KR101131445B1 - Apparatus for removing of solder ball on semiconductor package - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기존의 수작업에 의해 솔더볼을 제거하던 것 대신에 기계적인 장치를 이용하여 내부에 솔더볼이 부착된 반도체패키지를 수평하게 장착하고, 클립핸들을 전후방향으로 회전시키기만 하면 반도체패키지의 표면을 따라 커터를 자동적으로 전진 이동시킴으로써, 솔더볼을 용이하게 제거할 수 있는 반도체패키지의 솔더볼 제거장치에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 기존의 수작업으로 반도체패키지를 잡고 커터날로 솔더볼을 밀어서 커팅하는 것에 비교하면 큰 힘을 들이지 않고 조작핸들을 회전시키기만 하면 되기 때문에 작업효율을 향상시킬 수 있고, 커터에 의해 한번에 다수의 솔더볼을 제거할 수 있기 때문에 솔더볼을 제거하는데 단시간(1~2 초) 내로 단축할 수 있다.
그리고, 스페이서를 이용하여 가압판을 슬라이드판의 저면(항상 일정한 기준면 A)과 상하방향으로 일정한 간격을 유지하여 수평상태를 유지하고, 솔더볼의 크기에 맞게 스페이서를 교환하여 솔더볼이 부착된 인쇄회로기판의 표면(솔더볼의 크기에 따라 가변되는 기준면 B)을 커터의 저면과 일치시킴으로써, 커터에 의해 커팅된 솔더볼의 절단면이 인쇄회로기판의 표면과 동일한 평면을 이루어 추후 워피지 측정시 균일한 측정값을 얻을 수 있어서 신뢰성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, instead of removing the solder balls by conventional manual work, the semiconductor package with the solder balls attached horizontally is mounted horizontally using a mechanical device, and the surface of the semiconductor package is simply rotated by rotating the clip handles in the front and rear directions. Accordingly, the present invention relates to a solder ball removing device of a semiconductor package which can easily remove solder balls by automatically moving the cutter forward.
In addition, the present invention can improve the work efficiency by simply rotating the operation handle without a large force compared to the conventional hand-held semiconductor package to hold the solder ball with the cutter blade to cut the cutting work, it is possible to improve the working efficiency by a cutter Since solder balls can be removed, the solder balls can be removed within a short time (1 to 2 seconds).
In addition, by using a spacer, the pressure plate is kept horizontally at a constant interval in the vertical direction with the bottom surface (always a constant reference plane A) of the slide plate, and the spacers are exchanged according to the size of the solder balls to replace the printed circuit board with the solder balls. By matching the surface (reference plane B, which varies depending on the size of the solder ball) with the bottom of the cutter, the cut surface of the solder ball cut by the cutter is flush with the surface of the printed circuit board to obtain a uniform measurement value for the subsequent warpage measurement. The reliability can be improved.
Description
본 발명은 반도체패키지의 솔더볼 제거장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 패키지에 부착된 솔더볼을 용이하게 제거할 수 있는 반도체패키지의 솔더볼 제거장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a solder ball removing device of a semiconductor package, and more particularly to a solder ball removing device of a semiconductor package that can easily remove the solder ball attached to the semiconductor package.
통상적으로, BGA 반도체 패키지는 인쇄회로기판의 중앙부에 반도체 칩이 안착되고, 상기 반도체 칩은 인쇄회로기판 표면의 구리패턴과 전도성 와이어에 의해 접속되며, 상기 반도체 칩과 전도성 와이어를 보호하기 위해 인쇄회로기판의 표면을 몰딩 컴파운드 수지 등의 봉지재로 봉지한다.In general, in a BGA semiconductor package, a semiconductor chip is mounted on a center portion of a printed circuit board, and the semiconductor chip is connected by a copper pattern and a conductive wire on a surface of the printed circuit board, and the printed circuit is protected to protect the semiconductor chip and the conductive wire. The surface of the board | substrate is sealed with sealing materials, such as a molding compound resin.
이와 같은 반도체 패키지를 마더보드 등에 실장하기 위해 인쇄회로기판의 배면에 형성된 볼랜드에 솔더볼을 부착하여 외부접속단자로서 사용한다.In order to mount such a semiconductor package on a motherboard or the like, a solder ball is attached to a ball land formed on the back of the printed circuit board and used as an external connection terminal.
이러한 반도체 패키지의 제조공정시 각 공정간 제조장비들로부터 열을 전달받게 되고, 또한 완성된 반도체 패키지를 전자기기의 마더보드에 실장 후 전기적인 작동을 위하여 발생되는 반도체 칩의 높은 열을 전달받게 된다.During the manufacturing process of the semiconductor package, the heat is transferred from the manufacturing equipments between each process, and the high heat of the semiconductor chip generated for the electrical operation after mounting the completed semiconductor package on the motherboard of the electronic device is received. .
이때, 상기 인쇄회로기판, 반도체 칩과 봉지재(몰딩 컴파운드 수지) 등은 서로간의 열팽창계수가 달라서, 서로 다른 열적 팽창과 수축을 반복하며 한쪽 방향으로 휘어지는 현상인 워피지(Warpage) 현상을 초래하게 된다.In this case, the printed circuit board, the semiconductor chip, and the encapsulant (molding compound resin) may have different thermal expansion coefficients, resulting in warpage phenomenon, which is a phenomenon of bending in one direction while repeating different thermal expansion and contraction. do.
예를 들어, 상기 인쇄회로기판의 표면에 형성된 구리패턴의 열팽창계수가 가장 큰 것으로 알려져 있고, 그 밖에 반도체 칩 및 몰딩 컴파운드 수지 등도 서로 다른 열팽창계수를 가지고 있기 때문에, 인쇄회로기판을 비롯하여 전체 반도체 패키지가 한쪽 방향으로 휘어지는 워피지 현상이 발생하게 된다.For example, the thermal expansion coefficient of the copper pattern formed on the surface of the printed circuit board is known to be the largest, and since the semiconductor chip and the molding compound resin also have different thermal expansion coefficients, the entire semiconductor package including the printed circuit board. The warpage phenomenon in which is bent in one direction occurs.
이러한 워피지 현상이 발생됨으로 인하여, 인쇄회로기판과 반도체 칩간의 계면, 그리고 반도체 칩과 몰딩 컴파운드 수지간의 계면이 서로 박리되는 계면박리(delamination)이 초래되어, 결국 반도체 패키지의 불량 및 성능저하를 초래하게 된다.Due to this warpage phenomenon, an interface delamination in which the interface between the printed circuit board and the semiconductor chip and the interface between the semiconductor chip and the molding compound resin is separated from each other results in defects and deterioration of the semiconductor package. Done.
따라서, 상기 반도체 패키지가 제조 완료된 최종제품에 대하여 워피지 검사를 수행한다.Therefore, the warpage inspection is performed on the final product in which the semiconductor package is manufactured.
