JPS62240534A - Manufacture of optical element - Google Patents

Manufacture of optical element

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Publication number
JPS62240534A
JPS62240534A JP8376186A JP8376186A JPS62240534A JP S62240534 A JPS62240534 A JP S62240534A JP 8376186 A JP8376186 A JP 8376186A JP 8376186 A JP8376186 A JP 8376186A JP S62240534 A JPS62240534 A JP S62240534A
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JP
Japan
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elastic body
mold
gas
elastic
optical element
Prior art date
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Pending
Application number
JP8376186A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsushi Nose
哲志 野瀬
Toshiyuki Nakajima
中島 敏之
Eigo Kawakami
英悟 川上
Takeshi Baba
健 馬場
Nobuo Kushibiki
信男 櫛引
Masakazu Matsugi
優和 真継
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Priority to DE19873712146 priority patent/DE3712146A1/en
Publication of JPS62240534A publication Critical patent/JPS62240534A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To form an elastic body with high accuracy by a method wherein the elastic body is molded by pouring elastic body material onto the molding surfaces of a mold and then the molded elastic body is released from the mold by pouring gas to the interface between the molding surface and the elastic body through passages provided on the mold or on the elastic body. CONSTITUTION:Raw material for an elastic body is poured through an inlet provided on a side force 4 in a gap portion, which is shaped by a columnar bottom force 2, to which fitting members 1 such as pins, wedges or the like are fitted so as to pass through from the molding surface of the force 2 to its bottom surface, a circular bottom plate 3 and the cylindrical side force 4, and then cured in order to form a columnar elastic body 5. Next, gas passages 1a are formed by drawing the fitting members 1 out of the bottom force 2. When gas such as air or the like is poured under pressure through gas inlets 6a of a jig 6, which is installed onto the bottom surface of the bottom force 2, the gas passes through the passages 1a and reaches the interface between the bottom force 2 and the elastic body 5 and quickly diffuses in the fine gap of the interface so as to lower the adhesion between the bottom force 2 and the elastic body 5 in order to accelerate the mold release. Because consequently the deformation of the elastic body at its mold release is suppressed, the elastic body 5 can be formed with high accuracy.

Description

【発明の詳細な説明】 胤豊豆j 本発明は、弾性体を利用した可変焦点光学素子の製造方
法に関し、より詳しくは、離型時における成形精度の低
下を抑制しつつ、高い精度で弾性体を形成する上記光学
素子の製造方法に関する。
[Detailed Description of the Invention] Toyotomi Tananej The present invention relates to a method of manufacturing a variable focus optical element using an elastic body. The present invention relates to a method of manufacturing the above-mentioned optical element forming a body.

丘JLiL菫 カメラ、ビデオ等の光学機器や光通信、レーザーディス
クをはじめとするエレクトロオプティクス機器に用いら
れる光学素子として、光学表面形状を変化させることに
より、焦点距離を可変とした光学素子が本出願人により
提案されている(特開昭60−111201号公報)。
Oka JLiL Violet This application describes an optical element that can have a variable focal length by changing its optical surface shape, and is used in optical equipment such as cameras and videos, as well as electro-optic equipment such as optical communications and laser discs. (Japanese Unexamined Patent Publication No. 111201/1983).

この可変焦点光学素子は、弾性体と、開口部を有し、該
弾性体に接触する比較的硬い開口部材とからなり、上記
弾性体を変形させて、開口部材の開口部から露出した弾
性体の光学表面(以下「開口表面」という)の形状を変
化させることにより比較的小さな外力の変化で大きな焦
点距離の変化を得ることを可能としたものである。
This variable focus optical element consists of an elastic body and a relatively hard aperture member that has an aperture and contacts the elastic body, and deforms the elastic body so that the elastic body is exposed from the aperture of the aperture member. By changing the shape of the optical surface (hereinafter referred to as the "aperture surface"), it is possible to obtain a large change in focal length with a relatively small change in external force.

このような可変焦点光学素子において、良好な光学特性
を実現するには、光学表面を構成する上記弾性体を精度
よく形成して変形特性に優れる弾性体を得る必要がある
In order to achieve good optical characteristics in such a variable focus optical element, it is necessary to form the elastic body constituting the optical surface with high precision to obtain an elastic body with excellent deformation characteristics.

このためには、(通常は型を用いて行う)上記弾性体成
形時の精度が重要なことはもちろんであるが、成形後の
弾性体gI星型時精度を向上させること(すなわち、弾
性体離型時の変形を最小限に抑制すること)も極めて重
要である。この弾性体離型時の変形抑制が不充分であれ
ば、結局、成形後の弾性体を高精度で(すなわち、所望
の寸法公差内に収まるように)形成することは困難だか
らである。
To this end, it goes without saying that the accuracy during the above-mentioned elastic body molding (usually done using a mold) is important, but it is also important to improve the accuracy when forming the elastic body gI star shape after molding (i.e., the elastic body It is also extremely important to minimize deformation during mold release. This is because if the deformation of the elastic body is insufficiently suppressed when the elastic body is released from the mold, it is difficult to form the elastic body after molding with high precision (that is, within desired dimensional tolerances).

従来、光学素子の分野において、ガラス、樹脂等からな
る成形後の光学素子ををから離型する方法としては、7
字形の櫟を該光学素子と型との密着面に打込む方法、エ
アーガン等により光学素子と型との密着体に空気を吹付
けて該密着体を冷却するか、あるいは加熱用水槽および
冷却用水槽に交互に浸漬する等の手段により上記密着体
に温度変化を与え、型と光学素子との膨張率ないし収縮
率の差を利用してIa型する方法、型ないし光学素子に
超音波振動を与えて離型する方法が知られている。
Conventionally, in the field of optical elements, there are 7 methods for releasing molded optical elements made of glass, resin, etc.
A method of driving a letter-shaped square into the contact surface between the optical element and the mold, cooling the contact member by blowing air onto the contact member between the optical element and the mold using an air gun, or using a water tank for heating and cooling. A method of applying temperature changes to the adhered body by means such as alternately immersing it in a water tank and forming it into a type Ia by utilizing the difference in expansion coefficient or contraction rate between the mold and the optical element, and applying ultrasonic vibration to the mold or the optical element. A method of applying and releasing the mold is known.

しかしながら、これら従来の離型方法を可変焦点光学素
子に用いる弾性体の成形に適用することは困難である。
However, it is difficult to apply these conventional mold release methods to molding an elastic body used in a variable focus optical element.

