KR101468391B1 - Device for adjusting height of lift pin and FPD manufacturing machine having the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 로딩/언로딩(loading/unloading) 시키는 데 사용되는 리프트 핀(lift pin)의 높이를 용이하게 조정할 수 있도록 한 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lift pin height adjusting device for easily adjusting a height of a lift pin used for loading / unloading a substrate, and a flat panel display device manufacturing apparatus having the lift pin height adjusting device.

여기서, 리프트 핀 높이 조정장치는 핀 플레이트(pin plate)에 끝 부분이 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능한 것과 동시에 회전조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치된 핀 높이 조정볼트와, 이 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.The lift pin height adjusting device includes a pin height adjusting bolt having a pin plate, an end portion of which can be brought into contact with a lower end portion of the lift pin, and which is vertically movable according to a rotating operation, And an elastic means for applying an elastic force to the lift pin such that the lower end portion of the lift pin is in contact with the lift pin.

기판, 높이 조정, 리프트 핀, 볼트, 스테이지 평판표시소자, 플레이트, 탄성 Board, height adjustment, lift pin, bolt, stage flat panel display element, plate, elasticity

Description

리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비{Device for adjusting height of lift pin and FPD manufacturing machine having the same}Technical Field [0001] The present invention relates to a lifting pin height adjusting device,

본 발명은 반도체(semiconductor), 평판표시소자(flat panel display ; FPD) 등을 만드는 장비의 스테이지(stage)에 기판을 로딩/언로딩(loading/unloading) 하는 데에 사용되는 리프트 핀(lift pin)의 높이를 간편하면서도 정밀하게 조정할 수 있도록 한 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비에 관한 것이다.The present invention relates to a lift pin used for loading / unloading a substrate on a stage of equipment for making a semiconductor, To a lift pin height adjusting device for easily and precisely adjusting the height of a flat display device.

일반적으로, 반도체 제조장비, 평판표시소자 제조장비 등은 웨이퍼(wafer)나 글라스(glass)와 같은 기판을 스테이지의 윗면에 로딩/언로딩 하기 위한 리프트 핀을 복수 개 가지며, 이 리프트 핀은 핀 플레이트(pin plate)에 의하여 동시에 작동된다.Generally, semiconductor manufacturing equipment, flat panel display device manufacturing equipment, and the like have a plurality of lift pins for loading / unloading a substrate such as a wafer or a glass onto the upper surface of the stage, (pin plate).

이와 같은 리프트 핀과 핀 플레이트는 반도체 제조장비든지 평판표시소자 제조장비든지 모두 동일하거나 유사한 방식으로 적용되는 것으로, 이하에서는 리프트 핀, 핀 플레이트 그리고 이 둘과 관련 있는 구성에 관하여 이들이 평판표시소자 제조장비에 적용된 것을 예로 들어 종래기술을 살펴보기로 한다.Such lift pins and pin plates are applied in the same or similar manner to semiconductor manufacturing equipment or flat panel display device manufacturing equipment, hereinafter referred to as lift pins, pin plates, and configurations relating to the two, The prior art will be described as an example.

최근, 널리 보급되고 있는 평판표시소자로는 액정디스플레이(liquid crystal display ; LCD), 유기발광 다이오드(organic light emitting diodes ; OLED), 플라즈마 표시장치(plasma display panel ; PDP) 등이 있다. 그리고 이들 평판표시소자를 제조하는 장비는 진공 상태에서 작업하는 장비가 주로 사용되는 바, 일반적으로 공정챔버(process chamber), 로드 록 챔버(load lock chamber), 반송챔버(transfer chamber) 등이 사용된다.2. Description of the Related Art Recently, widely used flat panel display devices include liquid crystal displays (LCDs), organic light emitting diodes (OLEDs), and plasma display panels (PDPs). The apparatus for manufacturing these flat panel display devices is mainly used in a vacuum state. In general, a process chamber, a load lock chamber, a transfer chamber, etc. are used .

공정챔버는 진공 분위기 하에서 플라즈마나 열에너지를 이용, 기판을 식각하는 등 기판의 표면을 처리하는 역할을 한다. 로드 록 챔버는 대기압과 진공 상태를 번갈아 가면서 외부로부터 미처리된 기판을 받아 보관하거나 처리된 기판을 외부로 반출하는 역할을 한다. 반송챔버는 반송로봇(transfer robot)을 갖추고 있어 이 반송로봇에 의하여 처리할 기판을 로드 록 챔버로부터 공정챔버로 운반하거나 처리된 기판을 공정챔버로부터 로드 록 챔버로 운반하는 역할을 한다.The process chamber serves to process the surface of the substrate, such as etching the substrate using plasma or thermal energy under a vacuum atmosphere. The load lock chamber alternates between the atmospheric pressure and the vacuum state to receive the unprocessed substrate from the outside, and to take out the processed substrate to the outside. The transfer chamber is equipped with a transfer robot to transfer the substrate to be processed by the transfer robot from the load lock chamber to the process chamber or to transfer the processed substrate from the process chamber to the load lock chamber.

도 1은 위의 챔버들 중 공정챔버가 도시된 구성도이다. 이 도 1에 도시된 바와 같이, 공정챔버는 챔버 바디(chamber body)(11)와, 이 챔버 바디(11) 안에 서로 마주하도록 배치된 상부전극 어셈블리(upper electrode assembly)(13) 및 하부전극 어셈블리(lower electrode assembly)(14)와, 하부전극 어셈블리(14)에 승강 가능하도록 관통된 복수 개의 리프트 핀(15)과, 이 리프트 핀(15) 모두를 받치는 핀 플레이트(pin plate)(16)와, 이 핀 플레이트(16)를 상하 이동시킴으로써 리프트 핀(15)을 동시에 승강시키는 핀 플레이트 승강장치(17)와, 각 리프트 핀(15)의 높이를 각기 조정하는 데 사용되는 리프트 핀 높이 조정장치(20)로 구성된다.1 is a schematic view showing a process chamber among the above chambers. 1, the process chamber includes a chamber body 11, an upper electrode assembly 13 and a lower electrode assembly 13 disposed to face each other in the chamber body 11, a plurality of lift pins 15 penetrating the lower electrode assembly 14 so as to be able to move up and down and a pin plate 16 supporting both of the lift pins 15, A pin plate elevating device 17 for simultaneously elevating and lowering the lift pins 15 by moving the pin plates 16 up and down and a lift pin height adjusting device 17 for adjusting the heights of the lift pins 15 20).

여기에서, 하부전극 어셈블리(14)는 윗면에 반입된 기판이 놓인다. 즉, 기판 탑재대로서의 역할도 하는 바, 이러한 점 때문에 이 하부전극 어셈블리(14)를 스테이지라고도 한다.Here, the lower electrode assembly 14 has the substrate carried on the upper surface thereof. That is, the lower electrode assembly 14 also serves as a substrate mounting table, and therefore, the lower electrode assembly 14 is also referred to as a stage.

