KR100527083B1

KR100527083B1 - Field emission display panel

Info

Publication number: KR100527083B1
Application number: KR10-1999-0061706A
Authority: KR
Inventors: 이교웅; 성운철; 고익환; 고영욱
Original assignee: 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사
Priority date: 1999-12-24
Filing date: 1999-12-24
Publication date: 2005-11-09
Also published as: KR20010058195A

Abstract

본 발명은 전계 방출 표시 패널을 개시한다. 개시된 본 발명은, 캐소우드 기판 상부에 애노우드 기판이 소정 간격을 두고 배치된다. 애노우드 기판의 밑면에는 형광체가 형성되고, 외곽 밑면에는 게터 취부홈이 형성된다. 게터의 상단이 게터 취부홈에 삽입되고, 하단은 캐소우드 기판에 접촉되어서, 그 내부 공간이 방전 공간으로 제공된다. 게터 외부의 캐소우드 기판과 애노우드 기판 사이에는 밀봉층이 배치된다.The present invention discloses a field emission display panel. In the disclosed invention, an anode substrate is disposed on the cathode substrate at predetermined intervals. Phosphors are formed on the bottom of the anode substrate, and getter mounting grooves are formed on the outer bottom. The upper end of the getter is inserted into the getter mounting groove, and the lower end is in contact with the cathode substrate, so that the inner space is provided as a discharge space. A sealing layer is disposed between the cathode substrate and the anode substrate outside the getter.

Description

Field emission display panel {FIELD EMISSION DISPLAY PANEL}

본 발명은 전계 방출 표시 패널에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 캐소우드 기판과 애노우드 기판 사이에 있는 불순 가스를 제거하는 게터(getter)를 갖는 전계 방출 표시 패널에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field emission display panel, and more particularly, to a field emission display panel having a getter for removing impurity gas between a cathode substrate and an anode substrate.

일반적으로 전계 방출 표시 소자(Field Emission Display device)는 전자총(electron gun), 마이크로웨이브 튜브(microwave tubes), 이온 소스(ion source), 스캐닝 터널링 마이크로스코프(scanning tunneling microscope) 등의 장치에 표시 패널로 이용된다. Field emission display devices are typically used as display panels in devices such as electron guns, microwave tubes, ion sources, and scanning tunneling microscopes. Is used.

이러한 전계 방출 표시 패널의 구조를 도 1을 참고로 하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다.The structure of the field emission display panel will be described below with reference to FIG. 1.

소자를 제조하는 종래의 방법을 개략적으로 설명하면 다음과 같다. 캐소우드 기판(1) 상부에 애노우드 기판(2)이 소정 간격을 두고 배치되어 있고, 그 사이 공간은 -10^-7 torr 정도의 고진공으로 유지되어 있다. 애노우드 기판(2)의 밑면에는 형광체(3)가 형성되어 있고, 각 기판(1,2) 중앙 사이에는 스페이서(4)가 형성되어 있다. 한편, 각 기판(1,2) 외곽에는 밀봉층(5)이 형성되어 있다. 각 기판(1,2) 사이에 있는 물질중 불순 가스를 흡착하여 제거하는 게터(6)가 캐소우드 기판(1)에 형성된 취부홈(7)내에 내장되어 있다. 이러한 구성을 갖는 전계 방출소자는 캐소우드 기판의 팁으로부터 가속된 전자가 형광체를 여기시키는 것에 의해 발광을 일으키게 된다.A conventional method of manufacturing the device is briefly described as follows. The anode substrate 2 is arranged above the cathode substrate 1 at predetermined intervals, and the space therebetween is maintained at a high vacuum of about -10 ^-7 torr. Phosphors 3 are formed on the bottom surface of the anode substrate 2, and spacers 4 are formed between the centers of the substrates 1, 2, respectively. On the other hand, a sealing layer 5 is formed outside the substrates 1 and 2. A getter 6 for adsorbing and removing impurity gas among substances between the substrates 1 and 2 is embedded in the mounting groove 7 formed in the cathode substrate 1. In the field emission device having this configuration, electrons accelerated from the tip of the cathode substrate cause light emission by exciting the phosphor.

