KR100440898B1 - Organic light-emitting devices - Google Patents
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Abstract
유기 발광 디바이스는 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 위치된 발광 유기 물질층을 포함하고, 상기 제 1, 2 전극들중 적어도 하나는 전하 캐리어들을 상기 발광 유기 물질로 주입하기 위한 하나 이상의 전극층들을 상기 발광 유기 물질층 위에 포함하며, 상기 발광 유기 물질층으로부터 먼 가장 바깥쪽 전극층의 표면 위에 유전 물질층을 부가적으로 포함한다.The organic light emitting device includes a light emitting organic material layer positioned between a first electrode and a second electrode, wherein at least one of the first and second electrodes includes one or more electrode layers for injecting charge carriers into the light emitting organic material. And a layer of dielectric material over the surface of the outermost electrode layer away from the layer of luminescent organic material.
Description
예를 들어 미국 특허 제 5,247,190호 또는 미국 특허 제 4,539,507호에 개시된 바와 같은 유기 발광 디바이스들은 다양한 디스플레이 응용들에서의 용도에 대해 큰 가능성을 가지고 있다. 상기 특허들의 내용은 본원의 참조로서 인용된다. 일 방법에 따르면, OLED는 유리 또는 플라스틱 기판을 인듐 주석 산화물(induim tin oxide: ITO)과 같은 투명한 제 1 전극(애노드)으로 코팅함으로써 제조된다. 이후, 최종층 이전에, 적어도 하나의 전계 발광 유기 물질의 박막층이 증착된다. 상기 최종층은 전형적으로 금속 또는 합금인 제 2 전극(캐소드)의 막이다.Organic light emitting devices as disclosed, for example, in US Pat. No. 5,247,190 or US Pat. No. 4,539,507 have great potential for use in various display applications. The contents of these patents are incorporated herein by reference. According to one method, an OLED is produced by coating a glass or plastic substrate with a transparent first electrode (anode), such as indium tin oxide (ITO). A thin film layer of at least one electroluminescent organic material is then deposited before the final layer. The final layer is a film of a second electrode (cathode), which is typically a metal or alloy.
전자 주입 특성들의 관점에서, 캐소드 물질로서는, 칼슘과 같이 낮은 일함수(work function)를 갖는 금속층, 또는 낮은 일함수를 갖는 금속을 포함하는 금속 합금이 바람직하다. 그러나, 이러한 낮은 일함수 요소들은 주위에 존재하는 산소 또는 수분과 같은 반응성 물질과 용이하게 반응하는 고유의 특성을 갖는다. 이러한 반응은 캐소드의 전자 주입 특성들에 악영향을 미침으로써, 비 발광 블랙 스팟들(non-emitting black spots)을 형성하며, 결과적으로 디바이스의 성능을 저하시킨다.In view of the electron injection properties, as the cathode material, a metal layer having a low work function such as calcium, or a metal alloy including a metal having a low work function is preferable. However, these low work function elements have inherent properties that readily react with reactive materials such as oxygen or moisture present in the environment. This reaction adversely affects the electron injection characteristics of the cathode, forming non-emitting black spots, which in turn degrades the performance of the device.
본 발명은 유기 발광 디바이스들(OLEDs)에 관한 것이다.The present invention relates to organic light emitting devices (OLEDs).
이제, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부 도면들을 참조하여 본 발명을 예시적으로 설명한다.Best Mode for Carrying Out the Invention Preferred embodiments of the present invention will now be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 발광 디바이스의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an organic light emitting device according to a first embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 발광 디바이스의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an organic light emitting device according to a second embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기 발광 디바이스의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of an organic light emitting device according to a third embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 유기 발광 디바이스의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of an organic light emitting device according to a fourth embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 유기 발광 디바이스의 단면도이다.5 is a cross-sectional view of an organic light emitting device according to a fifth embodiment of the present invention.
도 6는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 유기 발광 디바이스의 단면도이다.6 is a cross-sectional view of an organic light emitting device according to a sixth embodiment of the present invention.
도 7는 본 발명의 제 7 실시예에 따른 유기 발광 디바이스의 단면도이다.7 is a cross-sectional view of an organic light emitting device according to a seventh embodiment of the present invention.
본 발명의 목적은, 비 발산 블랙 스팟을 덜 형성하는 경향이 있으며, 이에 따라 성능 저하가 현저하게 억제된 유기 발광 디바이스를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an organic light emitting device which tends to form less non-emitting black spots, whereby performance degradation is significantly suppressed.
