KR100752954B1 - Method for preparing nano porous powders by ultrasonic pyrolysis and its nano powders - Google Patents

Method for preparing nano porous powders by ultrasonic pyrolysis and its nano powders Download PDF

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Abstract

본 발명은 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노 분말에 관한 것으로서, 특히 더욱 상세하게는 금속염 전구체에 수용성 고분자를 첨가하여 초음파분무 열분해법을 이용하여 제조함으로써, 비표면적이 매우 크고 나노 사이즈의 기공을 가지면서도 균일한 나노 다공성 분말을 수득할 수 있고, 출발 물질로 질산염 수용액을 소수점 이하의 미약한 농도로 사용함으로써, 공정 중에 발생되는 주요 부산물이 물이므로 환경친화적이며, 상기 분말을 에너지절약/저장/변환소재, 화학적/전기화학적 활성소재, 정보/전자용 소재분야에 응용 가능한 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노 분말에 관한 것이다. The present invention relates to a method for preparing nanoporous powder using ultrasonic spray pyrolysis and to nanoparticles prepared by the above, and more particularly, by adding a water-soluble polymer to a metal salt precursor to prepare using ultrasonic spray pyrolysis. It is possible to obtain a nanoporous powder with a very large surface area and nano-sized pores, and to use the nitrate solution as a starting point at a small concentration below the decimal point. The present invention relates to a method for preparing nanoporous powder using ultrasonic spray pyrolysis, which is applicable to energy saving / storage / conversion materials, chemical / electrochemically active materials, and information / electronic materials, and nanoparticles prepared by the powder. .

상기 본 발명은 세라믹 또는 금속 원료를 용매에 첨가 및 교반하여 용액을 마련하는 단계와, 상기 세라믹 또는 금속 원료 용액에 폴리머를 첨가 및 교반하여 용액을 마련하는 단계와, 상기 용액을 초음파 분무장치로 분무시키는 단계와, 상기 분무된 액적을 미리 가열된 챔버로 분사시키는 단계와, 상기 분사물을 열 분해시키는 단계와, 상기 열 분해 후 생성된 분말을 포집하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. The present invention comprises the steps of preparing a solution by adding and stirring a ceramic or metal raw material in a solvent, preparing a solution by adding and stirring a polymer in the ceramic or metal raw material solution, and spraying the solution with an ultrasonic atomizer And spraying the sprayed droplets into a preheated chamber, thermally decomposing the spray, and collecting the powder generated after the thermal decomposition.

따라서 본 발명은 금속염 전구체에 수용성 고분자를 첨가하여 초음파분무 열분해법을 이용하여 제조함으로써, 비표면적이 매우 크고 나노 사이즈의 기공을 가지면서도 균일한 나노 다공성 분말을 수득할 수 있고, 출발 물질로 질산염 수용액 을 소수점 이하의 미약한 농도로 사용함으로써, 공정 중에 발생되는 주요 부산물이 물이므로 환경친화적이다. 또한 상기 분말을 에너지절약/저장/변환소재, 화학적/전기화학적 활성소재, 정보/전자용 소재분야에 응용 가능한 효과가 있다.Therefore, the present invention is prepared by the ultrasonic spray pyrolysis method by adding a water-soluble polymer to the metal salt precursor, it is possible to obtain a uniform nanoporous powder with a very large specific surface area and having nano-sized pores, as a starting material aqueous solution of nitrate By using a weak concentration below the decimal point, the main by-product generated during the process is water, which is environmentally friendly. In addition, the powder has an effect that can be applied to energy saving / storage / conversion material, chemical / electrochemically active material, information / electronic materials.

초음파분무 열분해법, 나노 다공성 분말, 금속염 전구체, 수용성 고분자, 균일성, 환경친화적. Ultrasonic spray pyrolysis, nano porous powder, metal salt precursor, water soluble polymer, uniformity, environmentally friendly.

Description

초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노 분말{METHOD FOR PREPARING NANO POROUS POWDERS BY ULTRASONIC PYROLYSIS AND ITS NANO POWDERS}Method for preparing nanoporous powder using ultrasonic spray pyrolysis and nanopowder manufactured by the same method METHOD FOR PREPARING NANO POROUS POWDERS BY ULTRASONIC PYROLYSIS AND ITS NANO POWDERS

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 나노 다공성 분말의 제조방법에 사용되는 초음파분무 열분해장치를 개략적으로 도시한 도면.1 is a view schematically showing an ultrasonic spray pyrolysis apparatus used in the method for producing nanoporous powder according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 나노 다공성 분말의 제조방법의 흐름도.2 is a flow chart of a method for producing nanoporous powder according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예 1에 따라 용매 1리터당 PAA 50cc 첨가하여 합성된 나노 다공성 LSC 분말의 주사전자현미경사진.3 is a scanning electron micrograph of nanoporous LSC powder synthesized by adding 50 cc of PAA per liter of solvent according to Example 1 of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시예 1에 따라 용매 1리터당 PAA 50cc 첨가하여 합성된 나노 다공성 LSC 분말의 투과전자현미경사진.Figure 4 is a transmission electron micrograph of the nanoporous LSC powder synthesized by adding 50 cc of PAA per liter of the solvent according to Example 1 of the present invention.

도 5는 본 발명의 비교예 1에 따라 수용성 고분자의 첨가없이 합성된 LSC 분말의 주사전자현미경사진.5 is a scanning electron micrograph of the LSC powder synthesized without the addition of a water-soluble polymer according to Comparative Example 1 of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예 2에 따라 용매 1리터당 PAA 100cc 첨가하여 합성된 나노 다공성 LSC 분말의 주사전자현미경사진.6 is a scanning electron micrograph of nanoporous LSC powder synthesized by adding 100 cc of PAA per liter of solvent according to Example 2 of the present invention.

도 7a는 본 발명의 실시예 1, 2 와 비교예 1에 따라 합성된 LSC 분말의 미세기공 분포곡선.7A is a micropore distribution curve of LSC powder synthesized according to Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 of the present invention.

