KR100461844B1 - Starting Substrate for Multi-Layered Thin Film Device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 출발기판의 표면 거칠기를 저하시키고 출발기판 표면에 존재하는 결함을 없앨 뿐만 아니라, 그 위에 적층 형성되는 다층박막으로의 산소 또는 수분의 침투를 억제하기 위하여, 다층박막 소자를 형성하도록 다층박막이 순차적으로 적층되는 출발기판으로, 상기 출발기판이 외부로부터 상기 소자내로 산소 및/또는 수분의 확산을 막는 파릴렌 고분자 필름으로 이루어지는 다층박막 소자용 출발기판을 제공한다. 여기서, 상기 다층박막 소자는, 표시소자, 광학소자 또는 전자부품소자 중 어느 하나인 것이 좋고, 아울러, 상기 파릴렌 고분자 필름의 다층박막이 형성되는 면의 반대면에 스크래치 방지용 투명 세라믹 박막이 추가로 코팅되는 것이 좋다. 이 경우, 상기 투명 세라믹 박막은 SiO2, Al2O3, ZnO로 이루어지는 군 중에서 선택되는 어느 하나의 투명 세라믹 박막인 것이 더욱 좋다.The present invention not only reduces the surface roughness of the starting substrate and eliminates defects present on the surface of the starting substrate, but also suppresses the penetration of oxygen or moisture into the multilayer thin film formed thereon, thereby forming the multilayer thin film element. The sequentially stacked starting substrates provide a starting substrate for a multilayer thin film device, wherein the starting substrate is made of a parylene polymer film which prevents diffusion of oxygen and / or moisture into the device from the outside. Herein, the multilayer thin film device may be any one of a display device, an optical device, and an electronic component device, and a transparent ceramic thin film for preventing scratches may be further added to a surface opposite to a surface on which the multilayer thin film of the parylene polymer film is formed. It is good to be coated. In this case, the transparent ceramic thin film is more preferably any one of the transparent ceramic thin film selected from the group consisting of SiO2, Al2O3, ZnO.
Description
본 발명은 다층박막 소자용 출발기판에 관한 것으로, 보다 상세하게는 지금까지 알려진 구부러짐이 가능한 다층박막 소자용 출발기판의 산소 및 수분 침투율에 관한 문제점을 해결할 수 있는 다층박막 소자용 출발기판에 관한 것이다.The present invention relates to a starter substrate for a multilayer thin film device, and more particularly, to a starter substrate for a multilayer thin film device capable of solving problems related to oxygen and moisture permeability of a bent starter substrate for a multilayer thin film device. .
최근 표시소자 개발부분에 반도체 박막공정을 도입함으로써 기존의 CRT, 즉 브라운관 시스템의 단점들을 극복한 고성능의 박형 표시소자들이 상용화되고 있다. 그 대표적인 예로 TFT LCD와 유기 EL(electroluminescence) 등이 있다. 이들 표시소자는 매우 얇기 때문에 소형화에 매우 유리하다. 그러나, 출발기판으로 유리를 사용하기 때문에 외부의 충격에 깨지기 쉬우며, 구부러지지 않으며, 유리 자체의 무게로 인해 경량화에 제약을 받는 등 여러 가지 단점들을 가지고 있다. 이러한 문제점 때문에 고분자 필름 또는 시트로 만들어지는 출발기판 위에 양극으로 사용되는 ITO 박막을 코팅하여 유리재질을 대체하려는 노력이 주목받고 있다. 출발기판으로서 고분자 필름 또는 시트(대표적인 예로, PET, PC 필름 또는 시트 등이 있음)는 유리와 달리 외부 충격에 매우 강하며 유리보다 상대적으로 얇게 제작이 가능하며, 표시소자에 필요한 광 투과도 역시 유리와 유사하다. 뿐만 아니라 유리와는 달리 변형, 즉 구부러짐이 가능하며 매우 가벼우므로 유리 출발기판을 대체할 것으로 인Recently, high-performance thin display devices that overcome the shortcomings of conventional CRTs, namely CRT systems, have been commercialized by introducing a semiconductor thin film process in the display device development portion. Representative examples include TFT LCD and organic electroluminescence (EL). Since these display elements are very thin, they are very advantageous for miniaturization. However, since glass is used as a starting substrate, it is easy to be broken by an external impact, does not bend, and has various disadvantages such as being limited in weight due to the weight of the glass itself. Due to this problem, efforts to replace the glass material by coating an ITO thin film used as an anode on a starting substrate made of a polymer film or sheet have attracted attention. As a starting substrate, a polymer film or sheet (typically, such as PET, PC film or sheet) is very resistant to external impact and can be manufactured relatively thinner than glass, unlike the glass. similar. In addition, unlike glass, it can be deformed, that is, bent and very light, so it will replace the glass starting board.
