KR100271517B1 - Confinement method of dopants in optical fiber core - Google Patents

Confinement method of dopants in optical fiber core Download PDF

Info

Publication number
KR100271517B1
KR100271517B1 KR1019980001216A KR19980001216A KR100271517B1 KR 100271517 B1 KR100271517 B1 KR 100271517B1 KR 1019980001216 A KR1019980001216 A KR 1019980001216A KR 19980001216 A KR19980001216 A KR 19980001216A KR 100271517 B1 KR100271517 B1 KR 100271517B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
reaction tube
core
core layer
dopant
heating
Prior art date
Application number
KR1019980001216A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR19990065776A (en
Inventor
김운하
정기태
서한교
조윤희
전정우
고석봉
권오덕
최성일
박상욱
Original Assignee
이계철
한국전기통신공사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이계철, 한국전기통신공사 filed Critical 이계철
Priority to KR1019980001216A priority Critical patent/KR100271517B1/en
Publication of KR19990065776A publication Critical patent/KR19990065776A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100271517B1 publication Critical patent/KR100271517B1/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01807Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00Type of glass produced
    • C03B2201/06Doped silica-based glasses
    • C03B2201/30Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi
    • C03B2201/34Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi doped with rare earth metals, i.e. with Sc, Y or lanthanides, e.g. for laser-amplifiers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/80Feeding the burner or the burner-heated deposition site
    • C03B2207/81Constructional details of the feed line, e.g. heating, insulation, material, manifolds, filters
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/80Feeding the burner or the burner-heated deposition site
    • C03B2207/85Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid
    • C03B2207/87Controlling the temperature

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)

Abstract

PURPOSE: A method of dopant confinement against an optical fiber core is provided to be capable of confining dopant and sub additives of high density against the optical fiber core by performing a soot core deposition step after a collapse step. CONSTITUTION: First, in a sintered core deposition step, a substrate tube is heated to deposit particles on an inner wall of the tube while SiCl4 and O2 simultaneously flows in the substrate tube. Then, in a collapse step, the substrate tube is heated by the temperature over a glass softening point. Next, in a soot core layer deposition step, the substrate tube is heated under the temperature at which the sintering process isn't occurred while SiCl4 flows in the substrate, thereby depositing SiCl4 on the inner wall of the sintered core.

Description

광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법How to constrain the dopant to the fiber core

본 발명은 일반적으로는 희토류 원소가 첨가된 광증폭 광섬유(Erbium Doped Fiber : EDF)와 그 제조 방법에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 희토류 원소 첨가 광섬유 모재(preform)의 제조시에 광섬유의 코어(core) 전체 또는 일부분에 도펀트인 희토류 원소 (에르븀 등) 및 부첨가물 (특히, 알루미늄)을 효과적으로 첨가하는 방법과 코어 중심에서의 굴절률 딥(dip)을 효과적으로 보상하는 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates generally to optically amplified optical fiber (Erbium Doped Fiber (EDF)) to which rare earth elements have been added and to a method of manufacturing the same. The present invention relates to a method of effectively adding a rare earth element (erbium and the like) and an auxiliary additive (particularly aluminum) to all or a part of the method, and a method of effectively compensating a refractive index dip at a core center.

보편적으로 광섬유 코어에 희토류 원소를 첨가시키는 방법에는 여러 가지 방법이 있으나 크게 액상법(solution doping method)과 기상법(vapor phase doping method)으로 나누어질 수 있다.Generally, there are various methods of adding rare earth elements to the optical fiber core, but they can be largely divided into a solution doping method and a vapor phase doping method.

액상법은 희토류 원소(Er, Yb, La, Nd, Pr 등)와 부첨가물(Al 등)을 용매(물, 에탄올 등)에 용해시켜 다공성(porous)의 광섬유 코어 부분에 침적시킨후, 고온에서 유리화하여 광섬유 모재를 제조하는 방법이다. 이 방법은 기존의 단일 모드 광섬유 제조 방법을 크게 변경하지 않고도 희토류 원소가 첨가된 광섬유를 제조할 수 있다는 장점이 있으나, 에르븀 도핑을 위한 제조 방법 중 반응 튜브(substrate tube)를 개량 화학 증착(modified chemical vapor deposition : MCVD) 선반(lathe)에서 떼어내서 희토류가 첨가된 용액에 담근 후 다시 선반에 장착해야만 하는 단점이 있다. 따라서, 수분 등의 불순물에 오염(contamination)될 수 있으며 반응 튜브의 착탈로 인해 다른 제조 방법에 비해 제조 시간이 많이 걸린다.In the liquid phase method, rare earth elements (Er, Yb, La, Nd, Pr, etc.) and minor additives (Al, etc.) are dissolved in a solvent (water, ethanol, etc.) and deposited on a porous optical fiber core, followed by vitrification at high temperature. To produce an optical fiber base material. This method has the advantage of producing a rare-earth-doped optical fiber without significantly changing the conventional single-mode optical fiber manufacturing method, but modified chemical vapor deposition of the reaction tube in the manufacturing method for erbium doping Vapor Deposition (MCVD) There is a disadvantage that it must be removed from the lathe and soaked in the rare earth-added solution and then mounted on the lathe again. Therefore, it can be contaminated with impurities such as moisture and take much time compared with other manufacturing methods due to detachment of the reaction tube.

도 2는 광섬유의 코어에 도펀트를 첨가하는 방법 중 액상법에 의해 도펀트를 첨가하는 종래의 방법을 예시한다. 도 1a, 도 1b, 및 도 2를 참고하여, 이러한 종래의 희토류 원소 첨가 광섬유 모재 제조 방법을 설명하면, 광섬유 코어층 증착시에 광섬유 코어의 전부 또는 일부분을 완전히 소결(sintering)하지 않고 기공을 많이 포함하고 있는 수트 코어층(soot core layer)(14)을 형성한 다음 (단계(21)), 이 수트 코어층(14)에 도펀트(dopants)와 부첨가물(co-dopants)이 용해되어 있는 용액을 흡수시킨 후 (단계(22)), 건조 및 소결하여 도펀트와 부첨가물을 첨가시킨다 (단계(23)).2 illustrates a conventional method of adding a dopant by a liquid phase method among methods of adding a dopant to a core of an optical fiber. Referring to FIGS. 1A, 1B, and 2, this conventional rare earth element-added optical fiber base material manufacturing method will be described. When the optical fiber core layer is deposited, all pores or portions of the optical fiber core are not completely sintered, and a lot of pores are produced. After forming a soot core layer 14 containing (step 21), a solution in which the dopants and co-dopants are dissolved in the soot core layer 14 After absorbing (step 22), it is dried and sintered to add the dopant and the additive (step 23).

