KR102039889B1 - Apparatus for light beam steering - Google Patents

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KR102039889B1 KR1020170055395A KR20170055395A KR102039889B1 KR 102039889 B1 KR102039889 B1 KR 102039889B1 KR 1020170055395 A KR1020170055395 A KR 1020170055395A KR 20170055395 A KR20170055395 A KR 20170055395A KR 102039889 B1 KR102039889 B1 KR 102039889B1
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Abstract

본 발명의 제1 측면에 의하면, 광원에서 발광되어 광분배기에 의해 분해되고, 광 위상 제어부를 통해 위상 제어된 레이저광을 일정 각도로 방사되도록 하는 광 조향 장치로서, 상기 광 조향기는, 기판과, 일정한 길이와 제1 폭을 갖고, 상기 기판 상에 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제1 격자 결합기를 포함하는 제1 격자 결합군과, 상기 일정한 길이를 갖고 제1+N 폭을 갖고, 상기 기판 상에 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제1+N격자 결합기를 포함하는 제1+N 격자 결합군을 포함하고, 상기 제1+N 폭은 상기 제1 폭과 다른 값을 갖는 광 조향 장치를 제공한다.
본 발명은, 격자 결합기를 복수로 포함하는 격자 결합군을 복수로 포함하되, 각각의 격자 결합군이 포함하는 격자 결합기는 폭과 격자 결합기 상에 돌출된 단위격자의 돌출 주기를 서로 다르게 하여 레이저의 방사 각도가 변화되도록 한다. According to a first aspect of the present invention, an optical steering device which emits light emitted from a light source, decomposed by a light splitter, and emits laser light phase-controlled through an optical phase control unit at a predetermined angle, the optical steering device comprising: a substrate; A first lattice bonding group having a predetermined length and a first width, the first lattice bonding group including a plurality of first lattice couplers disposed on the substrate to emit the laser light, and having the predetermined length and a first + N width; A first + N lattice coupling group including a plurality of first + N lattice couplers disposed on the substrate to emit the laser light, wherein the first + N width has a different value from the first width; Provided is an optical steering device.
The present invention includes a plurality of lattice coupling groups including a plurality of lattice couplers, wherein the lattice couplers included in each lattice coupling group have different widths and protrusion periods of unit grids projecting on the lattice couplers. Allow the radiation angle to change.

Description

광 조향 장치{Apparatus for light beam steering}Apparatus for light beam steering

본 발명은 광 조향 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 격자 결합기의 폭과 배치 간격을 변화시켜 입사되는 레이저광의 방사 범위가 변화되도록 하는 광 조향 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical steering apparatus, and more particularly, to an optical steering apparatus for varying a width and an arrangement interval of a grating coupler such that an emission range of an incident laser light is changed.

운전자가 운행 경험이 풍부하지 못하거나 혹은 운전자가 일시적으로 차량의 진행 방향을 잘못 판단함으로 인해 사고가 발생될 수 있다.Accidents can occur because the driver is inexperienced in driving or because the driver temporarily misdirects the vehicle.

따라서, 사고 발생 방지를 위해 레이더(radio detection and ranging; RADAR) 장비가 사용되었다. 레이더는 마이크로파(극초단파, 10cm 내지 100cm 파장) 정도의 전자기파를 물체에 발사시켜 그 물체에서 반사되는 전자기파를 수신하여 물체와의 거리, 방향, 고도 등을 알아내는 무선감시장치로서, 가격이 고가이므로 다양한 차종에 보급이 용이하지 않은 문제점이 있다.Therefore, radio detection and ranging (RADAR) equipment has been used to prevent accidents. Radar is a wireless monitoring device that detects the distance, direction, and altitude of an object by emitting electromagnetic waves of microwaves (microwave, 10 cm to 100 cm) to an object and receiving the electromagnetic waves reflected from the object. There is a problem that it is not easy to spread in the car model.

상기한 문제점을 해결하기 위하여, 라이더(light detection and ranging; LiDAR)가 개발되고 있다. 라이더(LiDAR)는, 펄스 레이저광을 대기 중에 발사해 그 반사체 또는 산란체를 이용하여 상대 물체와의 거리를 측정하는 장치로서, 레이저 레이더라고도 한다. In order to solve the above problems, light detection and ranging (LIDAR) has been developed. A rider (LiDAR) is a device that emits pulsed laser light in the air and measures the distance to a counterpart object using the reflector or scattering body, also called a laser radar.

현재, 차량에 탑재되는 라이더(LiDAR)로서, 360도 라이더(LiDAR) 스캐너가 개발되고 있으나, 이는 구조상 라이더의 몸체가 360도 회전하면서 주변을 스캔한다. Currently, as a rider (LiDAR) mounted on a vehicle, a 360-degree rider (LiDAR) scanner has been developed, but it is structurally scanned as the rider's body rotates 360 degrees.

라이더의 몸체를 회전시키기 위해서는 소정의 회전 구조물을 필요로 한다. 이때, 라이더가 일측을 향할 때, 반대 방향에서 발생되는 상황의 탐지가 어려운 문제점이 있는 등, 탐지 범위가 한정되는 문제점이 있으므로, 레이저의 방사 각도를 변화시킬 필요가 있다. To rotate the body of the rider requires a certain rotating structure. At this time, when the rider faces one side, there is a problem that the detection range is limited, such as difficult to detect a situation occurring in the opposite direction, it is necessary to change the radiation angle of the laser.

도 1은 차량용 라이더에서 사용되는 광 조향기에서 사용하는 격자 결합기의 일 예를 나타내는 도면이다. 1 is a diagram illustrating an example of a grating coupler used in an optical steering device used in a vehicle rider.

도 1을 참조하면, 광 위상 배열 구조(1)의 일측으로 소정의 광원에서 발광된 광이 입력되면, 입력된 광은 광 분배기(3)를 통해 분배된 후 위상 제어부(4)로 입력된다. 위상 제어부(4)는 입력된 광의 위상을 사용자가 필요로 하는 수준으로 제어한 후, 격자 결합기를 포함하는 광 조향기(10)로 입력한다. Referring to FIG. 1, when light emitted from a predetermined light source is input to one side of the optical phase array structure 1, the input light is distributed through the light splitter 3 and then input to the phase controller 4. The phase controller 4 controls the phase of the input light to a level required by the user, and then inputs it to the optical steering device 10 including the grating combiner.

