KR101218971B1 - Flat panel display inspection method and device thereof - Google Patents

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주식회사 케이엔제이
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Abstract

본 발명은 평판디스플레이 패널의 검사방법 및 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반사조명인 상부조명과 하부조명을 상대편 검사시 백조명으로 이용할 수 있는 평판디스플레이 패널의 검사방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 평판디스플레이 패널의 연마면과 절단면을 검사하는 방법은 1) 상기 패널의 상부에 위치하는 상부카메라와 상부조명, 상기 패널의 하부에 위치하는 하부카메라와 하부조명의 광축이 일치하도록 배치하는 단계; 2) 상기 상부조명을 반사조명으로, 상기 하부조명을 백조명으로 이용하여 상기 패널의 상면을 검사하는 단계; 및 3) 상기 하부조명을 반사조명으로, 상기 상부조명을 백조명으로 이용하여 상기 패널의 하면을 검사하는 단계;를 포함한다. The present invention relates to a method and apparatus for inspecting a flat panel display panel, and more particularly, to a method and apparatus for inspecting a flat panel display panel that can use the upper light and the lower light, which are reflection lights, as back light when inspecting the other side.
Method for inspecting the polished surface and the cut surface of the flat panel display panel according to the present invention is 1) the upper camera and the upper light positioned on the top of the panel, the lower camera and the lower light positioned on the bottom of the panel is arranged so that the optical axis is matched Doing; 2) inspecting an upper surface of the panel using the upper light as the reflected light and the lower light as the back light; And 3) inspecting a lower surface of the panel using the lower light as the reflected light and the upper light as the back light.

Description

평판디스플레이 패널의 검사방법 및 장치{FLAT PANEL DISPLAY INSPECTION METHOD AND DEVICE THEREOF}Inspection method and apparatus of flat panel display panel {FLAT PANEL DISPLAY INSPECTION METHOD AND DEVICE THEREOF}

본 발명은 평판디스플레이 패널의 검사방법 및 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반사조명인 상부조명과 하부조명을 상대편 검사시 백조명으로 이용할 수 있는 평판디스플레이 패널의 검사방법 및 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a method and apparatus for inspecting a flat panel display panel, and more particularly, to a method and apparatus for inspecting a flat panel display panel that can use the upper light and the lower light, which are reflection lights, as back light when inspecting the other side.

일반적으로 평판 디스플레이 패널은 원판유리에서 필요한 크기로 절단하여 사용한다. 디스플레이용 LCD패널은 유리 2장을 상하로 겹쳐서 제작되는데 2장을 위 아래가 동일하게 자를 수도 있고, 단차를 주고 자를 수도 있다. 또 기판을 절단하는 원리는 기판 표면상에 직선형태의 흠집을 내게 되면 내부에 크랙이 생기고, 크랙이 진행하여 전체 기판 두께가 절단되게 된다. In general, a flat panel display panel is cut to the required size from the original glass. LCD panel for display is made by overlapping two sheets of glass up and down. In addition, the principle of cutting the substrate is that when a scratch is made on the surface of the substrate in a straight line, a crack is generated inside the crack, and the crack progresses to cut the entire substrate thickness.

이런 복잡한 공정으로 인하여 절단과정 중에는 다양한 결함이 발생하게 된다. 즉, 원하는 절단양에서 많이 또는 적게 나오기도 하고, 패널 모서리 등이 깨지는 등 다양한 결함이 발생한다.This complex process leads to various defects during the cutting process. In other words, various defects occur such that a large or small amount comes out from the desired cutting amount, and the panel edges are broken.

또한 위와 같이 절단된 기판은 모서리가 날카롭기 때문에 연마지석을 이용하여 네 변을 연마하는 공정을 거치게 된다. 연마면은 기판 모서리의 상하면에 일정 각도를 가지고 연마한다. 보통 연마된 양은 200um~500um정도이다. In addition, the substrate cut as described above has a sharp edge so that the four sides are polished using an abrasive grind. The polishing surface is polished at an angle to the upper and lower surfaces of the substrate edge. Usually polished amount is about 200um ~ 500um.

