KR101977708B1 - 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

표시 장치를 제공한다. 본 발명의 한 실시예에 따른 표시 장치는 하부 표시판, 상기 하부 표시판과 마주보는 상부 표시판, 상기 상부 표시판과 상기 하부 표시판의 최외곽면을 둘러싸는 금속 산화막 그리고 상기 금속 산화막을 둘러싸는 배리어층을 포함하고, 상기 배리어층은 자기조립 단분자막이다.

Description

표시 장치 및 그 제조 방법{DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
대표적인 평면 표시 장치인 액정 표시 장치는 두께가 얇고 무게가 가벼우며 전력소모가 낮은 장점이 있어, 모니터, 노트북, 휴대폰뿐만 아니라 대형TV에도 많이 사용된다.
액정 표시 장치는 일반적으로, 액정의 광투과율을 이용하여 영상을 표시하는 액정 표시 패널, 액정 표시 패널의 하부에 배치되어 액정 표시 패널로 광을 제공하는 백라이트 어셈블리, 액정 표시패널을 구동하는 인쇄 회로기판, 및 인쇄 회로기판과 액정 표시 패널을 전기적으로 연결시키는 연성 회로 필름을 포함한다.
액정 표시 패널은 복수의 화소부들을 포함하고 연성 회로 필름에 의해 인쇄 회로 기판과 전기적으로 연결된 제1 표시판, 제1 표시판과 대향하여 배치된 제2 표시판, 제1 및 제2 표시판 사이에 개재된 액정층 및 제1 및 제2 표시판 사이에 개재되어 액정층을 밀봉하는 실링 부재 등을 포함한다.
연성 회로 필름은 일반적으로, 제1 표시판으로 게이트 신호 또는 데이터 신호를 인가하기 위한 회로필름을 포함할 수 있다.
이러한 회로필름은 제1 표시판의 좌측단부 또는 상측단부에 형성될 수 있고, 회로필름이 형성되는 좌측단부 또는 상측단부에는 게이트 패드 또는 데이터 패드가 형성됨에 따라, 제2 표시판은 제1 표시판보다 작은 사이즈를 갖는다. 즉, 제2 표시판은 제1 표시판 중 좌측단부 또는 상측단부를 노출시키기 위해 제1 표시판보다 작은 사이즈로 형성된다.
한편, 제1 표시판 중 좌측단부 또는 상측단부 상에 외부로부터 수분이 침투할 수 있다. 수분은 제1 표시판의 표면을 따라 옆으로 퍼지게 되어 제1 및 제2 표시판 사이로 침투할 수 있고, 그로 인해 액정 표시 장치의 표시 품질을 저하시킬 수 있다.
종래에도 패널 내 투습 방지를 위해 실리콘 접착제(silicon glue) 또는 아크릴 계열의 실런트 등을 사용하였다. 하지만, 이러한 재료는 수분 투과율이 높기 때문에 수분 침투 방지에 한계가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 수분 차단 특성이 우수한 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치는 하부 표시판, 상기 하부 표시판과 마주보는 상부 표시판, 상기 상부 표시판과 상기 하부 표시판의 최외곽면을 둘러싸는 금속 산화막 그리고 상기 금속 산화막을 둘러싸는 배리어층을 포함하고, 상기 배리어층은 자기조립 단분자막이다.
상기 자기조립 단분자막은 실란(silane) 계열의 화합물 또는 티올(thiols) 계열의 화합물을 포함할 수 있다.
상기 자기조립 단분자막은 옥타데실트리클로로실란(octadecyltrichlorosilane; OTS), 과플루오로옥틸트리클로로 실란(Perfluoroctyltrichloro silane; FOTS), 및 디클로로디메틸실란(Dichlorodimethylsilane; DDMS) 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 자기조립 단분자막은 불소를 포함할 수 있다.