정받고 있다.I'm being appointed.
출발기판으로서 고분자 필름 또는 시트는 유리에 비하여 많은 장점을 가지고 있음에도 불구하고, 고분자 필름 또는 시트의 출발기판 표면이 유리 출발기판의 표면보다 거칠고 기계적 강도가 취약하여 표면 결함이 다량 존재하기 때문에 표시소자의 성능을 감소시키며, 고분자 필름 또는 시트에서의 산소 및/또는 수분의 침투율이 유리에서보다 높기 때문에 침투된 산소 및/또는 수분이 표시소자의 발광물질까지 확산되어 결국 소자의 수명을 단축시키는 문제점이 있어서, 그 사용이 제한되어 왔다. 특히, 유기 EL의 경우 발광층이 산소나 수분에 매우 취약해 이들의 발광층으로의 확산을 막지 못할 경우, 산소나 수분과 반응하여 특성이 저하된 유기물질에 의해 소자의 밝기가 저하되고 다크 스폿 등의 결함으로 이어진다.Although the polymer film or sheet as a starting substrate has many advantages over glass, the surface of the display device is rougher than the surface of the glass starting substrate and the mechanical strength is weak so that a large amount of surface defects exist. The performance is reduced, and the oxygen and / or moisture penetration rate in the polymer film or sheet is higher than in the glass, so that the oxygen and / or moisture penetrates to the light emitting material of the display device, thereby shortening the lifetime of the device. Its use has been limited. Particularly, in the case of organic EL, when the light emitting layer is very vulnerable to oxygen or moisture, and thus it is not possible to prevent diffusion into these light emitting layers, the brightness of the device is lowered by the organic material which is degraded by reacting with oxygen or moisture and the dark spots Leads to defects.
이러한 문제점 때문에, 한국특허공보 제 248,192호는 외부로부터 침투하는 수분 등을 막기 위하여 소자 외부에 파릴렌(parylene) 방습막을 코팅한 후막형 전계발광소자를 개시하고 있다. 그러나, 이 경우 추후 전극 부분으로의 외부 결선을 위해, 코팅시 상기 파릴렌 방습막을 테이프 등으로 마스킹(masking)하거나 코팅 후 파릴렌 방습막의 일부를 다시 제거하는 에칭(etching) 공정 등을 거쳐야 하는 문제점을 갖는다. 즉, 파릴렌 고분자 증착법은 기상 증착법으로 특정부분만을 선택적으로 제거하기가 용이하지 않기 때문에 실제 생산공정으로 상기 특허가 개시하고 있는 기술을 적용하는데는 상당한 난점이 있다.For this reason, Korean Patent Publication No. 248,192 discloses a thick film type electroluminescent device in which a parylene moisture barrier is coated on the outside of a device to prevent moisture from infiltrating from the outside. However, in this case, in order to externally connect to the electrode part, a problem is that the parylene moisture barrier must be masked with a tape or the like during the coating, or an etching process of removing part of the parylene moisture barrier after coating is performed again. Has In other words, the parylene polymer deposition method is difficult to selectively remove only a specific part by vapor deposition method, there is a significant difficulty in applying the technology disclosed in the patent as the actual production process.
본 발명은 상술한 종래 고분자 필름 또는 시트로 만들어지는 출발기판 위에 적층되는 다층박막 소자의 문제점을 해결하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to solve the problem of a multilayer thin film device laminated on a starting substrate made of a conventional polymer film or sheet described above.