광 조향기(10)는 입력된 광을 소정의 방사 각도를 갖고 방사되도록 하는 격자 결합기(12)를 포함한다. The light steering unit 10 includes a grating coupler 12 which allows the input light to be radiated at a predetermined emission angle.

도 2는 도 1에 도시된 격자 결합기에 의한 빛의 방사를 설명하는 도면이다. 도 2에서 격자 결합기가 단일개로 도시되어 있어, 격자 결합기는 복수로 사용될 수 있다. FIG. 2 is a view illustrating radiation of light by the grating coupler shown in FIG. 1. In FIG. 2, the lattice coupler is shown as a single piece, and a plurality of lattice couplers may be used.

도 2를 참조하면, 격자 결합기(12)는 소정의 기판 상에는 소정의 폭(W)을 갖고 상부에는 소정의 주기(Λ) 간격으로 복수의 단위 격자(14)가 돌출되어 있음을 도시하고 있다. 여기서, 단위 격자(14)의 폭과 간격은 사용자의 필요에 따라 다양하게 설정된다. Referring to FIG. 2, the grating coupler 12 has a predetermined width W on a predetermined substrate and a plurality of unit gratings 14 protrude from the upper portion at predetermined intervals Λ. Here, the width and spacing of the unit grid 14 is set variously according to the needs of the user.

도 2에 도시된 격자 결합기(12)의 일측에서 레이저가 입사(L1)되면, 입사된 레이저는 단위 격자(14)에 대하여 소정의 각도(θ)로 방사(L2)됨을 알 수 있다. When the laser is incident L1 at one side of the grating coupler 12 illustrated in FIG. 2, it can be seen that the incident laser is radiated L2 at a predetermined angle θ with respect to the unit grating 14.

여기서, 레이저광의 방사각은 다음의 [수학식 1]에 의해 결정될 수 있다. Here, the emission angle of the laser light can be determined by the following [Equation 1].

Figure 112017042124959-pat00001
Figure 112017042124959-pat00001

θ : 방사각도 θ: radiation angle

Λ : 격자 주기Λ: Grid period

λ : 레이저의 파장λ: wavelength of the laser

n eff: 격자 결합기의 유효 굴절률 n eff : effective refractive index of the lattice coupler

상기한 [수학식 1]에 의해 레이저의 중심 파장이 1550 nm이고 파장이 100 nm변화할 때 θ가 변화하는 범위는 약 15도이고, 레이저의 중심 파장이 1310 nm이고 파장이 100 nm 변화할 때 θ가 변화하는 범위는 대략 17도임을 알 수 있다. When the center wavelength of the laser is 1550 nm and the wavelength is changed by 100 [Equation 1], the range in which θ is changed is about 15 degrees, and when the center wavelength of the laser is 1310 nm and the wavelength is changed by 100 nm. It can be seen that the range in which θ varies is approximately 17 degrees.

상기와 같이 레이저의 파장이 100 nm나 변화해도 레이저의 방사 각도 변화는 20도 이내에 불과하다. 또한, 실리콘(Si) 상에서 인듐인(InP) 기반 레이저를 사용하는 파장가변레이저에서 보고되는 파장 가변 범위는 40 nm 정도로 제한되므로, 파장가변레이저(turnable laser)에서 파장 가변 범위를 넓게 하는 데에도 한계가 있어 광 위상 배열 구조에서의 레이저광의 방사 각도 변화가 어려운 문제점이 있다.As described above, even if the wavelength of the laser changes by 100 nm, the change in the radiation angle of the laser is only within 20 degrees. In addition, the wavelength variable range reported by the tunable laser using an indium-in laser (InP) based on silicon (Si) is limited to about 40 nm, thus limiting the wide tunable range of the turnable laser. There is a problem that it is difficult to change the radiation angle of the laser light in the optical phase arrangement.

