KR102073440B1 - Alkaline-developable thermosetting resin composition and printed circuit board - Google Patents

Alkaline-developable thermosetting resin composition and printed circuit board Download PDF

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Abstract

본 발명은 크랙의 발생을 억제하며, 드라이 필름의 형태에 있어서, B 스테이지 상태에 있어서의 안정성이 양호한 수지층을 얻을 수 있는 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물, 프린트 배선판을 제공한다. 알칼리 현상성 수지, 열반응성 화합물, 고분자 수지, 및 광 염기 발생제를 포함하고, 선택적인 광 조사로 상기 알칼리 현상성 수지와 상기 열반응성 화합물이 부가 반응함으로써, 알칼리 현상에 의한 네가티브형의 패턴 형성이 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물이다.This invention suppresses generation | occurrence | production of a crack, and provides the alkali developing type thermosetting resin composition and printed wiring board which can obtain the resin layer which is favorable in the B stage state in the form of a dry film. Negative pattern formation by alkali development by containing alkali developable resin, a thermally reactive compound, a polymeric resin, and a photobase generator, and addition reaction of the said alkali developable resin and the said thermally reactive compound by selective light irradiation. It becomes an alkali developing type thermosetting resin composition characterized by the above-mentioned.

Description

알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물, 프린트 배선판 {ALKALINE-DEVELOPABLE THERMOSETTING RESIN COMPOSITION AND PRINTED CIRCUIT BOARD}Thermosetting resin composition of alkali development type, printed wiring board {ALKALINE-DEVELOPABLE THERMOSETTING RESIN COMPOSITION AND PRINTED CIRCUIT BOARD}

본 발명은 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물, 프린트 배선판에 관한 것이다.The present invention relates to an alkali developing type thermosetting resin composition and a printed wiring board.

최근 들어, 프린트 배선판이나 플렉시블 프린트 배선판용의 솔더 레지스트의 재료로서, 환경 문제에 대한 배려로, 현상액으로서 알칼리 수용액을 사용하는 알칼리 현상형의 광경화성 수지 조성물이 주류가 되고 있다. 이러한 알칼리 현상형의 광경화성 수지 조성물로서, 특허문헌 1, 2에 기술된 바와 같이, 에폭시 수지의 변성에 의해 유도된 에폭시아크릴레이트 변성 수지(이하, 에폭시아크릴레이트라고 약기하는 경우가 있음)를 포함하는 수지 조성물이 일반적으로 사용되고 있다.In recent years, as a material of the soldering resist for a printed wiring board and a flexible printed wiring board, in consideration of environmental problems, the alkali developing type photocurable resin composition which uses aqueous alkali solution as a developing solution is becoming mainstream. As such an alkali developing type photocurable resin composition, as described in Patent Documents 1 and 2, an epoxy acrylate-modified resin (hereinafter sometimes abbreviated as epoxy acrylate) induced by modification of an epoxy resin is included. The resin composition to be used is generally used.

이러한 광경화성 수지 조성물을 사용하는 솔더 레지스트의 형성 방법으로서는, 기재에 광경화성 수지 조성물을 도포 및 건조하여 수지층을 형성하고, 그 수지층에 대하여 패턴 형상으로 광 조사한 후, 알칼리 현상액으로 현상함으로써 형성하는 방법이 있다.As a formation method of the soldering resist using such a photocurable resin composition, a photocurable resin composition is apply | coated and dried to a base material, and a resin layer is formed, and it irradiates with a pattern shape with respect to the resin layer, and then forms by developing with alkaline developing solution. There is a way.

또한, 프린트 배선판이나 플렉시블 프린트 배선판은, 여러가지 기기에 실장되어 사용된다. 그 때문에, 온도 등 환경의 급격한 변화에 대해서도 내성을 가질 것이 요구된다. 따라서, 솔더 레지스트에 대해서도 높은 온도 변화 내성이 요구된다.In addition, a printed wiring board and a flexible printed wiring board are mounted and used for various apparatuses. For this reason, it is required to be resistant to sudden changes in the environment such as temperature. Therefore, high temperature change resistance is required also for a soldering resist.

또한, 열경화성 수지와, 기재나 구리, 언더필 등의 기재 형성 재료와의 선팽창 계수(CTE)의 차가 큰 경우, TCT(서멀 사이클 시험)에 있어서 레지스트에 크랙이 발생한다는 문제가 있다.Moreover, when the difference in the coefficient of linear expansion (CTE) between a thermosetting resin and a base material, base material, copper, and underfill, etc. is large, there exists a problem that a crack generate | occur | produces a resist in TCT (thermal cycle test).

이것에 대하여, 열경화성 수지의 CTE를 주변 부재 재료의 CTE와 맞추는 것이 최근에 널리 행해지고 있다. 예를 들어, 열경화성 수지에 무기 충전제를 고충전함으로써, CTE를 저하시켜 경화 수축을 억제하는 것이 일반적이다.On the other hand, matching the CTE of a thermosetting resin with the CTE of a peripheral member material is performed widely recently. For example, it is common to reduce CTE by suppressing hardening shrinkage by high filling an inorganic filler with a thermosetting resin.

일본 특허 공개 소61-243869호 공보(특허 청구 범위)Japanese Patent Laid-Open No. 61-243869 (patent claims) 일본 특허 공개 평3-250012호 공보(특허 청구 범위)Japanese Patent Laid-Open No. 3-250012 (Patent Claims)

그러나, 경화 수축을 억제하기 위해서, 무기 충전제를 충전할 경우에서는, 무기 충전제의 충전량이 많으면, 열경화성 수지 조성물의 B 스테이지 상태(반경화 상태)에 있어서, 수지층(건조 도막)에 깨짐이 발생해 버린다는 문제가 있다.However, in order to suppress hardening shrinkage, when filling an inorganic filler, when there is much filling amount of an inorganic filler, a crack arises in a resin layer (dry coating film) in the B stage state (semi-curing state) of a thermosetting resin composition. There is a problem that throws away.

또한, 종래의 광경화성 수지 조성물은, 광에 의한 라디칼 연쇄 반응에 의해 경화하기 때문에, 경화 수축이 커서, 크랙이 발생한다는 문제가 있었지만, 고분자 수지를 배합함으로써, 경화 수축을 억제하여, 크랙의 발생을 억제하고 있었다. 그러나, 한층더 경화 수축의 억제가 요망되고 있다.Moreover, since the conventional photocurable resin composition hardens | cures by the radical chain reaction by light, hardening shrinkage is large and there existed a problem that a crack generate | occur | produced, but mix | blending a polymeric resin suppresses hardening shrinkage and produces a crack, Was suppressing. However, further suppression of curing shrinkage is desired.

따라서 본 발명의 목적은, 크랙의 발생을 억제하며, 드라이 필름의 형태에 있어서, B 스테이지 상태에 있어서의 안정성이 양호한 수지층을 얻을 수 있는 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물, 프린트 배선판을 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an alkali-developed thermosetting resin composition and a printed wiring board which can suppress the occurrence of cracks and obtain a resin layer having good stability in a B stage state in the form of a dry film. have.

본 발명자들은, 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토한 결과, 이하의 구성으로 함으로써 상기 과제를 해결할 수 있는 것을 발견하고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly examining in order to solve the said subject, the present inventors discovered that the said subject can be solved by setting it as the following structure, and came to complete this invention.

즉, 본 발명의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물은, 알칼리 현상성 수지, 열반응성 화합물, 고분자 수지, 및 광 염기 발생제를 포함하고,That is, the alkali developing type thermosetting resin composition of this invention contains alkali developable resin, a thermoreactive compound, a polymeric resin, and a photobase generator,

선택적인 광 조사로 상기 알칼리 현상성 수지와 상기 열반응성 화합물이 부가 반응함으로써, 알칼리 현상에 의한 네가티브형의 패턴 형성이 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 것이다.The alkali developable resin and the thermally reactive compound are reacted by selective light irradiation, whereby negative pattern formation by alkali development is possible.

본 발명의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물은, 상기 고분자 수지가 블록 공중합체, 엘라스토머, 고무 입자 및 결합제 중합체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 것이 바람직하다.It is preferable that the alkali developing type thermosetting resin composition of this invention contains 1 or more types of said polymer resin chosen from the group which consists of a block copolymer, an elastomer, a rubber particle, and a binder polymer.

또한, 본 발명의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물은, 광 조사에 의해 DSC 측정에 있어서 발열 피크를 발생시키거나, 또는 광 조사한 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 개시 온도가 미조사의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 개시 온도보다도 낮은, 또는 광 조사한 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 피크 온도가 미조사의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 피크 온도보다도 낮은 것임이 바람직하다.In addition, the alkali developing type thermosetting resin composition of this invention produces an exothermic peak in DSC measurement by light irradiation, or the exothermic starting temperature in DSC measurement of the alkali developing type thermosetting resin composition which irradiated light was inadequate. The exothermic peak temperature in the DSC measurement of the alkali developing type thermosetting resin composition which is lower than the exothermic onset temperature in DSC measurement of the alkali developing type thermosetting resin composition of irradiation, or the light irradiation is the non-irradiating alkali developing type thermosetting resin. It is preferable that it is lower than exothermic peak temperature in DSC measurement of a composition.

본 발명의 프린트 배선판은, 상기 어느 하나의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물을 포함하는 패턴층을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.The printed wiring board of this invention has a pattern layer containing the said alkali developing type thermosetting resin composition, It is characterized by the above-mentioned.

본 발명에 의해, 크랙의 발생을 억제하며, 드라이 필름의 형태에 있어서, B 스테이지 상태에 있어서의 안정성이 양호한 수지층을 얻을 수 있는 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물을 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에 의해, 경화성 및 냉열 사이클 특성이 우수한 패턴층을 얻을 수 있는 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물을 제공할 수 있다.By this invention, generation | occurrence | production of a crack can be suppressed and the alkali developing type thermosetting resin composition which can obtain the resin layer which is excellent in stability in B-stage state in the form of a dry film can be provided. Moreover, according to this invention, the alkali developing type thermosetting resin composition which can obtain the pattern layer excellent in curability and cold-heat cycle characteristics can be provided.

도 1은 본 발명의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물을 사용한 패턴 형성 방법의 일례를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물을 포함하는 수지층에 관한 DSC 차트를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물을 사용한 패턴 형성 방법의 일례를 도시하는 도면이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows an example of the pattern formation method using the alkali developing type thermosetting resin composition of this invention.
It is a figure which shows the DSC chart concerning the resin layer containing the alkali developing type thermosetting resin composition of Example 1 of this invention.
It is a figure which shows an example of the pattern formation method using the alkali developing type thermosetting resin composition of this invention.

본 발명의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물(이하, 「열경화성 수지 조성물」이라고 약기하는 경우가 있음)은, 알칼리 현상성 수지, 열반응성 화합물, 고분자 수지, 및 광 염기 발생제를 포함하고, 선택적인 광 조사로 알칼리 현상성 수지와 열반응성 화합물이 부가 반응함으로써, 알칼리 현상에 의한 네가티브형의 패턴 형성이 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 것이다. 여기서, 패턴 형성이란, 패턴 형상의 경화물, 즉 패턴층을 형성하는 것을 말한다.The alkali developing type thermosetting resin composition (hereinafter may be abbreviated as "thermosetting resin composition") of the present invention contains an alkali developing resin, a thermally reactive compound, a polymer resin, and a photobase generator, and is optional. The alkali-developable resin and the thermally reactive compound react by light irradiation, whereby negative pattern formation by alkali development is enabled. Here, pattern formation means forming the hardened | cured material of a pattern shape, ie, a pattern layer.

열경화성 수지 조성물을 포함하는 수지층에서는, 광 조사에 의해 표면에서 염기가 발생한다. 이 발생한 염기에 의해 광 염기 발생제가 불안정화되어, 더욱 염기가 발생한다. 이렇게 염기가 발생함으로써, 수지층의 심부까지 화학적으로 증식한다고 생각된다. 그리고, 염기가, 알칼리 현상성 수지와 열반응성 화합물이 부가 반응할 때의 촉매로서 작용하면서, 심부까지 부가 반응이 진행하므로, 광 조사부에서는 심부까지 수지층이 경화한다.In the resin layer containing a thermosetting resin composition, a base generate | occur | produces on the surface by light irradiation. This generated base destabilizes the photobase generator, and further generates a base. By generating a base in this way, it is thought that it grows chemically to the deep part of a resin layer. And since a base acts as a catalyst when alkali-developable resin and a thermally reactive compound add reaction, since addition reaction advances to the core part, in a light irradiation part, a resin layer hardens to a core part.

따라서, 열경화성 수지 조성물을 패턴 형상으로 광 조사한 후, 알칼리 현상함으로써 미조사부를 제거하여 패턴 형성할 수 있다.Therefore, after irradiating a thermosetting resin composition to pattern shape, alkali development may be carried out, and a non-irradiated part can be removed and a pattern can be formed.

또한, 본 발명의 열경화성 수지 조성물은, 알칼리 현상성 수지와 열반응성 화합물이 부가 반응에 의해 경화하며, 고분자 수지를 포함하기 때문에, 광경화성 수지 조성물보다도 변형이나 경화 수축이 적은 패턴층을 얻을 수 있다. 따라서, 본 발명에서는, 크랙의 발생을 억제할 수 있으므로, 예를 들어 냉열 사이클 특성이 우수하다.In addition, the thermosetting resin composition of the present invention is curable by addition reaction of the alkali developable resin and the thermoreactive compound, and includes a polymer resin, so that a pattern layer having less deformation and curing shrinkage can be obtained than the photocurable resin composition. . Therefore, in this invention, since generation | occurrence | production of a crack can be suppressed, it is excellent in the cold heat cycling characteristics, for example.

또한, 본 발명에서는, 고분자 수지를 포함함으로써, 핸들링이 양호해지고, B 스테이지 상태에 있어서의 도막의 깨짐 발생이 억제되며, 유연성이 우수한 패턴층을 얻을 수 있다.Moreover, in this invention, handling becomes favorable by containing a polymeric resin, the generation | occurrence | production of the crack of the coating film in B-stage state is suppressed, and the pattern layer excellent in flexibility can be obtained.

열경화성 수지 조성물은, 미조사의 상태에서는 가열해도 경화하지 않고, 광 조사해야 비로서 열에 의한 경화가 가능하게 되는 조성물이어도 된다.The thermosetting resin composition may not be cured even when heated in a non-irradiated state, but may be a composition which enables curing by heat as a ratio when light is irradiated.

본 발명의 열경화성 수지 조성물은, 광 조사에 의해 DSC 측정에 있어서 발열 피크를 발생하거나, 또는 광 조사한 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 개시 온도가 미조사의 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 개시 온도보다도 낮은, 또는 광 조사한 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 피크 온도가 미조사의 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 피크 온도보다도 낮은 것임이 바람직하다.The thermosetting resin composition of this invention generate | occur | produces an exothermic peak in DSC measurement by light irradiation, or the exothermic start temperature in the DSC measurement of the thermosetting resin composition which irradiated light is the DSC measurement of the unirradiated thermosetting resin composition. It is preferable that the exothermic peak temperature in the DSC measurement of the thermosetting resin composition lower than the exothermic onset temperature or light irradiation is lower than the exothermic peak temperature in the DSC measurement of the non-irradiated thermosetting resin composition.

또한, 본 발명의 열경화성 수지 조성물은, 광 조사한 열경화성 수지 조성물과 미조사의 열경화성 수지 조성물과의, DSC 측정에 있어서의 발열 개시 온도의 온도차(ΔT start라고도 칭함) 또는 발열 피크 온도의 온도차(ΔT peak라고도 칭함)가 10℃ 이상인 것이 바람직하고, 20℃ 이상인 것이 보다 바람직하고, 30℃ 이상인 것이 더욱 바람직하다.In addition, the thermosetting resin composition of this invention is the temperature difference of the heat generation start temperature (also called ΔT start) or the temperature difference of the heat generation peak temperature (ΔT peak) in the DSC measurement between the light-curable thermosetting resin composition and the unirradiated thermosetting resin composition. It is preferable that it is 10 degreeC or more, It is more preferable that it is 20 degreeC or more, It is still more preferable that it is 30 degreeC or more.

여기서, ΔT start란, 동일한 조성의 열경화성 수지 조성물을 준비하고, 한쪽은 광 조사한 후에, 다른 한쪽은 광 조사하지 않고 그대로, DSC(시차 주사 열량 측정, Differential scanning calorimetry) 측정을 각각 행하고, 광 조사한 수지 조성물의 경화 반응의 개시를 나타내는 발열 개시 온도와, 미조사의 수지 조성물 발열 개시 온도의 온도차를 가리킨다. ΔT peak는, 마찬가지로 DSC 측정을 행한 때의, 광 조사, 미조사의 수지 조성물 발열 피크 온도의 온도차를 말한다.Here, with ΔT start, a thermosetting resin composition having the same composition is prepared, and after one side is irradiated with light, the other side is subjected to DSC (differential scanning calorimetry, Differential scanning calorimetry) measurement without being irradiated with light, and irradiated with light. The temperature difference between the exothermic onset temperature indicating the start of the curing reaction of the composition and the unexposed resin composition exothermic onset temperature is indicated. (DELTA) T peak says the temperature difference of the light composition and the unexposed resin composition exothermic peak temperature at the time of carrying out DSC measurement similarly.

또한, 광 조사한 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 광 조사량은, 광 조사량을 높여 가서, 열경화성 수지 조성물의 광 조사에 의한 발열 피크 온도의 시프트가 일어나지 않게 되는(새츄레이션) 광 조사량이다.In addition, the amount of light irradiation in the DSC measurement of the thermosetting resin composition which irradiated light is the amount of light irradiation which raises the amount of light irradiation and does not produce the shift of the exothermic peak temperature by the light irradiation of the thermosetting resin composition (saturation).

ΔT start 또는 ΔT peak가 10℃ 이상인 것에 의해, 미조사부가 알칼리 현상에 의해 잔존하게 되는 소위 덮어 쓰기나, 광 조사부가 알칼리 현상에 의해 제거되어버리는 소위 침식의 발생을 억제할 수 있다. 또한, ΔT start 또는 ΔT peak가 10℃ 이상인 것에 의해, 후술하는 가열 공정 (B1)에 있어서 취할 수 있는 가열 온도의 범위를 넓게 취하는 것이 가능하게 된다.When the ΔT start or ΔT peak is 10 ° C. or more, it is possible to suppress the occurrence of so-called overwriting in which the unilluminated portion remains due to alkali development and so-called erosion in which the light irradiated portion is removed by alkali development. Moreover, when (DELTA) T start or (DELTA) T peak is 10 degreeC or more, it becomes possible to take wide the range of the heating temperature which can be taken in the heating process (B1) mentioned later.

이하, 열경화성 수지 조성물의 각 성분에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, each component of a thermosetting resin composition is demonstrated in detail.

[알칼리 현상성 수지][Alkali Developable Resin]

알칼리 현상성 수지는, 페놀성 수산기, 티올기 및 카르복실기 중 1종 이상의 관능기를 함유하고, 알칼리 용액으로 현상 가능한 수지이며, 바람직하게는 페놀성 수산기를 2개 이상 갖는 화합물, 카르복실기 함유 수지, 페놀성 수산기 및 카르복실기를 갖는 화합물, 티올기를 2개 이상 갖는 화합물을 들 수 있다.Alkali-developable resins are resins which contain at least one functional group among phenolic hydroxyl groups, thiol groups and carboxyl groups, and are developable with an alkaline solution, preferably compounds having two or more phenolic hydroxyl groups, carboxyl group-containing resins and phenolic compounds. The compound which has a hydroxyl group and a carboxyl group, and the compound which has two or more thiol groups are mentioned.

페놀성 수산기를 2개 이상 갖는 화합물로서는, 페놀노볼락 수지, 알킬페놀노볼락수지, 비스페놀 A 노볼락 수지, 디시클로펜타디엔형 페놀 수지, 자일록(Xylok)형 페놀 수지, 테르펜 변성 페놀 수지, 폴리비닐페놀류, 비스페놀 F, 비스페놀 S형 페놀 수지, 폴리-p-히드록시스티렌, 나프톨과 알데히드류의 축합물, 디히드록시나프탈렌과 알데히드류의 축합물 등 공지 관용의 페놀 수지를 들 수 있다.As a compound which has two or more phenolic hydroxyl groups, a phenol novolak resin, an alkylphenol novolak resin, bisphenol A novolak resin, a dicyclopentadiene type phenol resin, a Xylok type phenol resin, a terpene modified phenol resin, Known conventional phenol resins, such as polyvinyl phenol, bisphenol F, bisphenol S-type phenol resin, poly-p-hydroxy styrene, the condensate of naphthol and aldehydes, and the condensate of dihydroxy naphthalene and aldehydes, are mentioned.

또한, 페놀 수지로서, 비페닐 골격 또는 페닐렌 골격, 또는 그 양쪽의 골격을 갖는 화합물과, 페놀성 수산기 함유 화합물로서 페놀, 오르토크레졸, 파라크레졸, 메타크레졸, 2,3-크실레놀, 2,4-크실레놀, 2,5-크실레놀, 2,6-크실레놀, 3,4-크실레놀, 3,5-크실레놀, 카테콜, 레조르시놀, 히드로퀴논, 메틸히드로퀴논, 2,6-디메틸히드로퀴논, 트리메틸히드로퀴논, 피로갈롤, 플로로글루시놀 등을 사용하여 합성한, 여러가지 골격을 갖는 페놀 수지를 사용할 수도 있다.Moreover, as a phenol resin, the compound which has a biphenyl skeleton, a phenylene skeleton, or both skeletons, and a phenolic hydroxyl group containing compound, phenol, orthocresol, paracresol, metacresol, 2, 3- xylenol, 2 , 4-xylenol, 2,5-xylenol, 2,6-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, catechol, resorcinol, hydroquinone, methylhydroquinone And phenol resins having various skeletons synthesized using 2,6-dimethylhydroquinone, trimethylhydroquinone, pyrogallol, phloroglucinol and the like can also be used.

