KR102532094B1 - Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor - Google Patents
Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor Download PDFInfo
- Publication number
- KR102532094B1 KR102532094B1 KR1020230022810A KR20230022810A KR102532094B1 KR 102532094 B1 KR102532094 B1 KR 102532094B1 KR 1020230022810 A KR1020230022810 A KR 1020230022810A KR 20230022810 A KR20230022810 A KR 20230022810A KR 102532094 B1 KR102532094 B1 KR 102532094B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- barrel body
- hole
- barrel
- incident
- inner barrel
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 12
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 9
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 2
- 241000282472 Canis lupus familiaris Species 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/028—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/023—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 관한 것이다.The present invention relates to a beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors.
이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더는 이차전지 및 반도체를 검사하기 위해 사용되는 레이저에서 나오는 빛과 같은 평행 광선속을 굵은 평행 광선속으로 변화하기 위해서 초점 위치를 일치시킨 두 쌍의 렌즈로 구성된 장치를 말한다.A beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors refers to a device composed of two pairs of lenses whose focal positions are matched in order to change a bundle of parallel rays, such as light from a laser used for inspecting secondary batteries and semiconductors, into a bundle of thick parallel rays.
이러한 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.What can be presented as an example of such a beam expander for secondary battery and semiconductor inspection is that of the patent document presented below.
그러나, 종래의 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 의하면, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 작동 중에 레이저의 열기에 의해 빔 익스팬더의 구성 요소들이 가열되면서 렌즈가 임의로 초점 이동(focus shift)되는 현상이 발생되는 문제가 있었다.However, according to the conventional beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors, while the beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors is operated, the elements of the beam expander are heated by the heat of the laser and the lens is arbitrarily shifted in focus. There was a problem that caused the phenomenon.
본 발명은 작동 중에 발생되는 열기에 의해 구성 요소들이 가열되면서 렌즈가 임의로 초점 이동되는 현상의 발생이 방지될 수 있도록 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor capable of preventing a phenomenon in which a lens is arbitrarily moved in focus while components are heated by heat generated during operation.
본 발명의 일 측면에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더는 내부가 빈 실린더 형태로 형성되는 내부 경통 몸체를 포함하는 내부 경통 부재; 상기 내부 경통 몸체의 내부에 광이 입사되는 쪽인 상기 내부 경통 몸체의 내부의 일 측부에 삽입되어 상기 내부 경통 몸체의 길이 방향으로 이동 가능한 입사측 렌즈 부재; 상기 내부 경통 몸체의 외곽을 감싸되 상기 내부 경통 몸체에 대해 상대적으로 회전될 수 있도록 배치되는 중간 경통 몸체를 포함하고, 상기 입사측 렌즈 부재의 이동을 위한 외력의 인가를 위한 중간 경통 부재; 및 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 소정 간격 이격되면서 상기 중간 경통 몸체의 외곽을 감싸되 상기 중간 경통 몸체가 내부에서 회전될 수 있도록 배치되는 외부 경통 몸체와, 상기 중간 경통 몸체의 회전을 위한 외력 인가를 위해 상기 중간 경통 몸체의 일부가 외부에 대해 노출되도록 상기 외부 경통 몸체의 일정 부분이 개방된 형태로 이루어진 외부 경통 개방홀을 포함하는 외부 경통 부재;를 포함하고,A beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors according to an aspect of the present invention includes an inner barrel member including an inner barrel body formed in an empty cylindrical shape; an incident-side lens member inserted into one side of the inner barrel body, which is a side on which light is incident into the inner barrel body, and movable in the longitudinal direction of the inner barrel body; an intermediate barrel member for applying an external force for moving the incident-side lens member, including an intermediate barrel body wrapped around the outer barrel body and disposed to rotate relatively with respect to the inner barrel body; and an external barrel body spaced apart from the periphery of the intermediate barrel body by a predetermined distance and wrapped around the periphery of the intermediate barrel body so that the intermediate barrel body can be rotated inside, and applying an external force for rotation of the intermediate barrel body. An external barrel member including an external barrel opening hole in which a certain portion of the external barrel body is opened so that a portion of the intermediate barrel body is exposed to the outside,
상기 내부 경통 부재는 상기 내부 경통 몸체의 내부의 열기의 배출을 위한 내부 경통측 배출홀을 포함하고, 상기 중간 경통 부재는 상기 내부 경통측 배출홀을 통해 배출된 열기의 배출을 위해 상기 내부 경통측 배출홀과 연통되는 중간 경통측 배출홀을 포함하고, 상기 내부 경통 몸체의 내부의 열기는 상기 내부 경통측 배출홀, 상기 중간 경통측 배출홀, 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈 및 상기 외부 경통 개방홀을 통해 외부로 배출될 수 있는 것을 특징으로 한다.The inner barrel member includes an inner barrel-side discharge hole for discharging heat inside the inner barrel body, and the intermediate barrel member includes an inner barrel-side discharge hole for discharging hot air discharged through the inner barrel-side discharge hole. and an intermediate barrel-side discharge hole communicating with the discharge hole, and heat inside the inner barrel body is discharged from the inner barrel-side discharge hole, the intermediate barrel-side discharge hole, the outer periphery of the intermediate barrel body, and the inner portion of the outer barrel body. It is characterized in that it can be discharged to the outside through the gap between the barrel and the external barrel opening hole.
본 발명의 일 측면에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 의하면, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더가 내부 경통 부재와, 입사측 렌즈 부재와, 중간 경통 부재와, 외부 경통 부재를 포함함에 따라, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 작동 중에 광에 의해 발생된 내부 경통 몸체의 내부의 열기가 내부 경통측 배출홀, 중간 경통측 배출홀, 중간 경통 몸체의 외곽과 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈 및 외부 경통 개방홀을 통해 외부로 배출될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 작동 중에 발생되는 열기에 의해 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 구성 요소들인 상기 내부 경통 부재, 상기 입사측 렌즈 부재, 상기 중간 경통 부재 등이 가열되면서 상기 입사측 렌즈 부재 등의 렌즈가 임의로 초점 이동되는 현상의 발생이 방지될 수 있게 되는 효과가 있다.According to the beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors according to an aspect of the present invention, the beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors includes an inner barrel member, an incident-side lens member, an intermediate barrel member, and an external barrel member. Accordingly, during the operation of the beam expander for inspecting the secondary battery and semiconductor, heat generated by light inside the inner barrel body is transferred to the discharge hole on the inner barrel side, the discharge hole on the middle barrel side, the outer periphery of the intermediate barrel body and the inner side of the outer barrel body. Components of the beam expander for inspecting the secondary battery and semiconductor can be discharged to the outside through the gap between the gaps and the external barrel opening hole, and accordingly, the heat generated during operation of the beam expander for inspecting the secondary battery and semiconductor There is an effect of preventing the occurrence of a phenomenon in which the lenses of the incident-side lens member are arbitrarily shifted in focus while the inner barrel member, the incident-side lens member, and the intermediate barrel member are heated.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더를 위에서 내려다본 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대한 분해 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대한 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더를 구성하는 중간 경통 부재에 대한 단면도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 일부를 확대한 단면도.1 is a perspective view looking down from above of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention;
2 is an exploded perspective view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of an intermediate barrel member constituting a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention.
