해 이루어지고, 그것의 결합이 잔존 가공처리를 행할 수 있도록 자동적으로 기계장비를 선택하는 것이 가능하다.Therefore, in the machining process in which the present disclosure can be made with respect to an object in the machining process of a lot having a small preferential machining rate, a search is freely made for a machine in a predetermined group of devices, and a combination thereof is performed for the remaining machining process. It is possible to automatically select the machinery to be carried out.
상기 가공처리가 연속적으로 행해져, 가공처리시 물체의 반복적인 가공처리가 이루어진다.The processing is carried out continuously, so that a repetitive processing of the object during the processing is performed.
도 9 는 본 발명에 따른 생산 제어 장치 (1) 를 사용하는 생산 제어 방법의 보기를 도시한 순서도이다.9 is a flowchart showing an example of a production control method using the production control apparatus 1 according to the present invention.
도 9 에 도시된 본 발명의 기본적인 보기에 있어서, 도 8 에서의 단계 806 전의 가공처리는 동일하고, 단계 806 으로부터 가공처리 단계 및 그 후의 단계는 도 8 에 도시된 단계와 다르고, 또한 이러한 단계가 서술될 것이고, 이전 단계는 설명으로부터 생략될 것이다.In the basic example of the present invention shown in FIG. 9, the processing before step 806 in FIG. 8 is the same, and the processing step and subsequent steps from step 806 are different from the steps shown in FIG. Will be described, and the previous step will be omitted from the description.
도 9 있어서, 단계 901 에서 가공처리시 긴 가공처리 시간을 갖는 물체은 상기 생산 보관 선반 (110) 에 보관된 가공처리시 물체의 주어진 장치군에서 가공처리를 기다리는 가공처리시 물체의 군으로부터 선택되고, 또한 이러한 선택된 물체의 우선 레이트가 연산된다 (단계 901).In Fig. 9, an object having a long processing time during processing in step 901 is selected from the group of objects during processing waiting for processing in a given device group of objects stored in the production storage shelf 110, The preferred rate of this selected object is also calculated (step 901).
상기 단계 901 에서 연산된 우선 가공처리 레이트로부터, 체크는 가공처리시 이러한 물체의 납기가 가능한지 아닌지를 판단하게 한다. (단계 902). 만약 우선 가공처리 레이트가 어떤값 (예를 들면, 1.3 이상) 이상이면, 가공처리시 물체의 납기에서 여전히 어떤 여유를 볼수 있기 때문에, 가공처리시 물체이 가공처리될 수 있는 기계장비가 가공처리 조건 기억 수단 (104) 으로부터 검색된다 (단계 903).From the preferred processing rate calculated in step 901, a check allows to determine whether or not delivery of such an object is possible in the processing. (Step 902). If the processing rate is above a certain value (for example, 1.3 or more), since there is still some margin in the delivery time of the object during processing, the machine equipment that can process the object during processing may remember the processing conditions. It is retrieved from the means 104 (step 903).
다음으로, 발견된 장치군의 기계장비로부터, 검색은 피가공 물체에 관하여 작업 상황 기억 수단 (104) 을 만들어 자유로운 장치를 발견한다 (단계 904).Next, from the machine of the found group of devices, the search makes working condition storage means 104 with respect to the workpiece to find a free device (step 904).
그 후, 자유로운 장치의, 가장 큰 가공처리 시간을 갖는 장치가 가공처리조건 기억 수단 (104) 으로부터 검색되고, 또한 소정의 가공처리가 그안에서 행해진다 (단계 905 및 906).Thereafter, the device having the largest processing time of the free device is retrieved from the processing condition storage means 104, and predetermined processing is performed therein (steps 905 and 906).