도 7b는 본 발명의 실시예 1, 2 와 비교예 1에 따라 합성된 LSC 분말의 미세 기공량의 정리도.Figure 7b is a summary of the fine pore amount of LSC powder synthesized according to Examples 1, 2 and Comparative Example 1 of the present invention.

도 8은 본 발명의 실시예 3에 따라 용매 1리터당 PEG 50cc 첨가하여 합성된 나노 다공성 LSC 분말의 주사전자현미경사진.8 is a scanning electron micrograph of the nanoporous LSC powder synthesized by adding 50 cc of PEG per liter of the solvent according to Example 3 of the present invention.

도 9는 본 발명의 실시예 1, 2 와 비교예 1에 따라 합성된 LSC 분말의 1차 입자크기와 비표면적 정리도.Figure 9 is a primary particle size and specific surface area arrangement of LSC powder synthesized according to Examples 1, 2 and Comparative Example 1 of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

100: 초음파 분무기 110: 용액 공급원100: ultrasonic nebulizer 110: solution source

120: 운반기체 공급원 130: 초음파 진동자120: carrier gas source 130: ultrasonic oscillator

200: 반응기 210: 챔버200: reactor 210: chamber

220: 가열기 230: 온도센서220: heater 230: temperature sensor

240: 온도 제어기 300: 포집기240: temperature controller 300: collector

310: 포집 필터 320: 펌프310: collection filter 320: pump

본 발명은 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노 분말에 관한 것으로서, 특히 더욱 상세하게는 금속염 전구체에 수용성 고분자를 첨가하여 초음파분무 열분해법을 이용하여 제조함으로써, 비표면적이 매우 크고 나노 사이즈의 기공을 가지면서도 균일한 나노 다공성 분말을 수득할 수 있고, 출발 물질로 질산염 수용액을 소수점 이하의 미약한 농도로 사용 함으로써, 공정 중에 발생되는 주요 부산물이 물이므로 환경친화적이며, 상기 분말을 에너지절약/저장/변환소재, 화학적/전기화학적 활성소재, 정보/전자용 소재분야에 응용 가능한 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노 분말에 관한 것이다. The present invention relates to a method for preparing nanoporous powder using ultrasonic spray pyrolysis and to nanoparticles prepared by the above, and more particularly, by adding a water-soluble polymer to a metal salt precursor to prepare using ultrasonic spray pyrolysis. It is possible to obtain a nanoporous powder with a very large surface area and nano-sized pores, and to use the nitrate aqueous solution as a starting point at a weak concentration below the decimal point. The present invention relates to a method for preparing nanoporous powder using ultrasonic spray pyrolysis, which is applicable to energy saving / storage / conversion materials, chemical / electrochemically active materials, and information / electronic materials, and nanoparticles prepared by the powder. .

다공성 분말과 다공체에 대한 관심은 공업적인 응용 또는 학문적 관점에서 꾸준하게 지속되어 오고 있다. 특히 일정한 크기의 규칙적 배열로 이루어진 기공을 가지는 다공체는 기공이 가지고 있는 흡착 및 분리기능을 이용하여 다양한 산업분야에 꾸준히 응용되고 있다. 현재 마이크로미터 또는 1 nm 이하크기의 다공체는 산업적으로 많은 응용이 되고 있다. 그러나 독특한 기능성 부여와 응용분야의 제한을 극복하고자 중간크기의 기공을 함유한 0.4 내지 100 nm 크기를 가지는 나노기공 다공체에 대한 연구가 많이 진행되고 있다. 이러한 다공성 분말과 다공체들은 에너지절약/저장/변환소재, 화학적/전기화학적 활성소재, 정보/전자용 소재의 개발을 위한 핵심기술로 각광받고 있어 고부가가치를 갖는 매우 중요한 기술로 인식되고 있다.Interest in porous powders and porous bodies has been steadily maintained from an industrial or academic point of view. In particular, porous bodies having pores of a regular sized regular array have been continuously applied to various industrial fields by using adsorption and separation functions of pores. Currently, micrometers or sub-nm porous materials have many industrial applications. However, many researches have been made on nanoporous porous bodies having a size of 0.4 to 100 nm containing medium pores in order to overcome unique functionalities and application limitations. These porous powders and porous bodies are spotlighted as key technologies for the development of energy saving / storage / conversion materials, chemical / electrochemically active materials, and information / electronic materials, and are recognized as very important technologies having high added value.

2 내지 50 nm 크기를 갖는 메조기공(Mesopore)을 가지는 물질은 1992년 미국 Mobil사의 연구진이 브롬화 세틸트라이메틸 암모늄(CTAB, cetyltrimethyl-ammonium bromide) 계면활성제를 이용하여 실리카의 배열성 집합체를 성공적으로 합성한 후 본격적인 연구가 시작되었다. 이외에도 음이온 또는 중성이온 계면활성제를 사용하거나, 양이온 또는 중성이온의 무기질을 사용하여 다양한 두께와 기공크기의 다공체를 합성하는 방법들이 개발되어 응용되고 있다. 그러나 실리카 계열 다공체는 일 반적으로 촉매 활성작용이 없고 열적 및 화학적으로 다른 금속산화물보다 불안정하다. 또한 실리카는 전기, 자기 및 광학적 특성이 거의 없기 때문에 이를 이용한 다양한 산업적 응용에는 제약을 받고 있다. 따라서 비실리카 계의 나노크기 기공 다공체에 대한 합성과 응용에 관한 많은 연구가 이루어지고 있다. 그러나 실리카 계 물질과 달리 비실리카 계 나노기공 다공체는 금속이온의 가수분해반응, 축합반응 및 산화/환원반응 등의 조절이 어렵기 때문에 이 분야에 대한 연구의 장애가 되고 있다.Materials with mesopores ranging in size from 2 to 50 nm were developed by researchers at Mobil in the United States in 1992 using a cetyltrimethyl-ammonium bromide (CTAB) surfactant to successfully synthesize an array of silica After synthesis, full-scale research began. In addition, methods for synthesizing porous bodies having various thicknesses and pore sizes by using anionic or neutral ion surfactants or inorganic materials of cations or neutral ions have been developed and applied. However, silica-based porous bodies generally have no catalytic activity and are more thermally and chemically unstable than other metal oxides. In addition, silica has little electrical, magnetic, and optical properties, and thus is limited in various industrial applications. Therefore, many studies on the synthesis and application of non-silica-based nano-sized pore porous bodies have been made. However, unlike silica-based materials, non-silica-based nanoporous porous bodies are difficult to control the hydrolysis reaction, condensation reaction, and oxidation / reduction reaction of metal ions.

