KR101457857B1 - Wafer packing system and taping unit for the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 웨이퍼 패킹 시스템 및 이에 적용되는 테이핑 유닛에 관한 것으로, 보다 상세히 공정이 완료된 웨이퍼들을 자동으로 패킹하는 웨이퍼 패킹 시스템 및 이에 적용되는 테이핑 유닛에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wafer packing system and a taping unit applied thereto, and more particularly to a wafer packing system for automatically packing processed wafers and a taping unit applied thereto.
현재 대부분의 전자기기들에는, 수많은 반도체 소자들이 사용되어지고 있다. 이러한 반도체 소자들은 웨이퍼에 형성되고, 웨이퍼가 분리되어 각각의 반도체 칩으로 제조된 후, 패키징되어 기판에 실장되어 이용된다. 반도체 소자들이 형성된 웨이퍼는 웨이퍼 박스("jar"라고도 함)에 간지와 교대로 적층되고 포장되어 다음의 분리 공정 및 패키징 공정으로 이송된다. BACKGROUND ART [0002] In most of today's electronic devices, a large number of semiconductor devices are used. These semiconductor elements are formed on a wafer, and after the wafers are separated and made into respective semiconductor chips, they are packaged and mounted on a substrate and used. The wafers on which the semiconductor devices are formed are alternately stacked and packaged in a wafer box (also referred to as a "jar ") and transferred to the next separation and packaging process.
종래에는 이러한 작업들이 수작업에 의해 이루어져 왔다. 즉, 작업자는 웨이퍼가 적재된 ?(F0UP)에서 웨이퍼를 한 장씩 인출하여 ?에 기록된 웨이퍼 정보에 맞추어 웨이퍼 정보에 따라서 수작업으로 적재하였다. 그에 따라서, 위치 정렬이 제대로 이루어지지 않아서, 여러 가지 문제점이 발생되었다.Conventionally, these operations have been performed manually. That is, the worker takes out the wafers one by one from the wafer (F0UP), and manually loads the wafers according to the wafer information recorded in?. Accordingly, the alignment is not properly performed, and various problems have arisen.
이러한 문제를 해결하기 위해서, 웨이퍼를 자동으로 패킹하는 장치가 개발되었다. 그러나, 현재까지 개발된 이러한 자동 패킹 장치는, 패킹공정까지만 수행하고, 포장 및 라벨부착이 수동으로 이루어져 문제점이 발생된다.To solve this problem, a device for automatically packing wafers has been developed. However, such an automatic packing apparatus developed up to now only carries out up to the packing process, and problems arise due to manual packaging and labeling.
즉, 패킹되는 웨이퍼는 모두 동일하지 않고, 모두 상이한 웨이퍼가 패킹된다. 예컨대, 각각의 웨이퍼에는 특정 위치에 형성된 칩에 불량이 발생될 수 있어, 그 웨이퍼에는 불량인 칩의 위치정보 등이 포함된 ID 정보에 담겨지게 된다. 그에 따라서 웨이퍼 박스에 이러한 웨이퍼 각각의 정보들이 포함되는 라벨이 부착되게 되는데, 작업자의 실수 등에 의해서, 라벨이 잘못 부착되어 많은 문제점이 발생된다.
That is, the wafers to be packed are not all the same, and all the different wafers are packed. For example, in each wafer, defects may be generated in a chip formed at a specific position, and the wafer is contained in the ID information including the positional information of defective chips. Accordingly, a label including information on each of the wafers is attached to the wafer box. The label is attached incorrectly due to a mistake of the operator, and a lot of problems are caused.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 웨이퍼 패킹에 그치지 않고, 웨이퍼를 패킹하고, 포장한 후, 라벨부착까지 자동으로 이루어져, 앞서 언급된 문제들을 해결할 수 있는 웨이퍼 패킹 시스템 및 이에 적용되는 테이핑 유닛을 제공하는 것이다.
Therefore, a problem to be solved by the present invention is to provide a wafer packing system capable of solving the above-mentioned problems, which is not limited to wafer packing, is packed, packed, and automatically attached to a label, .
이러한 과제를 해결하는 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 웨이퍼 패킹시스템은, 웨이퍼정보 체킹유닛, 적재유닛, 패킹유닛, 테이핑유닛, 이송유닛 및 제어유닛을 포함함다. 상기 웨이퍼정보 체킹유닛은, ?(FOUP) 로드포트(LOAD PORT)에 적재된 ?의 커버를 오픈하여 웨이퍼의 정렬상태 및 웨이퍼 정보를 체크한다. 상기 적재유닛은, 비어있는 웨이퍼박스를 적재하는 웨이퍼박스 적재모듈, 웨이퍼박스 커버를 적재하는 웨이퍼박스 커버 적재모듈 및 간지를 적재하는 간지 적재모듈을 포함한다. 상기 패킹유닛은 상기 간지 적재모듈의 간지와 상기 ?의 웨이퍼를, 비어 있는 웨이퍼박스에 교대로 패킹(PACKING)한다. 상기 테이핑유닛은 간지와 웨이퍼가 교대로 패킹되어 저장된 웨이퍼박스 상단에 상기 웨이퍼박스 커버를 배치하고, 상기 웨이퍼박스와 상기 웨이퍼박스 커버의 경계부를 테이핑한다. 상기 이송유닛은 웨이퍼, 간지, 웨이퍼박스 및 웨이퍼박스 커버를 이송시킨다. 상기 제어유닛은 상기 웨이퍼 정보 체킹 유닛, 상기 적재유닛, 상기 패킹유닛, 상기 테이핑유닛 및 이송유닛을 제어한다.A wafer packing system according to an exemplary embodiment of the present invention for solving such problems includes a wafer information checking unit, a stacking unit, a packing unit, a taping unit, a transferring unit, and a control unit. The wafer information checking unit opens the cover of the wafer loaded in the load port to check wafer alignment and wafer information. The stacking unit includes a wafer box stacking module for stacking empty wafer boxes, a wafer box cover stacking module for stacking wafer box covers, and an interleaving stacking module for stacking sheets. The packing unit alternately packs the wafers of the intermittent stacking module and the wafers of the wafers into an empty wafer box. The taping unit places the wafer box cover on the upper end of the stored wafer box, and tapes the boundary portion between the wafer box and the wafer box cover. The transfer unit transfers wafers, gills, wafer boxes and wafer box covers. The control unit controls the wafer information checking unit, the stacking unit, the packing unit, the taping unit, and the transferring unit.
한편, 상기 테이핑유닛은 라벨(LABEL) 부착 모듈을 포함하고, 상기 제어유닛은 상기 웨이퍼정보 체킹유닛으로부터 웨이퍼정보를 수신하여, 수신된 웨이퍼정보를 포함하는 라벨을 상기 테이핑이 완료된 웨이퍼박스에 부착하도록 상기 라벨 부착 모듈을 제어할 수 있다.On the other hand, the taping unit includes a label attaching module, and the control unit receives wafer information from the wafer information checking unit, and attaches a label including the received wafer information to the taping-completed wafer box The labeling module can be controlled.
또한, 상기 적재유닛은, 비어있는 웨이퍼 박스의 하면에 배치되는 하부 스펀지 및 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 박스의 웨이퍼 상면에 배치되는 상부 스펀지를 적재하는 스펀지 적재모듈을 더 포함할 수 있다.The stacking unit may further include a sponge loading module for stacking a lower sponge disposed on a lower surface of the empty wafer box and an upper sponge disposed on a wafer upper surface of the wafer box loaded with the wafer.