이들은, 1종 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다.These may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.

카르복실기 함유 수지로서는, 공지된 카르복실기를 포함하는 수지를 사용할 수 있다. 카르복실기의 존재에 의해, 수지 조성물을 알칼리 현상성으로 할 수 있다. 또한, 카르복실기 외에, 분자 내에 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물을 사용할 수도 있지만, 본 발명에 있어서는, 카르복실기 함유 수지로서, 예를 들어 하기 (1)과 같은, 에틸렌성 불포화 이중 결합을 갖지 않은 카르복실기 함유 수지만을 사용하는 것이 바람직하다.As carboxyl group-containing resin, resin containing a well-known carboxyl group can be used. By presence of a carboxyl group, a resin composition can be made alkaline developable. Moreover, in addition to a carboxyl group, although the compound which has an ethylenically unsaturated bond in a molecule | numerator can also be used, in this invention, as carboxyl group-containing resin, the carboxyl group-containing number which does not have ethylenically unsaturated double bond like following (1), for example. It is preferable to use only.

본 발명에 사용할 수 있는 카르복실기 함유 수지의 구체예로서는, 이하에 열거하는 것과 같은 화합물(올리고머 및 중합체 중의 어느 것이어도 됨)을 들 수 있다.As a specific example of carboxyl group-containing resin which can be used for this invention, the compound (any of an oligomer and a polymer) listed below may be mentioned.

(1) (메트)아크릴산 등의 불포화 카르복실산과, 스티렌, α-메틸스티렌, 저급 알킬(메트)아크릴레이트, 이소부틸렌 등의 불포화기 함유 화합물과의 공중합에 의해 얻어지는 카르복실기 함유 수지. 또한, 저급 알킬이란, 탄소 원자수 1 내지 5의 알킬기를 가리킨다.(1) Carboxyl group-containing resin obtained by copolymerization of unsaturated carboxylic acids, such as (meth) acrylic acid, and unsaturated group containing compounds, such as styrene, (alpha) -methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene. In addition, lower alkyl refers to an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

(2) 지방족 디이소시아네이트, 분지 지방족 디이소시아네이트, 지환식 디이소시아네이트, 방향족 디이소시아네이트 등의 디이소시아네이트와, 디메틸올프로피온산, 디메틸올부탄산 등의 카르복실기 함유 디알코올 화합물 및 폴리카르보네이트계 폴리올, 폴리에테르계 폴리올, 폴리에스테르계 폴리올, 폴리올레핀계 폴리올, 아크릴계 폴리올, 비스페놀 A계 알킬렌옥시드 부가체 디올, 페놀성 히드록실기 및 알코올성 히드록실기를 갖는 화합물 등의 디올 화합물의 중부가 반응에 의한 카르복실기 함유 우레탄 수지.(2) diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and aromatic diisocyanates; carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid; and polycarbonate-based polyols and polyethers. Carboxyl group-containing by polyaddition reaction of diol compounds, such as a compound polyol, a polyester polyol, a polyolefin polyol, an acryl polyol, a bisphenol A alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group Urethane resin.

(3) 지방족 디이소시아네이트, 분지 지방족 디이소시아네이트, 지환식 디이소시아네이트, 방향족 디이소시아네이트 등의 디이소시아네이트 화합물과, 폴리카르보네이트계 폴리올, 폴리에테르계 폴리올, 폴리에스테르계 폴리올, 폴리올레핀계 폴리올, 아크릴계 폴리올, 비스페놀 A계 알킬렌옥시드 부가체 디올, 페놀성 히드록실기 및 알코올성 히드록실기를 갖는 화합물 등의 디올 화합물의 중부가 반응에 의한 우레탄 수지의 말단에 산 무수물을 반응시켜 이루어지는 말단 카르복실기 함유 우레탄 수지.(3) diisocyanate compounds such as aliphatic diisocyanate, branched aliphatic diisocyanate, alicyclic diisocyanate and aromatic diisocyanate, polycarbonate polyol, polyether polyol, polyester polyol, polyolefin polyol, acrylic polyol Terminal carboxyl group-containing urethane resin which makes acid anhydride react with the terminal of the urethane resin by the polyaddition reaction of diol compounds, such as the compound which has a bisphenol-A alkylene oxide adduct diol, a phenolic hydroxyl group, and alcoholic hydroxyl group, etc. .

(4) 디이소시아네이트와, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비크실레놀형 에폭시 수지, 비페놀형 에폭시 수지 등의 2관능 에폭시 수지의 (메트)아크릴레이트 또는 그의 부분 산 무수물 변성물, 카르복실기 함유 디알코올 화합물 및 디올 화합물의 중부가 반응에 의한 카르복실기 함유 우레탄 수지.(4) bifunctional epoxy resins such as diisocyanate, bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, and biphenol type epoxy resin Carboxyl group-containing urethane resin by the polyaddition reaction of the (meth) acrylate or its partial acid anhydride modified | denatured product, a carboxyl group-containing dialcohol compound, and a diol compound.

(5) 상기 (2) 또는 (4)의 수지의 합성 중에, 히드록시알킬(메트)아크릴레이트 등의 분자 중에 1개의 수산기와 1개 이상의 (메트)아크릴로일기를 갖는 화합물을 첨가하여 말단 (메트)아크릴화한 카르복실기 함유 우레탄 수지.(5) During the synthesis of the resin of the above (2) or (4), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate is added to the terminal ( (Meth) acrylated carboxyl group-containing urethane resin.

(6) 상기 (2) 또는 (4)의 수지의 합성 중에, 이소포론디이소시아네이트와 펜타에리트리톨트리아크릴레이트의 등몰 반응물 등, 분자 중에 1개의 이소시아네이트기와 1개 이상의 (메트)아크릴로일기를 갖는 화합물을 첨가하여 말단 (메트)아크릴화한 카르복실기 함유 우레탄 수지.(6) Having one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups in the molecule, such as equimolar reactants of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate during synthesis of the resin of the above (2) or (4) The carboxyl group-containing urethane resin which added the compound and was terminal (meth) acrylated.

(7) 전술하는 바와 같은 다관능 (고형) 에폭시 수지에 (메트)아크릴산 등의 불포화 모노카르복실산을 반응시켜, 측쇄에 존재하는 수산기에 무수 프탈산, 테트라히드로 무수 프탈산, 헥사히드로 무수 프탈산 등의 2 염기 산 무수물을 부가시킨 카르복실기 함유 수지.(7) Unsaturated monocarboxylic acids, such as (meth) acrylic acid, are made to react with the polyfunctional (solid) epoxy resin mentioned above, and the hydroxyl group which exists in a side chain, such as phthalic anhydride, tetrahydro phthalic anhydride, hexahydro phthalic anhydride, etc. Carboxyl group-containing resin which added two base acid anhydride.

(8) 전술하는 바와 같은 다관능 (고형) 에폭시 수지에 포화 모노카르복실산을 반응시켜, 측쇄에 존재하는 수산기에 무수 프탈산, 테트라히드로 무수 프탈산, 헥사히드로 무수 프탈산 등의 2 염기 산 무수물을 부가시킨 카르복실기 함유 수지.(8) A saturated monocarboxylic acid is reacted with a polyfunctional (solid) epoxy resin as described above to add a dibasic acid anhydride such as phthalic anhydride, tetrahydro phthalic anhydride and hexahydro phthalic anhydride to a hydroxyl group present in the side chain. Carboxyl group-containing resin.

(9) 2관능 (고형) 에폭시 수지의 수산기를 또한 에피클로로히드린으로 에폭시화한 다관능 에폭시 수지에 (메트)아크릴산을 반응시키고, 발생한 수산기에 2 염기 산 무수물을 부가시킨 카르복실기 함유 수지.(9) A carboxyl group-containing resin in which (meth) acrylic acid is reacted with a polyfunctional epoxy resin in which the hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin is further epoxidized with epichlorohydrin, and added dibasic anhydride to the generated hydroxyl group.

(10) 후술하는 바와 같은 다관능 옥세탄 수지에 디카르복실산을 반응시키고, 발생한 1급의 수산기에 2 염기 산 무수물을 부가시킨 카르복실기 함유 폴리에스테르 수지.(10) The carboxyl group-containing polyester resin which made dicarboxylic acid react with the polyfunctional oxetane resin as mentioned later, and added dibasic acid anhydride to the primary hydroxyl group which generate | occur | produced.

(11) 1 분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌옥시드, 프로필렌옥시드 등의 알킬렌옥시드를 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(11) Carboxyl group-containing resin obtained by making polybasic acid anhydride react with the reaction product obtained by making compound which has a some phenolic hydroxyl group, and alkylene oxide, such as ethylene oxide and a propylene oxide, react in 1 molecule.

(12) 1 분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌옥시드, 프로필렌옥시드 등의 알킬렌옥시드를 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 포화 모노카르복실산을 반응시키고, 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(12) A saturated monocarboxylic acid is reacted with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with alkylene oxides such as ethylene oxide and propylene oxide, and a polybasic anhydride is reacted with the reaction product obtained. Carboxyl group containing resin obtained by making it react.

(13) 1 분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌옥시드, 프로필렌옥시드 등의 알킬렌옥시드를 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 불포화기 함유 모노카르복실산을 반응시키고, 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(13) An unsaturated group-containing monocarboxylic acid is reacted with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with alkylene oxides such as ethylene oxide and propylene oxide, and the resulting polybasic acid. Carboxyl group-containing resin obtained by making anhydride react.

(14) 1 분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌카르보네이트, 프로필렌카르보네이트 등의 환상 카르보네이트 화합물을 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 포화 모노카르복실산을 반응시키고, 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(14) A reaction product obtained by reacting a saturated monocarboxylic acid with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with cyclic carbonate compounds such as ethylene carbonate and propylene carbonate. Carboxyl group-containing resin obtained by making polybasic acid anhydride react.

(15) 1 분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌카르보네이트, 프로필렌카르보네이트 등의 환상 카르보네이트 화합물을 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(15) Carboxyl group-containing resin obtained by making polybasic acid anhydride react with the reaction product obtained by making compound which has a some phenolic hydroxyl group, and cyclic carbonate compounds, such as ethylene carbonate and a propylene carbonate, react in 1 molecule.

(16) 1 분자 중에 복수의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과 에틸렌카르보네이트, 프로필렌카르보네이트 등의 환상 카르보네이트 화합물을 반응시켜서 얻어지는 반응 생성물에 불포화기 함유 모노카르복실산을 반응시키고, 얻어지는 반응 생성물에 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(16) An unsaturated group-containing monocarboxylic acid is reacted with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with cyclic carbonate compounds such as ethylene carbonate and propylene carbonate. Carboxyl group-containing resin obtained by making polybasic acid anhydride react with a reaction product.

(17) 1 분자 중에 복수의 에폭시기를 갖는 에폭시 화합물에, p-히드록시페네틸알코올 등의 1 분자 중에 적어도 1개의 알코올성 수산기와 1개의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과, 포화 모노카르복실산을 반응시키고, 얻어진 반응 생성물의 알코올성 수산기에 대하여 무수 말레산, 테트라히드로 무수 프탈산, 무수 트리멜리트산, 무수 피로멜리트산, 무수 아디프산 등의 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(17) A compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and saturated monocarboxylic acid are reacted with an epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule. The carboxyl group-containing resin obtained by making polybasic acid anhydrides, such as maleic anhydride, tetrahydro phthalic anhydride, trimellitic anhydride, a pyromellitic anhydride, adipic anhydride, react with the alcoholic hydroxyl group of the obtained reaction product.

(18) 1 분자 중에 복수의 에폭시기를 갖는 에폭시 화합물에, p-히드록시페네틸알코올 등의 1 분자 중에 적어도 1개의 알코올성 수산기와 1개의 페놀성 수산기를 갖는 화합물을 반응시키고, 얻어진 반응 생성물의 알코올성 수산기에 대하여 무수 말레산, 테트라히드로 무수 프탈산, 무수 트리멜리트산, 무수 피로멜리트산, 무수 아디프산 등의 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(18) An alcohol compound of the reaction product obtained by reacting an epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule with a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol and the like Carboxyl group-containing resin obtained by making polybasic acid anhydrides, such as maleic anhydride, tetrahydro phthalic anhydride, trimellitic anhydride, a pyromellitic anhydride, adipic anhydride, react with a hydroxyl group.

(19) 1 분자 중에 복수의 에폭시기를 갖는 에폭시 화합물에, p-히드록시페네틸알코올 등의 1 분자 중에 적어도 1개의 알코올성 수산기와 1개의 페놀성 수산기를 갖는 화합물과, (메트)아크릴산 등의 불포화기 함유 모노카르복실산을 반응시키고, 얻어진 반응 생성물의 알코올성 수산기에 대하여 무수 말레산, 테트라히드로 무수 프탈산, 무수 트리멜리트산, 무수 피로멜리트산, 무수 아디프산 등의 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(19) Unsaturated compounds, such as a compound which has at least 1 alcoholic hydroxyl group and 1 phenolic hydroxyl group in 1 molecule, such as p-hydroxy phenethyl alcohol, to the epoxy compound which has several epoxy groups in 1 molecule, and (meth) acrylic acid Carboxyl group obtained by making group-containing monocarboxylic acid react, and making polybasic acid anhydrides, such as maleic anhydride, tetrahydro phthalic anhydride, trimellitic anhydride, a pyromellitic anhydride, adipic anhydride, react with the alcoholic hydroxyl group of the obtained reaction product. Containing resin.

(20) 상기 (1) 내지 (19) 중 어느 하나의 수지에 글리시딜(메트)아크릴레이트, α-메틸글리시딜(메트)아크릴레이트 등의 분자 중에 1개의 에폭시기와 1개 이상의 (메트)아크릴로일기를 갖는 화합물을 더 부가하여 이루어지는 카르복실기 함유 수지.(20) One epoxy group or one or more (meth) groups in a molecule such as glycidyl (meth) acrylate or α-methylglycidyl (meth) acrylate in any one of the above (1) to (19). Carboxyl group-containing resin formed by further adding the compound which has acryloyl group.

상기와 같은 알칼리 현상성 수지는, 백본·중합체의 측쇄에 다수의 카르복실기나 히드록시기 등을 갖기 때문에, 알칼리 수용액에 의한 현상이 가능해진다.Since the above-mentioned alkali developable resin has many carboxyl groups, hydroxyl groups, etc. in the side chain of a backbone polymer, image development by aqueous alkali solution is attained.

또한, 상기 카르복실기 함유 수지의 히드록실기 당량 또는 카르복실기 당량은 80 내지 900g/eq.인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 100 내지 700g/eq.이다. 히드록실기 당량 또는 카르복실기 당량이 900g/eq.을 초과한 경우, 패턴층의 밀착성이 얻어지지 않거나, 알칼리 현상이 곤란해지는 경우가 있다. 한편, 히드록실기 당량 또는 카르복실기 당량이 80g/eq. 미만인 경우에는, 현상액에 의한 광 조사부의 용해가 진행되기 때문에, 필요 이상으로 라인이 가늘어지거나, 경우에 따라서는 광 조사부와 미조사부의 구별없이 현상액으로 용해 박리되어버려, 정상적인 레지스트 패턴의 묘화가 곤란해지는 경우가 있으므로 바람직하지 않다. 또한, 카르복실기 당량이나 페놀기 당량이 큰 경우, 알칼리 현상성 수지의 함유량이 적은 경우에도, 현상이 가능하게 되기 때문에 바람직하다.The hydroxyl group equivalent or carboxyl group equivalent of the carboxyl group-containing resin is preferably 80 to 900 g / eq., More preferably 100 to 700 g / eq. When hydroxyl group equivalent or carboxyl group equivalent exceeds 900 g / eq., The adhesiveness of a pattern layer may not be obtained or alkali development may become difficult. On the other hand, the hydroxyl group equivalent or the carboxyl group equivalent was 80 g / eq. If less, the dissolution of the light irradiated portion by the developing solution proceeds, so that the line becomes thinner than necessary or, in some cases, is melted and peeled off with the developing solution without distinguishing between the light irradiating portion and the unilluminated portion, and it is difficult to draw a normal resist pattern. It is not preferable because it may be reduced. Moreover, when carboxyl group equivalent or phenol group equivalent is large, since even if content of alkali developable resin is small, since image development becomes possible, it is preferable.

또한, 본 발명에서 사용하는 알칼리 현상성 수지의 중량 평균 분자량은, 수지 골격에 따라 상이한데, 2,000 내지 150,000, 나아가 5,000 내지 100,000의 범위가 바람직하다. 중량 평균 분자량이 2,000 미만이면 무점착 성능이 떨어지는 경우가 있고, 광 조사 후의 수지층의 내습성이 나쁘고, 현상 시에 막감소가 발생하고, 해상도가 크게 떨어지는 경우가 있다. 한편, 중량 평균 분자량이 150,000을 초과하면, 현상성이 현저하게 나빠지는 경우가 있고, 저장 안정성이 떨어지는 경우가 있다.Moreover, although the weight average molecular weight of alkali-developable resin used by this invention changes with resin skeleton, the range of 2,000-150,000, Furthermore, 5,000-100,000 are preferable. If the weight average molecular weight is less than 2,000, the adhesion-free performance may be inferior, the moisture resistance of the resin layer after light irradiation is bad, the film decreases at the time of image development, and the resolution may fall large. On the other hand, when a weight average molecular weight exceeds 150,000, developability may remarkably worsen and storage stability may be inferior.

본 명세서에 있어서, (메트)아크릴레이트란, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 그들의 혼합물을 총칭하는 용어이며, 다른 유사한 표현에 대해서도 마찬가지이다.In the present specification, (meth) acrylate is a term that generically refers to acrylate, methacrylate and mixtures thereof, and the same also applies to other similar expressions.

티올기를 갖는 화합물로서는, 예를 들어 트리메틸올프로판트리스티오프로피오네이트, 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피오네이트, 에틸렌글리콜비스티오글리콜레이트, 1,4-부탄디올비스티오글리콜레이트, 트리메틸올프로판트리스티오글리콜레이트, 펜타에리트리톨테트라키스티오글리콜레이트, 디(2-머캅토에틸)에테르, 1,4-부탄디티올, 1,3,5-트리머캅토메틸벤젠, 1,3,5-트리머캅토메틸-2,4,6-트리메틸벤젠, 말단 티올기 함유 폴리에테르, 말단 티올기 함유 폴리티오에테르, 에폭시 화합물과 황화수소와의 반응에 의해 얻어지는 티올 화합물, 폴리티올 화합물과 에폭시 화합물과의 반응에 의해 얻어지는 말단 티올기를 갖는 티올 화합물 등을 들 수 있다.As a compound which has a thiol group, for example, a trimethylol propane tristyropropionate, a pentaerythritol tetrakistyropropionate, ethylene glycol bisthioglycolate, 1, 4- butanediol bisthioglycolate, trimethylol propane trithio Glycolate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate, di (2-mercaptoethyl) ether, 1,4-butanedithiol, 1,3,5-trimercaptomethylbenzene, 1,3,5-trimercaptomethyl -2,4,6-trimethylbenzene, terminal thiol group-containing polyether, terminal thiol group-containing polythioether, thiol compound obtained by reaction of epoxy compound with hydrogen sulfide, obtained by reaction of polythiol compound and epoxy compound The thiol compound which has a terminal thiol group, etc. are mentioned.

알칼리 현상성 수지는, 카르복실기 함유 수지나 페놀성 수산기를 갖는 화합물인 것이 바람직하다. 또한, 알칼리 현상성 수지는, 에폭시아크릴레이트 등의 광경화성 구조를 갖지 않은 비감광성인 것이 바람직하다. 이러한 비감광성 알칼리 현상성 수지는, 에폭시아크릴레이트에서 유래되는 에스테르 결합을 갖지 않으므로, 디스미어액에 대한 내성이 높다. 따라서, 경화 특성이 우수한 패턴층을 형성할 수 있다. 또한, 광경화성 구조를 갖지 않기 때문에, 경화 수축을 억제할 수 있다.It is preferable that alkali developable resin is a compound which has carboxyl group-containing resin and phenolic hydroxyl group. Moreover, it is preferable that alkali developable resin is non-photosensitive, which does not have photocurable structures, such as an epoxy acrylate. Since such non-photosensitive alkali developable resin does not have an ester bond derived from epoxy acrylate, it is highly resistant to desmear liquid. Therefore, the pattern layer excellent in hardening characteristic can be formed. Moreover, since it does not have a photocurable structure, hardening shrinkage can be suppressed.

알칼리 현상성 수지가 카르복실기 함유 수지인 경우, 페놀 수지의 경우와 비교하여 약알칼리성 수용액으로 현상할 수 있다. 약알칼리성 수용액으로서는, 탄산나트륨 등이 용해된 것을 들 수 있다. 약알칼리성 수용액으로 현상함으로써, 광 조사부가 현상되어버리는 것을 억제할 수 있다. 또한, 공정 (B)에 있어서의 광 조사 시간이나 공정 (B1)에 있어서의 가열 시간을 단축할 수 있다.When alkali developable resin is carboxyl group-containing resin, it can develop with weakly alkaline aqueous solution compared with the case of phenol resin. As a weak alkaline aqueous solution, what melt | dissolved sodium carbonate etc. is mentioned. By developing with a weakly alkaline aqueous solution, it can suppress that a light irradiation part is developed. Moreover, the light irradiation time in a process (B) and the heating time in a process (B1) can be shortened.

