KR100265209B1 - A magnetic transducer and manufacturing method therefor - Google Patents

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KR100265209B1
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Inventor
아아르 구우치 베버얼리
아아르 바리안 조오지
Original Assignee
존 지이 메사로스
암펙스 시스템즈 코포레이션
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract

자기테이프 매체로 고주파 신호를 재생하고/기록하는 자기변환기는 절연갭으로 분리되고 서로 결합하여 Y형 극구조를 형성하는 대향한 한쌍의 변환기 헤드 절반을 포함하고, 각각의 절반은 반대편 표면상에서 전도층과 접한 적층된 적어도 부분적으로 강자성 코어부분을 포함하고, 전도층 각각은 권선 코일부분을 형성한다. 각 코어구간은 다리부분 및 모나게 배치된 아암부분을 갖는 Y형 단면배열의 절반으로서 형성되고, 상기의 먼 단부는 그와 자로관계의 블록형태의 강자성 자극단으로 씌워지며, 두 자극단은 갭 평면에 대해 횡단하는 공통 평면에 놓인다. 적층 코어구간의 외부 및 내부표면 위의 전도층은, 점퍼에 의한 것과 같이 전도성있게 상호 연결될 때 변환기를 위해 하나 또는 두개의 회전코일을 형성하도록 배열된 외부 및 내부 도체를 형성한다. 내부 도체는 극부분 아래의 절연 갭층의 반대쪽에 Y형의 개구를 통해 통과하고 실질적으로 충전하는 2개의 내부도체의 만곡부분을 갖는 역위된 일반적으로 U형 배열이다.The magneto-converter for reproducing / recording high frequency signals with magnetic tape media comprises a pair of opposing pairs of transducer heads separated by insulating gaps and joined together to form a Y-shaped pole structure, each half conducting layer on the opposite surface. And at least partially ferromagnetic core portions stacked in contact with each other, the conductive layers each forming a winding coil portion. Each core section is formed as half of a Y-shaped cross-section array having leg portions and angularly arranged arm portions, the far ends of which are covered with a block-shaped ferromagnetic magnetic pole, and the two magnetic poles are gaps. Lies in a common plane traversing the plane. The conductive layers on the outer and inner surfaces of the laminated core section form outer and inner conductors arranged to form one or two rotary coils for the transducer when conductively interconnected, such as by jumpers. The inner conductor is an inverted, generally U-shaped arrangement with the curved portion of the two inner conductors passing through and substantially filling the Y-shaped openings on the opposite side of the insulating gap layer below the poles.

자기 변환기의 제조방법은 일반적으로 각각이 Y형의 절반을 갖는 적어도 두개의 일반적으로 동일한 변환기 헤드 절반을 형성하고, 코어 배열을 형성하도록 조형된 표면을 가지며 극 배열을 형성하도록, 조형된 밴드를 갖는 지지체를 제공하는 것으로 시작하며 ; 외부 코일 도체를 제공하는 표면에 전도층을 적용하고, 절연 및 자기 재료의 단층을 교대로 적용하여 적층 코어구간을 형성하고 ; 내부의 일반적으로 U형 코일 도체를 제공하기 위해 적층 코어 구간의 표면 및 측면 연부 주위의 절연층 위에 전도층을 적용하고 ; 코어구간 아암의 먼 단부에서 자기재료의 극부분을 밴드에 형성하고 ; 상기 두 변환기 헤드 절반을 마주보는 관계로 결합하여 결합재료가 두 극 부분 사이에 갭을 절연하고 형성하는 Y형 변환기를 형성하는 단계로 구성된다.The method of making a magnetic transducer generally has at least two generally identical transducer head halves, each having a half of the Y-shape, a surface shaped to form the core arrangement and a band shaped to form the polar arrangement. Starting with providing a support; Applying a conductive layer to the surface providing the outer coil conductor, and alternately applying a single layer of insulating and magnetic material to form a laminated core section; Applying a conductive layer over the insulation layer around the surface and side edges of the laminated core section to provide an internal generally U-shaped coil conductor; At the far end of the core section arm a pole portion of the magnetic material is formed in the band; Coupling the two transducer heads half to each other to form a Y-type transducer in which the coupling material insulates and forms a gap between the two pole portions.

Description

자기변환기 및 그의 제조방법Magnetic transducer and manufacturing method thereof

제1도는 본 발명의 고주파 자기변환기의 개략적인 투시도이다.1 is a schematic perspective view of a high frequency magnetic transducer of the present invention.

제2도는 변환기의 주요 요소들을 도식적으로 묘사하는, 부분적으로 부숴진 부분이 있는 제1도의 변환기의 분해투시도이다.FIG. 2 is an exploded perspective view of the transducer of FIG. 1 with a partially broken down portion, which schematically depicts the main elements of the transducer.

도3a도내지 3m도는 제1도의 적층 고주파 자기변환기의 제조시 사용되는 순차적인 방법 단계들을 나타내는 개략투시도이다.3A to 3M are schematic perspective views showing sequential method steps used in the manufacture of the stacked high frequency magneto-electric converter of FIG.

도4도는 본 발명의 개별 적층 고주파 자기변환기의 확대 투시도이다.4 is an enlarged perspective view of an individual stacked high frequency magnetic transducer of the present invention.

제5도는 2-회전 형상으로 상기 변환기의 바닥상의 도체스트립에 접속된 점퍼들을 예시하는 본 발명의 적층 고주파 자기변환기의 바닥투시도이다.5 is a bottom perspective view of a laminated high frequency magneto-optical transducer of the present invention illustrating jumpers connected to a conductor strip on the bottom of the transducer in a two-rotation shape.

제6도는 상기 변환기의 정상 위의 도체 스트립에 접속된 집적 프리암프를 예시하는 제5도의 적층 고주파 자기변환기의 상면 투시도이다.6 is a top perspective view of the stacked high frequency magneto-optic transducer of FIG. 5 illustrating an integrated preamp connected to a conductor strip on top of the converter.

제7도는 제4∼6도의 적측 고주파 자기변환기의 상평면도이다.FIG. 7 is a phase plan view of the red frequency high frequency magnetic transducer of FIGS.

제8도는 제4∼6도의 적측 고주파 자기변환기의 전방평면도이다.FIG. 8 is a front plan view of the high frequency magnetic transducer of 4-6 degrees.

제9도는 일반적으로 제7도의 선9-9를 따라 취해진 단면도이다.FIG. 9 is a cross sectional view generally taken along line 9-9 of FIG.

제10도는 일반적으로 제8도의 선10-10을 따라 취해진 단면도이다; 및FIG. 10 is a cross sectional view generally taken along line 10-10 of FIG. 8; And

제11도는 제5 및 6도에 제시된 전기 접속에 대응하여 제시된 리이드 및 점퍼가 일반적으로 제8도의 선11-11을따라 취해진 단면도이다.FIG. 11 is a cross-sectional view of the leads and jumpers shown generally along line 11-11 of FIG. 8 corresponding to the electrical connections shown in FIGS. 5 and 6.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

20 : 변환기 21 : 헤드 구간20: converter 21: head section

22 : 지지체 24 : 적층 자기 코어구간22 support body 24 laminated magnetic core section

25 : 절연 갭층 26 : 내부 도체25 insulation gap layer 26 inner conductor

26a : 만곡 부분 27 : 절연층26a: curved portion 27: insulating layer

28 : 외부도체 30 : 자극단28: outer conductor 30: pole end

38 : 놋치 40 : 자극단 밴드 표면38: notch 40: magnetic pole band surface

44 : 자극단 놋치들 46 : 감광성 내식막44: stimulus notches 46: photoresist

50, 51 : 자기물질, 절연물질의 얇은 층50, 51: thin layer of magnetic or insulating material

58 : 갭 평면 59 : 유리58: gap plane 59: glass

61 : 절단선 64, 66 : 점퍼61: cutting line 64, 66: jumper

70 : 소형 집적회로 프리암프 72, 74 : 리이드70: small integrated circuit preamp 72, 74: lead

본 발명의 주제는 본 발명의 양수인에게 양도된 출원인 Beverley R. Gooch의 "소형 코어금속 헤드변환기 및 그의 제조방법"으로 표제된, 동시에 출원된 특허출원의 주제와 관련있다.The subject matter of the present invention relates to the subject of a concurrently filed patent application entitled "Small Core Metal Head Converters and Methods for Making thereof" by Beverley R. Gooch, who is assigned to the assignee of the present invention.

본 발명은 일반적으로 자기헤드 변환기 및 보다 구체적으로 자기테이프 매체로써 사용하기 위한 헤드용 적층 고주파 자기변환기와 상기 변환기의 생산방법에 관한 것이다.The present invention relates generally to magnetic head transducers and, more particularly, to laminated high frequency magnetoelectric transducers for heads for use as magnetic tape media and to methods of producing such transducers.

자기테이프 레코더의 성능은 기록헤드 및 테이프를 제조하는데 사용된 자기물질의 성질 및 그들의 자기성질에 영향을 미치는 상기 물질의 구조적 형상에 크게 좌우된다. 고잔류자기, 고보자성, 및 저투자율을 특징으로 하는 자기적으로 경질인 물질은 주로 기록테이프 및 그외 관련된 기록매체의 제조에 사용된다. 반면에, 저보자성, 저잔류자기, 및 비교적 고투자율을 나타내는 자기적으로 연질인 물질은 일반적으로 전기신호가 기록되고 자기테이프로부터 재생되는 수단인 헤드용 자기코어를 제조하는데 사용한다.The performance of the magnetic tape recorder is highly dependent on the properties of the magnetic materials used to make the recording heads and tapes and the structural shape of the materials affecting their magnetic properties. Magnetically hard materials characterized by high residual magnetism, high coercivity, and low permeability are mainly used for the production of recording tapes and other related recording media. On the other hand, magnetically soft materials exhibiting low complementarity, low residual magnetism, and relatively high permeability are generally used to produce magnetic cores for heads, which are means by which electrical signals are recorded and reproduced from magnetic tape.

비디오 레코더의 경우에, 전형적인 고리형 자기비디오 헤드는 신호정보가 접속된 코일 및 비자성 갭(gap)스페이서와 함께 두개의 고투자율 자기코어로 구성된다. 기록비디오 헤드는 신호개로 부터의 전기에너지를 전기신호에 비례하여 자기테이프상에 자기패턴을 찍는 비디오 헤드내 물리적 갭으로부터 방출되는 자계로 변화시키는 변환기이다. 반대로, 재생비디오 헤드는 물리적 갭을 가로질러 자기테이프로부터 플럭스를 수집하고 그것을 기록된 플럭스에 비례하는 전기신호로 변화시키는 변환기이다.In the case of a video recorder, a typical annular magnetic video head consists of two high permeability magnetic cores with a coil and a nonmagnetic gap spacer to which signal information is connected. The recording video head is a transducer that converts electrical energy from the signal aperture into a magnetic field emitted from a physical gap in the video head which prints a magnetic pattern on magnetic tape in proportion to the electrical signal. In contrast, a playback video head is a transducer that collects flux from magnetic tape across a physical gap and converts it into an electrical signal proportional to the recorded flux.

통상적으로 페라이트 재료가 비디오 헤드내 자기물질로서 사용되었다. 고해상도 비디오테이프 레코더, 디지탈 비디오테이프 레코더등의 출혈은 금속분말매체, 금속기화매체, 등 같은 고보자성 기록매체의 결과적인 이용에 의해 매우 다량의 정보를 기록하기 위한 고밀도 구조를 지향하는 추세를 가속시켰다. 이 발전의 일부로서, 매체상에 기록된 정보신호의 주파수를 증가시키는 것이 결과적으로 요구된다. 통상적인 페라이트 코어는 상기 응용물에 대해 요구되는 성능을 성취하기 위한 원하는 특성들을 간단히 제공할 수 없다. 그의 고유 메짐성으로 인하여 제조공정중에 페라이트 물질의 결과적인 치핑 및 파괴가 배제될 수 없기 때문에 페라이트 코어를 좁은 트랙 나비 또는 얇은 자기코어 적층물로 제조할 수 없다.Typically ferrite materials have been used as magnetic materials in video heads. The bleeding of high-definition videotape recorders, digital videotape recorders, etc. has accelerated the trend towards high density structures for recording very large amounts of information by the resulting use of high-magnetism recording media such as metal powder media, metal vaporization media, and the like. . As part of this development, it is consequently required to increase the frequency of the information signal recorded on the medium. Conventional ferrite cores simply cannot provide the desired properties to achieve the required performance for the application. Its inherent brittleness makes it impossible to produce ferrite cores in narrow track butterflies or thin magnetic core stacks, as the resulting chipping and breaking of ferrite material cannot be ruled out during the manufacturing process.