도 1a를 참고하여, 종래의 방법으로 희토류 원소인 에르븀(Er)과 부첨가물인 알루미늄(Al)이 도핑된 광섬유를 MCVD 방법에 의해 제조하는 과정을 예를 들어 더욱 자세히 설명하면, 기존의 희토류 원소 첨가 광섬유 모재 제조 방법은, 반응 튜브(substrate tube)(11) 내부에 광섬유 내부 클래드층(inner clad layer)(12)을 형성하고 광섬유 수트 코어층(14)을 증착한다 (단계(21)). 이렇게 형성된 석영 유리관 내분에 희토류 원소 (에르븀)와 부첨가물 (알루미늄)이 용해된 용액을 넣어 용액이 수트 코어층(14)에 골고루 침투하도록 한 다음 (단계(22)), 침투하지 않은 용액을 제거하고 수트 코어층을 건조 질소(dry N2) 가스로 건조시킨다 (단계(23)). 이렇게 건조된 반응 튜브(11)를 약 1800℃이상의 온도로 가열하여 수트 코어층(14)을 소결(sintering)한 후 (단계(23)), 약 2000℃의 고온으로 가열하여 중심의 홀(15)을 컬랩스(collapse)시켜 홀을 어느 정도 줄인 다음, 2000℃이상의 온도에서 홀을 완전히 제거하는 실링(sealing) 단계(24)를 거쳐 유리봉(rod) 형태로 만든다. 이로써 희토류 원소 첨가 광섬유의 모재가 만들어지며 이 모재를 약 2000℃의 전기로에서 가열하면서 인출(drawing)하여 광섬유로 만든다.Referring to FIG. 1A, a process of manufacturing an optical fiber doped with rare earth element erbium (Er) and an auxiliary additive aluminum (Al) by MCVD method will be described in more detail. The additive fiber base material manufacturing method forms an optical fiber inner clad layer 12 inside a reaction tube 11 and deposits an optical fiber soot core layer 14 (step 21). A solution containing rare earth elements (erbium) and a minor additive (aluminum) dissolved in the quartz glass tube powder thus formed is allowed to infiltrate the soot core layer 14 evenly (step 22), and then the non-penetrating solution is removed. And the soot core layer is dried with dry N 2 gas (step 23). The dried reaction tube 11 is heated to a temperature of about 1800 ° C. or more to sinter the soot core layer 14 (step 23), and then heated to a high temperature of about 2000 ° C. to form a central hole 15. ) To reduce the hole to some extent, and then form a glass rod through a sealing step 24 to completely remove the hole at a temperature of 2000 ° C. or higher. As a result, a base material of a rare earth element-added optical fiber is made, and the base material is drawn while heating in an electric furnace at about 2000 ° C. to make an optical fiber.

그런데, 기존의 희토류 원소 첨가 광섬유 모재 제조 방법은 광섬유 코어층을 형성한 다음 2000℃가 넘는 고온의 컬랩스 단계(24)를 거치기 때문에 게르마늄(Ge)이 아래 식에서처럼 GeO2에서 GeO와 O2로 분해되어 휘발되면서 광섬유 코어 중심의 굴절률을 떨어뜨리는 역할을 하는데 이를 코어 중심에서의 딥(dip)이라 한다.However, in the conventional rare earth element-added optical fiber base material manufacturing method, since the fiber core layer is formed and then subjected to a high temperature collapsing step 24 over 2000 ° C., germanium (Ge) from GeO 2 to GeO and O 2 as shown in As it is decomposed and volatilized, it acts to reduce the refractive index of the center of the optical fiber core.

[수학식 1][Equation 1]

2 GeO2(s) - GeO (g) + O2(g)2 GeO 2 (s)-GeO (g) + O 2 (g)

특히, 수트 코어층(21)은 기공이 많고(porous) 표면적이 넓어 게르마늄의 휘발을 촉진하며, 이로 인하여 코어층의 굴절률(refractive index)을 떨어뜨리며, 스텝 형태의 굴절률(step index profile) 분포가 요구되는 희토류 원소 첨가 광섬유의 굴절률 분포 제어를 어렵게하는 요인으로 작용한다.In particular, the soot core layer 21 is porous and has a large surface area to promote volatilization of germanium, thereby lowering the refractive index of the core layer and having a step index profile distribution in the form of a step. It acts as a factor that makes it difficult to control the refractive index distribution of the required rare earth element-added optical fiber.

또한, 종래의 방법은 부첨가물로서 사용되는 알루미늄의 확산(diffusion)을 촉진하는 역할을 한다. 일반적으로, 광섬유 코어 내에 첨가되는 알루미늄은 1600℃ 이상의 고온에서 쉽게 확산된다고 알려져 있다. 즉, 코어층에 첨가된 알루미늄은 2000℃ 이상의 고열로 가열되는 컬랩스 단계(24)를 거치게 되면 코어 중심에서 내부 클래드층(12)으로 확산되면서 코어 중심에서의 알루미늄 농도를 떨어뜨릴 뿐만 아니라 광섬유 내부 클래드층(12)으로 확산되어 코어를 확장시키고 코어의 원형성을 훼손시킨다.In addition, the conventional method serves to promote the diffusion of aluminum used as an additive. In general, aluminum added in the optical fiber core is known to diffuse easily at high temperatures of 1600 ° C or higher. That is, the aluminum added to the core layer is diffused from the center of the core to the inner cladding layer 12 when subjected to the collapsing step 24 which is heated at a high temperature of 2000 ° C. or higher. Diffusion into clad layer 12 expands the core and impairs the circularity of the core.

