KR101246240B1 - Endless belt typed polishing sheet having three-dimensional polishing cells for cleaning glass substrate of a Flat Panel Display - Google Patents

Endless belt typed polishing sheet having three-dimensional polishing cells for cleaning glass substrate of a Flat Panel Display Download PDF

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Abstract

본 발명은 TFT-LCD, PDP 등과 같은 평판형 디스플레이의 유리기판을 세정하기 위한 연마지에 관한 것으로, 특히 기재(2)위에 종횡방향의 다수열로 배치된 연마셀(10)이 세정 진행방향(T)의 앞쪽에 전방 좌측 측면(11)과 전방 우측 측면(12)을 가지고, 상기 전방 좌측 측면(11)과 전방 우측 측면(12)은 세정작업시 피세정제품에서 탈락한 이물질(P)을 좌우측으로 밀어낼 수 있도록, 세정 진행방향(T)의 전방에서 후방으로 갈수록 서로에 대하여 멀어지게 경사진 형상을 가진, 사각뿔대 또는 육각뿔대 형상으로 이루어진 것이다.
이러한 연마지의 연마셀은 피세정제품(W)에서 탈락한 이물질(P)을 효과적으로 배출하여 2차 스크래치발생을 방지한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing paper for cleaning a glass substrate of a flat panel display such as a TFT-LCD, a PDP, and the like. In particular, the polishing cells 10 arranged in a plurality of rows in the longitudinal and transverse directions on the substrate 2 have a cleaning progress direction (T). The front left side 11 and the front right side 12 in front of the), the front left side 11 and the front right side 12 is left and right to remove foreign substances (P) removed from the product to be cleaned during the cleaning operation. It is made of a square pyramid or hexagonal pyramid shape having a shape inclined further away from each other toward the rear from the front of the cleaning progress direction (T) to be pushed out.
The polishing cell of such abrasive paper effectively discharges foreign substances P dropped from the product to be cleaned (W) to prevent secondary scratches.

Description

평판형 디스플레이의 유리기판 세정용 무한궤도 벨트형 연마지{Endless belt typed polishing sheet having three-dimensional polishing cells for cleaning glass substrate of a Flat Panel Display}Endless belt typed polishing sheet having three-dimensional polishing cells for cleaning glass substrate of a Flat Panel Display}

본 발명은 평판형 디스플레이의 유리기판 세정용 무한궤도 벨트형 연마지에 관한 것으로, 특히 무한궤도형으로 이동하면서, TFT-LCD, PDP 등과 같은 평판형 디스플레이(Flat Panel Display)의 유리기판의 표면에 부착된 파티클 또는 유기성 이물질을 세정하는 연마지, 특히 유리기판에서 세정된 이물질 또는 파티클을 연마지의 외부로 배출되게 밀어낼 수 있는 연마셀들의 형상 또는 배열 구조에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a crawler belt type abrasive paper for cleaning a glass substrate of a flat panel display. In particular, the present invention relates to a surface of a glass substrate of a flat panel display such as a TFT-LCD or a PDP while moving in a crawler type. The present invention relates to a shape or an arrangement structure of abrasive cells for cleaning the particles or organic foreign matter, in particular, the abrasive cells that can push the foreign matter or particles cleaned from the glass substrate to be discharged to the outside of the abrasive paper.

평판 디스플레이용 패널(FPD),예를 들면, PDP, TFT-LCD 등을 구성하는 유리기판(glass substrate)는 제조공정에서 표면에 먼지, 입자성 미세 이물질 또는 점착성 이물질과 같은 여러 종류의 이물질이 부착된다. Glass substrates constituting a flat panel display (FPD), for example, PDP, TFT-LCD, etc., adhere to various kinds of foreign substances such as dust, fine particulate matter or adhesive foreign matter on the surface during the manufacturing process. do.

이와 같이 유리기판 표면에 부착되어 잔류하는 이물질은 디스플레이 제품의 표시불량을 일으키는 원인이 되므로 유리기판 표면에 부착된 이물질은 세정공정을 통하여 제거된다. As such, the foreign matter adhering to the surface of the glass substrate may cause the display defect of the display product, and thus the foreign matter adhering to the glass substrate surface is removed through the cleaning process.

유리기판 세정공정에서는 3차원 입체 형상을 가진 복수개의 연마셀들이 기재상에 일정한 패턴으로 구비된 연마지(100)를 연마패드(polishing pad) 또는 연마벨트(polishing belt)로 만들어 사용하고 있다. In the glass substrate cleaning process, the polishing paper 100 having a plurality of polishing cells having a three-dimensional solid shape in a predetermined pattern is used as a polishing pad or a polishing belt.