페라이트 헤드와 관련된 제조 문제점에 더하여, 성능 문제점, 구체적으로 상기 헤드가 고보자성 자기테이프와 함께, 특히 기록과정중에 사용될 때 문제점이 있다. 기록중에, 통상적인 자기테이프에 의해서 보다 고보자성 자기테이프에 의해 더큰 신호가 요구된다. 테이프로부터의 신호수준은 양이 매우 적기 때문에 문제는 재생작업중에 페라이트 헤드의 사용에 의해 심각하지 않다. 기록신호가 높고 헤드가 작을수록, 및 재생 또는 "플레이백"시에 신호는 페라이트 헤드를 포화상태로 만드는 경향이 있다. 또한 페라이트 헤드와 상기 고보자성 자기테이프의 접촉으로부터 초래된 유의한 잡음수준이 있고, 다음에는, 허용가능한 신호대 잡음비율을 성취하기 위해 더많은 신호가 필요함이 또한 관찰되었다. 또한 괴상 금속헤드는 성능 단점들을 가지며, 보다 유의한 단점들중의 하나는 그들이 주로 와전류손에 의한 불량한 고주파수 반응을 갖는 것이다.In addition to manufacturing problems associated with ferrite heads, there are also performance problems, specifically when the heads are used with high magnetic flux magnetic tapes, especially during the recording process. During recording, a larger signal is required by the high coercive magnetic tape than by conventional magnetic tape. Since the signal level from the tape is very small, the problem is not serious by the use of the ferrite head during the regeneration. The higher the recording signal and the smaller the head, and at playback or "playback" the signal tends to saturate the ferrite head. It has also been observed that there is a significant noise level resulting from the contact of the ferrite head with the high magnetomagnetic magnetic tape, and then more signals are needed to achieve an acceptable signal to noise ratio. Bulk metal heads also have performance drawbacks, one of the more significant drawbacks being that they have poor high frequency response mainly due to eddy current loss.

상기 고찰은 더 높은 플럭스 밀도 포화도를 갖는 임의수의 다른 상업적으로 구입가능한 자기물질을 기록헤드에서 이용하는 것으로 귀결되며, 상기 물질은 코발트-지르코늄-니오브(CZN)합금, 철-알루미늄-규소합금이고 이는 각각 85% 철, 6% 알루미늄, 및 9% 규소 및 또한 무정형 금속의 공칭 조성을 갖는 알페실(Alfesil), 센더스트(Sendust), 스핀알로이(Spinalloy), 또는 바코들(Vacodur)를 포함한다.This consideration results in the use of any number of other commercially available magnetic materials with higher flux density saturation in the recording head, which are cobalt-zirconium-niobium (CZN) alloys, iron-aluminum-silicon alloys Alfesil, Sendust, Spinalloy, or Vacodur, each having a nominal composition of 85% iron, 6% aluminum, and 9% silicon and also amorphous metals.

사용된 헤드코어물질의 자기성질은 별문제로 하고, 비디오 헤드의 성능을 지시하는 주요 디자인 항목은 트랙 나비, 갭 길이, 갭 깊이, 코어 횡단면 면적, 및 그외의 코어 형태학(예컨대, 경로길이)이다. 각각의 이들 매개변수는 자기테이프 레코더의 설계표준에 따라 선택되어야 하는 한편, 동시에 가능한한 높은 헤드 효율을 유지해야 한다.Apart from the magnetic properties of the head core materials used, the main design items that dictate the performance of the video heads are track butterfly, gap length, gap depth, core cross-sectional area, and other core morphologies (eg, path length). Each of these parameters should be selected according to the design standards of the magnetic tape recorder, while at the same time maintaining the head efficiency as high as possible.

그러므로, 코어 릴럭턴스를 낮추기 위해 짧은 자로를 갖고 감소된 코어 릴럭턴스가 자기코어에 사용된 자기물질의 투자성에 의해 덜 좌우되도록 하는 개선된 고주파 자기변환기에 대한 유의한 필요성이 존재한다. 게다가, 와전류손 및 다른 주파수 효과를 최소화해야 한다. 또한 자극단도 최소화되어야 하고 누출 릴럭턴스도 감소되어야 한다. 이상적으로, 상기 헤드는 우수한 고주파수 반응을 제공해야 하고 코어물질의 포화가 정상기록 수준에서 발생하지 않는 그런 특성을 가져야 한다. 상기 변환기의 제조는 대량 생산, 고정밀, 저가이어야 하고 고도의 균일성을 성취해야 한다. 본 발명은 상기 요구를 충족시키고 부가적으로 관련된 이점을 제공한다.Therefore, there is a significant need for improved high frequency magneto-transducers that have short paths to lower core reluctance and that reduced core reluctance is less dependent on the permeability of the magnetic material used in the magnetic core. In addition, eddy current losses and other frequency effects should be minimized. In addition, the excitation stage should be minimized and leakage reluctance should be reduced. Ideally, the head should provide a good high frequency response and have such properties that saturation of the core material does not occur at normal recording levels. The manufacture of such transducers must be mass production, high precision, low cost and achieve high uniformity. The present invention fulfills these needs and provides additionally related advantages.

본 발명에 의하면, 자기테이프 매체에 의한 재생 및/또는 기록 고주파 신호에 대한 개선된 자기변환기는 절연 갭에 의해 분리되고 함께 결합된 마주보는 한쌍의 변환기 헤드 반쪽들을 포함한다. 각각의 변환기 헤드 반쪽은 각각의 신호 코일 부분을 형성하는, 도전층을 갖는 마주보는 표면들상에 결합된 적층된 적어도 부분적으로 강자성인 코어구간을 포함한다. 각 코어구간은 다리 부분을 갖는 Y-자형 횡단면 형상의 반쪽으로 형성되고 각지게 아암부분에 배치된다. 두개의 변환기 헤드 반쪽들은 절연갭을 형성하는 결합물질과 접촉된 다리 부분에 위치되고 결합된다. 각 아암부분의 말초 말단에 적층 코어부분과 관련된 자로에서 블럭 형태의 강자성 자극 조각이 장치되고 V-자형 부분 중간물로 확장하여 말초 말단이 절연갭과 접촉되고, 보통 평면으로 놓인 두개의 자극 조각이 갭의 평면을 횡단한다.According to the present invention, an improved magneto-converter for reproduction and / or recording high frequency signals by a magnetic tape medium comprises opposing pairs of transducer head halves separated and joined together by an insulating gap. Each transducer head half includes a stacked at least partially ferromagnetic core section coupled onto opposing surfaces with a conductive layer that forms a respective signal coil portion. Each core section is formed in a half of a Y-shaped cross-sectional shape having a leg portion and is disposed at an angle to the arm portion. The two transducer head halves are positioned and joined to the leg portion in contact with the bonding material forming the insulating gap. At the distal end of each arm, a ferromagnetic magnetic pole piece in the form of a block is placed in the path associated with the laminated core part and extends into the V-shaped intermediate part, where the peripheral end is in contact with the insulating gap, and two magnetic pole pieces which are usually placed in a plane Cross the plane of the gap.

각 적층 코어 부분은 첫번째 절연층, 이어서 다수의 교대하는 자기물질 및 절연물질의 얇은층들로 구성된다. 적층 코어 구간의 외부 및 매부 표면상의 도전층은, 예컨대 점퍼에 의해 도전적으로 상호 접속될 때 변환기에 하나 이상의 회전 코일을 형성하도록 형상되는 외부 및 내부 도체들을 형성한다. 내부 도체는 통과하고 이어서 자극조각 아래의 절연갭층의 마주보는 측면들 상의 Y-자형의 개방구를 실질적으로 막는 두개의 내부 도체의 만곡부분을 갖는 일반적으로 뒤집힌 U-자 형상이다. 내부 도체의 다리부분은 적층코어 구간에 두다리를 걸쳐 있다. 내부 및 외부 도체들 모두가 적층코어 구간의 나비보다 넓은 나비이므로, 개별 변환기의 형성에 있어 지지체 블럭을 얇게 자르거나 주사위 모양으로 자른 후에, 내부 및 외부 도체들의 연부는 권선 코일의 형성을 위한 점퍼의 부착을 위한 표면에 근접한 형태이다.Each laminated core portion consists of a first insulating layer followed by a plurality of alternating magnetic and thin layers of insulating material. The conductive layers on the outer and buried surfaces of the laminated core section form outer and inner conductors that are shaped to form one or more rotating coils in the transducer, for example when conductively interconnected by jumpers. The inner conductor is generally inverted U-shaped with two bent portions of the inner conductor passing through and substantially blocking the Y-shaped openings on opposite sides of the insulating gap layer below the pole piece. The leg of the inner conductor spans two legs in the laminated core section. Since both the inner and outer conductors are wider than the butterfly in the laminated core section, after cutting the support block thinly or diced in the formation of the individual transducers, the edges of the inner and outer conductors are formed by a jumper for forming a winding coil. It is close to the surface for attachment.

프리암프 장치는 변환기에 직접 부착될 수 있고 전기적으로 코일의 말단에 접속되어 형성되고 이로써 변환기 코일에서 프리암프까지 짧은 리이드를 제공하므로 고주파수(예컨대, 100내지 150MHz)에서의 긴 리이드와 관련된 캐피시턴스 및 인덕턴스 손실을 감소시킨다.The preamp device can be attached directly to the transducer and is formed electrically connected to the end of the coil, thereby providing a short lead from the transducer coil to the preamp, so that the capacitance associated with the long lead at high frequencies (eg 100 to 150 MHz) And reduce inductance losses.

일반적으로 자기변환기의 제조방법은 코어형상을 결정하는 조형된 표면을 갖고 자극형상을 결정하는 조형된 밴드를 갖는 지지체를 제공하므로써 시작하여, 일반적으로 각각 반쪽의 Y-자형을 갖는 적어도 두개의 일반적으로 동일한 변환기 헤드 반쪽을 형성하고; 외부 코일 도체를 제공하기 위해 도체층을 표면에 적용시키고; 대안적으로 절연박막 및 자기물질을 적용시켜 적층코어 구조를 형성하고; 적층코어 구조중 선택된 부분을 제거하여 개별 적층코어 구간을 형성하고; 적층코어 구간의 정면 및 측면 연부주위에 절연층을 적용시키고; 절연층 위에 두번째 또는 내부 도체층을 적용시켜 내부 일반적으로 U-자형 코일 도체를 제공하고; 밴드에서, 코어 구간의 아암의 말초 말단에 자기물질의 자극 조각을 형성하고; 두개의 상기 변환기 헤드 반쪽들을 마주보게 결합시켜 결합 물질이 두개의 자극 조각 사이에 절연시키고 갭을 형성하는 Y-자형 변환기를 형성하는 것으로 구성된다.Generally, the method of manufacturing a magneto-transducer starts by providing a support having a shaped surface that determines the core shape and a shaped band that determines the magnetic pole shape, generally at least two generally each having a half Y-shape. Form the same transducer head half; Applying a conductor layer to the surface to provide an outer coil conductor; Alternatively applying an insulating thin film and a magnetic material to form a laminated core structure; Removing selected portions of the stacked core structure to form individual stacked core sections; Applying an insulating layer around the front and side edges of the laminated core section; Applying a second or inner conductor layer over the insulating layer to provide an inner generally U-shaped coil conductor; In the band, forming a magnetic pole piece of magnetic material at the distal end of the arm of the core section; The two heads of the transducer heads are joined oppositely to form a Y-shaped transducer that insulates the coupling material and forms a gap between the two pole pieces.

전체 변환기는 대량 생산, 높은 고정밀도, 및 물질 침전 및 사진석판과 같은 저가 기술에 의해 제조된다. 일괄 제조에 의해, 많은 수의 변환기에 있어 모든 자기코어물질이 동일한 공정단계중에 부착되고 모든 변환 갭은 동시에 형성된다. 이는 모든 변환기에 고도의 균일성을 결과한다.The entire converter is manufactured by mass production, high precision, and low cost techniques such as material precipitation and photolithography. By batch manufacturing, for a large number of transducers, all magnetic core materials are attached during the same process step and all the conversion gaps are formed simultaneously. This results in a high degree of uniformity for all transducers.

본 발명의 그밖의 특징 및 이점은 실례로써 본 발명의 원리를 예시하는 첨부도면과 함께 취해져 하기 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.Other features and advantages of the invention will be apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings which illustrate by way of example the principles of the invention.