구체적으로, 본 발명은 출발기판의 표면 거칠기를 저하시키고 출발기판 표면에 존재하는 결함을 없애줄 뿐만 아니라, 그 위에 적층 형성되는 다층박막으로의 산소 또는 수분의 침투를 억제하는 것을 목적으로 한다.Specifically, the present invention aims to reduce the surface roughness of the starting substrate and to eliminate defects present on the surface of the starting substrate, as well as to suppress the penetration of oxygen or moisture into the multilayer thin film formed thereon.
도 1은 통상의 고분자 필름 또는 시트로 만들어지는 출발기판 위에 파릴렌 고분자 필름을 완충막으로 균일하게 코팅한 후, 디스플레이용 다층박막을 순차적으로 증착하여 형성한 표시소자의 단면 개략도이다.1 is a schematic cross-sectional view of a display device formed by uniformly coating a parylene polymer film with a buffer film on a starting substrate made of a conventional polymer film or sheet, and sequentially depositing a multilayer film for display.
도 2는 도 1의 표시소자 전면부에 스크래치 방지용 투명 세라믹 박막을 코팅한 표시소자의 단면 개략도이다.FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a display device coated with a scratch-resistant transparent ceramic thin film on the front surface of the display device of FIG. 1.
도 3은 파릴렌 고분자 필름 또는 시트로 만들어지는 출발기판 위에 디스플레이용 다층박막을 순차적으로 증착하여 형성한 표시소자의 단면 개략도이다.3 is a schematic cross-sectional view of a display device formed by sequentially depositing a multilayer thin film for display on a starting substrate made of a parylene polymer film or sheet.
도 4는 도 3의 표시소자 전면부에 스크래치 방지용 투명 세라믹 박막을 코팅한 표시소자의 단면 개략도이다.4 is a schematic cross-sectional view of a display device coated with a scratch-resistant transparent ceramic thin film on the front surface of the display device of FIG. 3.
도 5는 파릴렌 고분자 필름이 코팅되기 전의 고분자 시트의 광투과도(A)와 본 발명에 따라 파릴렌 고분자 필름이 코팅된 고분자 시트의 광투과도(B)에 대한 실험결과를 보여준다.Figure 5 shows the experimental results for the light transmittance (A) of the polymer sheet coated with the parylene polymer film and the light transmittance (B) of the polymer sheet coated with the parylene polymer film according to the present invention.
도 6a 및 6b는 각각 파릴렌 고분자 필름이 코팅되기 전의 고분자 시트 표면에 대한 전자현미경 사진(도 6a)과 본 발명에 따라 파릴렌 고분자 필름이 코팅된6A and 6B are electron micrographs (FIG. 6A) of the surface of the polymer sheet before the parylene polymer film is coated, and the parylene polymer film is coated according to the present invention.
고분자 시트의 표면에 대한 전자현미경 사진(도 6b)을 보여준다.An electron micrograph (FIG. 6b) of the surface of the polymer sheet is shown.
이에, 본 발명은, 다층박막 소자를 형성하도록 다층박막이 순차적으로 적층되는 출발기판으로, 상기 출발기판이 외부로부터 상기 소자내로 산소 또는 수분의 확산을 막는 파릴렌 고분자 필름으로 이루어지는 다층박막 소자용 출발기판을 제공한다.Accordingly, the present invention is a starting substrate in which multilayer thin films are sequentially stacked to form a multilayer thin film device, wherein the starting substrate is made of a parylene polymer film which prevents diffusion of oxygen or moisture from the outside into the device. Provide a substrate.
여기서, 상기 다층박막 소자는, 표시소자, 광학소자 또는 전자부품소자 중 어느 하나인 것이 좋고, 아울러, 상기 다층박막이 형성되는 출발기판 면의 반대면에 스크래치 방지용 투명 세라믹 박막이 추가로 코팅되는 것이 좋다. 이 경우, 상기 투명 세라믹 박막은 SiO2, Al2O3, ZnO로 이루어지는 군 중에서 선택되는 어느 하나의 투명 세라믹 박막인 것이 더욱 좋다.Herein, the multilayer thin film device may be any one of a display device, an optical device, and an electronic component device, and a transparent scratch thin film for preventing scratches may be further coated on the opposite surface of the starting substrate surface on which the multilayer thin film is formed. good. In this case, the transparent ceramic thin film is more preferably any one of the transparent ceramic thin film selected from the group consisting of SiO 2 , Al 2 O 3 , ZnO.