이러한 연마지(100)의 연마셀(110)들은 통상 도 8a 내지 8c에 도시된 바와 같이 피세정제품(W)을 세정할 때 연마지 진행방향(T)의 전방 측면(110a)들이 연마벨트(100)의 진행방향(T)에 대하여 직교하는 가로방향(L)을 따라 배치되게 형성되어 있다. As shown in FIGS. 8A to 8C, the abrasive cells 110 of the abrasive paper 100 have a front surface 110a of the abrasive paper traveling direction T when the cleaning product W is cleaned. It is formed so that it may be arrange | positioned along the horizontal direction L orthogonal to the advancing direction T of 100.

이러한 연마셀(100)의 배열구조를 가진 연마지(100)를 피세정제품(W)에 대하여 상대이동시키면서 세정작업을 할 때, 피세정제품(W)에서 제거된 이물질(파티클)은 연마셀(110)의 전방측면(110a)에 가로막혀 연마셀(110)들 사이의 배출홈(S2)쪽으로 배출되지 않고 전방측면(110a)과 다른 연마셀의 후방 측면이 이루는 홈(S1)안에 체류하는 현상이 발생하고, 이와 같이 홈(S1)에 체류하는 이물질(P)들은 후속하는 연마셀(110)들에 밀리면서 피세정제품(W)의 표면에 2차 스크래치를 발생시키는 문제가 있었다. When the polishing paper 100 having such an arrangement of the polishing cells 100 is cleaned while being moved relative to the product W to be cleaned, the foreign matter (particle) removed from the product to be cleaned is the polishing cell. Blocked in the front side (110a) of the (110) is not discharged toward the discharge groove (S2) between the polishing cells 110 to stay in the groove (S1) formed by the front side (110a) and the rear side of the other polishing cell The phenomenon occurs, and thus foreign matters P staying in the grooves S1 have a problem of causing secondary scratches on the surface of the to-be-cleaned product W while being pushed by subsequent polishing cells 110.

또한 도 8a 내지 8c의 연마셀 배열구조를 가진 종래의 연마지(100)로 피세정제품(W)을 세정할 때, 세정액은 연마벨트(100)의 진행방향(T)으로 형성된 배출홈(S2)을 통하여는 원활히 배출되지만(점선방향), 가로방향(L)을 따라 형성된 홈(S1)쪽으로는 원활하게 배출되지 않으므로 피세정제품에서 탈락하여 세정액에 포함되어 있는 이물질도 원활히 배출되지 않고 세정액과 함께 피연마제품상에 체류하면서 2차 스크래치를 발생시키는 문제가 있었다. In addition, when cleaning the product to be cleaned (W) with the conventional abrasive paper 100 having a polishing cell arrangement of Figure 8a to 8c, the cleaning liquid is discharge groove (S2) formed in the traveling direction (T) of the polishing belt (100) ), It is discharged smoothly (dotted direction), but it is not discharged smoothly toward the groove (S1) formed along the horizontal direction (L). There was a problem of causing secondary scratches while staying on the polished product together.

이와 같이, 피세정제품에서 제거된 이물질이 세정액과 함께 원활히 배출되도록 배출홈(S1,S2)의 폭을 증가시키면, 세정액의 배출성능은 개선되지만 연마셀(100)의 전표면적이 감소하여 세정효율이 상대적으로 떨어지는 문제가 있어, 배출홈의 폭을 증가시키는 것에도 한계가 있다. As such, when the width of the discharge grooves S1 and S2 is increased so that the foreign substances removed from the product to be cleaned are smoothly discharged together with the cleaning liquid, the discharge performance of the cleaning liquid is improved, but the overall surface area of the polishing cell 100 is reduced, thereby reducing the cleaning efficiency. This relatively falling problem, there is a limit to increasing the width of the discharge groove.

