KR102431688B1 - Array substrate with enhanced thermal resistance and display device having thereof - Google Patents

Array substrate with enhanced thermal resistance and display device having thereof Download PDF

Info

Publication number
KR102431688B1
KR102431688B1 KR1020150191568A KR20150191568A KR102431688B1 KR 102431688 B1 KR102431688 B1 KR 102431688B1 KR 1020150191568 A KR1020150191568 A KR 1020150191568A KR 20150191568 A KR20150191568 A KR 20150191568A KR 102431688 B1 KR102431688 B1 KR 102431688B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
copper particles
touch panel
planarization
layer
planarization layer
Prior art date
Application number
KR1020150191568A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20170081002A (en
Inventor
김병후
김주혁
김위용
민혜리
김도형
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020150191568A priority Critical patent/KR102431688B1/en
Publication of KR20170081002A publication Critical patent/KR20170081002A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102431688B1 publication Critical patent/KR102431688B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/0412Digitisers structurally integrated in a display
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/13338Input devices, e.g. touch panels
    • H01L27/323
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04103Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

본 발명은 터치 패널과 표시 패널 사이에 내열성이 우수한 바인더 수지에 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화층을 가지는 어레이 기판 및 표시장치에 관한 것이다. 터치 패널과 표시 패널 사이에 내열성이 우수한 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화층을 적용함으로써, 고온의 박막트랜지스터 제조 공정에 의해서도 평탄화층이 열화되지 않는다. 뿐만 아니라, 본 발명의 평탄화층을 적용하면 접착 특성, 내-크랙 특성, 내-정전기 특성 등이 우수하여, 표시 패널과 터치 패널의 안정적인 합착이 가능하며, 저유전율을 구비하여 구동 전압을 낮출 수 있고, 정전기를 신속하게 배출하여 소자 불량을 방지할 수 있다. The present invention relates to an array substrate and a display device having a planarization layer in which porous copper particles are dispersed in a binder resin having excellent heat resistance between a touch panel and a display panel. By applying a planarization layer in which porous copper particles having excellent heat resistance are dispersed between the touch panel and the display panel, the planarization layer is not deteriorated even by a high-temperature thin film transistor manufacturing process. In addition, when the planarization layer of the present invention is applied, adhesive properties, crack resistance, and static resistance properties are excellent, so that stable bonding between the display panel and the touch panel is possible, and the driving voltage can be lowered by having a low dielectric constant In addition, it is possible to prevent device failure by rapidly discharging static electricity.

Description

내열성이 향상된 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치{ARRAY SUBSTRATE WITH ENHANCED THERMAL RESISTANCE AND DISPLAY DEVICE HAVING THEREOF}Array substrate with improved heat resistance and display device including same

본 발명은 어레이 기판에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 인-셀 타입 표시장치에 적용되어 내열성이 향상된 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an array substrate, and more particularly, to an array substrate for a display device having improved heat resistance by being applied to an in-cell type display device, and a display device including the same.

스마트 기기가 널리 보급되면서, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display Device, LCD)나 유기발광다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display Device, OLED 표시장치)와 같은 평판 표시장치에 터치스크린 패널을 적용하고 있다. 터치스크린 패널(Touch Screen Panel)은 스크린에 사용자가 손가락이나 펜 등으로 화면을 누르거나 접촉하면, 그 위치를 인지하여 시스템에 전달하는 입력 장치를 의미한다. As smart devices become widespread, touch screen panels are being applied to flat panel displays such as Liquid Crystal Display Device (LCD) or Organic Light Emitting Diode Display Device (OLED display device). A touch screen panel refers to an input device that recognizes a location and transmits it to a system when a user presses or touches the screen with a finger or pen, etc. on the screen.

터치스크린 패널은 터치 패널, 컨트롤러 IC, 드라이버 소프트웨어 등으로 구성된다. 터치 패널은 투명 전극이 증착된 기판으로 구성되며 접촉이 발생하거나 전기적 용량 변화에 따른 신호 발생 위치를 파악하여 컨트롤러 IC에 전송하고, 컨트롤러 IC는 터치 패널에서 전송된 아날로그 신호를 디지털 신호로 변경하여 화면에 나타낼 수 있는 좌표 형태로 바꿔주며, 드라이버 소프트웨어는 컨트롤러 IC에서 송신된 디지털 신호를 받아 터치 패널이 각각의 운영 시스템에 맞게 구현되도록 제어한다. A touch screen panel consists of a touch panel, a controller IC, and driver software. The touch panel is composed of a substrate on which a transparent electrode is deposited, and the position of signal generation due to contact or electrical capacitance change is identified and transmitted to the controller IC. It converts the coordinates into coordinates that can be expressed in

터치 패널은 그 적용 방식에 따라 인듐-틴-옥사이드(Indium-tin-oxide, ITO) 등의 투명 전극층이 코팅되어 있는 2개의 기판이 닷 스페이서(dot space)를 사이에 두고 투명 전극층이 마주보도록 합착되어 있어 상부 기판에 인가되는 압력을 인지하는 저항막 방식(Resistive Touch Type), 터치 화면 센서를 구성하는 기판의 양면에 전도성 금속을 코팅하여 투명 전극을 형성하고, 일정량의 전류를 기판 표면에 흐르게 하면 두 도체 간의 전위차를 통해서 사람의 몸에 있는 정전용량을 이하여 전류의 양이 변경된 부분을 인식하는 정전용량 방식(Capacitive Touch Type)이 대표적으로 사용되고 있다. 그 외에도 소리의 전파 특성을 이용하여 사용자 또는 펜이 접촉한 영역을 인식하는 초음파 방식(Surface Acoustic Wave Touch Type)이나, 적외선이 장애물에 부딪히면 차단되는 속성을 활용하는 적외선 방식(Infrared Touch Type) 등이 제안되었다. According to the application method of the touch panel, two substrates coated with a transparent electrode layer such as indium-tin-oxide (ITO) are bonded so that the transparent electrode layer faces each other with a dot space between them. In the resistive touch type, which recognizes the pressure applied to the upper substrate, a transparent electrode is formed by coating conductive metal on both sides of the substrate constituting the touch screen sensor, and a certain amount of current flows to the surface of the substrate. A capacitive touch type that recognizes a part in which the amount of current is changed by understanding the capacitance in the human body through the potential difference between two conductors is typically used. In addition, there are the Surface Acoustic Wave Touch Type, which recognizes the area touched by the user or the pen using sound propagation characteristics, and the Infrared Touch Type, which utilizes the property of blocking infrared rays when they collide with obstacles. has been proposed

한편, 터치 패널과 표시 패널의 적층(Stacked-up) 구조에 따라 터치 패널이 표시 패널을 구성하는 기판의 외측과 커버 글라스 사이에 개재되는 외장형(Add-on Type)과, 터치 패널이 표시 패널과 통합되는 내장형(Embedded Type)으로 구분될 수 있다. 내장형 터치 패널은 또한 표시 패널 상단에 터치 패널이 내장되는 온-셀(On-Cell) 타입과, 표시 패널 내부(예를 들어 하부 기판)에 터치 패널을 장착하는 인-셀(In-Cell) 타입으로 구분될 수 있다. 외장형 터치 패널에 비하여 내장형 터치 패널은 터치 센서를 위한 별도의 기판이 요구되지 않으므로 박형화, 경량화가 가능하다. 또한, 내장형은 터치 패널 표면의 광-반사가 줄어들기 때문에, 표시 소자에 필요한 전력 소모도 감소한다는 장점이 있다. On the other hand, according to the stacked-up structure of the touch panel and the display panel, the touch panel is interposed between the outside of the substrate constituting the display panel and the cover glass, and the touch panel is interposed between the display panel and the display panel. It can be divided into an embedded type. The built-in touch panel also includes an on-cell type in which the touch panel is built-in on top of the display panel, and an in-cell type in which the touch panel is mounted inside the display panel (eg, a lower substrate). can be divided into Compared to the external touch panel, the built-in touch panel does not require a separate substrate for the touch sensor, so it is possible to reduce the thickness and weight. In addition, since the built-in type reduces light-reflection on the surface of the touch panel, power consumption required for the display device is also reduced.

도 1은 인-셀 타입의 터치 패널이 적용된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 종래의 인-셀 타입의 터치 패널이 적용된 표시장치(1)는 하부 기판(11)과, 하부 기판(11)과 마주하는 상부 기판(12)과, 하부 기판(11)과 상부 기판(12) 사이에 위치하는 표시 패널(20)과, 하부 기판(11)과 표시 패널(20) 사이에 위치하는 터치 패널(30)을 포함한다. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating a display device to which an in-cell type touch panel is applied. As shown in FIG. 1 , the display device 1 to which the conventional in-cell type touch panel is applied includes a lower substrate 11 , an upper substrate 12 facing the lower substrate 11 , and a lower substrate ( 11 ) and the display panel 20 positioned between the upper substrate 12 and the touch panel 30 positioned between the lower substrate 11 and the display panel 20 .

표시 패널(20)은 이를 구동하기 위한 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT, 22)를 구비하고 있다. 박막트랜지스터(22)는 실리콘 소재에 의해 적층되는 무기 절연막을 포함하고 있으며, 이러한 무기 절연막은 고온, 예를 들어 350℃ 이상의 공정 조건에서 증착된다. 하부 기판(11)의 상면에 바로 위치하는 터치 패널(30)은 예를 들어 ITO 등과 같은 투명 금속으로 제조되는 제 1 터치 전극(32)과 제 2 터치 전극(34)을 포함하고 있다. 터치 전극(32, 34)으로 인하여 터치 패널(30)과 표시 패널(20)을 바로 합착할 수 없기 때문에, 터치 패널(30)과 표시 패널(20)의 하부에 위치하는 박막트랜지스터(22) 사이에 절연 소재의 평탄화막(36)이 개재된다. The display panel 20 includes a thin film transistor (TFT) 22 for driving the display panel 20 . The thin film transistor 22 includes an inorganic insulating film laminated by a silicon material, and the inorganic insulating film is deposited at a high temperature, for example, at a process condition of 350° C. or higher. The touch panel 30 positioned directly on the upper surface of the lower substrate 11 includes a first touch electrode 32 and a second touch electrode 34 made of, for example, a transparent metal such as ITO. Since the touch panel 30 and the display panel 20 cannot be directly attached to each other due to the touch electrodes 32 and 34 , the thin film transistor 22 positioned below the touch panel 30 and the display panel 20 is disposed. A planarization film 36 made of an insulating material is interposed therebetween.

종래, 표시 패널(20)과 터치 패널(30) 사이에 위치하는 평탄화막(36)을 형성하기 위한 절연 소재로서 아크릴레이트계 수지가 일반적으로 채택되었다. 하지만, 아크릴레이트계 수지는 공정성은 양호하지만, 내열성이 취약하다. 따라서 그 상부에 위치하는 표시 패널(20)을 구성하는 박막트랜지스터(22)를 형성하기 위한 고온의 공정 조건에서 아크릴레이트계 수지로 제조되는 평탄화막(36)은 쉽게 열화된다. 평탄화막(36)이 열화됨에 따라 표시 패널(20)과 터치 패널(30)과의 계면에서 들뜸 현상이 발생하고, 평탄화막(36)에서 크랙(crack)이 발생하고, 최종적으로 제조되는 표시장치(1)에서 황변(yellow mura)이 발생하는 문제가 발생한다. Conventionally, an acrylate-based resin is generally adopted as an insulating material for forming the planarization film 36 positioned between the display panel 20 and the touch panel 30 . However, the acrylate-based resin has good processability, but has poor heat resistance. Accordingly, the planarization film 36 made of the acrylate-based resin is easily deteriorated under high-temperature process conditions for forming the thin film transistor 22 constituting the display panel 20 positioned thereon. As the planarization layer 36 deteriorates, a lifting phenomenon occurs at the interface between the display panel 20 and the touch panel 30 , cracks occur in the planarization layer 36 , and a finally manufactured display device In (1), the problem of yellow mura occurs.

따라서 충분한 내열 특성을 확보하여 고온의 공정 조건에서도 열화되지 않으며, 특히 터치 패널과 표시 패널의 계면에서의 들뜸이나 크랙 발생을 억제하는 동시에 이들 표시 패널에 대한 접착력이 우수한 평탄화막을 개발할 필요가 있다.
Therefore, there is a need to develop a planarization film that has sufficient heat resistance, so that it does not deteriorate even under high-temperature process conditions, and that suppresses lifting or cracking at the interface between the touch panel and the display panel and has excellent adhesion to the display panel.

본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 내열성이 우수하여 박막트랜지스터를 제조하기 위한 고온 공정에 의해서도 열화되지 않는 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치를 제공하고자 하는 것이다. The present invention has been proposed to solve the problems of the prior art, and an object of the present invention is to have excellent heat resistance and thus not deteriorate even by a high temperature process for manufacturing a thin film transistor, and a display device including the same is intended to provide

본 발명의 다른 목적은 기재에 대한 접착 특성, 내-크랙 특성, 내-스크래치 특성을 가지는 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치를 제공하고자 하는 것이다. Another object of the present invention is to provide an array substrate for a display device having adhesive properties to a substrate, crack-resistance properties, and scratch-resistance properties, and a display device including the same.

본 발명의 다른 목적은 광 투과 특성, 우수한 정전기 배출 특성을 가지는 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치를 제공하고자 하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide an array substrate for a display device having light transmission characteristics and excellent static discharge characteristics, and a display device including the same.

전술한 목적을 가지는 본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명은 터치 패널과 표시 패널을 구성하는 박막트랜지스터 사이에 내열성이 우수한 바인더 수지에 다공성 구리 입자가 분산되어 있는 평탄화막을 가지는 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치를 제공한다. According to one aspect of the present invention having the above object, the present invention provides an array substrate for a display device having a planarization film in which porous copper particles are dispersed in a binder resin having excellent heat resistance between a touch panel and a thin film transistor constituting the display panel, and A display device including the same is provided.

예시적인 실시형태에서, 상기 평탄화막과, 터치 패널 및 박막트랜지스터 사이에 각각 버퍼층이 더욱 개재될 수 있다. In an exemplary embodiment, a buffer layer may be further interposed between the planarization layer, the touch panel, and the thin film transistor, respectively.

상기 다공성 구리 입자는 메조포러스 구리 입자, 예를 들어 다공성 실리케이트 입자의 내벽에 함침되어 있는 메조포러스 구리 입자일 수 있다.
The porous copper particles may be mesoporous copper particles, for example, mesoporous copper particles impregnated in the inner wall of the porous silicate particles.

본 발명에 따르면, 기판의 상부에 위치하는 터치 패널과 박막트랜지스터 또는 표시 패널 사이에, 내열성 바인더 수지에 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화막이 위치하는 표시장치용 어레이 기판 및 이를 포함하는 표시장치를 제안한다. According to the present invention, an array substrate for a display device in which a planarization film in which porous copper particles are dispersed in a heat-resistant binder resin is positioned between a touch panel and a thin film transistor or a display panel positioned on an upper portion of the substrate, and a display device including the same .

본 발명의 평탄화막은 내열 특성이 우수하여, 표시 패널에 적용되는 박막트랜지스터를 제조하기 위한 고온 공정에 의하여 열화되지 않는다. The planarization film of the present invention has excellent heat resistance and is not deteriorated by a high-temperature process for manufacturing a thin film transistor applied to a display panel.

특히, 기공 구조를 채택함으로써 어레이 패널에서 발생하는 열을 터치 패널로 분산시키는 통로가 형성된다. 이에 따라 이들 패널의 열팽창계수(CTE)를 낮출 수 있어서 이들 패널에 적용되는 열적 스트레스를 비슷하게 만들어 줄 수 있다. 따라서 본 발명의 평탄화막은 고온 처리에 의해서도 기재에 대한 접착 특성이 우수하며, 내-크랙 특성 및 내-스크래치성이 우수하기 때문에, 외부의 충격이나 가혹한 공정 조건에서도 터치 패널과 표시 패널이 박리되지 않고 양호하게 합착될 수 있다. In particular, by adopting the pore structure, a passage for dispersing heat generated in the array panel to the touch panel is formed. Accordingly, the coefficient of thermal expansion (CTE) of these panels can be lowered, so that the thermal stress applied to these panels can be made similar. Therefore, the planarization film of the present invention has excellent adhesion properties to the substrate even by high-temperature treatment, and has excellent crack resistance and scratch resistance, so that the touch panel and the display panel do not peel off even under external impact or severe process conditions. It can bond well.

본 발명의 평탄화막은 경화 공정에 의해서도 광-투과 특성이 저하되지 않으므로, 이 평탄화막이 적용된 표시장치에서도 양호한 휘도를 얻을 수 있다. 아울러, 본 발명의 평탄화막은 저유전율 소재를 채택하여 기생 정전용량을 감소시킬 수 있으므로, 소비 전력을 감소시킬 수 있다. Since the light-transmitting characteristic of the planarization film of the present invention is not deteriorated even by the curing process, good luminance can be obtained even in a display device to which the planarization film is applied. In addition, since the planarization film of the present invention can reduce parasitic capacitance by adopting a low-k material, it is possible to reduce power consumption.

뿐만 아니라, 본 발명의 평탄화막은 신속하게 정전기를 감쇠할 수 있으므로, 정전기 발생에 따른 표시 패널이나 터치 패널의 구동성 저하를 방지할 수 있다.
In addition, since the planarization layer of the present invention can rapidly attenuate static electricity, deterioration of drivability of the display panel or touch panel due to generation of static electricity can be prevented.