파릴렌 그룹은 기상 증착이 가능한 고분자 군들로 구성되어 있다. 파릴렌 고분자는 치환기에 따라 그 명칭이 부여되며, 할로겐족 원소를 치환할 수 있다. 이에 대한 분자 구조 및 명칭은 아래와 같다.The parylene group consists of polymer groups capable of vapor deposition. The parylene polymer is given the name according to a substituent, and can substitute a halogen group element. The molecular structure and name thereof are as follows.
파릴렌은 내수성, 내산 및 내염기성이 매우 우수할 뿐만 아니라 화학적으로 매우 안정해서 현존하는 어떠한 화학용제에도 용해되지 않는다. 아울러, 내충격성이 우레탄 및 에폭시와 같은 기타 다른 고분자에 비해 우수하다. 특히, 소자에 크Parylene is not only very good in water resistance, acid and base resistance, but also very chemically stable and insoluble in any existing chemical solvents. In addition, the impact resistance is superior to other polymers such as urethane and epoxy. In particular,
게 영향을 미치는 산소투과율의 경우 에폭시에 비해 2배, 우레탄에 비해 40배, 실리콘에 비해 무려 10,000배 가량 우수하다. 수분 흡착률의 경우에도 0.1% 이하로 다른 고분자 필름에 비해 월등히 우수한 특성을 지니고 있다. 광 투과율에서도 가시광선 영역에서 매우 투명하다.In terms of oxygen permeability, it is twice as good as epoxy, 40 times better than urethane, and 10,000 times better than silicon. The moisture adsorption rate is 0.1% or less, which is superior to other polymer films. It is also very transparent in the visible region even in light transmittance.
파릴렌 고분자 박막 코팅방법은 일종의 화학기상증착법(CVD)이기 때문에 코팅시 어떠한 모재에도 그 형태에 관계없이 코팅하고자 하는 기물의 모든 노출면에 균일하게 코팅되어지는 특징을 가지며, 특히 깊은 구멍이나 크랙 등의 속에 치밀하게 코팅이 가능하다. 따라서, 파릴렌 코팅공정은 기타 다른 액상 고분자 코팅법에서 문제시되고 있는 미세한 기공의 문제를 완벽하게 해결할 수 있다. 그 코팅방법 및 장치는 출원인의 대한민국 특허출원 제 2002-13310호에 자세히 나와 있다.Since the parylene polymer thin film coating method is a chemical vapor deposition (CVD) method, it is uniformly coated on all exposed surfaces of the substrate to be coated on any base material regardless of its shape, especially in deep holes or cracks. It is possible to dense coating in the Therefore, the parylene coating process can completely solve the problem of fine pores that are problematic in other liquid polymer coating method. The coating method and apparatus are described in detail in Korean Patent Application No. 2002-13310 of the applicant.
본 발명자들은, 상술한 종래 고분자 필름 또는 시트로 만들어지는 출발기판 위에 형성되는 다층박막 소자의 문제점을 해결하기 위해 연구한 끝에, 출발기판에 대해 맨 나중에 적층되는 최상층의 음극은 주로 일함수(work function)가 작은 금속 및 합금이기 때문에 이 최상층을 통해 산소 및 수분이 침투할 확률은 매우 적다는 점과, 다층박막 소자의 측면을 고려하는 경우에도 최상면 및 최저면의 평면 길이에 비해 박막의 두께는 무시할 정도로 얇기 때문에 측면으로부터의 산소 및 수분의 침투도 거의 무시할 수 있다는 점에 착안하여, 상기 다층박막 내부로의 산소 및 수분의 주된 침투 통로가 되는, 상기 소자의 최하면을 구성하는 출발기판에 전술한 바와 같이 내수성과 산소투과율면에서 극히 우수한 파릴렌 고분자 필름을 코팅하거나, 상기 출발기판 자체를 상기 파릴렌 고분자 필름으로 형성함으로써 다층박막 내부로의 산소 및 수분 침투를 효과적으로 봉쇄할 수 있었다. 또한, 상기 파릴렌 고분자 필름에 의해 가시광선 영역에서 상기 출발기판에서의 광학적 투과도를 전혀 감소시키지 않으면서 종래 문제시 되었던 고분자 필름 또는 시트의 표면 거칠기의 문제를 해결할 수 있었다.The present inventors have studied to solve the problem of the multilayer thin film element formed on the starting substrate made of the above-described conventional polymer film or sheet, and the cathode of the uppermost layer laminated to the starting substrate is mainly a work function. ) Are small metals and alloys, so the probability of oxygen and moisture penetration through this top layer is very small, and even when considering the side of a multilayer thin film element, the thickness of the thin film is negligible compared to the top and bottom plane lengths. In view of the fact that it is so thin, the penetration of oxygen and moisture from the side surface can be almost neglected, and the above-described starting substrate constituting the bottom surface of the device, which becomes a main penetration passage of oxygen and moisture into the multilayer thin film, is described above. As described above, the coating of the parylene polymer film which is extremely excellent in water resistance and oxygen permeability, or the starting substrate By forming a sieve from the parylene polymer film, oxygen and moisture infiltration into the multilayer thin film could be effectively blocked. In addition, the parylene polymer film was able to solve the problem of surface roughness of the polymer film or sheet, which had been a problem in the prior art, without reducing the optical transmittance at the starting substrate in the visible light region at all.
