KR102473473B1 - Magnetocardiography Measuring Apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는, 외부 용기; 액체 냉매를 수납하고 상기 외부 용기의 내부에 배치되고 제1 직경을 가진 목부 및 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가진 몸체부를 포함하는 내부 용기; 상기 내부 용기와 상기 외부 용기의 사이의 공간은 진공상태로 유지되고, 상기 내부 용기의 하부에 배치되는 SQUID 센서 모듈 장착판; 상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 하부에 장착된 복수의 SQUID 센서 모듈들; 및 상기 SQUID 센서 모듈 장착판 및 상기 복수의 SQUID 센서 모듈들을 감싸도록 배치된 도전성 메쉬로 형성된 4 K 열차폐부를 포함한다.A magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention includes an outer container; an inner container containing a liquid refrigerant and disposed inside the outer container and including a neck portion having a first diameter and a body portion having a second diameter larger than the first diameter; A space between the inner container and the outer container is maintained in a vacuum state, and a SQUID sensor module mounting plate disposed under the inner container; a plurality of SQUID sensor modules mounted under the SQUID sensor module mounting plate; and a 4K heat shield formed of a conductive mesh disposed to surround the SQUID sensor module mounting plate and the plurality of SQUID sensor modules.

Description

심자도 측정 장치{Magnetocardiography Measuring Apparatus}Cardiogram measuring device {Magnetocardiography Measuring Apparatus}

본 발명은 자기장 측정 장치에 관한 것으로, 더 구체적으로 진공 내 코일을 구비한 심자도 측정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic field measuring device, and more particularly, to a magnetic field measuring device having a coil in a vacuum.

심장 근육의 이온 전류 활동에서 발생하는 자기장 신호를 측정하는 심자도(Magnetocardiography; MCG)는 심장 질환 진단에 유용한 기술이 될 수 있다.Magnetocardiography (MCG), which measures magnetic field signals generated from ionic current activity of heart muscle, can be a useful technique for diagnosing heart disease.

초전도양자간섭소자(Superconducting Quantum Interference Device; SQUID)는 심장, 뇌, 신경 등의 생체활동에서 발생하는 초미세 자기장을 측정할 수 있는 초고감도 센서이다. SQUID 센서는 4 K 혹은 77 K의 저온에서 동작한다. 측정 감도는 수 내지 수십 fT/√Hz 이다. 상기 SQUID 센서를 저온으로 냉각하기 위해, 일반적으로 액화 질소나 액화 헬륨이 사용된다. 이러한 저온 냉매를 저장할 수 있는 저온 냉매 저장 용기가 필요하다. 저온 냉매 저장용기는 2중의 구조인데, 저온 냉매를 보관하는 헬륨 내부 저장용기(헬륨조)과 실온의 외통(진공조)으로 구성되며 그 사이에는 진공으로 유지된다.Superconducting Quantum Interference Device (SQUID) is an ultra-sensitive sensor that can measure ultra-fine magnetic fields generated from biological activities such as the heart, brain, and nerves. SQUID sensors operate at low temperatures of 4 K or 77 K. The measurement sensitivity is several to several tens of fT/√Hz. To cool the SQUID sensor to a low temperature, liquid nitrogen or liquid helium is generally used. A low-temperature refrigerant storage container capable of storing such a low-temperature refrigerant is required. The low-temperature refrigerant storage container has a double structure, consisting of a helium internal storage container (helium tank) for storing low-temperature refrigerant and an external cylinder (vacuum tank) at room temperature, and a vacuum is maintained between them.

고감도 신호를 측정하기 위해서는 저온초전도체로 구성된 SQUID를 사용하는 것이 유리한데, 저온초전도 SQUID에 사용되는 초전도 재료인 Nb은 임계온도가 약 9 K이므로 액체헬륨 혹은 저온냉동기를 사용한 냉각이 필요하다. 듀아의 증발률을 줄이면서 듀아 진공부에 설치된 금속 단열재료 (superinsulation 및 thermal shield)에 의한 열자기잡음을 줄이도록 단열재료의 구조, 두께, 설치방법의 최적화가 필요하다. 또한 헬륨가스는 작은 틈새를 통해 쉽게 투과하는 특성이 있으므로 듀아 재료로 사용되는 유리섬유강화 플라스틱의 높은 치밀성이 필요하다.In order to measure high-sensitivity signals, it is advantageous to use a SQUID composed of low-temperature superconductors. Since Nb, a superconducting material used in low-temperature superconducting SQUIDs, has a critical temperature of about 9 K, cooling using liquid helium or a low-temperature freezer is required. It is necessary to optimize the structure, thickness, and installation method of insulation materials to reduce thermal magnetic noise caused by metal insulation materials (superinsulation and thermal shield) installed in the vacuum part of Duar while reducing the evaporation rate of Duar. In addition, since helium gas has a property of easily penetrating through small gaps, high density of glass fiber reinforced plastics used as dua materials is required.

자기신호의 세기는 자기장 신호원으로부터 거리의 제곱에 반비례하여 감소함으로 SNR을 향상시키기 위해 신호원과 검출코일의 간격을 최소화하는 것이 필요하다. 이러한 방법에 대한 연구가 진행되어, 검출코일이 헬륨조의 바깥, 즉, 진공부에 위치한 진공내코일(CIV: Coil-in-Vacuum) SQUID를 개발하여 사용하였다.Since the strength of the magnetic signal decreases in inverse proportion to the square of the distance from the magnetic field signal source, it is necessary to minimize the distance between the signal source and the detection coil to improve the SNR. Research on this method was conducted, and a coil-in-vacuum (CIV) SQUID was developed and used in which the detection coil is located outside the helium bath, that is, in the vacuum part.

CIV형 SQUID 장치의 경우, 검출코일과 SQUID 센서가 진공 유지 상태로 배치된다. 따라서, 액화 냉매를 저장하는 헬륨 내부 저장 용기에는 저온 냉매만 존재한다. 따라서 상기 헬륨 내부 저장 용기의 목부는 냉매를 채울 수 있는 통로만 존재하면 된다. 따라서, 목부의 직경은 현저히 감소될 수 있다. 이에 따라, 목부를 통해서 유입되는 열이 줄어들어 액화 냉매의 증발률을 줄일 수 있게 된다. In the case of a CIV-type SQUID device, a detection coil and a SQUID sensor are placed in a vacuum state. Therefore, only low-temperature refrigerant exists in the helium internal storage container for storing the liquefied refrigerant. Therefore, only the passage through which the refrigerant can be filled exists in the neck of the helium internal storage container. Thus, the diameter of the neck portion can be significantly reduced. Accordingly, heat introduced through the neck portion is reduced, thereby reducing the evaporation rate of the liquefied refrigerant.

헬륨 내부 저장 용기에 열이 침입하면서 액체 헬륨은 끓으면서 증발하게 된다. 이때 내부 저장용기 내부에는 액체의 끓음에 의해 진동이 발생된다. 만약 검출코일을 내부 저장용기의 내부가 아닌 외부 진공면에 설치한다면 액체헬륨의 끓음에 의한 진동 영향을 줄일 수 있다. As heat penetrates the helium internal storage container, the liquid helium boils and evaporates. At this time, vibration is generated inside the internal storage container by boiling of the liquid. If the detection coil is installed on the external vacuum surface instead of the inside of the internal storage container, the influence of vibration caused by the boiling of liquid helium can be reduced.