본 발명은 상기 종래 연마셀의 배열구조를 가진 연마지가 가진 문제점을 해결하기 위하여, 피세정제품의 표면에서 제거된 피세정물질을 연마지의 배출홈 내에 체류시키지 않고 원활하게 배출할 수 있는 연마셀의 형상과 연마셀들의 배열구조를 가진 연마지를 제공함에 목적이 있다. The present invention is to solve the problem of the abrasive paper having the arrangement of the conventional polishing cell, to remove the material to be removed from the surface of the product to be cleaned of the polishing cell that can be smoothly discharged without remaining in the discharge groove of the abrasive paper It is an object to provide abrasive paper having a shape and an arrangement of abrasive cells.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기재상에 복수개의 연마셀이 길이방향과 폭방향으로 각각 다수의 열로 배치되어 구비되고 상기 각 연마셀은 3차원 입체구조를 가진 평판형 디스플레이의 유리기판 세정용 연마지에 있어서, According to the present invention for achieving the above object, a plurality of polishing cells are arranged in a plurality of rows in the longitudinal direction and the width direction on the substrate, and each polishing cell is a glass substrate of a flat panel display having a three-dimensional solid structure. In the abrasive paper for cleaning,

상기 각 연마셀은 세정 진행방향의 앞쪽에 전방 좌측 측면과 전방 우측 측면을 가지고 상기 전방 좌측 측면과 전방 우측 측면은 세정 진행방향의 전방에서 후방으로 갈수록 서로에 대하여 멀어지게 경사진 것에 특징이 있다. Each of the polishing cells has a front left side and a front right side in front of the cleaning progress direction, and the front left side and front right side are inclined farther from each other toward the rear in the cleaning progress direction.

본 발명의 연마지는 각 연마셀이 세정 진행방향의 후방에 후방 좌측 측면과 후방 우측 측면을 가지고, 상기 후방 좌측 측면과 후방 우측 측면은 세정 진행방향을 따라 전방에서 후방으로 갈수록 서로 근접하게 경사진 것에 특징이 있다. The abrasive paper of the present invention is that each polishing cell has a rear left side and a rear right side behind the cleaning progress direction, and the rear left side and rear right side are inclined closer to each other from the front to the rear along the cleaning progress direction. There is a characteristic.

본 발명의 연마지는, 하나의 선행 열을 따라 서로 인접하게 배치된 2개의 연마셀들의 사이 마다 후속 열의 연마셀이 하나씩 배치되고, 선행 열에 배치된 각 연마셀의 후방 측면과 후속 열의 연마셀의 전방 측면은 사이에 세정액 배출홈을 형성하는 구성에 특징이 있다. The abrasive paper of the present invention has one polishing cell of a subsequent row disposed between two polishing cells disposed adjacent to each other along one preceding row, and a rear side of each polishing cell arranged in the preceding row and a front of the polishing cell of the subsequent row. The side surface is characterized by the configuration of forming the cleaning liquid discharge groove therebetween.

본 발명의 연마지는 연마셀이 사각뿔대, 육각뿔대, 원뿔대 중 어느 하나의 입체적인 형상을 가지고, 각 연마셀들의 측면들이 수평방향에 대하여 소정각도로 경사져 있는 것에 특징이 있다. The abrasive paper of the present invention is characterized in that the polishing cell has a three-dimensional shape of any one of a square pyramid, a hexagonal pyramid, and a truncated cone, and the side surfaces of the polishing cells are inclined at a predetermined angle with respect to the horizontal direction.

본 발명의 연마지는 연마셀이 형성된 전체 표면적에 대하여 전체 연마셀의 총 표면적의 비가 70 내지 95% 인 것을 특징으로 한다. The abrasive paper of the present invention is characterized in that the ratio of the total surface area of the entire polishing cell to the total surface area where the polishing cell is formed is 70 to 95%.

상기한 본 발명의 연마지에 의하면, 연마지에 돌출되게 구비된 각 연마셀의 전방 측면들이 경사진 구조로 되어 피세정제품의 표면에서 제거한 이물질(파티클)을 전방 측면을 따라 좌측/우측으로 밀어내어 배출홈을 따라 피세정제품의 좌우측 선단쪽으로 밀어내게 되므로, 제거된 이물질이 연마셀들의 사이의 홈에 체류하면서피세정 제품의 표면에 2차 스크래치를 발생시키지 않게 한다. According to the abrasive paper of the present invention, the front side of each polishing cell protruding from the abrasive paper has an inclined structure so that the foreign substances (particles) removed from the surface of the product to be cleaned are pushed out to the left / right side along the front side and discharged. It is pushed along the groove toward the left and right ends of the product to be cleaned, so that the removed foreign matter stays in the groove between the polishing cells and does not cause secondary scratches on the surface of the product to be cleaned.

또, 본 발명의 연마지에 의하면, 선행 열의 연마셀들 사이에 후속 열의 연마셀들이 하나 씩 배치되는 구조로 되어 세정영역이 단속되지 않고 연속적으로 이어지므로 단위면적당 세정효율을 높일 수 있다. In addition, according to the abrasive paper of the present invention, since the polishing cells of the subsequent rows are arranged one by one between the polishing cells of the preceding row, the cleaning area is continuously connected without being interrupted, thereby increasing the cleaning efficiency per unit area.