상기 금속 산화막은 산화 규소, 산화 알루미늄, 질화 탄탈늄, 및 질화 티타늄 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 하부 표시판과 상기 상부 표시판 사이의 외곽부를 따라 위치하는 실링 부재를 더 포함하고, 상기 금속 산화막과 상기 배리어층은 상기 상부 표시판, 상기 하부 표시판 및 상기 실링 부재의 최외곽면을 둘러쌀 수 있다.
상기 하부 표시판의 바깥면 및 상기 상부 표시판의 바깥면 중 적어도 하나에 위치하는 편광판을 더 포함하고, 상기 금속 산화막과 상기 배리어층은 상기 편광판을 둘러쌀 수 있다.
상기 금속 산화막과 상기 배리어층을 포함하는 수분 방지막의 수분침투율은 10-4g/m2/day 보다 작을 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치는 하부 표시판, 상기 하부 표시판과 마주보는 상부 표시판, 상기 하부 표시판과 상기 상부 표시판 사이의 외곽부를 따라 위치하는 실링 부재 그리고 상기 상부 표시판, 상기 하부 표시판 및 상기 실링 부재의 최외곽면을 연속적으로 둘러싸는 배리어층을 포함하고, 상기 배리어층은 불소를 포함한 가스로 형성되어 소수성을 갖는다.
상기 배리어층과 상기 상부 표시판 및 상기 배리어층과 상기 하부 표시판 사이에 위치하는 금속 산화막을 더 포함할 수 있다.
상기 금속 산화막은 산화 규소, 산화 알루미늄, 질화 탄탈늄, 및 질화 티타늄 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 하부 표시판의 바깥면 및 상기 상부 표시판의 바깥면 중 적어도 하나에 위치하는 편광판을 더 포함하고, 상기 배리어층은 상기 편광판을 둘러쌀 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치 제조 방법은 하부 표시판 및 상기 하부 표시판과 마주보는 상부 표시판을 형성하는 단계, 상기 하부 표시판과 상기 상부 표시판 사이의 외곽부를 따라 실링 부재를 형성하는 단계, 상기 하부 표시판, 상기 상부 표시판 및 상기 실링 부재의 최외곽면을 연속적으로 둘러싸는 금속 산화막을 형성하는 단계 그리고 상기 금속 산화막을 둘러싸는 배리어층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 배리어층은 자기조립 단분자막으로 형성한다.
상기 자리조립 단분자막은 실란(silane) 계열의 화합물 또는 티올(thiols) 계열의 화합물로 형성할 수 있다.
상기 자기조립 단분자막은 옥타데실트리클로로실란(octadecyltrichlorosilane; OTS), 과플루오로옥틸트리클로로 실란(Perfluoroctyltrichloro silane; FOTS), 및 디클로로디메틸실란(Dichlorodimethylsilane; DDMS) 중에서 적어도 하나를 포함하도록 형성할 수 있다.
상기 자기조립 단분자막은 불소를 포함하도록 형성할 수 있다.
상기 금속 산화막은 산화 규소, 산화 알루미늄, 질화 탄탈늄, 및 질화 티타늄 중 적어도 하나를 포함하도록 형성할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치 제조 방법은 하부 표시판 및 상기 하부 표시판과 마주보는 상부 표시판을 형성하는 단계, 상기 하부 표시판과 상기 상부 표시판 사이의 외곽부를 따라 실링 부재를 형성하는 단계, 상기 하부 표시판, 상기 상부 표시판 및 상기 실링 부재의 최외곽면을 연속적으로 둘러싸는 배리어층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 배리어층은 불소를 포함한 가스로 형성하여 소수성을 갖는다.
상기 배리어층과 상기 상부 표시판 사이 및 상기 배리어층과 상기 하부 표시판 사이에 위치하는 금속 산화막을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 금속 산화막은 산화 규소, 산화 알루미늄, 질화 탄탈늄, 및 질화 티타늄 중 적어도 하나를 포함하도록 형성할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 한 실시예에 따르면, 표시 패널의 최외각면에 수분을 차단하기 위한 배리어층이 자기조립 단분자막으로 형성되거나 또는 불소를 포함한 가스로 형성되어 소수성을 가짐으로써, 수분을 효과적으로 차단할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치 제조 방법을 나타내는 흐름도이다.
첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 또한, 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 층 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 층이 개재될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 의미한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치는 액정 표시 장치, 유기 발광 표시 장치, 전기 영동 표시 장치 등 수분에 의해 영향을 받을 수 있는 대부분의 표시 장치에 적용할 수 있다. 이하에서는 액정 표시 장치를 예로 들어 설명하기로 한다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치는 하부 표시판(100), 상부 표시판(200) 및 하부 표시판(100)과 상부 표시판(200) 사이에 개재된 액정층(3)을 포함한다. 하부 표시판(100)과 상부 표시판(200) 사이의 외곽부를 따라 실링 부재(30)가 위치한다.
하부 표시판(100), 상부 표시판(200) 및 액정층(3)을 포함하는 표시 패널은 백라이트 장치(미도시)로부터 발생한 광의 투과율을 화상 신호에 따라 조절하여 화상을 표시하는데, 하부 표시판(100)과 상부 표시판(200) 사이의 간격을 일정하게 유지시키는 스페이서(미도시) 등을 구비할 수 있다.
상부 표시판(200)은 도 1에 도시한 바와 같이 컬러 필터(R, G, B), 블랙 매트릭스(220), 공통 전극(270) 등을 구비한다. 컬러 필터(R, G, B) 아래에는 막 평탄화 및 막 보호를 위한 오버코트층(250)이 위치하고, 오버코트층(250) 아래에는 공통 전극(270)이 위치한다. 여기서, 액정의 모드에 따라 상부 표시판(200)에 구성된 공통 전극(270)은 하부 표시판(100)에 형성될 수 있고, 개구율 향상 등을 위해 상부 표시판(200)에 형성된 컬러 필터(R, G, B) 또는 블랙 매트릭스(220)는 하부 표시판(100)에 형성될 수 있다.
하부 표시판(100)에는 도시하지 않았으나 데이터선과 게이트선 등의 신호 배선이 형성되고, 데이터선과 게이트선의 교차부에 박막 트랜지스터가 형성된다. 박막 트랜지스터는 화소 전극과 연결되어 있고, 게이트선으로부터의 스캔 신호에 응답하여 데이터선으로부터 받은 입력 신호를 화소 전극으로 전송한다.
하부 표시판(100)의 일측부에는 데이터선과 게이트선에 각각 접속되는 패드 영역이 형성되고, 이 패드 영역에는 박막 트랜지스터에 구동 신호를 인가하기 위한 인쇄 회로 기판과 연결된 회로 필름이 실장될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 표시 장치는 하부 표시판(100), 상부 표시판(200) 및 실링 부재(30)의 최외각면을 연속적으로 둘러싸는 배리어층(400)을 포함한다. 본 실시예에서 배리어층(400)은 불소를 포함한 가스로 표면 처리하여 형성될 수 있고, 소수성을 가질 수 있다. 표면 처리는 플라즈마 처리를 포함한다.
다른 실시예로 앞에서 설명한 배리어층(400)은 자기조립 단분자막일 수 있다. 자기조립 단분자층막 고체 표면에 자발적으로 형성되는 유기 단분자막을 말한다. 배리어층(400)을 형성하는 자기조립 단분자막은 옥타데실트리클로로실란(octadecyltrichlorosilane; OTS), 과플루오로옥틸트리클로로 실란(Perfluoroctyltrichloro silane; FOTS), 및 디클로로디메틸실란(Dichlorodimethylsilane; DDMS) 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.
여기서, 자리조립 단분자막은 수분 침투에 따른 접촉각을 크게 하기 위해 불소를 함유하는 화합물로 형성할 수 있다. 앞에서 언급한 과플루오로옥틸트리클로로 실란(Perfluoroctyltrichloro silane; FOTS)가 하나의 예시가 될 수 있다. 배리어층(400)은 실란(silane) 계열의 화합물 이외에 티올(thiols) 계열의 화합물로 형성할 수도 있다.