또한 검출코일과 SQUID가 진공에 설치되면 초기 냉각시의 냉각속도가 액체헬륨에 직접 담겨있을 때와 비교하여 낮아지므로 냉각시 발생하는 급격한 수축 스트레스를 줄일 수 있고, 내부 저장 용기에 유입된 공기 등이 SQUID 표면에 흡착 응결되어 발생하는 물리적 화학적 손상을 없앨 수 있다. In addition, when the detection coil and SQUID are installed in a vacuum, the cooling rate during initial cooling is lower than when they are directly immersed in liquid helium. Physical and chemical damage caused by adsorption and condensation on the surface of the SQUID can be eliminated.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 SQUID 센서 모듈을 용이하게 교체할 수 있는 자기장 측정 장치를 제공하는 것이다.One technical problem to be solved by the present invention is to provide a magnetic field measuring device that can easily replace the SQUID sensor module.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 액체헬륨이 끓을 때 발생되는 진동을 줄여서 센서장치의 측정 감도를 높이는 것이다. 또한 센서를 진공부에 설치함으로서 센서의 냉각시 스트레스를 줄이고, 물리적 화학적 신뢰성을 높이는 것이다.One technical problem to be solved by the present invention is to increase the measurement sensitivity of a sensor device by reducing vibration generated when liquid helium boils. In addition, by installing the sensor in the vacuum part, stress during cooling of the sensor is reduced and physical and chemical reliability is increased.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 복사열을 차단할 수 있는 이중 벽 구조의 목 부분 구조를 갖는 냉각 장치를 제공하는 것이다.One technical problem to be solved by the present invention is to provide a cooling device having a neck portion structure of a double wall structure capable of blocking radiant heat.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 고중량의 SQUID 센서 모듈과 액체 헬륨 저장용기를 회전 및 기울임에 대한 안정성을 제공하기 위하여 이중벽 구조의 목부를 제공하는 것이다. One technical problem to be solved by the present invention is to provide a neck of a double wall structure in order to provide stability for rotation and tilting of a heavy SQUID sensor module and a liquid helium storage container.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 동축 이중 튜브 구조의 기화된 냉매 포집 튜브(He gas return tube)를 구비한 자기장 측정 장치를 제공하는 것이다.One technical problem to be solved by the present invention is to provide a magnetic field measuring device having a vaporized refrigerant collection tube (He gas return tube) of a coaxial double tube structure.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 냉매를 재활용할 수 있는 냉각 장치를 제공하는 것이다.One technical problem to be solved by the present invention is to provide a cooling device capable of recycling a refrigerant.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 진공중에 위치한 SQUID 센서 모듈의 효과적인 냉각 방법을 제공하는 것이다.One technical problem to be solved by the present invention is to provide an effective cooling method for a SQUID sensor module located in a vacuum.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는, 외부 용기; 액체 냉매를 수납하고 상기 외부 용기의 내부에 배치되고 제1 직경을 가진 목부 및 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가진 몸체부를 포함하는 내부 용기; 상기 내부 용기와 상기 외부 용기의 사이의 공간은 진공상태로 유지되고, 상기 내부 용기의 하부에 배치되는 SQUID 센서 모듈 장착판; 상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 하부에 장착된 복수의 SQUID 센서 모듈들; 및 상기 SQUID 센서 모듈 장착판 및 상기 복수의 SQUID 센서 모듈들을 감싸도록 배치된 도전성 메쉬로 형성된 4 K 열차폐부를 포함한다.A magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention includes an outer container; an inner container containing a liquid refrigerant and disposed inside the outer container and including a neck portion having a first diameter and a body portion having a second diameter larger than the first diameter; A space between the inner container and the outer container is maintained in a vacuum state, and a SQUID sensor module mounting plate disposed under the inner container; a plurality of SQUID sensor modules mounted under the SQUID sensor module mounting plate; and a 4K heat shield formed of a conductive mesh disposed to surround the SQUID sensor module mounting plate and the plurality of SQUID sensor modules.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 냉매에 의하여 냉각되고 상기 내부 용기의 하부면에 배치된 메인 열 엥커(main thermal anchor); 상기 4K 열차폐부를 개재하여 상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 측면에 결합하고 상기 4K 열차폐부를 고정하는 링 형상의 보조 열 엥커; 및 상기 메인 열 엥커와 상기 보조 열 엥커를 연결하여 냉각하는 리츠 와이어를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the main heat anchor cooled by the refrigerant and disposed on the lower surface of the inner container (main thermal anchor); a ring-shaped auxiliary heat anchor coupled to a side surface of the SQUID sensor module mounting plate through the 4K heat shield and fixing the 4K heat shield; and a litz wire connecting and cooling the main heat anchor and the auxiliary heat anchor.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 SQUID 센서 모듈 장착판은 그 측면의 하부면에 링 형태의 링 함몰부를 구비하고, 상기 SQUID 센서 모듈 장착판은 상기 링 함몰부에서 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하는 적어도 하나의 연결부를 포함하고, 상기 보조 열 엥커는 상기 링 함몰부와 결합하고 상기 관통 열결부에 삽입되도록 돌출된 적어도 하나의 돌기부를 포함한다.In one embodiment of the present invention, the SQUID sensor module mounting plate has a ring-shaped ring concave portion on the lower surface of the side, and the SQUID sensor module mounting plate has the SQUID sensor module mounting plate in the ring concave portion. It includes at least one connecting portion penetrating, and the auxiliary heat anchor is engaged with the ring recessed portion and includes at least one protruding portion protruding to be inserted into the through-hole coupling portion.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 4K 열차폐부는; 상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 상부면에 배치된 상부 4K 열차폐부; 및 상기 복수의 SQUID 센서 모듈들을 감싸도록 배치된 하부 4K 열차폐부를 포함하고, 상기 보조 열 엥커는 상기 하부 4K 열차폐부를 개재하여 상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 측면에 결합할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the 4K heat shielding unit; an upper 4K heat shield disposed on an upper surface of the SQUID sensor module mounting plate; and a lower 4K heat shield disposed to surround the plurality of SQUID sensor modules, and the auxiliary heat anchor may be coupled to a side surface of the SQUID sensor module mounting plate through the lower 4K heat shield.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 내부 용기의 하부면에 장착되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하여 연장되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 연직 운동을 가이드하는 센서 가이드 봉; 및 상기 내부 용기의 하부면에 장착되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판에 고정되는 센서 고정 봉;을 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the sensor guide rod is mounted on the lower surface of the inner container and extends through the SQUID sensor module mounting plate and guides the vertical motion of the SQUID sensor module mounting plate; and a sensor fixing rod mounted on a lower surface of the inner container and fixed to the SQUID sensor module mounting plate.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 SQUID 센서 모듈들은 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하고 제1 방향 및 제2 방향을 따라 배열되고, 상기 SQUID 센서 모듈들 각각은 수직하게 연장될 수 있다. 상기 SQUID 센서 모듈들과 나란히 연장되는 복수의 열전달 봉들을 더 포함하고, 상기 열전달 봉들은 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하고, 상기 열전달 봉들의 양단은 상기 4K 열차폐부에 각각 연결될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the SQUID sensor modules pass through the SQUID sensor module mounting plate and are arranged along the first and second directions, and each of the SQUID sensor modules may extend vertically. It may further include a plurality of heat transfer rods extending parallel to the SQUID sensor modules, the heat transfer rods penetrating the SQUID sensor module mounting plate, and both ends of the heat transfer rods may be respectively connected to the 4K heat shield.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 SQUID 센서 모듈들은 제1 방향 및 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향을 따라 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 상기 SQUID 센서 모듈 장착판은, 상기 제1 방향으로 배열된 SQUID 센서 모듈들과 상기 제2 방향으로 이격되어 상기 제1 방향으로 배열된 SQUID 센서 모듈들 사이에 상기 SQUID 센서 모듈 장착판에서 상기 제1 방향으로 연장되는 트렌치를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the SQUID sensor modules may be arranged in a matrix form along a first direction and a second direction orthogonal to the first direction. The SQUID sensor module mounting plate is spaced apart from the SQUID sensor modules arranged in the first direction and the SQUID sensor modules arranged in the second direction in the SQUID sensor module mounting plate in the first direction. A trench extending in the direction may be further included.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 트렌치와 연결되고 상기 제1 방향으로 일정한 간격으로 배열되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하는 신호선 연결홀을 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, signal line connection holes connected to the trench, arranged at regular intervals in the first direction, and penetrating the SQUID sensor module mounting plate may be further included.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 SQUID 센서 모듈 장착판은 그 측면의 하부면에 링 형태의 링 함몰부를 구비하고, 상기 SQUID 센서 모듈 장착판은 상기 링 함몰부에서 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하는 적어도 하나의 연결부를 포함하고, 상기 보조 열 엥커는 상기 링 함몰부와 결합하고 상기 연결부에 삽입되도록 돌출된 적어도 하나의 돌기부를 포함하고, 상기 제1 방향의 최외측에 배치된 트렌치는 상기 연결부에 연결될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the SQUID sensor module mounting plate has a ring-shaped ring concave portion on the lower surface of the side, and the SQUID sensor module mounting plate has the SQUID sensor module mounting plate in the ring concave portion. At least one connecting portion penetrating, the auxiliary heat anchor engaging with the ring recessed portion and including at least one protruding portion protruding to be inserted into the connecting portion, the trench disposed on the outermost side in the first direction Can be connected to the connector.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 내부 용기는: 배플 인서트가 삽입되는 목부; 및 상기 목부보다 지름이 증가한 몸체부;를 포함하고, 상기 목부는 내측 원통과 상기 내측 원통을 감싸는 외측 원통을 포함하는 이중벽 구조일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the inner container includes: a neck portion into which a baffle insert is inserted; and a body portion having a diameter greater than that of the neck portion, wherein the neck portion may have a double wall structure including an inner cylinder and an outer cylinder surrounding the inner cylinder.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 내측 원통은 원통의 외측으로 돌출된 복수의 링 돌출부를 더 포함하고, 열 엥커들은 상기 링 돌출부들 각각과 결합하고, 상기 링 돌출부들은 서로 이격되어 배치되고, 상기 외측 원통은 상기 링 돌출부를 사이에 두고 서로 분리될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the inner cylinder further includes a plurality of ring protrusions protruding outward of the cylinder, the heat anchors are coupled to each of the ring protrusions, and the ring protrusions are spaced apart from each other, The outer cylinders may be separated from each other with the ring protrusion interposed therebetween.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 목부는 상기 내측 원통과 상기 외측 원통 사이에 배치된 열 차폐막을 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the neck portion may further include a heat shielding film disposed between the inner cylinder and the outer cylinder.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 링 돌출부의 외주면과 상기 열 엥커의 내주면은 나사 결합할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the outer circumferential surface of the ring protrusion and the inner circumferential surface of the column anchor may be screwed together.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 열 엥커들은 상기 목부의 외측에는 서로 수직으로 이격되어 차례로 배치된 와셔 형상의 제1 내지 제3 열 엥커를 포함하고, 상기 제1 열 엥커는 120K 열차폐막에 연결되고, 상기 제2 열 엥커는 80K 열 차페막에 연결되고, 상기 제3 열 엥커는 40K 열 차폐막에 연결되고, 상기 40 K 열 차폐막은 상기 4K 열차폐부를 감싸도록 배치될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the heat anchors include first to third heat anchors of a washer shape arranged vertically spaced apart from each other on the outside of the neck portion, and the first heat anchors are 120K heat shield The second heat anchor may be connected to an 80K heat shield, the third heat anchor may be connected to a 40K heat shield, and the 40K heat shield may be disposed to surround the 4K heat shield.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 내지 제3 열 엥커 각각은 반경 방향으로 연장되는 복수의 슬릿을 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, each of the first to third column anchors may include a plurality of slits extending in a radial direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 배플 인서트에 배치되고 기화된 냉매를 배기하는 냉매 배기 튜브; 상기 배플 인서트에 배치되고 냉매를 주입하는 냉매 주입 튜브; 및 상기 냉매 배기 튜브 및 상기 냉매 주입 튜브에 연결되고 상기 냉매 주입 튜브를 통하여 배기된 기화된 냉매를 응축하는 응축기를 더 포함하고, 상기 냉매 배기 튜브 및 상기 냉매 주입 튜브는 동축 구조이고, 상기 냉매 배기 튜브 및 상기 냉매 주입 튜브 각각은 내부 튜브와 외부 튜브를 구비한 이중 튜브일 수 있다.In one embodiment of the present invention, a refrigerant exhaust tube disposed in the baffle insert and exhausting the vaporized refrigerant; a refrigerant injection tube disposed in the baffle insert and injecting refrigerant; and a condenser connected to the refrigerant exhaust tube and the refrigerant injection tube and condensing the vaporized refrigerant exhausted through the refrigerant injection tube, wherein the refrigerant exhaust tube and the refrigerant injection tube have a coaxial structure, and the refrigerant exhaust Each of the tube and the refrigerant injection tube may be a double tube having an inner tube and an outer tube.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 메인 열 엥커는: 무산소 구리로 형성되고 제1 원판, 상기 제1 원판의 중심축에서 상부면으로 둘출된 제1 상부 돌출부 및 상기 제1 원판의 중심축에서 하부면으로 돌출된 제1 하부 돌출부를 포함하는 제1 열전달부; 무산소 구리로 형성되고 제2 원판, 상기 제2 원판의 중심축에서 상부면으로 둘출된 제2 상부 돌출부 및 상기 제2 원판의 중심축에서 하부면으로 돌출된 제2 하부 돌출부를 포함하는 제2 열전달부; 무산소 구리로 형성되고 제3 원판, 상기 제3 원판의 중심축에서 상부면으로 둘출된 제3 상부 돌출부 및 상기 제3 원판의 중심축에서 하부면으로 돌출된 제3 하부 돌출부를 포함하는 제3 열전달부; 무산소 구리로 형성되고 제4 원판, 상기 제4 원판의 중심축에서 상부면으로 둘출된 제4 상부 돌출부 및 상기 제4 원판의 중심축에서 하부면에 복수의 홀들을 포함하는 제4 열전달부; 절연체로 형성되고 상기 제1 열전달부의 제1 원판과 상기 제2 열전달부의 제2 원판 사이에 삽입되는 제1 열팽창 조절부; 및 절연체로 형성되고 상기 제3 열전달부의 제3 원판과 상기 제4 열전달부의 제4 원판 사이에 삽입되는 제2 열팽창 조절부;를 포함할 수 있다. 상기 제2 열전달부의 제2 상부 돌출부는 상기 제1 열전달부의 제1 하부 돌출부와 결합하기 위한 홈을 구비하고, 상기 제2 열전달부의 제2 하부 돌출부는 상기 제3 열전달부의 제3 상부 돌출부와 결합하기 위한 홈을 구비하고, 상기 제3 열전달부의 제3 하부 돌출부는 상기 제4 열전달부의 제4 상부 돌출부와 결합하기 위한 홈을 구비할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the main heat anchor is formed of oxygen-free copper and includes a first disc, a first upper protrusion protruding from the central axis of the first disc to the upper surface, and a central axis of the first disc. a first heat transfer unit including a first lower protrusion protruding to a lower surface; A second heat transfer comprising a second disc formed of oxygen-free copper, a second upper protrusion protruding from a central axis of the second disc to an upper surface, and a second lower protrusion protruding from a central axis of the second disc to a lower surface. wealth; A third heat transfer comprising a third disc formed of oxygen-free copper, a third upper protrusion protruding from a central axis of the third disc to an upper surface, and a third lower protrusion protruding from a central axis of the third disc to a lower surface. wealth; a fourth heat transfer part formed of oxygen-free copper and including a fourth disc, a fourth upper protrusion protruding from the central axis of the fourth disc to an upper surface, and a plurality of holes in a lower surface from the central axis of the fourth disc; a first thermal expansion control unit formed of an insulator and inserted between the first disc of the first heat transfer unit and the second disc of the second heat transfer unit; and a second thermal expansion controller formed of an insulator and inserted between the third disc of the third heat transfer unit and the fourth disc of the fourth heat transfer unit. The second upper protrusion of the second heat transfer part has a groove for engaging with the first lower protrusion of the first heat transfer part, and the second lower protrusion of the second heat transfer part is engaged with the third upper protrusion of the third heat transfer part. and a groove for coupling the third lower protrusion of the third heat transfer unit to the fourth upper protrusion of the fourth heat transfer unit.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 열팽창 조절부는: 상기 제1 원판의 직경과 동일한 직경을 가지는 제1 절연 몸체부; 상기 내부 몸체의 하부면에 매몰되고 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 자지는 제2 절연 몸체부; 및 상기 제2 직경보다 작은 제3 직경을 가지는 제3 절연 몸체부를 포함하고, 상기 제3 절연 몸체부는 상기 제2 원판의 외주면을 감싸도록 배치될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first thermal expansion control unit: a first insulating body having the same diameter as the diameter of the first disc; a second insulating body part buried in the lower surface of the inner body and having a second diameter larger than the first diameter; and a third insulating body having a third diameter smaller than the second diameter, and the third insulating body may be disposed to surround an outer circumferential surface of the second disc.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 SQUID 센서 모듈 장착판은 곡선부위를 포함하고, 상기 곡선 부위는 심장의 좌심실을 감싸도록 배치될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the SQUID sensor module mounting plate includes a curved portion, and the curved portion may be disposed to surround the left ventricle of the heart.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 내부 용기는: 배플 인서트가 삽입되는 목부; 및 상기 목부보다 지름이 증가한 몸체부;를 포함하고, 상기 목부는 내측 원통부과 상기 내측 원통을 감싸도록 배치된 외측 원통부를 포함하고, 상기 내측 원통부는 서로 수직으로 이격되어 배치된 보조 내측 원통들로 분리되고, 열 엥커들 각각은 상기 분리된 보조 내측 원통들 사이에 각각 삽입될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the inner container includes: a neck portion into which a baffle insert is inserted; and a body portion having a diameter greater than that of the neck portion, wherein the neck portion includes an inner cylinder portion and an outer cylinder portion disposed to surround the inner cylinder portion, and the inner cylinder portion is composed of auxiliary inner cylinders arranged vertically spaced apart from each other. Separated, each of the heat anchors may be respectively inserted between the separated auxiliary inner cylinders.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 열 엥커들 각각은: 원통 형상의 제1 원통부; 및 상기 제1 원통부의 중심에서 외측으로 연결된 와셔 형상의 제1 와셔부를 포함하고, 상기 제1 원통부외 외측면은 대응하는 보조 내측 원통의 내측면과 나사 결합할 수 있다.In one embodiment of the present invention, each of the heat anchors: a first cylindrical portion of a cylindrical shape; and a washer-shaped first washer portion connected outwardly from the center of the first cylindrical portion, and an outer surface outside the first cylindrical portion may be screwed to an inner surface of a corresponding auxiliary inner cylinder.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 와셔 형상의 제2 와셔부와 상기 제2 와셔부의 내측면에 연결되는 원통 형상의 제2 원통부를 포함하는 고정부들을 더 포함하고, 한 쌍의 고정부는 상기 열 엥커의 제1 와셔부의 내측 상부면 및 내측 하부면에 각각 배치될 수 있다.In one embodiment of the present invention, further comprising fixing parts including a washer-shaped second washer part and a cylindrical second cylindrical part connected to an inner surface of the second washer part, and a pair of fixing parts are connected to the column It may be disposed on the inner upper surface and the inner lower surface of the first washer portion of the anchor, respectively.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 외측 원통부는 서로 이격되어 배치되는 복수의 보조 외측 원통부들을 포함하고, 상기 보조 외측 원통부는 상기 고정부의 제2 원통부를 감싸도록 배치되고, 열 차폐막은 상기 보조 외측 원통부와 상기 보조 내측 원통부 사이에 배치될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the outer cylindrical portion includes a plurality of auxiliary outer cylindrical portions disposed spaced apart from each other, the auxiliary outer cylindrical portion is arranged to surround the second cylindrical portion of the fixing portion, and the heat shielding film comprises the It may be disposed between the auxiliary outer cylinder and the auxiliary inner cylinder.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 열 엥커들 각각은 상기 제1 원통부의 중심에서 내측으로 연결된 와셔 형상의 보조 와셔부를 더 포함하고, 상기 보조 와셔부는 방위각 방향으로 형성된 슬릿을 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, each of the heat anchors further includes a washer-shaped auxiliary washer portion connected inwardly from the center of the first cylindrical portion, and the auxiliary washer portion may include a slit formed in an azimuth direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 SQUID 센서 모듈들 각각은: 검출 코일이 장착되고 사각형 단면을 가진 직육면체 형상의 보빈; 상기 보빈에 연결되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판에 형성된 홀에 삽입되어 고정되는 고정 블록; 상기 보빈의 상부 측면들 중에서 적어도 일면에 장착되고 초전도양자간섭소자(SQUID) 센서를 포함하는 SQUID 인쇄회로기판; 및 상기 고정 블록에 삽입되고 상기 SQUID 센서에서 검출된 신호를 외부 회로에 전달하는 신호선 연결 PCB를 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, each of the SQUID sensor modules includes: a bobbin having a rectangular parallelepiped shape and having a rectangular cross section and having a detection coil mounted thereon; a fixing block connected to the bobbin and fixed by being inserted into a hole formed in the SQUID sensor module mounting plate; A SQUID printed circuit board mounted on at least one surface among upper side surfaces of the bobbin and including a superconducting quantum interference device (SQUID) sensor; and a signal line connection PCB inserted into the fixing block and transmitting a signal detected by the SQUID sensor to an external circuit.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 검출 코일은 미분계일 수 있다. 상기 검출 코일은: 상기 보빈의 사각형 단면의 제1 측면에 배치된 제1 미분계; 상기 보빈의 제1 측면에 이웃한 제2 측면에 배치된 제2 미분계; 및 상기 보빈의 하부면에 배치된 제3 미분계를 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the detection coil may be a differential meter. The detection coil includes: a first differential meter disposed on a first side surface of the rectangular cross section of the bobbin; a second differential meter disposed on a second side surface adjacent to the first side surface of the bobbin; and a third differential meter disposed on a lower surface of the bobbin.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는, 외부 용기; 및 액체 냉매를 수납하고 상기 외부 용기에 삽입된 내부 용기를 포함하고, 상기 내부 용기는: 배플 인서트가 삽입되는 목부; 및 상기 목부보다 지름이 증가한 몸체부;를 포함한다. 상기 목부는 내측 원통부과 상기 내측 원통을 감싸도록 배치된 외측 원통부를 포함하고, 상기 내측 원통부는 서로 수직으로 이격되어 배치된 보조 내측 원통들로 분리되고, 열 엥커들 각각은 상기 분리된 보조 내측 원통들 사이에 각각 삽입될 수 있다.A magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention includes an outer container; and an inner container accommodating a liquid refrigerant and inserted into the outer container, wherein the inner container includes: a neck portion into which a baffle insert is inserted; and a body portion having a diameter greater than that of the neck portion. The neck portion includes an inner cylinder portion and an outer cylinder portion disposed to surround the inner cylinder, and the inner cylinder portion is divided into auxiliary inner cylinders disposed vertically spaced apart from each other, and each of the heat anchors is the separated auxiliary inner cylinder Each can be inserted between them.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 열 엥커들 각각은: 원통 형상의 제1 원통부; 및 상기 제1 원통부의 중심에서 외측으로 연결된 와셔 형상의 제1 와셔부를 포함하고, 상기 제1 원통부외 외측면은 대응하는 보조 내측 원통의 내측면과 나사 결합할 수 있다.In one embodiment of the present invention, each of the heat anchors: a first cylindrical portion of a cylindrical shape; and a washer-shaped first washer portion connected outwardly from the center of the first cylindrical portion, and an outer surface outside the first cylindrical portion may be screwed to an inner surface of a corresponding auxiliary inner cylinder.