그리고, 본 발명의 연마지에 의하면, 각 연마셀의 측면들이 경사지게 형성되어 바닥쪽 단면적이 상단에 비하여 넓어서 기재와의 결합강도가 증대되므로 내구성이 증대된다.In addition, according to the abrasive paper of the present invention, the side surfaces of each polishing cell are formed to be inclined, so that the cross-sectional area of the bottom side is wider than that of the upper end, thereby increasing the bonding strength with the substrate, thereby increasing durability.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 연마지의 평면도이다.
도 2는 도 1의 'A'부분의 부분 확대도로서, 사각뿔대 형상의 연마셀의 세부 배열을 도시한 도면이다.
도 3은 도 2의 'X-X'선을 따라 절단하여 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 연마지의 평면도이다.
도 5는 도 4의 'B'부분의 부분확대도로서, 6각뿔대 형상의 연마셀의 세부 배열을 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5의 'Y-Y'선을 따라 절단하여 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 연마지를 연마벨트로 구현한 예의 사시도이다
도 8a는 종래 연마지의 평면도이다.
도 8b는 도 8a의 'C'부분의 확대도이다.
도 8c는 도 8b의 'Z-Z'선을 따라 절단하여 도시한 단면도이다.1 is a plan view of an abrasive paper according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partially enlarged view of a portion 'A' of FIG. 1 and illustrates a detailed arrangement of a polishing cell having a square pyramid shape.
3 is a cross-sectional view taken along the line 'X-X' of FIG. 2.
4 is a plan view of the abrasive paper according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a partially enlarged view of a portion 'B' of FIG. 4 and illustrates a detailed arrangement of a polishing cell having a hexagonal pyramid shape.
6 is a cross-sectional view taken along the line 'Y-Y' of FIG. 5.
7 is a perspective view of an example of implementing the abrasive paper of the present invention with an abrasive belt.
8A is a plan view of a conventional abrasive paper.
FIG. 8B is an enlarged view of a portion 'C' of FIG. 8A.
FIG. 8C is a cross-sectional view taken along the line 'Z-Z' of FIG. 8B.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 연마지의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the abrasive paper of the present invention.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 연마지에 관한 도면으로서, 연마셀이 사각뿔대의 형상으로 이루어진 예를 나타낸 것이다. 그리고 도 1은 연마지(10)의 연마셀 선단면이 피세정제품(W), 예컨대 유리기판과 접촉하도록 연마지(10)의 아래쪽에 피세정제품을 배치하여 세정하는 상태를 도시한 도면이다. 그리고 도 1의 도면부호 P는 피세정제품(W)상에 부착된 이물질(파티클)을 나타낸다.
1 to 3 are diagrams illustrating an abrasive paper according to a first embodiment of the present invention, which shows an example in which the polishing cell is formed in the shape of a square pyramid. FIG. 1 is a view showing a state in which the to-be-cleaned product is disposed and cleaned under the abrasive paper 10 such that the end surface of the abrasive cell 10 of the abrasive paper 10 comes into contact with the cleaned product W, for example, a glass substrate. . In addition, reference numeral P of FIG. 1 denotes a foreign matter (particle) adhered on the object to be cleaned (W).

본 발명의 제1실시예에 따른 연마지(1)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 기재(2)위에 기재의 폭방향(L)을 따라 복수개의 연마셀(10)들이 일렬로 배치되고, 기재(2)의 길이방향(세정 진행방향: T)으로 상기 연마셀(10)들이 다수의 열(R1,R2,....Rn, Rn+1,...)로 연속하여 배치되어 있다.
In the abrasive paper 1 according to the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, a plurality of polishing cells 10 are arranged in a line along the width direction L of the substrate on the substrate 2. In the longitudinal direction of the substrate 2 (washing direction T), the polishing cells 10 are continuously arranged in a plurality of rows R1, R2, .... Rn, Rn + 1, ... have.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1실시예에 따른 연마지의 각 연마셀(10)은 세정 진행방향(T)의 앞쪽 좌/우측에 각각 전방 좌측 측면(11)과 전방 우측 측면(12)을 구비하고, 상기 전방 좌측 측면(11)과 전방 우측 측면(12)은 세정 진행방향(T)에 대하여 일정한 각도로 경사져 있는 형상으로 되어 있다. 또 각 연마셀(10)은 세정 진행방향(T)의 뒤쪽 좌/우측에 각각 후방 좌측 측면(13)와 후방 우측 측면(14)을 구비하고, 후방 좌측 측면(13)과 후방 우측 측면(14)은 세정진행방향 후방 모서리부에서 서로 만나도록 세정 진행방향에 대하여 일정한 각도로 경사진 형상으로 되어 있다. As shown in FIG. 2, each polishing cell 10 of the abrasive paper according to the first embodiment has a front left side 11 and a front right side 12 at the front left and right sides of the cleaning advance direction T, respectively. The front left side face 11 and the front right side face 12 are inclined at a predetermined angle with respect to the washing advance direction T. Each polishing cell 10 has a rear left side 13 and a rear right side 14 at the rear left and right sides of the washing advance direction T, respectively, and has a rear left side 13 and a rear right side 14. ) Is inclined at a predetermined angle with respect to the cleaning progress direction so as to meet each other at the rear edge portion of the cleaning process direction.