5 is a partially enlarged cross-sectional view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to another embodiment of the present invention.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대하여 설명한다.Hereinafter, a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더를 위에서 내려다본 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대한 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더를 구성하는 중간 경통 부재에 대한 단면도이다.1 is a perspective view looking down from above of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention. 3 is a cross-sectional view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an intermediate barrel member constituting a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to an embodiment of the present invention. is a cross-section of
도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)는 내부 경통 부재(140)와, 입사측 렌즈 부재(150)와, 중간 경통 부재(130)와, 외부 경통 부재(110)를 포함한다.1 to 4 together, the beam expander 100 for inspecting secondary batteries and semiconductors according to the present embodiment includes an
또한, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)는 사출측 렌즈 부재(160)를 더 포함한다.In addition, the beam expander 100 for inspecting secondary batteries and semiconductors further includes an emission-
상기 내부 경통 부재(140)는 내부가 빈 실린더 형태로 형성되는 내부 경통 몸체(141)와, 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 열기의 배출을 위한 내부 경통측 배출홀(143, 144)을 포함하는 것이다.The
또한, 상기 내부 경통 부재(140)는 상기 내부 경통 몸체(141)의 길이 방향으로 소정 길이의 장공(長孔) 형태로 형성되는 내부 경통측 가이드홀(142)과, 상기 내부 경통 몸체(141) 중 광이 사출되는 쪽의 말단 부분에 상기 내부 경통 몸체(141)에 비해 상대적으로 큰 직경의 원형 플랜지 형태로 형성되는 내부 경통측 플랜지(145)와, 상기 내부 경통측 플랜지(145)로부터 소정 길이로 연장되되 내부가 빈 실린더 형태로 형성되고 상기 내부 경통 몸체(141)에 비해서는 소정 크기만큼 상대적으로 큰 직경이면서 상기 내부 경통측 플랜지(145)에 비해서는 소정 크기만큼 상대적으로 작은 직경으로 형성되는 내부 경통측 연장체(146)와, 상기 내부 경통측 연장체(146)의 길이 방향으로 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 연장측 가이드홀(147)을 포함한다.In addition, the
상기 내부 경통측 배출홀(143, 144)은 복수 개로 이루어지되, 상기 내부 경통 몸체(141)에 소정 간격으로 서로 이격되도록 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 관통 형성된다.The inner barrel-
상세히, 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144)은 상기 내부 경통 몸체(141) 중 광이 입사되는 쪽 부분에 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 복수 개 형성되는 입사측 내부 배출홀(143)과, 상기 내부 경통 몸체(141) 중 광이 사출되는 쪽 부분에 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 복수 개 형성되는 사출측 내부 배출홀(144)을 포함한다.In detail, a plurality of the inner barrel-
상기 내부 경통 몸체(141) 중 광이 입사되는 쪽 부분의 동일 원주 상에 복수 개의 상기 입사측 내부 배출홀(143)이 서로 이격되도록 배치되고, 상기 내부 경통 몸체(141) 중 광이 사출되는 쪽 부분의 동일 원주 상에 복수 개의 상기 사출측 내부 배출홀(144)이 서로 이격되도록 배치된다.A plurality of incident-side
상기 입사측 렌즈 부재(150)는 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부에 광이 입사되는 쪽인 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 일 측부에 삽입되어 상기 내부 경통 몸체(141)의 길이 방향으로 이동 가능한 것이다.The incident-
상기 입사측 렌즈 부재(150)는 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부에서 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부를 따라 이동될 수 있도록 소정 폭의 원형 실린더 형태로 형성되는 입사측 렌즈 몸체(151)와, 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 내부에 삽입되는 입사측 렌즈체(152)와, 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외부로 소정 높이로 돌출되어 상기 내부 경통측 가이드홀(142)을 관통하여 상기 내부 경통측 가이드홀(142)을 따라 이동되면서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)가 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부를 따라 이동될 때 상기 입사측 렌즈 몸체(151)가 상기 내부 경통 몸체(141)에 대해 회전되는 것을 방지해주는 입사측 렌즈 돌출체(153)와, 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면 중 일 측부에 치우쳐서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면과 상기 내부 경통 몸체(141)의 내면 사이를 밀폐시키는 입사측 렌즈 제 1 밀폐링(155)과, 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면 중 타 측부에 치우쳐서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면과 상기 내부 경통 몸체(141)의 내면 사이를 밀폐시키는 입사측 렌즈 제 2 밀폐링(156)을 포함한다.The incident-
상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면 중 상기 입사측 렌즈 돌출체(153)를 사이에 두고 각 측부에 상기 입사측 렌즈 제 1 밀폐링(155)과 상기 입사측 렌즈 제 2 밀폐링(156)이 각각 배치됨으로써, 상기 입사측 렌즈 몸체(151)의 외면과 상기 내부 경통 몸체(141)의 내면 사이가 더욱 밀폐될 수 있어서, 먼지 등의 이물질의 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부로의 유입이 차단될 수 있게 된다.The incident-side lens first sealing
상기 중간 경통 부재(130)는 내부가 빈 실린더 형태로 형성되되 상기 내부 경통 몸체(141)에 비해 소정 크기만큼 상대적으로 큰 직경으로 형성되어 상기 내부 경통 몸체(141)의 외곽을 감싸되 상기 내부 경통 몸체(141)에 대해 상대적으로 회전될 수 있도록 배치되는 중간 경통 몸체(131)를 포함하고, 상기 입사측 렌즈 부재(150)의 이동을 위한 외력의 인가를 위한 것이다.The
작업자가 상기 중간 경통 몸체(131)를 손으로 잡고 외력을 가하여 상기 중간 경통 몸체(131)를 돌려줄 수 있다.A worker may rotate the
상기 중간 경통 부재(130)는 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144)을 통해 배출된 열기의 배출을 위해 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144)과 각각 연통되는 중간 경통측 배출홀(132, 133)을 포함한다.The