すなわち、7字形の楔を型と光学素子との密着面に打込
む方法においては、型の表面ないし弾性体の光学表面に
傷が発生し易いため、光学素子の光学特性が著しく害さ
れるという問題がある。
That is, in the method of driving a 7-shaped wedge into the contact surface between the mold and the optical element, there is a problem in that the optical properties of the optical element are significantly impaired because scratches are likely to occur on the surface of the mold or the optical surface of the elastic body. There is.

また、エアーガンにより型と光学素子との密着体に空気
を吹付ける方法においては、冷却効率が悪いため、離型
が不完全となり易い、更には、水槽等を用いて上記密着
体に温度変化を与えて離型する方法においては、確実に
離型できる温度差を与えるために加熱あるいは冷却操作
をくり返し行う必要があることのみならず、加熱あるい
は冷却時の熱膨張ないし熱収縮に基づく弾性体光学表面
の変形が避けがたい。
In addition, the method of blowing air onto the mold and optical element in close contact with an air gun has poor cooling efficiency, which tends to result in incomplete mold release; In the method of heating and releasing from the mold, not only is it necessary to repeatedly perform heating or cooling operations to provide a temperature difference that allows for reliable mold release, but also the elastic material optics due to thermal expansion or thermal contraction during heating or cooling is required. Surface deformation is inevitable.

更には、超音波振動を利用して離型する方法においては
、光学素子を構成する弾性体に超音波振動が吸収される
ため離型効果が生じにくいことのみならず、この超音波
振動の吸収により上記弾性体の温度が上昇し1弾性体の
熱的変形が生じ易いという問題がある。
Furthermore, in the mold release method using ultrasonic vibrations, the ultrasonic vibrations are absorbed by the elastic bodies that make up the optical element, so not only is it difficult to produce a mold release effect, but also the absorption of the ultrasonic vibrations is difficult. This causes a problem in that the temperature of the elastic body increases and thermal deformation of one elastic body tends to occur.

久」LΩ」L酌 本発明の主要な目的は、上述した離型方法の欠点を除き
、離型時における成形精度の低下を抑制しつつ成形後の
弾性体を型から確実に離型することにより、I3+1性
体を高精度で形成することができる可変焦点光学素子の
製造方法を提供することにある。
The main object of the present invention is to eliminate the drawbacks of the above-mentioned mold release method and to reliably release the elastic body after molding from the mold while suppressing the deterioration of molding accuracy during mold release. Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a variable focus optical element that can form an I3+1 substance with high precision.

11立11 本発明の光学素子製造方法は、上記目的を達成するため
に開発されたものであり、弾性体と、開口部を有し、且
つ該弾性体に接触する比較的硬い開口部材とからなり1
弾性体を変形させることにより、上記開口部から露出し
た弾性体光学表面(開口表面)の形状を変化させること
を可能とした光学素子を製造するに際して、型の成形面
上に弾性体材料を注入して弾性体を成形する工程と、型
または弾性体の少なくとも一方に設けた気体通路を通じ
、型の成形面と弾性体との界面に気体を注入して、該弾
性体を型から離型する工程とからなることを特徴とする
ものである。
11 11 The optical element manufacturing method of the present invention was developed to achieve the above object, and comprises an elastic body and a relatively hard aperture member having an opening and in contact with the elastic body. Nari 1
When manufacturing an optical element that makes it possible to change the shape of the optical surface of the elastic body (opening surface) exposed from the opening by deforming the elastic body, an elastic material is injected onto the molding surface of the mold. and releasing the elastic body from the mold by injecting gas into the interface between the molding surface of the mold and the elastic body through a gas passage provided in at least one of the mold or the elastic body. It is characterized by consisting of a process.

本発明の製造方法において、成形後の弾性体と型との界
面(密着面)に注入された気体は、該弾性体と型との微
細な間隙に速かに拡散し、この気体の圧力に基づき、l
311性体表面に沿って均一な離型促進力が作用するた
め、上記密着面においては、弾性体が型から浮上するよ
うな形で離型が行われる。
In the manufacturing method of the present invention, the gas injected into the interface (close contact surface) between the elastic body and the mold after molding quickly diffuses into the fine gap between the elastic body and the mold, and the pressure of this gas Based on l
Since a uniform release promoting force acts along the surface of the 311 elastic body, the mold release is performed on the contact surface in such a manner that the elastic body floats from the mold.

したがって本発明の製造方法によれば、型からの#歴時
における弾性体の変形は最小限に抑制されるため、高い
精度で弾性体を成形することができ、この弾性体を利用
することにより、光学特性に優れる光学素子が得られる
Therefore, according to the manufacturing method of the present invention, the deformation of the elastic body during the molding process is suppressed to a minimum, so the elastic body can be molded with high precision. , an optical element with excellent optical properties can be obtained.

以下、必要に応じて図面を参照しつつ1本発明を更に詳
細に説明する。以下の記載において量比を表わす「%」
および「部」は、特に断らない限り重量基準とする。
Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to the drawings as necessary. “%” indicates quantitative ratio in the following descriptions.
"Parts" and "parts" are based on weight unless otherwise specified.

LIJ   ・ 、 1 第1図(a)ないしくd)は、本発明の光学素子製造方
法の典型的な実施態様を説明するための、弾性体層の厚
さ方向模式断面図である。
LIJ., 1 FIGS. 1(a) to 1d) are schematic cross-sectional views in the thickness direction of an elastic layer for explaining a typical embodiment of the optical element manufacturing method of the present invention.

第1図(a)を参照して、ピンあるいは楔形等の形状を
有する嵌合部材lが、型の成形面(弾性体接触面)から
底面(成形面と反対側の面)まで貫通するように嵌合さ
れてなり、金属、ガラス等の材料からなる円柱状の下型
2と、この下型2と一定の間隔をもって対向し、ガラス
等の透明材料からなる円形底板3と、下型2の外周面に
接触する円筒状の側型4とから形成される間隙部分に、
側型4に設けられた注入口(図示せず)を通じてシリコ
ーン等からなる弾性体の原料を注入した後、硬化剤等に
より該弾性体原料を硬化させて、光軸りを中心とする円
柱形状を有する弾性体5を形成する(キャスティング法
)。
Referring to FIG. 1(a), a fitting member l having a pin or wedge shape is inserted through the mold from the molding surface (elastic body contact surface) to the bottom surface (the surface opposite to the molding surface). a cylindrical lower mold 2 made of a material such as metal or glass; a circular bottom plate 3 made of a transparent material such as glass; In the gap formed between the cylindrical side mold 4 that contacts the outer peripheral surface of the
After injecting a raw material for an elastic body made of silicone or the like through an injection port (not shown) provided in the side mold 4, the raw material for the elastic body is hardened with a hardening agent or the like to form a cylindrical shape centered on the optical axis. (casting method).

