KR101560558B1 - Method for manufacturing intravascular ultrasound transducers and intravascular ultrasound transducer structure thereby - Google Patents

Method for manufacturing intravascular ultrasound transducers and intravascular ultrasound transducer structure thereby Download PDF

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Abstract

본 발명은 혈관 삽입형 초음파 변환자 및 이에 따른 초음파 변환자 구조체에 관한 것으로서, 초음파 변환자는, FPCB(flexible printed circuit board), FPCB의 윗면에 형성된 제 1 신호 패드(signal pad) 및 FPCB의 아랫면에 형성된 제 2 신호 패드, FPCB의 윗면에 제 1 신호 패드와 상호 이격하여 형성된 그라운드 패드(ground pad) 및 미리 설정된 두께에 따라 래핑(lapping)되고 제 1 신호 패드의 윗면에 형성된 압전소자를 포함하되, 제 1 신호 패드와 제 2 신호 패드는 FPCB를 관통하는 바이어(via)를 통해 전기적으로 연결되며, 압전소자, 제 1 신호 패드, 그라운드 패드, FPCB 및 제 2 신호 패드가 적층된 소자는 IVUS(intravascular ultrasound)를 위한 임계 크기 이하가 되도록 적층 방향에 따라 절삭(dicing)됨으로써 생성된다.The ultrasonic transducer comprises a flexible printed circuit board (FPCB), a first signal pad formed on the upper surface of the FPCB, and a second signal pad formed on the lower surface of the FPCB. A second signal pad, a ground pad formed on the upper surface of the FPCB and spaced apart from the first signal pad, and a piezoelectric element lapping according to a predetermined thickness and formed on the upper surface of the first signal pad, 1 signal pad and the second signal pad are electrically connected via a via through the FPCB, and a device in which a piezoelectric element, a first signal pad, a ground pad, an FPCB, and a second signal pad are stacked is formed of an intravascular ultrasound ) In the stacking direction so as to be equal to or smaller than the critical dimension for the thickness direction.

Description

혈관 삽입형 초음파 변환자 및 이에 따른 초음파 변환자 구조체{Method for manufacturing intravascular ultrasound transducers and intravascular ultrasound transducer structure thereby}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an ultrasound transducer, and more particularly, to an ultrasound transducer having an intravascular ultrasound transducer,

본 발명은 의료 영상용 초음파 변환자에 관한 기술로, 특히 혈관 삽입형 초음파 영상에 핵심 소자인 고주파수 변환자 및 이에 따른 혈관 삽입형 초음파 변환자 구조체에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic transducer for medical imaging, and more particularly, to a high-frequency transducer as a core element in an intravascular ultrasound image and an ultrasound transducer structure for insertion of the same.

초음파(ultrasound, US) 영상은 초음파 프로브(probe)를 이용하여 인체 내의 관찰 영역에 초음파 신호를 인가하고 조직으로부터 반사되어 돌아오는 초음파 신호를 수신하여 그 신호에 포함된 정보를 추출함으로써 관찰 영역의 구조 및 특성을 영상화하는 장비이다. 이는 X-ray, CT, MRI, PET 등의 다른 의료영상 시스템들과 비교하였을 때 낮은 비용으로 인체에 해가 없는 실시간 영상을 얻을 수 있다는 장점을 갖는다.An ultrasound (US) image is obtained by applying an ultrasound signal to an observation region in a human body using an ultrasonic probe and receiving an ultrasound signal reflected from the tissue to extract information contained in the signal, And imaging equipment. This has the advantage that real-time images without harm to human body can be obtained at low cost when compared with other medical imaging systems such as X-ray, CT, MRI, and PET.

한편, IVUS(Intravascular Ultrasound) 영상 기술은 혈관 내부에서 동맥의 실시간 단면도 내지는 혈관 내에 발병한 질병을 영상화하는 영상 처리 기술과 방식을 말하는데, 인구 고령화와 심장병 등의 만성질환을 가진 인구 증가가 시장 성장을 뒷받침하고 있으며 저렴한 치료가 전세계적으로 요구되고 있다. 이러한 상황 하에서 IVUS는 관상동맥 질병의 조기 발견과 예방에 있어서 지금까지 불가능했던 요건에 대처할 수 있는 것으로서 매우 큰 잠재력을 가지고 있다. 또한, 이 기술은 몇몇 국제적 임상연구에서 밝혀진 것처럼 기존의 혈관 조영법보다 장점이 많기 때문에 인기가 높아지고 있다. 좌측 주요 질병(left main disease)과 만성완전폐색, 하지 말초동맥질환, 혈관형성 유도를 위한 IVUS 사용은 이 기술의 주요 기회 분야이다. Meanwhile, IVUS (Intravascular Ultrasound) imaging technology refers to image processing techniques and methods that image diseases occurring in real-time sections or vessels of blood vessels inside the blood vessels. The population growth with chronic diseases such as population aging and heart disease causes market growth And are in demand worldwide for inexpensive treatment. Under these circumstances, IVUS has great potential as it can meet the requirements that were not possible in the early detection and prevention of coronary artery disease. In addition, this technology is becoming more popular because of its advantages over traditional angiography methods, as revealed by some international clinical studies. The use of IVUS for left main disease and chronic complete obliteration, lower limb artery disease, and angiogenesis is a major opportunity for this technology.

이러한 IVUS 영상 구현을 위해서는 그 핵심 소자인 고주파수 변환자의 적절한 효율과 가격에 따라 제작되어야 할 필요가 있다. IVUS는 변환자를 혈관에 삽입하여 영상화를 수행하기 때문에 변환자의 지름은 1mm 이내이어야 하고, 고해상도 영상을 획득하기 위해서 사용하는 주파수는 20-100 MHz 대역의 고주파수이다. 소형이면서도 높은 주파수의 초음파를 송수신할 수 있으면서 일회용으로 그 제작 단가가 낮아야 하기 때문에 효율적이며 경제적인 IVUS 변환자의 제작 방법이 IVUS 영상기기의 핵심 기술 장벽이 된다. 이하에서 제시된 선행기술문헌에는 IVUS 영상 구현을 위한 배열(array) 초음파 변환자(transducer)에 관하여 기술되어 있다.In order to realize such an IVUS image, it needs to be manufactured in accordance with the efficiency and price of the high-frequency converter which is a core element. Because IVUS inserts the transducer into the blood vessel and performs imaging, the diameter of the transducer should be within 1mm, and the frequency used to obtain the high resolution image is the high frequency in the 20-100 MHz band. Since it is possible to transmit and receive ultrasonic waves in small size and high frequency, the cost of manufacturing the IVUS transducer must be low. Therefore, an efficient and economical way of manufacturing the IVUS transducer becomes a core technology barrier of the IVUS imaging device. The following prior art documents describe an array ultrasound transducer for IVUS imaging.

원형 배열 초음파 트랜스듀서의 개발, 김희원, 노용래, 한국음향학회 2002년도 하계학술발표대회 논문집 제21권 1호 Development of a Circular Array Ultrasonic Transducer, Hee Won Kim, Yong Rae, The Acoustical Society of Korea,