본 실시예에 따른 표시 장치는 하부 표시판(100) 및 상부 표시판(200) 각각의 최외각면에 편광판(41, 51)이 위치하고, 공통 전극(270)과 액정층(3) 사이에 위치하는 배향막(21)을 더 포함할 수 있다. 도시하지 않았으나, 하부 표시판(100)과 액정층(3) 사이에 추가로 배향막이 더 형성될 수 있다. 이 때, 배리어층(400)은 편광판(41, 51)을 둘러싸면서 형성될 수 있고, 편광판(41, 51)과 직접 접촉할 수도 있다. 하부 표시판(100) 및 상부 표시판(200) 최외각면에 형성된 편광판(41, 51) 중 하나는 생략될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2에 도시한 본 발명의 일실시예는 대부분의 구성이 도 1에서 설명한 실시예와 동일한 점에서 차이가 있는 부분에 대해서만 설명하기로 한다.
도 2를 참고하면, 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치는 하부 표시판(100), 상부 표시판(200) 및 실링 부재(30)의 최외각면을 연속적으로 둘러싸는 금속 산화막(500)을 포함한다. 금속 산화막(500)은 산화 규소, 산화 알루미늄(Al2O3), 질화 탄탈늄(TaN), 및 질화 티타늄(TiN) 중 적어도 하나를 포함한다. 금속 산화막(500)은 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition; ALD)으로 형성할 수 있다. 다른 실시예로 금속 산화막(500) 대신에 실리콘 나이트라이드막(SiN)을 포함하는 막을 형성할 수 있다.
하부 표시판(100), 상부 표시판(200) 및 실링 부재(30)의 최외각면 둘레에 금속 산화막(500)을 덮는 배리어층(600)이 형성된다. 배리어층(600)은 불소를 포함한 가스로 표면 처리하여 형성될 수 있고, 소수성을 가질 수 있다. 표면 처리는 플라즈마 처리를 포함한다.
다른 실시예로 앞에서 설명한 배리어층(600)은 자기조립 단분자막일 수 있다. 자기조립 단분자층막 고체 표면에 자발적으로 형성되는 유기 단분자막을 말한다. 배리어층(600)을 형성하는 자기조립 단분자막은 옥타데실트리클로로실란(octadecyltrichlorosilane; OTS), 과플루오로옥틸트리클로로 실란(Perfluoroctyltrichloro silane; FOTS), 및 디클로로디메틸실란(Dichlorodimethylsilane; DDMS) 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.
여기서, 자리조립 단분자막은 수분 침투에 따른 접촉각을 크게 하기 위해 불소를 함유하는 화합물로 형성할 수 있다. 앞에서 언급한 과플루오로옥틸트리클로로 실란(Perfluoroctyltrichloro silane; FOTS)가 하나의 예시가 될 수 있다. 배리어층(600)은 실란(silane) 계열의 화합물 이외에 티올(thiols) 계열의 화합물로 형성할 수도 있다.
본 실시예와 같이 금속 산화막과 자기조립 단분자막의 이중막으로 형성된 수분 방지막의 수분침투율은 10-4g/m2/day 보다 작을 수 있다.
이상에서 설명한 차이점 외에 도 1에서 설명한 내용은 도 2의 실시예에 적용될 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치를 액정 표시 장치인 경우를 기준으로 설명하였으나, 그 외에 유기 발광 표시 장치, 전기 영동 표시 장치 등 다른 표시 장치에도 적용 가능하다. 간략히 설명하면, 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치 등에서 박막 트랜지스터를 포함하는 표시 패널의 최외각면을 배리어층이 둘러싸도록 형성할 수 있다. 여기서, 배리어층에 관한 내용은 앞서 설명한 액정 표시 장치의 경우와 동일하게 적용될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 표시 장치 제조 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 3을 참고하면, 우선, 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 표시판을 형성한다(S10).