상기 최종제품의 워피지 정도를 검사하기 위해, 주로 광학적인 방법이 사용된다.In order to check the degree of warpage of the final product, optical methods are mainly used.
예를 들면, 적외선 소스(Infrared Ray Source)등과 같은 광원을 이용하여 워피지 측정대상물 표면에 조사한 후 반사된 빛을 감지하여 워피지를 측정한다.For example, after irradiating the surface of the warpage measurement object using a light source such as an infrared ray source, the warpage is measured by detecting the reflected light.
그런데, 상기 워피지 측정대상물인 인쇄회로기판의 저면에 솔더볼이 부착되어 있기 때문에, 인쇄회로기판의 표면에 광원을 조사하더라도 솔더볼에 의해 인쇄회로기판의 표면이 가려져서 인쇄회로기판 표면의 워피지를 측정할 수 없는 단점이 있다.However, since the solder ball is attached to the bottom surface of the printed circuit board as the warpage measurement object, even if the light source is irradiated on the surface of the printed circuit board, the surface of the printed circuit board is covered by the solder ball so that the warpage on the surface of the printed circuit board is measured. There is a disadvantage that can not.
즉, 광원을 조사하여 반도체 패키지의 워피지가 발생된 부분에 대한 굴곡 정도를 촬영해야 하는데, 인쇄회로기판의 솔더볼이 굴곡 정도를 촬영할 때 왜곡 현상을 일으키는 방해 요인으로 작용하여 워피지 측정이 정확하게 이루어지지 않는 단점이 있었다.In other words, the degree of bending of the warpage generated portion of the semiconductor package should be photographed by irradiating the light source, and the solder ball of the printed circuit board acts as a disturbing factor causing distortion when the degree of bending is taken. There was a disadvantage not to lose.
따라서, 상기 워피지 검사를 수행하기 위해서는 인쇄회로기판의 볼랜드에 부착된 솔더볼을 반드시 제거해야만 한다.Therefore, in order to perform the warpage inspection, the solder ball attached to the ball land of the printed circuit board must be removed.
그런데, 종래에는 작업자가 인쇄회로기판을 손으로 잡고 커터날을 이용하여 수작업으로 직접 인쇄회로기판의 저면에 부착된 솔더볼을 제거하기 때문에, 솔더볼을 제거하는데 시간이 오래 걸린다.However, in the related art, since the operator removes the solder balls directly attached to the bottom surface of the printed circuit board manually by using a cutter blade by holding the printed circuit board by hand, it takes a long time to remove the solder balls.
상기와 같이 수작업으로 솔더볼을 제거하는 경우에 워피지 측정대상물의 수량이 증가할 수록 작업효율이 떨어지고, 특히 날카로운 커터날로 인해 작업자가 손가락을 베어 치명적인 상해를 입을 가능성이 많다.As described above, when the solder ball is manually removed, the work efficiency decreases as the quantity of the warpage measurement object increases. In particular, a sharp cutter blade may cause a worker to be fatally injured by cutting a finger.
또한, 상기 커터날에 의해 절단된 솔더볼의 잔여물이 인쇄회로기판 상에 여전히 남아 있어서 절단면이 균일하지 않기 때문에 이후 워피지를 측정할 경우 측정위치에 따라 워피지 측정값이 달라지게 되는 문제점이 있다.
In addition, since the remainder of the solder ball cut by the cutter blade still remains on the printed circuit board and the cutting surface is not uniform, there is a problem that the warpage measurement value varies depending on the measurement position when the warpage is measured later. .
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 기존의 수작업에 의해 솔더볼을 제거하던 것 대신에 기계적인 장치의 내부에 솔더볼이 부착된 반도체패키지를 수평하게 장착하고, 클립핸들을 회전시키는 작동에 의거 반도체패키지의 표면을 따라 커터가 자동적으로 전진 이동되는 동시에 솔더볼을 용이하게 커팅할 수 있도록 함으로써, 워피지 측정을 위해 기판에 부착된 솔더볼을 손쉽게 제거할 수 있도록 한 반도체패키지의 솔더볼 제거장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been invented to solve the above problems, and instead of removing the solder balls by conventional manual work, the semiconductor package with a solder ball attached to the inside of the mechanical device is mounted horizontally, and the clip handle is rotated. Solder ball removal device of semiconductor package that makes it easy to remove solder balls attached to the board for warpage measurement by allowing the cutter to move forward and move automatically along the surface of the semiconductor package. The purpose is to provide.
또한, 본 발명은 기계적인 장치를 이용하여 다수의 솔더볼을 한번에 제거함으로써, 작업효율을 향상시키고, 기존에 수작업으로 반도체패키지에 부착된 솔더볼을 직접 커터날로 제거함으로 인해 작업자의 손이 베이는 등의 상해를 방지할 수 있는 반도체패키지의 솔더볼 제거장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.In addition, the present invention improves work efficiency by removing a plurality of solder balls at a time by using a mechanical device, and the operator's hands are cut off by directly removing the solder balls directly attached to the semiconductor package by the cutter blade. Another object is to provide a solder ball removal apparatus of a semiconductor package that can prevent injury.
또한, 본 발명은 수작업에 의해 커터날로 솔더볼을 제거함으로 인해 솔더볼의 절단면이 균일하지 않던 것을 개선하여 반도체패키지가 로딩되는 받침판을 코일스프링에 의해 탄성지지하고, 받침판에 로딩된 반도체패키지의 솔더볼을 가압판으로 가압함으로써, 솔더볼이 부착된 반도체패키지의 표면을 커터의 저면에 일치시켜 솔더볼의 절단면이 반도체패키지의 표면과 동일평면을 이루면서 균일하게 한 반도체패키지의 솔더볼 제거장치를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
In addition, the present invention improves that the cutting surface of the solder ball is not uniform due to the removal of the solder ball by the cutter blade by manual operation to elastically support the supporting plate loaded with the semiconductor package by the coil spring, the solder ball of the semiconductor package loaded on the supporting plate It is another object of the present invention to provide a solder ball removing apparatus of a semiconductor package in which the surface of the semiconductor package with solder balls is aligned with the bottom of the cutter so that the cut surface of the solder balls is coplanar with the surface of the semiconductor package.
