KR101498301B1 - Industrial Robot - Google Patents

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KR101498301B1
KR101498301B1 KR1020090079129A KR20090079129A KR101498301B1 KR 101498301 B1 KR101498301 B1 KR 101498301B1 KR 1020090079129 A KR1020090079129 A KR 1020090079129A KR 20090079129 A KR20090079129 A KR 20090079129A KR 101498301 B1 KR101498301 B1 KR 101498301B1
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KR
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control
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Inventor
다카유키 야자와
히로시 아라카와
Original Assignee
니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

<과제> 대형화하는 반송대상물을 반송하는 경우라도 소형화가 가능하고, 또한, 코스트를 저감하는 것이 가능한 산업용 로보트를 제공하는 것.

<해결 수단> 산업용 로보트는 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 핸드가 연결되는 암(arm)과, 암을 지지하는 지지부재와, 지지부재를 상하이동시키는 상하구동기구와, 상하구동기구를 제어하는 제어부(80)를 구비하고 있다. 상하구동기구는 2대의 구동용 모터(20)를 구비하고, 제어부(80)는 2대의 구동용 모터(20)를 제어하는 모터 제어부(81)를 구비하고 있다. 모터 제어부(81)는 한쪽의 구동용 모터(20)와, 다른 쪽의 구동용 모터(20)를 개별적으로 제어하고 있다.

Figure R1020090079129

[PROBLEMS] To provide an industrial robot capable of downsizing and reducing cost even when carrying a large-sized transport object.

[MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] An industrial robot includes a hand on which a carrying object is mounted, an arm to which a hand is connected, a supporting member for supporting the arm, a vertical driving mechanism for vertically moving the supporting member, And a control unit 80 for controlling the control unit. The up and down driving mechanism includes two driving motors 20 and the control unit 80 includes a motor control unit 81 for controlling the two driving motors 20. [ The motor control unit 81 controls one drive motor 20 and the other drive motor 20 individually.

Figure R1020090079129

Description

산업용 로보트{INDUSTRIAL ROBOT}INDUSTRIAL ROBOT

본 발명은 소정의 반송대상물을 반송하는 산업용 로보트에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot for carrying a predetermined carrying object.

종래부터, 소정의 반송대상물을 반송하는 산업용 로보트가 널리 이용되고 있다. 이런 종류의 산업용 로보트로서, 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 핸드를 유지하는 암(arm)과, 암을 상하이동시키는 볼나사(ball screw)를 구비하는 산업용 로보트가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 이 특허문헌 1에 기재된 산업용 로보트에서는 볼나사에 1대의 모터가 연결되어 있고, 볼나사는 1대의 모터로 구동되고 있다.Background Art Conventionally, industrial robots that carry a predetermined carrying object are widely used. As such an industrial robot, there is known an industrial robot having a hand on which a carrying object is mounted, an arm for holding a hand, and a ball screw for moving the arm up and down For example, see Patent Document 1). In the industrial robot described in Patent Document 1, one motor is connected to the ball screw, and the ball screw is driven by one motor.

또, 반송대상물을 반송하는 산업용 로보트는 아니지만, 로보트의 본체 부분을 탑재하는 베이스가 수평방향으로 이동가능하게 되어 있는 산업용 로보트도 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조). 이 특허문헌 2에 기재된 산업용 로보트는 베이스를 수평방향으로 이동시키기 위한 랙(rack) 및 피니언(pinion)과, 피니언을 회전구동하기 위한 1대의 모터를 구비하고 있다.An industrial robot in which a base on which a main body portion of a robot is mounted is movable in a horizontal direction is known, although it is not an industrial robot that carries a carrying object (see, for example, Patent Document 2). The industrial robot disclosed in Patent Document 2 has a rack and a pinion for moving the base in the horizontal direction and a single motor for rotationally driving the pinion.

[특허문헌 1] 일본국 특개2006-102886호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-102886

[특허문헌 2] 일본국 특개평6-106487호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-106487

액정 디스플레이용 유리기판 등과 같이, 산업용 로보트에 의해서 반송되는 반송대상물 중에는, 매년, 대형화하는 것이 있다. 이 반송대상물의 대형화에 수반하여, 대형화하는 반송대상물을 반송하는 산업용 로보트는 대형화하는 경향이 있다. 또, 산업용 로보트의 대형화에 수반하여, 산업용 로보트의 코스트가 증대하는 경향이 있다.Some objects to be transported by industrial robots, such as glass substrates for liquid crystal displays, are made larger each year. With the increase in size of the object to be transported, the industrial robot for transporting the object to be transported, which is to be enlarged, tends to be increased in size. In addition, with the increase in size of industrial robots, the cost of industrial robots tends to increase.

그래서, 본 발명의 과제는 대형화하는 반송대상물을 반송하는 경우에 있어서도 소형화가 가능하고, 또한, 코스트를 저감하는 것이 가능한 산업용 로보트를 제공하는 것이다.Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial robot which can be downsized even in the case of carrying a large-sized carrying object, and which can reduce the cost.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로보트는 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 상기 핸드가 연결되는 암(arm)과, 상기 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에, 상기 지지부재를 상하이동시키는 상하구동기구와, 상기 상하구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 상하구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하며, 상기 제어부는 복수의 상기 구동용 모터를 제어하는 모터제어부를 구비하고, 상기 모터제어부는 복수의 상기 구동용 모터 중 몇 대의 상기 구동용 모터인 제1 구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하며, 상기 제1 구동용 모터를 제외한 나머지의 상기 구동용 모터인 제2 구동용 모터를 토크제어에 의해서 제어하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로보트는 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 상기 핸드가 연결되는 암(arm)과, 상기 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에, 상기 지지부재를 수평방향으로 이동시키기 위한 수평구동기구와, 상기 수평구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 수평구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하며, 상기 제어부는 복수의 상기 구동용 모터를 제어하는 모터제어부를 구비하고, 상기 모터제어부는 복수의 상기 구동용 모터 중 몇 대의 상기 구동용 모터인 제1 구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하며, 상기 제1 구동용 모터를 제외한 나머지의 상기 구동용 모터인 제2 구동용 모터를 토크제어에 의해서 제어하는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 과제를 해결하기 위해 본 발명의 산업용 로보트는 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 상기 핸드가 연결되는 암(arm)과, 상기 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에, 상하방향을 축방향으로 하는 소정의 중심축을 중심으로 상기 지지부재를 회전시키기 위한 회전구동기구와, 상기 회전구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 회전구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하며, 상기 제어부는 복수의 상기 구동용 모터를 제어하는 모터제어부를 구비하고, 상기 모터제어부는 복수의 상기 구동용 모터 중 몇 대의 상기 구동용 모터인 제1 구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하며, 상기 제1 구동용 모터를 제외한 나머지의 상기 구동용 모터인 제2 구동용 모터를 토크제어에 의해서 제어하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention comprises a hand on which a carrying object is mounted, an arm to which the hand is connected, and a support member for supporting the arm, And a control unit for controlling the up-and-down driving mechanism. The up-and-down driving mechanism includes a plurality of driving motors, and the control unit includes a motor for controlling the plurality of driving motors Wherein the motor control unit controls the first driving motor, which is a plurality of the driving motors among the plurality of driving motors, by either torque control or speed control or position control, And the second driving motor which is the remaining driving motor except for the motor is controlled by torque control. In order to solve the above problems, an industrial robot of the present invention comprises a hand on which a carrying object is mounted, an arm to which the hand is connected, and a support member for supporting the arm, A horizontal driving mechanism for moving the supporting member in a horizontal direction and a control unit for controlling the horizontal driving mechanism, wherein the horizontal driving mechanism includes a plurality of driving motors, Wherein the motor control unit controls the first driving motor, which is the plurality of driving motors among the plurality of driving motors, by either torque control or speed control or position control, And the second driving motor which is the remaining driving motor except for the first driving motor is controlled by torque control. According to another aspect of the present invention, there is provided an industrial robot comprising: a hand on which a carrying object is mounted; an arm to which the hand is connected; and a support member for supporting the arm, And a control unit for controlling the rotation driving mechanism, wherein the rotation driving mechanism includes a plurality of driving motors, and the control unit controls the rotation driving mechanism to rotate the support member about the predetermined center axis, Wherein the control unit includes a motor control unit for controlling the plurality of driving motors, and the motor control unit controls the first driving motor, which is the plurality of driving motors, among the plurality of driving motors, The second drive motor being controlled by torque control and being the remaining drive motor except the first drive motor is controlled by torque control It characterized.

반송대상물의 대형화에 수반하여, 상하구동기구, 수평구동기구 및/또는 회전구동기구에서 요구되는 구동용 모터의 총용량이 커진다. 그 때문에, 1대의 구동용 모터로 상하구동기구, 수평구동기구 및/또는 회전구동기구를 구동하는 경우에는 체격이 큰 모터를 사용할 필요가 있어, 산업용 로보트가 대형화할 우려가 있다.The total capacity of the driving motors required in the up-and-down driving mechanism, the horizontal driving mechanism, and / or the rotation driving mechanism increases with the increase of the size of the object to be transported. Therefore, when a single driving motor is used to drive the up-and-down driving mechanism, the horizontal driving mechanism and / or the rotation driving mechanism, it is necessary to use a motor having a large size, which may increase the size of the industrial robot.

본 발명의 산업용 로보트에서는 상하구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하고 있다. 또한 본 발명의 산업용 로보트에서는 수평구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하며, 회전구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하고 있다. 그 때문에, 상하구동기구에서 요구되는 구동용 모터의 총용량이 큰 경우라도 체격이 작은 구동용 모터를 사용할 수 있으며, 수평구동기구에서 요구되는 구동용 모터의 총용량이 큰 경우라도 체격이 작은 구동용 모터를 사용할 수 있고, 회전구동기구에서 요구되는 구동용 모터의 총용량이 큰 경우라도 체격이 작은 구동용 모터를 사용할 수 있다. 또, 체격이 큰 1대의 구동용 모터를 사용하는 경우와 비교하여, 체격이 작은 복수의 구동용 모터를 사용하는 경우에는 구동용 모터의 배치의 자유도가 높아진다. 따라서, 본 발명에서는 큰 반송대상물을 반송하는 것임에도 불구하고, 산업용 로보트를 소형화하는 것이 가능하게 된다.In the industrial robot of the present invention, the up-and-down driving mechanism includes a plurality of driving motors. In the industrial robot of the present invention, the horizontal drive mechanism includes a plurality of drive motors, and the rotation drive mechanism includes a plurality of drive motors. Therefore, even if the total capacity of the driving motors required in the up-and-down driving mechanism is large, a driving motor having a small size can be used. Even when the total capacity of the driving motors required in the horizontal driving mechanism is large, And even if the total capacity of the driving motors required in the rotary drive mechanism is large, a driving motor having a small size can be used. In addition, in the case of using a plurality of driving motors having a small physical size as compared with the case of using one driving motor having a large physique, the freedom of arrangement of the driving motors is increased. Therefore, in the present invention, it is possible to downsize the industrial robot even though the large object to be transported is transported.

또, 구동용 모터의 용량이 소정의 용량을 넘으면, 구동용 모터의 가격은 급격하게 높아지지만, 본 발명에서는, 용량이 작은 구동용 모터를 사용할 수 있기 때문에, 복수의 구동용 모터가 사용되는 경우라도 산업용 로보트의 코스트를 저감하는 것이 가능하게 된다.When the capacity of the drive motor exceeds a predetermined capacity, the price of the drive motor rapidly increases. However, in the present invention, since a drive motor having a small capacity can be used, It is possible to reduce the cost of the industrial robot.

또한, 본 발명에서는 용량이 작은 구동용 모터를 사용할 수 있기 때문에, 1대의 구동용 모터로부터 전달되는 동력은 작아진다. 따라서, 구동용 모터의 동력을 전달하는 톱니바퀴 등의 동력전달기구로의 전달동력을 작게 할 수 있어 동력전달기 구의 구성을 간소화할 수 있다. 또, 동력전달기구의 손상을 억제할 수 있다.Further, in the present invention, since the drive motor having a small capacity can be used, the power transmitted from one drive motor is reduced. Therefore, the transmission power to the power transmission mechanism such as the toothed wheel for transmitting the power of the drive motor can be reduced, and the configuration of the power transmission mechanism can be simplified. In addition, damage to the power transmission mechanism can be suppressed.

한편, 복수의 구동용 모터를 사용하면, 회전속도의 차이 등의 원인으로 어느 구동용 모터의 구동토크가 다른 구동용 모터의 큰 부하가 되는 경우가 생길 우려가 있다. 본 발명에서는, 모터 제어부는 복수의 구동용 모터 중 몇 대의 구동용 모터인 제1 구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하고, 또한 제1 구동용 모터를 제외한 나머지의 구동용 모터인 제2 구동용 모터를 토크제어에 의해서 제어하고 있다. 따라서, 제2 구동용 모터의 회전속도 또는 회전위치가 제어되지 않게 되며, 제2 구동용 모터는 제1 구동용 모터의 회전속도 또는 회전위치를 추종하여 회전한다. 그 결과 복수의 구동용 모터를 사용해도 어느 구동용 모터의 구동토크가 다른 구동용 모터의 큰 부하가 되는 것을 방지할 수 있다. On the other hand, when a plurality of drive motors are used, there is a possibility that a drive torque of a certain drive motor may become a large load of the other drive motor due to a difference in rotation speed or the like. In the present invention, the motor control unit controls the first driving motor, which is a plurality of driving motors among the plurality of driving motors, by either the speed control or the position control and the torque control, The second drive motor which is the drive motor of the second drive motor is controlled by torque control. Therefore, the rotational speed or the rotational position of the second driving motor is not controlled, and the second driving motor rotates following the rotational speed or the rotational position of the first driving motor. As a result, even when a plurality of driving motors are used, it is possible to prevent a driving torque of any of the driving motors from becoming a large load of the other driving motors.

