KR100734654B1 - Apparatus for closing and opening a pod cover of a standard mechanical interface system - Google Patents

Apparatus for closing and opening a pod cover of a standard mechanical interface system Download PDF

Info

Publication number
KR100734654B1
KR100734654B1 KR1020050131645A KR20050131645A KR100734654B1 KR 100734654 B1 KR100734654 B1 KR 100734654B1 KR 1020050131645 A KR1020050131645 A KR 1020050131645A KR 20050131645 A KR20050131645 A KR 20050131645A KR 100734654 B1 KR100734654 B1 KR 100734654B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
latch
opening
pod cover
closing
close
Prior art date
Application number
KR1020050131645A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
신현삼
황금범
Original Assignee
동부일렉트로닉스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 동부일렉트로닉스 주식회사 filed Critical 동부일렉트로닉스 주식회사
Priority to KR1020050131645A priority Critical patent/KR100734654B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100734654B1 publication Critical patent/KR100734654B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

An apparatus for opening/closing a pod cover of an SMIF(Standard Mechanical InterFace) apparatus is provided to prevent failure in processing and to take actions against an abnormal pod cover by enhancing the exactness of opening/closing operations of the pod cover and checking easily the malfunction of the pod cover in the opening/closing operations. An apparatus for opening/closing a pod cover of an SMIF apparatus includes a latch, a latch rotating unit, a detecting member, close/open sensors, and a latch opening/closing control unit. The latch(110) is installed on a port plate. The latch includes a hook portion(112) capable of closing and opening a pod cover. The latch rotating unit(120) is used for rotating the latch. The detecting member(130) is installed at a side of the latch. The close/open sensors(140,150) are capable of outputting close/open signals according to the rotation of the latch. The latch opening/closing control unit is used for controlling the latch rotating unit according to the close/open signals of the close/open sensors. The detecting member is composed of first and second detecting bars(131,132), wherein the first and second detecting bars are detected by the close/open sensors, respectively.

Description

ＳＭＩＦ 장치의 파드커버 개폐장치{APPARATUS FOR CLOSING AND OPENING A POD COVER OF A STANDARD MECHANICAL INTERFACE SYSTEM}Pad cover switchgear of SMIF device {APPARATUS FOR CLOSING AND OPENING A POD COVER OF A STANDARD MECHANICAL INTERFACE SYSTEM}

도 1은 종래의 기술에 따른 SMIF 장치의 SMIF 파드를 도시한 사시도이고,1 is a perspective view showing a SMIF pod of the SMIF device according to the prior art,

도 2는 종래의 기술에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치를 도시한 사시도이고,Figure 2 is a perspective view showing a pod cover opening and closing device of the SMIF device according to the prior art,

도 3은 본 발명에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치에서 클로즈된 상태를 도시한 사시도이고,3 is a perspective view showing a closed state in the pod cover opening and closing device of the SMIF device according to the present invention,

도 4는 본 발명에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치에서 클로즈된 상태를 도시한 평면도이고,Figure 4 is a plan view showing a closed state in the pod cover opening and closing device of the SMIF device according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치의 제어를 위한 블록도이고,5 is a block diagram for controlling the pod cover opening and closing apparatus of the SMIF device according to the present invention,

도 6은 본 발명에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치에서 오픈된 상태를 도시한 사시도이고,6 is a perspective view showing an open state in the pod cover opening and closing device of the SMIF device according to the present invention,

도 7은 본 발명에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치에서 오픈된 상태를 도시한 평면도이다.7 is a plan view illustrating an open state in the pod cover opening and closing device of the SMIF device according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

110 : 래치 111 : 수직축110: latch 111: vertical axis

112 : 걸림부 120 : 래치회전수단112: latching portion 120: latch rotation means

121 : 기어 122 : 피니언121: gear 122: pinion

123 : 모터 130 : 감지부재123: motor 130: sensing member

131 : 제 1 감지바 132 : 제 2 감지바131: first detection bar 132: second detection bar

140 : 클로즈센서 141 : 접속편140: close sensor 141: connection

150 : 오픈센서 151 : 접속편150: open sensor 151: connection

160 : 래치개폐제어부 170 : 엔코더160: latch opening and closing control unit 170: encoder

180 : 경보발생부180: alarm generator

본 발명은 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 파드커버를 정확하게 개폐시킴으로써 파드커버의 개폐에 대한 작업자 실수의 유발을 억제함과 아울러 공정진행시 장애의 발생을 방지하는 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pod cover opening and closing device of the SMIF device, and more particularly, to precisely open and close the pod cover to suppress the occurrence of operator error in opening and closing the pod cover, and also to prevent the occurrence of an obstacle during the process progress. It relates to a pod cover opening and closing device.

