KR100841052B1 - 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기 및상기 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법 - Google Patents

펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기 및상기 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 펨토초레이저 광주파수 빗을 다이오드레이저에 주입하여 광주파수 빗 중 단 한 개의 모드에만 주입위상잠금(injection phase-locking)된 단일모드의 레이저광을 얻고 펨토초레이저의 광주파수 및 간격, 즉 반복률을 반도체레이저 주파수와 함께 변화시킴으로써 원하는 단일 광주파수를 가지면서 주사가능한 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기 및 상기 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법에 관한 것으로서, 주 레이저로서 모드 잠금된 펨토초레이저와, 종속 레이저로서 상기 주 레이저인 펨토초레이저의 레이저광이 주입되는 다이오드레이저, 및 상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저광이 경유하면서 종속 레이저인 다이오드레이저의 발진파장 부근의 광주파수 빗 성분만 다이오드레이저로 주입되도록 하는 간섭필터를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
펨토초레이저, 다이오드레이저, 모드잠금, 주파수합성, 광주파수 빗

Description

펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기 및 상기 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법{Sweep optical frequency synthesizer using femtosecond laser optical injection locking and optical frequency synthesizing method using the synthesizer}
도1은 본 발명에 따른 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기의 구성을 도시한 구성도이다.
도2는 주입되는 광주파수 빗 세기를 변화시키면서 얻은 세슘의 포화흡수분광스펙트럼을 나타내는 그래프이다.
도3은 공촛점 페브리페로공진기의 투과신호를 이용하여 관찰한 주입잠금상태의 다이오드레이저 스펙트럼을 나타내는 그래프이다.
도4는 광주입잠금된 다이오드레이저와 광주파수 빗 사이의 맥놀이 스펙트럼을 나타내는 그래프이다.
도5는 광주입잠금된 다이오드레이저와 광주파수 빗 사이의 주파수 안정도를 나타내는 그래프이다.
도6은 본 발명에 따른 광주파수합성기를 이용하여 세슘 증기셀에서 관찰한 세슘 D2 전이선 중 바닥상태(F = 4)에서 여기상태(F = 3, 4, 5)에 해당하는 포화흡수분광신호를 나타내는 그래프이다.
본 발명은 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기 및 상기 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법에 관한 것으로 특히, 펨토초레이저 광주파수 빗을 다이오드레이저에 주입하여 광주파수 빗 중 단 한 개의 모드에만 주입위상잠금(injection phase-locking)된 단일모드의 레이저광을 얻고 펨토초레이저의 광주파수 및 간격, 즉 반복률을 반도체레이저 주파수와 함께 변화시킴으로써 원하는 단일 광주파수를 가지면서 주사가능한 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기 및 상기 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법에 관한 것이다.
광인터넷 기반의 정보통신시대에는 광주파수의 절대 측정기술이 필수적이다. 광통신에서 빛의 파장 즉, 주파수를 정확하게 측정할 수 있게 되면 파장을 원하는 만큼 잘게 쪼갤 수 있게 된다. 이는 광섬유 한 가닥에 여러 개의 파장을 분할하여 실어 보내는 고밀도 파장 분할 다중 방식(DWDM ; dense wavelength division multiplexing)의 송신이 가능하다. 이는 하나의 광섬유 상에서 여러 개의 빛 파장을 동시에 전송하는 광전송방식을 말하며, 일반 광섬유에서 1파장당 2.5Gbps 시스템을 4파장 다중화해서 10Gbps의 전송속도를 제공하지만, DWDM 방식에서는 최대 약 80개의 빛 파장을 동시에 다중화하므로 약 400Gbps의 전송속도를 제공할 수 있다.
최근 광주파수 측정기술은 새로운 전기를 맞고 있다. 시간 영역에서 지극히 짧은 시간인 펨토초(1/1015초)의 펄스를 발생시키는 펨토초 모드록 레이저가 이용되면서 광주파수의 절대측정이 가능해졌기 때문이다.
광주입잠금은 선폭이 넓은 특성이 좋지 않은 종레이저를 선폭이 좁고 그 분광특성이 좋은 주레이저에 전기적인 장치 없이 위상잠금을 하는 방법이다.