본 발명의 일 실시예에 따른 SQUID 센서 모듈은, 검출 코일이 장착되고 사각형 단면을 가진 직육면체 형상의 보빈; 상기 보빈에 연결되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판에 형성된 홀에 삽입되어 고정되는 고정 블록; 상기 보빈의 상부 측면들 중에서 적어도 일면에 장착되고 초전도양자간섭소자(SQUID) 센서를 포함하는 SQUID 인쇄회로기판; 및 상기 고정 블록에 삽입되고 상기 SQUID 센서에서 검출된 신호를 외부 회로에 전달하는 신호선 연결 PCB를 포함할 수 있다.SQUID sensor module according to an embodiment of the present invention, the detection coil is mounted and a rectangular parallelepiped bobbin having a rectangular cross section; a fixing block connected to the bobbin and fixed by being inserted into a hole formed in the SQUID sensor module mounting plate; A SQUID printed circuit board mounted on at least one surface among upper side surfaces of the bobbin and including a superconducting quantum interference device (SQUID) sensor; and a signal line connection PCB inserted into the fixing block and transmitting a signal detected by the SQUID sensor to an external circuit.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 검출 코일은 미분계이고, 상기 검출 코일은: 제1 내지 제4 측면을 가진 상기 보빈의 제1 측면에 배치된 제1 미분계; 상기 보빈의 제1 측면에 이웃한 제2 측면에 배치된 제2 미분계; 및 상기 보빈의 하부면에 배치된 제3 미분계를 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the detection coil is a differential meter, and the detection coil includes: a first differential meter disposed on a first side of the bobbin having first to fourth sides; a second differential meter disposed on a second side surface adjacent to the first side surface of the bobbin; and a third differential meter disposed on a lower surface of the bobbin.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 보빈은: 직육면체 형상의 하부 보빈; 상기 하부 보빈에 수직으로 정렬된 상부 보빈; 및 수직으로 연장 방향의 4 개의 모서리에 각각 배치된 보빈 연결 기둥을 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the bobbin includes: a lower bobbin of a rectangular parallelepiped shape; an upper bobbin vertically aligned with the lower bobbin; and bobbin connecting posts respectively disposed at four corners in a vertically extending direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는 SQUID 센서 모듈을 용이하게 교체할 수 있다.The magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention can easily replace the SQUID sensor module.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는 이중 벽 구조의 목부를 이용하여 복사열을 효율적으로 차단할 수 있다.The magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention can efficiently block radiant heat by using the double-walled neck.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는 이중 벽 구조의 목부를 이용하여 냉매의 진공층 내부로의 투과를 차단할 수 있다.The magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention may block the penetration of the refrigerant into the vacuum layer by using the double-walled neck.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는 이중 벽 구조의 목부에 장착된 열엥커를 기화된 냉매에 직접 접촉함으로써 센서 냉각을 향상시키고, 액체 헬륨 증발율을 효과적으로 감소시킬 수 있다.The magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention can improve sensor cooling and effectively reduce the liquid helium evaporation rate by directly contacting the heat anchor mounted on the neck of the double wall structure with the vaporized refrigerant.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는 검출코일을 내부 용기의 진공층 하부면에서 설치하여 진동을 줄일 수 있다. In the magnetic field measurement device according to an embodiment of the present invention, vibration can be reduced by installing the detection coil on the lower surface of the vacuum layer of the inner container.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는 검출코일과 SQUID를 내부 용기의 진공층 하부면에서 설치하여 동작 신뢰성을 높일 수 있다.In the magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention, operation reliability may be increased by installing the detection coil and the SQUID on the lower surface of the vacuum layer of the inner container.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는 응축기와 듀아를 연결하는 동축 이중 튜브 구조를 사용하여 듀아에서 증발된 차가운 헬륨 가스를 응축기에 전달하여 응축기 또는 냉각기의 효율을 증가시킬 수 있다. The magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention may increase the efficiency of the condenser or cooler by transferring cold helium gas evaporated from the DUA to the condenser using a coaxial double tube structure connecting the condenser and the DUA.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는 진공내코일 구조를 채용하여 SQUID 센서와 전류원 사이의 거리를 감소시키어 신호대잡음비를 증가시킬 수 있다.The magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention employs a vacuum-in-coil structure to reduce the distance between the SQUID sensor and the current source, thereby increasing the signal-to-noise ratio.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는 3축 미분계를 사용하여 신호원의 측정 정확성을 증가시킬 수 있다.The magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention may increase measurement accuracy of a signal source by using a 3-axis differential meter.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치는 냉매를 보관하는 내부 용기의 하부면에서 SQUID 센서를 냉각하기 위한 메인 열 앵커를 구비한다. 상기 메인 열 앵커는 복수의 부품으로 구성하여 열 수축에 의한 내부 용기의 파손을 억제하면서 열접촉 면적을 증가시키어 리츠 와이어를 통하여 SQUID 센서를 효율적으로 냉각할 수 있다.A magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention includes a main column anchor for cooling a SQUID sensor on a lower surface of an inner container storing a refrigerant. The main thermal anchor is composed of a plurality of parts to increase the thermal contact area while suppressing damage to the inner container due to thermal contraction, thereby efficiently cooling the SQUID sensor through the Litz wire.

도 1 및 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치를 설명하는 개념도들이다.
도 3은 도 1의 자기장 측정 장치에서 내부 용기의 하부면을 바라본 평면도이다.
도 4는 도 1의 자기장 측정 장치의 열 엥커를 설명하는 사시도이다.
도 5a는 도 1의 자기장 측정 장치의 SQUID 센서 모듈 장착판의 상부 평면도이다.
도 5b는 도 1의 자기장 측정 장치의 SQUID 센서 모듈 장착판의 하부 평면도이다.
도 6은 도 5a의 A-A’ 선을 따라 자른 단면도이다.
도 7은 도 5a의 B-B’ 선을 따라 자른 단면도이다.
도 8은 도 5a의 C-C’ 선을 따라 자른 단면도이다.
도 9는 도 1의 보조 열 엥커을 나타내는 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 메인 열 엥커를 나타내는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기장 측정 장치를 설명하는 개념도이다.
도 12는 도 11의 SQUID 센서 장착판을 설명하는 사시도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기장 측정 장치를 설명하는 개념도이다.
도 14는 도 13의 자기장 측정 장치를 설명하는 단면도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 SQUID 센서 모듈을 설명하는 사시도이다.
도 16은 도 15의 SQUID 센서 모듈의 미분계의 검출 코일을 설명하는 사시도이다.
1 and 2 are conceptual views illustrating a magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of the lower surface of the inner container in the magnetic field measuring device of FIG. 1;
4 is a perspective view illustrating a thermal anchor of the magnetic field measuring device of FIG. 1;
Figure 5a is a top plan view of the SQUID sensor module mounting plate of the magnetic field measuring device of FIG.
Figure 5b is a bottom plan view of the SQUID sensor module mounting plate of the magnetic field measuring device of FIG.
6 is a cross-sectional view taken along the line A-A' of FIG. 5A.
7 is a cross-sectional view taken along line BB' of FIG. 5A.
8 is a cross-sectional view taken along line C-C' of FIG. 5A.
9 is a perspective view illustrating the auxiliary heat anchor of FIG. 1;
10 is a cross-sectional view showing a main heat anchor according to an embodiment of the present invention.
11 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field measuring device according to another embodiment of the present invention.
12 is a perspective view illustrating the SQUID sensor mounting plate of FIG. 11;
13 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field measuring device according to another embodiment of the present invention.
14 is a cross-sectional view illustrating the magnetic field measuring device of FIG. 13 .
15 is a perspective view illustrating a SQUID sensor module according to an embodiment of the present invention.
16 is a perspective view illustrating a detection coil of a differential meter of the SQUID sensor module of FIG. 15;

본 발명의 일 실시예에 따르면, 헬륨가스를 냉동기로 바로 재응축하여 듀아로 되돌려 보내는 기술이 적용된다. 냉동기와 냉매 전달 튜브에 의한 자기잡음과 진동잡음이 매우 크기 때문에 SQUID 장치가 이들 진동에 반응하지 않도록 하기 위해 특별한 듀아(dewar) 구조 및 SQUID 배치방법이 요구된다.According to one embodiment of the present invention, a technique of directly re-condensing helium gas into a refrigerator and returning it to the dua is applied. Since self- and vibrational noise caused by the refrigerator and the refrigerant delivery tube are very large, a special dewar structure and SQUID arrangement method are required to prevent the SQUID device from reacting to these vibrations.

최근 헬륨 가스의 가격 상승에 따라, 헬륨가스를 냉동기로 바로 재응축하여 듀아로 되돌려 보내는 기술이 요구된다. 기화된 헬륨은 기체 배기 튜브를 통하여 냉동기에 공급되고, 액체된 냉매가 냉매 주입 튜브를 통하여 듀아에 제공된다. 기체 배기 튜브와 냉매 주입 튜브가 단일 파이프로 구성하는 경우, 파이프 내부와 외부 사이의 열교환으로 인해 파이프 내부의 냉매가 차가운 상태를 유지할 수가 없다. With the recent rise in the price of helium gas, a technology for immediately re-condensing helium gas into a refrigerator and returning it to the DUA is required. Vaporized helium is supplied to the refrigerator through the gas exhaust tube, and liquid refrigerant is supplied to the Dua through the refrigerant injection tube. When the gas exhaust tube and the refrigerant injection tube are composed of a single pipe, the refrigerant inside the pipe cannot maintain a cold state due to heat exchange between the inside and outside of the pipe.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공내코일(CIV) SQUID 장치는 동축 이중 튜브 구조를 이용하여 배플 인서트 뚜껑에 얼음 응결을 해결하였다. 냉매가 증발된 가스의 배기 튜브와 냉매 주입 튜브 각각은 이중 튜브 구조이다. 상기 이중 튜브 구조는 차가운 기화 가스를 냉각기로 이송하여 냉각 효율을 증가시킬 수 있고, 듀아의 회전 및 기울임 자세 제어를 가능하게 할 수 있다. The vacuum-in-coil (CIV) SQUID device according to an embodiment of the present invention uses a coaxial double tube structure to solve ice condensation on the baffle insert lid. Each of the exhaust tube of the gas from which the refrigerant is evaporated and the refrigerant injection tube has a double tube structure. The double tube structure may increase cooling efficiency by transferring cold vaporized gas to a cooler, and may enable rotation and tilt posture control of the dua.

진공내코일(CIV) SQUID 장치에서, 듀아는 내부 용기와 내부 용기를 감싸는 외부 용기를 포함한다. 그러나, 내부 용기는 외부로부터 복사열을 흡수하여 냉매의 소모를 증가시킨다.In a coil-in-vacuum (CIV) SQUID device, the dua includes an inner container and an outer container surrounding the inner container. However, the inner container absorbs radiant heat from the outside, increasing refrigerant consumption.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공내코일(CIV) SQUID 장치에서, 듀아는 배플 인서트가 삽입되는 내부 용기의 목부에 이중 벽 구조를 사용한다. 이러한 이중 벽 구조는 급속한 냉각시 듀아 내부를 구성하는 부분품의 열수축으로 인한 진공파괴를 방지하는 데 크게 기여할 수 있다. 또한, 이중 벽 구조는 듀아 내부 냉각시 자동적으로 진공층이 형성되고, 복사열 유입을 감소시키기 위해 이중 벽 사이에 열 차폐막을 배치함으로써 듀아 목으로부터의 복사열 유입을 크게 감소시킨다. 또한 이중 진공층은 유리섬유로 강화된 에폭시를 관통하는 미세한 헬륨가스를 이중으로 차단하여 진공층의 진공도를 향상시킴으로써 액체헬륨의 증발율을 감소시킬 수 있다. 이중 벽 구조에서, 열 엥커는 기화된 냉매와의 효율적인 열접촉을 위해 내부 용기 내부로 삽입된다. 열 엥커와 내부 용기 사이의 팽창에 의한 손상을 감소시키도록, 열 엥커와 내부 용기는 서로 나사 결합을 수행한다. 또한, 상기 이중 벽 구조에서 내부로 삽입된 열 엥커는 열 접촉면을 증가시키기 위해 여러 개의 구멍이 형성되어 있으며 기화된 냉매에 직접 접촉함으로써 폐열을 효율적으로 사용하게 된다. 따라서 열차단 층의 효과를 극대화시켜 냉매의 증발율을 감소시키는 것과 동시에 고하중의 내측 구조물을 안정적으로 지지할 수 있어 냉매 증발과 외부 진동에 의한 잡음을 억제할 수 있다.In the vacuum-in-coil (CIV) SQUID device according to an embodiment of the present invention, the dua uses a double wall structure in the neck of the inner container into which the baffle insert is inserted. This double-walled structure can greatly contribute to preventing vacuum breakage due to thermal contraction of parts constituting the inside of Dua during rapid cooling. In addition, the double wall structure automatically forms a vacuum layer when the inside of the dua is cooled, and greatly reduces the inflow of radiant heat from the dua neck by disposing a heat shielding film between the double walls to reduce the inflow of radiant heat. In addition, the double vacuum layer can reduce the evaporation rate of liquid helium by improving the vacuum level of the vacuum layer by double blocking the fine helium gas penetrating the epoxy reinforced with glass fibers. In the double wall construction, heat anchors are inserted inside the inner container for efficient thermal contact with the vaporized refrigerant. To reduce damage caused by expansion between the heat anchor and the inner container, the heat anchor and the inner container are screwed together. In addition, the heat anchor inserted into the double wall structure has several holes to increase the thermal contact surface, and efficiently uses waste heat by directly contacting the vaporized refrigerant. Therefore, the effect of the thermal barrier layer is maximized to reduce the evaporation rate of the refrigerant, and at the same time, it is possible to stably support the high-load inner structure, so that noise caused by evaporation of the refrigerant and external vibration can be suppressed.

본 발명의 일 시예에 따른 심자도 장치는 SQUID 센서의 유지 보수를 용이하게 수행하는 진공내코일(CIV: Coil-in-Vacuum) SQUID를 채용하고, SQUID 센서들을 감싸도록 저온 냉각 차폐 구조물을 포함한다. 상기 저온 냉각 차폐 구조물은 서로 분해되어 상기 SQUID 센서의 유지 보수를 용이하게 수행할 수 있다.A cardiogram device according to an embodiment of the present invention employs a coil-in-vacuum (CIV) SQUID that facilitates maintenance of the SQUID sensor, and includes a low-temperature cooling shielding structure to surround the SQUID sensors. . The low-temperature cooling shield structure may be disassembled from each other to facilitate maintenance of the SQUID sensor.

자기장 신호원으로부터 자기신호의 세기는 거리의 제곱에 반비례하여 감소하므로 신호대잡음비를 향상시키기 위해 신호원과 검출코일의 간격을 최소화하는 것이 필요하다. 그런데, 신호원과 검출코일의 간격이 너무 좁으면, 냉매의 증발률이 증가할 수 있다. 따라서, 신호원과 검출 코일 사이의 간격을 조절할 수 있는 장치가 요구된다. 본 발명은 신호원과 검출 코일 사이의 간격을 용이하게 조절할 수 있다. Since the strength of the magnetic signal from the magnetic field signal source decreases in inverse proportion to the square of the distance, it is necessary to minimize the distance between the signal source and the detection coil to improve the signal-to-noise ratio. However, if the interval between the signal source and the detection coil is too narrow, the evaporation rate of the refrigerant may increase. Therefore, a device capable of adjusting the distance between the signal source and the detection coil is required. The present invention can easily adjust the distance between the signal source and the detection coil.

본 발명의 일 시예에 따른 심자도 장치는 내부 용기의 하부면에 배치된 메인 열 엥커를 구비하고, 상기 메인 열 엥커는 서로 나사 결합하는 복수의 열전달부와 상기 열전달부와 상기 내부 용기 사이의 열 팽창에 의한 밀봉 파괴를 조절하는 절연 재질의 열 팽창 조절부를 포함한다. 복수의 열전달부가 결합된 경우, 내부 용기의 외부면과 내부면에 매몰되어 배치된 한 쌍의 열 팽창 조절부를 압박하여 밀봉 및 열 팽창에 의한 부품 파손을 억제한다.A magnetic cardiogram device according to an embodiment of the present invention includes a main heat anchor disposed on a lower surface of an inner container, and the main heat anchor includes a plurality of heat transfer parts screwed together and heat between the heat transfer part and the inner container. It includes a thermal expansion controller made of an insulating material that controls seal breakage due to expansion. When a plurality of heat transfer units are coupled, a pair of thermal expansion control units buried in the outer and inner surfaces of the inner container are pressed to suppress component damage due to sealing and thermal expansion.

본 발명의 일 실시예에 따른 SQUID 센서 모듈은 3축 미분계를 구비하고, 열 용량을 감소시키기 위하여 부피를 최소화한 구조를 가진다. 이를 위하여, 미분계는 직육면체의 보빈에 배치된다. 보빈은 상부 보빈, 하부 보빈, 이들을 연결하는 보빈 연결 기둥을 포함한다. 또한, 3축 미분계를 구성하는 각 미분계는 신호 코일과 참조 코일을 구비한다. 각각의 미분계는 하나의 보빈 내에서 서로 간섭을 최소화도록 서로 직육면체의 다른 면에 배치되어 서로 교차하지 않는다.The SQUID sensor module according to an embodiment of the present invention includes a three-axis differential meter and has a structure in which a volume is minimized to reduce heat capacity. For this purpose, the differential system is placed on the bobbin of the cuboid. The bobbin includes an upper bobbin, a lower bobbin, and a bobbin connecting column connecting them. In addition, each differential meter constituting the three-axis differential meter includes a signal coil and a reference coil. Differential meters are arranged on different sides of a cuboid so as to minimize interference with each other within one bobbin and do not cross each other.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 구성요소는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed content will be thorough and complete, and the spirit of the present invention will be sufficiently conveyed to those skilled in the art. In the drawings, elements are exaggerated for clarity. Parts designated with like reference numerals throughout the specification indicate like elements.

도 1 및 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 측정 장치를 설명하는 개념도들이다.1 and 2 are conceptual views illustrating a magnetic field measuring device according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 1의 자기장 측정 장치에서 내부 용기의 하부면을 바라본 평면도이다. 3 is a plan view of the lower surface of the inner container in the magnetic field measuring device of FIG. 1;

도 4는 도 1의 자기장 측정 장치의 열 엥커를 설명하는 사시도이다.4 is a perspective view illustrating a thermal anchor of the magnetic field measuring device of FIG. 1;

도 5a는 도 1의 자기장 측정 장치의 SQUID 센서 모듈 장착판의 상부 평면도이다.Figure 5a is a top plan view of the SQUID sensor module mounting plate of the magnetic field measuring device of FIG.

도 5b는 도 1의 자기장 측정 장치의 SQUID 센서 모듈 장착판의 하부 평면도이다.Figure 5b is a bottom plan view of the SQUID sensor module mounting plate of the magnetic field measuring device of FIG.

도 6은 도 5a의 A-A’ 선을 따라 자른 단면도이다.6 is a cross-sectional view taken along the line A-A′ of FIG. 5A.

도 7은 도 5a의 B-B’ 선을 따라 자른 단면도이다.7 is a cross-sectional view taken along line BB′ of FIG. 5A.