、次いで第1図(b)に示すように、下型2から嵌合部
材lを引き抜くことにより、下2!!2に、その底面か
らその成形面(すなわち、下型2と、成形した弾性体5
との界面)まで貫通する気体通路laを形成する。
Then, as shown in FIG. 1(b), by pulling out the fitting member l from the lower die 2, the lower die 2! ! 2, from the bottom surface to the molding surface (i.e., the lower mold 2 and the molded elastic body 5
A gas passage la is formed that penetrates to the interface (with the interface).

更に、2181図(c)に示すように、治具6の内部゛
に設けられた気体注入口6aが上記気体通路1aと連通
ずるように、治具6を下型2の底面に装着し、この気体
注入口6aを通じて空気等の気体を加圧しつつ注入する
Furthermore, as shown in FIG. 2181(c), the jig 6 is attached to the bottom surface of the lower mold 2 so that the gas inlet 6a provided inside the jig 6 communicates with the gas passage 1a, Gas such as air is injected while being pressurized through this gas inlet 6a.

この気体は、気体注入口6aから下MX!2の気体通路
1aを通過して、下型2と弾性体5との界面に到達し、
下型2と弾性体5との界面(密着面)の微細な間隙に速
かに拡散して、下型2と弾性体5との接着力を低下させ
、これらの離型を促進する。
This gas is supplied from the gas inlet 6a to the lower MX! 2, and reaches the interface between the lower mold 2 and the elastic body 5,
It quickly diffuses into minute gaps at the interface (adhesive surface) between the lower mold 2 and the elastic body 5, reduces the adhesive force between the lower mold 2 and the elastic body 5, and promotes their release.

この第1図(C)の態様においては、上記気体は、弾性
体5と側型4との密着面の微細な間隙にも速かに拡散す
るため、弾性体5の側型4からの離型をも促進する。
In the embodiment shown in FIG. 1(C), the gas quickly diffuses into the fine gaps between the contact surfaces of the elastic body 5 and the side mold 4, so that the elastic body 5 is separated from the side mold 4. It also promotes mold.

このようにして離型時の変形を抑制することにより高精
度で形成した弾性体5を、円形開口部7aを有し、金属
、樹脂等の比較的硬い材料からなる円筒状の開口部材7
中に配置して、可変焦点光学素子8とする。この光学素
子8において、底板3は、開口部材7に対して光軸り方
向に移動可能なように設けられる。
The elastic body 5 formed with high precision by suppressing deformation during mold release in this way is formed into a cylindrical opening member 7 having a circular opening 7a and made of a relatively hard material such as metal or resin.
A variable focus optical element 8 is placed inside the optical element 8. In this optical element 8, the bottom plate 3 is provided so as to be movable in the direction along the optical axis with respect to the aperture member 7.

本発明の光学素子製造方法の概要は上述した通りである
が、弾性体5の成形方法としては、前記キャスティング
法の他、インジェクション法等のプラスチックの分野に
おいて公知の成形方法も使用可能である。
Although the outline of the optical element manufacturing method of the present invention is as described above, as a method for molding the elastic body 5, in addition to the casting method described above, molding methods known in the field of plastics such as injection method can also be used.

本発明において、弾性体を高精度で成形する点からは、
複数の型(例えば上型と下型)を用いることが好ましい
(なお、第1図の態様においては、円形底板3が上型を
兼ねている)。
In the present invention, from the viewpoint of molding the elastic body with high precision,
It is preferable to use a plurality of molds (for example, an upper mold and a lower mold) (in the embodiment shown in FIG. 1, the circular bottom plate 3 also serves as the upper mold).

また、下型2の離型性を向上させるために、必要に応じ
て、この下型2の弾性体5接触面にテフロンコーティン
グ等の離型処理が施されていてもよい。
Further, in order to improve the mold releasability of the lower mold 2, the contact surface of the elastic body 5 of the lower mold 2 may be subjected to a mold release treatment such as Teflon coating, if necessary.

次に、図面に示した各部の構成について説明する。Next, the configuration of each part shown in the drawings will be explained.

下型2は金属(例えば真ちゅう)、ガラス等からなり、
所望の形状の成形面(弾性体5接触面)を有する円柱状
の部材であるが、この下71!!2には、嵌合部材lが
嵌合可能に形成され、且つ下型2の成形面と底面(成形
面と反対側の面)とを貫通する気体通路1aが設けられ
る。
The lower mold 2 is made of metal (for example, brass), glass, etc.
It is a cylindrical member having a molding surface of a desired shape (the contact surface of the elastic body 5), but below this 71! ! 2 is provided with a gas passage 1a that is formed to be able to fit with the fitting member 1 and that passes through the molding surface and the bottom surface (the surface opposite to the molding surface) of the lower mold 2.

この気体通路1aは下型2の中央部(光軸りの近傍部分
)を貫通するように設けることも可能であるが1弾性体
5の光学特性に対する影響をできる限り小さくする点、
あるいは、弾性体5と側型4との密着面にも、気体の注
入による離型促進力を容易に作用させる点からは、円筒
状の下型2の外周に近い部分(外縁部分)を貫通するよ
うに形成することが好ましい。
Although it is possible to provide this gas passage 1a so as to penetrate the central part (near the optical axis) of the lower mold 2, the influence on the optical characteristics of the elastic body 5 should be minimized as much as possible.
Alternatively, from the point of view of easily applying mold release promoting force by gas injection to the close contact surface between the elastic body 5 and the side mold 4, it is preferable to penetrate the part near the outer periphery (outer edge part) of the cylindrical lower mold 2. It is preferable to form it so that.

この気体通路1aは、気体の注入による離型促進力を均
一に弾性体5に作用させる点からは、複数設けることが
好ましい、また、気体通路1aは1例えば光軸りを中心
とする円筒状の開孔として形成されていてもよい。
It is preferable to provide a plurality of gas passages 1a from the viewpoint of uniformly applying the releasing force caused by gas injection to the elastic body 5. Also, the gas passages 1a are preferably provided in a plurality of shapes, for example, in a cylindrical shape centered on the optical axis. It may be formed as an opening.