일반적으로, 반도체 소자의 제조장비는 웨이퍼 또는 웨이퍼가 저장된 웨이퍼카세트를 장비에 로딩하거나 언로딩하기 위하여 SMIF(Standard Mechanical Interface) 장치가 주변장치로서 이용된다.In general, a manufacturing device for a semiconductor device uses a standard mechanical interface (SMIF) device as a peripheral device for loading or unloading a wafer or a wafer cassette on which the wafer is stored.

SMIF 장치는 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 콘트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하는데 유용한데, 내측에 웨이퍼카세트가 장착되는 SMIF 파드와, SMIF 파드내의 웨이퍼카세트를 반도체 소자의 제조장비 내측으로 로딩/언로딩하는 SMIF 포트를 포함하고 있다.SMIF devices are useful for controlling atmospheric conditions and processing errors in narrow spaces, etc. It contains an unloading SMIF port.

종래의 반도체 소자의 제조장비에 사용되는 SMIF 장치의 SMIF 파드를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, the SMIF pod of the SMIF device used in the manufacturing equipment of the conventional semiconductor device is as follows.

도 1은 종래의 기술에 따른 SMIF 장치의 SMIF 파드를 도시한 사시도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 SMIF 파드(10)는 하부에 착탈 가능하게 결합됨과 아울러 상측에 웨이퍼(W)가 장착된 웨이퍼카세트(1)가 안착되는 파드도어(11)와, 파드도어(11)의 상부에 탑재되어 웨이퍼카세트(1)를 덮고 있는 파드커버(12)를 포함한다.1 is a perspective view showing a SMIF pod of the SMIF device according to the prior art. As shown, the conventional SMIF pod 10 is detachably coupled to the bottom and the pod door 11 and the pod door 11 on which the wafer cassette 1 on which the wafer W is mounted is mounted. And a pod cover 12 mounted on an upper portion of the wafer cassette 1 to cover the wafer cassette 1.

이러한 종래의 SMIF 파드(10)는 SMIF 포트 상측의 포트플레이트에 장착되어 파드도어(11)와 함께 웨이퍼카세트(1)가 SMIF 포트 내측으로 이동함에 따라 반도체 소자의 제조장비로 로딩되며, 이 때, 파드커버(12)는 포트플레이트에 이탈이 억제되도록 클로즈되며, 이를 위해 SMIF 장치는 파드커버(12)와 포트플레이트간의 클로즈 및 오프 상태를 가능하게 하는 파드커버 개폐장치가 마련된다.The conventional SMIF pod 10 is mounted on a port plate above the SMIF port and loaded with the pod door 11 into the semiconductor device manufacturing equipment as the wafer cassette 1 moves inside the SMIF port. The pod cover 12 is closed so that the departure from the port plate is suppressed. For this purpose, the SMIF device is provided with a pod cover opening and closing device to enable a closed and off state between the pod cover 12 and the port plate.

도 2는 종래의 기술에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치를 도시한 사시도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 파드커버 개폐장치(20)는 포트플레이트(30)상에 회전 가능하게 설치되어 파드커버(12)를 클로즈 및 오픈시키는 래치(21)와, 래치(21)를 회전시키는 모터(22)와, 모터(22)를 제어하는 제어부(미도시)를 포함한다.Figure 2 is a perspective view showing a pod cover opening and closing device of the SMIF device according to the prior art. As shown, the conventional pod cover opening and closing device 20 is rotatably installed on the port plate 30 to close and open the pod cover 12 and to rotate the latch 21, And a control unit (not shown) for controlling the motor 22.

래치(21)는 수직축(21a)에 의해 포트플레이트(30)상에 회전 가능하게 설치되며, 회전함에 따라 파드커버(12)의 하단에 형성되는 플랜지(12a) 상측에 걸림과 이탈을 반복함으로써 파드커버(12)를 클로즈 및 오픈시키도록 상단에 일측으로 걸림 부(21b)가 돌출 형성된다.The latch 21 is rotatably installed on the port plate 30 by the vertical shaft 21a. The latch 21 is podd by repeatedly engaging and disengaging the flange 12a formed at the lower end of the pod cover 12 as it rotates. A locking portion 21b protrudes from one side to the top to close and open the cover 12.

모터(22)는 래치(21)의 수직축(21a)에 연결되어 래치(21)를 회전시킴으로써 파드커버(12)가 클로즈 및 오픈되도록 한다.The motor 22 is connected to the vertical shaft 21a of the latch 21 to rotate the latch 21 so that the pod cover 12 is closed and opened.