본 발명에서, 제1 구동용 모터는 1대의 구동용 모터인 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 1대의 구동용 모터를 기준으로 하여, 나머지 구동용 모터를 제어할 수 있다. 따라서, 예를 들어, 1대의 제1 구동용 모터의 회전속도를 제어함과 동시에, 나머지 제2 구동용 모터의 회전속도를 제어하지 않도록 함으로써, 제2 구동용 모터를 1대의 제1 구동용 모터의 회전속도에 추종(追從)시켜 회전시킬 수 있다. 그 결과, 어느 구동용 모터의 구동토크가 다른 구동용 모터의 큰 부하가 되는 것을 확실히 방지하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, it is preferable that the first drive motor is a single drive motor. With this configuration, the remaining drive motors can be controlled based on one drive motor. Therefore, for example, by controlling the rotational speed of one first driving motor and not controlling the remaining rotational speed of the second driving motor, the second driving motor is driven by one first driving motor And can be rotated. As a result, it becomes possible to reliably prevent the drive torque of any drive motor from becoming a large load of the other drive motor.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로보트는, 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 상기 핸드가 연결되는 암(arm)과, 상기 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에, 상기 지지부재를 수평방향으로 이동시키기 위한 수평구동기구와, 상기 수평구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 수평구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하며, 상기 제어부는 복수의 상기 구동용 모터를 제어하는 수평모터 제어부를 구비하고, 복수의 상기 구동용 모터 각각은, 상기 구동용 모터의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구를 구비하며, 복수의 상기 구동용 모터 중 몇 대의 상기 구동용 모터인 제1 수평구동용 모터로 하고, 상기 제1 수평구동용 모터를 제외한 나머지의 상기 구동용 모터를 제2 수평구동용 모터로 하면, 상기 수평모터 제어부는, 상기 제1 수평구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하고, 또한 상기 제1 수평구동용 모터의 상기 속도검출기구인 제1 속도검출기구에 의해서 검출되는 상기 지지부재의 소정의 기준위치로부터 정지예정위치까지의 펄스수인 기준펄스수와, 상기 제1 속도검출기구에 의해서 검출된 상기 지지부재의 기준위치로부터의 실제의 펄스수인 검출펄스수와의 차이를 산출하며, 그 차이가 소정의 값 이하인 경우에는, 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 상기 제2 수평구동용 모터를 제어함과 아울러 상기 기준펄스수와 상기 검출펄스수와의 차이가 상기 소정의 값 보다도 큰 경우에는 토크제어에 의해서 상기 제2 수평구동용 모터를 제어하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, an industrial robot of the present invention includes a hand on which a carrying object is mounted, an arm to which the hand is connected, and a supporting member for supporting the arm A horizontal driving mechanism for moving the supporting member in a horizontal direction, and a control unit for controlling the horizontal driving mechanism, wherein the horizontal driving mechanism includes a plurality of driving motors, And a horizontal motor control unit for controlling the motor, wherein each of the plurality of the driving motors includes a speed detecting mechanism for detecting a rotational speed of the driving motor, wherein a plurality of the driving motors When the remaining driving motors except for the first horizontal driving motor are used as the second horizontal driving motor, , The first horizontal driving motor is controlled by either speed control or position control and torque control, and the first horizontal driving motor is controlled by the first speed detecting mechanism, which is the speed detecting mechanism of the first horizontal driving motor, A difference between the reference pulse number which is the number of pulses from the predetermined reference position to the stop scheduled position and the detected pulse number which is the actual pulse number from the reference position of the support member detected by the first speed detecting mechanism And when the difference is equal to or less than a predetermined value, the second horizontal driving motor is controlled by either the speed control or the position control and the torque control, and the difference between the reference pulse number and the detected pulse number is And controls the second horizontal driving motor by torque control when the value is larger than the predetermined value.

반송대상물의 대형화에 수반하여, 수평구동기구에서 요구되는 구동용 모터의 총용량이 커지기 때문에, 1대의 구동용 모터로 수평구동기구를 구동하는 경우에는, 체격이 큰 모터를 사용할 필요가 있어, 산업용 로보트가 대형화할 우려가 있다. 본 발명의 산업용 로보트에서는, 수평구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하고 있다. 그 때문에 수평구동기구에서 요구되는 구동용 모터의 총용량이 큰 경우라도, 체격이 작은 구동용 모터를 사용할 수 있다. 또한 체격이 큰 1 대의 구동용 모터를 사용하는 경우와 비교하여, 체격이 작은 복수의 구동용 모터를 사용하는 경우에는 구동용 모터의 배치의 자유도가 높게 된다. 따라서 본 발명에서는 큰 반송대상물을 반송하는 것임에도 불구하고, 산업용 로보트를 소형화하는 것이 가능하다. 또한 구동용 모터의 용량이 소정의 용량을 넘으면 구동용 모터의 가격은 급격하게 높아지지만, 본 발명에서는 용량이 작은 구동용 모터를 사용할 수 있기 때문에 복수의 구동용 모터가 사용되는 경우에도 산업용 로보트의 코스트를 저감하는 것이 가능하게 된다. 또한 본 발명에서는 용량이 작은 구동용 모터를 사용할 수 있기 때문에 1대의 구동용 모터로부터 전달되는 구동력은 작아진다. 따라서 구동용 모터의 동력을 전달하는 톱니바퀴 등의 동력전달기구로의 동력전달을 작게할 수 있어 동력전달기구의 구성을 간소화할 수 있다. 또한 동력전달기구의 손상을 억제할 수 있다. 한편, 복수의 구동용 모터를 사용하면, 회전속도의 차이 등의 원인으로 어느 구동용 모터의 구동토크가 다른 구동용 모터의 큰 부하가 되는 경우가 생길 우려가 있다. 본 발명에서는, 수평모터 제어부는 제1 수평구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하고, 또한 제1 수평구동용의 속도검출기구인 제1 속도검출기구에 의해서 검출되는 지지부재의 소정의 기준위치로부터 정지예정위치까지의 펄스수인 기준펄스수와, 제1 속도검출기구에 의해서 검출된 지지부재의 기준위치로부터의 실제의 펄스수인 검출펄스수와의 차이를 산출하고, 이 차이가 소정의 값 이하인 경우에는 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제2 수평구동용 모터를 제어함과 아울러 기준펄스수와 검출펄스수와의 차이가 소정의 값 보다도 큰 경우에는 토크제어에 의해서 제2 수평구동용 모터를 제어하고 있다. 따라서 기준펄스수와 검출펄스수와의 차이가 소정의 값 보다도 큰 경우에는 제2 수평구동용 모터의 회전속도 또는 회전위치가 제어되지 않게 되고, 제2 수평구동용 모터는 제1 수평구동용 모터의 회전속도 또는 회전위치에 추종하여 회전한다. 그 결과 복수의 구동용 모터를 사용해도 어느 구동용 모터의 구동토크가 다른 구동용 모터의 큰 부하가 되는 것을 방지할 수 있다. 또한 기준펄스수와 검출펄스수와의 차가 소정의 값 이하가 되며, 제2 수평구동용 모터가 정지하기 전에는 제2 수평구동용 모터의 회전속도 또는 회전위치를 제어하여 제1 수평구동용 모터 및 제2 수평구동용 모터의 동력을 지지부재에 전달하기 위한 동력전달기구의 정지시의 백래쉬를 없애는 것이 가능하다. The total capacity of the drive motor required by the horizontal drive mechanism increases with the increase in the size of the object to be transported. Therefore, in the case of driving the horizontal drive mechanism with one drive motor, it is necessary to use a motor having a large size, There is a fear that the size becomes larger. In the industrial robot of the present invention, the horizontal drive mechanism includes a plurality of drive motors. Therefore, even when the total capacity of the driving motors required in the horizontal driving mechanism is large, a driving motor having a small size can be used. In addition, in the case of using a plurality of driving motors having small physique, as compared with the case of using one driving motor having a large physique, the freedom of disposition of the driving motors is increased. Therefore, although the present invention carries a large carrying object, it is possible to downsize the industrial robot. Further, when the capacity of the drive motor exceeds a predetermined capacity, the price of the drive motor drastically increases. However, in the present invention, since the drive motor having a small capacity can be used, even when a plurality of drive motors are used, The cost can be reduced. Further, in the present invention, since the driving motor having a small capacity can be used, the driving force transmitted from one driving motor is reduced. Therefore, it is possible to reduce the power transmission to the power transmission mechanism such as the toothed wheel for transmitting the power of the drive motor, and the configuration of the power transmission mechanism can be simplified. Also, damage to the power transmission mechanism can be suppressed. On the other hand, when a plurality of drive motors are used, there is a possibility that a drive torque of a certain drive motor may become a large load of the other drive motor due to a difference in rotation speed or the like. In the present invention, the horizontal motor control unit controls the first horizontal driving motor by either the speed control or the position control and the torque control, and also detects by the first speed detecting mechanism as the first horizontal driving speed detector The difference between the reference pulse number which is the number of pulses from the predetermined reference position of the support member to the predetermined stop position and the detected pulse number which is the actual number of pulses from the reference position of the support member detected by the first speed detecting mechanism is calculated And when the difference is less than or equal to the predetermined value, the second horizontal driving motor is controlled by either the speed control or the position control and the torque control, and the difference between the reference pulse number and the detected pulse number is larger than a predetermined value The second horizontal driving motor is controlled by the torque control. Therefore, when the difference between the reference pulse number and the detected pulse number is larger than the predetermined value, the rotational speed or the rotational position of the second horizontal driving motor is not controlled, and the second horizontal driving motor is driven by the first horizontal driving motor And then rotates in accordance with the rotation speed or the rotation position. As a result, even when a plurality of driving motors are used, it is possible to prevent a driving torque of any of the driving motors from becoming a large load of the other driving motors. The difference between the number of reference pulses and the number of detected pulses becomes equal to or less than a predetermined value, and before the second horizontal driving motor stops, the rotation speed or the rotational position of the second horizontal driving motor is controlled, Backlash of the power transmitting mechanism for transmitting the power of the second horizontal driving motor to the supporting member can be eliminated.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로보트는, 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 상기 핸드가 연결되는 암(arm)과, 상기 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에, 상하방향을 축방향으로 하는 소정의 중심축을 중심으로 상기 지지부재를 회전시키기 위한 회전구동기구와, 상기 회전구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 회전구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하며, 상기 제어부는 복수의 상기 구동용 모터를 제어하는 회전모터제어부를 구비하고, 복수의 상기 구동용 모터 각각은, 상기 구동용 모터의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구를 구비하며, 복수의 상기 구동용 모터 중 몇 대의 상기 구동용 모터인 제1 회전구동용 모터로 하고, 상기 제1 회전구동용 모터를 제외한 나머지의 상기 구동용 모터를 제2 회전구동용 모터로 하면, 상기 회전모터 제어부는, 상기 제1 회전구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하고, 또한 상기 제1 회전구동용 모터의 상기 속도검출기구인 제1 속도검출기구에 의해서 검출되는 상기 지지부재의 소정의 기준위치로부터 정지예정위치까지의 펄스수인 기준펄스수와, 상기 제1 속도검출기구에 의해서 검출된 상기 지지부재의 기준위치로부터의 실제의 펄스수인 검출펄스수와의 차이를 산출하며, 그 차이가 소정의 값 이하인 경우에는, 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 상기 제2 회전구동용 모터를 제어함과 아울러 상기 기준펄스수와 상기 검출펄스수와의 차이가 상기 소정의 값 보다도 큰 경우에는 토크제어에 의해서 상기 제2 회전구동용 모터를 제어하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, an industrial robot of the present invention comprises a hand on which a carrying object is mounted, an arm to which the hand is connected, and a supporting member for supporting the arm , A rotation driving mechanism for rotating the support member about a predetermined central axis in the vertical direction as the axial direction, and a control unit for controlling the rotation driving mechanism, wherein the rotation driving mechanism includes a plurality of driving motors Wherein the control unit includes a rotation motor control unit for controlling the plurality of drive motors, each of the plurality of drive motors includes a speed detection mechanism for detecting a rotation speed of the drive motor, Wherein the driving motor is a first rotation driving motor which is a plurality of the driving motors among the driving motors and the remaining driving motors except for the first rotation driving motor are a second rotation And the rotation motor control section controls the first rotation drive motor by either the speed control or the position control and the torque control, and the first rotation drive motor is controlled by the first rotation drive motor A reference pulse number which is the number of pulses from a predetermined reference position of the support member detected by the velocity detecting mechanism to a predetermined stopping position and an actual pulse number from a reference position of the support member detected by the first velocity detecting mechanism And when the difference is equal to or smaller than a predetermined value, the second rotation driving motor is controlled by either the speed control or the position control and the torque control, And when the difference between the number of detected pulses and the number of detected pulses is greater than the predetermined value, the second rotation drive motor is controlled by torque control .

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반송대상물의 대형화에 수반하여, 수평구동기구에서 요구되는 구동용 모터의 총용량이 커지기 때문에, 1대의 구동용 모터로 수평구동기구를 구동하는 경우에는, 체격이 큰 모터를 사용할 필요가 있어, 산업용 로보트가 대형화할 우려가 있다. 본 발명의 산업용 로보트에서는, 회전구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하고 있다. 그 때문에 회전구동기구에서 요구되는 구동용 모터의 총용량이 큰 경우라도, 체격이 작은 구동용 모터를 사용할 수 있다. 또한 체격이 큰 1 대의 구동용 모터를 사용하는 경우와 비교하여, 체격이 작은 복수의 구동용 모터를 사용하는 경우에는 구동용 모터의 배치의 자유도가 높게 된다. 따라서 본 발명에서는 큰 반송대상물을 반송하는 것임에도 불구하고, 산업용 로보트를 소형화하는 것이 가능하다. 또한 구동용 모터의 용량이 소정의 용량을 넘으면 구동용 모터의 가격은 급격하게 높아지지만, 본 발명에서는 용량이 작은 구동용 모터를 사용할 수 있기 때문에 복수의 구동용 모터가 사용되는 경우에도 산업용 로보트의 코스트를 저감하는 것이 가능하게 된다. 또한 본 발명에서는 용량이 작은 구동용 모터를 사용할 수 있기 때문에 1대의 구동용 모터로부터 전달되는 구동력은 작아진다. 따라서 구동용 모터의 동력을 전달하는 톱니바퀴 등의 동력전달기구로의 동력전달을 작게할 수 있어 동력전달기구의 구성을 간소화할 수 있다. 또한 동력전달기구의 손상을 억제할 수 있다. 한편, 복수의 구동용 모터를 사용하면, 회전속도의 차이 등의 원인으로 어느 구동용 모터의 구동토크가 다른 구동용 모터의 큰 부하가 되는 경우가 생길 우려가 있다. 본 발명에서는, 회전모터 제어부는 제1 회전구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하고, 또한 제1 회전구동용의 속도검출기구인 제1 속도검출기구에 의해서 검출되는 지지부재의 소정의 기준위치로부터 정지예정위치까지의 펄스수인 기준펄스수와, 제1 속도검출기구에 의해서 검출된 지지부재의 기준위치로부터의 실제의 펄스수인 검출펄스수와의 차이를 산출하고, 이 차이가 소정의 값 이하인 경우에는 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제2 회전구동용 모터를 제어함과 아울러 기준펄스수와 검출펄스수와의 차이가 소정의 값 보다도 큰 경우에는 토크제어에 의해서 제2 회전구동용 모터를 제어하고 있다. 따라서 기준펄스수와 검출펄스수와의 차이가 소정의 값 보다도 큰 경우에는 제2 회전구동용 모터의 회전속도 또는 회전위치가 제어되지 않게 되고, 제2 회전구동용 모터는 제1 회전구동용 모터의 회전속도 또는 회전위치에 추종하여 회전한다. 그 결과 복수의 구동용 모터를 사용해도 어느 구동용 모터의 구동토크가 다른 구동용 모터의 큰 부하가 되는 것을 방지할 수 있다. 또한 기준펄스수와 검출펄스수와의 차가 소정의 값 이하가 되며, 제2 회전구동용 모터가 정지하기 전에는 제2 수평구동용 모터의 회전속도 또는 회전위치를 제어하여 제1 회전구동용 모터 및 제2 회전구동용 모터의 동력을 지지부재에 전달하기 위한 동력전달기구의 정지시의 백래쉬를 없애는 것이 가능하다. 이와 같이 구성하면, 제2 회전구동용 모터의 정지 전 이외에서는 제2 회전구동용 모터의 회전속도 또는 회전위치가 제어되지 않게 되기 때문에, 제2 회전구동용 모터는 제1 회전구동용 모터의 회전속도 또는 회전위치에 추종하여 회전한다. 따라서, 어느 회전구동용 모터의 구동토크가 다른 회전구동용 모터의 큰 부하가 되는 것을 방지할 수 있다. 또, 제2 회전구동용 모터의 정지 전에는 제2 회전구동용 모터의 회전속도 또는 회전위치를 제어하여, 제1 회전구동용 모터 및 제2 회전구동용 모터의 동력을 지지부재에 전달하기 위한 동력전달기구의 정지시의 백래쉬를 없애는 것이 가능하게 된다.The total capacity of the drive motor required by the horizontal drive mechanism increases with the increase in the size of the object to be transported. Therefore, in the case of driving the horizontal drive mechanism with one drive motor, it is necessary to use a motor having a large size, There is a fear that the size becomes larger. In the industrial robot of the present invention, the rotation drive mechanism includes a plurality of drive motors. Therefore, even when the total capacity of the driving motors required in the rotary drive mechanism is large, a driving motor having a small size can be used. In addition, in the case of using a plurality of driving motors having small physique, as compared with the case of using one driving motor having a large physique, the freedom of disposition of the driving motors is increased. Therefore, although the present invention carries a large carrying object, it is possible to downsize the industrial robot. Further, when the capacity of the drive motor exceeds a predetermined capacity, the price of the drive motor drastically increases. However, in the present invention, since the drive motor having a small capacity can be used, even when a plurality of drive motors are used, The cost can be reduced. Further, in the present invention, since the driving motor having a small capacity can be used, the driving force transmitted from one driving motor is reduced. Therefore, it is possible to reduce the power transmission to the power transmission mechanism such as the toothed wheel for transmitting the power of the drive motor, and the configuration of the power transmission mechanism can be simplified. Also, damage to the power transmission mechanism can be suppressed. On the other hand, when a plurality of drive motors are used, there is a possibility that a drive torque of a certain drive motor may become a large load of the other drive motor due to a difference in rotation speed or the like. In the present invention, the rotation motor control unit controls the first rotation drive motor by either the speed control or the position control and the torque control, and is also detected by the first speed detection mechanism which is the speed detector for the first rotation drive The difference between the reference pulse number which is the number of pulses from the predetermined reference position of the support member to the predetermined stop position and the detected pulse number which is the actual number of pulses from the reference position of the support member detected by the first speed detecting mechanism is calculated And when the difference is less than or equal to the predetermined value, the second rotation drive motor is controlled by either the speed control or the position control and the torque control, and the difference between the reference pulse number and the detected pulse number is greater than a predetermined value And when it is large, the second rotation drive motor is controlled by torque control. Therefore, when the difference between the number of reference pulses and the number of detected pulses is greater than a predetermined value, the rotational speed or the rotational position of the second rotational drive motor is not controlled, and the second rotational drive motor is driven by the first rotational drive motor And then rotates in accordance with the rotation speed or the rotation position. As a result, even when a plurality of driving motors are used, it is possible to prevent a driving torque of any of the driving motors from becoming a large load of the other driving motors. The difference between the number of reference pulses and the number of detected pulses becomes equal to or less than a predetermined value, and before the second rotation drive motor stops, the rotation speed or the rotation position of the second horizontal drive motor is controlled, Backlash at the time of stop of the power transmitting mechanism for transmitting the power of the second rotation drive motor to the support member can be eliminated. With this configuration, since the rotation speed or the rotation position of the second rotation drive motor is not controlled other than before the stop of the second rotation drive motor, the second rotation drive motor rotates the rotation of the first rotation drive motor Speed or rotation position. Therefore, it is possible to prevent a drive torque of a certain rotation drive motor from becoming a large load of the other rotation drive motor. Before the second rotation drive motor stops, the rotation speed or the rotation position of the second rotation drive motor is controlled so that the power for transmitting the power of the first rotation drive motor and the second rotation drive motor to the support member It is possible to eliminate backlash when the transmission mechanism is stopped.

