KR100687007B1 - Apparatus for depositing organic film used in manufacturing organicelectro luminescence device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 전계 발광 소자 제조에 사용되는 기판에 유기 박막을 증착하는 장치를 제공한다. 본 발명의 장치는 공정 챔버와 소스 공급 챔버를 가진다. 공정 챔버 내에는 기판의 증착면이 아래를 향하도록 기판을 지지하는 기판 지지체가 제공된다. 소스 공급챔버에는 유기 물질이 채워지는 용기와 이를 가열하는 가열 부재, 그리고 용기로부터 증발된 유기 물질이 일시적으로 머무르는 버퍼 공간을 가지는 분사판이 제공된다. 분사판에는 수지 방향으로 복수의 홀들이 형성되고, 각각의 홀들과 대향되는 위치에 분사각이 서로 상이하게 제공되는 복수의 노즐들이 설치된다. The present invention provides an apparatus for depositing an organic thin film on a substrate used for manufacturing an organic electroluminescent device. The apparatus of the present invention has a process chamber and a source supply chamber. Within the process chamber, a substrate support is provided that supports the substrate so that the deposition surface of the substrate faces downward. The source supply chamber is provided with a jet plate having a container filled with the organic material, a heating member for heating it, and a buffer space in which the organic material evaporated from the container temporarily stays. A plurality of holes are formed in the jetting plate in the resin direction, and a plurality of nozzles are provided at positions opposite to the respective holes so that the jetting angles are different from each other.

유기 전계 발광 소자, 유기 박막, 증착, 분사판, 공급노즐 Organic electroluminescent device, organic thin film, deposition, jet plate, supply nozzle

Description

유기전계 발광 소자 제조에 사용되는 유기 박박 증착 장치{Apparatus for depositing organic film used in manufacturing organicelectro luminescence device}Apparatus for depositing organic film used in manufacturing organic electro luminescence device

도 1은 본 발명의 바람직한 일 예에 따른 증착 장치를 개략적으로 보여주는 단면도;1 is a cross-sectional view schematically showing a deposition apparatus according to a preferred embodiment of the present invention;

도 2는 도 1의 확산판의 확대도;2 is an enlarged view of the diffusion plate of FIG. 1;

도 3은 도 2의 확산판의 다른 예를 보여주는 단면도;3 is a cross-sectional view showing another example of the diffusion plate of FIG. 2;

도 4는 도 2의 확산판의 또 다른 예를 보여주는 단면도;4 is a sectional view showing another example of the diffusion plate of FIG. 2;

도 5는 도 2의 확산판의 또 다른 예를 보여주는 단면도;5 is a sectional view showing another example of the diffusion plate of FIG. 2;

도 6은 도 2의 확산판의 또 다른 예를 보여주는 단면도6 is a cross-sectional view showing another example of the diffusion plate of FIG.

도 7과 도 8은 각각 확산판이 없는 장치와 확산판을 가지는 장치 사용시 증착 균일도를 보여주기 위한 도면;7 and 8 are diagrams for showing deposition uniformity in using a device without a diffusion plate and a device with a diffusion plate, respectively;

도 9는 도 1의 증착 장치의 다른 예를 보여주는 단면도; 그리고9 is a sectional view showing another example of the deposition apparatus of FIG. 1; And

도 10은 도 1의 증착 장치의 또 다른 예를 보여주는 단면도이다.10 is a cross-sectional view illustrating still another example of the deposition apparatus of FIG. 1.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 * Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 공정 챔버 200 : 소스 공급 챔버100: process chamber 200: source supply chamber

240 : 용기 260 : 가열부재240 container 260 heating member

280 : 분사판 286 : 공급홀280: injection plate 286: supply hole

288 : 버퍼공간 289 : 공급노즐288: buffer space 289: supply nozzle

본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 유기 전계 발광 소자에 사용되는 기판에 유기 박막을 증착하는 공정을 수행하는 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for processing a substrate, and more particularly, to an apparatus for performing a process for depositing an organic thin film on a substrate used in an organic electroluminescent device.

정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하는 디스플레이 장치를 가진다. 과거에는 주로 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 사용되었으나, 현재에는 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD)가 주로 사용되고 있다. 그러나 액정 표시 장치는 별도의 광원을 필요로 하는 장치로서 밝기, 시야각 및 대면적화 등에 한계가 있어, 최근에는 저전압 구동, 자기 발광, 경량 박형, 넓은 시야각, 그리고 빠른 응답 속도의 장점을 갖는 유기 전계 발광 소자를 이용한 표시 장치가 각광받고 있다. Information processing devices are rapidly evolving to have various types of functions and faster information processing speeds. This information processing apparatus has a display device for displaying the operated information. In the past, a cathode ray tube monitor was mainly used as a display device, but now a liquid crystal display (LCD) is mainly used. However, liquid crystal displays require a separate light source and have limitations in brightness, viewing angle, and large area, and in recent years, organic electroluminescence having advantages of low voltage driving, self-luminous, light weight, wide viewing angle, and fast response speed. Display devices using elements have been in the spotlight.

유기 전계 발광 소자는 유기 박막에 주입되는 전자와 정공이 재결합하고 남은 에너지가 빛으로 발생되는 것으로서 유기 물질의 도펀트(dopant)의 양에 따라 나오는 빛의 파장을 조절할 수 있고, 풀 칼라(full color)의 구현이 가능하다. The organic electroluminescent device is generated by the recombination of electrons and holes injected into the organic thin film, and the remaining energy is generated as light, and the wavelength of light emitted according to the amount of dopant of the organic material can be adjusted, and full color It is possible to implement.