연마공정 후 절단면에 결함은 없는지를 검사하는 절단면 검사와, 연마면이 적정양 만큼 연마되었는지 또는 결함은 없는지를 검사하는 연마면 검사를 하여야 한다. After the grinding process, a cut surface inspection is to be carried out to check whether the cutting surface is free of defects, and a polishing surface inspection is to be checked to see if the grinding surface has been polished to an appropriate amount or is not defective.

도 1은 일반적인 LCD패널을 도시한 것으로서, 다양한 결함을 갖고 있는 상태를 나타낸 것이다. 1 illustrates a general LCD panel and shows a state having various defects.

먼저, LCD패널은 TFT기판과 칼라필터기판이 합착되어 구성되므로, 패드면과 칼라필터면이 형성되는데, TFT기판의 단부는 연마되어 연마면이 형성되어 있고, 원판유리를 자르면서 절단공정에서 절단되었어야 함에도 불구하고 절단되지 않고 남아 있는 결함(P2)을 갖고 있다. 또한 TFT와 칼라필터(C) 경계면(P7) 사이의 칩핑(P3)을 갖고 있다. First, since the LCD panel is composed of a TFT substrate and a color filter substrate bonded together, a pad surface and a color filter surface are formed, and the end of the TFT substrate is polished to form a polishing surface, and is cut in the cutting process while cutting the original glass. Although it should have been, it has a defect P 2 that remains uncut. It also has chipping P 3 between the TFT and color filter C interface P 7 .

한편, 도 2는 종래 연마면 및 절단면 검사장치(100)를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 롤러(R)에 의해 지지된 패널(S)의 상면을 검사하기 위하여 패널 상부에는 상부카메라(111)와 렌즈(112)와 상부조명(113)이 구비되고, 패널의 하면을 검사하기 위하여 패널 하부에는 하부카메라(121)와 렌즈(122)와 하부조명(123)이 구비된다. 상기 상부카메라(111)와 상부조명(112)은 광축이 일치하고, 하부카메라(121)와 하부조명(122)도 광축이 일치하지만, 상부카메라(111)와 하부카메라(112)의 광축은 일치되지 않는다. On the other hand, Figure 2 shows a conventional polishing surface and cut surface inspection apparatus 100. As shown, in order to inspect the upper surface of the panel S supported by the roller (R), the upper part of the panel is provided with an upper camera 111, the lens 112 and the upper illumination 113, the lower surface of the panel The lower camera 121, the lens 122, and the lower illumination 123 are provided at the lower part of the panel for inspection. The upper camera 111 and the upper light 112 coincide with the optical axis, and the lower camera 121 and the lower light 122 also coincide with the optical axis, but the optical axes of the upper camera 111 and the lower camera 112 coincide. It doesn't work.

이와 같이 구성된 종래의 검사장치(100)로 도 1에 도시된 결함을 갖는 패널을 검사하는 방법을 설명한다. A method of inspecting a panel having a defect shown in FIG. 1 by the conventional inspection apparatus 100 configured as described above will be described.

먼저, 패드면(P4)과 칼라필터면(P5)은 상부조명에서 조사된 광이 반사되어 카메라로 입사되기 때문에 밝게 보인다. First, the pad surface P 4 and the color filter surface P 5 appear bright because the light irradiated from the upper light is reflected and incident on the camera.

그러나 패널의 연마면(P1)은 상부조명에서 조사된 광이 반사되어 되돌아오는 빛이 없기 때문에 검게 보인다. However, the polishing surface P 1 of the panel looks black because there is no light returned by the light emitted from the upper light.

만약 절단공정에서 절단되었어야 함에도 불구하고 절단되지 않고 남아 있는 결함(P2)도 역시 검게 보인다. If it should have been cut in the cutting process, the defect (P 2 ) remaining uncut also appears black.

또한 TFT 기준선(P6)의 경우, 기준선의 바깥쪽(도면에서 좌측)은 허공이므로 검게 보이고, 기준선의 안쪽은 연마면으로서 상술한 바와 같이 검게 보인다. In addition, in the case of the TFT reference line P 6 , the outside (left side in the drawing) of the reference line is empty because it looks black, and the inside of the reference line is black as described above as the polishing surface.