[열반응성 화합물][Thermally reactive compound]

열반응성 화합물은, 열에 의한 경화 반응이 가능한 관능기를 갖는 수지이다. 에폭시 수지, 다관능 옥세탄 화합물 등을 들 수 있다.A thermally reactive compound is resin which has a functional group which can harden reaction by heat. Epoxy resin, a polyfunctional oxetane compound, etc. are mentioned.

상기 에폭시 수지는 에폭시기를 갖는 수지이며, 공지된 것을 모두 사용할 수 있다. 분자 중에 에폭시기를 2개 갖는 2관능성 에폭시 수지, 분자 중에 에폭시기를 다수 갖는 다관능 에폭시 수지 등을 들 수 있다. 또한, 수소 첨가된 2관능 에폭시 화합물이어도 된다.The said epoxy resin is resin which has an epoxy group, and all well-known thing can be used. The bifunctional epoxy resin which has two epoxy groups in a molecule | numerator, the polyfunctional epoxy resin which has many epoxy groups in a molecule | numerator, etc. are mentioned. Moreover, the hydrogenated bifunctional epoxy compound may be sufficient.

다관능 에폭시 화합물로서는, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 브롬화 에폭시 수지, 노볼락형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 글리시딜아민형 에폭시 수지, 히단토인형 에폭시 수지, 지환식 에폭시 수지, 트리히드록시페닐메탄형 에폭시 수지, 비크실레놀형 또는 비페놀형 에폭시 수지 또는 그들의 혼합물, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비스페놀 A 노볼락형 에폭시 수지, 테트라페닐올에탄형 에폭시 수지, 복소환식 에폭시 수지, 디글리시딜프탈레이트 수지, 테트라글리시딜크실레노일에탄 수지, 나프탈렌기 함유 에폭시 수지, 디시클로펜타디엔 골격을 갖는 에폭시 수지, 글리시딜메타크릴레이트 공중합계 에폭시 수지, 시클로헥실말레이미드와 글리시딜메타크릴레이트의 공중합 에폭시 수지, CTBN 변성 에폭시 수지 등을 들 수 있다.Examples of the polyfunctional epoxy compound include bisphenol A type epoxy resins, brominated epoxy resins, novolac type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, hydrogenated bisphenol A type epoxy resins, glycidylamine type epoxy resins, hydantoin type epoxy resins, Alicyclic epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin or mixtures thereof, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, complex Cyclic epoxy resin, diglycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group containing epoxy resin, epoxy resin with dicyclopentadiene frame | skeleton, glycidyl methacrylate copolymer type epoxy resin, cyclohexyl malee Copolymerized epoxy resin of mid and glycidyl methacrylate, CTBN modified epoxy water And the like.

기타의 액상 2관능성 에폭시 수지로서는, 비닐시클로헥센디에폭시드, (3',4'-에폭시시클로헥실메틸)-3,4-에폭시시클로헥산카르복실레이트, (3',4'-에폭시-6'-메틸시클로헥실메틸)-3,4-에폭시-6-메틸시클로헥산카르복실레이트 등의 지환족 에폭시 수지를 들 수 있다. 나프탈렌기 함유 에폭시 수지는, 경화물의 열팽창을 억제할 수 있기 때문에 바람직하다.Other liquid bifunctional epoxy resins include vinylcyclohexene diepoxide, (3 ', 4'-epoxycyclohexylmethyl) -3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, (3', 4'-epoxy- And alicyclic epoxy resins such as 6'-methylcyclohexylmethyl) -3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate. A naphthalene group containing epoxy resin is preferable because it can suppress the thermal expansion of hardened | cured material.

상기의 에폭시 수지는, 1종을 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 병용할 수도 있다.Said epoxy resin may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

상기 다관능 옥세탄 화합물로서는, 비스[(3-메틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]에테르, 비스[(3-에틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]에테르, 1,4-비스[(3-메틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]벤젠, 1,4-비스[(3-에틸-3-옥세타닐메톡시)메틸]벤젠, (3-메틸-3-옥세타닐)메틸아크릴레이트, (3-에틸-3-옥세타닐)메틸아크릴레이트, (3-메틸-3-옥세타닐)메틸메타크릴레이트, (3-에틸-3-옥세타닐)메틸메타크릴레이트나 그것들의 올리고머 또는 공중합체 등의 다관능 옥세탄류 외에, 옥세탄 알코올과 노볼락 수지, 폴리(p-히드록시스티렌), 카르도형 비스페놀류, 칼릭스아렌류, 칼릭스레조르신아렌류, 또는 실세스퀴옥산 등의 수산기를 갖는 수지와의 에테르화물 등을 들 수 있다. 기타, 옥세탄환을 갖는 불포화 단량체와 알킬(메트)아크릴레이트의 공중합체 등도 들 수 있다.Examples of the polyfunctional oxetane compound include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [ (3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl Acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate In addition to polyfunctional oxetanes such as oligomers or copolymers thereof, oxetane alcohols and novolac resins, poly (p-hydroxystyrene), cardo type bisphenols, calix arenes, calyx resorcinrenes, or Ether ether with resin which has hydroxyl groups, such as a silsesquioxane, etc. are mentioned. In addition, the copolymer of the unsaturated monomer which has an oxetane ring, and an alkyl (meth) acrylate etc. are mentioned.

여기서, 열반응성 화합물이 벤젠 골격을 갖는 경우, 내열성이 향상되므로, 바람직하다. 또한, 열경화성 수지 조성물이 백색 안료를 함유하는 경우, 열반응성 화합물은 지환식 골격인 것이 바람직하다. 이에 의해, 광반응성을 향상시킬 수 있다.Here, when a heat reactive compound has a benzene frame | skeleton, since heat resistance improves, it is preferable. In addition, when a thermosetting resin composition contains a white pigment, it is preferable that a thermoreactive compound is an alicyclic skeleton. Thereby, photoreactivity can be improved.

상기 열반응성 화합물의 배합량으로서는, 알칼리 현상성 수지와의 당량비(열반응성기:알칼리 현상성기)가 1:0.1 내지 1:10인 것이 바람직하고, 1:0.2 내지 1:5인 것이 보다 바람직하다. 이러한 배합비의 범위 내인 경우, 현상이 양호해진다.As a compounding quantity of the said thermoreactive compound, it is preferable that it is 1: 0.1-1: 10, and, as for the equivalence ratio (thermal reactive group: alkali developing group) with alkali developable resin, it is more preferable that it is 1: 0.2-1: 5. When it exists in the range of such a compounding ratio, image development becomes favorable.

[광 염기 발생제][Photobase Generator]

광 염기 발생제는, 자외선이나 가시광 등의 광 조사에 의해 분자 구조가 변화하거나, 또는 분자가 개열함으로써 상기의 열반응성 화합물의 부가 반응의 촉매로서 기능할 수 있는 1종 이상의 염기성 물질을 생성하는 화합물이다. 염기성 물질로서, 예를 들어 2급 아민, 3급 아민을 들 수 있다.A photobase generator is a compound which produces | generates 1 or more basic substances which can function as a catalyst of the addition reaction of the said thermally reactive compound by molecular structure change by the irradiation of light, such as an ultraviolet-ray or visible light, or a molecule | numerator cleaves. to be. As a basic substance, secondary amine and tertiary amine are mentioned, for example.

광 염기 발생제로서, 예를 들어 α-아미노아세토페논 화합물, 옥심에스테르 화합물이나, 아실옥시이미노기, N-포르밀화 방향족 아미노기, N-아실화 방향족 아미노기, 니트로벤질카르바메이트기, 알콕시벤질카르바메이트기 등의 치환기를 갖는 화합물 등을 들 수 있다.As a photobase generator, For example, (alpha)-amino acetophenone compound, an oxime ester compound, an acyloxyimino group, N-formylated aromatic amino group, N-acylated aromatic amino group, nitrobenzyl carbamate group, alkoxybenzylcar The compound which has substituents, such as a barmate group, etc. are mentioned.

α-아미노아세토페논 화합물은 분자 중에 벤조인에테르 결합을 갖고, 광 조사를 받으면 분자 내에서 개열이 일어나서, 경화 촉매 작용을 발휘하는 염기성 물질(아민)이 생성된다. α-아미노아세토페논 화합물의 구체예로서는, (4-모르폴리노벤조일)-1-벤질-1-디메틸아미노프로판(이르가큐어369, 상품명, BASF 재팬사 제조)이나 4-(메틸티오벤조일)-1-메틸-1-모르폴리노에탄(이르가큐어907, 상품명, BASF 재팬사 제조), 2-(디메틸아미노)-2-[(4-메틸페닐)메틸]-1-[4-(4-모르폴리닐)페닐]-1-부타논(이르가큐어379, 상품명, BASF 재팬사 제조) 등의 시판되는 화합물 또는 그의 용액을 사용할 수 있다.The α-aminoacetophenone compound has a benzoin ether bond in the molecule, and when irradiated with light, cleavage occurs in the molecule to generate a basic substance (amine) that exhibits a curing catalyst action. Specific examples of the α-aminoacetophenone compound include (4-morpholinobenzoyl) -1-benzyl-1-dimethylaminopropane (Irgacure 369, trade name, manufactured by BASF Japan) and 4- (methylthiobenzoyl)- 1-methyl-1-morpholinoethane (Irgacure907, a brand name, the BASF Japan company make), 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4- Commercially available compounds, such as morpholinyl) phenyl] -1-butanone (Irgacure 379, a brand name, the BASF Japan company make), or its solution can be used.

옥심에스테르 화합물로서는, 광 조사에 의해 염기성 물질을 생성하는 화합물을 모두 사용할 수 있다. 옥심에스테르 화합물로서는, 시판품으로서, BASF 재팬사 제조의 CGI-325, 이르가큐어―OXE01, 이르가큐어―OXE02, 아데카사 제조의 N-1919, NCI-831 등을 들 수 있다. 또한, 분자 내에 2개의 옥심에스테르기를 갖는 화합물도 적절하게 사용할 수 있고, 구체적으로는 하기 화학식으로 표시되는 카르바졸 구조를 갖는 옥심에스테르 화합물을 들 수 있다.As an oxime ester compound, all the compounds which produce a basic substance by light irradiation can be used. Examples of commercially available oxime ester compounds include CGI-325 manufactured by BASF Japan, Irgacure-OXE01, Irgacure-OXE02, Adeka's N-1919, NCI-831, and the like. Moreover, the compound which has two oxime ester groups in a molecule | numerator can also be used suitably, Specifically, the oxime ester compound which has a carbazole structure represented by a following formula is mentioned.

Figure 112014120868576-pct00001
Figure 112014120868576-pct00001

(식 중 X는 수소 원자, 탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 페닐기, 페닐기(탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1 내지 8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음), 나프틸기(탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1 내지 8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음)를 나타내고, Y, Z는 각각 수소 원자, 탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 할로겐기, 페닐기, 페닐기(탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1 내지 8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음), 나프틸기(탄소수 1 내지 17의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 아미노기, 탄소수 1 내지 8의 알킬기를 갖는 알킬아미노기 또는 디알킬아미노기에 의해 치환되어 있음), 안트릴기, 피리딜기, 벤조푸릴기, 벤조티에닐기를 나타내고, Ar은 결합이나, 탄소수 1 내지 10의 알킬렌, 비닐렌, 페닐렌, 비페닐렌, 피리딜렌, 나프틸렌, 티오펜, 안트릴렌, 티에닐렌, 푸릴렌, 2,5-피롤-디일, 4,4'-스틸벤-디일, 4,2'-스티렌-디일로 나타내고, n은 0이나 1의 정수임)Wherein X represents a hydrogen atom, an alkyl group of 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group of 1 to 8 carbon atoms, a phenyl group, a phenyl group (an alkyl group of 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group of 1 to 8 carbon atoms, an amino group, an alkyl group of 1 to 8 carbon atoms) Substituted with an alkylamino group or a dialkylamino group), a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, an alkylamino group having 1 to 8 carbon atoms or a dialkylamino group) And Y and Z each represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a halogen group, a phenyl group, and a phenyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, having 1 to 8 carbon atoms). Substituted by an alkoxy group, an amino group, an alkylamino group having 1 to 8 carbon atoms or a dialkylamino group), a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, a group having 1 to 8 carbon atoms) Substituted with an alkoxy group, an amino group, an alkylamino group or a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms), an anthryl group, a pyridyl group, a benzofuryl group, a benzothienyl group, and Ar represents a bond or 1 carbon atom. Alkylene, vinylene, phenylene, biphenylene, pyridylene, naphthylene, thiophene, anthylene, thienylene, furylene, 2,5-pyrrole-diyl, 4,4'-stilbene -Diyl, 4,2'-styrene-diyl, n is an integer of 0 or 1)

특히, 상기 화학식 중, X, Y가 각각 메틸기 또는 에틸기이며, Z는 메틸 또는 페닐이며, n은 0이며, Ar은 결합이나, 페닐렌, 나프틸렌, 티오펜 또는 티에닐렌인 것이 바람직하다.In particular, in the above formula, X and Y are each methyl or ethyl group, Z is methyl or phenyl, n is 0, and Ar is preferably a bond or phenylene, naphthylene, thiophene or thienylene.

또한, 바람직한 카르바졸옥심에스테르 화합물로서, 하기 화학식으로 표시할 수 있는 화합물을 들 수도 있다.Moreover, as a preferable carbazole oxime ester compound, the compound which can be represented by a following formula is also mentioned.

Figure 112014120868576-pct00002
Figure 112014120868576-pct00002

(식 중 R1은 탄소 원자수 1 내지 4의 알킬기, 또는 니트로기, 할로겐 원자 또는 탄소 원자수 1 내지 4의 알킬기로 치환되어 있을 수도 있는 페닐기를 나타내며, (Wherein R 1 represents a phenyl group which may be substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or a nitro group, a halogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms,

R2는 탄소 원자수 1 내지 4의 알킬기, 탄소 원자수 1 내지 4의 알콕시기, 또는 탄소 원자수 1 내지 4의 알킬기 또는 알콕시기로 치환되어 있을 수도 있는 페닐기를 나타내며, R3은 산소 원자 또는 황 원자로 연결되어 있을 수도 있고, 페닐기로 치환되어 있을 수도 있는 탄소 원자수 1 내지 20의 알킬기, 탄소 원자수 1 내지 4의 알콕시기로 치환되어 있을 수도 있는 벤질기를 나타내며, R4는 니트로기, 또는 X-C(=O)-로 표시되는 아실기를 나타내고, X는 탄소 원자수 1 내지 4의 알킬기로 치환되어 있을 수도 있는 아릴기, 티에닐기, 모르폴리노기, 티오페닐기, 또는 하기 식으로 표시되는 구조를 나타냄)R 2 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, or a phenyl group which may be substituted with an alkyl group or alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, and R 3 represents an oxygen atom or sulfur Benzyl group which may be connected by the atom and may be substituted by the C1-C20 alkyl group and the C1-C4 alkoxy group which may be substituted by the phenyl group, R <4> represents a nitro group or XC ( Represents an acyl group represented by = O)-, X represents an aryl group, thienyl group, morpholino group, thiophenyl group, or a structure represented by the following formula, which may be substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms)

Figure 112014120868576-pct00003
Figure 112014120868576-pct00003

기타, 일본 특허 공개 제2004-359639호 공보, 일본 특허 공개 제2005-097141호 공보, 일본 특허 공개 제2005-220097호 공보, 일본 특허 공개 제2006-160634호 공보, 일본 특허 공개 제2008-094770호 공보, 일본 특허 공표 제2008-509967호 공보, 일본 특허 공표 제2009-040762호 공보, 일본 특허 공개 제2011-80036호 공보 기재의 카르바졸옥심에스테르 화합물 등을 들 수 있다.In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 2004-359639, Japanese Patent Laid-Open No. 2005-097141, Japanese Patent Laid-Open No. 2005-220097, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-160634, and Japanese Patent Laid-Open No. 2008-094770 The carbazole oxime ester compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 2008-509967, Unexamined-Japanese-Patent No. 2009-040762, Unexamined-Japanese-Patent No. 2011-80036, etc. are mentioned.

아실옥시이미노기를 갖는 화합물의 구체예로서는, O,O'-숙신산디아세토페논옥심, O,O'-숙신산디나프토페논옥심, 벤조페논옥심아크릴레이트스티렌 공중합체 등을 들 수 있다.Specific examples of the compound having an acyloxyimino group include O, O'-succinic acid diacetophenone oxime, O, O'-succinic acid dinaphthophenone oxime, benzophenone oxime acrylate styrene copolymer and the like.

N-포르밀화 방향족 아미노기, N-아실화 방향족 아미노기를 갖는 화합물의 구체예로서는, 예를 들어 디-N-(p-포르밀아미노)디페닐메탄, 디-N(p-아세틸아미노)디페닐메탄, 디-N-(p-벤조아미드)디페닐메탄, 4-포르밀아미노톨루엔, 4-아세틸아미노톨루엔, 2,4-디포르밀아미노톨루일렌, 1-포르밀아미노나프탈렌, 1-아세틸아미노나프탈렌, 1,5-디포르밀아미노나프탈렌, 1-포르밀아미노안트라센, 1,4-디포르밀아미노안트라센, 1-아세틸아미노안트라센, 1,4-디포르밀아미노안트라키논, 1,5-디포르밀아미노안트라키논, 3,3'-디메틸-4,4'-디포르밀아미노비페닐, 4,4'-디포르밀아미노벤조페논 등을 들 수 있다.As a specific example of a compound which has N-formylated aromatic amino group and N-acylated aromatic amino group, For example, di-N- (p-formylamino) diphenylmethane, di-N (p-acetylamino) diphenylmethane , Di-N- (p-benzoamide) diphenylmethane, 4-formylaminotoluene, 4-acetylaminotoluene, 2,4-diformylaminotoluylene, 1-formylaminonaphthalene, 1-acetylamino Naphthalene, 1,5-diformylaminonaphthalene, 1-formylaminoanthracene, 1,4-diformylaminoanthracene, 1-acetylaminoanthracene, 1,4-diformylaminoanthraquinone, 1,5- Diformylaminoanthraquinone, 3,3'-dimethyl-4,4'-diformylaminobiphenyl, 4,4'-diformylaminobenzophenone, and the like.

니트로벤질카르바메이트기, 알콕시벤질카르바메이트기를 갖는 화합물의 구체예로서는, 예를 들어 비스{{(2-니트로벤질)옥시}카르보닐}디아미노디페닐메탄, 2,4-디{{(2-니트로벤질)옥시}톨루엔, 비스{{(2-니트로벤질옥시)카르보닐}헥산-1,6-디아민, m-크실리딘{{(2-니트로-4-클로로벤질)옥시}아미드} 등을 들 수 있다.As a specific example of the compound which has a nitrobenzyl carbamate group and the alkoxy benzyl carbamate group, bis {{((2-nitrobenzyl) oxy} carbonyl} diaminodiphenylmethane, 2,4-di {{( 2-nitrobenzyl) oxy} toluene, bis {{((2-nitrobenzyloxy) carbonyl} hexane-1,6-diamine, m-xyldine {{(2-nitro-4-chlorobenzyl) oxy} amide } And the like.

광 염기 발생제로서는, 옥심에스테르 화합물, α-아미노아세토페논 화합물이 바람직하다. α-아미노아세토페논 화합물로서는, 특히 2개 이상의 질소 원자를 갖는 것이 바람직하다.As a photobase generator, an oxime ester compound and the (alpha)-amino acetophenone compound are preferable. Especially as an alpha-amino acetophenone compound, what has two or more nitrogen atoms is preferable.

기타의 광 염기 발생제로서,As other photobase generators,

WPBG-018(상품명: 9-안트릴메틸 N,N'-디에틸카르바메이트), WPBG-027(상품명: (E)-1-[3-(2-히드록시페닐)-2-프로페노일]피페리딘), WPBG-082(상품명: 구아니디늄2-(3-벤조일페닐)프로피오네이트), WPBG-140(상품명: 1-(안트라퀴논-2-일)에틸 이미다졸카르복실레이트) 등을 사용할 수도 있다.WPBG-018 (brand name: 9-anthrylmethyl N, N'-diethylcarbamate), WPBG-027 (brand name: (E) -1- [3- (2-hydroxyphenyl) -2-prope Noyl] piperidine), WPBG-082 (brand name: guanidinium 2- (3-benzoylphenyl) propionate), WPBG-140 (brand name: 1- (anthraquinone-2-yl) ethyl imidazole carboxyl Rate) or the like.

