KR0135404B1 - Monolithic crystal oscillator - Google Patents

Monolithic crystal oscillator

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KR0135404B1
KR0135404B1 KR1019930013862A KR930013862A KR0135404B1 KR 0135404 B1 KR0135404 B1 KR 0135404B1 KR 1019930013862 A KR1019930013862 A KR 1019930013862A KR 930013862 A KR930013862 A KR 930013862A KR 0135404 B1 KR0135404 B1 KR 0135404B1
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KR
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crystal piece
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crystal
metal cover
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키요히사 이나오
코우지 미즈키
마사키 쿠마가이
다케오 세키
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다케우치 도시아키
니혼덴파고오교오 가부시키가이샤
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Abstract

수정편의 양단부를 보지한 상태에서, 첫째로 주파수 온도특성을 양호하게 유지하고, 둘째로 내충격성을 향상하는 특히 표면실장용의 다중모드 수정진동자를 제공한다.In a state where both ends of the crystal piece are held, firstly, a multi-mode crystal oscillator for surface mounting is provided, which maintains good frequency temperature characteristics and secondly improves impact resistance.

수정편의 한쪽의 주면에 입출력 전극을 형성하고 다른쪽의 주면에 공통전극을 형성하여, 상기 입출력 전극에서 인출전극을 연장하여 양단 외주위부에 접속용어 전극랜드를 설치하고, 상기 전극랜드를 도전성 접착제에 의해 고착하여 수정편의 양단 외주위부를 보지하여되는 다중모드 수정진동자에 있어서, 첫째, 상기 인출전극과 전극랜드를 다른 금속으로 형성하여 중첩함과 동시에 상기 그 인출전극과 전극랜드의 어느 한쪽을 A1으로한 구성으로 하고, 둘째, 상기 도전성 접착제는 각 전극랜드의 양측에 설치되어 각 전극랜드의 한쪽에서는 전극랜드내에 위치하고, 다른쪽에서는 전극랜드와 수정편에 걸쳐 위치한 상태로하여 그 수정편을 기판상에 고정한 구성으로 한다.An input / output electrode is formed on one main surface of the crystal piece, and a common electrode is formed on the other main surface. The lead electrode is extended from the input / output electrode, and connection term electrode lands are provided at the outer periphery of both ends, and the electrode land is attached to the conductive adhesive. In the multi-mode crystal oscillator which is fixed by holding the outer periphery of both ends of the crystal piece, firstly, the lead electrode and the electrode land are formed of another metal and overlap with each other, and at least one of the lead electrode and the electrode land is moved to A1. Secondly, the conductive adhesive is provided on both sides of each electrode land and is located in the electrode land on one side of each electrode land, and on the other side of the electrode land and the crystal piece so that the crystal piece is placed on the substrate. It shall be fixed to.

Description

다중모드 수정진동자Multimode Crystal Oscillator

제1도는 종래 예를 설명하는 다중모드 진동자의 단면도,1 is a cross-sectional view of a multi-mode oscillator illustrating a conventional example,

제2도 (a)는 종래 예를 설명하는 수정편의 한쪽 주면의 도면,2 (a) is a drawing of one main surface of a crystal piece for explaining a conventional example,

제2도 (b)는 종래 예를 설명하는 수정편의 다른쪽 주면의 도면,2 (b) is a view of the other main surface of the crystal piece for explaining the conventional example,

제3도는 종래 예를 설명하는 기판의 평면도,3 is a plan view of a substrate for explaining a conventional example,

제4도는 다중모드 진동자의 보증감쇄량을 나타내는 대역 특성도,4 is a band characteristic diagram showing the amount of guaranteed attenuation of a multimode vibrator,

제5도는 종래 예의 다른 예를 설명하는 다중모드 진동자의 단면도,5 is a cross-sectional view of a multimode vibrator for explaining another example of the conventional example,

제6도는 종래 예의 접착제의 도포위치를 설명하는 수정편의 평면도,6 is a plan view of a crystal piece for explaining the application position of the adhesive of the prior art,

제7도는 본 발명의 일실시예를 설명하는 다중모드 진동자의 단면도,7 is a cross-sectional view of a multimode vibrator for explaining an embodiment of the present invention;

제8도는 본 발명의 일실시예의 작용효과를 설명하는 보증감쇄량을 나타내는 대역특성도.8 is a band characteristic diagram showing the amount of guaranteed attenuation for explaining the effect of the embodiment of the present invention.

제9도는 본 발명의 일실시예의 작용효과를 설명하는 전극간격(G)에 대한 보증감쇄량의 특성도로서, (a)는 중심주파수가 22MHz, (b)는 45MHz, (c)는 90MHz인 경우이고,9 is a characteristic diagram of the guaranteed attenuation for the electrode gap (G) illustrating the operation and effect of an embodiment of the present invention, where (a) is a center frequency of 22 MHz, (b) is 45 MHz, and (c) is 90 MHz ego,

제10도는 본 발명의 작용효과를 설명하는 모식도로서, 전극간격(G)이 25μm 이상 떨어져 접근한 경우의 도면,10 is a schematic diagram illustrating the operation and effect of the present invention, in which the electrode gap G approaches 25 μm or more,

제11도는 본 발명의 작용효과를 설명하는 모식도로서, 전극간격(G)이 25μm 이내로 접근한 경우의 도면,11 is a schematic diagram illustrating the operation and effect of the present invention, in which the electrode interval G approaches within 25 μm,

제12도는 본 발명의 제2실시예를 설명하는 도면으로서, (a)는 수정편의 한쪽 주면의 전극 구조도(평면도), (b)는 다른쪽 주면의 도면,12 is a view for explaining a second embodiment of the present invention, (a) is an electrode structure diagram (plan view) of one main surface of the crystal piece, (b) is a view of the other main surface,

제13도는 본 발명의 제2실시예를 설명하는 도면으로서, (a)는 수정편의 유지구조도(측면도), (b)는 접착제의 도포위치를 나타내는 수정편의 한쪽 주면의 도면,13 is a view for explaining a second embodiment of the present invention, (a) is a holding structure diagram (side view) of a crystal piece, (b) is a view of one main surface of a crystal piece showing a coating position of an adhesive,

제14도는 본 발명의 제2실시예의 작용효과를 설명하는 주파수 온도특성도,14 is a frequency temperature characteristic diagram illustrating the operational effects of the second embodiment of the present invention;

제15도는 본 발명의 제2실시예의 다른 예를 설명하는 도면으로서, (a)는 수정편의 한쪽 주면의 전극 구조도, (b)는 접착제의 도포위치를 나타내는 도면,15 is a view for explaining another example of the second embodiment of the present invention, (a) is an electrode structure diagram of one main surface of the crystal piece, (b) is a view showing the application position of the adhesive,

제16도는 본 발명의 제2실시예의 다른 예를 설명하는 수정편의 한쪽 주면의 전극구조도,16 is an electrode structure diagram of one main surface of a crystal piece for explaining another example of the second embodiment of the present invention;

제17도는 본 발명의 제2실시예의 다른 예를 설명하는 수정편의 한쪽 주면의 전극구조도,17 is an electrode structure diagram of one main surface of a crystal piece for explaining another example of the second embodiment of the present invention;

제18도는 본 발명의 제2실시예의 다른 예를 설명하는 수정편의 한쪽 주면의 전극구조도,18 is an electrode structure diagram of one main surface of a crystal piece for explaining another example of the second embodiment of the present invention;

제19도는 본 발명의 제2실시예의 다른 예를 설명하는 수정편의 한쪽 주면의 전극구조도,19 is an electrode structure diagram of one main surface of a crystal piece for explaining another example of the second embodiment of the present invention;

제20도는 본 발명의 제3실시예를 설명하는 도면으로서, (a)는 접착제(17)를 수정편(1)의 일단부 양쪽 표면에 직접 붙인 수정편의 평면도, (b)는 동일 수정편을 기판에 고착한 경우의 단면도, (c)는 수정편(1)의 일단부에 전극(23)을 설치하여 일단부 양쪽에 도전성 접착제를 붙인 수정편의 단면도, (d)는 동일 수정편을 기판에 고착한 경우의 단면도,20 is a view for explaining a third embodiment of the present invention, (a) is a plan view of a crystal piece in which the adhesive 17 is directly attached to both surfaces of one end of the crystal piece 1, and (b) shows the same crystal piece. (C) is a cross-sectional view of a crystal piece in which an electrode 23 is provided at one end of the crystal piece 1 and a conductive adhesive is attached to both ends thereof, and (d) shows the same crystal piece on a substrate. Section when adhered,