상기 중간 경통 몸체(131)가 외력에 의해 회전될 때 상기 중간 경통측 배출홀(132, 133)이 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144) 중 적어도 하나와 연통될 수 있도록 상기 중간 경통측 배출홀(132, 133)은 상기 중간 경통 몸체(131)에 소정 길이의 장공(長孔) 형태로 관통 형성된다.When the
상기 중간 경통측 배출홀(132, 133)은 상기 중간 경통 몸체(131) 중 광이 입사되는 쪽 부분에 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주를 따라 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 입사측 중간 배출홀(132)과, 상기 중간 경통 몸체(131) 중 광이 사출되는 쪽 부분에 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주를 따라 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 사출측 중간 배출홀(133)을 포함한다.The intermediate barrel-
상기 입사측 중간 배출홀(132)은 상기 입사측 내부 배출홀(143)과 연통될 수 있는 위치에 형성되고, 상기 사출측 중간 배출홀(133)은 상기 사출측 내부 배출홀(144)과 연통될 수 있는 위치에 형성된다.The entrance-side
상기 입사측 내부 배출홀(143)이 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 복수 개 형성되고, 상기 입사측 중간 배출홀(132)은 상기 입사측 내부 배출홀(143)과 연통될 수 있는 위치에 소정 길이의 장공 형태로 형성되고, 상기 사출측 내부 배출홀(144)이 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 복수 개 형성되고, 상기 사출측 중간 배출홀(133)은 상기 사출측 내부 배출홀(144)과 연통될 수 있는 위치에 소정 길이의 장공 형태로 형성된다.A plurality of incident-side
상기 입사측 내부 배출홀(143)은 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 맞물릴 수 있는 직경의 원형의 홀로 형성되어 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 형성되고, 상기 입사측 중간 배출홀(132)은 상기 입사측 내부 배출홀(143)과 맞물릴 수 있는 폭으로 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주 방향으로 소정 길이의 장공 형태로 형성되되 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주를 따라 복수 개가 서로 이격되도록 형성되고, 상기 사출측 내부 배출홀(144)은 상기 사출측 중간 배출홀(133)과 맞물릴 수 있는 직경의 원형의 홀로 형성되어 상기 내부 경통 몸체(141)의 원주를 따라 서로 이격되도록 형성되고, 상기 사출측 중간 배출홀(133)은 상기 사출측 내부 배출홀(144)과 맞물릴 수 있는 폭으로 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주 방향으로 소정 길이의 장공 형태로 형성되되 상기 중간 경통 몸체(131)의 원주를 따라 복수 개가 서로 이격되도록 형성됨으로써, 상기 중간 경통 몸체(131)가 외력에 의해 회전될 때, 상기 입사측 중간 배출홀(132)은 복수 개의 상기 입사측 내부 배출홀(143) 중 적어도 하나와 연통되고, 상기 사출측 중간 배출홀(133)은 복수 개의 상기 사출측 내부 배출홀(144) 중 적어도 하나와 연통된다. 바람직하게는, 상기 입사측 중간 배출홀(132) 각각은 상기 입사측 내부 배출홀(143)의 다수 개와 연통되고, 상기 사출측 중간 배출홀(133) 각각은 상기 사출측 내부 배출홀(144)의 다수 개와 연통될 수 있다. 그러면, 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 상기 사출측 중간 배출홀(133) 각각은 상기 중간 경통 몸체(131)의 회전과 무관하게 상기 입사측 내부 배출홀(143)과 상기 사출측 내부 배출홀(144) 각각과 항상 연통된 형태를 유지할 수 있게 된다.The incident-side
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 중간 경통 몸체(131)의 내면에는 광의 진행 방향으로 경사진 형태로 소정 길이로 길게 형성되어 상기 입사측 렌즈 돌출체(153)의 말단부가 삽입되어 이동될 수 있는 중간 경통측 가이드홀(134)을 포함한다.As shown in FIG. 4, the inner surface of the
상기 중간 경통 몸체(131)가 외력에 의해 회전될 때, 상기 입사측 렌즈 돌출체(153)가 상기 내부 경통측 가이드홀(142)을 관통한 상태여서 상기 입사측 렌즈 몸체(151)는 상기 내부 경통 몸체(141)에 대해 비회전되면서, 상기 입사측 렌즈 돌출체(153)의 말단부가 상기 중간 경통측 가이드홀(134)에 삽입된 상태여서 상기 입사측 렌즈 돌출체(153)의 말단부가 상기 중간 경통측 가이드홀(134)을 따라 이동되고, 그에 따라 상기 입사측 렌즈 부재(150)가 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부에서 전후진되면서 이동될 수 있게 된다.When the
상기 외부 경통 부재(110)는 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과 소정 간격 이격되어 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과의 사이에 소정 간격의 틈(113, 114)을 형성하면서 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽을 감싸되 상기 중간 경통 몸체(131)가 내부에서 회전될 수 있도록 배치되는 외부 경통 몸체(111)와, 상기 중간 경통 몸체(131)의 회전을 위한 외력 인가를 위해 상기 중간 경통 몸체(131)의 일부가 외부에 대해 노출되도록 상기 외부 경통 몸체(111)의 일정 부분이 개방된 형태로 이루어진 외부 경통 개방홀(112)을 포함한다.The
작업자가 상기 중간 경통 몸체(131) 중 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 노출된 부분을 손으로 잡고 외력을 가하여 상기 중간 경통 몸체(131)를 돌려줄 수 있다.An operator may rotate the
상기 외부 경통 개방홀(112)은 상기 중간 경통 몸체(131) 중 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 상기 사출측 중간 배출홀(133) 사이의 부분과 대면되도록 형성되어, 상기 외부 경통 개방홀(112)은 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 상기 사출측 중간 배출홀(133)과 비대면되도록 서로 어긋나게 배치된다. 그러면, 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 먼지 등의 외부의 이물질이 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 상기 사출측 중간 배출홀(133)을 통해 곧바로 유입되는 현상이 방지될 수 있게 된다.The external
본 실시예에서는, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)의 작동 중에 광에 의해 발생된 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 열기가 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144), 상기 중간 경통측 배출홀(132, 133), 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(111)의 내곽 사이의 틈(113, 114) 및 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 외부로 배출될 수 있게 된다.In this embodiment, heat generated inside the
상세히, 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 열기 중 일부는 상기 입사측 내부 배출홀(143), 상기 입사측 중간 배출홀(132), 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(111)의 내곽 사이의 틈(113, 114) 중 상기 입사측 중간 배출홀(132)과 연통된 부분(113) 및 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 외부로 배출되고, 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 열기 중 나머지는 상기 사출측 내부 배출홀(144), 상기 사출측 중간 배출홀(133), 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(111)의 내곽 사이의 틈(113, 114) 중 상기 사출측 중간 배출홀(133)과 연통된 부분(114) 및 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 외부로 배출될 수 있게 된다.In detail, some of the heat inside the