도 1은 종래 기술에 따라 터치 패널이 구비된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 터치 패널과 표시 패널 사이에 적용되는 평탄화막의 개략적인 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 메조포러스 구리 입자를 제조하기 위해 주형(template)으로 사용된 MCM-41을 제조하기 위한 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3b는 주형으로 사용된 MCM-41로부터 메조포러스 구리 입자를 제조하기 위한 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 터치 패널과 액정 표시 패널 사이에 고내열성 평탄화막이 적용된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 터치 패널과 발광다이오드 표시 패널 사이에 고내열성 평탄화막이 적용된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6a 내지 도 6f는 각각 본 발명의 예시적인 실시예에 따라 합성된 메조포러스 구리 입자에 대한 분석 결과를 도시한 것이다.
도 6a는 메조포러스 구리 입자에 대한 XRD(X-ray diffraction) 분석 결과를 도시한 그래프이고, 도 6b는 메조포러스 구리 입자에 대한 FTIR spectroscopy(푸리에 변환 자외선 분광, Fourier transform Infrared spectroscopy) 분석 결과를 도시한 그래프이다.
도 6c는 메조포러스 구리 입자에 대한 BET(Brunauer-Emmett-Teller) 분석 결과를 도시한 그래프이고, 도 6d는 메조포러스 구리 입자에 대한 NMR 스펙트럼 분석 결과를 도시한 그래프이다. 도 6c에서 A는 구리가 함침되어 있는 메조포러스 입자에 대한 분석 결과를 나타내고, B는 구리가 함침되기 전의 다공성 실리케이트에 대한 분석 결과를 나타낸다.
도 6e와 도 6f는 각각 메조포러스 구리 입자에 대한 SEM 사진과 TEM 사진이다.
도 7a는 본 발명의 예시적인 실시예에 따라 폴리실록산 수지에 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화막의 접착력 테스트에 따른 패턴 사진이다.
도 7b와 7c는 각각 비교예로서 메조포러스 입자가 분산되지 않은 폴리아크릴레이트 바인더 수지와, 폴리실록산 수지만으로 구성된 평탄화막의 접착력 테스트에 따른 패턴 사진이다.
도 7d와 도 7e는 각각 비교예로서 폴리실록산 수지에 메조포러스 알루미늄 입자와 메조포러스 크롬 입자가 분산된 평탄화막의 접착력 테스트에 따른 패턴 사진이다.
도 8a는 본 발명의 예시적인 실시예에 따라 폴리실록산 수지에 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화막의 크랙(crack) 특성을 분석한 사진이다.
도 8b와 8c는 각각 비교예로서 메조포러스 입자가 분산되지 않은 폴리아크릴레이트 바인더 수지와, 폴리실록산 수지만으로 구성된 평탄화 절연막의 크랙 특성을 분석한 사진이다.
도 8d와 도 8e는 각각 비교예로서 폴리실록산 수지에 메조포러스 알루미늄 입자와 메조포러스 크롬 입자가 분산된 평탄화 절연막의 크랙 특성을 분석한 사진이다.
도 9a는 본 발명의 예시적인 실시예에 따라 폴리실록산 수지에 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화 절연막의 박리 강도(peel strength)를 분석한 사진이다.
도 9b와 9c는 각각 비교예로서 메조포러스 입자가 분산되지 않은 폴리아크릴레이트 바인더 수지와, 폴리실록산 수지만으로 구성된 평탄화 절연막의 박리 강도를 분석한 사진이다.
도 9d와 도 9e는 각각 비교예로서 폴리실록산 수지에 메조포러스 알루미늄 입자와 메조포러스 크롬 입자가 분산된 평탄화 절연막의 크랙 특성을 분석한 사진이다.
도 10a는 본 발명의 예시적인 실시예에 따라 폴리실록산 수지에 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화 절연막의 스트레스 인가에 따른 크랙(crack) 특성을 분석한 사진이다.
도 10b와 10c는 각각 비교예로서 메조포러스 입자가 분산되지 않은 폴리아크릴레이트 바인더 수지와, 폴리실록산 수지만으로 구성된 평탄화 절연막의 스트레스 인가에 따른 크랙 특성을 분석한 사진이다.
도 10d와 도 10e는 각각 비교예로서 폴리실록산 수지에 메조포러스 알루미늄 입자와 메조포러스 크롬 입자가 분산된 평탄화 절연막의 스트레스 인가에 따른 크랙 특성을 분석한 사진이다.
1 is a cross-sectional view schematically illustrating a display device including a touch panel according to the related art.
2 is a schematic cross-sectional view of a planarization film applied between a touch panel and a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
3A is a diagram schematically illustrating a process for manufacturing MCM-41 used as a template for manufacturing mesoporous copper particles according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 3b is a diagram schematically illustrating a process for preparing mesoporous copper particles from MCM-41 used as a template.
4 is a cross-sectional view schematically illustrating a display device to which a high heat-resistant planarization film is applied between a touch panel and a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view schematically illustrating a display device to which a high heat resistance planarization film is applied between a touch panel and a light emitting diode display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
6A to 6F show analysis results of mesoporous copper particles synthesized according to an exemplary embodiment of the present invention, respectively.
Figure 6a is a graph showing the XRD (X-ray diffraction) analysis results for the mesoporous copper particles, Figure 6b is FTIR spectroscopy (Fourier transform ultraviolet spectroscopy, Fourier transform Infrared spectroscopy) for the mesoporous copper particles showing the analysis results It is one graph.
FIG. 6c is a graph showing the results of Brunauer-Emmett-Teller (BET) analysis for mesoporous copper particles, and FIG. 6d is a graph showing the results of NMR spectrum analysis for mesoporous copper particles. In FIG. 6c, A shows the analysis result of copper-impregnated mesoporous particles, and B shows the analysis result of the porous silicate before copper impregnation.
6e and 6f are SEM images and TEM images of mesoporous copper particles, respectively.
7A is a pattern photograph according to an adhesion test of a planarization film in which mesoporous copper particles are dispersed in a polysiloxane resin according to an exemplary embodiment of the present invention.
7B and 7C are pictures of patterns according to an adhesion test of a planarization film composed of only a polyacrylate binder resin in which mesoporous particles are not dispersed and a polysiloxane resin, respectively, as comparative examples.
7D and 7E are pattern photographs according to an adhesion test of a planarization film in which mesoporous aluminum particles and mesoporous chromium particles are dispersed in a polysiloxane resin as a comparative example, respectively.
8A is a photograph analyzing crack characteristics of a planarization film in which mesoporous copper particles are dispersed in a polysiloxane resin according to an exemplary embodiment of the present invention.
8B and 8C are photographs of analyzing crack characteristics of a planarization insulating film composed of only a polyacrylate binder resin in which mesoporous particles are not dispersed and a polysiloxane resin as comparative examples, respectively.
8D and 8E are photographs of analyzing crack characteristics of a planarization insulating film in which mesoporous aluminum particles and mesoporous chromium particles are dispersed in polysiloxane resin as comparative examples, respectively.
9A is a photograph analyzing the peel strength of a planarization insulating film in which mesoporous copper particles are dispersed in a polysiloxane resin according to an exemplary embodiment of the present invention.
9b and 9c are photographs of analysis of peel strength of a planarization insulating film composed of only a polyacrylate binder resin in which mesoporous particles are not dispersed and a polysiloxane resin as comparative examples, respectively.
9D and 9E are photographs of analyzing crack characteristics of a planarization insulating film in which mesoporous aluminum particles and mesoporous chromium particles are dispersed in a polysiloxane resin as a comparative example, respectively.
10A is a photograph analyzing crack characteristics according to stress application of a planarization insulating film in which mesoporous copper particles are dispersed in a polysiloxane resin according to an exemplary embodiment of the present invention.
10b and 10c are photographs of analysis of crack characteristics according to stress application of a planarization insulating film composed of only a polyacrylate binder resin in which mesoporous particles are not dispersed and a polysiloxane resin as a comparative example, respectively.
10D and 10E are photographs analyzing crack characteristics according to stress application of a planarization insulating film in which mesoporous aluminum particles and mesoporous chromium particles are dispersed in a polysiloxane resin as a comparative example, respectively.

본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명은 기판 상에 위치하는 터치 패널과; 상기 터치 패널과 이격하여 위치하는 박막트랜지스터와; 상기 터치 패널과 상기 박막트랜지스터 사이에 개재되는 평탄화층을 포함하고, 상기 평탄화층은 바인더 수지에 분산된 다공성(porous) 구리 입자를 포함하는 표시장치용 어레이 기판을 제공한다. According to one aspect of the present invention, the present invention provides a touch panel positioned on a substrate; a thin film transistor spaced apart from the touch panel; and a planarization layer interposed between the touch panel and the thin film transistor, wherein the planarization layer includes porous copper particles dispersed in a binder resin.

상기 터치 패널과 상기 평탄화층 사이에 위치하는 제 1 버퍼층과, 상기 평탄화층과 상기 박막트랜지스터 사이에 위치하는 제 2 버퍼층을 더욱 포함할 수 있다. It may further include a first buffer layer positioned between the touch panel and the planarization layer, and a second buffer layer positioned between the planarization layer and the thin film transistor.

상기 다공성 구리 입자는 메조포러스(mesoporous) 구리 입자를 포함할 수 있으며, 상기 바인더 수지는 폴리실록산계 수지, 폴리이미드계 수지 및 이들의 조합으로 구성되는 군에서 선택될 수 있다. The porous copper particles may include mesoporous copper particles, and the binder resin may be selected from the group consisting of polysiloxane-based resins, polyimide-based resins, and combinations thereof.

예를 들어, 상기 다공성 구리 입자는 상기 바인더 수지에 0.5 ~ 10 중량부의 비율로 상기 바인더 수지에 분산될 수 있고, 상기 다공성 구리 입자는 다공성 실리케이트(silicate) 입자에 함침되어 있다(impregnated).For example, the porous copper particles may be dispersed in the binder resin in an amount of 0.5 to 10 parts by weight to the binder resin, and the porous copper particles are impregnated in the porous silicate particles.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 본 발명은 제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상에 위치하는 터치 패널과; 상기 터치 패널과 이격하여 위치하는 표시 패널과; 상기 터치 패널과 상기 표시 패널 사이에 개재되는 평탄화층을 포함하고, 상기 평탄화층은 바인더 수지에 분산된 다공성(porous) 구리 입자를 포함하는 표시장치를 제공한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a first substrate; a touch panel positioned on the first substrate; a display panel spaced apart from the touch panel; and a planarization layer interposed between the touch panel and the display panel, wherein the planarization layer includes porous copper particles dispersed in a binder resin.

이하, 필요한 경우에 첨부하는 도면을 참조하면서 본 발명을 상세하게 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, if necessary.

도 2는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 터치 패널(TP, 도 4 참조)과 표시 패널(DP, 도 4 참조), 예를 들어 어레이 패널(AP, 도 4 참조) 사이에 적용되는 평탄화막의 개략적인 단면도이다. 평탄화막(300)은 바인더 수지(312)에 다공성(porous) 구리 입자(320)가 분산되어 있는 평탄화층(310)과, 평탄화층(310)의 하부와 상부에 각각 위치하는 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)을 포함한다. 2 is a planarization film applied between a touch panel (TP, see FIG. 4) and a display panel (DP, see FIG. 4), for example, an array panel (AP, see FIG. 4) according to an exemplary embodiment of the present invention; It is a schematic cross-sectional view. The planarization film 300 includes a planarization layer 310 in which porous copper particles 320 are dispersed in a binder resin 312 , and a first buffer layer 332 positioned below and above the planarization layer 310 , respectively. ) and a second buffer layer 334 .

하나의 예시적인 실시형태에서, 평탄화층(310)을 구성하는 바인더 수지(312)는 내열 특성이 우수한 바인더 수지를 사용할 수 있다. 일예로 바인더 수지(312)는 폴리실록산계 수지 및/또는 폴리이미드계(PI) 수지일 수 있다. 폴리실록산계 수지와 폴리이미드계 수지는 기본적으로 내열 특성이 양호하기 때문에, 고온 조건에 의해서도 열화되지 않는 이점을 갖는다. 평탄화층(310)은 제 1 버퍼층(332)을 통하여 터치 패널(TP, 도 4 참조) 상부에 코팅, 적층될 수 있다. In one exemplary embodiment, the binder resin 312 constituting the planarization layer 310 may use a binder resin having excellent heat resistance properties. For example, the binder resin 312 may be a polysiloxane-based resin and/or a polyimide-based (PI) resin. Since the polysiloxane-based resin and the polyimide-based resin have basically good heat resistance, they have an advantage that they do not deteriorate even under high-temperature conditions. The planarization layer 310 may be coated and laminated on the touch panel TP (refer to FIG. 4 ) through the first buffer layer 332 .

다공성 구리 입자(320)가 분산된 바인더 수지(312)로 구성되는 평탄화층(310)을 제 1 버퍼층(332) 상부에 형성하기 위해서, 바인더 수지로 경화될 수 있는 반응성 성분, 유기용매, 가교촉진제 및 기타 첨가제가 배합된 바인더 조성물을 제 1 버퍼층(332)의 상부에 코팅한 뒤, 이를 경화시킨다. In order to form the planarization layer 310 composed of the binder resin 312 in which the porous copper particles 320 are dispersed on the first buffer layer 332, a reactive component that can be cured with a binder resin, an organic solvent, and a crosslinking accelerator And after coating the binder composition blended with other additives on the upper portion of the first buffer layer 332, it is cured.

하나의 예시적인 실시형태에서, 바인더 수지(312)로서 폴리실록산계 수지를 얻기 위하여, 실란올기 및/또는 실록산기를 적어도 1개 갖는 실란 모노머 또는 실록산 모노머가 열 반응성 성분으로 사용될 수 있다. 이들 적절한 실란 모노머 및/또는 실록산 모노머를 열처리하면 이들 모노머 사이에서 가교결합이 형성되어 폴리실록산계 수지를 얻을 수 있다. 본 발명에 따른 실란올기를 갖는 모노머 화합물의 예로는 에틸렌계 불포화 알콕시 실란류 및 에틸렌계 불포화 아실옥시 실란류와 같이 실릴기-함유 불포화 단량체를 가수분해시켜 수득된 실란올기-함유 모노머를 들 수 있다. In one exemplary embodiment, in order to obtain a polysiloxane-based resin as the binder resin 312 , a silane monomer or a siloxane monomer having at least one silanol group and/or siloxane group may be used as the thermally reactive component. Heat treatment of these appropriate silane monomers and/or siloxane monomers can form crosslinks between these monomers to obtain a polysiloxane-based resin. Examples of the monomer compound having a silanol group according to the present invention include silanol group-containing monomers obtained by hydrolyzing a silyl group-containing unsaturated monomer such as ethylenically unsaturated alkoxy silanes and ethylenically unsaturated acyloxy silanes. .

에틸렌계 불포화 알콕시 실란류 화합물의 예로는 γ-아크릴옥시프로필-트리메톡시실란, γ-아크릴옥시프로필-트리에톡시실란과 같은 아크릴레이트계 알콕시 실란, 2) γ-메타크릴옥시프로필-트리메톡시실란, γ-메타크릴옥시프로필-트리에톡시실란, γ-메타크릴옥시프로필-트리스(2-메톡시에톡시)실란과 같은 메타크릴레이트계 알콕시 실란이 있다. 한편, 에틸렌계 불포화 아실옥시실란류 화합물의 예로는 아크릴레이트계 아세톡시실란, 메타크릴레이트계 아세톡시실란 및 에틸렌계 불포화 아세톡시실란(예를 들면, 아크릴레이토프로필트리아세톡시실란, 메타크릴레이토프로필트리아세톡시실란) 등이 있다. Examples of the ethylenically unsaturated alkoxy silane compound include acrylate-based alkoxy silanes such as γ-acryloxypropyl-trimethoxysilane and γ-acryloxypropyl-triethoxysilane, 2) γ-methacryloxypropyl-trime and methacrylate-based alkoxy silanes such as oxysilane, γ-methacryloxypropyl-triethoxysilane, and γ-methacryloxypropyl-tris(2-methoxyethoxy)silane. On the other hand, examples of the ethylenically unsaturated acyloxysilane compound include acrylate-based acetoxysilane, methacrylate-based acetoxysilane, and ethylenically-unsaturated acetoxysilane (eg, acrylatetopropyltriacetoxysilane, methacrylateto propyltriacetoxysilane) and the like.

그 외에도 가수분해 등을 통하여 실란올기를 갖는 모노머를 얻을 수 있는 실릴기 함유 불포화 화합물의 예로는, 클로로디메틸비닐실란, 5-트리메틸실릴-1,3-사이클로펜타디엔, 3-트리메틸실릴알릴 알코올, 트리메틸실릴 메타크릴레이트, 1-트리메틸실릴옥시-1,3-부타디엔, 1-트리메틸실릴옥시 사이클로펜텐, 2-트리메틸실릴옥시에틸 메타크릴레이트, 2-트리메틸실릴옥시퓨란, 2-트리메틸실릴옥시프로펜, 알릴옥시-t-부틸디메틸실란 및 알릴옥시트리메틸실란, 트리메톡시 비닐실란, 트리에톡시비닐실란, 트리스(메톡시에톡시)비닐실란 같은 트리스알콕시 비닐실란이 있다. 전술한 실란올기를 갖는 단량체는 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상 혼합하여 사용할 수도 있다. In addition, examples of the silyl group-containing unsaturated compound that can obtain a monomer having a silanol group through hydrolysis etc. include chlorodimethylvinylsilane, 5-trimethylsilyl-1,3-cyclopentadiene, 3-trimethylsilylallyl alcohol, Trimethylsilyl methacrylate, 1-trimethylsilyloxy-1,3-butadiene, 1-trimethylsilyloxy cyclopentene, 2-trimethylsilyloxyethyl methacrylate, 2-trimethylsilyloxyfuran, 2-trimethylsilyloxypropene , allyloxy-t-butyldimethylsilane and trisalkoxy vinylsilanes such as allyloxytrimethylsilane, trimethoxyvinylsilane, triethoxyvinylsilane, tris(methoxyethoxy)vinylsilane. The above-mentioned monomers having a silanol group may be used alone or in mixture of two or more.

한편, 폴리실록산계 수지를 얻기 위한 반응성 성분으로서 실록산기를 갖는 모노머를 또한 사용할 수 있다. 이러한 실록산기를 갖는 모노머로는 선형 실록산기를 갖는 화합물, 사이클릭 실록산기를 갖는 화합물, 사면체 구조의 실록산기를 갖는 화합물 및 실세스퀴옥산 등을 사용할 수 있다. On the other hand, a monomer having a siloxane group can also be used as a reactive component for obtaining a polysiloxane-based resin. As the monomer having a siloxane group, a compound having a linear siloxane group, a compound having a cyclic siloxane group, a compound having a tetrahedral siloxane group, silsesquioxane, and the like can be used.

선형 실록산기를 갖는 모노머 화합물로는 C1-C10의 알킬기 및/또는 C1-C10의 알콕시기가 4-8개 치환되어 있는 알킬실록산, 알콕시실록산, 알콕시알킬실록산, 비닐알콕시실록산, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에톡시 시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필 메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필 트리메톡시 실란, 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란 등을 포함할 수 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, TMOS, TEOS, MTMS, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)-실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란 등과 같이 알콕시기를 함유하는 선형 실록산기를 갖는 단량체를 단독으로 또는 2종 이상 혼합할 수 있다. Examples of the monomer compound having a linear siloxane group include alkylsiloxane, alkoxysiloxane, alkoxyalkylsiloxane, vinylalkoxysiloxane , N-( 2-Aminoethyl)-3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-(2-aminoethyl)-3-aminopropylmethyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltri Ethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2-(3,4-ethoxy cyclohexyl)ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropyl methyldimethoxysilane, 3-chloropropyl trimethoxysilane , 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, etc. may be included, and one or a mixture of two or more selected from these may be used, but the present invention is not limited thereto. . For example, having a linear siloxane group containing an alkoxy group, such as TMOS, TEOS, MTMS, vinyltris(2-methoxyethoxy)-silane, N-(2-aminoethyl)-3-aminopropylmethyldimethoxysilane, etc. Monomers can be used individually or in mixture of 2 or more types.

한편, 사이클릭 실록산(cyclic siloxane)의 비제한적인 예로는 메틸하이드로-사이클로실록산, 헥사메틸-사이클로트리실록산, 헥사에틸-사이클로트리실록산과 같은 사이클로트리실록산; 테트라옥틸 -사이클로테트라실록산, 헥사메틸-사이클로테트라실록산, 옥타메틸- 사이클로테트라실록산과 같은 사이클로테트라실록산; 테트라- 및 펜타-메틸사이클로테트라실록산; 테트라-, 펜타-, 헥사- 및 헵타-메틸사이클로펜타실록산; 테트라-, 펜타- 및 헥사메틸-사이클로헥사실록산, 테트라에틸-사이클로테트라실록산, 및 테트라페닐 사이클로테트라실록산; 데카메틸-사이클로펜타실록산, 도데카메틸 사이클로실록산, 1,3,5,7-테트라메틸-사이클로테트라실록산, 1,3,5,7,9-펜타메틸-사이클로펜타실록산, 및 1,3,5,7,9,11-헥사메틸사이클로헥사실록산에서 선택되는 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 특히 사용할 수 있지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. Meanwhile, non-limiting examples of the cyclic siloxane include methylhydro-cyclosiloxane, hexamethyl-cyclotrisiloxane, cyclotrisiloxane such as hexaethyl-cyclotrisiloxane; cyclotetrasiloxanes such as tetraoctyl-cyclotetrasiloxane, hexamethyl-cyclotetrasiloxane, octamethyl-cyclotetrasiloxane; tetra- and penta-methylcyclotetrasiloxanes; tetra-, penta-, hexa- and hepta-methylcyclopentasiloxanes; tetra-, penta- and hexamethyl-cyclohexasiloxane, tetraethyl-cyclotetrasiloxane, and tetraphenyl cyclotetrasiloxane; Decamethyl-cyclopentasiloxane, dodecamethyl cyclosiloxane, 1,3,5,7-tetramethyl-cyclotetrasiloxane, 1,3,5,7,9-pentamethyl-cyclopentasiloxane, and 1,3, One or a mixture of two or more selected from 5,7,9,11-hexamethylcyclohexasiloxane may be particularly used, but the present invention is not limited thereto.