제21도는 본 발명의 제3실시예를 설명하는 도면으로서, (a)는 제10도의 도포방법에 의한 수정편의 왜량(歪量) d(μm)를 나타내는 실험결과도, (b)는 수정편의 왜량 d를 정의하는 단면도,21 is a view for explaining a third embodiment of the present invention, (a) is an experimental result showing the distortion amount d (μm) of the crystal piece by the coating method of FIG. 10, and (b) is a Profile defining the distortion d,

제22도는 본 발명의 제3실시예를 나타내는 수정편의 도면으로서, (a)(b) 모두 수정편의 평면도,FIG. 22 is a drawing of a quartz piece showing a third embodiment of the present invention, wherein (a) and (b) are both plan views of the crystal piece;

제23도는 본 발명의 제2실시예를 나타내는 수정편의 도면으로서, (a)(b) 모두 수정편의 평면도이다.FIG. 23 is a diagram of a crystal piece showing a second embodiment of the present invention, in which both (a) and (b) are plan views of the crystal piece.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1.....수정편, 2.....밀폐용기,1 ..... revision, 2 ..... airtight container,

3.....입력전극, 4.....출력전극,3 ..... Input electrode, 4 ..... Output electrode,

5.....공통전극, 6,7,8.....인출전극,5 ..... common electrode, 6,7,8 ..... drawing electrode,

9.....용기본체,10.....금속덮개,9 ..... main body, 10 ..... metal cover,

11.....기판,12.....테두리,11 .... substrate, 12 ... border,

13.....용접링,14,15.....접속용 전극,13 ..... welding ring, 14,15 ..... connection electrode,

16.....시일드 전극,17.....도전성 접착제.16 ..... shielded electrode, 17 ..... conductive adhesive.

18.....단자부,19.....와이어,18 ..... terminal part, 19 ..... wire,

20.....도통전극,21,22.....전극랜드(land),20 ..... conducting electrode, 21, 22 ..... electrode land,

23.....전극.23 ..... electrode.

본 발명은 MCF(Monolithic Crystal Filter)로서의 다중모드 수정진동자(이하, 다중모드 진동자라 한다)를 이용분야로 하는 것이며, 특히 표면 실장용으로서 보증감쇄량을 높임과 동시에 전기적 특성 및 내충격성을 양호하게 하는 다중모드 진동자에 관한 것이다.The present invention is intended to use a multimode crystal oscillator (hereinafter referred to as a multimode oscillator) as an MCF (Monolithic Crystal Filter), and in particular, for surface mounting, to increase the amount of guaranteed attenuation and to improve electrical characteristics and impact resistance. A multimode oscillator.

다중모드 진동자는 수정편에 형성한 예를 들면 2조의 전극쌍 사이의 음향적 결합을 이용하여 소정의 필터특성(전송특성)을 얻는 것으로서 통신기기 등에 유용되고 있다. 이와 같은 것의 하나로 입출력 전극사이의 전기적 결합에 의한 누설신호를 적게 하여 보증감쇄량을 높인 것이 있다. 그리고, 최근에는 저항 혹은 콘덴서 등으로 대표되는 것과 같이 표면 실장용으로 한 다중모드 진동자가 요구되고 있다(참조: 실원소60-118993호, 특원소63-273981호, 특원평1-83007호, 특원평4-46008호).The multi-mode oscillator is useful for communication equipment and the like by obtaining a predetermined filter characteristic (transmission characteristic) by using acoustic coupling between two pairs of electrode pairs formed on a crystal piece, for example. One such type is to increase the amount of guaranteed attenuation by reducing the leakage signal due to electrical coupling between the input and output electrodes. In recent years, multi-mode vibrators for surface-mounting, such as those represented by resistors or condensers, have been demanded (Ref. 60-118993, No. 63-273981, No. 1-83007, and No. Won 4-46008).

제1도 내지 제3도는 이와 같은 다중모드 진동자를 설명하는 일실시예의 도면이다. 또, 제1도는 단면도, 제2도 (a)(b)는 수정편의 표면, 이면을 나타내는 도면, 제3도는 절연기판의 평면도이다.1 to 3 are diagrams of one embodiment illustrating such a multimode vibrator. FIG. 1 is a sectional view, FIG. 2 (a) and (b) are views showing the front and back surfaces of the crystal piece, and FIG. 3 is a plan view of the insulating substrate.

다중모드 진동자는 수정편(1)을 밀폐용기(2)로 봉입하여 형성된다. 수정편(1)은 예를 들면 두께 미끄러짐 진동형태의 AT 컷트로 한다. 한쪽 주면(1a)에는 분할된 입출력 전극(3,4)이, 다른쪽의 주면(1b)에는 공통전극(5)이 형성된다. 입출력 전극(3,4)과 공통전극(5)에서는 양단 외주위부로 인출전극(6,7,8a,8b)을 연장한다. 밀폐용기(2)는 凹형태의 적층구조의 용기본체(9)에 금속덮개(10)를 시임(seam) 용접하여 형성된다. 단, 금속덮개(10)는 기준전위에 접지된다. 용기본체(9)는 절연기판(11)과 절연성 테두리(12)(이하, 테두리라 한다)와 용접링(13)으로 이루어진다. 절연기판(11)은 양단쪽에 입출력용의 접속전극(14, 15)을 가지고, 중앙부분에 기준전위로 되는 시일드 전극(16)을 가진다. 이들 각 전극(14, 15, 16)은 용기 외표면으로 연장하여 표면실장용의 외부단자로 된다. 또한 접속용 전극(14,15)은 시일드 전극(16)의 두께보다 크게 설정된다. 그리고, 수정편(1)의 한쪽 주면(1a)을 절연기판(11)에 대향시켜 유지한다. 즉, 입출력전극(3,4)이 형성된 양단 외주위부를 접속전극(14,15)상에 도전성 접착제(17)를 가지고 고착하여 전기적·기계적으로 접속한다. 또한, 다른쪽 주면(1b)의 공통전극(5)의 인출전극(8)은 와이어본딩(도시하지 않은)에 의해 시일드 전극(16)의 단자부(18)에 접속한다.The multi-mode vibrator is formed by enclosing the crystal piece 1 into the hermetic container 2. The crystal piece 1 is made into, for example, an AT cut in the form of thickness slip vibration. Split input and output electrodes 3 and 4 are formed on one main surface 1a, and common electrodes 5 are formed on the other main surface 1b. In the input / output electrodes 3, 4 and the common electrode 5, the lead electrodes 6, 7, 8a, 8b are extended to the outer periphery of both ends. The sealed container 2 is formed by seam-welding the metal cover 10 to the container body 9 having a U-shaped laminated structure. However, the metal cover 10 is grounded to the reference potential. The container body 9 is composed of an insulating substrate 11, an insulating edge 12 (hereinafter referred to as a border) and a welding ring (13). The insulating substrate 11 has connection electrodes 14 and 15 for input and output at both ends, and a shield electrode 16 serving as a reference potential at the center portion. Each of these electrodes 14, 15, 16 extends to the outer surface of the container and becomes an external terminal for surface mounting. In addition, the connecting electrodes 14 and 15 are set larger than the thickness of the shield electrode 16. Then, one main surface 1a of the crystal piece 1 is held facing the insulating substrate 11. That is, the outer periphery of both ends where the input / output electrodes 3 and 4 are formed is fixed on the connection electrodes 14 and 15 with the conductive adhesive 17 to be electrically and mechanically connected. Further, the lead electrode 8 of the common electrode 5 of the other main surface 1b is connected to the terminal portion 18 of the shield electrode 16 by wire bonding (not shown).

이와 같은 것에서는 수정편(1)의 한쪽 주면(1a)을 절연기판(11)의 시일드 전극(16)에 대향시켜 설치하였기 때문에 입출력 전극(3,4) 사이의 전기적 결합에 의해 직접적으로 전달하는 누설신호를 차폐하여 보증감쇄량을 높일 수 있다. 단지, 여기서의 보증감쇄량은 제4도에 나타낸 바와 같이 중심주파수(fo)에서 910kHz를 뺀 점에서의 감쇄량(A dB)을 지시한다.In this case, since one main surface 1a of the crystal piece 1 is provided opposite to the shield electrode 16 of the insulating substrate 11, it is directly transmitted by electrical coupling between the input / output electrodes 3,4. The shielded leakage signal can be shielded to increase the amount of guaranteed attenuation. However, the guaranteed attenuation here indicates the attenuation amount (A dB) at the point obtained by subtracting 910 kHz from the center frequency fo as shown in FIG.