상술한 유기 박막은 고진공 분위기에서 증발(evaporation) 방법에 의해 승화 된 유기 물질을 R, G, B 영역을 각각 노출시키는 마스크를 통과시켜 화소를 만드는 진공 증착 방법에 의해 만들어진다. 한국 공개 특허 2002-00356에는 기판 상에 유기 박막을 증착시키는 장치의 일 예가 개시되어 있다. The organic thin film described above is made by a vacuum deposition method in which a sublimed organic material is passed through a mask exposing the R, G, and B regions in a high vacuum atmosphere to form pixels. Korean Patent Laid-Open No. 2002-00356 discloses an example of an apparatus for depositing an organic thin film on a substrate.

일반적으로 사용되고 있는 유기 박막 증착 장치는 진공이 유지되는 공정 챔버와 그 하부에 결합되며 유기물질을 공정 챔버 내로 공급하는 소스 공급 챔버를 가진다. 공정 챔버 내에는 증착이 이루어지는 면이 아래를 향하도록 기판을 고정하는 기판 지지체가 배치된다. 소스 공급 챔버는 유기물질이 담겨지는 용기와 그 둘레에 배치되어 용기로 열을 제공하는 히터를 가진다. 용기는 기판 지지체에 지지된 기판의 중앙부 아래에서 증발된 유기물질이 곧바로 기판을 향하도록 형상지어진다. 이로 인해 기판의 영역에 따라 공급되는 증착 물질의 량이 상이하여, 기판 전체에서 균일한 증착이 이루어지지 않는다.The organic thin film deposition apparatus which is generally used has a process chamber which is maintained in a vacuum and a source supply chamber which is coupled to the lower portion and supplies organic materials into the process chamber. In the process chamber, a substrate support for fixing the substrate is disposed so that the surface on which the deposition takes place is face down. The source supply chamber has a container in which the organic material is contained and a heater disposed around and providing heat to the container. The vessel is shaped so that the organic material evaporated under the center of the substrate supported on the substrate support is directed directly to the substrate. As a result, the amount of deposition material supplied according to the area of the substrate is different, so that uniform deposition is not performed throughout the substrate.

본 발명은 유기 전계 발광 소자 제조에 사용되는 기판 상에 유기물질을 균일하게 증착할 수 있는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a device capable of uniformly depositing an organic material on a substrate used for manufacturing an organic electroluminescent device.

또한, 본 발명은 기판의 영역에 따라 원하는 증착률로 유기물질을 증착할 수 있는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is also an object of the present invention to provide an apparatus capable of depositing an organic material at a desired deposition rate according to a region of a substrate.

본 발명의 증착 장치는 유기 전계 발광 소자의 제조에 사용되는 기판 상에 유기 박막을 증착하기 위한 것이다. 본 발명의 증착 장치는 공정이 수행되는 공정 챔버와 공정 수행시 상기 공정 챔버 내에 위치되며 기판을 지지하는 기판 지지체를 가진다. 기판은 증착이 이루어지는 면이 아래를 향하도록 상기 기판 지지체의 저면에 결합된다. 상기 공정 챔버 아래에는 상기 기판 지지체 아래에서 상기 기판 지지체에 지지된 기판 상으로 유기물질을 공급하는 소스 공급 챔버가 제공된다. 상기 소스 공급 챔버는 유기 물질이 담겨지는 용기와 상기 용기 내 유기 물질을 증발시키기 위해 상기 유기 물질을 가열하는 가열부재를 가진다.The vapor deposition apparatus of this invention is for depositing an organic thin film on the board | substrate used for manufacture of an organic electroluminescent element. The deposition apparatus of the present invention has a process chamber in which a process is performed and a substrate support positioned in the process chamber and supporting a substrate when the process is performed. The substrate is bonded to the bottom surface of the substrate support such that the surface on which the deposition takes place faces downward. Below the process chamber is provided a source supply chamber for supplying an organic material under the substrate support onto a substrate supported on the substrate support. The source supply chamber has a container in which the organic material is contained and a heating member for heating the organic material to evaporate the organic material in the container.

본 발명의 일 특징에 의하면, 증착 장치는 상기 용기로부터 증발된 유기 물질이 머무르는 버퍼 공간을 제공하고, 상기 버퍼 공간에 머무르는 유기 물질을 기판 상으로 공급하는 복수의 홀들이 형성된 분사판을 가진다. 상술한 구조로 인해 기판의 크기가 대형화된 경우에도 기판에 유기 물질을 균일하게 증착할 수 있다.According to one aspect of the invention, the deposition apparatus has a jet plate provided with a plurality of holes for providing a buffer space for the organic material evaporated from the vessel, and for supplying the organic material staying in the buffer space on the substrate. Due to the above structure, even when the size of the substrate is increased, the organic material may be uniformly deposited on the substrate.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 소스 공급 챔버는 기판의 영역에 따라 작업자가 원하는 대로 유기물질의 공급량을 설정할 수 있도록 구성지어진다.According to another feature of the invention, the source supply chamber is configured to allow the operator to set the supply amount of the organic material according to the region of the substrate as desired.

