KR100318390B1 - Field Emission Display - Google Patents
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Abstract
표시소자 내부에 잔류하는 수소를 효과적으로 제거하여 표시소자의 동작특성과 수명특성을 향상시키기 위한 전계 방출 표시소자로서, 전계 방출 표시소자는 투명한 제 1 및 제 2기판과, 상기 기판에 각각 라인 패턴으로 형성되는 캐소드 전극 및 애노드 전극과, 상기 캐소드 전극에 형성되고 전계 형성에 따라 전자를 방출하는 에미터와, 상기 애노드 전극에 형성되는 형광막과, 상기 두장의 기판중 적어도 어느 하나의 기판에 제공되며, 배기 후 잔류하는 수소와 화학 반응하여 수소를 흡수하는 수소 저감수단을 포함한다.A field emission display device for effectively removing hydrogen remaining inside a display device to improve operating and life characteristics of the display device. The field emission display device includes a transparent first and second substrates and a line pattern on the substrate, respectively. A cathode electrode and an anode electrode formed on the cathode electrode; an emitter formed on the cathode electrode and emitting electrons according to the formation of an electric field; a fluorescent film formed on the anode electrode; and at least one of the two substrates. And hydrogen reduction means for absorbing hydrogen by chemically reacting with hydrogen remaining after exhausting.
상기 수소 저감수단은 수소저장합금으로 이루어지는 게터로서, 상기 게터는 배기 과정에서 가열되어 수소를 방출시킨 다음, 배기 완료 및 봉입 후 상온으로 냉각된 상태에서 표시소자 내부에 잔류하는 수소를 포집한다.The hydrogen reducing means is a getter made of a hydrogen storage alloy. The getter is heated in an exhaust process to release hydrogen, and then collects hydrogen remaining in the display element in a state of cooling to room temperature after completion of exhaust and encapsulation.
Description
본 발명은 전계 방출 표시소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 배기 공정후 표시소자 내부에 잔류하는 수소를 효과적으로 제거하여 표시소자의 동작특성과 수명특성을 향상시킬 수 있도록 하는 전계 방출 표시소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field emission display device, and more particularly, to a field emission display device capable of effectively removing hydrogen remaining in a display device after an exhaust process to improve operation and life characteristics of the display device. .
일반적으로 전계 방출 표시소자(FED;Field Emission Display)는 양자역학적인 터널링 효과를 이용하여 캐소드 전극에 형성된 에미터에서 전자를 방출시키고, 방출된 전자는 애노드 전극에 형성된 형광체에 충돌하여 상기 형광체를 여기시킴으로써 소정의 화상을 구현하는 표시소자이다.In general, a field emission display (FED) emits electrons from an emitter formed on the cathode electrode using a quantum mechanical tunneling effect, and the emitted electrons collide with the phosphor formed on the anode electrode to excite the phosphor. This is a display element for implementing a predetermined image.
이를 위하여 전계 방출 표시소자는 캐소드 전극과 전자 방출용 냉음극 물질인 에미터를 형성하는 제 1기판과, 애노드 전극과 형광막을 형성하는 제 2기판을스페이서 등과 함께 조립하여 이루어지는데, 이 때 표시소자 내부는 대략 10-7~ 10-10토르(torr) 정도의 고진공을 유지해야 한다.To this end, the field emission display device is formed by assembling a first substrate forming a cathode electrode and an emitter as a cold cathode material for electron emission, and a second substrate forming an anode electrode and a fluorescent film together with a spacer, etc. The interior should maintain a high vacuum of approximately 10 -7 to 10 -10 torr.
이와 같은 고진공이 요구되는 첫번째 이유는 에미터의 일함수(work function)를 일정치로 유지하기 위해서이다.The first reason this high vacuum is required is to keep the emitter work function constant.
