KR101861222B1 - Light emitting diode having electrode extensions - Google Patents
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Abstract
전극 연장부들을 갖는 발광 다이오드가 개시된다. 이 발광 다이오드는, 제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층, 제1 도전형 반도체층과 제2 도전형 반도체층 사이에 위치하는 활성층, 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 복수의 제1 전극 연장선들, 제1 전극 연장선들에 전기적으로 접속된 제1 전극 패드, 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 복수의 제2 전극 연장선들, 제2 전극 연장선들에 전기적으로 접속된 제2 전극 패드를 포함한다. 더욱이, 복수개의 제2 전극 연장선들은, 복수개의 제1 전극 연장선들 중 서로 이웃하는 제1 전극 연장선들 사이에 위치하는 적어도 두 개의 제2 전극 연장선들을 포함한다. 제1 전극 연장선들 사이에 적어도 두 개의 제2 전극 연장선들을 배치함으로써 제1 전극 연장선들 사이의 간격을 상대적으로 넓게 할 수 있어 발광 면적 감소를 완화할 수 있으며, 이에 따라 광 출력 또는 광 효율을 개선할 수 있다.A light emitting diode having electrode extensions is disclosed. The light emitting diode includes a first conductivity type semiconductor layer, a second conductivity type semiconductor layer, an active layer located between the first conductivity type semiconductor layer and the second conductivity type semiconductor layer, a plurality The first electrode extension lines of the second conductivity type semiconductor layer, the first electrode pad electrically connected to the first electrode extension lines, the plurality of second electrode extension lines electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer, And a second electrode pad. Furthermore, the plurality of second electrode extension lines include at least two second electrode extension lines positioned between neighboring first electrode extension lines of the plurality of first electrode extension lines. By arranging at least two second electrode extension lines between the first electrode extension lines, the interval between the first electrode extension lines can be relatively increased, so that reduction in the light emission area can be mitigated, thereby improving light output or light efficiency can do.
Description
본 발명은 발광 다이오드에 관한 것으로, 특히 전극 연장부들을 갖는 발광 다이오드에 관한 것이다.The present invention relates to light emitting diodes, and more particularly to light emitting diodes having electrode extensions.
GaN 계열의 LED는 현재 천연색 LED 표시소자, LED 교통 신호기, 백색 LED 등 다양한 응용에 사용되고 있다. 최근, 고효율 백색 LED는 형광 램프를 대체할 것으로 기대되고 있으며, 특히 백색 LED의 효율(efficiency)은 통상의 형광램프의 효율에 유사한 수준에 도달하고 있다.GaN-based LEDs are currently used in various applications such as color LED display devices, LED traffic signals, and white LEDs. In recent years, high efficiency white LEDs are expected to replace fluorescent lamps. In particular, the efficiency of white LEDs has reached a level similar to that of ordinary fluorescent lamps.
질화갈륨 계열의 발광 다이오드는 일반적으로 사파이어와 같은 기판 상에 에피층들을 성장시키어 형성되며, n형 반도체층, p형 반도체층 및 이들 사이에 개재된 활성층을 포함한다. 한편, 상기 n형 반도체층 상에 n-전극 패드가 형성되고, 상기 p형 반도체층 상에 p-전극 패드가 형성된다. 상기 발광 다이오드는 상기 전극패드들을 통해 외부 전원에 전기적으로 연결되어 구동된다. 이때, 전류는 p-전극 패드에서 상기 반도체층들을 거쳐 n-전극 패드로 흐른다.The gallium nitride series light emitting diode is generally formed by growing epitaxial layers on a substrate such as sapphire, and includes an n-type semiconductor layer, a p-type semiconductor layer, and an active layer interposed therebetween. On the other hand, an n-electrode pad is formed on the n-type semiconductor layer, and a p-electrode pad is formed on the p-type semiconductor layer. The light emitting diode is electrically connected to an external power source through the electrode pads. At this time, current flows from the p-electrode pad to the n-electrode pad through the semiconductor layers.
한편, 발광 다이오드 내의 전류 분산을 돕기 위해 전극 패드들로부터 연장된 연장부들이 사용되고 있다. 예컨대, 미국특허공보 제6,650,018호에는 전극 접촉부들, 즉 전극 패드들로부터 다수의 연장부들이 서로 반대 방향으로 연장하여 전류 분산을 강화하는 기술을 개시하고 있다. 전극 패드로부터 연장된 연장부를 이용함으로써, 전류를 분산시켜 발광다이오드의 효율을 높일 수 있다.On the other hand, extensions extending from the electrode pads are used to facilitate current dispersion in the light emitting diode. For example, U.S. Patent No. 6,650,018 discloses a technique in which electrode contacts, that is, a plurality of extensions from electrode pads extend in opposite directions to enhance current dispersion. By using an extension extended from the electrode pad, the efficiency of the light emitting diode can be increased by dispersing the current.