또한, 사면체 실록산기를 갖는 모노머의 비제한적인 예로는 테트라키스디메틸실록시실란, 테트라키스디페닐실록시실란 및 테트라키스디에틸실록시실란 및 이들의 혼합물을 들 수 있다. Further, non-limiting examples of the monomer having a tetrahedral siloxane group include tetrakisdimethylsiloxysilane, tetrakisdiphenylsiloxysilane and tetrakisdiethylsiloxysilane, and mixtures thereof.

아울러, 선형, 사이클릭 및 사면체 실록산 외에도, 예를 들어 메틸트리클로로실록산과 디메틸클로로실록산의 반응 등에 의하여 합성될 수 있는 실세스퀴옥산(silsesquioxane, SSQ)를 또한 폴리실록산을 합성하기 위한 반응성 물질로 사용할 수 있다. 실세스퀴옥산은 가교결합에 의하여 사다리(ladder) 구조 또는 cage 구조를 갖는 폴리실세스퀴옥산으로 합성될 수 있다. 예를 들어, 오르가노 트리클로로실란의 가수분해에 의하여 부분적인 cage 구조의 헵타머 형태의 실록산과, cage 구조의 헵타머 형태 및 옥타머 형태의 실록산 등이 얻어지는데, 용해도 차이를 이용하여 헵타머 형태의 실록산을 분리하고, 이를 오르가노트리알콕시실란 또는 오르가노트리클로로실란의 축합 반응에 의하여 실세스퀴옥산 단량체를 얻을 수 있다. 실세스퀴옥산은 대략 RSiO3/2 의 화학 구조(R은 수소, 탄소수 1-10의 알킬기; 탄소수 2-10의 알케닐; 페닐과 같은 아릴기; 아릴렌기)를 가질 수 있지만, 본 발명에서 사용할 수 있는 실세스퀴옥산이 이에 한정되는 것은 아니다. In addition, in addition to linear, cyclic and tetrahedral siloxanes, for example, silsesquioxane (SSQ), which can be synthesized by the reaction of methyltrichlorosiloxane and dimethylchlorosiloxane, can also be used as a reactive material for synthesizing polysiloxane. can Silsesquioxane can be synthesized as polysilsesquioxane having a ladder structure or a cage structure by crosslinking. For example, by hydrolysis of organotrichlorosilane, a partially cage-structured heptamer-type siloxane and a cage-structured heptamer-type and octamer-type siloxane are obtained. A silsesquioxane monomer can be obtained by isolating the siloxane in the form, and by condensing it with an organotrialkoxysilane or organotrichlorosilane. Silsesquioxane may have a chemical structure of approximately RSiO 3/2 (R is hydrogen, an alkyl group having 1-10 carbon atoms; alkenyl having 2-10 carbon atoms; an aryl group such as phenyl; an arylene group), but in the present invention The silsesquioxane that can be used is not limited thereto.

한편, 바인더 수지(312)로서 사용될 수 있는 폴리이미드를 합성하기 위한 반응성 물질로서는 아민 화합물과 무수화물을 포함할 수 있다. 폴리이미드는 예를 들어 방향족 폴리이미드(PI) 및 무색투명폴리이미드(Colorless Polyimide, CPI)를 포함할 수 있다. CPI는 예를 들어 PI의 주쇄 내에 트리플루오로메틸(-CF3), 술폰(-SO2), 에테르(-O-)와 같이 전기음성도가 상대적으로 강한 원소를 도입하여 π 전자의 이동을 제한하거나, 또는 벤젠이 아닌 환형 올레핀(cyclo-olefin) 구조를 도입함으로써 주쇄 내에 존재하는 π 전자의 밀도를 감소시키는 방법을 이용할 수 있다. 폴리이미드는 디아민과 이무수물(dianhydride)을 적절한 용매에 첨가하여 폴리아믹산을 합성하고, 얻어진 폴리아믹산을 적절한 이미드화 공정, 예를 들어 열적 이미드화 공정이나 촉매적/화학적 이미드화 공정을 통하여 반응시킴으로써 얻어질 수 있다. Meanwhile, as a reactive material for synthesizing polyimide that can be used as the binder resin 312 , an amine compound and an anhydride may be included. The polyimide may include, for example, aromatic polyimide (PI) and colorless polyimide (CPI). For example, CPI introduces relatively strong electronegative elements such as trifluoromethyl (-CF 3 ), sulfone (-SO 2 ), and ether (-O-) into the main chain of PI to prevent the movement of π electrons. A method of reducing the density of π electrons present in the main chain by limiting or introducing a cyclo-olefin structure other than benzene may be used. Polyimide is obtained by adding diamine and dianhydride to an appropriate solvent to synthesize polyamic acid, and reacting the obtained polyamic acid through an appropriate imidization process, for example, thermal imidization process or catalytic/chemical imidization process. can be obtained

투명성 폴리이미드(CPI)를 제조하기 위한 투명성 이무수물 및 투명성 디아민은 다음과 같은 투명성 이무수물 및 투명성 디아민을 사용할 수 있다. As the transparent dianhydride and transparent diamine for preparing the transparent polyimide (CPI), the following transparent dianhydride and transparent diamine may be used.

투명성 이무수물은 4,4'-(헥사플루오로이소프로필리덴)디프탈산 무수물 (4,4'-(Hexafluoroisopropylidene)diphthalic anhydride, 6FDA), 1,2,4,5-사이클로부탄테트라카르복시산 이무수물(1,2,4,5-cyclobutane tetracarboxylic dianhydride, CBDA), 1,2,4,5-사이클로헥산테트라카르복시산 이무수물(1,2,4,5-cyclohexane tetracarboxylic dianhydride, CHDA), 4,4'-옥시디프탈산 무수물(4,4'-oxydiphthalic anhydride, ODPA), 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복시산 이무수물(3,3',4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, DSDA), 3,3',4, 4'-벤조페논테트라카르복시산 이무수물(3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, BPDA 또는 BTDA), 2,2-Bis[4-(3,4-디카르복시페녹시)페놀]]프로판 이무수물 (2,2-Bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl]propane dianhydride, BPADA) 및 이들의 조합으로 구성되는 군에서 선택될 수 있지만, 본 발명이 이에 한정되지 않는다. Transparent dianhydride is 4,4'-(hexafluoroisopropylidene)diphthalic anhydride (6FDA), 1,2,4,5-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride ( 1,2,4,5-cyclobutane tetracarboxylic dianhydride, CBDA), 1,2,4,5-cyclohexane tetracarboxylic dianhydride (CHDA), 4,4'- Oxydiphthalic anhydride (4,4'-oxydiphthalic anhydride, ODPA), 3,3',4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride (3,3',4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, DSDA) , 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, BPDA or BTDA), 2,2-Bis[4-(3,4- dicarboxyphenoxy)phenol]]propane dianhydride (2,2-Bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]propane dianhydride, BPADA) and combinations thereof, but in the present invention This is not limited thereto.

한편, 투명성 디아민은 4,4'-옥시디아닐린(4,4'-oxydianiline, ODA), 2,2-Bis[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판 (2,2-Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, BAPP), 2,2'-비스(트리플루오로메틸)-4,4'-바이페닐디아민 (2,2'-Bis(trifluoromethyl)-4,4'-biphenyldiamine, TFMB 또는 TFB), 4,4'-Bis(4-아미노페녹시)바이페닐 (4,4'-Bis(4-aminophenoxy)biphenyl, BAPB), 사이클로헥실디아민(cyclohexyl diamine, CHDAM), 다아미노벤젠사이나이드(diaminobenzene cyanide, DABN), 2,2-Bis[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판(2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 6FBAPP), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]설폰(Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone, BAPS) 및 이들의 조합으로 구성되는 군에서 선택될 수 있지만, 본 발명이 이에 한정되지 않는다.On the other hand, transparent diamine is 4,4'-oxydianiline (4,4'-oxydianiline, ODA), 2,2-Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (2,2-Bis[4) -(4-aminophenoxy)phenyl]propane, BAPP), 2,2'-bis(trifluoromethyl)-4,4'-biphenyldiamine (2,2'-Bis(trifluoromethyl)-4,4'- biphenyldiamine, TFMB or TFB), 4,4'-Bis(4-aminophenoxy)biphenyl (4,4'-Bis(4-aminophenoxy)biphenyl, BAPB), cyclohexyl diamine (CHDAM), Aminobenzene cyanide (DABN), 2,2-Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane (2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 6FBAPP), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone (Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone, BAPS), and combinations thereof, However, the present invention is not limited thereto.

바인더 수지(312)의 반응성 성분인 실란올/실록산계 모노머나, 이무수물/디아민은 바인더 수지(312)를 합성하기 위한 바인더 조성물 중에 대략 5 ~ 40 중량부, 바람직하게는 10 ~ 30 중량부의 비율로 배합될 수 있다. 본 명세서에서 달리 언급하지 않는 한, 중량부는 배합되는 성분 사이의 중량 비율을 의미한다. The reactive component of the binder resin 312, silanol/siloxane-based monomer, or dianhydride/diamine, is approximately 5 to 40 parts by weight, preferably 10 to 30 parts by weight, in the binder composition for synthesizing the binder resin 312 . can be combined with Unless otherwise stated herein, parts by weight mean a weight ratio between components to be blended.

바인더 수지(312)에 분산되는 다공성 구리 입자(320)는 기공 구조를 갖는 임의의 다공성 입자를 사용할 수 있다. 예를 들어 다공성 구리 입자(320)는 마이크로포러스(microporous) 구리 입자, 메조포러스(mesoporous) 구리 입자 및 매크로포러스(macroporous) 구리 입자를 포함한다. 본 명세서에서 마이크로포러스 입자는 기공의 평균 직경이 2 ㎚ 미만인 다공성 입자를 의미하고, 메조포러스 입자는 기공의 평균 직경이 2 ㎚ 이상 50 ㎚ 미만인 다공성 입자를 의미하며, 매크로포러스 입자는 기공의 평균 직경이 50 ㎚ 이상의 다공성 입자를 의미한다. 하나의 예시적인 실시형태에서, 다공성 구리 입자는 메조포러스 입자이다. 메조포러스 구리 입자는 본 발명의 평탄화층(310)의 상부에 위치하는 어레이 패널(AP, 도 4 참조)에서 발생한 열을 외부로 방출시키기에 충분한 기공 크기를 가지고 있으며, 균일한 기공 크기 및 기공 분산을 가지는 메조포러스 입자는 제조가 용이한 이점이 있다. As the porous copper particles 320 dispersed in the binder resin 312 , any porous particles having a pore structure may be used. For example, the porous copper particles 320 include microporous copper particles, mesoporous copper particles, and macroporous copper particles. As used herein, microporous particles mean porous particles having an average pore diameter of less than 2 nm, mesoporous particles mean porous particles having an average pore diameter of 2 nm or more and less than 50 nm, and macroporous particles are pore average diameter This refers to porous particles of 50 nm or more. In one exemplary embodiment, the porous copper particles are mesoporous particles. The mesoporous copper particles have a pore size sufficient to dissipate heat generated from the array panel (AP, see FIG. 4 ) positioned on the planarization layer 310 of the present invention to the outside, and have a uniform pore size and pore dispersion. Mesoporous particles having the advantage of easy preparation.

메조포러스 구리 입자를 얻기 위하여 메조포러스 실리케이트를 주형(template)으로 사용할 수 있으며, 메조포러스 실리케이트는 다양한 방법에 의하여 합성될 수 있다. 하나의 예시적인 실시형태에서, 메조포러스 구리 입자(320)는 다공성 분자체 물질(molecular sieve materials)인 메조포러스 실리케이트를 주형(template)으로 사용하여 합성될 수 있다. 다공성 분자체 물질의 메조포러스 실리케이트는 균일한 기공 크기 및 우수한 비-표면적을 가지기 때문에, 본 발명의 다공성 구리 입자(320)의 주형으로 활용되기에 적합할 수 있다. To obtain mesoporous copper particles, mesoporous silicate can be used as a template, and mesoporous silicate can be synthesized by various methods. In one exemplary embodiment, the mesoporous copper particles 320 may be synthesized using mesoporous silicate, which is a porous molecular sieve material, as a template. Since the mesoporous silicate of the porous molecular sieve material has a uniform pore size and excellent specific surface area, it may be suitable for use as a template for the porous copper particles 320 of the present invention.

다공성 구리 입자(320)를 합성하기 위한 주형으로 사용될 수 있는 메조포러스 실리케이트는 세틸트리메틸암모늄 브로마이드(cetyltrimethyl ammonium bromide, CTAB)와 같은 계면활성제를 구조 유도 물질(structure directing material, 구조 배향체)로 사용하고, 테트라메틸 오르쏘실리케이트(tetramethyl orthosilicate, TMOS), 테트라에틸 오르쏘실리케이트(tetraethyl orthosilicate, TEOS)나 소듐 메타실리케이트(Sodium methasilicate)를 실리카 도입 물질로 사용하는 MCM(Mobile Composition of Matter) 계열을 포함한다. 선택적으로, 플루로닉(pluronic) 형태의 계면활성제 또는 삼공중합체, 예를 들어 P123(poly(ethylene oxide)-poly(propylene oxide)-poly(ethylene) oxide; PEO-PPO-PEO)과 같은 비-이온성 삼공중합체(non-ionic triblock copolymer)를 구조 유도 물질로 사용하고, TMOS, TEOS 등을 실리카 도입 물질로 사용하는 SBA(Santa Barbara Amorphous) 계열이 메조포러스 실리케이트로 적용될 수 있다. 이들 메조포러스 실리케이트는 실리카 도입 성분, 계면활성제의 종류, 이들의 함량, 계면활성제와 실리카 도입 성분의 계면에서의 전하 밀도 등에 따라 다양한 형태의 구조를 갖는다.The mesoporous silicate, which can be used as a template for synthesizing the porous copper particles 320, uses a surfactant such as cetyltrimethyl ammonium bromide (CTAB) as a structure directing material (structure directing material) and , including the Mobile Composition of Matter (MCM) series using tetramethyl orthosilicate (TMOS), tetraethyl orthosilicate (TEOS) or sodium methasilicate as a silica-introducing material. . Optionally, a surfactant or a terpolymer in the form of pluronic, for example a non-P123 (poly(ethylene oxide)-poly(propylene oxide)-poly(ethylene) oxide; PEO-PPO-PEO) SBA (Santa Barbara Amorphous) series using a non-ionic triblock copolymer as a structure inducing material and using TMOS, TEOS, etc. as a silica introduction material may be applied as a mesoporous silicate. These mesoporous silicates have various types of structures depending on the silica-introducing component, the type of surfactant, their content, and the charge density at the interface between the surfactant and the silica-introducing component.

예를 들어, MCM-41과 SBA-3, SBA-15는 1차원의 나노 기공들이 규칙적으로 육방 배열을 하고 있는 형태이고, MCM-48은 두 종류의 나노 기공들이 서로 독립적으로 삼차원적으로 연결된 입방 구조(cubic Ia3d) 를 갖는다. MCM-50은 층상 구조 물질이며, SBA-1과 SBA-6 는 구형 메조포어(mesopore)가 입방 Pm3n 격자 구조를 갖고 삼차원으로 연결된 구조이고, SBA-16은 입방 Im3m 격자 구조를 갖는 삼차원 기공 물질이다. 이들 이외에도 메조포어들이 규칙적으로 배열된 구조를 갖는 SBA-계열의 물질들과 메조포어들이 불규칙적으로 연결된 구조의 KIT-1(Korea Advanced Institute of Science and Technology-1)과 MSU-X(Michigan State University-X), HMS(hexagonal mesoporous silica) 등이 알려져 있다. For example, in MCM-41, SBA-3, and SBA-15, one-dimensional nanopores are in a regular hexagonal arrangement, and in MCM-48, two types of nanopores are independently three-dimensionally connected to each other. It has a structure (cubic Ia3d). MCM-50 is a layered material, SBA-1 and SBA-6 are a three-dimensionally connected structure with spherical mesopores having a cubic Pm3n lattice structure, and SBA-16 is a three-dimensional pore material having a cubic Im3m lattice structure. . In addition to these, SBA-based materials having a structure in which mesopores are regularly arranged and KIT-1 (Korea Advanced Institute of Science and Technology-1) and MSU-X (Michigan State University-) having a structure in which mesopores are irregularly connected X), HMS (hexagonal mesoporous silica), etc. are known.

본 발명에 따라 평탄화층(310)을 구성하는 바인더 수지(312)에 분산되는 다공성 구리 입자(320)를 합성하는 과정에 대해서 MCM-41을 주형으로 사용하는 경우를 예를 들어 설명한다. 도 3a는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 메조포러스 구리 입자를 제조하기 위해 주형(template)으로 사용된 MCM-41을 제조하기 위한 과정을 개략적으로 도시한 도면이다. For the process of synthesizing the porous copper particles 320 dispersed in the binder resin 312 constituting the planarization layer 310 according to the present invention, a case in which MCM-41 is used as a template will be described as an example. 3A is a diagram schematically illustrating a process for manufacturing MCM-41 used as a template for manufacturing mesoporous copper particles according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3a에 도시한 바와 같이, CTAB와 같은 계면활성제(322)를 구조 유도물질로 사용하고, TEOS, TMOS, 소듐 메타실리케이트, fumed silica, Ludox(예를 들어 Ludox HS40) 등의 실리카 도입 물질을 산 또는 염기 등의 촉매 하에서 수열 반응시킨다. 이 과정에서 계면활성제(322)는 미셀(micelle) 구조로 배열되는데, 미셀 구조로 배열된 계면활성제(322) 주변으로 실리카 도입 성분의 가수분해(hydrolysis) 및 응축(condensation)에 의해 형성된 실리케이트가 자가-배열(self-assembly)되어 거대 분자(supra-molecule)가 형성된다. 구체적으로, 미셀 구조로 자가-배열된 계면활성제의 표면에 위치하는 친수성 부분과 실리케이트와 같은 무기 물질이 상호작용하여 고체 분말 또는 필름 형태의 유기-무기 복합체가 형성된다. 이어서, 이 유기-무기 복합체를 500℃ 이상의 고온에서 소성(calcinations)하여 계면활성제(322) 등 유기분자를 제거하면, 메조포어(326)를 가지는 메조포러스 실리케이트(324)가 육방 배열되어 MCM-41 구조를 갖게 된다. As shown in FIG. 3A , a surfactant 322 such as CTAB is used as a structure inducing material, and a silica-introduced material such as TEOS, TMOS, sodium metasilicate, fumed silica, Ludox (eg Ludox HS40) is acidified. Alternatively, the hydrothermal reaction is carried out in the presence of a catalyst such as a base. In this process, the surfactant 322 is arranged in a micellar structure, and the silicate formed by hydrolysis and condensation of the silica-introduced component around the surfactant 322 arranged in the micellar structure is self-contained. - self-assembly to form supra-molecules. Specifically, an organic-inorganic complex in the form of a solid powder or a film is formed by the interaction between a hydrophilic moiety located on the surface of the surfactant self-arranged in a micellar structure and an inorganic material such as silicate. Subsequently, when the organic-inorganic complex is calcined at a high temperature of 500° C. or higher to remove organic molecules such as the surfactant 322, the mesoporous silicate 324 having the mesopores 326 is hexagonally arranged and MCM-41 have a structure.

