KR101965803B1 - Raman spectroscopy having laser power control apparatus - Google Patents

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이승우
송인천
전병선
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나노스코프시스템즈 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a Raman spectrometer having a laser output control device. The object of the present invention is to provide a Raman spectrometer having a laser output control device which is small in volume, can be implemented at low costs, and is capable of effectively controlling intensity of the laser output. The ultimate object of the present invention is to provide the Raman spectrometer, which is a portable handheld type and has a laser output control device, thereby preventing specimen damage and improving Raman signal acquisition efficiency.

Description

레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기 {Raman spectroscopy having laser power control apparatus}[0001] The present invention relates to a Raman spectroscope having a laser output regulator,

본 발명은 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 라만 분광기에 사용되는 레이저에서 출력되는 레이저가 시편을 손상시키는 것을 방지하기 위해 출력 세기를 조절할 수 있도록 하는, 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기에 관한 것이다.The present invention relates to a Raman spectroscope having a laser power regulator, and more particularly, to a laser power regulator having a laser power regulator for controlling an output intensity to prevent a laser output from a laser used in a Raman spectrometer from damaging a specimen Raman spectroscopy.

라만 분광 기법은 레이저를 대상 시료에 조사하고 이로부터 얻어지는 스펙트럼으로부터 물질의 성분을 판별하는 분석기법이다. 시료에 단색 광원인 레이저를 조사하면 빛이 산란되는데, 이처럼 산란된 빛의 대부분은 레이저의 파장에 상응하는 신호이지만, 일부는 레이저의 파장에서 시료의 진동모드의 주파수에 해당하는 라만 이동(Raman shift)이 되어 나오는 신호가 있다. 이 신호를 분석하면 분자나 결정의 형태 및 대칭성에 대한 정보를 알 수 있고 시료의 결정화 정도를 파악할 수 있다. 이렇게 파장이 변화하는 양상은 물질의 구조적 특성에 따라 다르게 나타나고, 각각의 특정한 물질에 대해서 고유한 특성처럼 나타나기 때문에, 라만 스펙트럼은 물질의 지문(fingerprint)이라고 일컬어진다. 특히 최근에는 SERS(surface enhanced Raman scattering)와 같은 다양한 라만 신호 증폭 기술이 활발히 연구되고 있으며, 라만 분광 기법은 극미세 농도의 성분을 판별할 수 있는 탁월한 기술로서 주목받고 있다. 도 1은 이와 같은 라만 분광의 원리 및 라만 스펙트럼 사례를 하나의 예시로서 도시하고 있다.The Raman spectroscopy technique is an analytical technique that irradiates a laser onto a sample and identifies the component of the material from the spectrum obtained therefrom. Most of the scattered light is a signal corresponding to the wavelength of the laser. However, some of the scattered light corresponds to the wavelength of the laser at the Raman shift There is a signal coming out. Analysis of this signal reveals information about the morphology and symmetry of molecules and crystals, and the degree of crystallization of the sample. The Raman spectrum is referred to as the fingerprint of a substance because the wavelength-changing pattern appears differently depending on the structural characteristics of the material and appears as a unique characteristic for each specific material. Recently, various Raman amplification techniques such as SERS (surface enhanced Raman scattering) have been actively studied, and the Raman spectroscopy technique has been attracting attention as an excellent technique for discriminating very fine concentration components. FIG. 1 shows the principle of Raman spectroscopy and the case of Raman spectrum as one example.

도 2는 종래의 기본적인 라만 분광기의 구조를 도시하고 있다. 도시된 바와 같이, 기본적인 라만 분광기는, 단파장의 광원(110')에서 출력되는 레이저 광을 대물렌즈(130')를 통하여 시편(500')에 조사하고, 상기 시편(500')으로부터 산란되는 광 중에서 라만 이동(Raman shift)에 해당하는 성분만을 필터(140')로 선별한 뒤 스펙트로미터(160')로 그 스펙트럼을 구한다. 이때 빛의 파장별 분기를 위해 이색성 거울(dichroic mirror) 또는 이색성 광분할기(dichroic beam splitter)(120')를 사용한다. 이 때 스펙트로미터(160')로 광을 원활하게 진입시키기 위하여 상기 스펙트로미터(160') 전방에 수광렌즈(150')가 구비된다.2 shows a structure of a conventional basic Raman spectroscope. As shown in the figure, the basic Raman spectroscope irradiates the laser beam output from the short wavelength light source 110 'to the sample 500' through the objective lens 130 ', and the light scattered from the sample 500' Only the component corresponding to the Raman shift is selected by the filter 140 ', and the spectrum is obtained by the spectrometer 160'. At this time, a dichroic mirror or a dichroic beam splitter 120 'is used for branching by wavelength of light. At this time, a light receiving lens 150 'is provided in front of the spectrometer 160' to smoothly enter the spectrometer 160 '.

이처럼 라만 분광기는, 시편에 레이저를 조사하여 산란된 광의 성분 중 파장이 변한 성분만을 골라내기 위한 필터와 최종적으로 스펙트럼의 형태로 확인하기 위한 스펙트로미터로 구성되는 것이 기본이나, 실제로 현장에서 사용되는 라만 분광기는 필요에 따라 기능적 구성이 더 구비되는 경우가 많다. 예를 들어, 광원으로서 여러 개의 레이저를 사용하거나 여러 개의 필터를 사용하는 등의 광학적인 구성이 추가되기도 하는데, 구체적인 예시로서 한국특허등록 제1350402호("비침습적 라인-조사 공간변위 라만분광기", 2014.01.06)에는 라인 형태의 광을 조사하는 라인 광원을 사용하는 라만 분광기가 개시된다. 또는 시편 상의 단일 개의 포인트만에서의 신호를 받는 것이 아니라 복수 개의 포인트의 신호를 얻기 위하여 모터 스테이지 또는 빔 스캐닝 메커니즘 등이 추가되기도 한다. 이와 같이 실무 현장에서는 라만 분광기의 다양한 변경 실시가 이루어지고 있으나, 이러한 다양한 라만 분광기들의 구조는 도 2와 같은 기본 구성을 근간으로 한다. As described above, the Raman spectroscope is basically composed of a filter for picking up only the components of the scattered light by irradiating the laser to the specimen, and a spectrometer for finally confirming the spectral form. However, In many cases, the spectroscope is equipped with a functional configuration as required. For example, an optical configuration such as using multiple lasers as a light source or using several filters may be added. As a specific example, Korean Patent Registration No. 1350402 ("Non-invasive line-irradiation space displacement Raman spectroscope" 2014.01.06) discloses a Raman spectrometer using a line light source for irradiating light in a line form. Alternatively, a motor stage or a beam scanning mechanism may be added to obtain a signal of a plurality of points instead of receiving a signal at only one point on the specimen. The various Raman spectroscopes have been modified in the field of practice, but the structure of these various Raman spectroscopes is based on the basic structure as shown in FIG.

