JPS63174333A - Stocker for semiconductor wafer - Google Patents
Stocker for semiconductor waferInfo
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- JPS63174333A JPS63174333A JP62005149A JP514987A JPS63174333A JP S63174333 A JPS63174333 A JP S63174333A JP 62005149 A JP62005149 A JP 62005149A JP 514987 A JP514987 A JP 514987A JP S63174333 A JPS63174333 A JP S63174333A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体製造工場等に配置して用いる半導体ウ
ェハ収納用のストッカに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a stocker for storing semiconductor wafers, which is arranged and used in a semiconductor manufacturing factory or the like.
（従来技術とその問題点）
一般に、半導体工場においては、工程と工程との間に、
複数枚のウェハを格納したカセットを収納するストッカ
を配置して、ウェハの一時スドックやトラブル時のバッ
ファリング等のためにストッカが多く用いられている。(Prior art and its problems) In general, in semiconductor factories, between processes,
Stockers are often used to store cassettes containing a plurality of wafers, and are used for temporary stockocking of wafers, buffering in case of trouble, and the like.
従来のストッカは、いわゆるシングル・ポート型を採用
しており、各ストッカに対し投入払出口は１個しか設け
られていないので、工程間と工程内の搬送系（作業者や
ロボット等）が物理的に干渉してしまい、制御（排他制
御）が極めて面倒となるなどの問題があり、また、高ク
リーン度を要求されるストッカでは、フィルタの設置位
置に大きな制限を受けるため、いわゆるマルチ・ポート
型構造のストッカを設計・製造することが困難であった
。更には、ユｉザにおける工場のレイアウトによって、
その都度、ストッカの投入払出口の方向を合せて個別に
製造しなければならない等の問題点が存在していた。Conventional stockers adopt the so-called single-port type, and each stocker has only one input/output port, so the transport system (workers, robots, etc.) between and within processes is physically In addition, in stockers that require a high level of cleanliness, the so-called multi-port It was difficult to design and manufacture a stocker with a mold structure. Furthermore, depending on the layout of the factory in the user,
Each time, there were problems such as having to manufacture each stocker individually with the direction of the input/output port of the stocker adjusted.
本発明は、上記した従来の問題点を解決するために開発
したものであり、その目的とするところは、工程間と工
程内の搬送手段間の物理的な干渉をなくし、かつ、スト
ッカをユニット構造にすることによりストッカの任意の
面に投入払出用ハンドラ機構を付設できるようにした半
導体ウェハ収納用ストッカを提供するものである。The present invention was developed in order to solve the above-mentioned conventional problems, and its purpose is to eliminate physical interference between transport means between processes and within a process, and to form a stocker into a unit. The present invention provides a stocker for storing semiconductor wafers which is structured so that a handler mechanism for loading and unloading can be attached to any surface of the stocker.
（問題点を解決するための手段）
上記の目的を達成するため、本発明は、ウェハを収納す
るストッカにおいて、枠部内に収納棚を内蔵して構成し
たストッカ本体に投入払出口を複数個設ける構成を採用
し、具体的には、四角形の枠部内に円筒形の収納棚を回
転可能に設けてストッカ本体を構成し、このストッカ本
体をユニット構造にしてストッカ本体の任意の面に投入
払出用ハンドラ機構を付設できるようにしたものである
。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention provides a stocker for storing wafers, in which a plurality of loading/unloading ports are provided in a stocker main body configured with a built-in storage shelf in a frame. Specifically, a cylindrical storage shelf is rotatably provided within a rectangular frame to form a stocker body, and this stocker body is made into a unit structure so that loading and unloading can be carried out on any surface of the stocker body. This allows a handler mechanism to be attached.
（作用）
ウェハを収納するストッカにおいて、ストッカ本体に投
入払出口を複数個設けたので、搬送系の間で、干渉し合
う恐れがなく、しかも、四角形の枠部内に円筒形の収納
棚を回転可能に設けたので、投入払出口を四方何れの位
置にも付けることができると共に、ユーザのニーズに合
ったストッカを簡単に提供することが可能となる。(Function) In the stocker for storing wafers, the stocker body has multiple loading and unloading ports, so there is no risk of interference between the transport systems, and the cylindrical storage shelf can be rotated within the rectangular frame. Since the input/output port can be provided in any of the four directions, it is possible to easily provide a stocker that meets the user's needs.
（実施例）
本発明における半導体ウェハ収納用ストッカの実施例を
第１図乃至第５図に従って詳述する。(Example) An example of a stocker for storing semiconductor wafers according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 5.