본 발명을 상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 회전조작에 의해 회전구동력을 발생하는 조작핸들; 상기 조작핸들의 후단부에 힌지결합된 힌지축을 통해 회전구동력을 전달받아 회전하는 회전원판; 상기 회전원판의 가장자리부의 일측에 힌지결합되어 조작핸들의 회전운동을 직선운동으로 변환하는 커넥팅로드; 상기 커넥팅로드의 전단부에 힌지결합되어 전후방향으로 이동가능하게 장착된 슬라이드판; 반도체패키지가 로딩되는 받침판; 상기 슬라이드판의 저면에 장착되어, 솔더볼이 부착된 반도체패키지의 표면을 따라 이동하면서 상기 받침판에 로딩된 반도체패키지의 솔더볼을 커팅하는 커터를 포함하는 반도체패키지의 솔더볼 제거장치를 제공한다.In order to achieve the above object of the present invention, an operation handle for generating a rotational driving force by the rotation operation; A rotating disc that rotates by receiving a rotational driving force through a hinge shaft hinged to the rear end of the manipulation handle; A connecting rod hinged to one side of an edge of the rotating disc to convert a rotational movement of the manipulation handle into a linear movement; A slide plate hinged to the front end of the connecting rod and movably mounted in the front and rear directions; A support plate on which a semiconductor package is loaded; It is mounted on the bottom surface of the slide plate, and provides a solder ball removal device of a semiconductor package including a cutter for cutting the solder ball of the semiconductor package loaded on the support plate while moving along the surface of the semiconductor package attached to the solder ball.
상기와 같은 구성에 의해, 조작핸들을 뒤쪽으로 회전시키면, 회전원판이 회전운동이 커넥팅로드에 의해 슬라이드판의 직선운동으로 변환되고, 슬라이드판의 저면에 장착된 커터가 솔더볼이 부착된 반도체패키지의 표면을 따라 전진하면서 솔더볼을 용이하게 제거할 수 있다.By the above configuration, when the operation handle is rotated backward, the rotating disc is converted into the linear motion of the slide plate by the connecting rod, and the cutter mounted on the bottom surface of the slide plate of the semiconductor package having the solder ball attached thereto. Solder balls can be easily removed while advancing along the surface.
또한, 상기 조작핸들의 간단한 회전조작에 의해 큰 힘을 들이지 않고도 다수의 솔더볼을 한번에 커팅 및 제거함으로써, 작업효율을 향상시킬 수 있고, 작업시간을 크게 단축할 수 있도록 한 점에 특징이 있다.In addition, by cutting and removing a plurality of solder balls at once without a large force by a simple rotation operation of the operation handle, it is possible to improve the work efficiency, it is possible to significantly shorten the working time.
또한, 상기 받침판의 하부에 코일스프링을 장착하여 받침판을 상하방향으로 이동가능하게 지지하고, 슬라이드판의 저면에 가압판을 장착하여 받침판에 안착고정된 솔더볼을 가압하여 코일스프링의 탄성력에 의해 솔더볼을 가압판에 수평하게 밀착 및 정렬시킴으로써, 커터의 절삭성을 향상시킬 수 있도록 한 점에 특징이 있다.In addition, by mounting a coil spring in the lower portion of the support plate to support the support plate to be movable in the vertical direction, by mounting a pressure plate on the bottom of the slide plate to press the fixed solder ball seated on the support plate to press the solder ball by the elastic force of the coil spring It is characterized in that the cutter's machinability can be improved by closely adhering and aligning horizontally.
또한, 상기 슬라이드판과 가압판 사이에 스페이서를 장착하고, 상기 스페이서를 솔더볼의 크기에 맞게 교환하여 사용함으로써, 커터의 높이를 설정하는데 필요한 시간을 절감할 수 있다.
In addition, by mounting a spacer between the slide plate and the pressure plate, and by using the spacer to replace the size of the solder ball, it is possible to reduce the time required to set the height of the cutter.
상기한 과제 해결 수단을 통하여, 본 발명은 다음과 같은 효과를 제공한다.Through the above problem solving means, the present invention provides the following effects.
1) 기계적인 장치를 이용하여 받침판에 반도체패키지를 수평하게 안착시키고, 조작핸들을 전후방향으로 회전시키는 간단한 회전조작에 의해 솔더볼이 부착된 반도체 패키지의 표면을 따라 커터를 전진이동시킴으로써 솔더볼을 용이하게 제거할 수 있다.1) The solder ball can be easily moved by moving the cutter along the surface of the semiconductor package to which the solder ball is attached by a simple rotating operation by placing the semiconductor package horizontally on the support plate using a mechanical device and rotating the operation handle back and forth. Can be removed.
2) 기존의 수작업으로 반도체패키지를 잡고 커터날로 솔더볼을 밀어서 커팅하는 것에 비교하면 큰 힘을 들이지 않고 조작핸들을 회전시키기만 하면 되기 때문에 작업효율을 향상시킬 수 있고, 커터에 의해 한번에 다수의 솔더볼을 제거할 수 있기 때문에 솔더볼을 제거하는데 단시간(1~2 초) 내로 단축할 수 있다.2) Compared to holding the semiconductor package by hand and pushing the solder ball with the cutter blade, it is possible to improve the work efficiency by simply rotating the operation handle without the need for great force. Because it can be removed, it can be shortened in a short time (1 to 2 seconds) to remove the solder ball.
3) 스페이서를 이용하여 가압판을 슬라이드판의 저면(항상 일정한 기준면 A)과 상하방향으로 일정한 간격을 유지하여 수평상태를 유지하고, 솔더볼의 크기에 맞게 스페이서를 교환하여 솔더볼이 부착된 인쇄회로기판의 표면(솔더볼의 크기에 따라 가변되는 기준면 B)을 커터의 저면과 일치시킴으로써, 커터에 의해 커팅된 솔더볼의 절단면이 인쇄회로기판의 표면과 동일한 평면을 이루어 추후 워피지 측정시 균일한 측정값을 얻을 수 있어서 신뢰성을 향상시킬 수 있다.3) Using a spacer, the pressure plate is kept horizontally at a constant distance from the bottom surface (always a constant reference plane A) of the slide plate in the vertical direction, and the spacers are exchanged according to the size of the solder balls so that the printed circuit board By matching the surface (reference plane B, which varies depending on the size of the solder ball) with the bottom of the cutter, the cut surface of the solder ball cut by the cutter is flush with the surface of the printed circuit board to obtain a uniform measurement value for the subsequent warpage measurement. The reliability can be improved.
4) 코일스프링에 의해 받침판을 탄성지지하고, 상기 받침판의 상면에 안착된 반도체패키지의 솔더볼을 가압판으로 가압함으로써, 솔더볼이 코일스프링의 탄성력에 의해 수평하게 배치된 가압판에 밀착 및 정렬되어 커터의 커팅작업이 원활하게 이루어진다.
4) The support plate is elastically supported by the coil spring, and by pressing the solder ball of the semiconductor package seated on the upper surface of the support plate with the pressure plate, the solder ball is closely adhered to and aligned with the pressure plate arranged horizontally by the elastic force of the coil spring to cut the cutter. Work is smooth.