한편, 라만 분광 기법의 활용 분야가 다양해지면서 휴대형 또는 핸드헬드형 형태의 소형 라만 분광기가 다양하게 만들어져서 판매되고 있다. 도 3은 라만 분광기의 여러 종류의 실시예를 도시한 것으로, 도 3(A)는 대형의 연구 분석용 라만 분광기를, 도 3(B)는 소형의 핸드헬드형 라만 분광기를 각각 도시하고 있다. 이러한 소형 라만 분광기의 경우 연구 분석용인 대형 라만 분광기에 비해서 분광 센서인 스펙트로미터의 감도가 낮기 때문에, 상대적으로 레이저 출력을 높게 사용함으로써 충분한 라만 신호 강도를 확보하는 방식이 일반적으로 적용된다.Meanwhile, as the application fields of the Raman spectroscopy technique are diversified, a variety of small Raman spectroscopes in the form of a portable or handheld type are produced and sold. Fig. 3 shows various kinds of embodiments of Raman spectroscopy. Fig. 3 (A) shows a large Raman spectrometer for research analysis, and Fig. 3 (B) shows a small handheld Raman spectrometer. In the case of such a small Raman spectrometer, the sensitivity of the spectrometer spectrometer is lower than that of a large Raman spectrometer for research analysis. Therefore, a method of obtaining a sufficient Raman signal intensity by using a relatively high laser output is generally applied.

그런데 이렇게 레이저 출력을 높이게 되면, 측정 시 레이저 조사에 의해서 시료가 손상되는 경우가 발생할 수 있다. 특히 필름, 종이 등과 같은 박막 재료를 사용하는 시료의 경우 렌즈에 의해 집광된 레이저에 의해 시료가 타는 현상이 발생되어, 측정하고자 하는 시료에서 나오는 라만 신호 외에, 발열 등 손상에 의한 스펙트럼 신호가 백그라운드로 측정된다. 일반적으로 라만 신호는 미약한 신호이기 때문에, 이러한 백그라운드 신호는 라만 신호에 비해서 상대적으로 크게 나타나며, 따라서 측정하고자 하는 라만 신호가 묻히게 되어 정확한 라만 스펙트럼을 추출하기가 어렵다. 또한 손상된 시료의 경우 화학적인 성분이 변할 수 있으므로, 시료로서의 역할을 재수행하기가 어렵다.However, if the laser output is increased as described above, the sample may be damaged by laser irradiation during the measurement. In particular, in the case of a sample using a thin film material such as a film or a paper, a laser beam is condensed by a lens, resulting in a rubbing of the sample. In addition to the Raman signal from the sample to be measured, . Generally, since the Raman signal is a weak signal, the background signal is relatively large compared to the Raman signal. Therefore, it is difficult to extract the accurate Raman spectrum because the Raman signal to be measured is buried. Also, in the case of a damaged sample, the chemical component may be changed, so it is difficult to re-perform the function as a sample.

이러한 시료 손상의 문제는, 라만 분광기의 소형화 과정에서 불가피하게 스펙트로미터의 감도가 낮아지게 되어 상대적으로 레이저 세기를 높여서 사용하는 소형 라만 분광기에서 더 많이 나타나는 현상이다. 따라서 이러한 문제를 효율적으로 해결할 수 있도록, 소형 라만 분광기에 적용이 용이하도록 부피가 작고 저비용으로 구현할 수 있으면서도 레이저 출력의 세기를 효과적으로 조정할 수 있는 장치에 대한 필요가 점점 증대되고 있다.The problem of the sample damage is more likely to occur in a small Raman spectrometer which is used by increasing the laser intensity because the sensitivity of the spectrometer is inevitably lowered in the miniaturization process of the Raman spectrometer. Accordingly, there is a growing need for a device that can be easily applied to small Raman spectroscopes, can be implemented at low cost, and can effectively control the intensity of the laser output.

1. 한국특허등록 제1350402호("비침습적 라인-조사 공간변위 라만분광기", 2014.01.06)1. Korean Patent No. 1350402 ("Non-Invasive Line-Excited Space Displacement Raman Spectrometer", 2014.01.06)

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은, 부피가 작고 저비용으로 구현할 수 있으면서도 레이저 출력의 세기를 효과적으로 조정할 수 있는, 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기를 제공함에 있다. 본 발명의 궁극적인 목적은, 특히 휴대가 가능한 핸드헬드형인 소형 라만 분광기에 이와 같은 레이저 출력조정기가 구비됨으로써 시편 손상을 방지하고 라만 신호 획득 효율을 향상하기 위한, 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a laser output regulator capable of effectively controlling the intensity of a laser output while achieving a small volume and low cost, Raman spectroscope. The ultimate object of the present invention is to provide a Raman spectrometer having a laser output regulator for preventing a specimen damage and improving Raman signal acquisition efficiency by providing such a laser output regulator in a portable Raman spectrometer which is a portable type handheld type .