이하에서, 본 발명을 표시소자를 그 일예로 들어 설명하지만, 본 발명에 따른 출발기판은 이하의 표시소자 이외에 어떤 광학소자 또는 전자부품소자에도 같은 원리로 적용될 수 있다. 따라서, 본 발명의 사상은 후술하는 실시예의 설명에 의해 제한받지 않을 것이며, 오로지 특허청구의 범위에 기재된 사항에 의해서만 제한받을 것이다.In the following, the present invention will be described using the display element as an example, but the starting substrate according to the present invention can be applied to the same principle as any optical element or electronic component element in addition to the following display element. Therefore, the spirit of the present invention will not be limited by the description of the embodiments described below, but only by the matters described in the claims.
도 1은 파릴렌 고분자 필름(1)을, PET나 PC와 같은 투명 고분자 필름 또는 시트로 만들어져서 구부러짐이 가능한 출발기판(2) 위에 완충막으로 균일하게 코팅한 후, 그 위에 표시소자의 양극으로 사용되는 투명 전극, 즉 ITO 박막(3)을 증착하고, 다시 그 위에 각종 디스플레이용 다층박막(4)을 순차적으로 증착하여 형성한 표시소자의 단면도를 개략적으로 나타낸다.FIG. 1 shows the parylene polymer film 1 uniformly coated with a buffer film on a bendable starting substrate 2 made of a transparent polymer film or sheet such as PET or PC, and then onto the anode of the display device thereon. A cross-sectional view of a display element formed by depositing a transparent electrode to be used, that is, an ITO thin film 3 and sequentially depositing various display multilayer thin films 4 thereon, is schematically shown.
도 2는 도 1과 같은 표시소자의 최하면에 SiO2, Al2O3, ZnO와 같은 스크래치 방지용 투명 세라믹 박막(5)을 코팅한 표시소자의 단면도이다. 파릴렌 고분자는 코팅하고자 하는 기물의 표면상태에 비례하여 그대로 코팅되는 특성이 있으나, 필름 자체는 외부 물체의 마찰에 의해 스크래치가 생기기 쉬어 표시소자로부터 나오는 발광효율을 저하시킬 수 있다. 본 발명의 대상이 되는 구부러짐이 자유자재로 가능한 플렉시블(flexible) 평판 디스플레이 표시소자의 디스플레이 부분(즉, 파릴렌 고분자를 완충막으로 고분자 필름 또는 시트 위에 균일하게 코팅한 부분)이 직접 외부로 노출되는 경우에는, 상술한 바와 같은 스크래치 방지용 투명 세라믹 박막(5)을 추가로 코팅하는 것이 좋다.FIG. 2 is a cross-sectional view of the display device coated with the scratch-resistant transparent ceramic thin film 5 such as SiO 2 , Al 2 O 3 , and ZnO on the bottom surface of the display device as shown in FIG. 1. Although the parylene polymer has a characteristic of being coated as it is in proportion to the surface state of the substrate to be coated, the film itself may be easily scratched by friction of an external object, thereby reducing the luminous efficiency emitted from the display device. The display portion of the flexible flat panel display display device (ie, a portion coated with a parylene polymer uniformly on a polymer film or sheet with a buffer film) that can be flexibly subjected to the present invention is directly exposed to the outside. In this case, it is preferable to further coat the scratch-resistant transparent ceramic thin film 5 as described above.