도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 단면도이다. 리프트 핀 높이 조정장치(20)는 도 2에 도시된 바와 같이, 핀 플레이트(16)에 끝이 리프트 핀(15)의 하단과 접촉하도록 나사 결합된 핀 높이 조정볼트(21)와, 이 핀 높이 조정볼트(21)에 의하여 높이가 조정된 리프트 핀(15)을 핀 플레이트(16)에 체결하는 복수 개의 체결볼트(22)로 구성된다.2 is an enlarged cross-sectional view of part A of Fig. 2, the lift pin height adjusting device 20 includes a pin height adjusting bolt 21 screwed to the pin plate 16 such that the end thereof comes into contact with the lower end of the lift pin 15, And a plurality of fastening bolts 22 for fastening the lift pins 15 whose height is adjusted by the adjusting bolts 21 to the pin plates 16. [

이와 같은 리프트 핀 높이 조정장치(20)는 핀 높이 조정볼트(21)를 회전시키면 회전방향에 따라 이 핀 높이 조정볼트(21)가 상향 또는 하향 이동되고, 이와 동시에 이 핀 높이 조정볼트(21)와 접촉하고 있는 리프트 핀(15)이 승강되어 이 리프트 핀(15)의 높이가 조정된다. 물론, 이 뒤 리프트 핀(15)과 핀 플레이트(16)를 체결볼트(22)에 의하여 체결하면 높이가 조정된 리프트 핀(15)의 위치가 고정된다.When the pin height adjusting bolt 21 is rotated, the pin height adjusting bolt 21 is moved upward or downward according to the rotating direction. At the same time, The height of the lift pin 15 is adjusted. Of course, when the rear lift pin 15 and the pin plate 16 are fastened by the fastening bolt 22, the position of the height-adjusted lift pin 15 is fixed.

그러나 살펴본 바와 같은 리프트 핀 높이 조정장치(20)는 그 핀 높이 조정볼트(21)에 의하여 리프트 핀(15)의 높이를 조정한 다음 체결볼트(22)에 의하여 리프트 핀(15)을 고정시켜야 하는 바, 리프트 핀(15)을 고정시키는 과정에서 조정된 높이가 변경될 소지가 다분하였고, 이 때문에 리프트 핀(15)의 높이를 정밀하게 조정하는 것이 곤란하였다.However, the height of the lift pin height adjusting device 20 as described above is required to adjust the height of the lift pin 15 by the pin height adjusting bolt 21 and fix the lift pin 15 by the fastening bolt 22 In the process of fixing the bar and the lift pin 15, the adjusted height is likely to change, which makes it difficult to precisely adjust the height of the lift pin 15.

또한, 리프트 핀(15)의 높이를 조정하기 위해서는 반드시 체결볼트(22)를 풀어야 하고, 높이를 조정한 이후에는 다시 죄어야 하므로 작업에 상당한 시간, 인력 등을 필요로 한다는 문제점이 있었다.In order to adjust the height of the lift pin 15, the fastening bolt 22 must be loosened and the fastening bolt 22 must be tightened after the height has been adjusted. Therefore, a considerable amount of time and manpower are required for the operation.

또한, 핀 높이 조정볼트(21)와 리프트 핀(15)의 접촉 부분이 양쪽 모두 평평하도록 형성되어 있는 바, 면과 면이 접촉하기 때문에 높이를 조정할 때 마찰이 큰 편이었고, 이에 따라 양자 간의 접촉 부분에 그리스(grease) 따위의 윤활제 도포가 요구되고는 하였다.In addition, since the contact portions of the pin height-adjusting bolt 21 and the lift pin 15 are formed so as to be flat on both sides, since the contact between the face and the face is high, friction is large when the height is adjusted, Grease, and the like.

본 발명은 설명한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 목적은 높이가 조정된 리프트 핀의 위치를 별도의 조작 없이 고정시킬 수 있고, 아울러 높이를 재조정할 때 리프트 핀의 고정을 해제할 필요 또한 없이 조정할 수 있는 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비를 제공하는 데에 있다.The object of the present invention is to solve the problem as described above, and it is an object of the present invention to fix the position of the height-adjusted lift pin without any special operation, and to release the fixation of the lift pin when the height is readjusted And to provide a flat panel display device manufacturing apparatus having such a lift pin height adjusting device.

본 발명의 다른 목적은 리프트 핀의 높이를 조정할 때 이 리프트 핀과 핀 높이 조정볼트가 접촉되는 데 따른 마찰을 대폭 감소시킬 수 있는 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a lift pin height adjusting device and a flat panel display device manufacturing equipment having such a lift pin height adjustment device capable of drastically reducing friction due to contact between the lift pin and the pin height adjusting bolt when adjusting the height of the lift pin have.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 핀 플레이트에 끝 부분이 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능한 것과 동시에 회전조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치된 핀 높이 조정볼트와; 상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for adjusting a height of a lift pin, the apparatus comprising: a pin height adjustment bolt having an end connected to a lower end portion of the lift pin and capable of moving up and down according to a rotation operation; And an elastic means for applying an elastic force to the lift pin such that an end portion of the pin height adjusting bolt and a lower end portion of the lift pin are in contact with each other.

상기 탄성수단은 상기 리프트 핀을 상기 핀 높이 조정볼트 측으로 당기고 있 도록 상기 리프트 핀과 그 주위의 정지 구조물에 연결된 적어도 하나의 탄성시트로 구성될 수 있다.The elastic means may be composed of at least one elastic sheet connected to the lift pin and the stationary structure around the lift pin so as to pull the lift pin toward the pin height adjusting bolt.

상기 핀 플레이트는 상기 리프트 핀과 마주하는 부분에 수용 홈이 마련되고, 상기 핀 높이 조정볼트는 몸체가 상기 수용 홈에 위치하도록 설치될 수 있다.The pin plate is provided with a receiving groove at a portion facing the lift pin, and the pin height adjusting bolt can be installed such that the body is positioned in the receiving groove.

본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 또, 적어도 일부가 상기 수용 홈에 위치하도록 상기 리프트 핀의 하단에 장착된 승강부재를 더 포함할 수 있다. 이 때, 상기 승강부재는 끝 부분이 상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 접촉되는 콘택트 핀을 가질 수 있다.The lift pin height adjusting device according to the present invention may further include an elevating member mounted at a lower end of the lift pin such that at least a part of the elevating member is located in the receiving recess. At this time, the elevating member may have a contact pin whose end portion is in contact with an end portion of the pin height adjusting bolt.

또한, 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 상기 핀 플레이트에 상기 리프트 핀과 마주하고 있도록 설치된 컵 구조의 마운팅 하우징을 더 포함하여 구성될 수 있다. 이 경우, 상기 수용 홈은 상기 마운팅 하우징의 내부일 수 있다.The lift pin height adjusting device according to the present invention may further comprise a mounting structure of a cup structure provided on the fin plate so as to face the lift pin. In this case, the receiving groove may be the inside of the mounting housing.