그런데, 종래의 게터는 캐소우드 기판에 형성된 취부홈내에 배치되어 있는 관계로 불순 가스 흡착율이 그다지 우수하지 못하다는 지적이 있었다. 이로 인하여, 불순 가스의 많은 양이 각 기판 사이에 남게 되어 진공도를 저하시키므로써, 패널의 수명을 단축시키는 문제점이 있었다. However, it has been pointed out that the conventional getter is not very excellent in the impurity gas adsorption rate because it is disposed in the mounting groove formed in the cathode substrate. For this reason, a large amount of impurity gas remains between the substrates, which lowers the degree of vacuum, thereby shortening the life of the panel.

또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 밀봉층(5) 도포시, 밀봉층(5)이 취부홈(7)내로 침입하여, 게터(6)의 작용을 저해함과 아울러 방전 공간을 축소시키는 문제점도 있다.In addition, as shown in FIG. 2, when the sealing layer 5 is applied, the sealing layer 5 penetrates into the mounting groove 7, thereby inhibiting the action of the getter 6 and reducing the discharge space. There is also.

따라서, 본 발명은 종래의 전계 방출 표시 패널이 안고 있는 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 게터가 각 기판 사이에 위치되도록 하여, 게터의 불순 가스 흡착율을 향상시키므로써, 수명을 연장시킬 수 있는 전계 방출 표시 패널을 제공하는데 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the problems of the conventional field emission display panel, and the getter is positioned between the substrates to improve the adsorption rate of the impurity gas of the getter, thereby extending the life of the electric field. It is an object to provide an emission display panel.

본 발명의 다른 목적은, 밀봉층이 방전 공간내로 침투하는 것을 방지하여, 방전 공간의 면적을 넓혀서 대면적화를 실현할 수 있게 하는데 있다.Another object of the present invention is to prevent the sealing layer from penetrating into the discharge space, and to increase the area of the discharge space to realize a large area.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전계 방출 표시 패널은 다음과 같은 구성으로 이루어진다.In order to achieve the above object of the present invention, the field emission display panel according to the present invention has the following configuration.

캐소우드 기판 상부에 애노우드 기판이 소정 간격을 두고 배치된다. 애노우드 기판의 밑면에는 형광체가 형성되고, 외곽 밑면에는 게터 취부홈이 형성된다. 게터의 상단이 게터 취부홈에 삽입되고, 하단은 캐소우드 기판에 접촉되어서, 그 내부 공간이 방전 공간으로 제공된다. 게터 외부의 캐소우드 기판과 애노우드 기판 사이에는 밀봉층이 배치된다.An anode substrate is disposed on the cathode substrate at predetermined intervals. Phosphors are formed on the bottom of the anode substrate, and getter mounting grooves are formed on the outer bottom. The upper end of the getter is inserted into the getter mounting groove, and the lower end is in contact with the cathode substrate, so that the inner space is provided as a discharge space. A sealing layer is disposed between the cathode substrate and the anode substrate outside the getter.

상기된 본 발명에 의하면, 애노우드 기판에 취부홈이 형성되어 게터가 취부홈에 삽입되면서 캐소우드 기판에 접촉되므로써, 게터 내부 공간 전체가 방전 공간으로 제공되고, 특히 밀봉층은 게터 외곽에 배치되므로써, 밀봉층 도포시 밀봉층이 방전 공간내로 침투하는 현상이 방지된다.According to the present invention described above, the mounting groove is formed in the anodized substrate and the getter is inserted into the mounting groove, so that the entire inner space of the getter is provided as a discharge space, and in particular, the sealing layer is disposed outside the getter. When the sealing layer is applied, the phenomenon that the sealing layer penetrates into the discharge space is prevented.

이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3 내지 도 6은 본 발명에 따른 전계 방출 표시 패널을 제조 공정 순서대로 나타낸 단면도이다.3 to 6 are cross-sectional views illustrating the field emission display panel according to the present invention in order of manufacturing process.

먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 상부에 배치되는 기판인 애노우드 기판(20)의 최외곽 약간 안쪽으로 게터 취부홈(21)을 형성한다. 이어서, 도 4와 같이, 애노우드 기판(20)의 중앙상에 스페이서(40)와 형광체(30)을 형성한다.First, as shown in FIG. 3, the getter mounting groove 21 is formed inwardly of the outermost portion of the anode substrate 20, which is a substrate disposed thereon. Subsequently, as shown in FIG. 4, the spacer 40 and the phosphor 30 are formed on the center of the anode substrate 20.

