KR100645897B1 - Sawing sorter system of bga package and method of the same thereby - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 종래의 소잉소터시스템의 사시도이다. 1 is a perspective view of a conventional sawing sorter system.
도 2는 본 발명에 의한 소잉소터시스템의 사시도이다. 2 is a perspective view of a sawing sorter system according to the present invention.
도 3은 도 2의 정렬부의 사시도이다. 3 is a perspective view of the alignment unit of FIG. 2.
도 4는 도 2의 턴테이블의 사시도이다. 4 is a perspective view of the turntable of FIG. 2.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **
110: 패키지자재 공급부 112: 엘레베이터110: package material supply unit 112: elevator
113: 푸셔 121: 척피커113: pusher 121: chuck picker
130: 절삭부 131: 얼라인비젼130: cutting unit 131: alignment vision
131': 정렬테이블 132: 회전블레이드131 ': alignment table 132: rotating blade
140: 턴테이블 141:제 1 턴테이블 140: turntable 141: first turntable
142: 제 2 턴테이블 150: 마크비젼142: second turntable 150: Mark Vision
160: 칩피커 180: 트레이160: chip picker 180: tray
본 발명은 비지에이(BGA, Ball Grid Array) 반도체 패키지의 소잉소터시스템 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 비지에이 반도체 패키지의 솔더볼면이 하향하도록 하여 전체 공정을 수행함으로써 시스템 및 공정을 단순화한 비지에이 반도체 패키지의 소잉소터시스템 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a sawing sorter system and method for a ball grid array (BGA) semiconductor package, and more particularly, to simplify the system and the process by performing the entire process by lowering the solder ball surface of the BGA semiconductor package. TECHNICAL FIELD This invention relates to a sawing sorter system and method of a semiconductor package.
반도체 패키지의 제조공정을 테이프 배선기판을 사용하는 비지에이 패키지(BGA, Ball Grid Array Package)를 예로 설명한다. 폴리이미드(polyimide) 필름에 기판 회로배선이 형성된 스트립(strip) 상태의 테이프 배선기판의 상부에 비전도성 에폭시 수지 재질의 접착제로 반도체 칩들이 각 패키지 영역에 부착되어 복수의 패키지 영역 단위로 그룹화되어 그룹성형물을 형성한다. 이와 같은 테이프 배선 기판은 공정 진행과정에서 취급의 용이를 위해 일정길이 단위로 커팅되어 캐리어 프레임에 고정한 반제품 반도체 칩 패키지로 제조된다. 이어서, 테이프 배선기판의 배면에 형성된 구멍으로 노출된 본딩 볼 랜드 부분에 솔더 볼이 가부착되고 고온에서 리플로우(reflow) 공정을 거쳐 부착이 완료되면, 소잉소터시스템에 의해 그룹성형된 반도체 패키지를 단위별로 절삭한 후, 검사, 이송 및 적재하는 작업이 연속적으로 수행되어 반도체 패키지를 제조한다. A manufacturing process of a semiconductor package will be described as a ball grid array package (BGA) using a tape wiring board as an example. Non-conductive epoxy resin adhesive is applied on top of the stripped tape wiring board in which a polyimide film has circuit circuit wiring, and semiconductor chips are attached to each package area and grouped into a plurality of package areas. Form a molding. Such a tape wiring board is manufactured as a semi-finished semiconductor chip package which is cut in a predetermined length unit and fixed to a carrier frame in order to facilitate handling. Subsequently, when the solder balls are attached to the bonding ball land portions exposed by the holes formed in the back surface of the tape wiring board, and the adhesion is completed by a reflow process at a high temperature, the semiconductor package grouped by the sawing sorter system is removed. After cutting in units, inspection, transfer and stacking operations are continuously performed to manufacture a semiconductor package.