종래 방법의 이러한 알루미늄 확산 현상은 또한 에르븀(Er) 원소의 확산을 촉진하는 역할을 하게 된다. 즉, 에르븀은 알루미늄에 구속(confinement)되어 알루미늄과 같이 확산하면서 코어 중심에서의 에르븀 농도를 떨어뜨리게 된다. 이것은 코어 중심에 에르븀 원소 및 알루미늄을 구속시켜야만하는 제조 공정에서 중대한 단점이 된다.This aluminum diffusion phenomenon of the conventional method also serves to promote the diffusion of the erbium (Er) element. That is, erbium is confined to aluminum and diffuses like aluminum, thereby lowering erbium concentration at the core center. This is a significant disadvantage in the manufacturing process, where the elemental erbium and aluminum must be constrained to the core center.

본 발명은 상기에 기술한 바와 같은 종래 문제점을 감안하여, 광섬유 코어에 고농도의 도펀트 및 부첨가물을 구속하는 희토류 원소 첨가 광섬유를 제조하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the conventional problems as described above, and an object thereof is to produce a rare earth element-added optical fiber that constrains a high concentration of dopants and subadditives to an optical fiber core.

본 발명의 다른 목적은, 희토류 원소 첨가 광섬유의 제조시 희토류 원소 및 부첨가물 (특히, 알루미늄)을 코어 중심에 고농도로 첨가하고, 알루미늄의 확산을 방지하여 굴절률 분포를 스텝 형태에 가깝게 만드는 광섬유 모재 제조 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to prepare an optical fiber base material in which a rare earth element and an additive (particularly, aluminum) are added at a high concentration in the center of the core in the manufacture of the rare earth element-added optical fiber, and the diffusion of aluminum is prevented to make the refractive index distribution close to the step shape To provide a way.

제1a도는 본 발명에 따른 광섬유 코어층 제조 방법을 예시하기 위한 도면, 제1b도는 본 발명에 따른 광섬유 코어의 측단면도를 도시하는 도면.1A is a diagram for illustrating a method of manufacturing an optical fiber core layer according to the present invention, and FIG. 1B is a side cross-sectional view of the optical fiber core according to the present invention.

제2도는 종래 기술에 따른 액상법에 의해 광섬유 코어에 도펀트를 첨가하는 방법을 예시하는 도면.2 illustrates a method of adding a dopant to an optical fiber core by a liquid phase method according to the prior art.

제3도는 본 발명에 따라 광섬유 코어에 도펀트를 첨가하는 방법을 예시하는 도면.3 illustrates a method of adding a dopant to an optical fiber core in accordance with the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

11 : 반응 튜브 12 : 내부 클래드층11: reaction tube 12: inner clad layer

13 : 소결 코어층 14 : 수트 코어층13: sintered core layer 14: soot core layer

15 : 홀15: hall

상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서는 희토류 원소 첨가 광섬유의 코어에 도펀트를 첨가시킬 때 상기 도펀트를 구속하기 위한 방법으로, 반응 튜브 내부로 반응물을 흘리면서 반응 튜브를 가열하여 반응 튜브 내벽에 증착하여 소결시키는 소결된 코어층 증착 단계와; 상기 소결된 코어층이 내벽에 증착된 상기 반응 튜브를 유리의 연화점 이상의 높은 온도로 가열하는 컬랩스 단계; 및 다공성의 수트 코어 층을 소결이 일어나지 않는 낮은 온도에서 상기 소결된 코어층 내벽에 증착시키는 수트 코어층 증착 단계를 포함하며; 컬랩스 단계 후 수트 코어층 증착 단계를 실시하고 컬랩스 공정 전에 소결된 코어층 증착 단계를 실시하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention is a method for restraining the dopant when the dopant is added to the core of the rare earth element-added optical fiber, by heating the reaction tube while flowing the reactant into the reaction tube and deposited on the inner wall of the reaction tube Sintered core layer deposition step of sintering; A collapsing step of heating the reaction tube having the sintered core layer deposited on an inner wall to a high temperature above the softening point of glass; And a soot core layer deposition step of depositing a porous soot core layer on the inner wall of the sintered core layer at a low temperature where sintering does not occur; A soot core layer deposition step is performed after the collabs step and a sintered core layer deposition step is performed before the collabs process.

상술한 목적 및 특징들, 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이다. 이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.The above objects, features, and advantages will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3을 참고하면, 본 발명에 따라 광섬유 코어에 도펀트를 첨가하는 방법이 예시되어 있다.Referring to Figure 3, a method of adding a dopant to an optical fiber core in accordance with the present invention is illustrated.

본 발명에 따른 한 바람직한 실시예에서는, 먼저 석영 유리로 이루어진 반응 튜브(11)의 내벽에 내부 클래드층(inner clad layer)(12)을 증착하는 내부 클래드층 증착 단계(inner clad layer deposition process) (도시되지 않음)를 수행한다. 이 단계에서는, 할로겐 화합물인 SiCl4, POCl3가 담겨진 버블러(bubbler)의 온도를 25±1℃로 고정시킨 후 이송 가스인 산소(O2)를 이용하여 반응물 (예 : SiCl4, POCl3)의 양을 질량 흐름 제어기(mass flow controller : MFC)로 제어한다. 이외의 다른 반응물 (He,O2,프레온 등)은 고압 가스 상태로 존재하기 때문에 직접 반응 영역까지 공급된다. 또한, 메인 버너를 수회 왕복하면서 반응 튜브(11)를 가열하여 내부 클래드층(12)을 원하는 두께로 형성한다.In a preferred embodiment according to the present invention, an inner clad layer deposition process is first performed by depositing an inner clad layer 12 on an inner wall of a reaction tube 11 made of quartz glass ( Not shown). In this step, the temperature of the bubbler (bubbler) containing the halogenated SiCl 4 , POCl 3 is fixed to 25 ± 1 ℃ and reactants (eg, SiCl 4 , POCl 3 ) using oxygen (O 2 ) as the transport gas ) Is controlled by a mass flow controller (MFC). Other reactants (He, O 2 , Freon, etc.) are supplied in the direct reaction zone because they exist in a high pressure gas state. In addition, the reaction tube 11 is heated while reciprocating the main burner several times to form the inner clad layer 12 to a desired thickness.