상기 판단을 함에 있어서, 가공처리시 물체에 관하여 잔존 가공처리를 위해 실제적으로 요구되는 잔존 시간은 검색되어 발견되는 시간까지보다 더 천천히 검증된다. 다음으로, 상기 우선 가공처리 레이트가 상술한 경우와 마찬가지로, 주어진 값보다 이하인 (예를 들면, 1.3 이하) 경우에, 검색은 가공처리 조건 기억 수단 (104) 및 작업 상황 기억 수단 (105) 으로부터 가공처리를 행할 수 있는 자유로운 장치를 만든다 (단계 907 및 908).In making the above judgment, the remaining time actually required for the remaining machining process with respect to the object in the machining process is verified more slowly than the time to be found by searching. Next, as in the case where the above preferred processing rate is less than the given value (for example, 1.3 or less), the retrieval is processed from the processing condition storage means 104 and the work condition storage means 105. Create a free device capable of processing (steps 907 and 908).
다음으로, 자유로운 장치의, 검색은 가공처리조건 기억 수단 (104) 으로부터 가장 작은 가공처리 시간을 갖는 장치를 만들고, 또한 소정의 가공처리가 시작된다 (단계 909 및 910).Next, the retrieval of the free device makes the device having the smallest processing time from the processing condition storage means 104, and predetermined processing starts (steps 909 and 910).
가공처리시 물체의 소정의 가공처리가 시작하는 경우에, 후의 가공처리에 사용될 수 있는 가공처리 장치는 가공처리 플로우 설정 수단 (103) 및 가공처리 조건 기억 수단 (104) 으로부터 검색된다 (단계 911).In the case where a predetermined processing of an object starts in the processing, a processing apparatus that can be used for subsequent processing is retrieved from the processing flow setting means 103 and the processing condition storage means 104 (step 911). .
다음으로, 가공처리 조건 기억 수단 (104) 에 기억된 소정의 가공처리 시간을 사용하면, 가공처리는 행해지고, 짧은 가공처리 시간을 갖는 물체으로써 개시한다 (단계 912).Next, when the predetermined processing time stored in the processing condition storage means 104 is used, processing is performed and starts as an object having a short processing time (step 912).
따라서, 가공처리시 물체의 연속적인 가공처리에 사용될 수 있는 기계 장비의 연속적인 설정후에, 이러한 기계의 자유로운 조건이 검색되고, 또한 자유로운 장치의, 가공처리 시간에 따라 높은 우선도를 갖는 자유로운 장치가 선정되어, 가능한한 현재의 작동 가공처리가 완료되고, 다음 가공처리를 작동하는 것이 가능하다 (단계 913 및 단계 914).Therefore, after the continuous setting of the mechanical equipment that can be used for the continuous processing of the object in the processing, the free conditions of such a machine are searched, and the free apparatus of the free apparatus, which has a high priority according to the processing time, It is possible to select and complete the current working processing as much as possible and to operate the next working processing (steps 913 and 914).
가공처리시 물체의 가공처리가 완료될때까지 단계 913 및 단계 914 가 행해지고, 가장 짧은 가공처리 시간을 가지는 장치를 얻기 위해 적절한 작동 시간동안 반복적으로 실행된다 (단계 915).In processing, steps 913 and 914 are performed until the processing of the object is completed, and is repeatedly executed for an appropriate operating time to obtain a device having the shortest processing time (step 915).
그 후, 가공처리가 완료될 때, 운반은 이전의 단계에서 확증된 다른 장치군에서 이루어지고, 체크의 위치에서 우선 가공처리 레이트가 다시 이루어진다. 만약 물체에 관한 우선 가공처리 레이트가 1.3 이하이면, 상기 순서도는 요구되는 가공처리를 행하기 위해 새로운 장치에서 반복된다.Then, when the processing is completed, the conveyance is made in another apparatus group confirmed in the previous step, and the processing rate is first made again at the position of the check. If the preferred processing rate for the object is 1.3 or less, the flowchart is repeated in the new apparatus to perform the required processing.