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기(100)는, 레이저 광을 조사하는 광원(110); 상기 광원(110)에서 조사된 레이저 광을 반사시켜 시편(500) 쪽으로 입사시키거나, 상기 시편(500)에서 산란된 광을 투과시키도록 형성되는 광분할기(120); 상기 시편(500)에서 산란되어 상기 이색성 광분할기(120)를 투과하여 온 광 중 라만 이동에 해당하는 성분을 필터링하여 투과시키는 필터(140); 상기 필터(140)를 투과하여 온 광을 진입받아 스펙트럼을 측정하는 스펙트로미터(160); 상기 광원(110)에서 상기 시편(500)으로 향하는 광경로 상에 배치되며, 광을 차단시키는 적어도 하나의 차단영역(171) 및 광을 투과시키는 적어도 하나의 투과영역(172)을 가지며, 회전가능한 평면 형태로 형성되어, 상기 광원(110)에서 상기 시편(500)으로 향하는 광경로 상에 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)이 회전에 의하여 시각에 따라 선택적으로 배치되게 함으로써, 상기 시편(500)으로 조사되는 광의 연속 조사 시간을 조정하여 상기 시편(500)에 입사되는 레이저 광의 출력을 조정하는 출력조정기(170); 를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a Raman spectroscope having a laser output regulator, including: a light source for irradiating laser light; A light splitter 120 configured to reflect the laser beam irradiated from the light source 110 and incident on the specimen 500 or transmit the scattered light from the specimen 500; A filter 140 which is scattered in the specimen 500 and filters and transmits a component corresponding to the Raman shift in the light transmitted through the dichroic optical splitter 120; A spectrometer 160 which receives the light transmitted through the filter 140 and measures a spectrum thereof; At least one blocking region 171 for blocking light and at least one transmitting region 172 for transmitting light and being arranged on the optical path from the light source 110 to the specimen 500, And the blocking region 171 and the transmitting region 172 are selectively disposed on the optical path from the light source 110 to the specimen 500 according to the rotation by the rotation, An output regulator 170 for adjusting the output of laser light incident on the specimen 500 by adjusting the continuous irradiation time of the light irradiated to the specimen 500; . ≪ / RTI >

이 때 상기 출력조정기(170)는, 투명한 평면 형태로 된 본체 상의 선택적 영역에 마스크가 형성되어, 마스크가 형성된 영역이 상기 차단영역(171)을 형성하고, 마스크가 형성되지 않은 영역이 상기 투과영역(172)을 형성하도록 이루어질 수 있다. 또는 상기 출력조정기(170)는, 회전중심에 대하여 편향된 형상의 평면 형태로 된 본체로 형성되어, 상기 본체 자체가 상기 차단영역(171)을 형성하고, 빈 공간 부분이 상기 투과영역(172)을 형성하도록 이루어질 수 있다.At this time, the output regulator 170 is formed by forming a mask in a selective region on a transparent plane-shaped body so that a masked region forms the blocking region 171, (172). ≪ / RTI > Or the output regulator 170 is formed of a body in the form of a plane shape deflected with respect to the center of rotation so that the body itself forms the blocking region 171 and a hollow space portion is formed in the transmissive region 172 .

또한 상기 출력조정기(170)는, 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)이 서로 동일한 총합면적을 가지도록 이루어질 수 있다. 또는 상기 출력조정기(170)는, 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)이 서로 상이한 총합면적을 가지도록 이루어질 수 있다.The output regulator 170 may be configured such that the blocking region 171 and the transmissive region 172 have the same total area. Alternatively, the output regulator 170 may be configured such that the blocking region 171 and the transmissive region 172 have different total areas.

또한 상기 출력조정기(170)는, 상기 광원(110) 및 상기 광분할기(120) 사이의 광경로 상에 배치될 수 있다. 또는 상기 출력조정기(170)는, 상기 광분할기(120) 및 상기 시편(500) 사이의 광경로 상에 배치될 수 있다.The output regulator 170 may be disposed on the optical path between the light source 110 and the light splitter 120. Or the power adjuster 170 may be disposed on the optical path between the optical splitter 120 and the specimen 500. [

또한 상기 출력조정기(170)는, 상기 출력조정기(170)가 형성하는 평면이 광경로에 대하여 수직하게 배치될 수 있다. 또는 상기 출력조정기(170)는, 상기 출력조정기(170)가 형성하는 평면이 광경로에 대하여 경사지게 배치될 수 있다. 이 때 상기 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기(100)는, 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)의 광경로 상 배치 상태를 확인할 수 있도록, 상기 출력조정기(170) 회전 중 상기 차단영역(171)이 광경로 상에 배치될 때의 반사광을 측정하는 광센서(180); 를 더 포함할 수 있다.Also, the output regulator 170 may be arranged so that the plane formed by the output regulator 170 is perpendicular to the optical path. Alternatively, the output regulator 170 may be arranged so that the plane formed by the output regulator 170 is inclined with respect to the optical path. The Raman spectroscope 100 having the laser output adjuster may adjust the optical path length of the blocking region 171 and the transmissive region 172 so that the blocking region 171 and the transmissive region 172, An optical sensor 180 for measuring the reflected light when the optical element 171 is disposed on the optical path; As shown in FIG.

또한 상기 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기(100)는, 상기 이색성 광분할기(120)에서 산란되어 온 광을 집광하여 상기 시편(500)으로 조사하는 집광렌즈(130); 상기 필터(140)를 투과하여 온 광을 수광하여 상기 스펙트로미터(160)로 진입시키는 수광렌즈(150); 를 더 포함할 수 있다.The Raman spectroscope 100 having the laser power adjuster may further include a condenser lens 130 for condensing the light scattered by the dichroic light splitter 120 and irradiating the light onto the specimen 500; A light receiving lens 150 for receiving the light transmitted through the filter 140 and entering the spectrometer 160; As shown in FIG.

본 발명에 의하면, 부피가 작고 저비용으로 구현할 수 있는 레이저 출력조정기가 라만 분광기에 구비되도록 함으로써 레이저 출력의 세기를 효과적으로 조정할 수 있는 효과가 있다. 특히 본 발명에 의하면, 휴대가 가능한 핸드헬드형인 소형 라만 분광기에 이와 같은 레이저 출력조정기가 구비됨으로써, 시편 손상을 방지하고 라만 신호 획득 효율을 향상할 수 있는 큰 효과가 있다.According to the present invention, a laser output regulator which is small in volume and low in cost can be provided in the Raman spectroscope, thereby effectively adjusting the intensity of the laser output. Particularly, according to the present invention, since the handheld type portable Raman spectroscope is equipped with such a laser output regulator, it is possible to prevent specimen damage and improve Raman signal acquisition efficiency.

보다 구체적으로 설명하자면, 라만 분광 신호를 얻기 위해 레이저를 조사하는 과정에서, 소형 라만 분광기의 경우 스펙트로미터의 감도가 낮은 것을 상쇄하기 위하여 레이저 출력을 강화하다가 과도한 레이저 출력으로 인하여 시편이 손상되고 그에 따라 발열 등 손상에 의한 스펙트럼 신호로 인하여 라만 신호가 묻혀 제대로 측정하지 못하게 되는 문제점이 있었다. 그러나 본 발명에 의하면 레이저 출력을 효과적으로 조정함으로써 이러한 문제를 원천적으로 극복하고, 이에 따라 시편 손상 방지 및 라만 신호 획득 효율 향상의 효과를 일거에 얻을 수 있는 큰 효과가 있는 것이다.More specifically, in the process of irradiating a laser to obtain a Raman spectroscopic signal, in the case of a small Raman spectrometer, the specimen is damaged due to excessive laser power, while the laser output is strengthened to offset the low sensitivity of the spectrometer There is a problem that the Raman signal is buried due to the spectral signal due to damage such as heat generation, and the measurement can not be properly performed. However, according to the present invention, it is possible to effectively overcome such a problem by effectively adjusting the laser output, thereby achieving the effect of preventing the specimen damage and improving the Raman signal acquisition efficiency.

