KR100732257B1 - Page buffer and method of erase varify of flash memory device using thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 페이지 버퍼 및 이를 이용한 플래쉬 메모리 소자의 소거 검증 방법에 관한 것으로, 듀얼 레지스터 구조의 페이지 버퍼에서 센싱 노드의 전위에 따라 구동되는 NMOS 트랜지스터와 메인 래치 신호에 따라 구동되는 NMOS 트랜지스터 사이에 센싱 노드의 전위에 따라 구동되는 NMOS 트랜지스터를 추가하고, 센싱 노드의 전위에 따라 구동되는 NMOS 트랜지스터들 사이의 전위를 소거 검증 신호로 추출함으로써 메인 래치의 출력 신호를 반전시켜 소거 검증 신호를 생성하는 종래에 비해 소거 검증 시간을 줄일 수 있고, 소거 검증에 필요한 회로수를 줄일 수 있는 페이지 버퍼 및 이를 이용한 소거 검증 방법이 제시된다.
The present invention relates to a page buffer and an erase verification method of a flash memory device using the same, and includes a sensing node between an NMOS transistor driven according to a potential of a sensing node and an NMOS transistor driven according to a main latch signal in a page buffer of a dual register structure. Compared to the conventional method of generating an erase verify signal by adding an NMOS transistor driven according to a potential of the transistor, and extracting the potential between the NMOS transistors driven according to the potential of the sensing node as an erase verify signal, thereby inverting the output signal of the main latch. A page buffer and an erase verification method using the same are provided to reduce the erase verification time and reduce the number of circuits required for the erase verification.

페이지 버퍼, 소거 검증. 검증 시간Page buffer, erase verification. Verification time

Description

페이지 버퍼 및 이를 이용한 플래쉬 메모리 소자의 소거 검증 방법{Page buffer and method of erase varify of flash memory device using thereof} Page buffer and method of erase varify of flash memory device using pretty}             

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 페이지 버퍼의 구성도.1 is a block diagram of a page buffer according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 소거 검증 회로도.
2 is an erase verify circuit diagram according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 : 메모리 셀 어레이 200 : 비트라인 선택부100: memory cell array 200: bit line selection unit

110 : 메인 래치 120 : 캐쉬 래치
110: main latch 120: cache latch

본 발명은 NAND형 플래쉬 메모리 소자에 관한 것으로, 특히 메인 래치의 입력 단자의 전위에 따라 소거 검증 신호를 생성함으로써 검증 시간을 줄일 수 있는 페이지 버퍼 및 이를 이용한 소거 검증 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a NAND type flash memory device, and more particularly, to a page buffer and an erase verify method using the same, by generating an erase verify signal according to a potential of an input terminal of a main latch.

전기적으로 프로그램(program)과 소거(erase)가 가능하며, 일정 주기로 데이터(data)를 재작성하는 리프레쉬(refresh) 기능이 필요 없는 반도체 메모리 소자의 수요가 증가하고 있다. 그리고, 많은 데이터를 저장할 수 있는 대용량 메모리 소자의 개발을 위해서 메모리 소자의 고집적화 기술에 대한 연구가 활발이 진행되고 있다. 여기서, 프로그램이란 데이터를 메모리 셀에 기입(write)하는 동작을 가리키며, 소거란 메모리 셀에 기입된 데이터를 제거하는 동작을 가리킨다.There is an increasing demand for semiconductor memory devices that can be electrically programmed and erased and that do not require a refresh function that rewrites data at regular intervals. In order to develop a large-capacity memory device capable of storing a large amount of data, research on high integration technology of memory devices has been actively conducted. Here, the program refers to an operation of writing data to a memory cell, and the erasing refers to an operation of removing data written to the memory cell.

메모리 소자의 고집적화를 위해 복수개의 메모리 셀(memory cell)들이 직렬로 접속(즉, 인접한 셀끼리 드레인 또는 소오스를 서로 공유하는 구조)되어 한 개의 스트링(string)을 구성하는 NAND형 플래쉬 메모리 소자가 개발되었다. NAND형 플래쉬 메모리 소자는 NOR형 플래쉬 메모리 소자와 달리 순차적으로 정보를 독출(read)하는 메모리 소자이다. 이러한 NAND형 플래쉬 메모리 소자의 프로그램 및 소거는 F-N 터널링(tunneling) 방식을 이용하여 플로팅 게이트(floating gate)에 전자를 주입하거나 방출하면서 메모리 셀의 문턱 전압(threshold voltage)을 제어함으로써 이루어진다.For high integration of memory devices, a NAND type flash memory device is developed in which a plurality of memory cells are connected in series (that is, a structure in which adjacent cells share drain or source with each other) to form a string. It became. Unlike NOR-type flash memory devices, NAND-type flash memory devices are memory devices that read information sequentially. Programming and erasing of such a NAND type flash memory device is performed by controlling the threshold voltage of the memory cell while injecting or emitting electrons into a floating gate using an F-N tunneling method.