이제 도면들, 특히 제1 및 2도를 언급하면, 이 실례에서, 사이에 낀 절연갭층(25)와 함께 결합된 두개의 일반적으로 동일한 가공물로 제조된 물질인 지지체(22,22')내에서 두번째 상기 변환기를 따라 형성된, 일반적으로(20)으로 표시된 얇은 필름 자기변환기가 제시된다. 제1 및 2도는 도식적이고 일정한 비례가 아닌, 예시 및 설명의 용이함을 위한 것이다. 하기에 서술되는 바와 같이 제조된 가공물로써, 일반적으로(24,24')으로 표시된 첫번째 및 두번째 적층 자기코어 구간으로 형성된, 일반적으로 (21,21')로 표시된 첫번째 및 두번째 헤드 구간들; 한쌍의 내부 일반적으로 U-자형 도체들(26,26'); 한쌍의 외부 도체들(28,28'); 및 한쌍의 자극단들(30,30')을 포함하는 변환기(20)가 제공된다. 하기 설명되는 바와 같이 제조될 때, 도체(20)는 자극단(30,30')이 Y-자형 코어구간(24,24')의 아암부분의 말초 말단에 부착되고 절연갭층(25)의 평면에 대해 직각 방향으로 뻗어가는 일반적으로 Y-자형 횡단면을 가지며, 내부 및 외부 도체(26,26') 및 (28,28')이 원하는 바대로 일 또는 이 회전코일을 형성하기 위한 점퍼 와이어의 접속을 가능하게 하기 위해 변환기의 표면으로부터 근접하다. 제1도에서 볼 수 있는 바와 같이, 각 적층 자기코어구간(24)은 내부층 또는 도체(26)와 외부층 또는 도체(28) 사이에 샌드위치되며, 용어 "내부" 및 "외부"는 변환기(20)의 축중심선상의 절연갭(25)의 평면에 관하여 사용된다. 절연갭(25)가 단일요소로서 제시되지만, 서술되는 바와 같이, 절연갭(25) 부분은 각각의 두개의 유사한 헤드 구간들 상에 부착되며, 두개의 층은 연결되고 결합될 때 단일 갭을 형성한다. 외부 도체(28,28')는 일반적으로 굽은 평면형 형상의 무공 도전층인 한편, 내부 도체는 반쪽-Y자형의 적층코어구간(24)에 의해 형성된 권선 간격 또는 창을 통과하는 만곡 부분(26s,26a')을 갖는 일반적으로 U-자형 형상이다. 도체(26,26')의 다리(26b,26c) 및 (26b',26c')는 코어구간(24,24')의 측면 연부에 다리를 걸쳐 있다. 하기에 서술되는 바대로, 각 코어구간(24,24')은 내부표면 및 그의 측면 연부를 커버하는 절연층(27,27')이 제공된다.Referring now to the drawings, in particular to the first and second views, in this example, the support 22, 22 'is a material made of two generally identical workpieces bonded together with an insulating gap layer 25 sandwiched therebetween. Second, a thin film magneto-transducer, denoted generally 20, is formed along the transducer. 1 and 2 are for ease of illustration and description, not schematic and constant proportions. A workpiece manufactured as described below, comprising: first and second head sections, generally designated (21,21 '), formed of first and second stacked magnetic core sections, generally designated (24,24'); A pair of internal generally U-shaped conductors 26, 26 '; A pair of outer conductors 28, 28 '; And a transducer 20 comprising a pair of magnetic poles 30, 30 '. When fabricated as described below, the conductor 20 has a pole end 30, 30 ′ attached to the distal end of the arm portion of the Y-shaped core section 24, 24 ′ and the plane of the insulating gap layer 25. Has a generally Y-shaped cross section extending perpendicular to the direction of the wire, and the connection of jumper wires for forming one or this rotary coil as desired by the inner and outer conductors 26, 26 'and (28, 28'). Close to the surface of the transducer to enable it. As can be seen in FIG. 1, each laminated magnetic core section 24 is sandwiched between an inner layer or conductor 26 and an outer layer or conductor 28, and the terms " inner " and " outer " 20 is used with respect to the plane of the insulating gap 25 on the axial center line. Although the insulation gap 25 is presented as a single element, as will be described, the portion of the insulation gap 25 is attached on each of two similar head sections, and the two layers form a single gap when connected and joined. do. The outer conductors 28, 28 'are generally bent planar, non-porous conductive layers, while the inner conductors are curved portions 26s, which pass through the winding gaps or windows formed by the half-Y-shaped laminated core section 24. 26a ') is generally U-shaped. The legs 26b, 26c and 26b ', 26c' of the conductors 26, 26 'span the side edges of the core sections 24, 24'. As described below, each core section 24, 24 'is provided with an insulating layer 27, 27' covering the inner surface and side edges thereof.

이제 제3a내지 3m도를 언급하면, 본 발명의 적층 고주파 자기변환기(20)의 제조에 사용되는 순차적인 방법 단계가 제조중에 사용된 재료에 따라 이제 서술될 것이다. 특히 3a도를 언급하면, 방법에서의 출발점은 적당한 비자성, 부도성 물질, 예컨대 알루미나(Al2O3), 세라믹 예컨대 탄화티타늄(TiC) 및 알루미나의 혼합물, 또는 필적하는 물질의 일반적으로 가늘고 긴 얇은 블럭 지지체(22)의 제공이다. 최초에, 지지체(22)는 적어도 첫번째 및 두번째 상호 수직인 표면(34 및 36)을 갖는다. 지지체(22)는 약 0.030인치의 두께를 갖고 통상적인 기계가공법에 의하거나 반응이온 비임 에칭(RIBE)에 의해 조형된다. 일반적으로 (38)로 표시된 본딩 놋치는 지지체(22)의 세로 연부 하부(도면에 나타낸 바와 같이)에서 형성되며, 놋치(38)는 일반적으로 직각이고 첫번째 표면(34) 및 그에 대해 수직인 표면(38b)에 일반적으로 평행한 표면(38a)을 갖는다.Referring now to FIGS. 3A-3M, the sequential method steps used to manufacture the laminated high frequency magnetoelectric transducer 20 of the present invention will now be described depending on the materials used during manufacture. In particular referring to FIG. 3a, the starting point in the process is a suitable nonmagnetic, non-conductive material such as alumina (Al 2 O 3 ), a ceramic such as a mixture of titanium carbide (TiC) and alumina, or a generally elongated material of comparable material. Provided is a thin block support 22. Initially, the support 22 has at least first and second mutually perpendicular surfaces 34 and 36. The support 22 has a thickness of about 0.030 inches and is molded by conventional machining methods or by reactive ion beam etching (RIBE). Bonding knots, generally designated 38, are formed at the bottom of the longitudinal edge of the support 22 (as shown in the figure), the notches 38 being generally perpendicular and having a first surface 34 and a surface perpendicular to it ( It has a surface 38a that is generally parallel to 38b).

상부 세로 연부에서, 즉, 두 표면(34,36)의 교선에서, 지지체(22)는 일반적으로 표면(34)에 평행한 첫번째 표면(40), 및 표면(34 및 40)에 비스듬히 삽입된 두번째 끝이 가는 표면(40)을 포함하는 비스듬히 움푹 들어간 곳을 제공하도록 기계가공된다. 하기에서 명백해지는 바와 같이, 인접한 표면들(34 및 42)는 등각의 인접한 표면으로서 쓰여서 반쪽 Y-자형 형상의 코어-단면을 산출하기 위해 사용되는 코어 횡단면 형성 표면을 제공한다.At the upper longitudinal edges, ie at the intersection of the two surfaces 34 and 36, the support 22 is generally the first surface 40 parallel to the surface 34, and the second inserted obliquely to the surfaces 34 and 40. It is machined to provide an oblique dent that includes an end surface 40. As will be apparent below, adjacent surfaces 34 and 42 provide a core cross-sectional forming surface that is used as a conformal adjacent surface to yield a half Y-shaped core-section.

표면(40)은 다수의 동일하게 이격된 일반적으로 동일한 자극단 놋치들(44)이 형성된 자극단 밴드로서 역할하며, 놋치들(44)의 하부 연부는 끝이 가는 표면(42) 및 표면(40)의 교차에 의해 형성된 라인을 따라 함께 뻗는다. 놋치들(44)의 깊이는 표면(40)의 나비에 상응하고, 근본적으로, 놋치들(44)의 직각형상 및 치수는 서술되는 바와 같이 형성된 자극단들(30(30'))의 나비 및 두께를 규정한다.Surface 40 serves as a pole end band formed with a number of equally spaced generally identical pole end notches 44, with the lower edges of the notches 44 being the end surface 42 and the surface 40 Together along the line formed by the intersection of The depth of the notches 44 corresponds to the butterfly of the surface 40, and essentially, the rectangular shape and dimensions of the notches 44 are the butterfly of the pole ends 30 (30 ') formed as described and Specify the thickness.

상기 제조법이 단일 지지체 블럭(22)으로부터 다수의 적층 고주파 자기변환기(20)를 생산하므로, 자극단 놋치들(44)의 수는 지지체 블럭(22)로부터 생성된 변환기(20)의 수에 비례하고, 예시 실시양태에서, 약 몇몇 다스 또는 심지어 몇백 이상이 유의할 것이다. 후자의 제조단계를 용이하게 하기 위하여, 지지체 블럭(22) 및 보다 구체적으로 자극단 밴드 표면(40)을 따라 표면(34) 및 끝이 가는 표면(42)을 포함하는 코어 형상을 규정하는 표면들은, 예컨대 기계적 랩핑에 의해 윤기있는 평면이어야 하고 완전히 청소되어야 한다. 약 1500Å의 절연층(제시되지 않음)은 원한다면 지지체 블럭의 전기적 절연을 개선시키기 위하여 지지체 블럭(22)의 평면 표면(34) 및 끝이 가는 표면(40)상에 부착될 수 있다. 대안적으로, 어느정도 더 두꺼운 층의 절연재료를 도전성, 비자성물질 지지체 블럭(22)와 함께 사용할 수 있다.Since the manufacturing method produces a plurality of stacked high frequency magneto-electric transducers 20 from a single support block 22, the number of pole end notches 44 is proportional to the number of transducers 20 generated from the support block 22. In an exemplary embodiment, about several dozen or even several hundred or more will be noted. In order to facilitate the latter manufacturing step, the surfaces defining the core shape comprising the support block 22 and more specifically the surface 34 and the end surface 42 along the pole end band surface 40 It must be a shiny surface, for example by mechanical lapping, and be thoroughly cleaned. An insulating layer of about 1500 kPa (not shown) may be attached on the planar surface 34 and the end surface 40 of the support block 22 to improve the electrical insulation of the support block if desired. Alternatively, a somewhat thicker layer of insulating material may be used with the conductive, nonmagnetic support block 22.

제3a도에 제시된 바대로 제조된 지지체 블럭(22)을 사용하여, 자극단 밴드 표면(40)내 다수의 자극단 놋치들(44) 각각을 감광성 내식막(46)의 부피 및 형상이 놋치들(44)의 외부 치수에 상응하는 사진석판술 또는 화학적 에칭 기술에서 보통 사용되는 감광성 내식막(46)으로써 동시에 채운다. 즉, 감광성 내식막 표면이 주위의 평면 표면들(36 및 40)과 함께 뻗어가면서 놋치들(44)도 채워질 것이다. 고전도성 비자성물질, 예컨대 구리의 도체층(28)을 코어형상을 규정하는 인접한 표면들(34,42)상에 부착시킨다. 도체층의 부분을 본딩놋치(38)상에 또는 내에 부착하지 않고, 단지 소량의 부분을 자극단 표면(40)상에 부착한다. 약 1밀의 두께를 갖는 상기 도체(28)층은 스퍼터링, 진공 부착, 이온 플레이팅등의 임의 수의 통상적인 기술에 의해 부착할 수 있다. 제3b도는 등각의 인접 표면들(34,42)상에 부착된 도체(28)층 및 감광성 내식막(46)으로 채워진 자극단 놋치(44)가 있는 지지체 블럭(22)를 묘사한다.Using the support block 22 manufactured as shown in FIG. 3A, each of the plurality of pole end notches 44 in the pole end band surface 40 was formed using the notches of the volume and shape of the photoresist 46. It is simultaneously filled with a photoresist 46 which is commonly used in photolithography or chemical etching techniques corresponding to the external dimensions of (44). That is, the notches 44 will also be filled as the photoresist surface extends along with the surrounding planar surfaces 36 and 40. Conductor layer 28 of a highly conductive nonmagnetic material, such as copper, is deposited on adjacent surfaces 34 and 42 defining the core shape. Instead of attaching a portion of the conductor layer onto or within the bonding notches 38, only a small portion is attached onto the pole end surface 40. The conductor 28 layer, having a thickness of about 1 mil, can be deposited by any number of conventional techniques, such as sputtering, vacuum deposition, ion plating, and the like. 3B depicts the support block 22 with a pole 28 notch 44 filled with a layer of conductor 28 attached to conformal adjacent surfaces 34 and 42 and a photoresist 46.

제3c도를 언급하면, 그 다음에 도체(28)층 상에 약 100내지 200마이크로인치의 두께를 갖는 첫번째 절연층(49), 이어서 고투자성 자기물질 및 절연물질이 교대하는 얇은 층(50,51)이 부착된다. 제3c도에 제시된 바대로, 상기 적층판은 끝이 가는 상부 표면(42)위로 뻗어 자극단 밴드 표면(40)을 커버한다. 각각 약 40마이크로인치의 두께를 갖는 얇은 자기물질층(50)은 임의 수의 상업적으로 구입 가능한 자기물질, 예컨대 코발트-지르코늄-니오브(CZN)합금, 각각 85% 철, 6% 알루미늄, 및 9% 규소, 및 또한 무정형 금속의 공칭조성을 갖는 알페실, 센더스트, 스핀알로이,또는 바코듈을 포함하는 철-알루미늄-규소 합금일 수 있다. 알루미나(Al2O3) 또는 이산화규소(SiO2)는 약 1 또는 2마이크로인치의 두께를 갖는 얇은 절연물층(51)에 적합한 물질이다. 또한 얇은 절연물 및 자기물질층들(50,51)의 부착은 스퍼터링, 진공 부착, 이온 플레이팅 등과 같은 임의 통상적인 기술에 의해 할 수 있다. 단지 예시 및 공간제한을 위하여, 자기물질층(50) 및 절연층(51)의 수는, 자기층(50)의 수가 얼마이든지, 절연층이 그의 외부층들 상에 있을 것이고; 더우기 몇몇 응용에서 자기층의 수가 10개(10) 또는 열두개(12)개만큼 많을 수 있지만, 제3c도(뿐만아니라 다음 도면들)에서 각각 2개로 제시하였다.Referring to FIG. 3C, a first insulating layer 49 having a thickness of about 100 to 200 microinches is then placed on the conductor 28 layer, followed by an alternating thin layer 50 of high permeability magnetic and insulating material. 51) is attached. As shown in FIG. 3C, the laminate extends over the top end surface 42 to cover the pole end band surface 40. The thin layer of magnetic material 50, each about 40 microinches thick, can be any number of commercially available magnetic materials, such as cobalt-zirconium-niobium (CZN) alloys, 85% iron, 6% aluminum, and 9%, respectively. Silicon, and also iron-aluminum-silicon alloys, including alpesyl, sendust, spin alloys, or barcodeles having a nominal composition of amorphous metals. Alumina (Al 2 O 3 ) or silicon dioxide (SiO 2 ) is a suitable material for the thin insulator layer 51 having a thickness of about 1 or 2 microinches. In addition, the thin insulator and magnetic material layers 50 and 51 can be attached by any conventional technique such as sputtering, vacuum deposition, ion plating, or the like. For the purpose of illustration and space limitation only, the number of magnetic material layers 50 and insulating layers 51 may be that whatever the number of magnetic layers 50 is, the insulating layer will be on its outer layers; Furthermore, in some applications the number of magnetic layers may be as high as ten (10) or twelve (12), but two are shown in figure 3c (as well as the following figures).