그런 다음, 도 5와 같이, 게터(50)를 게터 취부홈(21)에 삽입한다. 이때, 게터(50)의 성분은 Zr-V-Fe로 이루어진다. 이어서, 게터(50) 외곽을 따라 밀봉층(60)을 도포한 후, 애노우드 기판(20)을 100 내지 200℃ 정도의 온도로 건조한다. 이때, 밀봉층(60)과 방전 공간 사이는 게터(50)로 차폐되어 있으므로, 밀봉층(60)이 방전 공간으로 침투하는 현상이 근본적으로 방지된다. 또한, 게터(50) 대부분이 방전 공간에 노출된 상태이므로, 게터(50)의 불순 가스 흡착율이 향상된다.Then, as shown in FIG. 5, the getter 50 is inserted into the getter mounting groove 21. At this time, the component of the getter 50 is made of Zr-V-Fe. Subsequently, after the sealing layer 60 is applied along the outer portion of the getter 50, the anode substrate 20 is dried at a temperature of about 100 to 200 ° C. At this time, since the sealing layer 60 and the discharge space are shielded by the getter 50, the phenomenon that the sealing layer 60 penetrates into the discharge space is essentially prevented. In addition, since most of the getter 50 is exposed to the discharge space, the impurity gas adsorption rate of the getter 50 is improved.

이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, 캐소우드 기판(10)과 애노우드 기판(20)을 접합한 후, 접합된 두 기판(10,20)을 400 내지 500℃ 정도의 온도하에서 소성시킨다. 이때, 게터(50)가 활성화되어, 두 기판(10,20) 사이에 있는 불순 가스가 게터(50)에 흡착된다. 마지막으로, 두 기판(10,20) 사이 공간을 진공 배기한 다음, 팁-오프하여 본 발명에 따른 전계 방출 표시 패널을 완성한다.Subsequently, as shown in FIG. 6, after the cathode substrate 10 and the anode substrate 20 are bonded, the two bonded substrates 10 and 20 are baked at a temperature of about 400 to 500 ° C. At this time, the getter 50 is activated, and the impurity gas between the two substrates 10 and 20 is adsorbed onto the getter 50. Finally, the space between the two substrates 10 and 20 is evacuated and then tip-off to complete the field emission display panel according to the present invention.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명에 의하면 애노우드 전극에 취부홈이 형성되어 게터가 취부홈에 삽입되면서 캐소우드 전극에 접촉되므로, 게터가 방전 공간에 노출된 상태가 되어, 게터의 불순 가스 흡착율이 대폭 향상된다. 따라서, 각 기판 사이의 진공도가 유지되어, 패널의 수명이 연장된다. As described in detail above, according to the present invention, since the mounting groove is formed in the anode wood and the getter is contacted with the cathode while being inserted into the mounting groove, the getter is exposed to the discharge space, resulting in the impurity gas of the getter. Adsorption rate is greatly improved. Thus, the degree of vacuum between each substrate is maintained, and the life of the panel is extended.

또한, 게터가 방전 공간과 밀봉층 사이에 배치되므로써, 밀봉층이 방전 공간으로 침투하여 방전 공간의 면적을 축소시키는 현상도 방지된다.In addition, since the getter is disposed between the discharge space and the sealing layer, the phenomenon that the sealing layer penetrates into the discharge space and reduces the area of the discharge space is also prevented.

기타, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. In addition, this invention can be implemented in various changes within the range which does not deviate from the summary.

도 1은 종래의 전계 방출 표시 패널을 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view showing a conventional field emission display panel.

도 2는 종래 패널의 문제점을 설명하기 위한 단면도.2 is a cross-sectional view illustrating a problem of a conventional panel.

도 3 내지 도 6은 본 발명에 따른 전계 방출 표시 패널을 제조 공정 순서대로 나타낸 단면도.3 to 6 are cross-sectional views showing the field emission display panel according to the present invention in the order of manufacturing process.

- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawing-

10 ; 캐소우드 기판 20 ; 애노우드 기판10; Cathode substrate 20; Anodized substrate

21 ; 게터 취부홈 30 ; 형광체21; Getter mounting groove 30; Phosphor

40 ; 스페이서 50 ; 게터40; Spacer 50; Getter

60 ; 밀봉층60; Sealing layer

Claims

A cathode substrate;

An anode substrate facing and disposed at an upper portion of the cathode substrate at a predetermined interval, and having a getter mounting groove formed at an outermost inner side of a surface facing the cathode substrate;

A getter having an upper end inserted into the mounting groove and a lower end contacting a surface of the cathode substrate to adsorb impurity gas between the substrates; And

And a sealing layer applied along each of the substrates outside the getter.