하부 표시판(100)은 데이터선과 게이트선 등의 신호 배선, 데이터선과 게이트선의 교차부에 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터에 연결된 화소 전극 등을 포함한다. 또한, 하부 표시판의 일측부에는 데이터선과 게이트선에 각각 접속되는 패드 영역이 형성된다.
이후, 하부 표시판에 대응하는 상부 표시판을 형성한다(S20).
상부 표시판은 컬러 필터(R, G, B), 블랙 매트릭스(220), 공통 전극(270) 등을 포함할 수 있다.
여기서, 하부 표시판을 형성하는 단계(S10) 및 상부 표시판을 형성하는 단계(S20)는 서로 독립적으로 수행된다. 즉, 하부 표시판을 형성하는 단계(S10)가 먼저 수행되고 상부 표시판을 형성하는 단계(S20)가 나중에 수행될 수 있고, 상부 표시판을 형성하는 단계(S20)가 먼저 수행되고 하부 표시판을 형성하는 단계(S10)가 나중에 수행될 수 있으며, 하부 표시판을 형성하는 단계(S10) 및 상부 표시판을 형성하는 단계(S20)가 동시에 수행될 수 있다.
이어서, 하부 표시판 및 상부 표시판 중 한 표시판 상에 실링 부재를 형성한다(S30).
이 때, 실링 부재는 화상을 표시하는 표시 영역으로부터 이격되도록 표시 영역의 외곽을 따라 형성된다. 즉, 실링 부재는 하부 표시판과 상부 표시판 사이의 외곽부를 따라 위치한다.
이후, 하부 표시판 및 상부 표시판 중 한 표시판 상에 액정들을 적하한다(S40).
여기서, 실링 부재를 형성하는 단계(S30) 및 액정들을 적하하는 단계(S40)는 서로 독립적으로 수행된다. 즉, 실링 부재를 형성하는 단계(S30)가 먼저 수행되고 액정들을 적하하는 단계(S40)가 나중에 수행될 수 있고, 액정들을 적하하는 단계(S40)가 먼저 수행되고 실링 부재를 형성하는 단계(S30)가 나중에 수행될 수 있으며, 실링 부재를 형성하는 단계(S30) 및 액정들을 적하하는 단계(S40)가 동시에 수행될 수 있다.
한편, 실링 부재 및 액정들은 서로 동일한 표시판 상에 형성될 수도 있고, 서로 다른 표시판 상에 형성될 수도 있다.
이어서, 하부 표시판 및 상부 표시판을 서로 결합한다(S50).
이 때, 하부 표시판 및 상부 표시판을 서로 결합한 후, 실링 부재를 적외선 또는 자외선을 통해 경화시켜 액정들을 밀봉하고, 액정들이 하부 표시판 및 상부 표시판 사이에 개재되어 밀봉됨에 따라, 하부 표시판 및 상부 표시판 사이에 액정층이 형성된다. 그리고, 하부 표시판의 일측부에 형성된 패드 영역에는 박막 트랜지스터에 구동 신호를 인가하기 위한 인쇄 회로 기판과 연결된 회로 필름이 실장될 수 있다.
이후, 하부 표시판과 상부 표시판을 포함하는 표시 패널의 최외곽면을 둘러싸도록 배리어층을 형성한다(S60).
배리어층은 하부 표시판, 상부 표시판 및 실링 부재의 최외각면을 연속적으로 둘러싸도록 형성할 수 있다. 배리어층은 불소를 포함한 가스로 표면 처리하여 형성할 수 있고, 소수성을 가질 수 있다. 표면 처리는 플라즈마 처리하는 것을 포함한다. 배리어층이 소수성을 가지기 때문에 접촉각이 90도보다 커져 외부의 수분이 패널 내부로 침투할 가능성이 줄어든다.