NAND형 플래쉬 메모리 소자는 짧은 시간 내에 대용량의 정보를 저장하거나 저장된 정보를 독출하기 위하여 페이지 버퍼(page buffer)가 사용된다. 페이지 버퍼는 입출력 패드(Input/Output PAD)로부터 대용량의 데이터를 제공받아 메모리 셀들로 제공하거나 메모리 셀들의 데이터를 저장한 후 출력하는 기능을 한다. 통상 페이지 버퍼는 데이터를 임시 저장하기 위하여 단일 레지스터로 구성되는 것이 보 편적이었으나, 최근 NAND형 플래쉬 메모리 소자에서 대용량 데이터 프로그램시 프로그램 속도를 증가시키기 위하여 듀얼 레지스터(dual register)로 구성하고 있다.A NAND type flash memory device uses a page buffer to store a large amount of information or to read stored information in a short time. The page buffer receives a large amount of data from an input / output pad and provides the memory cells or stores and outputs data of the memory cells. In general, the page buffer is generally composed of a single register for temporarily storing data. However, in recent years, the NAND-type flash memory device has a dual register to increase program speed when programming a large amount of data.

듀얼 레지스터 구조의 페이지 버퍼를 갖는 NAND형 플래쉬 메모리 소자의 동작중 소거를 실시한 후 소거 검증을 실시하기 위해 워드라인에 0V의 전압을 인가하고, 어드레스에 의해 선택되지 않은 이븐 비트라인 또는 오드 비트라인에 0V를 가하게 되어 있다. 소거 검증을 위해 선택된 비트라인은 일반적인 독출 동작과 마찬가지로 프리차지(precharge), 이밸류에이션(evaluation), 센싱(sensing)의 세 단계를 거쳐 소거 검증을 실시하게 된다.A voltage of 0 V is applied to a word line for erase verification after an erase operation during operation of a NAND type flash memory device having a page buffer of a dual register structure, and an even bit line or an odd bit line not selected by an address. It is supposed to apply 0V. The bit line selected for erasure verification performs erase verification through three steps of precharge, evaluation, and sensing, similar to a general read operation.

한편, NAND형 플래쉬 메모리 소자는 페이지 단위로 프로그램을 실시하고, 블럭 단위로 소거를 실시하기 때문에 프로그램 검증 동작은 한 페이지를 동시에 실시하지만, 소거 검증 동작은 한 페이지를 검증함으로써 한 블럭을 검증하는 것과 동일한 효과를 갖게 된다. 그런데, 프로그램 검증 및 소거 검증은 메인 래치의 출력 단자의 전위에 따라 출력되는 신호를 검출하여 실시한다. 그러나, 프로그램 검증에 따른 신호와 소거 검증에 따른 신호의 레벨은 서로 반대이기 때문에 소거 검증을 위해서는 출력 신호를 반전시켜야 한다. 또한, 프로그램 검증과는 달리 예를들어 16비트의 IO를 논리 조합하기 위해 큰 사이즈의 NAND 게이트, NOR 게이트 및 인버터가 필요하게 된다. 따라서, 소거 검증을 위해 다수의 논리 소자 및 시간이 필요하게 된다.
On the other hand, since the NAND-type flash memory device performs programming in units of pages and erases in units of blocks, the program verifying operation executes one page at the same time, but the erase verifying operation is performed by verifying one page and verifying one block. Will have the same effect. By the way, program verification and erasure verification are performed by detecting a signal output in accordance with the potential of the output terminal of the main latch. However, since the level of the signal according to the program verification and the signal according to the erasure verification are opposite to each other, the output signal must be inverted for erasure verification. In addition, unlike program verification, for example, large sized NAND gates, NOR gates, and inverters are required to logically combine 16-bit IO. Thus, multiple logic elements and time are required for erase verification.

본 발명의 목적은 메인 래치의 입력 단자의 전위에 따른 소거 검증 신호를 생성함으로써 검증 시간을 단축시킬 수 있는 페이지 버퍼 및 이를 이용한 플래쉬 메모리 소자의 소거 검증 방법을 제공하는데 있다.
An object of the present invention is to provide a page buffer capable of shortening a verification time by generating an erase verify signal according to a potential of an input terminal of a main latch and an erase verify method of a flash memory device using the same.