본 발명에 대한 선행기술로는 공개특허 2016-0078043호를 예시할 수 있다.Prior art for the present invention can be exemplified in Patent Publication No. 2016-0078043.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 격자 결합기를 복수로 포함하는 격자 결합군을 복수로 포함하되, 각각의 격자 결합군이 포함하는 격자 결합기는 격자 결합기 상에 돌출된 단위 격자의 폭과 돌출 주기가 레이저광이 입사되는 일단에서 타단으로 진행하며 점차 증가되도록 하여, 일단으로 입사된 레이저가 방사되되 방사 각도가 변화되도록 하는 광 조향 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems, and includes a plurality of lattice joining group including a plurality of lattice combiner, each lattice combiner included in each lattice combiner of the unit grid protruding on the lattice combiner It is an object of the present invention to provide an optical steering device in which a width and a protrusion period are gradually increased from one end to which the laser light is incident to the other end, so that the laser incident to one end is radiated but the angle of radiation is changed.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면에 의하면, 광원에서 발광되어 광분배기에 의해 분해되고, 광 위상 제어부를 통해 위상 제어된 레이저광을 일정 각도로 방사되도록 하는 광 조향 장치로서, 상기 광 조향기는, 기판과, 일정한 길이와 제1 폭을 갖고, 상기 기판 상에 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제1 격자 결합기를 포함하는 제1 격자 결합군과, 상기 일정한 길이를 갖고 제1+N 폭을 갖고, 상기 기판 상에 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제1+N격자 결합기를 포함하는 제1+N 격자 결합군을 포함하고, 상기 제1+N 폭은 상기 제1 폭과 다른 값을 갖는 광 조향 장치를 제공한다. According to a first aspect of the present invention for achieving the above object, an optical steering device which emits light from a light source, is decomposed by a light splitter, and emits a laser beam controlled by a phase through an optical phase control unit at a predetermined angle. The optical steering device has a first lattice coupling group including a substrate, a first lattice coupler having a predetermined length and a first width, the plurality of first lattice couplers disposed on the substrate, and emitting the laser light; A first + N lattice coupling group having a 1 + N width and including a plurality of first + N grid couplers disposed on the substrate to emit the laser light, wherein the first + N width comprises: An optical steering device having a value different from one width is provided.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제2 측면에 의하면, 광원에서 발광되어 광분배기에 의해 분해되고, 광 위상 제어부를 통해 위상 제어된 레이저광을 일정 각도로 방사되도록 하는 광 조향 장치로서, 상기 광 조향기는, 기판과, 일정한 길이와 폭을 갖고, 상부에는 제1 주기로 제1 단위 격자가 돌출되며 상기 기판 상에 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제1 격자 결합기를 포함하는 제1 격자 결합군과, 상기 일정한 길이와 폭을 갖고, 상부에는 제1+N 주기로 제1+N 단위 격자가 돌출되며 상기 기판 상에 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제1+N 격자 결합기를 포함하는 제1+N 격자 결합군을 포함하고, 상기 제1+N 주기는 상기 제1 주기와 다른 값을 갖는 광 조향 장치를 제공한다. According to a second aspect of the present invention for achieving the above object, an optical steering device that emits light from a light source, is decomposed by a light splitter, and emits a laser beam controlled by a phase through an optical phase control unit at a predetermined angle. The optical steering device includes a first grating including a substrate, and a plurality of first grating couplers having a predetermined length and width and a first unit grating protruding thereon at a first period and disposed on the substrate to emit the laser light. And a plurality of first + N lattice couplers having a predetermined length and width, and a plurality of first + N lattice couplers having a predetermined length and width and protruding from the first + N unit grids at a first + N period and disposed on the substrate to emit the laser light. And a first + N lattice coupling group, wherein the first + N period provides a light steering device having a different value from the first period.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제3 측면에 의하면, 광원에서 발광되어 광분배기에 의해 분해되고, 광 위상 제어부를 통해 위상 제어된 레이저광을 일정 각도로 방사되도록 하는 광 조향 장치로서, 상기 광 조향기는, 기판과, 일정한 길이와 제1 폭을 갖고, 상기 기판 상에 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제1 격자 결합기를 포함하는 제1 격자 결합군과, 상기 일정한 길이를 갖고 제1+N 폭을 갖고, 상기 기판 상에 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제1+N격자 결합기를 포함하는 제1+N 격자 결합군과, 상기 제1 격자 결합기의 상부에 제1 주기로 돌출되는 제1 단위 격자와, 상기 제1+N 격자 결합기의 상부에 제1+N 주기로 돌출되는 제2 단위 격자를 포함하고, 상기 제1+N 폭은 상기 제1 폭와 다른 값을 갖고, 상기 제1+N 주기는 상기 제1 주기와 다른 값을 갖는 광 조향 장치를 제공한다. According to a third aspect of the present invention for achieving the above object, an optical steering device that emits light from a light source, is decomposed by a light splitter, and emits a laser beam controlled by a phase through an optical phase control unit at a predetermined angle. The optical steering device has a first lattice coupling group including a substrate, a first lattice coupler having a predetermined length and a first width, the plurality of first lattice couplers disposed on the substrate, and emitting the laser light; A first + N lattice coupling group having a 1 + N width and including a plurality of first + N lattice couplers disposed on the substrate to emit the laser light, and having a first period on top of the first lattice coupler; A first unit grating protruding and a second unit grating protruding in a first + N period on top of the first + N grating combiner, wherein the first + N width has a value different from the first width; 1 + N period is the first week It provides an optical steering system and has a different value.

상기 제1 격자 결합군과 제1+N 격자 결합군의 상부로 배치되는 커버층을 더 포함할 수 있다.It may further include a cover layer disposed above the first lattice bonding group and the first + N lattice bonding group.

상기 커버층은, 이산화규소(SiO2) 또는 공기층을 포함할 수 있다.The cover layer may include silicon dioxide (SiO 2 ) or an air layer.

상기 제1 폭과 상기 제1+N 폭의 차이는, 상기 제1 폭과 상기 제1+N 폭의 평균값의 10% 이상일 수 있다.The difference between the first width and the first + N width may be 10% or more of an average value of the first width and the first + N width.

상기 제1 주기와 상기 제1+N 주기의 차이는, 상기 제1 주기와 상기 제1+N 주기의 평균값의 5% 이상일 수 있다.The difference between the first period and the first + N period may be 5% or more of an average value of the first period and the first + N period.

상기 제1 폭과 상기 제1+N 폭의 차이는, 상기 제1 폭과 상기 제1+N 폭의 평균값의 5% 이상일 수 있다.The difference between the first width and the first + N width may be 5% or more of an average value of the first width and the first + N width.

상기 제1 및 제1+N 격자 결합기는, 실리콘(Si) 또는 질화실리콘(SiN)을 포함할 수 있다. The first and first + N lattice couplers may include silicon (Si) or silicon nitride (SiN).

상기 제1 및 제1+N 격자 결합기는, 상기 레이저광의 입사 방향에 대하여 평행하게 배치될 수 있다.The first and first + N grating couplers may be disposed in parallel to the incident direction of the laser light.

상기와 같은 본 발명에 따른 광 조향 장치는, 격자 결합기를 복수로 포함하는 격자 결합군을 복수로 포함하되, 각각의 격자 결합군이 포함하는 격자 결합기는 격자 결합기 상에 돌출된 단위 격자의 폭과 돌출 주기가 레이저광이 입사되는 일단에서 타단으로 진행하며 점차 증가되도록 하여, 일단으로 입사된 레이저가 방사되되 방사 각도가 변화되도록 한다. The optical steering apparatus according to the present invention includes a plurality of grating coupling groups including a plurality of grating couplers, and the grating couplers included in each grating coupling group include a width of a unit grating protruding on the grating coupler. The protruding period is gradually increased from one end where the laser light is incident to the other end, so that the laser incident to one end is radiated but the radiation angle is changed.

