KR100384890B1 - Apparatus for self test of Embedded Memory in Semiconductor Circuit - Google Patents

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엄낙웅
김대용
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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야1. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION

본 발명은 반도체소자 회로내부의 메모리(Memory)를 그 외부에서 자동으로 시험하는데 사용하는 시험장치에 관한 것임.The present invention relates to a test apparatus used for automatically testing a memory inside a semiconductor device circuit from outside thereof.

2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제2. The technical problem to be solved by the invention

본 발명은, 반도체소자 회로내부의 메모리를 시험하는 회로에 있어서, 시험을 효과적으로 하기 위한 반도체소자 회로내부의 메모리를 시험하기 위한 시험장치를 제공하고자 함.An object of the present invention is to provide a test apparatus for testing a memory inside a semiconductor device circuit for performing a test in a circuit for testing a memory inside a semiconductor device circuit.

3. 발명의 해결방법의 요지3. Summary of Solution to Invention

본 발명은, 반도체소자 회로내부의 메모리를 시험하는데 있어서, 시험패턴을 발생시키는 시험패턴 발생수단; 내부 회로로부터 발생하는 정상 데이터와 상기 시험패턴 발생수단으로부터 발생한 시험패턴 데이터를 선택하는 데이터 선택수단; 상기 데이터 선택수단에 의해 선택된 데이터를 메모리 셀에 입력하는 데이터 입력수단; 메모리 셀로부터 데이터를 출력하는 데이터 출력수단; 및 상기 데이터 입력수단의 입력데이터와 상기 데이터 출력수단의 출력데이터를 비교하여 메모리 셀의 불량여부를 판별하는 데이터 비교수단을 포함함The present invention provides a test pattern generating means for generating a test pattern in testing a memory inside a semiconductor element circuit; Data selecting means for selecting normal data generated from an internal circuit and test pattern data generated from the test pattern generating means; Data input means for inputting data selected by the data selecting means into a memory cell; Data output means for outputting data from the memory cell; And data comparing means for comparing the input data of the data input means with the output data of the data output means to determine whether the memory cell is defective.

4. 발명의 중요한 용도4. Important uses of the invention

본 발명은 반도체소자 회로내부의 메모리 시험에 이용됨.The present invention is used to test a memory inside a semiconductor device circuit.

Description

반도체소자 회로내부의 메모리를 그 외부에서 자동으로 시험하는데 사용하는 시험장치{Apparatus for self test of Embedded Memory in Semiconductor Circuit}Apparatus for self test of Embedded Memory in Semiconductor Circuit

본 발명은 반도체소자 회로내부에 있는 메모리의 시험에 관한 것으로, 특히 시험을 용이하고 자동적으로 수행하게 하기 위한 반도체소자 회로내부에 있는 메모리를 시험하는데 사용되는 시험장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to testing of memory in semiconductor device circuits, and more particularly to a test apparatus used to test memory in semiconductor device circuits to facilitate and automatically perform the test.

종래의 회로 내부에 있는 메모리 시험은 입출력 데이터를 외부 핀에서 제어할 수 없기 때문에 전체적인 기능 시험하거나 간단한 시험을 하여 다양한 모델의 불량을 검출할 수가 없었다. 그러므로 메모리에서 발생하는 데이터 패턴에 따른 불량을 검출할 수 없어서 시스템이 잘 동작을 하다가도 불량에 민감한 패턴을 만나면 불량이 발생하여, 현장에서 사용하는 반도체소자의 불량 발생률이 높아서 시스템의 고장의 원인이 되었으므로, 회로내부의 메모리셀을 효과적이고 자동적으로 시험할 필요가 있었다.In the conventional memory test, since the input and output data cannot be controlled from an external pin, the failure of various models could not be detected by performing a whole function test or a simple test. Therefore, it is impossible to detect the defects according to the data pattern generated in the memory, but even if the system works well, if it meets the sensitive pattern, the defect occurs. As a result, it was necessary to test the memory cells in the circuit effectively and automatically.