또한 다공체 재료의 한 분야인 에어로겔은 90% 이상의 기공률과 1 내지 50 nm 범위의 기공크기를 가지는 초다공성의 고비표면적 물질이다. 에어로겔의 합성은 졸-겔 공정을 이용하여 합성하는데, 합성공정 중 가장 중요한 단계는 건조공정으로서 에어로겔의 특성에 큰 영향을 끼친다. 일반적으로 건조공정은 첫 번째로는 알콜과 같은 용매를 초임계유체로 건조하는 방법, 두 번째로는 이산화탄소나 또는 다른 낮은 임계점을 가지는 용제로 치환하는 방법, 세 번째로는 낮은 건조속도를 유지하면서 대류건조를 하거나 DCCA(drying control chemical additive)를 이용하는 건조법, 네 번째로는 동결건조법으로 구분한다. 초임계유체를 이용하여 다공성 고체에서 잔류용액을 제거하는 경우에는 기-액 계면이 생기지 않으므로 모세관력에 의한 심한 수축과 균열을 방지할 수 있어서 고형물질의 형태를 유지하며 건조를 할 수 있다. 따라서 상기 첫 번째, 두 번째 방법은 높은 다공성을 유지하고 투명한 에어로겔을 제조할 수 있는 장점이 있으나 높은 압력이 요구되는 공정이기 때문에 위험부담이 크고 경제성의 한계를 가지고 있다. 또한 세 번째, 네 번째 방법은 상압에 서 건조를 한다는 장점이 있으나 표면장력, 삼투압 등의 건조 응력에 의하여 용매가 확산 제거되는 과정에서 겔의 수축과 균열을 피하기 어렵기 때문에 덜 완벽하고 밀도가 높은 에어로겔 형태로 제조된다.Aerogels, a field of porous materials, are also highly porous, high specific surface materials having a porosity of greater than 90% and a pore size in the range from 1 to 50 nm. The synthesis of aerogels is synthesized using a sol-gel process. The most important step of the synthesis process is a drying process, which greatly affects the characteristics of the airgel. In general, the drying process involves firstly drying a solvent such as an alcohol with a supercritical fluid, secondly replacing carbon dioxide or another low critical solvent, and thirdly maintaining a low drying rate. Convection drying or drying using a DCCA (drying control chemical additive) is used. When the residual solution is removed from the porous solid by using a supercritical fluid, since the gas-liquid interface does not occur, severe shrinkage and cracking due to capillary forces can be prevented, so that the solid material can be dried and dried. Therefore, the first and second methods have the advantages of maintaining a high porosity and producing a transparent airgel, but have a high risk and have a limited economic feasibility because the process requires a high pressure. In addition, the third and fourth methods have the advantage of drying at normal pressure, but they are less perfect and dense because it is difficult to avoid shrinkage and cracking of the gel during the diffusion and removal of the solvent by dry stress such as surface tension and osmotic pressure. It is prepared in the form of an airgel.

상술한 바와 같이, 종래의 다공체의 제조방법들은 재료와 공정상의 많은 한계를 나타내고 있으며, 특히 나노 다공성 분말은 취약한 종래의 기술로는 제조하기가 불가능하다고 할 수 있다. As described above, the conventional methods for producing a porous body show a number of limitations in materials and processes, and in particular, nanoporous powders cannot be produced by conventional techniques that are vulnerable.

따라서 비표면적이 매우 크고 나노 사이즈의 기공을 가지면서도 균일한 나노 다공성 분말을 수득할 수 있고, 공정 중에 발생되는 주요 부산물이 물이므로 환경친화적이며, 에너지절약/저장/변환소재, 화학적/전기화학적 활성소재, 정보/전자용 소재분야에 응용 가능하게 하는 제조방법의 개발이 절실히 요구되고 있는 실정이다.Therefore, it is possible to obtain a nanoporous powder with a very large specific surface area and uniform pore size, and is environmentally friendly since the main by-products generated during the process are water, energy saving / storage / conversion materials, and chemical / electrochemical activities. There is an urgent need for development of manufacturing methods that can be applied to materials and information / electronic materials.

이에 본 발명은 상기 문제점들을 해결하기 위하여 착상된 것으로서, 금속염 전구체에 수용성 고분자를 첨가하여 초음파분무 열분해법을 이용하여 제조함으로써, 비표면적이 매우 크고 나노 사이즈의 기공을 가지면서도 균일한 나노 다공성 분말을 수득할 수 있는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노 분말을 제공하는데 그 목적이 있다, The present invention has been conceived to solve the above problems, by adding a water-soluble polymer to the metal salt precursor prepared by the ultrasonic spray pyrolysis method, to produce a uniform nanoporous powder having a very large specific surface area and having nano-sized pores It is an object of the present invention to provide a method for preparing nanoporous powder using ultrasonic spray pyrolysis, which can be obtained, and a nanopowder prepared thereby.

또 본 발명의 다른 목적은 출발 물질로 질산염 수용액을 소수점 이하의 미약한 농도로 사용함으로써, 공정 중에 발생되는 주요 부산물이 물이므로 환경친화적인 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법 및 이에 의해 제조 된 나노 분말을 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to prepare a nano-porous powder using an environmentally friendly ultrasonic spray pyrolysis method by using a nitrate aqueous solution as a starting material in a slight concentration below the decimal point, since the main by-products generated during the process is water To provide the prepared nano powder.