본 발명의 실시예들이 해결하고자 하는 기술적 과제는, IVUS를 위한 초음파 변환자가 높은 동작 주파수를 갖고, 각 구성 소재의 두께가 매우 얇으며, 혈관에 삽입 가능한 정도로 초소형의 어퍼쳐(aperture) 크기를 갖도록 제작함에 있어서 효과적이고 경제적인 수율을 제공할 수 없다는 한계를 극복하고, 초음파 변환자의 제작에 있어서 접착제의 사용으로 인해 수요자가 원하는 변환자의 특성을 달성하기 어려우며, 자연적인 집속점으로 인해 희망하는 빔 집속이 구현되지 못하는 문제점을 해결하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an ultrasound transducer for IVUS which has a high operating frequency and has a very small thickness of each constituent material and a very small aperture size It is difficult to achieve the characteristics of the transducer desired by the user due to the use of the adhesive in the production of the ultrasonic transducer, and it is difficult to achieve the desired beam focusing Which can not be realized.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 변환자는, FPCB(flexible printed circuit board); 상기 FPCB의 윗면에 형성된 제 1 신호 패드(signal pad) 및 상기 FPCB의 아랫면에 형성된 제 2 신호 패드; 상기 FPCB의 윗면에 상기 제 1 신호 패드와 상호 이격하여 형성된 그라운드 패드(ground pad); 및 미리 설정된 두께에 따라 래핑(lapping)되고 상기 제 1 신호 패드의 윗면에 형성된 압전소자;를 포함하되, 상기 제 1 신호 패드와 상기 제 2 신호 패드는 상기 FPCB를 관통하는 바이어(via)를 통해 전기적으로 연결되며, 상기 압전소자, 상기 제 1 신호 패드, 상기 그라운드 패드, 상기 FPCB 및 상기 제 2 신호 패드가 적층된 소자는 IVUS(intravascular ultrasound)를 위한 임계 크기 이하가 되도록 적층 방향에 따라 절삭(dicing)되어 생성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided an ultrasonic transducer comprising: a flexible printed circuit board (FPCB); A first signal pad formed on the upper surface of the FPCB and a second signal pad formed on the lower surface of the FPCB; A ground pad formed on the upper surface of the FPCB and spaced apart from the first signal pad; And a piezoelectric element lapping according to a predetermined thickness and formed on the upper surface of the first signal pad, wherein the first signal pad and the second signal pad are connected to each other via a via through the FPCB And the element in which the piezoelectric element, the first signal pad, the ground pad, the FPCB, and the second signal pad are stacked is cut along the lamination direction so as to be less than a critical size for IVUS (intravascular ultrasound) dicing.

일 실시예에 따른 상기 초음파 변환자에서, 미리 설정된 두께에 따라 래핑되고 상기 제 2 신호 패드의 아랫면에 형성되는 후면층(backing layer); 및 상기 압전소자의 윗면과 상기 그라운드 패드를 전기적으로 연결한 후, 미리 설정된 두께에 따라 래핑되고 상기 압전소자의 윗면에 형성되는 정합층(matching);을 더 포함하되, 상기 적층된 소자는 상기 후면층 및 상기 정합층을 포함하여 절삭되어 생성될 수 있다.A backing layer wrapped according to a predetermined thickness and formed on a bottom surface of the second signal pad in the ultrasonic transducer according to an exemplary embodiment; And a matching layer electrically connected to the upper surface of the piezoelectric element and the ground pad, the matching layer being wrapped according to a preset thickness and formed on the upper surface of the piezoelectric element, Layer and the matching layer.

일 실시예에 따른 상기 초음파 변환자에서, 상기 후면층 및 상기 정합층은, 전도성 물질 또는 비전도성 물질로 구성될 수 있다.In the ultrasonic transducer according to an embodiment, the back layer and the matching layer may be formed of a conductive material or a nonconductive material.

일 실시예에 따른 상기 초음파 변환자에서, 상기 압전소자를 상기 그라운드 패드와 연결하기 위하여 상기 FPCB 윗면에 전도성 물질이 증착될 수 있다.In the ultrasonic transducer according to an embodiment, a conductive material may be deposited on the upper surface of the FPCB to connect the piezoelectric element to the ground pad.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 변환자 구조체는, IVUS를 위한 혈관 삽입용 튜브(tube); 압전소자, 제 1 신호 패드, 상기 제 1 신호 패드와 이격하여 형성된 그라운드 패드, FPCB 및 상기 FPCB를 관통하는 바이어를 통해 상기 제 1 신호 패드와 전기적으로 연결되는 제 2 신호 패드가 순서대로 적층되고, 상기 튜브의 말단에 설치되어 초음파 영상을 획득하는 단일 소자의 초음파 변환자; 및 상기 튜브의 일측 벽과 상기 초음파 변환자 사이에 위치하여 상기 초음파 변환자의 대향 각도를 형성함으로써, 상기 초음파 변환자의 초음파 방사 각도가 상기 튜브의 삽입 방향과 달라지도록 조정하는 지지대;를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an ultrasound transducer structure comprising: a blood vessel insertion tube for IVUS; A first signal pad, a ground pad spaced apart from the first signal pad, a second signal pad electrically connected to the first signal pad via a FPCB and a via hole penetrating the FPCB, A single-element ultrasonic transducer installed at a distal end of the tube to acquire an ultrasonic image; And a supporter positioned between one side wall of the tube and the ultrasonic transducer to form an opposite angle of the ultrasonic transducer so that the angle of ultrasonic emission of the ultrasonic transducer is different from the insertion direction of the tube.

다른 실시예에 따른 상기 초음파 변환자 구조체에서, 상기 초음파 변환자는, FPCB의 윗면에 제 1 신호 패드와 그라운드 패드를 상호 이격시켜 형성하고, 상기 FPCB의 아랫면에 제 2 신호 패드를 형성하고, 상기 FPCB를 관통하는 바이어를 통해 상기 제 1 신호 패드와 상기 제 2 신호 패드를 전기적으로 연결하고, 미리 설정된 두께에 따라 래핑된 압전소자를 상기 제 1 신호 패드의 윗면에 형성하며, 상기 압전소자, 상기 제 1 신호 패드, 상기 그라운드 패드, 상기 FPCB 및 상기 제 2 신호 패드가 적층된 소자를 IVUS를 위한 임계 크기 이하가 되도록 적층 방향에 따라 절삭함으로써 단일 소자로서 제조될 수 있다.In the ultrasonic transducer structure according to another embodiment, the ultrasonic transducer may include a first signal pad and a ground pad spaced apart from each other on an upper surface of the FPCB, a second signal pad formed on a lower surface of the FPCB, The first signal pad and the second signal pad are electrically connected through a via penetrating through the first signal pad, and a piezoelectric element wrapped according to a predetermined thickness is formed on the upper surface of the first signal pad, 1 signal pad, the ground pad, the FPCB, and the second signal pad can be manufactured as a single element by cutting along the laminating direction so that the stacked elements are below the critical size for IVUS.

다른 실시예에 따른 상기 초음파 변환자 구조체에서, 상기 지지대에 의해 상기 초음파 변환자의 대향 각도는, 상기 튜브의 삽입 방향으로부터 0° 내지 90° 사이에서 결정됨으로써, 상기 튜브의 삽입 방향과 상기 튜브가 삽입되는 혈관의 벽면에 대한 초음파 영상을 동시에 획득하거나, 도플러(Doppler) 주파수를 추정하여 혈류 속도를 산출할 수 있다.In the ultrasonic transducer structure according to another embodiment, the opposing angle of the ultrasonic transducer by the supporter is determined between 0 and 90 degrees from the insertion direction of the tube, so that the inserting direction of the tube and the insertion The ultrasound image can be obtained simultaneously with the wall surface of the blood vessel, or the Doppler frequency can be estimated to calculate the blood flow velocity.

다른 실시예에 따른 상기 초음파 변환자 구조체에서, 상기 초음파 변환자는 직사각형으로 형성되고, 상기 초음파 변환자의 짧은 변의 길이는 적어도 상기 튜브의 지름 이하이고, 상기 초음파 변환자의 긴 변의 길이는 상기 튜브의 지름 이상이며, 상기 초음파 변환자의 긴 변이 상기 튜브의 내측 벽면을 따라 삽입될 수 있다.In the ultrasonic transducer structure according to another embodiment, the ultrasonic transducer is formed in a rectangular shape, the length of the short side of the ultrasonic transducer is at least the diameter of the tube, and the length of the long side of the ultrasonic transducer is not less than the diameter of the tube And a long side of the ultrasonic transducer can be inserted along the inner wall surface of the tube.

다른 실시예에 따른 상기 초음파 변환자 구조체에서, 상기 초음파 변환자가 설치된 상기 튜브의 말단은 상기 초음파 변환자의 초음파 방사 방향을 고려하여 절단면이 사선으로 형성될 수 있다.In the ultrasound transducer structure according to another embodiment, the end of the tube provided with the ultrasound transducer may be formed with a diagonal cut surface in consideration of the ultrasound radiation direction of the ultrasound transducer.