도 3은 도 1에서와는 달리, 파릴렌 고분자 필름으로 이루어지는 출발기판(1) 위에 표시소자의 양극으로 사용되는 투명전극, 즉 ITO 박막(3)을 직접 코팅한 후, 그 위에 표시소자의 다층박막(4)을 순차적으로 증착한 것을 보여준다. 그 일예로 유리 기판 위에 파릴렌 고분자 필름을 코팅하고, 상기 파릴렌 고분자 필름을 출발기판(1)으로 하여 그 위에 ITO 박막(3) 및 표시소자의 다층박막(4)을 순차적으로 증착한 후, 상기 유리 기판으로부터 상기 다층박막 소자가 형성된 파릴렌 고분자 필름을 벗겨 내는 공정을 거칠 수 있다. 이 때, 나중에 파릴렌 고분자 필름이 쉽게 벗겨지게 할 목적으로 최초 상기 유리 기판 위에 계면활성제를 도포한 후, 파릴렌 고분자 필름을 코팅할 수 있다.3 is a transparent electrode used as an anode of a display element, that is, an ITO thin film 3 directly coated on a starting substrate 1 made of a parylene polymer film, unlike in FIG. 4) shows a sequential deposition. For example, after the parylene polymer film is coated on a glass substrate, the parylene polymer film is used as the starting substrate 1, and the ITO thin film 3 and the multilayer thin film 4 of the display device are sequentially deposited thereon. The process of peeling off the parylene polymer film having the multilayer thin film element formed from the glass substrate may be performed. At this time, after the first application of a surfactant on the glass substrate for the purpose of easily peeling off the parylene polymer film, the parylene polymer film may be coated.
도 4는 도 3에서 기술한 표시소자의 최하면, 즉 파릴렌 고분자 필름 출발기판(1)의 아랫면에 SiO2, Al2O3, ZnO와 같은 스크래치 방지용 투명 세라믹 박막(5)을 코팅한 표시소자를 나타낸 것이다.FIG. 4 is a bottom surface of the display device illustrated in FIG. 3, that is, a display on which the scratch-resistant transparent ceramic thin film 5 such as SiO 2 , Al 2 O 3 , and ZnO is coated on the bottom surface of the parylene polymer film starting substrate 1. The device is shown.
도 5는 파릴렌 고분자 필름이 코팅되기 전의 고분자 시트의 광투과도(A)와 본 발명에 따라 파릴렌 고분자 필름이 코팅된 고분자 시트의 광 투과도(B) 결과를 나타낸 것으로서 가시광선 영역에서 코팅하기 전과 후 두 가지 모두 거의 동일한광 투과도를 나타내고 있다. 이와 같은 결과로서 파릴렌이 코팅된 고분자 필름 또는 시트의 광 투과도에서 손실이 전혀 없음을 알 수 있었다.Figure 5 shows the light transmittance (A) of the polymer sheet before the parylene polymer film is coated and the light transmittance (B) results of the polymer sheet coated with the parylene polymer film according to the present invention before coating in the visible region Both of them show almost the same light transmittance. As a result, it was found that there is no loss in light transmittance of the polymer film or sheet coated with parylene.
도 6a 및 6b는 파릴렌이 고분자 필름이 코팅되기 전 고분자 시트의 표면에 대한 전자현미경 사진(도 6a)과 본 발명에 따라 파릴렌 고분자 필름이 코팅된 고분자 시트의 표면에 대한 전자현미경 사진(도 6b)를 나타낸 것으로서, 10만배의 고 배율에서도 파릴렌 고분자 필름이 코팅된 고분자 시트의 표면은 본래 고분자 시트의 표면 형상과 거의 변화가 없음을 알 수 있다. 이는 고분자 필름 또는 시트 위에 파릴렌 고분자가 매우 균일하게 코팅되었음을 의미한다.6A and 6B are electron micrographs (FIG. 6A) of the surface of the polymer sheet before parylene is coated with the polymer film, and electron micrographs (Fig. 6A) of the surface of the polymer sheet coated with the parylene polymer film according to the present invention. 6b), it can be seen that the surface of the polymer sheet coated with the parylene polymer film is almost unchanged from the surface shape of the polymer sheet even at a high magnification of 100,000 times. This means that the parylene polymer is coated very uniformly on the polymer film or sheet.