이상과 같이, 본 발명에 관한 산업용 로보트에서는 대형화하는 반송대상물을 반송하는 경우라도 산업용 로보트를 소형화하는 것 및 산업용 로보트의 코스트를 저감하는 것이 가능하게 된다.As described above, in the industrial robot according to the present invention, it is possible to reduce the size of the industrial robot and reduce the cost of the industrial robot even when the object to be transported is being enlarged.

<발명을 실시하기 위한 바람직한 형태>BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION [

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 근거하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로보트의 개략 구성)(Outline of industrial robot)

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트(1)의 평면도이다. 도 2는 도 1의 E-E방향에서 산업용 로보트(1)를 나타내는 도이다. 도 3은 도 1의 F-F방향에서 산업용 로보트(1)를 나타내는 도이다.1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. 2 is a view showing the industrial robot 1 in the direction of E-E in Fig. 3 is a view showing the industrial robot 1 in the direction of F-F in Fig.

본 형태의 산업용 로보트(1)(이하, 「로보트(1)」로 한다.)는 반송대상물인 액정 디스플레이용 유리기판(2)(이하, 「기판(2)」으로 한다.)을 반송하기 위한 로보트이다. 본 형태의 로보트(1)는 특히 대형 기판(2)의 반송에 적절한 대형 로보트로서, 예를 들어, 1변이 약 3m의 대략 정방형(正方形) 모양의 기판(2)을 반송한다. 또한, 반송대상물은 기판(2)으로 한정되지 않고, 반도체 웨이퍼 등이라도 된다.The industrial robot 1 of the present embodiment (hereinafter referred to as a robot 1) is a robot 1 for transporting a liquid crystal display glass substrate 2 (hereinafter referred to as a "substrate 2" It is a robot. The robot 1 of this embodiment is a large robot suitable for transporting a large-size substrate 2, and for example, a substrate 2 of approximately square shape with one side of about 3 m is transported. The object to be transported is not limited to the substrate 2, but may be a semiconductor wafer or the like.

이 로보트(1)는, 도 1 ~ 도 3에 나타내는 바와 같이, 기판(2)이 탑재되는 2개의 핸드(3)와, 2개의 핸드(3)의 각각이 선단 측에 연결되는 2개의 암(4)과, 2개의 암(4)을 지지하는 본체부(5)와, 본체부(5)를 수평방향으로 이동가능하게 지지하는 베이스부재(6)를 구비하고 있다. 본체부(5)는 2개의 암(4)의 기단(基端) 측을 지지함과 동시에 상하이동가능한 지지부재(7)와, 지지부재(7)를 상하방향으로 이동가능하게 지지하기 위한 주상부재(8)와, 본체부(5)의 하단 부분을 구성함과 동시에 베이스부재(6)에 대해서 수평이동가능한 기대(基臺)(9)와, 주상부재(8)의 하단이 고정됨과 동시에 기대(9)에 대해서 선회(旋回)가능한 선회부재(10)를 구비하고 있 다.1 to 3, the robot 1 includes two hands 3 on which a substrate 2 is mounted, two arms 3 each having two hands 3, A main body portion 5 for supporting the two arms 4 and a base member 6 for supporting the main body portion 5 movably in the horizontal direction. The main body portion 5 includes a support member 7 which supports the base end side of the two arms 4 and is movable up and down and a columnar support member 7 for supporting the support member 7 movably in the up- A base 9 capable of horizontally moving with respect to the base member 6 and a lower end of the columnar member 8 being fixed to the base member 6 And a turning member 10 capable of turning with respect to the base 9.

상술한 바와 같이, 본 형태의 로보트(1)는 대형 로보트이다. 예를 들어, 로보트(1)의 높이는 약 7m이고, 지지부재(7)의 상하방향의 스트로크(이동량)는 약 5m이다. 또, 예를 들어, 핸드(3)의 수평방향의 스트로크는 약 5.5m이다.As described above, the robot 1 of the present embodiment is a large-sized robot. For example, the height of the robot 1 is about 7 m, and the vertical stroke (movement amount) of the support member 7 is about 5 m. In addition, for example, the horizontal stroke of the hand 3 is about 5.5 m.

핸드(3)는 기판(2)을 탑재하기 위한 복수의 손톱부(12)를 구비하고 있다. 핸드(3)의 기단은 암(4)의 선단에 회동가능하게 연결되어 있다. 암(4)은 2개의 관절부(13)를 가지고, 전체적으로 신축하도록 구성되어 있다. 또, 암(4)의 기단은 지지부재(7)에 고정되어 있다.The hand 3 is provided with a plurality of nail portions 12 for mounting the substrate 2 thereon. The base end of the hand 3 is rotatably connected to the distal end of the arm 4. The arm (4) has two joint portions (13) and is configured to extend and contract as a whole. In addition, the base end of the arm 4 is fixed to the support member 7.

본 형태에서는 2개의 핸드(3)와 2개의 암(4)이 상하방향과 겹쳐지도록 배치되어 있다. 즉, 본 형태의 로보트(1)는 더블 암 타입의 로보트이다. 또한, 로보트(1)는 1개의 핸드(3)와 1개의 암(4)을 구비하는 싱글 암 타입의 로보트라도 된다.In this embodiment, the two hands 3 and the two arms 4 are arranged so as to overlap with each other in the vertical direction. That is, the robot 1 of the present embodiment is a double arm type robot. Further, the robot 1 may be a single-arm type robot having one hand 3 and one arm 4.

또, 로보트(1)는 지지부재(7)를 상하이동시키는 상하구동기구(16)(도 4 참조)와, 본체부(5)를 수평방향으로 이동시키는 수평구동기구(17)(도 7 참조)와, 기대(9)에 대해서 선회부재(10)를 선회시키는 회전구동기구(18)(도 7 참조)를 구비하고 있다. 이하, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)의 구성 및 그 주변 부분의 구성을 설명한다.4) for vertically moving the support member 7 and a horizontal drive mechanism 17 (see Fig. 7) for moving the body portion 5 in the horizontal direction And a rotation drive mechanism 18 (see Fig. 7) for pivoting the pivoting member 10 with respect to the base 9. Hereinafter, the configurations of the up-and-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17, and the rotary driving mechanism 18 and the configuration of the peripheral portion thereof will be described.

(상하구동기구 및 그 주변부의 구성)(Structure of Upper Driving Mechanism and its Peripheral Portion)

도 4는 도 1의 F-F방향에서 지지부재(7) 및 상하구동기구(16)를 나타내는 도이다. 도 5는 도 4의 G-G방향에서 지지부재(7), 주상부재(8) 및 상하구동기구(16) 를 나타내는 도이다. 도 6은 도 4의 H-H방향에서 상하구동기구(16)를 나타내는 도이다.Fig. 4 is a view showing the support member 7 and the up-and-down driving mechanism 16 in the direction of F-F in Fig. 5 is a view showing the supporting member 7, the columnar member 8 and the up-and-down driving mechanism 16 in the direction of G-G in Fig. 6 is a diagram showing the up-and-down driving mechanism 16 in the direction of H-H in Fig.

상하구동기구(16)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 주상부재(8)의 측방(도 5에서의 주상부재(8) 아래쪽)에 배치되어 있다. 이 상하구동기구(16)는 2대의 상하구동용 모터(20)와, 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각에 연결되는 2개의 감속기(21)를 구비하고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 1대의 상하구동용 모터(20), 2개의 감속기(21) 및 1대의 상하구동용 모터(20)가 위로부터 이 순번(順番)으로 지지부재(7)에 고정되어 있다.As shown in Fig. 5, the vertical drive mechanism 16 is disposed on the side of the columnar member 8 (below the columnar member 8 in Fig. 5). The up-and-down driving mechanism 16 includes two up-and-down driving motors 20 and two speed reducers 21 connected to the two up-and-down driving motors 20, respectively. 4, one up-down driving motor 20, two speed reducers 21 and one up-down driving motor 20 are fixed to the support member 7 in this order from the top have.

또, 상하구동기구(16)는 2개의 감속기(21)의 각각의 출력축에 고정되는 상하구동용 피니언으로서의 2개의 피니언(작은 톱니바퀴)(22)과, 2개의 피니언(22)과 치합하는 상하구동용 랙으로서의 랙(23)을 구비하고 있다. 이 2개의 피니언(22)과 랙(23)에 의해서 지지부재(7)는 상하방향으로 이동한다. 또한, 상하구동기구(16)는 상하구동기구(16)를 정지시키기 위한(즉, 지지부재(7)를 정지시키기 위한) 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 구비하고 있다.The up-and-down driving mechanism 16 includes two pinions (small toothed wheels) 22 as upper and lower driving pinions fixed to respective output shafts of the two reduction gears 21, And a rack 23 as a driving rack. The two pinions 22 and the rack 23 move the support member 7 in the vertical direction. The up-and-down driving mechanism 16 includes two up-and-down brake mechanisms 24 for stopping the up-down driving mechanism 16 (that is, for stopping the supporting member 7).

또, 로보트(1)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 지지부재(7)를 상하방향으로 안내하기 위한 가이드부(25)를 구비하고 있다. 가이드부(25)는 가이드 레일(26)과 가이드 레일(26)에 걸어 맞추는 가이드 블록(27)으로 구성되어 있다. 또한, 주상부재(8)는 상하방향을 길이방향으로 하는 가늘고 긴 대략 각주상(角柱狀)으로 형성되며, 지지부재(7)는 블록 모양으로 형성되어 있다.5, the robot 1 is provided with a guide portion 25 for guiding the support member 7 in the vertical direction. The guide portion 25 is constituted by a guide rail 26 and a guide block 27 which engages with the guide rail 26. In addition, the columnar member 8 is formed into a substantially square columnar shape having a long length in the vertical direction, and the support member 7 is formed in a block shape.

상하구동용 모터(20)는 상하구동용 모터(20)의 회전속도를 검출하기 위한 속 도검출기구(도시생략)를 구비하고 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성된 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다.The up-down driving motor 20 is provided with a speed detecting mechanism (not shown) for detecting the rotating speed of the up-down driving motor 20. [ The speed detecting mechanism is constituted by, for example, a slit plate formed in a disk shape and a light emitting element and a light receiving element arranged opposite to each other with the slit plate sandwiched therebetween.

도 6에 나타내는 바와 같이, 상하구동용 모터(20)의 출력축에는 풀리(28)가 고정되어 있다. 또, 감속기(21)의 입력축에는 풀리(28)보다 지름이 큰 풀리(29)가 고정되어 있다. 풀리(28, 29)에는 벨트(30)가 걸쳐져 있고, 상하방향으로 인접배치되는 상하구동용 모터(20)와 감속기(21)가 이 벨트(30)에 의해서 연결되어 있다.As shown in Fig. 6, a pulley 28 is fixed to the output shaft of the up-and-down driving motor 20. As shown in Fig. A pulley 29 having a larger diameter than the pulley 28 is fixed to the input shaft of the speed reducer 21. A belt 30 is wound on the pulleys 28 and 29 and the motor 30 for vertically driving the vertical drive motor 20 and the speed reducer 21 are connected by the belt 30.

랙(23)은 상하방향을 길이방향으로 하여 주상부재(8)에 고정되어 있다(도 5 참조). 상술한 바와 같이, 본 형태에서는 지지부재(7)의 상하방향의 스트로크가 길다. 즉, 랙(23)의 길이는 길다. 그 때문에, 본 형태에서는, 랙(23)은 복수의 랙편을 이어 맞추는 것으로 형성되어 있다. 또한, 1개의 랙편의 길이는 2개의 피니언(22)의 배치 피치보다 길게 되어 있다.The rack 23 is fixed to the columnar member 8 in the longitudinal direction in the longitudinal direction (see Fig. 5). As described above, in this embodiment, the vertical stroke of the support member 7 is long. That is, the length of the rack 23 is long. Therefore, in this embodiment, the rack 23 is formed by joining a plurality of pieces. In addition, the length of one rack piece is longer than the arrangement pitch of the two pinions 22.