또한, 동작시 상기 제어유닛은, 상기 웨이퍼박스 적재모듈로부터 이송된 웨이퍼 박스에, 상기 스펀지 적재모듈의 스펀지를 이송하여, 스펀지를 배치시키고, ?의 웨이퍼들과, 간지 적재모듈의 간지를 교대로 적재시키고, 상기 스펀지 적재모듈의 스펀지를 그 위에 배치시키고, 웨이퍼박스 커버 적재모듈의 웨이퍼박스 커버를 웨이퍼 박스에 결합시키고, 상기 웨이퍼박스와 상기 웨이퍼박스 커버의 경계부를 테이핑하도록, 상기 이송유닛 및 상기 테이핑유닛을 제어할 수 있다.Further, in operation, the control unit transfers the sponge of the sponge loading module to the wafer box transferred from the wafer box loading module, arranges the sponge, and alternates wafers of the wiper loading module The sponge loading module having a sponge disposed thereon, the wafer box cover of the wafer box cover loading module being coupled to the wafer box, and the transfer unit and the wafer box cover being tapered to tap the interface between the wafer box and the wafer box cover. The taping unit can be controlled.
예컨대, 상기 웨이퍼박스 적재모듈 및 상기 웨이퍼박스 커버 적재모듈 중 적어도 하나는 둘 이상의 복수개가 형성될 수 있다.For example, at least one of the wafer box loading module and the wafer box cover loading module may be formed of a plurality of at least two.
한편, 상기 테이핑유닛은, 테이프 지지모듈, 턴 테이블 모듈, 부착모듈, 턴 테이블 회전모듈 및 테이프 절단모듈을 포함할 수 있다. 상기 테이프 지지모듈은 감겨진 테이프를 지지한다. 상기 턴 테이블 모듈은 상기 웨이퍼박스 커버가 결합된 상기 웨이퍼박스를 지지한다. 상기 부착 모듈은 상기 테이프 지지모듈의 테이프의 일단을 상기 웨이퍼박스 커버와 상기 웨이퍼박스의 경계부에 부착시킨다. 상기 턴 테이블 회전모듈은, 상기 부착 모듈에 의해서 테이프 일단이 상기 웨이퍼박스 커버와 상기 웨이퍼박스의 경계부에 부착되었을 때, 상기 턴 테이블 모듈을 회전시켜 상기 경계부에 테이프를 감는다. 상기 테이프 절단모듈은 상기 테이프를 절단한다.Meanwhile, the taping unit may include a tape supporting module, a turntable module, an attachment module, a turntable rotation module, and a tape cutting module. The tape support module supports the wound tape. The turntable module supports the wafer box to which the wafer box cover is coupled. The attachment module attaches one end of the tape of the tape supporting module to the boundary between the wafer box cover and the wafer box. The turntable rotation module rotates the turntable module and winds the tape at the boundary when one end of the tape is attached to the boundary between the wafer box cover and the wafer box by the attachment module. The tape cutting module cuts the tape.
예컨대, 상기 테이프 절단모듈은, 푸쉬바(PUSH BAR), 압착 플레이트 및 커터를 포함할 수 있다. 상기 푸쉬바는 테이프의 접착면에 접촉하여 푸쉬한다. 상기 앞착 플레이트는 고정 플레이트 및 상기 푸쉬바에 의해서 푸쉬된 테이프를 압착하여 테이프를 서로 접착시키도록 상기 고정 플레이트를 향해서 구동되는 구동 플레이트를 포함한다. 상기 커터는 상기 압착 플레이트에 의해 압착된 테이프를 커팅한다.For example, the tape cutting module may include a push bar, a compression plate, and a cutter. The push bar pushes against the adhesive surface of the tape. The front attachment plate includes a fixing plate and a driving plate which is driven toward the fixing plate to press the tape pushed by the push bar to adhere the tapes to each other. The cutter cuts the tape pressed by the compression plate.
커팅동작 시, 제어유닛은, 가상의 수평면을 기준으로, 하부에 배치된 상기 푸쉬바를 상승시켜 상기 테이프와 동일 높이에 배치시키고, 상기 푸쉬바를 이용하여 상기 테이프를 상기 고정 플레이트와 상기 압착 플레이트 사이로 푸쉬하고, 상기 압착 플레이트를 상기 고정 플레이트를 향해 이동시켜 상기 테이프를 접착시키고, 상기 푸시바를 상기 테이프로부터 이탈시키고, 상기 커터가 상기 테이프를 절단시키도록 상기 테이프 절단모듈의 동작을 제어할 수 있다.In the cutting operation, the control unit elevates the pushbars disposed at the lower portion on the basis of the imaginary horizontal plane and arranges them at the same height as the tape, and pushes the tape between the fixed plate and the compression plate And moving the clamping plate toward the fixed plate to adhere the tape to detach the push bar from the tape and to control the operation of the tape cutting module so that the cutter cuts the tape.
예컨대, 상기 푸쉬바는, 수직방향으로 연장된 수직바 및 상기 수직바의 상단 및 하단에서 수평방향으로 돌출하여 상기 테이프의 접착면에 접촉하여 푸쉬하는 한 쌍의 접촉바를 포함할 수 있다.For example, the push bar may include a vertical bar extending in the vertical direction, and a pair of contact bars projecting in the horizontal direction at the upper and lower ends of the vertical bar and pushing in contact with the adhesive surface of the tape.
이때, 상기 한 쌍의 접촉바는, 상기 수직바로부터 멀어질수록 수평방향 폭이 감소하도록 돌출될 수 있다.At this time, the pair of contact bars may protrude so as to decrease in the horizontal direction width as they are further away from the vertical bar.
또한, 상기 한 쌍의 접촉바 사이의 이격거리는 상기 구동 플레이트의 높이보다 크도록 형성될 수 있다.The distance between the pair of contact bars may be larger than the height of the driving plate.
또한, 상기 푸쉬바는, 테이프의 접착면에 접착되는 부분이, 테이프와 접착되지 않도록 표면처리될 수 있다.Further, the push bar may be surface-treated such that a portion bonded to the adhesive surface of the tape is not bonded to the tape.
예컨대, 상기 푸쉬바는, 테이프의 접착면에 접착되는 부분의 표면에 거칠기가 형성되어 상기 테이프와 접촉면적을 감소시킬 수 있다.For example, the push bar may have roughness formed on the surface of the portion bonded to the adhesive surface of the tape, thereby reducing the contact area with the tape.
한편, 상기 간지 적재모듈은, 적재된 간지의 양 측부에서 에어를 블로잉하여 간지를 분리시키는 에어 블로워(air blower) 및 간지에 축적된 전하를 디스차지(discharge)하기 위한 이온 블로워(ion blower)를 포함할 수 있다.Meanwhile, the interleaved stacking module includes an air blower for blowing air from both sides of the stacked sheet to separate the sheets, and an ion blower for discharging the accumulated sheets in the sheet stack. .
예컨대, 상기 이온 블로워는 한 쌍이 서로 마주보도록 설치되고, 서로 높이가 다르게 형성될 수 있다.For example, the ion blowers may be provided such that the pair of the ion blowers face each other and have different heights from each other.
또한, 상기 간지 적재모듈은, 상기 간지로부터 생성된 이물질을 석션하기 위한 석션 파이프를 더 포함할 수 있다.In addition, the kanji loading module may further include a suction pipe for sucking the foreign substances generated from the kanji.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 테이핑 유닛은, 간지와 웨이퍼가 교대로 패킹되어 저장된 웨이퍼박스 및, 상기 웨이퍼박스 상단에 결합된 웨이퍼박스 커버의 경계부를 테이핑하는 테이핑 유닛으로서, 테이프 지지모듈, 턴 테이블 모듈, 턴 테이블 회전모듈 및 테이프 절단모듈을 포함한다. 상기 테이프 지지모듈은, 감겨진 테이프를 지지한다. 상기 턴 테이블 모듈은, 상기 웨이퍼박스 커버가 결합된 상기 웨이퍼박스를 지지한다. 상기 턴 테이블 회전모듈은, 테이프 지지모듈의 테이프 일단이 상기 웨이퍼박스 커버와 상기 웨이퍼박스의 경계부에 부착되었을 때, 상기 턴 테이블 모듈을 회전시켜 상기 경계부에 테이프를 감는다. 상기 테이프 절단모듈은 상기 테이프를 절단한다.A taping unit according to an exemplary embodiment of the present invention is a taping unit for tapping a boundary between a wafer box and a wafer box cover which are stored in alternately packed and stored wafers and wafers, A turntable module, a turntable rotation module, and a tape cutting module. The tape support module supports the wound tape. The turntable module supports the wafer box to which the wafer box cover is coupled. The turntable rotation module rotates the turntable module to wind the tape to the boundary when one end of the tape of the tape supporting module is attached to the boundary between the wafer box cover and the wafer box. The tape cutting module cuts the tape.