아울러, 본 발명에 따라 파릴렌 고분자 필름이 코팅된 유기 EL 소자에 대한 산소 및 수분에 특성 실험은, 일정 온도 및 습도가 유지되는 항온항습기내에서 소자를 보관하고 일정시간 경과후 꺼내어 소자의 성능을 측정하여 이루어졌는데, 그 조건은 온도 70℃, 습도 90%에서 3일간, 온도 10℃, 습도 30%에서 4일간 전체적으로 일주일간 간격으로 한 달 동안이었다. 상기 기간이 지난 후 소자의 성능은 양호하여 산소 및 수분에 대한 파릴렌 고분자 필름의 침투 방지 효과를 확인할 수 있었다.In addition, the oxygen and moisture characteristics test for the organic EL device coated with the parylene polymer film according to the present invention, the device is stored in a constant temperature and humidity chamber that maintains a constant temperature and humidity, and after a certain period of time to take out the device performance Measurements were made for three days at a temperature of 70 ° C. and 90% humidity for four days at a temperature of 10 ° C. and 30% humidity for one month at a total interval of one week. After the above period, the performance of the device was good to confirm the effect of preventing the penetration of the parylene polymer film to oxygen and moisture.
가시광선 영역에서 광학적 투과도의 감소 없이 평판 디스플레이 표시소자 혹은 기타 광학소자를 포함하는 전자부품 소자에 활용되는 고분자 필름 또는 시트에 파릴렌의 코팅이 가능하며, 본 코팅은 기존의 코팅방법과는 다르게 고분자 필름 또It is possible to coat parylene on a polymer film or sheet used in flat panel display devices or other electronic component devices including optical elements in the visible region without reducing optical transmittance. Film again
는 시트의 양면에 코팅되기 때문에 1회의 코팅으로 2회 코팅 효과를 가지게 된다. 파릴렌 고분자가 코팅된 고분자 필름 또는 시트는 산소 및 수분의 투과를 차단하여 평판 디스플레이 표시소자 및 전자 부품의 시간에 따른 성능 열화를 억제할 뿐만 아니라 파릴렌 완충막에 의해 고분자 필름의 표면 거칠기가 향상되어 전자소자의 특성 저하를 방지할 수 있다. 평판 디스플레이 소자가 직접 외부로 노출될 경우 투명 세라믹 박막을 코팅하여 스크래치를 방지하여 발광효율을 극대화시킬 수 있다. 완충막으로서의 역할이 아닌 고분자 필름 또는 시트의 역할로서 파릴렌 고분자 그 자체를 평판 디스플레이 표시소자용 기판물질로 사용이 가능하며, 이 경우에는 구부러짐이 가능한 디스플레이 표시소자 제작시의 원재료 가격을 감소시키며, 이 경우 또한 발광 전면부인 파릴렌 고분자 상에 스크래치 방지용 투명 세라믹 박막을 코팅함으로서 구부러짐이 가능한 디스플레이 소자의 내구성을 향상시킬 수 있다.Since it is coated on both sides of the sheet has a coating effect twice in one coating. The polymer film or sheet coated with the parylene polymer blocks the permeation of oxygen and moisture to suppress the deterioration of performance of the flat panel display and the electronic components over time, and the surface roughness of the polymer film is improved by the parylene buffer film. It is possible to prevent the deterioration of the characteristics of the electronic device. When the flat panel display device is directly exposed to the outside, the transparent ceramic thin film may be coated to prevent scratches to maximize luminous efficiency. Parylene polymer itself can be used as a substrate material for flat panel display devices as a function of a polymer film or sheet rather than a buffer film, and in this case, it reduces the raw material price when manufacturing a display display device that can be bent, In this case, it is also possible to improve the durability of the display device that can be bent by coating a scratch-resistant transparent ceramic thin film on the parylene polymer, which is a light emitting front part.
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