일 예에 의하면, 상기 분사판의 복수의 홀들 각각은 수직 방향으로 형성되고, 상기 분사판에는 각각의 홀과 연결되는 공급노즐들이 제공된다. 상기 공급노즐들은 각각 또는 그룹을 지어 유기 물질을 분사하는 각도가 상이하게 설치된다. 예컨대, 상기 공급노즐들은 상기 분사판의 중심에서 바깥쪽으로 갈수록 수직으로부터 더 경사지도록 결합될 수 있다. 또는 실험에 의해 상기 공급노즐들의 분사각도를 각각 결정할 수 있으며, 이 경우 상기 공급노즐들은 그 분사각도가 불규칙적으로 제공되도록 설치될 수 있다. 상기 공급노즐들의 분사각도는 기판 전체에 균일한 증착이 이루어지도록 설정되는 것이 바람직하나, 선택적으로 영역에 따라 상이한 증착이 이루어지도록 설정될 수 있다.In one embodiment, each of the plurality of holes of the injection plate is formed in the vertical direction, the injection plate is provided with supply nozzles connected to each hole. The supply nozzles are provided at different angles to spray organic materials in groups or in groups. For example, the supply nozzles may be coupled to be more inclined from the vertical toward the outside from the center of the jet plate. Alternatively, the injection angles of the supply nozzles may be determined by experiments. In this case, the supply nozzles may be installed such that the injection angles are irregularly provided. The spray angles of the supply nozzles are preferably set to uniformly deposit the entire substrate, but may be selectively set to different deposition depending on the region.

다른 예에 의하면, 상기 분사판의 상기 복수의 홀들은 각각 또는 그룹을 지어 상이한 각도로 형성된다. 이는 상술한 공급노즐이 제공되는 경우에 비해 장치의 구성이 더욱 간소하다.In another example, the plurality of holes of the jet plate are formed at different angles in groups or in groups. This makes the configuration of the apparatus simpler than in the case where the above-described supply nozzle is provided.

다른 예에 의하면, 상기 복수의 홀들은 각각 또는 그룹을 지어 상이한 넓이를 가지도록 형성된다. 예컨대, 상기 분사판의 중심에서부터 가장자리로 갈수록 상기 홀들의 넓이가 커지도록 제공될 수 있다. 이는 분사판이 전체 영역에서 균일한 량의 유기물질을 기판으로 공급할 수 있도록 한다.In another example, the plurality of holes are formed to have different areas in groups or in groups. For example, the width of the holes may be increased from the center of the jet plate toward the edge. This allows the jet plate to supply a uniform amount of organic material to the substrate over the entire area.

다른 예에 의하면, 각각의 상기 홀은 아래에서 위로 갈수록 넓이가 점진적으로 넓어지도록 형성된다. 이는 유기물질이 분사판으로부터 기판으로 공급될 때 넓은 영역으로 퍼질 수 있도록 하므로, 대형 기판에 증착 공정을 수행하는 경우에도기판 전체에 균일한 증착이 이루어지도록 한다.In another example, each of the holes is formed such that the width gradually increases from bottom to top. This allows the organic material to spread to a wide area when supplied from the jet plate to the substrate, so that even when the deposition process is performed on a large substrate, uniform deposition is performed on the entire substrate.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 장치는 대형 기판에 증착 공정 수행시 균일한 증착이 이루어지도록 복수의 용기들을 가진다. 이를 위해 상기 장치는 상술한 소스 공급 챔버를 복수개 구비할 수 있다. 선택적으로 상기 장치는 하나의 소스 공급 챔버를 구비하고, 상기 소스 공급 챔버는 복수의 용기들과 이들 각각을 가열하는 복수의 가열 부재들을 가지고, 상기 분사판은 상기 용기들로부터 증발되는 유기물질을 모두 수용할 수 있는 크기의 상기 버퍼 공간을 가진다. According to another feature of the invention, the apparatus has a plurality of containers such that a uniform deposition is performed when performing a deposition process on a large substrate. To this end, the apparatus may be provided with a plurality of the above-described source supply chamber. Optionally the apparatus comprises a source supply chamber, the source supply chamber having a plurality of vessels and a plurality of heating elements for heating each of them, the jetting plate having all of the organic material evaporated from the vessels. Has the buffer space of an acceptable size.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 10을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 위해 과장된 것이다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 10. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This example is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the elements in the drawings are exaggerated for clarity.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 예에 따른 증착 장치(1)를 개략적으로 보여주는 단면도이다. 본 발명에서 증착 장치(1)는 유기 전계 발광 소자 제조에 사용되는 기판(10) 상에 유기물을 증착하는 공정을 수행한다. 도 1을 참조하면, 증착 장치(1)는 공정 챔버(100)와 소스 공급 챔버(200)를 가진다. 공정 챔버(100)는 외부로부터 밀폐된 내부 공간을 제공하며 직육면체의 형상을 가진다. 공정 진행 중 공정 챔버(100) 내부를 고진공으로 유지하기 위해 공정 챔버(100)에는 진공펌프가 설치된 배기관(도시되지 않음)이 결합된다.1 is a cross-sectional view schematically showing a deposition apparatus 1 according to a preferred embodiment of the present invention. In the present invention, the deposition apparatus 1 performs a process of depositing an organic material on a substrate 10 used for manufacturing an organic EL device. Referring to FIG. 1, the deposition apparatus 1 has a process chamber 100 and a source supply chamber 200. The process chamber 100 provides an inner space sealed from the outside and has a rectangular parallelepiped shape. In order to maintain a high vacuum inside the process chamber 100 during the process, an exhaust pipe (not shown) in which a vacuum pump is installed is coupled to the process chamber 100.