다른 실시예에 따른 상기 초음파 변환자 구조체에서, 상기 초음파 변환자는 중앙 면이 오목하도록 구배를 형성함으로써 상기 초음파 변환자의 기하학적 초점(geometrical focus)에 빔 집속할 수 있다. 또한, 다른 실시예에 따른 상기 초음파 변환자 구조체에서, 상기 초음파 변환자는 전면에 부착되는 볼록 렌즈를 더 포함함으로써 상기 초음파 변환자의 기하학적 초점에 빔 집속할 수 있다.In the ultrasound transducer structure according to another embodiment, the ultrasound transducer may focus the ultrasound transducer to the geometrical focus of the ultrasound transducer by forming a gradient such that the center plane is concave. In addition, in the ultrasonic transducer structure according to another embodiment, the ultrasonic transducer further includes a convex lens attached to the front surface thereof, so that the ultrasonic transducer can focus the beam to the geometrical focus of the ultrasonic transducer.

다른 실시예에 따른 상기 초음파 변환자 구조체에서, 상기 초음파 변환자는 상기 초음파 변환자의 일부 영역에 삽입되어 광음향 영상 및 광간섭단층촬영(optical coherence tomography, OCT) 영상을 위한 광 신호를 방사하는 광 소스 모듈을 더 포함할 수 있다.In the ultrasound transducer structure according to another embodiment of the present invention, the ultrasound transducer is inserted into a part of the ultrasound transducer to emit a light source for emitting a photoacoustic image and an optical signal for optical coherence tomography (OCT) Module. ≪ / RTI >

다른 실시예에 따른 상기 초음파 변환자 구조체는, 상기 제 2 신호 패드에 전기 신호를 공급하고, 상기 그라운드 패드에 하우징(housing)을 연결함으로써 접지시킬 수 있다.The ultrasonic transducer structure according to another embodiment may be grounded by supplying an electric signal to the second signal pad and connecting a housing to the ground pad.

본 발명의 실시예들은, 절삭을 통해 다수의 개별 단일 소자 IVUS 초음파 변환자를 동시에 생산할 수 있는 공정 기술을 제안함으로써, 접착제를 사용하지 않을 수 있고 정합층(matching layer) 및 후면층(backing layer) 제작에 전도성 물질을 사용하지 않고도 높은 동작 주파수와 초소형의 어퍼쳐 크기를 갖고 신호 연결 및 그라운드 접지가 용이한 초음파 변환자의 제조가 가능하며, 기하학적 초점을 통한 빔 집속을 구현할 수 있다.Embodiments of the present invention propose a process technique that allows simultaneous production of multiple discrete single-element IVUS ultrasound transducers through cutting, thereby eliminating the need for adhesives and creating a matching layer and a backing layer It is possible to manufacture an ultrasonic transducer having a high operating frequency and a small aperture size and facilitating signal connection and grounding without using a conductive material, and it is possible to realize beam focusing through a geometrical focus.

도 1은 본 발명의 일 실시예들에 따른 혈관 삽입형 초음파 변환자의 구조를 도시한 단면도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 혈관 삽입형 초음파 변환자를 제조 공정에 따라 위에서 보여지는 모습을 도시한 평면도이다.
도 2c는 도 2a 및 도 2b의 제조 공정의 마지막으로서 적층된 초음파 변환자를 절삭함으로써 단일 소자를 생성하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 혈관 삽입형 초음파 변환자를 제조하는 방법을 도시한 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 혈관 삽입형 초음파 변환자 구조체의 구조를 도시한 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 4의 초음파 변환자 구조체에서 빔 집속을 유도하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 4의 혈관 삽입형 초음파 변환자 구조체의 일부를 노출시켜 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 4의 혈관 삽입형 초음파 변환자 구조체에서 광음향 및 광간섭단층촬영(optical coherence tomography, OCT) 영상을 구현하는 방법을 설명하기 위한 예시도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 4의 혈관 삽입형 초음파 변환자 구조체에서 신호 공급과 접지 방법을 설명하기 위한 예시도이다.
1 is a cross-sectional view illustrating the structure of an intravascular ultrasound transducer according to one embodiment of the present invention.
FIG. 2A and FIG. 2B are plan views showing a state in which the vascular insertion type ultrasound transducer of FIG. 1 according to an embodiment of the present invention is viewed from above according to a manufacturing process.
FIG. 2C is a view for explaining a method of producing a single element by cutting a stacked ultrasonic transducer as a final step of the manufacturing process of FIGS. 2A and 2B.
3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an ultrasound transducer according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating the structure of an endovascular ultrasound transducer structure according to another embodiment of the present invention.
5A and 5B are views for explaining a method of guiding beam focusing in the ultrasonic transducer structure of FIG. 4 according to another embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a perspective view illustrating a part of the blood vessel insertion type ultrasound transducer structure of FIG. 4 according to another embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a view illustrating an optical coherence tomography (OCT) image in an ultrasound transducer of FIG. 4 according to another embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an exemplary view for explaining a signal supply and a grounding method in the blood vessel insertion type ultrasound transducer structure of FIG. 4 according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 실시예들이 채택하고 있는 기본 아이디어를 개괄적으로 제시한 후, 구체적인 기술적 수단을 순차적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, basic ideas adopted by embodiments of the present invention will be outlined, and specific technical means will be described sequentially.

IVUS를 위한 고주파수 구현이 어려운 배열 변환자가 아닌 단일 소자 변환자의 제작은 필요한 후면층(backing layer), 압전소자(piezoelectric material), 정합층(matching layer)의 각 재료들을 각각 원하는 크기 및 두께에 맞게 래핑(lapping) 및 절단한 뒤 각각을 접착제를 이용하여 붙이는 방법으로 제작할 수 있다. 하지만 IVUS 변환자는 각 재료의 두께가 얇고, 크기가 작아서 일반적인 단일 소자 변환자 제작 방법을 이용할 경우, 수요자가 원하는 변환자의 특성(초소형 및 고주파수)을 획득하기 어렵다. 특히, 고주파 구현에서 압전소자뿐만 아니라 후면층 및 정합층 물질의 종류 및 두께가 변환자 성능을 결정하는 가장 중요한 요소이나, 상기된 과정에서는 신호 공급과 접지를 용이하게 하기 위해 후면층 및 정합층 물질을 모두 전도성이 있는 것으로 사용하여 상기된 공정에 따를 경우 최적의 IVUS 변환자의 성능에 도달하기 어렵다.The fabrication of a single-element transducer, which is not an array converter that is difficult to implement for high frequencies for IVUS, requires wrapping each material of the required backing layer, piezoelectric material, and matching layer, lapping and cutting, and then sticking each of them using an adhesive. However, since the thickness of each material is small and the size is small, it is difficult to obtain the characteristics (ultraminiature and high frequency) of the transducer desired by the user when using a general single-element converter manufacturing method. Particularly, in the high-frequency implementation, the type and thickness of the back layer and the matching layer material as well as the piezoelectric element are the most important factors for determining the converter performance. In the above-described process, the back layer and the matching layer material Are all used as conductive materials, it is difficult to achieve the optimum IVUS converter performance according to the above-described process.

따라서, 이하에서 제시되는 본 발명의 실시예들은 FPCB를 이용하여 IVUS 초음파 변환자를 구성하는 각 재료들을 원하는 두께로 먼저 제작한 후 정합을 수행한 다음, 절삭(dicing)을 통해 여러 개의 개별 IVUS 변환자를 한 번에 제작할 수 있는 효율적이며 경제적인 공정 기술임과 동시에 후면층 및 정합층 물질이 전도성일 필요가 없어 최상의 IVUS 변환자 성능 획득이 가능한 공정 기술을 제안하고자 한다.Therefore, in the embodiments of the present invention described below, the materials constituting the IVUS ultrasound transducer are first fabricated to a desired thickness using the FPCB, then the matching is performed, and then a plurality of individual IVUS transformers are diced, It is an efficient and economical process technology that can be fabricated at one time, and it is not necessary for the back layer and matching layer materials to be conductive, and we propose a process technology capable of achieving the best IVUS converter performance.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나 이들 실시 예는 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 범위가 이에 의하여 제한되지 않는다는 것은 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It will be apparent to those skilled in the art, however, that these examples are provided to further illustrate the present invention, and the scope of the present invention is not limited thereto.