제3d도에 묘사된 바대로, 개별 적층 코어구간(24)는 이제 구간들 사이의 적층판 물질의 제거에 의해 형성된다. 다수의 코어구간(24)은 서로 평행하고 각각 자극단 놋치들(44)의 하나와 함께 및 그로부터 아래로 일렬로 뻗어간다. 코어구간(24)의 배열은 모든 적층판층들(50,51) 및 바닥 절연층(4)중 선택적으로 제거하고 이로써 제3d도에 묘사된 바대로 도체(28)층을 노출시키므로써 형성된다. 상기 물질의 선택적인 제거를 위하여, 반응이온 비임 에칭(RIBE)을 사용할 수 있거나 현상된 감광성 내식막을 사용하여 광화학 에칭을 사용할 수 있다. 제시된 바대로, 물질은 인접한 유사코어 구간들(24) 사이로부터 제거됐고, 또한 코어 구간들(24)의 상부 또는 말초 말단이 서로 평면이고 표면(40)의 평면에 대해 일반적으로 수직인 평면으로 놓일 때까지 자극단 밴드 표면(40)을 따라 물질을 제거했다. 제시된 바대로, 각각의 적층 코어구간(24)은 인접한 유사 코어구간(24)에 대해 평행하다.As depicted in FIG. 3d, the individual laminated core sections 24 are now formed by removal of the laminate material between the sections. The plurality of core sections 24 are parallel to each other and extend in line with and from one of the pole end notches 44, respectively. The arrangement of core sections 24 is formed by selectively removing all of the laminate layers 50, 51 and bottom insulating layer 4 thereby exposing the conductor 28 layer as depicted in FIG. 3d. For selective removal of the material, reactive ion beam etching (RIBE) can be used or photochemical etching can be used using developed photoresist. As shown, the material has been removed from between the adjacent pseudocore sections 24, and the top or peripheral ends of the core sections 24 are planar to each other and will lie in a plane generally perpendicular to the plane of the surface 40. The material was removed along the pole end band surface 40 until it was removed. As shown, each laminated core section 24 is parallel to an adjacent similar core section 24.

제3e 및 3f도를 언급하면, 적층 코어구간들(24)이 형성된 후에, 정상 절연층(27(참고 제2도)는 도체(28)층, 뿐만아니라 적층 코어구간(24)의 노출된 전방 표면들, 뿐만아니라 측면 및 정상 연부를 포함하는 지금 노출된 표면상에 부착된다. 이층(27)은 노출된 표면 및 연부의 외형을 따르는 일반적으로 균일한 두께의 층이다. 절연층(27)의 부착에 이어, 가공물의 전체 노출표면은 그 상에 부착된 도체(26)층을 가지며, 부착물은 지지체 블럭(22)의 원래 표면(34)에 일반적으로 평행한 표면을 형성하기에 충분한 두께이다. 제3f도에 의하면, 도체(26)층의 표면이 선행 단계에 부착된 절연층(27)과 서로 평면임을 볼 수 있다. 제3e 및 3f에 제시된 바대로, 도체물질층은 적층코어구간(24), 적층코어구간(24)의 사이 및 하부 영역, 뿐만아니라 자극단 밴드 표면(40) 및 자극단 놋치(44)를 커버하기에 충분하다. 상기 정상도체층(26)은 인접한 코어구간(24) 사이의 공간내에 약 0.5밀 두께의 치수를 갖는다.Referring to FIGS. 3E and 3F, after the laminated core sections 24 are formed, the top insulating layer 27 (see FIG. 2) is exposed to the conductor 28 layer, as well as the exposed front of the laminated core section 24. Surfaces are attached as well as the now exposed surface, including the side and normal edges .. The bilayer 27 is a layer of generally uniform thickness that follows the contours of the exposed surface and edges. Following attachment, the entire exposed surface of the workpiece has a layer of conductor 26 attached thereon, the attachment being thick enough to form a surface generally parallel to the original surface 34 of the support block 22. 3f, it can be seen that the surface of the conductor 26 layer is planar to each other with the insulating layer 27 attached to the preceding step, as shown in 3e and 3f, the conductor material layer is a laminated core section 24; ), Between the laminated core section 24 and the lower region, as well as the pole end band surface 40 and the pole end notch ( Sufficient to cover 44. The top conductor layer 26 has dimensions of about 0.5 mils thick in the space between adjacent core sections 24.

이제 제3g도를 언급하면, 그 다음 단계는 적층코어구간(24)위의 자극단 밴드 표면(40)으로부터 자극단 놋치(44)내 감광성 내식막(46)의 제거를 수반한다. 이는 적층코어구간(24)의 상부 벤트 아암의 노출된 말초 말단을 통하여 공통 평면을 성립하며, 평면은 자극 밴드 표면(40)의 평면에 대해 및 나머지 도체(26)층의 평면에 대해 수직이다. 정상 도체(26)층의 정상 및 바닥 연부의 두 표면을 도체(26)층의 나머지 정상 연부의 평면이 자극단 놋치들(44)의 바닥 표면과 접촉되고 도체(26)층의 바닥 연부가 적층코어구간(24)의 바닥 연부와 접촉되도록 제거한다.Referring now to FIG. 3G, the next step involves the removal of the photoresist 46 in the pole end notch 44 from the pole end band surface 40 on the laminated core section 24. This establishes a common plane through the exposed distal end of the upper vent arm of the laminated core section 24, the plane being perpendicular to the plane of the pole band surface 40 and to the plane of the remaining layer of conductor 26. The two surfaces of the top and bottom edges of the top conductor 26 layer contact the bottom surface of the pole end notches 44 and the bottom edge of the conductor 26 layer is laminated. Removed so as to contact the bottom edge of the core section 24.

제3h도에 예시된 바대로, 자극단 밴드 표면(40)을 따라 영역 중간의 자극단 놋치(44)를 적당한 감광성 내식막(56)으로 마스킹하며, 상기 부분들은 일반적으로 막대-형상이고 각각 블럭(22)의 상부 표면(36) 및 도체(26)층의 나머지 표면과 서로 평면인 삽입 표면들을 갖는다. 그 다음 적층코어구간(24) 위의 인접한 막대-형상 감광성 내식막 부분(56) 사이의 공간 및 자극단 밴드 표면(40)내 자극단 놋치(44)를 포함하는 나머지 상자같은 개방구내로 자극단(30)을 스퍼터링시킨다. 자극단(30)용 자기 합금물질은 적층코어구간(24)내에 얇은 자기층(50)으로 사용된 동일한 자기물질이며, 적층코어구간(24)의 상부 말초 말단과 직접 접촉하여 스퍼터링된다. 상기 방식으로, 자극단(30)은 적층코어구간(24)의 유사한 적층물질과 연속적인 자로를 형성한다.As illustrated in FIG. 3h, the pole end notches 44 in the middle of the area along the pole end band surface 40 are masked with a suitable photoresist 56, the portions being generally rod-shaped and each block is block-shaped. It has insertion surfaces that are planar with each other with the top surface 36 of 22 and the remaining surface of the conductor 26 layer. The pole end is then spaced between adjacent rod-shaped photoresist portions 56 above the laminated core section 24 and into the remaining box-like opening including pole end notches 44 in the pole end band surface 40. (30) is sputtered. The magnetic alloy material for the pole end 30 is the same magnetic material used as the thin magnetic layer 50 in the laminated core section 24 and is sputtered in direct contact with the upper peripheral end of the laminated core section 24. In this manner, the pole end 30 forms a continuous magnetic path with similar stacked materials of the laminated core section 24.

스퍼터링된 자극단들(30) 사이로부터 감광성 내식막(56)의 제거에 이어(참고 제3i도), 적층코어구간(24)의 정면, 정상 도체층(26)의 정면 및 자극단(30)의 정면을 포함하는 표면 또는 평면(31)을 마주보는 전방 정면 및 갭을 랩핑하거나 윤을 내어 그 상에 매끄럽고, 평평한 표면을 제공한다. 기계 랩핑 또는 RIBE 공정을 사용하는 평면화를 상기 목적에 사용할 수 있다. 상기 랩핑 또는 윤내기 작업중에, 코어구간 24위에 놓인 절연층(27)의 실질적으로 전부를(참고 제3f도) 제거하여 코어구간(24)의 금속성 적층판을 노출시켜, 상기 랩핑 또는 윤내기 작업은 갭 평면(58)으로 언급된 매우 평평한 매우 균일한 평면을 창출한다. 그 다음 갭 평면(58)을 완전한 자기변환기(20)에 대해 원하는 갭 띄우기(제2도에서 단일 갭 층(25)으로서 묘사됨)인 반쪽의 두께를 갖는 갭 절연층(25)으로써 부착시키며, 이의 반쪽이 이제 근본적으로 제3j도에 나타낸 바대로 완료된다.Following removal of the photoresist 56 from between the sputtered pole ends 30 (FIG. 3i), the front of the laminated core section 24, the front of the top conductor layer 26 and the pole end 30 Lapping or glazing the front face and the gap facing the surface or plane 31 including the front face of the provides a smooth, flat surface thereon. Planarization using mechanical lapping or RIBE processes can be used for this purpose. During the lapping or calendering operation, substantially all of the insulating layer 27 overlying the core section 24 (see FIG. 3f) is removed to expose the metallic laminate of the core section 24 so that the lapping or calendering operation is performed in the gap plane. Creates a very flat, very uniform plane, referred to as (58). The gap plane 58 is then attached with a gap insulation layer 25 having a half thickness, which is the desired gap spacing (depicted as a single gap layer 25 in FIG. 2) relative to the complete magnetoconverter 20, Half of this is now essentially complete as shown in Figure 3j.

그다음, 변환기(20)의 두개의 개별 반쪽 또는 변환기 헤드구간(21,21')은 정면으로 마주보게, 즉 서로 갭을 마주보는 표면들을 가로질러 X 및 Y방향으로써 정렬된 적층헤드 코어구간(24) 및 자극단(30)을 갖는 갭을 마주보는 표면 대 갭을 마주보는 표면으로 위치된다. 갭을 마주보는 표면들은 근본적으로 점선으로 제시된 부분들이고 갭 층(25a) 아래 코어구간의 부분인 참고 수자(24)로써 묘사된다. 구간(21')상의 유사한 요소는 예시의 용이함을 위해 헤드구간(21) 및 이어서 어퍼스트로피와 동일한 참고 수자를 갖는다. 그다음 두개의 헤드구간(21,21')을 제3k도에 제시된 바와 같이 통상적인 방식으로 함께 유리 본딩시켜 제3l도에 예시된 바와 같은 변환기(20)의 블럭을 생산한다. 함께 고정된 두개의 헤드구간(21,21')으로써, 하부 놋치들(38,39')은 집합적으로 첫번째 본딩 놋치를 형성한다. 유사하게, 두번째 또는 상부 본딩 놋치는 결합된 자극단들(30, 30 및 30', 30')의 인접한 쌍들 사이의 공간에 형성된다. 유리(59)가 이렇게 형성된 이들 상부 및 하부 본딩 놋치내의 공간들을 채운다.Then, the two separate halves of the transducer 20 or the transducer head sections 21, 21 'are arranged face-to-face, i.e., stacked head core sections 24 arranged in the X and Y directions across the surfaces facing each other. ) And a gap facing surface with a pole end 30 versus a gap facing surface. The surfaces facing the gaps are depicted as reference numerals 24 which are essentially portions shown in dashed lines and which are part of the core section below the gap layer 25a. Similar elements on the section 21 'have the same reference numerals as the head section 21 and then the apostrophe for ease of illustration. The two head sections 21, 21 'are then glass bonded together in a conventional manner as shown in FIG. 3k to produce a block of transducer 20 as illustrated in FIG. With two head sections 21, 21 'fixed together, the lower notches 38, 39' collectively form the first bonding notch. Similarly, a second or top bonding notch is formed in the space between adjacent pairs of coupled pole ends 30, 30 and 30 ′, 30 ′. Glass 59 fills the spaces in these upper and lower bonding notches thus formed.

제3m도에 예시된 바대로 개별 변환기(20)을 이렇게 연결된 지지체 블럭(22,22')을 제3l도에 제시된 절단선(61)을 따라 얇게 자르거나 마름모꼴로 잘라 얻는다. 이들 절단선(61)은 보통 지지체 블럭(22,22')의 측면에 대해 각지게 되어 방위 기록을 위한 원하는 각을 창출할 것이다. 개별 변환기(20)가 동시에 얇게 잘라지는 한편, 그것은 보통 단일 통과로 동시에 변환기(20)의 모든 슬라이스를 짝을 맞추도록 실행될 것이다.As illustrated in FIG. 3m, the support blocks 22, 22 'thus connected to the individual transducers 20 are thinly cut or rhombic along the cutting lines 61 shown in FIG. These cut lines 61 will usually be angled with respect to the sides of the support blocks 22, 22 'to create the desired angle for orientation recording. While the individual transducers 20 are thinly sliced at the same time, it will usually be executed to match all slices of the transducers 20 simultaneously in a single pass.