또 본 발명의 다른 목적은 상기 분말을 에너지절약/저장/변환소재, 화학적/전기화학적 활성소재, 정보/전자용 소재분야에 응용 가능한 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노 분말을 제공하는데 있다. Another object of the present invention is a method for producing nanoporous powder using ultrasonic spray pyrolysis, which is applicable to energy saving / storage / conversion materials, chemical / electrochemically active materials, information / electronic materials, and the powders. To provide nanoparticles.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법은 세라믹 또는 금속질산염인 금속 원료를 용매에 첨가 및 교반하여 용액을 마련하는 단계와, 상기 세라믹 또는 금속질산염인 금속 원료 용액에 폴리머를 첨가 및 교반하여 용액을 마련하는 단계와, 상기 용액을 초음파 분무장치로 분무시키는 단계와, 상기 분무된 액적을 미리 가열된 챔버로 분사시키는 단계와, 상기 분사물을 열 분해시키는 단계와, 상기 열분해 후 생성된 분말을 포집하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a preferred embodiment of the present invention, there is provided a method of preparing nanoporous powder using ultrasonic spray pyrolysis, which comprises preparing a solution by adding and stirring a metal raw material of ceramic or metal nitrate to a solvent, and the ceramic Or preparing a solution by adding and stirring a polymer to a metal raw material solution, which is a metal nitrate, spraying the solution with an ultrasonic atomizer, spraying the sprayed droplets into a preheated chamber, Pyrolyzing the object and collecting the powder generated after the pyrolysis.

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상기 본 발명에 있어서, 상기 세라믹, 금속 원료는 순수 또는 알코올계 용매에 용해가 되는 모든 원료를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the ceramic and metal raw material is characterized in that it includes all raw materials that are dissolved in pure or alcoholic solvents.

상기 본 발명에 있어서, 상기 세라믹 또는 금속 원료와 용매의 혼합비 조절 로 용액의 농도를 조절하여 최종 분말의 크기를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, characterized in that it further comprises the step of adjusting the size of the final powder by adjusting the concentration of the solution by adjusting the mixing ratio of the ceramic or metal raw material and the solvent.

상기 본 발명에 있어서, 상기 세라믹 또는 금속 용액과 첨가된 폴리머의 혼합비 조절로 최종 분말과 기공의 크기를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. In the present invention, it characterized in that it further comprises the step of adjusting the size of the final powder and pores by adjusting the mixing ratio of the ceramic or metal solution and the added polymer.

상기 본 발명에 있어서, 상기 첨가되는 폴리머는 PEG, PAA 또는 용해가 가능한 모든 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the added polymer is characterized in that it includes PEG, PAA or any polymer that can be dissolved.

상기 본 발명에 있어서, 상기 초음파 분무장치의 진동수를 조절하여 2차 입자인 최종분말의 크기를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, it is characterized in that it further comprises the step of adjusting the size of the final powder which is secondary particles by adjusting the frequency of the ultrasonic atomizer.

상기 본 발명에 있어서, 상기 분무된 액적을 미리 가열된 챔버로 분사시키는 단계는 액적을 운반 기체를 이용하여 가열 챔버로 분사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the spraying the sprayed droplets into the preheated chamber is characterized in that the spraying the droplets into the heating chamber using a carrier gas.

상기 본 발명에 있어서, 상기 운반 기체는 공기, 산소, 질소, 불활성 가스 또는 상기 기체의 혼합 가스를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the carrier gas is characterized in that it comprises air, oxygen, nitrogen, inert gas or a mixed gas of the gas.

상기 본 발명에 있어서, 상기 분사물을 열분해시키는 단계의 온도는 100℃ 내지 1200℃인 것을 특징으로 한다.In the present invention, the temperature of the step of pyrolyzing the spray is characterized in that 100 ℃ to 1200 ℃.

상기 본 발명에 있어서, 상기 열분해 후 생성된 분말은 마이크론 이하의 크기인 것을 특징으로 한다.In the present invention, the powder produced after the pyrolysis is characterized in that the size of less than microns.