그러나, 상기 구성의 것에서는 수정편(1)의 입출력전극과 절연기판(11)의 시일드 전극(16)의 전극간격(G)을 적게하면 그 기대에 반하여 보증감쇄량이 저하하는 문제가 있었다. 또한, 참조문헌 특원평4-46008에서는 보증감쇄량을 최대로 하는 전극간격(G)이 존재하는 것을 개시하였다. 그러나 금속덮개(10)를 기준 전위로 접지하는 효과에 대하여 충분히 개시되어 있지 않았다.However, in the above structure, if the electrode gap G between the input / output electrode of the crystal piece 1 and the shield electrode 16 of the insulating substrate 11 is reduced, there is a problem that the amount of guaranteed attenuation decreases in contrary to the expectation. In addition, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-46008, the existence of the electrode gap G that maximizes the guaranteed attenuation amount is disclosed. However, the effect of grounding the metal cover 10 to a reference potential has not been sufficiently disclosed.

또한, 상기 구성의 다중모드 전동자에서는 수정편(1)의 양단 외주위부를 고착하는 소위 양단 유지로 한다. 이 때문에, 접착제(17)의 경화시에 있어서 수축력에 의해 수정편(1)의 특히 길이 방향으로 뒤틀림이나 응력을 발생한다. 그 결과, 특히 응력감도 특성에 기인하여 주파수 온도특성의 열화를 초래하므로 양단 유지는 그 실용화가 곤란하다. 이것으로부터 일반적으로는 제6도에 나타낸 바와 같이, 수정편(1)의 일단부만을 유지하여 타단쪽을 자유단으로 하여 길이 방향의 응력 발생을 방지하는 것이 고려되고 있다. 그러나, 일단부 유지라도 일단부의 전 영역을 접착제(17)의 도포영역으로 하여 고착한 경우에는(제6도 (a) 폭방향으로 응력이 발생하여 수정편(1)을 파손한다. 또한, 일단부의 일부만을 점적(点的)으로 고착한 경우에는(제6동(b))접속강도가 불충분하므로 충격시에 수정편(1)이 이탈하여 상기와 같이 파손 등이 생긴다. 이것으로부터 인출전극(6,7)을 단부의 폭 방향으로 설치하여 일단부의 양쪽을 도포영역으로 하여 일단부 양쪽유지도 고려하였다(제6도 (c)). 그러나, 이 경우에도 기본적으로는 폭 방향의 양쪽을 고정단으로 하기 때문에 수정편(1)에는 특히 폭 방향으로 뒤틀림이 발생하게 되어 충분한 내충격성을 얻는 것은 곤란하였다. 그리고, 일단부 유지의 어느 경우에도 자유단으로 한 타단부가 상하로 요동하여 결과적으로는 그 부분에서의 수정편(1)의 파손이나 본딩용 와이어(19)의 이탈 및 단선, 또는 일단부의 접합 강도를 약화시키는 문제가 있었다.In addition, in the multi-mode armature of the above configuration, the so-called end holding that fixes the outer periphery of both ends of the crystal piece 1 is assumed. For this reason, distortion and stress generate | occur | produce in the longitudinal direction especially of the crystal piece 1 by shrinkage force at the time of hardening of the adhesive agent 17. As shown in FIG. As a result, in particular, the deterioration of the frequency temperature characteristic is caused due to the stress sensitivity characteristic, so that both ends are difficult to be practically used. From this, generally, as shown in FIG. 6, it is considered to hold | maintain only one end part of the crystal piece 1, and to make the other end a free end, and to prevent stress generation in a longitudinal direction. However, even if the one end is held, if the entire area of one end is fixed as the application area of the adhesive 17 (stress is generated in the width direction in Fig. 6 (a), the crystal piece 1 is damaged.) In the case where only a part of the part is fixed by dropping (sixth copper (b)), the connection strength is insufficient, so that the crystal piece 1 is detached at the time of impact, resulting in breakage as described above. 6, 7) were installed in the width direction of the end portion, and both ends of the one end were considered as an application area (Fig. 6 (c)). However, in this case as well, both sides of the width direction were basically fixed. In particular, it is difficult to obtain sufficient impact resistance because distortion occurs in the width direction in the crystal piece 1. In addition, in the case of holding one end, the other end of the free end swings up and down as a result. Of the crystal (1) in that part There has been a problem of breakage, separation and disconnection of the bonding wire 19, or weakening the bonding strength of one end.

본 발명은 전극간격과 보증감쇄량의 관계 및 금속덮개의 영향을 명확하게 한 상태에서 보증감쇄량을 높이는 다중모드 진동자를 제공하는 것을 제1의 목적으로 한다.It is a first object of the present invention to provide a multi-mode oscillator which increases the guaranteed attenuation amount in a state where the relationship between the electrode gap and the guaranteed attenuation amount and the influence of the metal cover are made clear.

또, 본 발명은 기본적으로는 양단 유지의 쪽이 수정편의 안정한 유지를 확보하여 파손등이 내충격성을 향상할 수 있다는 점에 주안을 두어 얀단 유지로 한 상태에서 주파수 온도 특성을 양호하게 유지하는 다중모드 진동자를 제공하는 것을 제2의 목적으로 한다.In addition, the present invention basically focuses on the fact that both ends of the holding can secure stable holding of the crystal piece and thus the impact resistance of the breakage can be improved. It is a second object to provide a mode oscillator.

더욱이, 본 발명은 양단 유지로 한 상태에서 다시 각 단의 양쪽을 점적(点的)으로 유지하는 4점 유지로 하여도 전기적 특성을 손상하지 않고 내충격성을 향상하는 다중모드 진동자를 제공하는 것을 제3의 목적으로 한다.Furthermore, the present invention provides a multi-mode vibrator that improves impact resistance without compromising electrical characteristics even with four-point holding in which both ends of each stage are kept dripping in the state of holding both ends. It is aimed at 3.

제1실시예First embodiment

제7도는 본 발명의 제1목적에 대응한 실시예를 설명하는 도면으로, 다중모드 수정진동자의 단면도이다. 또, 상기 종래 도면과 동일 부분에는 동일 부호를 붙여 그 설명을 간략히 한다. 다중모드 수정진동자는 전술한 바와 같이 한쪽의 주면(1a)에 입출력 전극(3,4,) 및 인출전극(6,7)을 가지고 다른쪽의 주면(1b)에는 공통전극(5) 및 인출전극(8a, 8b)이 형성된 수정편(1)을 절연기판(11), 테두리(12), 용접링(13)을 적층한 용기본체(9)와 금속덮개(10)로 이루어지는 밀폐용기(2)에 봉입하여 형성된다. 그리고, 수정편(1)의 한쪽 주면(1a)을 절연기판(11)의 시일드 전극(16)에 대향하여 유지한다(제1도 참조).7 is a view for explaining an embodiment corresponding to the first object of the present invention, which is a cross-sectional view of a multi-mode crystal oscillator. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as the said prior art figure, and the description is simplified. As described above, the multi-mode crystal oscillator has the input / output electrodes 3, 4, and the drawing electrodes 6, 7 on one main surface 1a, and the common electrode 5 and the drawing electrode on the other main surface 1b. A sealed container (2) consisting of a container body (9) and a metal cover (10) in which a crystal piece (1) having 8a and 8b formed thereon is laminated with an insulating substrate (11), an edge (12), and a welding ring (13). It is formed by enclosing in. One main surface 1a of the crystal piece 1 is held opposite to the shield electrode 16 of the insulating substrate 11 (see FIG. 1).

이 실시예에서는 테두리(12)의 복수 개소에 설치한 관통구멍에 도통전극(20)을 형성하여(소위 스루홀), 시일드전극(16)의 단자부(18)와 용접링(13)을 전기적으로 접속한다. 즉, 용접링(13)과 이것에 접합하는 금속커버(10)를 기준전위(시일드 전극)로 접지한다. 이들은 용기본체(9)의 소성시에 일체적으로 형성된다.In this embodiment, the conducting electrode 20 is formed in the through-hole provided at the plural places of the edge 12 (so-called through hole) to electrically connect the terminal portion 18 and the welding ring 13 of the shield electrode 16. Connect with That is, the welding ring 13 and the metal cover 10 bonded to it are grounded with a reference potential (shield electrode). These are integrally formed at the time of firing the container body 9.

이와 같은 것으로는 용접링(13)과 금속덮개(10)를 기준전위로 접지하였으므로 보증감쇄량을 높일 수 있다. 제8도는 이것을 나타낸 도면으로서 곡선(a)는 본 실시예, 곡선(b)는 미접지의 경우이다. 단, 중심주파수는 약 22MHz로 하고, 전극간격(G)은 50μm의 일정치로 하였다.In this case, since the welding ring 13 and the metal cover 10 are grounded at the reference potential, the attenuation loss can be increased. 8 is a diagram showing this, where curve a is the present embodiment and curve b is ungrounded. However, the center frequency was set to about 22 MHz, and the electrode interval G was set to a constant value of 50 μm.