한편, 선행특허로 미국특허 “Maximizing improvement to fault coverage of system logic of an integrated circuit with embedded memory arrays [권리권자, Levit 등록번호 5379303, 1995. 1. 3]”는 회로내부의 메모리 어레이를 이용하여 집적회로(IC : Integrated Circuit)를 시험하고 스캔회로를 사용하여 집적회로(IC : Integrated Circuit)의 출력을 볼 수 있으나, 패턴 발생기와 데이터 비교기를 구비하지 않았기 때문에, 메모리 셀 시험 수행이 어려워져서 회로내부의 메모리 시험을 할 수 없는 문제점이 있었다. 그리하여 여기에 대한 여러 가지 회로가 고안되었으나, 메모리셀의 단순한 고착형 불량(Stuck at fault)만을 시험하는 정도에 머물러서 효과적으로 회로내부에 있는 메모리를 시험할 수가 없는 문제점이 있었다.On the other hand, US patent "Maximizing improvement to fault coverage of system logic of an integrated circuit with embedded memory arrays [right holder, Levit No. 5379303, Jan. 3, 1995]] is integrated using a memory array inside the circuit. The circuit (IC: Integrated Circuit) can be tested and the scan circuit can be used to view the output of the integrated circuit (IC: Integrated Circuit), but since it does not have a pattern generator and a data comparator, it is difficult to perform memory cell tests. There was a problem that can not be tested. Thus, various circuits have been devised, but there has been a problem in that the memory in the circuit cannot be tested effectively because it remains only to test a simple stuck at fault of the memory cell.

본 발명은, 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 반도체소자의 회로내부에 있는 메모리의 고착형 불량, 천이 불량 및 유도성 불량 등의 시험을 회로 외부에서 자동적으로 수행할 수 있는 시험장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems, and is a test that can automatically perform tests such as a fixed defect, a transition defect, and an inductive defect of a memory in a circuit of a semiconductor device automatically outside the circuit. The purpose is to provide a device.

도 1 은 시험하고자 하는 메모리셀을 포함한 본 발명에 따른 일실시예 시스템 구성도.1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention including a memory cell to be tested.

도 2 는 본 발명에 따른 시스템에 있어서 패턴 발생기의 일실시예 구성도.2 is a diagram illustrating an embodiment of a pattern generator in a system according to the present invention.

도 3 은 본 발명에 따른 스캔(SCAN) 회로의 일실시예 구성도.3 is a block diagram of an embodiment of a scan (SCAN) circuit in accordance with the present invention;

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

101 : 내부 회로 102 : 패턴 발생기101: internal circuit 102: pattern generator

103 : 스캔 회로 104 : 데이터 입력 버퍼103: scan circuit 104: data input buffer

105 : 메모리 셀 106 : 비교 패턴 발생기105: memory cell 106: comparison pattern generator

107 : 비교기 108 : 데이터 출력 버퍼107: comparator 108: data output buffer

109 : 비교결과 제어회로109: comparison result control circuit

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반도체소자 회로내부의 메모리를 시험하는데 있어서, 시험패턴을 발생시키는 시험패턴 발생수단; 내부 회로로부터 발생하는 정상 데이터와 상기 시험패턴 발생수단으로부터 발생한 시험패턴 데이터를 선택하는 데이터 선택수단; 상기 데이터 선택수단에 의해 선택된 데이터를 메모리 셀에 입력하는 데이터 입력수단; 메모리 셀로부터 데이터를 출력하는 데이터 출력수단; 및 상기 데이터 입력수단의 입력데이터와 상기 데이터 출력수단의 출력데이터를 비교하여 메모리 셀의 불량여부를 판별하는 데이터 비교수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object, the test pattern generating means for generating a test pattern in testing the memory inside the semiconductor element circuit; Data selecting means for selecting normal data generated from an internal circuit and test pattern data generated from the test pattern generating means; Data input means for inputting data selected by the data selecting means into a memory cell; Data output means for outputting data from the memory cell; And data comparing means for comparing the input data of the data input means with the output data of the data output means to determine whether the memory cell is defective.

상술한 목적, 특징들 및 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.The above objects, features and advantages will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 은 시험하고자 하는 메모리 셀을 포함한 본발명에 따른 일실시예 시스템 구성도이다.1 is a diagram illustrating a system configuration according to the present invention including a memory cell to be tested.

