KR102189282B1 - Method for controlling a process equipment - Google Patents

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Abstract

공정 설비 제어 방법은 모바일 장치를 이용하여 공정 설비에 웹브라우저를 통해 무선 접속하는 단계, 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 휴대한 상태로 상기 공정 설비 중 그 전체적인 동작을 제어하는 제어부와 사각 지대에 위치한 어느 한 구동 유닛으로 이동하는 단계 및 상기 어느 한 구동 유닛을 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계를 포함한다.The process facility control method includes the steps of wirelessly connecting to a process facility through a web browser using a mobile device, and a control unit and a blind spot controlling the overall operation of the process facility while carrying a mobile device wirelessly connected to the process facility. And moving to any one drive unit located at and remotely driving the one drive unit using a mobile device wirelessly connected to the process facility.

Description

공정 설비 제어 방법{METHOD FOR CONTROLLING A PROCESS EQUIPMENT}Process equipment control method {METHOD FOR CONTROLLING A PROCESS EQUIPMENT}

본 발명은 공정 설비 제어 방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 반도체 소자를 제조하기 위한 공정 설비를 원격으로 구동시킬 수 있는 제어 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a process equipment control method, and more particularly, to a control method capable of remotely driving a process equipment for manufacturing a semiconductor device.

일반적으로, 반도체 소자는 칩이 기판 상에 연결된 구조를 갖는 전자 부품 중의 하나이다. 상기 반도체 소자는 일 예로, 디램(DRAM), 에스램(SRAM) 등과 같은 메모리 소자를 포함할 수 있다.In general, a semiconductor device is one of electronic components having a structure in which a chip is connected on a substrate. The semiconductor device may include, for example, a memory device such as DRAM or SRAM.

상기 반도체 소자는 실리콘 재질의 얇은 단결정 기판으로 이루어진 웨이퍼(wafer)를 기초로 하여 제조된다. 구체적으로, 상기 반도체 소자는 상기 웨이퍼 상에 회로 패턴이 증착 및 식각 방식을 통해 패터닝된 다수의 칩들을 형성하는 팹 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 칩들 각각을 기판들 각각에 전기적으로 연결시키는 본딩 공정 등을 수행하여 제조된다. The semiconductor device is manufactured on the basis of a wafer made of a thin single crystal substrate made of silicon. Specifically, in the semiconductor device, a fab process for forming a plurality of chips patterned on the wafer through a circuit pattern deposition and etching method, and a bonding process for electrically connecting each of the chips formed in the fab process to each of the substrates And the like.

이와 같은 공정들은 각각의 특성에 맞게 개발된 각 공정 설비에서 진행된다. 이에, 상기 공정 설비는 상기 반도체 소자의 생산성 향상을 위하여 통상적으로 자동화 시스템으로 운영되고 있다.These processes are carried out in each process facility developed for each characteristic. Accordingly, the process equipment is generally operated as an automated system to improve the productivity of the semiconductor device.

하지만, 상기 공정 설비는 최초 상기 반도체 소자의 생산 공장 내부에 설치할 때 그 자동화 동작을 설계된 내용에 따라 설정하기 위한 셋업 작업 또는 자동화 공정 도중 발생되는 고장을 수리하기 위한 유지 보수 작업 등의 수동적인 구동이 필요할 때도 있다.However, when the process equipment is initially installed inside the production plant of the semiconductor device, manual operation such as setup work to set the automation operation according to the design content or maintenance work to repair failures occurring during the automation process is not required. Sometimes you need it.

이에, 최근 상기 반도체 소자가 대량 생산화 추세에 있음에 따라 상기 공정 설비의 사이즈도 커지고 있으므로, 상기 공정 설비를 수동 동작 시키고자 그 제어부를 조작할 경우 상기 공정 설비의 상기 제어부로부터 거리가 멀어 상기 제어부를 조작하는 작업자가 볼 수 없는 사각 지대의 구동 유닛에 대해서는 상기 제어부와 상기 사각 지대의 구동 유닛 각각에 두 명의 작업자가 위치해야 하거나, 한 명의 작업자가 이 두 위치를 번갈아 이동하면서 수동 작업을 진행해야 하는 불편함이 있다. Accordingly, the size of the process facility is also increasing as the semiconductor device is mass-produced in recent years. Therefore, when the control unit is operated to manually operate the process facility, the control unit is far from the control unit of the process facility. For the driving unit of the blind spot that cannot be seen by the operator who operates the operation, two workers must be located in each of the control unit and the driving unit of the blind spot, or one operator must perform manual work while alternately moving these two positions. There is a discomfort.