도체(26,28)층 모두는 결합되거나 고정된 지지체블럭(22,22')의 전체 길이를 움직인다. 절단후에, 제4도의 개별 변환기(20)의 확대 투시도에 예시된 바대로, 두 도체(26,28)층의 연부가 자극단(30) 주위의 유리 충전물(58) 아래의 변환기(20)의 표면에 노출된다. 변환기(20)을 부가적으로 서술하기 위하여, 바닥, 또는 첫번째 부착된 도체(28)층은 외부 도체(28)로서 언급될 것이고, 정상, 또는 최종 부착 도체(26)층은 내부 도체(20)로서 언급될 것이고 어퍼스트로피(')를 사용하여 단순한 수자 표시를 갖는 레프트 핸드 또는 첫번쩨 반쪽을 갖는 변환기(20)의 라이트 핸드 또는 두번째 반쪽을 나타내기 위해 사용될 것이다.Both layers of conductor 26 and 28 move the entire length of the support blocks 22 and 22 ', which are bonded or fixed. After cutting, the edges of the two conductor layers 26 and 28, as illustrated in the enlarged perspective view of the individual transducers 20 of FIG. 4, may be applied to the transducers 20 below the glass filler 58 around the pole end 30. FIG. Exposed on the surface. To further describe the transducer 20, the bottom, or first, attached conductor 28 layer will be referred to as the outer conductor 28, and the top, or final, attached conductor 26 layer may be referred to as the inner conductor 20. It will be referred to as and will be used to indicate a left hand with a simple numeric representation or a light hand or second half of the transducer 20 with the first half using an apostrophe (').

이렇게 노출된 외부 도체(28,28') 및 내부 도체(26,26')로써, 이들 도체들을 접속시켜 적합한 점퍼 훅크-업의 사용에 의해 하나 또는 두개의 코일 회전으로서 역할하는 것이 가능하다. 이제 제5 및 6도를 언급하면, 변환기(20)의 마주보는 표면들이 묘사되며, 제5도는 첫번째 점퍼(64)에 의해 인접한 내부도체(26)에 접속된 외부도체(28) 및 두번째 점퍼(66)에 의해 인접한 내부도체(26')에 접속된 나머지 외부도체(28')을 예시한다. 제6도에 제시된 바와같이 마주보는 표면상에서, 점퍼(76)는 도체(26 및 28')에로의 접속에 의해, 예컨대 각각 리이드(74 및 72)에 의해 내부도체(26')에 외부도체(28)을 상호 접속시키므로써 2-회전 신호 코일 형상을 얻는다. 부가적으로 소형 집적회로 프리암프(70)은 제6도에 예시된 바와같이 변환기(20)의 마주보는 측면상에 직접 놓일 수 있다. 하나의 프리암프 리이드(72)는 외부도체(28')에 접속되고 나머지 프리암프 리이드(74)는 내부도체(26)에 접속된다. 변환기(20)에 물리적으로 부착된 프리암프(70)의 배열은 신호코일의 헤드 회전으로부터 프리암프(70)에로 매우 짧은 리이드를 제공하므로써 변환기(20)을 설계함게 있어 고주파에서의 긴 리이드에 관련된 캐패시턴스 및 유도 손실이 감소된다.With the exposed outer conductors 28, 28 'and inner conductors 26, 26' it is possible to connect these conductors and serve as one or two coil turns by the use of suitable jumper hook-ups. Referring now to FIGS. 5 and 6, opposing surfaces of the transducer 20 are depicted, and FIG. 5 shows the outer conductor 28 and the second jumper (connected to the adjacent inner conductor 26 by the first jumper 64). 66 illustrates the remaining outer conductor 28 'connected to the adjacent inner conductor 26'. On the opposite surface, as shown in FIG. 6, jumpers 76 are connected to conductors 26 and 28 ', for example by leads 74 and 72, respectively, to outer conductor 26' by inner conductors 26 '. 28) to obtain a two-turn signal coil shape. Additionally, the small integrated circuit preamp 70 may be placed directly on the opposite side of the transducer 20 as illustrated in FIG. One preamp lead 72 is connected to the outer conductor 28 ′ and the other preamp lead 74 is connected to the inner conductor 26. The arrangement of the preamp 70 physically attached to the transducer 20 allows the transducer 20 to be designed by providing a very short lead from the head turn of the signal coil to the preamp 70, which is related to the long lead at high frequencies. Capacitance and induction loss are reduced.

완성된 변환기(20)의 부가적인 상세도는 평면도 제7도 및 제8도, 및 단면도 제9-11도에서 설명한다. 각 변환기(20)는 대향하는 자극단(30, 30')의 대응하는 쌍을 분리하는 갭 절연층(25)에 의해 분리된 한쌍의 대향하는 적층코어구간(24,24')을 포함한다. 제9도에서 가장 잘 나타낸 바와같이, 각각이 교대하는 얇은 자성 및 절연층(50,51 및 50',51')으로 구성되는 대향하는 적층코어구간(24,24')의 정상은 일반적으로 바깥쪽으로 테이퍼링되어 적층코어구간(24,24')이 함께 일반적으로 Y형 배열을 형성하도록 한다. 이제 외부 절연층(27,27')으로 불리는 바닥 절연층(27)은, 외부 도체(28,28') 다음에 적층코어구간(24,24')의 양쪽에 배치되며, 외부도체 각각은 대향하는 적층코어구간(24,24')의 일반적으로 Y형 배열에 합치된다. 갭 절연층(25)의 한쪽상에 Y형 배열의 정상에 넓은 부분의 내부에 내부도체(26,26')의 가로대 부분 또는 만곡 부분(26a,26a')이 있다(참조 제2도 및 제10도). 사용된 방법으로, 절연갭층(25)의 개재부분과 함께 합해진 만곡부분(26a,26a')은 실질적으로 코어구간(24,24')의 두 아암 부분의 접합점에서 형성된 V형 권선창의 목을 충전한다. 자극단(30,30')은, 지지체(22)에 의해 지지되고 유리충전물(59)에 의해 결합된 Y형 적층코어구간(24,24')의 정상위에 배치된다. 자극단(30,30')은 외부 절연층(27,27') 및 Y형 적층코어구간(24,24')의 외부도체(28,28') 약간 위로 바깥으로(절연갭(25) 평면에 대해) 뻗어있다.Additional details of the completed transducer 20 are described in plan views 7 and 8 and in cross sections 9-11. Each transducer 20 includes a pair of opposing stacked core sections 24, 24 'separated by a gap insulation layer 25 separating the corresponding pairs of opposing magnetic pole ends 30, 30'. As best shown in FIG. 9, the tops of the opposing stacked core sections 24, 24 ', each composed of alternating thin magnetic and insulating layers 50, 51 and 50', 51 ', are generally outside. Tapered towards the stack core sections 24, 24 'together to form a generally Y-shaped array. The bottom insulating layer 27, now called the outer insulating layers 27 and 27 ', is disposed on both sides of the laminated core section 24 and 24' after the outer conductors 28 and 28 ', each of the outer conductors facing each other. Is generally consistent with a Y-shaped arrangement of stacked core sections 24, 24 '. On one side of the gap insulation layer 25 is a cross section or curved portion 26a, 26a 'of the inner conductors 26, 26' inside the wide portion at the top of the Y-shaped arrangement (see FIGS. 10 degrees). In the method used, the curved portions 26a, 26a 'combined with the intervening portion of the insulating gap layer 25 substantially fill the neck of the V-shaped winding window formed at the junction of the two arm portions of the core section 24, 24'. do. The magnetic pole ends 30, 30 'are supported on the top of the Y-type laminated core sections 24, 24' supported by the support 22 and bonded by the glass filler 59. The pole ends 30, 30 'are slightly outwardly (outside gap 25 plane) of the outer insulation layers 27, 27' and the outer conductors 28, 28 'of the Y-type laminated core section 24, 24'. About) stretched.

변환기(20)의 물리적 크기는 아주 작다. 예를들면, 개개의 변환기(20)의 길이 및 나비는 약 0.100인치이며 두께는 약 0.017인치일 수 있다. 보다 중요하게, 자성 코어의 크기는 적층코어구간(24,24')의 길이 약 0.005인치 및 자극단(30,30')의 높이 약 0.0005인치로 극히 작다. 또한 적층코어구간(24,24')의 Y형 배열의 중심에서 내부 도체(26,26')의 높이는 동일하게, 즉, 약 0.0005인치일 수 있다. 넓은 Y형 정상 단부에서 합해진 적층코어구간(24,24')의 나비는 약 0.002인치이고 합해진 자극단(30,30')의 나비는 약 0.0035인치이다. 자극단(30,30') 및 적층코어구간(24,24')의 깊이는 둘다 약 0.001인치일 수 있다.The physical size of the transducer 20 is very small. For example, the length and butterfly of the individual transducers 20 may be about 0.100 inches and the thickness may be about 0.017 inches. More importantly, the size of the magnetic core is extremely small, about 0.005 inches in length of the laminated core section 24 and 24 'and about 0.0005 inches in height of the pole ends 30 and 30'. Also, the heights of the inner conductors 26, 26 'at the center of the Y-shaped arrangement of the stacked core sections 24, 24' may be the same, that is, about 0.0005 inches. The butterflies of the laminated core sections 24, 24 'combined at the wide Y-shaped top end are about 0.002 inches and the butterflies of the combined pole ends 30, 30' are about 0.0035 inches. The depths of the pole ends 30, 30 ′ and the stacked core sections 24, 24 ′ can both be about 0.001 inches.

제9도 및 제10도는 이용 가능한 자력 선속로를 극적으로 나타내고, 제10도는 절연물이 제거된 절연 갭(25)평면을 따르는 구간이다. 제10도에 관련하여 상기 크기를 이용하여, 자극단(30)의 나비는 0.001인치이고 두께(나타낸 바의 수직 크기)는 0.0005인치(갭 깊이에 해당)이고, 이것은 도체(26)의 만곡부분(26a)의 두께와 거의 동일한 크기이다. 자극단(30)의 상부표면으로부터 적층코어구간(24)의 저연부까지 약 0.0055인치의 전체 수직크기로, 이것은 V형 개구의 목아래의 코어구간(24)의 다리부분의 길이에 관해 약 0.0045인치의 크기를 남긴다. 따라서 목 부분의 축길이는 코어구간(24) 전체 길이의 약 10%이다. 높은 선속결합효율은 몇몇 요소의 결과로서 얻어진다. 즉, 갭 깊이는 매우 작고 코일은 자극단에 가까이 배치되며, (즉, 내부도체(26)의 만곡부분(26a)은 판독/기록간격 및 이용될 테이프같은 자기매체 둘다에 관해 밀접하게 가깝다) 또한, 만곡부분(26a)은 코어구간(24)의 아암부분과 절연갭층(25) 사이의 공간을 실질적으로 충전하고, 부가적으로, 백 갭길이(코어구간(24)의 인접한 다리부분에 의해 형성됨)는 대향하는 자극단의 판독/쓰기 갭 영역보다 실질적으로 큰 영역이다.9 and 10 show dramatically the available magnetic flux paths, and FIG. 10 is a section along the plane of the insulation gap 25 with the insulation removed. Using this size in relation to FIG. 10, the butterfly of the pole end 30 is 0.001 inch and the thickness (vertical size of the bar shown) is 0.0005 inch (corresponding to the gap depth), which is the curved portion of the conductor 26. It is almost the same size as the thickness of 26a. An overall vertical size of about 0.0055 inches from the upper surface of the pole end 30 to the lower edge of the laminated core section 24, which is about 0.0045 in relation to the length of the legs of the core section 24 below the neck of the V-shaped opening. Leave the size of the inch. Therefore, the shaft length of the neck portion is about 10% of the total length of the core section 24. High flux coupling efficiency is obtained as a result of several factors. That is, the gap depth is very small and the coil is placed close to the pole end (i.e., the curved portion 26a of the inner conductor 26 is close to both the read / write interval and the magnetic medium such as tape to be used). The curved portion 26a substantially fills the space between the arm portion of the core section 24 and the insulating gap layer 25, and additionally is formed by a back gap length (adjacent leg portions of the core section 24). ) Is an area substantially larger than the read / write gap area of the opposite magnetic pole.

자성 코어의 작은 물리적 크기는 본질적으로 내부도체(26,26')둘레의 거리인 짧은 자로길이를 결과시킨다. 극히 짧은 자로를 가짐으로써, 코어 자기저항은 코어의 투과성에 덜 의존적이 되어, 100내지 150MHz 주파수 범위에서 선속효율의 상당한 이득을 결과시킨다. 이 주파수 범위에서의 투과성은 얇은 단층으로부터 코어구간을 제조함으로써 최소화되는 와전류손 및 다른 주파수 효과에 의해서 실질적으로 감소될 수 있다. 이 변환기(10)에서 사용되는 40마이크로인치 자기합금 단일층의 투과성은 매우 우수한 500범위일 수 있는 한편, 다층 코어의 투과성은 자기층과 많은 자기층으로 전개될 수 있는 유도응력간의 전기절연의 질로 인해 이 값 이하고 상당히 떨어질 수 있다. 따라서, 코어 투과성에 대한 의존성을 감소시키는 것은 100내지 150MHz 범위의 주파수에서 상대적인 높은 선속효율을 보장하도록 매우 중요해진다.The small physical size of the magnetic core results in short magnetic length, essentially the distance around the inner conductors 26, 26 '. By having extremely short magnetic paths, the core magnetoresistance is less dependent on the permeability of the core, resulting in a significant gain in flux efficiency in the 100 to 150 MHz frequency range. Permeability in this frequency range can be substantially reduced by eddy current losses and other frequency effects that are minimized by fabricating core sections from thin monolayers. The permeability of the 40 microinch self-alloy monolayer used in this transducer 10 can range from very good 500, while the permeability of the multi-layer core is due to the quality of electrical insulation between the magnetic layer and the induced stress that can develop into many magnetic layers. This value can fall considerably below this value. Therefore, reducing the dependence on core permeability becomes very important to ensure a relatively high flux efficiency at frequencies in the range of 100 to 150 MHz.