상기 에미터의 일함수는 그 값이 낮아질수록 낮은 전계에서도 큰 전류를 얻을 수 있으므로 표시소자의 구동에 유리한 특성을 갖는데, 에미터의 표면으로 잔류 기체가 흡착되면 상기한 에미터의 일함수값은 대략 25~50% 정도의 큰 변화율을 보이므로, 일함수를 일정치로 유지하기 위해서는 고진공이 필수적이다.As the work function of the emitter is lowered, a larger current can be obtained even at a lower electric field, which is advantageous for driving the display device. When the residual gas is adsorbed onto the surface of the emitter, the work function of the emitter is Since the rate of change is about 25-50%, high vacuum is essential to maintain a constant work function.
그리고 고진공이 요구되는 두번째 이유는 3극관형 전계 방출 표시소자의 경우, 에미터 팁과 게이트 전극이 1 마이크론 정도로 근접 위치하기 때문이다.The second reason why high vacuum is required is that the emitter tip and the gate electrode are located close to 1 micron in the case of the tripolar field emission display.
상기 3극관형은 제 1기판에 게이트 전극과 선단이 뾰족한 에미터 팁을 형성하여 게이트 전극과 에미터 팁 사이의 전계 형성에 따라 전자를 방출시키는 구조로서, 10V 정도의 게이트 전압이 105V/cm 정도의 전계를 도출함으로써 잔류 가스들을 이온화시킬 수 있는데, 이러한 기체 방전은 방출된 전자의 궤적을 변경시키거나 양이온에 의해 에미터 팁을 스퍼터링 시킬 수 있으므로 표시특성을 저하시킨다.The triode has a structure that emits electrons according to the formation of an electric field between the gate electrode and the emitter tip by forming an emitter tip having a sharp tip and a gate electrode on the first substrate. The gate voltage of about 10V is about 105V / cm. Residual gases can be ionized by deriving an electric field of. This gas discharge can alter the trajectory of the emitted electrons or sputter the emitter tip with cations, thus degrading display characteristics.
다음으로 고진공이 요구되는 세번째 이유는 배기 후 잔류 기체내에 수증기, 산소 및 CH4등이 존재할 경우 형광체의 수명을 저하시키는 등 표시소자의 수명특성을 악화시키기 때문이다.The third reason why high vacuum is required is that when the presence of water vapor, oxygen, and CH 4 in the residual gas after exhausting deteriorates the lifetime characteristics of the display device, such as reducing the lifetime of the phosphor.
이에 따라 배기 공정 후 표시소자 내부에 잔류하는 가스를 제거하고 진공도를 향상시키기 위하여 게터(getter)를 사용하고 있다.Accordingly, a getter is used to remove the gas remaining in the display element after the exhaust process and to improve the degree of vacuum.
일반적으로 상기 게터는 증발성(evaporable) 바륨 게터가 주로 사용되는데, 상기 바륨 게터는 게터 지지체에 바륨이 도포된 것으로서, 가열시 증발된 바륨이 표시소자 내부의 가스들과 결합하여 얇은 필름막을 형성함으로써 잔류 가스를 제거하고 진공도를 향상시키게 된다. 이러한 바륨 게터는 주로 산소와 물분자를 흡수한다.In general, the getter is mainly used as an evaporable barium getter, and the barium getter is obtained by applying barium to a getter support, and the barium evaporated when heated combines with gases inside the display device to form a thin film film. This will remove residual gas and improve the degree of vacuum. These barium getters mainly absorb oxygen and water molecules.
그러나 잔류 가스중의 많은 부분을 차지하는 수소는 상기 바륨 게터에 잘 흡수되지 않는데, 이렇게 잔류 가스내에 수소 비중이 높아지면 표시소자의 수명이 저하되고 전자 방출량이 감소하는 등 표시소자의 품질이 저하된다. 특히 전계 방출 표시소자는 음극선관이나 형광표시관에 비하여 내부 체적이 극히 작기 때문에, 내부에 잔류하는 수소의 영향력이 더욱 증가하는 불리한 점이 있다.However, hydrogen, which occupies a large portion of the residual gas, is not absorbed well by the barium getter. When the hydrogen specific gravity in the residual gas is increased, the display element quality is reduced, such as the lifetime of the display element and the amount of electron emission decrease. In particular, the field emission display device has a disadvantage that the influence of hydrogen remaining therein is further increased because the internal volume is extremely small compared to the cathode ray tube or the fluorescent display tube.