제어부(미도시)는 모터(22)의 회전각에 따라 각각 다른 값을 가지는 가변저항에 의하여 모터(22) 회전축의 회전각을 제어함으로써 래치(21)가 파드커버(12)를 클로즈 및 오픈시키도록 하는데, SMIF 파드(10; 도 1에 도시)의 파드도어(11; 도 1에 도시)가 웨이퍼카세트(1; 도 1에 도시)와 함께 SMIF 포트 내측으로 이동하여 반도체 소자의 제조장비로 로딩시 파드커버(12)를 클로즈시키며, SMIF 파드(10)로 웨이퍼카세트(1)가 장착되면 파드커버(12)를 오픈시키게 된다.The controller (not shown) controls the rotation angle of the rotation shaft of the motor 22 by a variable resistor having a different value depending on the rotation angle of the motor 22 so that the latch 21 closes and opens the pod cover 12. The poddoor 11 (shown in FIG. 1) of the SMIF pod 10 (shown in FIG. 1) moves together with the wafer cassette 1 (shown in FIG. 1) inside the SMIF port and loaded into the semiconductor device manufacturing equipment. When the pod cover 12 is closed and the wafer cassette 1 is mounted with the SMIF pod 10, the pod cover 12 is opened.

그러나, 이러한 종래의 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치(20)는 사용시 외부적인 요인에 의하여 모터(22) 회전축의 포지션이 정해진 저항값에서 벗어날 경우 모터(22) 오동작의 원인이 됨으로써 파드커버(12)의 개폐를 어렵게 하는 문제점을 가지고 있었다.However, the pod cover opening and closing device 20 of the conventional SMIF device may cause a malfunction of the motor 22 when the position of the rotating shaft of the motor 22 is out of a predetermined resistance value due to external factors during use. Had a problem making it difficult to open and close.

또한, SMIF 장치의 파드커버 개폐장치(20)는 오동작시 이를 외부에 나타내는 별도의 장치가 마련되지 않아서 파드커버(12)가 정상적으로 개폐되고 있는지를 확인할 수 없기 때문에 고장시 신속한 조치가 어려우며, 파드커버(12)가 원하지 않게 클로즈되거나 오픈됨으로써 공정 진행시 작업자의 실수 및 파드커버(12) 관련사고를 유발시키는 문제점을 가지고 있었다.In addition, since the pod cover opening and closing device 20 of the SMIF device does not have a separate device indicating the outside when malfunctioning, the pod cover opening and closing device 20 cannot determine whether the pod cover 12 is normally opened and closed, and thus, the pod cover opening and closing device is difficult. (12) was undesirably closed or opened, causing a worker's mistake and accidents related to the pod cover 12 during the process.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적 은 파드커버를 정확하게 개폐시킴으로써 파드커버의 개폐에 대한 작업자 실수의 유발을 억제함과 아울러 공정진행시 장애의 발생을 방지하며, 파드커버의 개폐에 대한 오동작을 외부에서 쉽게 확인할 수 있도록 함으로써 신속한 조치를 취할 수 있도록 하는 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치를 제공하는데 있다. The present invention is to solve the above-mentioned problems, the object of the present invention by accurately opening and closing the pod cover to suppress the occurrence of the operator error in the opening and closing of the pod cover and to prevent the occurrence of obstacles during the process, It is to provide a pod cover opening and closing device of the SMIF device to be able to quickly take action by making it easy to check the malfunction of opening and closing the pod cover from the outside.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, SMIF 장치의 포트플레이트에 파드커버를 개폐시키는 장치에 있어서, 포트플레이트상에 회전 가능하게 설치되며, 회전함에 따라 파드커버 하단의 플랜지 상측에 걸림과 이탈을 반복함으로써 파드커버를 클로즈 및 오픈시키도록 상단에 걸림부가 형성되는 래치와, 래치를 회전시키는 래치회전수단과, 래치의 측면에 마련되는 감지부재와, 래치의 회전에 따라 파드커버의 클로즈 및 오픈시 감지부재가 접촉됨으로써 클로즈 및 오픈신호를 각각 출력하는 클로즈센서 및 오픈센서와, 클로즈센서 및 오픈센서의 신호를 각각 수신받으며, 래치회전수단을 제어하는 래치개폐제어부를 포함한다.The present invention for realizing the above object, in the device for opening and closing the pod cover to the port plate of the SMIF device, is rotatably installed on the port plate, and as the rotation rotates on the flange upper side of the bottom of the pod cover By repeating, the latch is formed at the upper end to close and open the pod cover, the latch rotation means for rotating the latch, the sensing member provided on the side of the latch, and the closing and opening of the pod cover according to the rotation of the latch. The sensing member is in contact with each other to receive a close sensor and open sensor for outputting the closed and open signals, and the signal of the close sensor and the open sensor, respectively, and includes a latch opening and closing control unit for controlling the latch rotation means.