상하 브레이크 기구(24)는, 도 6 등에 나타내는 바와 같이, 풀리(29)에 인접하도록 감속기(21)의 입력축에 장착되어 있다. 즉, 2개의 상하 브레이크 기구(24)의 각각은 풀리(28, 29) 및 벨트(30)를 통하여 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각에 연결되어 있다.The upper and lower brake mechanism 24 is mounted on the input shaft of the speed reducer 21 so as to be adjacent to the pulley 29 as shown in Fig. That is, each of the two upper and lower brake mechanisms 24 is connected to each of the two upper and lower drive motors 20 through the pulleys 28, 29 and the belt 30.

이 상하 브레이크 기구(24)는 이른바 무여자(無勵磁) 작동형 브레이크이며, 코일이 수납되는 케이스체와, 케이스체에 고정되는 사이드 플레이트와, 케이스체에 대해서 축방향으로 이동가능하게 배치되는 아마츄어(amateur)와, 사이드 플레이트와 아마츄어 사이에 배치됨과 동시에 감속기(21)의 입력축에 고정되는 브레이크 디 스크와, 아마츄어를 브레이크 디스크로 향하여 가압하는 압축코일 스프링을 구비하고 있다. 상하 브레이크 기구(24)에서는 코일이 통전(通電) 상태가 되면, 아마츄어가 케이스체에 흡인(吸引)되어 브레이크 디스크가 해방된다. 또, 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 아마츄어와 사이드 플레이트와의 사이에 브레이크 디스크가 끼워져 감속기(21)에 급격하게 브레이크가 걸린다. 또한, 1개의 상하 브레이크 기구(24)는 기판(2), 핸드(3), 암(4) 및 지지부재(7) 등을 포함한 상하방향으로 이동하는 부분을 충분히 정지시킬 수 있는 제동력을 가지고 있다.The upper and lower braking mechanism 24 is a so-called zero-excitation type brake, and includes a case body in which a coil is housed, a side plate fixed to the case body, A brake disk disposed between the side plate and the armature and fixed to the input shaft of the speed reducer 21 and a compression coil spring urging the armature toward the brake disk. In the upper and lower brake mechanism 24, when the coil is in the energized state, the armature is sucked into the case body to release the brake disc. When the energization to the coil is stopped, a brake disk is inserted between the armature and the side plate by the urging force of the compression coil spring, and the decelerator 21 is suddenly braked. The one vertical braking mechanism 24 has a braking force capable of sufficiently stopping the vertically moving portion including the substrate 2, the hand 3, the arm 4, the support member 7, and the like .

가이드 레일(26)은 상하방향을 길이방향으로 하여 주상부재(8)에 고정되어 있다(도 5 참조). 본 형태에서는 2개의 가이드 레일(26)이 주상부재(8)에 고정되어 있다. 구체적으로는 도 5의 좌우방향으로 평행한 2개의 주상부재(8)의 장착면의 각각에 가이드 레일(26)이 고정되어 있다. 또,도 5의 아래쪽에 배치되는 가이드 레일(26)은 랙(23)에 인접하도록 고정되어 있다.The guide rail 26 is fixed to the columnar member 8 in the longitudinal direction in the longitudinal direction (see Fig. 5). In this embodiment, the two guide rails 26 are fixed to the columnar member 8. Concretely, the guide rails 26 are fixed to the respective mounting surfaces of the two columnar members 8 parallel to the left and right direction in Fig. Further, the guide rail 26 disposed at the lower side of Fig. 5 is fixed so as to be adjacent to the rack 23.

가이드 블록(27)은 지지부재(7)에 고정되어 있다. 구체적으로는 지지부재(7)의 암(4)의 고정면(도 5의 우단면)에 직교하는 면에 가이드 블록(27)이 고정되어 있고, 가이드 블록(27)은 도 5의 상하방향의 외측으로부터 가이드 레일(26)에 걸어 맞춰져 있다.The guide block 27 is fixed to the support member 7. Specifically, a guide block 27 is fixed to a surface of the support member 7 orthogonal to the fixing surface (the right end surface in FIG. 5) of the arm 4, And is engaged with the guide rail 26 from the outside.

또한, 본 형태에서는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 주상부재(8)에 커버부재(31)가 고정되어 있다. 이 커버부재(31)는 도 5의 상하방향에서 가이드 레일(26)을 가리도록 배치되어 있다.Further, in this embodiment, as shown in Fig. 5, the cover member 31 is fixed to the columnar member 8. As shown in Fig. The cover member 31 is disposed so as to cover the guide rail 26 in the vertical direction in Fig.

(수평구동기구 및 그 주변부의 구성)(Configuration of Horizontal Drive Mechanism and Its Surrounding Parts)

도 7은 도 2의 J부의 내부구성을 설명하기 위한 도이다. 도 8은 도 3의 K-K방향에서 수평구동기구(17) 등의 구성을 설명하기 위한 도이다. 도 9는 도 8의 L-L방향에서 수평구동기구(17)의 구성을 설명하기 위한 도이다.Fig. 7 is a diagram for explaining the internal configuration of a portion J in Fig. 2; 8 is a view for explaining the configuration of the horizontal drive mechanism 17 and the like in the direction of K-K in Fig. Fig. 9 is a diagram for explaining the configuration of the horizontal drive mechanism 17 in the L-L direction in Fig.

수평구동기구(17)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 도 7에서의 기대(9)의 좌단 측에 배치되어 있다. 이 수평구동기구(17)는 2대의 수평구동용 모터(40)를 구비하고 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 2대의 수평구동용 모터(40)는 도 8의 좌우방향에서 인접하도록 배치되어 있다. 또, 2대의 수평구동용 모터(40)의 각각은 기대(9)에 고정된 2개의 브래킷(52)의 각각에 고정되어 있다. 2개의 브래킷(52)의 각각에는 도 8, 도 9에 나타내는 바와 같이, 회전축(53)이 베어링(54)을 통하여 회전가능하게 유지되고 있다. 2개의 회전축(53)은 도 8의 좌우방향에서 인접하도록 배치되어 있다.As shown in Fig. 7, the horizontal drive mechanism 17 is disposed on the left end side of the base 9 in Fig. The horizontal driving mechanism 17 is provided with two horizontal driving motors 40. As shown in Fig. 8, the two horizontal driving motors 40 are arranged adjacent to each other in the right-left direction in Fig. Each of the two horizontal driving motors 40 is fixed to each of the two brackets 52 fixed to the base 9. As shown in Figs. 8 and 9, each of the two brackets 52 is rotatably supported by a rotary shaft 53 via a bearing 54. [0053] The two rotary shafts 53 are arranged so as to be adjacent to each other in the left-right direction in Fig.

또, 수평구동기구(17)는 2개의 회전축(53)의 각각의 하단에 고정되는 수평구동용 피니언으로서의 2개의 피니언(42)과, 2개의 피니언(42)과 치합하는 수평구동용 랙으로서의 랙(43)을 구비하고 있다. 이 2개의 피니언(42)과 랙(43)에 의해서, 기대(9)는 수평방향으로 이동한다. 또한, 수평구동기구(17)는 수평구동기구(17)를 정지시키기 위한(즉, 기대(9)를 정지시키기 위한) 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 구비하고 있다.The horizontal driving mechanism 17 includes two pinions 42 serving as horizontal driving pins fixed to the lower ends of the two rotary shafts 53 and a rack 42 serving as a horizontal driving rack for mating with the two pinions 42. [ (43). By the two pinions 42 and the rack 43, the base 9 moves in the horizontal direction. The horizontal driving mechanism 17 also has two horizontal brake mechanisms 44 for stopping the horizontal driving mechanism 17 (i.e., for stopping the base 9).

또, 로보트(1)는 기대(9)를 수평방향으로 안내하기 위한 가이드부(45)를 구비하고 있다. 가이드부(45)는 가이드 레일(46)과 가이드 레일(46)에 걸어 맞추는 가이드 블록(47)으로 구성되어 있다. 또, 베이스부재(6)는, 도 7, 도 8에 나타내는 바와 같이, 가늘고 긴 2개의 레일모양 부재(51)를 구비하고 있다. 이 레일모양 부재(51)는 도 7의 좌우방향으로 소정의 간격을 둔 상태로 평행하게 배치되어 있다.Further, the robot 1 is provided with a guide portion 45 for guiding the base 9 in the horizontal direction. The guide portion 45 is composed of a guide rail 46 and a guide block 47 which engages with the guide rail 46. As shown in Figs. 7 and 8, the base member 6 is provided with two elongated rail-shaped members 51. The rail-shaped members 51 are arranged parallel to each other with a predetermined gap leftward and rightward in FIG.

수평구동용 모터(40)는 수평구동용 모터(40)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(도시생략)를 구비하고 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성된 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다.The horizontal driving motor 40 is provided with a speed detecting mechanism (not shown) for detecting the rotational speed of the horizontal driving motor 40. [ The speed detecting mechanism is constituted by, for example, a slit plate formed in a disk shape and a light emitting element and a light receiving element arranged opposite to each other with the slit plate sandwiched therebetween.

도 9에 나타내는 바와 같이, 수평구동용 모터(40)의 출력축에는 풀리(48)가 고정되어 있다. 또, 회전축(53)의 상단 측에는 풀리(48)보다 지름이 큰 풀리(49)가 고정되어 있다. 풀리(48, 49)에는 벨트(50)가 걸쳐져 있고, 도 8의 상하방향에서 인접배치되는 수평구동용 모터(40)와 회전축(53)이 이 벨트(50)에 의해서 연결되어 있다.As shown in Fig. 9, a pulley 48 is fixed to the output shaft of the horizontal drive motor 40. As shown in Fig. A pulley 49 having a larger diameter than the pulley 48 is fixed to the upper end of the rotating shaft 53. A belt 50 is wound on the pulleys 48 and 49 and the horizontal drive motor 40 and the rotary shaft 53 disposed adjacent to each other in the vertical direction of Fig.

랙(43)은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 레일모양 부재(51)의 상면에 고정되어 있다. 본 형태에서는 기대(9)의 이동량이 크기 때문에, 랙(43)의 길이는 길다. 그 때문에, 랙(43)은 복수의 랙편을 이어 맞추는 것으로 형성되어 있다.The rack 43 is fixed to the upper surface of the rail-shaped member 51 as shown in Fig. In this embodiment, since the amount of movement of the base 9 is large, the length of the rack 43 is long. Therefore, the rack 43 is formed by joining a plurality of pieces.

수평 브레이크 기구(44)는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 풀리(48)에 인접하도록 수평구동용 모터(40)의 출력축에 장착되어 있다. 이 수평 브레이크 기구(44)는 상하 브레이크 기구(24)와 마찬가지로 이른바 무여자 작동형의 브레이크이며, 상하 브레이크 기구(24)와 동일하게 구성되어 있다. 즉, 수평 브레이크 기구(44)에서는, 코일이 통전 상태가 되면, 아마츄어가 케이스체에 흡인되어 브레이크 디스크가 해방된다. 또, 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 아마 츄어와 사이드 플레이트와의 사이에 브레이크 디스크가 끼워져 수평구동용 모터(40)에 급격하게 브레이크가 걸린다.The horizontal brake mechanism 44 is mounted on the output shaft of the horizontal drive motor 40 so as to be adjacent to the pulley 48 as shown in Fig. The horizontal brake mechanism 44 is a so-called zero-excitation type brake similar to the vertical brake mechanism 24, and is constituted in the same manner as the vertical brake mechanism 24. That is, in the horizontal brake mechanism 44, when the coil is in the energized state, the armature is sucked into the case body to release the brake disc. When the energization to the coil is stopped, the brake disc is sandwiched between the armature and the side plate by the urging force of the compression coil spring, so that the horizontal driving motor 40 is rapidly braked.

가이드 레일(46)은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 레일모양 부재(51)의 상면에 고정되어 있다. 본 형태에서는, 2개의 레일모양 부재(51)의 각각의 상면에 가이드 레일(46)이 고정되어 있다. 또, 도 8의 위쪽에 배치되는 가이드 레일(46)은 랙(43)에 인접하도록 고정되어 있다. 가이드 블록(47)은, 도 7에 나타내는 바와 같이, 도 7의 좌우방향에서의 기대(9)의 양단부에 고정되어 있다. 이 가이드 블록(47)은 위쪽으로부터 가이드 레일(46)에 걸어 맞춰져 있다.As shown in Fig. 8, the guide rail 46 is fixed to the upper surface of the rail-shaped member 51. As shown in Fig. In this embodiment, the guide rails 46 are fixed to the upper surfaces of the two rail-shaped members 51, respectively. Further, the guide rail 46 disposed at the upper side of Fig. 8 is fixed so as to be adjacent to the rack 43. Fig. As shown in Fig. 7, the guide block 47 is fixed to both ends of the base 9 in the left and right direction in Fig. The guide block 47 is engaged with the guide rail 46 from above.

(회전구동기구 및 그 주변부분의 구성)(Configuration of Rotary Drive Mechanism and its Surrounding Parts)

도 10은 도 1에 나타내는 선회부재(10)의 평면도이다. 도 11은 도 10의 M-M단면의 단면도이다.10 is a plan view of the pivoting member 10 shown in Fig. 11 is a cross-sectional view taken along line M-M of Fig.

회전구동기구(18)는, 도 10, 도 11에 나타내는 바와 같이, 선회부재(10)의 선회중심이 되는 중심축(CL)의 둘레에 배치되어 있다. 이 회전구동기구(18)는 2대의 회전구동용 모터(60)를 구비하고 있다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 2대의 회전구동용 모터(60)는 중심축(CL)에 대해서 점대칭으로 배치되며, 선회부재(10)의 중심부에 고정되어 있다. 또, 회전구동기구(18)는 선회부재(10)의 중심부에 고정되는 감속기(61)를 구비하고 있다. 또한, 회전구동기구(18)는 회전구동기구(18)를 정지시키기 위한(즉, 선회부재(10)를 정지시키기 위한) 1개의 회전 브레이크 기구(64)를 구비하고 있다. 또한, 선회부재(10)는 가늘고 긴 블록 모양의 부재이며, 일단 측(도 10의 좌단 측)에 주상부재(8)의 하단이 고정되어 있다.As shown in Figs. 10 and 11, the rotation drive mechanism 18 is disposed around the center axis CL, which is the center of rotation of the revolving member 10. The rotation driving mechanism 18 is provided with two rotation drive motors 60. As shown in Fig. 10, the two rotation drive motors 60 are arranged point-symmetrically with respect to the center axis CL and are fixed to the center of the revolving member 10. [ The rotary drive mechanism 18 is provided with a speed reducer 61 fixed to the center of the revolving member 10. The rotation drive mechanism 18 is provided with one rotary brake mechanism 64 for stopping the rotation drive mechanism 18 (i.e., for stopping the turning member 10). In addition, the revolving member 10 is an elongated block-shaped member, and the lower end of the columnar member 8 is fixed to one end side (left end side in Fig. 10).