도 1은 라만 분광의 원리 및 라만 스펙트럼 사례.
도 2는 종래의 기본적인 라만 분광기의 구조.
도 3은 라만 분광기의 여러 종류의 실시예.
도 4는 본 발명의 라만 분광기의 제1실시예.
도 5는 본 발명의 라만 분광기에 구비되는 레이저 출력조정기의 한 실시예 및 센서 신호 예시.
도 6 및 도 7은 본 발명의 라만 분광기에 구비되는 레이저 출력조정기의 여러 실시예.
도 8은 본 발명의 라만 분광기의 제2실시예.
도 9는 본 발명의 라만 분광기의 제3실시예.
도 10은 본 발명의 라만 분광기의 제4실시예.1 shows the principle of Raman spectroscopy and a Raman spectrum example.
Fig. 2 shows a structure of a conventional basic Raman spectroscope.
FIG. 3 is a view showing various embodiments of the Raman spectroscope.
4 is a first embodiment of the Raman spectroscope of the present invention.
5 illustrates an embodiment of a laser output regulator provided in the Raman spectroscope of the present invention and an example of a sensor signal.
FIGS. 6 and 7 show various embodiments of the laser power regulator provided in the Raman spectroscope of the present invention.
8 is a second embodiment of the Raman spectroscope of the present invention.
9 is a third embodiment of the Raman spectroscope of the present invention.
10 is a fourth embodiment of the Raman spectroscope of the present invention.

이하, 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a Raman spectrometer having the laser output adjuster according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

앞서 설명한 바와 같이, 라만 분광기가 소형화될수록 스펙트로미터의 감도가 낮아지며, 스펙트로미터에서 충분히 감지할 수 있을 만큼의 산란광을 발생시키기 위해서는 광원에서 조사되는 레이저 광이 강하게 출력되어야 한다. 그런데 이 때 레이저의 출력이 과도하게 강한 경우 시료가 타버리는 문제가 발생하며, 이 경우 시료가 손상되는 문제가 있을 뿐만 아니라 발열 등으로 인하여 발생되는 스펙트럼 신호가 라만 신호보다 더 크게 나타남에 따라 결과적으로 라만 신호를 제대로 획득할 수 없는 문제가 있었다.As described above, as the Raman spectroscope becomes smaller, the sensitivity of the spectrometer becomes lower. In order to generate enough scattered light to be sufficiently detected by the spectrometer, the laser beam irradiated from the light source must be strongly output. However, in this case, when the output of the laser is excessively strong, the sample is burned. In this case, there is a problem that the sample is damaged. In addition, since the spectrum signal generated due to the heat is larger than the Raman signal, There was a problem that the Raman signal could not be acquired properly.

라만 분광 신호를 얻기 위해 레이저를 조사할 때 시료가 타는 현상을 방지하기 위해서는, 레이저를 조사할 때 시료가 타기 시작하는 일종의 임계점에 이르기 전에 레이저를 꺼야 한다. 한편 라만 신호는 측정 시간을 길게 할수록 그 신호가 누적되면서 커지며, 따라서 감도가 낮은 스펙트로미터에서 감지가 가능할 수 있도록 하기 위해서는 측정 시간을 길게 하는 것이 유리할 것임은 당연하다. 그러나 상술한 바와 같이 임계점을 넘어 버려서 시료가 타게 되는 경우 시료가 손상되고 라만 신호도 얻을 수 없게 되므로, 시료가 타 버리는 임계점 이상으로 측정시간을 길게 하는 것은 의미가 없다.To prevent the sample from burning when the laser is irradiated to obtain the Raman spectroscopic signal, the laser must be turned off before the laser reaches a certain critical point at which the sample begins to burn. On the other hand, it is natural that the longer the measurement time, the larger the Raman signal is accumulated as the signal is accumulated, and therefore, the measurement time can be advantageously long in order to enable detection by the low-sensitivity spectrometer. However, as described above, when the sample rushes over the critical point, the sample is damaged and the Raman signal can not be obtained. Therefore, it is meaningless to increase the measuring time longer than the critical point at which the sample burns.

시료 자체가 열에 강한 경우 시료가 타는 현상이 나타나지 않지만, 짧은 측정 시간 동안, 즉 예를 들어 약 1초의 측정 시간에도 시료가 타는 경우가 발생하는 경우가 있다. 즉, 레이저를 0.5초 동안 조사할 경우에는 타지 않지만, 1초 동안 조사하는 경우 시료가 타는 경우가 생기는 것이다. 이 경우 만일 0.5초 동안의 측정만으로도 라만 신호를 얻을 수 있다면 다행이지만, 그렇지 못한 경우에는 측정 시간을 늘려야 한다. 이러한 경우 레이저의 ON/OFF를 반복하면서, 여러 차례 측정결과를 누적함으로써 신호의 크기를 증가시킬 수 있다. When the sample itself is strong against heat, the sample does not burn. However, there may be a case where the sample rides for a short measurement time, for example, a measurement time of about one second. That is, if the laser is irradiated for 0.5 second, it is not burned, but if it is irradiated for 1 second, the sample is burned. In this case, if it is possible to obtain a Raman signal with only a 0.5 second measurement, it is good but if not, the measurement time must be increased. In this case, it is possible to increase the signal size by accumulating the measurement results several times while repeating ON / OFF of the laser.