이때, 상기 테이프 절단모듈은, 상기 테이프 절단모듈은, 푸쉬바(PUSH BAR), 압착 플레이트 및 커터를 포함할 수 있다. 상기 푸쉬바는 테이프의 접착면에 접촉하여 푸쉬한다. 상기 앞착 플레이트는 고정 플레이트 및 상기 푸쉬바에 의해서 푸쉬된 테이프를 압착하여 테이프를 서로 접착시키도록 상기 고정 플레이트를 향해서 구동되는 구동 플레이트를 포함한다. 상기 커터는 상기 압착 플레이트에 의해 압착된 테이프를 커팅한다.At this time, in the tape cutting module, the tape cutting module may include a push bar, a compression plate, and a cutter. The push bar pushes against the adhesive surface of the tape. The front attachment plate includes a fixing plate and a driving plate which is driven toward the fixing plate to press the tape pushed by the push bar to adhere the tapes to each other. The cutter cuts the tape pressed by the compression plate.
커팅동작 시, 가상의 수평면을 기준으로, 하부에 배치된 상기 푸쉬바는 상승되어 상기 테이프와 동일 높이에 배치되고, 상기 푸쉬바는, 상기 테이프를 상기 고정 플레이트와 상기 압착 플레이트 사이로 푸쉬하고, 상기 압착 플레이트는, 상기 고정 플레이트를 향해 이동되어 상기 테이프를 접착시키고, 상기 푸시바는, 상기 테이프로부터 이탈되고, 상기 커터가 상기 테이프를 절단한다.The push bar disposed at the lower portion is raised and positioned at the same height as the tape with respect to a virtual horizontal plane during the cutting operation, the push bar pushes the tape between the fixed plate and the compression plate, The pressing plate is moved toward the fixed plate to adhere the tape, and the push bar is detached from the tape, and the cutter cuts the tape.
예컨대, 상기 푸쉬바는, 수직방향으로 연장된 수직바 및 상기 수직바의 상단 및 하단에서 수평방향으로 돌출하여 상기 테이프의 접착면에 접촉하여 푸쉬하는 한 쌍의 접촉바를 포함할 수 있다.For example, the push bar may include a vertical bar extending in the vertical direction, and a pair of contact bars projecting in the horizontal direction at the upper and lower ends of the vertical bar and pushing in contact with the adhesive surface of the tape.
이때, 상기 한 쌍의 접촉바는, 상기 수직바로부터 멀어질수록 수평방향 폭이 감소하도록 돌출될 수 있다.At this time, the pair of contact bars may protrude so as to decrease in the horizontal direction width as they are further away from the vertical bar.
또한, 상기 한 쌍의 접촉바 사이의 이격거리는 상기 구동 플레이트의 높이보다 크도록 형성될 수 있다.The distance between the pair of contact bars may be larger than the height of the driving plate.
또한, 상기 푸쉬바는, 테이프의 접착면에 닿는 부분이, 테이프와 접착되지 않도록 표면처리될 수 있다.Further, the push bar can be surface-treated so that the portion of the push bar that touches the adhesive surface of the tape is not bonded to the tape.
예컨대, 상기 푸쉬바는, 테이프의 접착면에 닿는 부분의 표면에 거칠기가 형성되어 상기 테이프와 접촉면적을 감소시킬 수 있다.
For example, the push bar may have roughness formed on the surface of the portion of the push bar that comes in contact with the adhesive surface of the tape, thereby reducing the contact area with the tape.
본 발명의 예시적인 실시예에 의한 웨이퍼 패킹시스템에 의하면, 웨이퍼 패킹의 후단 작업, 즉 웨이퍼 박스의 테이핑 및 라벨 부착까지 자동으로 이루어져, 라벨 부착의 오류를 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 생산성이 향상된다.
According to the wafer packing system according to the exemplary embodiment of the present invention, the post-work of the wafer packing, that is, the taping and labeling of the wafer box is automatically performed, thereby preventing errors in labeling as well as improving productivity .
도 1은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 웨이퍼 패킹시스템을 도시하는 평면도이다.
도 2는 도 1에서 도시된 간지 적재모듈을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1에서 도시된 간지 적재모듈 및 간지 이송로봇을 도시한 사시도이다.
도 4는 도 1에서 도시된 테이핑 유닛의 일부를 도시한 사시도이다.
도 5는 도 4의 부착 모듈을 도시한 평면도이다.
도 6 내지 도 7은 도 1에서 도시된 테이핑 유닛에 포함된 테이프 절단모듈의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
도 8은 웨이퍼 박스로부터 테이프의 분리가 용이하도록 그립부가 형성된 테이프를 도시한 사시도이다.1 is a plan view showing a wafer packing system according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing the intermittently stacked module shown in FIG. 1. FIG.
3 is a perspective view showing the intermittent stacking module and the interposing transfer robot shown in FIG.
Fig. 4 is a perspective view showing a part of the taping unit shown in Fig. 1. Fig.
Figure 5 is a top view of the attachment module of Figure 4;
6 to 7 are schematic views for explaining the operation of the tape cutting module included in the taping unit shown in Fig.
8 is a perspective view showing a tape on which a grip portion is formed to facilitate separation of the tape from the wafer box.
상술한 본 발명의 특징 및 효과는 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이며, 그에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The above and other features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the present invention when taken in conjunction with the accompanying drawings, It will be possible. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 웨이퍼 패킹시스템을 도시하는 평면도이다.1 is a plan view showing a wafer packing system according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 웨이퍼 패킹시스템(1000)은, 웨이퍼정보 체킹유닛(1100), 적재유닛(1200), 패킹유닛(1300), 테이핑유닛(1400), 이송유닛(1500) 및 제어유닛(1600)을 포함한다.1, a
상기 웨이퍼정보 체킹유닛은, ?(FOUP, F) 로드포트(LOAD PORT)에 적재된 ?(F)의 커버를 오픈하여 웨이퍼의 정렬상태 및 웨이퍼 정보를 체크한다. 상기 웨이퍼 정보는 당해 웨이퍼의 각종 정보로서, 예컨대, 불량 칩의 위치정보, 웨이퍼가 이송될 장소 등의 각종 정보들을 포함할 수 있다.The wafer information checking unit opens the cover of the wafer (F) loaded in the load port (FOUP, F) to check the wafer alignment and wafer information. The wafer information may include various kinds of information of the wafer, for example, position information of a defective chip, a place where the wafer is to be transferred, and the like.
