KR101002948B1 - Portable and stand alone usable multi-gas monitoring system - Google Patents

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KR101002948B1
KR101002948B1 KR1020100051278A KR20100051278A KR101002948B1 KR 101002948 B1 KR101002948 B1 KR 101002948B1 KR 1020100051278 A KR1020100051278 A KR 1020100051278A KR 20100051278 A KR20100051278 A KR 20100051278A KR 101002948 B1 KR101002948 B1 KR 101002948B1
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유승교
이응선
이창호
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주식회사 위드텍
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Abstract

PURPOSE: A combined portable and mount type multi-gas monitoring system is provided to achieve two kinds of usages by employing a detachable gas analyzer module. CONSTITUTION: A combined portable and mount type multi-gas monitoring system comprises a multi sampling port, a gas analyzer module, and a main control unit(280) and analyzes components of sampling gas in work environments of processes. A gas analyzer module(100) for component analysis of sampling gas is removably provided and separated to analyze the components of sampling gas individually. The gas analyzer module includes a gas analysis sensor(122), a controller, a pump(123), a flow rate controller(124), and an interface(115).

Description

포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템{Portable and stand alone usable multi-gas monitoring system} Portable and stand alone usable multi-gas monitoring system

본 발명은 작업 환경의 실내 가스 분석을 통해 작업 공정의 오염물질 농도를 관리하기 위한 다중 가스 모니터링 시스템에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는 가스분석모듈을 탈착할 수 있도록 구성하여 거치형과 포터블 겸용으로 사용할 수 있게 함으로써 별도의 사전 교정 없이도 간편하게 장소를 이동하여 정밀하게 측정할 수 있도록 한 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to a multi-gas monitoring system for managing the pollutant concentration of the work process through the indoor gas analysis of the working environment, more specifically, it can be used as a stationary and portable by configuring to detachable gas analysis module The present invention relates to a portable and stationary multi-gas monitoring system that allows users to easily move from place to place and make precise measurements without any prior calibration.

반도체, 디스플레이, LED 및 전자 산업 등의 핵심 공정에는 매우 다양한 유해성 가스들을 필수적으로 사용하고 있으며, 이러한 유해성 가스들로는 불소계, 염소계, 브롬계, 질산계, 황산계와 같은 산성가스와 암모니아, 아민류와 같은 염기성 가스 및 유기성 화합물 등이 있다.
Core processes in the semiconductor, display, LED and electronics industries use a wide variety of hazardous gases, which are acidic gases such as fluorine, chlorine, bromine, nitrate and sulfuric acid, as well as ammonia and amines. Basic gases, organic compounds and the like.

일반적으로 이들의 성질은 유독하고 산화력이 매우 강하여 제품의 패턴 이상이나 표면의 과산화 등을 유발하며 제품의 불량을 일으킨다. 특히, 대기 중의 암모니아는 포토레지스터 변형과 광학 현미경의 백탁 현상 등으로 반도체 생산 수율과 밀접한 관계를 지니고 있어 지속적인 모니터링과 관리가 요구되고 있다.
In general, their properties are toxic and very oxidative, causing abnormalities in the pattern of the product or peroxidation of the surface and causing product defects. In particular, ammonia in the air has a close relationship with the semiconductor production yield due to photoresistor deformation and optical microscopic clouding, which requires continuous monitoring and management.

통상 반도체, LCD 제조와 같은 산업현장에서 제품을 생산할 때는 수십 단계의 공정을 거치는 것이 일반적인바, 정밀도 높은 관리를 위해서는 공정마다 오염물질의 농도를 관리해야 하는 문제가 있어 멀티 포트 샘플링 기능을 보유한 모니터링 시스템을 채용하는 것이 필수적이다.
In general, when manufacturing products in industrial sites such as semiconductor and LCD manufacturing, it is common to go through several tens of steps. For high precision management, the concentration of pollutants must be managed for each process. It is essential to employ.

도 1에 종래의 복수 공정의 가스 모니터링 시스템으로 멀티 포트 샘플링 기능을 보유한 모니터링 시스템을 간략하게 도시하였다.
FIG. 1 briefly illustrates a monitoring system having a multi-port sampling function as a conventional multi-process gas monitoring system.

각 공정마다에 포설된 샘플링 튜브들이 샘플링 포트(1)의 도입 경로(2)에 연결되어 가스분석모듈(5)로 샘플링 가스가 유입되고, 가스분석모듈(5)에는 복수의 가스센서가 구비되어 다양한 유해성 가스들의 유무 및 농도가 검출된다. 가스센서로는 PID 센서, 반도체 센서, 전기화학센서, 광학센서, 촉매식 센서, 고체전해질식 센서, 및 핫-와이어 등이 있으며 목적에 따라 적절한 센서가 채택되어 사용될 수 있다. 상기 센서 중 PID 센서(photoionization detector)는 유기성 화합물인 TVOC(총휘발성 유기화합물) 등 측정에 사용되며, HF, HCl 등의 검출에는 전기화학적 센서 방식이 많이 활용되고 있다.
Sampling tubes installed in each process are connected to the introduction path 2 of the sampling port 1 so that the sampling gas flows into the gas analysis module 5, and the gas analysis module 5 includes a plurality of gas sensors. The presence and concentration of various noxious gases are detected. Gas sensors include a PID sensor, a semiconductor sensor, an electrochemical sensor, an optical sensor, a catalytic sensor, a solid electrolyte sensor, and a hot-wire, and an appropriate sensor may be adopted according to the purpose. Among the sensors, a PID sensor (photoionization detector) is used to measure an organic compound, such as TVOC (total volatile organic compound), and an electrochemical sensor method is widely used to detect HF and HCl.

한편, 통상 고정식으로 구비되는 가스분석모듈(5)에는 별도의 가스 운송용 펌프(4)가 구비되어 적정한 가스 압력구배를 형성하며 유량조절기(6)도 구비되어 측정에 필요한 유량으로 조절한다. 분석된 샘플링 가스는 밸브를 거쳐 배기 경로(7)를 통해 외부로 배출되거나 정화 절차(미도시)에 따라 처리된다.
On the other hand, the gas analysis module (5), which is usually provided in a fixed manner is provided with a separate gas transport pump (4) to form an appropriate gas pressure gradient, and also provided with a flow regulator (6) to adjust the flow rate required for the measurement. The analyzed sampling gas is discharged to the outside via the exhaust path 7 via a valve or treated according to a purification procedure (not shown).

PID 센서(3)에 의해 검출된 측정 데이터들은 가스분석모듈(5)에 추가로 구비되는 콘트롤러(8)에 전달되어 분석되고 필요한 경우 데이터 저장부(9)에 저장되며, 사용자의 요청에 따라 디스플레이부(10)로 가공되어 표시된다. 상기 콘트롤러(8)는 PID 센서(3)에 필요한 전력을 공급하거나 제어하고 펌프(4) 및 유량조절기(6)를 운전 조건으로 적절하게 제어하는 역할도 담당한다.
The measured data detected by the PID sensor 3 is transmitted to the controller 8 additionally provided in the gas analysis module 5, analyzed and stored in the data storage unit 9 if necessary, and displayed according to the user's request. The part 10 is processed and displayed. The controller 8 is also responsible for supplying or controlling the power required for the PID sensor 3 and for appropriately controlling the pump 4 and the flow regulator 6 under operating conditions.

상기 PID 센서(3)는 다양한 가스 시료를 우수한 감도로 분석할 수 있는 신뢰성 높은 측정 기술로, 대상 가스 시료에 분석하고자 하는 물질에 해당하는 이온화 에너지 이상의 에너지를 보유한 자외선을 조사함으로써 시료를 광이온화 시키고, 이 때 생성된 이온들이 전극에 수집되어 발생하는 전류를 측정하여 분석함으로써 시료의 정량 분석이 가능하게 하는 기술이다.
The PID sensor 3 is a highly reliable measurement technology capable of analyzing various gas samples with excellent sensitivity, and photo-ionizes the sample by irradiating ultraviolet rays having energy above the ionization energy corresponding to the material to be analyzed to the target gas sample. In this case, the ions generated at this time are collected and collected on the electrode to measure and analyze the current, thereby enabling quantitative analysis of the sample.

PID 센서(3)에 이용되는 자외선 램프로는 제논(Xe), 크립톤(Kr), 아르곤(Ar) 등이 있고, 각 램프는 9.2eV(제논 램프), 10.8eV(크립톤 램프), 11.7eV(아르곤 램프) 영역의 일정한 에너지를 방출하는바, 대상 화합물에 따라 자외선 램프를 교체 조사하여 제한적인 분석을 수행할 수 있다.
Ultraviolet lamps used in the PID sensor 3 include xenon (Xe), krypton (Kr), argon (Ar), and the like, and each lamp includes 9.2 eV (xenon lamp), 10.8 eV (krypton lamp), and 11.7 eV ( The Argon lamp emits a constant energy in the region, and according to the target compound, a limited analysis may be performed by alternately irradiating an ultraviolet lamp.