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치에서 클로즈된 상태를 도시한 사시도 및 평면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치의 제어를 위한 블록도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치(100)는 포트플레이트(30)상에 회전 가능하게 설치되어 회전함에 따라 파드커버(12)를 클로즈 및 오프시키는 래치(110)와, 래치(110)를 회전시키는 래치회전수단(120)과, 래치(110)의 일측에 마련되는 감지부재(130)와, 감지부재(130)에 접촉됨으로써 클로즈 및 오픈신호를 각각 출력하는 클로즈센서(140) 및 오픈센서(150)와, 클로즈센서(140) 및 오픈센서(150)의 신호를 각각 수신받아 래치회전수단(120)을 제어하는 래치개폐제어부(160)를 포함한다.3 and 4 are a perspective view and a plan view showing a closed state in the pod cover opening and closing device of the SMIF device according to the present invention, Figure 5 is a block diagram for the control of the pod cover opening and closing device of the SMIF device according to the present invention. . As shown, the pod cover opening and closing device 100 of the SMIF device according to the present invention is rotatably installed on the port plate 30 and the latch 110 to close and off the pod cover 12 as it rotates; And a latch sensor for rotating the latch 110, a sensing member 130 provided at one side of the latch 110, and a closing sensor for outputting a close and open signal, respectively, by contacting the sensing member 130. 140 and the open sensor 150, and the latch opening and closing control unit 160 for receiving the signals of the close sensor 140 and the open sensor 150 to control the latch rotation means 120, respectively.

래치(110)는 수직축(111)에 의해 포트플레이트(30)상에 회전 가능하게 설치되며, 회전함에 따라 파드커버(12) 하단에 형성되는 플랜지(12a) 상측에 걸림과 이탈을 반복함으로써 파드커버(12)를 클로즈 및 오픈시키도록 상단에 걸림부(112)가 일측으로 연장 형성된다.The latch 110 is rotatably installed on the port plate 30 by the vertical shaft 111, and the latch cover 110 is repeatedly locked and detached from the upper side of the flange 12a formed at the bottom of the pod cover 12 as it rotates. A locking portion 112 is formed at an upper end to close and open 12.

래치회전수단(120)은 래치(110)를 회전시키기 위하여 래치(110)의 하단 외주면에 형성되는 기어(121)와, 기어(121)에 기어 결합되는 피니언(122)이 회전축에 결합되어 포트플레이트(30) 하측에 고정되는 모터(123)를 포함한다.The latch rotation means 120 is a gear plate 121 formed on the outer peripheral surface of the lower end of the latch 110 to rotate the latch 110, and the pinion 122 gear-coupled to the gear 121 is coupled to the rotating shaft port plate 30 includes a motor 123 fixed to the lower side.

감지부재(130)는 래치(110)의 측부에 단일부재로 형성되어 회전시 클로즈센서(140) 및 오픈센서(150)에 각각 접촉되어 감지되도록 할 수 있으며, 바람직하게는 클로즈센서(140) 및 오픈센서(150)에 각각 감지되도록 제 1 및 제 2 감지바(131,132)로 이루어진다.The sensing member 130 may be formed as a single member on the side of the latch 110 so that the sensing member 130 may be detected in contact with the close sensor 140 and the open sensor 150 during rotation, and preferably, the close sensor 140 and The first and second sensing bars 131 and 132 may be configured to be sensed by the open sensor 150, respectively.

제 1 및 제 2 감지바(131,132)는 래치(110)의 측면에 클로즈센서(140)와 오픈센서(150)의 위치에 따라 서로 일정 각도를 이루도록 간격을 두고서 수평되게 돌출된다. The first and second sensing bars 131 and 132 protrude horizontally at intervals such that the first and second sensing bars 131 and 132 are at an angle to each other according to the positions of the close sensor 140 and the open sensor 150 on the side surfaces of the latch 110.