도 1은 솔더볼이 부착된 반도체패키지의 저면을 보여주고, 본 발명의 솔더볼 제거장치를 이용하여 솔더볼이 제거된 모습을 보여주는 사시도
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 솔더볼 제거장치의 주요 구성요소를 보여주는 사시도
도 3은 도 2에서 클립핸들의 회전조작에 의해 슬라이드판이 전진하는 모습을 보여주는 사시도
도 4는 도 2에서 클립핸들의 조작에 따른 작동상태를 보여주는 단면도
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 솔더볼 제거장치의 외관을 보여주는 사시도
도 6은 도 5의 분해사시도
도 7은 도 5에서 반도체패키지를 받침판에 로딩하기 위해 상부프레임을 들어올린 모습을 보여주는 사시도
도 8은 도 7에서 상부프레임을 닫은 모습을 보여주는 사시도
도 9는 도 4에서 슬라이드판의 기준면 A와 커터가 이동하는 기준면 B를 보여주는 단면도1 is a perspective view illustrating a bottom surface of a semiconductor package having a solder ball attached thereto, and the solder ball is removed using the solder ball removing device of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing the main components of the solder ball removing apparatus according to an embodiment of the present invention
Figure 3 is a perspective view showing a state that the slide plate is advanced by the rotation operation of the clip handle in Figure 2
4 is a cross-sectional view showing an operating state according to the operation of the clip handle in FIG.
Figure 5 is a perspective view showing the appearance of the solder ball removing apparatus according to an embodiment of the present invention
6 is an exploded perspective view of FIG.
FIG. 7 is a perspective view illustrating a state in which the upper frame is lifted to load the semiconductor package onto the support plate in FIG. 5; FIG.
8 is a perspective view showing a state in which the upper frame is closed in FIG.
FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating a reference plane A of the slide plate and a reference plane B to which the cutter moves in FIG. 4; FIG.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 반도체패키지의 솔더볼을 수작업인 아닌 자동으로 제거하여, 워피지 테스트를 정확하게 수행할 수 있도록 한 점에 주안점이 있다.The present invention focuses on the fact that the solder ball of the semiconductor package is automatically removed instead of manually, so that the warpage test can be accurately performed.
즉, 본 발명의 반도체패키지의 솔더볼 제거장치는 BGA 패키지 등과 같은 반도체패키지에서 인쇄회로기판의 저면에 부착된 솔더볼을 커터를 이용하여 용이하게 제거하여 워피지 테스트에서의 굴곡면 촬영을 정확하게 수행할 수 있도록 한 것이다.
That is, the solder ball removal apparatus of the semiconductor package of the present invention can easily remove the solder ball attached to the bottom surface of the printed circuit board in the semiconductor package such as BGA package by using a cutter to accurately perform the curved surface shooting in the warpage test It would be.
도 1은 솔더볼이 인쇄회로기판에서 제거되기 전과 제거된 후의 모습을 보여준다.1 shows the solder balls before and after they are removed from the printed circuit board.
도 1의 왼쪽 그림을 참조하면, 솔더볼(52)이 인쇄회로기판(51)에 횡방향과 종방향으로 일정한 간격을 두고 부착되어 있다.1, the
도 1의 오른쪽 그림을 참조하면, 본 발명에 따른 반도체패키지의 솔더볼 제거장치를 이용하여 인쇄회로기판(51)에 부착된 솔더볼(52)을 제거함으로써, 인쇄회로기판(51)으로부터 제거된 솔더볼(52)의 절단부(53)가 인쇄회로기판(51)의 표면과 동일한 평면을 이루며 전체적으로 굴곡없이 균일한 면으로 이루어져 있다.Referring to the right figure of Figure 1, by removing the
도 2 및 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체패키지의 솔더볼 제거장치의 주요구성을 보여주는 사시도이고, 도 4는 도 2에서 커터에 의해 솔더볼이 제거되는 모습을 보여주는 단면도이다.2 and 3 are perspective views showing the main configuration of the solder ball removing device of the semiconductor package according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a cross-sectional view showing a state in which the solder ball is removed by the cutter in FIG.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 커터(43)는 커팅대상인 반도체패키지(50)의 솔더볼(52)의 오른쪽에 위치하여 오른쪽에서 왼쪽으로 전진 이동하면서 솔더볼(52)을 커팅하기 때문에, 커터(43)의 커팅방향을 기준으로 어떤 구성요소의 후단부 또는 뒤쪽은 그 구성요소의 오른쪽 끝부분 또는 오른쪽을 의미하고, 어떤 구성요소의 전단부 또는 앞쪽은 그 구성요소에서 왼쪽 끝부분 또는 왼쪽을 의미한다.2 to 4, since the