하나의 열(Rn)에 배치된 각 연마셀(10)은 전방 측면들(11,12)들이 각각 선행 열(Rn-1)의 연마셀(10)의 후방 측면(14,13)과 대향하고, 아울러 후방 측면(13,14)들은 후속 열(Rn+1)의 연마셀(10)의 전방 측면(12,11)들과 대향하도록 배치된다. 이에 따라 도 3에 도시된 바와 같이, 전후로 인접배치된 연마셀(10)들의 대향하는 1쌍의 측면(11, 14)(12,13)들은 사이에 세정액의 배출홈(S)을 형성하게 된다. Each polishing cell 10 disposed in one row Rn has the front sides 11, 12 facing the rear side 14, 13 of the polishing cell 10 of the preceding row Rn-1, respectively. In addition, the rear sides 13, 14 are arranged to face the front sides 12, 11 of the polishing cell 10 in the subsequent row Rn + 1. Accordingly, as shown in FIG. 3, the pair of side faces 11, 14 (12, 13) facing each other of the polishing cells 10 arranged back and forth adjacently form a discharge groove S of the cleaning liquid therebetween. .

그리고 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 각 연마셀(10)은 4각뿔대 형상을 가지므로, 전/후방의 좌/우측 측면들(11,12,13,14)은 일정한 각도로 경사져 있다. 측면의 경사각은 기재에 대하여 75 내지 85°인 것이 바람직하다. 이와 함께 연마지 전체 표면적에 대한 연마셀들의 전체 표면적의 비율이 70 내지 95% 이 되도록 측면 경사각을 선택하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 3, each of the polishing cells 10 has a quadrangular pyramid shape, so that the front / rear left and right side surfaces 11, 12, 13, and 14 are inclined at a constant angle. The inclination angle of the side surfaces is preferably 75 to 85 degrees with respect to the substrate. In addition, it is preferable to select the side inclination angle so that the ratio of the total surface area of the polishing cells to the total surface area of the abrasive paper is 70 to 95%.

상기한 바와 같은 연마셀 구조와 배열을 가진 연마지로 피세정제품(W)을 세정하면, 피세정제품의 표면에서 탈락되는 이물질(P)이 세정액과 함께 연마셀(10)의 측면(11,12)에 안내되어 배출홈(S)을 따라 세정진행방향(T)에 대하여 좌측/우측으로(점선화살표의 방향으로) 배출되므로 피세정제품(W)의 표면에 체류하면서 피세정제품의 표면을 2차 스크래칭하는 불량을 발생시키지 않게 된다. When the cleaned product W is cleaned with the abrasive paper having the above-described polishing cell structure and arrangement, the foreign substances P falling off from the surface of the cleaned product, along with the cleaning liquid, are formed on the side surfaces 11 and 12 of the polishing cell 10. ) Is discharged to the left / right side (in the direction of the dotted arrow) along the discharge groove (S) along the discharge groove (S), so that the surface of the product to be cleaned is It does not generate the defect which car scratches.

또한 하나의 열에 연속하여 배치되는 연마셀들의 측면들 사이마다 후속 열의 연마셀의 측면들이 인접하게 배치되므로 연마지의 전표면적에 대한 연마셀의 전 표면적의 비율이 증대되어 세정효율을 높일 수 있게 된다. In addition, since the sides of the polishing cells in subsequent rows are disposed adjacent to each other between the sides of the polishing cells continuously arranged in one row, the ratio of the total surface area of the polishing cells to the total surface area of the polishing paper is increased, thereby increasing the cleaning efficiency.