상기 적재유닛(1200)은, 비어있는 웨이퍼박스를 적재하는 웨이퍼박스 적재모듈(1210), 웨이퍼박스 커버를 적재하는 웨이퍼박스 커버 적재모듈(1220) 및 간지를 적재하는 간지 적재모듈(1230)을 포함한다. 또한, 상기 적재유닛(1200)은, 비어있는 웨이퍼 박스의 하면에 배치되는 하부 스펀지 및 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 박스의 웨이퍼 상면에 배치되는 상부 스펀지를 적재하는 스펀지 적재모듈(1240)을 더 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 적재유닛(1200)의 적재모듈들은 복수개로 형성될 수 있다. 이와 같이 적재모듈들이 복수개 형성되는 경우, 상기 이송유닛(1500)들과 연동하여, 적재동작이 중복적으로 수행될 수 있어, 생산성이 향상될 수 있다.The stacking
상기 웨이퍼박스 적재모듈(1210), 웨이퍼박스 커버 적재모듈(1220), 간지 적재모듈(1230) 및 스펀지 적재모듈(1240)의 배치는, 도면에 한정되는 것은 아니고, 전체적인 배치 및 상기 이송유닛(1500)의 배치 등을 고려하여 자유롭게 변형될 수도 있다.The arrangement of the wafer
상기 패킹유닛(1300)은 상기 간지 적재모듈(1230)의 간지와 상기 ?(F)의 웨이퍼를, 비어 있는 웨이퍼박스에 교대로 패킹(PACKING)한다. 상기 패킹유닛(1300)은 예컨대 로봇암(1510)을 포함할 수 있다.The
상기 테이핑유닛(1400)은 간지와 웨이퍼가 교대로 패킹되어 저장된 웨이퍼박스 상단에 상기 웨이퍼박스 커버를 배치하고, 상기 웨이퍼박스와 상기 웨이퍼박스 커버의 경계부를 테이핑한다.The
상기 이송유닛(1500)은 웨이퍼, 간지, 웨이퍼박스 및 웨이퍼박스 커버를 이송시킨다. 즉, 이송유닛(1500)은, 패키지화되어 동일 공간 내에 점유될 수도 있으나, 본 실시예에서와 같이 각 유닛들이 분산배치된 경우, 웨이퍼, 간지, 웨이퍼박스 및 웨이퍼박스 커버를 이송하는 각 부분들이 서로 이격되어 배치될 수도 있다.The
상기 제어유닛(1600)은 상기 웨이퍼 정보 체킹 유닛(1100), 상기 적재유닛(1200), 상기 패킹유닛(1300), 상기 테이핑유닛(1400) 및 이송유닛(1500)을 제어한다. 예컨대, 상기 제어유닛(1600)은 워크스테이션, PC 등으로 구성될 수 있다.The
한편, 상기 테이핑유닛(1400)은 라벨(LABEL) 부착 모듈(1450)을 포함하고, 상기 제어유닛(1600)은 상기 웨이퍼정보 체킹유닛(1100)으로부터 웨이퍼정보를 수신하여, 수신된 웨이퍼정보를 포함하는 라벨을 상기 테이핑이 완료된 웨이퍼박스에 부착하도록 상기 라벨 부착 모듈(1450)을 제어할 수 있다.The
예컨대, 상기 라벨 부착 모듈(1450)은, 예컨대 바코드 라벨 부착부(1451) 및 보안 라벨 부착부(1452)를 포함할 수 있다. 바코드 라벨 부착부(1451)는 웨이퍼정보를 포함하는 바코드를 부착하며, 보안 라벨 부착부(1452) 테이핑된 웨이퍼박스의 개봉여부를 확인하기 위해서 보안 라벨을 부착한다.For example, the
상기 바코드 라벨 부착부(1451)는 바코드 라벨 프린터(도시안됨) 및 바코드 라벨 부착기(도시안됨)를 포함한다. 바코드 라벨 프린터(도시안됨)는 수신된 웨이퍼정보를 포함하는 바코드를 프린트하고, 바코드 라벨 부착기(도시안됨)는 바코드를 흡착하여, 테이핑된 웨이퍼박스에 부착한다.The barcode
상기 보안 라벨 부착부(1452)는 저장된 다수의 보안라벨을 테이핑된 웨이퍼박스에 부착한다.
The security
이하, 웨이퍼 패킹시스템(1000)의 구체적인 동작을 설명한다. 먼저, 이전 공정에서 ? 이송로봇(도시안됨)에 의해 웨이퍼 패킹시스템(1000)의 로드포트(LP)에 ?을 로딩하면, 노치(Notch) 정렬용 얼라이너(도시안됨)에 의해 웨이퍼 정렬을 체킹하고, 웨이퍼정보 체킹유닛(1100)은 웨이퍼 정보를 체킹한다.The specific operation of the
또한, 선형 이송로봇(1530)은, 웨이퍼박스 적재모듈(1210)로부터 빈 웨이퍼박스를 제1 위치(P1)로 이송시키고, 스펀지 적재모듈(1240)로부터 스펀지를 빈 웨이퍼박스 하부에 배치시킨다.The
이후, 스펀지가 하부에 배치된 웨이퍼박스를 상기 제1 위치(P1)로부터 제2 위치(P2)로 이송시킨 후, 로봇암(1510) 및 진공 이젝터(1521)가 각각 웨이퍼와 간지를 웨이퍼박스에 교대로 패킹한다.After the wafer box with the sponge disposed thereon is transferred from the first position P1 to the second position P2, the
이때, 선형 이송로봇(1530)은, 웨이퍼박스 적재모듈(1210)을 제3 위치(P3)에 이송시키고, 스펀지 적재모듈(1240)로부터 스펀지를 빈 웨이퍼박스 하부에 배치시키고 대기한다.At this time, the
제2 위치(P2)에서 웨이퍼와 간지의 패킹작업이 완료되면, 웨이퍼가 패킹된 웨이퍼박스는 다시 제1 위치(P1)으로 이송되고, 제3 위치(P3)의 스펀지가 하부에 배치된 웨이퍼박스는 제4 위치(P4)로 이송되고, 로봇암(1510) 및 진공 이젝터(1521)가 각각 웨이퍼와 간지를 웨이퍼박스에 교대로 패킹한다.When the packing operation of the wafer and the separator is completed at the second position P2, the wafer box packed with the wafer is again transported to the first position P1, and the sponge of the third position P3 is transported to the wafer box Is transferred to the fourth position P4, and the
한편, 제2 위치(P2)의 웨이퍼박스에 적재되는 웨이퍼는 제1 로드포트(LP1)의 웨이퍼가 적재되고, 제4 위치(P3)의 웨이퍼 박스에 적재되는 웨이퍼는 제2 로드포트(LP2)의 웨이퍼가 적재된다. 이와 다르게, 제2 위치(P2)의 웨이퍼박스에 적재되는 웨이퍼는 제2 로드포트(LP2)의 웨이퍼가 적재되고, 제4 위치(P3)의 웨이퍼 박스에 적재되는 웨이퍼는 제1 로드포트(LP1)의 웨이퍼가 적재될 수도 있다. 그러나, 제1 로드포트(LP1)와 제2 로드포트(LP2)의 웨이퍼가 섞여지지는 아니한다.On the other hand, the wafer loaded on the wafer box at the second position P2 is loaded with the wafer of the first load port LP1 and the wafer loaded at the wafer box of the fourth position P3 is loaded into the second load port LP2. Of the wafer W is loaded. Alternatively, the wafer loaded in the wafer box in the second position P2 is loaded with the wafer in the second load port LP2, and the wafer loaded in the wafer box in the fourth position P3 is loaded into the first load port LP1 May be loaded. However, the wafers of the first load port LP1 and the second load port LP2 are not mixed.
이와 같이 패킹과정을 교대로 수행하는 경우, 패킹시간을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.When the packing process is performed alternately, the packing time can be shortened and the productivity can be improved.