또한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 상기 나노 다공성 분말은 상기의 방법 중에서 어느 하나를 이용하여 제조되는 것을 특징으로 한다. In addition, the nano-porous powder according to a preferred embodiment of the present invention is characterized in that it is prepared using any one of the above methods.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 나노 다공성 분말을 제조하기 위하여 사용된 초음파분무 열분해장치의 개략적인 구성도이다. 1 is a schematic configuration diagram of an ultrasonic spray pyrolysis apparatus used to prepare nanoporous powder according to embodiments of the present invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 초음파분무 열분해장치는 기본적으로 초음파분무영역(A)과, 열처리영역(B)과, 포집영역(C)의 세 영역으로 구분될 수 있다. 각 영역에서의 공정은 초음파 분무기(100)와, 반응기(200)와, 포집기(300)에서 각각 수행된다. 초음파 분무기(100)에는 용액공급원(110)과 운반기체 공급원(120)이 연결되고, 초음파 분무기(100) 하부에는 초음파 진동자(130)가 장착되어있다. 상기 용액 공급원(110)은 금속염 전구체 및 수용성 고분자 원료를 용매에 용해시킨 용액을 초음파 분무기(100) 내에 공급한다. 상기 초음파 분무기(100)의 하부의 초음파 진동자(130)는 용액 공급원(110)으로부터 공급된 용액을 수 마이크론 크기의 액적으로 분무한다. 이와 같이 분무된 액적은 운반기체 공급원(120)으로부터 공급된 운반기체(carrier gas)를 이용하여 반응기(200)의 챔버(210) 내로 이동된다. 상기 반응기(200)는 챔버(210) 내의 온도를 원하는 값으로 유지시켜 주기위한 장치로서, 챔버 둘레에 장착된 가열기(220)와 챔버 내에 장착된 온도센서(230)와 온도제어기(240)를 포함한다. 상기 온도제어기(240)는 온도센서(230)로부터 받아들인 챔버 내의 온도를 기초로 가열기(220)를 제어하여 챔버(210) 내의 온도를 설정된 온도로 유지시킨다. 운반기체와 함께 반응기(200)의 챔버(210) 내에 유입된 액적은 설정된 온도에서 열분해된다. 상기 반응기(200)의 상부에는 포집필터(310)와 펌프(320)를 포함하는 포집기(300)가 마련되어, 열분해 반응 과정에서 발생하는 다양한 가스를 외부로 방출하는 동시에 생성된 분말을 포집한다. 즉, 반응기(200)의 챔버(210) 내에서 반응이 완료된 생성 분말과 열분해 반응 과정에서 부산물로 발생하는 가스는 펌프(320)에 의하여 포집기(300)를 통과하게 되는데, 이때 상기 열분해 후 생성된 분말은 포집필터(310)에 걸려 포집되고, 열분해 반응 과정에서 발생된 가스는 포집필터(310)를 통과하여 외부로 방출하게 된다.As shown in FIG. 1, the ultrasonic spray pyrolysis apparatus may be basically divided into three regions, an ultrasonic spraying region A, a heat treatment region B, and a collecting region C. FIG. The process in each zone is performed in the ultrasonic nebulizer 100, the reactor 200, and the collector 300, respectively. A solution supply source 110 and a carrier gas supply source 120 are connected to the ultrasonic nebulizer 100, and an ultrasonic vibrator 130 is mounted below the ultrasonic nebulizer 100. The solution source 110 supplies a solution in which a metal salt precursor and a water-soluble polymer raw material are dissolved in a solvent into the ultrasonic nebulizer 100. The ultrasonic vibrator 130 at the bottom of the ultrasonic nebulizer 100 sprays the solution supplied from the solution source 110 into droplets of several microns in size. The sprayed droplets are moved into the chamber 210 of the reactor 200 by using a carrier gas supplied from the carrier gas source 120. The reactor 200 is a device for maintaining the temperature in the chamber 210 to a desired value, and includes a heater 220 mounted around the chamber, a temperature sensor 230 and a temperature controller 240 mounted in the chamber. do. The temperature controller 240 controls the heater 220 based on the temperature in the chamber received from the temperature sensor 230 to maintain the temperature in the chamber 210 at the set temperature. Droplets introduced into the chamber 210 of the reactor 200 together with the carrier gas are pyrolyzed at a set temperature. A collector 300 including a collecting filter 310 and a pump 320 is provided at an upper portion of the reactor 200 to collect various powders generated at the same time while emitting various gases generated during the pyrolysis reaction. That is, the generated powder in which the reaction is completed in the chamber 210 of the reactor 200 and the gas generated as a by-product during the pyrolysis reaction pass through the collector 300 by the pump 320. The powder is trapped by the collecting filter 310 and the gas generated in the pyrolysis reaction is discharged to the outside through the collecting filter 310.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 나노 다공성 분말의 제조방법의 흐름도이다. 2 is a flow chart of a method for producing nanoporous powder according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시한 바를 참조하여 설명하면 다음과 같다. 본 발명에서는 SOFC(solid oxide fuel cell)의 전극이나 산소분리 투과막에서 사용되고 있는 La0.6Sr0.4CoO3-??(LSC) 나노분말을 합성하고자 하였다. LSC 나노분말의 출발원료로서 La(NO3)2·6H2O, Sr(NO3)2, Co(NO3)2·6H2O 등의 금속질산염이 사용되었고, 비표면적이 큰 다공성 분말을 제조하기 위하여 수용성 고분자인 Poly Acrylic Acid(PAA, C3H4O2) 또는 PEG(Poly Ethylene Glycol, C2H6O2)를 첨가하였다. 이와 같이 질산염수화물뿐만 아니라 기타 순수(초순수) 또는 알콜계 용매에 녹는 모든 원료의 사용이 가능하다. 고분자 원료 역시 용매에 녹을 수 있는 재료는 모두 사용 가능하다. 상기 원료들은 적절한 비율로 초순수에 첨가하여 충분히 교반시킨다. 준비된 용액은 초음파분무 장치에서 분무된다. 여기서 초음파 진동수는 용매가 분무되기 가장 적합한 주파수(초순수의 경우 1.67 MHz)를 가진다. 분무된 액적은 설정된 온도(400-1000℃)로 미리 가열된 챔버 안으로 운반기체에 의해 분사된다. 이러한 분사물은 챔버 내에서 열분해 반응을 일으켜 NOX와 H2O와 함께 나노크기의 기공을 가지는 다 공성 나노분말이 생성된다. 생성된 나노 다공성 분말은 포집되고, NOX와 H2O는 외부로 방출된다. 이러한 전체 반응은 통상 대기압 하에서 이루어진다.A description with reference to FIG. 2 is as follows. In the present invention, La 0.6 Sr 0.4 CoO 3- ?? used in SOFC (solid oxide fuel cell) electrode or oxygen separation permeation membrane (LSC) nanopowders were attempted to be synthesized. Metal nitrates such as La (NO 3 ) 2 · 6H 2 O, Sr (NO 3 ) 2 , Co (NO 3 ) 2 · 6H 2 O were used as starting materials for the LSC nanopowders. To prepare, a water-soluble polymer, Poly Acrylic Acid (PAA, C 3 H 4 O 2 ) or PEG (Poly Ethylene Glycol, C 2 H 6 O 2 ) was added. Thus, all raw materials which can be dissolved in not only nitrate hydrate but also other pure water (ultra pure water) or alcohol solvent can be used. Polymeric raw materials can be used for all materials that can be dissolved in a solvent. The raw materials are added to the ultrapure water at an appropriate ratio and sufficiently stirred. The prepared solution is sprayed in an ultrasonic atomizer. The ultrasonic frequency here has the most suitable frequency (1.67 MHz for ultrapure water) at which the solvent is sprayed. The sprayed droplets are sprayed by the carrier gas into the preheated chamber to the set temperature (400-1000 ° C.). These sprays cause pyrolysis in the chamber to produce porous nanopowders with nano-sized pores with NO x and H 2 O. The resulting nanoporous powder is collected and NO X and H 2 O are released to the outside. This overall reaction is usually under atmospheric pressure.