상기 정지 구조물은 상기 핀 플레이트이고, 상기 탄성시트는 중앙부가 천공된 디스크의 형상으로 형성되어 상기 수용 홈이 상하로 구획되도록 안쪽 둘레는 상기 콘택트 핀의 둘레를 감싸고 바깥쪽 둘레는 상기 수용 홈의 벽면에 둘러질 수 있다. 이 때, 상기 탄성시트는 상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강에 따라 펴지거나 원상으로 접혀 있도록 적어도 하나의 주름을 가질 수 있다.Wherein the stopping structure is the pin plate and the elastic sheet is formed in a shape of a perforated disc so that the inner circumference surrounds the periphery of the contact pin so that the receiving groove is divided into upper and lower portions, . At this time, the elastic sheet may have at least one wrinkle so as to be stretched or folded in a circular shape as the lift pin is lifted by the pin height adjusting bolt.

본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강을 안내하도록 상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레에 마련된 가이드를 더 포함하여 구성될 수 있다.The lift pin height adjusting device according to the present invention may further comprise a wall provided on the receiving groove and a guide provided around the elevating member so as to guide the lifting and lowering of the lift pin by the pin height adjusting bolt.

여기에서, 상기 가이드는 상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레 중 어느 하나에 상하방향을 따라 형성된 적어도 하나의 가이드 홈과; 상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레 중 나머지 하나에 상기 가이드 홈과 결합 가능하도록 형성된 가이드 돌기로 구성될 수 있다.Here, the guide may include at least one guide groove formed along a vertical direction on a wall surface of the receiving groove and a periphery of the elevating member; And a guide protrusion formed on the wall surface of the receiving groove and the other one of the peripheries of the elevating member to be engageable with the guide groove.

상기 핀 높이 조정볼트와 콘택트 핀의 접촉 부분은 점접촉을 하는 구조를 가지도록 구성될 수 있다.The contact portion of the pin height adjusting bolt and the contact pin may be configured to have a structure of point contact.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 핀 플레이트에 상단 부분이 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능한 것과 동시에 조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치된 핀 높이 조정용구와; 상기 핀 높이 조정용구를 상하 이동된 위치에 머물러 있도록 하는 위치 유지수단과; 상기 핀 높이 조정용구의 상단 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단으로 구성된 것을 특징으로 할 수도 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for adjusting a height of a lift pin, the apparatus comprising: a pin height adjuster provided at an upper end of the pin plate to be able to contact a lower end portion of the lift pin, A position holding means for holding the pin height adjusting tool in a vertically moved position; And an elastic means for applying an elastic force to the lift pin such that an upper portion of the pin height adjusting tool and a lower end portion of the lift pin are in contact with each other.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 핀 플레이트에 리프트 핀과 마주하고 있도록 설치되고 리프트 핀과 마주하는 부분에 수용 홈이 마련된 마운팅 하우징과; 몸체는 상기 수용 홈에 위치하고 머리는 이 수 용 홈의 밖에 위치하는 상태에서 상기 몸체의 끝 부분이 상기 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능하도록 상기 마운팅 하우징과 나사 결합된 핀 높이 조정볼트와; 상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단으로 구성된 것을 특징으로 할 수도 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a lift pin height adjusting apparatus, comprising: a mounting housing provided on a fin plate so as to face a lift pin and having a receiving groove at a portion facing the lift pin; A pin height adjusting bolt screwed to the mounting housing such that an end of the body is in contact with a lower end portion of the lift pin while the body is located in the receiving groove and the head is located outside the receiving groove; And elastic means for applying an elastic force to the lift pin such that an end portion of the pin height adjusting bolt and a lower end portion of the lift pin are in contact with each other.

그리고 상기 탄성수단은 상기 리프트 핀을 상기 핀 높이 조정볼트 측으로 당기고 있도록 상기 리프트 핀과 그 주위의 정지 구조물에 연결된 적어도 하나의 탄성시트로 구성될 수 있다. 게다가, 이 같은 리프트 핀 높이 조정장치는 상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강을 안내하는 가이드를 더 포함하여 구성될 수도 있다.And the elastic means may be composed of at least one elastic sheet connected to the lift pin and the stationary structure around the lift pin so as to pull the lift pin toward the pin height adjusting bolt. In addition, such a lift pin height adjusting device may further include a guide for guiding the lift pin up and down by the pin height adjusting bolt.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장비는 챔버 바디와; 상기 챔버 바디 안에 배치되고 위에 기판이 놓이는 스테이지와; 상기 스테이지에 승강 가능하도록 설치되어 이 스테이지에 놓이는 기판을 들어 올리거나 내려놓는 복수 개의 리프트 핀과; 상기 복수 개의 리프트 핀을 지지하는 핀 플레이트와; 상기 핀 플레이트를 상하 이동시켜 상기 복수 개의 리프트 핀을 동시에 승강시키는 핀 플레이트 승강장치와; 상기 리프트 핀의 높이를 각각 조정하는 데 사용하는 것으로, 위에 기재된 바와 같은 리프트 핀 높이 조정장치로 구성된 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for manufacturing a flat panel display device, comprising: a chamber body; A stage disposed in the chamber body and on which the substrate is placed; A plurality of lift pins installed on the stage so as to be able to move up and down to lift or lower the substrate placed on the stage; A pin plate supporting the plurality of lift pins; A pin plate lifting device for lifting and lowering the plurality of lift pins simultaneously by moving the pin plate up and down; And a lift pin height adjusting device as described above, which is used to adjust the height of the lift pins, respectively.

본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비는 다음과 같은 이점이 있다.The lift pin height adjusting device and the flat panel display device manufacturing equipment according to the present invention have the following advantages.

핀 높이 조정볼트가 탄성수단에 의하여 리프트 핀(리프트 핀의 하단에 승강부재가 마련된 경우에는 콘택트 핀)과 항상 접촉하고 있으므로 높이가 조정된 리프트 핀의 위치를 별도의 조작 없이 고정시킬 수 있고, 이에 따라 리프트 핀의 높이를 간단, 신속 그리고 정밀하게 조정할 수 있다.Since the pin height adjusting bolt is always in contact with the lift pin (the contact pin when the lift member is provided at the lower end of the lift pin) by the elastic means, the position of the lift pin whose height is adjusted can be fixed without any operation Therefore, the height of the lift pin can be adjusted simply, quickly and precisely.

핀 높이 조정볼트가 리프트 핀(리프트 핀의 하단에 승강부재가 마련된 경우에는 콘택트 핀)과 점접촉을 하므로 접촉 부분에 발생되는 마찰을 대폭 줄일 수 있고, 이 점 때문에 힘을 덜 들이고 리프트 핀의 높이를 조정할 수 있다.Since the pin height adjusting bolt makes point contact with the lift pin (contact pin when the elevating member is provided at the lower end of the lift pin), the friction generated at the contact portion can be greatly reduced and the strength of the lift pin Can be adjusted.