본 발명에 따른 내부 클래드층 증착 단계의 바람직한 실시예에서는, SiCl4= 500sccm, POCl3= 90sccm, 02= 500sccm 및 C2F6= 10sccm을 첨가하여 15회 이상 메인 버너를 왕복하여 내부 클래드층(12)을 증착한다. 이 때의 증착 온도는 1840℃를 기준으로하여 메인 버너의 매 패스(pass)마다 2℃ 씩 상승시켜서 증착으로 인한 온도 강하를 보정한다.In a preferred embodiment of the inner clad layer deposition step according to the present invention, the inner clad layer is reciprocated at least 15 times by adding SiCl 4 = 500 sccm, POCl 3 = 90 sccm, 0 2 = 500 sccm and C 2 F 6 = 10 sccm to reciprocate the main burner. (12) is deposited. At this time, the deposition temperature is increased by 2 ° C for each pass of the main burner based on 1840 ° C to correct the temperature drop due to deposition.

내부 클래드층 증착 단계에 이어 소결 코어층 증착 단계(sintered core deposition process)(31)가 뒤따르는데, 소결 코어층 증착 단계(31)에서는 SiCl4, GeCl4를 O2와 동시에 흘려주면서 버너의 온도를 약 1950℃로 가열하면서 메인 버너를 이동시켜, 이들 반응물들 (SiCl4, GeCl4, O2등)이 반응하여 생성된 미립자들을 완전히 소결하여 반응 튜브(11) 내벽에 투명하게 유리화된 상태로 증착한다. 상기 소결 코어층 증착 단계(31)에서는 소결된 코어층의 증착 회수를 조절하여 도펀트의 코어 구속(core cofinement) 비 (에르븀과 부첨가물이 도핑된 영역의 반경(a)과 소결된 코어 영역(b)의 반경비(a/b))를 용이하게 조절할 수 있다. 이 단계시 첨가되는 반응물의 양은 요구되는 굴절률에 따라 다르다.The internal clad layer deposition step is followed by a sintered core deposition process 31, in which sintered core layer deposition step 31 flows SiCl 4 and GeCl 4 simultaneously with O 2, and burner temperature. The main burner is moved while heating to about 1950 ° C., and these reactants (SiCl 4 , GeCl 4 , O 2, etc.) react with each other to completely sinter the fine particles, which are transparent to the inner wall of the reaction tube 11. Deposit. In the sintered core layer deposition step 31, the number of depositions of the sintered core layer is controlled to adjust the core cofinement ratio (the radius a of the region doped with erbium and the additive) and the sintered core region b. Radius ratio (a / b)) can be easily adjusted. The amount of reactant added in this step depends on the refractive index required.

후속하는 컬랩스 단계(collapse process)(32)는, 반응 튜브를 유리의 연화점 이상의 높은 온도로 가열하여 홀(15)의 원형성을 유지하면서 석영 유리의 표면 장력에 의해 서서히 함몰시키는 단계이다. 종래의 컬랩스 단계(32)에서는 약 2000℃ 이상의 고온으로 반응 튜브(11)를 가열함으로써 내부의 홀(15)을 줄이는데, 이 과정 중 광섬유 코어층에 GeO2(s) 상태로 도핑되어 있는 게르마늄이 식(1)과 같이 GeO(g)로 분해되어 휘발하게 된다. 따라서, 광섬유 코어 중심의 굴절률이 떨어지는 코어 딥 현상이 발생하게 된다. 또한, 종래의 방법에서와 같이 후술되는 용액 도핑 단계(solution doping process)(35) 후 컬랩스 단계(32)를 수행할 경우 도펀트가 게르마늄의 휘발과 함께 휘발될 수 있으며, 확산을 통하여 내부 클래드층(12)으로 이동하여 코어 중심의 도펀트 농도를 떨어뜨린다.The subsequent collapse process 32 is a step in which the reaction tube is heated to a high temperature above the softening point of the glass and gradually sinks by the surface tension of the quartz glass while maintaining the circularity of the holes 15. In the conventional Collabs step 32, the inner hole 15 is reduced by heating the reaction tube 11 to a temperature of about 2000 ° C. or higher, during which germanium is doped in the optical fiber core layer in a GeO 2 (s) state. As shown in this formula (1), it decompose | dissolves into GeO (g) and volatilizes. Therefore, a core dip phenomenon in which the refractive index of the center of the optical fiber core falls is generated. In addition, when performing the collapsing step 32 after the solution doping process 35, which will be described below, as in the conventional method, the dopant may be volatilized with the volatilization of germanium, and the inner clad layer through diffusion. Go to (12) to reduce the dopant concentration at the core center.

그러나, 본 발명에 따른 컬랩스 단계(32)는 소결된 코어층 증착 단계(31) 이후에 수행되기 때문에, 소결된 코어층 증착 단계(31)의 실시에 의해 증착된 소결 코어층(13)에 의해서 도핑된 도펀트가 클래드층(12)으로 확산되는 것이 억제된다. 또한, 본 발명의 컬랩스 단계(32)는 후술하는 수트 코어층 증착 단계(soot core layer deposition process)(34) 및 용액 도핑 단계(35) 이전에 수행되기 때문에, 광섬유 코어 구속비 조절이 용이하게 되며, 용액 도핑 후 가해지는 전체 열량을 줄여 도펀트(도핑된 Er 또는 Al)가 고온에 의하여 휘발되거나 내부 클래드층(12)으로 확산되는 것을 억제할 수 있어 코어 중심에 높은 도펀트 농도를 유지할 수 있다.However, since the collapsing step 32 according to the present invention is performed after the sintered core layer deposition step 31, the sintered core layer 13 deposited on the sintered core layer deposition step 31 is carried out. Diffusion of the dopant doped by the cladding layer 12 is suppressed. In addition, since the collapsing step 32 of the present invention is performed before the soot core layer deposition process 34 and the solution doping step 35, which will be described later, the optical fiber core constraint ratio can be easily adjusted. By reducing the total amount of heat applied after solution doping, the dopant (doped Er or Al) may be suppressed from being volatilized by the high temperature or diffused into the inner clad layer 12, thereby maintaining a high dopant concentration at the core center.

본 발명에 따른 컬랩스 단계(32)의 바람직한 한 실시예에서는, 2000℃ 이상의 가열 온도에서 후술하는 실링 단계(sealing process)(37)와 코어 구속비를 고려하고, 반응 튜브(11) 내부의 압력과 메인 버너의 패스(pass)의 회수를 조절하여 적절한 크기의 홀(15)을 만든다.In a preferred embodiment of the Collabs step 32 according to the invention, the pressure inside the reaction tube 11 is taken into account, taking into account the sealing process 37 and the core restraint ratio described below at a heating temperature of 2000 ° C. or higher. And the number of passes of the main burner are adjusted to make a hole 15 of appropriate size.