출발 물질로 질산염 수용액을 사용하여 NOX가 발생지만 소수점 이하의 미약한 농도로 사용함으로써, 공정 중에 발생되는 주요 부산물은 물이므로 환경친화적이라 할 수 있다. 초음파 분무 열분해법에 의해 생성된 나노 다공성 분말은 약 20 nm 크기의 1차 입자들이 마이크론 미만 크기의 2차 입자를 형성하고 있다. 기공의 크기는 20 내지 30 nm 크기를 나타내고 있으며, 공정 중에 고분자 첨가에 의해 분말의 비표면적은 3배 이상 증가되었다.NO x is generated using aqueous solution of nitrate as a starting material, but it is eco-friendly because the main by-product generated during the process is water. Nanoporous powders produced by ultrasonic spray pyrolysis have primary particles of about 20 nm in size forming secondary particles of submicron size. The pore size ranges from 20 to 30 nm, and the specific surface area of the powder has increased more than three times by the addition of polymer during the process.

이하에 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.

[ 실시예 1 ] Example 1

LSC분말의 출발원료로서 La(NO3)2·6H2O, Sr(NO3)2, Co(NO3)2·6H2O의 금속질산염이 사용되었고, 다공성 분말을 제조하기 위하여 수용성 고분자인 Poly Acrylic Acid(PAA, C3H4O2)를 사용하였다. 금속질산염들은 LSC의 조성이 La0.6Sr0.4CoO3-??이 되도록 칭량하여 초순수에 0.1M의 농도로 용해시켰다. 이 후 PAA를 용매 1리터당 50cc 첨가하여 충분히 교반하였다. 준비된 용액은 초음파분무 장치에 의해 분무되어 설정온도(1000℃)로 미리 가열된 챔버 안으로 운반기체에 의해 이동된 후 열분해 반응을 일으킨다. 이때 사용되는 운반기체는 공기, 산소, 질소, 불활성 가스 또는 이들 가스의 둘 이상의 혼합가스를 포함할 수 있다. 이러한 열분해 반응에 의해 NOX와 H2O가 방출되며 나노 다공성 분말이 형성되었으며, 전체 반응공정은 대기압 하에서 이루어졌다.As starting materials for the LSC powder, metal nitrates of La (NO 3 ) 2 · 6H 2 O, Sr (NO 3 ) 2 , Co (NO 3 ) 2 · 6H 2 O were used. Poly Acrylic Acid (PAA, C 3 H 4 O 2 ) was used. Metal nitrates have a composition of LSC of La 0.6 Sr 0.4 CoO 3- ?? It was weighed so as to dissolve in ultrapure water at a concentration of 0.1 M. After that, 50 cc of PAA was added per liter of solvent, followed by stirring sufficiently. The prepared solution is sprayed by an ultrasonic atomizer and moved by a carrier gas into a chamber previously heated to a set temperature (1000 ° C.) to cause a pyrolysis reaction. The carrier gas used at this time may include air, oxygen, nitrogen, inert gas or a mixture of two or more of these gases. NO x and H 2 O were released by this pyrolysis reaction to form nanoporous powder, and the whole reaction process was performed under atmospheric pressure.

도 3은 도 1의 초음파분무 열분해장치에서 본 실시예 1의 방법으로 제조한 나노 다공성 분말(LSC, La0.6Sr0.4CoO3-??)을 주사전자현미경으로 관찰한 사진이다. 사진에서 알 수 있듯이, 1차 입자의 크기는 20 nm 정도를 나타내고 있으며, 이와 유사한 크기의 기공을 가지고 있음을 알 수 있다. 도 4는 실시예 1의 방법으로 제조된 분말을 투과전자현미경으로 관찰한 것이다. 20 nm 정도의 크기를 가지는 기공이 균일하게 분포되어 있음을 확인할 수 있다.3 is a photograph of the nanoporous powder (LSC, La 0.6 Sr 0.4 CoO 3- ?? ) prepared by the method of Example 1 in the ultrasonic spray pyrolysis apparatus of FIG. 1 with a scanning electron microscope. As can be seen from the photo, the primary particle size is about 20 nm, it can be seen that it has a similar size pores. Figure 4 is to observe the powder prepared by the method of Example 1 with a transmission electron microscope. It can be seen that the pores having a size of about 20 nm are uniformly distributed.

[ 비교예 1 ] Comparative Example 1

본 비교예 1에서는 수용성 고분자의 첨가에 의한 분말특성을 알아보기 위하여 수용성 고분자를 첨가하지 않고 분말을 제조하였다. 다른 조건들은 상기 실시예 1과 동일한 조건으로 분말을 제조하였다.In Comparative Example 1, the powder was prepared without adding the water-soluble polymer in order to determine the powder characteristics by the addition of the water-soluble polymer. Other conditions were prepared powder under the same conditions as in Example 1.

도 5는 비교예 1의 방법으로 제조된 LSC 분말을 주사전자현미경으로 관찰한 사진이다. 1차 입자의 크기는 실시예 1과 동일한 크기로 보이고 있으나 기공은 존재하고 있지 않음을 알 수 있었다. 즉, 수용성 고분자의 참가에 따른 나노기공의 발생을 확인할 수 있었다.5 is a photograph observing the LSC powder prepared by the method of Comparative Example 1 with a scanning electron microscope. The size of the primary particles was shown to be the same size as in Example 1, but the pores did not exist. In other words, it was possible to confirm the occurrence of nano-pores in accordance with the participation of the water-soluble polymer.