다른 실시예로 앞에서 설명한 배리어층은 자기조립 단분자막으로 형성할 수 있다. 자기조립 단분자층막 고체 표면에 자발적으로 형성되는 유기 단분자막을 말하는데, 본 실시예에 따른 배리어층을 형성하는 자기조립 단분자막은 옥타데실트리클로로실란(octadecyltrichlorosilane; OTS), 과플루오로옥틸트리클로로 실란(Perfluoroctyltrichloro silane; FOTS), 및 디클로로디메틸실란(Dichlorodimethylsilane; DDMS) 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 여기서, 자리조립 단분자막은 수분 침투에 따른 접촉각을 크게 하기 위해 불소를 함유하는 화합물로 형성할 수 있다. 앞에서 언급한 과플루오로옥틸트리클로로 실란(Perfluoroctyltrichloro silane; FOTS)가 하나의 예시가 될 수 있다. 배리어층은 실란(silane) 계열의 화합물 이외에 티올(thiols) 계열의 화합물로 형성할 수도 있다.
배리어층을 형성하기 이전에 상부 표시판 및 하부 표시판의 바깥면 중 적어도 하나에 편광판을 형성할 수 있다. 이 때, 배리어층은 상부 표시판, 하부 표시판, 실링 부재의 최외각면 뿐만 아니라 편광판의 최외곽면을 둘러싸도록 형성될 수 있고, 편광판 바로 위에 증착될 수도 있다.
다른 실시예로 배리어층을 형성하기 이전에 하부 표시판, 상부 표시판 및 실링 부재의 최외곽면을 연속적으로 둘러싸도록 금속 산화막을 형성할 수 있다. 금속 산화막은 산화 규소, 산화 알루미늄(Al2O3), 질화 탄탈늄(TaN), 및 질화 티타늄(TiN) 중 적어도 하나를 포함한다. 금속 산화막은 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition; ALD)으로 형성할 수 있다. 이처럼, 금속 산화막을 형성하면, 이후 금속 산화막 위에 실란 계열의 자기조립 단분자막을 형성하는 경우에 우수한 접촉 특성을 가질 수 있다.
배리어층 형성 이후에는 추가적인 패턴 공정은 없고, 모듈 공정으로 하부 표시판과 상부 표시판을 수납하기 위한 커버 부재를 형성할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100 하부 표시판 200 상부 표시판
220 블랙 매트릭스 R, G, B 컬러 필터
250 오버코트막 270 공통 전극
400, 600 배리어층 500 금속 산화막

Claims (20)

  1. 하부 표시판,
    상기 하부 표시판과 마주보는 상부 표시판,
    상기 상부 표시판과 상기 하부 표시판의 최외곽면을 둘러싸는 금속 산화막 그리고
    상기 금속 산화막을 둘러싸는 배리어층을 포함하고,
    상기 배리어층은 자기조립 단분자막이고,
    상기 금속 산화막은 상기 상부 표시판과 상기 배리어층 사이 및 상기 하부 표시판과 상기 배리어층 사이에 위치하고,
    상기 금속 산화막은 질화 탄탈륨 및 질화 티타늄 중 적어도 하나를 포함하는 표시 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 자기조립 단분자막은 실란(silane) 계열의 화합물 또는 티올(thiols) 계열의 화합물을 포함하는 표시 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 자기조립 단분자막은 옥타데실트리클로로실란(octadecyltrichlorosilane; OTS), 과플루오로옥틸트리클로로 실란(Perfluoroctyltrichloro silane; FOTS), 및 디클로로디메틸실란(Dichlorodimethylsilane; DDMS) 중에서 적어도 하나를 포함하는 표시 장치.
  4. 제2항에서,
    상기 자기조립 단분자막은 불소를 포함하는 표시 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에서,
    상기 하부 표시판과 상기 상부 표시판 사이의 외곽부를 따라 위치하는 실링 부재를 더 포함하고,
    상기 금속 산화막과 상기 배리어층은 상기 상부 표시판, 상기 하부 표시판 및 상기 실링 부재의 최외곽면을 둘러싸는 표시 장치.