이 도면으로부터 명백한 바와 같이, 본 실시예의 것으로는 68dB, 미접지의 것으로는 39dB로 되어 그 차가 약 29dB가 된다. 따라서, 접지에 의한 효과가 매우 크다는 것을 알 수 있다. 또, 실험에서는 금속덮개(10)를 제거하고 용접링(13)만을 접지한 경우라도 같은 형태의 결과를 얻었다.As is apparent from this figure, it is 68 dB for the present embodiment and 39 dB for the ungrounded, and the difference is about 29 dB. Therefore, it can be seen that the effect by the ground is very large. In the experiment, the same type of results were obtained even when the metal cover 10 was removed and only the welding ring 13 was grounded.

제9도(a),(b),(c)는 전극간격(횡축, μm)과 보증감쇄량(종축, dB)의 관계를 설명하는 도면이다, 제9도(a)는 다중모드 진동자의 중심주파수(fo)를 약 22MHz(기본파0, 제9도(b)도는 45MHz(기본파), 제9도(c)는 90MHz(3차 오버톤(over tone))으로 한 경우이다. 단, 전극간격(G)은 일상(日商) 정밀광학사 제품의 뎁스측정기(DEPTHHEIGHT MEASURING SCOPE MODEL-KY90)에 의해 측정하였다.9 (a), (b) and (c) are diagrams illustrating the relationship between the electrode spacing (horizontal axis, μm) and the guaranteed attenuation amount (vertical axis, dB). FIG. 9 (a) is the center of the multimode vibrator. The frequency fo is about 22 MHz (the fundamental wave 0, FIG. 9 (b) is 45 MHz (the fundamental wave), and FIG. 9 (c) is 90 MHz (the third overtone). The gap (G) is the depth meter (DEPTH) manufactured by Japan Precision Optical Co., Ltd. HEIGHT MEASURING SCOPE MODEL-KY90).

이들의 실험결과, 어느 경우에도 전극간격(G)이 충분히 큰때(22MHz에서 100μm정도 이상)에는 거의 일정치를 나타내고, 여기서부터 작아질수록 보증감쇄량은 높아진다. 그리고, 15-50μm중의 25μm 근방에서 피크치를 맞이하고, 이것 이하로 되면 급격히 감소하였다. 예를 들면, 22MHz(제9도(a))의 경우에는 그 피크치는 80dB이상으로 되거, 이하, 45MHz(제9도(b))에서는 약 80dB, 90MHz(제9도(c))에서는 70dB로 된다. 덧붙여서, 22MHz일 때의 전극간격(G)이 충분히 큰 100μm인 경우에는 50dB로 피크치 80dB와의 차는 약 30dB로 되는 것을 알 수 있다. 또, 중심주파수가 높게 될 수록 보증감쇄량의 피크치를 얻는 전극간격(G)은 미묘하게 크게 된다. 따라서, 전극간격(G)을 보증감쇄량의 피크치 및 그 근방으로 설정하는 것에 의해, 예를 들면 15 내지 40μm 사이에 설정함으로써 보증감쇄량을 높일 수가 있다.As a result of these experiments, in either case, when the electrode gap G is sufficiently large (about 100 μm or more at 22 MHz), the value is almost constant. And peak value was reached in the vicinity of 25 micrometers in 15-50 micrometers, and it fell rapidly when it became below this. For example, in the case of 22 MHz (Fig. 9 (a)), the peak value is 80 dB or more, or less, about 80 dB at 45 MHz (Fig. 9 (b)) and 70 dB at 90 MHz (Fig. 9 (c)). It becomes In addition, when the electrode gap G at 22 MHz is 100 µm, which is sufficiently large, it can be seen that the difference between the peak value of 80 dB and 50 dB is about 30 dB. Further, as the center frequency increases, the electrode interval G for obtaining the peak value of the guaranteed attenuation amount increases slightly. Therefore, by setting the electrode interval G to the peak value of the guaranteed loss amount and its vicinity, the guaranteed loss amount can be increased by, for example, setting it between 15 to 40 µm.

이 실험결과에 대하여 본 발명자가 그 현상을 고찰한 바, 다음에 기인하는 것이 추측되었다. 즉, 제10도에 나타낸 바와 같이 전극간격(G)이 피크치로 되는, 예를 들면 25μm 이상으로 떨어져 접근하는 경우에는 입출력전극(3,4) 사이의 전기적 결합(용량 C1)에 의한 누설신호(P1)가 시일드전극(16)에 유입(흡인)하여 기준전위로 유출한다. 따라서, 입출력전극(3,4,) 사이가 차폐되어 보증감쇄량은 증가한다. 다음에, 제11도에 되시된 바와 같이, 전극간격(G)이 25μm 이내로 근접하면 입출력전극(3,4)과 시일드 전극 사이에 용량(C2,C3)을 발생한다. 그리고, 이 용량(C2,C3)을 경유하여 입력전극(3)에서 출력전극(4)으로 누설신호(P2)가 누설된다. 따라서, 보증감쇄량은 급격히 저하한다고 추측되었다. 또, 입출력 전극(3,4) 사이의 누설신호(P1)를 특히 문제로 하였지만 입출력 전극(3,4)과 공통전극(5) 사이에서 생기는 누설신호(미도시)에 대해서도 같은 것으로 말할 수 있다.When the present inventors considered the phenomenon with respect to this experimental result, it was estimated that it originates from the following. That is, as shown in FIG. 10, when the electrode gap G approaches the peak value, for example, approaching 25 μm or more, a leakage signal due to electrical coupling (capacity C 1 ) between the input / output electrodes 3 and 4. P 1 flows into (intakes into) the shield electrode 16 and flows out at the reference potential. Accordingly, the gap between the input / output electrodes 3, 4 is shielded, and the amount of guaranteed attenuation increases. Next, as shown in FIG. 11, when the electrode gap G approaches within 25 mu m, the capacitors C 2 and C 3 are generated between the input / output electrodes 3 and 4 and the shield electrode. The leakage signal P 2 leaks from the input electrode 3 to the output electrode 4 via the capacitors C 2 and C 3 . Therefore, it is estimated that the amount of guarantee deterioration decreases rapidly. The leakage signal P 1 between the input and output electrodes 3 and 4 is a problem, but the same can be said for the leakage signal (not shown) generated between the input and output electrodes 3 and 4 and the common electrode 5. have.

이상의 각 실험 및 고찰 등에서 금속덮개(10)를 기준전위에 접지하고, 또 전극간격(G)을 보증감쇄량의 피크치 및 그 근방으로 설정함으로써 보증감쇄량을 최대한으로 높일 수 있다. 덧붙여서, 22MHz의 경우를 예로 하면, 금속덮개(10)를 기준전위에 접지함으로써 30dB, 전극간격( G)을 보증감쇄량의 피크치에 설정함으로써 30dB 향상할 수 있고, 단순히 수정편(1)을 밀폐용기(2)내에 봉입한 경우에 비해 그 합계로 약 60dB 향상할 수 있다. 또한, 이 실시예에서는 금속덮개(10)를 기준전위로 접지할 때에 절연성 테두리(12)의 스루홀에 의해 행하였으므로, 예를 들면 테두리 표면을 경유하여 혹은 본딩 등으로 접속한 경우에 비해 전기적인 내부 접촉의 염려없이 좋게 된다.In each of the above experiments and considerations, the guaranteed cover attenuation can be maximized by grounding the metal cover 10 to the reference potential and setting the electrode gap G to the peak value of the guaranteed attenuation amount and its vicinity. In addition, taking the case of 22 MHz as an example, by grounding the metal cover 10 to the reference potential, 30 dB can be improved by setting the electrode gap G to the peak value of the guaranteed attenuation amount, and the crystal piece 1 is simply sealed. Compared with the case inside (2), the total can improve about 60dB. In addition, in this embodiment, since the metal cover 10 is grounded by the insulating potential 12 when the metal cover 10 is grounded at the reference potential, it is electrically compared with the case where the metal cover 10 is connected via the edge surface or by bonding or the like. It becomes good without fear of internal contact.