도 4 내지 도 6에는 본 발명의 제2실시예에 따른 연마지가 도시되어 있다. 이 제2실시예의 연마지(1)는 기재(2)위의 연마셀이 육각뿔대의 형상으로 이루어진 것이다. 그리고 도 4는 도 1과 마찬가지로 연마지(10)의 연마셀 선단면이 피세정제품(W)과 접촉하도록 연마지(10)의 아래쪽에 피세정제품(W)을 배치하여 세정하는 상태를 도시한 도면이다. 도 4의 도면부호 P는 피세정제품(W)상에 부착된 이물질(파티클)을 나타낸다.4 to 6 illustrate an abrasive paper according to a second embodiment of the present invention. In the abrasive paper 1 of this second embodiment, the polishing cell on the base material 2 is in the shape of a hexagonal pyramid. FIG. 4 illustrates a state in which the to-be-cleaned product W is disposed and cleaned under the abrasive paper 10 such that the end surface of the abrasive cell 10 contacts the to-be-cleaned product W, similarly to FIG. 1. One drawing. 4 denotes a foreign matter (particle) adhered on the object to be cleaned (W).

본 발명의 제2실시예에 따른 연마지(1)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 기재(2)위에 기재의 폭방향(L)을 따라 복수개의 연마셀(10)들이 일렬로 배치되고, 기재(2)의 길이방향(세정 진행방향: T)으로 상기 연마셀(10)들이 다수의 열(R1,R2,....Rn, Rn+1,...)로 연속하여 배치되어 있다.
In the abrasive paper 1 according to the second embodiment of the present invention, as shown in FIG. 4, a plurality of polishing cells 10 are arranged in a line on the substrate 2 along the width direction L of the substrate. In the longitudinal direction of the substrate 2 (washing direction T), the polishing cells 10 are continuously arranged in a plurality of rows R1, R2, .... Rn, Rn + 1, ... have.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제2실시예에 따른 각 연마셀(10)은 세정 진행방향(T)의 앞쪽 좌/우측에 각각 전방 좌측 측면(11)과 전방 우측 측면(12)을 구비하고, 상기 전방 좌측 측면(11)과 전방 우측 측면(12)은 세정 진행방향(T)에 대하여 일정한 각도로 벌어지도록 경사져 있는 형상으로 되어 있다. As shown in Figs. 4 and 5, each polishing cell 10 according to the second embodiment has a front left side 11 and a front right side 12 at the front left and right sides of the cleaning advance direction T, respectively. The front left side face 11 and the front right side face 12 are inclined so as to open at a predetermined angle with respect to the washing advance direction T.

또 각 연마셀(10)은 전방 좌/우측 측면 끝단에 이어서 세정 진행방향(T)과 같은 방향으로 중앙 좌측 측면(15)과 중앙 우측 측면(16)을 가지고, 이 중앙 좌/우측 측면의 끝단에 이어서 후방 좌측 측면(13)와 후방 우측 측면(14)을 구비하고, 후방 좌측 측면(13)과 후방 우측 측면(14)은 세정진행방향 후방 모서리부에서 서로 만나도록 세정 진행방향에 대하여 일정한 각도로 경사진 형상으로 되어 있다. Each polishing cell 10 has a center left side 15 and a center right side 16 in the same direction as the cleaning advance direction T, followed by the front left and right side ends, and ends of the center left and right sides. Subsequently, it has a rear left side 13 and a rear right side 14, and the rear left side 13 and the rear right side 14 are angled with respect to the direction of cleaning progress so as to meet each other at the rear edge of the cleaning process direction. It is inclined shape.

하나의 열(Rn)에 배치된 각 연마셀(10)은 중앙 좌/우측 측면(15, 16)들이 같은 열의 인접하는 다른 연마셀(10)의 중앙 우측/좌측 측면에 각각 대향하게 배치되고, 전방 측면들(11,12)들은 각각 선행 열(Rn-1)의 연마셀(10)의 후방 측면(14,13)과 대향하고, 아울러 후방 측면(13,14)들은 후속 열(Rn+1)의 연마셀(10)의 전방 측면(12,11)들과 대향하도록 배치된다. 이에 따라 도 5에 도시된 바와 같이, 전후로 인접배치된 연마셀(10)들의 대향하는 1쌍의 측면(11, 14)(12,13)들은 사이와, 같은 열의 인접하는 1쌍의 연마셀들의 대향하는 1쌍의 중앙 좌/우측 측면(14, 15)들 사이에는 세정액의 배출홈(S)이 형성된다.
Each polishing cell 10 disposed in one row Rn is disposed so that the center left / right sides 15 and 16 are opposite to the center right / left side of another polishing cell 10 adjacent to each other in the same row. The front sides 11, 12 oppose the rear sides 14, 13 of the polishing cell 10 of the preceding row Rn-1, respectively, and the rear sides 13, 14 are the subsequent rows Rn + 1. Is disposed so as to face the front sides 12, 11 of the polishing cell 10. Accordingly, as shown in FIG. 5, opposing pairs of side surfaces 11, 14 (12, 13) of the adjacently disposed polishing cells 10 are disposed between and adjacent to each other in a pair of adjacent polishing cells. A discharge groove S of the cleaning liquid is formed between the pair of opposite center left / right sides 14 and 15.