그러나 종래의 멀티 포트 샘플링 기능을 보유한 가스 모니터링 시스템은 고정식으로서 샘플링 포트(1)가 설치된 곳만을 국부적으로 측정하기 때문에 작업 환경을 시의적절하게 관리하는데 한계를 지닌다. 일례로 상기 종래의 가스 모니터링 시스템이 고정 설치된 측정 지역이 아닌 다른 곳에서 고농도 사고가 발생된 경우, 설비를 이동하여 오염된 지역을 지속적으로 모니터링 할 필요가 있는데, 설비 크기와 무게의 과다로 인해 이동이 어렵고, 설사 이동이 가능하더라도 연결된 샘플링 포트(1)를 제거하고 여러 가지 유틸리티 등을 모두 제거한 후 이동하여야 하기 때문에 많은 시간이 소요되어 현실적으로 타당성이 떨어진다.
However, the conventional gas monitoring system having a multi-port sampling function has a limitation in timely management of the working environment because it is fixed and locally measures only where the sampling port 1 is installed. For example, when a high concentration accident occurs in a place other than the measurement area in which the conventional gas monitoring system is fixed, it is necessary to continuously monitor the contaminated area by moving the facility, which is caused by the excessive size and weight of the facility. Even if this difficult and diarrhea movement is possible, it requires a lot of time since the connected sampling port 1 must be removed and all the various utilities are removed.

이에 따라 별도로 포터블 측정기를 동원하여 설비를 장시간에 걸쳐 안정화 시킨 후 측정하고 있는 실정이나, 이 경우에도 2개의 서로 다른 측정 장비(고정식 가스 모니터링 시스템 및 포터블 측정기)를 이용하는 것이기 때문에 측정 장비 간의 상관성 등을 고려한 정확한 모니터링이 쉽지 않고, 서로 다른 측정 장비간의 데이터를 동일하게 유지하는 것도 문제가 되어 왔다.
As a result, it is possible to stabilize the equipment for a long time by mobilizing a portable measuring instrument separately, but in this case, two different measuring equipments (fixed gas monitoring system and portable measuring instrument) are used. Accurate monitoring is not easy, and keeping the same data between different measuring instruments has been a problem.

그래서 현재까지 산업 현장의 유해성 가스 농도 관리 시스템은 별도의 거치형 모니터링 시스템을 이용하고 고농도 사고가 발생하는 경우에는 포터블 설비를 이용하여 이벤트 관리를 하거나 산업 환경의 간헐적 측정을 통해 상대적인 가스 농도 변화 추이만을 관찰하고 있는 실정이다.
Thus, up to now, the hazardous gas concentration management system of industrial sites uses a separate stationary monitoring system and, in case of high concentration accidents, manages events using portable facilities or observes only relative gas concentration changes through intermittent measurement of the industrial environment. I'm doing it.

또한, 종래의 가스 모니터링 시스템은 흡착성이 매우 강한 유독성 및 유기성 오염물질(예, PGME, PGMEA)이 사용되는 공정에 배치되어 가스를 분석하는 것이 일반적인바, 통상적인 PID 센서(3)를 이용할 때 PID 센서(3)의 렌즈에 헤이즈가 쉽게 발생하여 감도에 변화가 생기고, 확산에 의해 PID 센서(3)의 측정부로 유입되는 가스가 멤브레인의 농도 잔류효과(통상 '메모리 효과'라 칭함)를 일으켜 감응속도를 떨어트리는 문제도 있다. 상기 메모리 효과는 모니터링 시스템의 응답성을 저해해 농도가 큰 지역을 연속해서 측정하거나 농도가 급격히 변화하는 공정을 모니터링 하는 경우에 문제점으로 작용한다.
In addition, conventional gas monitoring systems are generally disposed in a process where highly toxic and organic contaminants (eg, PGME, PGMEA) are used to analyze gas, and when using a conventional PID sensor 3, Haze easily occurs on the lens of the sensor 3, causing a change in sensitivity, and the gas flowing into the measuring unit of the PID sensor 3 by diffusion causes the residual concentration effect (commonly referred to as a "memory effect") of the membrane. There is also the problem of slowing down. The memory effect impairs the responsiveness of the monitoring system, which is a problem when continuously measuring a large concentration area or monitoring a process in which the concentration changes rapidly.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 가스분석모듈을 탈착할 수 있도록 구성하여 거치형과 포터블 겸용으로 사용할 수 있게 함으로써 별도의 사전 교정 없이도 간편하게 장소를 이동하여 정밀하게 측정할 수 있도록 한 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
The present invention is to solve the problems as described above, by configuring the removable gas analysis module to be used as a portable and portable, so that you can easily move the place without a separate pre-calibration to accurately measure It is to provide a multi-gas monitoring system that combines a stationary and a stationary system.

본 발명은 또한 샘플링 가스의 연결계통의 온도를 조절할 수 있도록 함으로써 오염물질이 측정 부품 표면에 흡착되는 것을 최대한 억제할 수 있도록 한 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
It is another object of the present invention to provide a portable and stationary multi-gas monitoring system capable of controlling the temperature of the connection system of the sampling gas so as to suppress the adsorption of contaminants on the surface of the measurement component as much as possible.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 멀티샘플링포트(210)와 가스분석모듈(100) 및 주제어장치(280)를 구비하고 복수 공정의 작업환경 중 샘플링 가스의 성분 분석을 행하는 다중 가스 모니터링 시스템(50)에 있어서, 샘플링 가스의 성분 분석을 위한 가스분석모듈(100)이 탈착식으로 구비되어 필요에 따라 분리하여 가스분석모듈(100) 독자적으로 샘플링 가스의 성분 분석이 가능한 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템을 제공한다.
In order to achieve the above object, the present invention includes a multi-sampling port 210, a gas analysis module 100, and a main control unit 280, and a multi-gas monitoring system for performing component analysis of sampling gas in a work environment of a plurality of processes ( 50) The portable and stationary type is characterized in that the gas analysis module 100 for component analysis of the sampling gas is detachably provided and separated as necessary to allow the gas analysis module 100 to independently analyze the component of the sampling gas. Provides multiple gas monitoring systems.

여기서, 상기 가스분석모듈(100)은 독자적인 분석이 가능하기 위해 성분 가스 분석센서(122) 외에 콘트롤러(111), 펌프(123), 유량조절기(124) 및 인터페이스(115)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
In this case, the gas analysis module 100 may further include a controller 111, a pump 123, a flow controller 124, and an interface 115 in addition to the component gas analysis sensor 122 in order to enable independent analysis. Do.

이에 더해, 상기 가스분석모듈(100)에는 콘트롤러(111)와 연결되는 것으로 파워(113), 디스플레이(114) 또는 데이터저장부(116) 중 어느 하나 또는 2개 이상이 더 포함되는 것이 바람직하다.
In addition, the gas analysis module 100 may be connected to the controller 111 and further include any one or two or more of the power 113, the display 114, and the data storage unit 116.

또한, 상기 가스분석모듈(100)에는 상기 가스 모니터링 시스템 상의 제1경로연결부재(250)와 협동하여 샘플링 가스가 유입되는 경로를 선택적으로 단속하는 제2경로연결부재(121)가 구비되어 상기 가스분석모듈(100)의 탈착이 용이하게 되는 것이 바람직하다.
In addition, the gas analysis module 100 is provided with a second path connecting member 121 for selectively controlling a path through which sampling gas flows in cooperation with the first path connecting member 250 on the gas monitoring system. Desorption of the analysis module 100 is preferably easy.

또한, 상기 가스분석모듈(100)에는 상기 가스 모니터링 시스템 상의 제1통신라인연결부재(287)와 협동하여 가스분석모듈(100)과 주제어장치(280)가 전기통신적으로 연결되는 통신라인(289)을 선택적으로 단속하는 제2통신라인연결부재(117)가 구비되어 상기 가스분석모듈(100)의 탈착이 용이하게 되는 것이 유리하다.
In addition, the gas analysis module 100 has a communication line 289 in which the gas analysis module 100 and the main controller 280 are electrically connected in cooperation with the first communication line connecting member 287 on the gas monitoring system. It is advantageous that the second communication line connecting member 117 to selectively control the () is provided to facilitate the removal of the gas analysis module 100.

또한, 상기 가스분석모듈(100)에는 이동 용이성을 확보하기 위한 손잡이(127)이 더 포함된 것이 유리하다.
In addition, the gas analysis module 100 is advantageously further included a handle 127 to ensure the ease of movement.

또한, 상기 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 샘플링 가스 경로(211, 212, 213, 214, 215) 중에는 메인펌프(230)가 구비되어 샘플링 가스의 이동을 위한 압력 구배를 제공하는 것이 바람직하다.
In addition, in the sampling gas paths 211, 212, 213, 214, and 215 of the multi-gas monitoring system 50, the main pump 230 may be provided to provide a pressure gradient for movement of the sampling gas.

또한, 상기 가스분석모듈(100)의 샘플링 가스가 유입되는 경로(214)로서 가스분석모듈(100)의 직전단에는 샘플링 가스가 가스분석모듈(100) 방향으로만 흐르도록 제어하는 역류방지커넥터(240)가 더 포함되는 것이 바람직하다.
In addition, a reverse flow prevention connector controlling the sampling gas to flow only in the direction of the gas analysis module 100 at the immediately preceding end of the gas analysis module 100 as a path 214 through which the sampling gas of the gas analysis module 100 flows. 240 is preferably further included.