뒤따르는 코어 에칭 단계(core etching process)(33)는, 컬랩스 단계(32) 후에 게르마늄이 휘발되어 굴절률이 낮아진 부분을 불소(fluorine) 에칭에 의해 제거하기 위한 단계이다. 본 발명에 따른 코어 에칭 단계(33)의 한 바람직한 실시예에서는 불소 화합물인 C2F6와 O2를 흘려주면서 1570℃의 온도로 가열하여 내측의 굴절률이 감소된 부분을 제거한다. 이 때 굴절률의 보상 효과를 높이기 위해 GeCl4를 함께 흘려준다.The following core etching process 33 is a step for removing by fluorine etching a portion where germanium is volatilized and the refractive index is lowered after the collapsing step 32. In a preferred embodiment of the core etching step 33 according to the present invention, the fluorine compounds C 2 F 6 and O 2 are flowed and heated to a temperature of 1570 ° C. to remove portions of which the internal refractive index is reduced. At this time, GeCl 4 is also flowed together to increase the refractive index compensation effect.

다음으로 수행되는 수트 코어층 증착 단계(34)는, 반응물(SiCl4,GeCl4등)을 반응 튜브(11) 내부로 흘려 보내면서 소결이 일어나지 않는 낮은 온도에서 상기 소결된 코어층(13) 내벽에 증착시키는 단계이다. 본 발명에 따른 수트 코어층 증착 단계(34)는 컬랩스 단계(32) 이후에 수행되기 때문에 코어 구속을 적정화할 수 있다. 즉, 수트 코어층 증착 단계(34)를 컬랩스 단계(32) 후에 수행함으로써 작아진 반응 튜브의 내부 홀(15)에 수트 코어층(14)을 증착하여 비교적 적정량의 수트 코어층(14)을 증착시킬 수 있어 코어 구속비를 조절하기 용이하다.Next, the soot core layer deposition step 34 is performed by flowing a reactant (SiCl 4 , GeCl 4, etc.) into the reaction tube 11, and at an inner temperature of the sintered core layer 13 at a low temperature at which no sintering occurs. It is a step of depositing on. The soot core layer deposition step 34 according to the present invention can be performed after the collapsing step 32 to optimize core restraint. That is, by performing the soot core layer deposition step 34 after the collabs step 32, the soot core layer 14 is deposited in the inner hole 15 of the smaller reaction tube to deposit a relatively appropriate amount of the soot core layer 14. It can be deposited, so it is easy to adjust the core constraint ratio.

종래의 방법에서와 같이, 컬랩스 단계(32) 전에 수트 코어층 증착 단계(34)를 수행하면 수트 코어층(14)이 증착되는 반응 튜브(11)의 내경이 크기 때문에 증착되는 표면적이 넓어 수트 코어층(14)의 단면적을 줄이는데 한계가 있으며, 일반적으로 희토류 원소 첨가 광섬유는 코어 크기가 작기 때문에 1차 모재에서 코어가 크면 내부 클래드층(12)을 덧씌우는 오버 클래딩(over cladding)(또는 쟈케트) 단계를 수행해야만 했다. 그러나 상기에서 기술된 바와 같이 본 발명에 따라, 수트 코어층 증착 단계(34)를 컬랩스 단계(32) 이후에 수행함으로써, 코어의 증착량을 컬랩스 단계(32) 후의 유리관 홀(15) 크기로 조절할 수 있어 오버 클래딩 단계를 줄일 수 있다.As in the conventional method, the soot core layer deposition step 34 before the collabs step 32 results in a large surface area deposited due to the large inner diameter of the reaction tube 11 on which the soot core layer 14 is deposited. There is a limit to reducing the cross-sectional area of the core layer 14, and in general, the rare earth element-added optical fiber has a small core size, so that if the core is large in the primary base material, the over cladding (or jaws) overlying the inner cladding layer 12 is required. Ket) step had to be performed. However, according to the present invention as described above, the soot core layer deposition step 34 is performed after the collapsing step 32 so that the amount of deposition of the core is the size of the glass tube hole 15 after the collapsing step 32. Can be adjusted to reduce over cladding steps.

본 발명에 따른 수트 코어층 증착 단계(34)의 바람직한 한 실시예에서는, 코어 구속(core confinement) 비에 따라 SiCl4및 GeCl4의 양을 적절하게 조절하여 반응 튜브(11) 내부로 흘려보내면서 증착된 수트 코어층(14)이 소결되지 않도록 비교적 낮은 온도에서 증착시킨다. 이때 수트 코어층(14)을 다공성으로 만드는데, 그 이유는 도핑 용액이 코어 내로 침투하기 쉽게 하기 위해서이다.In a preferred embodiment of the soot core layer deposition step 34 according to the present invention, the amount of SiCl 4 and GeCl 4 is appropriately adjusted according to the core confinement ratio, while flowing into the reaction tube 11. The deposited soot core layer 14 is deposited at a relatively low temperature so as not to sinter. The soot core layer 14 is then made porous, to facilitate penetration of the doping solution into the core.

뒤따르는 용액 도핑 단계(35)는 도펀트 (Er, Al 등)가 일정 농도로 용해된 용액을 수트 코어층(14)이 증착되어 있는 반응 튜브(11) 내에 넣어 도펀트를 첨가시키는 단계이다. 본 발명에 따른 용액 도핑 단계(35)는 컬랩스 단계(32) 후에 수행되어, 도핑하고자 하는 튜브의 내부 홀(15)이 작아져 있기 때문에, 적은 양의 도핑 용액으로도 충분히 도핑할 수 있어 도핑 용액의 사용량을 크게 줄일 수 있다. 용액 도핑 단계(35)에서 도펀트는 수트 코어층(14)의 두께 만큼 도핑되고 소결 코어층(13)에 의하여 내부 클래드층(12)까지의 확산이 억제된다.The subsequent solution doping step 35 is a step in which a dopant is added to the reaction tube 11 in which the soot core layer 14 is deposited, in which the dopant (Er, Al, etc.) is dissolved at a predetermined concentration. The solution doping step 35 according to the invention is carried out after the collapsing step 32, since the inner hole 15 of the tube to be doped is small, so that even a small amount of doping solution can be sufficiently doped The amount of solution used can be greatly reduced. In the solution doping step 35, the dopant is doped by the thickness of the soot core layer 14 and the diffusion to the inner clad layer 12 is suppressed by the sintered core layer 13.