본 발명이 적용되는 시스템은 내부회로(101),패턴 발생기(102) 및 데이터 입력 버퍼(104)와 연결되어, 내부회로(101) 및 패턴 발생기(102)로부터 발생하는 데이터를 받아들여 시험시에는 패턴발생기에서 전달된 패턴데이터(P)를 선택하고 회로의 정상동작시에는 내부회로에서 전달된 내부데이터(D)를 선택하는 스캔 회로(103), 스캔회로(103) 및 메모리 셀(105)과 연결되어, 스캔회로(103)로부터 입력되는 데이터를 버퍼링하는 데이터 입력 버퍼(104), 데이터 입력 버퍼(104) 및 데이터 출력 버퍼(108)와 연결되어, 쓰기 신호에 의해 상기 데이터 입력 버퍼(104)로부터 데이터를 입력받고, 읽기 신호에 의해 데이터 출력 버퍼(108)로 데이터를 전달하는 메모리 셀(105), 패턴 발생기(102), 비교결과 제어회로(109), 메모리셀(105) 및 비교기(107)에 연결되어, 메모리 셀(105)로부터 데이터 출력 버퍼(108)로 데이터를 전달하게 하는 읽기 신호에 동기된 신호를 입력받아, 비교기(107)로 데이터를 입력하는 비교 패턴 발생기(106), 메모리 셀(105)과 비교기(107)에 연결되어, 메모리 셀(105)에서 출력되는 데이터를 버퍼링하여 비교기(107)에 전달하는 데이터 출력 버퍼(108), 비교 패턴 발생기(106)와 데이터 출력 버퍼(108)에 연결되어, 메모리 출력 데이터와 비교 패턴 데이터를 비교하는 비교기(107), 비교 패턴 발생기(106), 비교기(107) 및 패턴 발생기(102)와 연결되어, 메모리 셀(105)의 양/불량에 따라 패턴 발생기(102)와 비교 패턴 발생기(106)를 제어하는 비교결과 제어회로(109)를 구비한다.The system to which the present invention is applied is connected to the internal circuit 101, the pattern generator 102, and the data input buffer 104 to receive data generated from the internal circuit 101 and the pattern generator 102 and to test the data. A scan circuit 103, a scan circuit 103, and a memory cell 105 which selects the pattern data P transmitted from the pattern generator and selects the internal data D transmitted from the internal circuit during normal operation of the circuit; Connected to the data input buffer 104, the data input buffer 104 and the data output buffer 108 to buffer the data input from the scan circuit 103, the data input buffer 104 by a write signal A memory cell 105, a pattern generator 102, a comparison result control circuit 109, a memory cell 105, and a comparator 107 which receive data from the data and transfer the data to the data output buffer 108 by a read signal. ) From the memory cell 105 It is connected to a comparison pattern generator 106, a memory cell 105, and a comparator 107 that receives a signal synchronized with a read signal for transferring data to the output buffer 108, and inputs data to the comparator 107. Is connected to the data output buffer 108, the comparison pattern generator 106, and the data output buffer 108, which buffers the data output from the memory cell 105 and delivers the data to the comparator 107. Connected with a comparator 107, a comparison pattern generator 106, a comparator 107, and a pattern generator 102 for comparing data, the pattern generator 102 and the comparison pattern generator according to the quantity / defect of the memory cell 105. A comparison result control circuit 109 for controlling 106 is provided.

또한, 외부에서 현재 시험중인 메모리 셀(105)의 상태를 표시하는 상태표시장치(예컨데, LED 표시판 등)(110)를 비교기(107)에 연결하여 메모리 셀(105)의 양/불량을 표시하도록 할 수 있다.In addition, a status display device (for example, an LED display panel, etc.) 110 that displays the status of the memory cell 105 under test from the outside is connected to the comparator 107 to display the quantity / defect of the memory cell 105. can do.

상기와 같은 시스템의 동작을 보면, 시스템 클럭의 동작으로 패턴 발생기(102)에서 발생한 데이터가 스캔회로(103)에 전달되고, 메모리 시험시에는 스캔회로(103)에 의해 상기 패턴 발생기(102)에서 발생한 데이터가 선택되어 데이터 입력 버퍼(104)에 전달되며, 전달된 상기 데이터는 해당 메모리 셀(105)에 쓰기 신호에 의해 쓰여지고(Write), 읽기 신호에 의해 읽혀져서(Read) 데이터 출력 버퍼(108)를 통하여 출력된다. 동시에 읽기 신호는 비교 패턴 발생기(106)에서 데이터가 출력되도록 하여, 비교 패턴 발생기(106)의 출력과 데이터 출력 버퍼(108)의 출력을 비교기(107)에서 비교할 수 있게 한다. 상기 비교된 결과가 일치하면 비교기의 출력이 1 상태가 되어 비교결과 제어회로(109)의 출력이 시스템 클럭으로 동작을 하며, 메모리셀(105)이 불량하여 데이터가 일치하지 않을 경우에는 비교기의 출력이 0 상태가 되어 비교결과 제어회로(109)인 앤드 게이트(AND Gate)를 거쳐 시스템 클럭이 중단되어 패턴 발생기(102)와 비교패턴 발생기(106)의 동작이 중단된다.Referring to the operation of the system as described above, the data generated from the pattern generator 102 is transmitted to the scan circuit 103 by the operation of the system clock, the scan circuit 103 in the pattern generator 102 at the time of the memory test The generated data is selected and transferred to the data input buffer 104, and the transferred data is written to the corresponding memory cell 105 by the write signal and read by the read signal to the data output buffer 108. Is printed through). At the same time, the read signal causes data to be output from the comparison pattern generator 106, allowing the comparator 107 to compare the output of the comparison pattern generator 106 with the output of the data output buffer 108. If the comparison result is matched, the output of the comparator is in a state 1, and the output of the comparison result control circuit 109 operates as a system clock. If the memory cell 105 is bad and the data does not match, the comparator output In this state, the system clock is stopped via the AND gate, which is the comparison control circuit 109, and the operation of the pattern generator 102 and the comparison pattern generator 106 is stopped.