패킹이 완료되어 제1 위치(P1) 또는 제3 위치(P3)로 이송된 웨이퍼박스에는 스펀지 적재모듈(1240)의 스펀지가 웨이퍼 박스의 웨이퍼 또는 간지 위에 배치되고, 선형 이송로봇(1530)에 의해 제5 위치(P5)까지 이송된 후, 웨이퍼박스 커버 적재모듈(1220)의 웨이퍼박스 커버가 웨이퍼박스 상부에 배치된다. 본 실시예에서 스펀지는 제1 위치(P1) 또는 제 3위치(P3)에서 배치된 후, 제5 위치(P5)로 이송되었으나, 이와 다르게 제5 위치(P5)로 이송된 후, 스펀지 및 웨이퍼박스 커버가 배치될 수도 있다.The sponge of the
제 5위치(P5)에서 웨이퍼박스 커버가 결합된 웨이퍼박스는 테이핑 유닛(1400)으로 이송되어, 테이핑 및 라벨 부착이 완료된다. 보다 상세히, 제5 위치(P5)의 웨이퍼박스는 제6 위치(P6)로 이송되어 테이프 지지모듈(1410)에 감겨진 테이프가 테이프 부착모듈(도 5, 1440)에 의해 부착되고, 턴테이블 모듈(1420)이 회전되어 테이프가 웨이퍼박스 및 웨이퍼박스 커버의 경계부에 감겨진 후, 테이프 절단모듈(1430)에 의해 테이프가 절단된 후, 보안라벨 부착부(1452)에 의해 보안라벨이 부착되고, 제7 위치(P7)로 이송된 후, 바코드 라벨 부착부(1451)에 의해 바코드가 부착되어 언로딩된다.At the fifth position P5, the wafer box to which the wafer box cover is coupled is transferred to the
이러한 동작들은 제어유닛(1600)의 제어에 의해 진행된다.
These operations are performed under the control of the
도 2는 도 1에서 도시된 간지 적재모듈을 도시한 사시도이고, 도 3은 도 1에서 도시된 간지 적재모듈 및 간지 이송로봇을 도시한 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view showing the intermittent loading module shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a perspective view showing the intermittent loading module and the intermittent moving robot shown in FIG.
도 2 및 도 3을 참조하면, 간지 적재모듈(1230)은, 적재된 간지의 양 측부에서 에어를 블로잉하여 간지를 분리시키는 에어 블로워(air blower, 1231) 및 간지에 축적된 전하를 디스차지(discharge)하기 위한 이온 블로워(ion blower, 1232)를 포함할 수 있다.2 and 3, the
간지 적재모듈(1230)에 적재된 간지들 사이로, 에어 블로워(1231)가 에어를 공급하여 간지들을 분리시키면, 이온 블로워(1232)는 지속적으로 이온이 포함된 공기를 블로잉하여, 간지들을 떼어놓은 상태로 공기 중에 뜨도록 한다. 또한, 이온 블로워(1232)는 간지들에 이온을 공급함으로써, 마찰에 의해 간지들에 축적된 전하를 제거하여, 간지들이 웨이퍼와 접촉함으로써 발생될 수 있는 데미지를 감소시킬 수 있다.When the
예컨대, 상기 에어 블로워(1231)는 한 쌍이 서로 마주보도록 배치되고, 상기 이온 블로워(1232) 또한 한 쌍이 서로 마주보도록 배치된다. 이때, 한 쌍의 상기 에어 블로워(1231) 및 한 쌍의 상기 이온 블로워(1232)는 서로 교차하는 방향으로 배치되는 것이 바람직하다. For example, the pair of
따라서, 한 쌍의 상기 에어 블로워(1231)에서 생성되어 간지를 이격시킨 공기들은 서로 충돌하여 상기 이온 블로워(1232) 방향으로 빠져나가게 되지만, 이온 블로워(1232)에서 다시 이온을 포함하는 공기가 블로잉되므로, 이온블로워(1232) 방향으로 빠져나가지 못하게 되어, 간지들을 공중에 띄우게 되는 것이다.Therefore, the air generated by the pair of
한편, 상기 이온 블로워(1232)는 서로 높이가 다르게 형성될 수 있다. 따라서, 적층된 모든 간지들에 이온을 공급할 수 있다.Meanwhile, the
한편, 상기 간지 적재모듈(1230)은, 상기 간지로부터 생성된 이물질을 석션하기 위한 석션 파이프(1233)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the
일반적으로, 간지들은 이물질(먼지) 생성을 억제하는 재질로 제조되지만 완벽하게 이물질이 차단되지는 않는다. 특히, 상기 에어 블로워(1231) 및 이온 블로워(1232)에 의해 공기가 블로잉되며, 이러한 이물질 생성이 보다 심해지며, 이 때문에 웨이퍼에 상기 이물질에 의해 데미지가 발생될 수 있다. 이러한 이물질을 제거하기 위해서, 간지 적재모듈(1230)은 석션 파이프(1233)를 포함하여 이물질을 흡입하고 제거한다. In general, the separators are made of a material that inhibits the formation of foreign matter (dust), but the foreign materials are not completely blocked. Particularly, air is blown by the
이 때, 상기 석션 파이프(1233)은, 이물질이 블로잉된 에어에 의해 상부로 떠 밀려지므로, 간지 적재모듈(1230)의 상부에 배치되는 것이 바람직하다. At this time, it is preferable that the
한편, 에어 블로워(1231) 및 이온 블로워(1232)에 의해 낯장으로 분리되어 공기중에 띄워진 간지는 진공 이젝터(1521)에 의해 흡착되어 간지 이송로봇(1520)에 의해 이송되어 웨이퍼박스 상부의 웨이퍼 위해 배치된다.Separated by the
이때 상기 진공 이젝터(1521)는 다수개가 구비되어 간지의 여러 지점에서 흡입하는 것이 바람직하다. 간지의 사이즈가 작은 경우에는 중앙의 한 지점에서 흡착하여도 문제가 없으나, 간지의 사이즈가 큰 경우 중앙의 한 지점에서만 흡착하게 되면 간지가 꺾여질 수 있다. 따라서, 진공 이젝터(1521)은 세 개 이상으로 구성되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서, 상기 진공 이젝터(1521)는 예컨대 4 개로 구성된다.At this time, it is preferable that the
한편, 상기 진공 이젝터(1521) 각각은 상하로 움직일 수 있도록 구성된다. 이러한 움직임을 통해서 간지가 2장 이상 흡착되는 것을 방지할 수 있다. 보다 상세히, 상기 진공 이젝터(1521)가 간지 적재모듈(1230)의 간지를 흡착한 후, 상기 일 측 2 개의 진공 이젝터(1521)와 타 측 2 개의 진공 이젝터(1521)는 상하방향 움직임을 반대로 하여, 간지를 흔들어 주게 되어, 혹시라도 2장의 간지가 겹쳐진 경우, 하부의 간지를 떨어뜨릴 수 있게 된다.
Each of the
도 4는 도 1에서 도시된 테이핑 유닛의 일부를 도시한 사시도이고, 도 5는 도 4의 부착 모듈을 도시한 평면도이다.FIG. 4 is a perspective view showing a part of the taping unit shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a plan view showing the attachment module of FIG.