회전구동용 모터(60)는 회전구동용 모터(60)의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구(도시생략)를 구비하고 있다. 이 속도검출기구는, 예를 들어, 원판 모양으로 형성된 슬릿판과, 슬릿판을 끼운 상태로 대향 배치되는 발광소자 및 수광소자로 구성되어 있다.The rotation drive motor 60 is provided with a speed detection mechanism (not shown) for detecting the rotation speed of the rotation drive motor 60. [ The speed detecting mechanism is constituted by, for example, a slit plate formed in a disk shape and a light emitting element and a light receiving element arranged opposite to each other with the slit plate sandwiched therebetween.

도 11에 나타내는 바와 같이, 회전구동용 모터(60)의 출력축에는 출력톱니바퀴(68)가 고정되어 있고, 2개의 출력톱니바퀴(68)가 감속기(61)의 입력톱니바퀴(69)와 치합하고 있다. 이 2개의 출력톱니바퀴(68)와 입력톱니바퀴(69)를 포합하는 감속기(61)에 의해서, 선회부재(10)는 기대(9)에 대해서 선회한다. 즉, 선회부재(10)의 중심부에는 감속기(61)의 출력 측이 고정되어 있고, 감속기(61)를 통하여 전달되는 회전구동용 모터(60)의 동력으로 선회부재(10)는 기대(9)에 대해서 선회한다.11, an output gear 68 is fixed to the output shaft of the rotation driving motor 60 and two output gears 68 are engaged with the input gear 69 of the speed reducer 61 It is summed up. The revolving member 10 pivots with respect to the base 9 by the reducer 61 that includes the two output gears 68 and the input gears 69. That is, the output side of the speed reducer 61 is fixed to the center of the revolving member 10, and the revolving member 10 is driven by the power of the rotation driving motor 60 transmitted through the reducer 61, Lt; / RTI &gt;

회전 브레이크 기구(64)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 선회부재(10)의 중심부에 베어링(74)을 통하여 회전가능하게 유지되는 회전축(73)의 상단에 고정되어 있다. 회전축(73)의 하단에는 감속기(61)의 입력톱니바퀴(69)와 치합하는 톱니바퀴(70)가 고정되어 있다. 또, 회전 브레이크 기구(64)는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 중심축(CL)을 중심으로 회전구동용 모터(60)를 90°회전시킨 위치에 배치되어 있다.11, the rotary brake mechanism 64 is fixed to the upper end of a rotary shaft 73 which is rotatably held in the center of the revolving member 10 through a bearing 74. [ A gear wheel 70 meshing with the input gear 69 of the speed reducer 61 is fixed to the lower end of the rotary shaft 73. 10, the rotary braking mechanism 64 is disposed at a position where the rotary drive motor 60 is rotated about the central axis CL by 90 degrees.

이 회전 브레이크 기구(64)는 상하 브레이크 기구(24)와 마찬가지로 이른바 무여자 작동형의 브레이크이며, 상하 브레이크 기구(24)와 동일하게 구성되어 있다. 즉, 회전 브레이크 기구(64)에서는 코일이 통전 상태가 되면, 아마츄어가 케이 스체에 흡인되어 브레이크 디스크가 해방된다. 또, 코일로의 통전이 정지되면, 압축코일 스프링의 가압력으로 아마츄어와 사이드 플레이트 사이에 브레이크 디스크가 끼워져, 입력톱니바퀴(69)에 급격하게 브레이크가 걸린다.The rotary braking mechanism 64 is a so-called zero-excitation type brake similar to the vertical braking mechanism 24, and is constituted in the same manner as the vertical braking mechanism 24. That is, in the rotary brake mechanism 64, when the coil is in the energized state, the armature is attracted to the casing body to release the brake disk. When the energization to the coil is stopped, the brake disk is inserted between the armature and the side plate by the urging force of the compression coil spring, and the input gear 69 is rapidly braked.

(제어부의 구성)(Configuration of control unit)

도 12는 도 1에 나타내는 산업용 로보트(1)의 제어부(80) 및 그 관련 부분의 블록도이다. 또한, 도 12에서는 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)의 제어에 관련하는 제어부(80)의 구성이 도시되어 있다.12 is a block diagram of the control unit 80 of the industrial robot 1 shown in Fig. 1 and its related parts. 12, the configuration of the control section 80 relating to the control of the up-and-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17, and the rotation driving mechanism 18 is shown.

제어부(80)는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)의 제어에 관련하는 구성으로서, 2대의 상하구동용 모터(20)를 제어하는 상하모터 제어부(81)와, 2대의 수평구동용 모터(40)를 제어하는 수평모터 제어부(82)와, 2대의 회전구동용 모터(60)를 제어하는 회전모터 제어부(83)와, 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 제어하는 상하 브레이크 제어부(84)와, 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 제어하는 수평 브레이크 제어부(85)와, 1개의 회전 브레이크 기구(64)를 제어하는 회전 브레이크 제어부(86)를 구비하고 있다. 또, 제어부(80)에는 제어지령부(87)가 접속되어 있다.12, the control unit 80 includes two up-and-down driving motors 20, which are related to the control of the up-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17 and the rotation driving mechanism 18, A horizontal motor control unit 82 for controlling the two horizontal driving motors 40 and a rotary motor control unit 83 for controlling the two rotary driving motors 60, A vertical brake control section 84 for controlling the two vertical brake mechanisms 24, a horizontal brake control section 85 for controlling the two horizontal brake mechanisms 44, And a rotary brake control unit 86. [ A control command section 87 is connected to the control section 80. [

상하모터 제어부(81)는 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각을 개별적으로 제어한다. 구체적으로는, 상하 모터 제어부(81)는 2대의 상하구동용 모터(20) 중 한쪽의 상하구동용 모터(20)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)를 토크제어에 의해서 제어한다. 즉, 상하모터 제어부(81)는 한쪽의 상하구동용 모터(20)에 대해서는 이 상하구동용 모터(20)의 속도검출기구로 부터의 출력에 근거하는 피드백제어와, 이 상하구동용 모터(20)의 전류값을 제어하는 토크제어를 실시하며, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)에 대해서는 이 상하구동용 모터(20)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백제어를 실시하지 않고, 이 상하구동용 모터(20)의 전류값을 제어하는 토크제어를 실시한다.The vertical motor control unit 81 controls each of the two vertical motors 20 individually. Specifically, the up-and-down motor control unit 81 controls one of the up-and-down drive motors 20 of the two up-and-down drive motors 20 by speed control and torque control, ) Is controlled by torque control. That is, the up-and-down motor control unit 81 controls feedback control based on the output from the speed detector of the up-down driving motor 20 and the feedback control based on the output from the up- The feedback control based on the output from the speed detecting mechanism of the up / down driving motor 20 is not performed for the other up / down driving motor 20, The torque control for controlling the current value of the up-down driving motor 20 is performed.

본 형태에서는 2대의 상하구동용 모터(20) 중 한쪽의 상하구동용 모터(20)는 제1 구동용 모터이다. 또, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)는 제2 구동용 모터이다.In this embodiment, one of the two up-down driving motors 20 is a first driving motor. The other upper and lower drive motor 20 is a second drive motor.

수평모터 제어부(82)는 2대의 수평구동용 모터(40)의 각각을 개별적으로 제어한다. 구체적으로는, 수평모터 제어부(82)는 2대의 수평구동용 모터(40) 중 한쪽의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어한다. 또, 수평모터 제어부(82)는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전에는, 한쪽의 수평구동용 모터(40)와 마찬가지로, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하지만, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외의 시간에는, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)를 토크제어에 의해서 제어한다.The horizontal motor control unit 82 controls each of the two horizontal driving motors 40 individually. Specifically, the horizontal motor control unit 82 controls the horizontal driving motor 40 of one of the two horizontal driving motors 40 by speed control and torque control. Before the other horizontal driving motor 40 is stopped, the horizontal motor control section 82 controls the other horizontal driving motor 40 in the same manner as the one horizontal driving motor 40, But controls the other horizontal driving motor 40 by torque control at other times except before the other of the horizontal driving motors 40 is stopped.

즉, 수평모터 제어부(82)는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외의 시간에는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)에 대해서, 이 수평구동용 모터(40)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백제어를 실시하지 않고 토크제어를 실시한다. 또, 수평모터 제어부(82)는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전에는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)에 대해서 이 수평구동용 모터(40)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백제어를 실시하여, 2개의 피니언(42)과 랙(43)과의 사이의 백래쉬가 없어지도록 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 회전 속도를 제어한다.That is, the horizontal motor control unit 82 controls the horizontal driving motor 40 to drive the horizontal driving motor 40 at other times except before the other horizontal driving motor 40 is stopped. The torque control is performed without performing the feedback control based on the output from the speed detecting mechanism. Before the other of the horizontal driving motors 40 stops, the horizontal motor control unit 82 outputs the output from the speed detecting mechanism of the horizontal driving motor 40 to the other horizontal driving motor 40 And the rotational speed of the other horizontal driving motor 40 is controlled so that backlash between the two pinions 42 and the rack 43 is eliminated.

여기서, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)가 정지 전인지 아닌지는, 예를 들어, 한쪽의 수평구동용 모터(40)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하여 수평모터 제어부(82)가 판단한다. 예를 들어, 수평모터 제어부(82)는 한쪽의 수평구동용 모터(40)의 속도검출기구에 의해서 검출되는 기대(9)의 소정의 기준위치로부터 정지예정위치까지의 펄스 수와, 실제로 속도검출기구로 검출된 펄스 수와의 차이를 산출하여, 그 차이가 소정의 값 이하이면, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)가 정지 전이라고 판단한다. 즉, 정지예정위치로부터 소정거리의 범위 내에 기대(9)가 들어가면, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전이 된다.Whether or not the other of the horizontal driving motors 40 is before stopping can be determined by the horizontal motor control unit 82 based on the output from the speed detecting mechanism of the one horizontal driving motor 40 do. For example, the horizontal motor control unit 82 determines whether the number of pulses from the predetermined reference position to the expected stop position of the base 9 detected by the velocity detection mechanism of the one horizontal drive motor 40, And if the difference is less than the predetermined value, it is determined that the other horizontal driving motor 40 is not stopped. That is, when the base 9 enters within a predetermined distance from the scheduled stop position, the other horizontal driving motor 40 is stopped.

본 형태에서는 2대의 수평구동용 모터(40) 중 한쪽의 수평구동용 모터(40)는 제1 구동용 모터이고, 또한, 제1 수평구동용 모터이다. 또, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)는 제2 구동용 모터이며, 또한, 제2 수평구동용 모터이다.In this embodiment, one horizontal driving motor 40 of the two horizontal driving motors 40 is a first driving motor and a first horizontal driving motor. The other horizontal drive motor 40 is a second drive motor and is also a second horizontal drive motor.

마찬가지로, 회전모터 제어부(83)는 2대의 회전구동용 모터(60)의 각각을 개별적으로 제어한다. 구체적으로는, 회전모터 제어부(83)는 2대의 회전구동용 모터(60) 중 한쪽의 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어한다. 또, 회전모터 제어부(83)는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전에는, 한쪽의 회전구동용 모터(60)와 마찬가지로, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어 의해서 제어하지만, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)를 토크제어에 의해서 제어한다.Likewise, the rotation motor control section 83 controls each of the two rotation drive motors 60 individually. More specifically, the rotation motor control section 83 controls one of the two rotation drive motors 60 by the speed control and the torque control. The rotation motor control section 83 controls the other rotation drive motor 60 in the same manner as the one rotation drive motor 60 before the other rotation drive motor 60 stops, But controls the other rotation drive motor 60 by torque control at other times except before stopping the rotation drive motor 60 at the other end.

즉, 회전모터 제어부(83)는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제 외한 그 외 시간에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)에 대해서 이 회전구동용 모터(60)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백제어를 실시하지 않고, 토크제어를 실시한다. 또, 회전모터 제어부(83)는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)에 대해서 이 회전구동용 모터(60)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하는 피드백제어를 실시하여, 2개의 출력톱니바퀴(68)와 입력톱니바퀴(69)와의 사이의 백래쉬가 없어지도록 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 회전속도를 제어한다.That is, the rotation motor control unit 83 controls the rotation drive motor 60 for the other rotation drive motor 60 at a time other than before stopping the other rotation drive motor 60 The torque control is performed without performing the feedback control based on the output from the speed detecting mechanism. The rotation motor control section 83 is connected to the output of the speed detection mechanism of the rotation drive motor 60 to the other rotation drive motor 60 before the other rotation drive motor 60 is stopped And the rotational speed of the other rotary driving motor 60 is controlled so that backlash between the two output gears 68 and the input gears 69 is eliminated.

여기서, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)가 정지 전인지 아닌지는, 예를 들어, 한쪽의 회전구동용 모터(60)의 속도검출기구로부터의 출력에 근거하여 회전모터 제어부(83)가 판단한다. 예를 들어, 회전모터 제어부(83)는 한쪽의 회전구동용 모터(60)의 속도검출기구에 의해서 검출되는 선회부재(10)의 소정의 기준위치로부터 정지예정위치까지의 펄스 수와, 실제로 속도검출기구로 검출된 펄스 수와의 차이를 산출하여, 그 차이가 소정의 값 이하이면, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)가 정지 전이라고 판단한다. 즉, 정지예정위치로부터 소정각도 내에 선회부재(10)가 들어가면, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전이 된다.Whether or not the other rotation drive motor 60 is before stopping can be determined by the rotation motor control section 83 based on the output from the speed detection mechanism of the one rotation drive motor 60, do. For example, the rotation motor control unit 83 determines whether the number of pulses from the predetermined reference position to the scheduled stop position of the revolving member 10 detected by the velocity detection mechanism of one of the rotation drive motors 60, The difference between the number of pulses detected by the detector and the number of pulses detected by the detector is calculated. When the difference is less than the predetermined value, it is determined that the other rotation driving motor 60 is not stopped. That is, when the revolving member 10 enters the predetermined stop position from the stop scheduled position, the other rotation driving motor 60 is stopped.

본 형태에서는 2대의 회전구동용 모터(60) 중 한쪽의 회전구동용 모터(60)는 제1 구동용 모터이고, 또한, 제1 회전구동용 모터이다. 또, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)는 제2 구동용 모터이며, 또한, 제2 회전구동용 모터이다.In this embodiment, the rotation drive motor 60 of one of the two rotation drive motors 60 is the first drive motor and the first rotation drive motor. The other rotation drive motor 60 is a second drive motor and is also a second rotation drive motor.

상하 브레이크 제어부(84)는 제어지령부(87)로부터 지지부재(7)의 정지신호가 입력되면, 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 단계적으로 작동시킨다. 즉, 제어지 령부(87)로부터 지지부재(7)의 정지신호가 입력되면, 상하 브레이크 제어부(84)는 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍과 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍이 바뀌도록(어긋나도록) 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 작동시킨다. 구체적으로는, 상하 브레이크 제어부(84)는 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍이 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 작동개시 타이밍보다 늦도록 2개의 상하 브레이크 기구(24)를 작동시킨다. 보다 구체적으로는, 상하 브레이크 제어부(84)는 다른 쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍이 한쪽의 상하 브레이크 기구(24)의 코일로의 통전을 정지하는 타이밍보다 늦도록 2개의 상하 브레이크 기구(24)의 코일로의 통전을 정지한다.When the stop signal of the support member 7 is inputted from the control command section 87, the vertical brake control section 84 operates the two vertical brake mechanisms 24 step by step. That is, when the stop signal of the support member 7 is input from the control instruction unit 87, the vertical brake control unit 84 sets the operation start timing of one of the vertical braking mechanisms 24 to the operation timing of the other vertical braking mechanism 24, The upper and lower braking mechanisms 24 are operated so that the operation start timing of the upper and lower brakes 24 is shifted (shifted). Specifically, the vertical brake control section 84 operates the two vertical brake mechanisms 24 such that the operation start timing of the other vertical brake mechanism 24 is later than the operation start timing of one of the vertical brake mechanisms 24 . More specifically, the vertical brake control section 84 determines that the timing of stopping energization of the other one of the upper and lower brake mechanisms 24 is later than the timing of stopping energization of the one of the upper and lower brake mechanisms 24 The power supply to the coils of the two upper and lower brake mechanisms 24 is stopped.