도 1은 종래기술에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1의 절취선 A-A를 따라 취해진 단면도이다. 여기서, 발광 다이오드는 대략 1450㎛×1450㎛의 크기를 갖는다.FIG. 1 is a schematic plan view for explaining a light emitting diode according to the related art, and FIG. 2 is a sectional view taken along the cutting line A-A in FIG. Here, the light emitting diode has a size of approximately 1450 mu m x 1450 mu m.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 발광 다이오드는 기판(21), 제1 도전형 반도체층(23), 활성층(25), 제2 도전형 반도체층(27), 투명 전극층(29), 절연층(31), n-전극 패드(33), p-전극 패드(35), n-전극 연장부들(33a) 및 p-전극 연장부들(35a)을 포함한다.1 and 2, the light emitting diode includes a
기판(21)은 일반적으로 사파이어 기판이 사용되며, 제1 도전형 반도체층(23), 활성층(25) 및 제2 도전형 반도체층(27)은 기판(21) 상에 유기화학 기상 성장법 등을 이용하여 성장된 질화갈륨계열의 화합물 반도체층일 수 있다. 여기서, 제1 도전형 반도체층(23)이 n형이고, 제2 도전형 반도체층(27)이 p형이다.A sapphire substrate is generally used as the
상기 제2 도전형 반도체층(27) 및 활성층(25)을 식각 제거함으로써 노출된 제1 도전형 반도체층(23) 상에 n-전극 패드(33) 및 n-전극 연장부들(33a)이 형성된다. 한편, 제2 도전형 반도체층(27) 상에 투명 전극층(29)이 형성되고, 그 위에 p-전극 패드(35) 및 p-전극 연장부들(35a)이 형성된다. 덧붙여, 발광 다이오드를 보호하기 위해 절연층(31)이 형성될 수 있다.The n-
상기 n-전극 연장부들(33a) 및 p-전극 연장부들(35a)은 선형으로 연장하며, 서로 교대로 배치된다. 즉, 서로 이웃하는 n-전극 연장선들(33a) 사이에 하나의 p-전극 연장선(35a)이 위치한다. 위와 같이, 상기 n-전극 연장선들(33a) 및 p-전극 연장선들(35a)이 서로 교대로 배치됨으로써 발광 다이오드의 전체 영역에 걸쳐 전류를 분산시킬 수 있다.The n-
그러나, 도 1 및 도 2로부터 명확하듯이, n-전극 패드 및 n-전극 연장부는 통상 p형 반도체층 및 활성층을 식각함으로써 노출된 n형 반도체층 상에 형성된다. 따라서, n-전극 패드 및 n-전극 연장부를 형성함에 따라 발광 면적이 감소되고, 이는 광출력 또는 광 효율의 감소를 초래한다.However, as apparent from Figs. 1 and 2, the n-electrode pad and the n-electrode extension are usually formed on the exposed n-type semiconductor layer by etching the p-type semiconductor layer and the active layer. Thus, by forming the n-electrode pad and the n-electrode extension, the light emitting area is reduced, resulting in a decrease in light output or light efficiency.
나아가, 전극 패드들 및 전극 연장부들은 예컨대 Cr/Au와 같은 광 흡수율이 높은 금속으로 형성되기 때문에, 활성층에서 생성된 광이 전극 패드들 및 전극 연장부들에 흡수되어 손실되기 쉽다.Furthermore, since the electrode pads and the electrode extensions are formed of a metal having a high light absorptivity such as Cr / Au, the light generated in the active layer is likely to be absorbed by the electrode pads and electrode extensions and lost.
더욱이, 전극 연장부들을 채택하여 전류를 분산시키더라도, 전극 연장부들에 인접한 영역에 주로 전류가 집중된다. 따라서, 전극 연장부들의 바로 아래 영역 또는 전극 연장부들에 인접한 영역의 활성층 영역에서 주로 광이 방출되고, 이 광이 전극 연장부들에 의해 흡수되어 손실되기 때문에, 전극 연장부들에 의한 광 손실이 더욱 증가된다.Furthermore, even if the electrode extensions are adopted to disperse the current, the current is mainly concentrated in the region adjacent to the electrode extensions. Therefore, mainly light is emitted in the region immediately under the electrode extension portions or in the active layer region in the region adjacent to the electrode extension portions, and this light is absorbed and lost by the electrode extension portions, so that the light loss by the electrode extension portions is further increased do.
본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는, 광 출력 및/또는 발광 효율을 개선할 수 있는 발광 다이오드를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a light emitting diode capable of improving light output and / or luminous efficiency.
본 발명이 해결하려는 과제는, 전극 연장부 형성에 따른 발광 면적 감소를 완화할 수 있는 발광 다이오드를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a light emitting diode capable of alleviating a decrease in light emitting area due to the formation of an electrode extension.
본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는, 전극 패드 및 전극 연장부 주위에서 발생되는 전류집중을 완화하여 발광 다이오드의 넓은 영역에 걸쳐 전류를 분산시킬 수 있는 발광 다이오드를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a light emitting diode capable of dispersing a current over a wide area of a light emitting diode by mitigating current concentration generated around electrode pads and electrode extension parts.
본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는, 전극 패드 및 전극 연장부에 의한 광 손실을 방지할 수 있는 발광 다이오드를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a light emitting diode capable of preventing light loss due to electrode pads and electrode extension parts.
본 발명에 따른 발광 다이오드는, 제1 도전형 반도체층; 제2 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층과 상기 제2 도전형 반도체층 사이에 위치하는 활성층; 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 복수의 제1 전극 연장선들; 상기 제1 전극 연장선들에 전기적으로 접속된 제1 전극 패드; 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 복수의 제2 전극 연장선들; 상기 제2 전극 연장선들에 전기적으로 접속된 제2 전극 패드를 포함한다. 더욱이, 상기 복수개의 제2 전극 연장선들은, 상기 복수개의 제1 전극 연장선들 중 서로 이웃하는 제1 전극 연장선들 사이에 위치하는 적어도 두 개의 제2 전극 연장선들을 포함한다.A light emitting diode according to the present invention includes: a first conductive semiconductor layer; A second conductivity type semiconductor layer; An active layer disposed between the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer; A plurality of first electrode extension lines electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer; A first electrode pad electrically connected to the first electrode extension lines; A plurality of second electrode extension lines electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer; And a second electrode pad electrically connected to the second electrode extension lines. Furthermore, the plurality of second electrode extension lines may include at least two second electrode extension lines that are located between neighboring first electrode extension lines of the plurality of first electrode extension lines.
이웃하는 제1 전극 연장선들 사이에 각각 적어도 두 개의 제2 전극 연장선들을 배치함으로써 제1 전극 연장선들 사이의 간격을 상대적으로 넓게 할 수 있어 발광 면적 감소를 완화할 수 있으며, 이에 따라 광 출력 또는 광 효율을 개선할 수 있다.It is possible to relatively increase the interval between the first electrode extension lines by arranging at least two second electrode extension lines between neighboring first electrode extension lines so as to alleviate the reduction of the light emission area, The efficiency can be improved.
상기 적어도 두 개의 제2 전극 연장선들은 상기 서로 이웃하는 제1 전극 연장선들을 따라 상기 제1 전극 연장선들의 연장 방향 반대측으로 연장할 수 있다. 더욱이, 상기 적어도 두 개의 제2 전극 연장선들은 서로 평행한 제2 직선부들을 가질 수 있으며, 상기 서로 이웃하는 제1 전극 연장선들은 서로 평행한 제1 직선부들을 가질 수 있다. 상기 제1 직선부들과 상기 제2 직선부들은 서로 평행할 수 있다.The at least two second electrode extension lines may extend along opposite first electrode extension lines to the opposite sides of the first electrode extension lines. Furthermore, the at least two second electrode extension lines may have second straight portions parallel to each other, and the adjacent first electrode extension lines may have first straight portions parallel to each other. The first rectilinear portions and the second rectilinear portions may be parallel to each other.
한편, 이웃하는 제1 전극 연장선들 사이에 n개(n≥2)의 제2 전극 연장선들이 배치되는 경우, 서로 이웃하는 제2 전극 연장선들의 서로 평행한 제2 직선부들 사이의 간격은 이웃하는 제1 전극 연장선들의 서로 평행한 제1 직선부들 사이의 간격의 1/(n+1)보다 작은 것이 바람직하다. 또한, 서로 이웃하는 제2 전극 연장선들의 서로 평행한 제2 직선부들 사이의 간격은 0보다 크며, 특히, 이웃하는 제1 전극 연장선들의 서로 평행한 제1 직선부들 사이의 간격의 1/(n+2)보다 클 수 있다. 예컨대, 이웃하는 제1 전극 연장선들 사이에 두 개의 제2 전극 연장선들이 배치되는 경우, 상기 두 개의 제2 전극 연장선들의 서로 평행한 제2 직선부들 사이의 간격은, 이웃하는 제1 전극 연장선들의 서로 평행한 제1 직선부들 사이의 간격의 1/3보다 작은 것이 바람직하다. 나아가, 상기 서로 평행한 제2 직선부들 사이의 간격은 상기 서로 평행한 제1 직선부들 사이의 간격의 1/4보다 클 수 있다. 또한, 상기 제2 직선부들 사이의 간격은 10 내지 200㎛ 범위 내일 수 있다.If n (n > = 2) second electrode extension lines are disposed between neighboring first electrode extension lines, the interval between the second straight line portions of the neighboring second electrode extension lines parallel to each other is Is preferably smaller than 1 / (n + 1) of the interval between the first rectilinear portions of the first electrode extension lines parallel to each other. Further, the interval between the second straight line portions of the neighboring second electrode extension lines is larger than 0, and in particular, the interval between the first straight line portions of the neighboring first electrode extension lines is 1 / (n + 2). For example, when two second electrode extension lines are disposed between neighboring first electrode extension lines, the interval between the second straight line portions parallel to each other of the two second electrode extension lines is shorter than the distance between the adjacent first electrode extension lines Is preferably smaller than 1/3 of the interval between the parallel first linear portions. Further, the interval between the second straight lines parallel to each other may be larger than 1/4 of the interval between the first straight lines parallel to each other. In addition, the interval between the second rectilinear portions may be in the range of 10 to 200 mu m.
한편, 상기 발광 다이오드는 상기 제1 전극 연장선들에서 분기된 제1 보조 연장선들; 및 상기 제2 전극 연장선들에서 분기된 제2 보조 연장선들을 더 포함할 수 있다.The light emitting diode includes first auxiliary extension lines branched from the first electrode extension lines; And second auxiliary extension lines branched at the second electrode extension lines.
한편, 투명 전극층이 상기 복수의 제2 전극 연장선들과 상기 제2 도전형 반도체층 사이에 개재될 수 있다. 투명 전극층은 제2 도전형 반도체층에 오믹 콘택한다.On the other hand, a transparent electrode layer may be interposed between the plurality of second electrode extension lines and the second conductive type semiconductor layer. The transparent electrode layer makes an ohmic contact with the second conductivity type semiconductor layer.
이에 더하여, 전류 블록층이 상기 제2 전극 연장선들로부터 그 바로 아래 영역의 상기 제2 도전형 반도체층으로 전류가 주입되는 것을 방지할 수 있다. 전류 블록층은 상기 투명 전극층과 상기 제2 도전형 반도체층 사이에 위치할 수 있다.In addition, it is possible to prevent the current blocking layer from being injected from the second electrode extension lines into the second conductive type semiconductor layer in a region immediately below the second electrode extension lines. The current blocking layer may be positioned between the transparent electrode layer and the second conductive type semiconductor layer.
한편, 상기 복수의 제1 전극 연장선들 및 상기 복수의 제2 전극 연장선들은 동일한 구조의 금속 적층 구조를 가질 수 있다. 상기 금속 적층 구조는 접촉층, 반사층, 장벽층 및 본딩층을 포함한다. 나아가, 상기 접촉층은 니켈, 크롬 및 티탄에서 선택된 금속으로 형성되고, 상기 반사층은 알루미늄으로 형성되며, 상기 본딩층은 금으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 장벽층은 단일층 또는 다중층일 수 있으며, 예컨대, Ni, Ni/Ti, Ni/Ti/Ni/Ti, Cr/Pt 또는 Ni/Pt일 수 있다.Meanwhile, the plurality of first electrode extension lines and the plurality of second electrode extension lines may have a metal laminated structure having the same structure. The metal laminated structure includes a contact layer, a reflective layer, a barrier layer, and a bonding layer. Further, the contact layer may be formed of a metal selected from nickel, chromium, and titanium, the reflective layer may be formed of aluminum, and the bonding layer may be formed of gold. In addition, the barrier layer may be a single layer or multiple layers and may be, for example, Ni, Ni / Ti, Ni / Ti / Ni / Ti, Cr / Pt or Ni / Pt.
본 발명에 따르면, 전극 연장부 형성에 따른 발광 면적 감소를 완화할 수 있으며, 이에 따라, 광 출력 및/또는 발광 효율을 개선할 수 있는 발광 다이오드를 제공할 수 있다. 나아가, 전류 블록층을 이용하여 전극 패드 및 전극 연장부 주위에서 발생되는 전류집중을 완화하여 발광 다이오드의 넓은 영역에 걸쳐 전류를 분산시킬 수 있는 발광 다이오드를 제공할 수 있으며, 금속 반사층을 이용하여 전극 패드 및 전극 연장부에 의한 광 손실을 방지할 수 있는 발광 다이오드를 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a light emitting diode capable of reducing light emission area reduction due to the formation of the electrode extension portion, thereby improving light output and / or luminous efficiency. Further, it is possible to provide a light emitting diode capable of dispersing a current over a wide area of the light emitting diode by mitigating current concentration generated around the electrode pad and the electrode extension part by using the current blocking layer, It is possible to provide a light emitting diode capable of preventing light loss due to the pad and the electrode extending portion.
도 1은 종래 기술에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 종래 기술에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위해 도 1의 절취선 A-A를 따라 취해진 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 3의 절취선 B-B를 따라 취해진 단면도이다.
도 5는 전극 연장선들의 적층 구조를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.1 is a schematic plan view for explaining a light emitting diode according to a related art.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along a perforated line AA of FIG. 1 to describe a light emitting diode according to the prior art.
3 is a schematic plan view illustrating a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view taken along the tear line BB in Fig.
5 is a schematic cross-sectional view for explaining a lamination structure of electrode extension lines.
6 is a schematic plan view illustrating a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
7 is a schematic plan view illustrating a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments are provided by way of example so that those skilled in the art can fully understand the spirit of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in other forms. In the drawings, the width, length, thickness, and the like of the components may be exaggerated for convenience. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 4는 각각 도 3의 절취선 B-B를 따라 취해진 단면도이다.3 is a schematic plan view illustrating a light emitting diode according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along a perforated line B-B of FIG. 3, respectively.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 발광 다이오드는 기판(51), 제1 도전형 반도체층(53), 활성층(55), 제2 도전형 반도체층(57), 투명 전극층(59), 절연층(61), 제1 전극 패드(63), 제2 전극 패드(65), 제1 전극 연장선들(63a), 제2 전극 연장선들(65a, 65b)을 포함한다. 또한, 상기 발광 다이오드는 버퍼층(도시하지 않음), 전류 블록층(58)을 포함할 수 있다.3 and 4, the light emitting diode includes a
상기 기판(51)은, 예컨대 사파이어 기판, 질화갈륨 기판, 탄화실리콘 기판 또는 실리콘 기판과 같이 질화갈륨계 화합물 반도체층을 성장시키기 위한 성장기판일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The
제1 도전형 반도체층(53)이 상기 기판(51) 상에 위치하고, 상기 1 도전형 반도체층(53) 상에 제2 도전형 반도체층(57)이 위치하고, 제1 도전형 반도체층(53)과 제2 도전형 반도체층(57) 사이에 활성층(55)이 개재된다. 상기 제1 도전형 반도체층(53), 활성층(55) 및 제2 도전형 반도체층(57)은 질화갈륨 계열의 화합물 반도체 물질 즉, (Al, In, Ga)N으로 형성될 수 있다. 상기 활성층(55)은 요구되는 파장의 광, 예컨대 자외선 또는 가시광을 방출하도록 조성 원소 및 조성비가 결정된다.The first
상기 제1 도전형 반도체층(53)은 n형 질화물 반도체층일 수 있으며, 제2 도전형 반도체층(57)은 p형 질화물 반도체층일 수 있으며, 그 반대일 수도 있다.The first
상기 제1 도전형 반도체층(53) 및/또는 제2 도전형 반도체층(57)은, 도시한 바와 같이, 단일층으로 형성될 수 있으나, 다층 구조로 형성될 수도 있다. 또한, 활성층(55)은 단일 양자웰 또는 다중 양자웰 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 기판(51)이 성장기판인 경우, 상기 기판(51)과 제1 도전형 반도체층(53) 사이에 GaN 또는 AlN와 같은 버퍼층(도시하지 않음)이 개재될 수 있다. 상기 반도체층들(53, 55, 57)은 MOCVD 또는 MBE 기술을 사용하여 형성될 수 있다.As shown in the figure, the first
한편, 상기 제2 도전형 반도체층(57) 상에 투명 전극층(59)이 위치할 수 있다. 투명 전극층(59)은, ITO와 같은 투명 산화물 또는 Ni/Au로 형성될 수 있으며, 제2 도전형 반도체층(57)에 오믹콘택된다.On the other hand, the
제1 전극 패드(63) 및 제1 전극 연장선들(63a)은 제1 도전형 반도체층(53) 상에 위치하여 제1 도전형 반도체층(53)에 전기적으로 접속된다. 상기 제1 전극 패드(63) 및 제1 전극 연장선들(63a)은 제2 도전형 반도체층(57) 및 활성층(55)을 식각함으로써 노출된 제1 도전형 반도체층(53) 상에 위치할 수 있다.The
본 실시예에 있어서, 도 3은 1000㎛×1000㎛ 이상의 넓은 면적, 예컨대 약 1450㎛×1450㎛의 면적을 갖는 발광 다이오드에서 전류 분산을 위해 두 개의 제1 전극 패드들(63)이 배치된 것을 도시하고 있으며, 이들 제1 전극 패드들(63)로부터 5개의 제1 전극 연장선들(63a)이 연장하는 것을 나타내고 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 전극 패드들(63)의 개수 및 제1 전극 연장선들(63a)의 개수는 변경될 수 있다. 특히, 제1 전극 연장선들(63a)의 개수는 발광 다이오드의 크기에 따라 증가 또는 감소할 수 있다.In this embodiment, FIG. 3 shows a configuration in which two
상기 제1 전극 패드들(63) 발광 다이오드의 일측 가장자리 근처에 배치되고, 상기 제1 전극 연장선들(63a)은 상기 일측 가장자리에서 타측 가장자리로 연장할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 전극 연장선들(63a)은 서로 평행한 직선부들을 가질 수 있다.The
한편, 제2 전극 패드(65) 및 제2 전극 연장선들(65a, 65b)이 제2 도전형 반도체층(57) 상에, 예컨대 투명 전극층(59) 상에 위치한다. 상기 제2 전극 연장선들(65a, 65b)은 제2 도전형 반도체층(57)에 전기적으로 접속된다. 예컨대, 상기 제2 전극 연장선들(65a, 65b)은 투명 전극층(59)을 통해 제2 도전형 반도체층(57)에 전기적으로 접속될 수 있다.On the other hand, the
본 실시예에 있어서, 전류 분산을 위해 두 개의 제2 전극 패드들(65)이 배치된 것을 도시하고 있으나, 제2 전극 패드들(65)의 개수는 변경 가능하다. 상기 제2 전극 패드들(65)은 제1 전극 패드들(65)에 대향하여 기판(51)의 타측 가장자리 근처에 배치될 수 있으며, 제2 전극 연장선들(65a, 65b)은 제1 전극 연장선들(63a)과 반대 방향으로 연장한다. 즉, 제2 전극 연장선들(65a, 65b)은 타측 가장자리에서 상기 일측 가장자리로 연장한다.In the present embodiment, two
또한, 이웃하는 제1 전극 연장선들 사이에 두개의 제2 전극 연장선들(65a와 65b)이 위치한다. 본 실시예에 있어서, 이웃하는 제1 전극 연장선들(63a) 사이에는 어디든 2개의 제2 전극 연장선들(65a와 65b)이 배치된 것으로 도시되어 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 특정의 제1 전극 연장선들(63a) 사이에만 두개의 제2 전극 연장선들(65a, 65b)이 배치되고, 다른 제1 전극 연장선들(63a) 사이에는 하나의 제2 전극 연장선(65a)만이 배치될 수도 있다.Also, two second
상기 두 개의 제2 전극 연장선들(65a, 65b)은 서로 평행한 직선부들을 가질 수 있으며, 제2 전극 연장선들(65a, 65b)의 직선부들은 상기 서로 이웃하는 제1 전극 연장선들(63a)의 직선부들과 평행할 수 있다.The two second
한편, 상기 두개의 제2 전극 연장선들(65a, 65b) 사이의 간격(D2)은 10 내지 200㎛ 범위 내일 수 있다. 한편, 상기 제2 전극 연장선들(65a, 65b)의 폭은 예컨대, 1 내지 20㎛ 범위 내일 수 있다. 나아가, 간격(D2)은 상기 이웃하는 두 개의 제1 전극 연장선들(63a) 사이의 간격(D1)의 1/3보다 작다. D2가 D1의 1/3보다 크면 두개의 제2 전극 연장선들(65a, 65b) 사이의 영역에서 전류를 충분히 분산시키기 어렵다. 한편, 간격(D2)은 간격(D1)의 1/10보다 클 수 있으며, 1/5, 또는 1/4보다 클 수 있다.Meanwhile, the distance D2 between the two second
두 개의 제2 전극 연장선들(65a, 65b)을 이웃하는 제1 전극 연장선들(63a) 사이에 배치함으로써 광출력을 향상시킬 수 있으며, 나아가, 제2 전극 연장선들(65a, 65b) 사이의 간격을 증가시킴에 따라 광 효율이 향상된다.The light output can be improved by disposing the two second
본 실시예에 있어서, 두 개의 제2 전극 연장선들(65a, 65b)이 이웃하는 제1 전극 연장선들(63a) 사이에 배치된 것으로 설명하였지만, 본 실시예는 이에 한정되는 것은 아니며, 더 많은 제2 전극 연장선들이 배치될 수 있다. 이웃하는 제1 전극 연장선들 사이에 n개(n≥2)의 제2 전극 연장선들이 배치되는 경우, 서로 이웃하는 제2 전극 연장선들의 서로 평행한 제2 직선부들 사이의 간격(D2)은 이웃하는 제1 전극 연장선들의 서로 평행한 제1 직선부들 사이의 간격(D1)의 1/(n+1)보다 작은 것이 바람직하다. 또한, 서로 이웃하는 제2 전극 연장선들의 서로 평행한 제2 직선부들 사이의 간격은 0보다 크며, 특히, 이웃하는 제1 전극 연장선들의 서로 평행한 제1 직선부들 사이의 간격의 1/(n+2)보다 클 수 있다. In the present embodiment, it is described that the two second
한편, 제2 전극 패드들(65) 및 제2 전극 연장선들(65a, 65b) 아래에 전류 블록층(58)이 배치될 수 있다. 전류 블록층(58)은 예컨대, 투명 전극층(59)과 제2 도전형 반도체층(57) 사이에 위치하여 제2 전극 패드들(65)과 제2 전극 연장선들(65a, 65b)로부터 그 바로 아래의 제2 도전형 반도체층(57)으로 전류가 집중되는 것을 방지할 수 있다. 전류 블록층(58)은 제2 전극 패드들(65) 및 제2 전극 연장선들(65a, 65b)보다 약간 넓은 폭을 갖는다.The
한편, 절연층(61)은 제1 도전형 반도체층(53), 활성층(55) 및 제2 도전형 반도체층(57)을 덮어 이들을 보호한다. 절연층(61)은 투명 전극층(59)을 덮을 수 있다. 상기 절연층(61)은 제1 도전형 반도체층(53)을 노출시키는 개구부들 및 제2 도전형 반도체층(57) 또는 투명 전극층(59)을 노출시키는 개구부들을 가질 수 있으며, 제1 전극 연장선들(63a) 및 제2 전극 연장선들(65a, 65b)은 이들 개구부들 내에 위치할 수 있다. 상기 절연층(61)은 예컨대, SiO2 또는 Si3N4로 형성될 수 있다.On the other hand, the insulating
본 실시예에 있어서, 제1 전극 패드들(63)은 제1 도전형 반도체층(53) 상에 위치하여 제1 도전형 반도체층(53)에 직접 전기적으로 접속되는 것으로 도시하였으나, 제1 전극 패드들(63)의 위치는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 상기 제1 전극 패드들(63)은 제1 도전형 반도체층(53)을 식각하여 노출된 기판(51) 상에 위치할 수도 있다. 또한, 본 실시예에 있어서, 제2 전극 패드들(63)이 제2 도전형 반도체층(57) 상에, 예컨대 투명 전극층(59) 상에 위치하는 것으로 도시하였으나, 제2 전극 패드들(65)은 제2 도전형 반도체층(57) 및 활성층(55)을 식각하여 노출된 제1 도전형 반도체층(53) 상에 위치할 수 있으며, 전류 블록층(58)과 같은 절연층에 의해 제1 도전형 반도체층(53)으로부터 절연될 수 있다.Although the
한편, 본 실시예에 있어서, 상기 제1 전극 연장선들(63a) 및 제2 전극 연장선들(65a, 65b)은 동일한 금속 적층 구조를 가질 수 있다. 상기 금속 적층 구조는, 접촉층(71)/반사층(73)/장벽층(76)/본딩층(79) 구조를 가질 수 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the first
상기 접촉층(71)은 예컨대 1 내지 50Å 범위 내의 두께를 가지며, 제1 도전형 반도체층(53)에 오믹 콘택을 위해 사용된다. 상기 접촉층(71)은 Ni, Cr 또는 Ti로 형성될 수 있다. 상기 접촉층(71)으로 Ni을 사용할 경우, 상대적으로 매우 얇은 두께, 예컨대 약 5Å 정도의 두께로 양호한 n-오믹 콘택을 달성할 수 있어 광 손실을 낮출 수 있다. 한편, 반사층(73)은 활성층(55)에서 생성된 광을 반사시켜 제1 및 제2 전극 패드들(63, 65), 제1 및 제2 전극 연장선들(63a, 65a, 65b)에 흡수되어 손실되는 것을 방지한다. 상기 반사층(73)은 알루미늄으로 형성될 수 있다. 상기 반사층(73)의 두께는 반사 기능을 달성할 수 있는 범위에서 얇게 형성하는 것이 바람직하며, 예컨대 1000~3000Å의 두께로 형성될 수 있다. 상기 장벽층(76)은 본딩층 금속과 반사층 금속의 상호혼합을 방지하여 반사층의 반사 기능을 유지하기 위해 사용된다. 상기 장벽층(76)은 도시한 바와 같이 이중층(75, 77), 예컨대, Cr/Pt, Ni/Ti, Ni/Pt 등으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 예컨대 Ni과 같은 단일층 또는 Ni/Ti/Ni/Ti와 같이 이중층 이상의 다중층으로 형성될 수도 있다. 상기 본딩층(79)은 본딩 와이어(도시하지 않음)를 본딩하기 위한 본딩 금속으로 형성되며, 예컨대 Au로 형성된다. 본딩층(79)은 1um 이상의 두께로 형성될 수 있다.The
위와 같은 금속 적층 구조를 채택함으로써, 제1 본딩패드(63), 제2 본딩패드(65), 제1 전극 연장선들(63a) 및 제2 전극 연장선들(65a, 65b)을 동일 공정으로 함께 형성할 수 있어 공정을 단순화할 수 있다.By adopting the above metal laminated structure, the
한편, 본 실시예에 있어서, 기판(51)의 양측 가장자리 근처에 제1 전극 연장선들(63a)이 배치된 것으로 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 전극 연장선들(63a)이 기판(51)의 양측 가장자리 근처에 배치될 수 있다.Although the first
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.6 is a schematic plan view illustrating a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 발광 다이오드는, 도 3을 참조하여 설명한 발광 다이오드와 대체로 유사하므로, 동일한 내용에 대해서는 중복을 피하기 위해 생략하고 다른 점에 대해 설명한다. Referring to FIG. 6, a light emitting diode according to the present embodiment is substantially similar to the light emitting diode described with reference to FIG. 3, so that the same contents will be omitted to avoid duplication and different points will be described.
본 실시예에 있어서, 제2 전극 연장선들(65c)이 기판(51)의 양측 가장자리 근처에 배치된 것으로 도시하였으나, 제1 전극 연장선들(63a)이 기판(51)의 양측 가장자리 근처에 배치될 수도 있다.Although the second
한편, 제1 전극 연장선들(63a)은 직선부 이외에 굴곡진 부분들을 포함할 수 있으며, 또한 제1 보조 연장선(63b)이 제1 전극 연장선(63a)으로부터 분기할 수 있다. 여기서, "보조 연장선"은 주 연장선인 전극 연장선으로부터 분기된 연장선으로서, 그 길이가 발광 다이오드의 가장자리의 길이의 1/4 미만인 연장선을 의미한다. 하나의 주 연장선으로부터 분기되었더라도 그 길이가 1/4 이상의 길이를 갖는 경우, 전극 연장선으로 한다. 한편, 주 연장선과 분기된 연장선은 분기 이전의 연장선의 끝 부분과 분기 후의 연장선의 시작 부분이 이루는 각이 180도에 가까운 것을 주 연장선으로 하고 180도보다 작은 것을 분기된 연장선으로 한다.Meanwhile, the first
한편, 이웃하는 제1 전극 연장선들(63a)은 서로 평행한 직선부들을 가질 수 있다. 두 개의 제2 전극 연장선들(65a, 65b)이 이웃하는 제1 전극 연장선들(63a) 사이에 위치한다. 상기 두 개의 제2 전극 연장선들(65a, 65b) 또한 서로 평행한 직선부들을 갖는다. 상기 두 개의 제2 전극 연장선들(65a, 65b)의 직선부들이 상기 제1 전극 연장선들(63a)의 직선부들과 평행할 수 있다. 또한, 상기 제2 전극 연장선들(65a, 65b)의 직선부들 사이의 간격은 10 내지 200㎛ 범위 내일 수 있으며, 이웃하는 제1 전극 연장선들(63a)의 직선부들 사이의 간격과 관련하여 앞서 설명한 D1-D2의 상대적인 크기 관계를 갖는다. 즉, 상기 제2 전극 연장선들(65a, 65b)의 직선부들 사이의 간격은 제1 전극 연장선들(63a)의 직선부들 사이의 간격의 1/3보다 작으며, 제1 전극 연장선들(63a)의 직선부들 사이의 간격의 1/10, 1/5, 또는 1/4보다 클 수 있다.On the other hand, neighboring first
나아가, 제1 전극 연장선들(63a, 63b, 63c)에서 제2 보조 연장선들(65s)이 분기될 수 있다. 상기 제1 보조 연장선들(63b) 및 제2 보조 연장선들(65s)은 전류가 분산되기 어려운 부분들로 연장하여 전류 분산을 돕는다.Further, the second
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.7 is a schematic plan view illustrating a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 발광 다이오드는 도 6을 참조하여 설명한 발광 다이오드와 대체로 유사하나, 제1 보조 연장부(63b) 및 그에 상응하는 제1 전극 연장선(63a)의 끝 부분이 생략되고, 제2 보조 연장부(65s)가 제2 전극 연장선(65c)에 부가된 것에 차이가 있다.7, the light emitting diode according to the present embodiment is substantially similar to the light emitting diode described with reference to FIG. 6, except that the first
제1 보조 연장부(63b)를 사용하는 대신, 제2 보조 연장부(65s)를 추가함으로써, 발광 면적이 감소되는 것을 방지할 수 있다. 더욱이, 이들 제2 보조 연장부(65s)를 앞서 도 5를 참조하여 설명한 바와 같은 반사층(73)을 포함하는 금속 적층 구조로 형성함으로써 제2 보조 연장부(65s)에 의한 광 손실을 줄일 수 있어, 전체적인 광 출력 및 광 효율을 개선할 수 있다. It is possible to prevent the light emitting area from being reduced by adding the second
(실험예)(Experimental Example)
동일한 크기의 발광 다이오드에서 종래기술에 따른 전극 연장부들과 본 발명에 따른 전극 연장부들의 광학 특성에 대한 영향을 비교하기 위해, 도 1과 같은 전극 연장선들을 갖는 발광 다이오드와 도 3과 같은 전극 연장선들을 갖는 발광 다이오드를 동일 기판 상에 형성하여 웨이퍼 레벨에서 Vf(@ 350mA) 및 광출력을 측정하였다. 여기서, 본 발명에 따른 제2 전극 연장선들(65a, 65b) 사이의 간격(D2)에 따른 차이를 확인하기 위해 D2를 40, 70 및 100um로 다르게 하였다. 발광 다이오드 크기는 모두 1450um×1450um이었고, 제1 및 제2 전극 연장선들의 선폭은 모두 8um로 하였다. 또한, 종래 기술과 본 발명에 대해 전극 연장선들의 패턴에 따른 전기적 및 광학 특성을 대비하기 위해, 전극 패드 및 전극 연장선들의 적층 구조는 Ni/Al/Cr/Pt/Au로 동일하게 형성하였다. 또한, 모두 전류 블록층(CBL)을 사용하지 않은 경우와, 모두 전류 블록층을 사용한 경우에 대해, 패턴에 따른 전기적 특성 및 광학 특성을 대비하였다.In order to compare the influence of the conventional electrode extensions and the electrode extensions according to the present invention on the optical characteristics of light emitting diodes of the same size, the light emitting diodes having the electrode extension lines as shown in FIG. 1 and the electrode extension lines as shown in FIG. Emitting diode was formed on the same substrate to measure Vf (@ 350 mA) and light output at the wafer level. In order to confirm the difference according to the interval D2 between the second
표 1은 전류 블록층을 사용하지 않고, 전극 연장선들의 패턴만을 달리하여 측정된 Vf 및 광출력의 상대적인 값을 나타낸 것이다. 여기서, Vf는 종래 기술에 따른 패턴을 사용한 발광 다이오드(비교예)의 Vf를 기준으로 하여 증가된 양을 나타내었고, 광출력은 종래 기술에 따른 패턴을 사용한 발광 다이오드의 광출력을 기준으로 하여 증가된 양을 백분율로 나타내었다.Table 1 shows the relative values of Vf and light output measured by different patterns of electrode extension lines without using a current blocking layer. Here, Vf represents an increased amount based on Vf of a light emitting diode (comparative example) using a pattern according to the prior art, and the light output is increased with reference to the light output of the light emitting diode using the pattern according to the related art Of the total amount was expressed as a percentage.
표 1을 참조하면, 발광 다이오드 크기, 반도체 적층 구조 및 금속 적층 구조 등 다른 조건은 모두 동일하게 하고, 전극 연장선의 패턴만을 다르게 한 경우, 본 발명에 따른 실시예들의 발광 다이오드들은 비교예에 대비하여 피크 파장은 거의 변하지 않았으며, Vf는 약간 증가하였고, 광출력이 증가하는 것을 확인할 수 있다. 특히, 제2 전극 연장선들 사이의 간격(D2)이 증가할수록 Vf가 감소하고 광출력이 증가하는 것을 확인할 수 있다. 도 3에서 D1이 대략 350um 정도이므로, D1의 1/3보다 작으면서 1/4보다 큰 경우, 광 효율이 가장 양호할 것임을 예측할 수 있다.Referring to Table 1, when all other conditions such as the LED size, the semiconductor lamination structure, and the metal lamination structure are the same and only the pattern of the electrode extension line is different, the light emitting diodes of the embodiments according to the present invention, The peak wavelength is almost unchanged, Vf is slightly increased, and the light output is increased. In particular, it can be seen that as the distance D2 between the second electrode extension lines increases, Vf decreases and the light output increases. In Fig. 3, since D1 is about 350 mu m, it can be predicted that the light efficiency is the best when it is smaller than 1/3 of D1 and larger than 1/4.
표 2는 표 1의 조건과 동일한 조건하에서 모든 샘플에 전류 블록층을 적용한 경우의 측정 데이터를 나타낸 것이다.Table 2 shows the measurement data when the current block layer is applied to all the samples under the same conditions as those in Table 1.
표 2를 참조하면, 앞서 표 1과 같이, 본 발명에 따른 실시예들의 발광 다이오드들은 비교예에 대비하여 피크 파장은 거의 변하지 않았으며, Vf는 약간 증가하였고, 광출력이 증가하는 것을 확인할 수 있다. Vf의 증가량 및 광출력 증가량이 표 1의 경우에 비해 더 커졌으며, 제2 전극 연장선들 사이의 간격(D2)이 증가할 수록 Vf가 감소하고 광출력이 증가하는 것을 확인할 수 있다. Referring to Table 2, as shown in Table 1, the peak wavelengths of the light emitting diodes according to the embodiments of the present invention are almost unchanged, Vf is slightly increased, and the light output is increased as compared with the comparative example . The increase amount of Vf and the light output increase amount are larger than those of Table 1 and it can be seen that Vf decreases and the light output increases as the distance D2 between the second electrode extension lines increases.
이상의 실험 결과로부터 제1 전극 연장선들 사이에 두개의 제2 전극 연장선들을 배치함으로써 적어도 종래 기술과 동등하거나 그보다 양호한 광 출력을 얻을 수 있음을 알 수 있다.It can be seen from the above experimental results that by arranging the two second electrode extension lines between the first electrode extension lines, at least a light output equal to or better than that of the prior art can be obtained.
21, 51 기판, 23, 53 제1 도전형 반도체층
25, 55 활성층 27, 57 제2 도전형 반도체층
58 전류 블록층, 29, 59 투명 전극층
31, 61 절연층 33, 63 제1 전극 패드
33a, 63a 제1 전극 연장선 63b 제1 보조 연장선
35, 65 제2 전극 패드 35a, 65a, 65b, 65c 제2 전극 연장선
65s 제2 보조 연장선, 71 접촉층
73 반사층, 76(75, 77) 장벽층 79 본딩층21, 51 substrate, 23, 53 first conductive semiconductor layer
25, 55
58 Current block layer, 29, 59 Transparent electrode layer
31, 61
33a, 63a First
35, 65
65s Second auxiliary extension line, 71 Contact layer
73 reflective layer, 76 (75, 77)
Claims (13)
제2 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층과 상기 제2 도전형 반도체층 사이에 위치하는 활성층;
상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 복수의 제1 전극 연장선들;
상기 제1 전극 연장선들에 전기적으로 접속된 제1 전극 패드;
상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 복수의 제2 전극 연장선들;
상기 제2 전극 연장선들에 전기적으로 접속된 제2 전극 패드를 포함하되,
상기 복수의 제1 전극 연장선들은
상기 제1 전극 패드에서 직접 상기 제2 전극 패드가 인접한 제1 도전형 반도체층의 가장자리 측에 가까워지도록 연장하는 제1-1 전극 연장선: 및
상기 제1 전극 패드에서 상기 제1 전극 패드에 인접한 제1 도전형 반도체층의 일측 가장자리를 따라 연장한 후 제2 전극 패드가 인접한 제1 도전형 반도체층의 가장자리 측을 향해 연장하는 제1-2 전극 연장선을 포함하고,
상기 제1-1 전극 연장선과 상기 제1-2 전극 연장선은 서로 이웃하며,
상기 복수개의 제2 전극 연장선들은, 상기 서로 이웃하는 제1-1 전극 연장선과 제1-2 전극 연장선 사이에 위치하는 적어도 두 개의 제2 전극 연장선들을 포함하는 발광 다이오드.A first conductive semiconductor layer;
A second conductivity type semiconductor layer;
An active layer disposed between the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer;
A plurality of first electrode extension lines electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer;
A first electrode pad electrically connected to the first electrode extension lines;
A plurality of second electrode extension lines electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer;
And a second electrode pad electrically connected to the second electrode extension lines,
The plurality of first electrode extension lines
A first 1-1 electrode extension line extending directly from the first electrode pad so that the second electrode pad is closer to an edge side of the adjacent first conductivity type semiconductor layer;
The first electrode pad extends along one side edge of the first conductive type semiconductor layer adjacent to the first electrode pad, and then the second electrode pad is extended to the edge side of the adjacent first conductive type semiconductor layer. An electrode extension line,
The first electrode extension line and the first electrode extension line are adjacent to each other,
Wherein the plurality of second electrode extension lines include at least two second electrode extension lines located between the adjacent first 1-1 electrode extension line and the 1-2 second electrode extension line.
상기 적어도 두 개의 제2 전극 연장선들은 상기 서로 이웃하는 제1 전극 연장선들을 따라 상기 제1 전극 연장선들의 연장 방향 반대측으로 연장하는 발광 다이오드. The method according to claim 1,
Wherein the at least two second electrode extension lines extend to the opposite side of the first electrode extension lines along the neighboring first electrode extension lines.
상기 적어도 두 개의 제2 전극 연장선들은 서로 평행한 제2 직선부들을 갖는 발광 다이오드.The method of claim 2,
Wherein the at least two second electrode extension lines have second straight portions parallel to each other.
상기 서로 이웃하는 제1 전극 연장선들은 서로 평행한 제1 직선부들을 갖고,
상기 제1 직선부들과 상기 제2 직선부들은 서로 평행한 발광 다이오드.The method of claim 3,
Wherein the adjacent first electrode extension lines have first straight portions parallel to each other,
Wherein the first rectilinear portions and the second rectilinear portions are parallel to each other.
상기 적어도 두개의 제2 전극 연장선들이 n개인 경우, 상기 서로 이웃하는 제2 직선부들 사이의 간격(D2)은, 상기 서로 평행한 제1 직선부들 사이의 간격(D1)의 1/(n+1)보다 작은 발광 다이오드.The method of claim 4,
(N + 1) of the interval (D1) between the mutually adjacent first rectilinear portions, and the interval (D2) between the neighboring second rectilinear portions is 1 / ) Light emitting diodes.
상기 제2 전극 연장선들에서 분기된 제2 보조 연장선들을 더 포함하는 발광 다이오드.The method according to claim 1,
And second auxiliary extension lines branched at the second electrode extension lines.
상기 제1 전극 연장선들에서 분기된 제1 보조 연장선들을 더 포함하는 발광 다이오드.The method of claim 7,
Further comprising first auxiliary extension lines that are branched at the first electrode extension lines.
상기 복수의 제2 전극 연장선들과 상기 제2 도전형 반도체층 사이에 개재된 투명 전극층을 더 포함하는 발광 다이오드.The method according to claim 1,
And a transparent electrode layer interposed between the plurality of second electrode extension lines and the second conductive type semiconductor layer.
상기 제2 전극 연장선들로부터 그 바로 아래 영역의 상기 제2 도전형 반도체층으로 전류가 주입되는 것을 방지하는 전류 블록층을 더 포함하는 발광 다이오드.The method of claim 9,
And a current blocking layer for preventing a current from being injected from the second electrode extension lines into the second conductive type semiconductor layer in a region immediately below the second electrode extension lines.
상기 복수의 제1 전극 연장선들 및 상기 복수의 제2 전극 연장선들은 동일한 구조의 금속 적층 구조를 갖고,
상기 금속 적층 구조는 접촉층, 반사층, 장벽층 및 본딩층을 포함하는 발광 다이오드.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of first electrode extension lines and the plurality of second electrode extension lines have the same metal laminated structure,
Wherein the metal laminated structure comprises a contact layer, a reflective layer, a barrier layer, and a bonding layer.
상기 접촉층은 니켈, 크롬 및 티탄에서 선택된 금속으로 형성되고, 상기 반사층은 알루미늄으로 형성되며, 상기 본딩층은 금으로 형성된 발광 다이오드.The method of claim 11,
Wherein the contact layer is formed of a metal selected from the group consisting of nickel, chromium, and titanium, the reflective layer is formed of aluminum, and the bonding layer is formed of gold.
상기 장벽층은 Ni, Ni/Ti, Ni/Ti/Ni/Ti, Cr/Pt 또는 Ni/Pt인 발광 다이오드.The method of claim 12,
Wherein the barrier layer is Ni, Ni / Ti, Ni / Ti / Ni / Ti, Cr / Pt or Ni / Pt.
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