  7. 제6항에서,
    상기 하부 표시판의 바깥면 및 상기 상부 표시판의 바깥면 중 적어도 하나에 위치하는 편광판을 더 포함하고,
    상기 금속 산화막과 상기 배리어층은 상기 편광판을 둘러싸는 표시 장치.
  8. 제1항에서,
    상기 금속 산화막과 상기 배리어층을 포함하는 수분 방지막의 수분침투율은 10-4g/m2/day 보다 작은 표시 장치.
  9. 하부 표시판,
    상기 하부 표시판과 마주보는 상부 표시판,
    상기 하부 표시판과 상기 상부 표시판 사이의 외곽부를 따라 위치하는 실링 부재 그리고
    상기 상부 표시판, 상기 하부 표시판 및 상기 실링 부재의 최외곽면을 연속적으로 둘러싸는 배리어층을 포함하고,
    상기 배리어층은 불소를 포함한 가스로 형성되어 소수성을 가지며,
    상기 배리어층과 상기 상부 표시판 및 상기 배리어층과 상기 하부 표시판 사이에 위치하는 금속 산화막을 더 포함하고,
    상기 금속 산화막은 질화 탄탈륨 및 질화 티타늄 중 적어도 하나를 포함하는 표시 장치.

  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제9항에서,
    상기 하부 표시판의 바깥면 및 상기 상부 표시판의 바깥면 중 적어도 하나에 위치하는 편광판을 더 포함하고,
    상기 배리어층은 상기 편광판을 둘러싸는 표시 장치.
  13. 하부 표시판 및 상기 하부 표시판과 마주보는 상부 표시판을 형성하는 단계,
    상기 하부 표시판과 상기 상부 표시판 사이의 외곽부를 따라 실링 부재를 형성하는 단계,
    상기 하부 표시판, 상기 상부 표시판 및 상기 실링 부재의 최외곽면을 연속적으로 둘러싸는 금속 산화막을 형성하는 단계 그리고
    상기 금속 산화막을 둘러싸는 배리어층을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 배리어층은 자기조립 단분자막으로 형성하며,
    상기 금속 산화막은 상기 상부 표시판과 상기 배리어층 사이 및 상기 하부 표시판과 상기 배리어층 사이에 위치하고,
    상기 금속 산화막은 질화 탄탈늄, 및 질화 티타늄 중 적어도 하나를 포함하도록 형성하는 표시 장치 제조 방법.
  14. 제13항에서,
    상기 자기조립 단분자막은 실란(silane) 계열의 화합물 또는 티올(thiols) 계열의 화합물로 형성하는 표시 장치 제조 방법.
  15. 제14항에서,
    상기 자기조립 단분자막은 옥타데실트리클로로실란(octadecyltrichlorosilane; OTS), 과플루오로옥틸트리클로로 실란(Perfluoroctyltrichloro silane; FOTS), 및 디클로로디메틸실란(Dichlorodimethylsilane; DDMS) 중에서 적어도 하나를 포함하도록 형성하는 표시 장치 제조 방법.
  16. 제14항에서,
    상기 자기조립 단분자막은 불소를 포함하도록 형성하는 표시 장치 제조 방법.
  17. 삭제
  18. 하부 표시판 및 상기 하부 표시판과 마주보는 상부 표시판을 형성하는 단계,
    상기 하부 표시판과 상기 상부 표시판 사이의 외곽부를 따라 실링 부재를 형성하는 단계,
    상기 하부 표시판, 상기 상부 표시판 및 상기 실링 부재의 최외곽면을 연속적으로 둘러싸는 배리어층을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 배리어층은 불소를 포함한 가스로 형성하여 소수성을 가지며,
    상기 배리어층과 상기 상부 표시판 사이 및 상기 배리어층과 상기 하부 표시판 사이에 위치하는 금속 산화막을 형성하는 단계를 더 포함하고,
    상기 금속 산화막은 질화 탄탈늄, 및 질화 티타늄 중 적어도 하나를 포함하도록 형성하는 표시 장치 제조 방법.
  19. 삭제
  20. 삭제
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