본 발명에 따른 용액 도핑 단계(35)의 한 바람직한 실시예에서는, 첨가하는 도펀트의 원료 물질인 ErCl36H2O와 AlCl3를 에탄올에 용해시킨 후, 수트 코어층 증착 단계(34)가 종료된 반응 튜브(11) 안에 넣어 다공성의 수트 코어층(14)으로 용액이 충분히 침투할 수 있도록 한다.In a preferred embodiment of the solution doping step 35 according to the present invention, after dissolving ErCl 3 6H 2 O and AlCl 3 in ethanol, the soot core layer deposition step 34 is completed. It is placed in the reaction tube 11 to allow sufficient penetration of the solution into the porous soot core layer 14.

다음에 수행되는 건조 단계(dehydration process)(36)는 수트 코어층(34)에 포함되어 있는 용매를 제거하는 단계이다. 건조 단계(36)는 잔류 도핑 용매와 수분등의 손실 요인을 최대한 줄여주며, 유리 가공 온도에서 탄화되는 비점이 낮은 유기물들을 제거하는 단계로 광섬유의 손실을 개선하는 중요한 단계이다.The next dehydration process 36 is performed to remove the solvent contained in the soot core layer 34. The drying step 36 minimizes loss factors such as residual doping solvent and moisture, and removes low-boiling organic matter carbonized at the glass processing temperature, and is an important step to improve the loss of the optical fiber.

본 발명에 따른 건조 단계(36)의 바람직한 실시예에서는, 메인 버너를 수회 왕복시키면서 약 900℃정도로 가열하거나, 또는 건조 질소를 흘려주어 수트 코어층 (14)에 잔류하는 용매를 제거하며, 또한 He 및 Cl2등의 가스를 반응 튜브(11)로 흘려 넣어 수트 코어층(14)에 잔류한 수분을 완전히 제거한다.In a preferred embodiment of the drying step 36 according to the invention, the main burner is heated to about 900 ° C. while reciprocating several times, or flowing dry nitrogen to remove the solvent remaining in the soot core layer 14, and He And a gas such as Cl 2 is flowed into the reaction tube 11 to completely remove moisture remaining in the soot core layer 14.

건조 단계(36)가 끝난 후 반응 튜브(11)를 고온으로 가열하여 수트 코어층 (34)을 유리화하여 투명하게 하는 소결 단계(sintering process)(36)를 수행한다. 이 단계에서, 수트 코어층(14)은 도핑 용액이 코어 내로 침투하기 쉽게하기 위해 다공성의 수트층으로 구성되어 있기 때문에 수트 코어층(14)을 이루고 있는 게르마늄의 휘발이 비교적 많이 일어난다. 이 때 적정량의 GeCl4를 흘려줌으로써 GeO(g)의 생성을 억제하여 굴절률 저하를 막을 수 있고, 게르마늄(Ge)의 휘발에 의한 도펀트의 휘발을 억제할 수 있다.After the drying step 36 is finished, a sintering process 36 is performed in which the reaction tube 11 is heated to high temperature to vitrify the soot core layer 34. In this step, since the soot core layer 14 is composed of a porous soot layer to facilitate the doping solution to penetrate into the core, relatively large volatilization of germanium constituting the soot core layer 14 occurs. At this time, by flowing an appropriate amount of GeCl 4 , the formation of GeO (g) can be suppressed to prevent the decrease in the refractive index, and volatilization of the dopant due to volatilization of germanium (Ge) can be suppressed.

본 발명에 따른 소결 단계(36)의 바람직한 한 실시예에서는, 건조 단계(36)가 끝난 후 반응 튜브(11)를 1900℃ 이상의 온도로 가열하여 다공성의 수트 코어층(14)을 완전히 유리화하여 투명하게 하고, 소결 단계(36) 중 코어 딥을 보상하기 위하여 적절한 양의 GeCl4를 흘려준다.In one preferred embodiment of the sintering step 36 according to the present invention, after the drying step 36 is finished, the reaction tube 11 is heated to a temperature of 1900 ° C. or more to completely vitrify the porous soot core layer 14 to be transparent. And a suitable amount of GeCl 4 is flowed to compensate for the core dip during the sintering step 36.

마지막으로 수행되는 튜브 실링 단계(tube sealing process)(37)는 반응 튜브(11)를 고온으로 가열하여 상기 반응 튜브(11)의 내부 홀을 완전히 제거하는 단계이다. 이 단계에서는, 2000℃ 이상의 고온에서 작업이 수행되기 때문에 GeO(g)의 생성이 가속화되는데, 본 발명에서는 튜브 실링 단계(37) 중 GeCl4를 흘려줌으로써 GeO(g)의 생성을 막아 스텝 형태의 굴절률 분포를 얻을 수 있다.Finally, the tube sealing process 37 is a step of heating the reaction tube 11 to a high temperature to completely remove the inner hole of the reaction tube 11. In this step, the production of GeO (g) is accelerated since the operation is performed at a high temperature of 2000 ° C. or higher. In the present invention, GeCl 4 is prevented by flowing GeCl 4 during the tube sealing step 37 to prevent the formation of GeO (g). The refractive index distribution can be obtained.

본 발명에 따른 실링 단계(37)의 바람직한 실시예에서는, 본 발명에 따른 상기 컬랩스 단계(32)에서와 같은 온도로, 상기 컬랩스 단계(32)에서 보다 느린 속도로 메인 버너를 이동시키면서 반응 튜브(11)를 가열하여 내부 홀(15)을 완전히 제거하여 유리봉(rod) 형태의 광섬유 모재를 만들고, 코어 딥을 보상하기 위하여 GeCl4를 흘려준다.In a preferred embodiment of the sealing step 37 according to the invention, the reaction is carried out with moving the main burner at a slower speed in the collapsing step 32 at the same temperature as in the collapsing step 32 according to the invention. The tube 11 is heated to completely remove the inner hole 15 to form a glass rod-shaped optical fiber base material, and flow GeCl 4 to compensate for the core dip.