도 1은 차량용 라이더에서 사용되는 광 조향기에서 사용하는 격자 결합기의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 격자 결합기에 의한 빛의 방사를 설명하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 측면에 따른 광 조향기의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 제1 격자 결합기의 구성의 일 예를 나타내는 측면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 측면에 따른 광 조향기에 의한 레이저광의 방사 각도를 나타내는 그래프이다.
도 6은 본 발명의 제2 측면에 따른 광 조향기의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 제2 측면에 따른 광 조향기에서 사용하는 제1 격자 결합기와 제2 격자 결합기의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제2 측면에 따른 광 조향기에 의한 레이저광의 방사 각도를 나타내는 그래프이다.
도 9는 본 발명의 제3 측면에 따른 광 조향기의 구성을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 제3 측면에 따른 광 조향기에서 사용하는 제1 격자 결합기와 제2 격자 결합기의 구성을 나타내는 사시도이다. 1 is a diagram illustrating an example of a grating coupler used in an optical steering device used in a vehicle rider.
FIG. 2 is a view illustrating radiation of light by the grating coupler shown in FIG. 1.
3 is a diagram illustrating a configuration of an optical steering device according to a first aspect of the present invention.
4 is a side view illustrating an example of a configuration of the first grating coupler illustrated in FIG. 3.
5 is a graph showing the radiation angle of the laser light by the optical steering device according to the first aspect of the present invention.
6 is a plan view illustrating a configuration of an optical steering device according to a second aspect of the present invention.
7 is a perspective view showing the configuration of the first grating coupler and the second grating coupler used in the optical steering device according to the second aspect of the present invention.
8 is a graph showing the emission angle of the laser light by the optical steering device according to the second aspect of the present invention.
9 is a diagram illustrating a configuration of an optical steering device according to a third aspect of the present invention.
10 is a perspective view showing the configuration of the first grating coupler and the second grating coupler used in the optical steering device according to the third aspect of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 제1 측면에 따른 광 조향기의 구성을 나타내는 도면이다. 3 is a diagram illustrating a configuration of an optical steering device according to a first aspect of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 측면에 따른 광 조향기(100)는 다음과 같이 구성될 수 있다. Referring to FIG. 3, the optical steering device 100 according to the first aspect of the present invention may be configured as follows.

여기서, 광 조향기(100)로 레이저광을 공급하기 위해 광원, 광 분배기, 광 위상 제어부를 사용할 수 있다. 광원, 광 분배기, 광 위상 제어부는 널리 알려진 공지의 기술이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. Here, a light source, a light splitter, and an optical phase controller may be used to supply the laser light to the light steering device 100. Since the light source, the light splitter, and the optical phase controller are well known technologies, detailed descriptions thereof will be omitted.

광 조향기(100)는 광원에서 발광된 소정 파장의 레이저광을 수광받은 후, 이를 소정의 각도로 외부로 방사한다. The light steering unit 100 receives the laser light of a predetermined wavelength emitted from the light source and radiates it outward at a predetermined angle.

광 조향기(100)는 제1 격자 결합군(群)(120A)와 제2 격자 결합군(120B)을 포함할 수 있다. 여기서, 광 조향기(100)는 제3 격자 결합군 또는 제3과 제4 격자 결합군를 포함할 수 있으나, 여기서는 제1 격자 결합군(120A)과 제2 격자 결합군(120B) 만을 포함하는 것으로 상정하여 설명하기로 한다. The light steering apparatus 100 may include a first grating coupling group 120A and a second grating coupling group 120B. Here, the optical steering device 100 may include a third lattice coupling group or a third and fourth lattice coupling group, but it is assumed here to include only the first lattice coupling group 120A and the second lattice coupling group 120B. This will be described.

또한, 도면상에서 제1 격자 결합군(120A)와 제2 격자 결합군(120B)은 점선으로 표시되어 있으나, 이는 제1 격자 결합군(120A)와 제2 격자 결합군(120B)이 포함하는 제1 및 제2 격자 결합기(124A, 124B)를 구분하기 위한 것이다.In addition, although the first lattice joining group 120A and the second lattice joining group 120B are indicated by a dotted line in the drawing, this is the first lattice joining group 120A and the second lattice joining group 120B. To distinguish the first and second lattice couplers 124A and 124B.

제1 격자 결합군(120A)은 제1 격자 결합기(124A)를 복수로 포함한다. The first grid coupler 120A includes a plurality of first grid couplers 124A.

제1 격자 결합기(124A)는 일정한 길이를 갖는 직육면체 형상으로 제1 폭(W1)을 갖는다. 제1 격자 결합기(124A)는 소정의 기판(110) 상에 서로 평행하고 일렬로 배치된다. 여기서, 기판(110)은 소정의 면적을 갖는 플레이트(plate) 형상이다. 기판(110)은 실리콘(Si)을 포함할 수 있다. The first grating coupler 124A has a first width W1 in a rectangular parallelepiped shape having a constant length. The first grating couplers 124A are arranged parallel and in line with each other on the predetermined substrate 110. Here, the substrate 110 is a plate shape having a predetermined area. The substrate 110 may include silicon (Si).

여기서, 제1 격자 결합기(124A)의 제1 폭(W1)은 예를 들어 400nm의 값을 가질 수 있지만, 사용자의 필요에 따라 다양하게 설정될 수 있다. Here, the first width W1 of the first grating coupler 124A may have a value of 400 nm, for example, but may be variously set according to a user's needs.

제1 격자 결합기(124A)는 실리콘(Si) 또는 질화실리콘(SiN)을 포함한다. The first lattice coupler 124A includes silicon (Si) or silicon nitride (SiN).

복수의 제1 격자 결합기(124A)는 기판(110) 상에 소정의 배치 간격으로 배치될 수 있다. 이때, 복수의 제1 격자 결합기(124A)는 레이저광의 입사 방향에 대하여 서로 평행하게 일렬로 배치될 수 있다. The plurality of first grating couplers 124A may be disposed on the substrate 110 at predetermined placement intervals. In this case, the plurality of first grating couplers 124A may be arranged in a line in parallel with each other with respect to the incident direction of the laser light.