본 발명의 다른 목적은, 아래의 유기층들에 대한 손상을 최소화하는 유기 발광 디바이스의 전극을 위한 보호 캡(protective cap)을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a protective cap for an electrode of an organic light emitting device which minimizes damage to the organic layers below.
본 발명의 일 양상에 따르면, 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 삽입된 적어도 하나의 발광 유기 물질층을 포함하고, 상기 제 1, 2 전극들중 적어도 하나는 상기 발광 물질 위의 하나 이상의 전극층을 포함하며, 그리고 불활성 장벽층(inert barrier layer)과, 가장 바깥쪽 전극층과 상기 불활성 장벽층 사이에 삽입되어 수분 및 산소를 흡수하는 적어도 하나의 게터링층(gettering layer)을 포함하는 스택을 갖는 유기 발광 디바이스가 제공된다.According to one aspect of the invention, at least one light emitting organic material layer interposed between the first electrode and the second electrode, wherein at least one of the first and second electrodes is at least one electrode layer on the light emitting material And an stack having an inert barrier layer and at least one gettering layer interposed between the outermost electrode layer and the inert barrier layer to absorb moisture and oxygen. A light emitting device is provided.
본 발명의 이러한 양상의 장점들은, 상기 스택이 형성되어 있는 전극이 진공 증착법(vacuum evaporation)에 의해 증착된 적어도 하나의 층을 포함할 때에 특히 두드러진다.The advantages of this aspect of the invention are particularly pronounced when the electrode on which the stack is formed comprises at least one layer deposited by vacuum evaporation.
상기 불활성 장벽층은 반응 물질이 상기 디바이스에 들어오는 것을 최소화하는 역할을 하고, 상기 게터링층은 상기 불활성 장벽층을 통과한 미량의 반응 물질을 흡수하는 역할을 한다.The inert barrier layer serves to minimize the ingress of reactants into the device, and the gettering layer serves to absorb traces of reactant that have passed through the inert barrier layer.
상기 불활성 장벽층은 바람직하게는 AlN, Al2O3, SiO2, 및 Si3N4로 구성된 그룹으로부터 선택되는 무기 유전 물질층이며, 바람직하게는 0.01 내지 10㎛, 보다 바람직하게는 1 내지 10㎛ 범위의 두께를 갖는다. 상기 불활성 장벽층은 핀홀(pinhole)을 포함하지 않는 층을 제공하기 위해 스퍼터링 기술에 의해 증착되는 것이 바람직하다.The inert barrier layer is preferably an inorganic dielectric material layer selected from the group consisting of AlN, Al 2 O 3 , SiO 2 , and Si 3 N 4 , preferably 0.01 to 10 μm, more preferably 1 to 10. Have a thickness in the μm range. The inert barrier layer is preferably deposited by sputtering techniques to provide a layer that does not include pinholes.
상기 게터링층은 바람직하게는, 예를 들어 Li, Ca, Ba 또는 Cs, 또는 LiAl과 같은 합금, 또는 BaO와 같은 흡습성 산화물(hygroscopic oxide)과 같이, 수분 및 산소에 대해 높은 반응성을 나타내는 물질층이다. 게터링층은 바람직하게는 0.01 내지 5㎛ 범위의 두께를 갖는다. 상기 게터링층의 물질로는, 칼슘이 특히 바람직하다. 상기 게터링층은 핀홀을 포함하지 않는 층을 제공하기 위해, 스퍼터링 기술에 의해 증착될 수 있다. 대안적으로, 상기 게터링층은 진공 증착법에 의해 증착될 수 있다.The gettering layer is preferably a layer of material that exhibits high reactivity to moisture and oxygen, such as for example an alloy such as Li, Ca, Ba or Cs, or LiAl, or a hygroscopic oxide such as BaO. to be. The gettering layer preferably has a thickness in the range of 0.01 to 5 μm. As the material of the gettering layer, calcium is particularly preferable. The gettering layer may be deposited by sputtering techniques to provide a layer that does not include pinholes. Alternatively, the gettering layer may be deposited by vacuum deposition.