상기 실시예(실험예)에서는 전극간격(G)은 입출력전극(3,4)의 두께를 시일드 전극(16)보다도 크게 하여 얻었으나 도전성 접착제의 두께를 가지고 전극간격(G)을 얻도록 하여도 좋다. 또한, 시일드 전극(16)과 금속덮개(10)는 스루홀에 의해 행하였지만 다른 방법으로 하여도 좋은 것이 물론이다. 이와 같이, 본 발명은 여러 가지의 변형이 가능하고, 기본적으로는 수정편(1)의 유지구조 등은 임의로 설계해도 좋고, 요는 금속덮개를 기준전위에 접지하여 시일드 전극(16)과 입출력 전극(3,4)의 전극간격(G)을 보증감쇄량의 피크치 및 그 근방정도(15-50μm )에 접근시켜 구성한 것은 본 발명의 기술적 범위에 포함된다. 그리고, 시일드 전극(16)은 금속판 등이라도 좋은 것은 물론이다.In the above embodiment (experimental example), the electrode gap G was obtained by making the thicknesses of the input / output electrodes 3, 4 larger than the shield electrode 16, but having the thickness of the conductive adhesive to obtain the electrode gap G. Also good. In addition, although the shield electrode 16 and the metal cover 10 were performed by the through hole, of course, you may use it with another method. As described above, the present invention can be modified in various ways. Basically, the holding structure of the crystal piece 1 may be arbitrarily designed. In other words, the metal cover is grounded to the reference potential, and the shield electrode 16 and the input / output of the present invention can be designed. It is included in the technical scope of the present invention that the electrode gap G of the electrodes 3 and 4 is configured to approach the peak value of the guaranteed attenuation amount and its vicinity (15-50 μm). Of course, the shield electrode 16 may be a metal plate or the like.

제2실시예Second embodiment

제12도 본 발명의 제2목적에 대응한 한 실시예를 설명하는 도면으로서 특히 수정진동자의 전극 구조도이다. 또, 상기 종래예의 도면과 동일부분의 설명은 생략한다.12 is a view for explaining an embodiment corresponding to the second object of the present invention, and in particular, an electrode structure diagram of a crystal oscillator. In addition, description of the same part as the figure of the said prior art example is abbreviate | omitted.

이 전극구조의 특징은 도면에서 명백한 바와 같이 수정편(1)(한쪽의 주면(1a)의 입출력 전극(3,4,)에서 연장한 인출전극(9,7)상에 이것과는 다른 금속의 전극랜드(21,22)를 중첩하여 형성한 점에 있다. 단, 전극랜드(21,22)의 폭은 인출전극(6,7)의 폭보다 크다. 이 예에서는 입출력 전극(3,4) 및 인출전극(6,7)은 수정 표면에서 순차로 Cr, Cr-Ag, Cr의 4층구조(이하 CrAg 혼재층이라 한다)로 한다. 또한 전극랜드(21,22)는 Al의 1층구조로 한다. 그리고, 어느 것이나 증착에 의해 형성하였다. 또, 인출전극(6,7)은 후술의 절연기판(11)의 접속용 전극의 관계로부터, 수정편(1)의 한쪽 대각선상의 각부(角剖)로 연장하고, 전극랜드(21,22)는 대각부(對角剖)에서 단부(端剖)를 따라 폭 방향으로 형성하였다. 또, 다른 쪽의 주면(1B)의 공통전극(5)으로부터의 인출전극(8a, 8b)은 본딩 등의 관게에 의해 다른 쪽의 대각선상의 각부로 연장된다. 또한, 수정편(1)의 외형은 길이(z'축방향) 5mm, 폭(x축 방향) 2.5mm, 두께(y'축방향) 약 80μm (중심주파수 약 22MHz)를 대상으로 하였다.This electrode structure is characterized by a metal different from this on the crystal piece 1 (lead-out electrodes 9, 7 extending from the input / output electrodes 3, 4 of one main surface 1a) as shown in the drawing. The electrode lands 21 and 22 are overlapped with each other, except that the widths of the electrode lands 21 and 22 are larger than those of the lead electrodes 6 and 7. In this example, the input and output electrodes 3 and 4 are used. The lead electrodes 6 and 7 are sequentially made of a four-layered structure of Cr, Cr-Ag, and Cr (hereinafter referred to as a CrAg mixed layer) on the crystal surface, and the electrode lands 21 and 22 have a one-layered structure of Al. In addition, all of them were formed by evaporation, and the lead electrodes 6 and 7 were each diagonally shaped portions of the crystal piece 1 from the relation of the electrodes for connection of the insulating substrate 11 described later. Iv) and the electrode lands 21 and 22 were formed in the width direction along the edges at the diagonal portions, and the common electrode 5 of the other main surface 1B. The lead electrodes 8a and 8b from the tube are connected to a tube such as bonding. The outer surface of the crystal piece 1 is 5 mm in length (z 'axis direction), 2.5 mm in width (x axis direction), and about 80 μm in thickness (y' axis direction). The center frequency was about 22 MHz).

이와 같은 전극구조의 수정편(1)은 제13도에 도시한 바와 같이 절연기판(11)상에 양단 유지하여 고착하고, 주파수 온도특성을 측정한 바, 양호한 결과를 얻었다, 즉, 제14도에 도시한 바와 같이, 종래의 것(곡선 B)에서는 본래의 3차 곡선에서 어긋나 직선적으로 되지만 본 실시예의 것(곡선 a)에서는 본래의 3차 곡선에 근접한 특성을 유지할 수 있었다. 단, 접착제(17)로서는 연필강도로 2B 이하의 예를 들면 우레탄계의 도전성 접착제를 사용하였다. 또한, 공통전극(5)은 상술한 시일드 전극(16)의 단자부(18)에 와이어 본딩한다(도시하지 않음), 또, 제13도(a)는 다중모드 진동자의 측면도, 제13도(b)는 접착제(17)(도면에서 혹점인)의 도포위치를 나타내는 수정편(1)의 평면도이다.As shown in FIG. 13, the crystal piece 1 of the electrode structure was held on both sides of the insulating substrate 11 and fixed, and the frequency temperature characteristics were measured. Thus, good results were obtained, that is, FIG. As shown in Fig. 1, the conventional one (curve B) is shifted from the original cubic curve and becomes linear. In the present example (curve a), the characteristics close to the original cubic curve can be maintained. However, as the adhesive 17, for example, a urethane-based conductive adhesive having a pencil strength of 2B or less was used. The common electrode 5 is wire-bonded to the terminal portion 18 of the shield electrode 16 described above (not shown). FIG. 13 (a) is a side view of the multi-mode vibrator, FIG. b) is a top view of the crystal piece 1 which shows the application | coating position of the adhesive agent 17 (wrong point in drawing).

본 발명자의 추측에 의하면, 종래의 것에서는 접착제(17)의 경화시에 수축이 수정편(1)과 인출전극(6,7) 및 입출력전극(3,4)의 경계에 마찰이 생겨 수정편(1)의 표면에 장력(응력)을 발생시킨다. 그리고, 이 장력이 두께 미끄러짐 진동에 다대한 영향을 미쳐, 응력감도 특성에 의해 본래의 주파수 온도특성을 손상시킨다.According to the conjecture of the present inventors, in the conventional case, shrinkage occurs during the curing of the adhesive 17, and friction occurs at the boundary between the crystal piece 1, the lead electrodes 6, 7 and the input / output electrodes 3, 4, and the crystal piece. Tension (stress) is generated on the surface of (1). This tension has a great influence on the thickness slipping vibration, and damages the original frequency temperature characteristic by the stress sensitivity characteristic.

이것에 비하여 본 발명에서는 접착제(17)가 수축하여도 인출전극(6,7,)과 전극랜드(21,22)의 경계에 미끄러짐 현상이 생겨 수정편(1)의 표면에 생기는 장력을 완화한다. 즉, 전극랜드(21,22)를 Al으로 하였으므로 인출전극(6,7)과의 사이에 산화막이 생겨 이 산화막이 양자 사이의 결합을 약하게 하여 미끄러짐을 조장한다. 따라서, 상기 구성의 전극구조이면 특히 여진부분(勵振剖分)에서의 장력에 대한 뒤틀림 발생이 없이, 두께 미끄러짐 진동에 주는 영향이 작고, 본래의 주파수 온도 특성을 얻을 수 있다고 생각되었다.On the other hand, in the present invention, even if the adhesive 17 shrinks, the sliding phenomenon occurs at the boundary between the lead electrodes 6 and 7, and the electrode lands 21 and 22, thereby reducing the tension generated on the surface of the crystal piece 1. . In other words, since the electrode lands 21 and 22 are made of Al, an oxide film is formed between the lead electrodes 6 and 7, and the oxide film weakens the bond between the two to facilitate slipping. Therefore, it was considered that the electrode structure of the above-described configuration had a small influence on the thickness slipping vibration without incurring distortion of the tension in the excitation portion, and thus obtained the original frequency temperature characteristics.