한편, 메모리 시험은 다양한 데이터 패턴을 사용하여 시험하여야 하나, 회로내부의 메모리인 경우에는 데이터를 마음대로 쓰고(Write) 읽을(Read) 수 없어서 메모리 셀을 다양한 패턴으로 시험할 수 없다. 그러므로 회로내부의 메모리를 시험하기 위해서는 도 2와 같이 구성된 패턴 발생기(102)를 이용하여 시험을 하여야 하고, 또 내부 회로의 정상적인 데이터와 시험패턴 데이터를 선택할 수 있는 도 3과 같은 스캔회로(103)가 필요하다.On the other hand, the memory test should be tested using various data patterns. However, in the case of the memory inside the circuit, the data cannot be written and read at will, and thus the memory cells cannot be tested in various patterns. Therefore, in order to test the memory inside the circuit, the test is performed using the pattern generator 102 configured as shown in FIG. 2, and the scan circuit 103 as shown in FIG. 3 capable of selecting normal data and test pattern data of the internal circuit. Is needed.

도 2는 본 발명에 따른 시스템에 있어서 패턴 발생기(102)의 일실시예 구성도이다.2 is a schematic diagram of an embodiment of a pattern generator 102 in a system in accordance with the present invention.

패턴 발생기(102)는 플립플롭(Flip-Flop)으로 이루어진 시프트 레지스터 4개(SR0-SR3)를 구비하고 있으며, 시프트 레지스터(SR0) 0은 데이터 선택 입력(SDI)로부터 입력을 받고, 시프트 레지스터(SR1) 1은 입력 신호를 시프트 레지스터(SR0) 0의 출력 Q와Q로 하고, 시프트 레지스터(SR2) 2는 입력 신호를 시프트 레지스터(SR1) 1의 출력 Q와Q로 하고, 시프트 레지스터(SR3) 3은 입력 신호를 시프트 레지스터(SR2) 2의 출력 Q와Q로 하고 이중 시프트 레지스터 2(102-3)(SR2)와 시프트 레지스터 3(102-4)(SR3)의 출력단자는 익스클루시브 오와 게이트인(Exclusive OR Gate IN)(102-5)의 입력단자로 연결되어 있으며, 또 익스클루시브 오와 게이트인(Exclusive OR Gate IN)(102-5) 출력단자는 시프트 레지스터 0 (SR0)(102-1)의 입력단자인 인버터(102-6)의 입력단자에 연결되어 있고, 시스템 클럭(CP)과 비교기(107) 출력단자가 비교결과 제어회로(109)인 엔드 게이트(AND Gate)의 입력에 연결되어 있다.The pattern generator 102 has four shift registers SR0-SR3 composed of flip-flops. The shift register SR0 receives an input from a data select input SDI, and the shift register ( SR1) 1 sets the input signal as the outputs Q and Q of the shift register SR0, shift register SR2 sets the input signal as the outputs Q and Q of the shift register SR1, and shift register SR3. 3 denotes an input signal as outputs Q and Q of shift register SR2, and output terminals of dual shift registers 2102-3 (SR2) and shift register 3 (102-4) (SR3) It is connected to the input terminal of Exclusive OR Gate IN 102-5, and the Exclusive OR Gate IN 102-5 output terminal is shift register 0 (SR0) (102). It is connected to the input terminal of the inverter 102-6, which is the input terminal of the negative terminal -1), and the system clock CP and the comparator 107. ) The output terminal is connected to an input of an end gate, which is a control circuit 109 as a result of the comparison.