第１図に示すように、例えばストッカ本体１の対向面に
２個の投入払出口２ａ、２ｂを設けることにより、工程
間搬送系（イ）と工程内搬送系（ロ）とが干渉すること
なく円滑に搬送することができることを特徴とするもの
であるが、具体的には以下の通りである。As shown in FIG. 1, for example, by providing two loading/unloading ports 2a and 2b on opposing surfaces of the stocker body 1, interference between the inter-process transport system (a) and the intra-process transport system (b) can be avoided. It is characterized by being able to be conveyed smoothly without any problems, and the specific details are as follows.
四角形の枠部３内に円筒形の収納棚４を回転可能に設け
てストッカ本体１を構成し、このストッカ本体１をユニ
ット構造にしてストッカ本体１の任意の面に投入払出用
ハンドラ機構５を付設できるようにしたものであり、収
納棚４は、中央部に開口部６を形成した円板状の収納板
４ａを多段に設けて、全体を円筒状に構成されている。A stocker main body 1 is constructed by rotatably providing a cylindrical storage shelf 4 in a rectangular frame 3, and the stocker main body 1 is made into a unit structure, and a handler mechanism 5 for loading and discharging is installed on any surface of the stocker main body 1. The storage shelf 4 has a cylindrical overall structure, with multiple disc-shaped storage plates 4a having an opening 6 formed in the center.
その他、この収納棚４は、縦型の棚を放射状に配置して
、全体の収納棚４を略筒型形状に構成することもできる
。更に、収納棚４は基台７に回転機構８を介して回転可
能に設けられている。そして、基台７に設けたファン９
により空気を送給して収納棚４の開口部６よりフィルタ
１０を介して各収納板４ａに放射状に空気が送られ、ウ
ェハ１１を格納したキャリア１２に清浄空気が送られる
。In addition, this storage shelf 4 can also have vertical shelves arranged radially so that the entire storage shelf 4 has a substantially cylindrical shape. Further, the storage shelf 4 is rotatably provided on the base 7 via a rotation mechanism 8. Then, the fan 9 installed on the base 7
The air is sent radially from the opening 6 of the storage shelf 4 to each storage plate 4a via the filter 10, and the clean air is sent to the carrier 12 storing the wafer 11.
収納棚４の回りには、四角形状の枠部３が設けられてお
り、枠部３の四面のうち任意の面には、投入払出口２ａ
乃至２ｄを設けている。A rectangular frame 3 is provided around the storage shelf 4, and an input/output opening 2a is provided on any one of the four sides of the frame 3.
2d to 2d are provided.
ストッカ本体１に設けた投入払出用ハンドラ機構５は、
水平ガイド部材１３．１４を介して水平方向に移動自在
に設け、かつ垂直軸１５ａ、１５ｂに沿って昇降する昇
降部材１６に回動軸１７を設け、この回動軸１７にアー
ム部１８を取付けている。The loading/unloading handler mechanism 5 provided in the stocker body 1 is
A rotating shaft 17 is provided on an elevating member 16 that is movable in the horizontal direction via horizontal guide members 13 and 14 and moves up and down along vertical axes 15a and 15b, and an arm portion 18 is attached to this rotating shaft 17. ing.
次に、上記実施例における投入払出口２ａ乃至２ｄの態
様について説明すると、第４図Ａはストッカ本体１の一
面に投入払出用ハンドラ機構５を設けた例であり、第４
図Ｂ、Ｃはストッカ本体１の二面に投入払出用ハンドラ
機構５を設けた例である。この第４図Ｂ、Ｃは、工程間
搬送（イ）と工程内搬送（ロ）との間のストッカとして
利用することができる。第４図りはストッカ本体１の三
面に投入払出用ハンドラ機構５を設けた例であり、投入
払出口２ａは、対工程間搬送（イ）用に、投入払出口２
ｂは、オペレータによる投入払出用に利用し、更に、投
入払出口２ｃは、対工程内搬送（ロ）用に利用しており
、投入払出口２ｄは、非常時におけるオペレータアクセ
スサイドとして用いることができる。Next, to explain the aspects of the input/output ports 2a to 2d in the above embodiment, FIG.
Figures B and C show an example in which the input/discharge handler mechanism 5 is provided on two sides of the stocker body 1. 4B and C can be used as a stocker between inter-process transport (a) and intra-process transport (b). The fourth diagram is an example in which a handler mechanism 5 for loading and unloading is provided on three sides of the stocker main body 1, and the loading and unloading port 2a is used for transport between processes (A).
b is used for loading and unloading by the operator, furthermore, the loading and unloading opening 2c is used for in-process transport (b), and the loading and unloading opening 2d can be used as an operator access side in case of an emergency. can.