따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 고안된 것으로서, 본 발명의 목적은 배기 공정후 표시소자 내부에 잔류하는 수소를 효과적으로 제거하여 표시소자의 동작특성과 수명특성을 향상시킬 수 있는 전계 방출 표시소자를 제공하는데 있다.Therefore, the present invention was devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to effectively remove hydrogen remaining in the display element after the exhaust process, thereby improving the operating characteristics and life characteristics of the display element. To provide.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 의한 전계 방출 표시소자의 단면도.1 is a cross-sectional view of a field emission display device according to a first embodiment of the present invention.
도 2는 3극관형 전계 방출 표시소자의 단면도.2 is a cross-sectional view of a triode type field emission display device;
도 3은 본 발명의 제 2실시예에 의한 전계 방출 표시소자의 단면도.3 is a cross-sectional view of a field emission display device according to a second embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 제 3실시예에 의한 전계 방출 표시소자의 단면도.4 is a cross-sectional view of a field emission display device according to a third embodiment of the present invention.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,In order to achieve the above object, the present invention,
제 1 및 제 2기판과, 상기 제 1 및 제 2기판에 각각 라인 패턴으로 형성되는 캐소드 전극 및 애노드 전극과, 상기 캐소드 전극에 형성되고 캐소드 전극과 애노드 전극 사이의 전계 형성에 따라 전자를 방출하는 에미터와, 상기 애노드 전극에 형성되고 에미터에서 방출된 전자를 제공받아 발광하는 형광막과, 상기 두장의 기판중 적어도 어느 하나의 기판에 제공되며, 배기 후 잔류하는 수소와 화학 반응하여 수소를 흡수하는 수소 저감수단을 포함하는 전계 방출 표시소자를 제공한다.Cathode and anode electrodes formed in a line pattern on the first and second substrates and the first and second substrates, respectively, and are formed on the cathode and emit electrons according to the formation of an electric field between the cathode and the anode electrodes. An emitter, a fluorescent film formed on the anode and receiving electrons emitted from the emitter and emitting light, and provided on at least one of the two substrates, and chemically reacting with hydrogen remaining after exhausting to form hydrogen A field emission display device comprising absorbing hydrogen reducing means is provided.
상기 수소 저감수단은 수소저장합금으로 이루어지는 게터로서, 상기 게터는 배기 과정에서 가열되어 수소를 방출시키며, 배기 완료 및 봉입 후에 상온으로 냉각되어 표시소자 내부에 잔류하는 수소를 포집한다.The hydrogen reducing means is a getter made of a hydrogen storage alloy. The getter is heated in an exhaust process to release hydrogen, and is cooled to room temperature after completion of exhaust and encapsulation to collect hydrogen remaining in the display element.
이로서 표시소자 내부에 잔류하는 수소를 효과적으로 제거할 수 있으며, 표시소자의 진공도를 향상시킬 수 있는 장점을 갖는다.As a result, hydrogen remaining in the display device can be effectively removed, and the vacuum degree of the display device can be improved.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 의한 전계 방출 표시소자의 단면도로서, 전계 방출 표시소자는 실란트(2)와 스페이서(4)에 의해 소정의 간격을 두고 밀봉 배치되는 투명한 제 1기판(10) 및 제 2기판(20)과, 제 1기판(10)에 라인 패턴으로 형성되는 캐소드 전극(12)과, 상기 캐소드 전극(12) 패턴과 수직으로 교차하도록 제 2기판(20)에 라인 패턴으로 형성되는 애노드 전극(22)을 포함한다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a field emission display device according to a first embodiment of the present invention, wherein the field emission display device is a transparent first substrate 10 sealedly disposed at predetermined intervals by a sealant 2 and a spacer 4. ) And the second substrate 20, the cathode electrode 12 formed in a line pattern on the first substrate 10, and the line pattern on the second substrate 20 so as to perpendicularly intersect the pattern of the cathode electrode 12. An anode electrode 22 is formed.