도 1은 본 발명의 일 실시예들에 따른 혈관 삽입형 초음파 변환자의 구조를 도시한 단면도로서, FPCB(flexible printed circuit board)(10)를 중심으로 2개의 신호 패드(signal pad)(11, 12), 1개의 그라운드 패드(ground pad)(13) 및 압전소자(Piezoelectric material)(14)를 구비한다.FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating the structure of an ultrasound transducer according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, two signal pads 11 and 12 are mounted on a flexible printed circuit board (FPCB) A ground pad 13, and a piezoelectric material 14, as shown in Fig.

제 1 신호 패드(11)는 상기 FPCB(10)의 윗면에 형성되고, 제 2 신호 패드(12)는 상기 FPCB(10)의 아랫면에 형성되며, 상기 제 1 신호 패드(11)와 상기 제 2 신호 패드(12)는 상기 FPCB(10)를 관통하는 적어도 하나 이상의 바이어(via)(15)를 통해 전기적으로 연결된다.The first signal pad 11 is formed on the upper surface of the FPCB 10 and the second signal pad 12 is formed on the lower surface of the FPCB 10. The first signal pad 11, The signal pad 12 is electrically connected through at least one via 15 penetrating the FPCB 10.

그라운드 패드(13)는 폴리이미드(polyimide)로 구현될 수 있는 FPCB(10)의 윗면에 위치하며, 상기 제 1 신호 패드(11)와 상호 이격하여 형성된다.The ground pad 13 is located on the upper surface of the FPCB 10, which may be implemented as a polyimide, and is spaced apart from the first signal pad 11.

압전소자(14)는 미리 설정된 두께에 따라 래핑(lapping)되고 상기 제 1 신호 패드(11)의 윗면에 형성된다. 또한, 상기 압전소자(14)를 상기 그라운드 패드(13)와 연결하기 위하여 상기 FPCB(10) 윗면에 전도성 물질이 증착될 수 있으며, 상기 전도성 물질은 크롬 또는 금이 될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The piezoelectric element 14 is lapped according to a preset thickness and is formed on the upper surface of the first signal pad 11. A conductive material may be deposited on the upper surface of the FPCB 10 to connect the piezoelectric device 14 to the ground pad 13. The conductive material may be chromium or gold but is not limited thereto .

이렇게 상기 압전소자(14), 상기 제 1 신호 패드(11), 상기 그라운드 패드(13), 상기 FPCB(10) 및 상기 제 2 신호 패드(12)가 적층된 소자(100)는 IVUS(intravascular ultrasound)를 위한 임계 크기 이하가 되도록 적층 방향에 따라 절삭(dicing)됨으로써 단일 소자(single element)를 생성한다. 예를 들어, 이러한 임계 크기는 적어도 혈관의 단면적보다는 작은 크기인 1mm × 1mm 이하로 결정될 수 있을 것이다.The element 100 in which the piezoelectric element 14, the first signal pad 11, the ground pad 13, the FPCB 10, and the second signal pad 12 are laminated is an intravascular ultrasound (IVUS) ) To be less than or equal to the critical size for the single-crystal silicon (Si). For example, such a critical dimension may be determined to be at least 1 mm x 1 mm, which is smaller than the cross-sectional area of the blood vessel.

이상과 같이 FPCB를 사용할 경우 기존 공정처럼 신호 공급과 접지를 용이하게 하기 위해 후면층 및 정합층 물질을 모두 전도성이 있는 것으로 사용할 필요 없이 FPCB 상에 위치한 신호 및 그라운드 패드를 통해 신호 공급 및 접지가 가능하고, 후면층(backing layer)(미도시)은 제 2 신호 패드(12) 밑면에 정합층(matching layer)(미도시)은 압전소자(14) 윗면에 정합할 수 있으며, 정합층 및 후면층은 전도성 물질에 제한되지 않고 초음파 변환자를 제작할 수 있다는 장점을 갖는다. 즉, 전도성 물질 또는 비전도성 물질의 제한이 없다. 따라서, 본 실시예의 경우, 앞서 설명한 바와 같은 최상의 변환자 성능 획득이 가능한 공정 기술로서 IVUS 변환자의 고주파수 특성 구현에 보다 유리하다.When using FPCB as above, it is possible to supply and ground signal through signal and ground pad located on FPCB without using both back layer and matching layer materials as conductive to facilitate signal supply and grounding like existing process. A backing layer (not shown) may be formed on the bottom of the second signal pad 12 and a matching layer (not shown) may be mated to the top surface of the piezoelectric element 14, Has the advantage of being able to produce an ultrasonic transducer without being limited to a conductive material. That is, there is no limitation on the conductive material or the nonconductive material. Therefore, in the case of this embodiment, it is more advantageous to implement the high-frequency characteristic of the IVUS converter as a process technology capable of obtaining the best converter performance as described above.

도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 혈관 삽입형 초음파 변환자를 제조 공정에 따라 위에서 보여지는 모습을 도시한 평면도이다.FIG. 2A and FIG. 2B are plan views showing a state in which the vascular insertion type ultrasound transducer of FIG. 1 according to an embodiment of the present invention is viewed from above according to a manufacturing process.

도 2a는 FPCB(10)의 윗면에 제 1 신호 패드(11)와 그라운드 패드(13)가 상호 이격되어 형성된 모습을 도시하고 있으며, FPCB(20)의 아랫면에는 제 2 신호 패드(미도시)가 형성되어 있다고 가정한다. 이러한 상황 하에서 제 1 신호 패드(11)와 제 2 신호 패드(미도시)를 연결하기 위해 바이어(15) 홀(hole)을 형성하여 양자(제 1 신호 패드 및 제 2 신호 패드)를 전기적으로 연결하고 있음을 보이고 있다. 도 2b는 도 2a의 공정에 연속하여, 제 1 신호 패드 상에 압전소자(14)가 형성되었음을 보이고 있다.2A shows a state in which the first signal pad 11 and the ground pad 13 are spaced apart from each other on the upper surface of the FPCB 10. A second signal pad (not shown) is formed on the lower surface of the FPCB 20 . Under these circumstances, a via hole 15 is formed to connect the first signal pad 11 and the second signal pad (not shown) to electrically connect the first signal pad 11 and the second signal pad . FIG. 2B shows that the piezoelectric element 14 is formed on the first signal pad in succession to the process of FIG. 2A.

도 2c는 도 2a 및 도 2b의 제조 공정의 마지막으로서 적층된 초음파 변환자를 절삭함으로써 단일 소자를 생성하는 방법을 설명하기 위한 도면으로서, 적층된 초음파 변환자(100)를 적층 방향에 따라 평면에 수직으로 절삭함으로써 다수의 단일 소자(101)를 연속적으로 제작할 수 있다.FIG. 2C is a view for explaining a method of producing a single element by cutting a stacked ultrasonic transducer as a final stage of the manufacturing process of FIGS. 2A and 2B. FIG. 2C is a plan view of a stacked ultrasonic transducer 100, A plurality of single elements 101 can be continuously manufactured.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 혈관 삽입형 초음파 변환자를 제조하는 방법을 도시한 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an ultrasound transducer according to an embodiment of the present invention.

S310 단계에서, FPCB의 윗면에 제 1 신호 패드와 그라운드 패드를 상호 이격시켜 형성한다.In step S310, the first signal pad and the ground pad are formed on the upper surface of the FPCB.

S320 단계에서, 상기 FPCB의 아랫면에 제 2 신호 패드를 형성한다.In step S320, a second signal pad is formed on the lower surface of the FPCB.

S330 단계에서, 상기 FPCB를 관통하는 바이어를 통해 상기 제 1 신호 패드와 상기 제 2 신호 패드를 전기적으로 연결한다.In step S330, the first signal pad and the second signal pad are electrically connected through a via penetrating the FPCB.

S340 단계에서, 미리 설정된 두께에 따라 래핑된 압전소자를 상기 제 1 신호 패드의 윗면에 형성한다.In step S340, a piezoelectric element wrapped according to a predetermined thickness is formed on the upper surface of the first signal pad.