본 발명에 따른 패턴 발생기의 동작을 보면, 시프트 레지스터인 4개의 SR 플립-플롭은 데이터 선택 입력(SDI : Select Data Input)의 입력을 받아 4개의 데이터(P0 - P3)를 출력한다. 출력된 4 개의 데이터(P0-P3)가 스캔 회로를 통하여 메모리 셀에 입력된다. 이 때 데이터 선택 입력(SDI : Select Data Input)과 스캔 선택 입력(SSI : Scan Select Input)을 이용하여 시프트 레지스터 0 (SR0)- 시프트 레지스터 3(SR3)의 출력인 P0 - P3이 1 상태가 되도록 초기화한 후, 4개의 출력 데이터 중에서 시프트 레지스터 2(SR2)와 시프트 레지스터 3(SR3)의 출력은 익스클루시브 오와 게이트(Exclusive OR Gate)(102-5)의 입력이 되어 인버터(102-6)를 통하여 시프트 레지스터 0 (SR0)(102-1)에 피드백(Feed-Back)됨으로써 <표 1>과 같은 자동시험 패턴이 발생된다. 발생된 자동시험 패턴을 이용하여 메모리 셀 전체를 하나의 데이터 패턴으로 시험한 후, 스캔 선택 입력(SSI : Scan Select Input)을 0 상태로 하고 반대 데이터 패턴으로 다시 한번 시험을 한다. 이에 따라 도 2-1의 패턴 발생기는 스캔 선택 입력(SSI : Scan Select Input)이 1일 때는 Q의 출력이 그대로 P0 - P3으로 출력되나, 스캔 선택 입력(SSI : Scan Select Input)이 0일 때Q의 출력이 P0 - P3으로 출력되며, 출력 패턴은 <표 1>과 같이 되므로, 어드레스가 0 에서 15 번까지 같은 데이터 패턴이 반복된다.Referring to the operation of the pattern generator according to the present invention, four SR flip-flops, which are shift registers, receive an input of a data select input (SDI) and output four data (P0-P3). Four output data P0-P3 are input to the memory cell through the scan circuit. At this time, P0-P3, the output of shift register 0 (SR0)-shift register 3 (SR3), is set to 1 state using the Select Data Input (SDI) and Scan Select Input (SSI). After initialization, the outputs of shift register 2 (SR2) and shift register 3 (SR3) among the four output data become inputs to the exclusive OR gate 102-5 and the inverter 102-6. By feeding back to the shift register 0 (SR0) 102-1, the automatic test pattern shown in Table 1 is generated. Test the entire memory cell with one data pattern using the generated automatic test pattern, and then set the scan select input (SSI) to 0 and test again with the opposite data pattern. Accordingly, when the scan select input (SSI: Scan Select Input) is 1, the pattern generator of FIG. 2-1 is outputted as P0-P3 as it is, but when the scan select input (SSI: Scan Select Input) is 0 The output of Q is output to P0-P3, and the output pattern is as shown in Table 1. The same data pattern is repeated from 0 to 15 times for the address.

AddressAddress SSISSI P0P0 P1P1 P2P2 P3P3 초기화(0)Reset (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1One 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 22 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 33 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 0(1)0 (1) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 44 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 0(1)0 (1) 0(1)0 (1) 55 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 0(1)0 (1) 66 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 77 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 88 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 0(1)0 (1) 99 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1010 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1111 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 1212 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1313 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 1414 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1515 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1One 1(0)1 (0) 0(1)0 (1) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0) 1(0)1 (0)

메모리 셀에 0, 1을 쓰고, 읽음으로써 고착형 불량을 검출할 수 있고, 천이불량은 데이터를 1에서 0이나, 0에서 1로 데이터를 변화시킬 때 데이터가 변화되지 않는 불량이므로, 스캔 선택 입력(SSI : Scan Select Input)을 1에서 0으로 또는 0에서 1로 변화시켜 메모리 셀에 데이터를 읽거나 쓰는 시험을 함으로써 천이불량을 검출할 수 있다. 또한, 유도성 불량을 검출하기 위해서는 유도성 메모리 셀이 0에서 1로, 1에서 0으로 천이될 때 유도된 메모리 셀의 상태를 시험해야 한다. 즉, 유도성 불량은, 천이불량을 검출할 때와 마찬가지로 스캔 선택 입력(SSI : Scan Select Input)을 1에서 0으로 또는 0에서 1로 변화시켜 메모리 셀에 데이터를 읽거나 쓰는 시험을 함으로써 검출할 수 있다.A fixed defect can be detected by writing and reading 0 and 1 into the memory cell, and the transition defect is a defect in which the data does not change when the data is changed from 1 to 0 or from 0 to 1, so the scan selection input Transient defects can be detected by changing the Scan Select Input (SSI) from 1 to 0 or from 0 to 1 to read or write data to the memory cell. In addition, in order to detect an inductive defect, the state of the induced memory cell should be tested when the inductive memory cell transitions from 0 to 1 and from 1 to 0. In other words, inductive defects can be detected by changing the scan select input (SSI) from 1 to 0 or from 0 to 1, as in the case of detecting a transition defect. Can be.