또한, 일본 특허 공개 평11-71450호 공보, 국제 공개 2002/051905호, 국제 공개 2008/072651호, 일본 특허 공개 제2003-20339호 공보, 일본 특허 공개 제2003-212856호 공보, 일본 특허 공개 제2003-344992호 공보, 일본 특허 공개 제2007-86763호 공보, 일본 특허 공개 제2007-231235호 공보, 일본 특허 공개 제2008-3581호 공보, 일본 특허 공개 제2008-3582호 공보, 일본 특허 공개 제2009-280785, 일본 특허 공개 제2009-080452, 일본 특허 공개 제2010-95686호 공보, 일본 특허 공개 제2010-126662호 공보, 일본 특허 공개 제2010-185010호 공보, 일본 특허 공개 제2010-185036호 공보, 일본 특허 공개 제2010-186054호 공보, 일본 특허 공개 제2010-186056호 공보, 일본 특허 공개 제2010-275388호 공보, 일본 특허 공개 제2010-222586, 일본 특허 공개 제2010-084144, 일본 특허 공개 제2011-107199호 공보, 일본 특허 공개 제2011-236416, 일본 특허 공개 제2011-080032 등의 문헌에 기재된 광 염기 발생제를 사용할 수도 있다.Japanese Patent Laid-Open No. 11-71450, International Publication 2002/051905, International Publication 2008/072651, Japanese Patent Publication No. 2003-20339, Japanese Patent Publication No. 2003-212856, Japanese Patent Publication 2003-344992, Japanese Patent Publication No. 2007-86763, Japanese Patent Publication No. 2007-231235, Japanese Patent Publication No. 2008-3581, Japanese Patent Publication No. 2008-3582, Japanese Patent Publication 2009-280785, Japanese Patent Publication No. 2009-080452, Japanese Patent Publication No. 2010-95686, Japanese Patent Publication No. 2010-126662, Japanese Patent Publication No. 2010-185010, Japanese Patent Publication No. 2010-185036 Japanese Patent Laid-Open No. 2010-186054, Japanese Patent Laid-Open No. 2010-186056, Japanese Patent Laid-Open No. 2010-275388, Japanese Patent Laid-Open No. 2010-222586, Japanese Patent Laid-Open No. 2010-084144, Japanese Patent Publication 2011-107199, Japanese Patent Publication No. 2011-236416, Japan The photobase generating agent described in the literature, such as Patent Publication No. 2011-080032 may be used.

상기 광 염기 발생제는, 1종을 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다. 열경화성 수지 조성물 중의 광 염기 발생제의 배합량은, 바람직하게는 열반응성 화합물 100질량부에 대하여 1 내지 50질량부이며, 더욱 바람직하게는 1 내지 40질량부이다. 1질량부 미만의 경우, 현상이 곤란해지기 때문에 바람직하지 않다.The said photobase generator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. The compounding quantity of the photobase generator in a thermosetting resin composition becomes like this. Preferably it is 1-50 mass parts with respect to 100 mass parts of thermally reactive compounds, More preferably, it is 1-40 mass parts. When it is less than 1 mass part, since image development becomes difficult, it is not preferable.

(말레이미드 화합물)(Maleimide compound)

본 발명의 열경화성 수지 조성물은 말레이미드 화합물을 포함할 수도 있다.The thermosetting resin composition of this invention may contain a maleimide compound.

말레이미드 화합물로서는, 다관능 지방족/지환족 말레이미드, 다관능 방향족 말레이미드를 들 수 있다. 2관능 이상의 말레이미드 화합물(다관능 말레이미드 화합물)이 바람직하다. 다관능 지방족/지환족 말레이미드로서는, 예를 들어 N,N'-메틸렌비스말레이미드, N,N'-에틸렌비스말레이미드, 트리스(히드록시에틸)이소시아누레이트와 지방족/지환족 말레이미드카르복실산을 탈수 에스테르화하여 얻어지는 이소시아누레이트 골격의 말레이미드에스테르 화합물; 트리스(카르바메이트헥실)이소시아누레이트와 지방족/지환족 말레이미드 알코올을 우레탄화하여 얻어지는 이소시아누레이트 골격의 말레이미드 우레탄 화합물 등의 이소시아누르 골격 폴리말레이미드류; 이소포론비스우레탄비스(N-에틸말레이미드), 트리에틸렌글리콜비스(말레이미드에틸카르보네이트), 지방족/지환족 말레이미드카르복실산과 각종 지방족/지환족 폴리올을 탈수 에스테르화, 또는 지방족/지환족 말레이미드카르복실산에스테르와 각종 지방족/지환족 폴리올을 에스테르 교환 반응하여 얻어지는 지방족/지환족 폴리말레이미드에스테르 화합물류; 지방족/지환족 말레이미드카르복실산과 각종 지방족/지환족 폴리에폭시드를 에테르 개환 반응하여 얻어지는 지방족/지환족 폴리말레이미드에스테르 화합물류; 지방족/지환족 말레이미드 알코올과 각종 지방족/지환족 폴리이소시아네이트를 우레탄화 반응하여 얻어지는 지방족/지환족 폴리말레이미드우레탄 화합물류 등이 있다.Examples of the maleimide compound include polyfunctional aliphatic / alicyclic maleimide and polyfunctional aromatic maleimide. Preferred are bifunctional or higher maleimide compounds (polyfunctional maleimide compounds). Examples of the polyfunctional aliphatic / alicyclic maleimide include N, N'-methylenebismaleimide, N, N'-ethylenebismaleimide, tris (hydroxyethyl) isocyanurate and aliphatic / alicyclic maleimide Maleimide ester compound of the isocyanurate frame | skeleton obtained by dehydrating esterification of carboxylic acid; Isocyanur skeleton polymaleimide, such as the maleimide urethane compound of the isocyanurate frame | skeleton obtained by urethanating a tris (carbamate hexyl) isocyanurate and an aliphatic / alicyclic maleimide alcohol; Dehydration esterification of isophoronebisurethanebis (N-ethylmaleimide), triethyleneglycolbis (maleimideethylcarbonate), aliphatic / alicyclic maleimidecarboxylic acid and various aliphatic / alicyclic polyols, or aliphatic / alicyclic Aliphatic / alicyclic polymaleimide ester compounds obtained by transesterifying a group maleimide carboxylic acid ester with various aliphatic / alicyclic polyols; Aliphatic / alicyclic polymaleimide ester compounds obtained by ether ring opening reaction of aliphatic / alicyclic maleimide carboxylic acid and various aliphatic / alicyclic polyepoxides; And aliphatic / alicyclic polymaleimide urethane compounds obtained by urethane-forming aliphatic / alicyclic maleimide alcohols and various aliphatic / alicyclic polyisocyanates.

다관능 방향족 말레이미드로서는, 말레이미드카르복실산과 각종 방향족 폴리올을 탈수 에스테르화, 또는 말레이미드카르복실산에스테르와 각종 방향족 폴리올을 에스테르 교환 반응하여 얻어지는 방향족 폴리말레이미드에스테르 화합물류; 말레이미드카르복실산과 각종 방향족 폴리에폭시드를 에테르 개환 반응하여 얻어지는 방향족 폴리말레이미드에스테르 화합물류; 말레이미드 알코올과 각종 방향족 폴리이소시아네이트를 우레탄화 반응하여 얻어지는 방향족 폴리말레이미드우레탄 화합물류 등의 방향족 다관능 말레이미드류 등이 있다.As a polyfunctional aromatic maleimide, Aromatic polymaleimide ester compounds obtained by dehydrating esterification of maleimide carboxylic acid and various aromatic polyols, or transesterifying maleimide carboxylic acid ester and various aromatic polyols; Aromatic polymaleimide ester compounds obtained by ether ring-opening reaction of maleimide carboxylic acid and various aromatic polyepoxides; Aromatic polyfunctional maleimide, such as aromatic polymaleimide urethane compounds obtained by carrying out urethanation reaction of a maleimide alcohol and various aromatic polyisocyanate, etc. are mentioned.

다관능 방향족 말레이미드의 구체예로서는, 예를 들어 N,N'-(4,4'-디페닐메탄)비스말레이미드, N,N'-2,4-톨릴렌비스말레이미드, N,N'-2,6-톨릴렌비스말레이미드, 1-메틸-2,4-비스말레이미드벤젠, N,N'-m-페닐렌비스말레이미드, N,N'-p-페닐렌비스말레이미드, N,N'-m-톨루일렌비스말레이미드, N,N'-4,4'-비페닐렌비스말레이미드, N,N'-4,4'-〔3,3'-디메틸-비페닐렌〕비스말레이미드, N,N'-4,4'-〔3,3'-디메틸디페닐메탄〕비스말레이미드, N,N'-4,4'-〔3,3'-디에틸디페닐메탄〕비스말레이미드, N,N'-4,4'-디페닐메탄비스말레이미드, N,N'-4,4'-디페닐프로판비스말레이미드, N,N'-4,4'-디페닐에테르비스말레이미드, N,N'-3,3'-디페닐술폰비스말레이미드, N,N'-4,4'-디페닐술폰비스말레이미드, 2,2-비스〔4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕프로판, 2,2-비스〔3-t-부틸-4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕프로판, 2,2-비스〔3-s-부틸-4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕프로판, 1,1-비스〔4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕데칸, 1,1-비스〔2-메틸-4-(4-말레이미드페녹시)-5-t-부틸페닐〕-2-메틸프로판, 4,4'-시클로헥실리덴-비스〔1-(4-말레이미드페녹시)-2-(1,1-디메틸에틸)벤젠〕, 4,4'-메틸렌-비스〔1-(4-말레이미드페녹시)-2,6-비스(1,1-디메틸에틸)벤젠〕, 4,4'-메틸렌-비스〔1-(4-말레이미드페녹시)-2,6-디-s-부틸벤젠〕, 4,4'-시클로헥실리덴-비스〔1-(4-말레이미드페녹시)-2-시클로헥실벤젠, 4,4'-메틸렌비스〔1-(말레이미드페녹시)-2-노닐벤젠〕, 4,4'-(1-메틸에틸리덴)-비스〔1-(말레이미드페녹시)-2,6-비스(1,1-디메틸에틸)벤젠〕, 4,4'-(2-에틸헥실리덴)-비스〔1-(말레이미드페녹시)-벤젠〕, 4,4'-(1-메틸헵틸리덴)-비스〔1-(말레이미드페녹시)-벤젠〕, 4,4'-시클로헥실리덴-비스〔1-(말레이미드페녹시)-3-메틸벤젠〕, 2,2-비스〔4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕헥사플루오로프로판, 2,2-비스〔3-메틸-4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕프로판, 2,2-비스〔3-메틸-4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕헥사플루오로프로판, 2,2-비스〔3,5-디메틸-4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕프로판, 2,2-비스〔3,5-디메틸-4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕헥사플루오로프로판, 2,2-비스〔3-에틸-4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕프로판, 2,2-비스〔3-에틸-4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕헥사플루오로프로판, 비스〔3-메틸-(4-말레이미드페녹시)페닐〕메탄, 비스〔3,5-디메틸-(4-말레이미드페녹시)페닐〕메탄, 비스〔3-에틸-(4-말레이미드페녹시)페닐〕메탄, 3,8-비스〔4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕-트리시클로〔5.2.1.02,6〕데칸, 4,8-비스〔4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕-트리시클로〔5.2.1.02,6〕데칸, 3,9-비스〔4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕-트리시클로〔5.2.1.02,6〕데칸, 4,9-비스〔4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕-트리시클로〔5.2.1.02,6〕데칸, 1,8-비스〔4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕멘탄, 1,8-비스〔3-메틸-4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕멘탄, 1,8-비스〔3,5-디메틸-4-(4-말레이미드페녹시)페닐〕멘탄 등을 들 수 있다.As a specific example of polyfunctional aromatic maleimide, N, N '-(4,4'- diphenylmethane) bismaleimide, N, N'-2,4-tolylene bismaleimide, N, N', for example -2,6-tolylenebismaleimide, 1-methyl-2,4-bismaleimidebenzene, N, N'-m-phenylenebismaleimide, N, N'-p-phenylenebismaleimide, N, N'-m-toluylenebismaleimide, N, N'-4,4'-biphenylenebismaleimide, N, N'-4,4 '-[3,3'-dimethyl-biphenyl Len] bismaleimide, N, N'-4,4 '-[3,3'-dimethyldiphenylmethane] bismaleimide, N, N'-4,4'-[3,3'-diethyldi Phenylmethane] bismaleimide, N, N'-4,4'-diphenylmethanebismaleimide, N, N'-4,4'-diphenylpropanebismaleimide, N, N'-4,4 ' -Diphenyletherbismaleimide, N, N'-3,3'-diphenylsulfonbismaleimide, N, N'-4,4'-diphenylsulfonbismaleimide, 2,2-bis [4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-t-butyl-4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] propane, 2,2 -Bis [3-s-butyl-4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] propane, 1,1-bis [4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] decane, 1,1-bis [2 -Methyl-4- (4-maleimidephenoxy) -5-t-butylphenyl] -2-methylpropane, 4,4'-cyclohexylidene-bis [1- (4-maleimidephenoxy)- 2- (1,1-dimethylethyl) benzene], 4,4'-methylene-bis [1- (4-maleimidephenoxy) -2,6-bis (1,1-dimethylethyl) benzene], 4 , 4'-methylene-bis [1- (4-maleimidephenoxy) -2,6-di-s-butylbenzene], 4,4'-cyclohexylidene-bis [1- (4-maleimide Phenoxy) -2-cyclohexylbenzene, 4,4'-methylenebis [1- (maleimidephenoxy) -2-nonylbenzene], 4,4 '-(1-methylethylidene) -bis [1 -(Maleimide phenoxy) -2,6-bis (1,1-dimethylethyl) benzene], 4,4 '-(2-ethylhexylidene) -bis [1- (maleimide phenoxy) -benzene ], 4,4'- (1-methylheptylidene) -bis [1- (maleimide phenoxy) -benzene], 4,4'- cyclohexylidene-bis [1- (maleimide phenoxy)] 3-M Benzene], 2,2-bis [4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3-methyl-4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-methyl-4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3,5-dimethyl-4- (4-maleimidephenoxy) phenyl ] Propane, 2,2-bis [3,5-dimethyl-4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3-ethyl-4- (4-maleimidephenoxy Phenyl] propane, 2,2-bis [3-ethyl-4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] hexafluoropropane, bis [3-methyl- (4-maleimidephenoxy) phenyl] methane , Bis [3,5-dimethyl- (4-maleimidephenoxy) phenyl] methane, bis [3-ethyl- (4-maleimidephenoxy) phenyl] methane, 3,8-bis [4- (4- Maleimidephenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 4,8-bis [4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 3 , 9-bis [4- (4-maleimide Phenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 4,9-bis [4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 1,8 -Bis [4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] mentane, 1,8-bis [3-methyl-4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] mentan, 1,8-bis [3,5 -Dimethyl-4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] mentan etc. are mentioned.

말레이미드 화합물의 배합량으로서는, 알칼리 현상성 수지와의 당량비(말레이미드기:알칼리 현상성기)가 1:0.1 내지 1:10인 것이 바람직하고, 1:0.2 내지 1:5인 것이 보다 바람직하다. 이러한 배합비로 함으로써 현상이 용이해진다.As a compounding quantity of a maleimide compound, it is preferable that the equivalence ratio (maleimide group: alkali developing group) with alkali developable resin is 1: 0.1-1: 10, and it is more preferable that it is 1: 0.2-1: 5. By setting it as such a compounding ratio, image development becomes easy.

[고분자 수지][Polymer resin]

본 발명의 열경화성 수지 조성물에는, 얻어지는 경화물의 가요성, 지촉 건조성의 향상을 목적으로 관용 공지된 고분자 수지를 배합할 수 있다. 고분자 수지로서는 셀룰로오스계, 폴리에스테르계, 페녹시 수지계, 폴리비닐아세탈계, 폴리비닐부티랄계, 폴리아미드계, 폴리아미드이미드계 결합제 중합체, 블록 공중합체, 엘라스토머, 고무 입자 등을 들 수 있다. 고분자 수지는 1종류를 단독으로 사용할 수도 있고, 2종류 이상을 병용할 수도 있다.The thermosetting resin composition of this invention can mix | blend a conventionally well-known high polymer resin for the purpose of the improvement of the flexibility of hardened | cured material obtained, and a touch-drying property. Examples of the polymer resin include cellulose, polyester, phenoxy resin, polyvinyl acetal, polyvinyl butyral, polyamide, polyamideimide binder polymer, block copolymer, elastomer, rubber particles and the like. Polymeric resin may be used individually by 1 type, and may use two or more types together.

고분자 수지를 배합함으로써, 열경화성 수지 조성물의 용융 점도가 상승하여, 노광 후 가열 시에 있어서, 스루홀 부분의 수지 유동성을 억제할 수 있다. 그 결과, 스루홀 상에 오목부가 보이지 않는 평탄한 기판을 제작할 수 있다.By mix | blending a polymeric resin, the melt viscosity of a thermosetting resin composition rises and the resin fluidity of a through-hole part can be suppressed at the time of post-exposure heating. As a result, the flat board | substrate with which a recessed part is not seen can be manufactured on a through hole.

상기 고분자 수지의 첨가량은, 상기 열반응성 화합물 100질량부에 대하여 바람직하게는 50질량부 이하, 보다 바람직하게는 1 내지 30질량부, 특히 바람직하게는 5 내지 30질량부이다. 고분자 수지의 배합량이 50질량부를 초과한 경우, 열경화성 수지 조성물의 디스미어 내성의 악화가 염려되기 때문에 바람직하지 않다.The addition amount of the said polymeric resin becomes like this. Preferably it is 50 mass parts or less with respect to 100 mass parts of said thermally reactive compounds, More preferably, it is 1-30 mass parts, Especially preferably, it is 5-30 mass parts. When the compounding quantity of a polymer resin exceeds 50 mass parts, since deterioration of the desmear tolerance of a thermosetting resin composition is concerned, it is unpreferable.

(블록 공중합체)(Block copolymer)

블록 공중합체란, 성질이 상이한 2종류 이상의 중합체가 공유 결합으로 연결되어 긴 연쇄가 된 분자 구조의 공중합체이다.A block copolymer is a copolymer of a molecular structure in which two or more kinds of polymers having different properties are covalently linked to form a long chain.

본 발명에서 사용하는 블록 공중합체로서는 A-B-A 또는 A-B-A'형 블록 공중합체가 바람직하다. A-B-A 또는 A-B-A'형 블록 공중합체 중, 중앙의 B가 소프트 블록이며 유리 전이점 Tg가 낮아, 바람직하게는 0℃ 미만이고, 그 양 외측 A 또는 A'가 하드 블록이며 Tg가 높아, 바람직하게는 0℃ 이상의 중합체 단위에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다. 유리 전이점 Tg는 시차 주사 열량 측정(DSC)에 의해 측정된다.As a block copolymer used by this invention, A-B-A or A-B-A 'type block copolymer is preferable. Among the ABA or AB-A 'type block copolymers, the central B is a soft block and the glass transition point Tg is low, preferably less than 0 ° C, and both outer As or A's are hard blocks, and Tg is high. Preferably, it is comprised by the polymer unit of 0 degreeC or more. The glass transition point Tg is measured by differential scanning calorimetry (DSC).

또한, A-B-A 또는 A-B-A'형 블록 공중합체 중, A 또는 A'가 Tg가 50℃ 이상인 중합체 단위를 포함하고, B가 Tg가 -20℃ 이하인 중합체 단위를 포함하는 블록 공중합체가 더욱 바람직하다.Further, among the ABA or AB-A 'type block copolymers, a block copolymer in which A or A' includes a polymer unit having a Tg of 50 ° C or more and B contains a polymer unit having a Tg of -20 ° C or less is more preferable. .

또한, A-B-A 또는 A-B-A'형 블록 공중합체 중, A 또는 A'가 상기 열반응성 화합물과의 상용성이 높은 것이 바람직하고, B가 상기 열반응성 화합물과의 상용성이 낮은 것이 바람직하다. 이와 같이, 양단의 블록이 매트릭스에 상용이며, 중앙의 블록이 매트릭스에 비상용인 블록 공중합체로 함으로써, 매트릭스 중에 있어서 특이적인 구조를 나타내기 쉬워진다고 생각된다.Moreover, it is preferable that A or A 'is high in compatibility with the said heat reactive compound among A-B-A or A-B-A' type block copolymers, and it is preferable that B is low in compatibility with the said heat reactive compound. Thus, it is thought that the block of both ends is compatible with a matrix, and the center block becomes a block copolymer incompatible with a matrix, and it becomes easy to show a specific structure in a matrix.

A 또는 A'로서, 폴리메틸(메트)아크릴레이트(PMMA), 폴리스티렌(PS) 등을 포함하는 것이 바람직하고, B로서 폴리n-부틸아크릴레이트(PBA), 폴리부타디엔(PB) 등을 포함하는 것이 바람직하다. 또한, A 또는 A' 성분의 일부에 스티렌 유닛, 수산기 함유 유닛, 카르복실기 함유 유닛, 에폭시 함유 유닛, N 치환 아크릴아미드 유닛 등으로 대표되는 전술에 기재한 매트릭스와 상용성이 우수한 친수성 유닛을 도입하여, 더욱 상용성을 향상시키는 것이 가능하게 된다.As A or A ', it is preferable to contain polymethyl (meth) acrylate (PMMA), polystyrene (PS), etc., and as B, it contains polyn-butylacrylate (PBA), polybutadiene (PB), etc. It is preferable. In addition, a hydrophilic unit having excellent compatibility with the matrix described above represented by a styrene unit, a hydroxyl group containing unit, a carboxyl group containing unit, an epoxy containing unit, an N substituted acrylamide unit, or the like is introduced into a part of the A or A 'component. It is possible to further improve compatibility.

또한 본 발명에 사용하는 블록 공중합체로서는 3원 이상의 블록 공중합체가 바람직하고, 리빙 중합법에 의해 합성된 분자 구조가 정밀하게 컨트롤된 블록 공중합체가 본 발명의 효과를 얻는데 있어서 보다 바람직하다. 이것은, 리빙 중합법에 의해 합성된 블록 공중합체는 분자량 분포가 좁고, 각각의 유닛의 특징이 명확해졌기 때문이라고 생각된다. 사용하는 블록 공중합체의 분자량 분포(Mw/Mn)는 3 이하가 바람직하고, 2.5 이하가 보다 바람직하고, 더욱 바람직하게는 2.0 이하이다.Moreover, as a block copolymer used for this invention, a block copolymer of three or more members is preferable, and the block copolymer by which the molecular structure synthesize | combined by the living polymerization method is precisely controlled is more preferable in obtaining the effect of this invention. It is thought that this is because the block copolymer synthesized by the living polymerization method has a narrow molecular weight distribution and the characteristics of each unit become clear. 3 or less are preferable, as for the molecular weight distribution (Mw / Mn) of the block copolymer to be used, 2.5 or less are more preferable, More preferably, it is 2.0 or less.