그리고 상기 캐소드 전극(12)에는 전자방출물질, 일례로 다이아몬드상 카본(DLC)이나 흑연분말 또는 카본 섬유 등으로 이루어지는 에미터(14)가 위치하며, 에미터(14)와 마주하는 애노드 전극(22)의 일면으로는 각각의 녹, 청, 적 형광막(24)이 위치한다.The cathode electrode 12 includes an electron-emitting material, for example, an emitter 14 made of diamond-like carbon (DLC), graphite powder, carbon fiber, or the like, and an anode electrode 22 facing the emitter 14. Each green, blue and red fluorescent film 24 is located on one surface of
이로서 캐소드 전극(12)과 애노드 전극(22)으로 소정의 전압 패턴을 인가하면, 캐소드 전극(12)과 애노드 전극(22)에 인가된 전압 차이에 따라 전계가 형성되어 에미터(14)에서 전자(점선으로 도시)를 방출시키고, 방출된 전자는 형광막(24)에 충돌하여 형광체를 여기시킴으로써 소정의 화상을 구현하게 된다.As a result, when a predetermined voltage pattern is applied to the cathode electrode 12 and the anode electrode 22, an electric field is formed according to the voltage difference applied to the cathode electrode 12 and the anode electrode 22, and electrons are emitted from the emitter 14. (Shown in dashed lines), and the emitted electrons collide with the fluorescent film 24 to excite the fluorescent material to implement a predetermined image.
이와 같이 캐소드 전극(12)과 애노드 전극(22)이 대향 배치된 구조를 2극관형이라 하며, 도 2에서 도시하는 바와 같이 캐소드 전극(12)의 일면에 절연막(16)과 게이트 전극(18)을 더욱 형성하고, 게이트 전극(18)과 절연막(16)이 식각된 공간 내부로 몰리브덴이나 실리콘 등의 에미터 형성물질을 적층시켜 에미터(14)를 선단이 뾰족한 첨탑 모양으로 형성한 구조를 3극관형이라 한다.Thus, the structure in which the cathode electrode 12 and the anode electrode 22 are disposed opposite to each other is called a bipolar tube type, and as shown in FIG. 2, the insulating film 16 and the gate electrode 18 are formed on one surface of the cathode electrode 12. And the emitter 14 is formed into a spire shape with a sharp tip by stacking an emitter forming material such as molybdenum or silicon into the space where the gate electrode 18 and the insulating film 16 are etched. It is called a polar tube type.
상기 3극관형 전계 방출 표시소자는 캐소드 전극(12)과 게이트 전극(18)에 인가된 전압 차이에 따라 에미터(14)의 뾰족한 선단 부근에서 전계가 형성되어 에미터(14)의 선단부에서 전자를 방출시키는 구조를 이룬다.In the triode type field emission display device, an electric field is formed near the sharp tip of the emitter 14 according to the voltage difference applied to the cathode electrode 12 and the gate electrode 18, and electrons are generated at the tip of the emitter 14. It forms a structure to release.
이와 같은 2극관형과 3극관형 전계 방출 표시소자는 모두 제 1 및 제 2기판(10, 20) 사이의 내부 공간을 고진공으로 형성해야 하므로 진공 펌프를 이용, 표시소자 내부를 배기시키게 된다. 그러나 배기 후, 표시소자 내부에는 수소가스가 잔류하여 표시특성과 수명특성을 저하시키므로, 이를 방지하기 위하여 본 실시예에 의한 전계 방출 표시소자는 수소 저감수단을 제공한다.Since both the bipolar and tripolar field emission display devices have to form a high vacuum in the internal space between the first and second substrates 10 and 20, the inside of the display device is evacuated using a vacuum pump. However, after exhausting, since the hydrogen gas remains inside the display element to degrade the display characteristics and the lifetime characteristics, the field emission display element according to the present embodiment provides a hydrogen reduction means in order to prevent this.
상기 수소 저감수단은 수소와 화학반응하여 수소를 흡수할 수 있는 게터(30)로 제공되는바, 보다 구체적으로 상기 게터(30)는 수소저장합금으로 이루어진다.The hydrogen reducing means is provided as a getter 30 capable of absorbing hydrogen by chemical reaction with hydrogen, more specifically the getter 30 is made of a hydrogen storage alloy.