즉, TFT기판의 기준선(P6)의 바깥영역인 허공도 검게 보이고, 연마면(P1)도 검게 보이며, 기준선 밖에 있는 결함(P2)도 검게 보이므로, 이들 사이의 구분이 명확하지 않다. 따라서 정확한 검사가 불가능하다는 문제점이 있다. That is, since the air gap, which is the outer region of the reference line P 6 of the TFT substrate, also appears black, the polishing surface P 1 also looks black, and the defect P 2 outside the reference line appears black, so that the distinction between them is not clear. . Therefore, there is a problem that accurate inspection is impossible.

따라서 본 출원인은 이러한 문제점을 극복하기 위하여 특허 제0791277호를 출원하여 등록받은 바, 이에 대하여 간략히 설명한다. Accordingly, the present applicant has filed and registered Patent No. 0791277 in order to overcome such a problem, which will be briefly described.

도 3을 참조하면, 종래의 개선된 검사장치(200)는 롤러(R)에 의해 지지된 패널(S)의 상면을 검사하기 위하여 패널 상부에는 상부카메라(211)와 렌즈(212)와 상부조명(213)이 구비되고, 패널의 하면을 검사하기 위하여 패널 하부에는 하부카메라(221)와 렌즈(222)와 하부조명(223)이 구비된다. 상기 상부카메라(211)와 상부조명(213)은 광축이 일치하고, 하부카메라(221)와 하부조명(223)도 광축이 일치하지만, 상부카메라(211)와 하부카메라(221)의 광축은 일치되지 않는다. Referring to FIG. 3, the conventional improved inspection apparatus 200 includes an upper camera 211, a lens 212, and an upper light on the upper part of the panel to inspect the upper surface of the panel S supported by the roller R. A 213 is provided, and a lower camera 221, a lens 222, and a lower light 223 are provided below the panel to inspect the lower surface of the panel. The upper camera 211 and the upper light 213 is the optical axis is matched, the lower camera 221 and the lower light 223 is also the optical axis, but the optical axis of the upper camera 211 and the lower camera 221 match. It doesn't work.

특히, 종래의 개선된 검사장치(200)는 상기 상부카메라(211)의 광축과 동일한 광축을 갖도록 패널의 하부에 백조명(231)을 구비하고, 이와 마찬가지로 상기 하부카메라(221)의 광축과 동일한 광축을 갖도록 패널의 상부에 백조명(232)을 구비하도록 구성하였다. In particular, the conventional improved inspection apparatus 200 includes a back light 231 at the bottom of the panel to have the same optical axis as the optical axis of the upper camera 211, and likewise the same as the optical axis of the lower camera 221 It was configured to have a backlight 232 on the top of the panel to have an optical axis.

이와 같은 구성으로 인해, 앞서 설명한 바와 같이, 상부조명(213)에서 조사된 광이 반사되기 때문에 연마면(P1)과 기준선 밖에 있는 결함(P2)은 검게 보이지만, TFT기판의 기준선(P6)의 바깥영역인 허공은 백조명(231)에 의해 밝게 보이게 된다. 따라서 이들 사이의 구분이 명확하게 되어 연마면(P1)과 기준선 밖에 있는 결함(P2)을 명확하게 검출하여 검사의 정확성을 높일 수 있는 것이다. Due to this configuration, as described above, since the light irradiated from the upper light 213 is reflected, the polishing surface P 1 and the defect P 2 outside the reference line appear black, but the reference line P 6 of the TFT substrate is black. The empty space, which is the outer region of), is brightly seen by the backlight 231. Therefore, the distinction between them becomes clear, and the polishing surface P 1 and the defect P 2 outside the reference line can be clearly detected to increase the accuracy of the inspection.