상기와 같은 (메트)아크릴레이트 중합체 블록을 포함하는 블록 공중합체는, 예를 들어 일본 특허 공개 제2007-516326호, 일본 특허 공개 제2005-515281호 명세서 기재된 방법, 특히 하기 화학식 (1) 내지 (4) 중 어느 하나로 표시되는 알콕시 아민 화합물을 개시제로 하여 Y 단위를 중합한 후에, X 단위를 중합함으로써 적절하게 얻을 수 있다.The block copolymer containing such a (meth) acrylate polymer block is, for example, the methods described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-516326 and Japanese Patent Laid-Open No. 2005-515281, in particular, the following general formulas (1) to ( After polymerizing Y unit using the alkoxy amine compound represented by any one of 4) as an initiator, it can obtain suitably by polymerizing X unit.

Figure 112014120868576-pct00004
Figure 112014120868576-pct00004

Figure 112014120868576-pct00005
Figure 112014120868576-pct00005

(식 중, n은 2를 나타내고, Z는 2가의 유기기를 나타내고, 바람직하게는 1,2-에탄디옥시, 1,3-프로판디옥시, 1,4-부탄디옥시, 1,6-헥산디옥시, 1,3,5-트리스(2-에톡시)시아누르산, 폴리아미노아민, 예를 들어 폴리에틸렌아민, 1,3,5-트리스(2-에틸아미노)시아누르산, 폴리티옥시, 포스포네이트 또는 폴리포스포네이트 중에서 선택되는 것이고, Ar은 2가의 아릴기를 나타냄)(Wherein n represents 2, Z represents a divalent organic group, preferably 1,2-ethanedioxy, 1,3-propanedioxy, 1,4-butanedioxy, 1,6-hexane Dioxy, 1,3,5-tris (2-ethoxy) cyanuric acid, polyaminoamines such as polyethyleneamine, 1,3,5-tris (2-ethylamino) cyanuric acid, polythioxy , Phosphonate or polyphosphonate, Ar represents a divalent aryl group)

블록 공중합체의 중량 평균 분자량은 바람직하게는 20,000 내지 400,000, 보다 바람직하게는 50,000 내지 300,000의 범위이다. 중량 평균 분자량이 20,000 미만이면 목적으로 하는 강인성, 유연성의 효과가 얻어지지 않고, 열경화성 수지 조성물을 드라이 필름화했을 때나 기재에 도포하고 가건조했을 때의 점착성도 떨어진다. 한편, 중량 평균 분자량이 400,000을 초과하면, 열경화성 수지 조성물의 점도가 높아져서, 인쇄성, 가공성이 현저하게 나빠지는 경우가 있다. 중량 평균 분자량이 50000 이상이면 외부로부터의 충격에 대한 완화성에 있어서 우수한 효과가 얻어진다.The weight average molecular weight of the block copolymer is preferably in the range of 20,000 to 400,000, more preferably 50,000 to 300,000. If the weight average molecular weight is less than 20,000, the desired effect of toughness and flexibility cannot be obtained, and the adhesiveness when the thermosetting resin composition is dry filmed or when it is applied to a substrate and dried is also inferior. On the other hand, when a weight average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity of a thermosetting resin composition may become high and printability and workability may remarkably worsen. When the weight average molecular weight is 50000 or more, an excellent effect is obtained in the relaxation against impact from the outside.

고분자 수지로서, 블록 공중합체는, 냉열 사이클 시의 크랙 내성이 우수하여, 경화 후의 휨을 억제할 수 있기 때문에 바람직하다. 블록 공중합체는, 스루홀 상의 오목부를 억제하여, 표면이 평탄한 기재를 제작할 수 있기 때문에 특히 바람직하다. 또한, 무기 충전제를 조합함으로써, 또한 냉열 사이클 시의 크랙 내성이 우수하다.As a polymer resin, a block copolymer is preferable because it is excellent in crack resistance at the time of a cold cycle, and can suppress the curvature after hardening. The block copolymer is particularly preferable because it can suppress the recessed portion on the through hole and can produce a substrate having a flat surface. Moreover, by combining an inorganic filler, it is also excellent in crack resistance at the time of cold heat cycle.

(엘라스토머)(Elastomer)

본 발명의 열경화성 수지 조성물에는, 관능기를 갖는 엘라스토머를 첨가할 수 있다. 관능기를 갖는 엘라스토머를 가함으로써, 코팅성이 향상되고, 도막의 강도도 향상되는 것을 기대할 수 있다. 또한, 폴리에스테르계 엘라스토머, 폴리우레탄계 엘라스토머, 폴리에스테르우레탄계 엘라스토머, 폴리아미드계 엘라스토머, 폴리에스테르아미드계 엘라스토머, 아크릴계 엘라스토머, 올레핀계 엘라스토머 등을 사용할 수 있다. 또한, 다양한 골격을 갖는 에폭시 수지의 일부 또는 전부의 에폭시기를 양쪽 말단 카르복실산 변성형 부타디엔-아크릴로니트릴 고무로 변성한 수지 등도 사용할 수 있다. 나아가, 에폭시 함유 폴리부타디엔계 엘라스토머, 아크릴 함유 폴리부타디엔계 엘라스토머, 수산기 함유 폴리부타디엔계 엘라스토머, 수산기 함유 이소프렌계 엘라스토머 등도 사용할 수 있다. 또한, 이 엘라스토머는 1종을 단독으로 사용할 수도 있고, 2종류 이상을 병용할 수도 있다.The elastomer which has a functional group can be added to the thermosetting resin composition of this invention. By adding an elastomer having a functional group, it is possible to improve the coating property and to improve the strength of the coating film. In addition, polyester elastomers, polyurethane elastomers, polyester urethane elastomers, polyamide elastomers, polyesteramide elastomers, acrylic elastomers, olefin elastomers, and the like can be used. Moreover, the resin etc. which modified | denatured the epoxy group of one part or all part of the epoxy resin which has a various skeleton with both terminal carboxylic acid modified type butadiene- acrylonitrile rubber can also be used. Furthermore, epoxy-containing polybutadiene-based elastomers, acrylic-containing polybutadiene-based elastomers, hydroxyl-containing polybutadiene-based elastomers, hydroxyl-containing isoprene-based elastomers, and the like can also be used. In addition, this elastomer may be used individually by 1 type, and may use two or more types together.

(고무 입자)(Rubber particles)

고무 입자는, 가교 구조를 갖는 고분자 등의 유기물로부터 형성된 입자상의 것이라면 어떤 것이어도 되지만, 예를 들어 아크릴로니트릴부타디엔의 공중합물로서, 아크릴로니트릴과 부타디엔을 공중합한 가교 NBR 입자; 아크릴로니트릴과 부타디엔과 아크릴산 등의 카르복실산을 공중합한 것; 가교 폴리부타디엔, 가교 실리콘 고무, 또는 NBR을 코어층으로 하고, 가교 아크릴 수지를 쉘층으로 한, 소위 코어 쉘 구조의 가교 고무 입자(「코어-쉘 고무 입자」라고도 함)를 들 수 있다.The rubber particles may be any particle-shaped one formed from an organic substance such as a polymer having a crosslinked structure. Examples of the rubber particles include crosslinked NBR particles obtained by copolymerizing acrylonitrile and butadiene as copolymers of acrylonitrile butadiene; Copolymers of acrylonitrile, butadiene and carboxylic acids such as acrylic acid; The so-called core-shell structured crosslinked rubber particles (also referred to as "core-shell rubber particles") in which crosslinked polybutadiene, crosslinked silicone rubber, or NBR is used as a core layer and a crosslinked acrylic resin is used as a shell layer may be mentioned.

그 중에서도, 분산성의 제어, 입자 사이즈의 안정성의 관점에서, 코어 쉘 구조의 가교 고무 입자가 바람직하고, 가교 아크릴 수지를 쉘층으로 하고, 가교 폴리부타디엔 또는 가교 실리콘 고무를 코어층으로 한 코어 쉘 구조의 가교 고무 입자가 보다 바람직하다.Among them, from the viewpoint of control of dispersibility and stability of particle size, a crosslinked rubber particle having a core shell structure is preferable, and a core shell structure having a crosslinked acrylic resin as a shell layer and a crosslinked polybutadiene or crosslinked silicone rubber as a core layer. Crosslinked rubber particles are more preferred.

가교 NBR 입자란, 아크릴로니트릴, 부타디엔을 공중합시키고, 또한 공중합하는 단계에서 부분적으로 가교시켜 입자상으로 한 것이다. 또한 아크릴산, 메타크릴산 등의 카르복실산을 아울러 공중합함으로써, 카르복실산 변성 가교 NBR 입자를 얻는 것도 가능하다.Crosslinked NBR particles are those obtained by copolymerizing acrylonitrile and butadiene and partially crosslinking in the step of copolymerizing to form a particulate. It is also possible to obtain carboxylic acid-modified crosslinked NBR particles by copolymerizing carboxylic acids such as acrylic acid and methacrylic acid together.

가교 부타디엔 고무-가교 아크릴 수지의 코어-쉘 고무 입자는, 유화 중합으로 부타디엔 입자를 중합시키고, 계속하여 아크릴산에스테르, 아크릴산 등의 단량체를 첨가하여 중합을 계속하는 2단계의 중합 방법으로 얻을 수 있다.The core-shell rubber particles of the crosslinked butadiene rubber-crosslinked acrylic resin can be obtained by a two-step polymerization method in which the butadiene particles are polymerized by emulsion polymerization, and then monomers such as acrylic acid ester and acrylic acid are added to continue the polymerization.

가교 실리콘 고무-가교 아크릴 수지의 코어-쉘 고무 입자는, 유화 중합으로 실리콘 입자를 중합시키고, 계속하여 아크릴산에스테르, 아크릴산 등의 단량체를 첨가하여 중합을 계속하는 2단계의 중합 방법으로 얻을 수 있다.The core-shell rubber particles of the crosslinked silicone rubber-crosslinked acrylic resin can be obtained by a two-step polymerization method in which the silicon particles are polymerized by emulsion polymerization, and then monomers such as acrylic acid ester and acrylic acid are added to continue the polymerization.

고무 입자의 크기는, 1차 평균 입자 직경으로 1㎛ 이하이고, 50nm 내지 1㎛로 하는 것이 바람직하다. 1차 평균 입자 직경으로 1㎛를 초과하면, 접착력의 저하나, 미세 배선에서의 절연 신뢰성을 손상시키게 된다. 여기에서 말하는 「1차 평균 입자 직경」이란, 응집한 입자 직경, 즉 2차 입자 직경이 아니고, 응집하고 있지 않은 단체에서의 입자 직경을 말한다.The size of a rubber particle is 1 micrometer or less in primary average particle diameter, and it is preferable to set it as 50 nm-1 micrometer. When 1 micrometer exceeds 1 micrometer in primary mean particle diameter, adhesive force falls and the insulation reliability in a micro wiring is impaired. The "primary average particle diameter" here means not the aggregated particle diameter, ie, the secondary particle diameter, but the particle diameter in the single body which is not aggregated.

또한, 그 1차 평균 입자 직경은, 예를 들어 레이저 회절식 입도 분포계에 의해 측정하여 구할 수 있다.In addition, the primary average particle diameter can be measured and calculated | required with a laser diffraction type particle size distribution meter, for example.

상기와 같은 고무 입자는, 단독으로나, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다.Such rubber particles may be used alone or in combination of two or more thereof.

고무 입자의 함유량은, 수지 조성물 중 50질량% 이하인 것이 바람직하고, 1 내지 30질량%인 것이 보다 바람직하다.It is preferable that it is 50 mass% or less in a resin composition, and, as for content of a rubber particle, it is more preferable that it is 1-30 mass%.

예를 들어, 카르복실산 변성 아크릴로니트릴부타디엔 고무 입자의 시판품으로서는 니혼 고세이 고무 가부시끼가이샤 제조의 XER-91을 들 수 있다. 부타디엔 고무-아크릴 수지의 코어 쉘 입자는 롬 앤드 하스 가부시끼가이샤 제조의 파랄로이드 EXL2655나 간쯔 가세이 고교 가부시끼가이샤의 AC-3832를 들 수 있다. 가교 실리콘 고무-아크릴 수지의 코어-쉘 고무 입자는, 아사히가세이 바커 실리콘(주) 제조의 GENIOPERLP52를 들 수 있다.For example, XER-91 by Nippon Kosei Rubber Co., Ltd. is mentioned as a commercial item of a carboxylic acid modified acrylonitrile butadiene rubber particle. Examples of the core shell particles of butadiene rubber-acrylic resin include Paraloid EXL2655 manufactured by Rohm and Haas Co., Ltd. and AC-3832 of Gantsu Kasei Kogyo Co., Ltd. As for the core-shell rubber particle | grains of crosslinked silicone rubber-acrylic resin, Asahi Kasei Barker Silicone Co., Ltd. product GENIOPERLP52 is mentioned.

고무 입자를 사용함으로써, 냉열 사이클 시의 크랙 내성을 향상시킬 수 있다.By using rubber particles, crack resistance at the time of cold heat cycle can be improved.

[무기 충전제][Inorganic Filler]

상기 열경화성 수지 조성물은 무기 충전제를 함유하는 것이 바람직하다. 무기 충전제는, 열경화성 수지 조성물의 경화물 경화 수축을 억제하여, 밀착성, 경도 등의 특성을 향상시키기 위하여 사용된다. 무기 충전제로서는, 예를 들어 황산바륨, 무정형 실리카, 용융 실리카, 구상 실리카, 탈크, 클레이, 탄산마그네슘, 탄산칼슘, 산화알루미늄, 수산화알루미늄, 질화규소, 질화알루미늄, 질화붕소, 노이부르그 실리셔스 어스 등을 들 수 있다.It is preferable that the said thermosetting resin composition contains an inorganic filler. An inorganic filler is used in order to suppress hardened | cured material hardening shrinkage of a thermosetting resin composition, and to improve characteristics, such as adhesiveness and hardness. Examples of the inorganic fillers include barium sulfate, amorphous silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, Neuburg Silius Earth, and the like. Can be mentioned.

무기 충전제의 평균 입경(D50)은 1㎛ 이하인 것이 바람직하고, 0.7㎛ 이하인 것이 보다 바람직하고, 0.5㎛인 것이 더욱 바람직하다. 평균 입경이 1㎛를 초과하는 경우, 패턴층이 백탁될 우려가 있기 때문에 바람직하지 않다. 무기 충전제의 평균 입경(D50)의 하한값은, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 0.01㎛ 이상이다. 여기서, 평균 입경(D50)이란 평균 1차 입경을 의미한다.It is preferable that the average particle diameter (D50) of an inorganic filler is 1 micrometer or less, It is more preferable that it is 0.7 micrometer or less, It is further more preferable that it is 0.5 micrometer. When the average particle diameter exceeds 1 µm, the pattern layer may be cloudy, which is not preferable. Although the lower limit of the average particle diameter (D50) of an inorganic filler is not specifically limited, For example, it is 0.01 micrometer or more. Here, the average particle diameter (D50) means an average primary particle diameter.

평균 입경(D50)은 레이저 회절/산란법에 의해 측정할 수 있다. 평균 입경이 상기 범위에 있는 것에 의해, 굴절률이 수지 성분과 가까워져서, 투과성이 향상되어, 광 조사에 의한 광 염기 발생제로부터의 염기의 발생 효율이 상승한다. 무기 충전제와, 알칼리 현상성 수지의 굴절률차는 0.3 이하인 것이 바람직하다. 굴절률차를 0.3 이하로 함으로써, 광의 산란을 억제하여, 양호한 심부 경화 특성을 얻을 수 있다. 여기서, 무기 충전제의 굴절률은 1.4 이상 1.8 이하인 것이 바람직하다. 또한, 무기 충전제의 굴절률은 JIS K 7105에 준거하여 측정할 수 있다.Average particle diameter (D50) can be measured by a laser diffraction / scattering method. When the average particle diameter is in the above range, the refractive index is closer to the resin component, the transmittance is improved, and the generation efficiency of the base from the photobase generator by light irradiation is increased. It is preferable that the refractive index difference of an inorganic filler and alkali developable resin is 0.3 or less. By setting the refractive index difference to 0.3 or less, scattering of light can be suppressed and good core hardening characteristics can be obtained. Here, it is preferable that the refractive index of an inorganic filler is 1.4 or more and 1.8 or less. In addition, the refractive index of an inorganic filler can be measured based on JISK7105.

무기 충전제의 배합 비율은, 상기 열경화성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로 하여 20질량% 이상 80질량% 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 30질량% 이상 80질량% 이하이다. 무기 충전제의 배합 비율이 80질량%를 초과하면, 조성물의 점도가 높아져서, 도포성이 저하되거나, 열경화성 수지 조성물의 경화물이 취성이 되는 경우가 있다.20 mass% or more and 80 mass% or less are preferable based on the total solid of the said thermosetting resin composition, and, as for the compounding ratio of an inorganic filler, More preferably, they are 30 mass% or more and 80 mass% or less. When the compounding ratio of an inorganic filler exceeds 80 mass%, the viscosity of a composition may become high, applicability | paintability may fall, or the hardened | cured material of a thermosetting resin composition may become brittle.

라디칼 반응에 의해 경화가 진행되는 조성물에서는, 무기 충전제의 함유량이 증가한 경우 해상성이 저하되지만, 본 발명에서는, 발생한 염기에 의한 경화 반응이기 때문에, 무기 충전제의 함유량이 증가한 경우에도 양호한 해상성을 유지할 수 있다.In the composition which hardens | cures by a radical reaction, resolution will fall when content of an inorganic filler increases, but in this invention, since it is a hardening reaction by the base which generate | occur | produced, it maintains favorable resolution even when content of an inorganic filler increases. Can be.

또한, 무기 충전제의 비중은 3 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2.8 이하이고, 더욱 보다 바람직하게는 2.5 이하이다. 무기 충전제의 비중이 3 이하인 것에 의해, 열팽창을 억제할 수 있다. 3 이하의 무기 충전제로서는, 예를 들어 실리카와 수산화알루미늄을 들 수 있고, 실리카가 특히 바람직하다.Moreover, it is preferable that the specific gravity of an inorganic filler is 3 or less, More preferably, it is 2.8 or less, More preferably, it is 2.5 or less. When the specific gravity of the inorganic filler is 3 or less, thermal expansion can be suppressed. As an inorganic filler of 3 or less, silica and aluminum hydroxide are mentioned, for example, and silica is especially preferable.

무기 충전제의 형상으로서는, 부정형, 바늘 형상, 원반 형상, 비늘 조각, 구상, 중공 형상 등을 들 수 있다. 여기서, 조성물 중에 높은 비율로 배합 가능한 점으로부터, 구상이 바람직하다. 그리고, 무기 충전제는 내습성을 향상시키기 위해서, 실란 커플링제 등의 표면 처리제로 처리되어 있는 것이 더욱 바람직하다.Examples of the shape of the inorganic filler include irregular shapes, needle shapes, disc shapes, scale pieces, spherical shapes, hollow shapes, and the like. Here, spherical shape is preferable from the point which can be mix | blended in a high ratio in a composition. And in order to improve moisture resistance, it is more preferable that an inorganic filler is processed by surface treating agents, such as a silane coupling agent.

또한, 무기 충전제를 함유함으로써, 냉열 사이클 시의 크랙 내성을 향상시킬 수 있다. 무기 충전제를 다량으로 함유함으로써, 경화 후의 휨을 억제할 수도 있다.Moreover, by containing an inorganic filler, crack resistance at the time of a cold heat cycle can be improved. By containing a large amount of inorganic filler, the curvature after hardening can also be suppressed.

본원 발명에서는, 경화물의 열팽창 계수(CTE)가 40ppm 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 30ppm 이하이고, 보다 더욱 바람직하게는 20ppm 이하이다.In this invention, it is preferable that the thermal expansion coefficient (CTE) of hardened | cured material is 40 ppm or less, More preferably, it is 30 ppm or less, More preferably, it is 20 ppm or less.

[유기 용제][Organic Solvent]

본 발명의 열경화성 수지 조성물에는, 수지 조성물의 제조를 위해서나 기재나 캐리어 필름에 도포하기 위한 점도 조정을 위해서 유기 용제를 사용할 수 있다.In the thermosetting resin composition of this invention, an organic solvent can be used for manufacture of a resin composition, or the viscosity adjustment for apply | coating to a base material or a carrier film.

이러한 유기 용제로서는, 케톤류, 방향족 탄화수소류, 글리콜에테르류, 글리콜에테르아세테이트류, 에스테르류, 알코올류, 지방족 탄화수소, 석유계 용제 등을 들 수 있다. 이러한 유기 용제는, 1종을 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상의 혼합물로서 사용할 수도 있다.Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, and petroleum solvents. Such an organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a mixture of 2 or more types.

[광중합성 단량체][Photopolymerizable monomer]

본 발명의 열경화성 수지 조성물은, 본 발명의 효과를 저해하지 않는 범위에서 광중합성 단량체를 포함하고 있을 수도 있다.The thermosetting resin composition of this invention may contain the photopolymerizable monomer in the range which does not impair the effect of this invention.