그러나, 이와 같은 것으로는 주파수 온도특성을 개선되어도 크리스탈 임피던스(이하 CI라 한다)는 충분히 만족하는 결과에는 미치지 못한다. 즉, Al로 한 전극랜드(21,22)의 표면상에 산화막이 생기기 쉽고, 그 후에 도전성 접착제에 의해 고착하므로 도통도를 악화시켜 충분한 CI를 얻을 수가 없다. 이하, 이점의 해결책을 기술한다.However, even with such improvement, the crystal impedance (hereinafter referred to as CI) does not reach a satisfactory result even if the frequency temperature characteristic is improved. That is, an oxide film is easily formed on the surface of the electrode lands 21 and 22 made of Al, and is subsequently fixed by the conductive adhesive, so that the conductivity is worsened and sufficient CI cannot be obtained. Hereinafter, a solution of the advantages will be described.

제15도는 이점의 해결책을 설명하는 도면으로서 제15도(a)는 전극 구조도이고, 제15도(b)는 접착제의 도포위치를 나타내는 도면이다, 즉 전극랜드(21,22)를 형성한 후 그 위에 인출전극(6,7,)을 중첩시킨다. 그리고, 인출전극(6,7)을 중심으로 하여 전극랜드상에 걸쳐 접착제(17)를 도포한 바 주파수 온도특성도 CI도 양호한 특성을 얻을수 있었다. 즉, 상술한 바와 같이 인출전극(6,7)과 전극랜드(21,22)의 경계에서의 산화막의 작용으로 미끄러짐 현상을 일으켜 여진부분에 응력을 발생시키지 않기 때문에, 주파수 온도특성을 양호하게 유지할 수 있다. 단지 상술한 것보다는 인출전극(6,7)의 단부는 접착제(17)에 의해 고정되므로 미끄러짐 현상은 저해된다고 생각된다.FIG. 15 is a diagram illustrating a solution of the advantages, in which FIG. 15 (a) is an electrode structure diagram and FIG. 15 (b) is a diagram showing an application position of an adhesive, that is, after forming the electrode lands 21 and 22. The lead electrodes 6, 7 are superimposed thereon. Further, when the adhesive 17 was applied on the electrode lands with the lead electrodes 6 and 7 as the center, good frequency temperature characteristics and CI characteristics were obtained. That is, since the sliding phenomenon is caused by the action of the oxide film at the boundary between the lead electrodes 6 and 7 and the electrode lands 21 and 22 as described above, stress is not generated in the excitation portions, so that the frequency temperature characteristics are maintained well. Can be. It is considered that the sliding phenomenon is hindered because the ends of the lead electrodes 6 and 7 are fixed by the adhesive 17 rather than the above.

그리고, 접착제(17)는 CrAg 혼재층으로 한 인출전극(6,7)과 직접 접촉하므로 도통도는 손상되지 않고, 따라서 이것에 의해 CI 저하를 방지한다. 또, Cr은 비저항도 크고 산화막을 생성하기 쉽지만, Ag층을 혼재하므로 도통불량을 일으키지 않는다. 덧붙여, 이 경우에서의 CI는 먼저의 양단 유지에 있어서의 105Ω에 대하여 57Ω이었다. 단지, CI는 fa 모드(경사대칭모드)에서의 것이었다.Since the adhesive 17 is in direct contact with the lead electrodes 6 and 7 made of the CrAg mixed layer, the conductivity is not impaired, thereby preventing the CI from falling. In addition, Cr has a high resistivity and is easy to form an oxide film, but since the Ag layer is mixed, no conduction failure occurs. In addition, CI in this case was 57 ohms with respect to 105 ohms in the previous holding | maintenance of both ends. The CI was only in fa mode (inclined symmetry mode).

또, 상기 전극구조에서는 여진전극(3,4) 및 인출전극(6,7)을 CrAg 혼재층으로 하고, 전극랜드(21,22)를 Al로 하였지만, 이것과는 반대로 제16도에 도시한 바와 같이, 여진전극(3,4) 및 인출전극(6,7)을 Al로 하고, 전극랜드(21,22)를 CrAg 혼재층으로 하여도 좋다. 즉, 이 경우에서도 주파수 온도특성은 상술과 같은 미끄러짐 현상에 의해 양호하게 유지할 수 있다. 그리고, 고착할 때에는 CrAg 혼재층으로 한 전극랜드(21,22)에 도전성 접착제가 붙여지므로 도통불량을 발생시키는 일 없이 CI를 양호하게 한다. 단지, 전극랜드(21,22)와 인출전극(6,7)의 경계에 Al이 존재하므로 Al의 산화막에 의한 도통도에의 영향을 미친다. 따라서, 제17도에 도시한 바와 같이 인출전극(6,7)과 전극랜드(21,22)와의 접촉면적을 크게 하면 좋다. 또한, 제18도에 도시한 바와 같이 CrAg 혼재층으로 한 전극랜드(21,22)상에 인출전극(6,7)을 중첩시켜도 좋은 것은 물론이다.In the above electrode structure, the excitation electrodes 3 and 4 and the extraction electrodes 6 and 7 are made of a CrAg mixed layer, and the electrode lands 21 and 22 are made of Al. As described above, the excitation electrodes 3, 4 and the extraction electrodes 6, 7 may be made Al, and the electrode lands 21, 22 may be made of a CrAg mixed layer. That is, even in this case, the frequency temperature characteristic can be maintained satisfactorily by the slip phenomenon as described above. At the time of fixing, since the conductive adhesive is attached to the electrode lands 21 and 22 made of the CrAg mixed layer, the CI is improved without causing a poor conduction. However, since Al exists at the boundary between the electrode lands 21 and 22 and the extraction electrodes 6 and 7, it affects the conductivity of the Al by the oxide film. Therefore, as shown in FIG. 17, the contact area between the lead electrodes 6, 7 and the electrode lands 21, 22 may be increased. As shown in FIG. 18, the lead electrodes 6 and 7 may be superimposed on the electrode lands 21 and 22 made of the CrAg mixed layer.

그리고, 이 전극구조는 여진(勵振) 전극부를 질량이 작은 Al으로 하므로, 특히 주파수 조정관계에서, 예를들면 90MHz로 하는 고주파수대의 다중모드 진동자에 적합하다. 또, 전술한 것 이외에도 도통도를 높여 CI를 종ㅎ게 하는 방법은 여러 가지라 생각되며, 본 발명에서는 주파수 온도특성을 양호하게 유지하는 것이 그 취지이고, CI를 양호하게 하는 것이 그 취지는 아니다.Since the electrode structure is made of Al having a small mass of the excitation electrode part, it is particularly suitable for a high frequency multimode oscillator having a frequency adjustment relationship of, for example, 90 MHz. In addition to the above-mentioned, there are many ways to increase the conductivity and terminate the CI. In the present invention, it is intended to maintain the frequency temperature characteristics well, and not to improve the CI.

또한, 인출전극(6,7)은 대각선상의 각부(角剖)러 연장하여 전극랜드(21,22)를 설치하였지만, 인출전극(6,7)을 양단부 중앙으로 연장하여 전극랜드(21,22)를 설치해도 좋고(제19도), 이들은 절연기판(11)에 설치한 접속용 입출력 전극(14,15)이나 공통전극(5)의 인출전극(8) 혹은 용기 내의 스페이스 등의 관계로부터 결정되는 것으로서, 인출전극(6,7)의 연장단이나 전극랜드(21,22)의 위치에는 특별히 좌우되지 않는 것이다.In addition, although the electrode electrodes 21 and 22 were extended by extending the diagonal portions of the lead electrodes 6 and 7, the electrode lands 21 and 22 were extended by extending the lead electrodes 6 and 7 to both ends thereof. May be provided (FIG. 19), and these are determined from the relationship between the input and output electrodes 14 and 15 for connection to the insulating substrate 11, the lead-out electrode 8 of the common electrode 5, or the space in the container. In this case, the extension ends of the lead electrodes 6 and 7 and the positions of the electrode lands 21 and 22 are not particularly affected.