펨토초레이저는 시간영역에서 극초단펄스의 반복률(repetition rate)은 주파수영역에서의 광주파수 빗(optical frequency comb)의 모드 사이의 주파수 간격과 일치하는 반복률 혹은 반복률 주파수(repetition rate frequency) frep로 나타낼 수 있다. 최근 캐리어 인벨롭 옵셋 주파수 fceo(carrier-envelope-offset frequency) 안정화 기술이 개발되면서 펨토초레이저를 이용한 광주파수의 절대측정이 가능해졌다. 이것은 원자시계와 같은 마이크로파 영역에서의 주파수 표준기를 그대로 광주파수영역까지 확대하는 계기를 마련하는 것뿐만 아니라 현재 가장 정확하다는 세슘원자분수시계보다 더욱 정확한 광주파수표준기의 개발을 가능케 하였다. 이러한 펨토초레이저 주파수 빗은 그 주파수가 정의되어 있지만 여전히 한 개의 모드만 선택하여 원하는 주파수의 단일모드 레이저로 만들거나 그 주파수를 주사(scan)하기 어렵고, 현재까지 개발된 광주파수합성기는 그 장치가 매우 복잡하다는 단점이 있다.
본 발명은 위와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로 펨토초레이저 광주파수 빗을 다이오드레이저에 주입하여 광주파수 빗 중 단 한 개의 모드에만 위상잠금(phase-locking)된 단일모드의 레이저광을 얻고 펨토초레이저의 광주파수 빗 간격, 즉 반복률(이하 frep는 반복률과 같은 의미로 혼용하기로 한다)을 반도체레이저 주파수와 함께 변화시킴으로써 원하는 단일 광주파수를 가지면서 주사가능한 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기 광주파수합성기 및 상기 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기한 바와 같이 본 발명의 목적을 달성하기 위한 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기는, 주 레이저로서 모드 잠금된 펨토초레이저 및 종속 레이저로서 상기 주 레이저인 펨토초레이저의 레이저광이 주입되는 다이오드레이저를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 주 레이저인 펨토초레이저에 광주입잠금된 종속 레이저로 단일 모드 분산-브래그 리플렉터 레이저(DBR : Distributed-Bragg Reflector laser) 또는 분산궤환 레이저(DFB : Distributed Feedback laser)가 되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저광을 전체 레이저광의 약 5에서 15%를 광주입잠금에 사용하고, 전체 레이저의 나머지를 fceo 안정화와 frep조절에 사용하도록 분리하는 광분리기(BS:beam splitter)를 더 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 주 레이저인 펨토초레이저가 광 스펙트럼 확장을 위한 포토닉 크리스탈 화이버(Photonic crystal fiber)를 더 구비하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저광이 간섭필터를 경유한 후, 반파장 편광판과 편광분리기(PBS ; Polarized beam splitter)를 거쳐 종속 레이저인 다이오드레이저에 주입되도록 이루어져 레이저광의 세기를 조절토록 이루어지는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 주사 광주파수합성기가 원하는 광주파수의 레이저광을 얻을 수 있도록 동기화시키기 위한 마이크로파 주파수합성기를 더 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저광이 경유하면서 종속 레이저인 다이오드레이저의 발진파장 부근의 광주파수 빗 성분만 다이오드레이저에 주입되도록 하는 간섭필터를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 의한 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기를 이용한 광주파수 합성방법은, 모드 잠금된 펨토초레이저를 주 레이저로 사용하고, 단일 모드로 발진하는 다이오드레이저를 종속 레이저로 사용하여 주 레이저를 종속 레이저에 주입함으로써 주 레이저인 펨토초레이저의 주파수 빗 중 단 하나의 모드에만 위상잠금된 단일 모드의 레이저광을 수득하고, 상기 펨토초레이저의 광주파수 빗 간격(반복률)을 다이오드레이저 주파수와 함께 변화시킴으로써 원하는 단일 광주파수를 가지면서 주사가능한 레이저광을 수득하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 있어서, 주 레이저인 펨토초레이저에 광주입잠금되는 종속 레이저로 단일 모드 분산-브래그 리플렉터 레이저(DBR ; Distributed-Bragg Reflector laser) 또는 분산궤환 레이저(DFB : Distributed Feedback laser)가 사용되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저를 분리하여 전체 레이저의 5 내지 15 %를 광주입잠금에 사용하고, 전체 레이저의 나머지를 fceo 안정화에 사용하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 주 레이저인 펨토초레이저가 광 스펙트럼 확장을 위한 포토닉 크리스탈 화이버(Photonic crystal fiber)를 더 구비하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저가 상기 간섭필터를 경유한 후, 반파장 편광판과 편광분리기를 거쳐 종속 레이저인 다이오드 레이저에 주입되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 종속 레이저인 다이오드레이저에 공급되는 전류를 변화시켜 레이저광의 주파수를 변화시키는 것에 의해 상기 펨토초레이저의 광주파수 빗 간격(반복률)을 변화시켜 주사(scanning)가 이루어지는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 주 레이저인 펨토초레이저의 광주입잠금된 레이저광의 주파수를 마이크로파 주파수합성기의 주파수의 변화에 의해 원하는 광주파수의 레이저광을 수득하도록 이루어지는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저광을 간섭필터를 경유하여 종속 레이저인 다이오드레이저의 발진파장 부근의 광주파수 빗 성분만 다이오드레이저에 주입되도록 하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한 다.