第５図Ａ、Ｂは別のレイアウトの例を示した説明図であ
り、第６図は平棚型のストッカの状態を示した平面説明
図である。FIGS. 5A and 5B are explanatory diagrams showing another layout example, and FIG. 6 is a plan explanatory diagram showing the state of a flat shelf type stocker.
（発明の効果）
以上のことから明らかなように、本発明によると、スト
ッカ本体に投入払出口を複数個設けたので、搬送系間で
、干渉し合う恐れがなく、しかも、四角形の枠部内に円
筒形の収納棚を回転可能に設けたので、投入払出口を四
方何れの位置に付けることができるため、ユーザのニー
ズに合わせたストッカを容易に提供することができる等
の優れた効果がある。(Effects of the Invention) As is clear from the above, according to the present invention, since the stocker main body is provided with a plurality of input and output ports, there is no fear of mutual interference between the conveyance systems, and moreover, within the rectangular frame. Since the cylindrical storage shelf is rotatably installed, the loading/unloading port can be placed on any of the four sides, which provides excellent effects such as the ability to easily provide stockers that meet the user's needs. be.
第１図乃至第６図は、本発明における半導体ウェハ収納
用ストッカの実施例を示したもので、第１図はストッカ
の配置例を示した平面説明図、第２図はストッカの縦断
面図、第３図は同上の拡大横断面図、第４図Ａ、Ｂ、Ｃ
，Ｄはストッカのマルチ・ポートのバリエーションをそ
れぞれ示した平面説明図であり、第５図Ａは他の例を示
したストッカの平面説明図、該５図Ｂは第５図Ａのａ部
拡大図、第６図は平棚型のストッカの状態を示した平面
説明図である。
１・・・ストッカ本体、
２ａ乃至２ｄ・・・投入払出口、
３・・・枠部、
４・・・収納棚、
５・・・ハンドラ機構、
１１・・−ウェハ、
１２・・・キャリア。
特 許 出 願 人 東京エレクトロン株式会社第１図
（Ｄ） （Ｃ）
第３図
第５図（Ａ） 第５図（Ｂ）（二層内オ岐
止手ｊ９−）
第６図1 to 6 show an embodiment of the stocker for storing semiconductor wafers according to the present invention, FIG. 1 is a plan view showing an example of the arrangement of the stocker, and FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the stocker. , Figure 3 is an enlarged cross-sectional view of the same as above, Figure 4 A, B, C
, D are explanatory plan views showing variations of the multi-port stocker, FIG. 5 A is an explanatory plan view of the stocker showing other examples, and FIG. 5 B is an enlarged view of part a of FIG. 6 are explanatory plan views showing the state of the flat shelf type stocker. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Stocker main body, 2a to 2d...Input/output opening, 3...Frame part, 4...Storage shelf, 5...Handler mechanism, 11...-Wafer, 12...Carrier. Patent Applicant: Tokyo Electron Ltd. Figure 1 (D) (C) Figure 3 Figure 5 (A) Figure 5 (B) (Two-layer internal Ogi stop j9-) Figure 6
Claims (2)
納棚を内蔵して構成したストッカ本体に投入払出口を複
数個設けたことを特徴とする半導体ウェハ収納用ストッ
カ。(1) A semiconductor wafer storage stocker for storing wafers, characterized in that the stocker body is configured with storage shelves built into a frame and has a plurality of loading/unloading ports.
けてストッカ本体を構成し、このストッカ本体をユニッ
ト構造にしてストッカ本体の任意の面に投入払出用ハン
ドラ機構を付設できるようにした特許請求の範囲第１項
記載の半導体ウェハ収納用ストッカ。(2) A stocker body is constructed by rotatably providing a cylindrical storage shelf within a rectangular frame, and the stocker body is made into a unit structure so that a handler mechanism for loading and unloading can be attached to any surface of the stocker body. A stocker for storing semiconductor wafers according to claim 1.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62005149A JPH0666384B2 (en) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | Stocker for semiconductor wafer storage |
| KR1019880008596A KR960013626B1 (en) | 1987-01-14 | 1988-07-11 | Carrier accept type stocker |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62005149A JPH0666384B2 (en) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | Stocker for semiconductor wafer storage |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63174333A true JPS63174333A (en) | 1988-07-18 |
| JPH0666384B2 JPH0666384B2 (en) | 1994-08-24 |
Family
ID=11603226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62005149A Expired - Lifetime JPH0666384B2 (en) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | Stocker for semiconductor wafer storage |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH0666384B2 (en) |
| KR (1) | KR960013626B1 (en) |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960013626B1 (en) | 1996-10-10 |
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