이와 같은 것으로부터, 본 발명의 전극구조로 함으로써, 먼저 양단유지에 있어서 특히 주파수 온도특성을 주로 한 전기적 특성의 문제를 해소할 수 있다. 그러나, 단순히 양단유지로 하였다고 하여도 즉 양단부의 중앙 혹은 단부를 점적으로 유지하였다고 하여도, 외형치수가 5×2.5mm인 경우에는 파손 등의 내충격성의 점에서는 그 강도가 불충분하다. 따라서, 양단부의 양쪽을 점적으로 유지하는 4점 유지가 요망된다. 단, 이것보다 작은 외형치수가, 예를들면 4×2mm 같이 작은 경우에는 2점 유지로 충분하다. 이하, 이점의 해결책을 제3의 실시예의 의해 설명한다.From the above, by using the electrode structure of the present invention, it is possible to solve the problem of the electrical characteristics, mainly the frequency temperature characteristics, mainly in both ends holding. However, even if it is simply held at both ends, i.e., even if the center or the end of the both ends is kept as a drop, when the external dimension is 5 x 2.5 mm, the strength is insufficient in terms of impact resistance such as breakage. Therefore, 4-point holding | holding which hold | maintains both ends of droplets is desired. However, when the external dimension smaller than this is small, for example 4 × 2 mm, it is sufficient to maintain two points. Hereinafter, a solution of the advantages will be described by the third embodiment.

제3실시예Third embodiment

제20도는 본 발명의 제3목적에 대응한 일실시예를 설명하는 도면으로, 접착제(17)의 도포방법에 의해 수정편(1)에 생기는 왜량(歪量)에 차이가 있는 것을 나타내기 위한 것이다. 또한, 제20도(a),(b)는 접착제(17)를 수정편(1)의 일단부 양쪽 표면에 직접 시행하여 고착한 경우의 도면이고, 제20도(c),(d)는 수정편(1)의 일단부의 폭 방향에 전극(23)을 설치하여 같은 모양으로 고착한 경우의 도면이다.20 is a view for explaining an embodiment corresponding to the third object of the present invention, which is intended to show that there is a difference in the amount of distortion occurring in the crystal piece 1 by the application method of the adhesive 17. will be. 20 (a) and 20 (b) show the case where the adhesive 17 is directly applied to both surfaces of one end of the crystal piece 1 to be fixed, and FIGS. 20 (c) and (d) are shown in FIG. It is a figure in the case of attaching the electrode 23 in the width direction of the one end part of the crystal piece 1, and fixing in the same shape.

제21도(a)는 이들의 도포방법에 의한 종축을 왜량 d(μm )로 한 실험 결과도이다. 또, 여기서의 왜량은 측정기 ZYGO 시스템을 사용하여 접착제(17)의 경화후에 수정편 표면의 상하차(d)를 측정한 것이다(제21도(b)). 이것에서 명확한 바와 같이, 수정편(1)에 직접 접착제(17)를 붙여 유지한 쪽이 전극(23)상을 개재시켜 유지하는 것보다도 수정편(1)에 발생하는 왜량은 약 1.5배 크게 된다. 단, 접착제는 폴리이미드로 하여 실험하였으나 우레탄의 경우에도 그 정도는 작게 되지만 마찬가지로 뒤틀림을 발생시킨다.FIG. 21 (a) is an experimental result diagram in which the vertical axis by these coating methods is the distortion amount d (μm). In addition, the distortion amount here measures the up-and-down difference d of the surface of a crystal piece after hardening of the adhesive agent 17 using the measuring machine ZYGO system (FIG. 21 (b)). As apparent from this, the amount of distortion generated in the crystal piece 1 is about 1.5 times larger than that in which the adhesive 17 is directly attached to the crystal piece 1 and held over the electrode 23. . However, although the adhesive was experimented with polyimide, even in the case of urethane, the extent becomes small, but it produces distortion similarly.

즉, 수정편(1)과 접착제(17)의 접합강도가 전극(23)을 개재시킨 경우보다도 크므로 경화시에 수축력이 직접적으로 영향을 미친다. 또한, 전극(23)을 개재시킨 경우에는 전극(23)과 수정편(1)과의 접착강도가 작기 때문에 양자 사이에서 미끄러짐 등의 현상을 일으켜 수축력이 완화되는 결과라고 생각되었다. 따라서, 수정편(1)에 직접 접착제를 붙인 경우에는 그 왜량이 크고 파손하기 쉽고, 내충격성을 악화시킨다. 이것에 비해서, 전극(23)상에 접착제(17)를 붙인 경우에는 왜량이 작고 파손을 방지하여 내충격성을 양호하게 한다. 또, 접착제(17)의 도포위치가 근접하면 수축시에 뒤틀림이 양자 사이에 집중하여 파손되기 쉽고, 또는 이간하는 만큼 뒤틀림이 완화되어 파손되기 어렵다.That is, since the bonding strength of the crystal piece 1 and the adhesive agent 17 is larger than the case where the electrode 23 is interposed, the shrinkage force directly influences at the time of hardening. In the case where the electrode 23 is interposed, it is considered that the adhesive strength between the electrode 23 and the crystal piece 1 is small, thereby causing a phenomenon such as slippage between the two and reducing the shrinkage force. Therefore, when the adhesive agent is directly stuck to the crystal piece 1, the amount of distortion is large and it is easy to break, and impact resistance deteriorates. On the other hand, when the adhesive 17 is stuck on the electrode 23, the amount of distortion is small and the damage is prevented to improve the impact resistance. In addition, when the application position of the adhesive agent 17 is close, the distortion tends to be concentrated and broken between both during shrinkage, or the distortion is alleviated as it is separated, and it is difficult to be damaged.

이와 같은 것으로부터, 기본적으로는 4점 유지하는 경우, 예를 들면 제22도(a),(b)에 도시한 바와 같이, 각 전극랜드(21,22)에서 양쪽의 표면상에 접착제(17)를 붙이면 뒤틀림에 의한 파손을 방지할 수 있다. 그러나, 이 경우에는 수정편(1)의 표면에 대한 전극랜드(21,22)의 부착강도는 약하기 때문에 전극랜드(21,22)가 수정편(1)의 표면에서 박리하기 쉬워 전기적 도통이 손상되는 문제가 생긴다.From the above, when four points are basically maintained, for example, as shown in Figs. 22A and 22B, the adhesive 17 is formed on both surfaces of the electrode lands 21 and 22, respectively. ) Can prevent breakage due to distortion. However, in this case, since the adhesion strength of the electrode lands 21 and 22 to the surface of the crystal piece 1 is weak, the electrode lands 21 and 22 are likely to peel off from the surface of the crystal piece 1 and the electrical conduction is damaged. The problem arises.

이것에서, 예를 들면 제23도(a),(b)에 도시한 바와 같이, 접착제(17)는 전극랜드(21,22)의 폭 방향의 한쪽에서 전극랜드(21,22)내에 위치하고, 다른쪽에서는 전극랜드(21,22)와 수정편(1)에까지 걸친 위치로 하여 고착된다.In this case, for example, as shown in FIGS. 23A and 23B, the adhesive 17 is located in the electrode lands 21 and 22 on one side in the width direction of the electrode lands 21 and 22, On the other side, it adheres to the position which extended to the electrode lands 21 and 22 and the crystal piece 1, respectively.

이와 같은 고착방법이면 각 전극랜드(21,22)의 한쪽에서는 접착제(17)에 대하여 말하자면, 자유단이 된다. 또, 다른쪽에서는 접착제(17)가 수정편 표면에 고착하므로 이것에 의한 뒤틀림이 발생하지만 한쪽이 자유단이기 때문에 그 뒤틀림을 피하기 쉬워 파손을 방지한다. 그리고, 다른쪽에 있어서, 접착제(17)가 직접 전극랜드(21,22)와 수정편(1)에 걸쳐 도포되므로 전극랜드(21,22)의 박리강도도 증가하여 전기적 도통도 유지할 수 있다. 따라서, 본 실시예의 전극구조에 부가하여 이와 같은 4점 유지이면 전기적 특성을 손상하지 않고 내충격성을 향상한 양단 유지를 달성할 수 있다.According to the fixing method described above, one side of each of the electrode lands 21 and 22 becomes a free end in terms of the adhesive 17. In addition, since the adhesive 17 adheres to the surface of the crystal piece on the other side, distortion occurs due to this. However, since one side is a free end, the distortion is easily avoided, thereby preventing damage. On the other hand, since the adhesive 17 is directly applied over the electrode lands 21 and 22 and the crystal piece 1, the peeling strength of the electrode lands 21 and 22 is also increased to maintain electrical conduction. Therefore, in addition to the electrode structure of this embodiment, such four-point holding can achieve both end holdings with improved impact resistance without compromising electrical characteristics.

본 발명은 전극간격에 최적치(특이점)가 있는 것을 발견하여 금속덮개를 기준전위로 접지한 상태에서 전극간격을 보증감쇄량의 피크치 및 그 근방에 설정하였으므로 보증감쇄량을 높이는 다중모드 진동자를 제공할 수 있다.The present invention finds that there is an optimum value (single point) in the electrode spacing, and sets the electrode spacing at and near the peak value of the guaranteed attenuation amount while the metal cover is grounded at the reference potential, thereby providing a multi-mode vibrator that increases the guaranteed attenuation amount. .