또한, 상기 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 샘플링 가스 경로(211, 212, 213, 214, 215) 중에는 샘플링 가스를 외부로 방출할 수 있는 배기경로(270)와 배기밸브(260)가 더 포함되는 것이 유리하다.
In addition, the sampling gas paths 211, 212, 213, 214, and 215 of the multiple gas monitoring system 50 further include an exhaust path 270 and an exhaust valve 260 capable of releasing sampling gas to the outside. It is advantageous.

또한, 상기 주제어장치(280)는 다중 가스 모니터링 시스템을 구성하는 각 구성품을 제어하고 탈착식으로 포함되는 상기 가스분석모듈(100)과 연결되어 상호 통신을 통해 제어하는 메인콘트롤러(281) 및 메인인터페이스(285)를 더 포함하는 것이 유리하다.
In addition, the main control unit 280 is connected to the gas analysis module 100 that controls each component constituting the multi-gas monitoring system and detachably included, the main controller 281 and the main interface (2) to control through mutual communication ( It is advantageous to further include 285).

이에 더해, 상기 주제어장치(280)는 메인콘트롤러(281)와 연결되는 것으로 메인파워(283), 메인디스플레이(284) 또는 메인데이터저장부(286) 중 어느 하나 또는 2개 이상이 더 포함되는 것이 더욱 유리하다.
In addition, the main controller 280 is connected to the main controller 281, and any one or two or more of the main power 283, the main display 284, or the main data storage unit 286 is further included. More advantageous.

또한, 상기 주제어장치(280)에는 무선통신부(288)가 더 포함되는 것이 바람직하다.
In addition, the main controller 280 preferably further includes a wireless communication unit 288.

또한, 상기 다중 가스 모니터링 시스템(50)에는 퍼지장치(220)가 더 포함되는 것이 바람직하다.
In addition, the multi-gas monitoring system 50 may further include a purge device 220.

이에 더해, 상기 퍼지장치(220)는 불활성 가스를 저장하는 가스용기(221) 및 압력제어밸브(222)를 포함하는 것이 더욱 바람직하다.
In addition, the purge device 220 may further include a gas container 221 and a pressure control valve 222 for storing an inert gas.

또한, 상기 퍼지장치(220)는 제로필터(223)를 더 포함하는 것이 유리하다.
In addition, the purge device 220 may further include a zero filter 223.

본 발명의 또 다른 측면으로 전항에 기재된 다중 가스 모니터링 시스템(50)에 있어서, 상기 멀티샘플링포트(210)의 샘플링 가스가 지나는 포트경로(215)에는 주제어장치(280)에 연결되어 샘플링 가스의 온도를 조절하는 히팅블럭(310)이 더 포함되는 것이 바람직하다.
In another aspect of the present invention, in the multi-gas monitoring system 50 as described in the preceding paragraph, the port path 215 through which the sampling gas of the multi-sampling port 210 passes is connected to the main controller 280 and the temperature of the sampling gas. It is preferable that the heating block 310 to further control is included.

본 발명의 또 다른 측면으로 전항에 기재된 다중 가스 모니터링 시스템(50)에 있어서, 상기 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 샘플링 가스가 지나는 경로(212, 213)에는 주제어장치(280)에 연결되어 샘플링 가스의 온도를 조절하는 히팅블럭(320, 330)이 더 포함되는 것이 유리하다.
In another aspect of the present invention, in the multi-gas monitoring system 50 described in the preceding paragraph, the paths 212 and 213 through which the sampling gas of the multi-gas monitoring system 50 passes are connected to the main controller 280 and are connected to the sampling gas. It is advantageous to further include a heating block (320, 330) for controlling the temperature of.

본 발명의 또 다른 측면으로 전항에 기재된 다중 가스 모니터링 시스템(50)에 있어서, 상기 가스분석모듈(100)의 샘플링 가스 분석센서(122)에는 가스분석모듈(100)의 콘트롤러(111)와 연결되어 샘플링 가스의 온도를 조절하는 센서 히팅블럭(340)이 더 포함되는 것이 바람직하다.
In another aspect of the present invention in the multiple gas monitoring system 50 described in the preceding paragraph, the sampling gas analysis sensor 122 of the gas analysis module 100 is connected to the controller 111 of the gas analysis module 100 Preferably, the sensor heating block 340 for adjusting the temperature of the sampling gas is further included.

본 발명에서 제공하는 가스 모니터링 시스템은 가스분석모듈이 탈착할 수 있도록 구성되어 일정한 공정을 상시 모니터링하면서도 필요시 포터블로 설비 전환을 함으로써 하나의 측정기로 2가지의 용도를 구현할 수 있다는 장점이 있다.
Gas monitoring system provided in the present invention is configured to be detachable gas analysis module has the advantage that can implement two applications with a single measuring device by switching to a portable equipment if necessary while monitoring a certain process at any time.

또한, 본 발명에서 제공하는 가스 모니터링 시스템은 샘플링 가스의 연결계통의 온도를 조절할 수 있어 오염물질의 흡착이나 헤이즈 현상을 방지하고 분석 정확도가 향상되는 효과가 있다.
In addition, the gas monitoring system provided in the present invention can control the temperature of the sampling system connection system, thereby preventing the adsorption or haze of contaminants and improving the analysis accuracy.

도 1은 종래의 멀티 포트 샘플링 기능을 보유한 모니터링 시스템의 계통도
도 2는 본 발명의 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템의 계통도
도 3은 본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템의 이동형 가스분석모듈을 나타내는 계통도
도 4는 본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템의 이동형 가스분석모듈의 주제어장치를 나타내는 계통도
도 5는 본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템의 이동형 가스분석모듈의 제2실시예를 표시하기 위한 계통도
도 6은 본 발명의 제3실시예를 설명하기 위한 이동형 가스분석모듈의 PID 센서 개략도1 is a schematic diagram of a monitoring system having a conventional multi-port sampling function.
2 is a schematic diagram of a portable and stationary multiple gas monitoring system of the present invention.
Figure 3 is a schematic diagram showing a mobile gas analysis module of the multi-gas monitoring system of the present invention
Figure 4 is a schematic diagram showing the main controller of the mobile gas analysis module of the multi-gas monitoring system of the present invention.
5 is a schematic diagram for showing a second embodiment of the mobile gas analysis module of the multi-gas monitoring system of the present invention.
6 is a schematic diagram of a PID sensor of a mobile gas analysis module for explaining a third embodiment of the present invention.

본 발명의 구체적 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 자세히 설명한다. 도 2는 본 발명의 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템의 계통도이고, 도 3은 본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템의 이동형 가스분석모듈을 나타내는 계통도이며, 도 4는 본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템의 이동형 가스분석모듈의 주제어장치를 나타내는 계통도이다. 한편, 도 5는 본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템의 이동형 가스분석모듈의 제2실시예를 표시하기 위한 계통도이며, 도 6은 본 발명의 제3실시예를 설명하기 위한 이동형 가스분석모듈의 PID 센서 개략도이다. 종래 기술과 다르지 않은 부분으로서 발명의 기술적 사상을 이해하는데 필요하지 않은 사항은 설명에서 제외하나, 본 발명의 기술적 사상과 그 보호범위가 이에 제한되는 것은 아니다.
Specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 2 is a schematic diagram of a portable multi-gas monitoring system having a portable and stationary system of the present invention, FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a mobile gas analysis module of the multi-gas monitoring system of the present invention, and FIG. 4 is a diagram of the multi-gas monitoring system of the present invention. This is a system diagram showing the main controller of the mobile gas analysis module. On the other hand, Figure 5 is a schematic diagram for showing a second embodiment of the mobile gas analysis module of the multi-gas monitoring system of the present invention, Figure 6 is a PID sensor of the mobile gas analysis module for explaining a third embodiment of the present invention Schematic diagram. Matters that are not required to understand the technical spirit of the invention as parts that are not different from the prior art are excluded from the description, but the technical spirit and protection scope of the present invention are not limited thereto.

먼저 도 2, 도 3 및 도 4를 이용하여 본 발명의 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 제1실시예를 자세히 설명한다.
First, a first embodiment of a multi-gas monitoring system 50 having a portable and stationary type according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2, 3, and 4.

본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템(50)은 멀티샘플링포트(210)를 구비하고 가스 분석센서(122)를 이용하여 샘플링 가스의 성분 분석을 행하는 다중 가스 모니터링 시스템(50)에 있어서, 샘플링 가스의 성분 분석을 행하는 이동형 가스분석모듈(100)이 탈착이 가능하도록 구비되고 2중 콘트롤 방식의 시스템 구성과 제어를 할 수 있도록 되어 있어 멀티샘플링포트(210)를 이용한 모니터링을 하면서도 포터블로 활용될 수 있는 것이 특징이다.
In the multi-gas monitoring system 50 of the present invention, the multi-gas monitoring system 50 includes a multi-sampling port 210 and performs component analysis of the sampling gas using the gas analysis sensor 122. The mobile gas analysis module 100 for analyzing is provided to be detachable and is capable of dual control system configuration and control so that it can be utilized as a portable while monitoring using the multi-sampling port 210. It is characteristic.