도 4는 도 3에 도시된 제1 격자 결합기의 구성의 일 예를 나타내는 측면도이다. 4 is a side view illustrating an example of a configuration of the first grating coupler illustrated in FIG. 3.

도 4를 참조하면, 제1 격자 결합기(124A)의 상부에는 일정한 주기(Λ)로 복수의 제1 단위격자(128A)가 돌출될 수 있다. Referring to FIG. 4, a plurality of first unit grids 128A may protrude on the first lattice coupler 124A at regular intervals Λ.

그리고, 제1 단위격자(128A)의 상부로는 소정 두께의 커버층(126A)이 배치된다. In addition, a cover layer 126A having a predetermined thickness is disposed on the first unit grid 128A.

커버층(126A)은 이산화규소(SiO2)를 포함할 수 있다. 또한, 커버층(126A)은 공기층일 수 있다. The cover layer 126A may include silicon dioxide (SiO 2 ). In addition, the cover layer 126A may be an air layer.

제2 격자 결합군(120B)은 제2 격자 결합기(124B)를 복수로 포함하고, 기판 상(123)에서 레이저광의 입사 방향에 대하여 제1 격자 결합군(120A)과 이웃하여 일렬로 배치될 수 있다. The second grating coupler 120B includes a plurality of second grating couplers 124B, and may be arranged in a line adjacent to the first grating coupler 120A with respect to the incident direction of the laser light on the substrate 123. have.

제2 격자 결합기(124B)는 일정한 길이를 갖는 직육면체 형상으로 제2 폭(W2)을 갖는다. 제2 격자 결합기(124B)는 소정의 기판(110) 상에 서로 평행하고 일렬로 배치된다. The second grating coupler 124B has a second width W2 in a rectangular parallelepiped shape having a constant length. The second grating couplers 124B are arranged parallel and in line with each other on the predetermined substrate 110.

제2 격자 결합기(124B)의 구성은 제2 격자 결합기(124B)의 제2 폭(W2)이 제1 격자 결합기(124A)의 제1 폭(W1)과 다른 것 이외에는 동일하다. The configuration of the second grating coupler 124B is the same except that the second width W2 of the second grating coupler 124B is different from the first width W1 of the first grating coupler 124A.

이때, 제1 폭(W1)과 제2 폭(W2)의 차이는 다음과 같다. 즉, 제2 폭(W2)은 제1 폭(W1) 보다 증가하되, 제1 폭(W1)과 제2 폭(W2)의 평균값의 10% 이상으로 증가할 수 있다. At this time, the difference between the first width W1 and the second width W2 is as follows. That is, although the second width W2 is increased than the first width W1, the second width W2 may increase to 10% or more of an average value of the first width W1 and the second width W2.

상기와 같이 격자 결합기의 폭을 변화시키면 격자 결합기의 유효 굴절률이 변화할 수 있다. Changing the width of the lattice coupler as described above may change the effective refractive index of the lattice coupler.

제3 격자 결합군과 제4 격자 결합군이 배치된다면, 제3 격자 결합군이 포함하는 제3 격자 결합기의 제3 폭은 제1 및 제2 폭과 다를 수 있고, 제4 격자 결합군이 포함하는 제4 격자 결합기의 제4 폭은 제1 내지 제3 폭과 다를 수 있다. If the third lattice joining group and the fourth lattice joining group are arranged, the third width of the third lattice joining unit included in the third lattice joining group may be different from the first and second widths, and the fourth lattice joining group is included. The fourth width of the fourth grating coupler may be different from the first to third width.

도 5는 본 발명의 제1 측면에 따른 광 조향기에 의한 레이저광의 방사 각도를 나타내는 그래프이다. 5 is a graph showing the radiation angle of the laser light by the optical steering device according to the first aspect of the present invention.

도 5를 참조하면, 광원에서 발광되어 광 조향기(100)로 입사되는 레이저의 파장이 1500nm 내지 1600nm 로 설정되고, 격자 결합기의 폭이 400 내지 800nm 로 설정되는 경우 격자 결합기의 방사 각도를 나타낸다. Referring to FIG. 5, when the wavelength of the laser emitted from the light source and incident on the optical steering device 100 is set to 1500 nm to 1600 nm, and the width of the lattice coupler is set to 400 to 800 nm, the radiation angle of the lattice coupler is shown.

도 5에서 알 수 있는 바와 같이, 제1 격자 결합군(120A)이 포함하는 제1 격자 결합기(124A)의 폭은 400 nm로 설정하고, 제2 격자 결합군(120B)이 포함하는 제2 격자 결합기(124B)의 폭은 500 nm로 설정하면, 레이저광의 파장 범위 1500 ~ 1600 nm에서 방사각의 범위는 -16도에서 10도로서 빔 조향의 범위는 26도에 달하게 된다. As can be seen in FIG. 5, the width of the first grating coupler 124A included in the first grating coupler 120A is set to 400 nm, and the second grating included in the second grating coupler 120B is included. When the width of the combiner 124B is set to 500 nm, the radiation angle ranges from -16 degrees to 10 degrees and the beam steering range reaches 26 degrees in the wavelength range 1500 to 1600 nm of the laser light.

또한, 제1 격자 결합군(120A)이 포함하는 제1 격자 결합기(124A)의 폭은 500 nm로 설정하고, 제2 격자 결합군(120B)이 포함하는 제2 격자 결합기(124B)의 폭은 800 nm로 설정하면, 파장 범위 1500 ~ 1600 nm에서 방사각의 범위는 -4도에서 23도로서 빔 조향각도의 범위가 27도에 달하게 된다. In addition, the width of the first lattice coupler 124A included in the first lattice coupler 120A is set to 500 nm, and the width of the second lattice coupler 124B included in the second lattice combiner 120B is set to 500 nm. When set to 800 nm, the radiation angle ranges from -4 degrees to 23 degrees in the wavelength range 1500 to 1600 nm, and the beam steering angle ranges to 27 degrees.