[ 실시예 2 ] Example 2

본 실시예 2에서는 첨가되는 PAA양을 용매 1리터당 100cc로 변경한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 조건으로 나노 다공성 분말을 제조하였다. 이는 수용성 고 분자의 첨가량에 따른 분말의 특성 변화를 관찰하기 위한 실험이다.In Example 2, nanoporous powder was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the amount of PAA added was changed to 100 cc per liter of solvent. This is an experiment for observing the change of the properties of the powder according to the addition amount of the water-soluble polymer.

도 6은 실시예 2의 방법으로 제조된 LSC 분말을 주사전자현미경으로 관찰한 사진이다. 1차 입자의 크기는 실시예 1의 방법으로 제조된 분말과 동일한 크기를 가지고 있으나 기공의 크기가 다소 커졌음을 알 수 있다.Figure 6 is a photograph of the LSC powder prepared by the method of Example 2 observed with a scanning electron microscope. The size of the primary particles has the same size as the powder prepared by the method of Example 1, but it can be seen that the pore size is somewhat larger.

도 7a는 실시예 1, 2와 비교예 1의 방법으로 제조된 분말들의 미세기공 크기와 분포를 확인하기 위해 BET로 분석된 미세기공 분포곡선으로서, 전술되었던 주사전자현미경으로 관찰된 사진과 동일한 결과를 나타내고 있다. 다시 말하면, 수용성 고분자인 PAA가 증가됨에 따라 미세기공 크기가 증가되었다. 이는 열분해반응 중에 한 액적 내에 수용성 고분자가 분해되는 양이 많아짐에 따라 그 액적 내에서 합성되는 분말의 기공이 증가되는 것으로 해석된다. 도 7b는 도 7a의 미세기공 분포곡선을 적분하여 계산된 미세기공량을 정리한 것이다. 수용성 고분자인 PAA의 첨가량 증가에 따라 미세기공량이 급격히 증가하고 있음을 알 수 있다. 즉 수용성 고분자의 첨가는 나노 다공성 분말의 제조에 중요한 인자로 판단될 수 있다.7A is a micropore distribution curve analyzed by BET to confirm the micropore size and distribution of powders prepared by the methods of Examples 1 and 2 and Comparative Example 1, and the same results as the photographs observed with the scanning electron microscope described above. Indicates. In other words, as the water-soluble polymer PAA increases, the micropore size increases. This is interpreted as the pore of the powder synthesized in the droplet increases as the amount of water-soluble polymer is decomposed in one droplet during the thermal decomposition reaction. FIG. 7B summarizes the amount of micropores calculated by integrating the micropore distribution curve of FIG. 7A. It can be seen that as the amount of PAA, which is a water-soluble polymer, increases, the amount of micropores increases rapidly. That is, the addition of the water-soluble polymer may be considered an important factor in the preparation of the nanoporous powder.

[ 실시예 3 ] Example 3

본 실시예 3에서는 첨가되는 수용성 고분자를 PEG로 하였으며 첨가량은 용매 1리터당 50cc로 하였다. 다른 조건들은 실시예 1과 실시예 2와 동일한 조건으로 나노 다공성 분말을 제조하였다. 본 실시예 3에서는 첨가되는 수용성 고분자의 종류에 따른 분말의 특성변화를 관찰하기 위한 실험이다.In Example 3, the water-soluble polymer to be added was PEG, and the amount was 50cc per liter of solvent. Other conditions were prepared nanoporous powder under the same conditions as in Example 1 and Example 2. In Example 3 is an experiment for observing the change in the properties of the powder according to the type of water-soluble polymer to be added.

도 8은 실시예 3의 방법으로 제조된 LSC 분말을 주사현미경으로 관찰한 사진이다. 상술된 실시예 1, 2와 비교예 1과 마찬가지로 1차 입자는 20 nm 정도의 크기 를 보였고 약간의 기공이 존재하고 있음을 확인할 수 있다. 그러나 PAA를 같은 양으로 첨가한 실험인 실시예 1의 결과와 비교해 볼 때, 기공의 양은 감소된 것으로 판단된다.8 is a photograph observing the LSC powder prepared by the method of Example 3 with a scanning microscope. As in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 described above, the primary particles showed a size of about 20 nm and some pores were present. However, when compared with the results of Example 1, which is an experiment in which the same amount of PAA was added, the amount of pores is considered to be reduced.

도 9는 전술한 실시예 1, 2, 3과 비교예 1의 방법들로 제조된 LSC 분말들을 분석하여 얻어진 1차 입자 크기와 비표면적 값을 정리한 것이다. 1차 입자크기는 XRD 결과를 Scherrer 식으로 계산하여 얻어진 것이며, 비표면적은 BET로 분석한 것이다. 도 9에 나타나 있듯이 1차 입자의 크기는 수용성 고분자를 첨가했을 때 감소하였음을 알 수 있다. 이는 한 액적 내에 수용성 고분자가 공존함에 따라 상대적으로 그 액적에서 분말로 합성될 수 있는 금속염 전구체의 양의 감소에 따른 결과로 해석된다. 또한 비표면적은 수용성 고분자의 첨가로 인하여 급격히 증가되었음을 알 수 있다. 이 결과는 액적에 공존하던 수용성 고분자가 열분해 반응 시 분해되면서 입자간에 기공을 생성시켰을 것으로 판단된다.FIG. 9 summarizes primary particle size and specific surface area values obtained by analyzing LSC powders prepared by the methods of Examples 1, 2, and 3 and Comparative Example 1 described above. The primary particle size was obtained by calculating the XRD results by Scherrer's equation, and the specific surface area was analyzed by BET. As shown in Figure 9 it can be seen that the size of the primary particles was reduced when the water-soluble polymer is added. This is interpreted as a result of the reduction of the amount of metal salt precursor that can be synthesized as a powder in the droplets as the water-soluble polymer coexists in the droplets. In addition, it can be seen that the specific surface area was rapidly increased due to the addition of the water-soluble polymer. This result suggests that the water-soluble polymer that coexisted in the droplets was decomposed during the pyrolysis reaction to form pores between the particles.