광중합성 단량체로서는, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트 등의 알킬(메트)아크릴레이트류; 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트 등의 히드록시알킬(메트)아크릴레이트류; 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 디프로필렌글리콜 등의 알킬렌옥시드 유도체의 모노 또는 디(메트)아크릴레이트류; 헥산디올, 트리메틸올프로판, 펜타에리트리톨, 디트리메틸올프로판, 디펜타에리트리톨, 트리스히드록시에틸이소시아누레이트 등의 다가 알코올 또는 이 에틸렌옥시드 또는 프로필렌옥시드 부가물의 다가 (메트)아크릴레이트류; 페녹시에틸(메트)아크릴레이트, 비스페놀 A의 폴리에톡시디(메트)아크릴레이트 등의 페놀류의 에틸렌옥시드 또는 프로필렌옥시드 부가물의 (메트)아크릴레이트류; 글리세린디글리시딜에테르, 트리메틸올프로판트리글리시딜에테르, 트리글리시딜이소시아누레이트 등의 글리시딜에테르의 (메트)아크릴레이트류; 및 멜라민(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.As a photopolymerizable monomer, Alkyl (meth) acrylates, such as 2-ethylhexyl (meth) acrylate and cyclohexyl (meth) acrylate; Hydroxyalkyl (meth) acrylates such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate; Mono or di (meth) acrylates of alkylene oxide derivatives such as ethylene glycol, propylene glycol, diethylene glycol and dipropylene glycol; Polyhydric alcohols such as hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, ditrimethylolpropane, dipentaerythritol, trishydroxyethyl isocyanurate, or polyhydric (meth) acrylates of ethylene oxide or propylene oxide adduct Ryu; (Meth) acrylates of ethylene oxide or propylene oxide adducts of phenols such as phenoxyethyl (meth) acrylate and polyethoxydi (meth) acrylate of bisphenol A; (Meth) acrylates of glycidyl ethers such as glycerin diglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether and triglycidyl isocyanurate; And melamine (meth) acrylate etc. are mentioned.

광중합성 단량체의 배합량은, 열경화성 수지 조성물의 용제를 제외한 고형분을 기준으로 하여, 50질량% 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 30질량% 이하이고, 더욱 보다 바람직하게는 15질량% 이하이다. 광중합성 단량체의 배합량이 50질량%를 초과하는 경우, 경화 수축이 커지기 때문에, 휨이 커질 가능성이 있다. 또한, 광중합성 단량체가 (메트)아크릴레이트 유래인 경우, 에스테르 결합을 포함한다. 이 경우, 디스미어 처리에 의해, 에스테르 결합의 가수분해가 일어나기 때문에, 전기 특성이 저하될 가능성이 있다.It is preferable that the compounding quantity of a photopolymerizable monomer is 50 mass% or less on the basis of solid content except the solvent of a thermosetting resin composition, More preferably, it is 30 mass% or less, More preferably, it is 15 mass% or less. When the compounding quantity of a photopolymerizable monomer exceeds 50 mass%, since curing shrinkage becomes large, there exists a possibility that curvature may become large. Moreover, when a photopolymerizable monomer is derived from (meth) acrylate, it contains an ester bond. In this case, since desmear treatment causes hydrolysis of the ester bond, there is a possibility that the electrical properties may be reduced.

(기타의 임의 성분)(Other optional ingredients)

본 발명의 열경화성 수지 조성물에는, 필요에 따라 추가로 머캅토 화합물, 밀착 촉진제, 착색제, 산화 방지제, 자외선 흡수제 등의 성분을 배합할 수 있다. 이들은, 전자 재료의 분야에 있어서 공지의 것을 사용할 수 있다.In the thermosetting resin composition of this invention, components, such as a mercapto compound, an adhesion promoter, a coloring agent, antioxidant, and a ultraviolet absorber, can be mix | blended further as needed. These can use a well-known thing in the field of an electronic material.

특히, 본 발명에서는, 착색제의 함유량을 증가시킨 경우에 있어서도, 언더컷을 억제하여, 양호한 비아홀과 라인을 형성할 수 있다.In particular, in the present invention, even when the content of the colorant is increased, the undercut can be suppressed to form good via holes and lines.

또한, 상기의 열경화성 수지 조성물에는, 미분 실리카, 히드로탈사이트, 유기 벤토나이트, 몬모릴로나이트 등의 공지 관용의 증점제, 실리콘계, 불소계, 고분자계 등의 소포제 및/또는 레벨링제, 이미다졸계, 티아졸계, 트리아졸계 등의 실란 커플링제, 방청제 등과 같은 공지 관용의 첨가제류를 배합할 수 있다.Further, in the thermosetting resin composition, known conventional thickeners such as finely divided silica, hydrotalcite, organic bentonite and montmorillonite, antifoaming agents and / or leveling agents such as silicone, fluorine and polymers, imidazole, thiazole and tria Known conventional additives such as silane coupling agents such as sol-based and rust inhibitors can be blended.

또한, 열경화성 성분으로서, 블록 이소시아네이트 화합물, 아미노 수지, 벤조옥사진 수지, 카르보디이미드 수지, 시클로카르보네이트 화합물, 에피술피드 수지 등의 공지 관용의 열경화성 수지 등을 배합해도 된다.Moreover, you may mix | blend well-known conventional thermosetting resins, such as a block isocyanate compound, an amino resin, a benzoxazine resin, a carbodiimide resin, a cyclocarbonate compound, an episulfide resin, as a thermosetting component.

또한, 알칼리 현상성 수지로서 페놀 수지를 함유하고, 열반응성 화합물로서 에폭시 수지를 함유함으로써, Tg를 높게 할 수 있어, 원료의 연화점에 의존하지 않고 HAST 내성이 우수한 경화물이 얻어지는 수지 조성물로 할 수 있다. 또한, 광중합성 단량체(분자 내에 에틸렌성 불포화기를 함유하고, 카르복실기 함유 수지를 주성분으로 하는 광경화성 수지 조성물에 있어서, 광경화를 촉진하기 위해 배합되는 저분자 화합물)을 배합하지 않는 조성으로 한 경우, 태크성이 우수한 수지 조성물로 할 수 있다.In addition, by containing a phenol resin as the alkali developable resin and an epoxy resin as the thermally reactive compound, the Tg can be made high and a cured product having excellent HAST resistance can be obtained without depending on the softening point of the raw material. have. In addition, when it is set as the composition which does not mix | blend a photopolymerizable monomer (the low molecular compound mix | blended in the photocurable resin composition which contains an ethylenically unsaturated group in a molecule and has a carboxyl group-containing resin as a main component, and promotes photocuring), It can be set as the resin composition excellent in the property.

또한, 종래의 광경화성 수지 조성물에서는, 광경화 반응을 실온 하에서 일으키기 때문에, 경화 시에 수지 조성물의 Tg가 상승하는 결과, 경화 반응이 정지하게 되는 경우가 있어, 수지 조성물의 Tg를 낮게 설계할 필요가 있었다. 그것에 비하여 본 발명의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물은, 경화 반응 전의 Tg에 제한은 없고, 높은 Tg로 하는 것을 기대할 수 있다. 또한, 본 발명의 알칼리 현상형 열경화성 수지 조성물은, 산소 저해를 받지 않고 경화하는 것을 기대할 수 있다.In addition, in the conventional photocurable resin composition, since the photocuring reaction occurs at room temperature, as a result of the increase in the Tg of the resin composition at the time of curing, the curing reaction may be stopped, and the Tg of the resin composition needs to be designed low. There was. On the other hand, the alkali developing type thermosetting resin composition of this invention does not have a restriction | limiting in Tg before hardening reaction, and can be expected to set it as high Tg. In addition, the alkali developing thermosetting resin composition of the present invention can be expected to be cured without being subjected to oxygen inhibition.

본 발명의 열경화성 수지 조성물은, 프린트 배선판의 패턴층의 형성에 유용하고, 그 중에서도 솔더 레지스트나 층간 절연층의 재료로서 유용하다.The thermosetting resin composition of this invention is useful for formation of the pattern layer of a printed wiring board, and is especially useful as a material of a soldering resist and an interlayer insulation layer.

[패턴 형성 방법][Pattern Forming Method]

본 발명의 열경화성 수지 조성물을 적절하게 사용할 수 있는 패턴 형성 방법은, 기재에 열경화성 수지 조성물을 포함하는 수지층을 형성하는 공정 (A), 네가티브형의 패턴 형상으로 광 조사하여 열경화성 수지 조성물에 포함되는 광 염기 발생제를 활성화하여 광 조사부를 경화하는 공정 (B), 알칼리 현상에 의해 미조사부를 제거함으로써 네가티브형의 패턴층을 형성하는 공정 (C)를 포함한다.The pattern formation method which can use suitably the thermosetting resin composition of this invention is a process (A) of forming the resin layer containing a thermosetting resin composition on a base material, and is irradiated with a negative pattern shape, and is contained in a thermosetting resin composition. The step (B) of activating a photobase generator and hardening a light irradiation part, and the process (C) of forming a negative pattern layer by removing a non-irradiation part by alkali image development are included.

패턴 형상의 광 조사에 의해 열경화성 수지 조성물의 광 조사부 내에 염기를 발생시킴으로써, 광 조사부를 경화할 수 있다. 그 후, 알칼리 수용액으로 현상함으로써, 미조사부를 제거하여, 네가티브형의 패턴층을 형성한다.A light irradiation part can be hardened by generating a base in the light irradiation part of a thermosetting resin composition by light irradiation of a pattern shape. Thereafter, by developing with an aqueous alkali solution, the unilluminated portion is removed to form a negative pattern layer.

여기서, 본 발명에서는, 공정 (B) 후, 수지층을 가열하는 공정 (B1)을 갖는 것이 바람직하다. 이에 의해, 수지층을 충분히 경화하여, 더욱 경화 특성이 우수한 패턴층을 얻을 수 있다.Here, in this invention, it is preferable to have a process (B1) which heats a resin layer after a process (B). Thereby, a resin layer can fully be hardened and the pattern layer excellent in further hardening characteristic can be obtained.

[공정 (A)][Step (A)]

도 1을 참조하면서 패턴 형성 방법을 설명한다. 공정 (A)는 기재에 열경화성 수지 조성물을 포함하는 수지층을 형성하는 공정이다. 수지층을 형성하는 방법은, 액상의 열경화성 수지 조성물을 기재 상에 도포, 건조하는 방법이나, 열경화성 수지 조성물을 드라이 필름으로 한 것을 기판 상에 라미네이트하는 방법에 의할 수 있다.The pattern formation method is demonstrated, referring FIG. Process (A) is a process of forming the resin layer containing a thermosetting resin composition in a base material. The method of forming a resin layer can be based on the method of apply | coating and drying a liquid thermosetting resin composition on a base material, and the method of laminating on a board | substrate what used the thermosetting resin composition as a dry film.

열경화성 수지 조성물의 기판에의 도포 방법은, 블레이드 코터, 립 코터, 콤마 코터, 필름 코터 등의 공지된 방법을 적절히 채용할 수 있다. 또한, 건조 방법은, 열풍 순환식 건조로, IR로, 핫 플레이트, 컨백션 오븐 등, 증기에 의한 가열 방식의 열원을 구비한 것을 사용하여, 건조기 내의 열풍을 향류 접촉시키는 방법, 및 노즐로부터 지지체에 분사하는 방법 등, 공지된 방법을 적용할 수 있다.As a coating method of a thermosetting resin composition to a board | substrate, well-known methods, such as a blade coater, a lip coater, a comma coater, and a film coater, can be employ | adopted suitably. In addition, the drying method is a method of hot air circulation type drying furnace, which is provided with a heat source of a heating method using steam such as a hot plate, a convection oven, or the like in a countercurrent direction, and a method of countercurrently contacting the hot air in the dryer, and the support from the nozzle. A well-known method, such as a method of spraying on, can be applied.

기재로서는, 미리 회로 형성된 프린트 배선 기재나 플렉시블 프린트 배선 기재 외에, 종이-페놀 수지, 종이-에폭시 수지, 유리 천-에폭시 수지, 유리-폴리이미드, 유리 천/부직포-에폭시 수지, 유리 천/종이-에폭시 수지, 합성 섬유-에폭시 수지, 불소 수지·폴리에틸렌·PPO·시아네이트 에스테르 등의 복합재를 사용한 모든 그레이드(FR-4 등)의 동장 적층판, 폴리이미드 필름, PET 필름, 유리 기재, 세라믹 기재, 웨이퍼 기재 등을 사용할 수 있다.As a base material, in addition to the printed wiring base material and flexible printed wiring base material which were previously formed in a circuit, paper-phenol resin, paper-epoxy resin, glass cloth-epoxy resin, glass polyimide, glass cloth / nonwoven fabric-epoxy resin, glass cloth / paper- Copper clad laminates of all grades (such as FR-4) using composite materials such as epoxy resins, synthetic fiber-epoxy resins, fluororesins, polyethylene, PPO, and cyanate esters, polyimide films, PET films, glass substrates, ceramic substrates, wafers Base materials and the like can be used.

[공정 (B)][Step (B)]

공정 (B)는 네가티브형의 패턴 형상의 광 조사로 열경화성 수지 조성물에 포함되는 광 염기 발생제를 활성화하여 광 조사부를 경화하는 공정이다. 공정 (B)는 광 조사부에서 발생한 염기에 의해 광 염기 발생제가 불안정화되어, 더욱 염기가 발생한다고 생각된다. 이렇게 염기가 화학적으로 증식함으로써, 광 조사부의 심부까지 충분히 경화할 수 있다.Process (B) is a process of hardening a light irradiation part by activating the photobase generator contained in a thermosetting resin composition by light irradiation of a negative pattern shape. It is thought that a process (B) destabilizes a photobase generator by the base which generate | occur | produced in the light irradiation part, and generate | occur | produces a base further. By chemically propagating the base in this manner, it can be sufficiently cured to the deep portion of the light irradiation part.

광 조사에 사용되는 광 조사기로서는, 예를 들어 레이저광, 램프광, LED광을 조사 가능한 직접 묘화 장치를 사용할 수 있다. 패턴 형상의 광 조사용의 마스크는, 네가티브형의 마스크를 사용할 수 있다.As a light irradiator used for light irradiation, the direct drawing apparatus which can irradiate a laser beam, lamp light, and LED light can be used, for example. The mask for light irradiation of pattern shape can use a negative mask.

활성 에너지선으로서는, 최대 파장이 350 내지 410nm의 범위에 있는 레이저광 또는 산란광을 사용하는 것이 바람직하다. 최대 파장을 이 범위로 함으로써, 효율적으로 열경화성 수지 조성물의 열반응성을 향상시킬 수 있다. 이 범위의 레이저광을 사용하고 있다면 가스 레이저, 고체 레이저 중의 어느 것이어도 된다. 또한, 그 광 조사량은 막 두께 등에 따라 상이한데, 일반적으로는 100 내지 1500mJ/㎠, 바람직하게는 300 내지 1500mJ/㎠의 범위 내로 할 수 있다.As the active energy ray, it is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm. By making a maximum wavelength into this range, the thermal reactivity of a thermosetting resin composition can be improved efficiently. As long as the laser beam of this range is used, any of a gas laser and a solid state laser may be sufficient. The amount of light irradiation varies depending on the film thickness and the like, but can generally be in the range of 100 to 1500 mJ / cm 2, preferably 300 to 1500 mJ / cm 2.

직접 묘화 장치로서는, 예를 들어 닛본 오르보테크사 제조, 팬탁스사 제조 등의 것을 사용할 수 있고, 최대 파장이 350 내지 410nm인 레이저광을 발진하는 장치라면 어느 장치를 사용해도 된다.As the direct drawing apparatus, for example, those manufactured by Nippon Orbotech Co., Ltd. and Pantax Co., Ltd. may be used, and any apparatus may be used as long as the apparatus emits laser light having a maximum wavelength of 350 to 410 nm.

[공정 (B1)][Step (B1)]

공정 (B1)은 가열에 의해 광 조사부를 경화한다. 공정 (B1)은 공정 (B)에서 발생한 염기에 의해 심부까지 경화할 수 있다.Process (B1) hardens a light irradiation part by heating. Process (B1) can be hardened to the core by the base which generate | occur | produced in process (B).

가열 온도는, 열경화성 수지 조성물 중 광 조사부는 열경화하지만, 미조사부는 열경화하지 않는 온도인 것이 바람직하다.The heating temperature is preferably a temperature at which the light irradiation part is thermosetted in the thermosetting resin composition, but the non-irradiation part is not heat cured.

예를 들어, 공정 (B1)은 미조사의 열경화성 수지 조성물의 발열 개시 온도 또는 발열 피크 온도보다도 낮으며, 광 조사한 열경화성 수지 조성물의 발열 개시 온도 또는 발열 피크 온도보다도 높은 온도에서 가열하는 것이 바람직하다. 이렇게 가열함으로써, 광 조사부만을 선택적으로 경화할 수 있다.For example, the step (B1) is preferably lower than the exothermic onset temperature or exothermic peak temperature of the non-irradiated thermosetting resin composition, and is preferably heated at a temperature higher than the exothermic onset temperature or exothermic peak temperature of the irradiated thermosetting resin composition. By heating in this way, only light irradiation part can be selectively hardened.

여기서, 가열 온도는, 예를 들어 80 내지 140℃이다. 가열 온도를 80℃ 이상으로 함으로써, 광 조사부를 충분히 경화할 수 있다. 한편, 가열 온도를 140℃ 이하로 함으로써, 광 조사부만을 선택적으로 경화할 수 있다. 가열 시간은, 예를 들어 10 내지 100분이다. 가열 방법은 상기 건조 방법과 동일하다.Here, heating temperature is 80-140 degreeC, for example. By making heating temperature into 80 degreeC or more, a light irradiation part can fully harden | cure. On the other hand, only a light irradiation part can be selectively hardened by making heating temperature into 140 degrees C or less. Heating time is 10 to 100 minutes, for example. The heating method is the same as the above drying method.

또한, 미조사부에서는, 광 염기 발생제로부터 염기가 발생하지 않기 때문에, 열경화가 억제된다.In addition, in a non-irradiation part, since a base does not generate | occur | produce from a photobase generator, thermosetting is suppressed.

[공정 (C)][Step (C)]

공정 (C)는 현상에 의해 미조사부를 제거함으로써 네가티브형의 패턴층을 형성하는 공정이다. 현상 방법으로서는, 디핑법, 샤워법, 스프레이법, 브러시법 등 공지된 방법에 의할 수 있다. 또한, 현상액으로서는, 수산화칼륨, 수산화나트륨, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 인산나트륨, 규산나트륨, 암모니아, 에탄올아민 등의 아민류, 수산화테트라메틸암모늄 수용액(TMAH) 등의 알칼리 수용액 또는 이들의 혼합액을 사용할 수 있다.Process (C) is a process of forming a negative pattern layer by removing an unirradiated part by image development. As a developing method, it can be based on well-known methods, such as the dipping method, the shower method, the spray method, and the brush method. In addition, as a developing solution, aqueous alkali solution, such as amines, such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, ethanolamine, tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH), or a mixture thereof can be used. .

[공정 (D)][Process (D)]

상기 패턴 형성 방법은, 공정 (C) 후에, 자외선 조사 공정 (D)를 더 포함하는 것이 바람직하다. 공정 (C) 후에 추가로 자외선 조사를 행함으로써, 광 조사 시에 활성화하지 않고 남은 광 염기 발생제를 활성화시킬 수 있다. 공정 (C) 후의 자외선 조사 공정 (D)에 있어서의 자외선의 파장 및 광 조사량(노광량)은 공정 (B)와 동일할 수도 있고, 상이할 수도 있다. 적합한 광 조사량(노광량)은 150 내지 2000mJ/㎠이다.It is preferable that the said pattern formation method further includes an ultraviolet irradiation process (D) after a process (C). By performing ultraviolet irradiation further after a process (C), the photobase generator remaining without activating at the time of light irradiation can be activated. The wavelength and the light irradiation amount (exposure amount) of the ultraviolet ray in the ultraviolet irradiation step (D) after the step (C) may be the same as or different from the step (B). Suitable light irradiation amount (exposure amount) is 150-2000 mJ / cm 2.

[공정 (E)][Process (E)]

상기 패턴 형성 방법은, 공정 (C) 후에, 열경화(후경화) 공정 (E)를 더 포함하는 것이 바람직하다.It is preferable that the said pattern formation method further includes a thermosetting (postcure) process (E) after a process (C).

공정 (C) 후에 공정 (D)와 공정 (E)를 모두 행하는 경우, 공정 (E)는 공정 (D) 후에 행하는 것이 바람직하다.In the case where both the step (D) and the step (E) are performed after the step (C), the step (E) is preferably performed after the step (D).

공정 (E)는 공정 (B), 또는 공정 (B) 및 공정 (D)에 의해 광 염기 발생제로부터 발생한 염기에 의해 패턴층을 충분히 열경화시킨다. 공정 (E)의 시점에서는, 미조사부를 이미 제거하고 있기 때문에, 공정 (E)는 미조사의 열경화성 수지 조성물의 경화 반응 개시 온도 이상의 온도에서 행할 수 있다. 이에 의해, 패턴층을 충분히 열경화시킬 수 있다. 가열 온도는, 예를 들어 160℃ 이상이다.Step (E) sufficiently heat-cures the pattern layer with the base generated from the photobase generator by step (B) or step (B) and step (D). Since the unirradiated part is already removed at the time of a process (E), a process (E) can be performed at the temperature more than the hardening reaction start temperature of an unirradiated thermosetting resin composition. As a result, the pattern layer can be sufficiently thermally cured. Heating temperature is 160 degreeC or more, for example.