본 발명의 탈착 가능한 이동형 가스분석모듈(100)은 자체로서 완전한 측정과 샘플링이 가능하도록 별도의 제어부(110)와 검출부(120)을 구비하여 전체 모니터링 시스템(50)에서 분리되더라도 스스로 데이터를 분석하고 처리할 수 있는 능력을 갖추고 있다. 또한, 상기 이동형 가스분석모듈(100)이 전체 모니터링 시스템(50)에 장착되는 경우에는 주제어장치(280)의 제어를 받아 거치형 모니터링 시스템(50)의 한 부분으로써의 역할을 수행한다.
The removable mobile gas analysis module 100 of the present invention has a separate control unit 110 and a detection unit 120 so as to enable complete measurement and sampling by itself, even if separated from the entire monitoring system 50, and analyzes data by itself. Has the ability to handle In addition, when the mobile gas analysis module 100 is mounted on the entire monitoring system 50, the mobile gas analysis module 100 serves as a part of the stationary monitoring system 50 under the control of the main controller 280.

도 2를 이용하여 본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 전체 구성을 좀 더 자세히 설명한다.
2, the overall configuration of the multiple gas monitoring system 50 of the present invention will be described in more detail.

본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템(50)은 여러 공정을 동시에 모니터링 할 수 있도록 멀티샘플링포트(210)를 포함한다. 멀티샘플링포트(210)는 여러 공정으로부터 연결되는 샘플링 튜브(미도시)로 이루어진 도입경로(211a~211g)들 중 일부만을 선택적으로 오픈시켜 해당 도입경로(211a~211g)로부터 유입되는 샘플링 가스를 선택적으로 가스분석모듈(100)에 안내하기 위한 장치로 당 기술분야에서 통상적으로 이용되는 다방향 밸브 형태이면 충분하다.
The multi-gas monitoring system 50 of the present invention includes a multi-sampling port 210 to monitor several processes at the same time. The multisampling port 210 selectively opens only a part of the introduction paths 211a to 211g, which are composed of sampling tubes (not shown) connected from various processes, to selectively select the sampling gas flowing from the introduction paths 211a to 211g. As a device for guiding the gas analysis module 100, a multi-directional valve type commonly used in the art is sufficient.

샘플링 튜브(미도시)가 연결되는 도입경로(211a~211g)는 연결부재(미도시)를 통해 포트경로(215a~215g)로 이어지고 포트경로(215a~215g)는 다시 연결경로(212)로 이어져 있다. 연결경로(212)의 일단에는 추후 자세히 설명될 메인펌프(230)가 연결되어 샘플링 가스에 압력 구배를 형성하여 원활하게 흐르도록 하며, 메인펌프(230)의 일단은 분배경로(213)가 연결되어 샘플링 가스가 각 이동형 가스분석모듈(100a~100c)로 나뉘어져 이동되도록 한다.
Introduction paths 211a to 211g to which sampling tubes (not shown) are connected lead to port paths 215a to 215g through connecting members (not shown), and port paths 215a to 215g again lead to connection paths 212. have. One end of the connection path 212 is connected to the main pump 230 to be described later in detail to form a pressure gradient in the sampling gas to flow smoothly, one end of the main pump 230 is connected to the distribution path 213 Sampling gas is divided into each mobile gas analysis module (100a ~ 100c) to be moved.

분배경로(213)에는 각 이동형 가스분석모듈(100a~100c)별로 추후 자세히 설명할 역류방지커넥터(240a~240c)가 구비되어 샘플링 가스가 역으로 흐르는 일이 없도록 방지된다.
The distribution path 213 is provided with backflow prevention connectors 240a to 240c which will be described later in detail for each mobile gas analysis module 100a to 100c to prevent the sampling gas from flowing backward.

각 역류방지커넥터(240a~240c)의 일단은 분석경로(214a~214c)로 이어지고 각 분석경로(214a~214c)의 말단에는 이동형 가스분석모듈(100a~100c)의 탈착을 가능하게 하는 제1경로연결부재(250a~250c)가 연결된다. 제1경로연결부재(250a~250c)는 이동형 가스분석모듈(100)의 샘플링 가스 인입 부분에 구비되는 제2경로연결부재(121, 도 3 참조)와 합동하여 탈착이 원활하게 이루어지도록 구성된다.
One end of each of the backflow prevention connectors 240a to 240c leads to the analysis paths 214a to 214c, and a first path that allows the removable gas analysis module 100a to 100c to be detached at the end of each of the analysis paths 214a to 214c. The connecting members 250a to 250c are connected. The first path connecting members 250a to 250c are configured to be combined with the second path connecting member 121 (refer to FIG. 3) provided at the sampling gas inlet portion of the mobile gas analysis module 100 so as to be easily detached.

다음으로 도 3을 이용하여 본 발명의 이동형 가스분석모듈(100)의 세부 구성을 자세히 설명한다.
Next, a detailed configuration of the mobile gas analysis module 100 of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 3.

본 발명의 이동형 가스분석모듈(100)은 전체 모니터링 시스템(50)에서 분리하여 옮겨 다니며 가스 분석이 가능하도록 이동용 손잡이(127)를 구비하고 이동에 적합한 정도의 크기와 무게를 갖도록 구성된다. 또한, 가스분석모듈(100)의 케이스(128)는 이동 중 내부 부품이 손상되지 않을 정도의 강도로 그 표면은 미려하게 형성되어 독자적인 분석 장비로서 손색이 없다.
The mobile gas analysis module 100 of the present invention is configured to have a size and weight suitable for movement, having a handle 127 for movement so that gas analysis can be carried out separately from the entire monitoring system 50. In addition, the case 128 of the gas analysis module 100 has a strength that the internal parts are not damaged during movement, and its surface is beautifully formed, which is inferior as an independent analysis equipment.

본 발명의 가스분석모듈(100)은 스스로 데이터를 분석하고 처리할 수 있도록 하기 위해 가스분석모듈(100)별로 검출부(120) 뿐만 아니라 제어부(110)도 구비한다. 검출부(120)는 공지의 가스 분석센서(122)를 포함하는데 가스 분석센서(122)에 분석경로(214)로부터 유입되는 샘플링 가스를 운전 유량으로 유입시키기 위한 별도의 펌프(123)와 유량조절기(124)도 같이 구비된다. 상기 펌프(123)와 유량조절기(124)는 제어부(110)의 콘트롤러(111)에 전기적으로 연결되어 제어된다. 가스 분석센서(122), 펌프(123), 유량조절기(124)로 이어지는 경로의 끝에는 분석된 샘플링 가스가 외부로 배출되는 배기밸브(125)와 배기경로(126)가 배치된다. 한편 유량조절기(124)는 제어부의 콘트롤러에 전기적으로 연결되어 제어될 수 있으며, 니들 밸브, 오리피스, 볼유량계 등으로 사용할 수도 있다.
The gas analysis module 100 of the present invention includes a control unit 110 as well as a detection unit 120 for each gas analysis module 100 so as to analyze and process data on its own. The detection unit 120 includes a well-known gas analysis sensor 122. A separate pump 123 and a flow controller for introducing a sampling gas introduced from the analysis path 214 into the operation flow rate into the gas analysis sensor 122 ( 124 is also provided. The pump 123 and the flow regulator 124 are electrically connected to and controlled by the controller 111 of the controller 110. At the end of the path leading to the gas analysis sensor 122, the pump 123, and the flow regulator 124, an exhaust valve 125 and an exhaust path 126 are disposed to discharge the analyzed sampling gas to the outside. Meanwhile, the flow controller 124 may be electrically connected to and controlled by the controller of the controller, and may be used as a needle valve, an orifice, a ball flow meter, or the like.

여기서 가스 분석을 위한 가스센서로서는 PID 센서, 반도체 센서, 전기화학 센서, 광학센서, 촉매식 센서, 고체 전해질식 센서, 핫-와이어 센서가 선택적으로 사용될 수 있음은 통상의 기술자에 있어 자명하다.
It will be apparent to those skilled in the art that a gas sensor for gas analysis may be selectively used as a PID sensor, a semiconductor sensor, an electrochemical sensor, an optical sensor, a catalytic sensor, a solid electrolyte sensor, and a hot-wire sensor.

이동형 가스분석모듈(100)의 케이스(128)에는 가스 분석센서(122)의 전단에 연결되는 것으로 가스분석모듈(100)의 탈착을 가능하게 하는 제2경로연결부재(121)가 구비된다. 제2경로연결부재(121)는 제1경로연결부재(250)와 더불어 가스분석모듈(100)이 모니터링 시스템에 장착된 경우에는 샘플링 가스가 누설되지 않도록 엄밀하게 연결하는 것이며, 그 기능을 수행할 수 있는 형태라면 어떤 것이어도 허용된다.
The case 128 of the mobile gas analysis module 100 is connected to the front end of the gas analysis sensor 122 and is provided with a second path connecting member 121 for enabling the detachment of the gas analysis module 100. The second path connecting member 121 together with the first path connecting member 250 is strictly connected so that the sampling gas does not leak when the gas analysis module 100 is mounted in the monitoring system. Any form is acceptable.