상기에서와 같이 제1 격자 결합군(120A)이 포함하는 제1 격자 결합기(124A)의 제1 폭(W1)이 소정 값을 가질 때 방사각의 변화가 θ1 부터 θ2 이고, 제2 격자 결합군(120B)이 포함하는 제2 격자 결합기(124B)의 제2 폭(W2)이 소정값을 가질 때 방사각의 변화가 θ2 부터 θ3 이라면, 제1 격자 결합군(120A)과 제2 격자 결합군(120B) 전체의 방사각은 θ1 부터 θ3 로 확장될 수 있다. As described above, when the first width W1 of the first grating coupler 124A included in the first grating coupler 120A has a predetermined value, the change in the radiation angle is θ1. From θ2, and the change of the radiation angle is θ2 when the second width W2 of the second lattice coupler 124B included in the second lattice coupler 120B has a predetermined value. From θ3, the radiation angles of the entire first grating coupling group 120A and the second grating coupling group 120B are θ1. From θ3 can be extended.

상기와 같이, 광 위상 배열 구조에서 사용하는 격자 결합기의 폭을 변화시키면 레이저의 파장을 변화시키지 않고도 레이저의 방사 각도를 변화시킬 수 있다. As described above, when the width of the grating coupler used in the optical phased array structure is changed, the radiation angle of the laser can be changed without changing the wavelength of the laser.

도 6은 본 발명의 제2 측면에 따른 광 조향기의 구성을 나타내는 평면도이다. 6 is a plan view illustrating a configuration of an optical steering device according to a second aspect of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제2 측면에 따른 광 조향기(200)는 다음과 같이 구성될 수 있다. Referring to FIG. 6, the optical steering device 200 according to the second aspect of the present invention may be configured as follows.

광 조향기(200)는 제1 격자 결합군(220A)와 제2 격자 결합군(220B)을 포함할 수 있다. The light steering unit 200 may include a first grating combining group 220A and a second grating combining group 220B.

이전의 실시예와 동일한 구성에 대해서는 상세한 설명은 생략하고, 차이가 있는 부분에 대해서만 설명하기로 한다. Detailed description of the same configuration as the previous embodiment will be omitted, and only differences will be described.

제1 격자 결합군(220A)이 포함하는 제1 격자 결합기(224A)의 폭과 제2 격자 결합군(220B)이 포함하는 제2 격자 결합기(224B)의 폭은 동일할 수 있다.The width of the first lattice coupler 224A included in the first lattice coupler 220A and the width of the second lattice coupler 224B included in the second lattice combiner 220B may be the same.

도 7은 본 발명의 제2 측면에 따른 광 조향기에서 사용하는 제1 격자 결합기와 제2 격자 결합기의 구성을 나타내는 사시도이다. 도면에서, 도면의 간략화를 위해 커버층의 도시는 생략하기로 한다. 7 is a perspective view showing the configuration of the first grating coupler and the second grating coupler used in the optical steering device according to the second aspect of the present invention. In the drawings, the illustration of the cover layer will be omitted for simplicity of the drawings.

도 7의 (A)를 참조하면, 제1 격자 결합기(224A)의 상부에는 제1 주기(Λ1) 간격으로 제1 단위 격자(228A)가 복수로 돌출된다. 그리고, 도 7의 (B)를 참조하면, 제2 격자 결합기(224B)의 상부에는 제2 주기(Λ2) 간격으로 제2 단위 격자(228B)가 복수로 돌출된다. 이때, 각각의 단위 격자는 동일한 형태와 크기로 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 7A, a plurality of first unit gratings 228A protrudes from the first grating coupler 224A at first intervals Λ1. In addition, referring to FIG. 7B, a plurality of second unit grids 228B protrude from the second grid coupler 224B at intervals of a second period Λ2. In this case, each unit grid may have the same shape and size.

여기서, 제2 주기(Λ2)는 제1 주기(Λ1)와 다른 값을 가질 수 있다. 즉, 제2 주기(Λ2)는 제1 주기(Λ1) 보다 증가하되, 제2 주기(Λ2)와 제1 주기(Λ1)의 평균값의 5% 이상으로 증가할 수 있다. Here, the second period Λ2 may have a value different from the first period Λ1. That is, although the second period Λ2 is increased than the first period Λ1, the second period Λ2 may increase to 5% or more of the average value of the second period Λ2 and the first period Λ1.

도 8은 본 발명의 제2 측면에 따른 광 조향기에 의한 레이저광의 방사 각도를 나타내는 그래프이다. 8 is a graph showing the emission angle of the laser light by the optical steering device according to the second aspect of the present invention.

도 8을 참조하면, 광원에서 발광되어 광 위상 배열 구조(200)로 입사되는 레이저의 파장이 1500nm 내지 1600nm 로 설정되고, 격자 결합기 상에 돌출되는 단위 격자의 주기가 500 내지 570nm 로 설정되는 경우 격자 결합기의 방사 각도를 나타낸다. Referring to FIG. 8, when the wavelength of the laser emitted from the light source and incident on the optical phase array structure 200 is set to 1500 nm to 1600 nm, and the period of the unit grating projecting on the grating coupler is set to 500 to 570 nm The radiation angle of the coupler is shown.

도 8에서 알 수 있는 바와 같이, 레이저의 파장이 1500 nm일 때, 단위 격자의 주기가 500 nm에서 535 nm로 증가하면 방사 각도가 0도에서 11도로 증가하고, 격자 주기가 570 nm로 증가하면 방사 각도가 22도로 증가함을 알 수 있다. As can be seen in FIG. 8, when the wavelength of the laser is 1500 nm, when the period of the unit grating increases from 500 nm to 535 nm, the radiation angle increases from 0 degree to 11 degrees, and the grating period increases from 570 nm. It can be seen that the radiation angle increases to 22 degrees.

상기와 같이, 격자 결합기 상부에 돌출되는 단위격자의 주기를 증가시키면 레이저의 파장을 변화시키지 않고도 레이저의 방사 각도를 증가시킬 수 있다. As described above, by increasing the period of the unit grid protruding above the grating coupler can increase the radiation angle of the laser without changing the wavelength of the laser.

도 9는 본 발명의 제3 측면에 따른 광 조향기의 구성을 나타내는 도면이다. 9 is a diagram illustrating a configuration of an optical steering device according to a third aspect of the present invention.