본 발명의 다른 양상에 따르면, 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 삽입된 발광 유기 물질층을 포함하고, 상기 제 1, 2 전극들중 적어도 하나는 전하 캐리어들을 상기 발광 유기 물질층으로 주입하기 위한 하나 이상의 전극층들을 상기 발광 유기 물질층 위에 포함하며, 그리고 발광 유기 물질층으로부터 먼 가장 바깥쪽 전극층의 표면 위에 유전 물질층을 더 포함하는 유기 발광 디바이스가 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a light emitting organic material layer inserted between a first electrode and a second electrode, wherein at least one of the first and second electrodes is for injecting charge carriers into the light emitting organic material layer. An organic light emitting device is provided that includes one or more electrode layers over the light emitting organic material layer, and further comprising a dielectric material layer over the surface of the outermost electrode layer away from the light emitting organic material layer.
본 발명의 이러한 양상의 장점들 또한, 유전층 또는 유전층들이 형성된 전극이 진공 증착법에 의해 증착된 적어도 하나의 층을 포함할 때에 특히 두드러진다.The advantages of this aspect of the invention are also particularly pronounced when the dielectric layer or the electrode on which the dielectric layers are formed comprises at least one layer deposited by vacuum deposition.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 유기 발광 디바이스는 제 1 유전 물질층 위에 제 2 유전 물질층을 포함하는바, 상기 제 1, 2 유전 물질층들의 두께는 상기 전극에 작용하는 기계적인 스트레스를 감소시키도록 선택된다.According to an embodiment of the present invention, the organic light emitting device includes a second dielectric material layer on the first dielectric material layer, wherein the thicknesses of the first and second dielectric material layers are subjected to mechanical stress applied to the electrode. Selected to reduce.
상기 제 1, 2 유전 물질층들 각각을 위한 적절한 유전 물질들은 비유기 유전 물질들을 포함하는바, 바람직하게는 SiO, AlN, SiO2, Si3N4및 Al2O3가 있다. 상기 제 1, 2 유전 물질층들 각각의 두께는 바람직하게는 0.01 내지 10㎛, 보다 바람직하게는 1 내지 10㎛ 범위이다.Suitable dielectric materials for each of the first and second dielectric material layers include inorganic dielectric materials, preferably SiO, AlN, SiO 2 , Si 3 N 4 and Al 2 O 3 . The thickness of each of the first and second dielectric material layers is preferably in the range of 0.01 to 10 μm, more preferably in the range of 1 to 10 μm.
상기 유전체층들은 각각 스퍼터링법 또는 진공 증착법에 의해 증착될 수 있다.The dielectric layers may be deposited by sputtering or vacuum deposition, respectively.
본 발명의 제 3 양상에 따르면, 전하 캐리어들을 유기 발광 물질에 주입하기 위한 제 1, 2 전극들 사이에 적어도 하나의 발광 유기 물질층을 포함하는 유기 발광 디바이스의 제 1 전극 위에 보호 캡(protective cap)을 제공하는 방법이 제공되는바, 상기 방법은 제 1 유전 물질층을, 발광 유기 물질층에 대향하는 제 1 전극의 표면 위에 진공 증착법에 의해 형성하는 단계를 포함한다.According to a third aspect of the invention, a protective cap over a first electrode of an organic light emitting device comprising at least one layer of light emitting organic material between first and second electrodes for injecting charge carriers into the organic light emitting material. A method is provided, the method comprising forming a first layer of dielectric material by vacuum deposition on a surface of a first electrode opposite the light emitting organic material layer.
상기 제 1 전극은 전형적으로 하나 이상의 금속층들을 포함하는바, 상기 유기 발광 물질로부터 먼 가장 바깥쪽 금속층의 표면 위에는 유전층이 직접 형성된다.The first electrode typically includes one or more metal layers, wherein a dielectric layer is directly formed on the surface of the outermost metal layer away from the organic light emitting material.
또한, 상기 설명한 장벽층들 그리고/또는 게터링층들이 제 1 유전층 위에 제공될 수 있다.In addition, the barrier layers and / or gettering layers described above may be provided over the first dielectric layer.