이동형 가스분석모듈(100)의 제어부(110)는 모듈 제어용 콘트롤러(111), 가스분석모듈(100)이 분리된 경우에도 독자적으로 동작할 수 있게 하는 파워(113), 분리된 경우에 조작 상황이나 콘트롤러(111)에서 처리된 데이터를 표시하기 위한 디스플레이(114), 처리된 데이터나 콘트롤러(111) 기동용 프로그램을 보관하는 데이터저장부(116)를 포함한다. 콘트롤러(111)에는 샘플링 가스 분석 데이터를 처리하기 위한 신호처리부(112)를 추가로 구비할 수 있다.
The control unit 110 of the mobile gas analysis module 100 is a power control 113 to operate independently even when the module control controller 111 and the gas analysis module 100 are separated, A display 114 for displaying the data processed by the controller 111, and a data storage unit 116 for storing the processed data or the program for starting the controller 111. The controller 111 may further include a signal processor 112 for processing sampling gas analysis data.

이동형 가스분석모듈(100)의 제어부(110)에는 본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 주제어장치(280)와 연결되어 제어신호, 처리된 데이터 등을 송수신하기 위한 인터페이스(115)가 더 구비된다. 가스분석모듈(100)이 가스 모니터링 시스템에 장착되어 있는 상태에서 상기 인터페이스(115)를 통해 제어신호와 데이터가 통신라인(289, 도 2 참조)을 통해 전달된다. 인터페이스(115)의 일단에는 가스분석모듈(100)의 분리시 통신라인(289)과의 탈착을 원활히 하기 위한 것으로 제2통신라인연결부재(117)가 더 구비된다.
The control unit 110 of the mobile gas analysis module 100 is further provided with an interface 115 connected to the main controller 280 of the multi-gas monitoring system 50 of the present invention for transmitting and receiving control signals, processed data, and the like. do. In the state where the gas analysis module 100 is mounted in the gas monitoring system, control signals and data are transmitted through the communication line 289 (see FIG. 2) through the interface 115. At one end of the interface 115, a second communication line connecting member 117 is further provided to facilitate the detachment of the gas analysis module 100 from the communication line 289.

다음으로 본 발명의 독특한 기술적 특징으로 가스분석모듈(100)이 탈착식으로 마련됨으로써 필요하게 되는 부가 구성요소로서 메인펌프(230)와 역류방지커넥터(240)를 설명한다.
Next, the main pump 230 and the non-return connector 240 will be described as additional components required by the gas analysis module 100 being detachably provided as a unique technical feature of the present invention.

본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템(50)은 복수의 공정을 동시에 모니터링하고 필요에 따라 원거리 샘플링도 가능해야 하는바, 원활한 측정을 보장하고 샘플링 튜브에서의 가스 정체를 방지하기 위해 샘플링 가스 흡입용 메인펌프(230)를 포함한다. 메인펌프(230)에 의해 흡입된 샘플링 가스는 각 가스분석모듈(100a~100c)에 공급되어 가스분석모듈(100)의 자체적인 펌프(123)를 이용하여 분석되며 남은 샘플링 가스는 분배경로(213)의 일단에 연결되는 배기경로(270)를 통해 대기 중으로 방출된다. 배기경로(270)의 중간에는 배기밸브(260)가 마련되어 필요에 따른 단속이 이루어진다.
The multi-gas monitoring system 50 of the present invention should simultaneously monitor a plurality of processes and be capable of remote sampling as necessary, so that the main pump for sampling gas suction to ensure smooth measurement and prevent gas congestion in the sampling tube. 230. Sampling gas sucked by the main pump 230 is supplied to each gas analysis module (100a ~ 100c) and analyzed using its own pump 123 of the gas analysis module 100 and the remaining sampling gas is distributed path 213 It is discharged to the atmosphere through the exhaust path 270 connected to one end of. An exhaust valve 260 is provided in the middle of the exhaust path 270 to control the need.

이동형 가스분석모듈(100)이 가스 모니터링 시스템(50)에서 분리된 후 메인펌프(230)에 의한 샘플링 가스 공급시 외부 공기가 시스템(50)으로 유입되어 다른 가스분석모듈(예를 들어 100a가 분리된 후 100b 및 100c)에 영향을 주지 않도록 분배경로(213)와 분석경로(214) 사이에는 역류방지커넥터(240a~240c)가 설치된다. 역류방지커넥터(240a~240c)는 배압이 걸리더라도 외부 공기가 유입되지 않도록 하는 일방향 밸브이면 충분하며 필요에 따라 추후 설명하는 주제어장치(280)와 전기적으로 연결되어 전기적으로 제어될 수도 있을 것이다.
After the mobile gas analysis module 100 is separated from the gas monitoring system 50, when the sampling gas is supplied by the main pump 230, external air flows into the system 50 so that another gas analysis module (for example, 100a is separated). Afterwards, backflow prevention connectors 240a to 240c are installed between the distribution path 213 and the analysis path 214 so as not to affect 100b and 100c. The non-return connector 240a to 240c may be a one-way valve that prevents external air from flowing even when the back pressure is applied, and may be electrically connected to the main controller 280 to be described later as needed.

다음으로 도 4를 이용하여 본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 주제어장치(280) 구성을 자세히 설명한다.
Next, the main controller 280 of the multi-gas monitoring system 50 of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 4.

본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 주제어장치(280)는 가스 분석센서(122) 등 검출부(120)를 포함하지 않을 뿐 이동형 가스분석모듈(100)과 유사하게 구성된다. 주제어장치(280)는 이동형 가스분석모듈(100)과 통신라인(289)으로 연결되어 제어신호 및 처리된 분석 데이터를 송수신하며 전체적인 모니터링 시스템(50)을 제어하는 역할을 한다. 가스분석모듈(100)이 장착된 경우 각 가스분석모듈(100의 인터페이스(115) 및 콘크롤러(111)들과 유기적으로 결합되어 가스 분석센서(122), 펌프(123), 유량조절기(124) 등을 시스템적으로 조절하여 측정함으로써 멀티 샘플링 포트 기능을 가능하게 한다.
The main controller 280 of the multi-gas monitoring system 50 of the present invention does not include the detection unit 120 such as the gas analysis sensor 122 but is configured similarly to the mobile gas analysis module 100. The main controller 280 is connected to the mobile gas analysis module 100 and the communication line 289 to transmit and receive control signals and processed analysis data and to control the overall monitoring system 50. When the gas analysis module 100 is mounted, the gas analysis sensor 122, the pump 123, and the flow controller 124 are organically coupled with the interface 115 and the conicals 111 of each gas analysis module 100. Systemic adjustments to the back enable multisampling port functionality.

예를 들어 첫 번째 가스분석모듈(100a)은 샘플링 가스 중 HF를 분석하게 할 수 있고, 두 번째 가스분석모듈(100b)은 HCl을, 세 번째 가스분석모듈(100c)은 HBr을 분석하게 할 수 있다.
For example, the first gas analysis module 100a may analyze HF among sampling gases, the second gas analysis module 100b may analyze HCl, and the third gas analysis module 100c may analyze HBr. have.

주제어장치(280)는 전체 가스 모니터링 시스템(50)을 제어하는 메인콘트롤러(281)와, 전원을 공급하는 메인파워(283)와 운전 상태, 처리된 데이터, 가스분석모듈들(100a~100c)의 장착 여부 및 운전상태 등을 종합적으로 표시하는 메인디스플레이(284) 및 필요한 운전 프로그램과 분석된 데이터 등을 저장하기 위한 메인데이터저장부(286)를 포함한다. 메인콘트롤러(281)에는 가스분석모듈(100a~100c)로부터 통신라인(289)을 통해 전달되는 데이터를 별도로 분석하기 위한 메인신호처리부(282)가 더 포함될 수 있다.The main controller 280 includes a main controller 281 for controlling the entire gas monitoring system 50, a main power 283 for supplying power, an operation state, processed data, and gas analysis modules 100a to 100c. And a main display 284 for comprehensively displaying whether or not it is installed and an operation state, and a main data storage unit 286 for storing necessary operation programs and analyzed data. The main controller 281 may further include a main signal processing unit 282 for separately analyzing data transmitted from the gas analysis modules 100a to 100c through the communication line 289.

주제어장치(280)에는 이동형 가스분석모듈(100a~100c)과 제어신호 및 분석 데이터를 주고받기 위한 메인인터페이스(285)를 더 포함한다. 메인인터페이스(285)는 가스분석모듈(100)의 인터페이스(115)에 대응되는 것으로 상호 유기적으로 연결되어 필요한 제어신호 및 분석 데이터를 송수신하게 된다.
The main controller 280 further includes a main interface 285 for exchanging control signals and analysis data with the mobile gas analysis modules 100a to 100c. The main interface 285 corresponds to the interface 115 of the gas analysis module 100 and is organically connected to each other to transmit and receive necessary control signals and analysis data.

주제어장치(280)에는 안테나(2881)를 구비한 무선통신부(288)가 추가로 포함될 수 있다. 무선통신부(288)는 본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 운전 상태를 원거리에서도 무선으로 확인할 수 있도록 하고 필요에 따라 원격 제어도 가능하게 하는 것으로서 별도의 무선단말기(미도시)를 구비하여 상호 통신함으로써 그 기능을 활용할 수 있다. 즉, 본 발명의 가스 모니터링 시스템(50)의 사용자는 무선단말기(미도시)를 이용하여 무선통신부(288)를 통해 주제어장치(280)에 접속하여 운전상태를 파악하고 운전 변수를 변경할 수 있다.
The main controller 280 may further include a wireless communication unit 288 having an antenna 2881. Wireless communication unit 288 is to enable to check the operating state of the multi-gas monitoring system 50 of the present invention wirelessly from a long distance and also to enable remote control as needed, provided with a separate wireless terminal (not shown) By communicating, the function can be utilized. That is, the user of the gas monitoring system 50 of the present invention may access the main control unit 280 through the wireless communication unit 288 using a wireless terminal (not shown) to determine the driving state and change the driving parameters.