이하, 첨부된 도면을 참조, 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a lift pin height adjusting device and a flat panel display device manufacturing apparatus having the same according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

참고로, 본 발명의 실시예는 평판표시소자를 제조하는 장비 중 하나인 공정챔버에 적용된 것을 예로 들어 살펴보기로 한다.For reference, an embodiment of the present invention will be described by taking an example applied to a process chamber, which is one of equipment for manufacturing a flat panel display device.

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치가 적용된 공정챔버를 나타내는 구성도로, 이 도 3에서와 같이, 공정챔버는 기판을 처리하기 위한 공간을 제공하는 챔버 바디(51), 이 챔버 바디(51) 안의 상부영역과 하부영역에 마 주하도록 각각 배치된 상부전극 어셈블리(53) 및 하부전극 어셈블리(54), 이 두 전극 어셈블리(53)(54) 중 하부전극 어셈블리(54)에 승강 가능하게 설치된 복수 개의 리프트 핀(55), 이 리프트 핀(55) 모두를 지지하는 핀 플레이트(56), 이 핀 플레이트(56)를 상하로 이동시킴으로써 복수 개의 리프트 핀(55)을 동시에 승강시키는 적어도 하나의 핀 플레이트 승강장치(57), 이 핀 플레이트 승강장치(57)에 의하여 승강되는 리프트 핀(55)의 높이를 각각 조정하는 데에 사용하는 리프트 핀 높이 조정장치(60A) 등으로 이루어진다.3 is a view illustrating a process chamber to which a lift pin height adjusting device according to the first embodiment of the present invention is applied. As shown in FIG. 3, the process chamber includes a chamber body 51 for providing a space for processing a substrate, An upper electrode assembly 53 and a lower electrode assembly 54 disposed to face the upper and lower regions in the chamber body 51 and a lower electrode assembly 54 of the two electrode assemblies 53 and 54, A plurality of lift pins 55 mounted on the lift pins 55 so as to be able to move up and down on the lift pins 55 and a pin plate 56 supporting both of the lift pins 55, At least one pin plate elevating device 57 for elevating and lowering the lift pins 57 and a lift pin height adjusting device 60A used for adjusting the height of the lift pins 55 raised and lowered by the pin plate elevating device 57 .

챔버 바디(51)는 기판을 내부로 반입하거나 이와 반대로 반입된 기판을 반출하기 위한 기판 출입구로서의 역할을 하는 게이트 슬릿(gate slit)(51s)이 벽 한쪽에 좌우로 기다랗게 형성되는데, 이 게이트 슬릿(51s)은 여기에 열고 닫는 것이 가능하도록 설치된 게이트 밸브(gate valve)(52)에 의하여 개폐된다.The chamber body 51 has a gate slit 51s formed on one side of the wall so as to extend horizontally from side to side to serve as a substrate entry / exit port for carrying the substrate into the inside of the chamber or, conversely, (51s) are opened and closed by a gate valve (52) provided so as to be opened and closed.

두 전극 어셈블리(53)(54) 중에서 상부전극 어셈블리(53)는 도시되어 있지는 않으나, 기판을 처리할 때 필요한 공정 가스를 분출하는 샤워 헤드(shower head)를 가진다.Of the two electrode assemblies 53 and 54, the upper electrode assembly 53 has a shower head that is not shown but ejects the process gas necessary for processing the substrate.

하부전극 어셈블리(54)는 여기에 설치된 리프트 핀(55)의 승강을 위한 핀 홀(pin hole)(54h)을 가지는데, 이 핀 홀(54h)은 하부전극 어셈블리(54)를 상하로 관통하고 있는 형태로 마련된다.The lower electrode assembly 54 has a pin hole 54h for lifting and lowering the lift pin 55 installed in the lower electrode assembly 54. The pin hole 54h penetrates the lower electrode assembly 54 up and down .

이와 같은 하부전극 어셈블리(54)는 그 위에 반입된 기판이 놓인다. 때문에, 하부전극 어셈블리(54)는 기판 탑재대로서의 역할도 하는 바, 이 같은 이유로 하부전극 어셈블리(54)를 스테이지라고도 한다.The lower electrode assembly 54 has a substrate loaded thereon. Therefore, the lower electrode assembly 54 serves also as a substrate mounting table. For this reason, the lower electrode assembly 54 is also referred to as a stage.

리프트 핀(55)은 핀 홀(54h)에 하나씩 삽입되어 하부전극 어셈블리(54)를 관통한다. 그리고 이러한 상태로 챔버 바디(51)의 바닥(51b)을 관통, 그 하부가 챔버 바디(51)의 외부에 노출된다. 물론, 챔버 바디(51)의 바닥(51b)에도 리프트 핀(55)의 관통을 위한 구멍이 마련된다.The lift pins 55 are inserted into the pin holes 54h one by one and pass through the lower electrode assembly 54. [ In this state, the bottom portion 51b of the chamber body 51 is penetrated and the lower portion thereof is exposed to the outside of the chamber body 51. Of course, the bottom 51b of the chamber body 51 is also provided with a hole for the penetration of the lift pin 55.

핀 플레이트 승강장치(57)는 일례로, 핀 플레이트(56)에 세워져 있도록 결합된 일직선상의 볼 스크루(ball screw)(58)와, 이 볼 스크루(58)를 정/역회전시키는 모터(motor)(59)로 구성될 수 있다.The pin plate lifting device 57 includes a ball screw 58 which is linearly engaged with the pin plate 56 so as to be erected thereon and a motor which rotates the ball screw 58 in the forward / (59).

도 4, 5는 도 3의 B 부분을 확대한 단면도이고, 도 6은 도 4의 C-C선 단면도로서 모두 리프트 핀 높이 조정장치(60A)의 구성을 나타낸다.Figs. 4 and 5 are enlarged cross-sectional views taken along line B of Fig. 3, and Fig. 6 is a cross-sectional view taken along line C-C of Fig. 4 and shows the structure of the lift pin height adjusting device 60A.

도 4 내지 도 6에서, 도면부호 61은 마운팅 하우징(mounting housing), 62는 핀 높이 조정용구, 63은 승강부재, 64는 탄성수단, 65는 가이드(guide)인데, 리프트 핀 높이 조정장치(60A)는 이들 및 위치 유지수단으로 구성된다.4 to 6, reference numeral 61 denotes a mounting housing, 62 denotes a pin height adjusting member, 63 denotes an elevating member, 64 denotes an elastic means, and 65 denotes a guide. The lift pin height adjusting device 60A Are composed of these and the position maintaining means.

마운팅 하우징(61)은 컵(cup)의 구조를 가지는데, 이 구조를 위하여 그 상측에 일정한 깊이를 가지는 원통형의 수용 홈(G1)이 형성된다. 이러한 마운팅 하우 징(61)은 핀 플레이트(56)에 이 핀 플레이트(56)를 관통하도록 설치되는데, 자세하게는 리프트 핀(55)과 마주하는 부분에 수용 홈(G1)의 입구가 이 리프트 핀(55)의 하단을 향하고 있도록 설치된다.The mounting housing 61 has a cup structure, and a cylindrical receiving groove G1 having a predetermined depth is formed on the mounting housing 61 for the structure. The mounting housing 61 is installed in the pin plate 56 so as to penetrate the pin plate 56. Specifically, at the portion facing the lift pin 55, the inlet of the receiving groove G1 is connected to the lift pin 55, respectively.