그러나 이와 같이 패널의 상부 및 하부에 각각 백조명(231,232)을 구비한다는 것은 검사장치의 구성이 매우 복잡해지고, 제조 원가가 증가하게 되고, 검사 공정 역시 매우 복잡해진다는 문제점이 있는 것이다.However, the provision of the back lights 231 and 232 in the upper and lower portions of the panel, respectively, has a problem in that the configuration of the inspection apparatus becomes very complicated, manufacturing costs increase, and the inspection process also becomes very complicated.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반사조명인 상부조명과 하부조명을 상대편 검사시 백조명으로 이용할 수 있는 평판디스플레이 패널의 검사방법 및 장치을 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above-described problems, an object of the present invention is to provide a method and apparatus for inspecting a flat panel display panel that can be used as the back light when the upper and lower lights that are the reflection light when the other side inspection.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 평판디스플레이 패널의 연마면과 절단면을 검사하는 방법은 1) 상기 패널의 상부에 위치하는 상부카메라와 상부조명, 상기 패널의 하부에 위치하는 하부카메라와 하부조명의 광축이 일치하도록 배치하는 단계; 2) 상기 상부조명을 반사조명으로, 상기 하부조명을 백조명으로 이용하여 상기 패널의 상면을 검사하는 단계; 및 3) 상기 하부조명을 반사조명으로, 상기 상부조명을 백조명으로 이용하여 상기 패널의 하면을 검사하는 단계;를 포함한다. In order to solve the above technical problem, a method for inspecting the polished surface and the cut surface of the flat panel display panel according to the present invention includes: 1) an upper camera and an upper light positioned on the top of the panel, and a lower camera located on the bottom of the panel; Arranging the optical axes of the lower illuminations to coincide; 2) inspecting an upper surface of the panel using the upper light as the reflected light and the lower light as the back light; And 3) inspecting a lower surface of the panel using the lower light as the reflected light and the upper light as the back light.

또한 1-1)배경의 밝기가 상기 패널의 패드면의 밝기와 연마면의 밝기의 중간영역이 되도록 조정하는 단계;가 더 부가되는 것이 바람직하다. 1-1) adjusting the brightness of the background to be an intermediate region between the brightness of the pad surface of the panel and the brightness of the polishing surface.

또한 상기 1-1)단계는, 상기 상부카메라 및 하부카메라의 전단부에 구비되는 편광필터에 의해 수행되는 것이 바람직하다. In addition, the step 1-1) is preferably performed by a polarization filter provided at the front end of the upper camera and the lower camera.

본 발명에 의한 평판디스플레이 패널의 연마면과 절단면을 검사하는 장치에 있어서, 상기 패널의 상부에 위치하는 상부카메라; 상기 패널의 하부에 위치하는 하부카메라; 상기 패널의 상부에 위치하는 상부조명; 및 상기 패널의 하부에 위치하는 하부조명;을 포함하며, 상기 상부카메라, 하부카메라, 상부조명 및 하부조명의 광축이 일치하도록 배치된다. An apparatus for inspecting a polished surface and a cut surface of a flat panel display panel according to the present invention, the apparatus comprising: an upper camera positioned above the panel; A lower camera positioned below the panel; An upper light located above the panel; And a lower light positioned below the panel, wherein the upper camera, the lower camera, the upper light, and the lower light are arranged to coincide with each other.

또한 상기 상부조명은 상기 패널의 상부검사시 반사조명으로 이용되고, 하부검사시 백조명으로 이용되는 것이 바람직하다. In addition, the upper light is preferably used as a reflection light during the upper inspection of the panel, it is preferably used as a back light during the lower inspection.

또한 상기 하부조명은 상기 패널의 하부검사시 반사조명으로 이용되고, 상부검사시 백조명으로 이용되는 것이 바람직하다. In addition, the lower light is preferably used as a reflection light during the lower inspection of the panel, it is preferably used as a back light during the upper inspection.

또한 상기 상부카메라 또는 하부카메라의 전단부에는 편광필터가 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that a polarization filter is further provided at the front end of the upper camera or the lower camera.

또한 상기 편광필터는 상기 상부조명 또는 하부조명의 광축에 대하여 기울어지게 설치되는 것이 바람직하다. In addition, the polarizing filter is preferably installed to be inclined with respect to the optical axis of the upper or lower illumination.

또한 상기 편광필터는 반사방지필름이 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, the polarization filter is preferably provided with an antireflection film.

본 발명에 따르면, 반사조명인 상부조명과 하부조명을 상대편 검사시 백조명으로 이용할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, there is an effect that the upper light and the lower light that is the reflected light can be used as the back light when inspecting the other side.