본 발명의 제 1, 2 양상들과 마찬가지로, 본 발명의 제 3 양상의 장점들은 대상이 되는 전극이 진공 증착법에 의해 의해 증착될 때에 두드러진다.Like the first and second aspects of the present invention, the advantages of the third aspect of the present invention stand out when the electrode of interest is deposited by vacuum deposition.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 발광 디바이스를 도시한다. 이 디바이스는 기판(2) 위에 형성된 제 1 전극층(4)을 포함하는바, 이 전극층은 인듐 주석 산화물(ITO)로 구성된 애노드층이다. 상기 기판은, 예를 들어 유리 또는 유연성 플라스틱(flexible plastic) 기판으로 이루어지거나, 유리-플라스틱 적층체가 될 수 있다. 발광 유기 물질(이 경우에는, 폴리(페닐렌비닐렌)(PPV))의 제 1 박막(6)이 상기 ITO층(4) 위에 형성된다. 이 유기 PPV층(6)은, 적절한 용매 내의 PPV 전구체(precusor)를 상기 ITO층(4) 위에 스핀 코팅한 다음, 스핀 코팅된 층을 가열하여 상기 전구체를 폴리머 PPV로 변환시킴으로써 형성된다. (MEH-PPV와 같은) 유기 물질의 제 2 박막(8)이 상기 발광 유기 물질의 제 1 박막(6) 위에 형성된다. 상기 제 2 박막(8)은, 예를 들어 상기 발광 유기 물질의 제 1 박막(6)과 같은 일반적인 방법으로 형성될 수 있다. 유기 물질의 제 2 박막은 발광층 또는 전하 이송층(charge transport layer)의 역할을 하거나, 다른 어떠한 목적을 가질 수 있다. 또한, 발광 유기층들이 제공될 수 있다.1 shows an organic light emitting device according to a first embodiment of the present invention. The device comprises a first electrode layer 4 formed on a substrate 2, which is an anode layer composed of indium tin oxide (ITO). The substrate may for example consist of a glass or flexible plastic substrate or may be a glass-plastic laminate. A first thin film 6 of luminescent organic material (in this case poly (phenylenevinylene) (PPV)) is formed on the ITO layer 4. This organic PPV layer 6 is formed by spin coating a PPV precursor in a suitable solvent onto the ITO layer 4 and then heating the spin coated layer to convert the precursor into a polymer PPV. A second thin film 8 of organic material (such as MEH-PPV) is formed over the first thin film 6 of the luminescent organic material. The second thin film 8 may be formed by a general method such as, for example, the first thin film 6 of the light emitting organic material. The second thin film of organic material may serve as a light emitting layer or a charge transport layer, or have any other purpose. In addition, light emitting organic layers may be provided.
대안적으로, 상기 발광 유기 물질의 제 1 박막(6)은 폴리스티렌 술포닉 산이 도핑된 폴리에틸렌디옥시디오펜 (polyethylenedioxythiophene doped with polystyrene sulphonic acid: PEDT:PSS) 또는 폴리아닐린(polyaniline)과 같은 전하 이송층이 될 수 있고, 상기 제 2 박막(8)은 5% 폴리(2,7-(9,9-디(di)-엔(n)-옥틸플루오렌(octylfluorene)-3,6-(벤조디아디아졸(benzothiadiazole))과 95% 폴리(2,7-(9,9-디-엔-옥틸플루오렌)의 혼합물(5F8BT), 폴리(2,7-(9,9-디-엔-옥틸플루오렌)(F8), 폴리(2, 7-(9,9-디-엔-옥틸플루오렌)-(1,4-페닐렌-((4-메틸페닐)이미노)-1,4-페닐렌-((4-메틸페닐)이미노)-1,4-페닐렌))/폴리(2,7-(9,9-디-엔-옥틸플루오렌)(PFM:F8), 폴리(2, 7-(9,9-디-엔-옥틸플루오렌)-(1,4-페닐렌-((4-메스옥시페닐)이미노)-1,4-페닐렌-((4-메스옥시페닐렌)이미노)-1,4-페닐렌))/폴리(2,7-(9,9-디-엔-옥틸플루오렌)/폴리(2,7-(9,9-디-엔-옥틸플루오렌)-(1,4-페닐렌-((1,4-페닐렌-((4-섹부틸페닐(secbutylphenyl))이미노)-1,4-페닐렌))(PFMO:F8:TFB)와 같은 발광층이 될 수 있다.Alternatively, the first thin film 6 of luminescent organic material may be a charge transport layer such as polyethylenedioxythiophene doped with polystyrene sulphonic acid (PEDT: PSS) or polyaniline doped with polystyrene sulfonic acid. The second thin film 8 may be made of 5% poly (2,7- (9,9-di) -ene (n) -octylfluorene-3,6- (benzodiadiazole). (benzothiadiazole)) and a mixture of 95% poly (2,7- (9,9-di-ene-octylfluorene) (5F8BT), poly (2,7- (9,9-di-ene-octylfluorene ) (F8), poly (2, 7- (9,9-di-ene-octylfluorene)-(1,4-phenylene-((4-methylphenyl) imino) -1,4-phenylene- ((4-methylphenyl) imino) -1,4-phenylene)) / poly (2,7- (9,9-di-ene-octylfluorene) (PFM: F8), poly (2, 7- (9,9-di-ene-octylfluorene)-(1,4-phenylene-((4-mesoxyphenyl) imino) -1,4-phenylene-((4-mesoxyphenylene) Imino) -1,4-phenylene)) / poly (2,7- (9,9-di-ene-octylfluorene) / poly (2,7- (9,9-di-ene-octyl Leuren)-(1,4-phenylene-((1,4-phenylene-((4-secbutylphenyl) imino) -1,4-phenylene)) (PFMO: F8: TFB It may be a light emitting layer such as).