또한, 본 발명은 수정편의 입출력 전극에서 연장하여 형성되는 인출전극에 별개로 형성되는 접속용의 전극랜드를 중첩하여 접속함과 동시에 어느 한쪽을 Al로 하고, 이와 같은 전극랜드가 형성된 양단 외주위부에 접착제를 붙여 고착하였으므로 주파수 온도특성을 양호하게 유지할 수 있다.In addition, the present invention superimposes and connects the connecting electrode lands formed separately from the lead electrodes formed extending from the input / output electrode of the crystal piece, and at the same time either one is made Al, and the outer periphery at both ends formed with such electrode lands Since the adhesive is attached and adhered, the frequency temperature characteristics can be maintained well.

더욱, 본 발명자는 전극랜드의 양쪽에 접착제를 도포함과 동시에 각 전극랜드의 한쪽에서는 전극랜드 내에 위치하고, 다른쪽에서는 전극랜드와 수정편에 걸쳐 4점 고착으로 하였으므로 내충격성을 향상하는 다중모드 진동자를 제공할 수 있다.Furthermore, the present inventors apply an adhesive to both sides of the electrode land, and at the same time, one side of each electrode land is located in the electrode land, and the other side has a four-point fixation across the electrode land and the crystal piece, so that the multi-mode vibrator improves impact resistance. Can be provided.

Claims (9)

밀폐용기와, 상기 밀폐용기에 봉입되어 있는 수정편을 구비하고 있으며, 상기 수정편은 제1의 주면에 제1의 입력전극과 제1의 출력전극을 가지고, 제2의 주면에 공통전극을 가지고 있으며,A sealed container and a crystal piece enclosed in the sealed container, the crystal piece having a first input electrode and a first output electrode on a first main surface, and a common electrode on a second main surface; And 상기 밀폐용기는 용기본체와 금속덮개를 구비하며,The sealed container has a container body and a metal cover, 상기 용기본체는 절연기판과, 절연성 테두리와, 용접링을 구비하고 있으며,The container body is provided with an insulating substrate, an insulating edge, a welding ring, 상기 절연기판은 그 주면에 시일드 전극과, 제2의 입력전극과, 제2의 출력전극을 가지고 있으며, 상기 금속덮개는 상기 시일드 전극에 전기적 연결수단에 의해 연결되어 있으며, 상기 수정편과 상기 절연기판 사이에는 도전성 접착제가 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 수정진동자.The insulating substrate has a shield electrode, a second input electrode, and a second output electrode on a main surface thereof, and the metal cover is connected to the shield electrode by electrical connection means, and the crystal piece A multimode quartz crystal oscillator, characterized in that a conductive adhesive is interposed between the insulating substrate. 제1항에 있어서, 상기 수정편의 제1의 주면은 상기 시일드 전극으로부터 소정 간격만큼 떨어져 있으며, 상기 소정간격은 상기 수정진동자의 보증감쇄량을 최대화하는 거리인 것을 특징으로 하는 다중모드 수정진동자.The multi-mode crystal oscillator according to claim 1, wherein the first main surface of the crystal piece is spaced apart from the shield electrode by a predetermined interval, and the predetermined interval is a distance that maximizes the guaranteed attenuation amount of the crystal oscillator. 밀폐용기와, 상기 밀폐용기에 봉입되어 있는 수정편을 구비하고 있으며,A sealed container and a crystal piece enclosed in the sealed container, 상기 수정편은 제1의 주면에 제1의 입력전극과 제1의 출력전극을 가지고, 제2의 주면에 공통전극을 가지고 있으며,The crystal piece has a first input electrode and a first output electrode on a first main surface, a common electrode on a second main surface, 상기 밀폐용기는 용기본체와 금속덮개를 구비하며,The sealed container has a container body and a metal cover, 상기 용기본체는 절연기판과, 절연성 테두리와, 용접링을 구비하고 있으며,The container body is provided with an insulating substrate, an insulating edge, a welding ring, 상기 절연기판은 그 주면에 시일드 전극과, 제2의 입력전극과, 제2의 출력전극을 가지고 있으며,The insulating substrate has a shield electrode, a second input electrode, and a second output electrode on a main surface thereof. 상기 시일드 전극에 연결된 도전 전극과,A conductive electrode connected to the shield electrode, 상기 금속 덮개를 상기 도전 전극에 전기적으로 연결시키는 수단을 더 구비하고 있으며, 상기 도전 전극은 상기 용기본체를 통과하며,Means for electrically connecting the metal cover to the conductive electrode, wherein the conductive electrode passes through the container body, 상기 수정편과 상기 절연기판중의 하나의 적어도 하나의 전극과 상기 수정편과 상기 절연기판중의 다른 하나와의 사이에 도전성 접착제가 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 수정진동자.And a conductive adhesive interposed between at least one electrode of the crystal piece and the insulating substrate and another one of the crystal piece and the insulating substrate. 제3항에 있어서, 상기 수정편의 제1의 주면은 상기 시일드 전극으로부터 소정 간격만큼 떨어져 있으며, 상기 소정간격은 상기 수정진동자의 보증감쇄량을 최대화하는 거리인 것을 특징으로 하는 다중모드 수정진동자.4. The multi-mode crystal oscillator according to claim 3, wherein the first main surface of the crystal piece is spaced apart from the shield electrode by a predetermined distance, and the predetermined interval is a distance that maximizes the guaranteed attenuation amount of the crystal oscillator. 제4항에 있어서, 상기 소정간격은 15 내지 50μm인 것을 특징으로 하는 다중모드 수정진동자.The multimode crystal oscillator according to claim 4, wherein the predetermined interval is 15 to 50 µm. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 제1의 입력전극에 연결된 제1의 인출전극과,A first lead electrode connected to the first input electrode; 상기 제1의 출력전극에 연결된 제2의 인출전극과,A second lead electrode connected to the first output electrode; 상기 제1의 인출전극상에 위치한 제1의 전극랜드와,A first electrode land located on the first lead electrode; 상기 제2의 인출전극상에 위치한 제2의 전극랜드를 더 구비하고 있으며,And a second electrode land located on the second lead electrode, 상기 도전성 접착제는 상기 제1 및 제2의 전극랜드와 상기 절연기판 사이에 개재되어 있으며,The conductive adhesive is interposed between the first and second electrode lands and the insulating substrate, 상기 인출전극은 상기 전극랜드와는 다른 재료로 되어 있으며,The lead electrode is made of a material different from the electrode land, 상기 인출전극과 상기 전극랜드 중의 하나는 알루미늄으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 수정진동자.And one of the lead electrode and the electrode land is made of aluminum. 제6항에 있어서, 상기 도전성 접착제는 상기 전극랜드와 상기 도전전극의 각각의 일부와 겹치는 것을 특징으로 하는 다중모드 수정진동자.7. The multimode crystal oscillator of claim 6, wherein the conductive adhesive overlaps each of the electrode land and each of the conductive electrodes. 수정편과,With the revision, 시일드 전극과,A shield electrode, 상기 수정편을 상기 시일드 전극에서 소정 간격만큼 떨어뜨려 유지하기 위한 수단과,Means for holding the quartz crystal at a distance from the shield electrode; 상기 수정편을 둘러싸고 있는 절연성 테두리와, 상기 수정편 위에 있는 금속덮개와,An insulating border surrounding the crystal piece, a metal cover over the crystal piece, 상기 절연성 테두리의 쓰루홀을 통과하는 적어도 하나의 전극을 구비하고 있으며,At least one electrode passing through the through hole of the insulating edge, 상기 적어도 하나의 전극은 상기 시일드 전극과 상기 금속덮개를 연결하고 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 수정진동자.And the at least one electrode connects the shield electrode and the metal cover. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 절연성 테두리 상에 상기 금속덮개를 유지하는 용접링을 더 구비하고 있으며,Further provided with a welding ring for holding the metal cover on the insulating edge, 상기 적어도 하나의 전극은 상기 용접링과 접촉하고 있으며,The at least one electrode is in contact with the welding ring, 상기 용접링은 도전성이어서 상기 적어도 하나의 전극과 상기 금속덮개와의 사이에서 전기적 접속을 마련하고 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 수정진동자.And the welding ring is conductive to provide an electrical connection between the at least one electrode and the metal cover.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100455015B1 (en) * 1996-05-08 2005-01-17 더블유.엘. 고어 앤드 어소시에이트스, 인코포레이티드 A lid assembly for shielding electronic components from emi/rfi interferences

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