상기 수소저장합금은 온도 변화에 따라 수소를 흡수하거나 방출하는 역할을수행하는 합금으로서, 금속 원소가 수소를 흡수하여 수소화물을 형성할 때 열을 방출하는 발열형 금속과, 열을 흡수하는 흡열형 금속을 조합하여 수소의 흡장 방출을 가능케하는 합금을 말한다.The hydrogen storage alloy is an alloy that absorbs or releases hydrogen according to temperature change, and an exothermic metal that releases heat when a metal element absorbs hydrogen to form hydride, and an endothermic type that absorbs heat. An alloy that combines metals to enable occlusion and release of hydrogen.
이러한 수소저장합금으로 이루어지는 게터(30)는 도시하는 바와 같이 제 1기판(10)의 일면, 즉 라인 패턴으로 형성되는 캐소드 전극(12) 사이에 적어도 한개 이상이 부착될 수 있으며, 이로서 배기 과정에서 상기 게터(30)를 가열하여 수소를 방출시킨 다음, 봉입후 상온으로 냉각된 상태에서 상기 게터(30)는 표시소자 내부에 잔류하는 수소를 합금 내부로 흡장하게 된다.At least one getter 30 including the hydrogen storage alloy may be attached to one surface of the first substrate 10, that is, between the cathode electrodes 12 formed in a line pattern, and thus, in the exhaust process. The getter 30 is heated to release hydrogen, and in the state where the getter 30 is cooled to room temperature after being sealed, the getter 30 occludes hydrogen remaining in the display element into the alloy.
이에 따라 배기 후 표시소자 내부에 잔류하는 수소를 효과적으로 제거할 수 있으며, 진공도를 더욱 향상시킬 수 있는바, 이와 같이 게터(30)로 사용되는 수소저장합금으로는 다음의 종류가 특히 바람직하다.Accordingly, the hydrogen remaining in the display element after the exhaust can be effectively removed, and the degree of vacuum can be further improved. Thus, the following types of hydrogen storage alloys used as the getter 30 are particularly preferable.
즉, 상술한 바와 같이 발열형 금속을 A, 흡열형 금속을 B로 나타내면, AB형 합금으로서 TiCu, FeTi 및 ZrX(X는 할로겐 원소)가 바람직하며, AB2형 합금으로서 ZrFe2, ZrCo2, YMn2, EuFe2및 HfV2가 바람직하다.That is, the above represents a heat emission type metal A, the heat absorbing metal as described in B, an AB type alloys TiCu, FeTi and ZrX and the (X is a halogen atom) is preferred, ZrFe 2, ZrCo 2 as an AB 2 type alloy, Preference is given to YMn 2 , EuFe 2 and HfV 2 .
그리고 AB5형 합금으로서 LaNi5, LaCo5, CaNi5, LaPd5, LaCr5, ZrNi5, ThNi5, ThCo5및 LaCu5이 바람직하며, A2B 합금으로서 Mg2Ni, Be2Ti, Be2Zr, Be2Hf 및 Ca2Ru가 바람직하다.As the AB 5 type alloy, LaNi 5 , LaCo 5 , CaNi 5 , LaPd 5 , LaCr 5 , ZrNi 5 , ThNi 5 , ThCo 5 and LaCu 5 are preferable, and as the A 2 B alloy, Mg 2 Ni, Be 2 Ti, Be 2 Zr, Be 2 Hf and Ca 2 Ru are preferred.
또한 상기한 종류 이외의 합금으로서 FexMyTi(M=Co, Cr, Cu, Mn, Mo, Ni, Nb또는 V, x=0.6∼1, y=0∼1), Y2Co7, CazEu1-zNi5(z=0∼0.6), Y6Mn23, Zr3Ru, TiMn1.5, Pd83Zr17, Ni78Si8B14, Pd35Zr65, Cu45Ti55, Zr70Ni30, Ho6Fe 및 Ce가 바람직하다.As alloys other than those described above, Fe x M y Ti (M = Co, Cr, Cu, Mn, Mo, Ni, Nb or V, x = 0.6 to 1, y = 0 to 1), Y 2 Co 7 , Ca z Eu 1-z Ni 5 (z = 0 to 0.6), Y 6 Mn 23 , Zr 3 Ru, TiMn 1.5 , Pd 83 Zr 17 , Ni 78 Si 8 B 14 , Pd 35 Zr 65 , Cu 45 Ti 55 , Zr 70 Ni 30 , Ho 6 Fe and Ce are preferred.