이와 같이 반도체 패키지를 절삭 및 검사, 분류하는 소잉소터시스템을 대한민국 특허출원 제2003-37051호를 예를 들어 설명한다. 도 1을 참조하여 그 구성 및 작용을 설명하면, 절삭공정을 수행하는 상면의 앞단에 척(2)이 놓여진 절삭기(1)(Sawing machine)가 배치되어 있다. 이 절삭기(1)의 척(2)에 절삭될 반도체패키지나 웨이퍼가 놓여지는 것으로, 상기의 척(2)에는 두개의 반도체패키지가 놓여지 는 자리가 마련되어 있다. 척(2)의 두 자리는 절삭될 반도체패키지의 교환을 한번에 이루기 위한 것으로 모두 흡입공이 형성되고 진공펌프에 연결되어 흡착과 탈착이 이루어지도록 되어 있다.Thus, a sawing sorter system for cutting, inspecting and classifying semiconductor packages will be described using Korean Patent Application No. 2003-37051. Referring to FIG. 1, the configuration and operation of the cutting machine 1 (Sawing machine) on which the
또한, 상기 절삭기(1)의 측면에는 절삭기(1)의 척에 반도체패키지나 웨이퍼의 공급과 교환 공정을 수행하고 절삭공정이 이루어진 반도체패키지나 웨이퍼의 이송과 검사 분류공정을 수행하는 분류기(10)(Sorting machine)가 배치되어 있다. 이 분류기(10)의 전방 좌측에는 캐리어(12)를 적재하는 매거진(11)이 배치되어 있으며, 캐리어(12)를 매거진(11)에서 탈착하는 매거진로더(13)가 매거진(11)의 좌측에 배치되어 있다. 매거진(11)에 의해서 캐리어(12)는 좌측으로 이송되어 전후방으로 실린더에 의해 작동되는 밀대(17)에 의해 후방으로 탈착된다. 여기서, 캐리어(12)는 반도체패키지나 웨이퍼가 필름에 의해서 부착되는 펀칭(punching)된 판이다. 이렇게 후방으로 밀려 매거진(11)에서 이탈된 캐리어(12)는 인렛레일(21)의 후방에서 전방으로 이동되는 인렛레일(21)의 집게(23)에 의해서 고정된다. 이렇게 캐리어(12)가 집게(23)에 의해서 고정되고 나면 인렛레일(21)의 하부에 부착된 칼날이 캐리어(12)의 필름을 절단하여 캐리어(12)에서 반도체패키지가 분리된다.In addition, the side of the
이렇게 분리된 반도체패키지는 제1가이드(5)에 안착된 피커트랜스퍼(30)에 흡착되고, 캐리어(12)는 전방으로 이송되어 집게(23)에 부착된 실리더가 작동되어 매거진(11)으로 복귀된다. 반도체패키지가 피커트랜스퍼(30)의 한쪽 흡착면에 흡착되면 피커트랜스퍼(30)는 상방 좌측으로 이송되고 진공펌프의 오프(off)로 상기 척(2)의 한쪽면에 반도체패키지가 놓여진다. 이렇게 반도체패키지가 놓여지면 척(2) 은 절삭기(1)의 내부로 이송되고 반도체패키지는 절삭기(1)에 의해서 절삭된다. 이때, 매거진(11)에서 이미 이탈되어 인렛레일(21)을 따라 이송된 다른 반도체패키지는 피커트랜스퍼(30)에 의해서 흡착되어, 절삭이 끝나기를 대기하고 있게 된다. 상기 절삭기(1)에서 절삭이 끝나면 척(2)은 절삭공간 입구에 설치된 제1클리너(3)로 이송되고 이 제1클리너(3)에 의해 세척 건조된 후 절삭기(1) 외부로 이송된다. 이때, 피커트랜스퍼(30)는 세척 건조가 끝나면 상기 척위로 접근하여 흡착하고 있는 반도체패키지를 내려놓고 다른 흡입구쪽으로 절삭된 반도체패키지를 흡착하여 리버스테이블(40)로 향한다. 상기의 매거진(11)에서 매거진로더(13)와 인렛레일(21)을 거쳐 피커트랜스퍼(30)에 의해 척(2)으로 이송되고, 다시 새로운 반도체패키지와 교환되는 반복 과정은 하나의 공정사이클을 이루고 있다. The semiconductor package thus separated is adsorbed by the
상기 피커트랜스퍼(30)에 흡착되어 있는 절삭된 반도체패키지는 진공펌프의 오프(off)상태로 리버스테이블(40)위에 놓여지고, 흡착된다. 이 리버스테이블(40)은 180도 회전이 가능하고 좌우측으로 이동할 수 있도록 레일위에 놓여 있다. 우선, 리버스테이블(40)상에 반도체패키지는 좌측으로 이동되어 180도 회전되고 제2클리너(45)의 입구에서 안쪽으로 이송된다. 이때, 좌측에 설치된 제2클리너(45)에서 압축공기가 분사되어 반도체패키지의 절삭공정에서 발생된 이물질이 다시 제거된다. 이렇게 이물질 제거를 마친 리버스테이블(40)의 반도체패키지는 렌즈가 상방향을 향하도록 플레이트(9)에 설치된 볼비젼인스펙션(47)로 이동되고 볼 검사를 받는다. 이 볼검사시에 리버스테이블(40)은 좌우측으로 레일을 따라 움직이게 되고 볼비젼인스펙션(47)은 전후방으로 레일을 따라 움직인다. 이렇게 리버스테이블(40) 과 볼비젼인스펙션(47)이 서로 직각교차하여 이송되므로 모든 반도체패키지가 검사되고, 검사된 반도체패키지의 양부 상태가 시스템의 메인메모리에 저장되어 후속되는 분류공정에 적용된다.The cut semiconductor package adsorbed on the