도 8은 도 5a의 C-C’ 선을 따라 자른 단면도이다.8 is a cross-sectional view taken along line C-C′ of FIG. 5A.

도 9는 도 1의 보조 열 엥커을 나타내는 사시도이다.9 is a perspective view illustrating the auxiliary heat anchor of FIG. 1;

도 1 내지 도 9를 참조하면, 자기장 측정 장치(100)는, 외부 용기(110); 액체 냉매(30)를 수납하고 상기 외부 용기(110)의 내부에 배치되고 제1 직경을 가진 목부(162) 및 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가진 몸체부(164)를 포함하는 내부 용기(160); 상기 내부 용기(160)와 상기 외부 용기(110)의 사이의 공간은 진공상태로 유지되고, 상기 내부 용기(160)의 하부에 배치되는 SQUID 센서 모듈 장착판(120); 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)의 하부에 장착된 복수의 SQUID 센서 모듈들(10); 및 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120) 및 상기 복수의 SQUID 센서 모듈들(10)을 감싸도록 배치된 도전성 메쉬로 형성된 4K 열차폐부(140)를 포함한다.1 to 9, the magnetic field measuring device 100 includes an outer container 110; An inner container containing a liquid refrigerant 30 and disposed inside the outer container 110 and including a neck portion 162 having a first diameter and a body portion 164 having a second diameter larger than the first diameter. (160); A space between the inner container 160 and the outer container 110 is maintained in a vacuum state, and a SQUID sensor module mounting plate 120 disposed under the inner container 160; A plurality of SQUID sensor modules 10 mounted under the SQUID sensor module mounting plate 120; and a 4K heat shield 140 formed of a conductive mesh disposed to surround the SQUID sensor module mounting plate 120 and the plurality of SQUID sensor modules 10 .

외부 용기(110)는 원통 형상이고 G10 에폭시와 같은 유리섬유 강화 플라스틱일 수 있다. 상기 외부 용기(110)는 외부 용기 상판(111)을 포함할 수 있다.The outer container 110 has a cylindrical shape and may be a glass fiber reinforced plastic such as G10 epoxy. The outer container 110 may include an outer container top plate 111 .

상기 내부 용기(160)는 액체 냉매(30)를 저장하고, 메인 열 엥커(170) 및 리츠 와이어(22)를 통하여 SQUID 센서 모듈(10)을 냉각할 수 있다. 상기 내부 용기(160)의 재질은 G10 에폭시와 같은 유리섬유 강화 플라스틱일 수 있다. 상기 내부 (160)는, 배플 인서트(150)가 삽입되는 목부(162); 상기 목부(162)보다 지름이 증가한 몸체부(164)를 포함할 수 있다. 상기 목부(162)는 내측 원통과 상기 내측 원통을 감싸는 외측 원통을 포함하는 이중벽 구조일 수 있다. 상기 목부(162)는 내측 원통(162a)과 상기 내측 원통(162a)을 감싸는 외측 원통(162b)을 포함할 수 있다. 열 차폐막(162c)은 상기 내측 원통(162a)과 상기 외측 원통(162b) 사이에 배치될 수 있다. 상기 열 차폐막(162c)는 반사율(reflectivity)이 높고, 방사율(emissivity)이 낮은 금속 박막층과 낮은 열 전도율을 갖는 매우 얇은 부직포를 순차적으로 쌓은 다층구조일 수 있다.The inner container 160 may store the liquid refrigerant 30 and cool the SQUID sensor module 10 through the main heat anchor 170 and the Litz wire 22 . The material of the inner container 160 may be glass fiber reinforced plastic such as G10 epoxy. The interior 160 includes a neck portion 162 into which the baffle insert 150 is inserted; A body portion 164 having a diameter greater than that of the neck portion 162 may be included. The neck portion 162 may have a double wall structure including an inner cylinder and an outer cylinder surrounding the inner cylinder. The neck portion 162 may include an inner cylinder 162a and an outer cylinder 162b surrounding the inner cylinder 162a. A heat shielding film 162c may be disposed between the inner cylinder 162a and the outer cylinder 162b. The heat shielding film 162c may have a multilayer structure in which a metal thin film layer having high reflectivity and low emissivity and a very thin nonwoven fabric having low thermal conductivity are sequentially stacked.

상기 내측 원통(162a)은 원통의 외측으로 돌출된 복수의 링 돌출부(162a`)를 더 포함할 수 있다. 상기 링 돌출부(162a`)는 원통 링 형태이고, 상기 내측 원통(162a)과 일체형으로 형성될 수 있다. 상기 링 돌출부(162a`)의 외주면에는 나사 결합을 위한 스크루가 형성될 수 있다. The inner cylinder 162a may further include a plurality of ring protrusions 162a′ protruding outward of the cylinder. The ring protrusion 162a' has a cylindrical ring shape and may be integrally formed with the inner cylinder 162a. A screw for screw coupling may be formed on an outer circumferential surface of the ring protrusion 162a′.

열 엥커들(106a~c)은 상기 링 돌출부들(162a’) 각각과 결합할 수 있다. 상기 링 돌출부들(162a’)은 서로 이격되어 배치되고, 상기 외측 원통(162b)은 상기 링 돌출부(162a’)를 사이에 두고 서로 분리될 수 있다. 상기 링 돌출부(162a’)의 외주면과 상기 열 엥커(106a~c)의 내주면은 나사 결합할 수 있다. The heat anchors 106a to c may be coupled to each of the ring protrusions 162a'. The ring protrusions 162a' are spaced apart from each other, and the outer cylinders 162b may be separated from each other with the ring protrusions 162a' interposed therebetween. An outer circumferential surface of the ring protrusion 162a' and an inner circumferential surface of the column anchors 106a to c may be screwed together.

상기 링 돌출부들(162a`)은 서로 이격되어 배치될 수 있다. 상기 외측 원통(162b)은 상기 링 돌출부(162a`)를 사이에 두고 서로 분리될 수 있다. 즉, 상기 외측 원통(162b)은 서로 분리된 복수의 원통 형상의 부품을 포함할 수 있다. 상기 외측 원통(162b)과 상기 내측 원통(162a) 사이의 간격은 수 mm이내일 수 있다. 상기 외측 원통(162a) 각각은 열 엥커 결합부(106a``) 및 상기 링 돌출부(162a’)를 감싸는 턱(162b`)을 포함할 수 있다. 상기 외측 원통(162b)은 상기 링 돌출부를 감싸도록 결합한 후, 결합 부위는 에폭시와 같은 접착제로 고정되고 밀봉될 수 있다.The ring protrusions 162a′ may be spaced apart from each other. The outer cylinders 162b may be separated from each other with the ring protrusions 162a' interposed therebetween. That is, the outer cylinder 162b may include a plurality of cylindrical parts separated from each other. The distance between the outer cylinder 162b and the inner cylinder 162a may be within several mm. Each of the outer cylinders 162a may include a heat anchor coupling portion 106a`` and a jaw 162b′ surrounding the ring protrusion 162a′. After the outer cylinder 162b is coupled to surround the ring protrusion, the coupled portion may be fixed and sealed with an adhesive such as epoxy.

상기 열 엥커들(106a~c)은 상기 목부의 외측에는 서로 수직으로 이격되어 차례로 배치된 와셔 형상의 제1 내지 제3 열 엥커(106a~c)를 포함할 수 있다. 상기 제1 내지 제3 열 엥커(106a~c) 각각은 반경 방향으로 연장되는 복수의 슬릿(108)을 포함할 수 있다.The heat anchors 106a to c may include first to third heat anchors 106a to c having a washer shape that are vertically spaced apart from each other and sequentially arranged on the outside of the neck. Each of the first to third column anchors 106a to c may include a plurality of slits 108 extending in a radial direction.

상기 제1 열 엥커(106a)는 120K 열차폐막(107a)에 연결되고, 상기 제2 열 엥커(106b)는 80K 열 차폐막(107b)에 연결되고, 상기 제3 열 엥커(106c)는 40K 열 차폐막(107c)에 연결될 수 있다. 상기 40 K 열 차폐막(107c)은 상기 4K 열차폐부(140)를 감싸도록 배치될 수 있다. 상기 80K 열 차폐막(107b)은 상기 40 K 열 차폐막(107c)을 감싸도록 배치될 수 있다. 상기 120K 열 차폐막(107a)은 상기 80 K 열 차폐막(107b)을 감싸도록 배치될 수 있다.The first heat anchor 106a is connected to a 120K heat shield 107a, the second heat anchor 106b is connected to an 80K heat shield 107b, and the third heat anchor 106c is a 40K heat shield (107c). The 40K heat shielding film 107c may be disposed to surround the 4K heat shielding part 140 . The 80K heat shielding film 107b may be disposed to surround the 40K heat shielding film 107c. The 120K heat shielding film 107a may be disposed to surround the 80K heat shielding film 107b.

열 엥커들(106a,106b,106c)은 상기 링 돌출부들(162a`)과 각각 결합할 수 있다. 상기 링 돌출부(162a`)의 외주면과 상기 열 엥커(106a,106b,106c)의 내주면은 나사 결합할 수 있다. 상기 열 엥커들(106a,106b,106c) 각각은 원형 와셔 형태일 수 있다. 상기 열 엥케들은 구리 또는 알루미늄일 수 있다. The heat anchors 106a, 106b, and 106c may be coupled to the ring protrusions 162a′, respectively. An outer circumferential surface of the ring protrusion 162a′ and an inner circumferential surface of the heat anchors 106a, 106b, and 106c may be screwed together. Each of the heat anchors 106a, 106b, and 106c may have a circular washer shape. The thermal enclosures may be copper or aluminum.

상기 열 엥커(106a)는 원통 형상의 열 엥커 결합부(106a``)와 상기 열 엥커 결합부의 외주면에서 배치되고 원판 형상의 열 엥커 몸체부(106a`)를 포함할 수 있다. 상기 열 엥커 결합부(106a``)의 내주면은 상기 링 돌출부의 외주면과 나사 결합할 수 있다. 이에 따라, 상기 열 엥커들(106a,106b,106c)은 상기 내부 용기에 안정적으로 고정되면서, 서로 넓은 면적으로 열접촉하여 냉각될 수 있다. 상기 링 돌출부(162a`)와 상기 열 엥커(106a)의 나사 결합은 열 팽창에 의한 효율적인 열접촉을 제공하면서 기계적 안정성을 향상시킬 수 있다.The heat anchor 106a may include a cylindrical heat anchor coupling portion 106a`` and a disc-shaped heat anchor body portion 106a`` disposed on an outer circumferential surface of the heat anchor coupling portion. An inner circumferential surface of the heat anchor coupling part 106a`` may be screwed into an outer circumferential surface of the ring protruding part. Accordingly, the heat anchors 106a, 106b, and 106c can be cooled by being in thermal contact with each other over a large area while being stably fixed to the inner container. Screw coupling between the ring protrusion 162a′ and the thermal anchor 106a may improve mechanical stability while providing efficient thermal contact by thermal expansion.

상기 이중 벽 구조는 외부로부터 상기 내부 용기(160) 내로 복사 열의 유입을 차단할 수 있다. 상기 내부 용기가 냉매에 의하여 냉각된 경우, 상기 내측 원통과 상기 외측 원통 사이의 공간은 진공을 유지할 수 있다. 이에 따라, 열전달에 의한 열 유입을 차단하고, 상기 열 차폐막(162c)은 복사 열의 유입을 추가적으로 차단할 수 있다. 이에 따라, 이중벽 구조의 목부는 단일벽 구조의 목부에 비하여 높은 기계적 안정성 및 높은 열차폐 효율을 제공할 수 있다.The double wall structure may block the inflow of radiant heat into the inner container 160 from the outside. When the inner container is cooled by a refrigerant, a vacuum may be maintained in a space between the inner cylinder and the outer cylinder. Accordingly, the inflow of heat due to heat transfer is blocked, and the heat shielding film 162c may additionally block the inflow of radiant heat. Accordingly, the neck of the double wall structure may provide higher mechanical stability and higher heat shielding efficiency than the neck of the single wall structure.

상기 열 엥커(106a,106b,106c)는 차례로 배치된 제1 내지 제3 열 엥커(106a,106b,106c)를 포함할 수 있다. 상기 제1 열 엥커(106a)는 목부(362)의 가장 상측에 배치되고 120K 열차폐막(107a)에 연결될 수 있다. 상기 제2 열 엥커(106b)는 상기 제1 열 엥커(106a)의 하측에 배치되고 80K 열 차페막(107b)에 연결될 수 있다. 상기 제3 열 엥커(106c)는 상기 제2 열 엥커(106b)의 하측에 배치되고 40K 열 차페막(107b)에 연결될 수 있다. 상기 제1 열 엥커(106a)의 외직경은 상기 제2 열 엥커(106b)의 외직 경보다 클 수 있다.The thermal anchors 106a, 106b, and 106c may include first to third thermal anchors 106a, 106b, and 106c sequentially disposed. The first heat anchor 106a may be disposed on the uppermost side of the neck portion 362 and connected to the 120K heat shield 107a. The second heat anchor 106b may be disposed below the first heat anchor 106a and connected to the 80K heat shielding film 107b. The third thermal anchor 106c may be disposed below the second thermal anchor 106b and connected to the 40K thermal shielding film 107b. The outer diameter of the first row anchor 106a may be larger than that of the second row anchor 106b.

상기 제1 열 엥커(106a)는 상기 냉매로부터 가장 멀리 이격되어 있어 가장 높은 온도로 유지되고, 상기 제3 열 엥커(106c)는 상기 냉매에 가장 근접하여 가장 낮은 온도로 유지될 수 있다. 상기 제1 열 엥커 내지 상기 제3 열 엥커(106a,106b,106c)는 기화된 냉매와 열접촉하여 냉각될 수 있다.The first heat anchor 106a is farthest from the refrigerant and maintained at the highest temperature, and the third heat anchor 106c is closest to the refrigerant and maintained at the lowest temperature. The first to third heat anchors 106a, 106b, and 106c may be cooled by thermal contact with the vaporized refrigerant.

상기 40K 열차폐막(107c)은 상기 제3 열 엥커(106c)의 외주면에 결합하고 상기 내부 용기(160)을 감싸도록 배치되고 복사 열의 유입을 차단할 수 있다. 상기 40K 열차폐막(107c)은 서로 절연된 금속선으로 짜여진 금속 메쉬 및 단열 필름을 포함할 수 있다. 상기 40K 열차폐막(107c)은 상기 4K 열차폐막을 감쌀 수 있다.The 40K heat shielding film 107c is coupled to the outer circumferential surface of the third heat anchor 106c and disposed to surround the inner container 160, and may block the inflow of radiant heat. The 40K heat shielding film 107c may include a metal mesh interwoven with metal wires insulated from each other and a heat insulating film. The 40K heat shielding film 107c may cover the 4K heat shielding film.

상기 80K 열차폐막(107b)은 상기 제2 열 엥커(106b)의 외주면에 결합하고 상기 40K 열차폐막(107c)을 감싸도록 배치되고 복사 열의 유입을 차단할 수 있다. 상기 80K 열차폐막(107b)은 서로 절연된 금속선으로 짜여진 금속 메쉬 및 단열 필름을 포함할 수 있다. 상기 80K 열차폐막(107b)은 상기 4K 열차폐막을 감쌀 수 있다.The 80K heat shielding film 107b is coupled to the outer circumferential surface of the second heat anchor 106b and disposed to surround the 40K heat shielding film 107c, and may block the inflow of radiant heat. The 80K heat shielding film 107b may include a metal mesh interwoven with metal wires insulated from each other and a heat insulating film. The 80K heat shielding film 107b may cover the 4K heat shielding film.

상기 120K 열차폐막(107a)은 상기 제1 열 엥커(106a)의 외주면에 결합하고 상기 80K 열차폐막(107b)을 감싸도록 배치되고 복사 열의 유입을 차단할 수 있다. 상기 120K 열차폐막(107a)은 서로 절연된 금속선으로 짜여진 금속 메쉬 및 단열 필름을 포함할 수 있다. 상기 120K 열차폐막(107a)은 상기 80K 열차폐막(107b)을 감쌀 수 있다.The 120K heat shielding film 107a is coupled to the outer circumferential surface of the first heat anchor 106a and disposed to surround the 80K heat shielding film 107b, and may block an inflow of radiant heat. The 120K heat shielding film 107a may include a metal mesh and a heat insulating film woven of metal wires insulated from each other. The 120K heat shielding film 107a may cover the 80K heat shielding film 107b.

