JPS62235502A - 3次元測定装置の駆動装置 - Google Patents

3次元測定装置の駆動装置

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JPS62235502A
JPS62235502A JP7835186A JP7835186A JPS62235502A JP S62235502 A JPS62235502 A JP S62235502A JP 7835186 A JP7835186 A JP 7835186A JP 7835186 A JP7835186 A JP 7835186A JP S62235502 A JPS62235502 A JP S62235502A
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JP
Japan
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roller
guide member
rail
sliding guide
axis direction
Prior art date
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Pending
Application number
JP7835186A
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English (en)
Inventor
Katsuhide Ito
克英 伊藤
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Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
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Publication date
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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は3次元測定装置の駆動装置に係り、更に詳細に
は、回転駆動体をガイド部材からml!可能にした3次
元測定装置の駆動装置に関するものである。
[従来の技術1 最近、3次元測定装置を使用しているユーザの中には、
被測定物の形状がI!霜化し、ポイントトウポイントで
は測定不可能なものもでてきている。
しかも、これらの?a雄化した形状の被測定物の測定に
は手動方式で対応しているのが現状である。
すなわち、作業者がスピンドルを把持し、プロー°プを
被測定物の形状に沿って倣う方法である。
この手動方式による方法をモータ駆動方式のラックとビ
ニオンによるものにしても、ラックととニオンの噛み合
いをメカニカルに取り除かなければならない。その手段
として、モータ駆動方式に、よるラックとビニオンによ
る方法では、出力ビニオンの手前にクラッチを用い、ビ
ニオンを空回りさせてラックからビニオンを脱着させる
手段やギヤボックス自体をラックを離し脱着させる手段
を構じている。
〔発明が解決しようとする問題点] しかしながら、前述した従来のラックからビニオンを脱
着させる手段のうち、前者は構造上バックラッシュを取
り除くことが困難であること、侵者は作業者の調整技能
と繁雑さが問題となる。
本発明の目的は上記事情に鑑み問題を解決するために提
案されたものであって、回転駆動体をガイド部材を脱着
可能にすると共にバックラッシュを取り除いた3次元測
定装置の駆動装置を提供するものである。
[問題を解決するための手段] 本発明は上記目的を達成するために、3次元側・定装置
の駆動装置で、フレーム上に設けたガイド部材に沿って
移動自在な移動フレームを設け、該移動フレームに支承
された回転駆動体をガイド部材から離反自在に設け、回
転駆動体をガイド部材から自動的に離反させる離反手段
および回転駆動体をガイド部材に自動的に押圧せしめる
押圧手段を設けてなることを特徴とするものである。
[作用1 本発明の駆動装置を採用することにより、ガイド部から
回転駆動体を容易に脱着することができ、さらにバック
ラッシュも取り除いて、移動フレームがスムーズに移動
される。しかも、駆動部をセットする時もワンタッチで
装着される。
[実施例1 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
第1図、第2図および第3図を参照するに、3次元測定