[공정 (F)][Process (F)]

상기 패턴 형성 방법은, 레이저 가공 공정 (F)를 더 포함할 수도 있다. 레이저 가공에 의해 미세한 개구부를 형성할 수 있다. 레이저는, YAG 레이저, CO2 레이저, 엑시머 레이저 등 공지된 레이저를 사용할 수 있다.The pattern forming method may further include a laser processing step (F). Fine openings can be formed by laser processing. Lasers, it is possible to use a well-known laser such as YAG laser, CO 2 laser, an excimer laser.

공정 (F)는 공정 (C) 후, 또는 공정 (D), (E)를 포함하는 경우에는, 공정 (D), (E) 후에 행하는 것이 바람직하다.It is preferable to perform a process (F) after a process (C) or after a process (D) and (E), when including a process (D) and (E).

[공정 (G)][Process (G)]

본 발명의 패턴 형성 방법은, 공정 (F) 후, 디스미어 공정 (G)를 더 포함하는 것이 바람직하다.It is preferable that the pattern formation method of this invention further contains a desmear process (G) after a process (F).

공정 (G)는 스미어를 팽윤시켜서 제거되기 쉽게 하기 위한 스미어 팽윤 공정, 스미어를 제거하는 제거 공정, 및 제거 공정에서 사용된 디스미어액으로부터 발생하는 슬러지를 중화하는 중화 공정을 포함한다.Step (G) includes a smear swelling step for swelling the smear and making it easier to remove, a step for removing smear, and a neutralization step for neutralizing sludge generated from the desmear liquid used in the step of removing.

팽윤 공정은, 수산화나트륨 등의 알칼리 약액을 사용하여 행하는 것으로서, 디스미어 약액에 의한 스미어 제거를 용이하게 하는 것이다.A swelling process is performed using alkaline chemical liquids, such as sodium hydroxide, and makes smear removal by the desmear chemical liquid easy.

제거 공정은, 중크롬산이나 과망간산 등의 산화제를 포함하는 산성약액을 사용하여 스미어를 제거한다.In the removal step, smear is removed using an acidic chemical solution containing an oxidizing agent such as dichromic acid or permanganic acid.

중화 공정은, 수산화나트륨 등의 알칼리 약액을 사용하여, 제거 공정에서 사용한 산화제를 환원, 제거한다.The neutralization step uses an alkaline chemical solution such as sodium hydroxide to reduce and remove the oxidant used in the removal step.

실시예Example

이하, 실시예, 비교예에 의해 본 발명을 더욱 상세하게 설명하는데, 본 발명은 이들 실시예, 비교예에 의해 제한되는 것이 아니다.Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not restrict | limited by these Examples and a comparative example.

(실시예 1 내지 18, 비교예 1 내지 4)(Examples 1-18, Comparative Examples 1-4)

<알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물의 제조><Production of Alkali Developable Thermosetting Resin Composition>

하기 표 1 내지 3에 기재된 배합에 따라, 실시예/비교예에 기재된 재료를 각각 배합, 교반기로 예비 혼합한 후, 3개 롤밀로 혼련하여 열경화성 수지 조성물을 제조하였다. 표 중의 값은, 특별히 언급이 없는 한, 질량부이다.According to the formulations shown in Tables 1 to 3 below, the materials described in Examples / Comparative Examples were each premixed with a blender and a stirrer, followed by kneading with three roll mills to prepare a thermosetting resin composition. The value in a table | surface is a mass part unless there is particular notice.

<드라이 필름의 제작><Production of dry film>

캐리어 필름으로서, 38㎛의 두께의 PET 필름 상에 열경화성 수지 조성물을 어플리케이터를 사용하여 도포하고, 그 후 90℃/30분 건조하여 드라이 필름을 제작하였다. 열경화성 수지 조성물의 두께는 건조 후, 약 20㎛로 되도록 도포량을 조정하였다. 그 후, 얻어진 드라이 필름을 소정의 사이즈로 슬릿 가공을 행하였다.As a carrier film, the thermosetting resin composition was apply | coated on the PET film of 38 micrometers thickness using the applicator, and it dried 90 degreeC / 30 minutes after that, and produced the dry film. After drying, the thickness of the thermosetting resin composition adjusted the coating amount so that it might be set to about 20 micrometers. Thereafter, the obtained dry film was subjected to slit processing at a predetermined size.

<라미네이트><Laminate>

구리 두께 15㎛로 회로가 형성되어 있는 양면 프린트 배선 기재를 준비하고, 맥크사의 CZ-8100을 사용하여 전처리를 행한 기재에, 메이끼사의 진공 라미네이터 MVLP-500을 사용하여 프린트 배선판 상에 드라이 필름을 라미네이트하였다. 라미네이트 조건은 온도 80℃, 압력 5kg/㎠/60초에서 행하였다.A double film printed circuit board having a circuit formed with a copper thickness of 15 µm was prepared, and a dry film was applied to a printed circuit board using a Macy's vacuum laminator MVLP-500 on a substrate subjected to pretreatment using Mack's CZ-8100. Laminated. Lamination conditions were performed at the temperature of 80 degreeC, and the pressure of 5 kg / cm <2> / 60 second.

<B 스테이지 상태의 평가(기재에의 형성 시의 핸들링)><Evaluation of B stage state (handling at the time of formation to base material)>

실시예 1 내지 18에 대해서, DF의 B 스테이지 상태(반경화 상태)의 평가를 행하였다. 얻어진 열경화성 수지 조성물이 형성되어 있는 DF의 소정의 사이즈로 슬릿 가공을 행하고, DF의 상태를 이하의 방법으로 확인하였다.About Examples 1-18, the B stage state (semicured state) of DF was evaluated. The slit process was performed by the predetermined | prescribed size of DF in which the obtained thermosetting resin composition is formed, and the state of DF was confirmed by the following method.

(평가 방법)(Assessment Methods)

◎: 슬릿 가공 후, 수지층의 깨짐이나 수지의 분말 낙하가 확인되지 않았다(Double-circle): The crack of the resin layer and the powder fall of the resin were not confirmed after slit processing.

○: 슬릿 가공 후, 조금 수지층의 깨짐이 확인되었다. 수지의 분말 낙하는 확인되지 않았다(Circle): After the slit process, the crack of the resin layer was confirmed a little. No powder drop of resin was identified

×: 슬릿 가공 후, 수지층의 깨짐이나 수지의 분말 낙하가 확인되었다X: The crack of the resin layer and the powder fall of the resin were confirmed after the slit processing.

<스루홀 상의 오목부 평가><Evaluation of Recesses on Through Hole>

도 3에 도시한 바와 같이, 직경이 300㎛, 피치가 1mm의 간격으로 구리 도금 스루홀이 형성되어 있는 두께 0.3mm의 양면 프린트 배선 기재를 준비하고, 맥크사의 CZ-8100을 사용하여 전처리를 행하였다. 그 후, 드라이 필름의 제작 단락에 기술한 방법으로 제작한 두께 50㎛의 드라이 필름을, 메이끼사의 진공 라미네이터 MVLP-500을 사용하여, 스루홀이 형성된 프린트 배선 기재 상에 양면 동시에 드라이 필름을 라미네이트하였다. 라미네이트 조건은 온도 80℃, 압력 5kg/㎠/60초에서 행하였다. 그 후, 열경화성 수지층을 구비하는 기재에 대하여 ORC사의 HMW680GW(메탈 할라이드 램프, 산란광)로 표리 모두 전체면 솔리드 노광으로 광 조사하였다. 광 조사량에 대해서는, DSC에 의한 발열 피크 온도를 참고로 표 1 내지 3에 기재된 바와 같이 설정하였다. 계속하여 표 1에 기재된 온도 조건에서 60 내지 80분간, 기판을 세로로 걸기 하여 가열 처리를 행하였다. 또한 ORC사의 자외선 조사 장치로 1J/㎠의 에너지량으로 자외선 조사를 행하고, 계속하여 열풍 순환식 건조로에서 170℃/60분 세로 걸기 경화시켜, 완전 경화시켰다. 그 후, 표면 조도 측정기 SE-700(고사까 겡뀨쇼 제조)을 사용하여, 스루홀 상의 오목부량의 확인을 행하였다.As shown in Fig. 3, a 0.3 mm thick double-sided printed wiring substrate having a copper plated through hole formed at intervals of 300 mu m in diameter and 1 mm in pitch was prepared, and pretreatment was performed using Mack's CZ-8100. It was. Subsequently, a dry film having a thickness of 50 µm produced by the method described in the production paragraph of the dry film was laminated on both sides of the dry film on the printed wiring board on which the through holes were formed, using a vacuum laminator MVLP-500 manufactured by Meiki Corporation. It was. Lamination conditions were performed at the temperature of 80 degreeC, and the pressure of 5 kg / cm <2> / 60 second. Subsequently, the front and back of the substrate having the thermosetting resin layer were irradiated with light on both front and back by ORC's HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). The light irradiation amount was set as described in Tables 1 to 3 with reference to the exothermic peak temperature by DSC. Subsequently, heat processing was performed by hanging a board | substrate vertically for 60 to 80 minutes in the temperature conditions of Table 1. In addition, UV irradiation was carried out at an energy amount of 1 J / cm 2 using an ORC ultraviolet irradiation device, followed by curing at 170 ° C./60 minutes in a hot air circulation drying furnace, followed by complete curing. Then, the amount of recessed parts on a through hole was confirmed using surface roughness measuring instrument SE-700 (made by Kosaka Corporation).

(평가 방법)(Assessment Methods)

○: 스루홀 상의 최대 오목부 부분이 5㎛ 이하(Circle): The largest recessed part on a through hole is 5 micrometers or less

△: 스루홀 상의 최대 오목부 부분이 5㎛ 초과(Triangle | delta): The largest recessed part on a through hole exceeds 5 micrometers

<개구 패턴의 형성 평가><Formation evaluation of opening pattern>

상기에서 얻어진 수지층을 구비하는 기판에 대하여 ORC사의 HMW680GW(메탈 할라이드 램프, 산란광)로 개구 설계 사이즈 100㎛의 네가티브형의 패턴 형상으로 광 조사하였다. 광 조사량에 대해서는, DSC에 의한 발열 피크 온도를 참고로 하기 표 1 내지 3에 기재된 바와 같이 설정하였다. 계속하여 표 1 내지 3에 기재된 온도 조건에서 60 내지 80분간 가열 처리를 행하였다. 그 후, 35℃의, 3wt% TMAH/5wt% 에탄올아민 혼합 수용액 중에 기판을 침지하여 3분간 현상을 행하고, 현상성 및 패터닝의 평가를 하기 기준에 따라 행하였다. 얻어진 결과를 표 1 내지 3에 나타내었다.The substrate provided with the resin layer obtained above was irradiated with ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) in negative pattern shape of 100 micrometers of opening design size. The light irradiation amount was set as described in Tables 1 to 3 below with reference to the exothermic peak temperature by DSC. Subsequently, heat processing were performed for 60 to 80 minutes on the temperature conditions of Tables 1-3. Then, the board | substrate was immersed in 3 degreeC TMAH / 5 wt% ethanolamine mixed aqueous solution of 35 degreeC, image development was performed for 3 minutes, and evaluation of developability and patterning was performed according to the following reference | standard. The obtained results are shown in Tables 1-3.

(평가 방법)(Assessment Methods)

◎: TMAH/5wt% 에탄올아민 혼합 수용액 대신에 탄산나트륨 수용액이어도 현상이 가능. 광 조사부 표면에 현상액에 의한 데미지가 없고, 또한 미조사부에 현상 잔사가 보이지 않는 상태(Double-circle): Even if it is aqueous sodium carbonate instead of TMAH / 5 wt% ethanolamine mixed aqueous solution, image development is possible. No damage caused by the developer on the surface of the light irradiation part and no developing residue is visible on the unilluminated part

○: 광 조사부 표면에 현상액에 의한 데미지가 없고, 또한 미조사부에 현상 잔사가 보이지 않는 상태(Circle): No damage by a developing solution on the surface of a light irradiation part, and a developing residue is not seen in an unirradiated part.

×: 미조사부에 현상 잔사가 확인됨. 또는, 미조사부의 현상을 할 수 없었던 상태X: The developing residue was confirmed by an unirradiated part. Or state which could not develop phenomenon of unirradiated part

××: 광 조사부 및 미조사부 모두 완전히 용해한 상태××: state in which both the light irradiation part and the unirradiated part are completely dissolved

×××: 개구부의 심부에 언더컷이 보임×××: Undercut is visible in the core of the opening

<라인 패턴 형성><Line pattern formation>

상기에서 얻어진 수지층을 구비하는 기판에 대하여 ORC사의 HMW680GW(메탈 할라이드 램프, 산란광)로 라인/스페이스=100/100㎛의 설계값의 네가티브형의 패턴 형상으로 광 조사하였다. 광 조사량에 대해서는, DSC에 의한 발열 피크 온도를 참고로 하기 표 1 내지 3에 기재된 바와 같이 설정하였다. 계속하여 표 1 내지 3에 기재된 온도 조건에서 60 내지 80분간 가열 처리를 행하였다. 그 후, 35℃의, 3wt% TMAH/5wt% 에탄올아민 혼합 수용액 중에 기판을 침지하여 3분간 현상을 행하고, 얻어진 설계값 100㎛의 라인 형상의 패턴에 대하여 평가를 하기 기준에 따라 행하였다. 얻어진 결과를 표 1 내지 3에 나타내었다.The board | substrate provided with the resin layer obtained above was irradiated with ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) by the negative pattern shape of the design value of line / space = 100/100 micrometer. The light irradiation amount was set as described in Tables 1 to 3 below with reference to the exothermic peak temperature by DSC. Subsequently, heat processing were performed for 60 to 80 minutes on the temperature conditions of Tables 1-3. Then, the board | substrate was immersed in 3 degreeC TMAH / 5 wt% ethanolamine mixed aqueous solution of 35 degreeC, image development was performed for 3 minutes, and the evaluation of the linear pattern of the obtained design value of 100 micrometers was performed according to the following reference | standard. The obtained results are shown in Tables 1-3.

(평가 방법)(Assessment Methods)

○: 라인의 톱 길이 100㎛, 보텀 길이 100㎛가 되어 설계값 대로의 패턴이 얻어졌다.(Circle): It became the line top length 100 micrometers, and bottom length 100 micrometers, and the pattern according to the design value was obtained.

△: 라인의 톱 길이 100㎛, 보텀 길이가 60㎛ 이상 100㎛ 미만이 되어 조금 언더컷이 보였다.(Triangle | delta): The top length of the line was 100 micrometers, and the bottom length became 60 micrometers or more and less than 100 micrometers, and the undercut was seen a little.

×: 라인의 톱 길이 100㎛, 보텀 길이가 60㎛ 미만이 되어, 보텀에 크게 언더컷이 보였다.X: The top length of a line was 100 micrometers, and the bottom length became less than 60 micrometers, and the undercut was seen by the bottom large.

(디스미어 내성)(Desmear tolerance)

개구 패턴의 형성을 평가한 기재와 동일한 방법으로 제작한 기재에 대해서, 추가로 ORC사의 자외선 조사 장치로 1J/㎠의 에너지량으로 자외선 조사를 행하고, 계속하여 열풍 순환식 건조로에서 표 1 내지 3에 기재된 후경화 온도로 60분간 경화시켰다(후경화). 그 후, 광 조사면에 레이저 가공을 행하였다. 광원은 CO2 레이저(히타치 비아 메카닉스사, 광원 10.6㎛)로 가공하였다. 하기 기준에 따라서 평가하였다. 가공성의 우열을 가리기 위해서, 모두 동일한 조건에서 레이저 가공을 행하였다.About the base material produced by the method similar to the base material which evaluated formation of opening pattern, UV irradiation is performed by ORC company's ultraviolet irradiation device at 1 J / cm <2> of energy amount, and it follows to Tables 1-3 in a hot air circulation type drying furnace. It was hardened for 60 minutes at the post-cure temperature described (post-cure). Thereafter, laser processing was performed on the light irradiation surface. The light source was processed with a CO 2 laser (Hitachi Via Mechanics Co., Ltd., light source 10.6 µm). Evaluation was made according to the following criteria. In order to cover the superiority of workability, laser processing was all performed on the same conditions.

가공 직경 목표는 톱 직경 65㎛/보텀 50㎛이다.The machining diameter target is a saw diameter of 65 mu m / bottom 50 mu m.

조건: 애퍼처(aperture; 마스크 직경): 3.1mm/펄스폭 20μ초/출력 2W/주파수 5kHz/샷수: 버스트 3샷Conditions: Aperture (mask diameter): 3.1mm / pulse width 20μsec / output 2W / frequency 5kHz / shots: burst 3 shots

이 레이저 가공을 행한 기재에 대해서, 추가로 과망간산 디스미어 수용액(습식법)에 의해 디스미어 처리를 행하였다. 디스미어 내성의 평가로서, 기재 표면의 표면 조도의 확인 및 레이저 개구부 주변의 상태를 하기 기준에 따라서 평가를 행하였다. 표면 조도의 확인은, 레이저 현미경 VK-8500(키엔스사, 측정 배율 2000배, Z축 방향 측정 피치 10nm)에 의해, 각각의 표면 조도 Ra를 측정하였다. 레이저 개구부의 관찰은 광학 현미경에 의해 행하였다.About the base material which performed this laser processing, the desmear process was further performed by the permanganic acid desmear aqueous solution (wet method). As evaluation of desmear tolerance, the surface roughness of the base material surface and the state around the laser opening were evaluated in accordance with the following criteria. As for the confirmation of surface roughness, each surface roughness Ra was measured with the laser microscope VK-8500 (keyens company, measurement magnification 2000 times, Z-axis direction measurement pitch 10 nm). Observation of the laser aperture was performed with an optical microscope.

약액에 대하여(롬 & 하스사)About chemicals (Rom & Haas)

팽윤 MLB-211 온도 80℃/시간 10분Swelling MLB-211 Temperature 80 ° C / hour 10 minutes

과망간산 MLB-213 온도 80℃/시간 15분Permanganic Acid MLB-213 Temperature 80 ℃ / hr 15min

환원 MLB-216 온도 50℃/시간 5분Reducing MLB-216 Temperature 50 ° C./hour 5 Minutes

평가 방법에 대해서About the evaluation method

◎: 과망간산 디스미어 후의 표면 조도 Ra가 0.1㎛ 미만이며 레이저 가공 후의 가공 직경과의 차가 2㎛ 이하(Double-circle): Surface roughness Ra after permanganic acid desmear is less than 0.1 micrometer, and the difference with the processing diameter after laser processing is 2 micrometers or less

○: 과망간산 디스미어 후의 표면 조도 Ra가 0.1 내지 0.3㎛ 이하이며 레이저 가공 후의 가공 직경과의 차가 2 내지 5㎛(Circle): Surface roughness Ra after permanganic acid desmear is 0.1-0.3 micrometer or less, and the difference with the processing diameter after laser processing is 2-5 micrometers

×: 과망간산 디스미어 후의 표면 조도 Ra가 0.3㎛ 초과이며 레이저 가공 후의 가공 직경과의 차가 5㎛ 이상X: Surface roughness Ra after permanganic acid desmear is more than 0.3 micrometer, and the difference with the processing diameter after laser processing is 5 micrometers or more

<경화 후 휨 평가>Flexural Evaluation after Curing

드라이 필름의 제작 단락에 기술한 방법으로 제작한 두께 20㎛의 드라이 필름을, 메이끼사의 진공 라미네이터 MVLP-500을 사용하여, 50mm×50mm 사이즈의 정사각형으로 잘라낸 18㎛ 구리박의 광택면의 편면에 라미네이트하였다. 라미네이트 조건은 온도 80℃, 압력 5kg/㎠/60초에서 행하였다. 그 후, 열경화성 수지층을 구비하는 구리박에 대하여 ORC사의 HMW680GW(메탈 할라이드 램프, 산란광)로 전체면 솔리드 노광으로 광 조사하였다. 광 조사량에 대해서는, DSC에 의한 발열 피크 온도를 참고로 표 1 내지 3에 기재된 바와 같이 설정하였다. 계속하여 표 1 내지 3에 기재된 온도 조건에서 60 내지 80분간, 기판을 가열 처리하였다. 또한 ORC사의 자외선 조사 장치로 1J/㎠의 에너지량으로 자외선 조사를 행하고, 계속하여 열풍 순환식 건조로에서 170℃/60분 경화시켜, 열경화성 수지 조성물을 편면에 구비하는 구리박을 얻었다. 그 후, 얻어진 경화물의 휨 상태 평가로서, 노기스로 단부 4군데의 휨량을 계측하였다.On the single side of the gloss side of 18-micrometer copper foil which the 20-micrometer-thick dry film produced by the method described in the production paragraph of the dry film was cut out into a square of 50 mm x 50 mm size using a vacuum laminator MVLP-500 manufactured by Meiki Corporation. Laminated. Lamination conditions were performed at the temperature of 80 degreeC, and the pressure of 5 kg / cm <2> / 60 second. Then, the copper foil provided with a thermosetting resin layer was irradiated with ORC's HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) by the whole surface solid exposure. The light irradiation amount was set as described in Tables 1 to 3 with reference to the exothermic peak temperature by DSC. Subsequently, the board | substrate was heat-processed for 60 to 80 minutes at the temperature conditions of Tables 1-3. Furthermore, it irradiated with the amount of energy of 1 J / cm <2> by ORC company ultraviolet irradiation apparatus, and then it hardened | cured at 170 degreeC / 60 minutes in the hot air circulation type drying furnace, and obtained copper foil which has a thermosetting resin composition on one side. Then, as an evaluation of the curvature state of the obtained hardened | cured material, the curvature amount of four edge parts was measured by the vernier.