S350 단계에서, 미리 설정된 두께에 따라 래핑된 후면층(backing layer)을 상기 제 2 신호 패드의 아랫면에 형성한다.In step S350, a backing layer wrapped according to a predetermined thickness is formed on the lower surface of the second signal pad.

S360 단계에서, 상기 압전소자의 윗면과 상기 그라운드 패드를 전기적으로 연결한 후, 미리 설정된 두께에 따라 래핑된 정합층(matching)을 상기 압전소자의 윗면에 형성한다. 이러한 전기적인 연결은 금 또는 크롬과 같은 물질을 이용하여 구현 가능하다. 한편, 이러한 후면층 및 정합층은, 전도성 물질 또는 비전도성 물질로 구성될 수 있다.In step S360, after the upper surface of the piezoelectric element is electrically connected to the ground pad, a matching layer wrapped according to a predetermined thickness is formed on the upper surface of the piezoelectric element. Such an electrical connection can be realized by using a material such as gold or chromium. On the other hand, the back layer and the matching layer may be composed of a conductive material or a non-conductive material.

S370 단계에서, 상기 압전소자, 상기 제 1 신호 패드, 상기 그라운드 패드, 상기 FPCB, 상기 제 2 신호 패드, 상기 후면층 및 상기 정합층이 적층된 소자를 IVUS를 위한 임계 크기 이하가 되도록 적층 방향에 따라 절삭함으로써 단일 소자를 생성한다. 예를 들어, 이러한 임계 크기는 적어도 혈관의 단면적보다는 작은 크기인 1mm × 1mm 이하로 결정될 수 있으나, 이후 제안될 초음파 변환자 구조체를 통해 기술될 구성과 같이 혈관 삽입을 위한 튜브의 길이 방향에 따라 소자의 일측 길이가 튜브의 지름보다 길게 제작하는 것도 가능하다. 다만, 이 경우에도 소자의 나머지 일측 길이는 튜브의 지름보다 짧게 제작되어야 함은 당연하다.In step S370, the elements in which the piezoelectric element, the first signal pad, the ground pad, the FPCB, the second signal pad, the back layer, and the matching layer are stacked are stacked in a stacking direction Followed by cutting to produce a single device. For example, such a critical dimension may be determined to be at least 1 mm x 1 mm, which is smaller than the cross-sectional area of the blood vessel. However, as will be described later through the proposed ultrasound transducer structure, It is also possible to make the length of one side longer than the diameter of the tube. In this case, however, it is natural that the length of the other side of the device should be shorter than the diameter of the tube.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 혈관 삽입형 초음파 변환자 구조체의 구조를 도시한 단면도로서, 크게 단일 소자의 초음파 변환자(101), 지지대(30) 및 튜브(20)를 포함한다.FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating the structure of an endovascular ultrasound transducer structure according to another embodiment of the present invention. The ultrasound transducer 101 includes a single-element ultrasound transducer 101, a support base 30, and a tube 20.

튜브(tube)(20)는 혈관 삽입용 IVUS를 위한 외측 몸체이다.The tube 20 is an outer body for IVUS for insertion of blood vessels.

단일 소자의 초음파 변환자(101)는, 압전소자, 제 1 신호 패드, 상기 제 1 신호 패드와 이격하여 형성된 그라운드 패드, FPCB 및 상기 FPCB를 관통하는 바이어를 통해 상기 제 1 신호 패드와 전기적으로 연결되는 제 2 신호 패드가 순서대로 적층되고, 상기 튜브의 말단에 설치되어 초음파 영상을 획득한다. 또한, 필요에 따라 제 2 신호 패드의 아랫면에 후면층(backing layer)이, 상기 압전소자의 윗면 윗면에 정합층(matching layer)이 더 적층될 수도 있다.The single-element ultrasonic transducer 101 is electrically connected to the first signal pad through a piezoelectric element, a first signal pad, a ground pad spaced apart from the first signal pad, a FPCB, and a via penetrating the FPCB And the second signal pad is disposed on the distal end of the tube to acquire an ultrasound image. If necessary, a backing layer may be formed on the lower surface of the second signal pad, and a matching layer may be further formed on the upper surface of the piezoelectric element.

보다 구체적으로, 초음파 변환자(101)는, FPCB의 윗면에 제 1 신호 패드와 그라운드 패드를 상호 이격시켜 형성하고, 상기 FPCB의 아랫면에 제 2 신호 패드를 형성하고, 상기 FPCB를 관통하는 바이어를 통해 상기 제 1 신호 패드와 상기 제 2 신호 패드를 전기적으로 연결하고, 미리 설정된 두께에 따라 래핑된 압전소자를 상기 제 1 신호 패드의 윗면에 형성하며, 상기 압전소자, 상기 제 1 신호 패드, 상기 그라운드 패드, 상기 FPCB, 상기 제 2 신호 패드, 상기 후면층 및 상기 정합층이 적층된 소자를 IVUS를 위한 임계 크기 이하가 되도록 적층 방향에 따라 절삭함으로써 단일 소자로서 제조될 수 있다. 다만 성능 조건에 따라 후면층 및 정합층을 적층하지 않을 수도 있다.More specifically, the ultrasonic transducer 101 is formed by disposing a first signal pad and a ground pad on the upper surface of the FPCB, forming a second signal pad on the lower surface of the FPCB, The first signal pad and the second signal pad are electrically connected to each other through the first signal pad and the piezoelectric element wrapped according to a predetermined thickness is formed on the upper surface of the first signal pad, The first pad, the second pad, the ground pad, the FPCB, the second signal pad, the back layer, and the matching layer may be cut along the laminating direction so as to be less than a critical size for the IVUS. However, the back layer and the matching layer may not be laminated depending on the performance condition.

지지대(30)는, 상기 튜브(20)의 일측 벽과 상기 초음파 변환자(101) 사이에 위치하여 상기 초음파 변환자(101)의 대향 각도를 형성함으로써, 상기 초음파 변환자(101)의 초음파 방사 각도가 상기 튜브(20)의 삽입 방향과 달라지도록 조정하는 역할을 수행한다. 즉, 지지대(30)는 튜브(20)에 고정되어 초음파 변환자(101)의 각도를 조정하기 위한 일종의 패드(pad)로 구현될 수 있다.The supporter 30 is positioned between one side wall of the tube 20 and the ultrasonic transducer 101 to form an opposing angle of the ultrasonic transducer 101, And adjusts the angle so that the angle is different from the insertion direction of the tube 20. That is, the supporter 30 may be fixed to the tube 20 and may be implemented as a kind of pad for adjusting the angle of the ultrasonic transducer 101.

여기서, 상기 지지대(30)에 의해 상기 초음파 변환자(101)의 대향 각도는, 상기 튜브(20)의 삽입 방향으로부터 0° 내지 90° 사이에서 결정됨으로써, 상기 튜브(20)의 삽입 방향과 상기 튜브(20)가 삽입되는 혈관의 벽면에 대한 초음파 영상을 동시에 획득하도록 유도할 수 있다. 이러한 지지대(30)를 통해 본 실시예에 따른 초음파 변환자 구조체는, 혈관 벽면 또는 튜브의 삽입 방향 전면 중 어느 하나만을 관찰하는 것이 아니라 양자를 동시에 관찰할 수 있다는 장점을 갖는다. 뿐만 아니라, 이러한 지지대(30)를 통해 본 실시예에 따른 초음파 변환자 구조체는, 도플러(Doppler) 주파수를 추정하여 혈류 속도를 산출할 수도 있다.The opposing angle of the ultrasonic transducer 101 by the support 30 is determined between 0 and 90 degrees from the insertion direction of the tube 20, It is possible to simultaneously acquire ultrasound images of the wall surface of the blood vessel into which the tube 20 is inserted. The ultrasound transducer structure according to the present embodiment has the advantage that the ultrasound transducer structure can observe both the ultrasound transducer structure and the blood vessel wall surface or the insertion direction of the ultrasound transducer. In addition, the ultrasound transducer structure according to the present embodiment may calculate the blood flow velocity by estimating the Doppler frequency through the support 30.

또한, 초음파 변환자(101)가 설치된 상기 튜브(20)의 말단은 상기 초음파 변환자의 초음파 방사 방향을 고려하여 절단면이 사선으로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the distal end of the tube 20 provided with the ultrasonic transducer 101 is preferably formed with a diagonal cut surface in consideration of the ultrasonic radiation direction of the ultrasonic transducer.