여기서의 수용 홈(G1)은 핀 플레이트(56)에 리프트 핀 높이 조정장치(60A)의 핀 높이 조정용구(62), 승강부재(63), 탄성수단(64) 등을 설치하는 데 필요한 공간을 제공한다.The receiving groove G1 here is a space for installing the pin height adjusting tool 62, the elevating member 63, the resilient means 64, etc. of the lift pin height adjusting device 60A to the pin plate 56 to provide.

핀 높이 조정용구(62)는 마운팅 하우징(61)의 바닥(61b)에 조작에 따른 상하방향으로의 이동이 가능하도록 설치된다. 따라서 그 위쪽 부분은 수용 홈(G1)에 위치되고, 이에 따라 상단이 리프트 핀(55)의 하단을 향하게 된다.The pin height adjusting tool 62 is installed on the bottom 61b of the mounting housing 61 so as to be movable in the vertical direction according to the operation. The upper part thereof is located in the receiving groove G1, so that the upper end is directed to the lower end of the lift pin 55. [

위치 유지수단은 핀 높이 조정용구(62)를 조작하지 않는 때 이 핀 높이 조정용구(62)가 현 위치에 머물러 있도록 유지시키는 역할을 한다. 이러한 위치 유지수단은 설명한 바의 기능을 갖춘 것이라면 어떠한 타입이라도 적용 가능하겠으나, 여기에서는 핀 높이 조정용구(62)로서 머리에 렌치 홈(wrench groove)(62w)이 형성된 렌치 볼트를 적용하는 것과 함께 마운팅 하우징(61)의 바닥(61b)에 이 렌치 볼트의 몸체에 형성된 수나사(S2)와 결합되는 암나사(S1)를 마련하였다. 즉, 암나사(S1)와 수나사(S2)로 구성된 나사짝을 위치 유지수단으로 한 것이다.The position maintaining means serves to keep the pin height adjusting tool 62 staying at the current position when the pin height adjusting tool 62 is not operated. In this case, a wrench bolt having a wrench groove 62w formed on its head is used as the pin height adjusting tool 62, and a mounting bolt A female screw S1 is provided on the bottom 61b of the housing 61 so as to be engaged with the male screw S2 formed on the body of the wrench bolt. That is, a screw pair composed of the female screw S1 and the male screw S2 is used as the position maintaining means.

이것에 따르면, 핀 높이 조정용구(62)는 마운팅 하우징(61)과 나사 결합되어 회전조작에 따라 상하로 이동하는 바, 이하에서는 설명의 편의를 도모하고자 이 핀 높이 조정용구(62)를 '핀 높이 조정볼트'라 하기로 한다.The pin height adjusting tool 62 is screwed to the mounting housing 61 and moves up and down according to the rotating operation. For the convenience of explanation, Height adjustment bolt '.

승강부재(63)는 리프트 핀(55)의 하단에 장착되고 적어도 그 일부가 수용 홈(G1)에 위치하도록 마련되어 리프트 핀(55)과 함께 승강한다.The elevating member 63 is mounted on the lower end of the lift pin 55 and at least a part of the elevating member 63 is located in the receiving groove G1 and moves up and down together with the lift pin 55. [

이와 같은 승강부재(63)는 수용 홈(G1)에 비하여 작은 원통형으로 형성된다. 그리고 그 하측에는 끝이 수용 홈(G1)에 위치된 핀 높이 조정볼트(62) 몸체의 끝과 접촉되는 콘택트 핀(contact pin)(63p)이 마련된다. 이 때, 콘택트 핀(63p)은 수용 홈(G1) 벽면과의 사이에 충분한 여유 공간을 확보할 수 있는 굵기를 가진다.The elevating member 63 is formed in a cylindrical shape smaller than the receiving groove G1. And a contact pin 63p is provided on the lower side thereof to contact the end of the pin height adjusting bolt 62 whose end is located in the receiving groove G1. At this time, the contact pin 63p is thick enough to secure a sufficient clearance between the contact pin 63p and the wall surface of the receiving groove G1.

탄성수단(64)은 핀 높이 조정볼트(62)와 콘택트 핀(63p)이 항상 접촉하고 있도록 콘택트 핀(63p)에 일정한 크기의 탄성력을 부여하는 것으로서 콘택트 핀(63p)을 핀 높이 조정볼트(62) 측, 즉 아래쪽으로 당기고 있도록 콘택트 핀(63p)과 수용 홈(G1)에 연결된 적어도 하나의 탄성시트(elastic sheet)로 구성된다.The resilient means 64 applies an elastic force of a predetermined magnitude to the contact pin 63p so that the pin height adjusting bolt 62 and the contact pin 63p are in contact with each other at all times so that the contact pin 63p is fixed to the pin height adjusting bolt 62 , And at least one elastic sheet connected to the contact pin 63p and the receiving groove G1 so as to be pulled downward.

탄성시트는 탄성물질로 이루어진 것일 수도 있고, 아니면 탄성을 지닐 수 있는 구조를 가지도록 구성된 것일 수도 있다. 이러한 탄성시트는 그 중앙 부분이 천공된 디스크(disk) 모양으로 형성되는데, 안쪽 둘레는 콘택트 핀(63p)에 이 콘택트 핀(63p)의 둘레를 감싸도록 직접 부착되거나 파스너(fastener)와 같은 것에 의하여 체결되고, 바깥쪽 둘레는 수용 홈(G1)이 상하로 구획되도록 이 수용 홈(G1)의 벽면에 이 벽면을 두르도록 마찬가지로 직접 부착되거나 파스너(fastener)와 같은 것에 의하여 체결된다. 이 때, 탄성시트의 안쪽 둘레는 핀 높이 조정볼트(62)를 하향 이동시켜 승강부재(63)를 하강시키면 탄성시트가 원상으로 복원되고 그 반대로 핀 높이 조정볼트(62)를 상향 이동시켜 승강부재(63)를 상승시키면 탄성시트가 변형되도록 바깥쪽 둘레에 비하여 높은 위치에 배치된다. 물론, 이 구조는 탄성시트가 콘택트 핀(63p)을 아래쪽으로 당기도록 하는 것이다.The elastic sheet may be made of an elastic material, or may be constructed so as to have a resilient structure. Such an elastic sheet is formed in the shape of a disk having a central portion thereof perforated. The inner periphery of the elastic sheet is directly attached to the contact pin 63p so as to surround the periphery of the contact pin 63p, or by a fastener or the like And the outer periphery thereof is likewise directly attached to the wall surface of the receiving groove G1 so that the receiving groove G1 is divided into upper and lower portions and fastened by a fastener or the like. At this time, when the elevation member 63 is lowered by moving the pin height adjustment bolt 62 downward, the elastic sheet is restored to the original position, and the pin height adjustment bolt 62 is moved upward, The elastic sheet is disposed at a higher position than the outer periphery so as to deform the elastic sheet. Of course, this structure allows the elastic sheet to pull the contact pin 63p downward.