도 9를 참조하면, 본 발명의 제3 측면에 따른 광 조향기는 다음과 같이 구성될 수 있다. Referring to FIG. 9, an optical steering device according to a third aspect of the present invention may be configured as follows.

광 조향기(300)는 제1 격자 결합군(320A)와 제2 격자 결합군(320B)을 포함할 수 있다. The light steering unit 300 may include a first grating combining group 320A and a second grating combining group 320B.

이전의 실시예와 동일한 구성에 대해서는 상세한 설명은 생략하고, 차이가 있는 부분에 대해서만 설명하기로 한다. Detailed description of the same configuration as the previous embodiment will be omitted, and only differences will be described.

여기서, 제2 격자 결합군(320B)이 포함하는 제2 격자 결합기(324B)의 폭은 제1 격자 결합군(320A)이 포함하는 제1 격자 결합기(324A)의 폭보다 5% 이상으로 클 수 있다. 제2 격자 결합기(324B)의 폭은 제1 격자 결합기(324A)의 폭보다 증가하되, 제1 격자 결합기(324A)의 폭과 제2 격자 결합기(324B)의 폭의 평균값의 5% 이상으로 증가할 수 있다. Here, the width of the second lattice coupler 324B included in the second lattice coupler 320B may be at least 5% greater than the width of the first lattice coupler 324A included in the first lattice coupler 320A. have. The width of the second lattice coupler 324B is greater than the width of the first lattice coupler 324A, but increases to at least 5% of the average of the width of the first lattice coupler 324A and the width of the second lattice coupler 324B. can do.

도 10은 본 발명의 제3 측면에 따른 광 조향기에서 사용하는 제1 격자 결합기와 제2 격자 결합기의 구성을 나타내는 사시도이다. 도면에서, 도면의 간략화를 위해 커버층의 도시는 생략하기로 한다. 10 is a perspective view showing the configuration of the first grating coupler and the second grating coupler used in the optical steering device according to the third aspect of the present invention. In the drawings, the illustration of the cover layer will be omitted for simplicity of the drawings.

도 10의 (A)를 참조하면, 제1 격자 결합기(324A)의 상부에는 제1 주기(Λ1) 간격으로 제1 단위 격자(328A)가 복수로 돌출된다. 그리고, 도 7의 (B)를 참조하면, 제2 격자 결합기(324B)의 상부에는 제2 주기(Λ2) 간격으로 제2 단위 격자(328B)가 복수로 돌출된다. Referring to FIG. 10A, a plurality of first unit grids 328A protrude from the first grid coupler 324A at first intervals Λ1. In addition, referring to FIG. 7B, a plurality of second unit grids 328B protrude from the second grid coupler 324B at intervals of a second period Λ 2.

여기서, 제2 주기(Λ2)는 제1 주기(Λ1)와 다른 값을 가질 수 있다. 즉, 제2 주기(Λ2)는 제1 주기(Λ1) 보다 증가하되, 제2 주기(Λ2)와 제1 주기(Λ1)의 평균값의 5% 이상으로 증가할 수 있다. Here, the second period Λ2 may have a value different from the first period Λ1. That is, although the second period Λ2 is increased than the first period Λ1, the second period Λ2 may increase to 5% or more of the average value of the second period Λ2 and the first period Λ1.

상기와 같이, 격자 결합기 상부에 돌출되는 단위격자의 주기를 변화시키고, 격자 결합기의 폭을 변화시키면 레이저의 파장을 변화시키지 않고도 레이저의 방사 각도를 변화시킬 수 있다. As described above, by changing the period of the unit grid protruding above the grating coupler, and changing the width of the grating coupler can change the radiation angle of the laser without changing the wavelength of the laser.

본 발명은, 격자 결합기를 복수로 포함하는 격자 결합군을 복수로 포함하되, 각각의 격자 결합군이 포함하는 격자 결합기는 폭과 격자 결합기 상에 돌출된 단위격자의 돌출 주기를 서로 다르게 하여 레이저의 방사 각도가 변화되도록 한다. The present invention includes a plurality of lattice coupling groups including a plurality of lattice couplers, wherein the lattice couplers included in each lattice coupling group have different widths and protrusion periods of unit grids projecting on the lattice couplers. Allow the radiation angle to change.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

100, 200, 300: 광 조향기
120A, 220A, 320A: 제1 격자 결합군
124A, 224A, 324A: 제1 격자 결합기
120B, 220B, 320B: 제2 격자 결합군
124B, 224B, 324B: 제2 격자 결합기100, 200, 300: optical steering
120A, 220A, 320A: first lattice coupling group
124A, 224A, 324A: first lattice combiner
120B, 220B, 320B: second lattice coupling group
124B, 224B, 324B: second lattice combiner

Claims (10)