그리고 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 각 연마셀(10)은 6각뿔대 형상을 가지므로, 전/후방의 좌/우측 측면들(11,12,13,14)과 중앙 좌/우측 측면(15,16)들은 일정한 각도로 경사져 있다. 측면의 경사각은 기재(2)에 대하여 75 내지 85°인 것이 바람직하다. 이와 함께 연마지 전체 표면적에 대한 연마셀들의 전체 표면적의 비율이 70 내지 95% 이 되도록 측면 경사각을 선택하는 것이 바람직하다.
As shown in FIG. 6, each of the polishing cells 10 has a hexagonal pyramid shape, so that the front / rear left and right sides 11, 12, 13, and 14 and the center left / right side 15 are formed. 16 are inclined at an angle. It is preferable that the inclination angle of the side surface is 75 to 85 degrees with respect to the base material 2. In addition, it is preferable to select the side inclination angle so that the ratio of the total surface area of the polishing cells to the total surface area of the abrasive paper is 70 to 95%.

상기한 바와 같은 연마셀 구조와 배열을 가진 연마지(1)로 피세정제품(W)을 세정하면, 제1실시예의 연마지와 마찬가지로, 피세정제품(W)의 표면에서 탈락되는 이물질(P)이 세정액과 함께 연마셀(10)의 측면(11,12,13,14)에 안내되어 배출홈(S)을 따라 세정진행방향(T)에 대하여 좌측/우측으로(점선화살표의 방향으로) 배출되므로 피세정제품(W)의 표면에 체류하면서 피세정제품의 표면을 2차 스크래칭하는 불량을 발생시키지 않게 된다. When the to-be-cleaned product W is cleaned with the abrasive paper 1 having the above-described polishing cell structure and arrangement, the foreign matter P falling off from the surface of the to-be-cleaned product W, similarly to the abrasive paper of the first embodiment, ) Is guided to the side surfaces 11, 12, 13, 14 of the polishing cell 10 together with the cleaning liquid to the left / right side in the cleaning progress direction T along the discharge groove S (in the direction of the dotted arrow). Since it is discharged, it does not generate the defect which secondary scratches the surface of a to-be-cleaned product, while remaining on the surface of the to-be-cleaned product W. FIG.

또한 하나의 열에 연속하여 배치되는 연마셀들의 측면들 사이마다 후속 열의 연마셀의 측면들이 인접하게 배치되므로 연마지의 전표면적에 대한 연마셀의 전 표면적의 비율이 증대되어 세정효율을 높일 수 있게 된다. In addition, since the sides of the polishing cells in subsequent rows are disposed adjacent to each other between the sides of the polishing cells continuously arranged in one row, the ratio of the total surface area of the polishing cells to the total surface area of the polishing paper is increased, thereby increasing the cleaning efficiency.

상술한 본 발명의 연마지(1)는 연마패드나 연마벨트로 구현될 수 있는데, 도 7에는 본 발명의 연마지가 연마벨트로 구현된 예를 도시하고 있다. 또, 앞에서는 본 발명의 연마지가 습식 세정용으로 사용되는 것에 대하여 설명하였으나 본 발명은 이에 한정하지 않고 건식 세정용으로도 사용될 수 있다.The above-described abrasive paper 1 of the present invention may be implemented by a polishing pad or an abrasive belt, and FIG. 7 shows an example in which the abrasive paper of the present invention is implemented by an abrasive belt. In addition, although the abrasive paper of the present invention has been described above for wet cleaning, the present invention is not limited thereto, and may be used for dry cleaning.