마찬가지로, 수평 브레이크 제어부(85)는 제어지령부(87)로부터 기대(9)의 정지신호가 입력되면, 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 단계적으로 작동시킨다. 즉, 제어지령부(87)로부터 기대(9)의 정지신호가 입력되면, 수평 브레이크 제어부(85)는 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍과 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍이 어긋나도록 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 작동시킨다. 구체적으로는, 수평 브레이크 제어부(85)는 다른 쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍이 한쪽의 수평 브레이크 기구(44)의 작동개시 타이밍보다 늦도록 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 작동시킨다. 또한, 수평 브레이크 제어부(85)는 제어지령부(87)로부터 기대(9)의 정지신호가 입력되었을 때에 2개의 수평 브레이크 기구(44)를 동시에 작동시켜도 된다.Similarly, when the stop signal of the base 9 is inputted from the control command section 87, the horizontal brake control section 85 operates the two horizontal brake mechanisms 44 step by step. That is, when the stop signal of the base 9 is input from the control command section 87, the horizontal brake control section 85 controls the operation timing of the one horizontal braking mechanism 44 and the operation start timing of the other horizontal braking mechanism 44 The two horizontal braking mechanisms 44 are operated so that the operation start timing is shifted. More specifically, the horizontal brake control section 85 operates the two horizontal brake mechanisms 44 such that the operation start timing of the other horizontal brake mechanism 44 is later than the operation start timing of the one horizontal brake mechanism 44 . The horizontal brake control section 85 may simultaneously operate the two horizontal brake mechanisms 44 when the stop signal of the base 9 is input from the control command section 87. [

(본 형태의 주요한 효과)(Main effect of this embodiment)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는 상하구동기구(16)는 2대의 상하구동용 모터(20)를 구비하고 있다. 그 때문에, 대형 기판(2)을 반송하기 위해서, 상하구동기구(16)에서 요구되는 상하구동용 모터(20)의 총용량이 커지는 경우라도 비교적 체격이 작은 상하구동용 모터(20)를 사용할 수 있다. 예를 들어, 상하구동기구(16)에서 요구되는 상하구동용 모터(20)의 총용량이 10kW인 경우에는 체격이 큰 10kW의 상하구동용 모터를 사용하는 것이 아니라, 비교적 체격이 작은 5kW의 상하구동용 모터(20)를 사용할 수 있다. 또, 체격이 큰 1대의 상하구동용 모터를 사용하는 경우와 비교하여, 체격이 작은 2대의 상하구동용 모터(20)를 사용하는 경우에는 상하구동용 모터(20)의 배치 자유도가 높아진다. 따라서, 본 형태에서는 큰 기판(2)을 반송하는 것임에도 불구하고, 로보트를 소형화하는 것이 가능하게 된다.As described above, in the present embodiment, the up-and-down driving mechanism 16 includes two up-and-down driving motors 20. [ Therefore, even when the total capacity of the up-down driving motor 20 required by the up-and-down driving mechanism 16 is increased in order to transport the large-size substrate 2, the up-and-down driving motor 20 having a relatively small size can be used . For example, when the total capacity of the up-and-down driving motor 20 required by the up-and-down driving mechanism 16 is 10 kW, the up-down driving motor of 10 kW having a large size is not used, The motor 20 can be used. Further, as compared with the case of using one up-and-down driving motor having a large physique, the degree of freedom of arrangement of the up-down driving motor 20 is increased when two up-down driving motors 20 with small physique are used. Therefore, although the large substrate 2 is transported in this embodiment, it is possible to downsize the robot.

또, 상하구동용 모터(20)의 용량이 소정의 용량을 넘으면, 상하구동용 모터(20)의 가격은 급격하게 비싸지지만, 본 형태에서는 비교적 용량이 작은 상하구동용 모터(20)를 사용할 수 있기 때문에, 2대의 상하구동용 모터(20)가 사용되는 경우라도 로보트(1)의 코스트를 저감하는 것이 가능하게 된다.If the capacity of the up-down drive motor 20 exceeds a predetermined capacity, the price of the up-down drive motor 20 is drastically increased. However, in this embodiment, the up-down drive motor 20 having a relatively small capacity can be used It is possible to reduce the cost of the robot 1 even when two up-and-down drive motors 20 are used.

또한, 본 형태에서는 비교적 용량이 작은 상하구동용 모터(20)를 사용할 수 있기 때문에, 1대의 상하구동용 모터(20)로부터 전달되는 동력은 작아진다. 따라서, 상하구동용 모터(20)의 동력을 전달하는 감속기(21), 피니언(22) 및 랙(23) 등의 동력전달기구로의 전달동력을 작게 할 수 있고, 감속기(21), 피니언(22) 및 랙(23) 등의 동력전달기구의 구성을 간소화할 수 있다. 또, 감속기(21), 피니언(22) 및 랙(23) 등의 동력전달기구의 손상을 억제할 수 있다.Further, in this embodiment, since the up-and-down driving motor 20 having a relatively small capacity can be used, the power transmitted from the one up-down driving motor 20 becomes small. Therefore, the transmission power to the power transmission mechanism such as the speed reducer 21, the pinion 22, and the rack 23 for transmitting the power of the up-and-down driving motor 20 can be reduced and the speed reducer 21, 22 and the rack 23 can be simplified. In addition, damage to the power transmission mechanism such as the speed reducer 21, the pinion 22, and the rack 23 can be suppressed.

한편, 상하구동기구(16)가 2대의 상하구동용 모터(20)를 사용하고 있기 때문에, 한쪽의 상하구동용 모터(20)의 구동토크가 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)의 큰 부하가 되고, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)의 구동토크가 한쪽의 상하구동용 모터(20)의 큰 부하가 되는 경우가 발생할 우려가 있지만, 본 형태에서는, 상하모터 제어부(81)는 2대의 상하구동용 모터(20) 중 한쪽의 상하구동용 모터(20)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)를 토크제어에 의해서 제어하고 있다. 즉, 상하모터 제어부(81)는 한쪽의 상하구동용 모터(20)의 회전속도는 제어하지만, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)의 회전속도는 제어하고 있지 않고, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)는 한쪽의 상하구동용 모터(20)에 추종하여 회전한다. 그 때문에, 2대의 상하구동용 모터(20)의 사이에 큰 회전속도의 차이가 생기지 않게 된다. 따라서, 한쪽의 상하구동용 모터(20)의 구동토크가 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)의 큰 부하가 되는 것을 방지하며, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)의 구동토크가 한쪽의 상하구동용 모터(20)의 큰 부하가 되는 것을 방지할 수 있다.On the other hand, since the up-and-down driving mechanism 16 uses the two up-and-down driving motors 20, the driving torque of one of the up-down driving motors 20 is larger than that of the other up- There is a possibility that the driving torque of the other up / down driving motor 20 becomes a large load of one of the up / down driving motors 20. In this embodiment, the up / Down motor 20 is controlled by speed control and torque control and the other upper and lower drive motor 20 is controlled by torque control. That is, the vertical motor control unit 81 controls the rotational speed of one of the up-and-down driving motors 20, but does not control the other of the up and down motors 20, The motor 20 rotates following one of the upper and lower driving motors 20. As a result, there is no difference in rotational speed between the two vertical motors 20. Therefore, it is possible to prevent the drive torque of the one up-down drive motor 20 from becoming a large load of the other up-down drive motor 20 and prevent the drive torque of the other up- It is possible to prevent a large load from being applied to the motor 20 for up-and-down driving.

또, 다른 쪽의 상하구동용 모터(20)가 한쪽의 상하구동용 모터(20)에 추종하여 회전하기 때문에, 감속기(21) 등을 통하여 2대의 상하구동용 모터(20)의 각각에 연결되어 있는 2개의 피니언(22)이 랙(23)과 치합하고 있는 경우라도 2개의 피니언(22)의 톱니와 랙(23)의 톱니가 필요 이상의 힘으로 치합하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 피니언(22) 및 랙(23)의 손상을 억제하여 상하구동기구(16)로 지지부재(7)를 적절히 상하이동시킬 수 있다.Since the other upper and lower drive motor 20 rotates following one of the upper and lower drive motors 20, it is connected to each of the two up and down drive motors 20 through the reducer 21 and the like It is possible to prevent the teeth of the two pinions 22 and the teeth of the rack 23 from being engaged with each other by more than necessary force even when the two pinions 22 are engaged with the rack 23. [ As a result, the pinion 22 and the rack 23 are prevented from being damaged, and the support member 7 can be moved up and down by the up-and-down driving mechanism 16 properly.

본 형태에서는, 수평구동기구(17)는 2대의 수평구동용 모터(40)를 구비하고 있다. 그 때문에, 상하구동기구(16)와 마찬가지로, 수평구동기구(17)에서 요구되는 수평구동용 모터(40)의 총용량이 커지는 경우라도 비교적 체격이 작은 수평구동용 모터(40)를 사용할 수 있고, 또, 수평구동용 모터(40)의 배치의 자유도가 높아진다. 따라서, 본 형태에서는 큰 기판(2)을 반송하는 것임에도 불구하고, 로보트(1)를 소형화하는 것이 가능하게 된다.In this embodiment, the horizontal drive mechanism 17 is provided with two horizontal drive motors 40. Therefore, as in the case of the vertical drive mechanism 16, even when the total capacity of the horizontal drive motor 40 required by the horizontal drive mechanism 17 is large, the horizontal drive motor 40 having a relatively small size can be used, In addition, the degree of freedom in arrangement of the horizontal drive motor 40 is increased. Therefore, in this embodiment, although the large substrate 2 is transported, the robot 1 can be downsized.

또, 본 형태에서는 비교적 용량이 작은 수평구동용 모터(40)를 사용할 수 있기 때문에, 2대의 수평구동용 모터(40)가 사용되는 경우라도 로보트(1)의 코스트를 저감하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 형태에서는 비교적 용량이 작은 수평구동용 모터(40)를 사용할 수 있기 때문에, 1대의 수평구동용 모터(40)로부터 전달되는 동력은 작아진다. 따라서, 수평구동용 모터(40)의 동력을 전달하는 피니언(42) 및 랙(43) 등의 동력전달기구로의 전달동력을 작게 할 수 있어, 수평구동용 모터(40)의 동력을 전달하는 동력전달기구의 구성을 간소화할 수 있다. 또, 수평구동용 모터(40)의 동력을 전달하는 동력전달기구의 손상을 억제할 수 있다.Further, in this embodiment, since the horizontal driving motor 40 having a relatively small capacity can be used, the cost of the robot 1 can be reduced even when two horizontal driving motors 40 are used. Further, in this embodiment, since the horizontal driving motor 40 having a relatively small capacity can be used, the power transmitted from the one horizontal driving motor 40 becomes small. This makes it possible to reduce the transmission power to the power transmission mechanism such as the pinion 42 and the rack 43 that transmit the power of the horizontal drive motor 40 and to transmit the power of the horizontal drive motor 40 The configuration of the power transmission mechanism can be simplified. In addition, damage to the power transmitting mechanism for transmitting the power of the horizontal drive motor 40 can be suppressed.

한편, 수평구동기구(17)가 2대의 수평구동용 모터(40)를 사용하고 있기 때문에, 한쪽의 수평구동용 모터(40)(또는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40))의 구동토크가 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)(또는 한쪽의 수평구동용 모터(40))의 큰 부하가 되는 경우가 발생할 우려가 있지만, 본 형태에서는, 수평모터 제어부(82)는 2대의 수평구동용 모터(40) 중 한쪽의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고, 또한, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)를 토크제어에 의해서 제어하고 있다.On the other hand, since the horizontal driving mechanism 17 uses the two horizontal driving motors 40, the driving torque of the one horizontal driving motor 40 (or the other horizontal driving motor 40) There may be a case where a large load is applied to the other horizontal drive motor 40 (or one horizontal drive motor 40). In this embodiment, however, the horizontal motor control section 82 is provided with two horizontal drive motors One of the horizontal driving motors 40 of the motor 40 is controlled by speed control and torque control while the other horizontal driving motor 40 is controlled by the other horizontal The drive motor 40 is controlled by torque control.

즉, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 한쪽의 수평구동용 모터(40)의 회전속도는 제어하지만, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 회전속도는 제어하고 있지 않고, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)는 한쪽의 수평구동용 모터(40)에 추종하여 회전한다. 그 때문에, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 2대의 수평구동용 모터(40)의 사이에 큰 회전속도의 차이가 생기지 않으며, 한쪽의 수평구동용 모터(40)(또는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40))의 구동토크가 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)(또는 한쪽의 수평구동용 모터(40))의 큰 부하가 되는 것을 방지할 수 있다.That is, the rotational speed of one of the horizontal driving motors 40 is controlled at other times except for the other before the other of the horizontal driving motors 40 is stopped, but the rotational speed of the other horizontal driving motor 40 And the other horizontal driving motor 40 follows the one horizontal driving motor 40 and rotates. Therefore, no difference in rotational speed is large between the two horizontal driving motors 40 at other times except for the time of stopping the other of the horizontal driving motors 40, and one horizontal driving motor 40) (or the other horizontal driving motor 40) can be prevented from becoming a large load of the other horizontal driving motor 40 (or the one horizontal driving motor 40) have.

또, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)가 한쪽의 수평구동용 모터(40)에 추종하여 회전하기 때문에, 풀리(48, 49) 및 벨트(50)를 통하여 2대의 수평구동용 모터(40)의 각각에 연결되어 있는 2개의 피니언(42)이 랙(43)과 치합하고 있는 경우라도 2개의 피니언(42)의 톱니와 랙(43)의 톱니가 필요 이상의 힘으로 치합하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 피니언(42) 및 랙(43)의 손상을 억제하여 수평구동기구(17)로 본체부(5)를 적절히 수평이동시킬 수 있다.Since the other horizontal driving motor 40 follows the one horizontal driving motor 40 and rotates at the other time except for the other before the stop of the horizontal driving motor 40, Even when the two pinions 42 connected to each of the two horizontal driving motors 40 are engaged with the rack 43 via the belts 50 and 48 and 49 and the belt 50, It is possible to prevent the teeth of the teeth and the teeth of the rack 43 from being engaged with each other by more than necessary force. As a result, damage to the pinion 42 and the rack 43 can be suppressed, and the horizontal drive mechanism 17 can horizontally move the main body portion 5 appropriately.