계속해서, 도 3b는 주형으로 사용된 MCM-41로부터 메조포러스 구리 입자를 제조하기 위한 과정을 개략적으로 도시한 도면이다. 계면활성제(322, 도 3a 참조)가 제거된 육방 배열성 메조포러스 실리케이트(324)에 구리 전구체, 예를 들어 산화구리 전구체, (CuNO3) 수화물, CuCOOH 수화물, CuCl 수화물, Cu(Ⅱ) acetylacetonate 등을 적절한 용매(예를 들어 클로로포름 등)에서 반응시키면, 구리 전구체 물질로부터 구리 입자(328)가 메조포러스 실리케이트(324)의 기공(326) 내벽에 함침(impregnation)되면서, 메조포러스 구리 입자를 얻을 수 있다. 따라서 본 발명의 예시적인 실시형태에 따르면, 다공성 구리 입자(320, 도 2 참조)는 다공성 실리케이트 입자에 함침되어(impregnated) 있을 수 있지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. Continuing, FIG. 3b is a diagram schematically illustrating a process for preparing mesoporous copper particles from MCM-41 used as a template. A copper precursor, for example, a copper oxide precursor, (CuNO 3 ) hydrate, CuCOOH hydrate, CuCl hydrate, Cu(II) acetylacetonate, etc. reacting in an appropriate solvent (eg, chloroform, etc.), the copper particles 328 from the copper precursor material are impregnated into the inner wall of the pores 326 of the mesoporous silicate 324, and mesoporous copper particles can be obtained. have. Therefore, according to an exemplary embodiment of the present invention, the porous copper particles 320 (refer to FIG. 2 ) may be impregnated with the porous silicate particles, but the present invention is not limited thereto.

예를 들어, 다공성 구리 입자(320)는 대략 0.5 내지 10 중량부의 비율로 바인더 수지(312)에 분산될 수 있다. 다공성 구리 입자(320)의 함량이 이보다 적으면 내열 특성 향상과 같은 물성 향상을 기대하기 어렵다. 반면, 다공성 구리 입자(320)의 함량이 이보다 많더라도 물성은 추가적으로 첨가되는 양에 비례하여 증가하지 않으며, 오히려 광-투과율이 저하될 수 있다. For example, the porous copper particles 320 may be dispersed in the binder resin 312 in an amount of about 0.5 to 10 parts by weight. If the content of the porous copper particles 320 is less than this, it is difficult to expect improvement in physical properties such as improvement in heat resistance. On the other hand, even if the content of the porous copper particles 320 is greater than this, the physical properties do not increase in proportion to the amount added, and light-transmittance may be reduced.

한편, 바인더 조성물 중에 사용되는 용매는 특별히 제한되지 않으며, 메탄올, 에탄올 등의 알코올계 용매; 테트라하이드로퓨란, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌글리콜 디에틸에테르, 디에틸렌글리콜 메틸에틸에테르, 에틸렌글리콜 디메틸에테르, 에틸렌글리콜 디에틸에테르, 에틸렌글리콜 메틸에틸에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 프로필에테르, 프로필렌글리콜 부틸에테르 등에서 1종 이상 선택되는 에테르계 용매; 에틸렌글리콜모노에틸에스테르, 락트산 메틸, 락트산 에틸, 초산메틸, 초산에틸, 초산프로필, 2-히드록시프로피온산에틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산메틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 히드록시초산메틸, 히드록시초산에틸, 프로필렌글리콜 메틸에틸프로피오네이트, 프로필렌글리콜 에틸에테르프로피오네이트 등에서 1종 이상 선택되는 에스테르계 용매; 에틸렌글리콜 모노메틸에테르 아세테이트, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트 중에서 1종 이상 선택되는 아세테이트계 용매; 톨루엔, 자일렌, 크레졸 등에서 1종 이상 선택되는 방향족 탄화수소계 용매; 아세톤, 메틸에틸케톤, 시클로펜탄온, 시클로헥산온, 2-헵탄온, 4-히드록시-4-메틸-2-펜탄온 중에서 1종 이상 선택되는 케톤계 용매; N-메틸피롤리돈(NMP), N-메틸아세트아미드, N,N-디메틸아세트아미드(DMAc), N-메틸포름아미드, N,N-디메틸포름아미드(DMF) 중에서 1종 이상 선택되는 아미드계 용매; γ-부티로락톤일 수 있는 락톤계 용매 및 이들의 조합을 사용할 수 있다. 이들 용매는 바인더 조성물 중에 40 ~ 100 중량부, 바람직하게는 50 ~ 90 중량부, 더욱 바람직하게는 60 ~ 80 중량부의 비율로 배합될 수 있다. On the other hand, the solvent used in the binder composition is not particularly limited, alcohol solvents such as methanol and ethanol; Tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, Ether solvent selected from ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol propyl ether, propylene glycol butyl ether, etc.; Ethylene glycol monoethyl ester, methyl lactate, ethyl lactate, methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, 2-hydroxy-2-methylpropionate ethyl, an ester solvent selected from at least one selected from methyl hydroxyacetate, ethyl hydroxyacetate, propylene glycol methyl ethyl propionate, and propylene glycol ethyl ether propionate; an acetate-based solvent selected from ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monoethyl ether acetate; an aromatic hydrocarbon-based solvent selected from toluene, xylene, cresol, and the like; a ketone solvent selected from acetone, methyl ethyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone, 2-heptanone, and 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone; One or more amides selected from N-methylpyrrolidone (NMP), N-methylacetamide, N,N-dimethylacetamide (DMAc), N-methylformamide, and N,N-dimethylformamide (DMF) system solvent; A lactone-based solvent that may be γ-butyrolactone and a combination thereof may be used. These solvents may be blended in the binder composition in an amount of 40 to 100 parts by weight, preferably 50 to 90 parts by weight, and more preferably 60 to 80 parts by weight.

필요한 경우에, 바인더 조성물은 기능성 첨가제를 더욱 포함할 수 있다. 기능성 첨가제는 커플링제, 계면활성제, 가교촉진제 등을 포함할 수 있다. 커플링제는 바인더 수지(312)와 기재와의 접합성을 증진시키기 위한 것으로, 실란계 커플링제, 알루미늄계 커플링제, 티타늄계 커플링제 및 지르코늄계 커플링제 중에서 적어도 1종 이상 선택될 수 있으며 특히 바람직하게는 실란계 커플링제이다. 이들 커플링제는 바인더 수지(312)의 표면 처리에 의하여 기재와의 접착력을 향상시킬 수 있다면 특별히 그 배합 비율은 한정되지 않지만, 바람직하게는 바인더 조성물 중에 1 ~ 10 중량부의 비율로 배합될 수 있다. If necessary, the binder composition may further include a functional additive. The functional additive may include a coupling agent, a surfactant, a crosslinking accelerator, and the like. The coupling agent is for improving bonding properties between the binder resin 312 and the substrate, and may be at least one selected from a silane-based coupling agent, an aluminum-based coupling agent, a titanium-based coupling agent, and a zirconium-based coupling agent, and is particularly preferably is a silane coupling agent. These coupling agents are not particularly limited as long as adhesion to the substrate can be improved by surface treatment of the binder resin 312, but may be preferably blended in a ratio of 1 to 10 parts by weight in the binder composition.

아울러, 열 반응성 성분의 분산을 유도하기 위한 계면활성제는 음이온성 계면활성제, 양이온성 계면활성제, 양쪽성 계면활성제 및 비이온성 계면활성제를 사용할 수 있다. 음이온성 계면활성제로는 알킬 술폰산(술포네이트), 알킬 황산(설페이트), 아랄킬 및 알크아릴 음이온성 계면활성제, 알킬 숙신산(숙시네이트), 알킬 술포숙신산염(술포숙시네이트)을 사용할 수 있다. 특히, 알크아릴 술폰산, 알킬 황산 및 알크아릴 황산의 나트륨, 마그네슘, 암모늄 및 모노에탄올아민, 디에탄올아민 및 트리에탄올아민 염이 바람직하다. 계면활성제의 함량은 사용되는 용매의 종류, 반응성 성분의 함량 등에 따라 달라질 수 있지만, 그 함량은 대략 바인더 조성물 중에 0.01 ~ 1.0 중량부로 포함될 수 있다. In addition, as the surfactant for inducing dispersion of the thermally reactive component, an anionic surfactant, a cationic surfactant, an amphoteric surfactant, and a nonionic surfactant may be used. As anionic surfactants, alkyl sulfonic acids (sulfonates), alkyl sulfuric acids (sulfates), aralkyl and alkaryl anionic surfactants, alkyl succinic acids (succinates), and alkyl sulfosuccinates (sulfosuccinates) can be used. have. In particular, preference is given to sodium, magnesium, ammonium and monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine salts of alkaryl sulfonic acids, alkyl sulfuric acids and alkaryl sulfuric acids. The content of the surfactant may vary depending on the type of solvent used, the content of the reactive component, etc., but the content may be approximately 0.01 to 1.0 parts by weight in the binder composition.

또한, 반응성 성분으로 사용되는 실란올/실록산 모노머 등의 가교결합을 촉진하기 위한 가교촉진제가 바인더 조성물에 사용될 수 있다. 사용될 수 있는 가교촉진제는 디메틸아닐린, 1,1'-메틸렌비스(3-메틸피페리딘)(MBMP), 디메틸벤질아민(DMBA), 트리스(디메틸아미노메틸)페놀(TDMAMP), 헥사메틸렌테트라민 및 1,6-비스-(디메틸아미노)헥산과 같은 모노에틸아민, 트리메틸아민 및 옥틸디메틸아민과 같은 3급 아민류; N-4-클로로페닐-N',N'-디메틸우레아, N-3-클로로-4-메틸페닐-N',N'-디메틸우레아, N-(2-하이드록시페닐)-N',N'-디메틸우레아와 같은 우레아 유도체; 예를 들면 이미다졸, 벤즈이미다졸, 1-메틸이미다졸, 3-메틸이미다졸, 1,2-디메틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 1-비닐이미다졸, 2-비닐이미다졸, 2-페닐이미다졸, 2-페닐-4-메틸이미다졸, 1-(2,6-디클로로벤조일)-2-페닐이미다졸 및 1-(2,4,6-트리메틸벤조일)-2-페닐이미다졸과 같은 치환되거나 치환되지 않은 비치환된 이미다졸류; 트리페닐포스핀과 같은 유기 포스핀류; 실세스퀴옥산류 등에서 선택되는 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있다. In addition, a crosslinking accelerator for accelerating crosslinking such as silanol/siloxane monomer used as a reactive component may be used in the binder composition. Crosslinking accelerators that can be used include dimethylaniline, 1,1'-methylenebis(3-methylpiperidine) (MBMP), dimethylbenzylamine (DMBA), tris(dimethylaminomethyl)phenol (TDMAMP), hexamethylenetetramine and tertiary amines such as monoethylamine such as 1,6-bis-(dimethylamino)hexane, trimethylamine and octyldimethylamine; N-4-chlorophenyl-N',N'-dimethylurea, N-3-chloro-4-methylphenyl-N',N'-dimethylurea, N-(2-hydroxyphenyl)-N',N' - urea derivatives such as dimethylurea; For example, imidazole, benzimidazole, 1-methylimidazole, 3-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-vinylimidazole , 2-vinylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-(2,6-dichlorobenzoyl)-2-phenylimidazole and 1-(2,4 substituted or unsubstituted unsubstituted imidazoles such as ,6-trimethylbenzoyl)-2-phenylimidazole; organic phosphines such as triphenylphosphine; One type or a mixture of two or more types selected from silsesquioxanes and the like can be used.

특히, 실록산계 반응성 성분은 가교촉진제가 첨가됨에 따라 내열성이 저하될 우려가 있다. 따라서 최종적으로 제조되는 바인더 수지(312)로 구성되는 평탄화층(310)의 내열성에 영향을 주지 않는 가교촉진제를 사용하는 것이 바람직할 수 있다. 이러한 가교촉진제의 예로는 폴리실세스퀴옥산 중에서 cage 구조를 가지는 실세스퀴옥산인 폴리헤드랄 올리고메릭 실세스퀴옥산(polyhedral oligomeric silsesquioxane, POSS)이다. 가교촉진제의 함량은 바인더 조성물 중에 포함되는 사용되는 및 용매의 종류 및 함량에 따라 달라질 수 있지만, 그 함량은 대략 바인더 조성물 중에 0.01 ~ 0.1 중량부로 포함될 수 있다. In particular, the siloxane-based reactive component has a risk of lowering heat resistance as a crosslinking accelerator is added. Therefore, it may be preferable to use a crosslinking accelerator that does not affect the heat resistance of the planarization layer 310 composed of the finally prepared binder resin 312 . An example of such a crosslinking accelerator is polyhedral oligomeric silsesquioxane (POSS), which is a silsesquioxane having a cage structure among polysilsesquioxanes. The content of the crosslinking accelerator may vary depending on the type and content of the solvent and used in the binder composition, but the content may be approximately 0.01 to 0.1 parts by weight in the binder composition.

전술한 반응성 성분, 다공성 구리 입자, 용매, 기타 첨가제 등을 함유하는 바인더 조성물을 적절한 기재에 코팅한 뒤, 이를 경화시켜 다공성 구리 입자(320)가 분산된 바인더 수지(312)로 구성되는 평탄화층(320)을 얻을 수 있다. 코팅 방법은 제한되지 않으며, 스핀 코팅, 롤 코팅, 스프레이 코팅, 바 코팅, 토출노즐식 코팅과 같은 슬릿 노즐을 이용한 슬릿 코팅 등의 방법을 이용할 수 있으며, 2가지 이상의 코팅 방법을 조합하여 코팅할 수 있다. 이때, 코팅된 막의 두께는 코팅 방법, 바인더 조성물 중의 고형분의 농도, 점도 등에 따라 달라질 수 있지만, 건조 후에 평탄화층(310)의 두께가 0.1 ~ 2.0 ㎛가 되도록 도포할 수 있다.A planarization layer ( 320) can be obtained. The coating method is not limited, and methods such as spin coating, roll coating, spray coating, bar coating, slit coating using a slit nozzle such as ejection nozzle coating can be used, and two or more coating methods can be combined to coat. have. At this time, the thickness of the coated film may vary depending on the coating method, the concentration of solids in the binder composition, the viscosity, etc., but after drying, the thickness of the planarization layer 310 may be 0.1 to 2.0 μm.

구체적으로, 전술한 바인더 조성물에 대한 경화 공정을 수행하여 용매를 증발시켜, 최종적으로 기재 상에 다공성 구리 입자(320)가 분산된 바인더 수지(312)를 형성할 수 있다. 이 과정은 통상적으로 적절한 열을 가하여 용매를 휘발시키는 방법으로 이용될 수 있다. 예를 들어, 바인더 수지(312)로서 폴리실록산계 수지를 사용하고자 하는 경우, 80 ~ 120℃의 온도에서 0.1 ~ 5분 동안 예비 가열(프리 베이킹)하고, 이어서 150 ~ 400℃의 온도에서 5 ~ 200분, 바람직하게는 10 ~ 100분 동안 본 가열(포스트 베이킹)시킬 수 있다. Specifically, the solvent is evaporated by performing the curing process for the above-described binder composition, and finally, the binder resin 312 in which the porous copper particles 320 are dispersed on the substrate may be formed. This process can be used as a method of volatilizing the solvent by applying appropriate heat. For example, in the case of using a polysiloxane-based resin as the binder resin 312 , preheating (pre-baking) is performed at a temperature of 80 to 120° C. for 0.1 to 5 minutes, and then 5 to 200 at a temperature of 150 to 400° C. The main heating (post-baking) may be carried out for a minute, preferably 10 to 100 minutes.

한편, 폴리이미드에 다공성 구리 입자(320)가 분산된 바인더 수지(312)를 제조하기 위하여, 전술한 아민 화합물과 무수화물 및 다공성 구리 입자(320)를 포함하는 바인더 조성물을 기재에 코팅하고, 아민 화합물과 무수화물의 반응에 의하여 얻어지는 폴리아믹산을 140 ~ 300 ℃에서 가열하는 이미드화하는 열적 이미드화 공정, 아세트산무수화물/피리딘 등의 탈수 촉매를 이용하여 화학적으로 이미드화 반응을 수행하는 화학적 이미드화 방법을 단독으로 또는 혼합하여 사용할 수 있다. On the other hand, in order to prepare the binder resin 312 in which the porous copper particles 320 are dispersed in polyimide, the binder composition including the above-described amine compound, anhydride and porous copper particles 320 is coated on a substrate, and the amine Thermal imidization process in which polyamic acid obtained by the reaction of a compound and anhydride is heated at 140 to 300 ° C., and chemical imidization in which imidization is chemically performed using a dehydration catalyst such as acetic anhydride/pyridine. The methods may be used alone or in combination.

다시 도 2로 돌아가면, 평탄화막(300)을 구성하는 평탄화층(310)의 하부와 상부에 각각 위치하는 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)이 위치한다. 전술한 바와 같이, 평탄화층(310)에는 금속 성분인 다공성 구리 입자(320)가 바인더 수지(312)에 분산되어 있다. 평탄화층(310)을 직접 터치 패널(TP, 도 4 참조)과 어레이 패널(AP) 사이에 직접 개재되는 경우, 터치 패널과 어레이 패널을 구성하는 다수의 금속성 전극이나 배선과, 다공성 구리 입자(320) 사이에 전기적 쇼트가 발생할 수 있다. 이를 방지할 수 있도록, 평탄화층(310)의 하부와 상부에 각각 절연 물질로 제조되는 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)이 위치한다. Returning to FIG. 2 , the first buffer layer 332 and the second buffer layer 334 respectively positioned below and above the planarization layer 310 constituting the planarization layer 300 are positioned. As described above, in the planarization layer 310 , the porous copper particles 320 as a metal component are dispersed in the binder resin 312 . When the planarization layer 310 is directly interposed between the touch panel (TP, see FIG. 4) and the array panel (AP), a plurality of metallic electrodes or wires constituting the touch panel and the array panel, and the porous copper particles 320 ) may cause an electrical short. To prevent this, a first buffer layer 332 and a second buffer layer 334 made of an insulating material are respectively disposed below and above the planarization layer 310 .

하나의 예시적인 실시형태에서, 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)은 무기 물질을 사용하여 적층될 수 있다. 예를 들어, 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)은 실리콘 산화물(SiO2) 및/또는 실리콘 질화물(SiNx)을 사용하여 제조될 수 있는데, PECVD(플라즈마강화 화학기상증착) 등과 같은 방법을 사용하여 적층될 수 있다. 이 경우, 제 1 버퍼층(332) 및 제 2 버퍼층(334)은 각각 500 ~ 2000 의 두께로 적층될 수 있지만, 본 발명이 이에 한정되지 않는다. In one exemplary embodiment, the first buffer layer 332 and the second buffer layer 334 may be laminated using an inorganic material. For example, the first buffer layer 332 and the second buffer layer 334 may be fabricated using silicon oxide (SiO 2 ) and/or silicon nitride (SiNx), such as plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) or the like. method can be used. In this case, the first buffer layer 332 and the second buffer layer 334 may each be stacked to a thickness of 500 to 2000, but the present invention is not limited thereto.