気体通路1aの形状は特に制限されるものではないが、
下型2の成形面側において相対的に断面積が小さくなる
ような楔状であることが好ましい。
Although the shape of the gas passage 1a is not particularly limited,
It is preferable that the shape is wedge-shaped so that the cross-sectional area becomes relatively small on the molding surface side of the lower mold 2.

このような気体通路1aに嵌合する嵌合部材1は、金属
、セラミックス、プラスチック等の材料からなるが、下
型2と同種の材料から構成されることが好ましい。
The fitting member 1 that fits into the gas passage 1a is made of a material such as metal, ceramics, or plastic, but is preferably made of the same material as the lower mold 2.

本発明において、気体通路1aを通じて弾性体5と下型
2との界面に供給する気体としては、離型操作を行う温
度(通常は、常温)において気体状態となる物質を特に
制限なく用いることができるが、この温度において弾性
体5.下型2等と化学反応しにくい気体(例えば、空気
、窒素等)を用いることが好ましい。
In the present invention, as the gas supplied to the interface between the elastic body 5 and the lower mold 2 through the gas passage 1a, any substance that is in a gaseous state at the temperature at which the mold release operation is performed (usually room temperature) may be used without particular restriction. However, at this temperature, the elastic body 5. It is preferable to use a gas (eg, air, nitrogen, etc.) that does not readily chemically react with the lower mold 2 and the like.

このような気体は、加圧しつつ気体通路1aの下型2底
面側から強制的に注入されるが、下型2底面近傍におけ
る気体の圧力は1〜50気圧程度、更には5〜20気圧
程度であることが好ましい。
Such gas is forcibly injected from the bottom side of the lower mold 2 in the gas passage 1a while being pressurized. It is preferable that

この気体の加圧注入により、弾性体5の表面形状は一時
的に若干変形するが、気体が弾性体5と下型2との界面
に拡散することにより弾性体5が下型2から速かに離型
するため、この一時的な変形を弾性変形内のわずかな量
にコントロールすることは容易であり、上記弾性体5の
一時的な変形は速かに復元させることができる。したが
って、上述した気体の加圧注入による、離型後の弾性体
5の成形精度の低下は、実質的に問題とならない。
Due to this pressurized injection of gas, the surface shape of the elastic body 5 is temporarily slightly deformed, but as the gas diffuses to the interface between the elastic body 5 and the lower mold 2, the elastic body 5 is quickly removed from the lower mold 2. Since the mold is released quickly, it is easy to control this temporary deformation to a small amount within the elastic deformation, and the temporary deformation of the elastic body 5 can be quickly restored. Therefore, the deterioration in molding precision of the elastic body 5 after release due to the pressurized injection of gas as described above does not substantially pose a problem.

上述した下型2とともに弾性体5成形のための成形型を
構成する側型4は、下型2と同様の材料からなされる円
筒状の部材であるが、気体通路laは、下型2または、
この側型4の少なくとも一方に設けられていればよい。
The side mold 4, which together with the lower mold 2 described above constitutes a mold for molding the elastic body 5, is a cylindrical member made of the same material as the lower mold 2. ,
It is sufficient if it is provided on at least one side of the side molds 4.

弾性体5を構成する材料としては、光学素子8の使用温
度においてエラストマーたる性質を示す天然ないし合成
の高分子物質を特に制限なく使用することができるが、
例えば炭化水素類をアルミニウム石けん(ラウリル酸ア
ルミニウム等)に溶解させて得られる液体弾性体を用い
ることも可能である。
As the material constituting the elastic body 5, any natural or synthetic polymer substance that exhibits elastomer properties at the operating temperature of the optical element 8 can be used without particular limitation.
For example, it is also possible to use a liquid elastic body obtained by dissolving hydrocarbons in aluminum soap (such as aluminum laurate).

弾性体5を構成する材料としては、350nm−t’8
0%以上、500〜700nm領域で92%以上の分光
透過率を有し、弾性率が5XIO2dyne/cm2以
上、lXl0@dyne/am2以下であるものが好ま
しく用いられる。この範囲から選ばれた弾性率の異なる
複数の材料を用いる場合(例えば、後述する第2図(a
)の光学素子8aのように、2つの弾性体R51と52
とで積W!1弾性体54を構成する場合)弾性体51の
弾性率(E、)と1弾性体52の弾性率(E2)との比
(E 1/ E 2 )が、(各層の厚みによっても異
なるが)2〜10000の範囲で選択されることが好ま
しい。
The material constituting the elastic body 5 is 350 nm-t'8
Those having a spectral transmittance of 0% or more and 92% or more in the 500 to 700 nm region, and an elastic modulus of 5XIO2 dyne/cm2 or more and 1X10@dyne/am2 or less are preferably used. When using multiple materials with different elastic moduli selected from this range (for example, see Figure 2 (a) described below).
), two elastic bodies R51 and 52
And the product W! 1 elastic body 54)) The ratio (E 1 / E 2 ) of the elastic modulus (E, ) of the elastic body 51 and the elastic modulus (E2) of the 1 elastic body 52 is (although it varies depending on the thickness of each layer). ) is preferably selected in the range of 2 to 10,000.

このような弾性体としては、本発明により得られる光学
素子をレンズとして使用する場合には。
Such an elastic body is used when the optical element obtained by the present invention is used as a lens.

(少なくとも使用する波長の光に対して)透明度の高い
ものを用いることが好ましい。
It is preferable to use a material with high transparency (at least for light of the wavelength used).

本発明においては、例えば、以下に列挙するような弾性
体材料が用いられる。
In the present invention, for example, the following elastic materials are used.

(イ)ジエン系ゴム 例えば、ブタジェン、イソプレン等のジエン重合体、ニ
トリルゴム、アクリルゴム等のジエン−ビニル系共重合
体。
(a) Diene rubbers For example, diene polymers such as butadiene and isoprene, diene-vinyl copolymers such as nitrile rubber and acrylic rubber.