따라서, 고착형 불량은 표 1의 시험 패턴에서와 같이 각 메모리 셀에 1과 0을 쓰고(Write) 읽음(Read)으로써 검출할 수 있으며, 천이 불량과 유도성 불량도 각 메모리 셀에 1에서 0으로, 또는 0에서 1로 데이터를 변화시켜 쓴 후 읽음으로써 불량을 검출할 수 있다.Therefore, the fixed defect can be detected by writing and reading 1 and 0 to each memory cell as in the test pattern of Table 1, and transition defects and inductive defects can also be detected from 1 to 0 in each memory cell. Defects can be detected by changing the data from 0 to 1 or by writing the data.

비교 패턴 발생기(106)의 데이터 패턴은 <표1>과 같으며 메모리셀의 읽기(Read) 신호인 CE 신호와 동기시켜서 비교 패턴 발생기의 어드레스와 메모리셀의 어드레스를 일치시킨다. 비교기(107)에서는 비교 패턴 발생기의 출력 데이터와 메모리 셀의 출력 데이터를 각 비트에서 비교하여 그 결과를 나타낸다.The data pattern of the comparison pattern generator 106 is shown in Table 1, and synchronizes the address of the comparison pattern generator with the address of the memory cell by synchronizing with the CE signal which is a read signal of the memory cell. The comparator 107 compares the output data of the comparison pattern generator with the output data of the memory cell at each bit and shows the result.

도 3 은 본 발명에 따른 스캔 회로의 일실시예 회로도이다.3 is a circuit diagram of an embodiment of a scan circuit according to the present invention.

도시된 바와 같이 시험 데이터와 정상 데이터를 선택하는 앤드 게이트(AND Gate)(103-1, 103-2)와, 오와 게이트(OR Gate)(103-3), 플립-플롭(Flip-Flop)(103-4)을 구비하고 있다.As shown, AND gates 103-1 and 103-2 for selecting test data and normal data, OR gates 103-3, and flip-flops (103-4) is provided.

자세히 보면, 패턴 발생기의 출력과 스캔 선택신호를 입력으로 하는 제 1 엔드 게이트(103-1), 스캔 선택신호의 부신호(reverse)와 내부 회로에서 발생하는 정상 데이터 신호를 입력으로 하는 제 2 엔드 게이트(103-2), 제 1 , 제 2 엔드 게이트(103-1, 103-2)의 출력을 입력으로 하는 오와 게이트(103-3) 및 오와 게이트(103-3)의 출력을 입력으로 하는 플립플롭(103-4)으로 구성된다.In detail, the first end gate 103-1 which inputs the output of the pattern generator and the scan selection signal, the second end that receives the negative signal of the scan selection signal and the normal data signal generated from the internal circuit are input. Input output of ohwa gate 103-3 and output of ohwa gate 103-3 as inputs of gates 103-2, first and second end gates 103-1, 103-2 It consists of flip-flops 103-4.