한편, 탄성시트는 승강부재(63)의 승강에 따라 펴지거나 원상으로 접혀 있도록 적어도 하나의 주름(64w)을 가진다. 이 주름(64w)은 승강부재(63)의 승강운동에 따른 탄성시트의 변형과 복원을 용이하게 한다.On the other hand, the elastic sheet has at least one wrinkle 64w so as to be stretched or folded in the original shape as the lifting member 63 is lifted or lowered. This corrugation 64w facilitates the deformation and restoration of the elastic sheet in accordance with the lifting and lowering movement of the lifting member 63. [

가이드(65A)는 승강부재(63)가 정확하게 승강하도록 안내하는 것으로서 적어도 하나의 가이드 홈(65g) 그리고 이 가이드 홈(65g)과 결합되는 가이드 돌기(65p)로 구성된다.The guide 65A guides the elevating member 63 to move up and down accurately and includes at least one guide groove 65g and a guide protrusion 65p which is engaged with the guide groove 65g.

여기에서, 가이드 홈(65g)은 승강부재(63)의 둘레에 상하방향을 따라 기다랗게 형성된다. 가이드 돌기(65p)는 수용 홈(G1)의 벽면에 이 가이드 홈(65g)에 끼워질 수 있도록 형성된다. 이 때, 가이드 홈(65g)과 가이드 돌기(65p)는 형성되는 위치를 서로 바꿀 수도 있다.Here, the guide groove 65g is formed around the elevating member 63 along the vertical direction. The guide protrusion 65p is formed on the wall surface of the receiving groove G1 so as to be fitted into the guide groove 65g. At this time, the guide grooves 65g and the guide protrusions 65p may be formed at different positions.

살펴본 바와 같은 리프트 핀 높이 조정장치(60A)는 그 핀 높이 조정볼트(62)를 회전시켜 상향 이동시키면 승강부재(63)가 핀 높이 조정볼트(62)의 작용(승강부재를 들어 올리는 힘)에 의하여 탄성시트의 탄성력을 극복하는 것과 동시에 가이 드(65A)의 안내를 받으면서 상승하게 된다. 이 때, 리프트 핀(55)은 일정한 높이 상승된다.When the lift pin height adjusting device 60A is rotated upward to rotate the pin height adjusting bolt 62 as described above, the lift member 63 is moved upward by the action of the pin height adjusting bolt 62 (force for lifting the lift member) Thereby overcoming the elastic force of the elastic sheet and rising while being guided by the guide 65A. At this time, the lift pin 55 is raised to a certain height.

한편, 핀 높이 조정볼트(62)를 반대로 회전시키면, 승강부재(63)는 자중, 리프트 핀(55)의 무게 그리고 탄성시트의 복원력에 의하여 하강하게 되고, 이에 따라 리프트 핀(55) 또한 하강하게 된다.On the other hand, when the pin height adjusting bolt 62 is rotated reversely, the lift member 63 is lowered by its own weight, the weight of the lift pin 55 and the restoring force of the elastic sheet, do.

이상의 도 3 내지 도 6에서 설명되지 않은 도면부호 62k는 널링(knurling)이고, 62s는 대략 볼록한 반구형으로 형성된 구면이다.Reference numerals 62k, which are not described in FIGS. 3 to 6, are knurling, and 62s is a spherical surface formed in a substantially convex hemispherical shape.

여기에서, 구면(62s)은 핀 높이 조정볼트(62)와 콘택트 핀(63p)의 접촉 부분이 점접촉을 하도록 하는 것으로서 핀 높이 조정볼트(62)의 끝과 콘택트 핀(63p)의 끝 중 어느 하나 또는 둘 모두에 형성된다. 만약, 핀 높이 조정볼트(62)의 끝과 콘택트 핀(63p)의 끝 중 어느 하나에만 구면(62s)이 형성된다면, 다른 하나는 평평하도록 형성된다.Here, the spherical surface 62s is provided for making the contact portion of the pin height adjusting bolt 62 and the contact pin 63p come into point contact, and either the end of the pin height adjusting bolt 62 or the end of the contact pin 63p One or both. If the spherical surface 62s is formed on only one of the end of the pin height adjusting bolt 62 and the end of the contact pin 63p, the other is formed to be flat.

도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치를 나타내는 단면도로, 다음에서는 이 도 7을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치(60A)와 유사한 구성을 가지는 제2실시예에 관하여 살펴보기로 한다.7 is a cross-sectional view showing a lift pin height adjusting device according to the second embodiment of the present invention. Next, a lift pin height adjusting device 60A similar to the lift pin height adjusting device 60A according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The second embodiment will be described.

참고로, 제2실시예는 제1실시예와 비교하였을 때 상이한 부분을 중심으로 설명하기로 하고, 또 도면의 경우에도 해당 부분만을 도시하기로 한다.For reference, the second embodiment will be described mainly with respect to different portions when compared with the first embodiment, and also only the corresponding portions will be shown in the case of the drawings.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치(60B)는 제1실시예와 비교하여 볼 때 기타 구성 및 그것의 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 핀 높이 조정볼트(62)의 설치구조, 탄성수단(64)의 설치구조, 가이드(65B)의 구성 등이 상이하다.As shown in FIG. 7, the lift pin height adjusting device 60B according to the second embodiment of the present invention has the same structure as that of the first embodiment, The mounting structure of the bolt 62, the mounting structure of the elastic means 64, and the structure of the guide 65B.

핀 높이 조정볼트(62)는 제1실시예의 그것과 동일하게 구성되나, 그 끝의 구면(62s)이 리프트 핀(55)의 하단과 마주 보고 있도록 핀 플레이트(56)에 제1실시예의 마운팅 하우징(도 4, 5의 도면부호 61 참조) 없이 직접 설치되고, 또 이렇게 설치된 상태로 끝이 제1실시예의 승강부재(도 4, 5의 도면부호 63 참조) 없이 리프트 핀(55)의 하단과 직접적으로 접촉된다. 즉, 핀 플레이트(56)에 리프트 핀(55)과 접촉 가능한 것과 동시에 회전조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치되는 것이다.The pin height adjusting bolt 62 is constructed in the same manner as that of the first embodiment but the pin plate 56 is fixed to the mounting housing of the first embodiment so that the spherical surface 62s of the end thereof faces the lower end of the lift pin 55. [ (See reference numeral 61 in Figs. 4 and 5) of the lift pin 55 without the lift member (refer to reference numeral 63 in Figs. 4 and 5) of the first embodiment, . That is, the pin plate 56 can be brought into contact with the lift pin 55 and can be moved up and down according to the rotation operation.