또한, "전후방향으로 회전한다"는 오른쪽에서 왼쪽(전방향)으로 회전하거나 왼쪽에서 오른쪽(후방향)으로 회전함을 의미하고, "전후방향으로 이동한다"는 오른쪽에서 왼쪽으로 이동하거나 왼쪽에서 오른쪽으로 이동함을 의미한다.Also, "turn forward and backward" means to rotate from right to left (forward) or from left to right (forward), and "move forward and backward" to move from right to left or from left It means to move to the right.
상기 솔더볼 제거장치는 커터(43)를 이용하여 반도체패키지(50)의 솔더볼(52)을 커팅하여 제거하기 위한 주요구성요소로 조작핸들(10), 회전원판(24), 커넥팅로드(44), 슬라이드판(27), 커터(43), 스페이서(28), 가압판(30), 받침판(33), 코일스프링(35), 지지블록(36)을 포함한다.The solder ball removing device is a main component for cutting and removing the
상기 조작핸들(10)은 "일(一)"자 형 바(bar) 구조로 이루어지고, 조작핸들(10)의 후단부가 상하방향으로 배치된 회전축(26)의 상단부에 힌지결합되고, 조작핸들(10)의 전단부가 자유단으로 수평하게 배치됨으로써, 조작핸들(10)의 전단부를 전후방향으로 회전시키면 조작핸들(10)의 회전조작에 의해 발생된 회전력이 회전축(26)을 통해 회전원판(24)에 전달된다.The operation handle 10 is formed of a "one" shaped bar (bar) structure, the rear end of the operation handle 10 is hinged to the upper end of the
또한, 상기 조작핸들(10)의 후단부가 힌지축(23)의 상단부에 세레이션 또는 기어식으로 외접하여 힌지결합되고, 힌지축(23)의 하단부가 회전원판(24)의 중심부 상측에 세레이션 또는 기어식으로 내접하여 힌지결합됨으로써, 조작핸들(10)의 회전조작시 조작핸들(10)의 회전량(회전각도)이 회전축(26)을 통해 회전원판(24)에 그대로 전달되어, 회전원판(24)이 조작핸들(10)의 회전각도와 동일하게 회전하게 된다.In addition, the rear end of the operation handle 10 is hinged to the upper end of the
상기 커넥팅로드(44)는 "일(一)"자 형태의 바 구조이고, 커넥팅로드(44)의 후단부가 회전원판(24)의 가장자리부의 일측에 힌지핀으로 힌지결합되어 회전원판(24)의 원운동의 궤적을 따라 회전하고, 커넥팅로드(44)의 전단부가 슬라이드판(27)의 후단부에 힌지핀으로 힌지결합되어 슬라이드판(27)의 전후 직선운동의 궤적을 따라 전후방향으로 이동함으로써, 회전원판(24)의 회전운동을 슬라이드판(27)의 직선운동으로 변환시킨다.The connecting
이때, 상기 회전원판(24)의 내부에는 로드수용홈(25)이 적어도 180 이상 원주방향을 따라 반경방향으로 오목하게 형성되고, 상기 로드수용홈(25)을 통해 커넥팅로드(44)의 후단부가 삽입되어 회전판의 가장자리부의 일측에 힌지결합된다.At this time, the
상기 슬라이드판(27)은 전후방향으로 이동가능하게 장착되고, 슬라이드판(27)의 후단부가 상기 커넥팅로드(44)의 전단부에 힌지결합되며, 상기 회전원판(24)으로부터 커넥팅로드(44)을 통해 변환된 직선력에 의해 전후방향으로 이동한다.The
이때, 상기 슬라이드판(27)의 후단부에는 돌출부가 수평하게 형성되고, 슬라이드판(27)의 후단부 저면에 "ㄴ"자 형태로 절곡부가 돌출부와 평행하게 돌출형성되며, 상기 돌출부와 절곡부 사이에 커넥팅로드(44)의 전단부가 삽입되고, 힌지축(23)이 슬라이드판(27)의 상부로부터 돌출부, 커넥팅로드(44)의 전단부 및 절곡부를 관통하여 힌지결합된다.At this time, the rear end of the
상기 커터(43)는 커팅블럭을 매개로 슬라이드판(27)의 저면에 장착되어 슬라이드판(27)과 함께 전후방향으로 이동하고, 커터(43)가 앞쪽에 수평하게 배치된 반도체패키지(50)의 솔더볼(52)을 인쇄회로기판(51)의 표면을 따라 밀면서 솔더볼(52)의 하단부를 커팅한다.The
상기 커터(43)는 "ㄴ"자 형태의 평판구조로 이루어지고, 커터(43)의 몸체는 수직하게 배치되어 커팅블록(29)의 앞쪽면에 볼트와 같은 체결수단으로 체결되고, 커터(43)의 날부는 커터(43)의 몸체 하단에서 앞쪽으로 수평하게 절곡형성되어, 솔더볼(52) 커팅 시 커터(43)의 날부가 반도체패키지(50)의 표면과 면접하여 이동하면서 솔더볼(52)의 하단부를 커팅한다.The
상기 커팅블록(29)은 상단면과 후단면이 슬라이드판(27)의 뒤쪽 저면과 절곡부의 앞쪽 수직면에 면접하게 장착된다.The cutting
상기 스페이서(28)는 일정한 두께와 크기의 직사각체 형태의 구조를 가지며, 내부에 형성된 관통홀을 통해 영구자석이 삽입장착되어 별도의 체결장치 없이 슬라이드판(27)의 저면에 장착되어 슬라이드판(27)과 한 몸체로 전후방향으로 이동된다.The
이때, 스페이서(28)는 커터(43)의 앞쪽에 전후방향으로 일정한 간격을 두고 슬라이드판(27)의 앞쪽 저면에 장착 고정된다.At this time, the
상기 가압판(30)은 상면에 장착홈을 가지며, 상기 장착홈에 스페이서(28)의 저면부가 삽입 고정됨으로써, 가압판(30)이 스페이서(28)의 저면에 장착되고, 가압판(30)은 철 등과 같은 자성을 갖는 재질로 이루어져 스페이서(28)에 내장된 영구자석에 의해 스페이서(28)의 저면에 고정된다.The
또한, 상기 가압판(30)은 스페이서(28)에 의해 슬라이드판(27)과 상하방향으로 일정한 간격을 유지하고, 솔더볼(52)을 균일하게 가압함으로써, 솔더볼(52)의 위치를 수평면상에 정렬시켜 커터(43)에 의해 솔더볼(52) 커팅시 커팅을 용이하게 한다.In addition, the
상기 받침판(33)은 마름모 모양의 평판형태의 구조로 이루어지고, 받침판(33)의 상면에 솔더볼(52)이 부착된 반도체패키지(50)를 올려 놓는다.The
상기 받침판(33)은 가압판(30)의 하부에 배치되고, 받침판(33)의 하면이 코일스프링(35)에 의해 탄성지지됨으로써, 가압판(30)이 솔더볼(52)을 가압할 경우에 받침판(33)이 코일스프링(35)의 탄성력에 의해 가압판(30)에 대한 반력으로 솔더볼(52)이 부착된 인쇄회로기판(51)을 가압판(30)의 하면에 밀착시켜 솔더볼(52)의 위치를 기준면 B(도 5 참조)에 정렬시켜 커터(43)에 의해 솔더볼(52)을 커팅시 용이하게 커팅할 수 있다. The supporting
또한, 상기 받침판(33)의 주변에는 동일 평면상으로 하부지지프레임(31)이 전후좌우방향으로 고정되게 장착되고, 하부지지프레임(31)의 중심부에 마름모 형태의 삽입부(32)가 연결바에 의해 한몸체로 연결되고, 이 삽입부(32)에 받침판(33)이 삽입되어 상하방향으로 직선이동가능하게 안내된다.In addition, the