도 1, 도 4 및 도 5를 참조하면, 테이핑유닛(1400)은, 테이프 지지모듈(1410), 턴 테이블 모듈(1420), 부착모듈(1440), 턴 테이블 회전모듈(도시안됨) 및 테이프 절단모듈(1430)을 포함한다.Referring to Figures 1, 4 and 5, the
상기 테이프 지지모듈(1420)은 감겨진 테이프를 지지한다.The
상기 턴 테이블 모듈(1420)은 상기 웨이퍼박스 커버가 결합된 상기 웨이퍼박스(WB)를 지지한다.The
상기 부착 모듈(1440)은 상기 테이프 지지모듈(1420)의 테이프의 일단을 상기 웨이퍼박스 커버와 상기 웨이퍼박스(WB)의 경계부에 부착시킨다. 상기 부착 모듈(1440)의 단부에는 로울러(1442)가 형성된다. 상기 로울러(1442)는 상기 텐 테이블 회전모듈에 의해서 턴 테이블에 배치된 웨이퍼 박스(WB)가 회전할 때, 회전을 보다 용이하게 할 수 있다. 또한, 도 5에서 도시된 바와 같이, 상기 부착 모듈(1440)은 실린더(1441)를 포함하여, 상기 실린더(1441)를 통해서 적절한 압력을 가해 로울러(1442)가 상기 웨이퍼 박스(WB)와 웨이퍼 박스 커버의 경계부에 접촉하게 되며, 또한, 원형이 아닌 팔각형의 웨이퍼 박스(WB)의 경우에도 웨이퍼 박스(WB)의 측면에 접촉을 유지할 수 있다.The
상기 턴 테이블 회전모듈(도시안됨)은 상기 턴 테이블 모듈(1420) 하부에 배치되어 상기 턴 테이블 모듈(1450)을 회전시킨다. 보다 상세히, 상기 턴 테이블 회전모듈은, 상기 부착 모듈(1440)에 의해서 테이프 일단이 상기 웨이퍼박스 커버와 상기 웨이퍼박스(WB)의 경계부에 부착되었을 때, 상기 턴 테이블 모듈을 회전시켜 상기 경계부에 테이프를 감는다.The turntable rotation module (not shown) is disposed under the
이후, 상기 테이프 절단모듈(1430)은 상기 테이프를 절단한다.Then, the
예컨대, 상기 테이프 절단모듈(1430)은, 푸쉬바(PUSH BAR, 1431), 압착 플레이트(1432) 및 커터(도시안됨)를 포함할 수 있다.For example, the
상기 푸쉬바(1431)는 테이프의 접착면에 접촉하여 푸쉬한다. 예컨대, 상기 푸쉬바(1431)는, 수직방향으로 연장된 수직바(1431a) 및 상기 수직바(1431a)의 상단 및 하단에서 수평방향으로 돌출하여 상기 테이프의 접착면에 접촉하여 푸쉬하는 한 쌍의 접촉바(1431b)를 포함할 수 있다.The
이때, 상기 한 쌍의 접촉바(1431b)는, 상기 수직바로부터 멀어질수록 수평방향 폭이 감소하도록 돌출될 수 있다. 즉, 접촉바(1431b)의 단부는 뾰족하게 형성되어,테이프가 접힐 때, 보다 용이하게 접힐 수 있도록 하며, 이 접혀진 테이프로 인해서, 접착된 테이프를 제거할 때, 보다 용이하게 테이프를 제거할 수 있게 된다.At this time, the pair of
또한, 상기 푸쉬바(1431)는, 테이프의 접착면에 닿는 부분이, 테이프와 접착되지 않도록 표면처리될 수 있다. 예컨대, 상기 푸쉬바(1431)는, 테이프의 접착면에 닿는 부분의 표면에 거칠기가 형성되어 상기 테이프와 접촉면적을 감소시킬 수 있다. 보다 상세히, 상기 표면처리 또는 거칠기의 형성은 푸쉬바(1431) 전체에 걸쳐 형성될 수도 있으나, 상기 한 쌍의 접촉바(1431b)에만 형성될 수도 있다.Further, the
상기 앞착 플레이트(1432)는 고정 플레이트(1432a) 및 상기 푸쉬바(1431)에 의해서 푸쉬된 테이프를 압착하여 테이프를 서로 접착시키도록 상기 고정 플레이트(1432a)를 향해서 구동되는 구동 플레이트(1432b)를 포함한다.The
한편, 상기 한 쌍의 접촉바(1431b) 사이의 이격거리는 상기 구동 플레이트(1432b)의 높이보다 크도록 형성될 수 있다. 이와 같이, 한 쌍의 접촉바(1431b) 사이의 이격거리가 상기 구동 플레이트(1432b)의 높이보다 크도록 형성되는 경우, 한 쌍의 접촉바(1431b)가 테이프로부터 보다 용이하게 분리될 수 있다. 자세한 설명은 도 6 및 도 7을 참조로 보다 상세히 설명한다.Meanwhile, the distance between the pair of
상기 커터(도시안됨)는 상기 압착 플레이트(1432)에 의해 압착된 테이프를 커팅한다.The cutter (not shown) cuts the tape squeezed by the
커팅동작 시, 제어유닛(도 1의 1600)은, 가상의 수평면을 기준으로, 하부에 배치된 상기 푸쉬바(1431)를 상승시켜 상기 테이프와 동일 높이에 배치시키고, 상기 푸쉬바(1431)를 이용하여 상기 테이프를 상기 고정 플레이트(1432a)와 상기 압착 플레이트(1432b) 사이로 푸쉬하고, 상기 압착 플레이트(1432b)를 상기 고정 플레이트(1432a)를 향해 이동시켜 상기 테이프를 접착시키고, 상기 푸시바(1431)를 상기 테이프로부터 이탈시키고, 상기 커터(도시안됨)가 상기 테이프를 절단시키도록 상기 테이프 절단모듈의 동작을 제어할 수 있다.In the cutting operation, the control unit (1600 in Fig. 1) raises the
이하, 도 6 및 7을 참조로, 테이프 절단 모듈의 동작을 보다 상세히 설명한다.
6 and 7, the operation of the tape cutting module will be described in more detail.
도 6 내지 도 7은 도 1에서 도시된 테이핑 유닛에 포함된 테이프 절단모듈의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.6 to 7 are schematic views for explaining the operation of the tape cutting module included in the taping unit shown in Fig.
도 6을 참조하면, 절단 동작시 먼저 하부에 있던 푸쉬바(1431)이 A방향을 따라서, 상부에 이송되어 테이프(T)와 동일한 높이에 배치된다. 이후, 푸쉬바(1431)는, 상기 고정플레이트(1432a)와 구동 플레이트(1432b) 사이로 B방향을 따라 이송되어 상기 테이프(T)를 밀어넣는다.6, in the cutting operation, first, the
이후, 구동 플레이트(1432b)가, 상기 고정 플레이트(1432a)와 밀착되도록 C 방향으로 이송되어, 상기 테이프(T)를 접착시킨다. 이때, 상기 구동 플레이트(1432b))에 돌출바(14320)를 부착하여, 상기 고정 플레이트(1432a)에 가해지는 압력을 보다 증가시킬 수 있다. 이와 다르게 상기 돌출바(14320)는 고정 플레이트(1432a)에 형성될 수도 있다.Thereafter, the driving
도 7을 참조하면, 이와 같이, 고정 플레이트(1432a)에 구동 플레이트(1432b)가 접촉된 상태로 상기 푸쉬바(1431)를 D방향으로 이동시켜 테이프로부터 분리한 후, 푸쉬바(1431)는 도 6의 A와 반대방향, 즉 하부로 이동시키고, 상기 구동 플레이트(1432b)는 C와 반대방향, 즉, 고정 플레이트(1432a)로부터 멀어지도록 이송시킨 후, 커터를 이용하여 테이프를 절단하면, 절단된 테이프는 도 8에서 도시된 바와 같이 그립부(GR)이 형성되어, 웨이퍼박스의 테이프를 보다 용이하게 제거할 수 있게 된다.