본 도에 도시된 회로의 동작을 살펴보면, 스캔선택 신호(SS)입력이 0이 되면 D 데이터가 앤드 게이트(AND Gate)(103-1)를 거쳐 오와 게이트(OR Gate)(103-3)출력에 나타나며, 시스템 클럭(SC)이 동작을 하면 스캔 데이터(P)가 플립-플롭(Flip-Flop)(103-4)의 출력에 나타난다. 스캔선택 신호(SS) 입력이 1이 되면 P 데이터가 앤드 게이트(AND Gate)(103-2)를 거쳐 오와 게이트(OR Gate)(103-3) 출력에 나타나며, 시스템 클럭(SC)이 동작을 하면 내부회로의 정상 데이터(D)가 플립-플롭(Flip-Flop)(103-4)의 출력에 나타난다. 메모리를 시험하기 위해서는 시험패턴에서 발생한 데이터가 앤드 게이트(AND Gate)(103-1)의 출력인 P 핀에 입력되어 스킨선택 신호(SS)가 1일 때 플립-플롭(Flip-Flop)(103-4)의 출력을 통하여 데이터 입력 버퍼(104)를 거쳐 메모리 셀(105)에 쓰여(Write)진다. 정상 동작일 때는 스킨선택(SS) 신호가 0이 되어 정상 데이터인 D가 플립-플럽(Flip-Flop)(103-4)의 출력을 통하여 데이터 입력 버퍼(104)를 거쳐 메모리 셀(105)에 쓰여(Write)진다. <표2>은 스캔회로(103)의 동작 상태를 나타내며, 도 2 의 패턴 발생기(102)의 출력(P)을 이용하여 메모리 셀간의 간섭효과 등으로 불량이 발생하기 쉬운 데이터 패턴을 쓸(Write) 수 있어서 효과적인 시험을 할 수가 있다.Referring to the operation of the circuit illustrated in FIG. 1, when the scan select signal SS input becomes 0, the D data passes through an AND gate 103-1 and an OR gate 103-3. Appears on the output, the scan data (P) appears at the output of the flip-flop (103-4) when the system clock (SC) is operating. When the scan select signal (SS) input is 1, P data is displayed at the OR gate 103-3 through the AND gate 103-2, and the system clock SC is operated. The normal data D of the internal circuit is displayed at the output of the flip-flop 103-4. To test the memory, data generated in the test pattern is input to the P pin, which is the output of the AND gate 103-1, and flip-flop 103 when the skin select signal SS is 1. It is written to the memory cell 105 via the data input buffer 104 through the output of -4). In normal operation, the skin select signal (SS) becomes zero, so that the normal data D passes through the data input buffer 104 to the memory cell 105 through the output of the flip-flop 103-4. It is written. <Table 2> shows the operation state of the scan circuit 103, and writes a data pattern which is likely to cause a defect due to interference effects between memory cells using the output P of the pattern generator 102 of FIG. Can be tested effectively.

DD SSSS PP QQ 00 00 XX 00 1One 00 XX 1One XX 1One 00 00 XX 1One 1One 1One

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible in the art without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary knowledge.

상기한 바와 같은 본 발명은, 회로내부에 있는 메모리를 시험하는데 있어서 시험장치를 이용함으로써, 시험 패턴을 통하여 입력 데이터를 인가하여, 정상동작 여부를 확인할 수 있고 메모리셀에서 데이터가 고정되어 있는 고착형 불량뿐만 아니라, 데이터를 변화시킬 때 데이터가 변화되지 않는 천이불량(Transition fault)과 셀의 상태가 전이할 때 정적인 유도(Electrostatic coupling) 때문에 다른 셀에 상태천이를 야기하는 유도성 불량(Coupling fault)을 검출함으로써 메모리셀의 불량을 자동적으로 검출할 수 있고, 또한 메모리의 불량을 외부에서 자동적으로 검출할 수 있으므로, 시스템의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, by using a test apparatus for testing a memory in a circuit, input data is applied through a test pattern to confirm normal operation, and a fixed type in which data is fixed in a memory cell. In addition to failures, Coupling faults cause state transitions to other cells due to transition faults that do not change data when the data changes, and electrostatic coupling when the cell's state transitions. ), The defect of the memory cell can be detected automatically, and the defect of the memory can be detected automatically from the outside, thereby improving the reliability of the system.