참고로, 핀 플레이트(56)는 각 리프트 핀(55)과 마주하는 부분인 핀 높이 조정볼트(62)의 설치 개소에 제1실시예와 같은 원형의 수용 홈(G2)이 형성되는데, 이 수용 홈(G2)은 그 안에 위치되는 핀 높이 조정볼트(62) 몸체와의 사이에 충분한 여유 공간을 확보할 수 있는 크기를 가진다.A circular receiving groove G2 similar to that of the first embodiment is formed at the mounting position of the pin height adjusting bolt 62 which is a portion of the pin plate 56 facing the respective lift pins 55, The groove G2 has such a size as to secure a sufficient clearance space with the body of the pin height adjusting bolt 62 located therein.

탄성수단(64)은 제1실시예의 그것과 동일하게 구성된다. 즉, 주름(64w)을 가지는 디스크 모양의 탄성시트로 구성되는데, 안쪽 둘레는 리프트 핀(55)의 하단 부분에 연결되고 바깥쪽 둘레는 핀 플레이트(56)의 윗면에 연결되어 리프트 핀(55)을 핀 높이 조정볼트(62) 측으로 당긴다.The elastic means 64 is constructed in the same manner as that of the first embodiment. The inner circumference is connected to the lower end portion of the lift pin 55 and the outer circumference is connected to the upper surface of the pin plate 56 so that the lift pin 55 is connected to the lower end portion of the lift pin 55, To the pin height adjusting bolt 62 side.

참고로, 탄성시트는 디스크 모양이 아닌 다른 모양으로도 형성 가능하다. 예를 들어, 띠 모양으로 형성하는 것도 가능한데, 이 타입은 복수 개 구비하여 그 양쪽의 끝 부분을 리프트 핀(55)과 핀 플레이트(56)에 각각 연결하되, 대칭을 이루도록 배치할 수 있다.For reference, the elastic sheet can be formed in a shape other than a disk shape. For example, it is also possible to form a plurality of these types, and both end portions thereof may be connected to the lift pins 55 and the pin plates 56, respectively, so as to be symmetrical.

또한, 위에서는 탄성시트가 핀 플레이트(56)에 연결된 것으로 설명하였으나, 연결대상이 반드시 핀 플레이트(56)일 필요는 없는 바, 리프트 핀(55) 주위의 다른 것(즉, 리프트 핀의 높이 조정 시 움직이지 않고 있는 것 : 정지 구조물)에 연결될 수도 있다.Although it has been described above that the elastic sheet is connected to the pin plate 56, the connection target does not necessarily have to be the pin plate 56, and the other one around the lift pin 55 (Eg, a stationary structure).

한편, 이와 같은 사항들은 제1실시예에도 동일하게 적용할 수 있는 것이기도 하다.These items are also applicable to the first embodiment.

가이드(65B)는 리프트 핀(55)의 하단에 탄성수단(64)과 간섭 없이 있도록 장착된 가이드 블록(guide block)으로 구성된다. 이 가이드 블록은 수용 홈(G2)에 상하 슬라이딩 이동 가능하게 삽입되는 바, 수용 홈(G2)과 미끄럼접촉 가능한 모양으로 형성되고, 또 수용 홈(G2) 안의 핀 높이 조정볼트(62) 몸체와 간섭이 없도록 파이프(pipe)의 구조를 가진다.The guide 65B is constituted by a guide block mounted at the lower end of the lift pin 55 so as not to interfere with the elastic means 64. [ The guide block is inserted into the receiving groove G2 so as to be slidable in the up and down direction so as to be in sliding contact with the receiving groove G2 and to be in interference with the pin height adjusting bolt 62 in the receiving groove G2 So that there is no pipe.

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않는 바, 본 발명의 기술적 사상의 범위 안에서 당업자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.While the present invention has been described in detail, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims.

도 1은 일반적인 공정챔버를 나타내는 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a configuration diagram showing a general process chamber. FIG.

도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 단면도로서 종래기술에 따른 리프트 핀 높이 조정장치를 나타낸다.Fig. 2 is an enlarged cross-sectional view of part A of Fig. 1, showing a lift pin height adjusting device according to the prior art.

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치가 적용된 공정챔버를 나타내는 구성도이다.3 is a view illustrating a process chamber to which a lift pin height adjusting apparatus according to the first embodiment of the present invention is applied.

도 4, 도 5는 도 3의 B 부분을 확대한 단면도로서 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치의 구성 및 작동관계를 나타낸다.Figs. 4 and 5 are enlarged cross-sectional views of the portion B in Fig. 3, showing the configuration and operation of the lift pin height adjusting device according to the present invention.

도 6은 도 5의 C-C선 단면도이다.6 is a sectional view taken along the line C-C in Fig.

도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치를 나타내는 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing a lift pin height adjusting apparatus according to a second embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS

51 : 챔버 바디 53 : 상부전극 어셈블리51: chamber body 53: upper electrode assembly

54 : 하부전극 어셈블리(스테이지) 55 : 리프트 핀54: lower electrode assembly (stage) 55: lift pin

56 : 핀 플레이트 57 : 핀 플레이트 승강장치56: Fin plate 57: Fin plate lift device

60A, 60B : 리프트 핀 높이 조정장치 61 : 마운팅 하우징60A, 60B: lift pin height adjustment device 61: mounting housing

62 : 핀 높이 조정용구(볼트) 63 : 승강부재62: pin height adjusting tool (bolt) 63: elevating member

63p : 콘택트 핀 64 : 탄성수단63p: contact pin 64: elastic means

64w : 주름 65A, 65B : 가이드64w: Wrinkles 65A, 65B: Guide

65g : 가이드 홈 65p : 가이드 돌기65g: guide groove 65p: guide projection

G1, G2 : 수용 홈G1, G2: Receiving groove

Claims (15)