주제어장치(280)와 각 가스분석모듈(100a~100c)은 이미 언급한 바와 같이 통신라인(289)을 통해 연결되는바, 가스분석모듈(100a~100c)의 분리 용이성을 위해 통신라인(289)의 가스분석모듈(100a~100c) 측 끝단에는 제1통신라인연결부재(287)가 포함된다. 상기 제1통신라인연결부재(287)는 가스분석모듈(100a~100c)의 제2통신라인연결부재(117)와 상호 탈착 가능하게 기능적으로 대응되어 엄밀한 결합 및 용이한 분리를 보장한다.
The main controller 280 and each gas analysis module 100a to 100c are connected to each other through the communication line 289 as already mentioned, and thus the communication line 289 to facilitate separation of the gas analysis module 100a to 100c. The first end of the gas analysis module (100a ~ 100c) side of the communication line connection member 287 is included. The first communication line connecting member 287 is functionally corresponded to the second communication line connecting member 117 of the gas analysis modules 100a to 100c so as to be detachable from each other to ensure strict coupling and easy separation.

본 발명의 다중 가스 모니터링 시스템(50)은 멀티샘플링포트(210)를 구비하여 여러 포트를 통한 샘플링 가스 분석을 가능하게 하는바, 유해성 가스가 가스 경로(211~215)에 흡착하는 것을 방지하기 위해 퍼지장치(220)를 더 포함한다. 퍼지장치(220)는 불활성 가스(예를 들어 질소, 헬륨, 아르곤 등)를 이용하는 것으로 멀티샘플링포트(210)의 포트경로(215) 일측에 연결된다. 퍼지장치(220)는 불활성 가스를 포함하는 가스용기(221), 불활성 가스의 블로잉 압력을 조절하는 압력제어밸브(222) 및 제로필터(224)를 포함한다. 가스용기(221)에서 배출된 불활성 가스는 클리닝 필요 시에 사용자의 조작에 따라 압력제어밸브(222)로 유량이 조절되어 퍼지가스 도입경로(224)를 통해 멀티샘플링포트(210)의 포트경로(215)로 유입되어 경로상에 흡착된 유해 가스를 제거하고 연결경로(212), 메인펌프(230), 분배경로(213)를 통해 배기경로(270)로 빠져나가 외부로 방출된다. 퍼지장치(220)를 이용한 클리닝 중에는 각 역류방지커넥터(240a~240c)는 사용자에 의해 혹은 주제어장치(280)의 메인콘트롤러(281)에 의한 전기적 제어에 의해 개폐된다.
The multi-gas monitoring system 50 of the present invention includes a multi-sampling port 210 to enable sampling gas analysis through various ports, in order to prevent harmful gases from adsorbing to the gas paths 211 to 215. It further comprises a purge device (220). The purge device 220 is connected to one side of the port path 215 of the multisampling port 210 by using an inert gas (for example, nitrogen, helium, argon, etc.). The purge device 220 includes a gas container 221 including an inert gas, a pressure control valve 222 for adjusting the blowing pressure of the inert gas, and a zero filter 224. When the inert gas discharged from the gas container 221 needs to be cleaned, the flow rate is controlled by the pressure control valve 222 according to the user's operation so that the port path of the multisampling port 210 through the purge gas introduction path 224 ( 215 removes the harmful gas adsorbed on the path and exits the exhaust path 270 through the connection path 212, the main pump 230, and the distribution path 213 and is discharged to the outside. During the cleaning using the purge device 220, each of the backflow prevention connectors 240a to 240c is opened or closed by a user or by electric control by the main controller 281 of the main controller 280.

다음으로 도 2 내지 도 4를 이용하여 본 발명의 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템의 작동을 설명한다.
Next, the operation of the portable and stationary multiple gas monitoring system of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 4.

먼저, 여러 공정에 포설되는 샘플링 튜브(미도시)를 통해 멀티샘플링포트(210)의 도입경로(211)로 샘플링 가스가 유입된다. 주제어장치(280)의 제어에 따라 멀티샘플링포트(210)가 제어되어 각 공정의 샘플링 가스가 선택적으로 포트경로(215)로 들어온다. 샘플링 가스의 이동은 기본적으로 경로 중간에 배치되는 메인펌프(230)의 펌핑 동력에 의한다. 포트경로(215)를 지난 샘플링 가스는 연결경로(212), 메인펌프(230), 분배경로(213), 역류방지커넥터(240)를 차례로 거쳐 각 이동형 가스분석모듈(100)의 분석경로(214)에 이르러 가스분석모듈(100)로 들어가 분석되어진다. 전반적인 분석제어는 주제어장치(280)의 메인콘트롤러(281)에 의해 이루어지며 메인펌프(230)의 충분한 압력으로 남는 샘플링 가스는 배기경로(270)를 통해 외부로 방출된다. 한편, 메인펌프(230)는 배기밸브(260) 전단에 설치되어(미도시) 메인펌프(230)가 밸브로부터 샘플가스를 공급하는 과정에서 센서들에 유입되는 샘플가스를 개별적으로 흡입되도록 구성할 수도 있다.
First, the sampling gas is introduced into the introduction path 211 of the multisampling port 210 through a sampling tube (not shown) installed in various processes. The multisampling port 210 is controlled by the main controller 280 so that the sampling gas of each process is selectively introduced into the port path 215. The movement of the sampling gas is basically based on the pumping power of the main pump 230 disposed in the middle of the path. The sampling gas passing through the port path 215 passes through the connection path 212, the main pump 230, the distribution path 213, and the backflow prevention connector 240, and then analyzes the analysis path 214 of each mobile gas analysis module 100. ) Into the gas analysis module 100 is analyzed. The overall analysis control is performed by the main controller 281 of the main controller 280 and the sampling gas remaining at a sufficient pressure of the main pump 230 is discharged to the outside through the exhaust path 270. Meanwhile, the main pump 230 is installed in front of the exhaust valve 260 (not shown) so that the main pump 230 individually sucks the sample gas introduced into the sensors in the process of supplying the sample gas from the valve. It may be.

가스분석모듈(100)에는 가스 분석센서(122)가 구비되어 사용자의 선택에 의한 조작에 따라 주제어장치의 제어로 원하는 성분의 가스에 대한 분석이 이루어진다. 분석된 샘플링 가스는 가스분석모듈(100)의 배기경로(126)를 통해 외부로 배출되며, 데이터는 주제어장치(280)로 전달되어 추가적으로 분석되거나 종합되어져 주제어장치(280)의 메인디스플레이(284)를 통해 표시된다.
The gas analysis module 100 is provided with a gas analysis sensor 122 to analyze the gas of the desired component under the control of the main controller according to the operation of the user's selection. The analyzed sampling gas is discharged to the outside through the exhaust path 126 of the gas analysis module 100, and the data is transferred to the main controller 280 to be further analyzed or synthesized to display the main display 284 of the main controller 280. Is displayed through.

필요한 경우에는 퍼지장치(220)를 이용한 경로의 클리닝이 시행될 수 있다. 가스분석모듈(100)의 동작 중 또는 비동작 중에 가스용기(221)에 저장된 불활성 가스를 압력제어밸브(222)로 제어하여 멀티샘플링포트(210)를 포함하는 가스의 경로 상에 불어 넣어 흡착된 가스를 제거할 수 있다.
If necessary, cleaning of the path using the purge device 220 may be performed. During or during the operation of the gas analysis module 100, the inert gas stored in the gas container 221 is controlled by the pressure control valve 222 to be blown onto the path of the gas including the multi-sampling port 210 to be adsorbed. The gas can be removed.

불측의 고농도 가스 사고가 발생하는 등 필요한 경우에는 상기 가스분석모듈(100)은 본 발명의 가스 모니터링 시스템(50)으로부터 분리될 수 있다. 탈착을 보장하는 제1경로연결부재(250)와 제2경로연결부재(121)의 연결 상태를 간편하게 해제하고, 제1통신라인연결부재(287)와 제2통신라인연결부재(117) 또한 용이하게 해제한 후, 가스분석모듈(100)을 사고 발생 장소로 이동시켜 분석을 행할 수 있다. 이 때 상기 분리된 가스분석모듈(100)에는 자체적으로 펌프(123), 유량조절기(124), 콘트롤러(111), 파워(113), 디스플레이(114), 데이터저장부(116), 신호처리부(112) 등을 포함하고 있어 독자적인 운전에 기한 샘플링 가스 분석이 가능하다.
The gas analysis module 100 may be separated from the gas monitoring system 50 of the present invention if necessary, such as an undesirably high concentration gas accident. Easily release the connection state between the first path connecting member 250 and the second path connecting member 121 to ensure the detachment, the first communication line connecting member 287 and the second communication line connecting member 117 is also easy. After the release, the gas analysis module 100 may be moved to an accident occurrence place for analysis. At this time, the separated gas analysis module 100 itself has a pump 123, a flow regulator 124, a controller 111, a power 113, a display 114, a data storage unit 116, a signal processor ( 112) and sampling gas analysis for independent operation.