본 발명에 따른 페이지 버퍼는 비트라인 선택 신호에 따라 메모리 셀 어레이와 각각 연결된 이븐 비트라인 또는 오드 비트라인을 선택적으로 센싱 노드와 연결시키기 위한 비트라인 선택부; 프리차지 신호에 의해 동작하여 상기 센싱 노드에 소정 전압을 공급하여 상기 이븐 비트라인 또는 오드 비트라인을 프리차지시키기 위한 제 1 스위치; 상기 선택된 셀의 상태 데이터를 저장하기 위한 메인 래치; 상기 센싱 노드의 전위 및 메인 래치 신호에 따라 동작하여 상기 메인 레지스터의 제 1 단자의 전위를 조절하고 상기 메인 래치에 선택된 셀의 상태 데이터를 저장하는 동시에 소거 검증 신호를 출력하기 위한 하나 이상의 스위치 수단을 포함하는 제 2 스위치; 상기 메인 레지스터의 제 2 단자의 전위에 따라 동작하여 프로그램 검증 신호를 출력하기 위한 제 3 스위치; 프로그램시 제어 신호에 따라 프로그램 데이터를 저장하기 위한 캐쉬 래치; 전달 제어신호에 의해 동작하여 상기 캐쉬 래치에 저장된 데이터를 상기 메인 레지스터에 전달하기 위한 제 4 스위치; 및 프로그램 신호에 따라 동작하여 상기 메인 레지스터에 저장된 프로그램 데이터를 상기 선택된 메모리 셀에 프로그램하기 위해 전달하는 제 5 스위치를 포함한다.In accordance with another aspect of the present invention, a page buffer includes: a bit line selector configured to selectively connect an even bit line or an odd bit line connected to a memory cell array with a sensing node according to a bit line selection signal; A first switch operated by a precharge signal to supply a predetermined voltage to the sensing node to precharge the even bit line or the odd bit line; A main latch for storing state data of the selected cell; At least one switch means for operating in accordance with the potential of the sensing node and the main latch signal to adjust the potential of the first terminal of the main register and to store state data of the selected cell in the main latch while simultaneously outputting an erase verify signal; A second switch comprising; A third switch for operating the potential of the second terminal of the main register to output a program verify signal; A cache latch for storing program data according to a control signal during programming; A fourth switch operated by a transfer control signal to transfer data stored in the cache latch to the main register; And a fifth switch operating according to a program signal to transfer program data stored in the main register to the selected memory cell for programming.

상기 비트라인 선택부는 제 1 및 제 2 디스차지 신호에 따라 상기 이븐 비트라인 또는 오드 비트라인에 연결된 메모리 셀을 각각 디스차지하기 위한 제 1 및 제 2 NMOS 트랜지스터; 및 제 1 및 제 2 비트라인 선택 신호에 따라 상기 이븐 비트라인 또는 오드 비트라인과 상기 노드를 각각 연결시키기 위한 제 3 및 제 4 NMOS 트랜지스터를 포함한다.The bit line selector may include: first and second NMOS transistors configured to discharge memory cells connected to the even bit line or the odd bit line according to first and second discharge signals; And third and fourth NMOS transistors for respectively connecting the even bit line or the odd bit line and the node according to the first and second bit line selection signals.

상기 제 1 스위치는 상기 프리차지 신호에 따라 상기 센싱 노드에 전원 전압을 공급하기 위한 PMOS 트랜지스터를 포함한다.The first switch includes a PMOS transistor for supplying a power voltage to the sensing node according to the precharge signal.

상기 제 2 스위치는 상기 센싱 노드의 전위에 따라 구동되는 제 1 및 제 2 NMOS 트랜지스터; 및 상기 메인 래치 신호에 따라 구동되는 제 3 NMOS 트랜지스터를 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 NMOS 트랜지스터의 접속점으로부터 상기 메인 래치의 제 1 입력 단자의 전위에 따른 상기 소거 검증 신호를 출력한다.The second switch may include first and second NMOS transistors driven according to a potential of the sensing node; And a third NMOS transistor driven according to the main latch signal, and outputs the erase verify signal according to a potential of a first input terminal of the main latch from a connection point of the first and second NMOS transistors.

상기 소거 검증 신호는 소거된 셀의 경우 플로팅 상태를 유지하고, 소거되지 않은 셀의 경우 로우 레벨을 유지한다.The erase verification signal maintains a floating state in the case of an erased cell and a low level in the case of an unerased cell.

상기 메인 래치를 초기화시키기 위한 NMOS 트랜지스터를 더 포함한다.And an NMOS transistor for initializing the main latch.

상기 제 3 스위치는 상기 메인 래치의 상기 제 2 단자의 전위에 따라 로우 레벨 또는 플로팅 상태의 상기 프로그램 검증 신호를 출력하는 NMOS 트랜지스터를 포함한다.
The third switch includes an NMOS transistor for outputting the program verify signal in a low level or floating state according to the potential of the second terminal of the main latch.

한편, 본 발명의 일 실시 예에 따른 플래쉬 메모리 소자의 소거 검증 방법은 프로그램 또는 소거 검증을 위해 선택된 비트라인을 디스차지시킨 후 메인 래치를 초기화시키는 단계; 선택된 비트라인을 소정 전위로 프리차지시킨 후 상기 선택된 비트라인에 연결된 셀을 이밸류에이션하는 단계; 및 상기 선택된 메모리 셀의 상태 에 따른 데이터를 상기 메인 래치에 저장하고, 상기 메인 래치의 제 1 단자의 상태에 따른 소거 검증 신호를 출력하는 단계를 포함한다.Meanwhile, an erase verification method of a flash memory device according to an exemplary embodiment may include: initializing a main latch after discharging a bit line selected for a program or erase verification; Evaluating a cell connected to the selected bit line after precharging the selected bit line to a predetermined potential; And storing data according to the state of the selected memory cell in the main latch, and outputting an erase verification signal according to the state of the first terminal of the main latch.