7, the
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
1000: 웨이퍼 패킹시스템 1100: 웨이퍼정보 체킹 유닛
1200: 적재유닛 1210: 웨이퍼박스 적재모듈
1220: 웨이퍼박스 커버 적재모듈 1230: 간지 적재모듈
1231: 에어 블로워 1232: 이온 블로워
1233: 석션 파이프 1240: 스펀지 적재모듈
1300: 패킹유닛 1441: 로울러
1400: 테이핑유닛 1410: 테이프 지지모듈
1420: 턴테이블 모듈 1430: 테이프 전단모듈
1431: 푸쉬바 1431a: 수직바
1431b: 접촉바 1432: 압착 플레이트
1432a: 고정 플레이트 1432b: 구동 플레이트
1440: 부착모듈 1441: 실린더
1450: 라벨 부착모듈 1451: 바코드 라벨 부착부
1452: 보안 라벨 부착부 1500: 이송유닛
1510: 로봇암 1520: 간지이송로봇
1521: 진공 이젝터 1530: 선형 이송로봇
1600: 제어유닛 WB: 웨이퍼박스
T: 테이프1000: Wafer packing system 1100: Wafer information checking unit
1200: Loading unit 1210: Wafer box loading module
1220: Wafer box cover loading module 1230: Kanji loading module
1231: Air blower 1232: Ion blower
1233: Suction pipe 1240: Sponge loading module
1300: Packing unit 1441: Roller
1400: taping unit 1410: tape supporting module
1420: Turntable module 1430: Tape shear module
1431: Push
1431b: contact bar 1432:
1432a: Fixing
1440: attachment module 1441: cylinder
1450: label attaching module 1451: bar code label attaching part
1452: security label attaching part 1500: transfer unit
1510: Robot arm 1520: Manual transfer robot
1521: Vacuum ejector 1530: Linear transfer robot
1600: control unit WB: wafer box
T: Tape
Claims (24)
비어있는 웨이퍼박스를 적재하는 웨이퍼박스 적재모듈, 웨이퍼박스 커버를 적재하는 웨이퍼박스 커버 적재모듈 및 간지를 적재하는 간지 적재모듈을 포함하는 적재유닛;
상기 간지 적재모듈의 간지와 상기 ?의 웨이퍼를, 비어 있는 웨이퍼박스에 교대로 패킹(PACKING)하는 패킹유닛;
상기 간지와 상기 웨이퍼가 교대로 패킹되어 저장된 웨이퍼박스 상단에 상기 웨이퍼박스 커버를 배치하고, 상기 웨이퍼박스와 상기 웨이퍼박스 커버의 경계부를 테이핑하는 테이핑유닛;
상기 웨이퍼, 상기 간지, 상기 웨이퍼박스 및 상기 웨이퍼박스 커버를 이송시키는 이송유닛; 및
상기 웨이퍼 정보 체킹 유닛, 상기 적재유닛, 상기 패킹유닛, 상기 테이핑유닛 및 이송유닛을 제어하는 제어유닛을 포함하고,
상기 테이핑유닛은,
감겨진 테이프를 지지하는 테이프 지지모듈;
상기 웨이퍼박스 커버가 결합된 상기 웨이퍼박스를 지지하는 턴 테이블 모듈;
상기 테이프 지지모듈의 테이프의 일단을 상기 웨이퍼박스 커버와 상기 웨이퍼박스의 경계부에 부착시키는 부착 모듈;
상기 부착 모듈에 의해서 테이프 일단이 상기 웨이퍼박스 커버와 상기 웨이퍼박스의 경계부에 부착되었을 때, 상기 턴 테이블 모듈을 회전시켜 상기 경계부에 테이프를 감는 턴 테이블 회전모듈; 및
상기 테이프를 절단하는 테이프 절단모듈;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
A wafer information checking unit that opens the cover of the wafer loaded in the load port to check the wafer alignment and wafer information;
A stacking unit including a wafer box stacking module for stacking empty wafer boxes, a wafer box cover stacking module for stacking the wafer box covers, and an interleaving stacking module for stacking sheets;
A packing unit for alternately packing the wafers of the intermittent stacking module and the wafers of the wafers into an empty wafer box;
A taping unit for placing the wafer box cover on an upper end of a wafer box where the lancet and the wafer are packed alternately and taping the boundary between the wafer box and the wafer box cover;
A transfer unit for transferring the wafer, the kanji, the wafer box, and the wafer box cover; And
And a control unit for controlling the wafer information checking unit, the stacking unit, the packing unit, the taping unit, and the transferring unit,
The taping unit comprises:
A tape support module for supporting the wound tape;
A turntable module for supporting the wafer box to which the wafer box cover is coupled;
An attaching module for attaching one end of the tape of the tape supporting module to a boundary of the wafer box cover and the wafer box;
A turntable rotation module that rotates the turntable module and winds the tape at the boundary when the tape is attached to one end of the wafer box cover and the wafer box by the attaching module; And
A tape cutting module for cutting the tape;
Wherein the wafer packing system comprises:
상기 테이핑유닛은 라벨(LABEL) 부착모듈을 더 포함하고,
상기 제어유닛은 상기 웨이퍼정보 체킹유닛으로부터 상기 웨이퍼정보를 수신하여, 수신된 웨이퍼정보를 포함하는 라벨을 상기 테이핑이 완료된 웨이퍼박스에 부착하도록 상기 라벨 부착모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the taping unit further comprises a label attaching module,
Wherein the control unit controls the labeling module to receive the wafer information from the wafer information checking unit and to attach a label containing the received wafer information to the wafer box with the taping completed.
상기 적재유닛은,
비어있는 웨이퍼 박스의 하면에 배치되는 하부 스펀지 및 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 박스의 웨이퍼 상면에 배치되는 상부 스펀지를 적재하는 스펀지 적재모듈;
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
The method according to claim 1,
The stacking unit includes:
A sponge loading module for loading a lower sponge disposed on a lower surface of an empty wafer box and an upper sponge disposed on an upper surface of a wafer of a wafer box loaded with wafers;
≪ / RTI >
동작시 상기 제어유닛은,
상기 웨이퍼박스 적재모듈로부터 이송된 웨이퍼 박스에, 상기 스펀지 적재모듈의 하부 스펀지를 이송하여, 스펀지를 배치시키고,
?의 웨이퍼들과, 간지 적재모듈의 간지를 교대로 적재시키고,
상기 스펀지 적재모듈의 스펀지를 그 위에 배치시키고,
웨이퍼박스 커버 적재모듈의 웨이퍼박스 커버를 웨이퍼 박스에 결합시키고,
상기 웨이퍼박스와 상기 웨이퍼박스 커버의 경계부를 테이핑하도록,
상기 이송유닛 및 상기 테이핑유닛을 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
The method of claim 3,
In operation,
Transferring the lower sponge of the sponge loading module to the wafer box transferred from the wafer box loading module, placing the sponge,
The wafers of the wafers are stacked alternately,
Placing a sponge of the sponge loading module thereon,
The wafer box cover of the wafer box cover loading module is coupled to the wafer box,
And to tap the boundary portion between the wafer box and the wafer box cover,
And controls the transfer unit and the taping unit.
상기 웨이퍼박스 적재모듈 및 상기 웨이퍼박스 커버 적재모듈 중 적어도 하나는 둘 이상의 복수개가 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
The method according to claim 1,
Wherein at least one of the wafer box loading module and the wafer box cover loading module is formed of a plurality of at least two.
상기 테이프 절단모듈은,
테이프의 접착면에 접촉하여 푸쉬하는 푸쉬바(PUSH BAR);
고정 플레이트 및 상기 푸쉬바에 의해서 푸쉬된 테이프를 압착하여 테이프를 서로 접착시키도록 상기 고정 플레이트를 향해서 구동되는 구동 플레이트를 포함하는 압착 플레이트; 및
상기 압착 플레이트에 의해 압착된 테이프를 커팅하는 커터;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the tape cutting module comprises:
A push bar (PUSH BAR) pushing in contact with the adhesive surface of the tape;
A compression plate including a fixed plate and a drive plate which is driven toward the fixed plate to press the tape pushed by the push bar to adhere the tapes to each other; And
A cutter for cutting the tape pressed by the compression plate;
Wherein the wafer packing system comprises:
커팅동작 시, 제어유닛은,
가상의 수평면을 기준으로, 하부에 배치된 상기 푸쉬바를 상승시켜 상기 테이프와 동일 높이에 배치시키고,
상기 푸쉬바를 이용하여 상기 테이프를 상기 고정 플레이트와 상기 압착 플레이트 사이로 푸쉬하고,
상기 압착 플레이트를 상기 고정 플레이트를 향해 이동시켜 상기 테이프를 접착시키고,
상기 푸쉬바를 상기 테이프로부터 이탈시키고,
상기 커터가 상기 테이프를 절단시키도록 상기 테이프 절단모듈의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
8. The method of claim 7,
In the cutting operation,
The push bars disposed at the lower portion are raised to be at the same height as the tape with reference to a virtual horizontal plane,
Pushing the tape between the fixed plate and the compression plate using the push bar,
The pressing plate is moved toward the fixed plate to adhere the tape,
Releasing the push bar from the tape,
And the operation of the tape cutting module is controlled so that the cutter cuts the tape.