대한민국 특허공개 제10-2005-0112733호 (공개일; 2005.12.01, 반도체 제조설비의 공정자동 제어방법)Korean Patent Publication No. 10-2005-0112733 (Publication date; 2005.12.01, Automatic process control method of semiconductor manufacturing facilities) 대한민국 특허공개 제10-1997-0077079호 (공개일; 1997.12.12, 반도체 공정설비의 제어장치)Korean Patent Publication No. 10-1997-0077079 (published date; 1997.12.12, semiconductor process equipment control device)

본 발명의 목적은 공정 설비를 원격 구동시킬 수 있는 공정 설비 제어 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a process equipment control method capable of remotely driving a process equipment.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 공정 설비 제어 방법은 모바일 장치를 이용하여 공정 설비에 웹브라우저를 통해 무선 접속하는 단계, 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 휴대한 상태로 상기 공정 설비 중 그 전체적인 동작을 제어하는 제어부와 사각 지대에 위치한 어느 한 구동 유닛으로 이동하는 단계 및 상기 어느 한 구동 유닛을 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계를 포함한다.In order to achieve the object of the present invention described above, a method for controlling a process facility according to a feature includes the steps of wirelessly connecting to a process facility through a web browser using a mobile device, and carrying a mobile device wirelessly connected to the process facility. And moving to a control unit that controls the overall operation of the process equipment and one driving unit located in a blind spot, and remotely driving the one driving unit using a mobile device wirelessly connected to the process facility. do.

일 실시예에 따른 상기 무선 접속하는 단계는 상기 공정 설비에서 보안 코드를 부여하는 단계 및 상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하여 상기 모바일 장치를 상기 공정 설비에 무선 접속하는 단계를 포함할 수 있다.The wireless accessing according to an embodiment may include providing a security code at the process facility and wirelessly connecting the mobile device to the process facility by inputting the given security code to the mobile device. have.

일 실시예에 따른 상기 공정 설비 제어 방법은 상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하는 단계가 진행될 때 그 전에 상기 공정 설비와 무선 접속된 다른 모바일 장치는 접속이 차단되는 것을 특징으로 할 수 있다.The process facility control method according to an embodiment may be characterized in that when the step of inputting the given security code to the mobile device proceeds, access to other mobile devices wirelessly connected to the process facility before that is performed. .

일 실시예에 따른 상기 어느 한 구동 유닛을 상기 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계는 상기 모바일 장치에 구동 목표값을 설정하는 단계, 상기 설정된 목표값에 따라 상기 구동 유닛을 원격 구동시키는 단계, 상기 구동된 구동 유닛이 상기 설정된 목표값에 따라 구동되었는지 확인하는 단계 및 상기 확인한 결과, 상기 구동 유닛이 상기 설정된 목표값으로 구동되지 않았을 경우에는 상기 구동 유닛을 재구동시키고, 상기 설정된 목표값으로 구동되었을경우에는 상기 공정 설비의 제어부에 이를 저장하는 단계를 포함할 수 있다. The step of remotely driving the one driving unit using the mobile device according to an embodiment includes: setting a driving target value on the mobile device, remotely driving the driving unit according to the set target value, the Checking whether the driven drive unit is driven according to the set target value, and when the check result, if the drive unit is not driven to the set target value, restarts the drive unit and drives to the set target value. In this case, it may include storing it in the control unit of the process facility.