작은 변환기 크기 때문에, 전체의 코어는 갭(25) 평면에 수직방향으로 자극단(30,30')위로 움직이는 자기테이프와 접촉할 것이다. 그 사이에 갭(25)을 갖는 자극단(30, 30')의 두께는 비데오 헤드 주사기상에 임의의 통상적인 방법으로 설치될 수 있는 변환기(20)의 궤도나비를 한정한다.Because of the small transducer size, the entire core will contact the magnetic tape moving over the pole ends 30, 30 ′ in a direction perpendicular to the gap 25 plane. The thickness of the pole ends 30, 30 ′ with a gap 25 therebetween limits the orbital width of the transducer 20, which can be installed in any conventional manner on the video head syringe.

자극단(30,30')은 적층되기보다는 오히려 솔리드 자기 재료이므로, 자극단(30,30')의 내마모성이 개선될 것이다. 적층판의 개개의 얇은 절연층(51,51')이 보통 이차 갭 리플이라 하는 파동을 일으킬 갭으로서 작용할 수 있으므로 적층코어구간(24,24')은 자기비데오테이프에 노출되지 않는다.Since the pole ends 30 and 30 'are solid magnetic materials rather than laminated, the wear resistance of the pole ends 30 and 30' will be improved. The laminated core sections 24 and 24 'are not exposed to the magnetic video tape because the individual thin insulating layers 51 and 51' of the laminate can act as gaps that will cause waves, commonly referred to as secondary gap ripple.

내부 및 외부 도체(26, 26', 28, 28')는 누설 인덕턴스를 감소시키는 적층코어구간(24,24')과 가까이 통합된다. 얇은 필름 변환기에서 통상의 나사선 도체는 비데오 헤드의 성능을 저하시킬 상당한 누설 인덕턴스를 갖는다. 코어구간(24)의 아암부분의 합류점에서 권선창을 형성하고 실질적으로 부착된 도체(26,26')의 만곡부분(26a,26a')으로 권선창을 충전함으로써, 창영역으로 침입하는 갭(25)내 및 주위의 실질적으로 모든 선속이 창내에서 권선 코일에 결합되어, 누설 선속로를 최소화하거나 제거할 것이다.The inner and outer conductors 26, 26 ′, 28, 28 ′ are closely integrated with the laminated core section 24, 24 ′ which reduces leakage inductance. Conventional thread conductors in thin film converters have a significant leakage inductance that will degrade the performance of the video head. A gap invading the window region by forming a winding window at the confluence of the arm portion of the core section 24 and filling the winding window with the curved portions 26a, 26a 'of the conductors 26, 26' attached substantially ( Substantially all of the flux in and around 25 will be coupled to the winding coil in the window, minimizing or eliminating the leakage flux.

여기에서 나타내고 설명된 변환기(20)는 고주파 밴드나비 시스템을 위해 고안된다. 작은 코어 크기의 결과로서, 헤드 코어의 극단에 의해 픽업되는 선속이 갭(25)에 의해 픽업되는 선속과 위상이 다르다는 사실로 인해 일어나는 중요한 "헤드 범프"의 가능성이 있다. 이 이차 선속 픽업은 갭(25)에서 일차 신호선속을 소멸적으로 및 보강적으로 교대로 간섭하고, 이는 차례로 "헤드범프"라 불리는 감쇠 파동을 일으킨다. 첫번째 범프는 테이프와 접촉하는 코어의 길이에 해당하는 파장에서 일어난다. 따라서, 적층코어구간(24,24')이상으로 자극단(30,30') 길이를 연장함으로써, 첫번째 범프가 일어나는 파장이 증가하고 이에 의해 주파수는 낮아진다. 또한, 극연부 판독의 높은 주파수 효율이 감소되어, 연부 판독 펄스의 최고 진폭을 감소시킬 것이다.The transducer 20 shown and described herein is designed for high frequency band butterfly systems. As a result of the small core size, there is the possibility of an important "head bump" which arises due to the fact that the ship speed picked up by the extreme of the head core is out of phase with the ship speed picked up by the gap 25. This secondary flux pickup alternately and destructively interferes with the primary signal flux in the gap 25, which in turn causes an attenuation wave called "head bump". The first bump occurs at a wavelength corresponding to the length of the core in contact with the tape. Thus, by extending the length of the pole ends 30, 30 'beyond the laminated core section 24, 24', the wavelength at which the first bump occurs is increased and thereby the frequency is lowered. In addition, the high frequency efficiency of the edge read will be reduced, which will reduce the peak amplitude of the edge read pulse.

자성코어의 크기는 극히 작아, 이는 본질적으로 내부도체 둘레의 거리인 짧은 자로길이를 결과시킨다. 극히 짧은 자로를 가짐으로써, 코어 자기저항은 코어 투과성에 덜 의존하게 되어, 100내지 150MHz 주파수 범위에서 선속효율의 상당한 이득을 결과시킨다. 이 주파수 범위에서 투과성은 얇은 단층으로부터 코어구간을 제조함으로써 최소화되는 와전류손 및 다른 주파수 효과에 의해 실질적으로 감소될 수 있다.The size of the magnetic core is extremely small, which results in short magnetic length, which is essentially the distance around the inner conductor. By having extremely short magnetic paths, the core magnetoresistance is less dependent on core permeability, resulting in a significant gain in flux efficiency in the 100 to 150 MHz frequency range. Permeability in this frequency range can be substantially reduced by eddy current losses and other frequency effects that are minimized by fabricating core sections from thin monolayers.

또한, 작은 변환기 크기 때문에, 전체의 코어는 자극단 위로 움직이는 자기테이프와 접촉할 것이다. 자극단의 내마모성은 그것들이 적층되기 보다는 오히려 솔리드 자기재료이므로 개선될 것이다. 적층된 헤드코어 구간은 자기비데오 테이프에 노출되지 않는다. 또한, 누설 인덕턴스는 내부 및 외부 도체가 적층된 헤드코어구간과 가까이 통합되므로 감소된다.In addition, because of the small transducer size, the whole core will contact the magnetic tape moving over the pole end. The wear resistance of the pole ends will be improved as they are solid magnetic materials rather than laminated. The stacked headcore sections are not exposed to the magnetic video tape. In addition, leakage inductance is reduced because it integrates close to the head core section where the inner and outer conductors are stacked.

전체의 변환기(20)는 대량 생산, 극도로 높은 정확성 및, 재료부착 및 광무기 방법과 같은 낮은 비용의 기술에 의해 제조된다. 배치제조에 의해, 많은 변환기(20)를 위한 모든 자성코어 재료는 동일한 공정단계동안 부착되고 모든 변환 갭은 동시에 형성된다. 이것은 모든 변환기(10)에 관해 고도의 균일성을 결과시킨다.The entire transducer 20 is manufactured by low cost techniques such as mass production, extremely high accuracy, and material attachment and light weapon methods. By batch manufacturing, all the magnetic core materials for many transducers 20 are attached during the same process step and all the conversion gaps are formed simultaneously. This results in a high degree of uniformity for all transducers 10.

여기에서 설명된 적층된 고주파 자기변환기 및 그를 위한 제조방법에 대한 광범하게 다양한 변형 및 개선이 당분야의 업자에게 명백하리라 생각된다. 따라서, 첨부된 청구범위에서 상술된 바를 제외하고는 여기에서의 설명에 의해 본 발명에 대한 어떠한 제한도 의도하지 않는다.It is contemplated that a wide variety of modifications and improvements to the stacked high frequency magnetoelectric transducers described herein and methods of making them will be apparent to those skilled in the art. Accordingly, no limitations are intended to the invention by the description herein, except as described above in the appended claims.

Claims (42)