装置1における箱型形状の内部を空洞にしたベース3が
床などに載置されている。ベース3上の第1図において
左右両側部に、箱型形状の内部を空洞にした摺動案内部
5.7が設けられている。この摺動案内部5.7はそれ
ぞれ第2図において?yJvi方向すなわちX軸方向に
延伸しである。
摺動案内部5.7上には、門型形状のメインキャレッジ
9が設けられ、該メインキャレッジ9の左右下部には、
それぞれ摺動案内部材11.13がX軸方向に沿って移
動自在に取付けである。摺動案内部材13の後方部には
、X軸モータ15が設けてあり、かつ摺動案内部7上に
ガイドレール17がX軸方向に延伸して設けである。
上記構成により、X軸モータ15により摺動案内部材1
1.13がベース3上の摺動案内部5゜7に沿って、ガ
イドレール17に案内されてX軸方向に移動されてメイ
ンキャレッジ9がX軸方向に移動されることになる。
前記メインキャレッジ9の上部ビーム9U上には、第1
図および第2図において左右方向すなわちY軸方向に移
動自在なレントラルキャレツジ19が設けである。さら
に、第1図および第3図に示しであるように、Y軸モー
タ21がセントラルキャレッジ19の後方部に設けてあ
り、かつメインキャレッジ9の上部ビーム9Uの後方側
にはガイドレール23が設けである。
上記構成により、Y軸モータ21によってセントラルキ
ャレッジ19が門型形状のメインキャレッジ9の上部ビ
ーム9UのY軸方向に沿プてガイドレール23に案内さ
れて移動されることになる。
セントラルキャレッジ19の前方内には、第1図、第2
図および第3図に示しであるように、スピンドル25が
上下方向すなわちZ軸方向へ移動自在に設けである。ス
ピンドル25の下方部に向けて、アダプタ27を介して
先端部にプローブ29が着脱自在に装着しである。スピ
ンドル25の後方部には、Z軸モータ31が第2図およ
び第3図に示しであるように設けてあり、かつセントラ
ルキャレッジ19にZ軸方向へ延伸したガイドレール3
3が設けである。
上記構成により、2軸モータ31によって、スピンドル
25がガイドレール33に案内されてZ軸方向へ移動さ
れることになる。
、メインキャレッジ9のX軸方向における移動制御は、
摺動案内部7の外側に第2図および第3図に示されてい
るように、X軸方向に延伸しで゛取付、けであるリニア
スケール35と、l!!!勅案内部材13の内側の一部
に取付けであるセンサ37とによって行なわれている。
セントラルキャレツジ19のY軸方向における移動制御
およびスピンドル25の2軸方向における移動制御は、
メインキャレッジのX軸方向における移動IIJIII
と同様に、図示省略のリニアスケールとセンサによって
行なわれている。
ベース3上にあって、摺動案内部5と7との間にX軸方
向に向けてワーク支持テーブル39が載置してあって、
該ワーク支持テーブル39上に測定しようとする被測定
物の図示省略のワークが載置される。X軸、Y軸および
Z軸に移動制御されるプローブ29がワークに当接して
各種の測定データが測定されることになる。
前述したメインキャレツジ9の左右下部に移動自在に取
付けられた摺動案内部材11.13の裏側には、各種の
エア、パッドが設けられている。
より詳細には、第1図および第3図に示すように、摺動
案内部材11における上部右側の裏側には、X軸方向に
沿って一定間隔毎に複数のエアバッド41が設けである
。また、摺動案内部材11における下部左側の裏側には
、X軸方向に沿って一定間隔毎に複数のエアバッド43
が設けである。
さらに、摺動案内部材13における上部左側の裏側には
、X軸方向に沿って一定間隔毎に複数のエアバッド45
が設けである。摺動案内部材13における下部右側の裏
側には、X軸方向に沿って一定間隔毎に複数のエアバッ
ド47が設けである。
同様に、摺動案内部材13における左部上側の裏側には
、X軸方向に沿って一定間隔毎に複数のエアバッド49
が設けである。また、摺動案内部材13における右部下
側の裏側には、X軸方向に沿って一定間隔毎に複数のエ
アバッド51が設けである。
上記構成により、エアバッド49とエアバッド51に図
示省略のエア供給装置から乾燥したエアを供給すること
によって、エアバッド49と摺動案内部7の左外側との
間にエア族が形成されると共に、エアバッド51と摺動
案内部7の右外側との間にエア膜が形成される。その結
果、セントラルキャレッジ19がメインキャレツジ9の
上部ビーム9Uのほぼ真中にある場合には、摺動案内部
5.7に対して、摺動案内部@11.13がX軸方向に
スムーズに移動される状態となる。
エアバッド41.43.45および47に図示省略のエ
ア供給装置から乾燥したエアを供給することによって、