이때, 받침판(33)의 저면에는 지지바(34)가 직진 하방향으로 일체 형성되고, 지지바(34)의 하단부가 코일스프링(35)을 관통하여 지지블록(36)에 형성된 가이드홀(37)에 삽입됨으로써, 상하방향으로 직선이동가능하게 안내된다.At this time, the
그리고, 상기 코일스프링(35)이 지지바(34)에 의해 관통되어 받침판(33)의 저면과 지지블록(36)의 상면 사이에 배치됨으로써, 코일스프링(35)의 탄성력에 의해 받침판(33)이 상하방향으로 이동가능하게 탄성지지된다.In addition, the
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체패키지의 솔더볼 제거장치의 전체구성을 보여주는 조립사시도이고, 도 6은 도 5의 분해도이고, 도 7은 도 1에서 상부프레임을 들어올려 반도체패키지를 로딩하는 모습을 보여주는 사시도이고, 도 8은 도 1에서 반도체패키지가 로딩된 후 상부프레임을 하부지지대(39)에 안착시킨 모습을 보여주는 사시도이다.Figure 5 is an assembled perspective view showing the overall configuration of the solder ball removal device of the semiconductor package according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is an exploded view of Figure 5, Figure 7 is lifting the upper frame in Figure 1 loading the semiconductor package 8 is a perspective view showing a state in which the upper frame is seated on the
상기 솔더볼 제거장치는 크게 상부프레임(11)과 하부지지대(39)로 구성된다.The solder ball removing device is largely composed of the
상기 상부프레임(11)은 양측면에 전후방향으로 평행하게 배치된 측면바(12)와, 상기 측면바(12)의 전단부를 연결하는 손잡이부(21)와, 상기 측면바(12)의 후단부를 연결하는 힌지브라켓(20)으로 구성된다.The
상기 손잡이부(21)의 하부는 평판 구조로 이루어져 볼트와 같은 체결수단에 의해 측면바(12)의 전단부에 체결되고, 손잡이부(21)의 상부는 평판의 상단에서 "ㄷ" 형태의 바(bar) 구조로 이루어져 작업자가 손으로 손잡이부(21)의 바를 잡고 용이하게 들어올릴 수 있다.The lower portion of the
상기 힌지브라켓(20)의 후면 하단부에 평판구조의 돌출판이 한몸체로 형성되고, 힌지브라켓(20)의 돌출판이 볼트와 같은 체결수단에 의해 하부지지대(39)의 후단부 상면에 체결되며, 힌지핀이 힌지브라켓(20)의 내부에 형성된 힌지홀을 관통하여 측면바(12)의 후단부에 힌지결합됨으로써, 상부프레임(11)의 손잡이부(21)를 잡고 들어올려 반도체패키지(50)를 하부지지대(39)의 받침대에 반도체패키지(50)를 안착시킨다. The bottom plate of the
상기 측면바(12)에는 길이방향으로 가이드홈을 갖는 고정가이드레일(13)이 각각 장착고정되어, 슬라이드판(27)을 전후방향으로 직선이동가능하게 안내한다. Fixing
상기 고정가이드레일(13)의 양쪽 내측면에는 전후이동프레임(17)이 볼베어링(15)에 의해 전후방향으로 슬라이딩 가능하게 장착된다.On both inner surfaces of the fixed
이때, 상기 전후이동프레임(17)의 양측면에는 이동가이드레일(16)이 장착고정되고, 이동가이드레일(16)의 외측면에 형성된 가이드홈에 상기 볼베어링(15)이 베어링간격유지판(14)에 일정한 간격으로 장착됨으로써, 상기 전후이동프레임(17)이 고정가이드레일(13)을 따라 전후방향으로 이동하게 된다.At this time, the
상기 측면바(12)의 후단측에는 회전축지지판(22)이 폭방향으로 장착고정되고, 상기 회전축지지판(22)은 조작핸들(10)과 회전원판(24) 사이에 배치되고, 회전축(26)에 의해 관통되어, 회전축(26)을 회전가능하게 지지한다.On the rear end side of the
상기 전후이동프레임(17)의 측면바 중간에는 고정판(18)이 한 몸체로 부착되고, 고정판(18)에 슬라이드판(27), 스페이서(28), 및 가압판(30)이 고정축에 의해 관통되어 한몸체로 결합됨으로써 전후방향으로 이동가능하다.The fixing
이때, 상기 전후이동프레임(17)의 측면바의 중간부 뒤쪽을 연결하도록 고정판(18)의 뒤쪽에 보강바(19)가 더 부착됨으로써, 전후이동프레임(17)의 구조를 더욱 튼튼하게 보강한다.At this time, the reinforcing
상기 하부지지대(39)는 양측면에 배치되며 높이가 낮은 측면판과, 측면판의 상단부를 연결하는 수평판으로 구성되고, 상기 수평판의 중간에는 개구부가 형성되고, 개구부의 양쪽 내측면에 안착부(40)가 돌출형성되고, 상기 하부지지프레임(31)은 하부지지대(39)의 안착부(40)에 삽입고정된다.The
또한, 상기 하부지지대(39)의 측면판의 중간에는 제1체결홀이 형성되고, 상기 지지블록(36)의 양측면에도 제2체결홀이 형성되고, 상기 지지블록(36)은 제1 및 제2체결홀(41,38)을 통해 관통되는 볼트와 같은 체결수단에 의해 하부지지대(39)의 측면판에 장착고정된다.In addition, a first fastening hole is formed in the middle of the side plate of the
상기 지지블록(36)은 하부지지대(39)의 하단부에서 상방향으로 일정한 간격을 두고 하부지지대(39)의 내부에 장착된다.The
그리고, 상기 지지블록(36)의 하부에 칩저장통(42)이 삽입배치되어, 커터(43)에 의해 커팅된 솔더볼(52)을 받아 칩저장통(42) 내에 보관함으로써, 상기 반도체패키지(50)로부터 커팅 및 제거된 솔더볼(52)을 별도로 청소할 필요없이 솔더볼 제거장치 주변을 깨끗하게 유지할 수 있다. Then, the
이와 같은 구성에 의한 본 발명에 따른 솔더볼 제거장치의 작동상태 및 사용방법을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation state and the use method of the solder ball removing device according to the present invention by such a configuration as follows.
먼저, 상부프레임(11)의 전단부에 형성된 손잡이부(21)를 잡고 상방향으로 들어올리면, 하부지지대(39)의 가운데에 마름모 형태의 받침판(33)이 보이고, 이 받침판(33) 위에 솔더볼(52)이 상방향으로 향하도록 반도체패키지(50)를 올려 놓는다.First, when grasping the