도1에는 본 발명에 따른 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기의 하나의 구체적인 예를 도시한 구성도를 나타내었다. 본 발명을 실험하기 위한 구체 예에서 상기 주 레이저로서의 펨토초레이저의 반복률은 1.05 ㎓이고, 이 경우, 광주파수 빗의 모드들은 1.05 ㎓ 간격으로 배열되어 있고, 그 중심파장은 830 ㎚이며, 스펙트럼은 약 30 ㎚에 걸쳐 있다. 파장 532 ㎚인 펌프레이저의 출력은 5.5 W이고, 이때 모드록 펨토초레이저의 출력은 약 700 ㎽를 얻을 수 있었으며, 여기서 약 60 ㎽의 레이저광을 분리하여 광주입잠금에 사용하고, 나머지 레이저광은 fceo 안정화와 frep를 조절하는데 사용하였다. 주 레이저인 펨토초레이저에 광주입잠금되는 종속 레이저로는 발진파장 852 ㎚이고, 최대출력 150 ㎽인 분산-브래그 리플렉터 레이저(DBR ; Distributed-Bragg Reflector laser) 또는 분산 궤환 레이저(DFB ; Distributed FeedBack laser)를 사용하였으며, 자체 발진선폭은 약 5㎒이다. 종속 레이저인 다이오드레이저의 발진파장 부근의 광주파수 빗 성분만 주입하기 위하여 중심파장이 852.3 ㎚이고, 밴드폭이 1.5 ㎚인 간섭필터를 사용하였다. 약 60 ㎽의 펨토초레이저가 간섭필터를 통과한 후, 출력은 약 0.2 ㎽이고, 종속 레이저인 다이오드레이저로 주입되기 전, 반파장(λ/2) 편광판과 편광분리기를 사용하여 그 세기를 도3에 나타낸 바와 같이 조절하였다. 주입잠금된 다이오드레이저의 위상잠금 특성을 관찰하기 위해 음향광변조기(acoustic optic modulator)를 사용하여 다이오드레이저의 주파수를 80 ㎒ 이동시킨 후, 광주파수 빗과의 맥놀이(beating) 주파수를 주파수계수기와 스펙트럼분석기(spectrum analyzer)를 사용하여 관찰하였다. 또한 자유분광범위(free spectral range)가 10㎓인 공촛점 페브리페로 공진기(confocal Fabry-Ferot resonator)를 사용하여 단일모드로 발진하는 것을 확인하였다.
더 나아가서 상기한 주 레이저인 펨토초레이저는 광 스펙트럼 확장을 위한 포토닉 크리스탈 화이버(Photonic crystal fiber)를 갖는다.
도2 및 도3에는 주입되는 광주파수 빗 세기를 변화시키면서 얻은 세슘의 포화흡수분광스펙트럼을 나타내는 그래프를 나타내었다. 이는 주입되는 광주파수 빗 세기에 따른 다이오드레이저의 주입잠금영역(injection-locking range)을 세슘 D2 전이선 중 바닥상태 F = 4에서 여기상태 F = 3, 4, 5에 해당하는 포화흡수분광신호를 관찰하며 측정한 결과이다. 우선 다이오드레이저에 공급되는 전류를 변화시켜 레이저광의 주파수를 이동시키면서 포화흡수분광신호를 관찰하였다. 여기서 펨토초레이저 주파수 빗을 다이오드레이저에 주입하게 되면, 다이오드레이저의 주파수가 펨토초레이저 주파수 빗의 한 모드와 어느 정도 가까워질 때 다이오드레이저의 주파수가 펨토초레이저와 일치하게 되고, 이러한 주입잠금영역에서는 포화흡수분광신호의 크기가 변하지 않게 된다. 도2에서 보면, 주입광의 세기가 커질수록 주입잠금영역도 넓어지는 것을 확인할 수 있다. 실제 다이오드레이저에 결합되는 광주파수 빗의 세기를 알기는 어렵기 때문에, 도2에서 주입광의 세기는 다이오드레이저로 입사되는 광주파수 빗 세기를 나타낸다. 주입광의 세기가 약 40㎼일 때, 주입잠금영역은 약 200㎒로 측정되었다.