이와 같은 종류의 수소저장합금으로 제작되는 게터(30)는 배기 과정시 가열되어 합금내부에 흡장된 수소를 대부분 방출시키며, 이후 봉입 완료후 상온 상태에서 표시소자 내부에 잔류하는 수소와 화학반응하여 상기 수소를 합금 내부로 흡장시킴으로써 표시소자 내부의 수소를 효과적으로 제거한다.The getter 30 made of this type of hydrogen storage alloy is heated during the exhaust process and releases most of the hydrogen stored in the alloy. After the completion of the encapsulation, the getter 30 is chemically reacted with hydrogen remaining in the display device at room temperature. The hydrogen inside the display element is effectively removed by occluding hydrogen into the alloy.
이러한 게터(30)는 제 1기판(10)에 부착되는 실시예 이외에, 도 3에서 도시하는 바와 같이 제 2기판(20)에 적어도 하나 이상으로 부착될 수 있으며, 보다 바람직하게는 애노드 전극(22)들 사이에 부착될 수 있다.The getter 30 may be attached to at least one of the second substrate 20 as shown in FIG. 3 in addition to the embodiment attached to the first substrate 10, and more preferably, the anode electrode 22. ) Can be attached between them.
또한 상기 게터(30)는 다른 실시예로서 도 4에서 도시하는 바와 같이 배기관(40) 내부에 부착될 수 있다. 상기 배기관(40)은 표시소자 내부의 공간을 진공 펌프(42)와 연결하는 통로로서, 이를 위하여 배기관(40)의 끝단부는 제 1기판(10)을 관통하는 배기구(10a)에 부착되며, 배기 완료후 특정 부분이 고온으로 가열되어 융착됨으로써 표시소자를 외부로부터 밀봉시키게 된다.In addition, the getter 30 may be attached to the exhaust pipe 40 as shown in FIG. 4 as another embodiment. The exhaust pipe 40 is a passage for connecting the space inside the display element with the vacuum pump 42. For this purpose, an end of the exhaust pipe 40 is attached to the exhaust port 10a penetrating through the first substrate 10. After completion, the specific portion is heated to a high temperature to be fused to seal the display element from the outside.
따라서 상기 게터(30)는 융착후에도 표시소자에 부착된 상태로 존재하는 배기관(40)의 내벽에 부착되어, 봉입 후 상온에서 잔류하는 수소와 화학반응하여 표시소자에 잔류하는 수소를 흡수할 수 있는 것이다.Therefore, the getter 30 is attached to the inner wall of the exhaust pipe 40, which remains attached to the display element even after fusion, thereby absorbing the hydrogen remaining in the display element by chemically reacting with hydrogen remaining at room temperature after being sealed. will be.
이와 같이 본 발명에 의한 전계 방출 표시소자는 수소저장합금으로 이루어진 게터에 의해 수소를 효과적으로 흡수하여 표시소자의 동작특성과 수명특성을 향상시킬 수 있는 장점을 갖는다.As described above, the field emission display device according to the present invention has an advantage of effectively absorbing hydrogen by a getter made of a hydrogen storage alloy to improve operating characteristics and lifetime characteristics of the display device.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the range of.
이와 같이 본 발명은 수소저장합금으로 게터를 제작함으로써 진공 형성을 위한 배기 후, 표시소자 내부에 잔류하는 수소를 효과적으로 제거할 수 있으며, 표시소자의 진공도를 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다.As described above, the present invention can effectively remove hydrogen remaining in the display element after exhausting the vacuum to form the getter by using the hydrogen storage alloy, and has an effect of improving the vacuum degree of the display element.
Claims (11)
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| KR1019990013561A KR100318390B1 (en) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | Field Emission Display |
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