클로즈센서(140)는 래치(110)의 회전에 의해 걸림부(112)가 파드커버(12)의 플랜지(12a) 상측에 걸림으로써 파드커버(12)를 클로즈시 감지부재(130)의 제 1 감지바(131)와 접촉됨으로써 클로즈신호를 래치개폐제어부(160)로 출력한다.The close sensor 140 is the first of the sensing member 130 when closing the pod cover 12 by the latch 112 is caught on the upper side of the flange 12a of the pod cover 12 by the rotation of the latch 110. The close signal is output to the latch opening / closing control unit 160 by being in contact with the sensing bar 131.

오픈센서(150)는 래치(110)의 회전에 의해 걸림부(112)가 파드커버(12)의 플랜지(12a) 상측으로부터 이탈됨으로써 파드커버(12)를 오픈시 감지부재(130)의 제 2 감지바(132)와 접촉됨으로써 오픈신호를 래치개폐제어부(160)로 출력한다.The open sensor 150 has a second part of the sensing member 130 when the pod cover 12 is opened by the latch 112 being separated from the upper side of the flange 12a of the pod cover 12 by the rotation of the latch 110. In contact with the sensing bar 132, the open signal is output to the latch opening and closing control unit 160.

클로즈센서(140) 및 오픈센서(150) 각각은 일측에 탄성에 의해 복원력을 가지는 접속편(141,151)이 마련되는 스위치로서, 파드커버(12)의 클로즈 및 오픈시 접속편(141,151) 각각에 감지부재(130)의 제 1 및 제 2 감지바(131,132)가 각각 가압됨으로써 스위칭되어 클로즈신호 및 오픈신호를 각각 출력한다.Each of the close sensor 140 and the open sensor 150 is a switch in which connection pieces 141 and 151 having a restoring force by elasticity are provided at one side, and are detected at each of the connecting pieces 141 and 151 when closing and opening the pod cover 12. The first and second sensing bars 131 and 132 of the member 130 are switched by pressing, respectively, to output a close signal and an open signal, respectively.

래치개폐제어부(160)는 클로즈센서(140) 및 오픈센서(150)의 신호를 각각 수신받음으로써 파드커버(12)를 클로즈 및 오픈시키도록 래치회전수단(120)의 모터(123)를 제어한다.The latch opening and closing control unit 160 controls the motor 123 of the latch rotation means 120 to close and open the pod cover 12 by receiving signals from the close sensor 140 and the open sensor 150, respectively. .

래치개폐제어부(160)는 SMIF 장치에 마련되는 메인콘트롤러(200)를 통해서 웨이퍼카세트(1; 도 1에 도시)가 SMIF 파드(10; 도 1에 도시)로 로딩/언로딩됨을 인식하고, 웨이퍼카세트(1)가 SMIF 파드(10)로부터 언로딩되면 파드커버(12)를 클로즈시키며, 웨이퍼카세트(1)가 SMIF 파드(10)로 로딩되면 파드커버(12)를 오픈시킨다.The latch opening and closing control unit 160 recognizes that the wafer cassette 1 (shown in FIG. 1) is loaded / unloaded into the SMIF pod 10 (shown in FIG. 1) through the main controller 200 provided in the SMIF device. When the cassette 1 is unloaded from the SMIF pod 10, the pod cover 12 is closed, and when the wafer cassette 1 is loaded into the SMIF pod 10, the pod cover 12 is opened.

파드커버(12)의 정확한 클로즈를 위하여 래치(110), 래치회전수단(120), 감지부재(130), 그리고 클로즈센서(140) 및 오픈센서(150)는 각각 한 쌍씩 이루어짐으로써 파드커버(12)의 양측을 각각 클로즈 및 오픈시키도록 함이 바람직하다.In order to close the pod cover 12, the latch 110, the latch rotation means 120, the sensing member 130, and the close sensor 140 and the open sensor 150 are each paired to form a pod cover 12. It is desirable to close and open both sides of the c), respectively.

파드커버(12)의 정상적인 개폐를 외부에서 확인할 수 있도록 엔코더(170)와 경보발생부(180)를 더 포함할 수 있다.The encoder 170 and the alarm generator 180 may be further included to check the normal opening and closing of the pod cover 12 from the outside.

엔코더(170)는 래치회전수단(120)의 모터(123) 회전축에 대한 회전각을 측정하여 이를 래치개폐제어부(160)로 전기적인 신호로 출력한다.The encoder 170 measures the rotation angle of the motor shaft 123 of the latch rotation means 120 and outputs it as an electrical signal to the latch opening and closing control unit 160.