상기 내부 용기(160)과 상기 외부 용기(110) 사이의 공간은 진공 상태로 유지될 수 있다. 상기 외부 용기 뚜껑(111)은 진공 펌프와 연결되는 배기 포트(111a)를 포함할 수 있다. 상기 배기 포트(111a)는 G-10 에폭시 튜브로 형성될 수 있다. 상기 몸체부(164)의 하부면(164a)은 복수의 게터 홈(getter groove)을 포함할 수 있다. 상기 게터 홈에는 진공 상태에서 잔류 기체를 포집하는 게터가 배치될 수 있다. A space between the inner container 160 and the outer container 110 may be maintained in a vacuum state. The outer container lid 111 may include an exhaust port 111a connected to a vacuum pump. The exhaust port 111a may be formed of a G-10 epoxy tube. The lower surface 164a of the body portion 164 may include a plurality of getter grooves. A getter for collecting residual gas in a vacuum state may be disposed in the getter groove.

배플 인서트(150)는 상기 내부 용기(160)의 목부(162)에 삽입되어 배치될 수 있다. 상기 배플 인서트(150)는 인서트 상판(151), 상기 인서트 상판의 하부에 배치된 배플(156), 상기 배플(156)을 지지하고 상기 인서트 상판에 고정되는 복수의 가이드 봉(154)을 포함할 수 있다.The baffle insert 150 may be inserted into and disposed in the neck portion 162 of the inner container 160 . The baffle insert 150 may include an insert top plate 151, a baffle 156 disposed under the insert top plate, and a plurality of guide rods 154 supporting the baffle 156 and fixed to the insert top plate. can

상기 인서트 상판(151)은 원판 형상이고, G-10 에폭시로 형성될 수 있다. 상기 인서트 상판(151)은 상기 외부 용기 뚜껑(111)에 고정될 수 있다. 상기 가이드 봉(154)은 G-10 에폭시로 형성되고, 봉 형상 또는 파이프 형상일 수 있다. 상기 가이드 봉(154)은 상기 배플(156)을 지지할 수 있다. 상기 배플(156)은 보온성이 높은 스티로품과 도전판을 포함할 수 있다. 상기 도전판은 복사 열을 차단하기 위하여 차례로 적층된 알루미늄 코팅된 마일라(mylar) 및 구리층을 포함할 수 있다.The insert top plate 151 has a disc shape and may be formed of G-10 epoxy. The insert top plate 151 may be fixed to the outer container lid 111 . The guide rod 154 is made of G-10 epoxy and may have a rod shape or a pipe shape. The guide rod 154 may support the baffle 156 . The baffle 156 may include styrofoam having high heat retention and a conductive plate. The conductive plate may include an aluminum-coated mylar layer and a copper layer sequentially stacked to block radiant heat.

냉매 배기 튜브(153)는 상기 배플 인서트(150)의 인서트 상판(151)에 배치되고 기화된 냉매를 배기할 수 있다. 냉매 주입 튜브(152)는 상기 배플 인서트(150)의 인서트 상판(151)에 배치되고 냉매를 주입할 수 있다. 상기 냉매 배기 튜브(153) 및 상기 냉매 주입 튜브(152) 각각은 내부 튜브와 외부 튜브를 구비한 이중 튜브일 수 있다. 이중 튜브에서 내부 튜브와 외부 튜브 사이의 공간은 냉각시 진공 상태를 유지할 수 있다. 상기 냉매 주입 튜브(152)는 상기 냉매 배기 튜브(153)에 삽입된 동축 구조일 수 있다. 상기 냉매 배기 튜브 (153) 및 상기 냉매 주입 튜브(152)는 G-10 에폭시로 형성될 수 있다. The refrigerant exhaust tube 153 may be disposed on the insert top plate 151 of the baffle insert 150 and exhaust the vaporized refrigerant. The refrigerant injection tube 152 may be disposed on the insert top plate 151 of the baffle insert 150 and inject refrigerant. Each of the refrigerant exhaust tube 153 and the refrigerant injection tube 152 may be a double tube having an inner tube and an outer tube. In the double tube, the space between the inner tube and the outer tube may maintain a vacuum state during cooling. The refrigerant injection tube 152 may have a coaxial structure inserted into the refrigerant exhaust tube 153 . The refrigerant exhaust tube 153 and the refrigerant injection tube 152 may be formed of G-10 epoxy.

동축 이중 튜브(152,153)는 상기 인서트 상판(151)과 열접촉을 감소시키어 상기 인서트 상판(151)의 얼음 생성을 감소시킬 수 있다. 상기 냉매 배기 튜브 및 상기 냉매 주입 튜브가 단일 튜브인 경우, 상기 인서트 상판(151) 및 냉매 배기 튜브는 얼음을 생성하고, 상기 얼음은 상기 외부 용기 뚜껑(111)과 상기 인서트 상판(151)의 밀봉을 저해하고 외부의 열 유입을 증가시킬 수 있다. 동축 이중 튜브(152,153)는 상기 인서트 상판(151)의 중심축에 배치될 수 있다. 상기 냉매 배기 튜브 (153)의 일단은 제1 열 엥커(106a)보다 높은 위치에 배치될 수 있다. The coaxial double tubes 152 and 153 reduce thermal contact with the insert top plate 151 to reduce ice generation of the insert top plate 151 . When the refrigerant exhaust tube and the refrigerant injection tube are single tubes, the insert top plate 151 and the refrigerant exhaust tube create ice, and the ice seals the outer container lid 111 and the insert top plate 151. and can increase external heat input. The coaxial double tubes 152 and 153 may be disposed on the central axis of the insert top plate 151 . One end of the refrigerant exhaust tube 153 may be disposed at a higher position than the first heat anchor 106a.

응축기(159)는 상기 냉매 배기 튜브(153) 및 상기 냉매 주입 튜브(152)에 연결되고 상기 냉매 주입 튜브(153)를 통하여 배기된 기화된 냉매를 응축할 수 있다. 상기 응축기(159)는 자기 차폐실 외부에 배치될 수 있다.The condenser 159 is connected to the refrigerant exhaust tube 153 and the refrigerant injection tube 152 and may condense the vaporized refrigerant exhausted through the refrigerant injection tube 153 . The condenser 159 may be disposed outside the magnetic shield room.

신호선 연결 박스는 상기 외부 용기의 외부에 배치되고 SQUID 센서의 신호선들(15)을 연결할 수 있다. The signal line connection box may be disposed outside the outer container and connect the signal lines 15 of the SQUID sensor.

메인 열 엥커(main thermal anchor,170)는 상기 냉매에 의하여 냉각되고 상기 내부 용기(160)의 하부면에 일정한 원주 상에 일정한 간격으로 배치될 수 있다. 상기 메인 열 엥커(170)는 6 개일 수 있다.Main thermal anchors 170 are cooled by the refrigerant and may be disposed at regular intervals on a predetermined circumference on the lower surface of the inner container 160 . The number of main column anchors 170 may be six.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 메인 열 엥커를 나타내는 단면도이다.10 is a cross-sectional view showing a main heat anchor according to an embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 상기 메인 열 엥커(170)는, 제1 열전달부(171), 제2 열전달부(172), 제3 열전달부(173), 제4 열전달부(174), 제5 열전달부(175), 제1 열팽창 조절부(176), 및 제2 열팽창 조절부(177)를 포함할 수 있다. 상기 메인 열 엥커(170)는 복수의 부품으로 구성하여 열 팽창에 의한 내부 용기의 파손을 억제하면서 열접촉 면적을 증가시키어 리츠 와이어(2)2 및 SQUID 센서를 효율적으로 냉각할 수 있다.Referring to FIG. 10, the main heat anchor 170 includes a first heat transfer unit 171, a second heat transfer unit 172, a third heat transfer unit 173, a fourth heat transfer unit 174, and a fifth heat transfer unit. It may include a unit 175 , a first thermal expansion control unit 176 , and a second thermal expansion control unit 177 . The main heat anchor 170 is composed of a plurality of parts, so that the litz wire 2 and the SQUID sensor can be efficiently cooled by increasing the thermal contact area while suppressing damage to the inner container due to thermal expansion.

상기 제1 열팽창 조절부(176)는 상기 내부 용기의 하부면의 내측에 형성된 2개의 반경을 가진 이중 홈에 결합하고, 제2 열팽창 조절부(177)는 상기 내부 용기의 하부면의 외측에 형성된 2개의 반경을 가진 이중 홈에 결합할 수 있다. The first thermal expansion control unit 176 is coupled to a double groove having two radii formed inside the lower surface of the inner container, and the second thermal expansion control unit 177 is formed on the outer side of the lower surface of the inner container. It can be combined into a double groove with two radii.

제1 열전달부(171)는 무산소 구리로 형성되고 제1 원판(171a), 및 상기 제1 원판의 중심축에서 하부면으로 돌출된 제1 하부 돌출부(171b)를 포함할 수 있다. 제1 열전달부(171)는 상기 제1 원판의 중심축에서 상부면으로 돌출된 제1 상부 돌출부(171c)를 더 포함할 수 있다.The first heat transfer unit 171 may include a first disc 171a formed of oxygen-free copper and a first lower protrusion 171b protruding from a central axis of the first disc to a lower surface. The first heat transfer unit 171 may further include a first upper protrusion 171c protruding from the central axis of the first disc to the upper surface.

제2 열전달부(172)는 무산소 구리로 형성되고 제2 원판(172a), 상기 제2 원판의 중심축에서 상부면으로 둘출된 제2 상부 돌출부(172b) 및 상기 제2 원판의 중심축에서 하부면으로 돌출된 제2 하부 돌출부(172c)를 포함할 수 있다. 상기 제2 열전달부(172)의 제2 상부 돌출부(172b)는 상기 제1 열전달부(171)의 제1 하부 돌출부(171b)와 결합하기 위한 나사 홈(172d)을 구비할 수 있다. 상기 제2 열전달부(172)의 제2 하부 돌출부(172c)는 상기 제3 열전달부(173)의 제3 상부 돌출부(173b)와 결합하기 위한 나사 홈(172e)을 구비할 수 있다. The second heat transfer part 172 is formed of oxygen-free copper and includes a second disc 172a, a second upper protrusion 172b protruding from the central axis of the second disc to the upper surface, and a lower portion from the central axis of the second disc. A second lower protrusion 172c protruding toward the surface may be included. The second upper protrusion 172b of the second heat transfer part 172 may have a screw groove 172d to be coupled with the first lower protrusion 171b of the first heat transfer part 171 . The second lower protrusion 172c of the second heat transfer part 172 may have a screw groove 172e to be coupled with the third upper protrusion 173b of the third heat transfer part 173 .

제3 열전달부(173)는 무산소 구리로 형성되고 제3 원판(173a), 상기 제3 원판의 중심축에서 상부면으로 둘출된 제3 상부 돌출부(173b) 및 상기 제3 원판의 중심축에서 하부면으로 돌출된 제3 하부 돌출부(173c)를 포함할 수 있다. 상기 제3 열전달부(173)의 제3 하부 돌출부(173c)는 상기 제4 열전달부(174)의 제4 상부 돌출부(174b)와 결합하기 위한 나사 홈(173d)을 구비할 수 있다. The third heat transfer part 173 is formed of oxygen-free copper and includes a third disc 173a, a third upper protrusion 173b protruding from the central axis of the third disc to the upper surface, and a lower portion from the central axis of the third disc. A third lower protrusion 173c protruding toward the surface may be included. The third lower protrusion 173c of the third heat transfer part 173 may have a screw groove 173d to be coupled with the fourth upper protrusion 174b of the fourth heat transfer part 174 .

제4 열전달부(174)는 무산소 구리로 형성되고 제4 원판, 및 상기 제4 원판의 중심축에서 상부면으로 둘출된 제4 상부 돌출부(174b), 및 상기 제4 원판의 중심축에서 하부면으로 둘출된 제4 하부 돌출부(174c)를 포함할 수 있다The fourth heat transfer part 174 is formed of oxygen-free copper and includes a fourth disc, a fourth upper protrusion 174b protruding from the central axis of the fourth disc to the upper surface, and a lower surface from the central axis of the fourth disc. It may include a fourth lower protrusion 174c protruding as

제5 열전달부(175)는 무산소 구리로 형성되고 원판을 포함할 수 있다. 상기 제5 열전달부(175)는 제4 열전달부(174)의 제4 하부 돌출부(174c)와 결합할 수 있다. 제5 열전달부(175)의 하부면은 고정 수단(178)과 결합할 수 있다. 상기 고정 수단(178)은 리츠 와이어(22)를 고정하고 냉각할 수 있다.The fifth heat transfer unit 175 may be formed of oxygen-free copper and may include a disc. The fifth heat transfer part 175 may be coupled to the fourth lower protrusion 174c of the fourth heat transfer part 174 . A lower surface of the fifth heat transfer unit 175 may be coupled to the fixing unit 178 . The fixing means 178 may fix and cool the litz wire 22 .

제1 열팽창 조절부(176)는 절연체로 형성되고 상기 제1 열전달부(171)의 제1 원판(171a)과 상기 제2 열전달부(172)의 제2 원판(172b) 사이에 삽입될 수 있다. 제1 열팽창 조절부(176)는 상기 내부 용기의 재질과 동일한 재질일 수 있다. The first thermal expansion controller 176 is formed of an insulator and may be inserted between the first disc 171a of the first heat transfer unit 171 and the second disc 172b of the second heat transfer unit 172. . The first thermal expansion controller 176 may be made of the same material as that of the inner container.

제2 열팽창 조절부(177)는 절연체로 형성되고 상기 제3 열전달부(173)의 제3 원판(173a)과 상기 제4 열전달부(174)의 제4 원판(174a) 사이에 삽입될 수 있다. 제2 열팽창 조절부(177)는 상기 내부 용기의 재질과 동일한 재질일 수 있다. The second thermal expansion control unit 177 is formed of an insulator and may be inserted between the third disc 173a of the third heat transfer unit 173 and the fourth disc 174a of the fourth heat transfer unit 174. . The second thermal expansion controller 177 may be made of the same material as that of the inner container.

상기 제1 열팽창 조절부(176)는, 상기 제1 원판(171a)의 제1 직경(D1)과 동일한 직경을 가지는 제1 절연 몸체부(176a); 상기 내부 몸체의 하부면에 매몰되고 상기 제1 직경(D1)보다 큰 제2 직경(D2)을 자지는 제2 절연 몸체부(176b); 및 상기 제2 직경(D2)보다 작은 제3 직경(D3)을 가지는 제3 절연 몸체부(176c)를 포함할 수 있다. 상기 제3 절연 몸체부(176c)는 상기 제2 원판(172a)의 외주면을 감싸도록 배치될 수 있다. 제3 절연 몸체부(176c)의 외주면은 나사홈을 구비할 수 있다.The first thermal expansion control unit 176 includes a first insulating body portion 176a having the same diameter as the first diameter D1 of the first disc 171a; a second insulating body portion (176b) buried in the lower surface of the inner body and having a second diameter (D2) larger than the first diameter (D1); and a third insulating body portion 176c having a third diameter D3 smaller than the second diameter D2. The third insulating body portion 176c may be disposed to surround an outer circumferential surface of the second disc 172a. An outer circumferential surface of the third insulating body portion 176c may have a screw groove.

상기 제2 열팽창 조절부(177)은 상기 제1 열팽창 조절부(176)와 동일한 구조를 가질 수 있다.The second thermal expansion controller 177 may have the same structure as the first thermal expansion controller 176 .

제1 내지 제4 열전달부(171~174)는 서로 결합하면, 상기 제1 열팽창 조절부(176) 및 상기 제2 열팽창 조절부(177)는 압박되어 상기 내부 용기와 실링될 수 있다. 또한, 제1 원판(171a) 및 제4 원판(174a)은 상기 제1 열팽창 조절부(176)와 상기 제2 열팽창 조절부(177)를 압박하여 실링될 수 있다.When the first to fourth heat transfer units 171 to 174 are coupled to each other, the first thermal expansion control unit 176 and the second thermal expansion control unit 177 may be pressed and sealed with the inner container. In addition, the first disc 171a and the fourth disc 174a may be sealed by pressing the first thermal expansion control unit 176 and the second thermal expansion control unit 177 .

상기 메인 열 엥커(170)는 상기 4K 열차폐부 및 상기 SQUID 센서 모듈들(10)을 리츠 와이어를 통하여 냉각할 수 있다.The main heat anchor 170 may cool the 4K heat shield and the SQUID sensor modules 10 through a Litz wire.

다시, 도 1을 참조하면, 센서 가이드 봉(180a)은 상기 내부 용기의 하부면(164a)에 장착되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)을 관통하여 연장되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)의 연직 운동을 가이드할 수 있다. 상기 센서 가이드 봉(180a)은 상기 내부 용기의 하부면(164a)에서 일정한 반경의 원주 상에 주기적으로 배치될 수 있다.Again, referring to FIG. 1, the sensor guide rod 180a is mounted on the lower surface 164a of the inner container and extends through the SQUID sensor module mounting plate 120, and the SQUID sensor module mounting plate 120 can guide the vertical motion of The sensor guide rod 180a may be periodically disposed on a circumference of a constant radius on the lower surface 164a of the inner container.