따라서 별도의 백조명을 구비하지 않기 때문에 구성이 간단하고 원가가 절감된다. Therefore, since there is no separate swan light, the configuration is simple and the cost is reduced.

도 1은 종래 결함을 갖는 LCD 패널을 나타낸 것이다.
도 2는 종래의 검사장치를 나타낸 것이다.
도 3은 종래의 개선된 검사장치를 나타낸 것이다.
도 4 내지 도 8은 본 발명에 의한 검사장치를 나타낸 것이다. 1 shows an LCD panel having a conventional defect.
2 shows a conventional inspection apparatus.
3 shows a conventional improved inspection apparatus.
4 to 8 show an inspection apparatus according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 검사장치의 실시예를 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 검사장치의 제1실시예(1)를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 본 실시예는 롤러(R)에 의해 지지되고 칼라필터기판(S2)과 TFT기판(S1)이 합착된 패널(S)의 상면을 검사하기 위하여 패널 상부에는 상부카메라(11)와 렌즈(12)와 상부조명(13)이 구비되고, 패널의 하면을 검사하기 위하여 패널 하부에는 하부카메라(21)와 렌즈(22)와 하부조명(23)이 구비된다. 상기 상부카메라(11)와 상부조명(12), 하부카메라(21)와 하부조명(22)은 모두 광축이 일치하도록 배치된다. 4 and 5, there is shown the first embodiment (1) of the inspection apparatus according to the present invention. As shown, this embodiment is supported by a roller (R) and the upper camera 11 on the top of the panel to inspect the upper surface of the panel (S) on which the color filter substrate (S2) and TFT substrate (S1) are bonded. And a lens 12 and an upper light 13, and a lower camera 21, a lens 22, and a lower light 23 are provided below the panel to inspect the lower surface of the panel. The upper camera 11 and the upper light 12, the lower camera 21 and the lower light 22 are all arranged to match the optical axis.

이와 같이 구성된 제1실시예를 이용하여 도 1에 도시된 결함을 갖는 패널을 검사하는 방법을 설명한다. A method of inspecting a panel having a defect shown in FIG. 1 using the first embodiment configured as described above will be described.

패널의 상면을 검사할 때, 상부조명(13)을 반사조명으로 이용하고, 하부조명(23)은 백조명으로 이용된다. When inspecting the upper surface of the panel, the upper light 13 is used as the reflected light, and the lower light 23 is used as the white light.

즉, 패널의 상면 검사시 광축이 일치하는 상부조명(13)과 하부조명(23)을 모두 이용하는 것이다. That is, when inspecting the upper surface of the panel, both the upper light 13 and the lower light 23 having the same optical axis are used.

이와 같이 상부조명(13)과 하부조명(23)을 이용하게 되면, 패드면(P4)과 칼라필터면(P5)은 상부조명(13)에서 조사된 광이 반사되어 카메라(11)로 입사되기 때문에 밝게 보인다. As such, when the upper light 13 and the lower light 23 are used, the pad surface P 4 and the color filter surface P 5 reflect the light irradiated from the upper light 13 to the camera 11. It looks bright because it is incident.

그러나 패널의 연마면(P1)은 상부조명(13)에서 조사된 광이 반사되어 되돌아오는 빛이 없기 때문에 검게 보인다. However, the polishing surface P 1 of the panel looks black because there is no light returned by the light emitted from the upper light 13.

만약 절단공정에서 절단되었어야 함에도 불구하고 절단되지 않고 남아 있는 결함(P2)도 역시 검게 보인다. If it should have been cut in the cutting process, the defect (P 2 ) remaining uncut also appears black.

또한 TFT 기준선(P6)의 경우, 기준선(P6)의 바깥쪽(도면에서 좌측)인 허공은 하부조명(23)에서 출사된 광이 상부카메라(11)로 입사되어 밝게 보인다. In the case of TFT baseline (P 6), the baseline of the air outside (left side in the figure) of the (P 6) is a light emitted from the lower light (23) is joined to the upper camera 11 it looks bright.