하기로 구성되는, 자기 매체로 고주파 신호를 재생하고/하거나 기록하는 자기 변환기 : 절연갭에 의해 분리되고 서로 결합된, 각각이 자기재료와 절연재료의 다수의 얇은 교대층으로 구성되며 서로 대향했을 때 한쌍의 자성코어구간이 일반적으로 Y형이 되도록 배열된 한쌍의 대향한 자성코어구간 ; 상기 일반적으로 Y형의 대향한 자성코어구간 쌍의 외부표면상에 배치된 한쌍의 외부 절연층 ; 상기의 외부 절연층쌍에 배치된 한쌍의 외부 도체 ; 하나가 절연갭 한쪽에 배치된, 상기 일반적으로 Y형의 대향한 자성코어구간 쌍의 개방단부내에 배치된 한쌍의 내부 도체 ; 및 상기 대향한 자성코어구간 쌍의 V형 정상 단부에 작동가능하게 배치되고 상기 절연개에 의해 분리되어 자극단중 하나가 자성코어구간 쌍중 하나 위에 배치되고 상기 자극단중 다른 하나는 상기 자성코어구간의 다른 하나위에 배치되도록한 한 쌍의 솔리드 자기재료 자극단.Magnetic transducers for reproducing and / or recording high frequency signals with a magnetic medium, consisting of: a plurality of thin alternating layers of magnetic material and insulating material, opposed to each other, separated and coupled to each other by an insulating gap; A pair of opposing magnetic core sections arranged such that the pair of magnetic core sections are generally Y-shaped; A pair of outer insulation layers disposed on outer surfaces of said generally pair of Y-shaped opposing magnetic core sections; A pair of outer conductors disposed on the outer pair of insulating layers; A pair of inner conductors disposed within the open ends of the generally pair of opposite Y-shaped magnetic core sections, one of which is disposed on one side of the insulating gap; And operatively disposed at the V-shaped top end of the opposing magnetic core section pair and separated by the insulator so that one of the magnetic poles is disposed on one of the pairs of magnetic core sections and the other of the magnetic poles is the magnetic core section. A pair of solid magnetic material poles arranged to be placed on top of one another. 제1항에 있어서, 신호 코일을 형성하기 위해 상기 자성코어구간 쌍의 상기 내부 및 외부도체를 전기적으로 연결하는 수단을 부가적으로 포함하는 자기변환기.The magneto-electric converter according to claim 1, further comprising means for electrically connecting the inner and outer conductors of the magnetic core section pair to form a signal coil. 제2항에 있어서, 상기 변환기에 물리적으로 결합되고 상기 신호 코일에 전기적으로 연결된 전치증폭기 수단을 부가적으로 포함하는 자기변환기.3. The magnetor converter of claim 2, further comprising preamplifier means physically coupled to the converter and electrically connected to the signal coil. 하기로 구성되는, 자기테이프 매체로 고주파 신호를 재생하고/하거나 기록하는 자기 변환기 : 각각의 자성코어요소가 a. 자기재료 및 절연재료의 다수의 얇은 교대층 ; b, 상기 코어요소의 외부표면에 배치된 외부 절연층 ; c. 상기 외부 절연층에 배치된 외부 도체 ; d. 상기 코어요소의 내부표면에 배치되고 Y형의 절반의 바깥으로 뻗어있는 아암부분에 세그먼트를 포함하는 내부 도체 ; e. 상기 세그먼트 위에 상기 코어요소 아암부분의 먼단부에 작동 가능하게 배치된 솔리드 자기재료 자극단 ; 및 f. 상기 외부도체 및 상기 자극단 부분을 포함하는 상기 코어요소를 지지하는 지지체로 구성되는, 정면으로 대향될 때 함께 일반적으로 Y형 배열을 형성하는 제1자성코어요소 및 제2자성코어요소 ; 상기 제1 및 제2자성코어요소 사이에 배치된 절연갭층 ; 상기 제1 및 제2자성코어요소를 상기 절연갭층 주위에 상기 Y형 배열로 유지하는 결합수단 ; 및 신호코일을 형성하기 위해 상기 제1 및 제2자성 코어요소의 상기 내부 및 외부도체를 전기적으로 상호 연결하는 수단.A magnetic transducer for reproducing and / or recording a high frequency signal with a magnetic tape medium, each magnetic core element comprising: a. Multiple alternating layers of magnetic and insulating materials; b, an outer insulating layer disposed on an outer surface of the core element; c. An outer conductor disposed on the outer insulation layer; d. An inner conductor disposed on an inner surface of the core element and including a segment in an arm portion extending outward of half of a Y-shape; e. A solid magnetic material magnetic pole stage operatively disposed over the segment at a far end of the core element arm portion; And f. A first magnetic core element and a second magnetic core element which, when opposed to the front, form a generally Y-shaped arrangement together with a support for supporting the core element including the outer conductor and the pole end portion; An insulating gap layer disposed between the first and second magnetic core elements; Coupling means for holding the first and second magnetic core elements in the Y-shaped arrangement around the insulating gap layer; And means for electrically interconnecting the inner and outer conductors of the first and second magnetic core elements to form a signal coil. 제4항에 있어서, 상기 자성코어요소에 물리적으로 연결되고 상기 신호코일에 전기적으로 연결된 전치 증폭기 수단을 부가적으로 포함하는 자기변환기.5. The magnetor converter of claim 4, further comprising preamplifier means physically connected to the magnetic core element and electrically connected to the signal coil. 하기로 구성되는, 자기 테이프 매체로 고주파 신호를 재생하고/ 하거나 기록하는 자기변환기 ; 각각의 자성코어요소가 a. 제1의 일반적으로 평면의 표면 및 상기 제1표면과 그에 대해 비스듬히 인접한 제2의 일반적으로 평면의 표면을 포함하는 표면을 형성하는 코어배열을 가지며, 부가적으로 상기 제2표면과 인접한 자극단 표면을 포함하고 상기 제1표면에 일반적으로 평행한 평면을 형성하는 지지체 ; b. 표면을 형성하는 상기 코어배열상의 제1도체층 ; c. 상기 제1도체층상의 제1절연층 ; d. 자기재료 및 절연재료의 다수의 얇은 교대층을 가지며, 코어구간, 상기 제1절연층 및 상기 제1도체층이 표면을 형성하는 상기 코어배열에 합치하는 단면을 갖는 상기 제1절연층 위에 배치된 적층코어구간 ; e. 상기 제2표면에 해당하는 부분에서 상기 적층코어구간위에 세그먼트를 갖는 제2도체층 ; 및 f. 상기 코어구간의 정상과 자성관계로 및 상기 제1절연층, 상기 제1도체층 및 상기 제2도체층의 상기 세그먼트와 위에 놓이는 관계로 상기 자극단 표면에 적어도 부분적으로 형성된 솔리드 자가재료 자극단으로 구성되는, 정면으로 대향될 때 일반적으로 Y형 배열을 함께 형성하는 제1 및 제2자성코어요소 ; 상기 제1 및 제2자성 코어요소 사이에 배치된 절연갭층 ; 상기 제1 및 제2자성 코어요소를 상기 절연갭층 주위에 상기 Y형 배열로 유지하는 결합수단 ; 및 상기 제1 및 제2자성 코어요소의 상기 제1 및 제2도체층을 전기적으로 연결하여 신호코일을 형성하는 수단.A magnetizer for reproducing and / or recording high frequency signals with a magnetic tape medium, which is configured as follows; Each magnetic core element is a. A core array forming a surface comprising a first generally planar surface and a second generally planar surface obliquely adjacent to the first surface and additionally adjacent pole end surfaces adjacent to the second surface. A support comprising a support and forming a plane generally parallel to the first surface; b. A first conductor layer on the core array forming a surface; c. A first insulating layer on the first conductor layer; d. A plurality of thin alternating layers of magnetic material and insulating material, said core section, said first insulating layer and said first conductor layer being disposed over said first insulating layer having a cross section matching said core arrangement forming a surface; Laminated core section; e. A second conductor layer having a segment on the laminated core section at a portion corresponding to the second surface; And f. A solid magnetic material pole end formed at least partially on the pole end surface in a magnetic relationship with the top of the core section and overlying the segment of the first insulating layer, the first conductor layer and the second conductor layer; First and second magnetic core elements configured to, when opposed to the front, generally form together a Y-shaped arrangement; An insulating gap layer disposed between the first and second magnetic core elements; Coupling means for holding the first and second magnetic core elements in the Y-shaped arrangement around the insulating gap layer; And means for electrically connecting the first and second conductor layers of the first and second magnetic core elements to form a signal coil. 제6항에 있어서, 상기 변환시에 물리적으로 커플링되고 상기 신호코일에 작동 가능하게 연결된 전치증폭기 수단을 부가적으로 포함하는 자기변환기.7. The magnetor converter of claim 6, further comprising preamplifier means physically coupled during the conversion and operably connected to the signal coil. 제6항에 있어서, 상기 자극단의 자기재료는 상기 적층코어구간의 자기재료와 동일하고, 상기 자기재료는 코발트-지르코늄-니오브합금, 철-알루미늄-규소 합금 및 비결정 금속으로 구성되는 군으로부터 선택되는 자기변환기.The magnetic material of the magnetic pole stage is the same as the magnetic material of the laminated core section, and the magnetic material is selected from the group consisting of cobalt-zirconium-niobium alloy, iron-aluminum-silicon alloy and amorphous metal. Magnet converter. 제6항에 있어서, 상기 절연재료는 알루미나, 이산화규소 및 세라믹으로 구성되는 군으로부터 선택되는 자기변환기.7. The magneto-electric converter according to claim 6, wherein said insulating material is selected from the group consisting of alumina, silicon dioxide and ceramics. 제6항에 있어서, 상기 도체층은 구리인 자기변환기.7. The magneto-transducer of claim 6, wherein the conductor layer is copper. 제6항에 있어서, 상기 자기재료의 얇은 층 두께는 약 40마이크로인치이고 상기 절연재료의 얇은 층 두께는 약 1내지 2마이크로인치인 자기변환기.7. The magnetic transducer of claim 6, wherein the thin layer thickness of the magnetic material is about 40 micro inches and the thin layer thickness of the insulating material is about 1 to 2 micro inches. 제11항에 있어서, 상기 적층 코어구간의 길이는 약 0.005인치인 자기변환기.12. The magneto-transducer of claim 11, wherein the stacked core section has a length of about 0.005 inches. 제12항에 있어서, 상기 자극단의 높이는 약 0.0005인치인 자기변환기.13. The magneto-transducer of claim 12, wherein the height of the pole ends is about 0.0005 inches. 제13항에 있어서, 자극단 및 적층코어구간의 깊이는 약 0.001인치인 자기변환기.14. The magneto-transducer of claim 13, wherein a depth of pole end and stacked core sections is about 0.001 inches. 제6항에 있어서, Y형 제1 및 제2자성 코어요소의 V형 정상부분의 길이는 Y형 제1 및 제2자성코어요소 전체길이의 약 10%인 자기변환기.7. The magneto-transducer of claim 6, wherein the length of the V-shaped top portions of the Y-type first and second magnetic core elements is about 10% of the total length of the Y-type first and second magnetic core elements. 하기로 구성되는 자기매체로 고주파 신호를 재생하고/하거나 기록하는 자기변환기 : 각각의 변환기 헤드 절반이 다음을 포함하는, 절연갭층에 의해 분리되고 함께 결합된 한쌍의 대향한 변환기 헤드 절반 : 일반적으로 평판 모양의 제1도체층 ; 상기 제1도체층에 긴밀히 고정된 표면을 가지며 상기 제1도체층 다음에 자기재료와 절연재료의 교대의 얇은 층위에 얇은 절연층으로 형성되며, 상기 제1도체층과 상기 적층 코어구간의 복합재는 일부같이 서로 대향될 때 두 부분이 일반적으로 Y형 단면이도록 배열을 갖는 예정된 나비의 적층코어구간 ; 코어구간 연부에 인접한 상기 제1도체층의 일부와 함께 부착된 표면 및 상기 적층코어구간의 연부 위에 놓이는 절연층 : Y형 단면의 V형 부분내에서 상기 절연갭층의 반대쪽에 인접한 관계로 놓이는 다른 변환기 절반의 유사한 만곡부분과 함께, 만곡 부분에 의해 일반적으로 역위된 U형 부재로서 형성된 상기 절연층 위의 제2도체층 ; 및 적층 코어부분 아암의 먼단부와 자로관계 및 상기 만곡부분과 근접관계이고 상기 절연갭층의 평면에 일반적으로 수직방향으로 상기 V형 부분으로 뻗어있는 블록형 자기 자극단.Magnetic transducers for reproducing and / or recording high frequency signals with a magnetic medium consisting of: a pair of opposing transducer heads, separated by an insulating gap layer, joined together by a half of each transducer head, comprising: a generally flat plate Shaped first conductor layer; The surface is tightly fixed to the first conductor layer and is formed of a thin insulating layer on the alternating thin layer of magnetic material and insulating material after the first conductor layer, and the composite material of the first conductor layer and the laminated core section A laminated core section of a predetermined butterfly having an arrangement such that when the parts are opposed to each other, the two parts generally have a Y-shaped cross section; A surface attached with a portion of the first conductor layer adjacent to the core section edge and an insulating layer overlying the edge of the laminated core section: another transducer placed in a relationship adjacent to the opposite side of the insulation gap layer in the V-shaped portion of the Y-shaped cross section. A second conductor layer on the insulating layer formed as a U-shaped member generally inverted by the curved portion, with half the similar curved portion; And a block-type magnetic pole end extending in the V-shaped portion in a direction perpendicular to the far end of the laminated core portion arm and in close proximity to the curved portion and extending generally in a direction perpendicular to the plane of the insulating gap layer. 제16항에 있어서, 내부 및 외부 도체는 둘다 적층코어구간의 나비보다 큰 나비여서 상기 두개의 절반을 함께 결합한 후, 상기 제1 및 제2도체층의 연부가 접근하기 쉽게 하고 상기 변환기는 신호 코일을 형성하기 위해 상기 절반 두개의 상기 제1 및 제2도체층의 연부를 전기적으로 상호 연결하기 위한 수단을 부가적으로 포함하는 자기변환기.17. The method of claim 16, wherein the inner and outer conductors are both larger than the butterfly of the laminated core section so that after joining the two halves together, the edges of the first and second conductor layers are accessible and the transducer is a signal coil. And means for electrically interconnecting the edges of the two halves of the first and second conductor layers to form an interconnect. 제16항에 있어서, 상기 제2도체층의 상기 두 인접한 만곡부분과 상기 절연갭층의 개재 부분은 실질적으로 V형 부분을 충전하는 자기변환기.17. The magnetic transducer of claim 16, wherein the two adjacent curved portions of the second conductor layer and the intervening portions of the insulating gap layer substantially fill the V-shaped portions. 하기 단계로 구성되는, 고주파 신호를 자기매체로 재생하고/하거나 기록하는 자기변환기의 제조방법 : 각각이 일반적으로 Y형의 절반을 갖는 적어도 2개의 자성코어구간을 형성하는 단계로, 각 코어구간은 자기재료와 절연재료의 다수의 얇은 교대층을 포함하고, 외부 절연층은 상기 코어요소의 외부표면에 배치되고, 외부 도체는 상기 외부 절연층위에 배치되고, 내부 도체는 바깥으로 뻗어있는 Y형 절반의 정상에서 상기 코어요소의 내부표면에 배치되고, 솔리드 자기 재료 자극단은 Y형 절반위로 상기 코어구간의 정상에 작동 가능하게 배치되고, 지지체는 상기 외부도체 및 상기 자극단의 외부표면을 포함하는 상기 코어요소를 지지하는 단계 ; 각각의 절반의 Y형 자성코어요소의 내부 표며너에 갭절연층을 형성하는 단계 ; 갭절연층에서 자성 코어요소를 함께 결합하여 일반적으로 Y형 자기변환기를 형성하는 단계 ; 및 상기 함께 결합된 자성코어요소 각각의 외부 및 내부도체를 전기적으로 연결하여 신호코일을 형성하는 단계.A method of manufacturing a magnetic transducer for reproducing and / or recording a high frequency signal with a magnetic medium, comprising: forming at least two magnetic core sections each having a half of a Y-type, each core section being A plurality of thin alternating layers of magnetic and insulating material, the outer insulating layer being disposed on the outer surface of the core element, the outer conductor being disposed on the outer insulating layer, and the inner conductor being extended to the outside of the Y-shaped half. Disposed on the inner surface of the core element at the top of the solid magnetic material pole end is operatively disposed on the top of the core section above the Y-shaped half, and the support includes the outer conductor and the outer surface of the pole end. Supporting the core element; Forming a gap insulation layer on the inner surface of each half of the Y-type magnetic core element; Coupling the magnetic core elements together in the gap insulation layer to form a generally Y-type transducer; And electrically connecting the outer and inner conductors of each of the magnetic core elements coupled together to form a signal coil. 