센서 고정 봉(180b)은 상기 내부 용기의 하부면(164a)에 장착되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)에 고정될 수 있다. 상기 센서 고정 봉(180b)은 상기 내부 용기의 하부면(164a)에서 일정한 반경의 원주 상에 주기적으로 배치될 수 있다. 상기 센서 고정 봉(180b)의 길이 또는 고정 위치를 조절하여, 자기장 신호원와 검출 코일 사이의 거리를 조절할 수 있다. The sensor fixing rod 180b may be mounted on the lower surface 164a of the inner container and fixed to the SQUID sensor module mounting plate 120 . The sensor fixing bar 180b may be periodically arranged on a circumference of a constant radius on the lower surface 164a of the inner container. The distance between the magnetic field signal source and the detection coil may be adjusted by adjusting the length or fixing position of the sensor fixing bar 180b.

상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)은 원판 형태이고, G10 에폭시와 같은 비자성 물질일 수 있다. 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)은 그 측면의 하부면에 링 형태의 링 함몰부(120a)를 구비할 수 있다. 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)은 상기 링 함몰부(120a)에서 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)을 관통하는 적어도 하나의 연결부(123)를 포함할 수 있다. The SQUID sensor module mounting plate 120 has a disc shape and may be made of a non-magnetic material such as G10 epoxy. The SQUID sensor module mounting plate 120 may have a ring-shaped ring recessed portion 120a on a lower surface of its side surface. The SQUID sensor module mounting plate 120 may include at least one connection portion 123 penetrating the SQUID sensor module mounting plate 120 at the ring depression 120a.

상기 SQUID 센서 모듈들(10)은 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)을 관통하고 제1 방향(x축 방향) 및 제2 방향(y축 방향)을 따라 배열될 수 있다. 상기 SQUID 센서 모듈들(10) 각각은 수직하게 연장될 수 있다. 구체적으로, 상기 SQUID 센서 모듈들(10)은 제1 방향 및 제2 방향을 따라 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)의 상부면은, 상기 제1 방향으로 배열된 SQUID 센서 모듈들과 상기 제2 방향으로 이격되어 상기 제1 방향으로 배열된 SQUID 센서 모듈들 사이에 상기 SQUID 센서 모듈 장착판에서 상기 제1 방향으로 연장되는 트렌치(121)를 포함할 수 있다. 신호선 연결홀(122)은 상기 트렌치(121)와 연결되고 상기 제1 방향으로 일정한 간격으로 배열되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)을 관통할 수 있다. 신호선 연결홀(122) 및 상기 트렌치(121)는 상기 SQUID 센서 모듈을 구성하는 복수의 SQUID 센서의 신호선에 대한 연결 통로를 제공할 수 있다.The SQUID sensor modules 10 pass through the SQUID sensor module mounting plate 120 and may be arranged in a first direction (x-axis direction) and a second direction (y-axis direction). Each of the SQUID sensor modules 10 may extend vertically. Specifically, the SQUID sensor modules 10 may be arranged in a matrix form along the first and second directions. The upper surface of the SQUID sensor module mounting plate 120 is between the SQUID sensor modules arranged in the first direction and the SQUID sensor modules spaced apart from each other in the second direction and arranged in the first direction. The mounting plate may include a trench 121 extending in the first direction. The signal line connection holes 122 are connected to the trench 121 and are arranged at regular intervals in the first direction and may pass through the SQUID sensor module mounting plate 120 . The signal line connection hole 122 and the trench 121 may provide connection paths for signal lines of a plurality of SQUID sensors constituting the SQUID sensor module.

상기 보조 열 엥커(144)는 상기 링 함몰부(120a)와 결합하고 상기 열결부(123)에 삽입되도록 돌출된 적어도 하나의 돌기부(144c)를 포함하고, 상기 제1 방향의 최외측에 배치된 트렌치(121)는 상기 열결부(123)에 연결될 수 있다.The auxiliary column anchor 144 is engaged with the ring recessed portion 120a and includes at least one protrusion 144c protruding to be inserted into the coupling portion 123, disposed on the outermost side in the first direction Trench 121 may be connected to the thermal coupling part 123 .

상기 보조 열 엥커(144)는 상기 4K 열차폐부(140)를 개재하여 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)의 측면에 결합하고 상기 4K 열차폐부(140)를 고정하는 링 형상일 수 있다. 상기 보조 열 엥커(144)는 상기 4K 열차폐부와 열접촉하여 상기 4K 열차폐부를 냉각할 수 있다. 상기 보조 열 엥커(144)는 무산도 동으로 형성되고, 반원 형상의 제1 보조 열 엥커(150a)와 제2 보조 열 엥커(150b)로 분리되어 와류의 흐름을 억제할 수 있다.The auxiliary heat anchor 144 may have a ring shape coupled to the side surface of the SQUID sensor module mounting plate 120 through the 4K heat shield 140 and fixing the 4K heat shield 140 . The auxiliary heat anchor 144 may cool the 4K heat shield by making thermal contact with the 4K heat shield. The auxiliary heat anchor 144 is formed of acidless copper and is separated into a semicircular first auxiliary heat anchor 150a and a second auxiliary heat anchor 150b to suppress the flow of vortex.

상기 4K 열차폐부(140)는, 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)의 상부면에 배치된 상부 4K 열차폐부(140a); 및 상기 복수의 SQUID 센서 모듈들을 감싸도록 배치된 하부 4K 열차폐부(140b)를 포함할 수 있다. 상기 보조 열 엥커(144)는 상기 하부 4K 열차폐부(140b)를 개재하여 상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 측면에 결합할 수 있다. 상기 하부 4K 열차폐부(140b)는 4K 열차폐부 하우징(140c)을 감싸도록 배치될 수 있다. 상기 4K 열차폐부 하우징(140c)은 얇은 플라스틱 재질일 수 있다. 상기 4K 열차폐부 하우징(140c)은 진공 배기를 위하여 적어도 하나의 개구부를 구비할 수 있다. 상기 4K 열차폐부 하우징(140c)은 냉각 공간을 감소시키기 위하여 SQUID 센서 모듈들(10)이 배치된 영역에서 작은 직경을 가지도록 연직 방향으로 연장되면서 턱을 가질 수 있다.The 4K heat shield 140 includes an upper 4K heat shield 140a disposed on an upper surface of the SQUID sensor module mounting plate 120; and a lower 4K heat shield 140b disposed to surround the plurality of SQUID sensor modules. The auxiliary heat anchor 144 may be coupled to the side surface of the SQUID sensor module mounting plate through the lower 4K heat shield 140b. The lower 4K heat shield 140b may be disposed to surround the 4K heat shield housing 140c. The 4K heat shield housing 140c may be made of a thin plastic material. The 4K heat shield housing 140c may have at least one opening for vacuum exhaustion. The 4K heat shield housing 140c may extend in a vertical direction to have a small diameter in an area where the SQUID sensor modules 10 are disposed and have a chin in order to reduce a cooling space.

복수의 열전달 고정부들(186)은 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)의 가장 자리를 따라 주기적으로 장착될 수 있다. 상기 열전달 고정부들(186)은 열전달률이 높은 무산도 동과 같은 금속일 수 있다. 상기 복수의 열전달 고정부들(186)은 리츠 와이어를 통하여 메인 열 엥커(170)와 열접촉하고, 상기 상부 4K 열차폐부(140a)를 고정하면서 냉각하고, 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)에 고정될 수 있다. 예를 들어, 하나의 메인 열 엥커(170)는 복수의 열전달 고정부(186)에 리츠 와이어를 통하여 연결될 수 있다. 상기 리츠 와이어(22)는 유연성을 가진 복수의 구리 도선을 포함할 수 있다. A plurality of heat transfer fixing parts 186 may be periodically mounted along the edge of the SQUID sensor module mounting plate 120 . The heat transfer fixing parts 186 may be made of a metal having a high heat transfer rate, such as acid-free copper. The plurality of heat transfer fixing parts 186 are in thermal contact with the main heat anchor 170 through Litz wire, and are cooled while fixing the upper 4K heat shield 140a, and are attached to the SQUID sensor module mounting plate 120. can be fixed For example, one main heat anchor 170 may be connected to a plurality of heat transfer fixtures 186 through Litz wires. The litz wire 22 may include a plurality of flexible copper conductors.

복수의 열전달 봉들(20)은 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)에 고정되고 상기 SQUID 센서 모듈들(10)과 나란히 연장될 수 있다. 복수의 열전달 봉들(20)은 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 상기 열전달 봉들(20)은 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)을 관통하고, 상기 열전달 봉들(29)의 양단은 상기 4K 열차폐부(140)에 각각 열접촉하도록 연결되고 고정될 수 있다.A plurality of heat transfer rods 20 may be fixed to the SQUID sensor module mounting plate 120 and extend parallel to the SQUID sensor modules 10 . A plurality of heat transfer rods 20 may be arranged in a matrix form. The heat transfer rods 20 may pass through the SQUID sensor module mounting plate 120, and both ends of the heat transfer rods 29 may be connected to and fixed in thermal contact with the 4K heat shield 140, respectively.

상기 복수의 SQUID 센서 모듈들(10) 각각은 상기 4K 열차폐부(140)에 의하여 냉각된다. 상기 외부 용기(110)와 상기 내부 용기(160) 사이의 공간은 진공 상태이다. 상기 자기장 측정 장치(100)는 심전도를 측정하고 자기 차폐실 내부에 배치될 수 있다. Each of the plurality of SQUID sensor modules 10 is cooled by the 4K heat shield 140 . The space between the outer container 110 and the inner container 160 is in a vacuum state. The magnetic field measuring device 100 measures an electrocardiogram and may be disposed inside a magnetic shield room.

SQUID 센서 모듈들(10) 중에서 일부가 고장난 경우, SQUID 센서 모듈들(10)을 분리하여 교체될 수 있다. 이를 위하여, 상기 보조 열 엥커(144)가 상기 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)에서 제거된 후, 상기 4K 열차폐부(140)가 제거될 수 있다. 이에 따라, 고장난 SQUID 센서 모듈은 용이하게 교체될 수 있다.If some of the SQUID sensor modules 10 are out of order, the SQUID sensor modules 10 may be separated and replaced. To this end, after the auxiliary heat anchor 144 is removed from the SQUID sensor module mounting plate 120, the 4K heat shield 140 may be removed. Accordingly, a malfunctioning SQUID sensor module can be easily replaced.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기장 측정 장치를 설명하는 개념도이다.11 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field measuring device according to another embodiment of the present invention.

도 12는 도 11의 SQUID 센서 장착판을 설명하는 사시도이다.12 is a perspective view illustrating the SQUID sensor mounting plate of FIG. 11;

도 11 및 도 12를 참조하면, 자기장 측정 장치(200)는, 외부 용기(210); 액체 냉매(30)를 수납하고 상기 외부 용기(210)의 내부에 배치되고 제1 직경을 가진 목부(162) 및 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가진 몸체부(164)를 포함하는 내부 용기(160); 상기 내부 용기(160)와 상기 외부 용기(210)의 사이에 진공상태로 유지되는 공간에 배치되는 SQUID 센서 모듈 장착판(220); 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(220)의 하부에 장착된 복수의 SQUID 센서 모듈들(10); 및 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(220) 및 상기 복수의 SQUID 센서 모듈들(10)을 감싸도록 배치된 도전성 메쉬로 형성된 4K 열차폐부(240)를 포함한다.11 and 12, the magnetic field measuring device 200 includes an outer container 210; An inner container containing a liquid refrigerant 30 and disposed inside the outer container 210 and including a neck portion 162 having a first diameter and a body portion 164 having a second diameter larger than the first diameter. (160); A SQUID sensor module mounting plate 220 disposed in a space maintained in a vacuum state between the inner container 160 and the outer container 210; A plurality of SQUID sensor modules 10 mounted under the SQUID sensor module mounting plate 220; and a 4K heat shield 240 formed of a conductive mesh arranged to surround the SQUID sensor module mounting plate 220 and the plurality of SQUID sensor modules 10 .

상기 외부 용기(210)의 상부는 원통 형상이나, 하부는 인체의 몸통의 일부를 감싸도록 곡면 처리될 수 있다. 이에 따라, SQUID 센서 모듈은 심장의 좌심실의 자기장 신호를 측정하기 위해서는 좌측 가슴 옆부분을 커버할 수 있다. The upper part of the outer container 210 is cylindrical, but the lower part may be curved so as to surround a part of the body of the human body. Accordingly, the SQUID sensor module may cover the side of the left chest in order to measure the magnetic field signal of the left ventricle of the heart.

SQUID 센서 모듈 장착판(220)은 C 자 또는 L자 형태로 구부러진 원판 또는 사각판일 수 있다. 복수의 SQUID 센서 모듈들(10) 및 복수의 열전달 봉들(20)은 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 상기 SQUID 센서 모듈 장착판은 곡선부위를 포함할 수 있다. 상기 곡선 부위는 심장의 좌심실을 감싸도록 배치될 수 있다.The SQUID sensor module mounting plate 220 may be a circular plate or a rectangular plate bent in a C or L shape. A plurality of SQUID sensor modules 10 and a plurality of heat transfer rods 20 may be arranged in a matrix form. The SQUID sensor module mounting plate may include a curved portion. The curved portion may be arranged to surround the left ventricle of the heart.

4K 열차폐부(240)는 상기 SQUID 센서 모듈들(10) 및 SQUID 센서 모듈 장착판(220)을 감싸도록 배치된다. 4K 열차폐부(240)는 상기 메인 열 엥커와 리츠 와이어에 의하여 냉각된다. The 4K heat shield 240 is disposed to surround the SQUID sensor modules 10 and the SQUID sensor module mounting plate 220 . The 4K heat shield 240 is cooled by the main heat anchor and the Litz wire.

도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기장 측정 장치를 설명하는 개념도이다.13 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field measuring device according to another embodiment of the present invention.

도 14는 도 13의 자기장 측정 장치를 설명하는 단면도이다.14 is a cross-sectional view illustrating the magnetic field measuring device of FIG. 13 .

도 13 및 도 14를 참조하면, 자기장 측정 장치(300)는, 외부 용기(110); 액체 냉매(30)를 수납하고 상기 외부 용기(110)의 내부에 배치되고 제1 직경을 가진 목부(362) 및 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가진 몸체부(364)를 포함하는 내부 용기(360); 상기 내부 용기(360)와 상기 외부 용기(110)의 사이에 진공상태로 유지되는 공간에 배치되는 SQUID 센서 모듈 장착판(120); 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)의 하부에 장착된 복수의 SQUID 센서 모듈들(10); 및 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120) 및 상기 복수의 SQUID 센서 모듈들(10)을 감싸도록 배치된 도전성 메쉬로 형성된 4K 열차폐부(140)를 포함한다.13 and 14, the magnetic field measuring device 300 includes an outer container 110; An inner container containing a liquid refrigerant 30 and disposed inside the outer container 110 and including a neck portion 362 having a first diameter and a body portion 364 having a second diameter larger than the first diameter. (360); A SQUID sensor module mounting plate 120 disposed in a space maintained in a vacuum state between the inner container 360 and the outer container 110; A plurality of SQUID sensor modules 10 mounted under the SQUID sensor module mounting plate 120; and a 4K heat shield 140 formed of a conductive mesh disposed to surround the SQUID sensor module mounting plate 120 and the plurality of SQUID sensor modules 10 .

상기 내부 용기(360)는, 배플 인서트(150)가 삽입되는 목부(362); 및 상기 목부보다 지름이 증가한 몸체부(164);를 포함할 수 있다. 상기 목부(362)는 내측 원통부(362a)과 상기 내측 원통을 감싸도록 배치된 외측 원통부(362b)를 포함할 수 있다. 상기 내측 원통부(362a)는 서로 수직으로 이격되어 배치된 보조 내측 원통들로 분리될 수 있다. 열 엥커들(306a,306b,306c)은 상기 분리된 보조 내측 원통들 사이에 각각 삽입될 수 있다.The inner container 360 includes a neck portion 362 into which the baffle insert 150 is inserted; and a body portion 164 having a diameter greater than that of the neck portion. The neck portion 362 may include an inner cylindrical portion 362a and an outer cylindrical portion 362b disposed to surround the inner cylinder. The inner cylinder portion 362a may be separated into auxiliary inner cylinders vertically spaced apart from each other. Column anchors 306a, 306b, and 306c may be respectively inserted between the separated auxiliary inner cylinders.

상기 열 엥커들(306a,306b,306c) 각각은, 원통 형상의 제1 원통부(306a’); 및 상기 제1 원통부(306a’)의 중심에서 외측으로 연결된 와셔 형상의 제1 와셔부(306a’‘)를 포함할 수 있다. 상기 제1 원통부(306a’)외 외측면은 대응하는 보조 내측 원통(362a)의 내측면과 나사 결합할 수 있다.Each of the heat anchors 306a, 306b, and 306c includes a cylindrical first cylindrical portion 306a'; and a washer-shaped first washer portion 306a″ connected from the center to the outside of the first cylindrical portion 306a′. The outer surface outside the first cylindrical portion 306a' may be screwed to the inner surface of the corresponding auxiliary inner cylinder 362a.