상기 소거 검증 신호는 상기 셀이 소거된 상태의 경우 플로팅 상태를 유지하고, 상기 셀이 소거되지 않은 상태의 경우 로우 레벨을 유지한다.
The erase verify signal maintains a floating state when the cell is erased and maintains a low level when the cell is not erased.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention;

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 NAND형 플래쉬 메모리 소자의 페이지 버퍼의 구성도로서, 프로그램 동작시 외부로부터 프로그램 데이터를 입력하는 캐쉬 레지스터(cash register)와, 프로그램 동작시 캐쉬 레지스터로부터 데이터를 제공받아 저장한 후 비트라인 선택부(200)에 따라 메모리 셀 어레이(100)로 제공하거나 검증 동작시 메모리 셀의 상태에 따른 데이터를 저장하는 메인 레지스터(main register)를 포함하여 구성된다.1 is a configuration diagram of a page buffer of a NAND type flash memory device according to an exemplary embodiment of the present invention, and includes a cash register for inputting program data from an external source during a program operation, and data from a cache register during a program operation. After receiving and storing the data, the main register may be provided to the memory cell array 100 according to the bit line selector 200 or may include a main register for storing data according to the state of the memory cell during the verify operation.

비트라인 선택부(200)를 구성하는 NMOS 트랜지스터(N101 및 N102)는 디스차지 신호(DISCHe 및 DISCHo)에 따라 각각 구동되어 신호(VIRPWR)에 따른 전압을 이븐 비트라인(BLe) 또는 오드 비트라인(BLo)에 연결된 메모리 셀 어레이(100)의 메모리 셀에 인가한다. 또한, 비트라인 선택부(200)를 구성하는 NMOS 트랜지스터(N103 및 N104)는 비트라인 선택 신호(BSLe 및 BSLo)에 따라 구동되어 메모리 셀 어레이(100)의 소정 비트라인(BLe 및 BLo)와 페이지 버퍼를 연결시킨다.The NMOS transistors N101 and N102 constituting the bit line selector 200 are driven in accordance with the discharge signals DISCHe and DISCHo, respectively, to drive the voltage according to the signal VIRPWR to the even bit line BLe or the odd bit line. It is applied to the memory cells of the memory cell array 100 connected to BLo. In addition, the NMOS transistors N103 and N104 constituting the bit line selection unit 200 are driven in accordance with the bit line selection signals BSLe and BSLo so that predetermined bit lines BLe and BLo and pages of the memory cell array 100 are driven. Connect the buffer.

PMOS 트랜지스터(P101)는 프리차지 신호(PRECHb)에 따라 구동되어 노드(S0) 에 소정의 전원을 공급한다. 메인 래치(110)는 메모리 셀 어레이(100)의 소정 셀이 상태에 따른 데이터를 저장하거나 캐쉬 래치(120)를 통해 공급된 외부로부터의 데이터를 저장한다. NMOS 트랜지스터(N105 및 N106)는 노드(S00)의 전위에 따라 구동되고, NMOS 트랜지스터(N107)는 메인 래치 신호(MLCH)에 따라 구동되어 노드(QBb)의 전위를 반전시킨다. 여기서, NMOS 트랜지스터(N105 및 N106) 사이의 전위, 즉 노드(QBb)의 전위가 소거 검증 신호(nWDO)로서 출력되는데, 소거된 셀의 경우 플로팅 상태를 유지하고, 소거되지 않은 셀 또는 프로그램된 셀의 로우 레벨로 출력된다. NMOS 트랜지스터(N108)는 메인 래치 리셋 신호(MRST)에 따라 구동되어 노드(QB)를 접지 전위로 만들어 메인 래치(110)를 초기화시킨다. NMOS 트랜지스터(N109)는 노드(QB)의 전위에 따라 구동되어 전원 전압(Vcc) 레벨 또는 플로팅 상태를 유지하는 프로그램 검증 신호(nWD)를 출력한다.The PMOS transistor P101 is driven according to the precharge signal PRECHb to supply predetermined power to the node S0. The main latch 110 stores data according to a state of a predetermined cell of the memory cell array 100, or stores data from the outside supplied through the cache latch 120. The NMOS transistors N105 and N106 are driven according to the potential of the node S00, and the NMOS transistor N107 is driven according to the main latch signal MLCH to invert the potential of the node QBb. Here, the potential between the NMOS transistors N105 and N106, i.e., the potential of the node QBb, is output as the erase verify signal nWDO. In the case of the erased cell, the floating state is maintained, and the erased or programmed cell is maintained. Output at the low level of. The NMOS transistor N108 is driven according to the main latch reset signal MRST to initialize the main latch 110 by bringing the node QB to a ground potential. The NMOS transistor N109 is driven according to the potential of the node QB to output a program verify signal nWD that maintains the power supply voltage Vcc level or the floating state.

캐쉬 래치(120)는 프로그램시 외부로부터 공급된 데이터를 저장한다. NMOS 트랜지스터(N114)는 노드(S0)의 전위에 따라 구동되고, NMOS 트랜지스터(N115)는 캐쉬 래치 신호(CLCH)에 따라 구동되어 노드(QA)의 전위를 반전시킨다. NMOS 트랜지스터(N110)는 캐쉬 레지스터 셋 신호(CSET)에 따라 구동되어 노드(QAb)를 접지 전위로 만들어 캐쉬 래치(120)를 초기화시킨다. NMOS 트랜지스터(N111 및 N112)는 프로그램시 입출력 패드(YA)로부터 입력되는 데이터가 "1"일 경우 활성화되는 신호(DI1)에 따라 구동되어 "1" 데이터를 노드(QAb)에 공급한다. NMOS 트랜지스터(N113)는 프로그램시 입출력 패드로(YA)부터 입력되는 데이터가 "0"일 경우 활성화되는 신호(nDI)에 따라 구동되어 "0" 데이터를 노드(QA)에 공급한다. NMOS 트랜지 스터(N116)는 제어 신호(PDUMP)에 따라 구동되어 캐쉬 래치(120)에 저장된 데이터를 메인 래치(110)에 전달한다.The cache latch 120 stores data supplied from the outside during programming. The NMOS transistor N114 is driven according to the potential of the node SO, and the NMOS transistor N115 is driven according to the cache latch signal CLCH to invert the potential of the node QA. The NMOS transistor N110 is driven according to the cache register set signal CSET to initialize the cache latch 120 by bringing the node QAb to the ground potential. The NMOS transistors N111 and N112 are driven according to the signal DI1 that is activated when the data input from the input / output pad YA is "1" during programming to supply "1" data to the node QAb. The NMOS transistor N113 is driven according to the signal nDI that is activated when data input from the input / output pad YA is "0" during programming to supply "0" data to the node QA. The NMOS transistor N116 is driven according to the control signal PDUMP to transfer data stored in the cache latch 120 to the main latch 110.

NMOS 트랜지스터(N117)는 프로그램 동작시 프로그램 신호(PGM)에 따라 구동되어 메인 래치(110)에 저장된 프로그램될 데이터가 선택된 비트라인에 전송되도록 한다. NMOS 트랜지스터(N118)는 신호(PBDO)에 따라 구동되어 노드(QB)의 전위를 출력한다.
The NMOS transistor N117 is driven according to the program signal PGM during a program operation so that data to be programmed stored in the main latch 110 is transmitted to the selected bit line. The NMOS transistor N118 is driven according to the signal PBDO to output the potential of the node QB.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 페이지 버퍼를 이용한 소거 검증 방법을 설명하면 다음과 같다.The erase verification method using the page buffer according to the present invention configured as described above is as follows.

디스차지 신호(DISCHe)가 로우 레벨로 인가되고, 디스차지 신호(DISCHo)가 하이 레벨로 인가되면 NMOS 트랜지스터(N101)는 턴오프되고, NMOS 트랜지스터(N102)는 턴온되어 읽기 동작시 0V의 전위를 유지하는 신호(VIRPWR)가 오드 비트라인(BLo)에 공급된다. 따라서, 이븐 비트라인(BLe)이 선택되고, 오드 비트라인(BLo)이 선택되지 않는다. 그리고, 메인 래치 리셋 신호(MRST)가 하이 레벨로 인가되어 NMOS 트랜지스터(N108)를 턴온시켜 메인 래치(110)의 출력 단자(QB)를 로우 레벨로 초기화시킨 후 프리차지 신호(PRECHb)를 로우 레벨로 인가하여 PMOS 트랜지스터(P101)를 턴온시켜 노드(SO)가 하이 레벨로 유지되도록 한다. 이후 비트라인 선택 신호(BSLe)가 제 1 전압(V1)의 전위로 인가되어 선택된 비트라인(BLe)이 V1-Vt로 프리차지되도록 한 후 비트라인 선택 신호(BSLe)가 로우 레벨로 인가되도록 하여 셀을 이밸류에이션(evaluation)시킨다. 이때, 워드라인은 모두 0V로 인가되도록 한 다. 그리고, 프리차지 신호(PRECHb)를 하이 레벨로 인가하여 PMOS 트랜지스터(P101)를 턴오프시킨 후 비트라인 선택 신호(BSLe)를 제 2 전압(V2)의 전위로 인가하고, 메인 래치 신호(MLCH)를 하이 레벨로 인가하여 NMOS 트랜지스터(N107)를 턴온시킨다. 따라서, 셀의 상태에 따라 노드(SO)의 전위가 변하게 되고, 그에 따라 메인 래치(110)의 입력 단자(QBb) 및 출력 단자(QB)의 전위가 변하게 된다. 즉, 소거된 셀의 경우 노드(SO)는 로우 레벨의 전위를 유지하고, 소거되지 않은 셀의 경우 노드(SO)는 하이 레벨의 전위를 유지하게 된다. 따라서, 노드(SO)가 로우 레벨을 유지할 경우 NMOS 트랜지스터(N105 및 N106)는 턴오프되고 노드(QBb 및 QB)의 전위는 변화되지 않기 때문에 노드(QBb)는 하이 레벨을 유지하게 된다. 따라서, 소거 검증 신호(nWDO)는 플로팅 상태를 유지한다. 이에 반해, 노드(SO)가 하이 레벨을 유지할 경우 NMOS 트랜지스터(N105 및 N106)는 턴온되고, 이때 트랜지스터(N107)가 턴온되기 때문에 노드(QBb)의 전위는 로우 레벨로 되고, 노드(QB)는 하이 레벨이 된다. 따라서, 소거 검증 신호(nWDO)는 로우 레벨로 출력된다. 한편, 프로그램 검증 동작도 위와 같은 방법으로 실시할 수 있는데, 노드(QB)의 전위에 따라 구동되는 NMOS 트랜지스터(N019)에 의해 전원 전압(Vcc) 또는 플로팅 상태의 프로그램 검증 신호(nWD)가 출력되어 프로그램 검증 동작을 실시할 수 있다. 즉, 프로그램된 셀의 경우 노드(QB)는 하이 상태를 유지하여 NMOS 트랜지스터(N109)가 턴온되어 하이 레벨의 프로그램 검증 신호(nWD)가 출력되고, 프로그램되지 않은 셀의 경우 노드(QB)는 로우 상태를 유지하여 프로그램 검증 신호(nWD)는 플로팅된다.
When the discharge signal DISCHe is applied at a low level and the discharge signal DISCHo is applied at a high level, the NMOS transistor N101 is turned off, and the NMOS transistor N102 is turned on to apply a potential of 0V during a read operation. The holding signal VIRPWR is supplied to the odd bit line BLo. Therefore, the even bit line BLe is selected and the odd bit line BLO is not selected. Then, the main latch reset signal MRST is applied to the high level to turn on the NMOS transistor N108 to initialize the output terminal QB of the main latch 110 to the low level, and then the precharge signal PRECHb to the low level. The PMOS transistor P101 is turned on to maintain the node SO at a high level. After that, the bit line selection signal BSLe is applied to the potential of the first voltage V1 so that the selected bit line BLe is precharged to V1-Vt, and then the bit line selection signal BSLe is applied to the low level. Evaluate the cell. At this time, the word lines are all applied at 0V. Then, the precharge signal PRECHb is applied to the high level to turn off the PMOS transistor P101, and then the bit line selection signal BSLe is applied to the potential of the second voltage V2, and the main latch signal MLCH is applied. Is applied at a high level to turn on the NMOS transistor N107. Therefore, the potential of the node SO changes according to the state of the cell, and thus the potential of the input terminal QBb and the output terminal QB of the main latch 110 changes. That is, in the case of an erased cell, the node SO maintains a low level potential, and in the case of an unerased cell, the node SO maintains a high level potential. Therefore, when the node SO maintains the low level, the NMOS transistors N105 and N106 are turned off and the potentials of the nodes QBb and QB are not changed, so that the node QBb maintains the high level. Thus, the erase verify signal nWDO remains in a floating state. In contrast, when the node SO maintains a high level, the NMOS transistors N105 and N106 are turned on, and since the transistor N107 is turned on, the potential of the node QBb becomes low, and the node QB High level. Therefore, the erase verify signal nWDO is output at a low level. On the other hand, the program verification operation can be performed in the same manner as described above. The power supply voltage Vcc or the program verification signal nWD in the floating state is outputted by the NMOS transistor N019 driven according to the potential of the node QB. Program verification can be performed. That is, in the case of a programmed cell, the node QB remains high so that the NMOS transistor N109 is turned on to output a high level program verify signal nWD. In the case of an unprogrammed cell, the node QB is low. Keeping the state, the program verify signal nWD is plotted.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 소거 검증 회로도로서, 검증 인에이블 신호(check)에 따라 다수의 페이지 버퍼로부터 출력된 소거 검증 신호(nWDO)를 조합한 신호(nWDO_E)를 논리 조합하기 위한 AND 게이트(201), 검증 인에이블 신호(check)에 따라 소거 검증 조합 신호(nWDO_E)를 전원 전압(Vcc) 레벨로 차징하기 위한 NMOS 트랜지스터(N201)로 구성된다. 그런데, NMOS 트랜지스터(N201)는 NMOS 트랜지스터의 폭(width)과 길이(length)가 1.2/10의 비로 구성된 트랜지스터이므로 플로팅 상태의 노드를 전원 전압(Vcc) 레벨로 차징할 수 있으나, 로우 레벨의 노드에는 영향을 미치지 않는다.FIG. 2 is an erase verify circuit diagram according to an embodiment of the present invention, and is configured to logically combine a signal nWDO_E combining an erase verify signal nWDO output from a plurality of page buffers according to a verify enable signal check. An AND gate 201 and an NMOS transistor N201 for charging the erase verify combination signal nWDO_E to the power supply voltage Vcc level in accordance with the verify enable signal check. However, since the NMOS transistor N201 is a transistor composed of a ratio of width and length of the NMOS transistor to 1.2 / 10, the NMOS transistor N201 can charge a node in a floating state at a power supply voltage (Vcc) level, but has a low level node. Does not affect.

모든 셀이 성공적으로 소거되어 다수의 페이지 버퍼로부터 각각 출력된 소거 검증 신호(nWDO)가 모두 플로팅 상태를 유지하면, 소거 검증 조합 신호(nWDO_E) 또한 플로팅 상태를 유지한다. 이때, 검증 인에이블 신호(check)가 하이 레벨로 인가되면 NMOS 트랜지스터(N201)가 턴온되어 소거 검증 조합 신호(nWDO_E)를 하이 레벨로 차징한다. 따라서, AND 게이트(201)는 하이 레벨의 검증 인에이블 신호(check)와 하이 레벨의 소거 검증 조합 신호(nWDO_E)를 조합하여 하이 레벨의 검증 신호(WDO)를 출력하여 소거 성공으로 판정하게 한다.When all cells are successfully erased and the erase verify signals nWDO output from the plurality of page buffers are all floating, the erase verify combination signal nWDO_E also maintains the floating state. At this time, when the verify enable signal check is applied at a high level, the NMOS transistor N201 is turned on to charge the erase verify combination signal nWDO_E to a high level. Accordingly, the AND gate 201 combines the high level verify enable signal check and the high level erase verify combination signal nWDO_E to output the high level verify signal WDO to determine that the erase is successful.

그러나, 모든 셀이 성공적으로 소거되지 않고 하나의 셀이라도 소거가 되지 않아 하나의 소거 검증 신호(nWDO)라도 로우 상태로 출력되었을 경우 소거 검증 조합 신호(nWDO_E)는 로우 레벨을 유지한다. 그런데, NMOS 트랜지스터(N201)의 특성상 검증 인에이블 신호(check)가 하이 레벨로 인가되더라도 로우 레벨의 소거 검증 조합 신호(nWDO_E)의 전위에는 영향을 미치지 못한다. 따라서, AND 게이트(201)는 하이 레벨의 검증 인에이블 신호(check)와 하이 레벨의 소거 검증 조합 신호(nWDO_E)를 조합하여 하이 레벨의 검증 신호(WDO)를 출력하여 소거 실패로 판정하게 한다.
However, when all cells are not successfully erased and even one cell is not erased and even one erase verify signal nWDO is output in a low state, the erase verify combination signal nWDO_E maintains a low level. However, even when the verify enable signal check is applied at a high level due to the characteristics of the NMOS transistor N201, the potential of the low level erase verify combination signal nWDO_E is not affected. Accordingly, the AND gate 201 combines the high level verify enable signal check and the high level erase verify combination signal nWDO_E to output the high level verify signal WDO to determine that the erase has failed.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 센싱 노드의 전위에 따라 구동되는 NMOS 트랜지스터와 메인 래치 신호에 따라 구동되는 NMOS 트랜지스터 사이에 센싱 노드의 전위에 따라 구동되는 NMOS 트랜지스터를 추가하고, 센싱 노드의 전위에 따라 구동되는 NMOS 트랜지스터들 사이의 전위를 소거 검증 신호로 추출함으로써 메인 래치의 출력 신호를 반전시켜 소거 검증 신호를 생성하는 종래에 비해 소거 검증 시간을 줄일 수 있고, 소거 검증에 필요한 회로수를 줄일 수 있다.As described above, according to the present invention, an NMOS transistor driven according to the potential of the sensing node is added between the NMOS transistor driven according to the potential of the sensing node and the NMOS transistor driven according to the main latch signal, and according to the potential of the sensing node. By extracting the potential between the driven NMOS transistors as the erase verify signal, the erase verify time can be reduced and the number of circuits required for erase verify can be reduced as compared with the conventional method of generating the erase verify signal by inverting the output signal of the main latch. .

Claims (9)

비트라인 선택 신호에 따라 메모리 셀 어레이와 각각 연결된 이븐 비트라인 또는 오드 비트라인을 선택적으로 센싱 노드와 연결시키기 위한 비트라인 선택부;A bit line selector for selectively connecting even bit lines or odd bit lines respectively connected to the memory cell array with the sensing node according to the bit line selection signal; 프리차지 신호에 의해 동작하여 상기 센싱 노드에 소정 전압을 공급하여 상기 이븐 비트라인 또는 오드 비트라인을 프리차지시키기 위한 제 1 스위치;A first switch operated by a precharge signal to supply a predetermined voltage to the sensing node to precharge the even bit line or the odd bit line; 상기 선택된 셀의 상태 데이터를 저장하기 위한 메인 래치;A main latch for storing state data of the selected cell; 상기 센싱 노드의 전위 및 메인 래치 신호에 따라 동작하여 상기 메인 레지스터의 제 1 단자의 전위를 조절하고 상기 메인 래치에 선택된 셀의 상태 데이터를 저장하는 동시에 소거 검증 신호를 출력하기 위한 하나 이상의 스위치 수단을 포함하는 제 2 스위치;At least one switch means for operating in accordance with the potential of the sensing node and the main latch signal to adjust the potential of the first terminal of the main register and to store state data of the selected cell in the main latch while simultaneously outputting an erase verify signal; A second switch comprising; 상기 메인 레지스터의 제 2 단자의 전위에 따라 동작하여 프로그램 검증 신호를 출력하기 위한 제 3 스위치;A third switch for operating the potential of the second terminal of the main register to output a program verify signal; 프로그램시 제어 신호에 따라 프로그램 데이터를 저장하기 위한 캐쉬 래치;A cache latch for storing program data according to a control signal during programming; 전달 제어신호에 의해 동작하여 상기 캐쉬 래치에 저장된 데이터를 상기 메인 레지스터에 전달하기 위한 제 4 스위치; 및A fourth switch operated by a transfer control signal to transfer data stored in the cache latch to the main register; And 프로그램 신호에 따라 동작하여 상기 메인 레지스터에 저장된 프로그램 데이터를 상기 선택된 메모리 셀에 프로그램하기 위해 전달하는 제 5 스위치를 포함하는 페이지 버퍼.And a fifth switch operating in accordance with a program signal to transfer program data stored in said main register to said selected memory cell for programming. 제 1 항에 있어서, 상기 비트라인 선택부는 제 1 및 제 2 디스차지 신호에 따라 상기 이븐 비트라인 또는 오드 비트라인에 연결된 메모리 셀을 각각 디스차지하기 위한 제 1 및 제 2 NMOS 트랜지스터; 및The semiconductor device of claim 1, wherein the bit line selector comprises: first and second NMOS transistors configured to discharge memory cells connected to the even bit line or the odd bit line according to first and second discharge signals; And 제 1 및 제 2 비트라인 선택 신호에 따라 상기 이븐 비트라인 또는 오드 비트라인과 상기 노드를 각각 연결시키기 위한 제 3 및 제 4 NMOS 트랜지스터를 포함하는 페이지 버퍼.And third and fourth NMOS transistors for coupling the even bit line or the odd bit line and the node according to first and second bit line selection signals, respectively. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 스위치는 상기 프리차지 신호에 따라 상기 센싱 노드에 전원 전압을 공급하기 위한 PMOS 트랜지스터를 포함하는 페이지 버퍼.The page buffer of claim 1, wherein the first switch comprises a PMOS transistor for supplying a power voltage to the sensing node according to the precharge signal. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 스위치는 상기 센싱 노드의 전위에 따라 구동되는 제 1 및 제 2 NMOS 트랜지스터; 및The semiconductor device of claim 1, wherein the second switch comprises: first and second NMOS transistors driven according to a potential of the sensing node; And 상기 메인 래치 신호에 따라 구동되는 제 3 NMOS 트랜지스터를 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 NMOS 트랜지스터의 접속점으로부터 상기 메인 래치의 제 1 입력 단자의 전위에 따른 상기 소거 검증 신호를 출력하는 페이지 버퍼.And a third NMOS transistor driven according to the main latch signal, and outputting the erase verify signal according to a potential of a first input terminal of the main latch from a connection point of the first and second NMOS transistors. 제 4 항에 있어서, 상기 소거 검증 신호는 소거된 셀의 경우 플로팅 상태를 유지하고, 소거되지 않은 셀의 경우 로우 레벨을 유지하는 페이지 버퍼.5. The page buffer of claim 4, wherein the erase verify signal maintains a floating state in an erased cell and a low level in an unerased cell. 제 4 항에 있어서, 상기 메인 래치를 초기화시키기 위한 NMOS 트랜지스터를 더 포함하는 페이지 버퍼.5. The page buffer of claim 4, further comprising an NMOS transistor for initializing the main latch. 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 스위치는 상기 메인 래치의 상기 제 2 단자의 전위에 따라 로우 레벨 또는 플로팅 상태의 상기 프로그램 검증 신호를 출력하는 NMOS 트랜지스터를 포함하는 페이지 버퍼.The page buffer of claim 1, wherein the third switch includes an NMOS transistor configured to output the program verify signal in a low level or a floating state according to a potential of the second terminal of the main latch. 프로그램 또는 소거 검증을 위해 선택된 비트라인을 디스차지시킨 후 메인 래치를 초기화시키는 단계;Initializing the main latch after discharging the selected bit line for program or erase verification; 선택된 비트라인을 소정 전위로 프리차지시킨 후 상기 선택된 비트라인에 연결된 셀을 이밸류에이션하는 단계; 및Evaluating a cell connected to the selected bit line after precharging the selected bit line to a predetermined potential; And 상기 선택된 메모리 셀의 상태에 따른 데이터를 상기 메인 래치에 저장하고, 상기 메인 래치의 제 1 단자의 상태에 따른 소거 검증 신호를 출력하는 단계를 포함하는 플래쉬 메모리 소자의 소거 검증 방법.And storing data according to the state of the selected memory cell in the main latch and outputting an erase verify signal according to the state of the first terminal of the main latch. 제 8 항에 있어서, 상기 소거 검증 신호는 상기 셀이 소거된 상태의 경우 플로팅 상태를 유지하고, 상기 셀이 소거되지 않은 상태의 경우 로우 레벨을 유지하는 플래쉬 메모리 소자의 소거 검증 방법.10. The method of claim 8, wherein the erase verify signal maintains a floating state when the cell is in an erased state and maintains a low level when the cell is in an erased state.
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