이렇게 볼검사를 마친 리버스테이블(40)의 반도체패키지는 볼이 아랫방향을 향해 있어 보통 볼다운(Ball down)상태라고 불리운다. 이 볼다운 상태로, 즉, 리버스테이블(40)이 180도 회전된 상태로 우측의 버퍼테이블(43)위로 접근되고 진공펌프는 오프(off)되어 버퍼테이블(43)에 반도체패키지가 놓여지게 된다. 이 버퍼테이블(43)의 진공펌프가 온(on)상태로 되어 반도체패키지의 배열상태가 유지된다. 이때, 상기 가이드에 안착되어 있는 피커가 반도체패키지를 이송하기 위해 버퍼테이블(43)위에 접근한다. 상기 버퍼테이블(43)은 진공펌프를 오프(off)상태로 바꾸고 피커는 반대로 온(on)하여 반도체패키지를 턴테이블위로 이송한다. 이 턴테이블위에 반도체패키지가 놓여지게 되면 상기 피커의 우측에 부착되어 있는 마킹비젼(48)에 의해서 볼이 형성된 표면의 반대면인 마킹면이 검사된다. 상기 볼검사 때와 마찬가지로 마킹면의 상태도 시스템의 메모리에 저장되어 분류공정시 활용된다. 상기 마킹면의 검사가 끝나면 턴테이블은 90도 회전되고 전방으로 이송된다. 상기 턴테이블은 두 개가 설치되어 있으며, 레일이 전후방으로 내부에 설치되고 수직으로 실린더가 설치된 제1턴테이블(60)은 전후 상하로 움직일 수 있으며, 외부 윗면에 전후로만 레일이 설치된 제2턴테이블(63)은 전후방으로만 움직일 수 있게 된다. 두개의 턴테이블이 반도체패키지의 이송을 위해서 전후방으로 위치를 교환 할 때는 실린더가 설치된 제1턴테이블(60)이 하강한 후 후방으로 움직여서 턴테이블간 간섭이 일어나지 않는다. 이때, 턴테이블에 의해서 전방으로 이송된 반도체패키지는 제2가이드(7)에 안착된 칩피커(70)에 의해서 흡착된다. 이때, 반도체패키지의 상태는 여전히 볼 다운상태를 유지하고 있어 칩피커(70)에 의해 흡착이 잘 이루어지고 트레이의 안치홈에도 잘 들어맞는다. 상기 칩피커(70)는 시스템제어기로부터 반도체패키지의 양부를 가려 집어내도록 지령받고 칩을 다 흡착하여 집은 후에는 좌측의 트레이트렌스퍼상에 놓여있는 트레이에 반도체패키지를 한번에 한 줄씩 내려놓는다. The semiconductor package of the reverse table 40 after the ball inspection is called a ball down state because the ball is directed downward. In this ball-down state, i.e., the reverse table 40 is rotated 180 degrees, the upper side of the buffer table 43 is approached and the vacuum pump is turned off to place the semiconductor package on the buffer table 43. . The vacuum pump of this buffer table 43 is turned on to maintain the arrangement state of the semiconductor package. At this time, the picker seated on the guide approaches the buffer table 43 to transport the semiconductor package. The buffer table 43 turns the vacuum pump off and the picker is turned on to transfer the semiconductor package onto the turntable. When the semiconductor package is placed on the turntable, the marking surface, which is the opposite surface of the ball-formed surface, is inspected by the marking
상기 트레이트랜스퍼(81)에 놓여진 트레이의 한행에 반도체패키지가 다 놓여지면 다음행에 반도체패키지가 놓여질 수 있도록 트레이는 전방으로 행간 거리간격으로 이송된다. 상기 트레이트랜스퍼(81)의 전방에는 트레이를 자동으로 적재할 수 있는 풀트레이존유닛(83)설치되어 있었다. When the semiconductor package is placed in one row of the tray placed on the
상술한 종래의 소잉소터시스템에서 공정이 수행되는 동안 비지에이 패키지는 솔더볼면이 상향인 볼업상태로 공급되어 절삭된 후, 리버스테이블의 회전에 의해 다시 볼다운상태로 전환하여 다음 공정들이 수행되게 된다. In the above-described conventional sawing sorter system, the busy package is supplied with the solder ball face up in the ball-up state and is cut, and then switched back to the ball-down state by the rotation of the reverse table to perform the following processes. .