한편, 도 4를 통해 제시되는 본 발명의 실시예는 빔 집속을 위한 초음파 변환자를 제작함에 있어서, 튜브의 특성을 활용하고자 한다. IVUS 변환자에 이용되는 소자는 혈관의 폭에 의해 제한된 크기를 갖게 된다. 그러나 혈관의 깊이 방향에 대해서는 크기가 제한되지 않는다. 따라서 혈관의 깊이 방향으로 소자의 크기를 길게 제작할 수 있다. 이를 위해, 상기 초음파 변환자(101)는 직사각형으로 형성되고, 상기 초음파 변환자(101)의 짧은 변의 길이는 적어도 상기 튜브의 지름 이하이고, 상기 초음파 변환자(101)의 긴 변의 길이는 상기 튜브의 지름 이상이며, 상기 초음파 변환자(101)의 긴 변이 상기 튜브의 내측 벽면을 따라 삽입되는 것이 바람직하다. 이러한 구조를 통해 초음파 변환자는 빔 집속을 통해 영상의 해상도를 향상시킬 수 있다.Meanwhile, the embodiment of the present invention shown in FIG. 4 attempts to utilize the characteristics of a tube in manufacturing an ultrasonic transducer for beam focusing. The device used for the IVUS transducer has a limited size due to the width of the blood vessel. However, the depth direction of the blood vessel is not limited in size. Therefore, the size of the device can be made longer in the depth direction of the blood vessel. The ultrasonic transducer 101 is formed in a rectangular shape and the length of the short side of the ultrasonic transducer 101 is at least the diameter of the tube and the length of the long side of the ultrasonic transducer 101 is the length And a long side of the ultrasonic transducer 101 is inserted along the inner wall surface of the tube. Through this structure, the ultrasound transducer can enhance the resolution of the image through beam focusing.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 4의 초음파 변환자 구조체에서 빔 집속을 유도하는 방법을 설명하기 위한 두 가지 방법을 예시하고 있는 도면이다.FIGS. 5A and 5B are diagrams illustrating two methods for explaining a beam focusing method in the ultrasonic transducer structure of FIG. 4 according to another embodiment of the present invention.

일반적인 혈관 내 변환자에 사용되는 소자의 모양은 타원이거나 정사각형의 모양으로 제작된다. 즉, 매우 작은 크기의 소자이기 때문에 자연적인 집속점(natural focusing)이 생기게 된다. 이렇게 자연적인 집속점을 이용한 빔 집속은 사용자가 원하는 곳에 집속을 할 수 없다는 약점을 갖는다. 따라서, 도 5a 및 도 5b에서 제안하는 방법은 소자의 모양을 직사각형으로 제작하는 것이다. 앞서 설명한 바와 같이 혈관의 직경 크기는 제한되어 있기 때문에 혈관의 깊이 방향으로 소자의 크기를 크게 제작하여 한쪽 방향이더라도 빔을 집속시킬 수 있다. The shape of a device used in a typical intravascular transducer is elliptical or square. That is, since the device is a very small-sized device, natural focusing occurs. The beam focusing using the natural focusing point has a weak point that the user can not focus on the desired spot. Therefore, the method proposed in FIGS. 5A and 5B is to make the shape of the device rectangular. As described above, since the diameter of the blood vessel is limited, the size of the device can be made large in the depth direction of the blood vessel, so that the beam can be focused even in one direction.

도 5a에서 초음파 변환자(101)는 중앙 면이 오목하도록 구배를 형성함으로써 상기 초음파 변환자의 기하학적 초점(geometrical focus)에 빔 집속할 수 있다. 이를 위해 직사각형의 소자(초음파 변환자)에 열을 가한 쇠구슬을 사용하여 구배를 형성시키는 등의 방법으로 구현할 수 있다.In FIG. 5A, the ultrasound transducer 101 can beam-converge to the geometrical focus of the ultrasound transducer by forming a gradient such that the center plane is concave. For this purpose, it is possible to implement a method of forming a gradient by using iron balls with heat applied to a rectangular element (ultrasonic transducer).

도 5b에서 초음파 변환자(101)는 전면에 부착되는 볼록 렌즈(lens)(17)를 더 포함함으로써 상기 초음파 변환자의 기하학적 초점에 빔 집속할 수 있다.5B, the ultrasound transducer 101 further includes a convex lens 17 attached to the front surface thereof, so that the ultrasound transducer 101 can converge the beam to the geometrical focus of the ultrasound transducer.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 4의 혈관 삽입형 초음파 변환자 구조체의 일부를 노출시켜 도시한 사시도이다.FIG. 6 is a perspective view illustrating a part of the blood vessel insertion type ultrasound transducer structure of FIG. 4 according to another embodiment of the present invention.

앞서 설명한 바와 같이, 단일 소자 초음파 변환자(101)가 튜브(20)의 말단에 위치하되, 지지대(30)에 의해 경사를 이루도록 고정, 배치될 수 있음을 보이고 있다. 이러한 구조를 통해 튜브(20)가 삽입되는 혈관의 벽면과 튜브의 진행 방향 모두를 동시에 관측할 수 있으며, 필요에 따라 자유롭게 각도가 조절된 지지대를 활용할 수도 있을 것이다. 특히 이러한 기울기를 활용할 경우, 튜브(20)의 후퇴시뿐만 아니라 전진(삽입)시에도 영상의 획득이 가능할 뿐만 아니라, 도플러(혈류 속도) 측정이 가능하다는 장점을 갖는다.As described above, it is shown that the single-element ultrasonic transducer 101 is positioned at the distal end of the tube 20, and can be fixed and arranged so as to be inclined by the support 30. Through this structure, both the wall surface of the blood vessel into which the tube 20 is inserted and the advancing direction of the tube can be observed at the same time, and a freely adjustable support can be utilized as needed. Particularly, when such a gradient is utilized, not only the image can be acquired not only when the tube 20 is retracted but also when it is advanced (inserted), but also has an advantage that Doppler (blood flow velocity) measurement is possible.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 4의 혈관 삽입형 초음파 변환자 구조체에서 광음향 영상 및 광간섭단층촬영(optical coherence tomography, OCT) 영상을 구현하는 방법을 설명하기 위한 예시도이다.FIG. 7 is an exemplary view illustrating a method of implementing a photoacoustic image and an optical coherence tomography (OCT) image in the vascular insertion type ultrasound transducer structure of FIG. 4 according to another embodiment of the present invention.

광음향(photoacoustic, PA) 영상은 인체 내의 관찰 영역에 광자를 인가하고, 조직에 흡수된 광자들에 의해 직접 발생하는 초음파 신호를 수신하여 그 신호로부터 영상 정보를 추출한다. 광자들이 조직 내에 흡수되어 초음파가 발생하는 이러한 특이한 상황은 조직이 광자들을 흡수할 때 가열되기 때문이 나타나는 현상으로서, 펄스 레이저로 흡수성 조직 구조를 비추면, 조직의 온도가 바뀌고, 그 결과로서 조직의 구조가 팽창한다. 이렇게 팽창하는 구조로부터 압력파가 밖으로 전파되며, 이러한 압력파는 초음파 변환기(transducer)에 의해 검출될 수 있다. 따라서, 광음향과 초음파는 일정 부분(검출/수신)에서 그 구성을 공유할 수 있다.A photoacoustic (PA) image is obtained by applying a photon to an observation region in the human body, receiving ultrasound signals directly generated by the photons absorbed by the tissue, and extracting image information from the signals. This unique situation, where photons are absorbed into tissues and generates ultrasonic waves, is a phenomenon that occurs when tissue is heated when it absorbs photons. When a pulsed laser is used to illuminate an absorbent tissue structure, the temperature of the tissue changes, The structure expands. The pressure wave propagates out of the expanding structure, and this pressure wave can be detected by an ultrasonic transducer. Therefore, photoacoustic and ultrasonic waves can share their configuration in a certain part (detection / reception).