또, 본 형태에서는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전에는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)는 속도제어와 토크제어에 의해서 제어되고 있고, 2개의 피니언(42)과 랙(43)과의 사이의 백래쉬가 없어지도록 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 회전속도가 제어되고 있다. 그 때문에, 기대(9)의 정지시에는 2개의 피니언(42) 과 랙(43)과의 사이의 백래쉬를 없앨 수 있다.In this embodiment, the other horizontal drive motor 40 is controlled by speed control and torque control before stopping the other horizontal drive motor 40, and the two pinions 42 and 43 The rotational speed of the other horizontal driving motor 40 is controlled so that the backlash between the other horizontal driving motor 40 is eliminated. Therefore, when the base 9 is stopped, backlash between the two pinions 42 and the rack 43 can be eliminated.

본 형태에서는, 회전구동기구(18)는 2대의 회전구동용 모터(60)를 구비하고 있다. 그 때문에, 상하구동기구(16)와 마찬가지로, 회전구동기구(18)에서 요구되는 회전구동용 모터(60)의 총용량이 커지는 경우라도 비교적 체격이 작은 회전구동용 모터(60)를 사용할 수 있고, 또, 회전구동용 모터(60)의 배치의 자유도가 높아진다. 따라서, 본 형태에서는 큰 기판(2)을 반송하는 것임에도 불구하고 로보트(1)를 소형화하는 것이 가능하게 된다.In this embodiment, the rotation driving mechanism 18 is provided with two rotation drive motors 60. Therefore, similarly to the up-and-down driving mechanism 16, even when the total capacity of the rotation drive motor 60 required by the rotation drive mechanism 18 is increased, the rotation drive motor 60 having a relatively small size can be used, In addition, the degree of freedom in arrangement of the rotation drive motor 60 is increased. Therefore, in this embodiment, the robot 1 can be downsized even though the large substrate 2 is transported.

또, 본 형태에서는 비교적 용량이 작은 회전구동용 모터(60)를 사용할 수 있기 때문에, 2개의 회전구동용 모터(60)가 사용되는 경우라도 로보트(1)의 코스트를 저감하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 형태에서는 비교적 용량이 작은 회전구동용 모터(60)를 사용할 수 있기 때문에, 1대의 회전구동용 모터(60)로부터 전달되는 동력은 작아진다. 따라서, 회전구동용 모터(60)의 동력을 전달하는 출력톱니바퀴(68)나 감속기(61) 등의 동력전달기구로의 전달동력을 작게 할 수 있어, 회전구동용 모터(60)의 동력을 전달하는 동력전달기구의 구성을 간소화할 수 있다. 또, 회전구동용 모터(60)의 동력을 전달하는 동력전달기구의 손상을 억제할 수 있다.Further, in this embodiment, since the rotation drive motor 60 having a relatively small capacity can be used, the cost of the robot 1 can be reduced even when two rotation drive motors 60 are used. Further, in this embodiment, since the rotation drive motor 60 having a relatively small capacity can be used, the power transmitted from the one rotation drive motor 60 is reduced. Therefore, the transmission power to the power transmitting mechanism such as the output gear 68 and the speed reducer 61 that transmit the power of the rotation drive motor 60 can be reduced, and the power of the rotation drive motor 60 can be reduced It is possible to simplify the configuration of the power transmitting mechanism for transmitting. It is also possible to suppress damage to the power transmission mechanism that transmits the power of the rotation drive motor 60. [

한편, 회전구동기구(18)가 2대의 회전구동용 모터(60)를 사용하고 있기 때문에, 한쪽의 회전구동용 모터(60)(또는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60))의 구동토크가 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)(또는 한쪽의 회전구동용 모터(60))의 큰 부하가 되는 경우가 생길 우려가 있지만, 본 형태에서는 회전모터 제어부(83)는 2대의 회전구동용 모터(60) 중 한쪽의 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어에 의해 서 제어하고, 또한, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제외한 그 외의 시간에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)를 토크제어에 의해서 제어하고 있다.On the other hand, since the rotation drive mechanism 18 uses the two rotation drive motors 60, the drive torques of the one rotation drive motor 60 (or the other rotation drive motor 60) There is a possibility that a large load may be applied to the other rotation drive motor 60 (or one rotation drive motor 60). In this embodiment, however, the rotation motor control section 83 includes two rotation drive motors (60) is controlled by speed control and torque control, and at the other times except for before the stop of the other rotation drive motor (60), the other rotation The drive motor 60 is controlled by torque control.

즉, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 한쪽의 회전구동용 모터(60)의 회전속도는 제어하지만, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 회전속도는 제어하고 있지 않고, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)는 한쪽의 회전구동용 모터(60)에 추종하여 회전한다. 그 때문에, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 2대의 회전구동용 모터(60)의 사이에 큰 회전속도의 차이가 생기지 않게 되며, 한쪽의 회전구동용 모터(60)(또는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60))의 구동토크가 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)(또는 한쪽의 회전구동용 모터(60))의 큰 부하가 되는 것을 방지할 수 있다.That is, the rotational speed of one of the rotational driving motors 60 is controlled at the other times except before the other rotational driving motor 60 is stopped, but the rotational speed of the other rotational driving motor 60 And the other rotary driving motor 60 follows the one rotary driving motor 60 and rotates. Therefore, no difference in rotational speed between the two rotary driving motors 60 occurs at other times except for the time of stopping the other rotary driving motor 60, It is possible to prevent the drive torque of the other drive motor 60 (or the other rotation drive motor 60) from becoming a large load of the other rotation drive motor 60 (or the one rotation drive motor 60) .

또, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)가 한쪽의 회전구동용 모터(60)에 추종하여 회전하기 때문에, 2개의 출력톱니바퀴(68)가 감속기(61)의 입력톱니바퀴(69)와 치합하고 있는 경우라도 출력톱니바퀴(68)의 톱니와 입력톱니바퀴(69)의 톱니가 필요 이상의 힘으로 치합하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 입력톱니바퀴(68) 및 출력톱니바퀴(69)의 손상을 억제하여 회전구동기구(18)로 선회부재(10)를 적절히 선회시킬 수 있다.Since the other rotation drive motor 60 rotates in accordance with the other rotation drive motor 60 in the other period of time except before stopping the other rotation drive motor 60, Even when the output gear 68 engages with the input gear 69 of the speed reducer 61, it is possible to prevent the teeth of the output gear 68 and the teeth of the input gear 69 from engaging with each other more than necessary, can do. As a result, damage to the input gears 68 and the output gears 69 can be suppressed, and the turning member 10 can be turned appropriately by the rotation driving mechanism 18. [

또, 본 형태에서는, 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)의 정지 전에는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)는 속도제어와 토크제어에 의해서 제어되고 있고, 2개의 출력톱니바퀴(68)와 입력톱니바퀴(69)와의 백래쉬가 없어지도록 다른 쪽의 회전구동 용 모터(60)의 회전속도가 제어되고 있다. 그 때문에, 선회부재(10)의 정지시에는 2개의 출력톱니바퀴(68)와 입력톱니바퀴(69)와의 사이의 백래쉬를 없앨 수 있다.In this embodiment, before the other rotation drive motor 60 is stopped, the other rotation drive motor 60 is controlled by speed control and torque control, and two output gears 68 The rotation speed of the other rotation driving motor 60 is controlled so that backlash with the input gear 69 is eliminated. Therefore, backlash between the two output gears 68 and the input gears 69 can be eliminated when the revolving member 10 is stopped.

(다른 실시형태)(Other Embodiments)

상술한 형태는 본 발명의 바람직한 형태의 일례이지만, 이것으로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 여러 가지 변형 실시가 가능하다.The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited thereto, and various modifications are possible without changing the gist of the present invention.

상술한 형태에서는, 상하모터 제어부(81)는 2대의 상하구동용 모터(20) 중 한쪽의 상하구동용 모터(20)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고 있다. 그 밖에도 예를 들어, 상하모터 제어부(81)는 속도검출기구에서 검출된 회전속도를 적분하는 것으로 산출되는 상하구동용 모터(20)의 회전위치에 근거하는 위치제어와 토크제어에 의해서 한쪽의 상하구동용 모터(20)를 제어해도 된다.In the above-described aspect, the vertical motor control unit 81 controls one of the two vertical motors 20 by the speed control and the torque control. In addition, for example, the up-and-down motor control unit 81 controls the up-and-down motor 20 based on the position control and the torque control based on the rotation position of the up-down drive motor 20 calculated by integrating the rotation speed detected by the speed detection mechanism. The driving motor 20 may be controlled.

마찬가지로, 상술한 형태에서는, 수평모터 제어부(82)는 한쪽의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어함과 동시에, 소정의 경우에 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고 있지만, 위치제어와 토크제어에 의해서 수평구동용 모터(40)를 제어해도 된다. 또, 상술한 형태에서는, 회전모터 제어부(83)는 한쪽의 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어함과 동시에, 소정의 경우에 다른 쪽의 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고 있지만, 위치제어와 토크제어에 의해서 회전구동용 모터(60)를 제어해도 된다.Similarly, in the above-described embodiment, the horizontal motor control unit 82 controls one of the horizontal driving motors 40 by speed control and torque control, and controls the other horizontal driving motor 40 in a predetermined case, Speed control and torque control, but the horizontal drive motor 40 may be controlled by the position control and the torque control. In the above-described embodiment, the rotation motor control unit 83 controls one of the rotation drive motors 60 by speed control and torque control, and controls the other rotation drive motor 60 in a predetermined case, Speed control and torque control, the rotation drive motor 60 may be controlled by the position control and the torque control.

상술한 형태에서는, 상하구동기구(16)는 2대의 상하구동용 모터(20)를 구비 하고 있다. 그 밖에도 예를 들어, 상하구동기구(16)는 3대 이상의 상하구동용 모터(20)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 상하모터 제어부(81)는 3대 이상의 상하구동용 모터(20) 중 몇 대의 상하구동용 모터(20)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고, 나머지 상하구동용 모터(20)를 토크제어에 의해서 제어하면 된다. 또, 이 경우에는 어느 상하구동용 모터(20)의 구동토크가 다른 상하구동용 모터(20)의 큰 부하가 되는 것을 확실히 방지하기 위해, 상하모터 제어부(81)는 3대 이상의 상하구동용 모터(20) 중 1대의 상하구동용 모터(20)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고, 나머지 상하구동용 모터(20)를 토크제어에 의해서 제어하는 것이 바람직하다.In the above-described aspect, the up-and-down driving mechanism 16 is provided with two up-down driving motors 20. In addition, for example, the up-and-down driving mechanism 16 may include three or more up-down driving motors 20. In this case, the up-and-down motor control unit 81 controls some of the up-and-down drive motors 20 among the three or more up and down drive motors 20 by speed control and torque control, May be controlled by torque control. In this case, in order to reliably prevent the driving torque of the up-down driving motor 20 from becoming a large load of the other up-down driving motor 20, the up-down motor control unit 81 controls three or more up- It is preferable to control one of the upper and lower drive motors 20 by speed control and torque control and control the remaining up and down drive motor 20 by torque control.

또, 상술한 형태에서는, 수평구동기구(17)는 2대의 수평구동용 모터(40)를 구비하고 있지만, 수평구동기구(17)는 3대 이상의 수평구동용 모터(40)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 수평모터 제어부(82)는 3대 이상의 수평구동용 모터(40) 중 몇 대의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고, 또한, 나머지 수평구동용 모터(40)의 정지 전에는 나머지 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어함과 동시에, 나머지 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 나머지 수평구동용 모터(40)를 토크제어에 의해서 제어하면 된다. 또, 이 경우에는 어느 수평구동용 모터(40)의 구동토크가 다른 수평구동용 모터(40)의 큰 부하가 되는 것을 확실히 방지하기 위해, 수평모터 제어부(82)는 3대 이상의 수평구동용 모터(40) 중 1대의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어함과 동시에, 나머지 수평구동용 모터(40)의 정지 전 을 제외한 그 외 시간에는 나머지 수평구동용 모터(40)를 토크제어에 의해서 제어하는 것이 바람직하다.In the above-described embodiment, the horizontal driving mechanism 17 includes two horizontal driving motors 40, but the horizontal driving mechanism 17 may include three or more horizontal driving motors 40 . In this case, the horizontal motor control unit 82 controls several horizontal driving motors 40 among the three or more horizontal driving motors 40 by speed control and torque control, and controls the remaining horizontal driving motors 40 40, the other horizontal driving motor 40 is controlled by speed control and torque control, and the rest of the horizontal driving motor 40 is controlled at the remaining time, ) May be controlled by torque control. In this case, in order to reliably prevent the drive torque of the horizontal drive motor 40 from becoming a large load of the other horizontal drive motor 40, the horizontal motor control section 82 controls three or more horizontal drive motors The remaining one of the horizontal driving motors 40 is controlled by the speed control and the torque control while the remaining one of the horizontal driving motors 40 ) Is controlled by torque control.

마찬가지로, 회전구동기구(18)는 3대 이상의 회전구동용 모터(60)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 회전모터 제어부(83)는 3대 이상의 회전구동용 모터(60) 중 몇 대의 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고, 또한, 나머지 회전구동용 모터(60)의 정지 전에는 나머지 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어함과 동시에, 나머지 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 나머지 회전구동용 모터(60)를 토크제어에 의해서 제어하면 된다. 또, 이 경우에는 어느 회전구동용 모터(60)의 구동토크가 다른 회전구동용 모터(60)의 큰 부하가 되는 것을 확실히 방지하기 위해, 회전모터 제어부(83)는 3대 이상의 회전구동용 모터(60) 중 1대의 회전구동용 모터(60)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어함과 동시에, 나머지 회전구동용 모터(60)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 나머지 회전구동용 모터(60)를 토크제어에 의해서 제어하는 것이 바람직하다.Similarly, the rotation driving mechanism 18 may be provided with three or more rotation driving motors 60. In this case, the rotation motor control section 83 controls several of the three or more rotation drive motors 60 by the speed control and the torque control, and controls the remaining rotation drive motors 60 60, the remaining rotation driving motor 60 is controlled by speed control and torque control, and at the remaining times except for before the stop of the remaining rotation driving motor 60, the other rotation driving motor 60 ) May be controlled by torque control. In this case, in order to reliably prevent the drive torque of the rotation drive motor 60 from becoming a large load of the other rotation drive motor 60, the rotation motor control section 83 controls three or more rotation drive motors (60) is controlled by speed control and torque control, and at the other times except for the time before stopping the remaining rotation drive motor (60), the other rotation drive motor (60) ) Is controlled by torque control.

상술한 형태에서는, 수평모터 제어부(82)는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전에 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)를 속도제어와 토크제어에 의해서 제어하고, 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)의 정지 전을 제외한 그 외 시간에는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)를 토크제어에 의해서 제어하고 있다. 그 밖에도 예를 들어, 수평모터 제어부(82)는 다른 쪽의 수평구동용 모터(40)를 상시 토크제어로 제어해도 된다. 마찬가지로, 회전모터 제어부(83)는 다른 쪽의 회전구동용 모터(60) 를 상시 토크제어로 제어해도 된다.The horizontal motor control unit 82 controls the other horizontal driving motor 40 by speed control and torque control before stopping the other horizontal driving motor 40, The other of the horizontal driving motors 40 is controlled by torque control at the other times except before the stop of the driving motor 40. [ In addition, for example, the horizontal motor control unit 82 may control the other horizontal driving motor 40 at the normal torque control. Likewise, the rotation motor control section 83 may control the other rotation drive motor 60 at constant torque control.