(ロ)エチレン系共重合体 例えば、α−オレフィン、ジエン、極性基モノ置換ビニ
ル化合物(アクリル酸類、メタアクリル酸類、スチレン
、塩化ビニル、ビニルエーテル等)、ジ置換ビニル化合
物(マレイン酸類)等から選ばれた1、11ないし数種
の化合物と、エチレンとの共重合体(これらのエチレン
系共重合体は、エチレンの結晶化度を著しく減少ないし
消失させたものである)。
(b) Ethylene copolymer selected from α-olefins, dienes, polar monosubstituted vinyl compounds (acrylic acids, methacrylic acids, styrene, vinyl chloride, vinyl ethers, etc.), di-substituted vinyl compounds (maleic acids), etc. A copolymer of 1, 11 or several kinds of compounds obtained by the above-mentioned methods and ethylene (these ethylene-based copolymers have the crystallinity of ethylene significantly reduced or eliminated).

(ハ)オレフィン系ゴム 例えば、ポリイソブチン、アタクチックポリプロピレン
、ポリ塩化ビニル(可塑剤を比較的多量に混合したもの
)、アクリル酸ないしアクリル酸エステルの2種以上の
七ツマ−からなる共重合体、2種以上のアクリル酸誘導
体上ツマ−からなる共重合体(水ないし高沸点溶媒を含
有させたもの)。
(c) Olefin rubber such as polyisobutyne, atactic polypropylene, polyvinyl chloride (mixed with a relatively large amount of plasticizer), a copolymer consisting of two or more heptamers of acrylic acid or acrylic ester; A copolymer consisting of two or more acrylic acid derivatives (containing water or a high boiling point solvent).

(ニ)その他のゴム 例えば、シリコーンポリマー(ジメチルシリコーンポリ
マー、ジフェニルジメチルシリコーンポリマー等)、ホ
スファゼンポリマー。
(iv) Other rubbers, such as silicone polymers (dimethyl silicone polymer, diphenyl dimethyl silicone polymer, etc.), phosphazene polymers.

以上に列挙したような弾性体材料は必要に応じて架橋さ
れるが1例えばこの架橋の程度を制御することによって
、前述の弾性率Eを変化させることができる。この架橋
は、例えば、イオウやパーオキサイド等からなる架橋剤
を用いて行えばよい。
The elastic materials listed above are crosslinked as necessary; for example, by controlling the degree of crosslinking, the elastic modulus E can be changed. This crosslinking may be carried out using, for example, a crosslinking agent made of sulfur, peroxide, or the like.

本発明において弾性体5を構成する材料としては、上述
したような種々のエラストマーが用いられるが、好まし
い力学的特性(弾性率等)、あるいは好ましい光学的特
性(透明度、屈折率等)を有する弾性体を容易に形成で
きる点からは、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン
−ジェンターポリマー等が特に好ましく用いられる。
In the present invention, various elastomers such as those described above are used as the material constituting the elastic body 5. Silicone rubber, ethylene-propylene-genter polymer and the like are particularly preferably used from the viewpoint of easy formation of the body.

第1図(d)を参照して、上述した弾性体5を収容する
開口部材7は、金属、ガラス、樹脂等の比較的硬い材料
からなる好ましくは厚さ0.1〜10a+m程度の板を
1円形の開口部7&を有する円筒状に形成してなる。
Referring to FIG. 1(d), the opening member 7 that accommodates the elastic body 5 described above is a plate made of a relatively hard material such as metal, glass, or resin, preferably having a thickness of about 0.1 to 10 a+m. It is formed into a cylindrical shape having a circular opening 7&.

この開口部材7は、不透明の材料から構成されることが
好ましい。
This opening member 7 is preferably made of an opaque material.

上述した開口部材7とともにりを性体5を挾持する円形
底板3は、透明で比較的硬い材料であるガラス、樹脂等
からなり、その厚さは0.1〜5■程度であることが好
ましい。
The circular bottom plate 3 that holds the body 5 together with the opening member 7 described above is made of a transparent and relatively hard material such as glass or resin, and preferably has a thickness of about 0.1 to 5 mm. .

光学素子8は、上記したような弾性体5と、開口部材7
と、底板3とからなり、該光学素子8全体は、第1図(
d)に示すような円筒形状に形成されるが、本発明にお
いて1例えば、直方体状に形成した弾性体と、矩形の開
口部を有する直方体状の開口部材を用いて光学素子を構
成してもよい。
The optical element 8 includes the elastic body 5 as described above and the aperture member 7.
and a bottom plate 3, and the entire optical element 8 is shown in FIG.
Although it is formed in a cylindrical shape as shown in d), in the present invention, for example, an optical element may be constructed using an elastic body formed in a rectangular parallelepiped shape and a rectangular parallelepiped opening member having a rectangular opening. good.

このような光学素子の矩形状の開口表面は、シリンドリ
カルレンズ、トーリックレンズ等として用いることが可
能である。
The rectangular aperture surface of such an optical element can be used as a cylindrical lens, a toric lens, or the like.

また、弾性体5の開口表面5aに金属を蒸着させる等の
方法により、この開口表面を反射面として利用すること
も可能である。このような態様においては、l51Il
性体を構成する材料は透明である必要はなく、また、該
弾性体中に金属粉末等の充填剤が分散されていてもよい
It is also possible to use the opening surface 5a of the elastic body 5 as a reflective surface by depositing metal on the opening surface 5a. In such embodiments, l51Il
The material constituting the elastic body does not need to be transparent, and a filler such as metal powder may be dispersed in the elastic body.

次に、本発明の製造方法により得られた光学素子8の使
用方法について、第1図(d)および((e)を参照し
つつ説明する。
Next, a method of using the optical element 8 obtained by the manufacturing method of the present invention will be explained with reference to FIGS. 1(d) and 1(e).

第1図(d)にその初期状!(弾性体5を変形させてい
ない状態)を示すような光学素子8に、第1図(e)に
示すように、底板3に図面下方から圧力を印加して該弾
性体5を加圧変形させると、この圧力の大きさに対応し
て、弾性体5の開口表面5aが開口部材7の開口部7a
から凸レンズ状に突出する6弾性体5に印加する上記圧
力の大きさを制御することにより、上記開口表面5aの
凸レンズ形状を可逆的に変化させることができるため、
この光学素子8を用いて所望の焦点距離を得ることがで
きる。
Figure 1(d) shows its initial state! As shown in FIG. 1(e), pressure is applied to the bottom plate 3 from below in the drawing to deform the elastic body 5 under pressure. Then, in response to the magnitude of this pressure, the opening surface 5a of the elastic body 5 closes the opening 7a of the opening member 7.
The convex lens shape of the opening surface 5a can be reversibly changed by controlling the magnitude of the pressure applied to the 6 elastic bodies 5 protruding from the 6 elastic bodies 5 in a convex lens shape.
A desired focal length can be obtained using this optical element 8.