본 발명에 따라 바인더 수지(312)에 다공성 구리 입자(320)가 분산된 절연막으로서의 평탄화층(310)은 우수한 내열 특성을 보유하고 있다. 이 평탄화층(310)을 터치 패널(TP, 도 4 참조)와 표시 패널(DP, 도 4 참조)을 구성하는 어레이 패널(AP, 도 4 참조) 사이의 평탄화막(300)으로 사용하면, 어레이 패널을 구성하는 박막트랜지스터(Tr, 도 4 참조)를 제조하기 위한 350℃ 이상의 고온 공정에 의해서도 평탄화층(310)의 구조가 파괴되는 등의 열화가 일어나지 않는다. According to the present invention, the planarization layer 310 as an insulating film in which the porous copper particles 320 are dispersed in the binder resin 312 has excellent heat resistance. When the planarization layer 310 is used as a planarization layer 300 between the touch panel (TP, see FIG. 4) and the array panel (AP, see FIG. 4) constituting the display panel (DP, see FIG. 4), the array Deterioration such as destruction of the structure of the planarization layer 310 does not occur even by a high temperature process of 350° C. or higher for manufacturing the thin film transistor (Tr, see FIG. 4 ) constituting the panel.

즉, 본 발명에 따라 제조되는 평탄화층(310)을 포함하는 평탄화막(300)은 내열 특성이 우수한 바인더 수지(310)를 채택하는 한편, 다공성 구리 입자(320)를 사용하여 열이 쉽게 배출되는 통로가 형성되므로 열 분산 특성이 양호하다. 이에 따라 평탄화막(300) 상부에 위치하는 어레이 패널(AP, 도 4 참조)와 하부에 위치하는 터치 패널(TP, 도 4 참조) 사이에 열적 스트레스가 비슷하게 된다. That is, the planarization film 300 including the planarization layer 310 manufactured according to the present invention adopts the binder resin 310 having excellent heat resistance properties, while heat is easily discharged using the porous copper particles 320 . Since the passage is formed, the heat dissipation property is good. Accordingly, the thermal stress is similar between the array panel AP (refer to FIG. 4 ) positioned above the planarization layer 300 and the touch panel TP (refer to FIG. 4 ) positioned below the planarization layer 300 .

따라서 고온 조건에서도 그 상부 및 하부에 각각 위치하는 터치 패널 또는 기판과, 어레이 패널에 대한 우수한 접착력을 유지할 수 있다(도 7a 참조). 뿐만 아니라 기재와의 계면에서 들뜸이 일어나지 않으므로 크랙(crack)이 일어나지 않으며(도 8a 및 도 10a 참조), 박리 강도도 우수하다(도 9a 참조). 더욱이, 고온 처리에 의해서도 광-투과 특성이 저하되지 않기 때문에, 표시장치에 적용되어 양호한 휘도를 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 다공성 구조의 입자(320)를 포함하고 있어 저-유전율을 도모할 수 있기 때문에 구동 전압을 낮출 수 있는 이점을 갖게 된다. 또한, 저유전율 구조의 다공성 구리 입자(320)가 분산되어 절연막으로 사용되는 평탄화층(310)의 저항을 낮출 수 있으므로 구동 과정에서 야기될 수 있는 정전기를 신속하게 감쇠시킬 수 있으므로 제품의 수율을 향상시킬 수 있다. Therefore, excellent adhesion to the touch panel or substrate respectively positioned above and below the array panel can be maintained even under high temperature conditions (refer to FIG. 7A ). In addition, since no lifting occurs at the interface with the substrate, cracks do not occur (see FIGS. 8A and 10A ), and peel strength is excellent (see FIG. 9A ). Furthermore, since the light-transmitting characteristic is not deteriorated even by high-temperature treatment, it can be applied to a display device to obtain good luminance, and since it contains the particles 320 having a porous structure, a low-dielectric constant can be achieved. There is an advantage in that the driving voltage can be lowered. In addition, since the porous copper particles 320 having a low dielectric constant structure are dispersed to lower the resistance of the planarization layer 310 used as an insulating film, static electricity that may be caused in the driving process can be quickly attenuated, thereby improving product yield. can do it

계속해서, 본 발명에 따라 다공성 구리 입자(320)가 분산된 바인더 수지(312)로 구성되는 평탄화층(310)이 적용될 수 있는 표시장치용 어레이 기판 및 표시장치에 대해서 설명한다. 도 4는 본 발명의 예시적인 실시형태에 따라 터치 패널과 액정 표시 패널 사이에 고내열성 평탄화막이 적용된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다. 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 인-셀 터치 타입 액정 표시장치(100)는 제 1 기판(101) 상에 위치하는 터치 패널(TP)과, 터치 패널(TP) 상에 위치하는 어레이 패널(AP)을 포함하는 표시 패널(DP)을 포함한다. 표시 패널(DP)의 상단에 제 1 기판(101)과 마주하는 제 2 기판(102)이 위치하고 있으며, 제 1 기판(101)과 제 2 기판(102) 사이에 액정층(180)이 개재되어 있다. 상기 제 1 기판(101)과 제 2 기판(102)은 글라스는 물론이고 폴리이미드(PI)와 같은 플라스틱 소재로 제조될 수 있다. Subsequently, an array substrate for a display device and a display device to which the planarization layer 310 composed of the binder resin 312 in which the porous copper particles 320 are dispersed according to the present invention can be applied will be described. 4 is a cross-sectional view schematically illustrating a display device to which a high heat-resistant planarization film is applied between a touch panel and a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention. The in-cell touch type liquid crystal display 100 according to the second embodiment of the present invention includes a touch panel TP positioned on a first substrate 101 and an array panel ( and a display panel DP including an AP). The second substrate 102 facing the first substrate 101 is positioned on the upper end of the display panel DP, and the liquid crystal layer 180 is interposed between the first substrate 101 and the second substrate 102 . have. The first substrate 101 and the second substrate 102 may be made of not only glass, but also a plastic material such as polyimide (PI).

상기 터치 패널(TP)은 사용자의 터치를 감지하는데, 터치 패널(TP)은 제 1 방향을 따라 배열되는 다수의 제 1 터치 전극(112)과, 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향을 따라 배열되는 다수의 제 2 전극(114)을 포함한다. 예를 들어, 상기 제 1 방향은 데이터 배선(미도시)과 평행하고, 상기 제 2 방향은 게이트 배선(미도시)과 평행할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The touch panel TP senses a user's touch, and the touch panel TP includes a plurality of first touch electrodes 112 arranged in a first direction and a second direction different from the first direction. and a plurality of second electrodes 114 that become For example, the first direction may be parallel to a data line (not shown) and the second direction may be parallel to a gate line (not shown), but is not limited thereto.

상기 제 1 터치 전극(112)과 상기 제 2 터치 전극(114)은 서로 이격되어 위치한다. 예를 들어, 제 1 기판(101) 상에 제 1 방향을 따라 상기 다수의 제 1 터치 전극(112)이 서로 연결된 일체로 형성될 수 있으며, 제 2 방향을 따라 서로 이격된 섬(island) 형상의 다수의 제 2 터치 전극(114)이 형성될 수 있다. 하나의 예시적인 실시형태에서, 상기 제 1 터치 전극(112)은 송신(Tx) 전극이고, 상기 제 2 터치 전극(114)은 수신(Rx) 전극일 수 있다. The first touch electrode 112 and the second touch electrode 114 are spaced apart from each other. For example, the plurality of first touch electrodes 112 may be integrally formed on the first substrate 101 in a first direction and connected to each other in an island shape spaced apart from each other in the second direction. A plurality of second touch electrodes 114 may be formed. In one exemplary embodiment, the first touch electrode 112 may be a transmit (Tx) electrode, and the second touch electrode 114 may be a receive (Rx) electrode.

도면으로 표시하지는 않았으나, 터치 패널(TP)에는 제 1 및 제 2 터치 전극(112, 114) 이외에도, 제 1 터치 전극(112)에 연결되는 송신 배선(driving line), 제 2 터치 전극(114)에 연결되는 수신 배선(sensing line), 터치 패드(미도시)가 형성된다. 터치 패드(미도시)는 다수의 송신 배선(미도시) 또는 수신 배선(미도시)와 전기적으로 연결되며, 예를 들어 이방성 도전 필름(anisotropic conductive film)인 접속 수단(미도시)를 통해 표시 패드(미도시)와 전기적으로 연결될 수 있다.Although not shown in the drawings, the touch panel TP includes, in addition to the first and second touch electrodes 112 and 114 , a driving line connected to the first touch electrode 112 , and a second touch electrode 114 . A sensing line connected to the , a touch pad (not shown) is formed. The touch pad (not shown) is electrically connected to a plurality of transmission wirings (not shown) or receiving wirings (not shown), and for example, the display pad through a connection means (not shown) that is an anisotropic conductive film. (not shown) may be electrically connected to.

터치 패널(TP)의 상부에 제 1 및 제 2 터치 전극(112, 124)을 덮는 제 1 버퍼층(332)이 형성된다. 제 1 버퍼층(332)은 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질로 구성될 수 있다. 제 1 버퍼층(332)은 터치 패널(TP)과 평탄화층(310) 사이에 개재되어, 제 1 및 제 2 터치 전극(112, 114)과 평탄화층(310)에 분산되어 있는 다공성 구리 입자 사이의 전기적 쇼트를 방지한다. A first buffer layer 332 covering the first and second touch electrodes 112 and 124 is formed on the touch panel TP. The first buffer layer 332 may be formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx). The first buffer layer 332 is interposed between the touch panel TP and the planarization layer 310 , and is disposed between the first and second touch electrodes 112 and 114 and the porous copper particles dispersed in the planarization layer 310 . Prevent electrical short.

제 1 버퍼층(332)의 상면에 바인더 수지에 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화층(310)이 위치한다. 예를 들어 다공성 구리 입자는 메조포러스 다공성 구리 입자이다. 평탄화층(310) 상부에 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질로 구성되는 제 2 버퍼층(334)이 위치하여, 평탄화막(330)에 분산되어 있는 다공성 구리 입자와, 게이트 전극(132) 및/또는 데이터 배선(170)과 같은 어레이 패널(AP)을 구성하는 다수의 전극 및 배선 사이의 전기적 쇼트를 방지한다. A planarization layer 310 in which porous copper particles are dispersed in a binder resin is positioned on the upper surface of the first buffer layer 332 . For example, the porous copper particles are mesoporous porous copper particles. A second buffer layer 334 made of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx) is positioned on the planarization layer 310 , and the porous copper particles dispersed in the planarization layer 330 and , to prevent an electrical short between a plurality of electrodes and wires constituting the array panel AP, such as the gate electrode 132 and/or the data wire 170 .

제 2 버퍼층(334)의 상부에 표시 패널(DP)을 구성하는 어레이 패널(AP)이 형성된다. 상기 어레이 패널(AP)은 도시하지 않은 백라이트 유닛의 동작을 조절할 수 있도록 다수의 전극 및 배선으로 구성된다. The array panel AP constituting the display panel DP is formed on the second buffer layer 334 . The array panel AP includes a plurality of electrodes and wires to control the operation of the backlight unit (not shown).

어레이 패널(AP)을 구성하는 전극 및 배선에 대해서 구체적으로 살펴본다. 제 2 버퍼층(334)의 상부에 일방향으로 다수의 게이트 배선(미도시)이 연장되어 있으며, 이러한 다수의 게이트 배선(미도시)과 교차하여 다수의 화소영역(P)을 정의하며 제 2 방향으로 다수의 데이터 배선(170)이 형성되어 있다. 게이트 배선(미도시)의 일단에 연결되어 비-표시영역에 게이트패드(미도시)가 형성되고, 데이터 배선(170)의 일단에 연결되어 비-표시영역에 데이터패드(미도시)가 형성된다. An electrode and wiring constituting the array panel AP will be described in detail. A plurality of gate wires (not shown) extend in one direction on the second buffer layer 334 , and intersect the plurality of gate wires (not shown) to define a plurality of pixel areas P and move in the second direction. A plurality of data lines 170 are formed. A gate pad (not shown) is formed in the non-display area by being connected to one end of the gate line (not shown), and a data pad (not shown) is formed in the non-display area by being connected to one end of the data line 170 . .

다수의 화소영역(P) 각각에는 게이트 전극(132)과, 게이트 절연막(136)과, 액티브층(142a) 오믹콘택층(142b)을 포함하는 반도체층(140)과, 소스 및 드레인 전극(152, 154)으로 이루어지는 박막트랜지스터(Tr)가 형성되어 있다. 게이트 전극(132)은 게이트 배선(미도시)에 연결되며, 제 2 버퍼층(334) 상에 형성된다. 게이트 배선(미도시)과 게이트 전극(132) 상에, 무기 절연물질, 예를 들어 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물일 수 있는 무기 절연물질로 이루어지는 게이트 절연막(136)이 형성된다. In each of the plurality of pixel regions P, a semiconductor layer 140 including a gate electrode 132 , a gate insulating layer 136 , an active layer 142a and an ohmic contact layer 142b , and source and drain electrodes 152 . , 154) is formed with a thin film transistor Tr. The gate electrode 132 is connected to a gate line (not shown) and is formed on the second buffer layer 334 . A gate insulating layer 136 made of an inorganic insulating material, for example, an inorganic insulating material that may be silicon oxide or silicon nitride, is formed on the gate wiring (not shown) and the gate electrode 132 .

게이트 절연막(136) 상에는 순수 비정질 실리콘으로 이루어지는 액티브층(142a)과, 액티브층(142a) 상에 형성되며 액티브층(142a)의 중앙을 노출시키고 불순물 비정질 실리콘으로 이루어지는 오믹콘택층(142b)이 형성되어 있다. 액티브층(142a)과 오믹콘택층(142b)은 반도체층(140)을 이룬다.An active layer 142a made of pure amorphous silicon is formed on the gate insulating layer 136 , and an ohmic contact layer 142b formed on the active layer 142a to expose the center of the active layer 142a and made of impurity amorphous silicon is formed. has been The active layer 142a and the ohmic contact layer 142b form the semiconductor layer 140 .

반도체층(140) 상에는 서로 이격하여 액티브층(142a)의 중앙을 노출시키는 소스 전극(152)과 드레인 전극(154)이 형성되어 있다. 소스 전극(152)은 반도체층(140) 상에 위치하며 데이터 배선(170)에서 연장되며, 드레인 전극(154)은 반도체층(140) 상에서 소스 전극(152)과 이격하여 위치한다. 박막트랜지스터(Tr)는 스위칭 영역(TrA)에 위치하고 있다.A source electrode 152 and a drain electrode 154 that are spaced apart from each other to expose the center of the active layer 142a are formed on the semiconductor layer 140 . The source electrode 152 is positioned on the semiconductor layer 140 and extends from the data line 170 , and the drain electrode 154 is positioned on the semiconductor layer 140 to be spaced apart from the source electrode 152 . The thin film transistor Tr is positioned in the switching region TrA.

또한, 게이트 절연막(136) 상에는 제 2 방향을 따라 연장되는 데이터 배선(170)이 게이트 배선(미도시)과 교차하여 형성되고 있다. 데이터 배선(170)은 화소영역(P)에 위치하는 박막트랜지스터(Tr)의 소스 전극(152)으로부터 연장된다. 한편, 도면으로 표시하지는 않았으나, 하나의 예시적인 실시형태에서, 게이트 절연막(136) 상에는 공통배선(미도시)이 데이터 배선(170)에 평행한 제 2 방향을 따라 형성되어, 게이트 배선(미도시)과 교차하고 있다. 대안적인 실시형태에서, 공통배선(미도시)은 게이트 배선(미도시)과 평행하게 게이트 배선(미도시)과 동일층에 형성될 수도 있다. In addition, a data line 170 extending in the second direction is formed on the gate insulating layer 136 to cross the gate line (not shown). The data line 170 extends from the source electrode 152 of the thin film transistor Tr positioned in the pixel region P. Meanwhile, although not shown in the drawings, in one exemplary embodiment, a common wiring (not shown) is formed along the second direction parallel to the data line 170 on the gate insulating layer 136 , and the gate wiring (not shown) ) intersect with In an alternative embodiment, the common wiring (not shown) may be formed on the same layer as the gate wiring (not shown) in parallel to the gate wiring (not shown).

한편, 데이터 배선(170), 소스 전극(152), 드레인 전극(154) 및 공통배선(미도시)을 덮는 제 1 보호층(160)이 제 1 층간 절연막으로서 형성된다. 이 제 1 보호층(160)에는 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(154)을 노출시키는 드레인 콘택홀(164)이 형성되어 있다. 상기 제 1 보호층(160)은 실리콘 산화물(SiO2)이나 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질 또는 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene)이나 포토 아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질로 형성될 수 있다. 제 1 보호층(160)은 화소전극(176)을 형성하는 과정에서 오믹콘택층(142b)이 손상되는 것을 방지한다. Meanwhile, the first passivation layer 160 covering the data line 170 , the source electrode 152 , the drain electrode 154 , and the common line (not shown) is formed as a first interlayer insulating layer. A drain contact hole 164 exposing the drain electrode 154 of the thin film transistor Tr is formed in the first passivation layer 160 . The first protective layer 160 may be formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx), or an organic insulating material such as benzocyclobutene or photo acryl. . The first protective layer 160 prevents the ohmic contact layer 142b from being damaged in the process of forming the pixel electrode 176 .

또한, 각각의 화소영역(P)에는 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(174)과 드레인 콘택홀(164)을 통해 접촉하여 전기적으로 연결되는 제 1 전극으로서의 화소전극(176)이 제 1 보호층(160) 상에 형성되어 있다. 화소전극(176)은 투명 도전성 물질로 이루어지며, 각각의 화소영역(P) 내에서 판 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 투명 도전성 물질은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide; ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(indium-zinc-oxide; IZO)일 수 있다. 도면으로 도시하지 않았지만, 제 1 보호층(160)의 상부의 비-표시영역에는 화소전극(176)과 동일한 투명 도전성 소재로 제조되는 게이트 패드 전극 및 데이터 패드 전극이 형성되는데, 게이트패드 전극은 게이트패드 콘택홀(미도시)을 통하여 게이트패드에 전기적으로 연결되고, 데이터패드 전극은 데이터패드 콘택홀(미도시)을 통하여 데이터패드에 전기적으로 연결된다. In addition, in each pixel region P, a pixel electrode 176 as a first electrode electrically connected to the drain electrode 174 of the thin film transistor Tr through a drain contact hole 164 and is electrically connected is a first protective layer. It is formed on (160). The pixel electrode 176 is made of a transparent conductive material, and may have a plate shape in each pixel region P. For example, the transparent conductive material may be indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO). Although not shown in the drawings, a gate pad electrode and a data pad electrode made of the same transparent conductive material as the pixel electrode 176 are formed in the non-display area on the upper portion of the first passivation layer 160 . It is electrically connected to the gate pad through a pad contact hole (not shown), and the data pad electrode is electrically connected to the data pad through a data pad contact hole (not shown).

화소전극(176) 상부에는 제 2 층간 절연막인 제 2 보호층(178)이 형성되어 있다. 이 제 2 보호층(178)은 실리콘 산화물(SiO2)이나 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질 또는 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene)이나 포토 아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질로 형성될 수 있다. A second passivation layer 178 serving as a second interlayer insulating layer is formed on the pixel electrode 176 . The second protective layer 178 may be formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx), or an organic insulating material such as benzocyclobutene or photo acryl. .