본 발명에 따른 방법에 의하면 도펀트의 첨가가 용이한 수트 코어층 증착 단계(34)를 컬랩스 단계(32)후에 실시하여 광섬유 코어 중심에 도펀트를 구속시킬 수 있고, 소결된 코어층 증착 단계(31)를 컬랩스 단계(32) 전에 수행하고, 수트 코어층 증착 단계(34) 및 용액 도핑 단계(35)를 컬랩스 단계(32) 후에 수행하여 고온에 의한 도펀트의 확산을 막을 수 있으며, 컬랩스 단계(32) 후 코어 에칭 단계(33)를 실시하여 스텝 형태의 굴절률 분포를 얻을 수 있으며, 코어 에칭 단계(33), 소결 단계(36) 및 튜브 실링 단계(37) 중에 GeCl4가스를 흘려주어 코어 딥을 보상하는 효과가 있다.According to the method according to the present invention, the soot core layer deposition step 34, which is easy to add dopant, can be performed after the collapsing step 32 to confine the dopant in the center of the optical fiber core, and the sintered core layer deposition step 31 ) And the soot core layer deposition step 34 and the solution doping step 35 may be performed after the collabs step 32 to prevent diffusion of the dopant by high temperatures, The core etching step 33 may be performed after the step 32 to obtain a stepped refractive index distribution, and the GeCl 4 gas may be flowed during the core etching step 33, the sintering step 36, and the tube sealing step 37. Compensate for core dips.

아울러 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 당업자라면 본 발명의 사상과 범위안에서 다양한 수정, 변경, 부가등이 가능할 것이며, 이러한 수정 변경 등은 이하의 특허 청구의 범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.In addition, a preferred embodiment of the present invention is disclosed for the purpose of illustration, those skilled in the art will be able to make various modifications, changes, additions, etc. within the spirit and scope of the present invention, such modifications and modifications belong to the following claims You will have to look.

Claims (15)

희토류 원소 첨가 광섬유의 코어에 도펀트(dopant)를 첨가시킬 때 상기 도펀트를 구속(confinement)하기 위한 방법에 있어서, 석영 유리로 이루어진 반응 튜브(substrate tube)의 내부로 SiCl4를 O2와 동시에 흘려주면서 상기 반응 튜브를 가열하여, 반응하여 생성된 입자들이 소결하여 상기 반응 튜브의 내벽에 증착되는 소결된 코어층 증착(sintered core deposition) 단계와; 상기 소결된 코어층이 내벽에 증착된 상기 반응 튜브를 유리의 연화점 이상의 높은 온도로 가열하는 컬랩스(collapse) 단계; 및 상기 컬랩스 단계 후 상기 반응 튜브 내부로 SiCl4를 흘려주면서 소결이 일어나지 않는 낮은 온도에서 상기 반응 튜브를 가열하여 상기 소결된 코어층의 내벽에 증착시키는 수트 코어층 증착 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.In a method for confining a dopant when a dopant is added to a core of a rare earth element-added optical fiber, SiCl 4 and O 2 are simultaneously flown into a reaction tube made of quartz glass. Heating the reaction tube, and sintered core deposition in which the particles generated by the reaction are sintered and deposited on the inner wall of the reaction tube; A collapsing step of heating the reaction tube having the sintered core layer deposited on an inner wall to a high temperature above the softening point of glass; And a soot core layer deposition step of heating the reaction tube at a low temperature at which no sintering occurs while flowing SiCl 4 into the reaction tube after the collapsing step and depositing it on the inner wall of the sintered core layer. Constraining the dopant to the optical fiber core comprising a. 제1항에 있어서, 상기 소결된 코어층 증착 단계는 SiCl4와 함께 GeCl4가스를 흘려주는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.The method of claim 1, wherein depositing the sintered core layer deposits GeCl 4 gas with SiCl 4 . 제1항에 있어서, 상기 수트 코어층 증착 단계는 SiCl4 와 함께 GeCl4 가스를 흘려주는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.The method of claim 1, wherein the soot core layer deposition step comprises flowing GeCl4 gas with SiCl4. 제1항에 있어서, 상기 컬렙스 단계 후 상기 반응 튜브 내측 표면의 굴절률 (retractive index)이 낮아진 부분을 C2F6와 O2를 흘려주면서 가열하여 제거하는 코어 에칭(core etching) 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.The method of claim 1, further comprising a core etching step of removing a portion of the inner surface of the reaction tube whose refractive index is lowered by heating the C 2 F 6 and O 2 after the Cullebs step. And confining the dopant to the optical fiber core. 제4항에 있어서, 상기 코어 에칭 단계는 약 1570℃ 의 온도에서 가열되어 수행되는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.The method of claim 4, wherein the core etching step is performed by heating at a temperature of about 1570 ° C. 6. 제4항에 있어서, 상기 코어 에칭 단계는 GeCl4가스를 흘려주면서 수행되는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.5. The method of claim 4, wherein said core etching step is performed while flowing a GeCl 4 gas. 희토류 원소 첨가 광섬유의 코어에 도펀트를 첨가시킬 때 상기 도펀트를 구속하기 위한 방법에 있어서, 석영 유리로 이루어진 반응 튜브의 내부로 SiCl4를 O2와 동시에 흘려주면서 상기 반응 튜브를 가열하여, 반응하여 생성된 입자들이 소결하여 상기 반응 튜브의 내벽에 증착되는 소결된 코어층 증착 단계와; 상기 소결된 코어층이 내벽에 증착된 상기 반응 튜브를 유리의 연화점 이상의 높은 온도로 가열하는 컬랩스 단계와; 상기 컬랩스 단계 후, 반응 튜브 내측 표면의 굴저률이 낮아진 부분을 C2F6와 O2를 흘려주면서 가열하여 제거하는 코어 에칭 단계와; 상기 컬랩스 단계 후, 상기 반응 튜브 내부로 SiCl4를 흘려주면서 소결이 일어나지 않는 낮은 온도에서 가열하여 상기 소결된 코어층의 내벽에 증착시키는 수트 코어층 증착 단계와; 도펀트가 일정 농도로 용해된 용액을 상기 수트 코어층이 증착되어 있는 상기 반응 튜브 내에 넣어 도펀트를 첨가하는 용액 도핑(solution doping) 단계와; 상기 반응 튜브를 가열하여 상기 수트 코어층에 포함되어 있는 용매를 제거하는 건조 단계와; 상기 반응 튜브를 고온으로 가열하여 상기 수트 코어층을 소결시키는 소결단계; 및 상기 반응 튜브를 고온으로 가열하여 상기 반응 튜브의 내부에 남아있는 홀을 제거하는 실링(sealing) 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.A method for constraining the dopant when a dopant is added to a core of a rare earth element-added optical fiber, wherein the reaction tube is heated and reacted while flowing SiCl 4 simultaneously with O 2 into a reaction tube made of quartz glass. A sintered core layer deposition step of depositing the sintered particles onto the inner wall of the reaction tube; A collapsing step of heating the reaction tube having the sintered core layer deposited on an inner wall to a high temperature above the softening point of glass; After the collapsing step, a core etching step of heating and removing a portion having a low curvature of the inner surface of the reaction tube while flowing C 2 F 6 and O 2 ; A soot core layer deposition step of depositing the inner wall of the sintered core layer by heating at a low temperature at which sintering does not occur while flowing SiCl 4 into the reaction tube after the collapsing step; A solution doping step of adding a dopant by adding a solution in which a dopant is dissolved at a predetermined concentration into the reaction tube on which the soot core layer is deposited; A drying step of heating the reaction tube to remove a solvent contained in the soot core layer; A sintering step of sintering the soot core layer by heating the reaction tube to a high temperature; And a sealing step of heating the reaction tube to a high temperature to remove the holes remaining in the reaction tube. Constraining the dopant to the optical fiber core comprising a. 제7항에 있어서, 상기 코어 에칭 단계에서 GeCl4가스를 흘려주는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.The method of claim 7, wherein GeCl 4 gas is flowed in the core etching step. 제7항에 있어서, 상기 소결 단계에서 GeCl4가스를 흘려주는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.8. The method of claim 7, wherein the dopant is confined to the optical fiber core by flowing GeCl 4 gas in the sintering step. 제7항에 있어서, 상기 실링 단계에서 GeCl4가스를 흘려주는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.The method of claim 7, wherein GeCl 4 gas is flowed in the sealing step. 제7항에 있어서, 상기 건조 단계는 상기 반응 튜브 내부에 건조 질소를 흘려주어 수트 코어층에 포함되어 있는 용매를 제거하는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.10. The method of claim 7, wherein the drying step comprises flowing dry nitrogen into the reaction tube to remove the solvent contained in the soot core layer. 제7항에 있어서, 상기 코어 에칭 단계는 약 1570℃의 온도에서 가열되어 수행되는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.8. The method of claim 7, wherein the core etching step is performed by heating at a temperature of about 1570 ° C. 제7항에 있어서, 상기 건조 단계는 약 900℃의 온도에서 가열되어 수행되는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.8. The method of claim 7, wherein said drying step is performed by heating at a temperature of about 900 < 0 > C. 제7항에 있어서, 상기 소결된 코어층 증착 단계는 SiCl4와 함께 GeCl4가스를 흘려주는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.8. The method of claim 7, wherein the step of depositing the sintered core layer deposits GeCl 4 gas with SiCl 4 . 제7항에 있어서, 상기 수트 코어층 증착 단계는 SiCl4와 함께 GeCl4가스를 흘려주는 것을 특징으로 하는 광섬유 코어에 도펀트를 구속하는 방법.8. The method of claim 7, wherein the soot core layer deposition step comprises flowing GeCl 4 gas with SiCl 4 .
KR1019980001216A 1998-01-16 1998-01-16 Confinement method of dopants in optical fiber core KR100271517B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980001216A KR100271517B1 (en) 1998-01-16 1998-01-16 Confinement method of dopants in optical fiber core