一方、上記とは逆に、弾性体5に負圧を印加した場合に
おいては、この弾性体5の開口表面5aは可逆的に変化
しうる凹レンズ形状(図示せず)を与える。
On the other hand, when negative pressure is applied to the elastic body 5, contrary to the above, the opening surface 5a of the elastic body 5 gives a reversibly changeable concave lens shape (not shown).

上述したように弾性体5を変形させる際における該弾性
体2に開口表面5aの変化の様子は、例えば、有限要素
法による構造解析プログラムを用いて解析することがで
きる。
As described above, how the opening surface 5a of the elastic body 2 changes when the elastic body 5 is deformed can be analyzed using, for example, a structural analysis program based on the finite element method.

以上においては、本発明の製造方法により単層からなる
弾性体5を有する光学素子8(第1図(d))を形成す
る態様について説明したが、本発明の製造方法を用いて
、第2図(a)に示すような積層弾性体54を有する光
学素子8aを形成してもよい。
In the above, the embodiment of forming the optical element 8 (FIG. 1(d)) having the elastic body 5 made of a single layer by the manufacturing method of the present invention has been described. An optical element 8a having a laminated elastic body 54 as shown in Figure (a) may be formed.

積層弾性体54は、開口表面51a側から、光軸り方向
に沿って、相対的に大きい弾性率を有する第1弾性体層
51と、相対的に小さい弾性率を有する第2弾性体層5
2とを順次積層してなるものであるが、例えば、第2図
(b)に示すように上型21と下型22と、側型23と
を用いて第1弾性体層51を成形し、第2図(c)に示
すように第1弾性体層51から上型21を分離した後、
第2図(d)に示すように、底板3と、第1弾性体層5
1と、側型23との間隙部分に、第2弾性体層52を形
成することにより得られる。
The laminated elastic body 54 includes a first elastic layer 51 having a relatively large elastic modulus and a second elastic layer 5 having a relatively small elastic modulus from the opening surface 51a side along the optical axis direction.
For example, as shown in FIG. 2(b), the first elastic layer 51 is formed using an upper mold 21, a lower mold 22, and a side mold 23. , after separating the upper mold 21 from the first elastic layer 51 as shown in FIG. 2(c),
As shown in FIG. 2(d), the bottom plate 3 and the first elastic layer 5
1 and the side mold 23 by forming the second elastic layer 52.

このような1!L N弾性体54を形成するに際して、
上型21と第1弾性体層51との界面に気体を注入する
場合の木発明の態様を、以下にやや詳しく説明する。
1 like this! When forming the LN elastic body 54,
The aspect of the invention in which gas is injected into the interface between the upper mold 21 and the first elastic layer 51 will be described in some detail below.

すなわち、第3図(a)に示すように、上型固定用ホル
ダー21aに保持させた円柱状の上y!1i、21と、
下型固定用ホルダー22aに保持させた円柱状の下型2
2とを一定の間隔をもって対向させ、円柱状の下型固定
ホルダー22aの外周面に接触するように円筒状の側型
23を配置し、更に、円柱状の上型固定ホルダー21a
の図面上方(該ホルダー21aの上型21対向面と反対
側の面)に装着された弾性体原料注入用の円柱状治具z
4の外周面に接触するように、円筒状の側型25を配置
する。上記上型21および上型ホルダー21aには、上
型ホルダー21aの底面(該ホルダーの上型21対向面
と反対側の面)から上型21の成形面(弾性体対向面)
に到達する気体通路11aが形成され、この気体通路1
1aには、ピンないし楔状の嵌合部材11が嵌合されて
いる。
That is, as shown in FIG. 3(a), the cylindrical upper y! held by the upper die fixing holder 21a! 1i, 21 and
A cylindrical lower mold 2 held by a lower mold fixing holder 22a
A cylindrical side mold 23 is arranged so as to face the cylindrical lower mold fixing holder 22a with a fixed interval, and is in contact with the outer peripheral surface of the cylindrical lower mold fixing holder 22a.
A cylindrical jig z for injecting the elastic raw material is mounted on the upper side of the drawing (the surface opposite to the surface facing the upper die 21 of the holder 21a).
A cylindrical side mold 25 is arranged so as to contact the outer circumferential surface of the mold 4. The upper mold 21 and the upper mold holder 21a are connected from the bottom surface of the upper mold holder 21a (the surface opposite to the surface facing the upper mold 21 of the holder) to the molding surface of the upper mold 21 (the surface facing the elastic body).
A gas passage 11a is formed that reaches the gas passage 1.
A pin or wedge-shaped fitting member 11 is fitted into 1a.

上型固定ホルダー21aと側型23との間隙、および上
fi21と下型22との間隙に連通するように、原料注
入用治具24内に形成した原料注入口24aを通じて、
第1弾性体層51の原料(シリコーン等)を上型21と
下型22との間隙に注入した後、硬化剤等によりこの弾
性体原料を硬化させて第1弾性体層51を形成する。
Through the raw material injection port 24a formed in the raw material injection jig 24 so as to communicate with the gap between the upper mold fixing holder 21a and the side mold 23 and the gap between the upper fi 21 and the lower mold 22,
After a raw material (such as silicone) for the first elastic layer 51 is injected into the gap between the upper mold 21 and the lower mold 22, the elastic raw material is hardened using a hardening agent or the like to form the first elastic layer 51.

次いで、第3図(b)に示すように、治具24、側型2
5を分離した後、上型21および上型ホルダー21aか
ら嵌合部材11を引き抜くことにより、上型ホルダー2
1aの底面から上型21の成形面(すなわち、上型21
と第1弾性体層51との界面)に達する気体通路11a
を形成する。
Next, as shown in FIG. 3(b), the jig 24, the side mold 2
5, the upper mold holder 2 is removed by pulling out the fitting member 11 from the upper mold 21 and the upper mold holder 21a.
1a to the molding surface of the upper mold 21 (i.e., the upper mold 21
and the first elastic layer 51).
form.