상기 단계를 반복함으로써, 피가공물체은 본 발명에의해 최종 생산으로서 가공처리된다.By repeating the above steps, the workpiece is processed as the final production by the present invention.
상술한 것과 같이 본 발명의 효과는 가공처리되는 물체를 처리하는 경우에 가공처리 순위를 실가공처리시간으로부터 구하거나 실시간의 표존 처리 시간과, 잔류 가공처리 공정, 납기를 고려한 우선 처리 레이트를 기준으로, 우선도를 결정하고, 이에 기준하여 피가공물체에 대한 가공처리 경로의 선택을 행하는 것으로, 작동자의 경험이나 직간의 개입이 없는 생산제어 방법이 가능하다.As described above, the effects of the present invention can be obtained based on the prioritized processing rate in consideration of the real time treatment time, the residual processing time, and the delivery time in order to obtain the processing order from the actual processing time when processing the object to be processed. By determining the priority, and selecting the processing route for the workpiece, the production control method without the operator's experience or direct intervention is possible.
게다가, 본 발명에 있어서, 종래의 시뮬레이션 기술과 같이, 결과를 얻는데 장시간을 필요로 하지 않고, 또한 애매한 예측 결과를 기준하는 처리수순을 설정하는 것이 아니라, 수시로 정확한 결과를 얻는 것이 가능하기 때문에, 플렉스블하고 적절한 우선도의 변경이 가능해지고, 그 결과로 납기준수율을 향상시키고 생산 제어 방법이 가능하다.In addition, in the present invention, since it is possible to obtain an accurate result at any time, rather than setting a processing procedure based on an ambiguous prediction result without requiring a long time for obtaining a result, as in the conventional simulation technique, the flex And priorities can be changed, resulting in improved lead-based yields and production control methods.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1996-205570 | 1996-08-05 | ||
| JP20557096A JP2800795B2 (en) | 1996-08-05 | 1996-08-05 | Production control method and production control device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980018384A true KR19980018384A (en) | 1998-06-05 |
Family
ID=16509087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970037374A KR19980018384A (en) | 1996-08-05 | 1997-08-05 | Production control method and production control device |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2800795B2 (en) |
| KR (1) | KR19980018384A (en) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100303322B1 (en) * | 1999-05-20 | 2001-09-26 | 박종섭 | unity automatization system and method for the semi-conductor line management |
| JP4313652B2 (en) * | 2003-11-12 | 2009-08-12 | 川崎マイクロエレクトロニクス株式会社 | Scheduling device |
| JP5657189B2 (en) * | 2005-11-09 | 2015-01-21 | 株式会社神戸製鋼所 | Schedule correction apparatus, schedule correction program, and schedule correction method |
| JP5326506B2 (en) * | 2008-11-06 | 2013-10-30 | セイコーエプソン株式会社 | Production management method and production management system |
| JP5359312B2 (en) * | 2009-01-26 | 2013-12-04 | セイコーエプソン株式会社 | Manufacturing line process management method and process management system |
| JP5388722B2 (en) * | 2009-06-25 | 2014-01-15 | 三菱電機株式会社 | Standard work period setting device |
| CN115916460A (en) * | 2020-08-18 | 2023-04-04 | 三菱电机株式会社 | Scheduling device and learning device |
| CN112185868B (en) * | 2020-09-21 | 2024-03-15 | 常州科讯精密机械有限公司 | Flower basket path time prejudging method, program system, device, server and system |
| CN116394233B (en) * | 2023-01-12 | 2024-03-19 | 江苏启威星装备科技有限公司 | Mechanical arm control method, storage medium and electronic equipment |
-
1996
- 1996-08-05 JP JP20557096A patent/JP2800795B2/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-08-05 KR KR1019970037374A patent/KR19980018384A/en not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2800795B2 (en) | 1998-09-21 |
| JPH1050571A (en) | 1998-02-20 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E601 | Decision to refuse application |