즉, TFT기판(S1)의 기준선(P6)의 바깥영역인 허공은 밝게 보이고, 연마면(P1)은 검게 보이며, 기준선 밖에 있는 결함(P2)도 검게 보고, 패드면(P4)과 칼라필터면(P5)은 밝게 보인다. 따라서 백조명을 별도로 구비하지 않더라도 동축으로 배치되는 상대편 조명을 이용하여 각 면이 극명하게 명암이 대조되므로 정확하게 검사할 수 있는 것이다. That is, the thin air space outside the reference line P 6 of the TFT substrate S1 is bright, the polishing surface P 1 is black, and the defect P 2 outside the reference line is black, and the pad surface P 4 is seen. And the color filter surface (P 5 ) appear bright. Therefore, even if the swan lighting is not provided separately, the contrast of each side is clearly contrasted using the opposite lighting arranged coaxially so that accurate inspection can be performed.

도 6은 본 발명에 의한 제2실시예를 도시한 것이다. 6 shows a second embodiment according to the present invention.

도시된 바와 같이, 제2실시예는 카메라(11,21)의 전단에 편광필터(14,24)가 더 구비된다는 것을 알 수 있다. As shown, in the second embodiment, it can be seen that the polarization filters 14 and 24 are further provided in front of the cameras 11 and 21.

이와 같이 편광필터(14,24)를 구비하여 예를 들어 패널의 상면 검사시 백조명으로 이용되는 하부조명(23)에서 출사되어 상부카메라(11)로 입사되는 광량을 조절할 수 있다. In this way, the polarization filters 14 and 24 may be provided to adjust the amount of light emitted from the lower light 23 used as the back light when the upper surface of the panel is inspected, and incident on the upper camera 11.

이와 같이 백조명으로 이용되는 하부조명(패널의 하면검사시 상부조명)(23)에서 출사되어 상부카메라(11)로 입사되는 광량을 조절하여 TFT기판의 기준선(P6)의 바깥영역인 허공의 밝기를 조절할 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 허공영역과 패드면(P4)은 모두 밝게 보이지만, 밝게 보이는 패드면(P4)과 어둡게 보이는 연마면(P1) 사이의 밝기로 조절하면 이들 사이의 구분을 보다 명확히 할 수 있어 검사의 정확성을 높일 수 있는 것이다. 다시 말하면, 편광필터(14,24)에 의해 백조명으로 이용되는 상대편 조명으로부터 입사되는 광량을 조절하여 각 면의 밝기를 패드면(P4)>허공>연마면(P1) 순이 되도록 조절하는 것이다. As such, the amount of light emitted from the lower illumination (upper illumination during the inspection of the lower surface of the panel) 23 used as the swan light and incident on the upper camera 11 is adjusted to adjust the amount of light that is outside of the reference line P 6 of the TFT substrate. You can adjust the brightness. More specifically, the void area and the pad surface P 4 both look bright, but the brightness between the pad surface P4 that looks bright and the polishing surface P 1 that looks dark makes the distinction between them more clear. This can increase the accuracy of the test. In other words, by adjusting the amount of light incident from the other side of the illumination used by the polarization filter (14,24) as the back light to adjust the brightness of each surface in the order of the pad surface (P 4 )>air> polishing surface (P 1 ) will be.

도 7은 상기 편광필터(14,24)를 카메라(11,21)의 광축으로부터 소정각도 기울어지게 설치한 것을 알 수 있다. 또한 도 8은 편광필터(14,24)에 반사방지필름(15,25)을 더 부착한 것을 알 수 있다. FIG. 7 shows that the polarization filters 14 and 24 are inclined at a predetermined angle from the optical axes of the cameras 11 and 21. In addition, FIG. 8 shows that the antireflection films 15 and 25 are further attached to the polarization filters 14 and 24.

이것은 예를 들어 패널의 상면 검사시 상기 상부조명(11)으로부터 출사된 광이 연마면(P1)이나 결함(P2) 등에 의해 반사된 광이 상부카메라(11)로 입사되는 것을 방지하기 위한 것이다. 즉, 반사광이 상부카메라(11)로 입사되는 것을 방지하기 때문에 각 면의 명암차를 극명하게 하여 검사를 보다 정확하게 할 수 있는 것이다. This is, for example, to prevent the light emitted from the upper light 11 from being reflected by the polishing surface P 1 , the defect P 2 , or the like, when the upper surface 11 of the panel is inspected, from entering the upper camera 11. will be. That is, since the reflected light is prevented from entering the upper camera 11, the contrast between each surface can be made clear, so that inspection can be performed more accurately.

11,21: 카메라 12,22: 렌즈
13,23: 조명 14,24: 편광필름
15,25: 반사방지필름11,21 camera 12,22 lens
13,23: illumination 14,24: polarizing film
15,25: antireflection film

Claims (9)

평판디스플레이 패널의 연마면과 절단면을 검사하는 방법에 있어서,
1) 상기 패널의 상부에 위치하는 상부카메라와 상부조명, 상기 패널의 하부에 위치하는 하부카메라와 하부조명의 광축이 일치하도록 배치하는 단계;
2) 상기 상부조명을 반사조명으로, 상기 하부조명을 백조명으로 이용하여 상기 패널의 상면을 검사하는 단계; 및
3) 상기 하부조명을 반사조명으로, 상기 상부조명을 백조명으로 이용하여 상기 패널의 하면을 검사하는 단계;를 포함하며,
1-1)배경의 밝기가 상기 패널의 패드면의 밝기와 연마면의 밝기의 중간영역이 되도록 조정하는 단계;가 더 부가되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 검사방법.
In the method of inspecting the polished surface and the cut surface of the flat panel display panel,
1) arranging the upper camera and the upper light positioned at the top of the panel and the optical axis of the lower camera and the lower light positioned at the bottom of the panel to coincide;
2) inspecting an upper surface of the panel using the upper light as the reflected light and the lower light as the back light; And
3) inspecting a lower surface of the panel using the lower light as a reflection light and the upper light as a back light;
1-1) adjusting the brightness of the background to be an intermediate area between the brightness of the pad surface of the panel and the brightness of the polishing surface. The inspection method of the flat panel display panel of claim 1, further comprising:
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 1-1)단계는,
상기 상부카메라 및 하부카메라의 전단부에 구비되는 편광필터에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 검사방법.
The method of claim 1,
Step 1-1),
Inspection method of the flat panel display panel, characterized in that performed by the polarizing filter provided in the front end of the upper camera and the lower camera.
평판디스플레이 패널의 연마면과 절단면을 검사하는 장치에 있어서,
상기 패널의 상부에 위치하는 상부카메라;
상기 패널의 하부에 위치하는 하부카메라;
상기 패널의 상부에 위치하는 상부조명; 및
상기 패널의 하부에 위치하는 하부조명;을 포함하며,
상기 상부카메라, 하부카메라, 상부조명 및 하부조명의 광축이 일치하도록 배치되고,
상기 상부조명은 상기 패널의 상부검사시 반사조명으로 이용되고, 하부검사시 백조명으로 이용되며,
상기 하부조명은 상기 패널의 하부검사시 반사조명으로 이용되고, 상부검사시 백조명으로 이용되고,
상기 상부카메라 또는 하부카메라의 전단부에는 편광필터가 더 구비되며,
상기 편광필터는 상기 상부조명 또는 하부조명의 광축에 대하여 기울어지게 설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 검사장치.
In the device for inspecting the polished surface and the cut surface of the flat panel display panel,
An upper camera positioned above the panel;
A lower camera positioned below the panel;
An upper light located above the panel; And
Includes; a lower light located at the bottom of the panel;
The upper camera, the lower camera, the upper light and the lower light are arranged to match the optical axis,
The upper light is used as the reflection light during the upper inspection of the panel, the white light is used during the lower inspection,
The lower light is used as a reflection light for the lower inspection of the panel, a white light for the upper inspection,
The front end of the upper camera or lower camera is further provided with a polarization filter,
And said polarization filter is installed to be inclined with respect to the optical axis of said upper or lower illumination.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제4항에 있어서,
상기 편광필터는 반사방지필름이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 검사장치.
5. The method of claim 4,
The polarizing filter is an inspection apparatus of a flat panel display panel, characterized in that the anti-reflection film is further provided.
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