이 때 레이저를 전기적으로 ON/OFF하는 경우, ON한 직후부터 레이저 출력이 안정화되기까지 어느 정도의 시간이 필요하다. 그런데 레이저 광원의 안정화 상태에 따라서 라만 신호가 영향을 받기 때문에, 짧은 시간 동안 레이저를 전기적으로 ON/OFF를 할 경우, 레이저 출력의 안정화 반응 속도가 상당히 빠른 경우가 아니라면, 정상적인 레이저 조명 상태(즉, 안정화된 레이저 상태)에서의 라만 신호를 얻기가 어렵다. 물론 안정화 반응 속도가 빠른 레이저를 사용하여 이러한 문제를 극복할 수도 있겠으나, 이러한 고성능의 레이저는 가격이 비싸기 때문에 휴대용 소형 라만 분광기에 적용하기에는 현실적으로 불가능하다.In this case, when the laser is electrically turned ON / OFF, it takes some time from the time immediately after turning ON until the laser output is stabilized. However, since the Raman signal is influenced by the stabilized state of the laser light source, if the laser is turned on / off for a short time, unless the stabilization reaction speed of the laser output is extremely fast, It is difficult to obtain a Raman signal in a stable laser state). Of course, it is possible to overcome this problem by using a laser with a stabilization reaction speed, but such a high performance laser is not possible to be applied to portable small Raman spectroscopes because of its high price.

따라서 본 발명에서는, 안정화된 레이저 상태에서 ON/OFF하기 위해서는 안정화된 레이저 빔 앞에 물리적인 셔터 등으로 빔을 차단하고 여는, 즉 기계적인 셔터방식으로 ON/OFF를 구현하는 방식을 사용하는 출력조정기를 라만 분광기에 구비시키는 구성을 제시한다. 이러한 기계적인 셔터 방식을 빠른 속도로 구현하기 위해서는, 모터에 연결된 일정 패턴의 마스크를 회전시킴으로써, 물리적인 ON/OFF 시간을 빠르게 조절할 수 있다. 그리고, ON/OFF 주파수는 마스크의 패턴 형상과 회전속도를 변화시켜 조절이 가능하다. 이하에서 본 발명의, 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기의 구체적인 구성에 대하여 보다 상세히 설명한다.Therefore, in the present invention, in order to turn on / off the laser beam in the stabilized state, an output regulator using a method of blocking and opening the beam with a physical shutter in front of the stabilized laser beam, that is, Raman spectroscope. In order to realize such a mechanical shutter method at a high speed, the physical ON / OFF time can be quickly adjusted by rotating a mask of a certain pattern connected to the motor. The ON / OFF frequency can be adjusted by changing the pattern shape and rotation speed of the mask. Hereinafter, the specific configuration of the Raman spectrometer having the laser output adjuster of the present invention will be described in more detail.

도 4는 본 발명의 라만 분광기의 제1실시예를 도시하고 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기(100)는, 도 2를 통해 앞서 설명하였던 기본적인 라만 분광기의 구성인 광원(110), 광분할기(120), 필터(140), 스펙트로미터(160)를 포함하되, 여기에 상술한 바와 같은 출력조정기(170)를 구비하는 구성으로 이루어진다. 더불어, 기본 구성에서 추가될 수 있는 구성인 집광렌즈(130) 및 수광렌즈(150)를 더 포함할 수 있다. 즉 본 발명의 라만 분광기(100)는, 도 2와 같은 기본적인 라만 분광기에 출력조정기(170)가 더 구비되어 있는 구성으로 되어 있는 것이다. 이에 먼저 기본 구성에 해당하는 각부를 간략하게 설명하고, 그 이후 본 발명의 특징적인 구성인 상기 출력조정기(170)에 대하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Fig. 4 shows a first embodiment of the Raman spectroscope of the present invention. 4, the Raman spectrometer 100 having the laser output adjuster of the present invention includes a light source 110, a light splitter 120, a filter 140 And a spectrometer 160, and has an output regulator 170 as described above. In addition, it may further include a condenser lens 130 and a light receiving lens 150, which may be added in the basic configuration. That is, the Raman spectroscope 100 of the present invention has a configuration in which the output regulator 170 is further provided in the basic Raman spectroscope as shown in FIG. First, each part corresponding to the basic configuration will be briefly described, and then the output regulator 170, which is a characteristic configuration of the present invention, will be described in more detail.

상기 광원(110)은 레이저 광을 조사하는 역할을 하는 것으로서, 단파장 광을 발생시키는 것이 바람직하나, 필요에 따라 다파장을 발생시키도록 이루어질 수도 있다. 상기 광분할기(120)는 상기 광원(110)에서 조사된 레이저 광을 반사시켜 시편(500) 쪽으로 입사시키거나, 상기 시편(500)에서 산란된 광을 투과시키는 역할을 하는 것으로서, 이색성 거울(dichroic mirror) 또는 이색성 광분할기(dichroic beam splitter)로 실현될 수 있다. 상기 필터(140)는 상기 시편(500)에서 산란되어 상기 이색성 광분할기(120)를 투과하여 온 광 중 라만 이동에 해당하는 성분을 필터링하여 투과시키는 역할을 한다. 상기 스펙트로미터(160)는 상기 필터(140)를 투과하여 온 광을 진입받아 스펙트럼을 측정하는 역할을 한다. 이 때 시편으로의 광 조사 또는 스펙트로미터로의 광 진입을 보다 원활하게 할 수 있도록, 본 발명의 라만 분광기(100)는, 상기 이색성 광분할기(120)에서 산란되어 온 광을 집광하여 상기 시편(500)으로 조사하는 집광렌즈(130), 상기 필터(140)를 투과하여 온 광을 수광하여 상기 스펙트로미터(160)로 진입시키는 수광렌즈(150)를 더 포함할 수 있다.The light source 110 emits a laser beam, and preferably generates short wavelength light. However, the light source 110 may generate multiple wavelengths if necessary. The beam splitter 120 reflects the laser beam irradiated from the light source 110 and transmits the scattered light to the specimen 500 or transmits the scattered light to the specimen 500. The dichroic mirror a dichroic mirror or a dichroic beam splitter. The filter 140 filters and transmits a component corresponding to Raman scattering in the light scattered in the specimen 500 and transmitted through the dichroic optical splitter 120. The spectrometer 160 receives the light transmitted through the filter 140 and measures the spectrum. The Raman spectroscope 100 of the present invention collects the light scattered by the dichroic light splitter 120 so as to smoothly irradiate the specimen with light or enter the spectrometer. And a light receiving lens 150 for receiving the light transmitted through the filter 140 and entering the spectrometer 160. The light receiving lens 150 may be a light emitting diode