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980001216A KR100271517B1 (en) 1998-01-16 1998-01-16 Confinement method of dopants in optical fiber core

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990065776A KR19990065776A (en) 1999-08-05
KR100271517B1 true KR100271517B1 (en) 2000-11-15

Family

ID=19531645

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980001216A KR100271517B1 (en) 1998-01-16 1998-01-16 Confinement method of dopants in optical fiber core

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100271517B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020073748A (en) * 2001-03-16 2002-09-28 (주)옵토네스트 Method for fabricating optical fiber preform by MCVD and nonlinear optical fiber using the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020073748A (en) * 2001-03-16 2002-09-28 (주)옵토네스트 Method for fabricating optical fiber preform by MCVD and nonlinear optical fiber using the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990065776A (en) 1999-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6109065A (en) Method of making optical waveguide devices using perchloryl fluoride to make soot
EP0565439B1 (en) Manufacturing method for erbium-doped silica glass optical fibre preforms
JP6393314B2 (en) Method for producing ytterbium-doped optical fiber
KR970006206A (en) Fabrication method of rare earth element doped optical fiber using volatile composite
EP3359498B1 (en) Method for manufacturing a glass core preform for optical fibres
US20020124601A1 (en) Process for making rare earth doped optical fiber
AU2001242728B2 (en) A process for making rare earth doped optical fibre
US20200131073A1 (en) Method for Manufacturing a Glass Preform for Optical Fibers
AU2001242728A1 (en) A process for making rare earth doped optical fibre
US7079738B2 (en) Method for manufacturing a glass doped with a rare earth element and fiber for optical amplification using the same
US8649650B2 (en) Method for fabricating rare earth (RE) doped optical fiber using a new codopant
KR100271517B1 (en) Confinement method of dopants in optical fiber core
JP2000191336A (en) Production of optical fiber preform and production of optical fiber
CA2481204C (en) A method of fabricating rare earth doped optical fibre
US20030213268A1 (en) Process for solution-doping of optical fiber preforms
KR20010063194A (en) Method for fabricating an optical fiber preform
JP4676118B2 (en) Manufacturing method of optical fiber preform
JP3187130B2 (en) Method for producing rare earth element doped quartz glass
KR20060093671A (en) Multimode optical fiber and method for manufacturing same
JPH03208829A (en) Production of preform for optical fiber
JP2003238189A (en) Method for producing glass pipe
JPH04347825A (en) Production of rare earth element added optical fiber
JPH0345525A (en) Production of functional silica glass
ZA200305990B (en) A process for making rare earth doped optical fibre.

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100804

Year of fee payment: 11

LAPS Lapse due to unpaid annual fee