기본적으로 거치형을 염두에 두고 마련한 가스 분석센서(122) 및 검출부(120)를 동일하게 이동형으로 하여 사고 현장에 투입하여 분석하게 되는 바, 측정에 따른 시험 전 조정(calibration)을 최소화할 수 있으며 분석 데이터 관리도 용이하고 측정 장비간의 상관성도 고민할 필요가 없다는 장점이 있다.
Basically, the gas analysis sensor 122 and the detection unit 120 prepared with the stationary type in mind are moved to the accident site with the same moving type, so that the calibration before the measurement can be minimized and analyzed. It has the advantage of easy data management and no need to worry about correlation between measurement equipment.

다음으로 도 5를 이용하여 본 발명의 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템에 관한 제2실시예를 설명하기로 한다.
Next, a second embodiment of a portable and stationary multiple gas monitoring system of the present invention will be described with reference to FIG. 5.

본 발명의 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템의 제2실시예는 멀티샘플링포트(210) 및 이로부터 가스분석모듈(100)에 이르는 가스 경로들(212, 213, 215) 상에 히팅블럭들(310~330)을 설치하는 것이 특징이다.
The second embodiment of the portable and stationary multi-gas monitoring system of the present invention is the heating blocks on the gas paths 212, 213, 215 from the multisampling port 210 and the gas analysis module 100. It is characterized by installing (310 ~ 330).

공정 중에 사용하는 많은 유기성 물질의 경우 흡착성이 매우 강하기 때문에 종래의 PID 측정법을 이용하는 경우 쉽게 렌즈에 헤이즈가 발생하여 감도의 변화가 발생하고 가스의 확산에 따른 농도 잔류효과가 발생, 농도 차이가 큰 지역간에는 연속하여 측정할 수 없다는 문제가 있었다. 또한, 온도에 따라 PID 측정법의 감도가 다르게 나타나고, 시험 전 조정(calibration)을 행한 지역과 실제 측정 지역의 온도를 같게 유지하는 것이 정확도 향상에 도움을 주는바, 히팅블럭(310~330)을 경로 상(212, 213, 215)에 설치하여 샘플링 가스 온도를 맞춰줄 필요가 있다.
In the case of many organic materials used during the process, the adsorption property is very strong, so if the conventional PID measurement method is used, haze occurs easily on the lens, sensitivity change occurs, and concentration residual effect occurs due to gas diffusion. There was a problem that the liver could not be measured continuously. In addition, the sensitivity of the PID measurement method appears differently depending on the temperature, and maintaining the same temperature in the measurement area and the actual measurement area before the test helps to improve accuracy. It is necessary to adjust the sampling gas temperature by installing on the phases 212, 213, 215.

좀 더 구체적으로 도 5에 표시한 바와 같이 포트경로(215) 상에는 제1히팅블럭(310)이 설치된다. 또한, 연결경로(212) 상에는 제2히팅블럭(320)이 설치되고 분배경로(213) 상에는 제3히팅블럭(330)이 설치된다. 상기 히팅블럭(310~330)들은 주제어장치(280)에 전기적으로 연결되어 메인콘트롤러(281)의 제어를 받아 온도 조절이 될 뿐만 아니라 메인파워(283)를 통해 전원을 공급받는다. 상기 히팅블럭들(310~330)의 히팅 온도는 동일하게 제어되거나 필요에 따라 각각 다른 온도로 별도 제어될 수 있다.
More specifically, as shown in FIG. 5, the first heating block 310 is installed on the port path 215. In addition, the second heating block 320 is installed on the connection path 212 and the third heating block 330 is installed on the distribution path 213. The heating blocks 310 to 330 are electrically connected to the main controller 280 to be controlled by the main controller 281 to control the temperature, and to receive power through the main power 283. The heating temperatures of the heating blocks 310 to 330 may be controlled to be the same or separately controlled to different temperatures as necessary.

사용자가 유기성 가스 성분에 의한 흡착이 과도하게 이루어졌다고 판단하에 주제어장치(280)를 조작함으로써 히팅블럭(310~330)의 온도를 상승시키면 가스 경로(212, 213, 215)상에 흡착되어 있던 유기 성분들이 높은 온도에 의해 활성화 되어 경로상에서 떨어져 나오고 이 때 가스용기(221)에 저장된 불활성 가스를 이용하여 불어내면 클리닝 작업이 완벽하게 이루어질 수 있다. 또는 평소 운전 중에 히팅블럭(310~330)의 온도를 높은 상태로 유지하여 흡착을 원천적으로 방지하는 것도 가능하다.
When the user determines that the adsorption by the organic gas component is excessive, the main controller 280 operates to raise the temperature of the heating blocks 310 to 330, and thus the organic matter adsorbed on the gas paths 212, 213, and 215 is increased. When the components are activated by the high temperature and fall off the path and blow out using the inert gas stored in the gas container 221, the cleaning operation can be completed perfectly. Alternatively, it is possible to prevent adsorption at the source by maintaining the temperature of the heating blocks 310 to 330 in a high state during normal operation.

다음으로 도 6을 이용하여 본 발명의 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템의 제3실시예를 설명한다.
Next, a third embodiment of a multi-gas monitoring system having a portable and stationary type according to the present invention will be described with reference to FIG. 6.

본 발명의 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템의 제3실시예는 이동형 가스분석모듈(100)의 가스 분석센서(122)에 센서히팅블럭(340)이 설치되는 것이 특징이다. 공정에 사용되는 유기성 가스 성분들이 상기 제2실시예의 적극적 활용에도 가스 분석센서(122)에 이를 수 있어 센서의 렌즈 표면에 헤이즈를 형성하여 측정 감도를 저하시키거나 변화시킬 수 있는바, 가스 분석센서(122)에도 히팅블럭(340)을 설치할 필요가 있다.
The third embodiment of the portable and stationary multiple gas monitoring system of the present invention is characterized in that the sensor heating block 340 is installed in the gas analysis sensor 122 of the mobile gas analysis module 100. The organic gas components used in the process may reach the gas analysis sensor 122 even with the active use of the second embodiment, thereby forming haze on the lens surface of the sensor, thereby reducing or changing the measurement sensitivity. It is also necessary to provide the heating block 340 at 122.

센서히팅블럭(340)은 센서부재(1222)를 둘러싸고 마련되는 디퓨저(1224)를 감싸도록 센서케이스(1221)에 고정부재(350)를 이용하여 설치하는 것이 바람직하다. 센서케이스(1221)에는 고정부재(350)를 수용하기 위한 연결부재(1223)를 마련하여 엄밀한 고정을 보장한다.
The sensor heating block 340 is preferably installed using the fixing member 350 in the sensor case 1221 so as to surround the diffuser 1224 provided surrounding the sensor member 1222. The sensor case 1221 is provided with a connection member 1223 for accommodating the fixing member 350 to ensure the rigid fixing.

센서유로(1225)를 통해 인입되는 샘플링 가스는 디퓨저(1224)를 통과하며 분석되는 것이 일반적이지만 샘플링 가스에 포함되는 유기성 가스 성분이 센서유로(1225)나 디퓨저(1224)에 흡착될 가능성이 있는바, 센서히팅블럭(340)을 가스분석모듈(100)의 콘트롤러(111)를 통해 제어하여 온도를 상승시킴으로서 흡착된 성분을 제거하거나 흡착을 원천적으로 방지할 수 있게 된다.
The sampling gas introduced through the sensor channel 1225 is generally analyzed by passing through the diffuser 1224. However, organic gas components included in the sampling gas may be adsorbed to the sensor channel 1225 or the diffuser 1224. By controlling the sensor heating block 340 through the controller 111 of the gas analysis module 100, the temperature is increased to remove the adsorbed components or to prevent adsorption.

본 발명에 의한 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템의 제공으로 일정한 공정을 상시 모니터링하면서도 필요시 포터블로 설비 전환하여 하나의 측정기로 2가지의 용도를 구현할 수 있게 되었고, 연결계통의 온도를 조절할 수 있어 흡착 및 헤이즈 현상이 방지되고 분석 정확도가 향상됨으로 인해 다기능 다중 가스 모니터링 시스템으로서의 산업상 이용가능성이 충분하다고 할 수 있다.
By providing a multi-gas monitoring system having a portable and a stationary type according to the present invention, it is possible to implement two uses as a single measuring device by switching to a portable equipment as needed while constantly monitoring a certain process and controlling the temperature of the connection system. This prevents adsorption and haze, and improves the accuracy of the analysis, which makes the industrial applicability sufficient as a multifunctional multi-gas monitoring system.