이러한 공정 설비 제어 방법에 따르면, 작업자가 휴대가 간편한 모바일 장치를 이용하여 공정 설비에 웹브라우저를 통해 무선 접속한 다음, 상기 공정 설비의 제어부와 사각 지대에 위치하는 구동 유닛으로 이동한 후, 상기 구동 유닛을 상기 무선 접속한 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시킴으로써, 한명의 작업자가 상기 공정 설비를 편리하게 수동 동작할 수 있다. 이로써, 상기 공정 설비를 수동 동작하는 작업 인원 및 작업 시간을 줄임으로써, 전체적인 공정 비용을 절감할 수 있다. According to this process facility control method, an operator wirelessly connects to a process facility through a web browser using a portable mobile device, and then moves to a control unit of the process facility and a driving unit located in a blind spot, and then the drive By remotely operating the unit using the wirelessly connected mobile device, one operator can conveniently operate the process equipment manually. As a result, the overall process cost can be reduced by reducing the number of people and working hours for manually operating the process equipment.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 설비를 제어하는 방법을 단계적으로 나타낸 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시된 순서도를 설명하기 위하여 공정 설비를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하기 위하여 보안 코드가 부여되는 상태를 실제적으로 나타낸 공정 설비의 화면을 캡쳐한 그림이다.
도 4는 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하는 과정에서 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이다.
도 5는 도 1에 도시된 순서도에서 공정 설비를 원격 구동할 때의 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이다.1 is a flowchart showing step by step a method of controlling a process facility according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a process facility in order to explain the flow chart shown in FIG. 1.
FIG. 3 is a diagram illustrating a screen capture of a process facility that actually shows a state in which a security code is assigned to wirelessly access a mobile device to a process facility in the flow chart shown in FIG.
4 is a diagram illustrating a screen shot of a mobile device in a process of wirelessly connecting a mobile device to a process facility in the flowchart shown in FIG. 1.
5 is a diagram illustrating a screen shot of a mobile device when remotely driving a process facility in the flowchart shown in FIG. 1.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 공정 설비 제어 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.Hereinafter, a process equipment control method according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present invention, various modifications may be made and various forms may be applied, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged compared to the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of being added.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Meanwhile, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person of ordinary skill in the technical field to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 설비를 제어하는 방법을 단계적으로 나타낸 순서도이고, 도 2는 도 1에 도시된 순서도를 설명하기 위하여 공정 설비를 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 3은 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하기 위하여 보안 코드가 부여되는 상태를 실제적으로 나타낸 공정 설비의 화면을 캡쳐한 그림이며, 도 4는 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하는 과정에서 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이며, 도 5는 도 1에 도시된 순서도에서 공정 설비를 원격 구동할 때의 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이다.1 is a flow chart showing step by step a method of controlling a process facility according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a process facility to explain the flow chart shown in FIG. 1, and FIG. 3 is In the flow chart shown in FIG. 1, a screen captured of a process facility actually shows a state in which a security code is given to wirelessly access a mobile device to a process facility. FIG. 4 is a mobile device in the flow chart shown in FIG. A picture of a screen captured of a mobile device in the process of wirelessly connecting to a process facility, and FIG. 5 is a picture of a screen captured of a mobile device when remotely driving a process facility in the flowchart shown in FIG. 1.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 공정 설비(10)를 제어하기 위하여 우선 작업자(20)는 모바일 장치(30)를 이용하여 공정 설비(10)에 무선 접속한다(S100). 여기서, 상기 공정 설비(10)는 일 예로, 반도체 소자를 자동화 방식을 통해서 제조하는데 필요한 장비일 수 있다. 또한, 상기 모바일 장치(30)는 안드로이드 방식 또는 iOS 방식이 적용된 스마트폰, 태블릿 PC 또는 노트북과 같이 휴대가 간편하면서 무선 통신이 가능한 모든 장치를 포함할 수 있다.Referring to Figures 1 to 5, in order to control the process equipment 10 according to an embodiment of the present invention, first, the operator 20 wirelessly accesses the process equipment 10 using the mobile device 30 ( S100). Here, the process equipment 10 may be, for example, equipment necessary for manufacturing a semiconductor device through an automated method. In addition, the mobile device 30 may include all devices that are portable and capable of wireless communication, such as a smartphone, a tablet PC, or a notebook to which an Android method or an iOS method is applied.

이에, 본 S100 단계를 구체적으로 설명하면, 작업자(20)는 상기 공정 설비(10)의 제어부(12)로 이동하여 상기 공정 설비(10)를 on시킨 후 상기 제어부(12)의 조작 패널에 구동 준비 상태가 표시되도록 한다. 이후, 작업자(20)는 상기 공정 설비(10)의 많은 구동 유닛(14)들 중 수동 구동이 필요한 어느 한 구동 유닛(14)을 상기 표시된 조작 패널을 참조하여 선택한다. 여기서, 상기 선택된 구동 유닛(14)은 본 발명의 효과를 확실하게 이해하기 위하여 상기 제어부(12)에 위치한 작업자(20)가 직접 눈으로 확인하기 어려운 사각 지대에 위치한 것일 수 있다. 이러면, 상기에서 선택된 구동 유닛(14)에 관한 정보가 상기 조작 패널에 표시되면서 터치 스크린, 마우스 또는 키보드를 이용한 수동 조작이 가능한 상태로 변경된다. Thus, if this step S100 is specifically described, the operator 20 moves to the control unit 12 of the process equipment 10, turns on the process equipment 10, and drives the operation panel of the control unit 12 Make sure your readiness is displayed. Thereafter, the operator 20 selects one of the many drive units 14 of the process facility 10, which requires manual drive, with reference to the displayed operation panel. Here, the selected driving unit 14 may be located in a blind spot that is difficult for the operator 20 located in the control unit 12 to directly visually check the effect of the present invention. In this case, while the information on the drive unit 14 selected above is displayed on the operation panel, it is changed to a state in which manual operation using a touch screen, a mouse, or a keyboard is possible.