更に、第3図(c)に示すように、気体注入用治具6の
内部に形成した気体注入口6aが上記気体通路11aに
連通ずるように、治具6を上型ホルダー21aの底面に
装着し、この気体注入口6aがら空気等の気体を加圧し
つつ注入すると、この気体の作用により、(第1図(c
)の場合と同様に)上型21と第1弾性体層51との界
面における#型が促進される。
Furthermore, as shown in FIG. 3(c), the jig 6 is attached to the bottom surface of the upper mold holder 21a so that the gas injection port 6a formed inside the gas injection jig 6 communicates with the gas passage 11a. When the gas, such as air, is pressurized and injected through the gas inlet 6a, the action of this gas causes (Fig. 1 (c)
)), the #-shape at the interface between the upper mold 21 and the first elastic layer 51 is promoted.

このようにして第1弾性体層51を精度よく形成した後
、この第1911性体層がその成形面上に形成されてな
る下型z2を用いて、第1図(a)ないし第1図(d)
に示したものと同様の方法により。
After forming the first elastic layer 51 with high accuracy in this manner, the lower mold z2 having the 1911 elastic layer formed on the molding surface is used to form the first elastic layer 51 in FIGS. 1(a) to 1. (d)
By a method similar to that shown in .

第1弾性体R51上に第2弾性体層52を積層して積層
弾性体54を形成し、この積層弾性体54を開口部材7
中に収容して、第2図(a)の光学素子8aとすればよ
い。
A second elastic body layer 52 is laminated on the first elastic body R51 to form a laminated elastic body 54, and this laminated elastic body 54 is attached to the opening member 7.
The optical element 8a shown in FIG. 2(a) may be obtained by housing the optical element 8a in FIG.

この光学素子8aにおいては、積層弾性体54を構成す
る第1弾性体層51と、第2弾性体層52どの変形をバ
ランスさせることにより、積層弾性体54全体として好
ましい変形特性を得ることができ、例えば開口表面51
aを球面等の好ましい形状に保ちつつ変形させることが
可能となる。なお、第1弾性体層510光軸り方向の厚
さに適当な分布を与えることにより積層弾性体54の開
口表面51aの変形の態様をコントロールしてもよい。
In this optical element 8a, by balancing the deformation of the first elastic layer 51 and the second elastic layer 52 constituting the laminated elastic body 54, it is possible to obtain preferable deformation characteristics of the laminated elastic body 54 as a whole. , for example, the aperture surface 51
It becomes possible to deform a while keeping it in a desirable shape such as a spherical surface. Note that the mode of deformation of the opening surface 51a of the laminated elastic body 54 may be controlled by giving an appropriate distribution to the thickness of the first elastic body layer 510 in the optical axis direction.

積層弾性体54の形状変化の様子は、前述した単層弾性
体5の場合と同様に、有限要素法による構造解析プログ
ラムを用いて容易に解析することができる。
The shape change of the laminated elastic body 54 can be easily analyzed using a structural analysis program based on the finite element method, as in the case of the single-layer elastic body 5 described above.

なお、この光学素子8aに用いる積層弾性体54を形成
する場合、第2弾性体層52(この弾性体層52表面は
第1弾性体層51の表面よりも粘着性が大きい場合が多
い)の側型23からの離型性を考慮して、第4図(気体
通路は図示せず)に示すように、第1弾性体層51のみ
が該側型23に接触するような態様で該弾性体層51を
形成してもよい。
In addition, when forming the laminated elastic body 54 used for this optical element 8a, the second elastic body layer 52 (the surface of this elastic body layer 52 is often more adhesive than the surface of the first elastic body layer 51). In consideration of the mold releasability from the side mold 23, the elastic layer is formed in such a manner that only the first elastic layer 51 comes into contact with the side mold 23, as shown in FIG. 4 (gas passages are not shown). A body layer 51 may also be formed.

以上においては、第1図(d)および第2図(a)に示
すような光学素子8ないし8aを形成する本発明の実施
態様について説明したが、木発明の製造方法によれば、
第5図ないし第10図にその弾性体層の厚さ方向模式断
面図を示すような他の構成を有する光学素子(8bない
し8g)をも好適に製造することができる。
The embodiments of the present invention for forming the optical elements 8 to 8a as shown in FIG. 1(d) and FIG. 2(a) have been described above, but according to the manufacturing method of the present invention,
Optical elements (8b to 8g) having other configurations as shown in FIGS. 5 to 10, which are schematic cross-sectional views in the thickness direction of the elastic layer, can also be suitably manufactured.

第5図(a)は、開口表面5aをフラットな形状とした
単層弾性体5を円形開口板71と円形底板3とで挾持し
、これらを円筒状の側壁9内に収容してなる光学素子8
bを示し、第5図(b)は開口板71を光軸り方向に沿
って弾性体5に加圧する方向へ移動させ1弾性体5の開
口表面5aを凸レンズ状に突出させた状態を示す。
FIG. 5(a) shows an optical system in which a single-layer elastic body 5 with a flat aperture surface 5a is held between a circular aperture plate 71 and a circular bottom plate 3, and these are accommodated in a cylindrical side wall 9. Element 8
FIG. 5(b) shows a state in which the aperture plate 71 is moved along the optical axis direction in a direction to press the elastic body 5, and the aperture surface 5a of the elastic body 5 is made to protrude in the shape of a convex lens. .

第6図は、第5図(a)の単層弾性体5に代えて、開口
表面51aをフラットな形状とした積層りi性体54を
用いた光学素子8cを示し、第7図は、第2図の円筒状
開口部材7に代えて1円形間ロ板71を用いた光学素子
8dを示す。
FIG. 6 shows an optical element 8c using a laminated i-shaped body 54 with a flat opening surface 51a in place of the single-layer elastic body 5 of FIG. 5(a), and FIG. An optical element 8d is shown in which a one-circle spacer plate 71 is used in place of the cylindrical opening member 7 of FIG.

第8図は、光軸りに沿って図面上方から、第1弾性体層
51(弾性率El)と、第2弾性体層52(弾性率E2
)と、第3弾性体層53(弾性率E3)とを順次81層
してなる弾性体55を用い、且つ、開口板を複数(71
および72)用いて開口表面(51aおよび53a)を
複数設けてなる光学素子8eを示す、この第8図の態様
光学素子8eにおいては、E、>E、、且つE、>E2
であるが、ElとE3は等しくなくてもよい、また開口
板71および72のうち、少くとも一方は側壁9に沿っ
て移動可能に設けられる。
FIG. 8 shows the first elastic layer 51 (elastic modulus El) and the second elastic layer 52 (elastic modulus E2) from the top of the drawing along the optical axis.
) and a third elastic layer 53 (modulus of elasticity E3) of 81 layers, and a plurality of aperture plates (71
In the optical element 8e of FIG.
However, El and E3 may not be equal, and at least one of the aperture plates 71 and 72 is provided movably along the side wall 9.