100 : 이동형 가스분석모듈 111 : 콘트롤러
115 : 인터페이스 117 : 제2통신라인연결부재
121 : 제2경로연결부재 122 : 가스분석 센서
123 : 펌프 124 : 유량조절기
127 : 손잡이 200 : 거치형 모니터링 시스템
210 : 멀티샘플링포트 220 : 퍼지장치
221 : 가스용기 223 : 제로필터
230 : 메인펌프 240 : 역류방지커넥터
250 : 제1경로연결부재 280 : 주제어장치
281 : 메인콘트롤러 285 : 메인인터페이스
287 : 제1통신라인연결부재 288 : 무선통신부
300 : 히팅장치 310, 320, 330, 340 : 히팅블럭100: mobile gas analysis module 111: controller
115: interface 117: second communication line connecting member
121: second path connecting member 122: gas analysis sensor
123: pump 124: flow regulator
127: handle 200: mounted monitoring system
210: multi-sampling port 220: purge device
221 gas container 223 zero filter
230: main pump 240: backflow prevention connector
250: first path connecting member 280: main controller
281: main controller 285: main interface
287: first communication line connecting member 288: wireless communication unit
300: heating device 310, 320, 330, 340: heating block

Claims (17)

멀티샘플링포트(210)와 가스분석모듈(100) 및 주제어장치(280)를 구비하고 복수 공정의 작업환경 중 샘플링 가스의 성분 분석을 행하는 다중 가스 모니터링 시스템(50)에 있어서, 샘플링 가스의 성분 분석을 위한 가스분석모듈(100)이 탈착식으로 구비되어 필요에 따라 분리하여 가스분석모듈(100) 독자적으로 샘플링 가스의 성분 분석이 가능하며,
상기 가스분석모듈(100)은 독자적인 분석이 가능하기 위해 가스 분석센서(122) 외에 콘트롤러(111), 펌프(123), 유량조절기(124) 및 인터페이스(115)를 더 포함하는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
In the multi-gas monitoring system 50 including the multi-sampling port 210, the gas analysis module 100, and the main control unit 280 and performing the component analysis of the sampling gas in the working environment of a plurality of processes, the component analysis of the sampling gas is performed. Gas analysis module 100 for the separation is provided as detachable, the gas analysis module 100 can be separated as necessary, the analysis of the components of the sampling gas independently,
The gas analysis module 100 further includes a controller 111, a pump 123, a flow regulator 124, and an interface 115 in addition to the gas analysis sensor 122 to enable independent analysis. Multiple gas monitoring system with stationary
삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 가스분석모듈(100)에는 콘트롤러(111)와 연결되는 것으로 파워(113), 디스플레이(114) 또는 데이터저장부(116) 중 어느 하나 또는 2개 이상이 더 포함되는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
According to claim 1, wherein the gas analysis module 100 is connected to the controller 111, any one or two or more of the power 113, the display 114 or the data storage unit 116 is further included. Multi-gas monitoring system with portable and stationary features
제 1 항에 있어서, 상기 가스분석모듈(100)에는 상기 가스 모니터링 시스템(50) 상의 제1경로연결부재(250)와 협동하여 샘플링 가스가 유입되는 경로를 선택적으로 단속하는 제2경로연결부재(121)가 구비되어 상기 가스분석모듈(100)의 탈착이 용이하게 되는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
According to claim 1, wherein the gas analysis module 100 in cooperation with the first path connecting member 250 on the gas monitoring system 50, the second path connecting member for selectively controlling the path in which the sampling gas flows ( 121) is provided a multi-gas monitoring system having a portable and a stationary type characterized in that the gas analysis module 100 is easily removable
제 1 항에 있어서, 상기 가스분석모듈(100)에는 상기 가스 모니터링 시스템 상의 제1통신라인연결부재(287)와 협동하여 가스분석모듈(100)과 주제어장치(280)가 전기통신적으로 연결되는 통신라인(289)을 선택적으로 단속하는 제2통신라인연결부재(117)가 구비되어 상기 가스분석모듈(100)의 탈착이 용이하게 되는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The gas analysis module 100 is connected to the gas analysis module 100 and the main controller 280 in electrical communication in cooperation with the first communication line connecting member 287 on the gas monitoring system. The second gas line connecting member 117 to selectively control the communication line 289 is provided to facilitate the removable gas analysis module 100 characterized in that the multi-gas monitoring system having a portable and stationary type
제 1 항에 있어서, 상기 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 샘플링 가스 경로(211, 212, 213, 214, 215) 중에는 메인펌프(230)가 구비되어 샘플링 가스의 이동을 위한 압력 구배를 제공하는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
According to claim 1, wherein the sampling gas path (211, 212, 213, 214, 215) of the multiple gas monitoring system 50 is provided with a main pump 230 to provide a pressure gradient for the movement of the sampling gas Multi-gas monitoring system with portable and stationary features
제 1 항에 있어서, 상기 가스분석모듈(100)의 샘플링 가스가 유입되는 경로(214)로서 가스분석모듈(100)의 직전단에는 샘플링 가스가 가스분석모듈(100) 방향으로만 흐르도록 제어하는 역류방지커넥터(240)가 더 포함되는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The method of claim 1, wherein the sampling gas flows only in the direction of the gas analysis module 100 at the front end of the gas analysis module 100 as a path 214 through which the sampling gas of the gas analysis module 100 flows. Portable and stationary multi-gas monitoring system characterized by further comprising a backflow prevention connector (240)
제 1 항에 있어서, 상기 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 샘플링 가스 경로(211, 212, 213, 214, 215) 중에는 샘플링 가스를 외부로 방출할 수 있는 배기경로(270)와 배기밸브(260)가 더 포함되는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The exhaust gas path 270 and the exhaust valve 260 of the sampling gas paths 211, 212, 213, 214, and 215 of the multi-gas monitoring system 50 may discharge sampling gas to the outside. Portable and stationary multi-gas monitoring system
제 1 항에 있어서, 상기 주제어장치(280)는 다중 가스 모니터링 시스템(50)을 구성하는 각 구성품을 제어하고 탈착식으로 포함되는 상기 가스분석모듈(100)과 연결되어 상호 통신을 통해 제어하는 메인콘트롤러(281) 및 메인인터페이스(285)를 더 포함하는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The main controller of claim 1, wherein the main controller 280 is connected to the gas analysis module 100, which controls each component constituting the multi-gas monitoring system 50, and is detachably included. Portable and stationary multi-gas monitoring system further comprising a 281 and a main interface 285
제 9 항에 있어서, 상기 주제어장치(280)는 메인콘트롤러(281)와 연결되는 것으로 메인파워(283), 메인디스플레이(284) 또는 메인데이터저장부(286) 중 어느 하나 또는 2개 이상이 더 포함되는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The main controller 280 is connected to the main controller 281, and any one or two or more of the main power 283, the main display 284, or the main data storage unit 286 is further included. Multi-gas monitoring system with portable and stationary features included
제 1 항에 있어서, 상기 주제어장치(280)에는 무선통신부(288)가 더 포함되는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The multi-gas monitoring system of claim 1, wherein the main controller 280 further includes a wireless communication unit 288.
제 1 항에 있어서, 상기 다중 가스 모니터링 시스템(50)에는 오염 방지를 위하여 불활성 가스를 일정 유량으로 공급해 주는 퍼지장치(220)가 더 포함되는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The multi-gas monitoring system having a portable and stationary type according to claim 1, wherein the multi-gas monitoring system 50 further includes a purge device 220 for supplying an inert gas at a constant flow rate to prevent contamination.
제 12 항에 있어서, 상기 퍼지장치(220)는 불활성 가스를 저장하는 가스용기(221) 및 압력제어밸브(222)를 포함하는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The multi-gas monitoring system of claim 12, wherein the purge device 220 includes a gas container 221 and a pressure control valve 222 for storing an inert gas.
제 12 항에 있어서, 상기 퍼지장치(220)는 제로필터(223)를 더 포함하는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The multi-gas monitoring system of claim 12, wherein the purge device 220 further includes a zero filter 223.
제 1, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 멀티샘플링포트(210)의 샘플링 가스가 지나는 포트경로(215)에는 주제어장치(280)에 연결되어 샘플링 가스의 온도를 조절하는 히팅블럭(310)이 더 포함되는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The port path 215 according to any one of the first, third, fourth, fifth, sixth, seventh, eighth, nineth, tenth, eleven, twelve, thirteenth, and fourteenth exemplary embodiments, wherein the sampling gas of the multisampling port 210 passes. ) Is a portable gas and multiple gas monitoring system having a portable and characterized in that it further comprises a heating block 310 is connected to the main controller 280 to adjust the temperature of the sampling gas
제 1, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다중 가스 모니터링 시스템(50)의 샘플링 가스가 지나는 경로(212, 213)에는 주제어장치(280)에 연결되어 샘플링 가스의 온도를 조절하는 히팅블럭(320, 330)이 더 포함되는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The path 212 according to any one of claims 1, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, through which the sampling gas of the multi-gas monitoring system 50 passes. , 213 is connected to the main controller 280, the heating block for controlling the temperature of the sampling gas (320, 330) characterized in that it further comprises a portable and stationary multi-gas monitoring system
제 1, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스분석모듈(100)의 샘플링 가스 분석센서(122)에는 가스분석모듈(100)의 콘트롤러(111)와 연결되어 샘플링 가스의 온도를 조절하는 센서 히팅블럭(340)이 더 포함되는 것이 특징인 포터블과 거치형을 겸비한 다중 가스 모니터링 시스템
The method of claim 1, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, wherein the sampling gas analysis sensor 122 of the gas analysis module 100 Portable and stationary multi-gas monitoring system, characterized in that it is connected to the controller 111 of the gas analysis module 100 to adjust the temperature of the sampling gas further comprises a portable heating block 340
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