200nm의 두께를 갖는 얇은 칼슘층(10)이 유기 물질의 제 2 박막(8) 위에 형성된다. 이 칼슘층은 캐소드의 역할을 하고, 예를 들어 rf 스퍼터링 또는 dc 마그네트론 스퍼터링(바람직하게는 방전 가스로서 네온을 이용한다), 또는 진공 증착법에 의해 형성된다. 진공 증착법이 바람직한데, 그 이유는 스퍼터링 기술과 비교하여 진공 증착법이 아래의 유기 물질을 덜 손상시키기 때문이다.A thin calcium layer 10 having a thickness of 200 nm is formed on the second thin film 8 of organic material. This calcium layer serves as a cathode and is formed by, for example, rf sputtering or dc magnetron sputtering (preferably using neon as the discharge gas), or vacuum deposition. Vacuum deposition is preferred because vacuum deposition is less damaging to the organic materials below when compared to sputtering techniques.
약 10㎛ 두께의 두꺼운 알루미늄 질화물층(12)이 얇은 칼슘층(10) 위에 형성된다. 이 알루미늄 질화물층(12)은 바람직하게는 핀홀이 없는 층을 제공하기 위해 스퍼터링에 의해 증착된다. 알루미늄으로 제조된 스퍼터 타겟/캐소드 및 질소를 포함하는 방전 가스를 이용하여, rf 스퍼터링 또는 dc 마그네트론 스퍼터링과 같은 종래의 스퍼터링 기술이 이용될 수 있다.A thick aluminum nitride layer 12, about 10 μm thick, is formed over the thin calcium layer 10. This aluminum nitride layer 12 is preferably deposited by sputtering to provide a layer free of pinholes. With a sputter target / cathode made of aluminum and a discharge gas comprising nitrogen, conventional sputtering techniques such as rf sputtering or dc magnetron sputtering can be used.
상기 두꺼운 알루미늄 질화물층(12)은 주위에 존재하는 산소 및 수분과 같은 물질에 대해 현저하게 불투과성을 나타낸다. 이에 따라, 이러한 반응성 물질로부터 아래의 캐소드, 즉 칼슘층(10)을 효과적으로 보호한다.The thick aluminum nitride layer 12 is markedly impermeable to materials such as oxygen and moisture present in the environment. This effectively protects the underlying cathode, ie, the calcium layer 10, from this reactive material.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 발광 디바이스를 도시한다. 5㎛ 두께의 부가적인 알루미늄층(14)이 상기 얇은 칼슘층(10)과 상기 두꺼운 알루미늄 질화물층(12) 사이에 제 2 캐소드층으로서 제공되는 것을 제외하고는, 도 1의 디바이스와 동일하다. 이 경우, 이러한 중간 알루미늄층(14)은 진공 증착법에 의해 형성되지만, 대안적으로는 예를 들어 스퍼터링 기술에 의해서도 형성될 수 있다.2 shows an organic light emitting device according to a second embodiment of the invention. Same as the device of FIG. 1, except that an additional 5 μm thick aluminum layer 14 is provided as the second cathode layer between the thin calcium layer 10 and the thick aluminum nitride layer 12. In this case, this intermediate aluminum layer 14 is formed by vacuum deposition, but may alternatively be formed by, for example, sputtering techniques.
도 3은 본 발명에 따른 제 3 실시예에 따른 유기 발광 디바이스를 도시한다. 약 10㎛ 두께의 두꺼운 알루미늄 산화물층(16)이 상기 두꺼운 알루미늄 질화물층(12) 위에 형성되는 것을 제외하고는, 도 2의 디바이스와 유사하다. 이러한 알루미늄 산화물의 최상층(16)은 핀홀을 포함하지 않는 층을 제공하기 위해 스퍼터링 기술에 의해 형성된다.3 shows an organic light emitting device according to a third embodiment according to the present invention. It is similar to the device of FIG. 2 except that a thick aluminum oxide layer 16, about 10 μm thick, is formed over the thick aluminum nitride layer 12. The top layer 16 of this aluminum oxide is formed by sputtering techniques to provide a layer that does not contain pinholes.