상기 사출측 렌즈 부재(160)는 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)로부터 광이 사출(射出)되는 쪽인 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부에 삽입되어 상기 내부 경통측 연장체(146)의 길이 방향으로 이동 가능하고, 상기 입사측 렌즈 부재(150)와 연동되어 상기 입사측 렌즈 부재(150)를 통해 입사된 광의 광선속을 변화시키는 것이다.The emitting-
상기 사출측 렌즈 부재(160)는 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부에서 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부를 따라 이동될 수 있도록 소정 폭의 원형 실린더 형태로 형성되는 사출측 렌즈 몸체(161)와, 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 내부에 삽입되어 상기 입사측 렌즈체(152)와 연동되어 광선속을 변화시키는 사출측 렌즈체(162)와, 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외부로 소정 높이로 돌출되어 상기 연장측 가이드홀(147)을 관통하여 상기 연장측 가이드홀(147)을 따라 이동되면서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)가 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부를 따라 이동될 때 상기 사출측 렌즈 몸체(161)가 상기 내부 경통측 연장체(146)에 대해 회전되는 것을 방지해주는 사출측 렌즈 돌출체(163)와, 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면 중 일 측부에 치우쳐서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면과 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내면 사이를 밀폐시키는 사출측 렌즈 제 1 밀폐링(165)과, 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면 중 타 측부에 치우쳐서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 고무 등 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면과 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내면 사이를 밀폐시키는 사출측 렌즈 제 2 밀폐링(166)을 포함한다.The emission-
상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면 중 상기 사출측 렌즈 돌출체(163)를 사이에 두고 각 측부에 상기 사출측 렌즈 제 1 밀폐링(165)과 상기 사출측 렌즈 제 2 밀폐링(166)이 각각 배치됨으로써, 상기 사출측 렌즈 몸체(161)의 외면과 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내면 사이가 더욱 밀폐될 수 있어서, 먼지 등의 이물질의 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부로의 유입이 차단될 수 있게 된다.The ejection-side lens first sealing
상기 내부 경통측 연장체(146)의 외면에는 상기 내부 경통측 연장체(146)를 감싸면서 상기 내부 경통측 연장체(146)의 외면을 따라 회전될 수 있는 연장체측 외통 부재(120)가 배치된다.An extension body-side
상기 연장체측 외통 부재(120)는 상기 내부 경통측 연장체(146)를 감쌀 수 있도록 내부가 빈 실린더 형태로 형성되고, 상기 내부 경통측 연장체(146)에 비해 소정 크기만큼 큰 직경으로 형성된다.The extension body-side
작업자가 상기 연장체측 외통 부재(120)를 손으로 잡고 외력을 인가하여 상기 연장체측 외통 부재(120)를 회전시킬 수 있다.A worker may hold the elongated body-side
상기 연장체측 외통 부재(120)의 내면에는 상기 중간 경통측 가이드홀(134)처럼 광의 진행 방향으로 경사진 형태로 소정 길이로 길게 형성되어 상기 사출측 렌즈 돌출체(163)의 말단부가 삽입되어 이동될 수 있는 연장체측 외통 가이드홀이 형성된다.Like the intermediate barrel-
상기 연장체측 외통 부재(120)가 외력에 의해 회전될 때, 상기 사출측 렌즈 돌출체(163)가 상기 연장측 가이드홀(147)을 관통한 상태여서 상기 사출측 렌즈 몸체(161)는 상기 내부 경통측 연장체(146)에 대해 비회전되면서, 상기 사출측 렌즈 돌출체(163)의 말단부가 상기 연장체측 외통 가이드홀에 삽입된 상태여서 상기 사출측 렌즈 돌출체(163)의 말단부가 상기 연장체측 외통 가이드홀을 따라 이동되고, 그에 따라 상기 사출측 렌즈 부재(160)가 상기 내부 경통측 연장체(146)의 내부에서 전후진되면서 이동될 수 있게 된다.When the extension-side
상기와 같이, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)가 상기 내부 경통 부재(140)와, 상기 입사측 렌즈 부재(150)와, 상기 중간 경통 부재(130)와, 상기 외부 경통 부재(110)를 포함함에 따라, 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)의 작동 중에 광에 의해 발생된 상기 내부 경통 몸체(141)의 내부의 열기가 상기 내부 경통측 배출홀(143, 144), 상기 중간 경통측 배출홀(132, 133), 상기 중간 경통 몸체(131)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(111)의 내곽 사이의 틈(113, 114) 및 상기 외부 경통 개방홀(112)을 통해 외부로 배출될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)의 작동 중에 발생되는 열기에 의해 상기 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더(100)의 구성 요소들인 상기 내부 경통 부재(140), 상기 입사측 렌즈 부재(150), 상기 중간 경통 부재(130) 등이 가열되면서 상기 입사측 렌즈 부재(150) 등의 렌즈가 임의로 초점 이동되는 현상의 발생이 방지될 수 있게 된다.As described above, the secondary battery and semiconductor
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In performing this description, descriptions overlapping with those already described in the above-described embodiment of the present invention are replaced therewith, and will be omitted here.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더의 일부를 확대한 단면도이다.5 is a partially enlarged cross-sectional view of a beam expander for inspecting a secondary battery and a semiconductor according to another embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 본 실시예에서는, 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)이 외부 경통 개방홀(212)과 연통되는 말단부에서의 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽면에는 이물질 수용홀(273)이 함몰 형성된다.Referring to FIG. 5 , in this embodiment, the