한편, 상기 제 2 보호층(178) 상에는 상기 판 형태의 화소전극(176)과 중첩하며 다수의 슬릿 형태의 홀(개구부, 192)을 갖는 공통전극(190)이 형성되어 있다. 화소전극(176)과 마찬가지로 제 2 전극으로서의 공통전극(190)은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)와 같은 투명 도전성 물질로 제조될 수 있다. 공통전극(190)은 다수의 화소영역(P)이 형성된 표시영역 전면에 형성된다. 판 형태의 제 1 전극일 수 있는 화소전극(176)과 개구부(192)를 갖는 제 2 전극일 수 있는 공통전극(190) 사이에 전압이 인가되면, 프린지 필드(fringe field)가 형성되어 액정이 구동됨으로써, 투과 효율이 향상되고 고품질의 영상이 표시된다. Meanwhile, a common electrode 190 overlapping the plate-shaped pixel electrode 176 and having a plurality of slit-shaped holes (openings) 192 is formed on the second passivation layer 178 . Like the pixel electrode 176 , the common electrode 190 serving as the second electrode may be made of a transparent conductive material such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO). The common electrode 190 is formed on the entire surface of the display area in which the plurality of pixel areas P are formed. When a voltage is applied between the pixel electrode 176 , which may be a plate-shaped first electrode, and the common electrode 190 , which may be a second electrode having an opening 192 , a fringe field is formed to form a liquid crystal. By driving, the transmission efficiency is improved and a high-quality image is displayed.

도면으로 도시하지는 않았으나 제 2 기판(102)의 하부에는 각각의 화소영역(P)에 대응되는 개구부를 갖는 차광부재인 블랙매트릭스가 형성되고, 블랙매트릭스의 하부와 블랙매트릭스의 개구부를 통하여 노출된 제 2 기판(102)의 하부에는 컬러필터층이 형성된다. 컬러필터층(미도시)은 화소영역(P)에 대응되는 적, 녹, 청 컬러필터를 포함한다. 또한, 컬러필터층(미도시)과 액정층(180) 사이에는 컬러필터층(미도시)의 보호 및 표면을 평탄화하기 위하여 폴리이미드, 폴리아크릴레이트, 폴리우레탄 등과 같은 소재의 오버코트층(미도시)이 더 형성될 수 있다. 아울러, 도시하지는 않았으나 제 2 기판(102)의 상부에 편광판이 위치할 수 있으며, 편광판(미도시) 상부에는 광학 투명 접착제(Optically Clear Adhesive, OCA)를 통하여 커버 윈도우가 배치될 수 있다. Although not shown in the drawings, a black matrix, which is a light blocking member having an opening corresponding to each pixel region P, is formed on the lower portion of the second substrate 102, and the second substrate exposed through the lower portion of the black matrix and the opening of the black matrix is formed. 2 A color filter layer is formed under the substrate 102 . The color filter layer (not shown) includes red, green, and blue color filters corresponding to the pixel area P. In addition, an overcoat layer (not shown) made of a material such as polyimide, polyacrylate, polyurethane, etc. is provided between the color filter layer (not shown) and the liquid crystal layer 180 to protect the color filter layer (not shown) and planarize the surface. more can be formed. In addition, although not shown, a polarizing plate may be positioned on the second substrate 102 , and a cover window may be disposed on the polarizing plate (not shown) through an optically clear adhesive (OCA).

본 발명의 제 1 실시형태에 따른 표시장치(100)는 표시 패널(DP)을 구성하는 어레이 패널(AP)과 터치 패널(TP) 사이에 고내열성 바인더 수지에 분산된 다공성 구리 입자를 갖는 평탄화층(310)이 위치한다. 따라서 어레이 패널(AP)을 구성하는 박막트랜지스터(Tr)을 제조하는 350℃ 이상의 고온 공정에 의해서도 평탄화층(310)은 열화되지 않는다. 이러한 특성으로 인하여, 어레이 패널(AP)이 최종적으로 제조된 이후에도, 평탄화층(310)은 터치 패널(TP)과 어레이 패널(AP)에 견고하게 접착되어 있으므로, 터치 패널(TP)과 어레이 패널(AP)에 대한 합착이 견고하게 유지될 수 있다. The display device 100 according to the first embodiment of the present invention includes a planarization layer having porous copper particles dispersed in a high heat-resistant binder resin between the array panel AP and the touch panel TP constituting the display panel DP. 310 is located. Accordingly, the planarization layer 310 is not deteriorated even by a high temperature process of 350° C. or higher for manufacturing the thin film transistor Tr constituting the array panel AP. Due to these characteristics, even after the array panel AP is finally manufactured, the planarization layer 310 is firmly adhered to the touch panel TP and the array panel AP, and thus the touch panel TP and the array panel AP AP) can be firmly maintained.

뿐만 아니라, 본 발명에 따른 평탄화층(310)은 고온 공정에 의해서도 그 특성을 유지할 수 있으므로, 고온 공정에 의한 크랙 발생 및/또는 박리(peeling)가 일어나지 않는다. 고온 공정에 의해서도 광-투과율이 저하되지 않으므로 양호한 휘도를 얻을 수 있고, 기공 구조를 가지는 다공성 구리 입자가 분산되어 있으므로 저-유전율을 확보할 수 있어서 구동 전압을 낮출 수 있다. 또한, 기공 구조로 인하여 소자 작동 과정에서 초래될 수 있는 정전기를 신속하게 감쇠, 제거할 수 있으므로 정전기로 인한 소자 작동의 불량이나 수율 저하를 방지할 수 있는 이점이 있다. In addition, since the planarization layer 310 according to the present invention can maintain its properties even by a high-temperature process, cracks and/or peeling by the high-temperature process do not occur. Since the light transmittance is not lowered even by the high-temperature process, good luminance can be obtained, and since the porous copper particles having a pore structure are dispersed, a low dielectric constant can be secured and the driving voltage can be lowered. In addition, due to the pore structure, static electricity that may be caused during the operation of the device can be quickly attenuated and removed, so that it is possible to prevent malfunction of the device or a decrease in yield due to static electricity.

도 4는 표시 장치로서 액정 표시장치(100)를 표시 소자로 사용하는 인-셀 타입의 표시장치를 예시하였으나, 본 발명의 평탄화막은 유기발광다이오드를 표시 소자로 사용하는 인-셀 타입의 표시장치에도 적용될 수 있다. 도 5는 본 발명의 예시적인 제 2 실시형태에 따라 터치 패널과 발광다이오드 표시 패널 사이에 고내열성 평탄화막이 적용된 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다. 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 인-셀 터치 타입 유기발광다이오드 표시장치(200)는 기판(201) 상에 위치하는 터치 패널(TP)과, 터치 패널(TP) 상에 위치하는 어레이 패널(AP)과, 상기 어레이 패널(AP) 상의 발광다이오드(E)를 포함한다. 상기 터치 패널(TP)은 사용자의 터치를 감지하며, 상기 발광다이오드(E)는 광원의 역할을 하고, 상기 어레이 패널(AP)은 상기 발광다이오드(E)의 동작을 조절하는 역할을 한다. 상기 기판(201)은 글라스 또는 플라스틱 소재로 제조된다. 4 illustrates an in-cell type display device using the liquid crystal display 100 as a display device as a display device, but the planarization film of the present invention is an in-cell type display device using an organic light emitting diode as a display device. can also be applied to 5 is a cross-sectional view schematically illustrating a display device to which a high heat-resistant planarization film is applied between a touch panel and a light emitting diode display panel according to a second exemplary embodiment of the present invention. The in-cell touch type organic light emitting diode display 200 according to the second embodiment of the present invention includes a touch panel TP positioned on a substrate 201 and an array panel ( AP) and a light emitting diode E on the array panel AP. The touch panel TP senses a user's touch, the light emitting diode E serves as a light source, and the array panel AP serves to control the operation of the light emitting diode E. The substrate 201 is made of a glass or plastic material.

상기 터치 패널(TP)은 제 1 방향을 따라 배열되는 다수의 제 1 터치 전극(212)과, 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향을 따라 배열되는 다수의 제 2 전극(214)를 포함한다. 예를 들어, 상기 제 1 방향은 데이터 배선(미도시)과 평행하고, 상기 제 2 방향은 게이트 배선(미도시)과 평행할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The touch panel TP includes a plurality of first touch electrodes 212 arranged in a first direction and a plurality of second electrodes 214 arranged in a second direction different from the first direction. For example, the first direction may be parallel to a data line (not shown) and the second direction may be parallel to a gate line (not shown), but is not limited thereto.

상기 제 1 터치 전극(212)과 상기 제 2 터치 전극(214)은 서로 이격되어 위치한다. 예를 들어, 기판(201) 상에 제 1 방향을 따라 상기 다수의 제 1 터치 전극(212)이 서로 연결된 일체로 형성될 수 있으며, 제 2 방향을 따라 서로 이격된 섬(island) 형상의 다수의 제 2 터치 전극(214)이 형성될 수 있다. 하나의 예시적인 실시형태에서, 상기 제 1 터치 전극(212)은 송신(Tx) 전극이고, 상기 제 2 터치 전극(214)은 수신(Rx) 전극일 수 있다. The first touch electrode 212 and the second touch electrode 214 are spaced apart from each other. For example, the plurality of first touch electrodes 212 may be integrally formed on the substrate 201 in a first direction to be connected to each other, and a plurality of islands in the shape of an island spaced apart from each other along the second direction may be formed. of the second touch electrode 214 may be formed. In one exemplary embodiment, the first touch electrode 212 may be a transmit (Tx) electrode, and the second touch electrode 214 may be a receive (Rx) electrode.

도면으로 표시하지는 않았으나, 터치 패널(TP)에는 제 1 및 제 2 터치 전극(212, 214) 이외에도, 제 1 터치 전극(212)에 연결되는 송신 배선(driving line), 제 2 터치 전극(214)에 연결되는 수신 배선(sensing line), 터치 패드(미도시)가 형성된다. 터치 패드(미도시)는 다수의 송신 배선(미도시) 또는 수신 배선(미도시)와 전기적으로 연결되며, 예를 들어 이방성 도전 필름(anisotropic conductive film)인 접속 수단(미도시)를 통해 표시 패드(미도시)와 전기적으로 연결될 수 있다.Although not shown in the drawings, the touch panel TP includes, in addition to the first and second touch electrodes 212 and 214 , a driving line connected to the first touch electrode 212 , and a second touch electrode 214 . A sensing line connected to the , a touch pad (not shown) is formed. The touch pad (not shown) is electrically connected to a plurality of transmission wirings (not shown) or receiving wirings (not shown), and for example, the display pad through a connection means (not shown) that is an anisotropic conductive film. (not shown) may be electrically connected to.

터치 패널(TP)의 상부에 제 1 및 제 2 터치 전극(112, 124)을 덮는 제 1 버퍼층(332)이 형성된다. 제 1 버퍼층(332)은 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질로 구성될 수 있다. 제 1 버퍼층(332)은 터치 패널(TP)과 평탄화층(310) 사이에 개재되어, 제 1 및 제 2 터치 전극(112, 114)과 평탄화층(310)에 분산되어 있는 다공성 구리 입자 사이의 전기적 쇼트를 방지한다.A first buffer layer 332 covering the first and second touch electrodes 112 and 124 is formed on the touch panel TP. The first buffer layer 332 may be formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx). The first buffer layer 332 is interposed between the touch panel TP and the planarization layer 310 , and is disposed between the first and second touch electrodes 112 and 114 and the porous copper particles dispersed in the planarization layer 310 . Prevent electrical short.

제 1 버퍼층(332)의 상면에 바인더 수지에 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화층(310)이 위치한다. 예를 들어 다공성 구리 입자는 메조포러스 다공성 구리 입자이다. 평탄화층(310) 상부에 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx)와 같은 무기 절연물질로 구성되는 제 2 버퍼층(334)이 위치하여, 평탄화막(330)에 분산되어 있는 다공성 구리 입자와, 게이트 전극(232) 과 같은 어레이 패널(AP)을 구성하는 다수의 전극 및 배선 사이의 전기적 쇼트를 방지한다.A planarization layer 310 in which porous copper particles are dispersed in a binder resin is positioned on the upper surface of the first buffer layer 332 . For example, the porous copper particles are mesoporous porous copper particles. A second buffer layer 334 made of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx) is positioned on the planarization layer 310 , and the porous copper particles dispersed in the planarization layer 330 and , to prevent an electrical short between a plurality of electrodes constituting the array panel AP such as the gate electrode 232 and wiring.

어레이 패널(AP)은 상기 터치 패널(TP) 상부에 위치하며 발광다이오드(E)의 동작을 조절하기 위한 구동 박막트랜지스터(Tr), 스위칭 박막트랜지스터(미도시), 게이트 배선(미도시), 데이터 배선(미도시), 전원배선(미도시)을 포함한다.The array panel AP is located on the touch panel TP and includes a driving thin film transistor Tr for controlling the operation of the light emitting diode E, a switching thin film transistor (not shown), a gate wiring (not shown), and data Includes wiring (not shown) and power wiring (not shown).

도시하지 않았지만, 데이터 배선은 제 2 방향을 따라 연장되고 게이트 배선과 교차하여 화소영역(P)을 정의하며, 고전위 전압을 공급하는 전원 배선은 데이터 배선과 이격되어 위치한다. 상기 스위칭 박막트랜지스터는 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선에 연결된다. 구동 박막트랜지스터(Tr)는 상기 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원 배선에 연결되며 상기 스위칭 박막트랜지스터의 작동에 의해 상기 발광다이오드(E)로 상기 전원 배선의 전압을 인가하게 된다. Although not shown, the data line extends along the second direction and intersects the gate line to define the pixel region P, and the power line for supplying a high potential voltage is located apart from the data line. The switching thin film transistor is connected to the gate line and the data line. The driving thin film transistor Tr is connected to the switching thin film transistor and the power supply wiring, and applies the voltage of the power supply wiring to the light emitting diode E by the operation of the switching thin film transistor.

상기 스위칭 박막트랜지스터와 상기 구동 박막트랜지스터(Tr) 각각은 게이트 전극(232), 게이트 절연막(236), 반도체층(240), 소스 전극(252) 및 드레인 전극(254)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 전극(232)은 평탄화층(310) 상부에 형성되는 제 2 버퍼층(334) 상에 형성된다. 게이트 절연막(236)은 상기 게이트 전극(232)을 덮으며, 상기 반도체층(240)은 상기 게이트 절연막(236) 상에서 상기 게이트 전극(232)과 중첩할 수 있다. 또한, 상기 소스 전극(252)과 상기 드레인 전극(254)은 상기 반도체층(240) 상에서 서로 이격한다.Each of the switching thin film transistor and the driving thin film transistor Tr may include a gate electrode 232 , a gate insulating layer 236 , a semiconductor layer 240 , a source electrode 252 , and a drain electrode 254 . For example, the gate electrode 232 is formed on the second buffer layer 334 formed on the planarization layer 310 . A gate insulating layer 236 may cover the gate electrode 232 , and the semiconductor layer 240 may overlap the gate electrode 232 on the gate insulating layer 236 . In addition, the source electrode 252 and the drain electrode 254 are spaced apart from each other on the semiconductor layer 240 .

예를 들어, 상기 게이트 배선, 상기 게이트 전극(232), 상기 데이터 배선, 상기 소스 전극(252) 및 상기 드레인 전극(254)은 저-저항 금속 물질인 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리, 구리 합금, 몰리브덴, 크롬 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.For example, the gate wiring, the gate electrode 232 , the data wiring, the source electrode 252 , and the drain electrode 254 may be formed of a low-resistance metal material such as aluminum, aluminum alloy, copper, copper alloy, molybdenum. , may be made of any one of chromium.

도 2에서 구동 박막트랜지스터(Tr)의 반도체층(240)은 산화물 반도체층으로 이루어지는 것으로 설명하고 있으며, 산화물 반도체 물질로 이루어지는 반도체층(240)의 보호를 위해 에치-스토퍼(242)가 형성된 구조가 도시되었다. 그러나, 상기 에치-스토퍼(242)가 생략될 수 있음은 자명하다. 또한, 도 2에 도시된 구동 박막트랜지스터(Tr)의 구조에 제한되지 않는다. 예를 들어, 산화물 반도체 물질로 이루어지는 반도체층(240) 대신에, 순수 비정질 실리콘의 액티브층과 불순물 비정질실리콘의 오믹콘택층으로 구성되는 반도체층을 포함하여 구성될 수도 있다. 또한, 폴리실리콘으로 이루어지는 반도체층을 이용하는 탑 게이트 방식의 박막트랜지스터가 포함될 수도 있다. In FIG. 2 , the semiconductor layer 240 of the driving thin film transistor Tr is described as being made of an oxide semiconductor layer, and an etch-stopper 242 is formed to protect the semiconductor layer 240 made of an oxide semiconductor material. was shown However, it is obvious that the etch-stopper 242 may be omitted. Also, the structure of the driving thin film transistor Tr shown in FIG. 2 is not limited. For example, instead of the semiconductor layer 240 made of an oxide semiconductor material, the semiconductor layer may include an active layer of pure amorphous silicon and an ohmic contact layer of impurity amorphous silicon. In addition, a top gate type thin film transistor using a semiconductor layer made of polysilicon may be included.

또한, 구동 박막트랜지스터(Tr)를 덮는 제 1 보호층(260)이 형성되고, 상기 제 1 보호층(260)을 덮으며 평탄한 상면을 제공하는 제 2 보호층(262)이 형성된다. 상기 보호층(260, 262)은 구동 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(254)을 노출하는 드레인 콘택홀(264)을 포함한다. In addition, a first passivation layer 260 covering the driving thin film transistor Tr is formed, and a second passivation layer 262 covering the first passivation layer 260 and providing a flat top surface is formed. The passivation layers 260 and 262 include a drain contact hole 264 exposing the drain electrode 254 of the driving thin film transistor Tr.

상기 제 1보호층(260)은 상기 반도체층(240)과의 접촉 특성 향상 등을 위해 실리콘 산화물이나 실리콘 질화물과 같은 무기 절연물질로 이루어지는데, 무기 절연물질로 이루어지는 상기 제 1 보호층(260)의 하부 구성 요소의 단차에 의해 요철 형태를 가질 수 있다. 상기 제 1 보호층(260) 상에 상기 발광다이오드(E)가 형성되면 유기 발광층(274)의 특성이 저하될 수 있다. 따라서, 상기 제 1 보호층(260) 상에 포토-아크릴(photo-acryl)과 같은 유기 절연물질로 이루어져 평탄한 상면을 갖는 상기 제 2 보호층(262)을 형성하게 된다. 그러나, 상기 제 1 보호층(260) 및 상기 제 2 보호층(262) 중 어느 하나가 생략될 수 있음은 물론이다.The first protective layer 260 is made of an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride to improve contact characteristics with the semiconductor layer 240, and the first protective layer 260 made of an inorganic insulating material. may have a concave-convex shape due to the step difference between the lower components of the . When the light emitting diode E is formed on the first passivation layer 260 , the characteristics of the organic light emitting layer 274 may be deteriorated. Accordingly, the second passivation layer 262 made of an organic insulating material such as photo-acryl and having a flat top surface is formed on the first passivation layer 260 . However, it goes without saying that any one of the first passivation layer 260 and the second passivation layer 262 may be omitted.