고정부들(262d)은 와셔 형상의 제2 와셔부(362d’)와 상기 제2 와셔부의 내측면에 연결되는 원통 형상의 제2 원통부(362d’‘)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 고정부(262d)는 상기 열 엥커의 제1 와셔부(306a’‘)의 내측 상부면 및 내측 하부면에 각각 배치될 수 있다.The fixing parts 262d may include a washer-shaped second washer part 362d′ and a cylindrical second cylindrical part 362d″ connected to an inner surface of the second washer part. A pair of fixing parts 262d may be respectively disposed on an inner upper surface and an inner lower surface of the first washer part 306a″ of the heat anchor.

상기 외측 원통부(362b)는 서로 이격되어 배치되는 복수의 보조 외측 원통부들을 포함할 수 있다. 상기 보조 외측 원통부는 상기 고정부의 제2 원통부(362d’‘)를 감싸도록 배치될 수 있다.The outer cylindrical portion 362b may include a plurality of auxiliary outer cylindrical portions spaced apart from each other. The auxiliary outer cylindrical portion may be disposed to surround the second cylindrical portion 362d″ of the fixing portion.

열 차폐막(362c)은 상기 보조 외측 원통부와 상기 보조 내측 원통부 사이에 배치될 수 있다.A heat shielding film 362c may be disposed between the auxiliary outer cylindrical portion and the auxiliary inner cylindrical portion.

상기 열 엥커들(306a,306b,306c) 각각은 상기 제1 원통부의 중심에서 내측으로 연결된 와셔 형상의 보조 와셔부(306a’‘’)를 더 포함할 수 있다. 상기 보조 와셔부(306a’‘’)는 방위각 방향으로 형성된 슬릿을 포함할 수 있다. 상기 슬릿을 통하여 기화된 냉매는 냉매 배기 튜브(153)를 통하여 응축기(159)에 제공될 수 있다.Each of the heat anchors 306a, 306b, and 306c may further include a washer-shaped auxiliary washer portion 306a''' connected inwardly from the center of the first cylindrical portion. The auxiliary washer part 306a''' may include a slit formed in an azimuthal direction. The refrigerant vaporized through the slit may be provided to the condenser 159 through the refrigerant exhaust tube 153 .

도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 SQUID 센서 모듈을 설명하는 사시도이다.15 is a perspective view illustrating a SQUID sensor module according to an embodiment of the present invention.

도 16은 도 15의 SQUID 센서 모듈의 미분계의 검출 코일을 설명하는 사시도이다.16 is a perspective view illustrating a detection coil of a differential meter of the SQUID sensor module of FIG. 15;

도 15 및 도 16을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 SQUID 센서 모듈(10)은, 검출 코일(11a,11b,11c)이 장착되고 사각형 단면을 가진 직육면체 형상의 보빈(14); 상기 보빈(14)에 연결되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)에 형성된 홀에 삽입되어 고정되는 고정 블록(12); 상기 보빈(14)의 상부 측면들 중에서 적어도 일면에 장착되고 초전도양자간섭소자(SQUID) 센서(13)를 포함하는 SQUID 인쇄회로기판(13); 및 상기 고정 블록(12)에 삽입되고 상기 SQUID 센서(13)에서 검출된 신호를 외부 회로에 전달하는 신호선 연결 PCB(16)를 포함한다.Referring to Figures 15 and 16, the SQUID sensor module 10 according to an embodiment of the present invention, the detection coils (11a, 11b, 11c) are mounted and a rectangular parallelepiped bobbin having a rectangular cross section (14); a fixing block 12 connected to the bobbin 14 and inserted into and fixed to a hole formed in the SQUID sensor module mounting plate 120; A SQUID printed circuit board 13 mounted on at least one surface among upper side surfaces of the bobbin 14 and including a superconducting quantum interference device (SQUID) sensor 13; and a signal line connection PCB 16 inserted into the fixing block 12 and transmitting a signal detected by the SQUID sensor 13 to an external circuit.

상기 보빈(14)은, 직육면체 형상의 하부 보빈(14b); 상기 하부 보빈(14b)에 수직으로 이격되어 정렬된 상부 보빈(14a); 및 상기 하부 보빈(14b)과 상기 상부 보빈을 연결하도록 모서리에 각각 배치된 보빈 연결 기둥(14c)을 포함할 수 있다. 상기 보빈(14)은, G10 에폭시와 같은 비자성 물질로 일체형으로 형성될 수 있다. The bobbin 14 includes a lower bobbin 14b having a rectangular parallelepiped shape; an upper bobbin (14a) vertically spaced apart from and aligned with the lower bobbin (14b); and bobbin connection pillars 14c disposed at corners to connect the lower bobbin 14b and the upper bobbin. The bobbin 14 may be integrally formed of a non-magnetic material such as G10 epoxy.

상기 검출 코일(11a,11b,11c)은 미분계이다. 상기 검출 코일은, 제1 내지 제4 측면(1,2,3,4)을 가진 상기 보빈의 제1 측면(1)에 배치된 제1 미분계(11a); 상기 보빈의 제1 측면(1)에 이웃한 제2 측면(2)에 배치된 제2 미분계(11b); 및 상기 보빈의 단면에 배치된 제3 미분계(11c)를 포함할 수 있다.The detection coils 11a, 11b, and 11c are differential meters. The detection coil includes: a first differential meter (11a) disposed on a first side surface (1) of the bobbin having first to fourth side surfaces (1,2,3,4); a second differential meter (11b) disposed on a second side surface (2) adjacent to the first side surface (1) of the bobbin; and a third differential meter 11c disposed on the cross section of the bobbin.

미분계의 경우에는, 미분계는 신호 코일(11a’) 및 참조 코일(11a’‘)을 포함한다. 신호코일(11a’)과 참조코일(11a’‘)은 서로 반대 방향으로 감긴다. 이에 따라, 미분계는 자기 신호의 미분값을 측정한다. 따라서, 균일한 외부 환경 잡음은 대부분 제거되고, 신호코일에 근접한 신호원에 의해 발생되는 자기 신호는 비교적 적게 상쇄됨으로서 SNR을 증가시킬 수 있다.In the case of a differential meter, the differential meter includes a signal coil 11a' and a reference coil 11a''. The signal coil 11a' and the reference coil 11a'' are wound in opposite directions. Accordingly, the differential meter measures the differential value of the magnetic signal. Therefore, most of the uniform external environmental noise is removed, and the magnetic signal generated by the signal source close to the signal coil is canceled relatively little, so that the SNR can be increased.

제1 미분계(11a)의 신호 코일(11a’)은 상기 하부 보빈의 제1 측면(1)에 배치되고, 상기 참조 코일은 상기 상부 보빈의 제1 측면(1)에 배치될 수 있다. 상기 신호 코일(11a’)은 상기 제1 측면(1)에 인접하도록 상기 하부 보빈()을 관통할 수 있다.The signal coil 11a′ of the first differential meter 11a may be disposed on the first side surface 1 of the lower bobbin, and the reference coil may be disposed on the first side surface 1 of the upper bobbin. The signal coil 11a' may pass through the lower bobbin so as to be adjacent to the first side surface 1 .

제2 미분계(11b)의 신호 코일(11b’)은 상기 하부 보빈의 제2 측면(2)에 배치되고, 상기 참조 코일(11b’‘)은 상기 상부 보빈의 제2 측면(2)에 배치될 수 있다. The signal coil 11b' of the second differential meter 11b is disposed on the second side surface 2 of the lower bobbin, and the reference coil 11b'' is disposed on the second side surface 2 of the upper bobbin. It can be.

제3 미분계(11c)의 신호 코일(11c’)은 상기 하부 보빈의 하부면을 감싸도록 배치되고, 상기 참조 코일(11c’‘)은 상기 상부 보빈을 감싸도록 배치될 수 있다.The signal coil 11c' of the third differential meter 11c may be disposed to surround the lower surface of the lower bobbin, and the reference coil 11c'' may be disposed to surround the upper bobbin.

상기 고정 블록(12)은 G10 에폭시와 같은 비자성 물질로 일체형으로 형성될 수 있다. 상기 고정 블록(12)은 상기 SQUID 센서 모듈 장착판(120)에 형성된 관통홀에 삽입되어 너트를 통하여 고정될 수 있다. The fixing block 12 may be integrally formed of a non-magnetic material such as G10 epoxy. The fixing block 12 may be inserted into a through hole formed in the SQUID sensor module mounting plate 120 and fixed through a nut.

상기 신호선 연결 PCB(16)는 중심에 사각형 관통홀을 포함하는 사각판 형상이고, 상기 신호선 연결 PCB(16)가 상기 고정 블록(12)의 외주면에 결합할 수 있다. 상기 신호선 연결 PCB(16)는 커넥터를 포함할 수 있다. 커넥터는 신호선을 통하여 외부 회로와 연결될 수 있다.The signal line connection PCB 16 has a rectangular plate shape including a rectangular through hole in the center, and the signal line connection PCB 16 may be coupled to an outer circumferential surface of the fixing block 12 . The signal line connection PCB 16 may include a connector. The connector may be connected to an external circuit through a signal line.

SQUID 인쇄회로기판(18)은 상기 고정 블록(12)의 측면에 각각 배치될 수 있다. 상기 검출 코일(11a, 11b,11c)은 초전도체 재질의 연결선를 통하여 상기 SQUID 센서(13)에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 연결선은 Nb 재질을 가질 수 있다.SQUID printed circuit boards 18 may be disposed on each side of the fixing block 12 . The detection coils 11a, 11b, and 11c may be electrically connected to the SQUID sensor 13 through a connection line made of a superconductor material. The connection line may have a Nb material.

SQUID 인쇄회로기판(18)는 PCB 기판 상에 배치된 SQUID 센서(18) 및 커넥터를 포함할 수 있다. 상기 SQUID 센서(18)는 반도체 칩 형태일 수 있다. The SQUID printed circuit board 18 may include a SQUID sensor 18 and a connector disposed on a PCB board. The SQUID sensor 18 may be in the form of a semiconductor chip.

미분계를 사용하면 자력계에 비해 낮은 차폐율을 가지는 자기차폐실에서 높은 SNR을 가진 신호를 획득할 수 있다. 하지만, 미분계의 길이가 자력계에 비해 훨씬 길어서 미분계 장치가 차지하는 체적도 증가되어 상온으로부터 유입되는 복사열을 받는 면적도 증가하게 된다. 이는 저온 냉매의 증발율을 크게 증가시킨다. 미분계의 보빈은 열용량을 최소화가 위하여 서로 이격된 하부 보빈(14b) 및 상기 하부 보빈(14b), 그리고 모서리에 각각 배치된 보빈 연결 기둥(14c)을 포함한다.A signal with a high SNR can be obtained in a magnetic shield room having a lower shielding rate than a magnetometer by using a differential meter. However, since the length of the differential system is much longer than that of the magnetometer, the volume occupied by the differential system also increases, so that the area receiving radiant heat coming from room temperature also increases. This greatly increases the evaporation rate of the low temperature refrigerant. The bobbin of the differential system includes a lower bobbin 14b spaced apart from each other in order to minimize heat capacity, the lower bobbin 14b, and bobbin connecting posts 14c disposed at corners, respectively.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.In the above, the present invention has been shown and described with respect to specific preferred embodiments, but the present invention is not limited to these embodiments, and a person having ordinary knowledge in the art to which the present invention pertains claims of the present invention It includes all of the various forms of embodiments that can be implemented within a range that does not deviate from the technical idea.

100: 자기장 측정 장치
110: 외부 용기
120: SQUID 센서 모듈 장착판
140: 4K 열차폐부
160: 내부 용기
100: magnetic field measurement device
110: outer container
120: SQUID sensor module mounting plate
140: 4K heat shield
160: inner container

Claims (31)