상술한 형태에서는 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18)가 모두 2대의 구동용 모터(20, 40, 60)를 구비하고 있지만, 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18) 중 적어도 어느 하나는 1개의 구동기구가 2대의 구동용 모터(20, 40, 60)를 구비하고 있으면, 다른 구동기구가 구비하는 구동용 모터(20, 40, 60)는 1대로 하여도 된다.The vertical drive mechanism 16, the horizontal drive mechanism 17 and the rotary drive mechanism 18 are provided with two drive motors 20, 40 and 60 in the above-described embodiment. However, the vertical drive mechanism 16, If at least one of the horizontal driving mechanism 17 and the rotary driving mechanism 18 has two driving motors 20, 40 and 60 as one driving mechanism, the driving motor 20, 40, and 60 may be set to one.

상술한 형태에서는 2개의 피니언(22)과 랙(23)에 의해서 지지부재(7)가 상하방향으로 이동한다. 그 밖에도 예를 들어, 볼나사와 이 볼나사에 나사맞춤하는 복수의 너트부재에 의해서 지지부재(7)가 상하방향으로 이동해도 된다. 마찬가지로, 상술한 형태에서는 2개의 피니언(42)과 랙(43)에 의해서 기대(9)가 수평방향으로 이동하지만, 볼나사와 이 볼나사에 나사맞춤하는 복수의 너트부재에 의해서 기대(9)가 수평방향으로 이동해도 된다.In the above-described embodiment, the support member 7 is vertically moved by the two pinions 22 and the rack 23. In addition, for example, the support member 7 may be moved up and down by a ball screw and a plurality of nut members screwed to the ball screw. Similarly, in the above-described embodiment, the base 9 is moved in the horizontal direction by the two pinions 42 and the rack 43, but the ball 9 and the plurality of nut members, May be moved in the horizontal direction.

상술한 형태에서는, 로보트(1)는 상하구동기구(16)와 수평구동기구(17)와 회전구동기구(18)를 구비하고 있다. 그 밖에도 예를 들어, 로보트(1)는 상하구동기구(16), 수평구동기구(17) 및 회전구동기구(18) 중에서 임의로 선택되는 2개 혹은 1개의 구동기구만을 구비하고 있어도 된다.In the above-described embodiment, the robot 1 is provided with the up-and-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17, and the rotary driving mechanism 18. In addition, for example, the robot 1 may be provided with only two or one driver section arbitrarily selected from among the up-and-down driving mechanism 16, the horizontal driving mechanism 17, and the rotary driving mechanism 18.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트의 평면도이다.1 is a plan view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 E-E방향에서 산업용 로보트를 나타내는 도이다.Fig. 2 is a view showing an industrial robot in the direction of E-E in Fig. 1. Fig.

도 3은 도 1의 F-F방향에서 산업용 로보트를 나타내는 도이다.3 is a view showing an industrial robot in the direction of F-F in Fig.

도 4는 도 1의 F-F방향에서 지지부재 및 상하구동기구를 나타내는 도이다.Fig. 4 is a view showing a support member and a vertical drive mechanism in the direction of F-F in Fig. 1;

도 5는 도 4의 G-G방향에서 지지부재, 주상부재 및 상하구동기구를 나타내는 도이다.5 is a view showing a support member, a columnar member and a vertical drive mechanism in the direction of G-G in Fig.

도 6은 도 4의 H-H방향에서 상하구동기구를 나타내는 도이다.Fig. 6 is a diagram showing a vertical drive mechanism in the direction of H-H in Fig. 4;

도 7은 도 2의 J부의 내부구성을 설명하기 위한 도이다.Fig. 7 is a diagram for explaining the internal configuration of a portion J in Fig. 2;

도 8은 도 3의 K-K방향에서 수평구동기구 등의 구성을 설명하기 위한 도이다.8 is a view for explaining a configuration of a horizontal drive mechanism or the like in the direction of K-K in Fig.

도 9는 도 8의 L-L방향에서 수평구동기구의 구성을 설명하기 위한 도이다.Fig. 9 is a view for explaining the configuration of the horizontal drive mechanism in the L-L direction in Fig. 8;

도 10은 도 1에 나타내는 선회부재의 평면도이다.10 is a plan view of the turning member shown in Fig.

도 11은 도 10의 M-M단면의 단면도이다.11 is a cross-sectional view taken along line M-M of Fig.

도 12는 도 1에 나타내는 산업용 로보트의 제어부 및 그 관련 부분의 블록도이다.Fig. 12 is a block diagram of a control unit of the industrial robot shown in Fig. 1 and related parts thereof.

<부호의 설명><Description of Symbols>

1 로보트(산업용 로보트)1 Robot (industrial robot)

2 기판(반송대상물)2 substrate (transport object)

3 핸드3 hands

4 암4 Cancer

7 지지부재7 supporting member

16 상하구동기구16 Up /

17 수평구동기구17 Horizontal drive mechanism

18 회전구동기구18 rotation drive mechanism

20 상하구동용 모터(구동용 모터, 제1 구동용 모터, 제2 구동용 모터)20 Up and down drive motor (drive motor, first drive motor, second drive motor)

40 수평구동용 모터(구동용 모터, 제1 구동용 모터, 제2 구동용 모터)40 Horizontal drive motor (drive motor, first drive motor, second drive motor)

60 회전구동용 모터(구동용 모터, 제1 구동용 모터, 제2 구동용 모터)60 rotation drive motor (drive motor, first drive motor, second drive motor)

80 제어부80 control unit

81 상하모터 제어부(모터 제어부)81 Upper and lower motor control (motor control)

82 수평모터 제어부(모터 제어부)82 Horizontal motor control section (motor control section)

83 회전모터 제어부(모터 제어부)83 Rotary Motor Control (Motor Control)

CL 중심축CL center axis

Claims (6)

반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 상기 핸드가 연결되는 암(arm)과, 상기 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에,A hand on which a carrying object is mounted; an arm to which the hand is connected; and a support member for supporting the arm, 상기 지지부재를 상하이동시키는 상하구동기구와, 상기 상하구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고,A vertical drive mechanism for vertically moving the support member; and a control unit for controlling the vertical drive mechanism, 상기 상하구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하며,Wherein the up-and-down driving mechanism includes a plurality of driving motors, 상기 제어부는 복수의 상기 구동용 모터를 제어하는 모터제어부를 구비하고,Wherein the control unit includes a motor control unit for controlling the plurality of driving motors, 상기 모터제어부는 복수의 상기 구동용 모터 중 몇 대의 상기 구동용 모터인 제1 구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하며, 상기 제1 구동용 모터를 제외한 나머지의 상기 구동용 모터인 제2 구동용 모터를 토크제어에 의해서 제어하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein the motor control unit controls one of a plurality of the driving motors, that is, the first driving motor, which is the driving motor, by either torque control or speed control or position control, And the second drive motor, which is the drive motor, is controlled by torque control. 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 상기 핸드가 연결되는 암(arm)과, 상기 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에,A hand on which a carrying object is mounted; an arm to which the hand is connected; and a support member for supporting the arm, 상기 지지부재를 수평방향으로 이동시키기 위한 수평구동기구와, 상기 수평구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고,A horizontal driving mechanism for moving the supporting member in the horizontal direction, and a control unit for controlling the horizontal driving mechanism, 상기 수평구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하며,Wherein the horizontal driving mechanism includes a plurality of driving motors, 상기 제어부는 복수의 상기 구동용 모터를 제어하는 모터제어부를 구비하고,Wherein the control unit includes a motor control unit for controlling the plurality of driving motors, 상기 모터제어부는 복수의 상기 구동용 모터 중 몇 대의 상기 구동용 모터인 제1 구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하며, 상기 제1 구동용 모터를 제외한 나머지의 상기 구동용 모터인 제2 구동용 모터를 토크제어에 의해서 제어하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein the motor control unit controls one of a plurality of the driving motors, that is, the first driving motor, which is the driving motor, by either torque control or speed control or position control, And the second drive motor, which is the drive motor, is controlled by torque control. 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 상기 핸드가 연결되는 암(arm)과, 상기 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에,A hand on which a carrying object is mounted; an arm to which the hand is connected; and a support member for supporting the arm, 상하방향을 축방향으로 하는 소정의 중심축을 중심으로 상기 지지부재를 회전시키기 위한 회전구동기구와, 상기 회전구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고,A rotation driving mechanism for rotating the support member about a predetermined central axis having an up-down direction as an axial direction; and a control unit for controlling the rotation driving mechanism, 상기 회전구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하며,Wherein the rotation driving mechanism includes a plurality of driving motors, 상기 제어부는 복수의 상기 구동용 모터를 제어하는 모터제어부를 구비하고,Wherein the control unit includes a motor control unit for controlling the plurality of driving motors, 상기 모터제어부는 복수의 상기 구동용 모터 중 몇 대의 상기 구동용 모터인 제1 구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하며, 상기 제1 구동용 모터를 제외한 나머지의 상기 구동용 모터인 제2 구동용 모터를 토크제어에 의해서 제어하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein the motor control unit controls one of a plurality of the driving motors, that is, the first driving motor, which is the driving motor, by either torque control or speed control or position control, And the second drive motor, which is the drive motor, is controlled by torque control. 청구항 1 내지 3 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 제1 구동용 모터는, 1대의 상기 구동용 모터인 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein the first drive motor is one drive motor. 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 상기 핸드가 연결되는 암(arm)과, 상기 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에,A hand on which a carrying object is mounted; an arm to which the hand is connected; and a support member for supporting the arm, 상기 지지부재를 수평방향으로 이동시키기 위한 수평구동기구와, 상기 수평구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고,A horizontal driving mechanism for moving the supporting member in the horizontal direction, and a control unit for controlling the horizontal driving mechanism, 상기 수평구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하며,Wherein the horizontal driving mechanism includes a plurality of driving motors, 상기 제어부는 복수의 상기 구동용 모터를 제어하는 수평모터 제어부를 구비하고,Wherein the control unit includes a horizontal motor control unit for controlling the plurality of driving motors, 복수의 상기 구동용 모터 각각은, 상기 구동용 모터의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구를 구비하며,Wherein each of the plurality of drive motors includes a speed detection mechanism for detecting a rotational speed of the drive motor, 복수의 상기 구동용 모터 중 몇 대의 상기 구동용 모터인 제1 수평구동용 모터로 하고, 상기 제1 수평구동용 모터를 제외한 나머지의 상기 구동용 모터를 제2 수평구동용 모터로 하면,When the second horizontal driving motor is the remaining one of the plurality of driving motors except for the first horizontal driving motor and the first horizontal driving motor is any of the plurality of driving motors, 상기 수평모터 제어부는, 상기 제1 수평구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하고, 또한 상기 제1 수평구동용 모터의 상기 속도검출기구인 제1 속도검출기구에 의해서 검출되는 상기 지지부재의 소정의 기준위치로부터 정지예정위치까지의 펄스수인 기준펄스수와, 상기 제1 속도검출기구에 의해서 검출된 상기 지지부재의 기준위치로부터의 실제의 펄스수인 검출펄스수와의 차이를 산출하며, 그 차이가 소정의 값 이하인 경우에는, 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 상기 제2 수평구동용 모터를 제어함과 아울러 상기 기준펄스수와 상기 검출펄스수와의 차이가 상기 소정의 값 보다도 큰 경우에는 토크제어에 의해서 상기 제2 수평구동용 모터를 제어하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트. Wherein the horizontal motor control unit controls the first horizontal driving motor by either one of speed control or position control and torque control and also controls the first horizontal driving motor by a first speed detecting mechanism that is the speed detector of the first horizontal driving motor A reference pulse number which is the number of pulses from a predetermined reference position of the support member to be detected to the predetermined stop position and a detected pulse number which is the actual number of pulses from the reference position of the support member detected by the first speed detecting mechanism And when the difference is equal to or smaller than a predetermined value, the second horizontal driving motor is controlled by either the speed control or the position control and the torque control, and the second horizontal driving motor is controlled by the reference pulse number and the detection pulse And the second horizontal driving motor is controlled by torque control when the difference between the first horizontal driving motor and the second horizontal driving motor is greater than the predetermined value. boat. 반송대상물이 탑재되는 핸드(hand)와, 상기 핸드가 연결되는 암(arm)과, 상기 암을 지지하는 지지부재를 구비함과 동시에,A hand on which a carrying object is mounted; an arm to which the hand is connected; and a support member for supporting the arm, 상하방향을 축방향으로 하는 소정의 중심축을 중심으로 상기 지지부재를 회전시키기 위한 회전구동기구와, 상기 회전구동기구를 제어하는 제어부를 구비하고,A rotation driving mechanism for rotating the support member about a predetermined central axis having an up-down direction as an axial direction; and a control unit for controlling the rotation driving mechanism, 상기 회전구동기구는 복수의 구동용 모터를 구비하며,Wherein the rotation driving mechanism includes a plurality of driving motors, 상기 제어부는 복수의 상기 구동용 모터를 제어하는 회전모터 제어부를 구비하고,Wherein the control unit includes a rotation motor control unit for controlling the plurality of drive motors, 복수의 상기 구동용 모터 각각은, 상기 구동용 모터의 회전속도를 검출하기 위한 속도검출기구를 구비하며,Wherein each of the plurality of drive motors includes a speed detection mechanism for detecting a rotational speed of the drive motor, 복수의 상기 구동용 모터 중 몇 대의 상기 구동용 모터인 제1 회전구동용 모터로 하고, 상기 제1 회전구동용 모터를 제외한 나머지의 상기 구동용 모터를 제2 회전구동용 모터로 하면,When the first rotation drive motor is a plurality of the drive motors among a plurality of the drive motors and the remaining drive motor except for the first rotation drive motor is a second rotation drive motor, 상기 회전모터 제어부는, 상기 제1 회전구동용 모터를 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 제어하고, 또한 상기 제1 회전구동용 모터의 상기 속도검출기구인 제1 속도검출기구에 의해서 검출되는 상기 지지부재의 소정의 기준위치로부터 정지예정위치까지의 펄스수인 기준펄스수와, 상기 제1 속도검출기구에 의해서 검출된 상기 지지부재의 기준위치로부터의 실제의 펄스수인 검출펄스수와의 차이를 산출하며, 그 차이가 소정의 값 이하인 경우에는, 속도제어 또는 위치제어 중 어느 하나와 토크제어에 의해서 상기 제2 회전구동용 모터를 제어함과 아울러 상기 기준펄스수와 상기 검출펄스수와의 차이가 상기 소정의 값 보다도 큰 경우에는 토크제어에 의해서 상기 제2 회전구동용 모터를 제어하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.Wherein the rotation motor control unit controls the first rotation drive motor by any one of speed control and position control and torque control and also controls the first rotation drive motor by the first speed detection mechanism which is the speed detector of the first rotation drive motor A reference pulse number which is the number of pulses from a predetermined reference position of the support member to be detected to the predetermined stop position and a detected pulse number which is the actual number of pulses from the reference position of the support member detected by the first speed detecting mechanism And when the difference is equal to or smaller than a predetermined value, the second rotation driving motor is controlled by either the speed control or the position control and the torque control, and the second rotation drive motor is controlled by the reference pulse number and the detection pulse And the second rotation drive motor is controlled by torque control when the difference between the first rotation drive motor and the second rotation drive motor is larger than the predetermined value. boat.
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