핀 플레이트에 리프트 핀과 마주하고 있도록 설치되고 리프트 핀과 마주하는 부분에 수용 홈이 마련된 마운팅 하우징과;A mounting housing provided on the pin plate so as to face the lift pin and provided with a receiving groove at a portion facing the lift pin; 몸체는 상기 수용 홈에 위치하고 머리는 이 수용 홈의 밖에 위치하는 상태에서 상기 몸체의 끝 부분이 상기 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능하도록 상기 마운팅 하우징과 나사 결합된 핀 높이 조정볼트와;A pin height adjusting bolt screwed to the mounting housing such that an end of the body is in contact with a lower end portion of the lift pin while the body is located in the receiving groove and the head is located outside the receiving groove; 상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단을 포함하고,And elastic means for applying an elastic force to the lift pin such that an end portion of the pin height adjusting bolt and a lower end portion of the lift pin are in contact with each other, 상기 탄성수단은 상기 리프트 핀을 상기 핀 높이 조정볼트 측으로 당기고 있도록 상기 리프트 핀과 그 주위의 정지 구조물에 연결된 적어도 하나의 탄성시트로 구성된 리프트 핀 높이 조정장치.Wherein the elastic means comprises at least one elastic sheet connected to the lift pin and a stop structure therearound so as to pull the lift pin toward the pin height adjustment bolt. 삭제delete 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강을 안내하는 가이드를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.Further comprising a guide for guiding the lifting and lowering of the lift pin by the pin height adjusting bolt. 핀 플레이트에 끝 부분이 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능한 것과 동시에 회전조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치된 핀 높이 조정볼트와;A pin height adjustment bolt provided at the fin plate so that an end portion thereof can be brought into contact with a lower end portion of the lift pin and at the same time, 상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단을 포함하는 리프트 핀 높이 조정장치.And an elastic means for applying an elastic force to the lift pin such that an end portion of the pin height adjusting bolt and a lower end portion of the lift pin are in contact with each other. 청구항 4에 있어서,The method of claim 4, 상기 탄성수단은 상기 리프트 핀을 상기 핀 높이 조정볼트 측으로 당기고 있도록 상기 리프트 핀과 그 주위의 정지 구조물에 연결된 적어도 하나의 탄성시트로 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.Wherein the elastic means comprises at least one elastic sheet connected to the lift pin and a stop structure therearound so as to pull the lift pin toward the pin height adjustment bolt. 청구항 5에 있어서,The method of claim 5, 상기 핀 플레이트는 상기 리프트 핀과 마주하는 부분에 수용 홈이 마련되고,Wherein the fin plate is provided with a receiving groove at a portion facing the lift pin, 상기 핀 높이 조정볼트는 그 몸체가 상기 수용 홈에 위치하도록 설치되며,Wherein the pin height adjusting bolt is installed so that its body is positioned in the receiving groove, 상기 리프트 핀 높이 조정장치는 적어도 일부가 상기 수용 홈에 위치하도록 상기 리프트 핀의 하단에 장착된 승강부재를 더 포함하여 구성되고,Wherein the lift pin height adjusting device further comprises an elevating member mounted at a lower end of the lift pin such that at least a part thereof is located in the receiving recess, 상기 승강부재는 끝 부분이 상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 접촉되는 콘택트 핀을 가지는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.Wherein the lifting member has a contact pin whose end portion is in contact with an end portion of the pin height adjusting bolt. 청구항 6에 있어서,The method of claim 6, 상기 리프트 핀 높이 조정장치는 상기 핀 플레이트에 상기 리프트 핀과 마주하고 있도록 설치된 컵 구조의 마운팅 하우징을 더 포함하여 구성되고,Wherein the lift pin height adjusting device further comprises a cup housing mounted on the pin plate so as to face the lift pin, 상기 수용 홈은 상기 마운팅 하우징의 내부인 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.Wherein the receiving groove is the inside of the mounting housing. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,The method according to claim 6 or 7, 상기 정지 구조물은 상기 핀 플레이트이고,Wherein the stationary structure is the fin plate, 상기 탄성시트는 중앙부가 천공된 디스크의 형상으로 형성되어 상기 수용 홈이 상하로 구획되도록 안쪽 둘레는 상기 콘택트 핀의 둘레를 감싸고 바깥쪽 둘레는 상기 수용 홈의 벽면에 둘러진 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.Wherein the elastic sheet is formed in a shape of a disc having a perforated center, and the inner circumference surrounds the periphery of the contact pin so that the receiving groove is divided into upper and lower portions, and the outer circumference is surrounded by the wall surface of the receiving groove. Height adjustment device. 청구항 8에 있어서,The method of claim 8, 상기 탄성시트는 상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강에 따라 펴지거나 원상으로 접혀 있도록 적어도 하나의 주름을 가지는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.Wherein the elastic sheet has at least one wrinkle so as to be expanded or folded in a circular shape as the lift pin is raised or lowered by the pin height adjusting bolt. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,The method according to claim 6 or 7, 상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강을 안내하도록 상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레에 마련된 가이드를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.And a guide provided around the wall surface of the receiving groove and the elevating member to guide the lifting and lowering of the lift pin by the pin height adjusting bolt. 청구항 10에 있어서, 상기 가이드는,11. The apparatus of claim 10, 상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레 중 어느 하나에 상하방향을 따라 형성된 적어도 하나의 가이드 홈과;At least one guide groove formed along a vertical direction on one of a wall surface of the receiving groove and a periphery of the elevating member; 상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레 중 나머지 하나에 상기 가이드 홈과 결합 가능하도록 형성된 가이드 돌기로 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.And a guide protrusion formed on a wall surface of the receiving groove and the other one of the peripheries of the elevating member to be engageable with the guide groove. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,The method according to claim 6 or 7, 상기 핀 높이 조정볼트와 콘택트 핀의 접촉 부분은 점접촉을 하는 구조를 가지도록 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.Wherein the contact portion of the pin height adjusting bolt and the contact pin has a structure of point contact. 청구항 4에 있어서,The method of claim 4, 상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강을 안내하는 가이드를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.Further comprising a guide for guiding the lifting and lowering of the lift pin by the pin height adjusting bolt. 핀 플레이트에 상단 부분이 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능한 것과 동시에 조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치된 핀 높이 조정용구와;A pin height adjusting device provided on the pin plate such that an upper portion thereof can be brought into contact with a lower end portion of the lift pin and a vertically moving operation can be performed according to the operation; 상기 핀 높이 조정용구를 상하 이동된 위치에 머물러 있도록 하는 위치 유지수단과;A position holding means for holding the pin height adjusting tool in a vertically moved position; 상기 핀 높이 조정용구의 상단 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단을 포함하고,And an elastic means for applying an elastic force to the lift pin so that the upper end portion of the pin height adjusting tool and the lower end portion of the lift pin are in contact with each other, 상기 탄성수단은 상기 리프트 핀을 상기 핀 높이 조정용구 측으로 당기고 있도록 상기 리프트 핀과 그 주위의 정지 구조물에 연결된 적어도 하나의 탄성시트로 구성된 리프트 핀 높이 조정장치.Wherein the elastic means comprises at least one elastic sheet connected to the lift pin and a stop structure therearound so as to pull the lift pin toward the pin height adjusting device. 챔버 바디와;A chamber body; 상기 챔버 바디 안에 배치되고 위에 기판이 놓이는 스테이지와;A stage disposed in the chamber body and on which the substrate is placed; 상기 스테이지에 승강 가능하도록 설치되어 이 스테이지에 놓이는 기판을 들어 올리거나 내려놓는 복수 개의 리프트 핀과;A plurality of lift pins installed on the stage so as to be able to move up and down to lift or lower the substrate placed on the stage; 상기 복수 개의 리프트 핀을 지지하는 핀 플레이트와;A pin plate supporting the plurality of lift pins; 상기 핀 플레이트를 상하 이동시켜 상기 복수 개의 리프트 핀을 동시에 승강시키는 핀 플레이트 승강장치와;A pin plate lifting device for lifting and lowering the plurality of lift pins simultaneously by moving the pin plate up and down; 상기 리프트 핀의 높이를 각각 조정하는 데 사용하는 것으로서 청구항 1, 청구항 4 및 청구항 14 중 어느 한 항에 기재된 리프트 핀 높이 조정장치를 포함하는 평판표시소자 제조장비.And a lift pin height adjusting device according to any one of claims 1, 4, and 14, which is used for adjusting the height of the lift pins.
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