경보발생부(180)는 래치개폐제어부(160)가 엔코더(170)에 의해 측정된 회전각에 상응하여 클로즈센서(140) 또는 오픈센서(150)로부터 신호를 수신받지 못하면 출력하는 경보신호에 따라 경보를 발생시킨다. Alarm generation unit 180 according to the alarm signal output when the latch opening and closing control unit 160 does not receive a signal from the close sensor 140 or the open sensor 150 corresponding to the rotation angle measured by the encoder 170 Raise an alarm.

경보발생부(180)는 외부로 경보음을 발생시키는 스피커이거나 광을 발산 내지 점멸하는 램프이거나 기호 또는 문자로서 표시하는 LCD이거나 기존의 모니터에 기호 또는 문자로서 표시하는 수단일 수 있다. The alarm generator 180 may be a speaker that generates an alarm sound to the outside, a lamp that emits or flashes light, an LCD that displays as a symbol or a character, or a means for displaying as a symbol or a character on an existing monitor.

이와 같은 구조로 이루어진 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치의 동작은 다음과 같이 이루어진다.The operation of the pod cover opening and closing device of the SMIF device having such a structure is performed as follows.

SMIF 파드(10; 도 1에 도시)로부터 반도체 소자의 제조장비로 웨이퍼카세트(1; 도 1에 도시)가 언로딩되면 이를 제어하는 SMIF 장치의 메인콘트롤러(200)의 신호를 통해서 이를 인식한 래치개폐제어부(160)가 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 모터(123)의 구동에 의해 래치(110)를 회전시켜서 걸림부(112)가 파드커버(12)의 플랜지(12a) 상측에 걸리도록 하여 파드커버(12)를 클로즈시킨다. 이 때, 래치(110)와 함께 회전하는 제 1 감지바(131)가 클로즈센서(140)의 접속편(141)을 가압함으로써 출력되는 클로즈센서(140)의 클로즈신호를 수신받은 래치개폐제어부(160)는 모터(123)의 구동을 정지시킨다.A latch recognized by the signal of the main controller 200 of the SMIF device that controls the wafer cassette 1 (shown in FIG. 1) when the wafer cassette 1 (shown in FIG. 1) is unloaded from the SMIF pod 10 (shown in FIG. 1) to the semiconductor device manufacturing equipment. As shown in FIGS. 3 and 4, the opening and closing control unit 160 rotates the latch 110 by driving the motor 123 so that the engaging portion 112 is positioned above the flange 12a of the pod cover 12. The pod cover 12 is closed by being caught. At this time, the latch opening and closing control unit (1) receiving the close signal of the close sensor 140 outputted by pressing the connecting piece 141 of the close sensor 140 by the first sensing bar 131 rotating together with the latch 110 ( 160 stops driving of the motor 123.

SMIF 파드(10; 도 1에 도시)에 웨이퍼카세트(1; 도 1에 도시)가 로딩되면 이를 제어하는 SMIF 장치의 메인콘트롤러(200)의 신호를 통해서 이를 인식한 래치개폐제어부(160)는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 모터(123)의 구동에 의해 래치(110)를 회전시켜서 걸림부(112)가 파드커버(12)의 플랜지(12a) 상측으로부터 이탈되도록 하여 파드커버(12)를 오픈시킨다. 이 때, 래치(110)와 함께 회전하는 제 2 감지바(132)가 오픈센서(150)의 접속편(151)을 가압함으로써 출력되는 오픈센서(150)의 오픈신호를 수신받은 래치개폐제어부(160)는 모터(123)의 구동을 정지시킨다.When the wafer cassette 1 (shown in FIG. 1) is loaded into the SMIF pod 10 (shown in FIG. 1), the latch opening / closing control unit 160 that recognizes this through the signal of the main controller 200 of the SMIF device controlling the SMIF pod 10 (shown in FIG. 1) is illustrated in FIG. 6 and 7, the latch 110 is rotated by the driving of the motor 123 so that the engaging portion 112 is separated from the upper side of the flange 12a of the pod cover 12 so that the pod cover 12 is rotated. Open). At this time, the latch opening and closing control unit receiving the open signal of the open sensor 150, which is output by pressing the connection piece 151 of the open sensor 150, the second sensing bar 132 rotating together with the latch 110 ( 160 stops driving of the motor 123.

래치개폐제어부(160)는 모터(123)를 구동시 엔코더(170)로부터 출력되는 모터(123)의 회전각과 파드커버(12)의 클로즈 및 오픈에 해당하는 모터(123)의 회전각을 서로 비교하여 파드커버(12)가 클로즈 및 오픈임에도 불구하고 클로즈센서(140) 및 오픈센서(150)로부터 신호를 수신받지 못하면, 클로즈센서(140), 오픈센서(150) 또는 모터(123)에 이상이 발생하였다고 판단하여 경보발생부(180)로 경보신호를 출력하고, 이를 수신받은 경보발생부(180)는 외부로 경보를 발생시킴으로써 작업자가 신속한 조치를 취하도록 한다.The latch opening and closing control unit 160 compares the rotation angle of the motor 123 corresponding to the closing and opening of the pod cover 12 with the rotation angle of the motor 123 outputted from the encoder 170 when the motor 123 is driven. When the pod cover 12 is closed and open but does not receive a signal from the close sensor 140 and the open sensor 150, an error occurs in the close sensor 140, the open sensor 150, or the motor 123. It is determined that it has occurred, and outputs an alarm signal to the alarm generating unit 180, and the alarm generating unit 180 receives the alarm to generate an alarm to the outside to prompt the operator to take action.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치는 파드커버를 정확하게 개폐시킴으로써 파드커버의 개폐에 대한 작업자 실수의 유발을 억제함과 아울러 공정진행시 장애의 발생을 방지하며, 파드커버의 개폐에 대한 오동작을 외부에서 쉽게 확인할 수 있도록 함으로써 신속한 조치를 취할 수 있도록 하는 효과를 가지고 있다. As described above, the pod cover opening and closing device of the SMIF device according to the present invention, by accurately opening and closing the pod cover to suppress the occurrence of operator error in the opening and closing of the pod cover and to prevent the occurrence of obstacles during the process, and the pod cover By making it easy to check the malfunction of the opening and closing of the outside has the effect that can be taken quickly.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is just one embodiment for carrying out the pod cover opening and closing device of the SMIF device according to the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment, as claimed in the following claims Without departing from the gist of the invention, anyone of ordinary skill in the art to which the present invention will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

Claims (6)

SMIF 장치의 포트플레이트에 파드커버를 개폐시키는 장치에 있어서,In the device for opening and closing the pod cover to the port plate of the SMIF device, 상기 포트플레이트상에 회전 가능하게 설치되며, 회전함에 따라 상기 파드커버 하단의 플랜지 상측에 걸림과 이탈을 반복함으로써 상기 파드커버를 클로즈 및 오픈시키도록 상단에 걸림부가 형성되는 래치와,A latch rotatably installed on the port plate, the latch being formed at an upper end thereof to close and open the pod cover by repeatedly engaging and disengaging the flange upper side of the bottom of the pod cover as it rotates; 상기 래치를 회전시키는 래치회전수단과,Latch rotation means for rotating the latch; 상기 래치의 측면에 마련되는 감지부재와,A sensing member provided on a side of the latch; 상기 래치의 회전에 따라 상기 파드커버의 클로즈 및 오픈시 상기 감지부재가 접촉됨으로써 클로즈 및 오픈신호를 각각 출력하는 클로즈센서 및 오픈센서와,A close sensor and an open sensor for outputting a close and an open signal by contacting the sensing member when the pod cover is closed and opened as the latch rotates; 상기 클로즈센서 및 상기 오픈센서의 신호를 각각 수신받으며, 상기 래치회전수단을 제어하는 래치개폐제어부를 포함하며,Receiving the signals of the close sensor and the open sensor, respectively, and includes a latch opening and closing control unit for controlling the latch rotation means, 상기 감지부재는,The sensing member, 상기 래치의 측면에 서로 간격을 두고서 각각 돌출되도록 구비되어 상기 클로즈센서 및 상기 오픈센서에 각각 감지되는 제 1 및 제 2 감지바First and second sensing bars provided on the sides of the latch to protrude at intervals from each other and sensed by the close sensor and the open sensor, respectively 인 것을 특징으로 하는 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치.Pad cover opening and closing device of the SMIF device, characterized in that. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 래치, 상기 래치회전수단, 상기 감지부재, 그리고 상기 클로즈센서 및 상기 오픈센서는 각각 한 쌍씩 이루어짐으로써 상기 파드커버의 양측을 각각 클로즈 및 오픈시키는 것The latch, the latch rotation means, the sensing member, and the closing sensor and the open sensor are each made in pairs to close and open both sides of the pod cover, respectively. 을 특징으로 하는 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치.Pod cover opening and closing device of the SMIF device characterized in that. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 래치회전수단은,The latch rotation means, 상기 래치의 외주면에 형성되는 기어와,A gear formed on an outer circumferential surface of the latch, 상기 기어에 기어 결합되는 피니언이 회전축에 결합되는 모터A pinion gear coupled to the gear is a motor coupled to the rotating shaft 를 포함하는 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치.Pod cover opening and closing device of the SMIF device comprising a. 제 3 항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 모터의 회전축에 대한 회전각을 측정하여 래치개폐제어부로 전기적인 신호를 출력하는 엔코더와,An encoder for measuring an angle of rotation of the rotational axis of the motor and outputting an electrical signal to the latch opening and closing control unit; 상기 래치개폐제어부가 상기 회전각에 상응하여 클로즈센서 또는 오픈센서로부터 신호를 수신받지 못하면 출력하는 경보신호에 따라 경보를 발생시키는 경보발생부Alarm generation unit for generating an alarm according to the alarm signal outputted when the latch opening and closing control unit does not receive a signal from the close sensor or the open sensor corresponding to the rotation angle 를 더 포함하는 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치.Pod cover opening and closing device of the SMIF device further comprising. 삭제delete 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 클로즈센서 및 상기 오픈센서는,The close sensor and the open sensor, 일측에 탄성에 의해 복원력을 가지는 접속편이 마련되며, 상기 접속편이 상기 감지부재에 의해 가압됨으로써 스위칭되어 클로즈신호 및 오픈신호를 각각 출력하는 것A connecting piece having a restoring force by elasticity is provided on one side, and the connecting piece is switched by being pressed by the sensing member to output a close signal and an open signal, respectively. 을 특징으로 하는 SMIF 장치의 파드커버 개폐장치.Pod cover opening and closing device of the SMIF device characterized in that.
KR1020050131645A 2005-12-28 2005-12-28 Apparatus for closing and opening a pod cover of a standard mechanical interface system KR100734654B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050131645A KR100734654B1 (en) 2005-12-28 2005-12-28 Apparatus for closing and opening a pod cover of a standard mechanical interface system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050131645A KR100734654B1 (en) 2005-12-28 2005-12-28 Apparatus for closing and opening a pod cover of a standard mechanical interface system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100734654B1 true KR100734654B1 (en) 2007-07-02