이런 상황에서 상기 선택된 구동 유닛(14)에 관한 정보가 표시된 조작 패널을 참조하여 상기 구동 유닛(14)을 원격 조정할 수 있는 모드를 실행한다. 이러면, 도 3에서와 같이, 설비 IP, 브라우저 접속 및 동작 보안 코드가 상기 조작 패널의 화면 상에 표시된다.In this situation, a mode in which the driving unit 14 can be remotely controlled is executed with reference to the operation panel on which the information on the selected driving unit 14 is displayed. In this case, as shown in Fig. 3, the facility IP, browser access and operation security code are displayed on the screen of the operation panel.

이에, 작업자(20)는 휴대한 모바일 장치(30)의 웹 브라우저를 실행한 다음, 도 3에 표시된 "\\192.168.0.112\\REMOTE"와 같은 웹 주소를 상기 웹 브라우저의 주소창에 입력한다. Accordingly, the worker 20 launches the web browser of the portable mobile device 30 and then inputs a web address such as "\\192.168.0.112\\REMOTE" shown in FIG. 3 into the address bar of the web browser.

이러면, 도 4에서와 같이 상기 모바일 장치(30)의 화면에 상기 공정 설비(10)의 제어와 관련된 정보들이 표시된다. 이에, 작업자(20)는 상기 표시된 정보들 중 상기 공정 설비(10)에 사전에 미리 준비해둔 html 파일을 선택한다. 이러면, 상기 모바일 장치(30)의 화면에 상기 공정 설비(10)의 선택된 구동 유닛(14)을 원격 구동할 수 있는 화면이 도 5에서와 같이 표시된다.In this case, information related to the control of the process facility 10 is displayed on the screen of the mobile device 30 as shown in FIG. 4. Accordingly, the operator 20 selects an html file prepared in advance in the process facility 10 from among the displayed information. In this case, a screen capable of remotely driving the selected driving unit 14 of the process facility 10 is displayed on the screen of the mobile device 30 as shown in FIG. 5.

상기에서 설명한 본 S100 단계에서와 같이, 작업자(20)가 휴대한 모바일 장치(30)를 이용하여 상기 공정 설비(10)에 웹브라우저를 통해 무선 접속하게 되면, 상기 공정 설비(10)에 설비용 html 파일을 사전에 미리 준비해 두고 있기 때문에, 별도의 실행 어플리케이션을 굳이 개발할 필요성이 없다는 장점이 있다. 또한, 상기 모바일 장치(30)가 상기 공정 설비(10)의 html 파일을 로딩할 때 공유 폴더 방식으로 접근할 수 있으므로, 상기 공정 설비(10)에 웹 서비스를 위한 서버가 필요없다는 또 다른 장점이 있다. 즉, 상기 모바일 장치(30)에서 상기 html 파일이 로딩된 이후에는 상기 로딩된 html 파일 안에서 모든 이벤트, 예컨대 화면 갱신, TCP/IP 통신 또는 명령 수행 등이 자체적으로 처리되기 때문이다.As in the step S100 described above, when wireless access is made to the process facility 10 through a web browser using the mobile device 30 carried by the operator 20, the process facility 10 Since the html file is prepared in advance, there is an advantage that there is no need to develop a separate execution application. In addition, since the mobile device 30 can access the html file of the process facility 10 in a shared folder method, another advantage is that the process facility 10 does not require a server for a web service. have. That is, after the html file is loaded in the mobile device 30, all events, such as screen update, TCP/IP communication, or command execution, etc., are processed by itself in the loaded html file.