Claims (5)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 반도체소자 회로내부의 메모리를 시험하는데 있어서,In testing the memory inside the semiconductor device circuit, 시험패턴을 발생시키는 시험패턴 발생수단 - 상기 시험패턴 발생수단은, 데이터 선택 입력(SDI)로 부터 입력을 받는 제 1 플립플롭, 상기 제 1 플립플롭의 출력 Q1 와Q1를 입력으로 하는 제 2 플립플롭, 상기 제 2 플립플롭의 출력 Q2 와Q2를 입력으로 하는 제 3 플립플롭, 상기 제 3 플립플롭의 출력 Q3 와Q3를 입력으로 하는 제 4 플립플롭, 상기 제 3 플립플롭의 출력 Q3 와 상기 제 4 플립플롭의 출력 Q4 를 입력으로 한 익스크르시브 오와 게이트(Exclusive OR Gate) 및 상기 플립플롭들의 출력 Q 와 스캔 선택 입력을 이용한 출력 회로를 포함함 - ;Test pattern generating means for generating a test pattern-The test pattern generating means includes: a first flip flop that receives an input from a data selection input (SDI), and a second flip that receives outputs Q1 and Q1 of the first flip flop A flop, a third flip-flop having the outputs Q2 and Q2 of the second flip-flop as inputs, a fourth flip-flop having the outputs Q3 and Q3 of the third flip-flop as inputs, and an output Q3 and the output of the third flip-flop An Exclusive OR Gate with the output Q4 of the fourth flip-flop as an input and an output circuit using the output Q and the scan select input of the flip-flops; 내부 회로로부터 발생하는 정상 데이터와 상기 시험패턴 발생수단으로부터 발생한 시험패턴 데이터를 선택하는 데이터 선택수단;Data selecting means for selecting normal data generated from an internal circuit and test pattern data generated from the test pattern generating means; 상기 데이터 선택수단에 의해 선택된 데이터를 메모리 셀에 입력하는 데이터 입력수단;Data input means for inputting data selected by the data selecting means into a memory cell; 메모리 셀로부터 데이터를 출력하는 데이터 출력수단;Data output means for outputting data from the memory cell; 상기 데이터 입력수단의 입력데이터와 상기 데이터 출력수단의 출력데이터를 비교하여 메모리 셀의 불량여부를 판별하는 데이터 비교수단; 및Data comparison means for comparing the input data of the data input means with the output data of the data output means to determine whether a memory cell is defective; And 상기 데이터 비교수단의 비교결과, 메모리 셀에 불량이 발생한 경우 시스템 클럭을 중단하게 하고, 불량이 아닌 경우 시스템 클럭을 계속 발생하는 시스템 제어수단As a result of the comparison of the data comparing means, the system control means stops the system clock when a failure occurs in the memory cell, and continuously generates the system clock when the failure does not occur. 을 포함하는 회로내부의 메모리 자동 시험장치.Automatic memory test device in the circuit comprising a. 반도체소자 회로내부의 메모리를 시험하는데 있어서,In testing the memory inside the semiconductor device circuit, 시험패턴을 발생시키는 시험패턴 발생수단;Test pattern generating means for generating a test pattern; 내부 회로로부터 발생하는 정상 데이터와 상기 시험패턴 발생수단으로부터 발생한 시험패턴 데이터를 선택하는 데이터 선택수단 - 상기 데이터 선택수단은, 상기 시험패턴 발생수단의 출력과 스캔 선택신호를 입력으로 하는 제 1 엔드 게이트(AND Gate), 스캔 선택신호의 부신호(reverse)와 내부 회로에서 발생하는 정상 데이터 신호를 입력으로 하는 제 2 엔드 게이트(AND Gate), 상기 제 1 , 제 2 엔드 게이트(AND Gate)의 출력을 입력으로 하는 오와 게이트(OR Gate) 및 상기 오와 게이트(OR Gate)의 출력을 입력으로 하는 플립플롭을 포함함 - ;Data selecting means for selecting normal data generated from an internal circuit and test pattern data generated from the test pattern generating means, wherein the data selecting means comprises: a first end gate for inputting an output of the test pattern generating means and a scan selection signal; (AND Gate), a second end gate for inputting a reverse signal of the scan selection signal and a normal data signal generated from an internal circuit, and outputs of the first and second end gates. An OR gate having an input and a flip-flop having an output of the OR gate; 상기 데이터 선택수단에 의해 선택된 데이터를 메모리 셀에 입력하는 데이터 입력수단;Data input means for inputting data selected by the data selecting means into a memory cell; 메모리 셀로부터 데이터를 출력하는 데이터 출력수단;Data output means for outputting data from the memory cell; 상기 데이터 입력수단의 입력데이터와 상기 데이터 출력수단의 출력데이터를 비교하여 메모리 셀의 불량여부를 판별하는 데이터 비교수단; 및Data comparison means for comparing the input data of the data input means with the output data of the data output means to determine whether a memory cell is defective; And 상기 데이터 비교수단의 비교결과, 메모리 셀에 불량이 발생한 경우 시스템 클럭을 중단하게 하고, 불량이 아닌 경우 시스템 클럭을 계속 발생하는 시스템 제어수단As a result of the comparison of the data comparing means, the system control means stops the system clock when a failure occurs in the memory cell, and continuously generates the system clock when the failure does not occur. 을 포함하는 회로내부의 메모리 자동 시험장치.Automatic memory test device in the circuit comprising a.
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