광주파수 빗이 주입되면 종속 레이저인 다이오드레이저의 발진주파수는 낮아 지는 것을 볼 수 있는데, 그 이유는 주입광이 다이오드레이저의 캐리어 밀도(carrier density)를 변화시키고, 이것이 굴절률을 변화시키기 때문이다. 따라서, 도2에서 볼 수 있듯이 주입광의 세기가 커질수록 주파수 이동도 커지게 된다. 다이오드레이저가 주입잠금상태일 때 다이오드레이저의 스펙트럼을 공촛점 페브리페로 공진기 투과신호를 이용하여 관찰한 결과를 도3에 나타내었고, 단일모드로 발진하는 것을 확인할 수 있었다.
도4 및 도5는 광주입잠금된 다이오드레이저와 광주파수 빗 사이의 맥놀이 스펙트럼과 주파수 안정도를 나타내는 그래프들이다.
주입잠금된 다이오드레이저의 주파수와 그 특성이 주입하는 광주파수 빗의 한 성분과 얼마나 일치하는가, 즉 소급정도(trancability)를 측정하였고, 그 결과를 도4 및 도5에 나타내었다. 도4는 광주입잠금된 다이오드레이저의 주파수를 음향광변조기(AOM ; acousto-optic modulator)로 80㎒로 이동시킨 후, 광주파수 빗과 공간적으로 일치시켜 그 둘 사이의 맥놀이 주파수를 스펙트럼분석기(spectrum analyzer)를 사용하여 측정한 결과이다. 중심주파수는 음향광변조기에 주입한 RF 주파수 80 ㎒와 같으며, 그 선폭은 스펙트럼분석기의 분해능 한계와 같게 측정되었다. 다이오드레이저와 광주파수 빗 사이의 주파수안정도를 측정하기 위해 맥놀이 주파수를 주파수계수기로 측정하여 알란(Allan) 분산으로 나타낸 결과를 도5에 나타내었다. 적분시간 1초에서 광주파수 빗 한 모드와 다이오드레이저 사이의 소급정도는 3.5＊1016으로, 평균주파수는 음향광변조기 구동주파수인 80 ㎒에서 1.75 m ㎐ 높게 측정되었다. 이 결과는 광주입잠금된 다이오드레이저의 특성은 완벽하게 광주파수 빗과 일치한다고 판단할 수 있다.
따라서 다이오드레이저를 광주입잠금된 상태를 유지하면서 광주파수 빗의 주파수를 변화시키게 되면 임의의 단일모드 광주파수를 가진 레이저광, 즉 광주파수합성기가 되고, 광주파수 빗의 주파수를 일정한 간격으로 이동시키게 되면 주사가 가능한 광주파수합성기를 구현할 수 있다.
도6에는 본 발명에 따른 광주파수합성기를 이용하여 세슘 증기셀에서 관찰한 세슘 D2 전이선 중 바닥상태(F = 4)에서 여기상태(F = 3, 4, 5)에 해당하는 포화흡수분광신호를 나타내는 그래프를 나타내었다. 즉, 앞서 설명한 방법으로 주사 광주파수합성기를 만들어 세슘원자의 포화흡수분광신호 관찰에 적용한 결과이다. 여기서, fceo는 f-2f 방법을 이용하여 안정화 되어 있고, frep는 세슘원자시계 또는 수소메이저에 동기된 마이크로파 주파수합성기 출력주파수 fsyn과 일치하도록 위상잠금을 하였다. 펨토초레이저 광주파수 빗의 n번째 모드 주파수는 n＊fsyn±fceo이므로 광주입잠금된 레이저광의 주파수는 마이크로파 주파수합성기의 주파수 fsyn을 바꾸어 원하는 광주파수의 레이저광을 만들 수 있었다. 또한 다이오드레이저의 주파수도 광주파수 빗의 주파수가 이동한 만큼 다이오드레이저의 전류를 변화시켜 보정하도록 하여 항상 주입잠금상태를 유지하도록 하였다. 도6은 마이크로파 주파수합성기의 출력주파수를 변화시키면서 얻은 포화흡수분광신호로서 x축은 광주입잠금된 다이오드레이저의 절대주파수이다.