그 다음, 상기 상부프레임(11)을 원래 위치로 내려 놓으면 상부프레임(11)의 저면측에 배치된 가압판(30)이 받침판(33)에 로딩된 반도체패키지(50)의 솔더볼(52)을 균일하게 가압한다.Then, when the
이때, 상부프레임(11)의 측면바(12) 양쪽 내측면에 전후이동프레임(17)이 전후방향으로 이동가능하게 장착되어 있고, 전후이동프레임(17)의 저면에 슬라이드판(27)이 장착됨으로써, 슬라이드판(27)의 저면이 도 9에 도시한 바와 같이 기준면 A로 수평하게 유지된다.At this time, the front and
도 9는 본 발명에 따른 커터(43)의 전후방향 이동시 기준이 되는 기준면 A와 반도체패키지(50)의 로딩시 기준이 되는 기준면 B를 보여주는 단면도이다.9 is a cross-sectional view illustrating a reference plane A as a reference when the
여기서, 상기 스페이서(28)는 슬라이드판(27)의 저면과 인쇄회로기판(51)의 상면 사이에 상하방향으로 일정한 간격을 일정하게 유지하는 역할을 한다.Here, the
상기 슬라이드판(27)의 저면에 장착된 스페이서(28)의 두께에 의해 가압판(30)이 슬라이드판(27)의 저면, 즉 기준면 A와 일정한 간격을 유지함으로써, 가압판(30) 역시 기준면 A와 평행하며 수평하게 유지되고, 기준면 A는 항상 일정하다.By the thickness of the
또한, 받침판(33)의 아래에 위치한 코일스프링(35)의 탄성력에 의해 받침판(33)에 로딩된 인쇄회로기판(51)의 솔더볼(52)이 가압판(30)의 저면에 밀착되며, 솔더볼(52)의 하단부가 기준면 B의 수평선상에 정렬되며, 반도체패키지(50)의 종류에 따라 솔더볼(52)의 크기의 차이가 있기 때문에 기준면 B는 솔더볼(52)의 크기에 따라 그 위치가 가변된다.In addition, the
따라서, 본 발명에서는 솔더볼(52)의 크기에 따라 서로 다른 두께를 갖는 스페이서(28)를 구비하고, 워피지의 측정대상물인 반도체패키지(50)의 종류에 따라 서로 다른 솔더볼(52)의 크기에 맞게 스페이서(28)를 교환하여 사용함으로써, 커터(43)의 높이를 솔더볼(52)의 크기에 맞게 조정하는데 소요되는 시간을 절약할 수 있다.Therefore, in the present invention, the
상기 솔더볼(52)의 크기에 맞게 스페이서(28)를 교환하여 사용하는 이유는 커터(43)가 전후방향으로 이동하는 수평면과 솔더볼(52)이 정렬되는 기준면 B을 일치시킴으로써, 솔더볼(52)이 커터(43)에 의해 커팅되는 경우에 솔더볼(52)의 절단부(53)의 절단면이 인쇄회로기판(51)의 표면과 동일면 상에 이루어지도록 하기 위함이다.The reason why the
예를 들면, 상기 솔더볼(52)의 크기가 커지면 기준면 A가 일정하기 때문에 기준면 B의 위치가 낮아지고, 이로 인해 기준면 B가 커터(43)의 저면보다 더 낮아져서 커터(43)에 의해 절단되는 솔더볼(52)의 절단부(53)가 솔더볼(52)이 부착된 인쇄회로기판(51)의 표면보다 더 돌출되어 솔더볼(52)의 절단부(53)에 의해 인쇄회로기판(51)의 표면에 굴곡이 발생한다.For example, when the size of the
따라서, 상기 솔더볼(52)의 크기가 커진 경우에는 솔더볼(52)의 크기가 커진만큼 두께가 얇은 스페이서(28)를 사용하여, 기준면 B를 상방향으로 이동시켜 전후방향으로 이동하는 커터(43)의 저면에 일치시킴으로써, 커터(43)에 의해 커팅된 솔더볼(52)의 절단부(53)의 절단면이 인쇄회로기판(51)의 표면과 동일한 평면을 이루게 한다.Therefore, when the size of the
이와 같이 솔더볼(52)의 크기에 맞게 적절한 두께를 갖는 스페이서(28)를 교환 및 사용하여 기준면 B를 커터(43)의 저면에 일치시킨 다음, 조작핸들(10)을 시계방향으로 회전시킨다.In this way, the
상기 조작핸들(10)을 회전시키면, 조작핸들(10)의 후단부에 힌지결합된 회전축(26)이 회전하면서 회전원판(24)이 시계방향으로 조작핸들(10)의 회전각도와 동일한 각도로 회전한다.When the manipulation handle 10 is rotated, the rotating
동시에, 회전원판(24)의 가장자리부의 일측에 힌지결합된 커넥팅로드(44)의 후단부가 원운동을 하면서 커넥팅로드(44)의 전단부는 앞쪽으로 직진운동을 하고, 커넥팅로드(44)에 의해 변환된 직진운동에 의해 슬라이드판(27)이 전진 이동된다.At the same time, while the rear end of the connecting
이때, 상기 슬라이드판(27)의 저면에 장착된 커터(43)가 솔더볼(52)이 정렬된 기준면 B를 따라 앞쪽으로 이동하면서 솔더볼(52)의 하단부를 커팅함으로써, 도 1에 도시한 바와 같이 솔더볼(52)의 절단부(53)의 절단면이 인쇄회로기판(51)의 표면과 동일한 평면을 이루게 된다.At this time, the
따라서, 본 발명에 따른 솔더볼 제거장치에 의하면, 조작핸들(10)을 전후방향으로 회전시키기만 하면 커터(43)에 의해 솔더볼(52)을 용이하게 제거할 수 있다.Therefore, according to the solder ball removing device according to the present invention, the
다시말해서, 조작핸들(10)을 후방향으로 회전시키면, 조작핸들(10)의 회전운동이 커넥팅로드(44)에 의해 직진운동으로 변환되어 슬라이드판(27)에 전달되고, 이 힘에 의해 커터(43)가 인쇄회로기판(51)의 표면을 따라 밀착이동하면서 인쇄회로기판(51)에 부착된 솔더볼(52)을 제거할 수 있다.In other words, when the operation handle 10 is rotated in the rearward direction, the rotational movement of the operation handle 10 is converted into a straight motion by the connecting
또한, 상기 스페이서(28)를 이용하여 가압판(30)을 슬라이드판(27)의 저면(항상 일정한 기준면 A)과 상하방향으로 일정한 간격을 유지하여 수평상태를 유지하고, 솔더볼(52)의 크기에 맞게 스페이서(28)를 교환하여 솔더볼(52)이 부착된 인쇄회로기판(51)의 표면(솔더볼(52)의 크기에 따라 가변되는 기준면 B)을 커터(43)의 저면과 일치시킴으로써, 커터(43)에 의해 커팅된 솔더볼(52)의 절단면이 인쇄회로기판(51)의 표면과 동일한 평면을 이루어 추후 워피지 측정시 균일한 측정값을 얻을 수 있어서 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, by using the
그리고, 코일스프링(35)에 의해 받침판(33)을 탄성지지하고, 상기 받침판(33)의 상면에 안착된 반도체패키지(50)의 솔더볼(52)을 가압판(30)으로 가압함으로써, 솔더볼(52)이 코일스프링(35)의 탄성력에 의해 수평하게 배치된 가압판(30)에 밀착 및 정렬되어 커터(43)에 의해 솔더볼(52)을 용이하게 커팅할 수 있다.