본 발명의 라만 분광기(100)에서 레이저의 출력을 조정할 수 있도록 하기 위해 구비되는 상기 출력조정기(170)는, 상기 광원(110)에서 상기 시편(500)으로 향하는 광경로 상에 배치되며, 광을 차단시키는 적어도 하나의 차단영역(171) 및 광을 투과시키는 적어도 하나의 투과영역(172)을 가지며, 회전가능한 평면 형태로 형성된다. 이 때 상기 출력조정기(170)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 광원(110)에서 상기 시편(500)으로 향하는 광경로 상에 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)이 회전에 의하여 시각에 따라 선택적으로 배치되게 함으로써, 상기 시편(500)으로 조사되는 광의 연속 조사 시간을 조정하여 상기 시편(500)에 입사되는 레이저 광의 출력을 조정한다.The output regulator 170 provided to adjust the output of the laser in the Raman spectroscope 100 of the present invention is disposed on the optical path from the light source 110 to the specimen 500, Has at least one blocking region (171) for blocking light and at least one transmitting region (172) for transmitting light, and is formed in a rotatable plane shape. 5, the output regulator 170 may be configured such that the blocking region 171 and the transmissive region 172 are formed on the optical path from the light source 110 to the specimen 500, So that the output of the laser beam incident on the specimen 500 is adjusted by adjusting the continuous irradiation time of the light irradiated onto the specimen 500.

도 5는 본 발명의 라만 분광기에 구비되는 레이저 출력조정기의 한 실시예 및 센서 신호 예시를 도시한 것이다. 도 5(A)에 도시된 바와 같이, 상기 출력조정기(170)는 회전하는 마스크 판 형태로 이루어진다. 도 5(B)의 센서 신호 그래프는, 상기 출력조정기(170)로 광을 조사하여 반사되는 반사광을 측정하는 광센서를 설치하는 경우, 광센서에서 측정되는 센서 신호를 나타낸 것이다(광센서 구성에 대해서는 이후 보다 상세히 설명한다). 어떤 시각에 광경로 상에 상기 차단영역(171)이 배치되면, 상기 시편(500)으로 조사되는 광은 차단되며(즉 도 5(B)에서 "Dark period"란 시편 입장에서 광이 차단되기 때문에 "Dark"하다는 의미이다), 반면 상기 차단영역(171)으로 조사되는 광센서의 광은 반사되어 와서 상기 광센서로 되돌아와 센서 신호가 감지되게 된다. 반대로 다른 어떤 시각에 광경로 상에 상기 투과 영역(171)이 배치되면, 상기 시편(500)으로 조사되는 광은 투과되며(마찬가지로, 도 5(B)에서 "Light period"란 시편 입장에서 광이 투과되어 와서 조사되기 때문에 "Light"가 도달한다는 의미이다), 반면 상기 투과영역(172)으로 조사되는 광센서의 광은 투과되어 버리므로 상기 광센서로 반사광이 되돌아오지 않아 센서 신호가 감지되지 않게 된다.5 shows an embodiment of a laser output regulator provided in the Raman spectroscope of the present invention and an example of a sensor signal. As shown in FIG. 5 (A), the output regulator 170 is formed in the form of a rotating mask plate. The sensor signal graph of FIG. 5 (B) shows the sensor signals measured by the optical sensor when an optical sensor for measuring the reflected light by irradiating the light to the output adjuster 170 is installed Will be described in more detail later). When the blocking region 171 is disposed on the optical path at a certain point of time, the light irradiated to the specimen 500 is blocked (that is, the light is blocked from the standpoint of the "Dark period" in FIG. 5 (B) The light of the light sensor irradiated to the blocking region 171 is reflected and returned to the photosensor so that the sensor signal is detected. On the contrary, when the transmissive region 171 is disposed on the optical path at some other time, the light irradiated to the specimen 500 is transmitted (similarly, light is emitted from the specimen of "Light period" Light "is reached because it is transmitted and examined The light of the optical sensor irradiated to the transmissive region 172 is transmitted, so that the reflected light does not return to the optical sensor, so that the sensor signal is not sensed.

이와 같이 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)이 선택적으로 형성되어 있는 상기 출력조정기(170)가 상기 광원(110) - 상기 시편(500) 사이의 광경로에 배치되어 회전하게 되면, 상기 시편(500)으로 조사되는 광이 차단되고 투과되는 것이 반복되게 된다. 즉 레이저를 계속 조사하더라도 시료에는 일정 시간 간격으로 레이저가 ON/OFF 되므로, 적정한 마스크 패턴과 회전 속도 조건을 찾음으로써 시료가 손상되는 것을 막으면서 라만 신호를 취득할 수 있다.When the output regulator 170 in which the blocking region 171 and the transmissive region 172 are selectively formed is disposed and rotated in the optical path between the light source 110 and the specimen 500, The light irradiated to the specimen 500 is intercepted and transmitted repeatedly. That is, even if the laser is continuously irradiated, the laser is turned ON / OFF at a predetermined time interval. Therefore, the Raman signal can be acquired while preventing the sample from being damaged by finding an appropriate mask pattern and rotation speed condition.

이하에서, 상기 출력조정기(170)의 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)의 여러 형태에 대하여 보다 구체적으로 설명한다. 앞서의 도 5와 더불어, 도 6 및 도 7은 본 발명의 라만 분광기에 구비되는 레이저 출력조정기의 여러 실시예를 도시하고 있다.Hereinafter, various forms of the blocking region 171 and the transmissive region 172 of the output regulator 170 will be described in more detail. 6 and 7 show various embodiments of the laser power regulator provided in the Raman spectroscope of the present invention.

먼저 상기 출력조정기(170)는, 도 5, 도 6(A)에 도시된 바와 같이, 투명한 평면 형태로 된 본체 상의 선택적 영역에 마스크가 형성되어, 마스크가 형성된 영역이 상기 차단영역(171)을 형성하고, 마스크가 형성되지 않은 영역이 상기 투과영역(172)을 형성하도록 이루어질 수 있다. 이러한 형태의 상기 출력조정기(170)는, 가장 간단하게는, 투명한 유리판 상에 마스크 역할을 하는 진한 패턴을 인쇄 또는 코팅하여, 패턴이 그려진 곳에서는 빛이 차단되고, 패턴이 없는 곳에서는 빛이 투과되도록 할 수 있다.5 and 6A, a mask is formed in a selective region on the body in the form of a transparent plane so that the region where the mask is formed covers the blocking region 171 And a region where no mask is formed may be formed to form the transmissive region 172. In the simplest case, the output regulator 170 of this type prints or coats a thick pattern serving as a mask on a transparent glass plate so that light is blocked where the pattern is drawn and light is transmitted .