도 4는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 유기 발광 디바이스를 도시한다. 이 디바이스는 약 5㎛ 두께를 갖는 제 2 칼슘층(18)이 상기 알루미늄층(14)과 상기 알루미늄 질화물층(12) 사이에 제공되는 것을 제외하면, 도 2의 디바이스와 동일하다. 이 제 2 칼슘층(18)은 상층의 알루미늄 질화물층(12)을 투과한 어떠한 반응성 물질들을 게터링함으로써, 아래의 캐소드를 보호한다. 이 제 2 칼슘층(18)은 바람직하게는 핀홀을 포함하지 않는 층을 제공하기 위해 스퍼터링 기술에 의해 증착된다.4 shows an organic light emitting device according to a fourth embodiment of the invention. This device is the same as the device of FIG. 2 except that a second calcium layer 18 having a thickness of about 5 μm is provided between the aluminum layer 14 and the aluminum nitride layer 12. This second calcium layer 18 protects the underlying cathode by gettering any reactive materials that have penetrated the upper aluminum nitride layer 12. This second calcium layer 18 is preferably deposited by sputtering techniques to provide a layer that does not contain pinholes.
도 5는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 유기 발광 디바이스를 도시한다. 이 디바이스는 부가적인 장벽층으로서 약 10㎛ 두께의 스퍼터링된 알루미늄층(20)이 상기 진공 증착된 알루미늄층(14)과 상기 제 2 칼슘층(18) 사이에 제공되는 것을 제외하고는, 도 4의 디바이스와 유사하다. 도 6에 도시된 제 6 실시예에 따르면, 부가적으로 스퍼터링된 알루미늄층(22)이 상기 제 2 칼슘층(18)과 상기 알루미늄 질화물층(12) 사이에 부가적인 불활성 장벽층으로서 제공된다.5 shows an organic light emitting device according to a fifth embodiment of the present invention. The device is an additional barrier layer, except that a sputtered aluminum layer 20 of about 10 μm thickness is provided between the vacuum deposited aluminum layer 14 and the second calcium layer 18, FIG. 4. Similar to the device of. According to the sixth embodiment shown in FIG. 6, an additional sputtered aluminum layer 22 is provided as an additional inert barrier layer between the second calcium layer 18 and the aluminum nitride layer 12.
도 7은 본 발명의 제 7 실시예에 따른 유기 발광 디바이스를 도시한다. 이 디바이스는 상기 Ca/Al의 2층 캐소드가 층들(12 및 16) 대신, 고온 세라믹 보트로부터 열증착된 1000Å의 SiO층(24)과 스퍼터링에 의해 증착된 10㎛의 알루미늄 질화물층(26)으로 덮여지는 것을 제외하고는, 도 3과 유사하다. 본 실시예에서는 SiO/AlN의 2층을 이용하여 캐소드를 덮음으로써, 캐소드를 우수하게 보호한다. 그 이유는, 상기 SiO층(24)이 물리적인 장벽의 역할을 할 뿐 아니라, 수분과 반응하여 수분을 게터링하는 게터링층의 역할도 한다는 사실에 의한 것으로 간주된다.7 shows an organic light emitting device according to a seventh embodiment of the invention. The device was fabricated with a 10 μm aluminum nitride layer 26 deposited by sputtering and a 1000 SiO SiO layer 24 thermally deposited from a hot ceramic boat, instead of the layers 12 and 16 of Ca / Al. Similar to FIG. 3 except that it is covered. In this embodiment, the cathode is covered with two layers of SiO / AlN, thereby protecting the cathode excellently. The reason is considered to be due to the fact that the SiO layer 24 serves not only as a physical barrier but also as a gettering layer which reacts with moisture to getter moisture.
상기 설명된 디바이스들은 모두 캐소드의 보호와 관련하여 본 발명의 응용을 설명했지만, 본 발명은 애노드, 또는 애노드와 캐소드 모두의 보호에도 적용될 수 있다.Although the devices described above all describe the application of the invention in connection with the protection of the cathode, the invention can also be applied to the protection of the anode, or both the anode and the cathode.
Claims (32)
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