이를 위해 도 7이 제안하고 있는 초음파 변환자 구조체에서, 초음파 변환자(101)는 상기 초음파 변환자(101)의 일부 영역(19)에 삽입되어 광음향 영상을 위한 광 신호를 방사하는 광 소스 모듈(미도시)을 더 포함할 수 있다. 즉, 초음파 변환자(101) 내부에 홀(hole)을 형성하고 내측으로 광 소스 모듈을 삽입함으로써 초음파 영상과 더불어 광음향 영상을 획득할 수 있다. 또한, 이러한 광 소스 모듈은 광간섭단층촬영 영상 획득에도 그대로 사용될 수 있으며 이를 통해 혈관 질병에 관한 초음파 및 광간섭단층촬영 융합 영상을 획득할 수 있다.For this purpose, in the ultrasound transducer structure proposed in FIG. 7, the ultrasound transducer 101 is inserted into a part of the area 19 of the ultrasound transducer 101, and a light source module (Not shown). That is, a hole is formed inside the ultrasonic transducer 101, and a light source module is inserted inward, thereby acquiring a photoacoustic image together with the ultrasound image. In addition, such a light source module can be used as it is for acquiring optical coherence tomography images, and ultrasound and optical coherence tomography fusion images regarding vascular diseases can be obtained.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 4의 혈관 삽입형 초음파 변환자 구조체에서 신호 공급과 접지 방법을 설명하기 위한 예시도로서, 본 발명의 실시예들이 제안하고 있는 초음파 변환자 구조체에서는, 단일 소자의 초음파 변환(101)의 제 2 신호 패드(미도시)에 전기 신호를 공급하고, 단일 소자의 초음파 변환(101)의 그라운드 패드(미도시)에 하우징(housing)(50)을 연결함으로써 접지시킬 수 있다.FIG. 8 is a view for explaining a signal supply and a grounding method in the vessel-inserted ultrasound transducer structure of FIG. 4 according to another embodiment of the present invention. In the ultrasound transducer structure proposed by the embodiments of the present invention, An electric signal is supplied to the second signal pad (not shown) of the ultrasonic transducer 101 of the element and the housing 50 is connected to the ground pad (not shown) of the ultrasonic transducer 101 of the single element, .

도 8을 참조하면, 제 2 신호 패드에 전도성 접착제를 이용하여 와이어(wire)(40)를 연결시켜 신호를 공급하고, 접지는 하우징(50)과 그라운드 패드를 크롬 또는 금 등으로 증착하여 연결한다. 물론, 도 8의 구성은 일 실시예에 불과한 것으로, 제 2 신호 패드를 하우징 물질로 크롬/금을 증착하여 연결하고, 그라운드 패드를 와이어와 연결할 수도 있다. 또한, 하우징 물질과 연결함에 있어 와이어를 사용할 수도 있으며, 크롬/금이 아닌 다른 물질을 증착하여 연결할 수도 있을 것이다.Referring to FIG. 8, a wire 40 is connected to a second signal pad using a conductive adhesive to supply a signal, and the ground is connected to the housing 50 and the ground pad by depositing chromium, gold, or the like . Of course, the configuration of FIG. 8 is only an embodiment, and the second signal pad may be connected to the wire by depositing chromium / gold by connecting it to the housing material. Also, wires may be used to connect with the housing material, or other materials other than chromium / gold may be deposited and connected.

상기된 본 발명의 실시예들에 따르면, 각종 소자의 증착 및 적층 후, 절삭을 통해 다수의 개별 단일 소자 IVUS 초음파 변환자를 동시에 생산할 수 있는 공정 기술을 제안함으로써, 접착제를 사용하지 않을 수 있고 정합층(matching layer) 및 후면층(backing layer) 제작에 전도성 물질을 사용하지 않고도 높은 동작 주파수와 초소형의 어퍼쳐 크기를 갖고 신호 연결 및 그라운드 접지가 용이한 초음파 변환자의 제조가 가능하며, 기하학적 초점을 통한 빔 집속을 구현할 수 있다.According to the embodiments of the present invention described above, by proposing a process technology capable of simultaneously producing a plurality of individual single-element IVUS ultrasound transducers through cutting and deposition of various elements and stacking, it is possible to use no adhesive, it is possible to manufacture an ultrasonic transducer having a high operating frequency and a small aperture size and easy signal connection and grounding without using a conductive material for the matching layer and the backing layer, Beam focusing can be implemented.

이상에서 본 발명에 대하여 그 다양한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명에 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.The present invention has been described above with reference to various embodiments. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Therefore, the disclosed embodiments should be considered in an illustrative rather than a restrictive sense. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than by the foregoing description, and all differences within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the present invention.

100 : 적층 구조의 초음파 변환자
101 : 단일 소자 초음파 변환자
10 : FPCB
11 : 제 1 신호 패드 12 : 제 2 신호 패드
13 : 그라운드 패드 14 : 압전소자
15 : 바이어(via)
17 : 렌즈(lens) 19 : 광 소스 모듈
20 : 혈관 삽인형 튜브(tube)
30 : 지지대
40 : 와이어(wire)
50 : 하우징(housing)
100: Ultrasonic transducer of laminated structure
101: Single-element ultrasonic transducer
10: FPCB
11: first signal pad 12: second signal pad
13: ground pad 14: piezoelectric element
15: via
17: lens 19: optical source module
20: blood vessel shunt tube
30: Support
40: wire
50: Housing

Claims (15)