광원에서 발광되어 광분배기에 의해 분해되고, 광 위상 제어부를 통해 위상 제어된 레이저광을 일정 각도로 방사되도록 하는 광 조향 장치로서,
기판과,
일정한 길이와 제1 폭을 갖고, 상기 기판 상에 서로 평행하며 상기 레이저광의 입사 방향에 대하여 일렬로 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제1 격자 결합기를 포함하는 제1 격자 결합군과,
일정한 길이와 제2 폭을 갖고, 상기 기판 상에 서로 평행하며 상기 레이저광의 입사 방향에 대하여 일렬로 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제2 격자 결합기를 포함하며, 상기 레이저광의 입사 방향에 대하여 상기 제1 격자 결합군과 이웃하여 일렬로 배치되는 제2 격자 결합군을 포함하고,
상기 제2 격자 결합기의 제2 폭은 제1 격자 결합기의 제1 폭보다 증가하되, 상기 제2 격자 결합기의 제2 폭과 상기 제1 격자 결합기의 제1 폭의 평균값의 10% 이상으로 증가하는 광 조향 장치.An optical steering device that emits light from a light source, is decomposed by a light splitter, and emits laser light controlled at a predetermined angle through an optical phase control unit.
Substrate,
A first lattice coupling group having a first length and a first width, the first lattice coupling group including a plurality of first lattice couplers parallel to each other on the substrate and arranged in a line with respect to the direction of incidence of the laser light to emit the laser light;
And a plurality of second grating couplers having a predetermined length and a second width, parallel to each other on the substrate, and arranged in a line with respect to the direction of incidence of the laser light to emit the laser light, with respect to the direction of incidence of the laser light A second lattice joining group arranged in a line adjacent to the first lattice joining group;
The second width of the second grating coupler is increased to be greater than the first width of the first grating coupler, but increases by at least 10% of an average value of the second width of the second grating coupler and the first width of the first grating coupler. Optical steering device. 광원에서 발광되어 광분배기에 의해 분해되고, 광 위상 제어부를 통해 위상 제어된 레이저광을 일정 각도로 방사되도록 하는 광 조향 장치로서,
기판과,
일정한 길이와 폭을 갖고, 상부에는 제1 주기로 제1 단위 격자가 돌출되며 상기 기판 상에 서로 평행하며 상기 레이저광의 입사 방향에 대하여 일렬로 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제1 격자 결합기를 포함하는 제1 격자 결합군과,
상기 일정한 길이와 폭을 갖고, 상부에는 제2 주기로 제2 단위 격자가 돌출되며 상기 기판 상에 서로 평행하며 상기 레이저광의 입사 방향에 대하여 일렬로 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제2 격자 결합기를 포함하며, 상기 레이저광의 입사 방향에 대하여 상기 제1 격자 결합군과 이웃하여 일렬로 배치되는 제2 격자 결합군을 포함하고,
상기 제2 단위 격자의 제2 주기는 제1 단위 격자의 제1 주기보다 증가하되, 상기 제2 단위 격자의 주기와 상기 제1 단위 격자의 주기의 평균값의 5% 이상으로 증가하는 광 조향 장치. An optical steering device that emits light from a light source, is decomposed by a light splitter, and emits laser light controlled at a predetermined angle through an optical phase control unit.
Substrate,
A plurality of first grating couplers having a predetermined length and width and protruding from the first unit grating at a first period on the substrate, parallel to each other on the substrate, and arranged in a line with respect to the direction of incidence of the laser light; A first lattice joining group comprising:
A plurality of second grating couplers having a predetermined length and width and protruding a second unit grating at a second period on the top thereof, parallel to each other on the substrate, and arranged in a line with respect to the direction of incidence of the laser light; And a second lattice coupling group arranged in a line adjacent to the first lattice coupling group with respect to the incident direction of the laser light.
The second period of the second unit grating is increased than the first period of the first unit grating, the optical steering device increases to at least 5% of the average value of the period of the second unit grating and the period of the first unit grating. 광원에서 발광되어 광분배기에 의해 분해되고, 광 위상 제어부를 통해 위상 제어된 레이저광을 일정 각도로 방사되도록 하는 광 조향 장치로서,
기판과,
일정한 길이와 제1 폭을 갖고, 상기 기판 상에 서로 평행하며 상기 레이저광의 입사 방향에 대하여 일렬로 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제1 격자 결합기를 포함하는 제1 격자 결합군과,
상기 일정한 길이를 갖고 제2 폭을 갖고, 상기 기판 상에 서로 평행하며 상기 레이저광의 입사 방향에 대하여 일렬로 배치되어 상기 레이저광을 방사하는 복수의 제2 격자 결합기를 포함하며, 상기 레이저광의 입사 방향에 대하여 상기 제1 격자 결합군과 이웃하여 일렬로 배치되는 제2 격자 결합군을 포함하고,
상기 제1 격자 결합기의 상부에 제1 주기로 돌출되는 제1 단위 격자와,
상기 제2 격자 결합기의 상부에 제2 주기로 돌출되는 제2 단위 격자를 포함하며,
상기 제2 격자 결합기의 제2 폭은 제1 격자 결합기의 제1 폭보다 증가하되, 상기 제2 격자 결합기의 제2 폭과 상기 제1 격자 결합기의 제1 폭의 평균값의 5% 이상으로 증가하고,
상기 제2 단위 격자의 제2 주기는 상기 제1 단위 격자의 제1 주기보다 증가하되, 상기 제2 단위 격자의 제2 주기와 상기 제1 단위 격자의 제1 주기의 평균값의 5% 이상으로 증가하는 광 조향 장치. An optical steering device that emits light from a light source, is decomposed by a light splitter, and emits laser light controlled at a predetermined angle through an optical phase control unit.
Substrate,
A first lattice coupling group having a first length and a first width, the first lattice coupling group including a plurality of first lattice couplers parallel to each other on the substrate and arranged in a line with respect to the direction of incidence of the laser light to emit the laser light;
And a plurality of second lattice couplers having a predetermined length and a second width, parallel to each other on the substrate, and arranged in a line with respect to the direction of incidence of the laser light to emit the laser light, the direction of incidence of the laser light A second lattice joining group arranged in a line adjacent to the first lattice joining group with respect to,
A first unit grid protruding in a first period on the first grid coupler;
A second unit grid protruding in a second period on the second grid coupler;
The second width of the second lattice combiner is increased than the first width of the first lattice combiner, but increases to at least 5% of the average of the second width of the second lattice combiner and the first width of the first lattice combiner. ,
The second period of the second unit grid is increased than the first period of the first unit grid, but is increased to 5% or more of an average value of the second period of the second unit grid and the first period of the first unit grid. Optical steering device. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 격자 결합군과 제2 격자 결합군의 상부로 배치되는 커버층을 더 포함하는 광 조향 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
And a cover layer disposed above the first grating combining group and the second grating combining group. 제4항에 있어서,
상기 커버층은,
이산화규소(SiO2) 또는 공기층을 포함하는 광 조향 장치.The method of claim 4, wherein
The cover layer,
Optical steering device comprising silicon dioxide (SiO 2 ) or air layer. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 격자 결합기는,
실리콘(Si) 또는 질화실리콘(SiN)을 포함하는 광 조향 장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The first and second lattice combiner,
An optical steering device comprising silicon (Si) or silicon nitride (SiN).
삭제delete
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