따라서 이와 같은 이유로 인해 종래의 소잉소터시스템은 솔더볼면을 전환하기 위한 리버스테이블 및 버퍼테이블이 구비되어야 하는 것으로서, 시스템 및 작업공정이 매우 복잡할 뿐만 아니라 상기 패키지들이 이송 및 방향전환되는 과정에서 정확한 위치에 안착되지 못하면 시정을 하여야 하는 등 작업능률이 현저하게 떨어지는 문제점이 있었다. For this reason, the conventional sawing sorter system has to be provided with a reverse table and a buffer table for switching the solder ball surface, and the system and the work process are very complicated, and the correct position in the process of transferring and redirecting the packages is required. There was a problem that the work efficiency is significantly reduced, such as the need to correct if not seated on.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 비지에이 반 도체 패키지의 솔더볼면의 전환없이 전체 공정을 수행할 수 있도록 함으로써 시스템 및 공정을 단순화한 비지에이 반도체 패키지의 소잉소터시스템 및 방법을 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems. The present invention provides a sawing sorter system and method for a BGA semiconductor package that simplifies the system and the process by allowing the entire process to be performed without changing the solder ball surface of the BSA semiconductor package. In providing.
이와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 소잉소터시스템은 그룹성형된 비지에이(BGA, Ball Grid Array) 패키지자재를 솔더볼면이 하향하도록 공급하는 공급부; 상기 공급부로부터 공급받은 상기 패키지자재의 몰딩면을 진공흡착하여 이송하는 척피커; 상기 척피커에 흡착된 상기 패키지자재를 그 하방에 위치하는 회전블레이드를 이용하여 단위패키지로 절단하는 절삭부; 상기 척피커가 상기 단위패키지를 안착시키고, 수평방향으로 운동가능한 턴테이블; 상기 턴테이블의 상방에서 상기 단위패키지의 마킹검사를 수행하는 마크비젼; 마킹검사가 수행된 상기 단위패키지의 몰딩면을 진공흡착하여 이송하는 칩피커; 상기 칩피커에 흡착된 상기 단위패키지의 하방에서 솔더볼을 검사하는 볼비젼; 및 상기 마킹검사 및 솔더볼검사 결과에 따라 양품과 불량품으로 분류하여 적재하는 트레이;를 포함하여 이루어지며, 상기 척피커에 의해 흡착된 상기 패키지자재의 위치를 확인할 수 있는 얼라인비젼 및 상기 패키지자재의 위치를 보정하기 위하여 상기 척피커에 흡착된 상기 패키지자재를 일시적으로 내려놓을 수 있는 정렬테이블을 포함하여 구성된 정렬부가 더 구비된다. In order to solve the above technical problem, the sawing sorter system according to the present invention comprises: a supply unit for supplying a group ball molded array (BGA, Ball Grid Array) package material to the solder ball surface downward; A chuck picker for vacuum suctioning and transporting a molding surface of the package material supplied from the supply unit; A cutting unit for cutting the package material adsorbed to the chuck picker into a unit package using a rotating blade positioned below the chuck picker; A turntable on which the chuck picker seats the unit package and is movable in a horizontal direction; Mark vision for performing a marking inspection of the unit package above the turntable; A chip picker for vacuum suctioning and transporting a molding surface of the unit package in which a marking test is performed; A ball vision inspecting solder ball under the unit package adsorbed to the chip picker; And a tray for classifying and loading the good and defective items according to the marking test and the solder ball test result. The alignment vision and the package material may be used to confirm the position of the package material adsorbed by the chuck picker. The alignment unit further includes an alignment table configured to temporarily lower the package material adsorbed on the chuck picker to correct the position.
또한 상기 공급부는 다수개의 상기 패키지자재를 적층하는 매거진; 상기 매거진을 상승시키는 엘레베이터; 및 상기 엘레베이터에 의해 상승된 상기 매거진으 로부터 상기 패키지자재를 차례로 공급하는 푸셔;를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. In addition, the supply unit is a magazine for stacking a plurality of the package material; An elevator for raising the magazine; And a pusher for sequentially supplying the package material from the magazine lifted by the elevator.
또한 상기 절삭부는 두개의 회전블레이드가 구비되고, 상기 턴테이블은 전후 및 회전운동이 가능한 제 1 턴테이블 및 전후, 상하 및 회전운동이 가능한 제 2 턴테이블로 분리형성되고, 상기 척피커는 상기 단위패키지를 상기 제 1 턴테이블 및 제 2 턴테이블에 순차적으로 교번하여 안착시키는 것이 더욱 바람직하다. In addition, the cutting unit is provided with two rotary blades, the turntable is separated into a first turntable capable of front and rear and rotational movement and a second turntable capable of forward, rearward, up and down and rotational movement, and the chuck picker is the unit package It is more preferable to alternately seat the first turntable and the second turntable.
본 발명에 의한 비지에이 패키지의 소잉소터방법은 그룹성형된 비지에이(BGA, Ball Grid Array) 패키지자재를 솔더볼면이 하향하도록 공급하는 단계; 공급받은 상기 패키지자재의 몰딩면을 척피커에 의해 진공흡착하는 단계; 상기 척피커를 회전블레이드의 상방으로 이송한 후, 상기 회전블레이드에 의해 상기 패키지자재를 단위패키지로 절단하는 단계; 상기 패키지자재를 절단한 후, 상기 단위패키지에 물을 분사하여 세척하고, 분사된 상기 물을 건조하는 단계; 상기 단위패키지를 턴테이블에 안착시키는 단계; 상기 턴테이블에 안착된 상기 단위패키지의 마킹을 검사하는 단계; 마킹검사가 완료된 상기 단위패키지의 몰딩면을 칩피커에 의해 진공흡착하는 단계; 상기 단위패키지의 하방에서 솔더볼검사를 수행하는 단계; 및 상기 마킹검사 및 솔더볼검사 결과에 따라 양품과 불량품으로 분류하여 적재하는 단계;를 포함하여 이루어진다.The sawing sorter method of a BG package according to the present invention includes supplying a group of BGA (Ball Grid Array) package materials such that a solder ball surface faces downward; Vacuum suction the molding surface of the supplied package material with a chuck picker; Transferring the chuck picker upwardly of the rotating blade, and cutting the package material into a unit package by the rotating blade; Cutting the package material, spraying and washing the unit package with water, and drying the sprayed water; Mounting the unit package on a turntable; Checking the marking of the unit package seated on the turntable; Vacuum suction the molding surface of the unit package in which the marking test is completed by a chip picker; Performing a solder ball test under the unit package; And classifying and loading into good and bad goods according to the marking test and solder ball test results.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 소잉소터시스템의 구성 및 작용을 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the configuration and operation of the sawing sorter system according to the present invention.
도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 소잉소터시스템은 패키지자재 공급부(110), 척피커(121), 절삭부(130), 턴테이블(140), 마크비젼(150), 칩피커(160), 볼비젼(미도시) 및 트레이(180)를 포함하여 이루어진다. 2, the sawing sorter system according to the present invention includes a package
상기 공급부(110)는 절단 및 분류의 대상이 되는 그룹성형된 패키지자재를 공급하는 구성으로서, 매거진(미도시), 엘레베이터(112) 및 푸셔(113)를 포함하여 이루어진다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 매거진에 패키지자재를 소정의 수만큼 적재하고, 이를 엘레베이터(112)에 의해 상승시키며, 상승된 상기 매거진에 적재된 상기 패키지자재를 푸셔(113)에 의해 전방으로 밀어냄으로써 상기 패키지자재를 공급한다. 여기서 상기 패키지자재는 매거진에 적재시 솔더볼면이 하향하도록 적재된다. The
상기 척피커(121)는 상기 푸셔(113)에 의해 공급된 패키지자재를 진공흡착하여 후속공정으로 이송하는데, 특히 상기 패키지자재의 상부에서 몰딩면을 진공흡착한다. 또한 상기 척피커(121)에는 진공력을 제공받는 진공라인이 형성되어 있음은 당연하다. The
한편, 본 실시예에서는 상기 척피커(121)에 진공흡착된 패키지자재의 위치를 확인할 수 있는 얼라인비젼(131) 및 정렬테이블(131')로 구성된 정렬부가 구비되어 있다. 도 3을 참조하여 정렬부의 구성을 살펴보면, 상기 얼라인비젼(131)의 렌즈는 상향하도록 형성되어 있고, 그 상방으로 척피커(121)에 의해 이송되어진 패키지자재의 위치를 확인할 수 있다. 상기 얼라인비젼(131)에 의한 위치확인 결과, 패키지자재의 위치 보정이 필요한 경우에는 정렬테이블(131') 상에 일시적으로 올려놓고, 위치보정을 수행한다. 즉, 상기 정렬테이블(131')은 모터(131b)에 의해 LM장치(131a)를 따라 수평방향으로 이송하고, 이와 척피커(121)의 상대적인 운동으로 패키지자재의 위치를 보정한다. On the other hand, in the present embodiment is provided with an alignment portion consisting of an
상기 절삭부(130)는 상기 척피커(121)에 흡착되어 이송되어 온 패키지자재를 단위패키지로 절삭하는 구성으로서, 회전블레이드(132), 물 분사노즐을 포함한 세척부(미도시)와 에어블로워(미도시)가 구비되어 있다. The
상기 턴테이블(140)은 이송장치(143)에 의해 가이드를 따라 이동하는 제1 및 제2턴테이블(141,142)로 분리하여 구성된다. 상기 제1 및 제2턴테이블(141,142)은 각각 절단된 단위패키지를 수용할 수 있도록 형성되어 있음을 알 수 있다. 상기 안착부에는 척피커(121)로부터 전달받은 절단된 단위패키지를 진공흡착하기 위한 진공라인이 형성되어 있다. 또한 제1턴테이블(141)은 전후 및 회전운동이 가능하도록 형성되고, 제2턴테이블(142)은 전후 및 회전운동 뿐만 아니라 상하운동도 가능하도록 형성된다. The
상기 마크비젼(150)은 상기 턴테이블(140)에 안착된 단위패키지의 몰딩면에 인쇄된 문자를 인식하고, 패키지 외곽면을 검사하는 구성이다. The
상기 칩피커(160)는 상기 턴테이블(140)에 안착된 상태에서 마크비젼(150)에서 마킹검사가 완료된 단위패키지를 진공흡착하여 후속공정으로 이송하는 구성이며, 단위패키지의 상방에서 몰딩면을 진공흡착하여 이송한다. The
상기 볼비젼은 상기 칩피커(160)에 흡착된 단위패키지의 솔더볼을 검사하는 구성이다. 따라서 상기 칩피커(160)는 단위패키지를 흡착하여 상기 볼비젼의 상방 으로 이송하는 것이다. The ball vision is configured to inspect the solder balls of the unit package adsorbed on the
상기 트레이(180)는 마킹검사와 솔더볼검사를 완료한 단위패키지를 양품 및 불량품으로 분류하여 적재하는 구성이다. The
이하, 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 실시예의 작용을 설명한다.Hereinafter, the operation of the embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG. 2.
매거진에 그룹성형된 패키지자재를 다수개 적재하여 수납하고, 엘레베이터(112)에 의해 상기 매거진을 상승시키며, 상기 매거진에 적재된 상기 패키지자재를 푸셔(113)에 의해 패키지자재를 하나씩 공급한다.A plurality of packaged material packaged in a magazine is stacked and received, the magazine is lifted by the
공급된 패키지자재는 척피커(121)가 진공흡착하고, 절삭부(130)로 이송하기 전에 얼라인비젼(131)의 상방으로 이송하여 패키지자재의 위치를 확인한다. 상기 패키지자재의 위치를 보정하여야 할 경우에는 정렬테이블(131')에 일시적으로 올려놓고, 정렬테이블(131') 및 척피커(121)를 이동하여 패키지자재의 정위치로 얼라인한다. The supplied package material is vacuum-adsorbed by the
상기 패키지자재가 정위치에 놓여져 있음을 확인한 다음, 척피커(121)는 절삭부(130)로 이송한다. 상기 척피커(121)에 흡착된 패키지자재는 하부의 회전블레이드(132)에 의해 단위패키지로 절단된다. 절단된 상기 단위패키지는 물분사노즐에 의해 분사된 물에 의해 이물질이 제거되고, 에어블로워에 의해 분사된 물을 건조된다. After confirming that the package material is placed in place, the
이와 같은 공정을 통해 절단된 단위패키지는 턴테이블(140)에 안착되는데, 제1 및 제2턴테이블(141,142)에 순차적으로 교번하여 안착된다. 먼저 제1턴테이블 (141)에 단위패키지가 안착되면, 제1턴테이블(141)은 마크비젼(150)의 하방으로 수평이동하고, 마크비젼(150)에 의해 단위패키지의 몰딩면의 문자 및 외곽면을 검사한다. The unit package cut through the above process is seated on the
마킹검사가 수행된 후, 다시 제1턴테이블(140)은 이송장치(143)에 의해 가이드를 따라 반대측으로 수평운동을 하고, 이에 안착된 단위패키지는 상방에 위치한 칩피커(160)가 진공흡착한다. 단위패키지를 흡착한 칩피커(160)는 볼비젼의 상방으로 이송하며, 상기 볼비젼에 의해 솔더볼의 검사가 수행된다. After the marking test is performed, the
상기 제1턴테이블(141)이 상기와 같이 전후 및 회전운동에 의해 마크비젼 및 볼비젼의 근방으로 이송하여 검사를 수행하는 동안, 제2턴테이블(142)에도 절단된 단위패키지가 안착되고, 제1턴테이블(141)과 같이 마크비젼(150) 및 볼비젼의 근방으로 순차적으로 이송한다. 다만, 제2턴테이블(142)은 전후 및 회전운동 이외에도 제1턴테이블(141)과의 충돌을 피하기 위하여 상하운동도 병행한다. While the first turn table 141 is transported to the vicinity of the mark vision and the ball vision by the front and rear and rotational motion as described above, the cut unit package is also seated on the second turn table 142, Like the
이와 같이 절단 및 검사가 완료되면, 검사결과에 따라 양품 및 불량품을 분류하여 각각의 트레이(180)에 적재함으로써 모든 공정이 완료된다. When the cutting and inspection is completed as described above, all processes are completed by classifying good and defective goods according to the inspection result and loading them in the
즉, 본 발명에 의하면 반도체 패키지는 솔더볼면이 하향한 상태에서 모든 공정이 수행됨을 알 수 있다.In other words, according to the present invention, it can be seen that the semiconductor package is performed in a state where the solder ball surface is downward.
본 발명에 의하면 비지에이 반도체 패키지의 솔더볼면의 상하방향 전환없이 전체 공정을 수행하기 때문에 시스템 및 공정이 매우 단순하여 빠른 시간내에 작업공정을 완료할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, since the entire process is performed without changing the solder ball surface of the BG semiconductor package, the system and the process are very simple, and thus the work process can be completed in a short time.
또한 볼 엔드(ball end) 값이 작은 새로운 패키지 생산에 적합하다. It is also suitable for the production of new packages with small ball end values.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical spirit of the present invention, and such modifications and modifications belong to the appended claims.
Claims (7)
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