외부 용기;
유리섬유 강화 플라스틱으로 형성되고 액체 냉매를 수납하고 상기 외부 용기의 내부에 배치되고 제1 직경을 가진 목부 및 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가진 몸체부를 포함하는 내부 용기;
상기 내부 용기와 상기 외부 용기의 사이의 공간은 진공상태로 유지되고, 상기 내부 용기의 하부에 배치되는 SQUID 센서 모듈 장착판;
상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 하부에 장착된 복수의 SQUID 센서 모듈들; 및
상기 SQUID 센서 모듈 장착판 및 상기 복수의 SQUID 센서 모듈들을 감싸도록 배치된 도전성 메쉬로 형성된 4 K 열차폐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
outer container;
An inner container formed of glass fiber reinforced plastic, containing a liquid refrigerant, disposed inside the outer container, and including a neck portion having a first diameter and a body portion having a second diameter greater than the first diameter;
A space between the inner container and the outer container is maintained in a vacuum state, and a SQUID sensor module mounting plate disposed under the inner container;
a plurality of SQUID sensor modules mounted under the SQUID sensor module mounting plate; and
A magnetic field measuring device comprising a 4K heat shield formed of a conductive mesh disposed to surround the SQUID sensor module mounting plate and the plurality of SQUID sensor modules.
제1 항에 있어서,
상기 냉매에 의하여 냉각되고 상기 내부 용기의 하부면에 배치된 메인 열 엥커(main thermal anchor);
상기 4K 열차폐부를 개재하여 상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 측면에 결합하고 상기 4K 열차폐부를 고정하는 링 형상의 보조 열 엥커; 및
상기 메인 열 엥커와 상기 보조 열 엥커를 연결하여 냉각하는 리츠 와이어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 1,
a main thermal anchor cooled by the refrigerant and disposed on a lower surface of the inner container;
a ring-shaped auxiliary heat anchor coupled to a side surface of the SQUID sensor module mounting plate through the 4K heat shield and fixing the 4K heat shield; and
The magnetic field measuring device further comprises a Litz wire for cooling by connecting the main heat anchor and the auxiliary heat anchor.
제2 항에 있어서,
상기 SQUID 센서 모듈 장착판은 그 측면의 하부면에 링 형태의 링 함몰부를 구비하고,
상기 SQUID 센서 모듈 장착판은 상기 링 함몰부에서 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하는 적어도 하나의 연결부를 포함하고,
상기 보조 열 엥커는 상기 링 함몰부와 결합하고 상기 연결부에 삽입되도록 돌출된 적어도 하나의 돌기부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 2,
The SQUID sensor module mounting plate has a ring-shaped ring depression on the lower surface of the side,
The SQUID sensor module mounting plate includes at least one connection portion penetrating the SQUID sensor module mounting plate in the ring depression,
The auxiliary heat anchor is coupled to the ring recessed portion and magnetic field measuring device, characterized in that it comprises at least one protrusion protruding to be inserted into the connecting portion.
제3 항에 있어서,
상기 4K 열차폐부는;
상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 상부면에 배치된 상부 4K 열차폐부; 및
상기 복수의 SQUID 센서 모듈들을 감싸도록 배치된 하부 4K 열차폐부를 포함하고,
상기 보조 열 엥커는 상기 하부 4K 열차폐부를 개재하여 상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 측면에 결합하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 3,
The 4K thermal shielding unit;
an upper 4K heat shield disposed on an upper surface of the SQUID sensor module mounting plate; and
A lower 4K heat shield disposed to surround the plurality of SQUID sensor modules;
The auxiliary heat anchor is magnetic field measuring device, characterized in that coupled to the side of the SQUID sensor module mounting plate through the lower 4K heat shield.
제1 항에 있어서,
상기 내부 용기의 하부면에 장착되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하여 연장되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판의 연직 운동을 가이드하는 센서 가이드 봉; 및
상기 내부 용기의 하부면에 장착되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판에 고정되는 센서 고정 봉;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 1,
a sensor guide rod mounted on a lower surface of the inner container, extending through the SQUID sensor module mounting plate, and guiding vertical movement of the SQUID sensor module mounting plate; and
The magnetic field measurement device further comprising a; sensor fixing rod mounted on the lower surface of the inner container and fixed to the SQUID sensor module mounting plate.
제1 항에 있어서,
상기 SQUID 센서 모듈들은 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하고 제1 방향 및 제2 방향을 따라 배열되고,
상기 SQUID 센서 모듈들 각각은 수직하게 연장되고,
상기 SQUID 센서 모듈들과 나란히 연장되는 복수의 열전달 봉들을 더 포함하고,
상기 열전달 봉들은 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하고,
상기 열전달 봉들의 양단은 상기 4K 열차폐부에 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 1,
The SQUID sensor modules pass through the SQUID sensor module mounting plate and are arranged along a first direction and a second direction,
Each of the SQUID sensor modules extends vertically,
Further comprising a plurality of heat transfer rods extending in parallel with the SQUID sensor modules,
The heat transfer rods pass through the SQUID sensor module mounting plate,
Magnetic field measuring device, characterized in that both ends of the heat transfer rods are respectively connected to the 4K heat shield.
제1 항에 있어서,
상기 SQUID 센서 모듈들은 제1 방향 및 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향을 따라 매트릭스 형태로 배열되고,
상기 SQUID 센서 모듈 장착판은:
상기 제1 방향으로 배열된 SQUID 센서 모듈들과 상기 제2 방향으로 이격되어 상기 제1 방향으로 배열된 SQUID 센서 모듈들 사이에 상기 SQUID 센서 모듈 장착판에서 상기 제1 방향으로 연장되는 트렌치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 1,
The SQUID sensor modules are arranged in a matrix form along a first direction and a second direction orthogonal to the first direction,
The SQUID sensor module mounting plate is:
Further comprising a trench extending in the first direction from the SQUID sensor module mounting plate between the SQUID sensor modules arranged in the first direction and the SQUID sensor modules spaced apart from each other in the second direction and arranged in the first direction Magnetic field measuring device, characterized in that for.
제7 항에 있어서,
상기 트렌치와 연결되고 상기 제1 방향으로 일정한 간격으로 배열되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하는 신호선 연결홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 7,
The magnetic field measurement device further comprises a signal line connection hole connected to the trench and arranged at regular intervals in the first direction and penetrating the SQUID sensor module mounting plate.
제8 항에 있어서,
상기 SQUID 센서 모듈 장착판은 그 측면의 하부면에 링 형태의 링 함몰부를 구비하고,
상기 SQUID 센서 모듈 장착판은 상기 링 함몰부에서 상기 SQUID 센서 모듈 장착판을 관통하는 적어도 하나의 연결부를 포함하고,
보조 열 엥커는 상기 링 함몰부와 결합하고 상기 연결부에 삽입되도록 돌출된 적어도 하나의 돌기부를 포함하고,
상기 제1 방향의 최외측에 배치된 트렌치는 상기 연결부에 연결되는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 8,
The SQUID sensor module mounting plate has a ring-shaped ring depression on the lower surface of the side surface,
The SQUID sensor module mounting plate includes at least one connection portion penetrating the SQUID sensor module mounting plate in the ring depression,
The auxiliary heat anchor includes at least one protrusion that engages with the ring recessed portion and protrudes to be inserted into the connecting portion;
The magnetic field measuring device, characterized in that the trench disposed on the outermost side in the first direction is connected to the connection part.
제1 항에 있어서,
상기 내부 용기는:
배플 인서트가 삽입되는 목부; 및
상기 목부보다 지름이 증가한 몸체부;를 포함하고,
상기 목부는 내측 원통과 상기 내측 원통을 감싸는 외측 원통을 포함하는 이중벽 구조인 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 1,
The inner container:
a neck into which a baffle insert is inserted; and
Including; a body portion having a diameter greater than the neck portion;
The magnetic field measuring device, characterized in that the neck portion has a double wall structure including an inner cylinder and an outer cylinder surrounding the inner cylinder.
제10 항에 있어서,
상기 내측 원통은 원통의 외측으로 돌출된 복수의 링 돌출부를 더 포함하고,
열 엥커들은 상기 링 돌출부들 각각과 결합하고,
상기 링 돌출부들은 서로 이격되어 배치되고,
상기 외측 원통은 상기 링 돌출부를 사이에 두고 서로 분리되는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 10,
The inner cylinder further includes a plurality of ring protrusions protruding outward of the cylinder,
Thermal anchors engage each of the ring protrusions,
The ring protrusions are disposed spaced apart from each other,
The magnetic field measuring device, characterized in that the outer cylinders are separated from each other with the ring protrusion interposed therebetween.
제11 항에 있어서
상기 목부는 상기 내측 원통과 상기 외측 원통 사이에 배치된 열 차폐막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 11
The neck portion further comprises a heat shielding film disposed between the inner cylinder and the outer cylinder.
제11 항에 있어서,
상기 링 돌출부의 외주면과 상기 열 엥커의 내주면은 나사 결합하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 11,
Magnetic field measuring device, characterized in that the outer circumferential surface of the ring protrusion and the inner circumferential surface of the heat anchor are screwed together.
제11 항에 있어서,
상기 열 엥커들은 상기 목부의 외측에는 서로 수직으로 이격되어 차례로 배치된 와셔 형상의 제1 내지 제3 열 엥커를 포함하고,
상기 제1 열 엥커는 120K 열차폐막에 연결되고,
상기 제2 열 엥커는 80K 열 차페막에 연결되고,
상기 제3 열 엥커는 40K 열 차폐막에 연결되고,
상기 40 K 열 차폐막은 상기 4K 열차폐부를 감싸도록 배치되는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 11,
The heat anchors include first to third heat anchors of a washer shape arranged in order and vertically spaced apart from each other on the outside of the neck,
The first heat anchor is connected to a 120K thermal shield,
The second thermal anchor is connected to an 80K thermal shielding film,
The third heat anchor is connected to a 40K heat shield,
The magnetic field measuring device, characterized in that the 40 K heat shielding film is disposed to surround the 4K heat shield.
제14 항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 열 엥커 각각은 반경 방향으로 연장되는 복수의 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 14,
Wherein each of the first to third column anchors includes a plurality of slits extending in a radial direction.
제1 항에 있어서,
상기 내부 용기는:
배플 인서트가 삽입되는 목부; 및
상기 목부보다 지름이 증가한 몸체부;를 포함하고,
상기 배플 인서트에 배치되고 기화된 냉매를 배기하는 냉매 배기 튜브;
상기 배플 인서트에 배치되고 냉매를 주입하는 냉매 주입 튜브; 및
상기 냉매 배기 튜브 및 상기 냉매 주입 튜브에 연결되고 상기 냉매 주입 튜브를 통하여 배기된 기화된 냉매를 응축하는 응축기를 더 포함하고,
상기 냉매 배기 튜브 및 상기 냉매 주입 튜브는 동축 구조이고,
상기 냉매 배기 튜브 및 상기 냉매 주입 튜브 각각은 내부 튜브와 외부 튜브를 구비한 이중 튜브인 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 1,
The inner container:
a neck into which a baffle insert is inserted; and
Including; a body portion having a diameter greater than the neck portion;
a refrigerant exhaust tube disposed on the baffle insert and exhausting the vaporized refrigerant;
a refrigerant injection tube disposed in the baffle insert and injecting refrigerant; and
A condenser connected to the refrigerant exhaust tube and the refrigerant injection tube and condensing the vaporized refrigerant exhausted through the refrigerant injection tube;
The refrigerant exhaust tube and the refrigerant injection tube have a coaxial structure,
The magnetic field measuring device, characterized in that each of the refrigerant exhaust tube and the refrigerant injection tube is a double tube having an inner tube and an outer tube.
제2 항에 있어서,
상기 메인 열 엥커는:
무산소 구리로 형성되고 제1 원판, 상기 제1 원판의 중심축에서 상부면으로 돌출된 제1 상부 돌출부 및 상기 제1 원판의 중심축에서 하부면으로 돌출된 제1 하부 돌출부를 포함하는 제1 열전달부;
무산소 구리로 형성되고 제2 원판, 상기 제2 원판의 중심축에서 상부면으로 돌출된 제2 상부 돌출부 및 상기 제2 원판의 중심축에서 하부면으로 돌출된 제2 하부 돌출부를 포함하는 제2 열전달부;
무산소 구리로 형성되고 제3 원판, 상기 제3 원판의 중심축에서 상부면으로 돌출된 제3 상부 돌출부 및 상기 제3 원판의 중심축에서 하부면으로 돌출된 제3 하부 돌출부를 포함하는 제3 열전달부;
무산소 구리로 형성되고 제4 원판, 상기 제4 원판의 중심축에서 상부면으로 돌출된 제4 상부 돌출부 및 상기 제4 원판의 중심축에서 하부면에 복수의 홀들을 포함하는 제4 열전달부;
절연체로 형성되고 상기 제1 열전달부의 제1 원판과 상기 제2 열전달부의 제2 원판 사이에 삽입되는 제1 열팽창 조절부; 및
절연체로 형성되고 상기 제3 열전달부의 제3 원판과 상기 제4 열전달부의 제4 원판 사이에 삽입되는 제2 열팽창 조절부;를 포함하고,
상기 제2 열전달부의 제2 상부 돌출부는 상기 제1 열전달부의 제1 하부 돌출부와 결합하기 위한 홈을 구비하고,
상기 제2 열전달부의 제2 하부 돌출부는 상기 제3 열전달부의 제3 상부 돌출부와 결합하기 위한 홈을 구비하고,
상기 제3 열전달부의 제3 하부 돌출부는 상기 제4 열전달부의 제4 상부 돌출부와 결합하기 위한 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 2,
The main column anchor is:
A first heat transfer comprising a first disc formed of oxygen-free copper, a first upper protrusion protruding from a central axis of the first disc to an upper surface, and a first lower protrusion protruding from a central axis of the first disc to a lower surface. wealth;
A second heat transfer comprising a second disc formed of oxygen-free copper, a second upper protrusion protruding from a central axis of the second disc to an upper surface, and a second lower protrusion protruding from a central axis of the second disc to a lower surface. wealth;
A third heat transfer comprising a third disc formed of oxygen-free copper, a third upper protrusion protruding from a central axis of the third disc to an upper surface, and a third lower protrusion protruding from a central axis of the third disc to a lower surface. wealth;
a fourth heat transfer unit formed of oxygen-free copper and including a fourth disc, a fourth upper protrusion protruding from a central axis of the fourth disc to an upper surface, and a plurality of holes on a lower surface from the central axis of the fourth disc;
a first thermal expansion control unit formed of an insulator and inserted between the first disc of the first heat transfer unit and the second disc of the second heat transfer unit; and
A second thermal expansion controller formed of an insulator and inserted between the third disc of the third heat transfer unit and the fourth disc of the fourth heat transfer unit,
The second upper protrusion of the second heat transfer part has a groove for engaging with the first lower protrusion of the first heat transfer part;
The second lower protrusion of the second heat transfer part has a groove for engaging with the third upper protrusion of the third heat transfer part,
The magnetic field measuring device of claim 1, wherein the third lower protrusion of the third heat transfer part has a groove for coupling with the fourth upper protrusion of the fourth heat transfer part.
제17 항에 있어서,
상기 제1 열팽창 조절부는:
상기 제1 원판의 직경과 동일한 직경을 가지는 제1 절연 몸체부;
상기 내부 용기의 하부면에 매몰되고 상기 제1 원판의 직경보다 큰 제2 직경을 가지는 제2 절연 몸체부; 및
상기 제2 직경보다 작은 제3 직경을 가지는 제3 절연 몸체부를 포함하고,
상기 제3 절연 몸체부는 상기 제2 원판의 외주면을 감싸도록 배치되는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 17,
The first thermal expansion controller:
a first insulating body having the same diameter as that of the first disc;
a second insulating body part buried in the lower surface of the inner container and having a second diameter larger than the diameter of the first disc; and
A third insulating body having a third diameter smaller than the second diameter,
The third insulating body part is a magnetic field measuring device, characterized in that arranged to surround the outer circumferential surface of the second disc.
제1 항에 있어서,
상기 SQUID 센서 모듈 장착판은 곡선부위를 포함하고,
상기 곡선 부위는 심장의 좌심실을 감싸도록 배치되는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 1,
The SQUID sensor module mounting plate includes a curved portion,
The magnetic field measuring device, characterized in that the curved portion is disposed to surround the left ventricle of the heart.
제1 항에 있어서,
상기 내부 용기는:
배플 인서트가 삽입되는 목부; 및
상기 목부보다 지름이 증가한 몸체부;를 포함하고,
상기 목부는 내측 원통부과 상기 내측 원통부를 감싸도록 배치된 외측 원통부를 포함하고,
상기 내측 원통부는 서로 수직으로 이격되어 배치된 보조 내측 원통들로 분리되고,
열 엥커들 각각은 상기 분리된 보조 내측 원통들 사이에 각각 삽입되는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 1,
The inner container:
a neck into which a baffle insert is inserted; and
Including; a body portion having a diameter greater than the neck portion;
The neck portion includes an inner cylinder portion and an outer cylinder portion disposed to surround the inner cylinder portion,
The inner cylinder is divided into auxiliary inner cylinders arranged vertically spaced apart from each other,
Each of the heat anchors is a magnetic field measuring device, characterized in that each inserted between the separated auxiliary inner cylinders.
제20 항에 있어서,
상기 열 엥커들 각각은:
원통 형상의 제1 원통부; 및
상기 제1 원통부의 중심에서 외측으로 연결된 와셔 형상의 제1 와셔부를 포함하고,
상기 제1 원통부외 외측면은 대응하는 보조 내측 원통의 내측면과 나사 결합하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 20,
Each of the heat anchors:
A first cylindrical portion having a cylindrical shape; and
A first washer portion having a washer shape connected to the outside from the center of the first cylindrical portion,
The magnetic field measuring device, characterized in that the outer surface outside the first cylindrical portion is screwed to the inner surface of the corresponding auxiliary inner cylinder.
제21 항에 있어서,
와셔 형상의 제2 와셔부와 상기 제2 와셔부의 내측면에 연결되는 원통 형상의 제2 원통부를 포함하는 고정부들을 더 포함하고,
한 쌍의 고정부는 상기 열 엥커의 제1 와셔부의 내측 상부면 및 내측 하부면에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 21,
Further comprising fixing parts including a washer-shaped second washer part and a cylindrical second cylindrical part connected to an inner surface of the second washer part,
A pair of fixing parts are magnetic field measuring devices, characterized in that disposed on the inner upper surface and the inner lower surface of the first washer part of the heat anchor, respectively.
제22 항에 있어서,
상기 외측 원통부는 서로 이격되어 배치되는 복수의 보조 외측 원통부들을 포함하고,
상기 보조 외측 원통부는 상기 고정부의 제2 원통부를 감싸도록 배치되고,
열 차폐막은 상기 보조 외측 원통부와 상기 보조 내측 원통 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
23. The method of claim 22,
The outer cylindrical portion includes a plurality of auxiliary outer cylindrical portions disposed spaced apart from each other,
The auxiliary outer cylindrical portion is disposed to surround the second cylindrical portion of the fixing portion,
A magnetic field measuring device, characterized in that the heat shielding film is disposed between the auxiliary outer cylinder and the auxiliary inner cylinder.
제23 항에 있어서,
상기 열 엥커들 각각은 상기 제1 원통부의 중심에서 내측으로 연결된 와셔 형상의 보조 와셔부를 더 포함하고,
상기 보조 와셔부는 방위각 방향으로 형성된 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 23,
Each of the heat anchors further includes a washer-shaped auxiliary washer portion connected inwardly from the center of the first cylindrical portion,
The auxiliary washer part magnetic field measuring device characterized in that it comprises a slit formed in the azimuth direction.
제1 항에 있어서,
상기 SQUID 센서 모듈들 각각은
검출 코일이 장착되고 사각형 단면을 가진 직육면체 형상의 보빈;
상기 보빈에 연결되고 상기 SQUID 센서 모듈 장착판에 형성된 홀에 삽입되어 고정되는 고정 블록;
상기 보빈의 상부 측면들 중에서 적어도 일면에 장착되고 초전도양자간섭소자(SQUID) 센서를 포함하는 SQUID 인쇄회로기판; 및
상기 고정 블록에 삽입되고 상기 SQUID 센서에서 검출된 신호를 외부 회로에 전달하는 신호선 연결 PCB를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 1,
Each of the SQUID sensor modules
A bobbin in the shape of a rectangular parallelepiped having a rectangular cross section and equipped with a detection coil;
a fixing block connected to the bobbin and fixed by being inserted into a hole formed in the SQUID sensor module mounting plate;
A SQUID printed circuit board mounted on at least one surface among upper side surfaces of the bobbin and including a superconducting quantum interference device (SQUID) sensor; and
Magnetic field measuring device characterized in that it comprises a signal line connection PCB inserted into the fixed block and transmitting the signal detected by the SQUID sensor to an external circuit.
제25 항에 있어서,
상기 검출 코일은 미분계이고,
상기 검출 코일은:
상기 보빈의 제1 측면에 배치된 제1 미분계;
상기 보빈의 제1 측면에 이웃한 제2 측면에 배치된 제2 미분계; 및
상기 보빈의 하부면에 배치된 제3 미분계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 측정 장치.
According to claim 25,
The detection coil is a differential meter,
The detection coil is:
a first differential meter disposed on a first side of the bobbin;
a second differential meter disposed on a second side surface adjacent to the first side surface of the bobbin; and
A magnetic field measuring device comprising a third differential meter disposed on the lower surface of the bobbin.
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