Family

ID=38502982

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050131645A KR100734654B1 (en) 2005-12-28 2005-12-28 Apparatus for closing and opening a pod cover of a standard mechanical interface system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100734654B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09139410A (en) * 1995-11-13 1997-05-27 Shinko Electric Co Ltd Mechanical interface device
KR200187489Y1 (en) 1997-12-30 2000-07-15 이완근 A hold/unhold system for the wafer cassette box of sealed type in the wafer cassette load/unload
KR20030001738A (en) * 2001-06-27 2003-01-08 주식회사 신성이엔지 Pod fixing apparatus for pod opener

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09139410A (en) * 1995-11-13 1997-05-27 Shinko Electric Co Ltd Mechanical interface device
KR200187489Y1 (en) 1997-12-30 2000-07-15 이완근 A hold/unhold system for the wafer cassette box of sealed type in the wafer cassette load/unload
KR20030001738A (en) * 2001-06-27 2003-01-08 주식회사 신성이엔지 Pod fixing apparatus for pod opener

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4955704B2 (en) Detachable local operator interface
KR100734654B1 (en) Apparatus for closing and opening a pod cover of a standard mechanical interface system
JP2013131476A (en) Operation monitoring device and operation monitoring system for disconnecting switch
CN107036631B (en) Locking state detection device
JP2013135898A (en) Steam sterilizer
JP2011088725A (en) Diagnostic system of elevator
JP6726019B2 (en) Water supply
CN208580215U (en) A kind of dual camera Multidirectional-moving detection device
JP5479719B2 (en) Window open / close detection device
CN106225933A (en) A kind of method for diagnosing faults and device
CN104370075B (en) Positioning device used for turnplate, turnplate mechanism and etching equipment
JP2011091072A (en) Diagnosis method of semiconductor wafer conveying device
US20220322911A1 (en) Domestic dishwashing machine and method
KR20190088807A (en) Electronic meter
KR20100073296A (en) Indexer for detecting wafer protrusion
KR20160102702A (en) Motor fault monitor system for HBD drive motor
KR101045644B1 (en) Apparatus and method for detecting intruder
JP2012139408A (en) Electronic endoscope and electronic endoscope system
CN109387783A (en) Portable multi-functional measuring instrument
JP2013049550A (en) Elevator door diagnostic system
JP2012200630A (en) Centrifugal separator
TWI766697B (en) Device and method for monitoring
CN209754886U (en) Built-in dual limiting mechanism
KR20040063301A (en) Wafer sensing apparatus and the sensing method
KR101376770B1 (en) Miss-operating sensing structure of electric and electronic device and control method for the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Publication of correction
LAPS Lapse due to unpaid annual fee