전술한 바와 같이, 본 발명은 펨토초레이저 광주파수 빗을 다이오드레이저에 주입하여 광주파수 빗 중 단 한 개의 모드에만 위상잠금(phase-locking)된 단일모드의 레이저광을 얻고 펨토초레이저의 광주파수 및 간격, 즉 반복률을 반도체레이저 주파수와 함께 변화시킴으로써 원하는 단일 광주파수를 가지면서 주사가능한 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기 광주파수합성기 및 상기 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법을 제공하는 효과를 갖는다.

Claims (15)

  1. 주 레이저로서 모드 잠금된 펨토초레이저 및 종속 레이저로서 상기 펨토초레이저에 광주입잠금되어 상기 펨토초레이저의 레이저광이 주입되는 다이오드레이저,
    상기 펨토초레이저의 광주파수 빗의 주파수 간격 (반복률: frep)를 조절할 수 있는 frep 조절용 마이크로파 주파수합성기가 구비되고,
    상기 펨토초레이저는 상기 frep 조절용 마이크로파 주파수합성기에 동기화되어 상기 frep가 변화되고, 상기 frep 를 변화시킴에 의해 상기 다이오드레이저로 출력되는 레이저광 주파수를 변화시킬 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 종속 레이저는 상기 주 레이저인 펨토초레이저에 광주입잠금된 단일 모드 분산-브래그 리플렉터 레이저(DBR : Distributed-Bragg Reflector laser) 또는 분산궤환 레이저(DFB : Distributed Feedback laser)임을 특징으로 하는 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저광을 전체 레이저광의 약 5에서 15 %를 광주입잠금에 사용하고, 상기 전체 레이저광의 나머지를 캐리어 인벨롭 옵셋 주파수 (fceo)의 안정화와 상기 frep조절에 사용하도록 분리하는 광분리기(BS)를 더 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기.
  4. 삭제
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저광이 간섭필터를 경유한 후, 반파장 편광판과 편광분리기(PBS ; Polarized beam splitter)를 거쳐 상기 종속 레이저인 다이오드레이저에 주입되도록 이루어져 레이저광의 세기를 조절토록 이루어짐을 특징으로 하는 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저광이 경유하면서 상기 종속 레이저인 다이오드레이저의 발진파장 부근의 광주파수 빗 성분만 상기 다이오드레이저에 주입되도록 하는 간섭필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기.
  8. 모드 잠금된 펨토초레이저를 주 레이저로 사용하고, 단일 모드로 발진하는 다이오드레이저를 종속 레이저로 사용하여 상기 주 레이저의 레이저광을 상기 종속 레이저에 주입함으로써 상기 주 레이저인 펨토초레이저의 주파수 빗 중 단 하나의 모드에만 위상잠금된 단일 모드의 레이저광을 수득하고,
    상기 펨토초레이저가 동기화된 frep 조절용 마이크로파 주파수합성기의 주파수를 변화시킴으로써 상기 펨토초레이저의 광주파수 빗 간격(반복률:frep)을 변화시키면서,
    상기 다이오드레이저에 공급되는 전류를 함께 변화시켜 상기 다이오드레이저에서 출력되는 레이저광의 주파수를 변화시키는 것에 의해 원하는 단일 광주파수를 가지면서 주사가능한 레이저광을 수득하는 것을 특징으로 하는 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 주 레이저인 펨토초레이저에 광주입잠금된 상기 종속 레이저로서 분산-브래그 리플렉터 레이저(DBR ; Distributed-Bragg Reflector laser) 또는 분산궤환 레이저(DFB : Distributed Feedback laser)가 사용됨을 특징으로 하는 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저광을 분리하여 전체 레이저광의 5 내지 15 %를 광주입잠금에 사용하고, 상기 전체 레이저광의 나머지를 캐리어 인벨롭 옵셋 주파수 (fceo)의 안정화에 사용함을 특징으로 하는 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법.
  11. 삭제
  12. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저광이 간섭필터를 경유한 후, 반파장 편광판과 편광분리기를 거쳐 종속 레이저인 다이오드 레이저에 주입되도록 하는 것을 특징으로 하는 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 제8항에 있어서,
    상기 주 레이저인 펨토초레이저로부터의 레이저광을 간섭필터를 경유하여 상기 종속 레이저인 다이오드레이저의 발진파장 부근의 광주파수 빗 성분만 상기 다이오드레이저에 주입되도록 하는 것을 특징으로 하는 펨토초레이저 광주입잠금을 이용한 주사 광주파수합성기를 이용한 광주파수합성방법.
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