상술된 결과들로부터 초음파분무 열분해법으로 분말을 제조할 때 용매에 녹을 수 있는 고분자를 첨가하였을 경우, 나노 크기의 기공들을 균일하게 생성시킴을 알 수 있다. 이는 현재 연구 중인 여타의 나노 다공성 분말 제조방법들보다 분말 특성뿐만 아니라 공정상의 우위를 지킬 수 있는 것이다.From the above results, it can be seen that when the polymer is dissolved in a solvent when the powder is prepared by ultrasonic spray pyrolysis, nano-sized pores are uniformly generated. This not only preserves the powder properties but also the process advantages over other nanoporous powder preparation methods currently under study.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노 분말은 다음과 같은 효과를 가진다.As described above, the method for producing nanoporous powder using ultrasonic spray pyrolysis according to the present invention and the nanopowder prepared thereby have the following effects.

첫째, 본 발명은 금속염 전구체에 수용성 고분자를 첨가하여 초음파분무 열 분해법을 이용하여 제조함으로써, 비표면적이 매우 크고 나노 사이즈의 기공을 가지면서도 균일한 나노 다공성 분말을 수득할 수 있다.First, the present invention is prepared by the ultrasonic spray pyrolysis method by adding a water-soluble polymer to the metal salt precursor, it is possible to obtain a uniform nanoporous powder having a very large specific surface area and having nano-sized pores.

둘째, 본 발명은 출발 물질로 질산염 수용액을 소수점 이하의 미약한 농도로 사용함으로써, 공정 중에 발생되는 주요 부산물이 물이므로 환경친화적이다.Second, the present invention is environmentally friendly because the main by-product generated during the process is water by using a nitrate aqueous solution as a starting material in a weak concentration below the decimal point.

셋째, 본 발명은 상기 분말을 에너지절약/저장/변환소재, 화학적/전기화학적 활성소재, 정보/전자용 소재분야에 응용 가능하다. Third, the present invention is applicable to the field of energy saving / storage / conversion material, chemical / electrochemically active material, information / electronic materials.

Claims (13)

삭제delete 세라믹 또는 금속질산염인 금속 원료를 용매에 첨가 및 교반하여 용액을 마련하는 단계와,Preparing a solution by adding and stirring a metal raw material which is ceramic or metal nitrate to a solvent, 상기 세라믹 또는 금속질산염인 금속 원료 용액에 폴리머를 첨가 및 교반하여 용액을 마련하는 단계와, Preparing a solution by adding and stirring a polymer to the metal raw material solution which is ceramic or metal nitrate; 상기 용액을 초음파 분무장치로 분무시키는 단계와,Spraying the solution with an ultrasonic atomizer; 상기 분무된 액적을 미리 가열된 챔버로 분사시키는 단계와, Spraying the sprayed droplets into a preheated chamber; 상기 분사물을 열분해시키는 단계와, Pyrolyzing the spray; 상기 열분해 후 생성된 분말을 포집하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법.Method for producing a nano-porous powder using the ultrasonic spray pyrolysis method comprising the step of collecting the powder produced after the pyrolysis. 삭제delete 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 세라믹, 금속 원료는 순수 또는 알코올계 용매에 용해가 되는 모든 원료를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법.The method of producing a nano-porous powder using the ultrasonic spray pyrolysis method, characterized in that the ceramic and metal raw materials include all raw materials dissolved in pure water or alcohol solvents. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 세라믹 또는 금속 원료와 용매의 혼합비 조절로 용액의 농도를 조절하여 최종 분말의 크기를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법.And adjusting the concentration of the solution by controlling the mixing ratio of the ceramic or metal raw material and the solvent to adjust the size of the final powder. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 세라믹 또는 금속 용액과 첨가된 폴리머의 혼합비 조절로 최종 분말과 기공의 크기를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법.And adjusting the size of the final powder and the pores by controlling the mixing ratio of the ceramic or metal solution and the added polymer. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 첨가되는 폴리머는 PEG, PAA 또는 용해가 가능한 모든 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법.The added polymer is PEG, PAA or a method for producing a nano-porous powder using the ultrasonic spray pyrolysis method, characterized in that it includes any polymer that can be dissolved. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 초음파 분무장치의 진동수를 조절하여 2차 입자인 최종분말의 크기를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법.And adjusting the frequency of the ultrasonic atomizer to adjust the size of the final powder, which is secondary particles. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 분무된 액적을 미리 가열된 챔버로 분사시키는 단계는 액적을 운반 기체를 이용하여 가열 챔버로 분사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법.And spraying the sprayed droplets into the preheated chamber comprises spraying the droplets into the heating chamber using a carrier gas. 제 9항에 있어서, The method of claim 9, 상기 운반 기체는 공기, 산소, 질소, 불활성 가스 또는 상기 기체의 혼합 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법.The carrier gas is air, oxygen, nitrogen, an inert gas or a method of producing a nano-porous powder using the ultrasonic spray pyrolysis method, characterized in that containing a mixture of the gas. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 분사물을 열분해시키는 단계의 온도는 100℃ 내지 1200℃인 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법.The temperature of the step of pyrolyzing the spray is a method for producing nanoporous powder using ultrasonic spray pyrolysis, characterized in that 100 ℃ to 1200 ℃. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 열분해 후 생성된 분말은 마이크론 이하의 크기인 것을 특징으로 하는 초음파분무 열분해법을 이용한 나노 다공성 분말의 제조방법.The powder produced after the pyrolysis is a nanoporous powder manufacturing method using the ultrasonic spray pyrolysis method, characterized in that the size of less than microns. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 방법을 이용하여 제조된 것을 특징으로 하는 나노 다공성 분말.Nanoporous powder, characterized in that prepared using the method.
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