1 : 연마지 2 : 기재
10 : 연마셀 11 : 전방 좌측 측면
12 : 전방 우측 측면 13 : 후방 좌측 측면
14 : 후방 우측 측면 15 : 중앙 좌측 측면
16 : 중앙 우측 측면 S : 배출홈
W : 피세정제품 P : 이물질(파티클)
T : 세정진행방향(연마지 길이방향) L : 연마지 폭방향1: abrasive paper 2: base material
10: polishing cell 11: front left side
12: Front right side 13: Rear left side
14: rear right side 15: center left side
16: center right side S: discharge groove
W: Cleaned product P: Foreign substance (particle)
T: Cleaning process direction (longitudinal direction of grinding paper) L: Polishing paper width direction

Claims (4)

무한궤도 벨트형 기재(2)상에 각각은 4각 또는 6각 뿔대의 입체 형상을 가진 복수개의 연마셀(10)이 다수의 열(...Rn-1,Rn, Rn+1,...)로 배치되어 인접하는 연마셀(10)들 사이에 세정액 배출홈(S)을 형성한 평판형 디스플레이의 유리기판 세정용 무한궤도 벨트형 연마지에 있어서,
상기 연마셀(10)의 각 열(...Rn-1,Rn, Rn+1,...)은 세정 진행방향(T)에 대하여 직교하는 방향을 따라 배치되고,
상기 연마셀(10)들은 각각 세정 진행방향(T)의 앞쪽에 전방 좌측 측면(11)과 전방 우측 측면(12)을 가지고, 세정 진행방향(T)의 후방에는 후방 좌측 측면(13)과 후방 우측 측면(14)을 가지며,
상기 각 연마셀(10)의 전방 좌측 측면(11)과 전방 우측 측면(12)은 세정작업시 피세정제품에서 탈락한 이물질(P)을 연마셀(10)의 좌우측으로 밀어낼 수 있도록, 세정 진행방향(T)의 전방에서 후방으로 갈수록 서로에 대하여 멀어지게 경사지고, 상기 후방 좌측 측면(13)과 후방 우측 측면(14)은 세정 진행방향(T)을 따라 전방에서 후방으로 갈수록 서로 근접하게 경사진 형상을 가지며,
선행하는 열(Rn)의 인접하는 2개의 연마셀(10)의 후방 우측 측면(14)과 후방 좌측 측면(13) 사이 마다 후속 열(Rn+1)의 연마셀(10)의 전방 좌측 측면(11)과 전방 우측 측면(12)이 상기 배출홈(S)을 사이에 두고 서로 대면하게 배치되며,
상기 각 연마셀(10)은 전,후방의 좌,우측 측면들(11,12,13,14)들이 기재(2)에 대하여 75 내지 85°로 경사지게 형성되고, 상기 연마셀(10)의 전체 표면적은 연마지 전체 표면적에 대하여 70 내지 95%의 범위로 형성된 것을 특징으로 하는 평판형 디스플레이의 유리기판 세정용 무한궤도 벨트형 연마지.On the crawler belt-like substrate 2, each of the plurality of polishing cells 10 having a three-dimensional shape of a quadrilateral or hexagonal horn is arranged in a plurality of rows (Rn-1, Rn, Rn + 1, ... In the crawler belt type abrasive paper for cleaning a glass substrate of a flat panel display, wherein the cleaning liquid discharge grooves S are formed between adjacent polishing cells 10.
Each row (... Rn-1, Rn, Rn + 1, ...) of the polishing cell 10 is disposed along a direction orthogonal to the cleaning progress direction T,
The polishing cells 10 each have a front left side 11 and a front right side 12 at the front of the cleaning advance direction T, and a rear left side 13 and a rear at the rear of the cleaning advance direction T. Has a right side 14,
The front left side 11 and the front right side 12 of each polishing cell 10 are cleaned to push the foreign matter P dropped from the cleaned product to the left and right sides of the polishing cell 10 during the cleaning operation. The rear left side 13 and the rear right side 14 are inclined farther from each other toward the front from the front in the direction T, and the rear left side 13 and the rear right side 14 are closer to each other from the front to the rear along the cleaning progress direction T. Has an inclined shape,
The front left side of the polishing cell 10 of the subsequent row Rn + 1 every between the rear right side 14 and the rear left side 13 of the two adjacent polishing cells 10 of the preceding row Rn ( 11) and the front right side 12 are disposed to face each other with the discharge groove S therebetween,
Each of the polishing cells 10 is formed with the front and rear left and right side surfaces 11, 12, 13, and 14 inclined at 75 to 85 ° with respect to the substrate 2, and the entire polishing cell 10 An orbit belt type abrasive paper for cleaning a glass substrate of a flat panel display, wherein the surface area is formed in a range of 70 to 95% of the total surface area of the abrasive paper. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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