또는 상기 출력조정기(170)는, 도 6(B), 도 7에 도시된 바와 같이, 회전중심에 대하여 편향된 형상의 평면 형태로 된 본체로 형성되어, 상기 본체 자체가 상기 차단영역(171)을 형성하고, 빈 공간 부분이 상기 투과영역(172)을 형성하도록 이루어질 수 있다. 이러한 형태의 상기 출력조정기(170)는, 역시 간단하게는, 금속 등을 이와 유사한 형태로 가공하여, 구조물이 남아있는 부분에서는 빛이 차단되고, 커팅된 부분에서는 빛이 투과되도록 할 수 있다. 구체적으로는, 도 6(B), 도 7(A)와 같이 상기 출력조정기(170)가 원형이 아닌 부채꼴 형태의 구조물로 만들어지게 하거나, 또는 도 7(B)와 같이 상기 출력조정기(170)가 막대 형태의 구조물로 만들어지게 할 수 있다.6 or 7, the output regulator 170 may be formed as a body in a planar shape deflected with respect to the center of rotation, and the body itself may be divided into the blocking region 171 And an empty space portion may be formed to form the transmissive region 172. The output regulator 170 of this type is also simply made of metal or the like so as to be processed in a similar manner so that light is blocked at the remaining portion of the structure and light is transmitted at the cut portion. 6 (B) and 7 (A), the output regulator 170 may be formed as a fan-shaped structure rather than a circular shape, or alternatively, the output regulator 170 may be formed as shown in FIG. 7 (B) Can be made into a bar-shaped structure.

한편 시료에 대한 레이저 출력의 세기는 마스크 패턴의 모양에 따라 다양하게 조정될 수 있다. 도 5에 도시된 상기 출력조정기(170)는 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)이 서로 동일한 총합면적을 가지도록 이루어지며, 이 경우 레이저가 투과되고 차단되는 정도가 동일하게 반복된다. 한편 도 6 및 도 7에 도시된 상기 출력조정기(170)는 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)이 서로 상이한 총합면적을 가지도록 이루어지는데, 도 6의 실시예에서는 레이저가 투과되는 양보다 차단되는 양이 더 크게 형성되고, 도 7의 실시예에서는 레이저가 투과되는 양이 차단되는 양보다 더 크게 형성되는 예시를 도시하고 있다. On the other hand, the intensity of the laser output to the sample can be variously adjusted according to the shape of the mask pattern. The output regulator 170 shown in FIG. 5 is configured such that the blocking region 171 and the transmitting region 172 have the same total area as each other. In this case, the degree to which the laser is transmitted and blocked is repeated the same . 6 and 7, the output region 170 is configured such that the blocking region 171 and the transmissive region 172 have a different total area. In the embodiment of FIG. 6, the laser is transmitted The amount of light shielding is larger than the amount of shielding, and in the embodiment of FIG. 7, the amount of laser transmission is larger than the shielding amount.

한편, 도 4의 제1실시예에서는 상기 출력조정기(170)가 상기 광원(110) 및 상기 광분할기(120) 사이의 광경로 상에 배치되는 예시를 도시하고 있으나, 이로써 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 앞서 설명한 바와 같이, 상기 출력조정기(170)는 상기 광원(100)에서 상기 시편(500)으로 향하는 광경로 상에만 배치되면 된다. 따라서 도 8의 제2실시예에서와 같이, 상기 출력조정기(170)는 상기 광분할기(120) 및 상기 시편(500) 사이의 광경로 상에 배치될 수도 있다.4, the output regulator 170 is disposed on the optical path between the light source 110 and the optical splitter 120. However, the present invention is not limited to this, no. As described above, the output adjuster 170 may be disposed only on the optical path from the light source 100 to the specimen 500. Thus, as in the second embodiment of FIG. 8, the output adjuster 170 may be disposed on the optical path between the optical splitter 120 and the specimen 500. [

또한 도 4의 제1실시예 및 도 8의 제2실시예에서는 상기 출력조정기(170)가 형성하는 평면이 광경로에 대하여 수직하게 배치되는 예시를 도시하고 있으나, 역시 이로써 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 상기 출력조정기(170)는 상기 광원(110)에서 출력되는 레이저 광을 시각에 따라 선택적으로 차단 또는 투과시키도록 하기만 하면 되기 때문에, 상기 출력조정기(170)는 도 9의 제3실시예에 도시된 바와 같이, 상기 출력조정기(170)가 형성하는 평면이 광경로에 대하여 경사지게 배치될 수도 있다. 이처럼 상기 출력조정기(170)가 형성하는 평면이 광경로에 대하여 경사지게 배치됨에 따라, 레이저 광이 상기 차단영역(171)으로부터 반사되어 다시 상기 광원(110)으로 되돌아가는 것을 방지함으로써, 상기 광원(110)에서 조사되는 레이저 광의 안정성을 향상할 수 있다.In the first embodiment shown in FIG. 4 and the second embodiment shown in FIG. 8, the plane formed by the output adjuster 170 is arranged perpendicular to the optical path. However, the present invention is not limited thereto no. Since the output regulator 170 only needs to selectively intercept or transmit the laser light output from the light source 110 according to the time, the output regulator 170 is connected to the input / The plane formed by the output regulator 170 may be arranged to be inclined with respect to the optical path. Since the plane formed by the output adjuster 170 is inclined with respect to the optical path so that the laser light is prevented from being reflected from the blocking region 171 and returned back to the light source 110, It is possible to improve the stability of the laser beam to be irradiated.

또한 이처럼 상기 출력조정기(170)가 형성하는 평면이 광경로에 대하여 경사지게 배치되는 경우, 도 10의 제4실시예에 도시된 바와 같이, 상기 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기(100)는, 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)의 광경로 상 배치 상태를 확인할 수 있도록, 상기 출력조정기(170) 회전 중 상기 차단영역(171)이 광경로 상에 배치될 때의 반사광을 측정하는 광센서(180)를 더 포함할 수 있다. 상기 광센서(180)가 배치됨에 따라, 마스크를 회전하면서 마스크에서 반사되는 빛의 세기를 읽음으로써 현재의 마스크 위치정보를 기록하거나 모니터링할 수 있다. 이 정보는 어느 순간에 실제적으로 샘플에 레이저가 조사되는지를 실시간으로 알 수 있어 라만 신호 분석에 유용하게 사용될 수 있다.Also, in the case where the plane formed by the output regulator 170 is arranged to be inclined with respect to the optical path, as shown in the fourth embodiment of FIG. 10, the Raman spectroscope 100 having the laser power adjuster has the above- A light source for measuring the reflected light when the blocking region 171 is disposed on the optical path during the rotation of the output regulator 170 so that the state of the light path layout of the region 171 and the transmission region 172 can be checked, And may further include a sensor 180. As the optical sensor 180 is disposed, current mask position information can be recorded or monitored by reading the intensity of light reflected from the mask while rotating the mask. This information can be used to analyze the Raman signal in real time, at which moment the laser is actually irradiated to the sample.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It goes without saying that various modifications can be made.

100: 라만 분광기 110: 레이저
120: 광분할기 130: 집광렌즈
140: 필터 150: 수광렌즈
160: 스펙트로미터 170: 출력조정기
171: 차단영역 172: 투과영역
180: 광센서100: Raman spectroscope 110: Laser
120: light splitter 130: condenser lens
140: filter 150: receiving lens
160: Spectrometer 170: Output regulator
171: blocking region 172: transmission region
180: Light sensor

Claims (7)

레이저 광을 조사하는 광원(110);
상기 광원(110)에서 조사된 레이저 광을 반사시켜 시편(500) 쪽으로 입사시키거나, 상기 시편(500)에서 산란된 광을 투과시키도록 형성되는 광분할기(120);
상기 시편(500)에서 산란되어 상기 이색성 광분할기(120)를 투과하여 온 광 중 라만 이동에 해당하는 성분을 필터링하여 투과시키는 필터(140);
상기 필터(140)를 투과하여 온 광을 진입받아 스펙트럼을 측정하는 스펙트로미터(160);
상기 광원(110)에서 상기 시편(500)으로 향하는 광경로 상에 배치되며, 광을 차단시키는 적어도 하나의 차단영역(171) 및 광을 투과시키는 적어도 하나의 투과영역(172)을 가지며, 회전가능한 평면 형태로 형성되어,
상기 광원(110)에서 상기 시편(500)으로 향하는 광경로 상에 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)이 회전에 의하여 시각에 따라 선택적으로 배치되게 함으로써, 상기 시편(500)으로 조사되는 광의 연속 조사 시간을 조정하여 상기 시편(500)에 입사되는 레이저 광의 출력을 조정하는 출력조정기(170);
상기 출력조정기(170)가 형성하는 평면이 광경로에 대하여 경사지게 배치되는 경우, 상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)의 광경로 상 배치 상태를 확인할 수 있도록, 상기 출력조정기(170) 회전 중 상기 차단영역(171)이 광경로 상에 배치될 때의 반사광을 측정하는 광센서(180);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기.
A light source 110 for irradiating laser light;
A light splitter 120 configured to reflect the laser beam irradiated from the light source 110 and incident on the specimen 500 or transmit the scattered light from the specimen 500;
A filter 140 which is scattered in the specimen 500 and filters and transmits a component corresponding to the Raman shift in the light transmitted through the dichroic optical splitter 120;
A spectrometer 160 which receives the light transmitted through the filter 140 and measures a spectrum thereof;
At least one blocking region 171 for blocking light and at least one transmitting region 172 for transmitting light and being arranged on the optical path from the light source 110 to the specimen 500, And is formed in a planar shape,
The shielding region 171 and the transmissive region 172 are selectively disposed on the optical path from the light source 110 to the specimen 500 according to the rotation by rotating the specimen 500, An output regulator 170 for regulating the output of the laser beam incident on the specimen 500 by adjusting the continuous irradiation time of the irradiated light;
The output regulator 170 may be provided so that the optical path arrangement state of the blocking region 171 and the transmissive region 172 can be confirmed when the plane formed by the output regulator 170 is inclined with respect to the optical path. An optical sensor 180 for measuring the reflected light when the blocking region 171 is disposed on the optical path during rotation;
Wherein the Raman spectrometer has a laser power regulator.
제 1항에 있어서, 상기 출력조정기(170)는,
투명한 평면 형태로 된 본체 상의 선택적 영역에 마스크가 형성되어, 마스크가 형성된 영역이 상기 차단영역(171)을 형성하고, 마스크가 형성되지 않은 영역이 상기 투과영역(172)을 형성하도록 이루어지거나, 또는
회전중심에 대하여 편향된 형상의 평면 형태로 된 본체로 형성되어, 상기 본체 자체가 상기 차단영역(171)을 형성하고, 빈 공간 부분이 상기 투과영역(172)을 형성하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기.
2. The apparatus of claim 1, wherein the output regulator (170)
A mask is formed in a selective region on the body in the form of a transparent plane so that the region where the mask is formed forms the blocking region 171 and the region where the mask is not formed forms the transmission region 172,
Characterized in that the main body itself is formed by a body in the form of a plane shape deflected with respect to the center of rotation and the main body itself forms the blocking area (171) and the empty space part forms the transmitting area (172) Raman spectroscope with regulator.
제 1항에 있어서, 상기 출력조정기(170)는,
상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)이 서로 동일한 총합면적을 가지거나, 또는
상기 차단영역(171) 및 상기 투과영역(172)이 서로 상이한 총합면적을 가지도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기.
2. The apparatus of claim 1, wherein the output regulator (170)
The blocking region 171 and the transmissive region 172 have the same total area, or
Wherein the blocking region (171) and the transmitting region (172) have a different total area from each other.
제 1항에 있어서, 상기 출력조정기(170)는,
상기 광원(110) 및 상기 광분할기(120) 사이의 광경로 상에 배치되거나, 또는
상기 광분할기(120) 및 상기 시편(500) 사이의 광경로 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기.
2. The apparatus of claim 1, wherein the output regulator (170)
Disposed on the optical path between the light source (110) and the light splitter (120), or
Wherein the light source is disposed on an optical path between the light splitter (120) and the sample (500).
삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기(100)는,
상기 이색성 광분할기(120)에서 산란되어 온 광을 집광하여 상기 시편(500)으로 조사하는 집광렌즈(130);
상기 필터(140)를 투과하여 온 광을 수광하여 상기 스펙트로미터(160)로 진입시키는 수광렌즈(150);
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 출력조정기를 가지는 라만 분광기.The apparatus of claim 1, wherein the Raman spectroscope (100) having the laser power adjuster
A condenser lens 130 for condensing the light scattered by the dichroic optical splitter 120 and irradiating the light onto the specimen 500;
A light receiving lens 150 for receiving the light transmitted through the filter 140 and entering the spectrometer 160;
Further comprising a laser output regulator. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
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