상기 푸쉬바는,
수직방향으로 연장된 수직바; 및
상기 수직바의 상단 및 하단에서 수평방향으로 돌출하여 상기 테이프의 접착면에 접촉하여 푸쉬하는 한 쌍의 접촉바;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
8. The method of claim 7,
The push-
A vertical bar extending in a vertical direction; And
A pair of contact bars protruding in the horizontal direction at the upper and lower ends of the vertical bars to push and come in contact with the adhesive surface of the tape;
Wherein the wafer packing system comprises:
상기 한 쌍의 접촉바는,
상기 수직바로부터 멀어질수록 수평방향 폭이 감소하도록 돌출된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
10. The method of claim 9,
The pair of contact bars may include:
And a width in the horizontal direction decreases as the distance from the vertical bar increases.
상기 한 쌍의 접촉바 사이의 이격거리는 상기 구동 플레이트의 높이보다 큰 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
10. The method of claim 9,
Wherein a distance between said pair of contact bars is greater than a height of said drive plate.
상기 푸쉬바는,
테이프의 접착면에 접착되는 부분이, 테이프와 접착되지 않도록 표면처리된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
8. The method of claim 7,
The push-
Characterized in that the portion bonded to the adhesive surface of the tape is surface treated so as not to adhere to the tape.
상기 푸쉬바는,
테이프의 접착면에 접착되는 부분의 표면에 거칠기가 형성되어 상기 테이프와 접촉면적을 감소시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
13. The method of claim 12,
The push-
Wherein a roughness is formed on a surface of the portion to be adhered to the adhesive surface of the tape to reduce the contact area with the tape.
상기 간지 적재모듈은,
적재된 간지의 양 측부에서 에어를 블로잉하여 간지를 분리시키는 에어 블로워(air blower); 및
상기 간지에 축적된 전하를 디스차지(discharge)하기 위한 이온 블로워(ion blower)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the interleaving module comprises:
An air blower for blowing air from both sides of the stacked sheets to separate sheets from each other; And
And an ion blower for discharging the accumulated charge in the separator.
상기 이온 블로워는 한 쌍이 서로 마주보도록 설치되고,
서로 높이가 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
15. The method of claim 14,
The ion blowers are installed so that the pair faces each other,
And the height of the wafer packing system is different from the height of the wafer packing system.
상기 간지로부터 생성된 이물질을 석션하기 위한 석션 파이프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 패킹시스템.
15. The method of claim 14,
Further comprising a suction pipe for sucking the foreign substance generated from the separator.
테이핑유닛은
감겨진 테이프를 지지하는 테이프 지지모듈;
상기 웨이퍼박스 커버가 결합된 상기 웨이퍼박스를 지지하는 턴 테이블 모듈;
테이프 지지모듈의 테이프 일단이 상기 웨이퍼박스 커버와 상기 웨이퍼박스의 경계부에 부착되었을 때, 상기 턴 테이블 모듈을 회전시켜 상기 경계부에 테이프를 감는 턴 테이블 회전모듈; 및
상기 테이프를 절단하는 테이프 절단모듈;
을 포함하는 테이핑유닛.
1. A taping unit for tapping a boundary between a stored wafer box packed with a separator and a wafer and a wafer box cover coupled to an upper end of the wafer box,
The taping unit
A tape support module for supporting the wound tape;
A turntable module for supporting the wafer box to which the wafer box cover is coupled;
A turntable rotation module that rotates the turntable module and winds the tape at the boundary when one end of the tape of the tape supporting module is attached to the boundary between the wafer box cover and the wafer box; And
A tape cutting module for cutting the tape;
≪ / RTI >
상기 테이프 절단모듈은,
테이프의 접착면에 접촉하여 푸쉬하는 푸쉬바(PUSH BAR);
고정 플레이트 및 상기 푸쉬바에 의해서 푸쉬된 테이프를 압착하여 테이프를 서로 접착시키도록 상기 고정 플레이트를 향해서 구동되는 구동 플레이트를 포함하는 압착 플레이트; 및
상기 압착 플레이트에 의해 압착된 테이프를 커팅하는 커터;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 테이핑유닛.
18. The method of claim 17,
Wherein the tape cutting module comprises:
A push bar (PUSH BAR) pushing in contact with the adhesive surface of the tape;
A compression plate including a fixed plate and a drive plate which is driven toward the fixed plate to press the tape pushed by the push bar to adhere the tapes to each other; And
A cutter for cutting the tape pressed by the compression plate;
Wherein the taping unit comprises:
가상의 수평면을 기준으로, 하부에 배치된 상기 푸쉬바는 상승되어 상기 테이프와 동일 높이에 배치되고,
상기 푸쉬바는, 상기 테이프를 상기 고정 플레이트와 상기 압착 플레이트 사이로 푸쉬하고,
상기 압착 플레이트는, 상기 고정 플레이트를 향해 이동되어 상기 테이프를 접착시키고,
상기 푸쉬바는, 상기 테이프로부터 이탈되고,
상기 커터가 상기 테이프를 절단하는 것을 특징으로 하는 테이핑유닛.
19. The method of claim 18,
With the virtual horizontal plane as a reference, the push bars disposed at the lower portion are raised and arranged at the same height as the tape,
The push bar pushes the tape between the fixed plate and the compression plate,
Wherein the compression plate is moved toward the fixed plate to adhere the tape,
Wherein the push bar is detached from the tape,
And the cutter cuts the tape.
상기 푸쉬바는,
수직방향으로 연장된 수직바; 및
상기 수직바의 상단 및 하단에서 수평방향으로 돌출하여 상기 테이프의 접착면에 접촉하여 푸쉬하는 한 쌍의 접촉바;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 테이핑유닛.
19. The method of claim 18,
The push-
A vertical bar extending in a vertical direction; And
A pair of contact bars protruding in the horizontal direction at the upper and lower ends of the vertical bars to push and come in contact with the adhesive surface of the tape;
Wherein the taping unit comprises:
상기 한 쌍의 접촉바는,
상기 수직바로부터 멀어질수록 수평방향 폭이 감소하도록 돌출된 것을 특징으로 하는 테이핑유닛.
21. The method of claim 20,
The pair of contact bars may include:
And a width in the horizontal direction decreases as the distance from the vertical bar increases.
상기 한 쌍의 접촉바 사이의 이격거리는 상기 구동 플레이트의 높이보다 큰 것을 특징으로 하는 테이핑유닛.
21. The method of claim 20,
Wherein the spacing distance between the pair of contact bars is greater than the height of the drive plate.
상기 푸쉬바는,
테이프의 접착면에 닿는 부분이, 테이프와 접착되지 않도록 표면처리된 것을 특징으로 하는 테이핑유닛.
19. The method of claim 18,
The push-
Wherein a portion of the tape contacting the adhesive surface is surface-treated so as not to adhere to the tape.
상기 푸쉬바는,
테이프의 접착면에 닿는 부분의 표면에 거칠기가 형성되어 상기 테이프와 접촉면적을 감소시키는 것을 특징으로 하는 테이핑유닛.24. The method of claim 23,
The push-
Wherein a roughness is formed on a surface of a portion contacting the adhesive surface of the tape to reduce the contact area with the tape.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
KR20130123918A KR101457857B1 (en) | 2013-10-17 | 2013-10-17 | Wafer packing system and taping unit for the same |
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Citations (4)
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JPH11163091A (en) * | 1997-12-02 | 1999-06-18 | Komatsu Engineering Kk | Method and apparatus for packing wafer |
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KR101283312B1 (en) * | 2011-12-29 | 2013-07-09 | 로체 시스템즈(주) | Auto loading system for front opening shipping box |
KR20130103898A (en) * | 2012-03-12 | 2013-09-25 | (주)네오텍 | Wafer packing apparatus and method |
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2013
- 2013-10-17 KR KR20130123918A patent/KR101457857B1/en active IP Right Grant
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