제 2 보호층(262) 상에는 상기 화소영역(P)에 대응하여 발광다이오드(E)가 형성된다. 상기 발광다이오드(E)는 구동 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(254)에 전기적으로 연결되는 제 1 전극(272)과, 상기 제 1 전극(272)과 마주하는 제 2 전극(276) 및 제 1 및 제 2 전극(272, 276) 사이에 위치하는 유기발광층(274)을 포함한다. 도면에서는 제 1 전극(272)이 상기 드레인 콘택홀(264)을 통해 상기 구동 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(254)과 접촉하는 것을 보이고 있으나, 별도의 연결 전극을 통해 연결될 수 있음은 물론이다.A light emitting diode E is formed on the second passivation layer 262 to correspond to the pixel region P. The light emitting diode E includes a first electrode 272 electrically connected to the drain electrode 254 of the driving thin film transistor Tr, a second electrode 276 facing the first electrode 272, and a second electrode 276 and an organic light emitting layer 274 positioned between the first and second electrodes 272 and 276 . Although the drawing shows that the first electrode 272 is in contact with the drain electrode 254 of the driving thin film transistor Tr through the drain contact hole 264, it can be connected through a separate connection electrode. .

상기 유기발광층(274)에서 상기 제 1 전극(272)과 상기 제 2 전극(276)에 의해 주입되는 전자와 정공의 결합에 의해 빛이 발생한다. 또한, 상기 제 1 전극(272)의 가장자리에는 상기 화소영역(P)의 경계를 따라 뱅크(277)가 위치하며, 상기 제 1 전극(272) 및 상기 유기발광층(274)은 상기 뱅크(277)를 기준으로 화소영역(P) 별로 분리되어 형성된다. 한편, 상기 제 2 전극(276)은 상기 기판(201) 전체에 대응하여 형성된다.In the organic light emitting layer 274 , light is generated by a combination of electrons and holes injected by the first electrode 272 and the second electrode 276 . In addition, at the edge of the first electrode 272 , a bank 277 is positioned along the boundary of the pixel region P, and the first electrode 272 and the organic light emitting layer 274 are connected to the bank 277 . It is formed by being separated for each pixel area P based on . Meanwhile, the second electrode 276 is formed to correspond to the entire substrate 201 .

이때, 상기 제 1 전극(272)은 양극으로 비교적 일함수 값이 높은 물질로 이루어지며, 예를 들어, ITO, IZO와 같은 투명 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 상기 제 2 전극(276)은 음극으로 비교적 일함수 값이 작은 물질로 이루어질 수 있다. 하나의 예시적인 실시형태에서, 유기발광층(274)에서 방출된 빛은 상기 제 1 전극(272) 및 상기 기판(201)을 통해 외부로 표시되는 하부 발광 방식일 수 있다. 이때, 광 효율을 위해 상기 제 2 전극(276)은 은(Ag), 알루미늄(Al) 또는 알루미늄-마그네슘 합금(AlMg)과 같은 반사 금속 물질로 이루어질 수 있다.In this case, the first electrode 272 as an anode is made of a material having a relatively high work function value, and may be made of, for example, a transparent conductive material such as ITO or IZO. The second electrode 276 is a negative electrode and may be made of a material having a relatively small work function value. In one exemplary embodiment, the light emitted from the organic light emitting layer 274 may be a bottom light emission method that is externally displayed through the first electrode 272 and the substrate 201 . In this case, for light efficiency, the second electrode 276 may be made of a reflective metal material such as silver (Ag), aluminum (Al), or an aluminum-magnesium alloy (AlMg).

아울러, 도시하지는 않았으나 기판(201)과 마주하는 제 2 기판의 상부에 편광판이 위치할 수 있으며, 편광판(미도시) 상부에는 광학 투명 접착제(Optically Clear Adhesive, OCA)를 통하여 커버 윈도우가 배치될 수 있다.In addition, although not shown, a polarizing plate may be positioned on the second substrate facing the substrate 201, and a cover window may be disposed on the polarizing plate (not shown) through an optically clear adhesive (OCA). have.

본 발명의 제 2 실시형태에 따른 표시장치(200)는 어레이 패널(AP)과 터치 패널(TP) 사이에 고내열성 바인더 수지에 분산된 다공성 구리 입자를 갖는 평탄화층(310)이 위치한다. 따라서 어레이 패널(AP)을 구성하는 박막트랜지스터(Tr)을 제조하는 350℃ 이상의 고온 공정에 의해서도 평탄화층(310)은 열화되지 않는다. 이러한 특성으로 인하여, 어레이 패널(AP)이 최종적으로 제조된 이후에도, 평탄화층(310)은 터치 패널(TP)과 어레이 패널(AP)에 견고하게 접착되어 있으므로, 터치 패널(TP)과 어레이 패널(AP)에 대한 합착이 견고하게 유지될 수 있다. In the display device 200 according to the second embodiment of the present invention, a planarization layer 310 having porous copper particles dispersed in a high heat-resistant binder resin is positioned between the array panel AP and the touch panel TP. Accordingly, the planarization layer 310 is not deteriorated even by a high temperature process of 350° C. or higher for manufacturing the thin film transistor Tr constituting the array panel AP. Due to these characteristics, even after the array panel AP is finally manufactured, the planarization layer 310 is firmly adhered to the touch panel TP and the array panel AP, and thus the touch panel TP and the array panel AP AP) can be firmly maintained.

뿐만 아니라, 본 발명에 따른 평탄화층(310)은 고온 공정에 의해서도 그 특성을 유지할 수 있으므로, 고온 공정에 의한 크랙 발생 및/또는 박리(peeling)가 일어나지 않는다. 고온 공정에 의해서도 광-투과율이 저하되지 않으므로 양호한 휘도를 얻을 수 있고, 기공 구조를 가지는 다공성 구리 입자가 분산되어 있으므로 저-유전율을 확보할 수 있어서 구동 전압을 낮출 수 있다. 또한, 기공 구조로 인하여 소자 작동 과정에서 초래될 수 있는 정전기를 신속하게 감쇠, 제거할 수 있으므로 정전기로 인한 소자 작동의 불량이나 수율 저하를 방지할 수 있는 이점이 있다.In addition, since the planarization layer 310 according to the present invention can maintain its properties even by a high-temperature process, cracks and/or peeling by the high-temperature process do not occur. Since the light transmittance is not lowered even by the high-temperature process, good luminance can be obtained, and since the porous copper particles having a pore structure are dispersed, a low dielectric constant can be secured and the driving voltage can be lowered. In addition, due to the pore structure, static electricity that may be caused during the operation of the device can be quickly attenuated and removed, so that it is possible to prevent malfunction of the device or a decrease in yield due to static electricity.

이하, 예시적인 실시예를 통하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 하지만 본 발명이 하기 실시예에 기재된 기술사상으로 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail through exemplary embodiments. However, the present invention is not limited to the technical spirit described in the following examples.

합성예: 메조포러스 구리 입자 합성Synthesis Example: Synthesis of mesoporous copper particles

본 실시예서는 MCM-41 구조를 채택한 메조포러스 구리 입자를 합성하였다. 우선 메조포러스 실리케이트(Si-MCM-41)를 합성하기 위하여 소듐 메타실리케이트를 실리카 도입 물질로 사용하고, 세틸트리메틸암모늄 브로마이드(CTAB)를 계면활성제로 사용하여 수열 조건에서 합성하였다. 기공의 크기는 기 합성된 MCM-41을 테트라에틸오르쏘실리케이트(tetraethyl orthosilicate)로 처리하여 조절하였으며, 구조적 특성이나 물성은 산화구리 전구체로 소성이 되지 않는 Si-MCM-41과 처리하여 조절할 수 있다. 500℃ 이상의 온도에서 소성하여 계면활성제를 포함한 유기물질을 제거하여, 메조포러스 실리케이트를 합성하였다. 제조된 Si-MCM-41에 산화구리 전구체를 첨가하여, 산화구리 전구체가 기공 입구에 함침되어 있는 메조포러스 구리 입자를 합성하였다. In this example, mesoporous copper particles adopting the MCM-41 structure were synthesized. First, to synthesize mesoporous silicate (Si-MCM-41), sodium metasilicate was used as a silica introduction material, and cetyltrimethylammonium bromide (CTAB) was used as a surfactant to synthesize under hydrothermal conditions. The pore size was controlled by treating the synthesized MCM-41 with tetraethyl orthosilicate, and structural properties and physical properties can be controlled by treating with Si-MCM-41, which is not calcined as a copper oxide precursor. . By calcining at a temperature of 500 ° C. or higher to remove organic materials including surfactants, mesoporous silicate was synthesized. A copper oxide precursor was added to the prepared Si-MCM-41 to synthesize mesoporous copper particles in which the copper oxide precursor was impregnated at the pore inlets.

합성된 메조포러스 구리 입자에 대한 분석을 수행하였다. 도 6a의 XRD 분석 결과에서 메조포러스 결정성은 2 ~ 3θ 범위에서 측정되어 육각형 구조를 확인하였다. 도 6b의 FTIR 분광 분석 결과에서 구리 이온의 종류에 따라 IR peak가 1093 ㎝-1 파장 및 988 ㎝-1 에서 존재하는 것을 알 수 있다. 한편 도 6c의 BET 분석 결과로부터 합성된 물질이 메조포러스 물질이라는 것을 알 수 있다. BET 분석과, Barrett-Joyner-Halenda(BJH) 분석과 관련한 N2 흡착 및 탈착을 이용한 다공성 입자의 분석 결과는 하기 표 1에도 표시되어 있다. Analysis was performed on the synthesized mesoporous copper particles. In the XRD analysis result of FIG. 6a, the mesoporous crystallinity was measured in the range of 2 to 3θ to confirm the hexagonal structure. From the FTIR spectroscopic analysis result of FIG. 6b , it can be seen that IR peaks exist at a wavelength of 1093 cm -1 and 988 cm -1 depending on the type of copper ions. Meanwhile, it can be seen from the BET analysis result of FIG. 6c that the synthesized material is a mesoporous material. The results of analysis of porous particles using N 2 adsorption and desorption in relation to BET analysis and Barrett-Joyner-Halenda (BJH) analysis are also shown in Table 1 below.

표 1: 메조포러스 구리 입자에 대한 BET 분석 결과Table 1: BET analysis results for mesoporous copper particles

Figure 112015129490274-pat00001
Figure 112015129490274-pat00001

도 6d의 NMR 분석 결과에서 구리 원자의 peak가 53 ppm 및 0 ppm이었다. 도 6e 및 도 6f의 현미경 사진에서 알 수 있는 바와 같이, 육각형 형상의 메조포러스 물질이 합성된 것을 확인하였다. In the NMR analysis result of FIG. 6d, the peaks of copper atoms were 53 ppm and 0 ppm. As can be seen from the micrographs of FIGS. 6E and 6F , it was confirmed that a hexagonal mesoporous material was synthesized.

실시예 1: 평탄화 절연막 제조Example 1: Preparation of a planarization insulating film

합성예에서 얻은 다공성 구리 입자가 분산된 평탄화 절연막을 제조하여, 이를 bare 글라스에 적용하였다. 폴리실록산계 바인더 수지를 제조하기 위하여 TEOS와 실세스퀴옥산이 배합된 반응성 성분 5 ~ 40 중량부, PGME(프로필렌글리콜 메틸에테르)와 NMP(N-메틸피롤리돈)이 배합된 용매 40 ~ 100 중량부, 합성예에서 얻은 메조포러스 구리 입자 0.5 ~ 10 중량부, 가교촉진제인 POSS 0.5 ~ 5 중량부, 첨가제인 계면활성제 0.5 ~ 5 중량부가 배합된 바인더 조성물을 bare 글라스에 코팅하였다. 110℃에서 120초 프리 베이킹하고, 다시 350℃에서 30분 동안 포스트 베이킹 처리하여, 메조포러스 구리 입자가 분산된 폴리실록산 바인더로 구성되는 평탄화 절연막을 bare 글라스에 2.0 ㎚의 두께로 형성하였다. A planarization insulating film in which the porous copper particles obtained in Synthesis Example were dispersed was prepared, and this was applied to bare glass. To prepare a polysiloxane-based binder resin, 5 to 40 parts by weight of a reactive component in which TEOS and silsesquioxane are blended, and 40 to 100 parts by weight of a solvent in which PGME (propylene glycol methyl ether) and NMP (N-methylpyrrolidone) are blended. Part, 0.5 to 10 parts by weight of the mesoporous copper particles obtained in Synthesis Example, 0.5 to 5 parts by weight of POSS as a crosslinking accelerator, and 0.5 to 5 parts by weight of surfactant as an additive were coated on bare glass. Pre-baking at 110° C. for 120 seconds, and post-baking at 350° C. for 30 minutes again, a planarization insulating film composed of a polysiloxane binder in which mesoporous copper particles are dispersed was formed on the bare glass to a thickness of 2.0 nm.

비교예 1: 아크릴레이트계 수지(Over-coat)의 평탄화 절연막 제조Comparative Example 1: Preparation of planarization insulating film of acrylate-based resin (over-coat)

아크릴레이트계 모노머를 사용하여 UV 경화시켜서 얻은 over-coat층을 bare 글라스에 형성하여 평탄화 절연막을 제조하였다. An over-coat layer obtained by UV curing using an acrylate-based monomer was formed on bare glass to prepare a planarization insulating film.

비교예 2: 다공성 입자가 없는 폴리실록산계 바인더 수지의 평탄화 절연막 제조Comparative Example 2: Preparation of a planarization insulating film of polysiloxane-based binder resin without porous particles

합성예에서 합성된 다공성 입자를 사용하지 않은 것을 제외하고 실시예 1의 절차를 반복하여 평탄화 절연막을 bare 글라스에 형성하였다.The procedure of Example 1 was repeated except that the porous particles synthesized in the synthesis example were not used to form a planarization insulating film on the bare glass.

비교예 3: 다공성 알루미늄(Al) 입자가 분산된 폴리실록산계 바인더 수지의 평탄화 절연막 제조Comparative Example 3: Preparation of a planarization insulating film of polysiloxane-based binder resin in which porous aluminum (Al) particles are dispersed

합성예에서 합성된 메조포러스 구리 입자를 대신하여 메조포러스 알루미늄 입자를 사용한 것을 제외하고 실시예 1의 절차를 반복하여 평탄화 절연막을 bare 글라스에 형성하였다.The procedure of Example 1 was repeated except that mesoporous aluminum particles were used instead of the mesoporous copper particles synthesized in Synthesis Example to form a planarization insulating film on bare glass.

비교예 4: 다공성 크롬(Cr) 입자가 분산된 폴리실록산계 바인더 수지의 평탄화 절연막 제조Comparative Example 4: Preparation of a planarization insulating film of polysiloxane-based binder resin in which porous chromium (Cr) particles are dispersed

합성예에서 합성된 메조포러스 다공성 구리 입자를 대신하여 메조포러스 크롬 입자를 사용한 것을 제외하고 실시예 1의 절차를 반복하여 평탄화 절연막을 bare 글라스에 형성하였다.The procedure of Example 1 was repeated except that mesoporous chromium particles were used instead of the mesoporous porous copper particles synthesized in Synthesis Example to form a planarization insulating film on bare glass.

실시예 2: 평탄화 절연막의 접착력 평가Example 2: Evaluation of the adhesion of the planarization insulating film

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막에 대한 접착력을 분석하였다. 메조포러스 구리 입자가 사용된 평탄화 절연막은 기재에 대한 접착력에 아무런 문제가 없었으나(도 7a), 비교예에서 제조된 평탄화 절연막은 모두 접착력에 문제가 있었다(도 7b 내지 도 7e). 따라서 본 발명의 평탄화 절연막은 재료 공정성이 우수하여 생산 수율을 개선할 수 있으며, 생산 시간 및 제품 단가를 절감할 수 있을 것으로 평가되었다. Adhesion to each of the planarization insulating films prepared in Example 1 and Comparative Examples 1-4 was analyzed. The planarization insulating film using mesoporous copper particles had no problem in adhesion to the substrate (Fig. 7a), but all of the planarization insulating films prepared in Comparative Example had problems in adhesion (Figs. 7b to 7e). Therefore, it was evaluated that the planarization insulating film of the present invention has excellent material processability to improve production yield and reduce production time and product cost.

실시예 3: 평탄화 절연막의 크랙 특성 평가Example 3: Evaluation of crack characteristics of planarization insulating film

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 절연막 형태의 평탄화 절연막에 대한 크랙 특성을 분석하였다. 메조포러스 구리 입자가 사용된 평탄화 절연막은 크랙이 발생하지 않은 반면(도 8a), 비교예에서 제조된 평탄화 절연막은 모두 크랙이 발생하였다(도 8b 내지 도 8e). 실시예 2에서와 마찬가지로, 본 발명의 평탄화 절연막은 재료 공정성이 양호하며, 생산 수율 등에서 우수할 것으로 평가되었다. The crack characteristics of the planarized insulating films in the form of insulating films prepared in Example 1 and Comparative Examples 1-4, respectively, were analyzed. The planarization insulating film using mesoporous copper particles did not crack ( FIG. 8A ), whereas the planarization insulating film prepared in Comparative Example all had cracks ( FIGS. 8B to 8E ). As in Example 2, the planarization insulating film of the present invention was evaluated to have good material processability and excellent production yield and the like.

실시예 4: 평탄화 절연막의 박리 강도(peel strength) 측정Example 4: Measurement of peel strength of a planarization insulating film

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막에 대한 박리 강도를 측정하였다. 측정 모드는 정-하중 모드, 수평속도는 1,000 ㎚/sec, 수직속도는 5 ㎚/sec, 수직하중은 0.2N, Blade는 Diamond cutter 0.3 ㎜이었다. 측정 결과는 도 9a 내지 9e에 도시되어 있으며, 하기 표 2에도 표시되어 있다. 본 발명에 따라 제조된 평탄화 절연막은 열에 대한 스트레스의 민감도가 적어서, 박리 강도가 매우 우수하다는 것을 알 수 있다. Peel strength of each of the planarization insulating films prepared in Example 1 and Comparative Examples 1-4 was measured. Measurement mode was constant-load mode, horizontal speed was 1,000 nm/sec, vertical speed was 5 nm/sec, vertical load was 0.2N, and blade was diamond cutter 0.3 mm. The measurement results are shown in FIGS. 9A to 9E, and are also shown in Table 2 below. It can be seen that the planarization insulating film prepared according to the present invention has very good peel strength because the sensitivity to stress to heat is small.

표 2: 평탄화 절연막의 박리 강도Table 2: Peel strength of planarized insulating film

Figure 112015129490274-pat00002
Figure 112015129490274-pat00002

실시예 5: 평탄화 절연막의 투과율 측정Example 5: Measurement of transmittance of planarized insulating film

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막을 장기간 고온에 방치한 뒤, 투과율을 측정하였다. 측정 결과는 하기 표 3 내지 표 7에 표시되어 있다. After leaving the planarized insulating films prepared in Example 1 and Comparative Examples 1-4 respectively at a high temperature for a long period of time, transmittance was measured. The measurement results are shown in Tables 3 to 7 below.