(평가 방법)(Assessment Methods)

◎○: 휨이 거의 보이지 않는다. 4군데의 단부 중 최대 휨 부분의 휨량이 5mm 미만(Double-circle): A curvature is hardly seen. The bending amount of the largest bending part among four ends is less than 5 mm

◎: 조금 휨이 보였다. 4군데의 단부 중 최대 휨 부분의 휨량이 5mm 이상 20mm 미만(Double-circle): A little warpage was seen. The bending amount of the largest bending part among four ends is 5 mm or more and less than 20 mm

○: 4군데의 단부 중 최대 휨 부분의 휨량이 20mm 이상(Circle): The bending amount of the largest bending part among four edge parts is 20 mm or more

△: 경화물이 통 형상으로 수축하였다. 노기스로 단부의 휨량을 계측할 수 없었다.(Triangle | delta): Hardened | cured material shrink | contracted to cylindrical shape. The curvature amount of the edge part was not able to be measured by the calipers.

<CTE 측정><CTE measurement>

드라이 필름의 제작 항목에 기재된 방법에 따라, 각각의 두께 40㎛의 드라이 필름을 제작. 그 후, 18㎛의 구리박의 광택면측에, 메이끼사의 진공 라미네이터 MVLP-500을 사용하여 드라이 필름을 라미네이트하였다. 라미네이트 조건은 온도 80℃, 압력 5kg/㎠/60초에서 행하였다. 그 후, ORC사의 HMW680GW(메탈 할라이드 램프, 산란광)로 전체면 솔리드 노광을 행하였다. 광 조사량에 대해서는, DSC에 의한 발열 피크 온도를 참고로 하기 표 1 내지 3에 기재된 바와 같이 설정하였다. 계속하여 표 1 내지 3에 기재된 온도 조건에서 60 내지 80분간 가열 처리를 행하였다. 그 후, ORC사의 자외선 조사 장치로 1J/㎠의 에너지량으로 자외선 조사를 행하고, 계속하여 열풍 순환식 건조로에서 170℃/60분에서 완전 경화시켰다. 그 후, 구리박으로부터 박리하여, 실시예·비교예에 기재된 수지 조성물을 얻었다. 그 후, 얻어진 수지 조성물을 3mm폭, 길이 10mm의 직사각형으로 잘라내기를 행하고, JIS-C-6481에 기재된 TMA법(인장법)으로 CTE 측정(열팽창 계수)의 평가를 행하였다. 승온 속도는 5℃/분, Tg 이하의 열팽창 계수의 평가를 행하였다. 열팽창 계수는, 온도 범위 25℃부터 100℃의 평균 열팽창 계수, 단위는 ppm으로 하였다.According to the method described in the preparation item of a dry film, each dry film of thickness 40micrometer is produced. Then, the dry film was laminated on the gloss surface side of 18 micrometers copper foil using the vacuum laminator MVLP-500 of Meiki Corporation. Lamination conditions were performed at the temperature of 80 degreeC, and the pressure of 5 kg / cm <2> / 60 second. Then, the whole surface solid exposure was performed by ORMW HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). The light irradiation amount was set as described in Tables 1 to 3 below with reference to the exothermic peak temperature by DSC. Subsequently, heat processing were performed for 60 to 80 minutes on the temperature conditions of Tables 1-3. Subsequently, ultraviolet irradiation was performed at an energy amount of 1 J / cm 2 with an ultraviolet irradiation device of ORC, followed by complete curing at 170 ° C./60 minutes in a hot air circulation drying furnace. Then, it peeled from copper foil and obtained the resin composition of an Example and a comparative example. Thereafter, the obtained resin composition was cut out into a rectangle having a width of 3 mm and a length of 10 mm, and the CTE measurement (thermal expansion coefficient) was evaluated by the TMA method (tensile method) described in JIS-C-6481. The temperature increase rate evaluated the thermal expansion coefficient below 5 degree-C / min and Tg. The thermal expansion coefficient was an average thermal expansion coefficient and unit of ppm in the temperature range 25 degreeC to 100 degreeC.

각각 얻어진 CTE의 수치를 표 중에 나타내었다.The numerical value of CTE obtained, respectively is shown in a table.

<냉열 사이클 특성의 평가><Evaluation of cold cycle cycle characteristics>

상기와 같이 과망간산 디스미어 처리를 행한 프린트 배선판에 대하여, 추가로 시판품의 무전해 니켈 도금욕 및 무전해 금 도금욕을 사용하여, 니켈 0.5㎛, 금 도금 0.03㎛의 조건에서 도금을 행하고, 패턴 형성부에 금 도금 처리를 실시하였다. 얻어진 프린트 배선판에 대해서 냉열 사이클 특성 평가를 행하였다. 처리 조건은, -65℃에서 30분, 150℃에서 30분을 1사이클로 하고, 열 이력을 가하여 2000 사이클 경과 후에, 패턴층의 표면 및 주변부의 상태를 광학 현미경으로 관찰하고, 하기 기준에 따라서 크랙의 평가를 행하였다. 관찰 패턴수는 100 구멍이었다. 얻어진 결과를 하기 표 1 내지 3에 나타내었다.The printed wiring board subjected to the permanganic acid desmear treatment as described above was further subjected to plating under conditions of 0.5 μm of nickel and 0.03 μm of gold plating using a commercially available electroless nickel plating bath and an electroless gold plating bath to form a pattern. The part was subjected to gold plating treatment. Cooling cycle characteristic evaluation was performed about the obtained printed wiring board. The treatment conditions were 30 minutes at -65 ° C and 30 minutes at 150 ° C as one cycle, and after 2000 cycles of applying a heat history, the condition of the surface and the periphery of the pattern layer was observed under an optical microscope, and cracked according to the following criteria. Was evaluated. The number of observation patterns was 100 holes. The results obtained are shown in Tables 1 to 3 below.

(평가 방법)(Assessment Methods)

◎○: 패턴층의 표면 및 주변부에 크랙 발생 없음◎ ○: No cracks on the surface and periphery of the pattern layer

◎: 패턴층의 주변부의 크랙 발생률 10% 미만(Double-circle): Less than 10% of crack incidences of the peripheral part of a pattern layer

○: 패턴층의 주변부의 크랙 발생률 10% 이상 30% 미만○: 10% or more and less than 30% crack occurrence rate at the periphery of the pattern layer

△: 패턴층의 주변부의 크랙 발생률 30% 이상(Triangle | delta): The crack generation rate of 30% or more of the peripheral part of a pattern layer

<열반응성 화합물, 말레이미드 화합물, 및 알칼리 현상성 수지의 굴절률 측정 방법><Method of Refractive Index Measurement of Thermally Reactive Compound, Maleimide Compound, and Alkaline Developable Resin>

측정 장치: 아베 굴절률계Measuring Device: Abbe Refractometer

측정 조건: 파장 589.3nm, 온도 25℃Measurement Condition: Wavelength 589.3nm, Temperature 25 ℃

Figure 112014120868576-pct00006
Figure 112014120868576-pct00006

Figure 112014120868576-pct00007
Figure 112014120868576-pct00007

Figure 112014120868576-pct00008
Figure 112014120868576-pct00008

표 1 내지 3에 있어서의 각 성분은, 다음과 같다.Each component in Tables 1-3 is as follows.

(열반응성 화합물)(Thermally reactive compound)

※828: Bis-A형 액상 에폭시(당량 190g/eq), 미쯔비시 가가꾸사※ 828: Bis-A type liquid epoxy (equivalent 190g / eq), Mitsubishi Chemical Corporation

※HP-7200 H60: 디시클로펜타디엔형 에폭시(당량 265g/eq), DIC사를 시클로헥사논으로 용해. 고형분 60%※ HP-7200H60: A dicyclopentadiene type epoxy (equivalent to 265 g / eq) and DIC company are melt | dissolved in cyclohexanone. 60% solids

※HF-1M H60: 페놀노볼락(수산기 당량 105g/eq), 메이와 가세이사를 시클로헥사논으로 용해. 고형분 60%※ HF-1M H60: A phenol novolak (hydroxyl equivalent 105g / eq), Meiwa Kasei Inc. are melt | dissolved in cyclohexanone. 60% solids

(알칼리 현상성 수지)(Alkali developable resin)

※HF-1M H60: 페놀노볼락(수산기 당량 105g/eq), 메이와 가세이사를 시클로헥사논으로 용해. 고형분 60%※ HF-1M H60: A phenol novolak (hydroxyl equivalent 105g / eq), Meiwa Kasei Inc. are melt | dissolved in cyclohexanone. 60% solids

※MEH-7851M H60: 비페닐/페놀노볼락(수산기 당량 210g/eq), 메이와 가세이사를 시클로헥사논으로 용해. 고형분 60%.* MEH-7851M H60: Biphenyl / phenol novolak (hydroxyl equivalent 210 g / eq), may, and Kasei Corporation are dissolved in cyclohexanone. 60% solids.

※죤크릴 586 H60: 스티렌아크릴산 공중합 수지, Mw=3100, 고형분 산가=108mgKOH/g, 죤슨 폴리머사를 시클로헥사논으로 용해. 고형분 60%※ John creel 586 H60: Styrene acrylic acid copolymer resin, Mw = 3100, solid acid value = 108 mgKOH / g, Johnson polymer company melt | dissolve in cyclohexanone. 60% solids

※죤크릴 68 H60: 스티렌아크릴산 공중합 수지, Mw=10000, 산가 195mgKOH/g, 죤슨 폴리머사를 시클로헥사논으로 용해. 고형분 60%※ John Creil 68 H60: Styrene acrylic acid copolymer resin, Mw = 10000, acid value 195 mgKOH / g, Johnson polymer company melt | dissolve in cyclohexanone. 60% solids

※R-2000PG: 고형분 65% (DIC사 제조), 에폭시아크릴레이트 구조를 갖는다※ R-2000PG: It has 65% of solid content (DIC company make), epoxy acrylate structure

(광 염기 발생제)(Photobase generator)

※Irg369: 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1, BASF 재팬사※ Irg369: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, BASF Japan company

※OXE-02: 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-1-(o-아세틸옥심), BASF 재팬사※ OXE-02: ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (o-acetyloxime), BASF Japan company

(고분자 수지)(Polymer resin)

※MAM M52 H30: MMA/nBA/MMA트리블록 공중합물, 아르케마사를 시클로헥사논으로 용해. 고형분 30%* MAM M52 H30: MMA / nBA / MMA triblock copolymer, arcemasa is dissolved in cyclohexanone. 30% solids

※PB3600: 에폭시화 폴리부타디엔 Mn=5900, 다이셀 가가꾸사※ PB3600: Epoxidized polybutadiene Mn = 5900, Daicel Chemical Industries

※KS-10 H30: 폴리비닐부티랄, 세끼스이 가가꾸사를 시클로헥사논으로 용해. 고형분 30%* KS-10 H30: Polyvinyl butyral and Sekisui Chemical Co., Ltd. dissolve in cyclohexanone. 30% solids

※XER-91: 입자상 가교 고무 입자(NBR, 관능기 카르복실산), JSR사※ XER-91: particulate crosslinked rubber particles (NBR, functional group carboxylic acid), JSR company

※파랄로이드 EXL2655: 부타디엔-아크릴 수지의 코어 쉘 입자, 롬 앤드 하스 재팬* Paraloid EXL2655: core shell particles of butadiene-acrylic resin, rom and heart Japan

※YX8100 BH30: 페녹시 수지. 미쯔비시 가가꾸사. 고형분 30%* YX8100 BH30: phenoxy resin. Mitsubishi Chemical Corporation. 30% solids

(무기 충전제)(Inorganic filler)

※SO-C2: 구상 실리카 D50=0.5㎛, 굴절률=1.45, 애드마텍스사, 비중: 2.2g/㎤※ SO-C2: spherical silica D50 = 0.5㎛, refractive index = 1.45, admatex yarn, specific gravity: 2.2 g / cm3

※B-30: 황산바륨, D50=0.3㎛, 굴절률=1.64, 사까이 가가꾸사, 비중: 4.3g/㎤※ B-30: Barium sulfate, D50 = 0.3 micrometer, refractive index = 1.64, sakai Kagaku company, specific gravity: 4.3 g / cm <3>.

(기타)(Other)

※R-2000: 크레졸노볼락, 아크릴산, THPA 변성 수지(고형분 61%, 고형분 산가 87mgKOH/g, DIC사)※ R-2000: Cresol novolac, acrylic acid, THPA modified resin (61% of solid content, solid acid value 87mgKOH / g, DIC company)

DPHA: 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트_닛본 가야꾸사DPha: dipentaerythritol hexaacrylate _ Nippon Kayakusa

IRG-184: 1-히드록시시클로 헥실-페닐케톤_시바 재팬사Irg-184: 1-hydroxycyclo hexyl-phenyl ketone _ shiva japan

표 1 내지 3에 나타낸 바와 같이, 실시예 1 내지 18에서는, 알칼리 현상성 수지, 고분자 수지, 및 광 염기 발생제를 필수 성분으로 했기 때문에, 경화 특성 및 B 스테이지 상태의 안정성이 우수하고, 알칼리 현상에 의한 패터닝이 가능한 것을 알았다.As shown in Tables 1-3, in Examples 1-18, since alkali developing resin, a polymeric resin, and a photobase generator were made into essential components, it is excellent in hardening characteristic and stability of B-stage state, and alkali image development was carried out. It turned out that patterning by is possible.

또한, 무기 충전제를 포함하는 실시예 14 내지 18에서는, 냉열 사이클 특성이 우수한 것을 알았다.Moreover, in Examples 14-18 containing an inorganic filler, it turned out that it is excellent in cold-heat cycle characteristics.

또한, 고분자 수지를 배합함으로써, 열경화성 수지 조성물의 용융 점도가 상승하여, 노광 후의 가열 시에 있어서, 스루홀 부분의 수지 유동을 억제할 수 있다. 그 결과, 스루홀 상에 오목부가 보이지 않는 평탄한 기판을 제작할 수 있다.Moreover, by mix | blending a polymeric resin, the melt viscosity of a thermosetting resin composition rises and the resin flow of a through-hole part can be suppressed at the time of the heating after exposure. As a result, the flat board | substrate with which a recessed part is not seen can be manufactured on a through hole.

한편, 비교예 4의 광 라디칼성 조성물에서는, 알칼리 현상에 의한 패턴 형성이 곤란해졌다. 또한, 라인 형상도 불량하였다. 또한, 냉열 사이클 시의 경화성도 떨어져 있었다.On the other hand, in the photoradical composition of Comparative Example 4, pattern formation by alkali development became difficult. Moreover, the line shape was also bad. Moreover, the curability at the time of a cold heat cycle was also inferior.

<광 조사 직후의 DSC 측정><DSC measurement immediately after light irradiation>

실시예 1에서 얻어진 수지층을 구비하는 기판에 대하여 ORC사의 HMW680GW(메탈 할라이드 램프, 산란광)로 네가티브형의 패턴 형상으로 광 조사하였다. 각각의 기판에 대해서, 광 조사량을 1000mJ/㎠로서 패턴의 광 조사를 행하였다. 광 조사 후, 기판 상으로부터 수지층을 깎아내고, 즉시 세이코 인스트루먼츠사의 DSC-6200에 있어서, 승온 속도 5℃/분으로 30 내지 300℃까지 승온하고, 광 조사부와 미조사부 각각에 대하여 DSC 측정을 행하였다. 또한, 자외선 조사 직후, 후경화 전의 열경화성 수지 조성물을 포함하는 경화층에 대하여 마찬가지로 DSC 측정을 행하였다.The board | substrate provided with the resin layer obtained in Example 1 was irradiated with negative pattern shape with HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) of ORC company. Each substrate was irradiated with a pattern with a light irradiation amount of 1000 mJ / cm 2. After light irradiation, the resin layer was scraped off from the board | substrate, immediately heated up to 30-300 degreeC by the temperature increase rate of 5 degree-C / min in the DSC-6200 of Seiko Instruments, and DSC measurement was performed with respect to each of the light irradiation part and the unirradiated part. It was. In addition, DSC measurement was similarly performed about the cured layer containing the thermosetting resin composition before post-curing immediately after ultraviolet irradiation.

도 2는, 미조사부, 광 조사량 1000mJ/㎠의 광 조사부, 광 조사량 1000mJ/㎠로 광 조사한 후 또한 1000mJ/㎠로 UV 조사한 광 조사부의 DSC 차트도이다. 실시예 1의 광 조사부에서는, 광 조사에 의해 피크가 저온측으로 시프트하였다.FIG. 2 is a DSC chart of the unilluminated portion, the light irradiation portion having a light irradiation amount of 1000mJ / cm 2, and the light irradiation portion which was irradiated with UV at 1000mJ / cm 2 after light irradiation with a light irradiation amount of 1000mJ / cm 2. In the light irradiation part of Example 1, the peak shifted to the low temperature side by light irradiation.

(비교예 5)(Comparative Example 5)

구리 두께 15㎛로 회로가 형성되어 있는 판 두께 0.4mm의 양면 프린트 배선 기재를 준비하고, 맥크사의 CZ-8100을 사용하여 전처리를 행하였다. 그 후, 상품명 PSR-4000G23K(다이요 잉키 세이조(주)사, 에폭시아크릴레이트 구조를 갖는 알칼리 현상성 수지를 포함하는 광경화성 수지 조성물)를 스크린 인쇄로, 건조 후에 20㎛로 되도록 도포를 행하였다. 계속해서, 열풍 순환식 건조로에서 80℃/30분에서 건조 후, ORC사의 HMW680GW(메탈 할라이드 램프, 산란광)로, 조사량 300mJ/㎠로 네가티브형의 패턴 형상으로 광 조사하였다. 그 후, 1wt% 탄산나트륨 수용액으로 60초간 현상하고, 계속하여 열풍 순환식 건조로를 사용하여 150℃/60분간 열처리를 행하여 패턴 형상의 경화 도막을 얻었다.A double-sided printed wiring board having a thickness of 0.4 mm having a circuit formed with a copper thickness of 15 µm was prepared, and pretreatment was performed using CZ-8100 manufactured by Mack. Then, the brand name PSR-4000G23K (Photocurable resin composition containing the alkali developable resin which has an epoxy acrylate structure) by Daiyo Inky Seijo Co., Ltd. was apply | coated so that it might become 20 micrometers after drying by screen printing. . Subsequently, after drying at 80 degreeC / 30 minutes in a hot-air circulation type drying furnace, light irradiation was carried out by ORC's HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) in a negative pattern at an irradiation dose of 300 mJ / cm 2. Then, it developed for 60 second with the 1 wt% sodium carbonate aqueous solution, and then heat-processed 150 degreeC / 60 minutes using the hot-air circulation type drying furnace, and obtained the patterned cured coating film.

그 후, 상기 실시예 2와 마찬가지로 디스미어 내성의 평가를 행하였다. 그 결과, 디스미어 내성은 「×」였다.Thereafter, desmear resistance was evaluated in the same manner as in Example 2. As a result, the desmear tolerance was "x".

Claims (4)

알칼리 현상성 수지,
열반응성 화합물,
고분자 수지, 및
광 염기 발생제를 포함하고, 선택적인 광 조사 후 가열로 상기 알칼리 현상성 수지와 상기 열반응성 화합물이 부가 반응함으로써, 알칼리 현상에 의한 네가티브형의 패턴 형성이 가능하게 되는 조성물로서,
상기 고분자 수지가 A-B-A 또는 A-B-A' (여기서, A 또는 A'는 유리 전이점 Tg가 0 ℃ 이상의 고분자 단위이고, B는 유리 전이점 Tg가 0 ℃ 미만의 고분자 단위임)로 표시되는 블록 공중합체인 것을 특징으로 하는 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물.
Alkali developable resin,
Thermally reactive compounds,
Polymer resin, and
A composition comprising a photobase generator, wherein the alkali-developable resin and the thermally reactive compound are added and reacted by heating after selective light irradiation, whereby a negative pattern can be formed by alkali development.
The polymer resin is a block copolymer represented by ABA or ABA '(wherein A or A' is a polymer unit having a glass transition point Tg of 0 ° C. or higher, and B is a polymer unit of glass transition point Tg of less than 0 ° C.). An alkali developing type thermosetting resin composition characterized by the above-mentioned.
삭제delete 제1항에 있어서, 광 조사에 의해 상기 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서 발열 피크를 발생하거나, 또는
광 조사한 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 개시 온도가 미조사의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 개시 온도보다도 낮은, 또는 광 조사한 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 피크 온도가 미조사의 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물의 DSC 측정에 있어서의 발열 피크 온도보다도 낮은 것임을 특징으로 하는 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물.
The exothermic peak is generated in DSC measurement of the alkali-developing thermosetting resin composition by light irradiation, or
The exothermic onset temperature in the DSC measurement of the alkali-developed thermosetting resin composition irradiated with light is lower than the exothermic onset temperature in the DSC measurement of the non-irradiated alkali-developed thermosetting resin composition, or the alkali-developed thermosetting resin irradiated with light The exothermic peak temperature in the DSC measurement of a composition is lower than the exothermic peak temperature in the DSC measurement of the unexplored alkali-developed thermosetting resin composition, The alkali-developed thermosetting resin composition characterized by the above-mentioned.
제1항 또는 제3항에 기재된 알칼리 현상형의 열경화성 수지 조성물을 포함하는 패턴층을 갖는 것을 특징으로 하는 프린트 배선판.It has a pattern layer containing the alkali developing type thermosetting resin composition of Claim 1 or 3, The printed wiring board characterized by the above-mentioned.
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