FPCB(flexible printed circuit board);
상기 FPCB의 윗면에 형성된 제 1 신호 패드(signal pad) 및 상기 FPCB의 아랫면에 형성된 제 2 신호 패드;
상기 FPCB의 윗면에 상기 제 1 신호 패드와 상호 이격하여 형성된 그라운드 패드(ground pad); 및
미리 설정된 두께에 따라 래핑(lapping)되고 상기 제 1 신호 패드의 윗면에 형성된 압전소자;를 포함하되,
상기 제 1 신호 패드와 상기 제 2 신호 패드는 상기 FPCB를 관통하는 바이어(via)를 통해 전기적으로 연결되며,
상기 압전소자, 상기 제 1 신호 패드, 상기 그라운드 패드, 상기 FPCB 및 상기 제 2 신호 패드가 적층된 소자는 IVUS(intravascular ultrasound)를 위한 임계 크기 이하가 되도록 적층 방향에 따라 절삭(dicing)된 것을 특징으로 하는 초음파 변환자.
A flexible printed circuit board (FPCB);
A first signal pad formed on the upper surface of the FPCB and a second signal pad formed on the lower surface of the FPCB;
A ground pad formed on the upper surface of the FPCB and spaced apart from the first signal pad; And
And a piezoelectric element lapping according to a predetermined thickness and formed on an upper surface of the first signal pad,
The first signal pad and the second signal pad are electrically connected through a via through the FPCB,
The element in which the piezoelectric element, the first signal pad, the ground pad, the FPCB, and the second signal pad are stacked is diced according to the stacking direction so as to be less than a critical size for IVUS (intravascular ultrasound) Ultrasonic transducer.
제 1 항에 있어서,
미리 설정된 두께에 따라 래핑되고 상기 제 2 신호 패드의 아랫면에 형성되는 후면층(backing layer); 및
상기 압전소자의 윗면과 상기 그라운드 패드를 전기적으로 연결한 후, 미리 설정된 두께에 따라 래핑되고 상기 압전소자의 윗면에 형성되는 정합층(matching);을 더 포함하되,
상기 적층된 소자는 상기 후면층 및 상기 정합층을 포함하여 절삭되는 것을 특징으로 하는 초음파 변환자.
The method according to claim 1,
A backing layer wrapped according to a predetermined thickness and formed on a lower surface of the second signal pad; And
And a matching layer formed on the upper surface of the piezoelectric element, the upper surface of the piezoelectric element being electrically connected to the ground pad,
Wherein the stacked elements are cut including the backside layer and the matching layer.
제 2 항에 있어서,
상기 후면층 및 상기 정합층은, 전도성 물질 또는 비전도성 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 초음파 변환자.
3. The method of claim 2,
Wherein the back layer and the matching layer are formed of a conductive material or a nonconductive material.
제 1 항에 있어서,
상기 압전소자를 상기 그라운드 패드와 연결하기 위하여 상기 FPCB 윗면에 전도성 물질이 증착된 것을 특징으로 하는 초음파 변환자.
The method according to claim 1,
And a conductive material is deposited on the upper surface of the FPCB to connect the piezoelectric element to the ground pad.
제 4 항에 있어서,
상기 전도성 물질은 크롬 또는 금인 것을 특징으로 하는 초음파 변환자.
5. The method of claim 4,
Wherein the conductive material is chrome or gold.
제 1 항에 있어서,
상기 FPCB는 폴리이미드(polyimide)인 것을 특징으로 하는 초음파 변환자.
The method according to claim 1,
Wherein the FPCB is a polyimide.
IVUS를 위한 혈관 삽입용 튜브(tube);
압전소자, 제 1 신호 패드, 상기 제 1 신호 패드와 이격하여 형성된 그라운드 패드, FPCB 및 상기 FPCB를 관통하는 바이어를 통해 상기 제 1 신호 패드와 전기적으로 연결되는 제 2 신호 패드가 순서대로 적층되고, 상기 튜브의 말단에 설치되어 초음파 영상을 획득하는 단일 소자의 초음파 변환자; 및
상기 튜브의 일측 벽과 상기 초음파 변환자 사이에 위치하여 상기 초음파 변환자의 대향 각도를 형성함으로써, 상기 초음파 변환자의 초음파 방사 각도가 상기 튜브의 삽입 방향과 달라지도록 조정하는 지지대;를 포함하는 초음파 변환자 구조체.
A tube for insertion of blood for IVUS;
A first signal pad, a ground pad spaced apart from the first signal pad, a second signal pad electrically connected to the first signal pad via a FPCB and a via hole penetrating the FPCB, A single-element ultrasonic transducer installed at a distal end of the tube to acquire an ultrasonic image; And
And a supporter which is positioned between one side wall of the tube and the ultrasonic transducer to form an opposite angle of the ultrasonic transducer so that the angle of ultrasonic emission of the ultrasonic transducer is different from the insertion direction of the tube, Structure.
제 7 항에 있어서,
상기 지지대에 의해 상기 초음파 변환자의 대향 각도는,
상기 튜브의 삽입 방향으로부터 0° 내지 90° 사이에서 결정됨으로써, 상기 튜브의 삽입 방향과 상기 튜브가 삽입되는 혈관의 벽면에 대한 초음파 영상을 동시에 획득하거나, 도플러(Doppler) 주파수를 추정하여 혈류 속도를 산출하는 것을 특징으로 하는 초음파 변환자 구조체.
8. The method of claim 7,
Wherein an opposing angle of the ultrasonic transducer by the supporter,
An ultrasonic image of the insertion direction of the tube and a wall surface of the blood vessel into which the tube is inserted is obtained at the same time or a Doppler frequency is estimated by determining the blood flow velocity Wherein the ultrasound transducer structure comprises a plurality of ultrasound transducer structures.
제 7 항에 있어서,
상기 초음파 변환자는 직사각형으로 형성되고,
상기 초음파 변환자의 짧은 변의 길이는 적어도 상기 튜브의 지름 이하이고, 상기 초음파 변환자의 긴 변의 길이는 상기 튜브의 지름 이상이며,
상기 초음파 변환자의 긴 변이 상기 튜브의 내측 벽면을 따라 삽입되는 것을 특징으로 하는 초음파 변환자 구조체.
8. The method of claim 7,
The ultrasonic transducer is formed in a rectangular shape,
Wherein the length of the short side of the ultrasonic transducer is at least the diameter of the tube and the length of the long side of the ultrasonic transducer is not less than the diameter of the tube,
Wherein a long side of the ultrasonic transducer is inserted along the inner wall surface of the tube.
제 7 항에 있어서,
상기 초음파 변환자가 설치된 상기 튜브의 말단은 상기 초음파 변환자의 초음파 방사 방향을 고려하여 절단면이 사선으로 형성된 것을 특징으로 하는 초음파 변환자 구조체.
8. The method of claim 7,
Wherein the distal end of the tube provided with the ultrasonic transducer is formed with an oblique cut surface in consideration of the ultrasonic radiation direction of the ultrasonic transducer.
제 7 항에 있어서,
상기 초음파 변환자는 중앙 면이 오목하도록 구배를 형성함으로써 상기 초음파 변환자의 기하학적 초점(geometrical focus)에 빔 집속하는 것을 특징으로 하는 초음파 변환자 구조체.
8. The method of claim 7,
Wherein the ultrasound transducer forms a gradient so that a center plane thereof is concave, thereby focusing the ultrasound transducer to the geometrical focus of the ultrasound transducer.
제 7 항에 있어서,
상기 초음파 변환자는 전면에 부착되는 볼록 렌즈를 더 포함함으로써 상기 초음파 변환자의 기하학적 초점에 빔 집속하는 것을 특징으로 하는 초음파 변환자 구조체.
8. The method of claim 7,
Wherein the ultrasound transducer further includes a convex lens attached to the front surface thereof to beam-concentrate the ultrasound transducer to a geometrical focus of the ultrasound transducer.
제 7 항에 있어서,
상기 초음파 변환자는 상기 초음파 변환자의 일부 영역에 삽입되어 광음향 영상 또는 광간섭단층촬영(optical coherence tomography, OCT) 영상을 위한 광 신호를 방사하는 광 소스 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 변환자 구조체.
8. The method of claim 7,
Wherein the ultrasound transducer further comprises a light source module inserted into a part of the ultrasound transducer to emit an optical signal for a photoacoustic image or an optical coherence tomography (OCT) image, Structure.
제 7 항에 있어서,
상기 제 2 신호 패드에 전기 신호를 공급하고,
상기 그라운드 패드에 하우징(housing)을 연결함으로써 접지시키는 것을 특징으로 하는 초음파 변환자 구조체.
8. The method of claim 7,
Supplying an electrical signal to the second signal pad,
And a ground is connected to the ground pad by connecting a housing to the ground pad.
제 7 항에 있어서,
상기 초음파 변환자는,
FPCB의 윗면에 형성된 제 1 신호 패드 및 상기 FPCB의 아랫면에 형성된 제 2 신호 패드;
상기 FPCB의 윗면에 제 1 신호 패드와 상호 이격하여 형성된 그라운드 패드;
미리 설정된 두께에 따라 래핑되고 상기 제 1 신호 패드의 윗면에 형성된 압전소자;
미리 설정된 두께에 따라 래핑되고 상기 제 2 신호 패드의 아랫면에 형성된 후면층; 및
상기 압전소자의 윗면과 상기 그라운드 패드를 전기적으로 연결한 후, 미리 설정된 두께에 따라 래핑되고 상기 압전소자의 윗면에 형성된 정합층;을 포함하되,
상기 제 1 신호 패드와 상기 제 2 신호 패드는 상기 FPCB를 관통하는 바이어를 통해 전기적으로 연결되며,
상기 압전소자, 상기 제 1 신호 패드, 상기 그라운드 패드, 상기 FPCB, 상기 제 2 신호 패드, 상기 후면층 및 상기 정합층이 적층된 소자는 IVUS를 위한 임계 크기 이하가 되도록 적층 방향에 따라 절삭된 것을 특징으로 하는 초음파 변환자 구조체.

8. The method of claim 7,
The ultrasound transducer includes:
A first signal pad formed on the upper surface of the FPCB and a second signal pad formed on the lower surface of the FPCB;
A ground pad formed on the upper surface of the FPCB so as to be spaced apart from the first signal pad;
A piezoelectric element which is wrapped according to a preset thickness and is formed on an upper surface of the first signal pad;
A backside layer wrapped according to a predetermined thickness and formed on a lower surface of the second signal pad; And
And a matching layer formed on the upper surface of the piezoelectric element, the upper surface of the piezoelectric element being electrically connected to the ground pad,
The first signal pad and the second signal pad are electrically connected through a via through the FPCB,
The element in which the piezoelectric element, the first signal pad, the ground pad, the FPCB, the second signal pad, the back layer, and the matching layer are laminated is cut along the lamination direction so as to be equal to or smaller than the critical size for IVUS Characterized by an ultrasonic transducer structure.

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