이들 결과에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따라 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화 절연막은 열이 박막 내에 trap되지 않고 쉽게 배출하면서 박막 내 잔존해 있는 미-반응물과 열에 의한 반응을 최소화 할 수 있으며, 고온(350℃)공정에 따른 투과변화율 1.3%로 비교예보다 우수하였다. 얼룩 관점에서 고온 (350℃)공정에 따른 투과변화율이 3.0% 정도 변화면 투과 특성에 있어서 황변 및 황태 얼룩이 발생하는 문제점이 발생하며, 내열성이 부족하다는 것을 의미하는데, 비교예의 평탄화 절연막은 고온 공정에서 내열성이 부족하다는 것을 보여준다.As can be seen from these results, the planarization insulating film in which the mesoporous copper particles are dispersed according to the present invention can minimize the reaction by heat with non-reactants remaining in the thin film while easily discharging heat without being trapped in the thin film. It was superior to the comparative example with a transmittance change rate of 1.3% according to the (350° C.) process. In terms of staining, if the change in transmittance rate according to the high temperature (350°C) process changes by about 3.0%, there is a problem of yellowing and yellowish stains in the transmittance characteristics, which means that the heat resistance is insufficient. It shows the lack of heat resistance.

표 3: 메조포러스 구리 입자가 분산된 평탄화 절연막의 투과율Table 3: Transmittance of planarized insulating film in which mesoporous copper particles are dispersed

Figure 112015129490274-pat00003
Figure 112015129490274-pat00003

표 4: 아크릴레이트 바인더 평탄화 절연막의 투과율Table 4: Transmittance of acrylate binder planarization insulating film

Figure 112015129490274-pat00004
Figure 112015129490274-pat00004

표 5: 메조포러스 입자가 없는 평탄화 절연막의 투과율Table 5: Transmittance of planarized insulating film without mesoporous particles

Figure 112015129490274-pat00005
Figure 112015129490274-pat00005

표 6: 메조포러스 알루미늄 입자가 분산된 평탄화막의 투과율Table 6: Transmittance of planarization film in which mesoporous aluminum particles are dispersed

Figure 112015129490274-pat00006
Figure 112015129490274-pat00006

표 7: 메조포러스 크롬 입자가 분산된 평탄화 절연막의 투과율Table 7: Transmittance of planarized insulating film in which mesoporous chromium particles are dispersed

Figure 112015129490274-pat00007
Figure 112015129490274-pat00007

실시예 6: 유전율 측정Example 6: Measurement of dielectric constant

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막의 유전율을 측정하였다. Dot pattern 의 하부전극 상에 위에서 실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 절연막을 전면 코팅하고, Dot pattern 위로 상부전극(Al square pattern)을 증착하였다. 하부전극 측정용 tip contact 부분 insulator를 제거하고, 상/하부 전극간 유전율을 측정하였다(100kHz기준). 각각의 유전막 샘플을 제작한 후 시간차 별로 측정하였으며, 측정할 때마다 최소 5 point 이상 측정하였다. 측정값 평균 및 두께에 의한 유전율 표준편차가 표 8에 표시되어 있다. The dielectric constant of each of the planarization insulating films prepared in Example 1 and Comparative Examples 1-4 was measured. On the lower electrode of the dot pattern, the insulating films prepared in Example 1 and Comparative Examples 1-4 were coated on the entire surface, and an upper electrode (Al square pattern) was deposited on the dot pattern. The tip contact part insulator for measuring the lower electrode was removed, and the dielectric constant between the upper and lower electrodes was measured (based on 100 kHz). After each dielectric film sample was prepared, it was measured for each time difference, and at least 5 points were measured each time it was measured. Table 8 shows the average of the measured values and the standard deviation of the permittivity by thickness.

본 발명에 따라 메조포러스 구리 입자가 분산된 바인더 수지로 제조된 평탄화 절연막의 경우, 입자 내 기공 크기의 영향으로 bulky한 특성을 확보하였으며, Packing density가 낮아져 유전율이 3.02 수준으로 상대적으로 낮았다. 따라서 기생전류가 발생하지 않음으로, 구동 전압을 낮출 수 있을 것으로 평가된다. In the case of the planarization insulating film made of the binder resin in which the mesoporous copper particles are dispersed according to the present invention, bulky characteristics were secured due to the influence of the pore size in the particles, and the packing density was lowered, so the dielectric constant was relatively low at 3.02 level. Therefore, it is estimated that the driving voltage can be lowered because no parasitic current is generated.

표 8: 평탄화 절연막의 유전율Table 8: Permittivity of planarization insulating film

Figure 112015129490274-pat00008
Figure 112015129490274-pat00008

실시예 7: 평탄화 절연막의 정전기 감쇠 효과 측정Example 7: Measurement of the static damping effect of the planarization insulating film

실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막의 정전기 감쇠 정도를 측정하였다. 전압을 인가한 후에 도전막에 정전기가 생성되면 전압이 상승하여 포화 전압(saturation voltage)이 생성되는데, 포화된 전압이 1/2 수준으로 감쇠되는데 소요되는 시간을 측정하였다. 코로나 방전 방식으로 일정 전압 대전 후 감쇠시간 측정(마찰 전기식, 직접 전압인가에 비해 재현성과 정밀도 우수), 감쇠시간(50%) 측정 범위는 70 ms ~ 23 hrs(0.001초 단위 표시 가능)이다(STATIC HONESTMETER, 모델명: H-0110). 측정 결과는 표 9에 표시되어 있다. The degree of static attenuation of each of the planarization insulating films prepared in Example 1 and Comparative Examples 1-4 was measured. When static electricity is generated in the conductive layer after voltage is applied, the voltage rises to generate a saturation voltage, and the time it takes for the saturated voltage to decay to 1/2 level was measured. Decay time measurement after constant voltage charging by corona discharge method (friction electric type, superior reproducibility and precision compared to direct voltage application), attenuation time (50%) measurement range is 70 ms to 23 hrs (displayable in increments of 0.001 seconds) (STATIC HONESTMETER, model name: H-0110). The measurement results are shown in Table 9.

본 발명에 따라 메조포러스 구리 입자가 분산되어 있는 절연막의 정전기 감쇠 시간은 1 sec 이내로 정전기를 신속하게 배출하였다. 하지만, 비교예에서 제조된 절연막의 정전기 감쇠 시간은 5 sec 이상으로 정전기 배출이 늦었다. 즉, 비교예의 평탄화 절연막은 정전기에 취약하여, 정전기가 발생할 경우에 Panel 구동에 문제가 발생하여 수율에 영향을 미칠 수 있을 것으로 평가되었다.According to the present invention, the static decay time of the insulating film in which the mesoporous copper particles are dispersed is within 1 sec, and the static electricity is rapidly discharged. However, the static decay time of the insulating film prepared in Comparative Example was 5 sec or more, so static discharge was slow. That is, it was evaluated that the planarization insulating film of the comparative example was vulnerable to static electricity, and when static electricity was generated, a problem occurred in driving the panel, which could affect the yield.

표 9: 평탄화 절연막의 정전기 감쇠 시간Table 9: Static decay time of planarized insulating film

Figure 112015129490274-pat00009
Figure 112015129490274-pat00009

실시예 8: 하부 금속 기반 평탄화막 제조 크랙 특성 평가Example 8: Evaluation of Crack Characteristics for Manufacturing a Lower Metal-Based Planarization Film

글라스 기판에 금속 전극으로서 Cu를 5000 두께로 적층하고, 그 상부에 제 1 버퍼층으로 실리콘 질화물을 1000 두께로 적층하였다. 제 1 버퍼층의 상부에 실시예 1 및 비교예 1-4에서 각각 제조된 평탄화 절연막을 2-4 ㎛의 두께로 코팅, 형성한 뒤, 평탄화 절연막의 상부에 제 2 버퍼층으로 실리콘 질화물을 다시 1000 두께로 적층하였다. 제 2 버퍼층의 상부를 350℃ 이상의 고온에 방치하고, 열팽창계수의 조절 여부에 따라, 평탄화 절연막과 버퍼층 사이에서의 크랙 발생이나 들뜸 정도를 평가하였다. 본 발명에 따라 메조포러스 구리 입자가 분사된 평탄화 절연막에서는 크랙이나 들뜸 현상이 없었으나(도 10a), 비교예에서 제조된 평탄화 절연막에서 크랙이 발생한 것을 알 수 있다(도 10b 내지 도 10e). 즉, 본 발명에 따라 제조된 절연막은 고온 공정에 있어서 상층과 하층 사이의 들뜸이나 크랙을 완화시켜주는 열적 스트레스 매칭(stress matching)이 양호한 우수한 열팽창계수를 가지고 있다. Cu was laminated to a thickness of 5000 as a metal electrode on a glass substrate, and silicon nitride was laminated to a thickness of 1000 as a first buffer layer thereon. After coating and forming the planarization insulating film prepared in Example 1 and Comparative Examples 1-4 to a thickness of 2-4 μm on the first buffer layer, silicon nitride is again 1,000 thick as a second buffer layer on the planarization insulating film was laminated with The upper portion of the second buffer layer was left at a high temperature of 350° C. or higher, and the degree of cracking or lifting between the planarization insulating film and the buffer layer was evaluated according to whether the coefficient of thermal expansion was adjusted. According to the present invention, there was no crack or lifting phenomenon in the planarization insulating film sprayed with mesoporous copper particles (Fig. 10a), but it can be seen that cracks occurred in the planarization insulating film prepared in Comparative Example (Figs. 10b to 10e). That is, the insulating film manufactured according to the present invention has an excellent thermal expansion coefficient with good thermal stress matching that alleviates the lifting or cracking between the upper and lower layers in a high-temperature process.

상기에서는 본 발명의 예시적인 실시형태 및 실시예에 기초하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명이 상기 실시형태 및 실시예에 기재된 기술사상으로 한정되지 않는다. 오히려, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 전술한 실시형태 및 실시예에 기초하여 다양한 변형과 변경을 용이하게 추고할 수 있다. 하지만, 이와 같은 변형과 변경은 모두 본 발명의 권리범위에 속한다는 사실은 첨부하는 청구의 범위를 통하여 더욱 분명해질 것이다.
In the above, the present invention has been described based on exemplary embodiments and examples of the present invention, but the present invention is not limited to the technical ideas described in the above embodiments and examples. Rather, those skilled in the art to which the present invention pertains can easily propose various modifications and changes based on the above-described embodiments and examples. However, it will become clearer through the appended claims that all such modifications and changes fall within the scope of the present invention.

100, 200: 표시장치 101, 201: 제 1 기판
102, 202: 제 2 기판 300: 평탄화막
310: 평탄화층 312: 바인더 수지
320: 다공성 구리 입자 332, 334: 버퍼층
AP: 어레이 패널 DP: 표시 패널
TP: 터치 패널 Tr: 박막트랜지스터
E: 유기발광다이오드 P: 표시 영역
100, 200: display device 101, 201: first substrate
102, 202: second substrate 300: planarization film
310: planarization layer 312: binder resin
320: porous copper particles 332, 334: buffer layer
AP: Array panel DP: Display panel
TP: Touch panel Tr: Thin film transistor
E: organic light emitting diode P: display area

Claims (14)

기판 상에 위치하는 터치 패널과;
상기 터치 패널과 이격하여 위치하는 박막트랜지스터와;
상기 터치 패널과 상기 박막트랜지스터 사이에 개재되는 평탄화층을 포함하고,
상기 평탄화층은 바인더 수지에 분산된 다공성(porous) 구리 입자를 포함하고, 상기 다공성 구리 입자는 다공성 실리케이트(silicate) 입자에 구리 입자가 함침되어 있는(impregnated) 표시장치용 어레이 기판.
a touch panel positioned on the substrate;
a thin film transistor spaced apart from the touch panel;
a planarization layer interposed between the touch panel and the thin film transistor;
The planarization layer includes porous copper particles dispersed in a binder resin, wherein the porous copper particles are impregnated with porous silicate particles.
제 1항에 있어서,
상기 터치 패널과 상기 평탄화층 사이에 위치하는 제 1 버퍼층과, 상기 평탄화층과 상기 박막트랜지스터 사이에 위치하는 제 2 버퍼층을 더욱 포함하는 표시장치용 어레이 기판.
The method of claim 1,
The array substrate for a display device further comprising: a first buffer layer positioned between the touch panel and the planarization layer; and a second buffer layer positioned between the planarization layer and the thin film transistor.
제 1항에 있어서,
상기 다공성 구리 입자는 메조포러스(mesoporous) 구리 입자를 포함하는 표시장치용 어레이 기판.
The method of claim 1,
The porous copper particles include an array substrate for a display device including mesoporous copper particles.
제 1항에 있어서,
상기 바인더 수지는 폴리실록산계 수지, 폴리이미드계 수지 및 이들의 조합으로 구성되는 군에서 선택되는 표시장치용 어레이 기판.
The method of claim 1,
The binder resin is an array substrate for a display device selected from the group consisting of polysiloxane-based resins, polyimide-based resins, and combinations thereof.
제 1항에 있어서,
상기 다공성 구리 입자는 상기 바인더 수지에 0.5 ~ 10 중량부의 비율로 상기 바인더 수지에 분산된 표시장치용 어레이 기판.
The method of claim 1,
The porous copper particles are dispersed in the binder resin in a ratio of 0.5 to 10 parts by weight to the binder resin array substrate for a display device.
삭제delete 제 1 기판과;
상기 제 1 기판 상에 위치하는 터치 패널과;
상기 터치 패널과 이격하여 위치하는 표시 패널과;
상기 터치 패널과 상기 표시 패널 사이에 개재되는 평탄화층을 포함하고,
상기 평탄화층은 바인더 수지에 분산된 다공성(porous) 구리 입자를 포함하고, 상기 다공성 구리 입자는 다공성 실리케이트(silicate) 입자에 구리 입자가 함침되어 있는(impregnated) 는 표시장치.
a first substrate;
a touch panel positioned on the first substrate;
a display panel spaced apart from the touch panel;
a planarization layer interposed between the touch panel and the display panel;
wherein the planarization layer includes porous copper particles dispersed in a binder resin, and wherein the porous copper particles are impregnated with porous silicate particles.
제 7항에 있어서,
상기 터치 패널과 상기 평탄화층 사이에 위치하는 제 1 버퍼층과, 상기 평탄화층과 상기 표시 패널 사이에 위치하는 제 2 버퍼층을 더욱 포함하는 표시장치.
8. The method of claim 7,
The display device further comprising: a first buffer layer positioned between the touch panel and the planarization layer; and a second buffer layer positioned between the planarization layer and the display panel.
제 7항에 있어서,
상기 다공성 구리 입자는 메조포러스(mesoporous) 구리 입자를 포함하는 표시장치.
8. The method of claim 7,
The porous copper particles include mesoporous copper particles.
제 7항에 있어서,
상기 바인더 수지는 폴리실록산계 수지, 폴리이미드계 수지 및 이들의 조합으로 구성되는 군에서 선택되는 표시장치.
8. The method of claim 7,
The binder resin is a display device selected from the group consisting of polysiloxane-based resins, polyimide-based resins, and combinations thereof.
제 7항에 있어서,
상기 다공성 구리 입자는 상기 바인더 수지에 0.5 내지 10 중량부의 비율로 상기 바인더 수지에 분산된 표시장치.
8. The method of claim 7,
The porous copper particles are dispersed in the binder resin in an amount of 0.5 to 10 parts by weight to the binder resin.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 다공성 실리케이트는 테트라메틸 오르쏘실리케이트, 테트라에틸 오르쏘실리케이트 또는 소듐 메타실리케이트를 포함하는 표시장치용 어레이 기판.
The method of claim 1,
The porous silicate includes tetramethyl orthosilicate, tetraethyl orthosilicate or sodium metasilicate.
제 7항에 있어서,
상기 다공성 실리케이트는 테트라메틸 오르쏘실리케이트, 테트라에틸 오르쏘실리케이트 또는 소듐 메타실리케이트를 포함하는 표시장치.
8. The method of claim 7,
The porous silicate includes tetramethyl orthosilicate, tetraethyl orthosilicate or sodium metasilicate.
KR1020150191568A 2015-12-31 2015-12-31 Array substrate with enhanced thermal resistance and display device having thereof KR102431688B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150191568A KR102431688B1 (en) 2015-12-31 2015-12-31 Array substrate with enhanced thermal resistance and display device having thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150191568A KR102431688B1 (en) 2015-12-31 2015-12-31 Array substrate with enhanced thermal resistance and display device having thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170081002A KR20170081002A (en) 2017-07-11
KR102431688B1 true KR102431688B1 (en) 2022-08-11

Family

ID=59355100

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150191568A KR102431688B1 (en) 2015-12-31 2015-12-31 Array substrate with enhanced thermal resistance and display device having thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102431688B1 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102375850B1 (en) * 2017-10-26 2022-03-16 엘지디스플레이 주식회사 Display device with integrated touch screen
JP7297424B2 (en) 2018-10-23 2023-06-26 エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド Display device
KR20210085125A (en) * 2019-12-30 2021-07-08 엘지디스플레이 주식회사 Display apparatus for preventing separation of black matrix thereform
KR20220096762A (en) 2020-12-31 2022-07-07 엘지디스플레이 주식회사 Touch Display Apparatus

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101551757B1 (en) * 2014-12-30 2015-09-10 삼성에스디아이 주식회사 Composition for forming porous heat-resistance layer, separators comprising the porous heat-resistance layer, electrochemical battery using the separator, and method for preparing the separator

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101520423B1 (en) * 2011-04-21 2015-05-14 엘지디스플레이 주식회사 Touch sensor in-cell type liquid crystal display device and method of fabricating the same
KR101675457B1 (en) * 2013-02-12 2016-11-14 한국화학연구원 A fabrication method of metal-containg particles using ordered porous carbon templates
KR102225289B1 (en) * 2014-04-29 2021-03-08 엘지디스플레이 주식회사 Flexible display device and manufacturing method thereof

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101551757B1 (en) * 2014-12-30 2015-09-10 삼성에스디아이 주식회사 Composition for forming porous heat-resistance layer, separators comprising the porous heat-resistance layer, electrochemical battery using the separator, and method for preparing the separator

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170081002A (en) 2017-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102431688B1 (en) Array substrate with enhanced thermal resistance and display device having thereof
JP5326307B2 (en) Silica porous body, laminated body and composition for optical use, and method for producing silica porous body
JP5556878B2 (en) Laminated cover substrate for solar cell, solar cell, and method for producing laminated cover substrate for solar cell
KR100781423B1 (en) Flexible substrate and coating liquid
JP5239663B2 (en) Method for producing silica-based porous membrane
CN103930272B (en) Fire-retardant composite component
KR20190022487A (en) Polyimide resin, polyimide resin composition, touch panel using the same, manufacturing method thereof, color filter and manufacturing method thereof, liquid crystal device and manufacturing method thereof, organic EL device and manufacturing method thereof
CN107263892A (en) The manufacture method of flexible base board
KR20090097861A (en) Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device
JP2011098880A (en) Method for producing silica-based porous body
KR20150116396A (en) Low refractive composition, method for producing the same, and transparent conductive film
JP2011207751A (en) Method for producing porous siliceous film
CN105206646A (en) Display substrate and manufacturing method thereof and display device
KR101489959B1 (en) Gas barrier film, method for preparing thereof and display display member comprising the same
KR20180078414A (en) Transparent Conductive Layer And Liquid Crystal Display Device Comprising The Same
TWI772599B (en) Coating composition, conductive film, and liquid crystal display panel
KR102213829B1 (en) Coating composition, conductive film, touch panel and manufacturing method
KR20140120557A (en) Moisture transmission resistant coating composition comprising graphene oxide and silicon
JP5742519B2 (en) Ceramic porous body
JP6094308B2 (en) Silica porous membrane
JP5685884B2 (en) Silica body and method for producing the same
KR20180068076A (en) Nano particle, insulator film and display device having the particle
KR101340820B1 (en) Plastic substrate
KR102391354B1 (en) Light shielding material and display device comprising of the same
TW202122470A (en) Optical film and flexible display device having high chemical stability

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant