KR100533986B1 - 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정시스템 및 그 방법 - Google Patents

반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정시스템 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 다수의 서버로 분산되어 운영되는 반도체 라인관리용 통합자동화 시스템을 이용하여 공정을 진행중에 손실되는 로트의 데이터를 각 서버들간의 메세지 송수신, 데이터 확인 및 갱신작업에 의해 작업자의 개입없이 자동으로 교정할 수 있는 반도체 제조공정에서 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 로트 데이터 손실 교정 요청을 입력하는 제 1단계; 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 로트 데이터 손실 교정 요청을 작업자 인터페이스 서버로 전송하면, 상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 데이터 손실 교정 요청을 수신하는 제 2단계; 상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 상기 획득된 로트 데이터 손실 교정 요청을 확인하고, 로트, 카세트 및 공정정보를 갱신하는 제 3단계; 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 제 3단계에서 확인된 로트의 손실 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 4단계; 상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트의 손실 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버 큐 파일에 로트의 손실 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하는 제 5단계; 및 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 로트의 손실 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 6단계를 수행한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 반도체 제조공정에서 로트의 손실된 데이터의 교정방법에 이용됨.

Description

반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템 및 그 방법{AUTOMATIC ADJUSTING SYSTEM FOR LOSS OF LOT DATA IN MANUFACTURING SEMICONDUCTOR AND METHOD USING THE SAME}
본 발명은 반도체 제조공정에서 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것으로, 특히, 반도체 라인 관리용 통합자동화 시스템을 이용하여 분산된 서버들간의 메세지 교환 및 해당 로트의 로트 손실 데이터의 갱신에 의해 공정을 진행중이던 로트의 손실된 데이터를 자동으로 교정할 수 있는 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정에서는 장비와 호스트간의 통신불량, 호스트의 불안정, 작업자의 데이터 입력 누락, 장비의 불안정으로 인한 불량 데이터의 호스트 전송등의 복합적인 문제로 인하여 공정을 진행중이던 로트의 데이터에 손실이 발생할 수 있다.
종래에는 먼저, 작업자가 직접 공정을 진행중이던 로트의 이력 및 장비 이력을 삭제하고, 상기 로트를 장비로부터 회수한 후, 상기 로트 데이터의 손실을 교정한 후, 다음 공정을 진행하는 방식으로 로트 데이터 손실 교정을 수행하였다.
그러나, 상기한 바와 같이 일련의 과정을 수행하는 종래의 로트 데이터 손실 교정 방식은, 공정을 진행중인 로트의 이력을 삭제하는 작업을 수작업으로 진행하므로 업무효율이 낮아지고, 대기로트의 처리시간이 증가하며, 상기 로트 데이터 손실 교정에 필요한 작업을 모든 서버가 동일하게 반복적으로 수행하므로써 시스템의 운영효율이 저하되는 문제가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 다수의 서버로 분산되어 운영되는 반도체 라인관리용 통합자동화 시스템을 이용하여 공정을 진행중에 손실되는 로트의 데이터를 각 서버들간의 메세지 송수신, 데이터 확인 및 갱신작업에 의해 작업자의 개입없이 자동으로 교정할 수 있는 반도체 제조공정에서 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템은, 작업자의 로트 데이터 손실교정 요청 입력 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 수단; 상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 로트 데이터 손실교정 요청을 확인 및 전송하는 서버수단; 및 반도체 제조공정에서 발생하는 생산정보를 저장하며, 상기 서버수단이 데이터를 확인 및 갱신하는 저장수단으로 구성된다.
본 발명에 따른 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 방법은, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 로트 데이터 손실 교정 요청을 입력하는 제 1단계; 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 로트 데이터 손실 교정 요청을 작업자 인터페이스 서버로 전송하면, 상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 데이터 손실 교정 요청을 수신하는 제 2단계; 상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 상기 획득된 로트 데이터 손실 교정 요청을 확인하고, 로트, 카세트 및 공정정보를 갱신하는 제 3단계; 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 제 3단계에서 확인된 로트의 손실 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 4단계; 상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트의 손실 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버 큐 파일에 로트의 손실 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하는 제 5단계; 및 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 로트의 손실 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 6단계를 수행한다.
또한, 본 발명은, 프로세서를 구비한 반도체 공정자동화 시스템에, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 로트 데이터 손실 교정 요청을 입력하는 제 1기능; 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 로트 데이터 손실 교정 요청을 작업자 인터페이스 서버로 전송하면, 상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 데이터 손실 교정 요청을 수신하는 제 2기능; 상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 상기 획득된 로트 데이터 손실 교정 요청을 확인하고, 로트, 카세트 및 공정정보를 갱신하는 제 3기능; 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 제 3기능에서 확인된 로트의 손실 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 4기능; 상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트의 손실 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버 큐 파일에 로트의 손실 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하는 제 5기능; 및 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 로트의 손실 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 6기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.
도1 은 본 발명이 적용되는 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 블록 다이어그램이다.도 1을 참조하면, 본 발명이 적용되는 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템은, 작업자가 로트 데이터 손실 교정 요청을 입력 할 수 있는 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 프로세스(200)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)에서 입력된 로트 데이터 손실 교정 요청을 확인 및 전송하는 작업자 인터페이스 서버(202)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 로트 데이터 손실 교정 요청을 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버(202)가 수신된 데이터를 확인하고 데이터를 갱신할 수 있도록 로트 정보, 카세트 정보 및 공정 정보가 저장되어 있는 마스터 데이터베이스(204)와, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)로부터 이전 공정에서 손실된 데이터를 수신하여 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 해당 로트의 공정데이터를 확인하는 셀 관리 서버(206)와, 상기 셀 관리 서버(206)가 로트 손실 데이터를 임시저장하는 이력 정보 서버 큐 파일(208)과, 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 관리하며 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신하는 로트 이력 정보 서버(210)와, 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 저장하는 이력 데이터베이스(212)로 구성된다.
이하, 도 2 내지 도 4를 참조하여 상기와 같이 구성된 로트 데이터 손실 자동교정 시스템의 동작을 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동교정 방법을 수행하기 위한 일실시예 처리 흐름도이다.
도 2를 참조하면, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스(200)를 이용하여 로트 데이터 손실 교정 요청을 입력하고(S300), 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)가 로트 데이터 손실 교정 요청을 작업자 인터페이스 서버(202)로 전송하면, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 로트 데이터 손실 교정 요청을 수신하고(S302), 마스터 데이터베이스(204)에서 상기 획득된 로트 데이터 손실 교정 요청을 학인하고, 로트, 카세트 및 공정정보를 갱신한다(S304).
상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 상기 S304단계에서 확인된 로트의 손실 데이터를 셀 관리 서버(206)로 전송하고(S306), 상기 셀 관리 서버(206)는 작업자 인터페이스 서버(202)로부터 로트의 손실 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일(210)에 기록한 후(S308), 이력 정보 서버 큐 파일(210)에 로트의 손실 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버(212)로 전송한다(S310).
상기 셀 관리 서버(206)로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버(212)는 상기 이력 정보 서버 큐 파일(210)에서 로트의 손실 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스(212)를 갱신한다(S312).
첨부된 도 3은 상기 도 2 에서 작업자 인터페이스 서버(202)가 상기 작업자 인터페이스 프로스세(200)로부터 로트 데이터 손실 교정 요청을 마스터 데이터베이스(204)에서 확인하고, 로트, 카세트 및 공정정보를 갱신하는 과정(S304)의 상세흐름도이다.도 3을 참조하면, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)가 마스터 데이터베이스(204)에서 해당 로트의 아이디 및 로트를 담고 있는 카세트 아이디를 확인하고(S400), 확인된 해당 로트 및 카세트 정보를 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로 전송한다(S402). 이때, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)는 수신된 해당 로트 및 카세트 정보를 화면에 출력하여 작업자가 확인할 수 있도록 한다.
상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 해당 로트의 손실된 이전 공정의 데이터를 상기 마스터 데이터베이스(204)의 로트정보 테이블, 카세트정보 테이블 및 공정정보 테이블에 기록한다(S404).
첨부된 도 4는 상기 도 2 에서 셀 관리 서버(206)로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버(212)가 상기 이력 정보 서버 큐 파일(210)에서 이전 공정에서 손실된 로트 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스(212)를 갱신하는 과정(S312)의 상세흐름도이다.도 4를 참조하면, 상기 이력 정보 서버(210)는 셀 관리 서버(206)로부터 이력 정보 서버 큐 파일(208)에 로트의 손실 데이터를 저장하였다는 메세지를 수신하고, 상기 이력 정보 서버 큐 파일(208)에서 해당 로트의 손실 데이터를 획득한 후, 상기 이력 데이터베이스(212)에서 해당 로트의 로트상태 이력 테이블을 선택하고(S500), 상기 이력 정보 서버 큐 파일(208)에서 획득한 로트의 손실 데이터를 상기 로트상태 이력 테이블에 기록한다(S502).
상기 이력 정보 서버(210)는 이력 데이터베이스(212)에서 해당 로트의 로트이력 테이블, 공정 진행상태 이력 테이블 및 공정진행 이력 테이블을 선택하여(S504), 해당 로트 데이터 손실 데이터를 기준으로 갱신한 후(S506), 상기 이력 데이터베이스(212)의 로트명령 이력 테이블에 로트 데이터 손실 교정요청을 삽입한다(S508).
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다.
상기와 같은 본 발명은, 다수의 서버로 분산되어 운영되는 반도체 라인관리용 통합자동화 시스템을 이용하여 공정을 진행중에 손실되는 로트의 데이터를 각 서버들간의 메세지 송수신, 데이터 확인 및 갱신작업에 의해 작업자의 개입없이 자동으로 교정하므로써, 손실된 로트의 데이터를 신뢰성있게 교정할 수 있으며 또한, 데이터 교정을 위해 필요한 시간 및 인력을 효과적으로 줄여 궁극적으로 생산효율을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1 은 본 발명이 적용되는 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 블록 다이어그램.
도 2 는 본 발명에 따른 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 방법을 수행하기 위한 일실시예 처리 흐름도.
도 3 은 상기 도 2 의 로트 데이터 손실 자동 교정 방법을 수행하기 위한 작업자 인터페이스 서버의 일실시예 상세 처리 흐름도.
도 4 는 상기 도 2 의 로트 데이터 손실 자동 교정 방법을 수행하기 위한 이력 정보 서버의 일실시예 상세 처리 흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
200 : 작업자 인터페이스 프로세스 202 : 작업자 인터페이스 서버
204 : 마스터 데이터베이스 206 : 셀 관리 서버
208 : 이력 정보 서버 큐 파일 210 : 이력 정보 서버
212 : 이력 데이터베이스

Claims (9)

  1. 작업자의 로트 데이터 손실교정 요청 입력 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 수단;
    상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 로트 데이터 손실교정 요청을 확인 및 전송하는 서버수단; 및
    반도체 제조공정에서 발생하는 생산정보를 저장하며, 상기 서버수단이 데이터를 확인 및 갱신하는 저장수단
    을 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 서버수단은,
    상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 로트 데이터 손실 교정 요청을 확인 및 전송하는 작업자 인터페이스 서버;
    상기 작업자 인터페이스 서버로부터 로트 데이터 손실 교정 요청을 수신하여 상기 저장수단에서 확인하고, 저장 및 전송하는 셀 관리 서버; 및
    로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 관리하며, 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신하는 로트 이력 정보 서버를 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 저장수단은,
    상기 작업자 인터페이스 서버가 로트 데이터 손실 교정 요청을 확인할 수 있도록 로트 정보, 카세트 정보 및 공정 정보가 저장되어 있는 마스터 데이터베이스;
    상기 셀 관리 서버가 로트 공정진행 자동 요청 데이터를 임시저장하는 이력 정보 서버 큐 파일; 및
    상기 이력 정보 서버가 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 확인하고 저장하는 이력 데이터베이스를 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 시스템.
  4. 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 로트 데이터 손실 교정 요청을 입력하는 제 1단계;
    상기 작업자 인터페이스 프로세스가 로트 데이터 손실 교정 요청을 작업자 인터페이스 서버로 전송하면, 상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 데이터 손실 교정 요청을 수신하는 제 2단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 상기 획득된 로트 데이터 손실 교정 요청을 확인하고, 로트, 카세트 및 공정정보를 갱신하는 제 3단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 제 3단계에서 확인된 로트의 손실 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 4단계;
    상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트의 손실 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버 큐 파일에 로트의 손실 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하는 제 5단계; 및
    상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 로트의 손실 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 6단계
    를 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제 3단계는,
    상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 로트의 아이디 및 로트를 담고 있는 카세트 아이디를 확인하는 제 7단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 확인된 해당 로트 및 카세트 정보를 상기 작업자 인터페이스 프로세스로 전송하는 제 8단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 해당 로트의 손실된 이전 공정의 데이터를 상기 마스터 데이터베이스의 로트정보 테이블, 카세트정보 테이블 및 공정정보 테이블에 기록하는 제 9단계를 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 8단계는,
    상기 작업자 인터페이스 서버로부터 해당 로트 및 카세트 정보를 수신한 작업자 인터페이스 프로세스가 수신된 해당 로트 및 카세트 정보를 작업자가 확인할 수 있도록 화면에 출력하는 제 10단계를 더 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 방법.
  7. 제 4항에 있어서,
    상기 제 5단계는,
    상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트의 손실 데이터를 수신하는 제 11단계;
    상기 셀 관리 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에 상기 수신된 로트의 손실 데이터를 기록하는 제 12단계; 및
    상기 셀 관리 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에 로트의 손실 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하는 제 13단계를 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 방법.
  8. 제 4항에 있어서,
    상기 제 6단계는,
    상기 이력 정보 서버가 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 로트의 손실 데이터를 저장하였다는 메세지를 수신하는 제 14단계;
    상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에서 해당 로트의 손실 데이터를 획득하는 제 15단계;
    상기 제 15단계 수행 후, 상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스에서 해당 로트의 로트상태 이력 테이블을 선택하는 제 16단계;
    상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에서 획득한 로트의 손실 데이터를 상기 로트상태 이력 테이블에 기록하는 제 17단계;
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스에서 해당 로트의 로트이력 테이블, 공정 진행상태 이력 테이블 및 공정진행 이력 테이블을 선택하여 해당 로트 데이터 손실 데이터를 기준으로 갱신하는 18단계; 및
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스의 로트명령 이력 테이블에 로트 데이터 손실 교정요청을 삽입하는 제 19단계를 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 데이터 손실 자동 교정 방법.
  9. 프로세서를 구비한 반도체 공정자동화 시스템에,
    작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 로트 데이터 손실 교정 요청을 입력하는 제 1기능;
    상기 작업자 인터페이스 프로세스가 로트 데이터 손실 교정 요청을 작업자 인터페이스 서버로 전송하면, 상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 데이터 손실 교정 요청을 수신하는 제 2기능;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 상기 획득된 로트 데이터 손실 교정 요청을 확인하고, 로트, 카세트 및 공정정보를 갱신하는 제 3기능;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 제 3기능에서 확인된 로트의 손실 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 4기능;
    상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트의 손실 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버 큐 파일에 로트의 손실 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하는 제 5기능; 및
    상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 로트의 손실 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 6기능
    을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.
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