이렇게 도 5에서와 같이 원격 구동 화면이 표시되면, 작업자(20)는 사용자 IP와 상기 공정 설비(10)의 IP 및 상기 공정 설비(10)의 조작 패널 화면에 표시된 보안 코드를 상기 휴대한 모바일 장치(30)에 입력한다. 이때, 작업자(20)가 상기 보안 코드를 상기 모바일 장치(30)에 입력하면, 이전에 다른 작업자(20)의 모바일 장치(30)를 통한 무선 접속이 동시에 차단된다. 이는, 상기 선택된 구동 유닛(14)의 수동 구동을 단 한 사람의 작업자(20)에 의해서 진행되도록 함으로써, 다수의 작업자(20)가 동일한 구동 유닛(14)을 수동 동작할 경우 발생될 수 있는 상기 구동 유닛(14)의 기계적 손상 및 이를 직접 주시하면서 수동 구동하는 작업자(20)의 신체적 상해를 방지하기 위해서이다. 또한, 이와 유사한 개념으로 상기 공정 설비(10)의 제어부(12)에 의한 상기 선택된 구동 유닛(14)의 구동도 제한하여 다른 작업자(20)가 상기 제어부(12)를 통해 구동하지 못하도록 한다. When the remote driving screen is displayed as shown in FIG. 5, the operator 20 carries the user IP, the IP of the process facility 10, and the security code displayed on the operation panel screen of the process facility 10. Enter in (30). At this time, when the worker 20 inputs the security code into the mobile device 30, the wireless access of the other worker 20 through the mobile device 30 is simultaneously blocked. This is because the manual drive of the selected drive unit 14 is performed by only one operator 20, which may occur when multiple workers 20 manually operate the same drive unit 14. This is to prevent mechanical damage to the drive unit 14 and physical injury to the operator 20 who manually drives while directly watching it. In addition, with a similar concept, the operation of the selected driving unit 14 by the control unit 12 of the process facility 10 is also limited so that other workers 20 cannot drive through the control unit 12.

이렇게 작업자(20)의 모바일 장치(30)와 상기 공정 설비(10)의 무선 접속이 성공되면 상기 공정 설비(10)의 조작 패널 화면과 상기 모바일 장치(30)의 화면에 "무선 접속 중"을 알리는 정보가 표시된다. 예를 들어, 상기 "무선 접속 중" 정보는 로그 정보로 표시될 수 있다. In this way, when the wireless connection between the mobile device 30 of the worker 20 and the process facility 10 is successful, the operation panel screen of the process facility 10 and the screen of the mobile device 30 indicate "wireless connection". Informing information is displayed. For example, the "wireless accessing" information may be displayed as log information.

이어서, 작업자(20)는 상기 공정 설비(10)에 무선 접속된 모바일 장치(30)를 휴대한 상태로 상기 공정 설비(10) 중 상기의 설명에서 선택된 사각 지대에 위치하는 구동 유닛(14)으로 이동한다(S200).Subsequently, the operator 20 carries the mobile device 30 wirelessly connected to the process facility 10 to the driving unit 14 located in the blind spot selected in the above description among the process facilities 10. It moves (S200).

이어서, 작업자(20)는 상기 휴대한 모바일 장치(30)의 원격 구동 화면을 이용하여 상기 선택된 구동 유닛(14)을 원격 구동시킨다(S300). 구체적으로, 작업자(20)는 상기 원격 구동 화면을 통해서 목표값을 설정한 후, 상기 설정된 목표값에 따라 상기 구동 유닛(14)을 원격 구동시킨다. 이에, 작업자(20)는 상기 원격 구동된 구동 유닛(14)이 상기 설정된 목표값에 따라 구동되었는지 확인하여, 그 결과 상기 구동 유닛(14)이 상기 설정된 목표값으로 구동되지 않았을 경우에는 상기 구동 유닛(14)을 재구동시키고, 상기 설정된 목표값으로 구동되었을 경우에는 상기 공정 설비(10)의 제어부(12), 즉 상기 html 파일에 이 정보를 저장한다. 이후, 작업자(20)는 상기 선택된 구동 유닛(14)의 수동 원격 구동 작업을 완료하면, 상기의 무선 접속을 차단하여 그 원격 모드를 해제한다.Subsequently, the operator 20 remotely drives the selected driving unit 14 using the remote driving screen of the portable mobile device 30 (S300). Specifically, after setting a target value through the remote driving screen, the operator 20 remotely drives the driving unit 14 according to the set target value. Accordingly, the operator 20 checks whether the remotely driven drive unit 14 is driven according to the set target value, and as a result, if the drive unit 14 is not driven to the set target value, the drive unit When (14) is restarted and the drive is driven to the set target value, this information is stored in the control unit 12 of the process facility 10, that is, the html file. Thereafter, when the operator 20 completes the manual remote driving operation of the selected driving unit 14, the operator 20 disconnects the wireless connection and releases the remote mode.