상기 이물질 수용홀(273)은 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)의 말단부의 앞쪽에 소정 크기로 상기 외부 경통 개방홀(212)과 연통되도록 형성되되, 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214) 쪽으로 갈수록 점진적으로 깊어지는 경사면을 가지는 형태로 형성된다.The foreign matter
상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽면에서 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)의 말단부에 대면되는 부분에는 상기 이물질 수용홀(273)과 연통되는 기류 입사홀(272)이 함몰 형성된다.The outer surface of the
상기 기류 입사홀(272)은 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)의 내부(중간 경통측 배출홀(233)을 향하는 쪽 부분) 쪽으로 갈수록 점진적으로 얕아지는 경사면을 가지는 형태로 형성된다.The
상기 외부 경통 몸체(211)에서 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)을 이루는 부분의 내곽면에는 기류 투사홀(271)이 함몰 형성된다.An
상기 기류 투사홀(271)은 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)의 내부 쪽으로 갈수록 점진적으로 깊어지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고, 상기 기류 투사홀(271)의 초두 부분은 상기 기류 입사홀(272)의 말미 부분과 소정 크기만큼 대면되도록 형성된다.The
상기 외부 경통 몸체(211)에서 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)을 이루는 부분의 내곽면 중 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 향하는 쪽 부분에는 상기 기류 투사홀(271)과 연통되는 기류 유도홀(270)이 형성된다.In the
상기 기류 유도홀(270)은 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)의 내부 쪽으로 갈수록 점진적으로 얕아지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고, 상기 기류 유도홀(270)의 말미 부분은 상기 중간 경통측 배출홀(233)과 대면되도록 형성된다.The
상기와 같이 구성되면, 내부 경통 몸체(241)의 내부에서 발생된 열기를 포함한 기류가 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 통해 유동된 다음 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)을 통과하여 상기 외부 경통 개방홀(212)을 통해 배출될 때, 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 통해 유동된 기류 중 일부가 상기 기류 유도홀(270)로 입사되어 상기 기류 유도홀(270)을 통해 유동된 다음 상기 기류 투사홀(271)로 입사되어 상기 기류 투사홀(271)에 의해 상기 기류 입사홀(272) 쪽으로 방향 전환되면서 투사되고, 상기 기류 입사홀(272) 쪽으로 투사된 기류가 상기 이물질 수용홀(273)로 입사되어 상기 이물질 수용홀(273)을 통해 상승되면서 유동되어 상기 외부 경통 개방홀(212)로 향하게 됨으로써, 상기 외부 경통 개방홀(212)을 통해 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214) 쪽으로 인입되던 먼지 등의 이물질이 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)으로 유입되지 못하고 상기 이물질 수용홀(273)로 낙하되어 수용되어 있다가, 상기 기류 유도홀(270), 상기 기류 투사홀(271), 상기 기류 입사홀(272) 및 상기 이물질 수용홀(273)을 통해 순차적으로 유동된 기류에 의해 상기 외부 경통 개방홀(212) 쪽으로 비산될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 내부 경통 몸체(241)의 내부의 열기가 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)을 통해 외부로 배출될 수 있으면서도, 상기 외부 경통 개방홀(212)을 통해 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214) 쪽으로 먼지 등의 이물질이 임의 유입되는 현상이 방지될 수 있게 된다.When configured as described above, airflow including hot air generated inside the
한편, 상기 중간 경통 몸체(231)에는 상기 기류 입사홀(272)과 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 연통시키는 입사 배출 연통관(276)이 형성된다.On the other hand, the
상기 입사 배출 연통관(276)은 상기 중간 경통 몸체(231)의 외곽과 상기 외부 경통 몸체(211)의 내곽 사이의 틈(214)과 평행하도록 상기 중간 경통 몸체(231)를 관통한 형태로 형성된다.The entrance/
상기 중간 경통측 배출홀(233)의 주변 부분 중 상기 입사 배출 연통관(276)의 입구의 상단부에서는 소정 길이로 기류 유입 돌출체(274)가 돌출되어, 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 통해 유동되던 기류 중 일부가 상기 기류 유입 돌출체(274)에 의해 막히면서 상기 입사 배출 연통관(276)으로 유입되어 상기 기류 입사홀(272) 쪽으로 유동될 수 있게 된다.An air
상기 입사 배출 연통관(276)의 입구 부분(275)은 상기 입사 배출 연통관(276)의 다른 부분에 비해 점진적으로 확장된 형태로 형성되어, 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 통해 유동되던 기류의 상기 입사 배출 연통관(276) 쪽으로의 인입이 원활하게 이루어지도록 한다.The
상기와 같이 구성되면, 상기 중간 경통측 배출홀(233)을 통해 유동되던 기류 중 일부가 상기 기류 유입 돌출체(274)에 의해 막히면서 상기 입사 배출 연통관(276)으로 유입되어 상기 기류 입사홀(272) 쪽으로 유동되어, 상기 기류 유도홀(270), 상기 기류 투사홀(271), 상기 기류 입사홀(272) 및 상기 이물질 수용홀(273)을 통해 순차적으로 유동된 기류와 함께 상기 이물질 수용홀(273) 쪽으로 유동되어 상기 이물질 수용홀(273)의 내부에 있는 이물질을 비산시킬 수 있게 된다.When configured as described above, a portion of the airflow flowing through the middle barrel-
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.Although the present invention has been shown and described in relation to specific embodiments above, those skilled in the art may modify the present invention in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. And it will be appreciated that it can be changed. However, it should be clearly stated that all of these modifications and variations are included within the scope of the present invention.
본 발명의 일 측면에 따른 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더에 의하면, 작동 중에 발생되는 열기에 의해 구성 요소들이 가열되면서 렌즈가 임의로 초점 이동되는 현상의 발생이 방지될 수 있도록 할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to the beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors according to one aspect of the present invention, it is possible to prevent the occurrence of a phenomenon in which a lens is arbitrarily moved in focus while components are heated by heat generated during operation, thereby preventing the occurrence of a phenomenon in which a lens is arbitrarily moved. It is assumed that the availability is high.
100 : 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더
110 : 외부 경통 부재
130 : 중간 경통 부재
140 : 내부 경통 부재
150 : 입사측 렌즈 부재100: Beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors
110: member of external barrel
130: middle barrel member
140: member of internal barrel
150: incident side lens member
Claims (5)
상기 내부 경통 몸체의 내부에 광이 입사되는 쪽인 상기 내부 경통 몸체의 내부의 일 측부에 삽입되어 상기 내부 경통 몸체의 길이 방향으로 이동 가능한 입사측 렌즈 부재;
상기 내부 경통 몸체의 외곽을 감싸되 상기 내부 경통 몸체에 대해 상대적으로 회전될 수 있도록 배치되는 중간 경통 몸체를 포함하고, 상기 입사측 렌즈 부재의 이동을 위한 외력의 인가를 위한 중간 경통 부재; 및
상기 중간 경통 몸체의 외곽과 소정 간격 이격되면서 상기 중간 경통 몸체의 외곽을 감싸되 상기 중간 경통 몸체가 내부에서 회전될 수 있도록 배치되는 외부 경통 몸체와,
상기 중간 경통 몸체의 회전을 위한 외력 인가를 위해 상기 중간 경통 몸체의 일부가 외부에 대해 노출되도록 상기 외부 경통 몸체의 일정 부분이 개방된 형태로 이루어진 외부 경통 개방홀을 포함하는 외부 경통 부재;를 포함하고,
상기 내부 경통 부재는 상기 내부 경통 몸체의 내부의 열기의 배출을 위한 내부 경통측 배출홀을 포함하고,
상기 중간 경통 부재는 상기 내부 경통측 배출홀을 통해 배출된 열기의 배출을 위해 상기 내부 경통측 배출홀과 연통되는 중간 경통측 배출홀을 포함하고,
상기 내부 경통 몸체의 내부의 열기는 상기 내부 경통측 배출홀, 상기 중간 경통측 배출홀, 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈 및 상기 외부 경통 개방홀을 통해 외부로 배출될 수 있는 것을 특징으로 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더.an inner barrel member including an inner barrel body formed in the shape of an empty cylinder;
an incident-side lens member inserted into one side of the inner barrel body, which is a side on which light is incident into the inner barrel body, and movable in the longitudinal direction of the inner barrel body;
an intermediate barrel member for applying an external force for moving the incident-side lens member, including an intermediate barrel body wrapped around the outer barrel body and disposed to rotate relatively with respect to the inner barrel body; and
an outer barrel body spaced apart from the periphery of the intermediate barrel body by a predetermined distance and wrapped around the periphery of the intermediate barrel body so that the intermediate barrel body can be rotated inside;
An external barrel member including an external barrel opening hole in which a certain portion of the external barrel body is open so that a portion of the intermediate barrel body is exposed to the outside in order to apply an external force for rotation of the intermediate barrel body. do,
The inner barrel member includes an inner barrel-side discharge hole for discharging hot air inside the inner barrel body,
The intermediate barrel member includes an intermediate barrel-side discharge hole communicating with the inner barrel-side discharge hole for discharging hot air discharged through the inner barrel-side discharge hole,
The heat inside the inner barrel body is discharged to the outside through the inner barrel-side discharge hole, the intermediate barrel-side discharge hole, the gap between the outer barrel body and the outer barrel body, and the outer barrel opening hole. Beam expander for secondary battery and semiconductor inspection, characterized in that it can be.
상기 내부 경통측 배출홀은 복수 개로 이루어지되, 상기 내부 경통 몸체에 소정 간격으로 서로 이격되도록 상기 내부 경통 몸체의 원주를 따라 관통 형성되고,
상기 중간 경통 몸체가 외력에 의해 회전될 때 상기 중간 경통측 배출홀이 상기 내부 경통측 배출홀 중 적어도 하나와 연통될 수 있도록 상기 중간 경통측 배출홀은 상기 중간 경통 몸체에 소정 길이의 장공(長孔) 형태로 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더.According to claim 1,
The inner barrel-side discharge hole is formed in plurality, and is formed through the inner barrel body along the circumference of the inner barrel body so as to be spaced apart from each other at a predetermined interval.
When the intermediate barrel body is rotated by an external force, the intermediate barrel-side discharge hole may communicate with at least one of the inner barrel-side discharge holes. A beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors, characterized in that it is formed through a concave shape.
상기 내부 경통측 배출홀은
상기 내부 경통 몸체 중 광이 입사되는 쪽 부분에 상기 내부 경통 몸체의 원주를 따라 복수 개 형성되는 입사측 내부 배출홀과,
상기 내부 경통 몸체 중 광이 사출되는 쪽 부분에 상기 내부 경통 몸체의 원주를 따라 복수 개 형성되는 사출측 내부 배출홀을 포함하고,
상기 중간 경통측 배출홀은
상기 중간 경통 몸체 중 광이 입사되는 쪽 부분에 상기 중간 경통 몸체의 원주를 따라 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 입사측 중간 배출홀과,
상기 중간 경통 몸체 중 광이 사출되는 쪽 부분에 상기 중간 경통 몸체의 원주를 따라 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 사출측 중간 배출홀을 포함하고,
상기 중간 경통 몸체가 외력에 의해 회전될 때, 상기 입사측 중간 배출홀은 복수 개의 상기 입사측 내부 배출홀 중 적어도 하나와 연통되고, 상기 사출측 중간 배출홀은 복수 개의 상기 사출측 내부 배출홀 중 적어도 하나와 연통되는 것을 특징으로 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더.According to claim 2,
The discharge hole on the inner barrel side is
a plurality of incident-side internal discharge holes formed along the circumference of the inner barrel body in a portion of the inner barrel body on which light is incident;
a plurality of emission-side internal discharge holes formed along a circumference of the inner barrel body at a portion of the inner barrel body from which light is emitted;
The middle barrel side discharge hole is
an entrance-side intermediate discharge hole formed in the form of a long hole having a predetermined length along the circumference of the intermediate barrel body at a portion of the intermediate barrel body on which light is incident;
An emission-side intermediate discharge hole formed in the form of a long hole having a predetermined length along the circumference of the intermediate barrel body at a portion of the intermediate barrel body from which light is emitted, and
When the intermediate barrel body is rotated by an external force, the incident-side intermediate discharge hole communicates with at least one of the plurality of incident-side internal discharge holes, and the emission-side intermediate discharge hole is among the plurality of emission-side internal discharge holes. Beam expander for secondary battery and semiconductor inspection, characterized in that in communication with at least one.
상기 내부 경통 부재는
상기 내부 경통 몸체의 길이 방향으로 소정 길이의 장공 형태로 형성되는 내부 경통측 가이드홀을 포함하고,
상기 입사측 렌즈 부재는
상기 내부 경통 몸체의 내부에서 상기 내부 경통 몸체의 내부를 따라 이동될 수 있도록 소정 폭의 원형 실린더 형태로 형성되는 입사측 렌즈 몸체와,
상기 입사측 렌즈 몸체의 내부에 삽입되는 입사측 렌즈체와,
상기 입사측 렌즈 몸체의 외부로 소정 높이로 돌출되어 상기 내부 경통측 가이드홀을 관통하여 상기 내부 경통측 가이드홀을 따라 이동되면서 상기 입사측 렌즈 몸체가 상기 내부 경통 몸체의 내부를 따라 이동될 때 상기 입사측 렌즈 몸체가 상기 내부 경통 몸체에 대해 회전되는 것을 방지해주는 입사측 렌즈 돌출체와,
상기 입사측 렌즈 몸체의 외면 중 일 측부에 치우쳐서 상기 입사측 렌즈 몸체의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 입사측 렌즈 몸체의 외면과 상기 내부 경통 몸체의 내면 사이를 밀폐시키는 입사측 렌즈 제 1 밀폐링과,
상기 입사측 렌즈 몸체의 외면 중 타 측부에 치우쳐서 상기 입사측 렌즈 몸체의 외면을 따라 둘러진 형태로 배치되고 탄성을 가진 물질로 이루어져서 상기 입사측 렌즈 몸체의 외면과 상기 내부 경통 몸체의 내면 사이를 밀폐시키는 입사측 렌즈 제 2 밀폐링을 포함하는 것을 특징으로 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더.According to claim 3,
The internal barrel member is
An inner barrel-side guide hole formed in the form of a long hole having a predetermined length in the longitudinal direction of the inner barrel body,
The incident-side lens member is
an entrance-side lens body formed in a circular cylinder shape with a predetermined width so as to be movable from inside the inner barrel body along the inside of the inner barrel body;
an incident-side lens body inserted into the incident-side lens body;
When the incident-side lens body protrudes to the outside of the incident-side lens body at a predetermined height and passes through the inner barrel-side guide hole and moves along the inner barrel-side guide hole, the incident-side lens body moves along the inside of the inner barrel body. an incident-side lens protrusion preventing the incident-side lens body from being rotated with respect to the inner lens barrel body;
The outer surface of the incident-side lens body is biased toward one side of the outer surface of the incident-side lens body and is disposed along the outer surface of the incident-side lens body and is made of a material having elasticity to seal between the outer surface of the incident-side lens body and the inner surface of the inner barrel body. a first sealing ring of the lens on the incident side;
The outer surface of the incident-side lens body is biased toward the other side of the incident-side lens body and is disposed along the outer surface of the incident-side lens body and is made of a material having elasticity to seal between the outer surface of the incident-side lens body and the inner surface of the inner barrel body. Beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors, characterized in that it comprises a second sealing ring on the incident side lens.
상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈이 상기 외부 경통 개방홀과 연통되는 말단부에서의 상기 중간 경통 몸체의 외곽면에는 이물질 수용홀이 함몰 형성되고,
상기 이물질 수용홀은 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈의 말단부의 앞쪽에 소정 크기로 상기 외부 경통 개방홀과 연통되도록 형성되되, 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈 쪽으로 갈수록 점진적으로 깊어지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고,
상기 중간 경통 몸체의 외곽면에서 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈의 말단부에 대면되는 부분에는 상기 이물질 수용홀과 연통되는 기류 입사홀이 함몰 형성되고,
상기 기류 입사홀은 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈의 내부 쪽으로 갈수록 점진적으로 얕아지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고,
상기 외부 경통 몸체에서 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈을 이루는 부분의 내곽면에는 기류 투사홀이 함몰 형성되고,
상기 기류 투사홀은 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈의 내부 쪽으로 갈수록 점진적으로 깊어지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고, 상기 기류 투사홀의 초두 부분은 상기 기류 입사홀의 말미 부분과 소정 크기만큼 대면되도록 형성되고,
상기 외부 경통 몸체에서 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈을 이루는 부분의 내곽면 중 상기 중간 경통측 배출홀을 향하는 쪽 부분에는 상기 기류 투사홀과 연통되는 기류 유도홀이 형성되고,
상기 기류 유도홀은 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈의 내부 쪽으로 갈수록 점진적으로 얕아지는 경사면을 가지는 형태로 형성되고, 상기 기류 유도홀의 말미 부분은 상기 중간 경통측 배출홀과 대면되도록 형성되고,
상기 내부 경통 몸체의 내부에서 발생된 열기를 포함한 기류가 상기 중간 경통측 배출홀을 통해 유동된 다음 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈을 통과하여 상기 외부 경통 개방홀을 통해 배출될 때, 상기 중간 경통측 배출홀을 통해 유동된 기류 중 일부가 상기 기류 유도홀로 입사되어 상기 기류 유도홀을 통해 유동된 다음 상기 기류 투사홀로 입사되어 상기 기류 투사홀에 의해 상기 기류 입사홀 쪽으로 방향 전환되면서 투사되고, 상기 기류 입사홀 쪽으로 투사된 기류가 상기 이물질 수용홀로 입사되어 상기 이물질 수용홀을 통해 상승되면서 유동되어 상기 외부 경통 개방홀로 향하게 됨으로써, 상기 외부 경통 개방홀을 통해 상기 중간 경통 몸체의 외곽과 상기 외부 경통 몸체의 내곽 사이의 틈 쪽으로 인입되던 이물질이 상기 이물질 수용홀로 낙하되어 수용되어 있다가, 상기 기류 유도홀, 상기 기류 투사홀, 상기 기류 입사홀 및 상기 이물질 수용홀을 통해 순차적으로 유동된 기류에 의해 상기 외부 경통 개방홀 쪽으로 비산될 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더.
According to claim 4,
A foreign material accommodating hole is recessed on the outer surface of the intermediate barrel body at the distal end where the gap between the outer barrel body and the outer barrel body communicates with the outer barrel opening hole,
The foreign matter accommodating hole is formed in a predetermined size in front of the distal end of the gap between the outer barrel body and the outer barrel body to communicate with the outer barrel opening hole, and communicates with the outer barrel body and the outer barrel body. It is formed in the form of a slope that gradually deepens toward the gap between the inside of the body,
An air flow entrance hole communicating with the foreign matter accommodation hole is recessed at a portion of the outer surface of the intermediate barrel body facing the distal end of the gap between the outer barrel body and the outer barrel body,
The air flow entry hole is formed in a shape having an inclined surface gradually becoming shallower towards the inside of the gap between the outer periphery of the intermediate barrel body and the inner periphery of the outer barrel body,
An airflow projection hole is recessed on an inner surface of a portion of the outer barrel body that forms a gap between the outer barrel body and the outer barrel body,
The air flow projection hole is formed in the form of a slope gradually deepening toward the inside of the gap between the outer periphery of the middle barrel body and the inner periphery of the outer barrel body, and the first part of the air flow projection hole is formed with the end part of the air flow entrance hole and the other side. It is formed to face a predetermined size,
An airflow induction hole communicating with the airflow projection hole is formed on the inner side of the outer barrel body facing the middle barrel side discharge hole of the inner surface of the part forming the gap between the outer barrel body and the outer barrel body. formed,
The airflow induction hole is formed in the form of a slope gradually becoming shallower towards the inside of the gap between the outer periphery of the intermediate barrel body and the inner periphery of the outer barrel body, and the airflow guiding hole is formed at the end of the intermediate barrel side discharge hole It is formed to face,
The airflow including the heat generated inside the inner barrel body flows through the middle barrel side discharge hole and then passes through the gap between the outer barrel body and the outer barrel body to open the outer barrel opening hole. When discharged through the middle barrel side discharge hole, a part of the airflow flowing through the middle barrel-side discharge hole enters the airflow induction hole, flows through the airflow induction hole, and then enters the airflow projection hole and is transmitted through the airflow projection hole to the airflow entrance hole. The airflow projected toward the airflow entrance hole enters the foreign matter accommodation hole, rises through the foreign matter accommodation hole, and flows toward the external barrel opening hole, whereby the intermediate barrel through the external barrel opening hole. A foreign substance introduced into the gap between the outer periphery of the body and the inner periphery of the outer barrel body falls into the foreign substance accommodating hole and is accommodated therein, through the air flow induction hole, the air flow projection hole, the air flow entrance hole, and the foreign substance accommodating hole. A beam expander for inspecting secondary batteries and semiconductors, characterized in that it can be scattered toward the outer barrel opening hole by the sequentially flowing airflow.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020230022810A KR102532094B1 (en) | 2023-02-21 | 2023-02-21 | Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020230022810A KR102532094B1 (en) | 2023-02-21 | 2023-02-21 | Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR102532094B1 true KR102532094B1 (en) | 2023-05-12 |
Family
ID=86385509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020230022810A KR102532094B1 (en) | 2023-02-21 | 2023-02-21 | Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102532094B1 (en) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6057818A (en) * | 1983-09-09 | 1985-04-03 | Ricoh Co Ltd | Beam expander for laser light |
KR20130141352A (en) * | 2012-06-15 | 2013-12-26 | 가부시키가이샤 브이엘시 | Spatial light communication device |
KR20170063807A (en) | 2015-09-03 | 2017-06-08 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | Beam expander with a curved reflective polarizer |
JP2019053277A (en) * | 2017-06-23 | 2019-04-04 | アスフェリコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Optical modular system for near-field beam density distribution with alternating beam density profile |
JP6643584B2 (en) * | 2014-08-20 | 2020-02-12 | リサーチ トライアングル インスティテュート | Apparatus, system and method for particle detection |
CN114815123A (en) * | 2022-05-11 | 2022-07-29 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | Laser beam expander |
-
2023
- 2023-02-21 KR KR1020230022810A patent/KR102532094B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6057818A (en) * | 1983-09-09 | 1985-04-03 | Ricoh Co Ltd | Beam expander for laser light |
KR20130141352A (en) * | 2012-06-15 | 2013-12-26 | 가부시키가이샤 브이엘시 | Spatial light communication device |
JP6643584B2 (en) * | 2014-08-20 | 2020-02-12 | リサーチ トライアングル インスティテュート | Apparatus, system and method for particle detection |
KR20170063807A (en) | 2015-09-03 | 2017-06-08 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | Beam expander with a curved reflective polarizer |
JP2019053277A (en) * | 2017-06-23 | 2019-04-04 | アスフェリコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Optical modular system for near-field beam density distribution with alternating beam density profile |
JP6726703B2 (en) * | 2017-06-23 | 2020-07-22 | アスフェリコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Optical module system for near-field beam density distribution with alternating beam density profile |
CN114815123A (en) * | 2022-05-11 | 2022-07-29 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | Laser beam expander |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6351634B2 (en) | Apparatus including optical device and reflector | |
JP6528562B2 (en) | Projection optical device and projector | |
JP2017510850A (en) | Optical system for light collimation | |
EP3009886A1 (en) | Illumination apparatus, pattern irradiation device, and 3d measurement system | |
JP2011100020A (en) | Lens barrel | |
KR102532094B1 (en) | Beam expander for testing of secondary battery and semiconductor | |
US7522355B2 (en) | Lens unit and manufacturing method thereof | |
CN110770617B (en) | Device for coupling out radiation from an optical fiber, optical fiber cable and machining head | |
KR100620505B1 (en) | Nozzle device for laser beam machining | |
KR20160028804A (en) | Light scanning unit and image forming apparatus employing the same | |
KR20040098532A (en) | Projection lens unit | |
JP2017223829A (en) | Lens unit | |
US7004672B2 (en) | Bayonet coupling for axially mounting one of two relatively rotatable ring-shaped members on the other | |
JP7490991B2 (en) | Light shielding member, reading device, image forming apparatus | |
JP2009237298A (en) | Lighting device and imaging apparatus | |
JP2007298898A (en) | Illumination optical device | |
JP2004219131A (en) | Oil mist detector | |
JP4694416B2 (en) | Optical element | |
JP2010145632A (en) | Mount cap | |
JP4694415B2 (en) | Optical element | |
JPH03161706A (en) | Collimator head having attenuator | |
WO2014112285A1 (en) | Optical connector device | |
JP2014174248A (en) | Light tunnel, illumination optical system, and image display device | |
JP4873996B2 (en) | Optical element | |
CN112955805B (en) | Optical system device and lenticular lens |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |