KR101748582B1 - Straight degree inspection apparatus and method for probe pin - Google Patents

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KR101748582B1
KR101748582B1 KR1020160059095A KR20160059095A KR101748582B1 KR 101748582 B1 KR101748582 B1 KR 101748582B1 KR 1020160059095 A KR1020160059095 A KR 1020160059095A KR 20160059095 A KR20160059095 A KR 20160059095A KR 101748582 B1 KR101748582 B1 KR 101748582B1
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최지훈
조성윤
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Abstract

본 발명은 프로브핀의 직진도 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프로브핀을 프로브카드에 본딩하기 이전에 프로브핀의 직진도를 검사하여 직진성이 불량한 프로브핀을 제거하기 위한 프로브핀의 직진도 검사 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 본 발명의 일실시예는 프로브카드에 밀착되는 몸체부, 반도체 칩과 접촉되는 검침부 및 상기 몸체부로부터 상기 검침부로 수평하게 연장되는 직진부를 갖는 프로브핀의 직진도를 검사하는 프로브핀의 직진도 검사 장치로서, 비젼모듈 및 검사모듈을 포함한다. 비젼모듈은 상기 검침부가 상측을 향하도록 상기 프로브핀이 수직으로 세워진 상태에서, 상기 직진부의 상면 형상을 촬영한다. 검사모듈은 상기 비젼모듈에 의해 촬영된 형상 정보로부터 상기 직진부의 길이방향에 대한 직진도를 검사한다.The present invention relates to an apparatus and method for inspecting straightness of a probe pin. More particularly, the present invention relates to a probe pin for inspecting the straightness of a probe pin before bonding the probe pin to the probe card, And a method for inspecting straightness. According to an embodiment of the present invention, there is provided a probe pin for inspecting a straightness of a probe pin having a body portion which is brought into close contact with a probe card, a meter reading portion which is in contact with the semiconductor chip, and a straight portion extending horizontally from the body portion to the meter reading portion. And includes a vision module and an inspection module. The vision module photographs a top surface shape of the straight portion in a state where the probe pin is vertically erected so that the probe portion faces upward. The inspection module checks the straightness with respect to the longitudinal direction of the straight portion from the shape information shot by the vision module.

Description

프로브핀의 직진도 검사 장치 및 방법{STRAIGHT DEGREE INSPECTION APPARATUS AND METHOD FOR PROBE PIN}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a probe for inspecting straightness of a probe pin,

본 발명은 프로브핀의 직진도 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프로브핀을 프로브카드에 본딩하기 이전에 프로브핀의 직진도를 검사하여 직진성이 불량한 프로브핀을 제거하기 위한 프로브핀의 직진도 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for inspecting straightness of a probe pin. More particularly, the present invention relates to a probe pin for inspecting the straightness of a probe pin before bonding the probe pin to the probe card, And a method for inspecting straightness.

일반적으로, 프로브핀은 웨이퍼로부터 컷팅되어 정렬된 후에 프로브카드로 이송되어 본딩된다. 그러나, 이 과정에서 프로브핀은 외력에 의해 휨이나 변형 등의 불량이 발생하게 될 수 있다.Generally, the probe pins are cut and aligned from the wafer, and then transferred to and bonded to the probe card. However, in this process, defects such as warping and deformation may be caused by the external force of the probe pin.

도 1은 프로브핀의 직진도를 나타낸 직진부의 상면도이고, 도 1의 (a)는 직진성을 갖는 프로브핀을 나타낸 직진부의 상면도이다. 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 프로브핀(10)의 직진부(12)의 일측면이 직선형인 프로브핀(10)의 길이방향축과 일치할 때, 프로브핀(10)의 직진부(12)는 직진성을 갖는다고 판단된다.FIG. 1 is a top view of a straight portion showing a straight line of a probe pin, and FIG. 1 (a) is a top view of a straight portion showing a probe pin having a straight line. When the one side of the straight portion 12 of the probe pin 10 coincides with the longitudinal axis of the straight probe pin 10 as shown in Figure 1 (a) It is judged that the part 12 has a straightness.

반면에, 도 1의 (b)는 직진성이 불량하다고 판단되는 프로브핀을 나타낸 직진부의 상면도이다. 도1 의 (b)에 도시된 바와 같이, 프로브핀(10)의 직진부(12)는 웨이퍼상에서 컷팅될 때, 또는 이송과정 등에서 외력을 받아 변형이 발생할 수 있다. 일 예로, 직진부(12)는 일단부에서 타단부로 갈수록 휘어져 직진부(12)의 타단부가 직진부(12)의 길이방향축으로부터 소정의 거리(d)만큼 이격될 수 있다. 즉, 프로브핀(10)의 직진부(12)는 일측면이 직진부(12)의 길이방향축과 일치하지 않게 된다. 이처럼, 직진부(12)의 직진성이 불량한 프로브핀(10)은 프로브카드에 본딩될 경우, 프로브핀(10)과 반도체 칩이 정밀하게 접촉되지 않을 수 있다. On the other hand, FIG. 1 (b) is a top view of a straight portion showing a probe pin which is judged to have a bad linearity. As shown in FIG. 1 (b), the straight portion 12 of the probe pin 10 may receive an external force when it is cut on the wafer, or in a transfer process, and may be deformed. For example, the straight portion 12 may be bent from one end to the other end, and the other end of the straight portion 12 may be spaced apart from the longitudinal axis of the straight portion 12 by a predetermined distance d. That is, one side of the straight portion 12 of the probe pin 10 does not coincide with the longitudinal axis of the straight portion 12. As described above, when the probe pin 10 having the poor straightness of the straight portion 12 is bonded to the probe card, the probe pin 10 and the semiconductor chip may not be brought into precise contact.

그러나, 종래에는 프로브핀(10)을 프로브카드에 본딩하기 이전에 프로브핀(10)의 직진도를 검사하지 않았다. 따라서, 직진성이 불량한 프로브핀(10)이 프로브카드에 본딩된 경우, 불량이 발생한 프로브핀(10)을 제거하고, 대응하는 위치에 다시 직진성을 갖는 프로브핀(10)을 본딩해야 하는 불편함이 있었다. However, in the past, the straightness of the probe pin 10 was not inspected before bonding the probe pin 10 to the probe card. Therefore, when the probe pin 10 having a poor linearity is bonded to the probe card, it is inconvenient to remove the probe pin 10 that has failed and to bond the probe pin 10 having the linearity again to the corresponding position there was.

정리하면, 종래에는 프로브핀(10)의 직진도를 검사하지 않고 프로브핀(10)을 프로브카드에 본딩하였기 때문에 직진성이 불량한 프로브핀(10)과 반도체 칩 사이에 정밀한 접촉이 이루어지지 않았다. 즉, 반도체 칩의 정상 유무에 대한 검사의 신뢰성이 저하되었다. 또한, 직진성이 불량한 프로브핀(10)을 프로브카드로부터 제거하고, 직진성을 갖는 프로브핀(10)을 다시 프로브카드에 본딩해야 했기 때문에 전체 공정 시간이 길어져 경제적이지 못하다는 문제점도 있었다.In summary, since the probe pin 10 is bonded to the probe card without checking the straightness of the probe pin 10 in the past, accurate contact between the probe pin 10 having a poor linearity and the semiconductor chip has not been achieved. That is, the reliability of the inspection for the presence or absence of the semiconductor chip is deteriorated. In addition, since the probe pin 10 having the poor linearity is removed from the probe card and the probe pin 10 having the linearity is again bonded to the probe card, the entire process time is long, which is not economical.

따라서, 프로브핀의 직진도를 검사할 수 있는 프로브핀의 직진도 검사 장치 및 방법이 필요하다.Therefore, there is a need for an apparatus and method for inspecting the straightness of a probe pin that can check the straightness of the probe pin.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 프로브핀이 프로브카드에 본딩되기 이전에 프로브핀의 직진도를 검사하여 직진성이 불량한 프로브핀을 제거할 수 있도록 하기 위한 프로브핀의 직진도 검사 장치 및 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a device and method for inspecting straightness of a probe pin for inspecting a straightness of a probe pin before bonding the probe pin to a probe card to remove a probe pin having a poor linearity will be.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the precise form disclosed. There will be.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 프로브카드에 밀착되는 몸체부, 반도체 칩과 접촉되는 검침부 및 상기 몸체부로부터 상기 검침부로 수평하게 연장되는 직진부를 갖는 프로브핀의 직진도를 검사하는 프로브핀의 직진도 검사 장치로서, 상기 검침부가 상측을 향하도록 상기 프로브핀이 수직으로 세워진 상태에서, 상기 직진부의 상면 형상을 촬영하는 비젼모듈; 및 상기 비젼모듈에 의해 촬영된 형상 정보로부터 상기 직진부의 길이방향에 대한 직진도를 검사하는 검사모듈을 포함하는 프로브핀의 직진도 검사 장치를 제공한다.In order to accomplish the above object, according to one embodiment of the present invention, there is provided a probe card including a body portion closely attached to a probe card, a meter reading portion contacting the semiconductor chip, and a straight line extending from the body portion to the meter reading portion, A vision module for photographing a top surface shape of the straight portion in a state where the probe pin is vertically erected so that the probe portion faces upward; And an inspection module for inspecting the straightness with respect to the longitudinal direction of the rectilinear portion from the shape information photographed by the vision module.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 검사모듈은, 상기 비젼모듈에 의해 촬영된 상기 직진부의 일측면에 대해 양단부의 좌표를 산출하는 좌표산출부와, 복수의 상기 좌표가 상기 직진부의 동일 길이방향축상에 위치하는지 비교하여 상기 프로브핀의 직진도를 판단하는 좌표판단부를 포함할 수 있다.In the embodiment of the present invention, the inspection module may further include: a coordinate calculation section for calculating coordinates of both ends with respect to one side of the rectilinear section taken by the vision module; And a coordinate determiner for determining the straightness of the probe pin.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 양단부의 좌표 사이에 하나 이상의 좌표가 더 산출될 수 있다.In the embodiment of the present invention, more than one coordinate may be calculated between the coordinates of the both ends.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 검사모듈은, 상기 비젼모듈에 의해 촬영된 상기 직진부의 일측면의 양단부에 접선을 표시하는 접선표시부와, 복수의 상기 접선이 동일 직선상에 위치하는지 비교하여 상기 프로브핀의 직진도를 판단하는 접선판단부를 포함할 수 있다.In the embodiment of the present invention, the inspection module may further include: a tangential line display portion for displaying tangential lines at both ends of one side of the rectilinear portion taken by the vision module; and a comparison portion for comparing the plurality of tangential lines And a tangential line determining unit for determining the straightness of the probe pin.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 양단부의 접선 사이에 하나 이상의 접선이 더 표시될 수 있다.In the embodiment of the present invention, one or more tangents may be further displayed between the tangents of the both ends.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 프로브카드에 밀착되는 몸체부, 반도체 칩과 접촉되는 검침부 및 상기 몸체부로부터 상기 검침부로 수평하게 연장되는 직진부를 갖는 프로브핀의 직진도를 검사하는 프로브핀의 직진도 검사 방법으로서, a) 상기 검침부가 상측을 향하도록 상기 프로브핀이 수직으로 세워진 상태에서, 비젼모듈이 상기 직진부의 상면 형상을 촬영하는 단계 및 b) 상기 비젼모듈에 의해 촬영된 형상 정보로부터 상기 직진부의 길이방향에 대한 직진도를 검사하는 단계를 포함하는 프로브핀의 직진도 검사 방법을 제공한다.In order to accomplish the above object, according to one embodiment of the present invention, there is provided a probe card including a body portion closely attached to a probe card, a meter reading portion contacting the semiconductor chip, and a straight line extending from the body portion to the meter reading portion, A) imaging the top surface shape of the rectilinear portion in a state where the probe pin is vertically erected so that the probe portion faces upward, and b) And checking the straightness of the straight portion with respect to the longitudinal direction from the shape information taken by the straight portion.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 b) 단계는, b1) 상기 비젼모듈에 의해 촬영된 상기 직진부의 일측면에 대해 양단부의 좌표를 산출하는 단계와, b2) 복수의 상기 좌표가 상기 직진부의 동일 길이방향축상에 위치하는지 비교하여 상기 프로브핀의 직진도를 판단하는 단계를 포함할 수 있다.In the embodiment of the present invention, the step b) includes the steps of: b1) calculating coordinates of both ends with respect to one side of the rectilinear section taken by the vision module, and b2) And determining the straightness of the probe pin by comparing the position of the probe pin with the position of the probe pin.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 b1) 단계에서, 상기 양단부의 좌표 사이에 하나 이상의 좌표를 더 산출할 수 있다.In the embodiment of the present invention, in the step b1), one or more coordinates may be further calculated between the coordinates of the both ends.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 b2) 단계에서, 복수의 상기 좌표가 동일 길이방향축상에 위치할 때, 상기 직진부가 직진성을 갖는다고 판단할 수 있다.In the embodiment of the present invention, in the step b2), when the plurality of coordinates are located on the same longitudinal axis, it can be determined that the rectilinear section has the linearity.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 b) 단계는, b1) 상기 비젼모듈에 의해 촬영된 상기 직진부의 일측면의 양단부에 접선을 표시하는 단계와, b2) 상기 양단부의 접선이 동일 직선상에 위치하는지 비교하여 상기 프로브핀의 직진도를 판단하는 단계를 포함할 수 있다.In the embodiment of the present invention, the step b) includes the steps of: b1) displaying a tangent line at both ends of one side of the rectilinear section taken by the vision module, and b2) And determining the straightness of the probe pin.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 b1) 단계에서, 상기 양단부의 접선 사이에 하나 이상의 접선을 더 표시할 수 있다.In the embodiment of the present invention, in the step b1), one or more tangents may further be displayed between the tangents of the both ends.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 b2) 단계에서, 복수의 상기 접선이 동일 직선상에 위치할 때, 상기 직진부가 직진성을 갖는다고 판단할 수 있다.In the embodiment of the present invention, in the step b2), when the plurality of tangential lines are located on the same straight line, it can be determined that the straight line has the linearity.

본 발명의 실시예에 따르면, 프로브핀의 직진도를 정확하게 검사할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, the straightness of the probe pin can be accurately checked.

또한, 프로브핀이 프로브카드에 본딩되기 전에 프로브핀의 직진도를 검사하기 때문에, 프로브핀의 직진성이 불량한 경우, 프로브핀을 프로브카드에 본딩시키기 전에 미리 제거할 수 있다. 따라서, 직진성이 불량한 프로브핀을 프로브카드로부터 제거하고 직진성이 양호한 프로브핀을 다시 프로브카드에 본딩시키는 작업을 수행하지 않아도 된다는 점에서 경제적이다.In addition, since the straightness of the probe pin is inspected before the probe pin is bonded to the probe card, if the probe pin has a bad linearity, the probe pin can be removed before bonding the probe pin to the probe card. Therefore, it is economical in that it is not necessary to perform the operation of removing the probe pin having a poor linearity from the probe card and bonding the probe pin having a good linearity to the probe card again.

그리고, 프로브카드에 직진성을 갖는 프로브핀만 본딩되기 때문에 프로브핀이 반도체 칩과 정밀한 접촉이 가능하다. 즉, 프로브핀이 반도체 칩을 검사할 때, 검사의 신뢰성이 향상된다.Since only the probe pin having a straightness is bonded to the probe card, the probe pin can be brought into precise contact with the semiconductor chip. That is, when the probe pin inspects the semiconductor chip, the reliability of the inspection is improved.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the effects of the present invention are not limited to the above effects and include all effects that can be deduced from the detailed description of the present invention or the configuration of the invention described in the claims.

도 1은 프로브핀의 직진도를 나타낸 직진부의 상면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치의 측면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치에 의해 직진도가 검사되는 프로브핀의 상면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예 및 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 방법의 순서도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 방법의 프로브핀의 직진도를 검사하는 단계의 순서도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치의 측면도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치에 의해 직진도가 검사되는 프로브핀의 상면도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 방법의 프로브핀의 직진도를 검사하는 단계의 순서도이다.1 is a top view of a straight portion showing a straight line of a probe pin.
2 is a front view of a straightness inspection apparatus for a probe pin according to the first embodiment of the present invention.
3 is a side view of a straightness inspection apparatus for a probe pin according to a first embodiment of the present invention.
4 is a top view of a probe pin in which the straightness is checked by the apparatus for inspecting the straightness of the probe pin according to the first embodiment of the present invention.
5 is a flowchart of a method of inspecting straightness of a probe pin according to the first embodiment and the second embodiment of the present invention.
6 is a flowchart of a step of checking the straightness of a probe pin in the method of inspecting straightness of a probe pin according to the first embodiment of the present invention.
7 is a side view of the apparatus for inspecting the straightness of a probe pin according to the second embodiment of the present invention.
8 is a top view of a probe pin in which the straightness is inspected by the apparatus for inspecting the straightness of the probe pin according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a flowchart of a step of checking straightness of a probe pin of a straightness inspection method of a probe pin according to a second embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and similar parts are denoted by like reference characters throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" (connected, connected, coupled) with another part, it is not only the case where it is "directly connected" "Is included. Also, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements, not excluding other elements unless specifically stated otherwise.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치의 정면도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치의 측면도이다. FIG. 2 is a front view of an apparatus for inspecting a straightness of a probe pin according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a side view of a straightness testing apparatus for a probe pin according to the first embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 프로브핀(10)은 프로브카드에 밀착되는 몸체부(11), 반도체 칩에 접촉하여 반도체 칩의 정상유무를 검사하는 검침부(13) 및 몸체부(11)의 상측으로부터 연장되되 몸체부(11)의 길이 방향으로 수평하게 연장되어 검침부(13)와 연장되는 직진부(12)를 갖는다. 이때, 검침부(13)는 직진부(12)로부터 수직으로 연장되어 마련된다. 그리고, 도시된 것처럼 프로브핀(10)은 그립부(G)에 그립된 상태에서 프로브핀의 직진도 검사 장치(100)에 의해 검사가 이루어질 수 있다. 여기서, 그립부(G)는 고니오미터(goniometer)에 마련된 것일 수 있다. 고니오미터는 검침부(13)가 지면으로부터 수직을 이루도록 프로브핀(10)을 정렬하는 장치이다. 다만, 프로브핀(10)의 직진도 검사 시점은 프로브핀이 그립부(G)에 고정된 상태인 것으로 한정되지 않는다. 즉, 프로브핀(10)은 검침부(13)가 지면으로부터 수직을 이룰 때 직진도에 대한 검사가 이루어질 수 있다. 2 and 3, the probe pin 10 includes a body portion 11 which is brought into close contact with a probe card, a meter reading portion 13 which is in contact with the semiconductor chip to check whether the semiconductor chip is normal or not, 11 extending horizontally from the upper side of the body part 11 and horizontally extending in the longitudinal direction of the body part 11 to extend to the meter reading part 13 and the straight part 12. At this time, the meter reading unit 13 extends vertically from the straight portion 12. As shown in the drawing, the probe pin 10 can be inspected by the straightness testing apparatus 100 of the probe pin while gripping the grip portion G. [ Here, the grip portion G may be provided in a goniometer. The goniometer is a device for aligning the probe pin 10 such that the probe 13 is perpendicular to the ground. However, the probe of the probe pin 10 is not limited to the state in which the probe pin is fixed to the grip portion G. That is, the probe pin 10 can be inspected for straightness when the meter reading unit 13 is vertical from the ground.

제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치(100)는 비젼모듈(110) 및 검사모듈(120)을 포함한다.The apparatus for inspecting straightness of a probe pin 100 according to the first embodiment includes a vision module 110 and an inspection module 120.

비젼모듈(110)은 프로브핀(10)의 상부에 마련되는 촬영부(111)를 갖는다. 그리고, 촬영부(111)는 프로브핀(10)의 상면 형상을 촬영할 수 있다. 이때, 프로브핀(10)은 검침부(13)가 상측을 향하도록 수직으로 세워진 상태일 수 있다. The vision module 110 has a photographing unit 111 provided on the top of the probe pin 10. The photographing unit 111 can photograph the top surface shape of the probe pin 10. At this time, the probe pin 10 may be vertically erected so that the meter reading unit 13 faces upward.

검사모듈(120)은 비젼모듈(110)에 의해 촬영된 형상 정보로부터 직진부(12)의 길이방향에 대한 직진도를 검사할 수 있다.The inspection module 120 can check the straightness of the straight portion 12 in the longitudinal direction from the shape information captured by the vision module 110. [

검사모듈(120)은 비젼모듈(110)에 의해 촬영된 직진부(12)의 일측면에 대해 양단부의 좌표를 산출하는 좌표산출부(121)를 포함한다. 구체적으로, 좌표산출부(121)는 비젼모듈(110)에 의해 촬영된 직진부(12)의 상면 형상을 비젼모듈(110)로부터 제공받는다. 그리고, 좌표산출부(121)는 직진부(12)의 일측면에 대해 양단부의 좌표를 각각 산출하고, 산출한 좌표를 좌표판단부(122)에 제공한다. 이때, 좌표산출부(121)는 앞서 산출된 양단부의 좌표 사이에 하나 이상의 좌표를 더 산출할 수 있다.The inspection module 120 includes a coordinate calculation section 121 for calculating coordinates of both ends with respect to one side of the straight section 12 taken by the vision module 110. [ Specifically, the coordinate calculation unit 121 receives the top surface shape of the rectilinear section 12 taken by the vision module 110 from the vision module 110. The coordinate calculating unit 121 calculates the coordinates of both ends of one side of the rectilinear section 12 and provides the calculated coordinates to the coordinate determination unit 122. [ At this time, the coordinate calculation unit 121 may further calculate one or more coordinates between the coordinates of both ends calculated previously.

좌표판단부(122)는 복수의 좌표가 직진부(12)의 동일 길이방향축상에 위치하는지 비교하여 프로브핀(10)의 직진도를 판단할 수 있다. 구체적으로, 좌표판단부(122)는 좌표산출부(121)에 의해 산출된 복수의 좌표가 직진부(12)의 일측면에 접하도록 형성되는 길이방향축상에 위치하는지 비교할 수 있다. 그리고, 좌표판단부(122)는 복수의 좌표가 모두 직진부(12)의 동일 길이방향축상에 위치할 때, 해당 프로브핀(10)이 직진성을 갖는다고 판단할 수 있다. 여기서, 좌표판단부(122)는 좌표산출부(121)에 의해 산출된 좌표가 길이방향축으로부터 3㎛ 이내의 범위에 있을 때, 해당 좌표가 길이방향축상에 있다고 판단할 수 있다.The coordinate determination unit 122 can determine whether the probe pin 10 is straight or not by comparing a plurality of coordinates on the same longitudinal axis of the rectilinear section 12. [ Specifically, the coordinate determination unit 122 can compare whether or not a plurality of coordinates calculated by the coordinate calculation unit 121 are located on a longitudinal axis formed so as to be in contact with one side surface of the straight portion 12. The coordinate determination unit 122 can determine that the probe pin 10 has a linearity when all of the plurality of coordinates are located on the same longitudinal axis of the straight portion 12. Here, when the coordinate calculated by the coordinate calculating unit 121 is within a range of 3 占 퐉 from the longitudinal axis, the coordinate determining unit 122 can determine that the coordinate is on the longitudinal axis.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치에 의해 직진도가 검사되는 프로브핀의 상면도이다.4 is a top view of a probe pin in which the straightness is checked by the apparatus for inspecting the straightness of the probe pin according to the first embodiment of the present invention.

도 4를 더 참조하면, 도 4의 (a)는 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치에 의해 직진성을 갖는 것으로 판단되는 프로브핀의 상면도이다. 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 좌표산출부(121)는 직진부(12)의 일측면에 대해 양단부의 좌표(P1, P2)를 각각 산출할 수 있다. 그리고, 좌표판단부(122)는 양단부의 좌표(P1, P2)가 모두 동일한 길이방향축상에 위치하는지 비교할 수 있다. 이때, 도 4의 (a)에 도시된 양단부의 좌표(P1, P2)는 모두 동일한 길이방향축상에 위치한다. 이 경우, 좌표판단부(122)는 직진부(12)가 직진성을 갖는다고 판단한다.4 (a) is a top view of a probe pin that is determined to have a straightness by the apparatus for inspecting a straightness of a probe pin according to the first embodiment. As shown in Fig. 4 (a), the coordinate calculating section 121 can calculate coordinates (P1, P2) at both ends with respect to one side of the straight section 12, respectively. Then, the coordinate determination unit 122 can compare whether the coordinates (P1, P2) at both ends are on the same longitudinal axis. At this time, the coordinates (P1, P2) of both ends shown in Fig. 4 (a) are all located on the same longitudinal axis. In this case, the coordinate determination unit 122 determines that the linear portion 12 has linearity.

한편, 도 4의 (b)는 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치에 의해 직진성이 불량한 것으로 판단되는 프로브핀의 상면도이다. 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 직진부(12)는 일단부에서 타단부로 갈수록 휘어진 상태일 수 있다. 이때, 좌표산출부(121)로부터 산출된 양단부의 좌표(P1, P2) 중 일단부의 좌표(P1)는 직진부(12)의 길이방향축상에 위치하는 반면, 타단부의 좌표(P2)는 직진부(12)의 길이방향축상에 위치하지 않는다. 이 경우, 좌표판단부(122)는 직진부(12)의 직진성이 불량하다고 판단한다.4 (b) is a top view of the probe pin which is judged to have a poor linearity by the straightness inspection apparatus of the probe pin according to the first embodiment. As shown in FIG. 4 (b), the rectilinear section 12 may be bent from one end to the other end. At this time, the coordinate P1 at one end of the coordinates P1 and P2 at both ends calculated from the coordinate calculating unit 121 is located on the longitudinal axis of the rectilinear section 12, while the coordinate P2 at the other end is straight Is not located on the longitudinal axis of the part (12). In this case, the coordinate determination unit 122 determines that the linearity of the rectilinear section 12 is poor.

또한, 도 4의 (c)는 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치에 의해 직진성이 불량한 것으로 판단되는 프로브핀의 상면도이다. 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 직진부(12)의 중간부분에만 휨이 발생하여 일단부의 좌표(P1)와 타단부의 좌표(P2)가 동일 길이방향축상에 위치할 수 있다. 따라서, 좌표산출부(121)는 일단부의 좌표(P1)와 타단부의 좌표(P2) 사이에 하나 이상의 좌표를 더 산출할 수 있다. 즉, 도시된 것처럼 일단부의 좌표(P1)와 타단부의 좌표(P2) 사이에 추가적으로 좌표(P3)를 마련하고, 좌표판단부(122)가 산출된 복수의 좌표(P1, P2, P3)가 동일 길이방향축상에 위치하는지 비교할 수 있다. 이때, 양단부의 좌표(P1, P2)는 길이방향축상에 위치하나 중간에 위치한 좌표(P3)는 길이방향축상에 위치하지 않는다. 이 경우, 좌표판단부(122)는 직진부(12)의 직진성이 불량하다고 판단한다. 따라서, 좌표산출부(121)가 산출하는 좌표가 많아질수록 프로브핀(10)의 직진도를 더욱 정확하게 검사할 수 있다.4 (c) is a top view of the probe pin which is judged to have a poor linearity by the linearity testing apparatus of the probe pin according to the first embodiment. As shown in Fig. 4C, warpage may occur only in the middle portion of the straight portion 12, and the coordinates P1 of the one end and the coordinates P2 of the other end may be located on the same longitudinal axis. Therefore, the coordinate calculation unit 121 can further calculate one or more coordinates between the coordinate P1 at the one end and the coordinate P2 at the other end. That is, as shown in the drawing, the coordinate P3 is additionally provided between the coordinate P1 of the one end portion and the coordinate P2 of the other end portion, and the coordinates (P1, P2, P3) calculated by the coordinate determination portion 122 are It can be compared whether it is located on the same longitudinal axis. At this time, the coordinates (P1, P2) at both ends are located on the longitudinal axis but the coordinates (P3) located at the middle are not located on the longitudinal axis. In this case, the coordinate determination unit 122 determines that the linearity of the rectilinear section 12 is poor. Therefore, as the coordinates calculated by the coordinate calculating section 121 increases, the straightness of the probe pin 10 can be more accurately inspected.

이하, 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 방법을 설명하도록 한다.Hereinafter, the straightness inspection method of the probe pin according to the first embodiment will be described.

도 5는 본 발명의 제1 실시예 및 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 방법의 순서도이고, 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 방법의 프로브핀의 직진도를 검사하는 단계의 순서도이다.FIG. 5 is a flow chart of a method of inspecting the straightness of a probe pin according to the first embodiment and the second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a view illustrating a method of inspecting the straightness of the probe pin according to the first embodiment of the present invention. And the step of inspecting the straightness of the straight line.

도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 프로브핀의 직진도 검사 방법은 검침부가 상측을 향하도록 프로브핀이 수직으로 세워진 상태에서, 비젼모듈이 직진부의 상면 형상을 촬영하는 단계(S110) 및 비젼모듈에 의해 촬영된 형상 정보로부터 직진부의 길이방향에 대한 직진도를 검사하는 단계(S120)를 포함한다.As shown in FIGS. 2 to 6, in the method of inspecting the straightness of the probe pin, the vision module photographs the top surface shape of the straight portion in a state in which the probe pin stands vertically with the probe portion facing upward, And checking the straightness with respect to the longitudinal direction of the straight portion from the shape information photographed by the module (S120).

구체적으로, S110 단계는 먼저, 검침부(13)가 상측을 향하도록 프로브핀(10)을 수직으로 세운다. 그리고, 비젼모듈(110)이 프로브핀(10)의 상부에 위치한 촬영부(111)를 통해 직진부(12)의 상면 형상을 촬영할 수 있다. 이때, 비젼모듈(110)은 촬영된 직진부(12)의 상면 형상 정보를 검사모듈(120)에 제공할 수 있다.Specifically, in step S110, first, the probe pin 10 is vertically set so that the meter reading unit 13 faces upward. The vision module 110 can photograph the top surface shape of the rectilinear section 12 through the photographing section 111 located above the probe pin 10. At this time, the vision module 110 can provide the inspection module 120 with the top surface shape information of the taken straight portion 12.

다음, S120 단계는 비젼모듈(110)에 의해 촬영된 형상 정보로부터 직진부(12)의 길이방향에 대한 직진도를 검사하는 단계이다. 구체적으로, S120 단계는 비젼모듈에 의해 촬영된 직진부의 일측면에 대해 양단부의 좌표를 산출하는 단계(S121) 및 복수의 좌표가 직진부의 동일 길이방향축상에 위치하는지 비교하여 프로브핀의 직진도를 판단하는 단계(S122)를 포함한다.Next, in step S120, the straightness of the rectilinear section 12 in the longitudinal direction is checked from the shape information captured by the vision module 110. Specifically, in step S120, a step S121 of calculating coordinates of both ends with respect to one side of the rectilinear section taken by the vision module and comparing the straightness of the probe pin with a plurality of coordinates are performed on the same longitudinal axis of the rectilinear section (S122).

S121단계는 우선, 좌표산출부(121)가 비젼모듈(110)에 의해 촬영된 직진부(12)의 상면 형상 정보를 제공받는다. 그리고, 좌표산출부(121)는 직진부(12)의 일측면에 대해 양단부의 좌표(P1, P2)를 각각 산출한 다음, 산출된 좌표를 좌표판단부(122)에 제공한다. 이때, S121 단계에서 좌표산출부(121)는 양단부의 좌표(P1, P2) 사이에 하나 이상의 좌표를 더 산출할 수 있다. In step S121, first, the coordinate calculation unit 121 receives the top surface shape information of the rectilinear section 12 taken by the vision module 110. The coordinate calculation unit 121 calculates coordinates (P1, P2) at both ends of one side of the straight portion 12, and then supplies the calculated coordinates to the coordinate determination unit 122. [ At this time, in step S121, the coordinate calculation unit 121 may calculate one or more coordinates between coordinates (P1, P2) at both ends.

S122 단계에서 좌표판단부(122)는 좌표산출부(121)에 의해 산출된 복수의 좌표가 직진부(12)의 일측면에 형성되는 길이방향축상에 위치하는지 비교할 수 있다. 그리고, 좌표판단부(122)는 복수의 좌표가 모두 직진부(12)의 동일 길이방향축상에 위치할 때, 프로브핀(10)이 직진성을 갖는다고 판단할 수 있다. 여기서, 좌표판단부(122)는 좌표산출부(121)에 의해 산출된 좌표가 길이방향축으로부터 3㎛ 이내의 범위에 있을 때, 해당 좌표가 길이방향축상에 있다고 판단할 수 있다. 반면에, 좌표판단부(122)는 복수의 좌표 중 하나 이상의 좌표가 직진부(12)의 동일 길이방향축상에 위치하지 않을 경우, 프로브핀(10)의 직진성이 불량하다고 판단할 수 있다.In step S122, the coordinate determination unit 122 may compare whether the plurality of coordinates calculated by the coordinate calculation unit 121 are located on a longitudinal axis formed on one side of the straight section 12. [ The coordinate determination unit 122 can determine that the probe pin 10 has a linearity when all of the plurality of coordinates are located on the same longitudinal axis of the straight portion 12. [ Here, when the coordinate calculated by the coordinate calculating unit 121 is within a range of 3 占 퐉 from the longitudinal axis, the coordinate determining unit 122 can determine that the coordinate is on the longitudinal axis. On the other hand, if the coordinates of one or more of the plurality of coordinates are not located on the same longitudinal axis of the straight section 12, the coordinate determination section 122 can determine that the straightness of the probe pin 10 is poor.

한편, 도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치의 측면도이다.7 is a side view of a straightness inspection apparatus of a probe pin according to a second embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 제2 실시예에 따른 프로브핀 직진도 검사장치(200)는 비젼모듈(210) 및 검사모듈(220)을 포함한다.7, the probe pin straightness inspection apparatus 200 according to the second embodiment includes a vision module 210 and an inspection module 220. As shown in FIG.

비젼모듈(210)은 프로브핀(10)의 상부에 마련되는 촬영부(211)를 갖는다. 그리고, 촬영부(211)는 프로브핀(10)의 상면 형상을 촬영할 수 있다. 이때, 프로브핀(10)은 검침부(13)가 상측을 향하도록 수직으로 세워진 상태일 수 있다. The vision module 210 has a photographing unit 211 provided on the top of the probe pin 10. The photographing unit 211 can photograph the top surface shape of the probe pin 10. At this time, the probe pin 10 may be vertically erected so that the meter reading unit 13 faces upward.

검사모듈(220)은 비젼모듈(210)에 의해 촬영된 형상 정보로부터 직진부(12)의 길이방향에 대한 직진도를 검사할 수 있다. The inspection module 220 can check the straightness of the straight portion 12 in the longitudinal direction from the shape information taken by the vision module 210. [

검사모듈(220)은 비젼모듈(210)에 의해 촬영된 직진부(12)의 일측면의 양단부에 접선을 표시하는 접선표시부(221)를 포함한다. 구체적으로, 접선표시부(221)는 비젼모듈(210)에 의해 촬영된 프로브핀(10)의 상면 형상을 비젼모듈(210)로부터 제공받는다. 그리고, 접선표시부(221)는 직진부(12)의 일측면의 양단부에 접선을 표시하여 표시된 접선을 접선판단부(222)에 제공한다. 이때, 접선표시부(221)는 앞서 표시된 양단부의 접선 사이에 하나 이상의 접선을 더 표시할 수 있다.The inspection module 220 includes a tangential display portion 221 that displays tangent lines at both ends of one side of the straight portion 12 taken by the vision module 210. More specifically, the tangential display unit 221 receives the top surface shape of the probe pin 10 photographed by the vision module 210 from the vision module 210. The tangential line display section 221 displays tangent lines at both ends of one side of the straight section 12 to provide a tangent line to the tangent line determination section 222. At this time, the tangential line display unit 221 may display one or more tangent lines between the tangent lines at both ends indicated above.

접선판단부(222)는 복수의 접선이 동일 직선상에 위치하는지 비교하여 프로브핀(10)의 직진도를 판단할 수 있다. 구체적으로, 접선판단부(222)는 접선표시부(221)에 의해 표시된 복수의 접선이 동일 직선상에 위치하는지 비교할 수 있다. 그리고, 접선판단부(122)는 복수의 접선이 모두 동일 직선상에 위치할 때, 대응되는 프로브핀(10)이 직진성을 갖는다고 판단할 수 있다. The tangent determining unit 222 can determine the straightness of the probe pin 10 by comparing a plurality of tangent lines on the same straight line. Specifically, the tangent determining unit 222 can compare whether or not a plurality of tangent lines displayed by the tangent display unit 221 are located on the same straight line. The tangent determining unit 122 can determine that the corresponding probe pin 10 has a linearity when all of the plurality of tangent lines are on the same straight line.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치에 의해 직진도가 검사되는 프로브핀의 상면도이다.8 is a top view of a probe pin in which the straightness is inspected by the apparatus for inspecting the straightness of the probe pin according to the second embodiment of the present invention.

도 8을 더 참조하면, 도 8의 (a)는 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치에 의해 직진성을 갖는 것으로 판단되는 프로브핀의 상면도이다. 도 8의 (a)에 도시된 바와 같이, 접선표시부(221)는 직진부(12)의 일측면의 양단부에 접선(L1, L2)을 각각 표시할 수 있다. 그리고, 접선판단부(122)는 양단부의 접선(L1, L2)이 동일 직선상에 위치하는지 비교할 수 있다. 이때, 도 8의 (a)에 도시된 양단부의 접선(L1, L2)는 동일 직선상에 위치한다. 이 경우, 접선판단부(222)는 직진부(12)가 직진성을 갖는다고 판단한다.8 (a) is a top view of a probe pin that is determined to have a straightness by the apparatus for inspecting a straightness of a probe pin according to the second embodiment. As shown in Fig. 8A, the tangential line display section 221 can display tangent lines L1 and L2 at both ends of one side of the straight section 12, respectively. The tangent determining unit 122 can compare whether the tangent lines L1 and L2 on both ends are on the same straight line. At this time, the tangents L1 and L2 at both ends shown in FIG. 8A are located on the same straight line. In this case, the tangential line determining unit 222 determines that the linear portion 12 has the linearity.

한편, 도 8의 (b)는 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치에 의해 직진성이 불량한 것으로 판단되는 프로브핀의 상면도이다. 도 8의 (b)에 도시된 바와 같이, 직진부(12)는 일단부에서 타단부로 갈수록 휘어진 상태일 수 있다. 이때, 접선표시부(221)로부터 표시된 양단부의 접선(L1, L2)은 서로 동일 직선상에 위치하지 않는다. 이 경우, 접선판단부(222)는 직진부(12)의 직진성이 불량하다고 판단한다.8 (b) is a top view of the probe pin which is judged to have a poor linear straightness by the straightness inspection apparatus of the probe pin according to the second embodiment. As shown in FIG. 8 (b), the rectilinear section 12 may be bent from one end to the other end. At this time, the tangent lines L1 and L2 of the both ends indicated from the tangential line display unit 221 are not located on the same straight line. In this case, the tangential line determining section 222 determines that the linearity of the linear section 12 is poor.

또한, 도 8의 (c)는 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 장치에 의해 직진성이 불량한 것으로 판단되는 프로브핀의 상면도이다. 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 직진부(12)의 중간부분에만 휨이 발생하여 일단부의 접선(L1)과 타단부의 접선(L2)이 동일 직선상에 위치할 수 있다. 따라서, 접선표시부(221)는 일단부의 접선(L1)와 타단부의 접선(L2) 사이에 하나 이상의 접선을 더 산출할 수 있다. 즉, 도시된 것처럼 일단부의 접선(L1)과 타단부의 접선(L2) 사이에 추가적으로 접선(L3)을 더 마련하고, 접선판단부(222)가 표시된 복수의 접선(L1, L2, L3)이 동일 직선상에 위치하는지 비교할 수 있다. 이때, 양단부의 접선(L1, L2)은 동일 직선상에 위치하나 중간에 위치한 접선(L3)은 양단부의 접선(L1, L2)과 동일 직선상에 위치하지 않는다. 이 경우, 접선판단부(222)는 직진부(12)의 직진성이 불량하다고 판단한다. 즉, 접선표시부(221)가 표시하는 접선이 많아질수록 프로브핀(10)의 직진도를 더욱 정확하게 검사할 수 있다.8 (c) is a top view of the probe pin which is judged to have a poor linearity by the linearity testing apparatus of the probe pin according to the second embodiment. The tangential line L1 at one end and the tangent line L2 at the other end may be located on the same straight line as shown in Fig. 8 (c), where bending occurs only in the middle portion of the straight portion 12. [ Therefore, the tangential line display section 221 can further calculate one or more tangents between the tangent line L1 at one end and the tangent line L2 at the other end. More specifically, a tangent line L3 is additionally provided between the tangent line L1 at one end and the tangent line L2 at the other end, and a plurality of tangent lines L1, L2, L3 indicated by the tangent determining unit 222 It can be compared whether it is located on the same straight line. At this time, the tangent lines L1 and L2 on both ends are located on the same straight line, but the tangent line L3 located in the middle is not located on the same straight line as the tangent lines L1 and L2 on both ends. In this case, the tangential line determining section 222 determines that the linearity of the linear section 12 is poor. That is, as the number of tangents displayed by the tangential display unit 221 increases, the straightness of the probe pin 10 can be more accurately inspected.

이하, 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 방법을 설명하도록 한다.Hereinafter, the straightness inspection method of the probe pin according to the second embodiment will be described.

도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브핀의 직진도 검사 방법의 프로브핀의 직진도를 검사하는 단계의 순서도이다.FIG. 9 is a flowchart of a step of checking straightness of a probe pin of a straightness inspection method of a probe pin according to a second embodiment of the present invention.

도 5 및 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 프로브핀의 직진도 검사 방법은 검침부가 상측을 향하도록 프로브핀이 수직으로 세워진 상태에서, 비젼모듈이 직진부의 상면 형상을 촬영하는 단계(S110) 및 비젼모듈에 의해 촬영된 형상 정보로부터 직진부의 길이방향에 대한 직진도를 검사하는 단계(S120)를 포함한다.As shown in FIGS. 5 and 7 to 9, in the straight line inspection method of the probe pin, the vision module photographs the top surface shape of the straight portion in a state where the probe pin is vertically erected so that the probe portion faces upward, And checking the straightness with respect to the longitudinal direction of the straight portion from the shape information photographed by the vision module (S120).

구체적으로, S110 단계는 먼저, 검침부(13)가 상측을 향하도록 프로브핀(10)을 수직으로 세운다. 그리고, 비젼모듈(210)이 프로브핀(10)의 상부에 위치한 촬영부(211)를 통해 직진부(12)의 상면 형상을 촬영할 수 있다. 이때, 비젼모듈(210)은 촬영된 직진부(12)의 상면 형상 정보를 검사모듈(220)에 제공할 수 있다.Specifically, in step S110, first, the probe pin 10 is vertically set so that the meter reading unit 13 faces upward. The vision module 210 can photograph the top surface shape of the rectilinear section 12 through the photographing section 211 located above the probe pin 10. At this time, the vision module 210 can provide the inspection module 220 with the top surface shape information of the taken straight portion 12.

다음, S120 단계는 비젼모듈(110)에 의해 촬영된 형상 정보로부터 직진부(12)의 길이방향에 대한 직진도를 검사하는 단계이다. 구체적으로, S120 단계는 비젼모듈에 의해 촬영된 직진부의 일측면의 양단부에 접선을 표시하는 단계(S125) 및 양단부의 접선이 동일 직선상에 위치하는지 비교하여 프로브핀의 직진도를 판단하는 단계(S126)를 포함한다.Next, in step S120, the straightness of the rectilinear section 12 in the longitudinal direction is checked from the shape information captured by the vision module 110. Specifically, in operation S120, a step S125 of displaying a tangent line at both ends of one side of the rectilinear portion taken by the vision module, and a step of determining the straightness of the probe pin by comparing whether the tangent lines at both ends are on the same straight line S126).

S125 단계에서, 접선표시부(221)는 비젼모듈(210)에 의해 촬영된 프로브핀(10)의 상면 형상을 비젼모듈(210)로부터 제공받는다. 그리고, 접선표시부(221)는 직진부(12)의 일측면의 양단부에 접선(L1, L2)을 표시하여 표시된 접선(L1, L2)을 접선판단부(222)에 제공한다. 이때, 접선표시부(221)는 앞서 표시된 양단부의 접선(L1, L2) 사이에 하나 이상의 접선을 더 표시할 수 있다.In step S125, the tangential display unit 221 receives the top surface shape of the probe pin 10 photographed by the vision module 210 from the vision module 210. [ The tangential line display unit 221 displays tangent lines L1 and L2 at both ends of one side of the rectilinear section 12 and provides the tangent lines L1 and L2 to the tangent determining unit 222. [ At this time, the tangential line display unit 221 may display one or more tangent lines between the tangent lines L1 and L2 at both ends indicated above.

S126 단계에서, 접선판단부(222)는 복수의 접선이 동일 직선상에 위치하는지 비교하여 프로브핀(10)의 직진도를 판단할 수 있다. 구체적으로, 접선판단부(222)는 접선표시부(221)에 의해 표시된 복수의 접선이 동일 직선상에 위치하는지 비교할 수 있다. 그리고, 접선판단부(122)는 복수의 접선이 모두 동일 직선상에 위치할 때, 해당 프로브핀(10)이 직진성을 갖는다고 판단할 수 있다. 반면에, 접선판단부(122)는 복수의 접선 중 하나 이상이 동이리 직선상에 위치하지 않을 때, 해당 프로브핀(10)의 직진성이 불량하다고 판단할 수 있다.In step S126, the tangential line determining unit 222 can determine whether the probe pin 10 is straight or not by comparing the plurality of tangential lines on the same straight line. Specifically, the tangent determining unit 222 can compare whether or not a plurality of tangent lines displayed by the tangent display unit 221 are located on the same straight line. The tangential line determining unit 122 can determine that the probe pin 10 has a straight line when all of the plurality of tangential lines are on the same straight line. On the other hand, when at least one of the plurality of tangent lines is not located on the straight line, the tangent determining unit 122 can determine that the straightness of the probe pin 10 is poor.

전술한 바와 같이 마련된 프로브핀의 직진도 검사 장치(100,200) 및 방법은 프로브핀(10)의 직진도를 정확하게 검사할 수 있다. 또한, 프로브핀의 직진도 검사 장치(100,200) 및 방법은 프로브핀(10)을 프로브카드에 본딩시키기 이전 어느 시점에 프로브핀(10)의 직진도를 검사한다. 따라서, 프로브핀(10)의 직진성이 불량한 경우, 프로브핀(10)을 프로브카드에 본딩시키기 이전에 미리 제거할 수 있다. 즉, 직진성이 불량한 프로브핀(10)을 프로브카드로부터 제거하고 직진성을 갖는 프로브핀(10)을 다시 프로브카드에 본딩시키는 작업을 수행하지 않아도 된다는 점에서 경제적이다. 그리고, 프로브카드에 직진성을 갖는 프로브핀(10)만 본딩되기 때문에 프로브핀(10)이 반도체 칩과 정밀한 접촉이 가능하다. 즉, 프로브핀(10)이 반도체 칩과 접촉하여 반도체 칩의 정상 유무를 검사할 때, 검사의 신뢰성이 향상된다.The straightness testing apparatuses 100 and 200 of the probe pin prepared as described above can accurately check the straightness of the probe pin 10. [ Further, the straightness testing apparatuses 100 and 200 of the probe pin and the method check the straightness of the probe pin 10 at some point before bonding the probe pin 10 to the probe card. Therefore, if the straightness of the probe pin 10 is poor, the probe pin 10 can be removed before bonding the probe pin 10 to the probe card. That is, it is economical in that it is not necessary to perform an operation of removing the probe pin 10 having a poor linearity from the probe card and bonding the probe pin 10 having the linearity to the probe card again. Since only the probe pin 10 having the directivity is bonded to the probe card, the probe pin 10 can be brought into precise contact with the semiconductor chip. That is, when the probe pin 10 comes into contact with the semiconductor chip to check whether or not the semiconductor chip is normal, reliability of inspection is improved.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that the foregoing description of the present invention is for illustrative purposes only and that those of ordinary skill in the art can readily understand that various changes and modifications may be made without departing from the spirit or essential characteristics of the present invention. will be. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included within the scope of the present invention.

10: 프로브핀 11: 몸체부
12: 직진부 13: 검침부
100, 200: 프로브핀의 직진도 검사 장치 110, 210: 비젼모듈
111, 211: 촬영부 120, 220: 검사모듈
121: 좌표산출부 122: 좌표판단부
221: 접선표시부 222: 접선판단부
G: 그립부 P1, P2, P3: 좌표
L1, L2, L3: 접선10: probe pin 11:
12: straight portion 13: meter reading portion
100, 200: Straightness test apparatus for probe pins 110, 210: Vision module
111, 211: photographing unit 120, 220: inspection module
121: Coordinate calculating unit 122: Coordinate calculating unit
221: tangential line display section 222: tangential line determination section
G: grip part P1, P2, P3: coordinates
L1, L2, L3: Tangent

Claims (12)

프로브카드에 밀착되는 몸체부, 반도체 칩과 접촉되는 검침부 및 상기 몸체부로부터 상기 검침부로 수평하게 연장되는 직진부를 갖는 프로브핀의 직진도를 검사하는 프로브핀의 직진도 검사 장치로서,
상기 검침부가 상측을 향하도록 상기 프로브핀이 수직으로 세워진 상태에서, 상기 직진부의 상면 형상을 촬영하는 비젼모듈; 및
상기 비젼모듈에 의해 촬영된 형상 정보로부터 상기 직진부의 길이방향에 대한 직진도를 검사하는 검사모듈을 포함하며,
상기 검사모듈은, 상기 비젼모듈에 의해 촬영된 상기 직진부의 일측면에 대해 양단부의 좌표를 산출하는 좌표산출부와, 복수의 상기 좌표가 상기 직진부의 동일 길이방향축상에 위치하는지 비교하여 상기 프로브핀의 직진도를 판단하는 좌표판단부를 포함하는 것인 프로브핀의 직진도 검사 장치.A probe for inspecting the straightness of a probe pin for inspecting a straightness of a probe pin having a body portion which is brought into close contact with a probe card, a meter reading portion which is brought into contact with the semiconductor chip, and a straight portion extending horizontally from the body portion to the meter reading portion,
A vision module for photographing a top surface shape of the straight portion in a state where the probe pin is vertically erected so that the probe portion faces upward; And
And a checking module for checking the straightness with respect to the longitudinal direction of the straight portion from the shape information taken by the vision module,
The inspection module includes a coordinate calculation unit for calculating coordinates of both ends with respect to a side surface of the rectilinear portion taken by the vision module, and a control unit for comparing the plurality of coordinates with each other on the same longitudinal axis of the rectilinear unit, And a coordinate determination unit for determining the straightness of the probe pin. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 양단부의 좌표 사이에 하나 이상의 좌표가 더 산출되는 것인 프로브핀의 직진도 검사 장치.The method according to claim 1,
And at least one coordinate is further calculated between the coordinates of the both ends. 삭제delete 삭제delete 프로브카드에 밀착되는 몸체부, 반도체 칩과 접촉되는 검침부 및 상기 몸체부로부터 상기 검침부로 수평하게 연장되는 직진부를 갖는 프로브핀의 직진도를 검사하는 프로브핀의 직진도 검사 방법으로서,
a) 상기 검침부가 상측을 향하도록 상기 프로브핀이 수직으로 세워진 상태에서, 비젼모듈이 상기 직진부의 상면 형상을 촬영하는 단계; 및
b) 상기 비젼모듈에 의해 촬영된 형상 정보로부터 상기 직진부의 길이방향에 대한 직진도를 검사하는 단계를 포함하며,
상기 b) 단계는,
b1) 상기 비젼모듈에 의해 촬영된 상기 직진부의 일측면에 대해 양단부의 좌표를 산출하는 단계와,
b2) 복수의 상기 좌표가 상기 직진부의 동일 길이방향축상에 위치하는지 비교하여 상기 프로브핀의 직진도를 판단하는 단계를 포함하는 것인 프로브핀의 직진도 검사 방법.A method for inspecting a straightness of a probe pin for inspecting a straightness of a probe pin having a body portion which is brought into close contact with a probe card, a meter reading portion which is brought into contact with the semiconductor chip, and a straight portion extending horizontally from the body portion to the meter reading portion,
a) capturing a top surface shape of the rectilinear section in a state where the probe pin is vertically erected so that the probe unit faces upward; And
b) checking the straightness with respect to the longitudinal direction of the straight portion from the shape information taken by the vision module,
The step b)
b1) calculating coordinates of both ends with respect to one side of the straight portion taken by the vision module,
and b2) determining a straightness of the probe pin by comparing a plurality of the coordinates on the same longitudinal axis of the rectilinear section. 삭제delete 제 6 항에 있어서,
상기 b1) 단계에서, 상기 양단부의 좌표 사이에 하나 이상의 좌표를 더 산출하는 것인 프로브핀의 직진도 검사 방법.The method according to claim 6,
Wherein the step (b1) further calculates one or more coordinates between the coordinates of the both ends. 제 6 항에 있어서,
상기 b2) 단계에서, 복수의 상기 좌표가 동일 길이방향축상에 위치할 때, 상기 직진부가 직진성을 갖는다고 판단하는 것인 프로브핀의 직진도 검사 방법.The method according to claim 6,
And in the step b2), when the plurality of coordinates are located on the same longitudinal axis, the rectilinear section determines that the rectilinear section has the linearity. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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