Then, the
10 : 조작핸들 11 : 상부프레임
12 : 측면바 13 : 고정가이드레일
14 : 베어링간격유지판 15 : 볼베어링
16 : 이동가이드레일 17 : 전후이동프레임
18 : 고정판 19 : 보강바
20 : 힌지브라켓 21 : 손잡이부
22 : 회전축지지판 23 : 힌지축
24 : 회전원판 25 : 로드수용홈
26 : 회전축 27 : 슬라이드판
28 : 스페이서 29 : 커팅블록
30 : 가압판 31 : 하부지지프레임
32 : 삽입부 33 : 받침판
34 : 지지바 35 : 코일스프링
36 : 지지블록 37 : 가이드홀
38 : 제2체결홀 39 : 하부지지대
40 : 안착부 41 : 제1체결홀
42 : 칩저장통 43 : 커터
44 : 커넥팅로드 50 : 반도체패키지
51 : 인쇄회로기판 52 : 솔더볼
53 : 절단부10: operation handle 11: upper frame
12: side bar 13: fixed guide rail
14: bearing spacing plate 15: ball bearing
16: moving guide rail 17: front and rear moving frame
18: fixing plate 19: reinforcing bar
20: hinge bracket 21: handle portion
22: rotating shaft support plate 23: hinge shaft
24: rotating disc 25: rod receiving groove
26: axis of rotation 27: slide plate
28: spacer 29: cutting block
30: pressure plate 31: lower support frame
32: insertion portion 33: support plate
34: support bar 35: coil spring
36: support block 37: guide hole
38: second fastening hole 39: lower support
40: seating portion 41: the first fastening hole
42: chip storage 43: cutter
44: connecting rod 50: semiconductor package
51: printed circuit board 52: solder ball
53: cutting part
Claims (9)
상기 조작핸들(10)의 후단부에 힌지결합된 힌지축(23)을 통해 회전구동력을 전달받아 회전하는 회전원판(24);
상기 회전원판(24)의 가장자리부의 일측에 힌지결합되어 조작핸들(10)의 회전운동을 직선운동으로 변환하는 커넥팅로드(44);
상기 커넥팅로드(44)의 전단부에 힌지결합되어 전후방향으로 이동가능하게 장착된 슬라이드판(27);
반도체패키지(50)가 로딩되는 받침판(33);
상기 슬라이드판(27)의 저면에 장착되어, 솔더볼(52)이 부착된 반도체패키지(50)의 표면을 따라 이동하면서 상기 받침판(33)에 로딩된 반도체패키지(50)의 솔더볼(52)을 커팅하는 커터(43);
를 포함하며,
상기 받침판(33)의 저면에 장착되어, 받침판(33)을 상하방향으로 이동가능하게 탄성지지하는 코일스프링(35);
상기 슬라이드판(27)의 저면에 장착되어, 상기 받침판(33)의 상면에 로딩된 반도체패키지(50)의 솔더볼(52)을 아래로 가압하는 가압판(30);
을 더 포함하고,
상기 커터(43)는 코일스프링(35)의 탄성력에 의해 가압판(30)의 저면에 밀착된 솔더볼(52)을 커팅하는 것을 특징으로 하는 반도체패키지의 솔더볼 제거장치.
An operation handle 10 which generates a rotational driving force by a rotation operation;
A rotating disc 24 which rotates by receiving a rotation driving force through a hinge shaft 23 hinged to a rear end of the manipulation handle 10;
A connecting rod 44 hinged to one side of an edge of the rotating disc 24 to convert a rotational movement of the manipulation handle 10 into a linear movement;
A slide plate (27) hinged to the front end of the connecting rod (44) and movably mounted in the front and rear directions;
A support plate 33 on which the semiconductor package 50 is loaded;
The solder ball 52 of the semiconductor package 50 loaded on the support plate 33 is cut while being mounted on the bottom surface of the slide plate 27 and moving along the surface of the semiconductor package 50 to which the solder ball 52 is attached. A cutter 43;
Including;
A coil spring 35 mounted on a bottom surface of the support plate 33 to elastically support the support plate 33 in a vertical direction;
A pressing plate 30 mounted on the bottom surface of the slide plate 27 to press down the solder balls 52 of the semiconductor package 50 loaded on the upper surface of the support plate 33;
More,
The cutter 43 is a solder ball removal device of a semiconductor package, characterized in that for cutting the solder ball 52 in close contact with the bottom surface of the pressure plate 30 by the elastic force of the coil spring (35).
The support plate of claim 2, further comprising a spacer 28 mounted between the slide plate 27 and the pressure plate 30, and replacing the spacer 28 having a corresponding thickness to match the size of the solder ball 52. By adjusting the height of the 33, the cut portion 53 of the solder ball 52 cut by the cutter 43 by matching the surface of the semiconductor package 50 with the solder ball 52 to the bottom surface of the cutter 43. The solder ball removing device of the semiconductor package, characterized in that the cut surface of the) is made on the same surface as the surface of the semiconductor package (50).
The solder ball of the semiconductor package of claim 2, wherein the cutter 43 is disposed on the same plane as the surface of the semiconductor package 50 to which the solder balls 52 are attached, and cuts the lower end of the solder ball 52. Removal device.
3. The method of claim 2, further comprising a lower support frame 31 having an insertion portion 32 in the center to surround the edge of the support plate 33 to fix the semiconductor package 50 loaded on the support plate 33. Solder ball removal device for semiconductor packages.
The solder ball removal apparatus of claim 2, further comprising a lower support (39) having a support block (36) mounted therein to fix the support plate (33) to a predetermined height.
7. The solder ball removing apparatus of claim 6, further comprising a chip storage container (42) disposed under the support block to store solder balls (52) cut by the cutter (43).
상기 상부프레임(11)의 양측면에 장착된 고정가이드레일(13); 및
상기 고정가이드레일(13)을 따라 전후방향으로 이동가능하게 장착되고, 저면에 슬라이드판(27)이 장착된 전후이동프레임(17);
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체패키지의 솔더볼 제거장치.
According to claim 6, The rear end is coupled to the rear end of the lower support (39) in the hinge structure, rotatable in the vertical direction upper frame (11);
Fixed guide rails 13 mounted on both sides of the upper frame 11; And
A front and rear movement frame 17 mounted to the front and rear directions along the fixed guide rail 13 and having a slide plate 27 mounted on a bottom thereof;
Solder ball removal device of a semiconductor package, characterized in that it further comprises.
4. The solder ball removing apparatus of claim 3, wherein a permanent magnet is mounted on the spacer and detachable on a bottom surface of the slide plate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100048304A KR101131445B1 (en) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | Apparatus for removing of solder ball on semiconductor package |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100048304A KR101131445B1 (en) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | Apparatus for removing of solder ball on semiconductor package |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20110128695A KR20110128695A (en) | 2011-11-30 |
KR101131445B1 true KR101131445B1 (en) | 2012-03-29 |
Family
ID=45396837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100048304A KR101131445B1 (en) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | Apparatus for removing of solder ball on semiconductor package |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101131445B1 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110567774A (en) * | 2019-09-25 | 2019-12-13 | 紫光宏茂微电子(上海)有限公司 | preprocessing device for chip detection |
KR102437081B1 (en) * | 2020-11-06 | 2022-08-30 | (주)피코셈 | Method for removing solder ball of semiconductor package |
KR20220133377A (en) * | 2021-03-24 | 2022-10-05 | 삼성전자주식회사 | Apparatus of manufacturing semiconductor |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200145798Y1 (en) | 1996-06-22 | 1999-06-15 | 김영환 | Punching apparatus of lead frame |
US20010041516A1 (en) | 1999-08-09 | 2001-11-15 | Hembree David R. | Apparatus and methods for substantial planarization of solder bumps |
US20030013286A1 (en) | 2001-07-12 | 2003-01-16 | Ponnusamy Palanisamy | Making interconnections to a non-flat surface |
-
2010
- 2010-05-24 KR KR1020100048304A patent/KR101131445B1/en active IP Right Grant
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US20030013286A1 (en) | 2001-07-12 | 2003-01-16 | Ponnusamy Palanisamy | Making interconnections to a non-flat surface |
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110128695A (en) | 2011-11-30 |
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