제19항에 있어서, 상기 자성코어요소중 하나의 외부도체 및 상기 자성코어요소중 다른 하나의 내부 도체에 전치증폭기 수단을 전기적으로 연결하고 상기 자성코어요소중 상기 하나의 내부도체를 상기 자성코어요소중 상기 다른 하나의 외부도체에 전기적으로 연결하는 단계를 부가적으로 포함하는 자기변환기의 제조방법.20. The magnetic core element of claim 19, wherein a preamplifier means is electrically connected to an outer conductor of one of the magnetic core elements and an inner conductor of the other of the magnetic core elements, and the inner conductor of the one of the magnetic core elements connected to the magnetic core element. And electrically connecting to the other outer conductor of the magnetic converter. 제19항에 있어서, 상기 자기재료는 코발트-지르코늄-니오브 합금, 철-알루미늄-규소 합금 및 비결정 금속으로 구성되는 군으로부터 선택되는 자기변환기의 제조방법.20. The method of claim 19, wherein the magnetic material is selected from the group consisting of cobalt-zirconium-niobium alloys, iron-aluminum-silicon alloys, and amorphous metals. 제20항에 있어서, 상기 절연재료는 알루미나, 이산화규소 및 세라믹으로 구성되는 군으로부터 선택되는 자기변환기의 제조방법.21. The method of claim 20, wherein the insulating material is selected from the group consisting of alumina, silicon dioxide, and ceramics. 제20항에 있어서, 상기 도체는 구리인 자기변환기의 제조방법.21. The method of claim 20, wherein the conductor is copper. 제20항에 있어서, 상기 자기재료의 얇은 층 두께는 약 40 마이크로인치이고 상기 절연재료의 얇은 층 두께는 약 1내지 2 마이크로인치인 자기변환기의 제조방법.21. The method of claim 20, wherein the thin layer thickness of the magnetic material is about 40 microinches and the thin layer thickness of the insulating material is about 1 to 2 microinches. 제24항에 있어서, 상기 적층코어구간의 길이는 약 0.005 인치인 자기변환기의 제조방법.25. The method of claim 24, wherein the laminated core section has a length of about 0.005 inches. 제25항에 있어서, 상기 자극단의 높이는 약 0.0005 인치인 자기변환기의 제조방법.27. The method of claim 25, wherein the height of the pole ends is about 0.0005 inches. 제26항에 있어서, 자극단과 적층코어구간의 깊이는 약 0.001 인치인 자기변환기의 제조방법.27. The method of claim 26, wherein the depth of pole end and laminated core section is about 0.001 inches. 제25항에 있어서, Y형 자성 코어요소의 V형 정상부분의 길이는 Y형 자성코어요소 전체길이의 약 10%인 자기변환기의 제조방법.27. The method of claim 25, wherein the length of the V-shaped top portion of the Y-type magnetic core element is about 10% of the total length of the Y-type magnetic core element. 하기 단계로 구성되는, 고주파 신호를 자기테이프 매체로 재생하고/하거나 기록하는 자기변환기의 제조방법 : 비자성, 부전도성 지지체의 편평 표면을 조형하여 테이퍼링된 표면에 인접하고 교차하는 평면표면 및 상기 테이퍼링된 표면에 인접한 평면밴드에 다수의 간격을 둔 자극단 노치를 형성하는 단계 ; 상기 밴드의 평면과 같은 높이의 감광성 내식막 평면으로 윗쪽의 상기 다수의 간격을 둔 자극단 노치를 충전하는 단계 ; 고전도성, 비자기금속층을 상기 평면표면 및 상기 테이퍼링된 상부 표면에 부착하는 단계 ; 절연재료층을 고전도성, 비자기 금속층이 부착된 층위에 부착하는 단계 ; 자기재료와 절연재료의 다수의 얇은 층을 상기 부착된 절연재료층 위에 교대로 부착하여 적층 구조물을 형성하는 단계 ; 상기 일정한 간격을 둔 자극단 노치들 사이의 구역에서 상기의 고전도성, 비자기 금속층 위의 상기 적층 구조물의 일부를 선택적으로 제거하여 상기 다수의 자극단 노치 각각과 일직선으로 및 아래에서 다수의 일반적으로 평행하고, 동일하게 간격을 둔 적층 자성 코어구간을 형성하는 단계 ; 상기 고전도성, 비자기 금속층의 노출부분 및 상기 적층자성코어구간의 노출 표면 및 연 부위에 일반적으로 균일한 두께의 절연층을 부착하는 단계 ; 이렇게 부착된 절연층 위에 고전도성, 비자기 금속층을 상기 지지체의 상기 평면 표면에 일반적으로 평행하고 적층 자성 코어구간의 절연표면 평면과 일반적으로 동일한 공간에 걸쳐있는 수준으로 부착하는 단계 ; 이렇게 부착된 재료를 상기 밴드구역에서 선택적으로 제거하여 상기 고전도성, 비자기 금속층인 개재절연층 및 상기 밴드의 평면에 일반적으로 수직인 상기 평면을 갖는 상기 적층자 성 코어구간 둘다의 노출된 상부 연부에 의해 한정되는 평면을 형성하는 단계 ; 상기 모서리의 상기 테이퍼링된 상부 표면 위에서 상기 다수의 자극단 노치로부터 상기 감광성 내식막을 제거하는 단계 ; 상기 자극단 노치내 및 상기 자성코어구간 위에 자기재료를 선택적으로 부착하여, 각각이 상기 적층 자성 코어구간중 하나와 자로관계로, 다수의 블록 모양의 솔리드 자극단을 형성하는 단계 ; 상기 자성코어 구간의 표면, 상기 자극단의 표면, 및 부착된 고전도성, 비자기 금속층위의 평면에서 갭절연층을 부착시키는 단계 ; 대향한 적층 자성 코어구간을 갭절연층에서 함께 결합시켜 다수의 일반적으로 Y형 자기변환기를 형성하는 단계 ; 및 결합된 구조로부터 개개의 Y형 자기변환기를 슬라이싱하는 단계.A method of manufacturing a magnetic transducer for reproducing and / or recording a high frequency signal with a magnetic tape medium, comprising: a flat surface adjacent to and intersecting a tapered surface by shaping a flat surface of a nonmagnetic, nonconductive support, and the tapering Forming a plurality of spaced pole end notches in a planar band adjacent the surface; Filling the plurality of spaced stimulus stage notches above with a photoresist plane that is flush with the plane of the band; Attaching a highly conductive, nonmagnetic metal layer to the planar surface and the tapered top surface; Attaching an insulating material layer on the layer to which the highly conductive, nonmagnetic metal layer is attached; Alternately attaching a plurality of thin layers of magnetic material and insulating material on the attached insulating material layer to form a laminated structure; Selectively removing a portion of the laminated structure above the highly conductive, non-magnetic metal layer in the region between the spaced pole end notches so that a plurality of generally in line with and below each of the plurality of pole end notches Forming parallel and equally spaced stacked magnetic core sections; Attaching an insulating layer having a generally uniform thickness to the exposed portion of the highly conductive, nonmagnetic metal layer and the exposed surface and the open portion of the laminated magnetic core section; Attaching a highly conductive, non-magnetic metal layer on the attached insulating layer to a level generally parallel to the planar surface of the support and generally in the same space as the insulating surface plane of the laminated magnetic core section; The material thus attached is selectively removed from the band section to expose the exposed top edges of both the interlayer insulating layer, which is the highly conductive, non-magnetic metal layer, and the laminate core section having the plane generally perpendicular to the plane of the band. Forming a plane defined by; Removing the photoresist from the plurality of pole end notches on the tapered top surface of the corner; Selectively attaching a magnetic material in the magnetic pole notch and on the magnetic core section to form a plurality of block-shaped solid magnetic poles, each of which has a magnetic relationship with one of the laminated magnetic core sections; Attaching a gap insulation layer on a surface of the magnetic core section, a surface of the magnetic pole end, and a plane on the attached high conductive, nonmagnetic metal layer; Joining opposing stacked magnetic core sections together in a gap insulating layer to form a plurality of generally Y-type transducers; And slicing individual Y-type transducers from the combined structure. 제29항에 있어서, 상기 조형단계는 반응성 이온비임 부식인 자기변환기의 제조방법.30. The method of claim 29, wherein said shaping step is reactive ion beam corrosion. 제29항에 있어서, 상기 부착단계는 스퍼터링인 자기변환기의 제조방법.30. The method of claim 29, wherein said attaching step is sputtering. 제29항에 있어서, 상기 부착단계는 진공부착인 자기변환기의 제조방법.30. The method of claim 29, wherein the attaching step is vacuum attachment. 제29항에 있어서, 상기 부착단계는 이온도금인 자기변환기의 제조방법.30. The method of claim 29, wherein the attaching step is ion plating. 하기 단계들로 구성되는, 자기테이프 매체로 고주파 신호를 재생하고/하거나 기록하는 자기변환기의 제조방법 : 서로 수직의 제1 및 제2표면을 갖는 비자기, 부전도성 지지체를 조형하여 제2테이퍼링된 표면에 인접하고 교차하는 제1평면 표면을 제1표면에 및 상기 제1표면에 일반적으로 평행하고 상기 제2테이퍼링된 표면에 인접한 제3평면밴드를 형성하는 단계 ; 상기 제1 및 제2표면에 고전도성, 비자기 금속층을 부착하는 단계 ; 이렇게 부착된 고전도성, 비자기 금속층의 층위에 절연재료층을 부착하는 단계 ; 상기 부착된 절연재료층 위에 자기재료 및 절연재료의 다수의 얇은 층을 교대로 부착시켜 적층구조물을 형성하는 단계 ; 상기 고전도성, 비자기 금속층의 정상에 상기 적층구조의 일부를 선택적으로 제거하여 상기 제3밴드 표면 아래 구역에서 상기 제2표면에 수직방향으로 배향된 다수의 일반적으로 평행하고 동일하게 간격이 두어져 있고, 일반적으로 동일하게 배열된 적층 자성 코어구간을 형성하는 단계 ; 상기 고전도성 비자기 금속층의 노출부분 및 상기 적층된 자성코어구간의 노출 표면 및 가장자리 위로 일반적으로 균일한 두께의 절연층을 부착하는 단계 ; 이렇게 부착된 절연층 위에 고전도성, 비자기 금속층을 일반적으로 상기 제2표면과 동일표면이고 상기 지지체의 상기 제1표면에 일반적으로 평행하고 적층된 자성 코어구간의 절연표면의 평면과 일반적으로 동일한 공간에 걸치는 수준에 부착시키는 단계 ; 상기 밴드의 구역에서 이렇게 부착된 재료를 선택적으로 제거하여 상기 고전도성, 비자기 금속층 둘다의 상부 노출된 연부, 개재 절연층 및 상기 밴드의 평면에 일반적으로 수직인 상기 평면을 갖는 상기 적층된 자성 코어구간에 의해 한정된 평면을 형성하는 단계 ; 상기 각각의 자성코어 구간 위에 자기재료를 부착하여 상기 밴드의 깊이 및 상기 적층 자성 코어구간의 먼 말단과 자로 관계로 다수의 솔리드 자극단을 형성하는 단계 ; 상기 자성 코어구간의 표면, 상기 자극단의 표면, 및 부착된 고전도성, 비자기 금속층 위에 평면의 갭절연층을 부착하는 단계 ; 대향하는 적층 자성 코어구간과 정렬하여 갭절연층이 마주하는 관계로 이렇게 가공처리된 지지체 둘을 함께 결합하여 다수의 일반적으로 Y형 자기변환기를 형성하는 단계 ; 및 결합된 구조로부터 개개의 Y형 자기변환기를 슬라이싱하는 단계.A method of manufacturing a magnetic transducer for reproducing and / or recording a high frequency signal with a magnetic tape medium comprising the following steps: A second tapered by molding a nonmagnetic, nonconductive support having first and second surfaces perpendicular to each other. Forming a third planar band adjacent to and intersecting a surface to a first surface and generally parallel to the first surface and adjacent to the second tapered surface; Attaching a highly conductive, nonmagnetic metal layer to the first and second surfaces; Attaching an insulating material layer on the layer of the highly conductive, non-magnetic metal layer thus attached; Alternately attaching a plurality of thin layers of magnetic material and insulating material on the attached insulating material layer to form a laminated structure; Selectively removing a portion of the laminate structure on top of the highly conductive, non-magnetic metal layer so that a plurality of generally parallel and equally spaced oriented perpendicular to the second surface in the region below the third band surface Forming a laminated magnetic core section that is generally identically arranged; Attaching an insulating layer of generally uniform thickness over the exposed portions and edges of the highly conductive nonmagnetic metal layer and the stacked magnetic core sections; The highly conductive, non-magnetic metal layer on the thus-attached insulating layer is generally the same surface as the second surface and is generally the same as the plane of the insulating surface of the magnetic core section, which is generally parallel and laminated to the first surface of the support. Attaching at a level across; The laminated magnetic core having the top exposed edges of both the highly conductive, nonmagnetic metal layer, the intervening insulating layer and the plane generally perpendicular to the plane of the band by selectively removing material so attached in the zone of the band. Forming a plane defined by a section; Attaching a magnetic material on each of the magnetic core sections to form a plurality of solid magnetic poles in relation to the depth of the band and the far end of the laminated magnetic core section; Attaching a planar gap insulation layer over the surface of the magnetic core section, the surface of the magnetic pole end, and the attached highly conductive, non-magnetic metal layer; Forming a plurality of generally Y-type transducers by joining together the processed supports in such a way that the gap insulating layers face each other in alignment with the opposing stacked magnetic core sections; And slicing individual Y-type transducers from the combined structure. 제34항에 있어서, 상기 자기재료는 코발트-지르코늄-니오브합금, 철-알루미늄-규소 합금 및 비결정 금속으로 구성되는 군으로부터 선택되는 자기변환기의 제조방법.35. The method of claim 34, wherein the magnetic material is selected from the group consisting of cobalt-zirconium-niobium alloys, iron-aluminum-silicon alloys, and amorphous metals. 제34항에 있어서, 상기 절연재료는 알루미나, 이산화규소 및 세라믹으로 구성되는 군으로부터 선택되는 자기변환기의 제조방법.35. The method of claim 34, wherein the insulating material is selected from the group consisting of alumina, silicon dioxide, and ceramics. 제34항에 있어서, 상기 고전도성, 비자기 금속층은 구리인 자기변환기의 제조방법.35. The method of claim 34, wherein the highly conductive, nonmagnetic metal layer is copper. 제34항에 있어서, 상기 적층구조내에, 상기 자기재료 얇은 층의 두께는 약 40 마이크로 인치이고 상기 절연재료 얇은 층의 두께는 약 1내지 2마이크로 인치인 자기변환기의 제조방법.35. The method of claim 34, wherein in the laminate structure, the thickness of the thin layer of magnetic material is about 40 micro inches and the thickness of the thin layer of insulating material is about 1 to 2 micro inches. 제38항에 있어서, 상기 적층 코어구간의 길이는 약 0.005 인치인 자기변환기의 제조방법.The method of claim 38, wherein the laminated core section has a length of about 0.005 inches. 제39항에 있어서, 상기 자극단의 높이는 약 0.0005 인치인 자기변환기의 제조방법.40. The method of claim 39, wherein the height of the pole ends is about 0.0005 inches. 제40항에 있어서, 자극단 및 적층 코어구간의 깊이는 약 0.001 인치인 자기변환기의 제조방법.41. The method of claim 40, wherein the depth of the pole end and the laminated core section is about 0.001 inches. 제41항에 있어서, Y형 자성 코어요소의 V형 정상 부분의 길이는 Y형 자성코어요소 전체 길이의 약 10%인 자기변환기의 제조방법.42. The method of claim 41 wherein the length of the V-shaped top portion of the Y-type magnetic core element is about 10% of the total length of the Y-type magnetic core element.
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