第9図は、積層弾性体54内部の第2弾性体52の表面
に開口板71を設けてなる(開口板71は第1および第
2弾性体層と接着されている)光学素子8fを示し、第
10図は、円柱状の積層弾性体55の外周に圧電体素子
からなる円筒状の側壁9を設けてなり、この側壁9に印
加する電圧を制御すtことにより側壁9の内径を変化さ
せて、積層弾性体55を変形させる態様の光学素子8g
を示す。
FIG. 9 shows an optical element 8f in which an aperture plate 71 is provided on the surface of the second elastic body 52 inside the laminated elastic body 54 (the aperture plate 71 is bonded to the first and second elastic body layers). , FIG. 10 shows a structure in which a cylindrical side wall 9 made of a piezoelectric element is provided on the outer periphery of a cylindrical laminated elastic body 55, and the inner diameter of the side wall 9 is changed by controlling the voltage applied to this side wall 9. 8g of optical elements in which the laminated elastic body 55 is deformed by
shows.

以上においては、y!lと弾性体との界面に気体を注入
するために、型に気体通路を設ける態様について説明し
たが1本発明においては、成形される弾性体側に設けた
気体通路を通じて、型と弾性体との界面に気体を注入し
てもよく、また型および弾性体の双方に気体通路を設け
てもよい。
In the above, y! An embodiment in which a gas passage is provided in the mold in order to inject gas into the interface between the mold and the elastic body has been described.1 In the present invention, the connection between the mold and the elastic body is made through the gas passage provided on the side of the elastic body to be molded. Gas may be injected into the interface, and gas passages may be provided in both the mold and the elastic body.

弾性体に気体通路を設ける場合は、例えば、該弾性体が
形成されるべき間隙に、ビンあるいは櫟等の嵌合部材を
挿入したまま弾性体原料を注入。
When providing a gas passage in the elastic body, for example, the elastic body raw material is injected into the gap where the elastic body is to be formed, with a fitting member such as a bottle or a rod inserted.

硬化させて弾性体を形成した後、上記嵌合部材を弾性体
から引き抜くことにより、気体通路を形成すればよい。
After the elastic body is hardened, the fitting member is pulled out from the elastic body to form a gas passage.

このように弾性体側に気体通路を形成する場合は、弾性
体の光線の通らない部分(例えば円柱状弾性体の外縁部
)を貫通するように気体通路を設けることが好ましい。
When forming a gas passage on the elastic body side in this way, it is preferable to provide the gas passage so as to penetrate through a portion of the elastic body through which light rays do not pass (for example, the outer edge of a cylindrical elastic body).

11立皇」 上述したように本発明によれば、型を用いて弾性体を成
形した後、型と弾性体との界面に気体を注入することに
より、弾性体を型から離型させる光学素子の製造方法が
提供される。
As described above, the present invention provides an optical element that molds an elastic body using a mold and then releases the elastic body from the mold by injecting gas into the interface between the mold and the elastic body. A manufacturing method is provided.

本発明の製造方法によれば、型から離型する際の弾性体
の力学的、熱的変形が抑制されるため、弾性体を精度よ
く形成することができ、この弾性体を利用することによ
り、光学精度に優れる光学素子を得ることができる。
According to the manufacturing method of the present invention, since the mechanical and thermal deformation of the elastic body is suppressed when the elastic body is released from the mold, the elastic body can be formed with high precision. , an optical element with excellent optical precision can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図ないし第10図は、いずれも弾性体層の厚さ方向
で見た模式断面図であり、第1図(a)ないしくe)、
第2図(a)ないしくd)、第3図(a)ないしくC)
、および第4図は本発明の光学素子製造方法を説明する
ための図、第5図ないし第10図は本発明の製造方法に
よって得られる光学素子の他の態様を示す図である。 l・・・嵌合部材 1a・・・気体通路 2・・・下型 3・・・底板 4・・・側型 5・・・弾性体 51・・・第1弾性体層 52・・・第2弾性体層 6・・・治具 6a・・・気体注入口 ア・・・開口部材 71.72・・・開口板 8・・・光学素子 9・・・側壁 ΩJ:第1図(a)、(b) 、 (C)第1図 (a) (b) 第1図 (c) (d) (e  ) 第2図 (b) (ci) 第3図 (b) (c  ) 第S図 h (b)
1 to 10 are schematic cross-sectional views of the elastic layer as viewed in the thickness direction, and FIGS. 1(a) to 1e),
Figure 2 (a) to d), Figure 3 (a) to C)
, and FIG. 4 are diagrams for explaining the optical element manufacturing method of the present invention, and FIGS. 5 to 10 are diagrams showing other embodiments of the optical element obtained by the manufacturing method of the present invention. l...Fitting member 1a...Gas passage 2...Lower die 3...Bottom plate 4...Side die 5...Elastic body 51...First elastic layer 52...No. 2 Elastic layer 6...Jig 6a...Gas inlet a...Aperture member 71.72...Aperture plate 8...Optical element 9...Side wall ΩJ: Fig. 1(a) , (b) , (C) Figure 1 (a) (b) Figure 1 (c) (d) (e) Figure 2 (b) (ci) Figure 3 (b) (c) Figure S h (b)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 弾性体と、開口部を有し、且つ該弾性体に接触する比較
的硬い開口部材とからなり、弾性体を変形させることに
より、上記開口部から露出した弾性体光学表面の形状を
変化させることを可能とした光学素子を製造するに際し
て、型の成形面上に弾性体材料を注入して弾性体を成形
する工程と、型または弾性体の少なくとも一方に設けた
気体通路を通じ、型の成形面と弾性体との界面に気体を
注入して、該弾性体を型から離型する工程とからなるこ
とを特徴とする光学素子の製造方法。
Consisting of an elastic body and a relatively hard opening member having an opening and in contact with the elastic body, the shape of the optical surface of the elastic body exposed from the opening is changed by deforming the elastic body. When manufacturing an optical element that makes it possible to A method for manufacturing an optical element, comprising the steps of: injecting gas into the interface between the elastic body and the elastic body, and releasing the elastic body from the mold.
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