공정 챔버(100) 내 상부에는 기판(10)을 지지하는 기판 지지체(300)가 제공된다. 기판 지지체(300)는 대체로 기판(10)의 형상과 대응되는 형상 및 크기를 가지는 지지판(320)을 가지며, 지지판(320)은 고정축(340)에 의해 공정 챔버(100)의 상부벽에 고정된다. 지지판(320)은 직사각의 형상을 가질 수 있다. 고정축(340)은 지지판(320)의 상부면 중심으로부터 상부로 연장되며 원통 형상을 가질 수 있다. 기판(10)은 증착이 이루어지는 면이 아래를 향하도록 지지판(320)의 하부면에 결합된다. 기판(10)은 클램프와 같은 기구적인 수단, 진공 흡착, 접착제(도시되지 않음) 등 다양한 방법에 의해 지지판(320)에 결합될 수 있다. 기판(10)의 증착면(12)에는 일정영역만이 외부로 노출되도록 패턴이 형성된 마스크(20)가 부착될 수 있다.The substrate support 300 supporting the substrate 10 is provided at an upper portion of the process chamber 100. The substrate support 300 generally has a support plate 320 having a shape and size corresponding to the shape of the substrate 10, and the support plate 320 is fixed to the upper wall of the process chamber 100 by the fixed shaft 340. do. The support plate 320 may have a rectangular shape. The fixed shaft 340 extends upward from the center of the upper surface of the support plate 320 and may have a cylindrical shape. The substrate 10 is coupled to the lower surface of the support plate 320 so that the surface on which the deposition is made is face down. The substrate 10 may be coupled to the support plate 320 by various methods such as mechanical means such as a clamp, vacuum adsorption, adhesive (not shown), and the like. A mask 20 having a pattern may be attached to the deposition surface 12 of the substrate 10 so that only a predetermined region is exposed to the outside.

공정 챔버(100)의 저면에는 개구가 제공되고, 소스 공급 챔버(200)는 개구와 대향되도록 공정 챔버(100)의 아래에서 공정 챔버(100)에 결합된다. 소스 공급 챔버(200)는 내부에 상부가 개방된 공간(220)이 형성된 원통 형상을 가진다. 소스 공급 챔버(200)는 용기(240), 가열 부재(260), 그리고 분사판(280)을 가진다. 용기(240)와 가열 부재(260)는 소스 공급 챔버(200)의 공간 내에 배치된다. 용기(240)는 상부가 개방된 통 형상을 가지며, 용기(240)에는 기판(10)에 증착하고자 하는 유기 물질이 채워진다. 용기(240)의 둘레에는 용기(240)로부터 유기 물질을 증발시키기 위해 유기 물질에 열을 제공하는 가열 부재(260)가 설치된다. 가열 부재(260)는 용기(240)를 감싸도록 배치되는 것이 바람직하다. 가열 부재(260)로는 열판 또는 코일 형상의 열선이 사용될 수 있다.An opening is provided in the bottom of the process chamber 100, and the source supply chamber 200 is coupled to the process chamber 100 below the process chamber 100 so as to face the opening. The source supply chamber 200 has a cylindrical shape in which a space 220 having an open upper portion is formed therein. The source supply chamber 200 has a vessel 240, a heating member 260, and a jet plate 280. The vessel 240 and the heating element 260 are disposed in the space of the source supply chamber 200. The container 240 has a cylindrical shape with an open top, and the container 240 is filled with an organic material to be deposited on the substrate 10. Around the container 240 is provided a heating member 260 that provides heat to the organic material to evaporate the organic material from the container 240. The heating member 260 is preferably arranged to surround the container 240. As the heating member 260, a hot wire having a hot plate or a coil shape may be used.

본 발명의 장치는 용기(240)로부터 증발된 유기 물질이 기판(10) 전체에 균일하게 공급되도록 하는 분사판(280)을 가진다. 분사판(280)은 용기(240)의 개방된 상부면으로부터 일정거리 이격되도록 위치된다. 일 예에 의하면 분사판(280)은 공정 챔버(100)의 저면에 형성된 개구의 주변으로부터 상부로 돌출된 측면(282)과 상부면(284)을 가진다. 상술한 구조로 인해, 분사판(280)과 용기(240) 사이에는 용기(240)로부터 증발되는 유기 물질이 일시적으로 머무르는 버퍼 공간(288)이 제공된다. 선택적으로 분사판(280)은 소스 공급 챔버(200)에 직접 결합될 수 있다. 분사판(280)의 상부면에는 복수의 공급홀(286)들이 형성된다. 버퍼 공간(288) 내로 증발된 유기 물질들은 분사판(280)을 통해 상부로 확산되어 공급된다.The apparatus of the present invention has a spray plate 280 that allows the organic material evaporated from the vessel 240 to be uniformly supplied throughout the substrate 10. The jet plate 280 is positioned to be spaced a predetermined distance from the open upper surface of the container 240. In one example, the jet plate 280 has a side surface 282 and a top surface 284 protruding upward from the periphery of the opening formed in the bottom surface of the process chamber 100. Due to the structure described above, a buffer space 288 is provided between the jet plate 280 and the container 240 where the organic material evaporated from the container 240 temporarily stays. Optionally, the jet plate 280 may be directly coupled to the source supply chamber 200. A plurality of supply holes 286 are formed in the upper surface of the jet plate 280. Organic materials evaporated into the buffer space 288 are diffused and supplied upward through the injection plate 280.

분사판(280)은 유기 물질이 기판(10)으로 공급될 때 기판(10)의 영역에 따 라 작업자가 원하는 량으로 유기 물질을 공급할 수 있는 구조를 가진다. 분사판(280)의 상부면에는 복수의 홀들(286)이 형성된다. 일 예에 의하면, 각각의 홀(286)은 수직 방향으로 형성되며, 아래에서 위를 향하는 방향으로 일정한 넓이를 가지도록 형성된다. 형성 영역에 관계 없이 홀들(286)은 모두 동일하게 형상지어진다. 분사판(280)의 상부면에는 각각의 홀(286)에 대응되는 위치에 공급 노즐(289)이 설치된다. 공급 노즐(289)은 각각 또는 영역에 따라 그룹을 지어 서로 상이한 분사각으로 유기물질을 공급하도록 설치된다. 각각의 공급 노즐(289)은 설치된 영역에 따라 그 분사각도가 규칙적으로 변화되도록 설치될 수 있다. 예컨대, 도 1의 분사판(280)의 확대도인 도 2에 도시된 바와 같이 공급 노즐(289)은 분사판(280)의 중앙부에서는 수직 방향으로 설치되고, 그 분사각도가 중앙로부터 멀어질수록 점진적으로 수직으로부터 더 경사지도록 설치될 수 있다.  The jet plate 280 has a structure in which the operator can supply the organic material in a desired amount according to the region of the substrate 10 when the organic material is supplied to the substrate 10. A plurality of holes 286 are formed in the upper surface of the jet plate 280. According to one example, each hole 286 is formed in a vertical direction, it is formed to have a constant width in the direction from the bottom up. Regardless of the formation region, the holes 286 are all shaped identically. The supply nozzle 289 is installed at a position corresponding to each hole 286 on the upper surface of the jet plate 280. The supply nozzles 289 are provided to supply organic materials at different spray angles in groups of each or regions. Each supply nozzle 289 may be installed such that its spray angle is regularly changed according to the installed area. For example, as shown in FIG. 2, which is an enlarged view of the jet plate 280 of FIG. 1, the supply nozzle 289 is installed in the vertical direction at the center of the jet plate 280, and as the jet angle is farther from the center. It can be installed to be progressively more inclined from vertical.

도 3은 분사판(280a)의 다른 예를 보여주는 도면이다. 공급 노즐들(289a)의 분사각도는 실험을 통해 결정된다. 실험 결과 기판(10)에서 증착률이 낮은 영역을 향해 공급 노즐들(289a) 중 일부가 기울어지도록 공급 노즐(289a)이 설치될 수 있다. 이 경우, 각각의 공급 노즐들(289a)은 그 분사각도가 불규칙적이 되도록 설치될 수 있다.3 is a view showing another example of the jet plate 280a. The injection angles of the supply nozzles 289a are determined through experiments. As a result of the experiment, the supply nozzle 289a may be installed so that some of the supply nozzles 289a are inclined toward the region where the deposition rate is low on the substrate 10. In this case, each of the supply nozzles 289a may be installed so that its spray angle is irregular.

도 4는 분사판(280b)의 다른 예를 보여주는 단면도이다. 도 4를 참조하면, 분사판(280b)에 형성된 공급홀들(286b)은 서로 상이한 분사각을 가지도록 형성된다. 공급홀들(286b)은 그 분사각도가 설치영역에 따라 규칙적으로 변화되도록 형성될 수 있다. 예컨대, 도 4에 도시된 바와 같이 분사판(280b)의 중앙부에 형성되는 공급홀(286b)은 수직 방향으로 형성되고, 중앙으로부터 멀어질수록 수직 방향으로부터 경사각이 커지도록 형성될 수 있다. 도 4의 분사판(280b) 사용시 도 2의 분사판(280)에 비해 별도로 공급 노즐(289)을 제작하여 결합할 필요가 없으므로 생산 비용이 절감되고, 각각의 공급 노즐(289)을 분사판(280b)에 결합할 필요가 없으므로 설치가 간단하다.4 is a cross-sectional view showing another example of the jet plate 280b. Referring to FIG. 4, the supply holes 286b formed in the spray plate 280b are formed to have different spray angles. The supply holes 286b may be formed such that the spray angle thereof is regularly changed according to the installation area. For example, as illustrated in FIG. 4, the supply hole 286b formed at the center portion of the jet plate 280b may be formed in the vertical direction, and may be formed such that the inclination angle increases from the vertical direction as it moves away from the center. When using the injection plate 280b of FIG. 4, compared to the injection plate 280 of FIG. 2, it is not necessary to manufacture and combine the supply nozzles 289 separately, thereby reducing the production cost, and supplying each of the supply nozzles 289 to the injection plate ( 280b), so installation is simple.

도 5는 분사판(280c)의 또 다른 예를 보여주는 단면도이다. 도 5를 참조하면, 영역에 따라 분사판(280c)에 형성된 공급홀들(286c)의 넓이는 상이하게 제공된다. 용기(240)가 분사판(280c)의 중앙부와 대향되는 위치에 설치되므로, 공급홀들(286c)의 넓이가 동일한 경우 중앙으로부터 가장자리로 갈수록 각 공급홀(286c)을 통해 공급되는 유기물질의 량은 줄어든다. 공급홀들(286c)을 통해 공급되는 유기 물질의 량이 균일하도록 도 5에 도시된 바와 같이 분사판(280c)의 중심부 영역에서 가장자리 영역으로 갈수록 공급홀들(286c)의 넓이가 커지도록 형성되는 것이 바람직하다. 5 is a cross-sectional view showing another example of the jet plate 280c. Referring to FIG. 5, the widths of the supply holes 286c formed in the injection plate 280c may be differently provided according to regions. Since the container 240 is installed at a position opposite to the center of the jet plate 280c, when the widths of the supply holes 286c are the same, the amount of organic material supplied through each supply hole 286c from the center to the edge is increased. Decreases. As shown in FIG. 5, the width of the supply holes 286c increases from the central region of the injection plate 280c to the edge region so that the amount of the organic material supplied through the supply holes 286c is uniform. desirable.

도 6은 분사판(280d)의 또 다른 예를 보여주는 단면도이다. 도 6을 참조하면, 각각의 공급홀(286d)은 아래에서 위로 갈수록 넓어지도록 제공된다. 상술한 구조에 의하면 유기물질이 분사판(280d)으로부터 빠져나갈 때 넓은 영역으로 퍼진다. 선택적으로 각각의 공급홀은 아래에서 위로 갈수록 동일한 넓이를 가지도록 제공되고, 도 2에 도시된 공급 노즐이 아래에서 위로 갈수록 점진적으로 넓어지는 통로를 가지도록 형성될 수 있다.6 is a cross-sectional view showing still another example of the jet plate 280d. Referring to Fig. 6, each supply hole 286d is provided to widen from bottom to top. According to the above-described structure, when the organic material exits the jet plate 280d, it spreads over a wide area. Optionally, each supply hole may be provided to have the same width from bottom to top, and the supply nozzle shown in FIG. 2 may be formed to have a passage that gradually widens from bottom to top.

도 5 및 도 6에서 분사판(280c, 280d))의 공급홀(286c, 286d)의 분사각은 규 칙적으로 변하게 형성되는 것으로 도시하였다. 그러나 이와 달리 공급홀(286c, 286d)들은 모두 수직 방향으로 제공될 수 있다. 또한, 도 4 내지 도 6에서 분사판(280b, 280c, 280d)의 공급홀(286b, 286c, 286d) 각각은 랜덤한 분사각을 가지도록 형성될 수 있다.In FIG. 5 and FIG. 6, the injection angles of the supply holes 286c and 286d of the injection plates 280c and 280d are formed to be changed in a regular manner. Alternatively, the supply holes 286c and 286d may all be provided in the vertical direction. 4 to 6, each of the supply holes 286b, 286c, and 286d of the injection plates 280b, 280c, and 280d may have a random injection angle.

도 7과 도 8은 각각 분사판(280)이 제공되지 않은 경우와 분사판(280)이 제공된 경우 기판(10)으로 공급되는 유기 물질의 량을 비교한 도면이다. 도 7에 도시된 바와 같이 분사판(280)이 제공되지 않은 경우에는 기판(10)의 가장자리부 영역은 중심부 영역에 비해 유기물질의 공급량이 적다. 그러나 도 8에 도시된 바와 같이 분사판(280)이 제공된 경우 기판(10)의 가장자리부 영역과 중심부 영역 간 유기물질의 공급량의 차이는 적다. 따라서 도 8의 증착 장치(1) 사용시 전체 영역에서 대체로 균일한 증착률을 얻을 수 있다.7 and 8 are diagrams comparing amounts of organic materials supplied to the substrate 10 when the injection plate 280 is not provided and when the injection plate 280 is provided, respectively. As shown in FIG. 7, when the jet plate 280 is not provided, the edge area of the substrate 10 has a smaller supply amount of organic material than the central area. However, when the jet plate 280 is provided as shown in FIG. 8, the difference in supply amount of the organic material between the edge region and the central region of the substrate 10 is small. Therefore, when using the deposition apparatus 1 of FIG. 8, it is possible to obtain a generally uniform deposition rate in the entire region.

또한, 최근에 기판(10)이 대형화되면 하나의 소스 공급 장치만으로 기판(10) 전체에 균일한 증착이 어렵다. 도 9와 도 10은 본 발명의 다른 예에 따른 증착 장치(1a, 1b)를 보여준다. 증착 장치(1a)는 도 9에 도시된 바와 같이 상술한 소스 공급 챔버(200)를 복수개 구비한다. 소스 공급 챔버(200)는 원 또는 정다각형을 이루도록 배열될 수 있다. 분사판(280)은 소스 공급 챔버(200)에 각각 제공된다. In addition, when the substrate 10 is enlarged in recent years, it is difficult to uniformly deposit the entire substrate 10 using only one source supply device. 9 and 10 show deposition apparatuses 1a and 1b according to another example of the invention. As illustrated in FIG. 9, the deposition apparatus 1a includes a plurality of the source supply chambers 200 described above. The source supply chamber 200 may be arranged to form a circle or regular polygon. The jet plates 280 are provided in the source supply chamber 200, respectively.

도 10에 도시된 바와 같이 증착 장치(1b)는 하나의 소스 공급 챔버(200b)를 가지고, 소스 공급 챔버(200b)는 복수의 용기들(240)과 각각의 용기(240)를 둘러싸도록 배치되는 가열 부재(260)를 가질 수 있다. 분사판(280)은 용기들(240) 전체로부터 증발되는 유기 물질들을 수용할 수 있는 버퍼 공간(288)을 제공할 수 있는 크 기를 가진다. As shown in FIG. 10, the deposition apparatus 1b has one source supply chamber 200b, and the source supply chamber 200b is arranged to surround the plurality of containers 240 and each container 240. It may have a heating member 260. The jet plate 280 has a size that can provide a buffer space 288 that can accommodate organic materials that evaporate from the entirety of the containers 240.

상술한 실시예에서는 공정 챔버(100) 내부에 기판 지지체(300)가 고정된 경우를 예로 들어 설명하였다. 그러나 이는 일 예에 불과하며, 한국공개특허 제 2002-72362 호등에 개시된 장치와 같이 기판 지지체(300)는 공정 챔버(100)들을 따라 이동가능한 구조를 가질 수 있다. In the above-described embodiment, the case in which the substrate support 300 is fixed inside the process chamber 100 has been described as an example. However, this is only an example, and the substrate support 300 may have a structure movable along the process chambers 100, such as the apparatus disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 2002-72362.

본 발명에 의하면, 용기로부터 증발되는 유기물질이 버퍼공간에 일시적으로 머무른 후 분사판에 제공된 공급홀들을 통해 기판으로 공급되므로 기판 상에 유기물질을 균일하게 증착할 수 있다. According to the present invention, since the organic material evaporated from the container temporarily stays in the buffer space and then is supplied to the substrate through the supply holes provided in the injection plate, the organic material can be uniformly deposited on the substrate.

또한, 본 발명에 의하면, 분사판에는 공급홀 또는 공급노즐이 각각 또는 그룹지어 상이한 각도로 제공되므로 기판의 영역에 따라 원하는 증착률로 유기물을 증착할 수 있다. In addition, according to the present invention, since the supply plate or the supply nozzles are provided at different angles in the spray plate, the organic material may be deposited at a desired deposition rate according to the area of the substrate.

Claims (8)

삭제delete 유기 전계 발광 소자 제조에 사용되는 기판 상에 유기 박막을 증착하는 장치에 있어서,An apparatus for depositing an organic thin film on a substrate used for manufacturing an organic electroluminescent device, 공정 챔버와;A process chamber; 공정 수행시 상기 공정 챔버 내에 위치되며 증착이 이루어지는 면이 아래를 향하도록 기판을 지지하는 기판 지지체와; 그리고A substrate support positioned in the process chamber and supporting the substrate such that a surface on which deposition is performed faces downward when performing a process; And 상기 기판 지지체 아래에서 상기 기판 지지체에 지지된 기판 상으로 유기물질을 공급하는 소스 공급 챔버를 포함하되,A source supply chamber for supplying an organic material under the substrate support onto a substrate supported by the substrate support, 상기 소스 공급 챔버는,The source supply chamber, 유기 물질이 담겨지는 용기와;A container in which the organic material is contained; 상기 용기 내 유기 물질이 증발시키기 위해 상기 유기 물질을 가열하는 가열부재와; 그리고A heating member for heating the organic material to evaporate the organic material in the container; And 상기 용기로부터 증발된 유기 물질이 머무르는 버퍼 공간을 제공하며, 상기 버퍼 공간에 머무르는 유기 물질을 기판 상으로 공급하는 복수의 홀들이 형성된 분사판을 가지며, Providing a buffer space in which the organic material evaporated from the vessel resides, and having a jet plate formed with a plurality of holes for supplying the organic material staying in the buffer space onto a substrate, 상기 복수의 홀들 각각은 수직 방향으로 형성되고,Each of the plurality of holes is formed in a vertical direction, 상기 소스 공급 챔버는 각각의 상기 홀과 연결되도록 상기 분사판에 결합되는 복수의 공급노즐을 포함하되,The source supply chamber includes a plurality of supply nozzles coupled to the injection plate to be connected to each of the holes, 상기 공급노즐들은 유기 물질을 분사하는 각도가 각각 또는 그룹을 지어 상이하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.The supply nozzles are organic thin film deposition apparatus, characterized in that the angle of injecting the organic material is installed so as to be different or in groups. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 공급노즐들은 중심에서 바깥쪽으로 갈수록 그 분사각도가 수직으로부터 더 경사지도록 상기 분사판에 결합되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.And the supply nozzles are coupled to the spray plate such that the spray angles are further inclined from the vertical direction toward the outside from the center. 유기 전계 발광 소자 제조에 사용되는 기판 상에 유기 박막을 증착하는 장치에 있어서,An apparatus for depositing an organic thin film on a substrate used for manufacturing an organic electroluminescent device, 공정 챔버와;A process chamber; 공정 수행시 상기 공정 챔버 내에 위치되며 증착이 이루어지는 면이 아래를 향하도록 기판을 지지하는 기판 지지체와; 그리고A substrate support positioned in the process chamber and supporting the substrate such that a surface on which deposition is performed faces downward when performing a process; And 상기 기판 지지체 아래에서 상기 기판 지지체에 지지된 기판 상으로 유기물질을 공급하는 소스 공급 챔버를 포함하되,A source supply chamber for supplying an organic material under the substrate support onto a substrate supported by the substrate support, 상기 소스 공급 챔버는,The source supply chamber, 유기 물질이 담겨지는 용기와;A container in which the organic material is contained; 상기 용기 내 유기 물질이 증발시키기 위해 상기 유기 물질을 가열하는 가열부재와; 그리고A heating member for heating the organic material to evaporate the organic material in the container; And 상기 용기로부터 증발된 유기 물질이 머무르는 버퍼 공간을 제공하며, 상기 버퍼 공간에 머무르는 유기 물질을 기판 상으로 공급하는 복수의 홀들이 형성된 분사판을 가지며, Providing a buffer space in which the organic material evaporated from the vessel resides, and having a jet plate formed with a plurality of holes for supplying the organic material staying in the buffer space onto a substrate, 상기 복수의 홀들은 각각 또는 그룹을 지어 상이한 분사각을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.And the plurality of holes are formed to have different spray angles in groups or in groups. 유기 전계 발광 소자 제조에 사용되는 기판 상에 유기 박막을 증착하는 장치에 있어서,An apparatus for depositing an organic thin film on a substrate used for manufacturing an organic electroluminescent device, 공정 챔버와;A process chamber; 공정 수행시 상기 공정 챔버 내에 위치되며 증착이 이루어지는 면이 아래를 향하도록 기판을 지지하는 기판 지지체와; 그리고A substrate support positioned in the process chamber and supporting the substrate such that a surface on which deposition is performed faces downward when performing a process; And 상기 기판 지지체 아래에서 상기 기판 지지체에 지지된 기판 상으로 유기물질을 공급하는 소스 공급 챔버를 포함하되,A source supply chamber for supplying an organic material under the substrate support onto a substrate supported by the substrate support, 상기 소스 공급 챔버는,The source supply chamber, 유기 물질이 담겨지는 용기와;A container in which the organic material is contained; 상기 용기 내 유기 물질이 증발시키기 위해 상기 유기 물질을 가열하는 가열부재와; 그리고A heating member for heating the organic material to evaporate the organic material in the container; And 상기 용기로부터 증발된 유기 물질이 머무르는 버퍼 공간을 제공하며, 상기 버퍼 공간에 머무르는 유기 물질을 기판 상으로 공급하는 복수의 홀들이 형성된 분사판을 가지며, Providing a buffer space in which the organic material evaporated from the vessel resides, and having a jet plate formed with a plurality of holes for supplying the organic material staying in the buffer space onto a substrate, 상기 복수의 홀들은 형성 영역에 따라 각각 또는 그룹을 지어 상이한 넓이를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.And the plurality of holes are formed to have different widths in groups or in groups according to formation regions. 유기 전계 발광 소자 제조에 사용되는 기판 상에 유기 박막을 증착하는 장치에 있어서,An apparatus for depositing an organic thin film on a substrate used for manufacturing an organic electroluminescent device, 공정 챔버와;A process chamber; 공정 수행시 상기 공정 챔버 내에 위치되며 증착이 이루어지는 면이 아래를 향하도록 기판을 지지하는 기판 지지체와; 그리고A substrate support positioned in the process chamber and supporting the substrate such that a surface on which deposition is performed faces downward when performing a process; And 상기 기판 지지체 아래에서 상기 기판 지지체에 지지된 기판 상으로 유기물질을 공급하는 소스 공급 챔버를 포함하되,A source supply chamber for supplying an organic material under the substrate support onto a substrate supported by the substrate support, 상기 소스 공급 챔버는,The source supply chamber, 유기 물질이 담겨지는 용기와;A container in which the organic material is contained; 상기 용기 내 유기 물질이 증발시키기 위해 상기 유기 물질을 가열하는 가열부재와; 그리고A heating member for heating the organic material to evaporate the organic material in the container; And 상기 용기로부터 증발된 유기 물질이 머무르는 버퍼 공간을 제공하며, 상기 버퍼 공간에 머무르는 유기 물질을 기판 상으로 공급하는 복수의 홀들이 형성된 분사판을 가지며, Providing a buffer space in which the organic material evaporated from the vessel resides, and having a jet plate formed with a plurality of holes for supplying the organic material staying in the buffer space onto a substrate, 각각의 상기 홀은 아래에서 위로 갈수록 넓이가 점진적으로 넓어지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.Wherein each of the holes is formed to gradually increase in width from bottom to top. 유기 전계 발광 소자 제조에 사용되는 기판 상에 유기 박막을 증착하는 장치에 있어서,An apparatus for depositing an organic thin film on a substrate used for manufacturing an organic electroluminescent device, 공정 챔버와;A process chamber; 공정 수행시 상기 공정 챔버 내에 위치되며 증착이 이루어지는 면이 아래를 향하도록 기판을 지지하는 기판 지지체와; 그리고A substrate support positioned in the process chamber and supporting the substrate such that a surface on which deposition is performed faces downward when performing a process; And 상기 기판 지지체 아래에서 상기 기판 지지체에 지지된 기판 상으로 유기물질을 공급하는 소스 공급 챔버를 포함하되,A source supply chamber for supplying an organic material under the substrate support onto a substrate supported by the substrate support, 상기 소스 공급 챔버는,The source supply chamber, 유기 물질이 담겨지는 용기와;A container in which the organic material is contained; 상기 용기 내 유기 물질이 증발시키기 위해 상기 유기 물질을 가열하는 가열부재와; 그리고A heating member for heating the organic material to evaporate the organic material in the container; And 상기 용기로부터 증발된 유기 물질이 머무르는 버퍼 공간을 제공하며, 상기 버퍼 공간에 머무르는 유기 물질을 기판 상으로 공급하는 복수의 홀들이 형성된 분사판을 가지며, Providing a buffer space in which the organic material evaporated from the vessel resides, and having a jet plate formed with a plurality of holes for supplying the organic material staying in the buffer space onto a substrate, 상기 장치는 상기 소스 공급 챔버를 복수개 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.And said apparatus comprises a plurality of said source supply chambers. 유기 전계 발광 소자 제조에 사용되는 기판 상에 유기 박막을 증착하는 장치에 있어서,An apparatus for depositing an organic thin film on a substrate used for manufacturing an organic electroluminescent device, 공정 챔버와;A process chamber; 공정 수행시 상기 공정 챔버 내에 위치되며 증착이 이루어지는 면이 아래를 향하도록 기판을 지지하는 기판 지지체와; 그리고A substrate support positioned in the process chamber and supporting the substrate such that a surface on which deposition is performed faces downward when performing a process; And 상기 기판 지지체 아래에서 상기 기판 지지체에 지지된 기판 상으로 유기물질을 공급하는 소스 공급 챔버를 포함하되,A source supply chamber for supplying an organic material under the substrate support onto a substrate supported by the substrate support, 상기 소스 공급 챔버는,The source supply chamber, 유기 물질이 담겨지는 용기와;A container in which the organic material is contained; 상기 용기 내 유기 물질이 증발시키기 위해 상기 유기 물질을 가열하는 가열부재와; 그리고A heating member for heating the organic material to evaporate the organic material in the container; And 상기 용기로부터 증발된 유기 물질이 머무르는 버퍼 공간을 제공하며, 상기 버퍼 공간에 머무르는 유기 물질을 기판 상으로 공급하는 복수의 홀들이 형성된 분사판을 가지며, Providing a buffer space in which the organic material evaporated from the vessel resides, and having a jet plate formed with a plurality of holes for supplying the organic material staying in the buffer space onto a substrate, 상기 소스 공급 챔버는,The source supply chamber, 복수의 상기 용기들과;A plurality of said containers; 상기 용기들 각각에 제공되는 복수의 상기 가열 부재와;A plurality of said heating members provided in each of said containers; 상기 용기들로부터 증발되는 유기물질을 모두 수용할 수 있는 크기의 상기 버퍼 공간을 가지도록 형상지어진 상기 분사판을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.And the jet plate shaped to have the buffer space of a size that can accommodate all of the organic materials evaporated from the vessels.
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