이와 같이, 작업자(20)가 휴대가 간편한 상기 모바일 장치(30)를 이용하여 상기 공정 설비(10)에 웹브라우저를 통해 무선 접속한 다음, 상기 공정 설비(10)의 제어부(12)와 사각 지대에 위치하는 상기 선택된 구동 유닛(14)으로 이동한 후, 상기 선택된 구동 유닛(14)을 상기 무선 접속한 모바일 장치(30)를 이용하여 원격 구동시킴으로써, 단 한명의 작업자(20)가 상기 공정 설비(10)를 편리하게 수동 동작할 수 있다. 이로써, 상기 공정 설비(10)를 수동 동작하는 작업 인원 및 작업 시간을 줄임으로써, 전체적인 공정 비용을 절감할 수 있다. In this way, the operator 20 wirelessly connects to the process facility 10 through a web browser using the mobile device 30, which is easy to carry, and then the control unit 12 and the blind spot of the process facility 10 After moving to the selected driving unit 14 located in, by remotely driving the selected driving unit 14 using the wirelessly connected mobile device 30, only one operator 20 10) can be conveniently operated manually. Accordingly, by reducing the number of people and working hours for manually operating the process equipment 10, it is possible to reduce the overall process cost.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.In the detailed description of the present invention described above, it has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, but those skilled in the art or those of ordinary skill in the art, the spirit of the present invention described in the claims to be described later. And it will be appreciated that various modifications and changes can be made to the present invention within a range not departing from the technical field.

10 : 공정 설비 12 : 제어부
14 : 구동 유닛 20 : 작업자
30 : 모바일 장치10: process equipment 12: control unit
14: drive unit 20: operator
30: mobile device

Claims (4)

모바일 장치를 이용하여 공정 설비에 웹브라우저를 통해 무선 접속하는 단계;
상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 휴대한 상태로 상기 공정 설비 중 그 전체적인 동작을 제어하는 제어부와 사각 지대에 위치한 어느 한 구동 유닛으로 이동하는 단계; 및
상기 어느 한 구동 유닛을 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계를 포함하되,
상기 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계는,
상기 모바일 장치에 구동 목표값을 설정하는 단계와,
상기 설정된 목표값에 따라 상기 구동 유닛을 원격 구동시키는 단계와,
상기 구동된 구동 유닛이 상기 설정된 목표값에 따라 구동되었는지 확인하는 단계와,
상기 확인한 결과, 상기 구동 유닛이 상기 설정된 목표값으로 구동되지 않았을 경우에는 상기 구동 유닛을 재구동시키고, 상기 설정된 목표값으로 구동되었을 경우에는 상기 공정 설비의 제어부에 이를 저장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 설비 제어 방법.Wirelessly connecting to a process facility through a web browser using a mobile device;
Moving to a control unit for controlling an overall operation of the process facility and a driving unit located in a blind spot while carrying a mobile device wirelessly connected to the process facility; And
Including the step of remotely driving the one driving unit using a mobile device wirelessly connected to the process facility,
The step of remotely driving using the mobile device,
Setting a driving target value in the mobile device,
Remotely driving the drive unit according to the set target value,
Checking whether the driven driving unit is driven according to the set target value,
As a result of the check, if the drive unit is not driven to the set target value, restarting the drive unit, and if the drive unit is driven to the set target value, storing it in a control unit of the process facility. Process equipment control method. 제1항에 있어서, 상기 무선 접속하는 단계는
상기 공정 설비에서 보안 코드를 부여하는 단계; 및
상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하여 상기 모바일 장치를 상기 공정 설비에 무선 접속하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 설비 제어 방법.The method of claim 1, wherein the wireless access step
Assigning a security code at the process facility; And
And wirelessly connecting the mobile device to the process facility by inputting the given security code to the mobile device. 제2항에 있어서, 상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하는 단계가 진행될 때 그 전에 상기 공정 설비와 무선 접속된 다른 모바일 장치는 접속이 차단되는 것을 특징으로 하는 공정 설비 제어 방법.The method of claim 2, wherein when the step of inputting the given security code to the mobile device is performed, access to another mobile device wirelessly connected to the process facility before that is performed. 삭제delete
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