エアバッド41と摺動案内部5の上面との間にエア膜が
形成されると共に、エアバッド43と摺動案内部5の下
面との間にエア膜が形成される。また、エアバッド45
と摺動案内部7の上面との間にエア膜が形成されると共
に、エアバッド47とW!1l11L内部7の下面との
間にエア膜が形成される。その結果、セントラルキャレ
ツジ19が例えばメインキャレツジ9の上部ビーム9U
の左側に移動して、メインキャリッジ9自体が左下りに
傾斜しようとすると、右側のエアバッド47が上記傾斜
を阻止し精度を維持する。また、セントラルキャレツジ
19が例えばメインキャレッジ9の上部ビーム9Uの右
側に移動して、メインキサレッジ9自体が右下りに傾斜
しようとすると、左側のエアバッド43が上記傾斜を阻
止し精度を維持する。
したがって、セントラルキャレツジ19がメインキャレ
ッジ9の上部ビーム9UにおけるY軸方向に移動し、い
ずれの位置においてもエアバッド43.47が作用して
メインキャレツジ9の真直度および平行度の精度が維持
されるから、測定時における機械自体による誤差は除去
されることになる。
前記門型形状のメインキャレツジ9はアルミナセラミッ
クなどのセラミックで形成しであるから、メインキャリ
ッジ9自体の重lが非常に軽くなる。
その結果、ベース3上の左右両端部に設けた摺動案内部
5.7にかかる負荷が軽減されることによ 〜す、前述
したエアバッド43.47の作用がより効果的に発揮さ
れることになる。
メインキサレッジ9自体が軽くなることから、上記の効
果と共に組立時の取扱いが容易でさらに加減速時に相手
方の遅れがなくなることなどの作用が加味されることに
なる。
次に、fi!!動案内部材13の後方部に設けたX軸モ
ータ15により、摺動案内部材11.13がベース3上
’7) IF! a 案内55 、7 ニ沿3 T、カ
イトL/−ル17に案内されてX軸方向に移動されてメ
インキャレッジ9が移動される。より詳細には、第4図
および第5図には、X軸モータ15の駆動部が示されて
いて、X軸モータ15は支持体53上に取付けである。
X軸モータ15の出力軸55は支持体53内に設けた円
筒形状の連結部材57を介して、カップリング59の一
方部59Aに連結しである。カップリング59の他方部
59Bはシャフト61とシャフト61の上方に設けた固
定部材63との間に介設されてボルト65により締結し
である。カップリング59の一方部59Aと他方部59
Bとは連結しである。カップリング59の一方部59A
はベアリング67を介して支持体53に回転自在に支承
しである。シャフト61の先端側には駆動ローラ69が
テーバビン71により止めである。シャフト61は複数
例へば2個のベアリング73を介して支持体53に回転
自在に支承しである。
上記構成により、X軸上−915を駆動させると、出力
軸55よりカップリング59を介してシャフト61に回
転が伝達されて駆動ローラ69が回転されることになる
前記支持体53は駆動ローラ69を支持し、かつ第5図
において上方へ延在してあって支持体53の一部第5図
において後方右側で枢軸75に枢支である。枢軸75は
摺動案内部材13に設けである。前記枢軸75には従動
ローラ77を支持する揺動体79が枢支しである。
第4図に示しであるように、揺動体79内には従動ロー
577をテーバビン81で止めているシャフト83が設
けてあって、シャフト83は複数例えば2個のベアリン
グ85を介して揺動体79に回転自在に支承しである。
第4図において上部のベアリング85は上方よりロック
ナツト87で締付けである。なお、ベアリング85間は
2個のカラー89が設けてあり、ベアリング85の動き
を阻止しである。
前記支持体53が第5図において上方へ延在した突出体
53Tの上端にはボルト91が締結しである。また、前
記揺動体79が第5図において上方へ延在した突出体7
9Tの上端にはボルト93が締結しである。ボルト91
とボルト93との−には、解放用スプリング95が設け
てあり、該解放用スプリング95は、枢軸75を支点と
して駆動ローラ69と従動ローラ77のガイドレール1
7に対する押圧力を調整するものである。ざらに、摺動
案内部材13の第5図において左側には、エアシリンダ
97が複数本のボルト99で取付けである。エアシリン
ダ97の先端第5図において右側にプランジャ101が
設けである。エアシリンダ97を作動させることにより
、プランジャ101が揺動体79の突出体79Tを押し
付けて、枢軸75を支点しとして揺動体79が揺動し、
従動0−577をガイドレール17に押圧させる押圧力
を調節出来るようにしである。
上記構成により、駆動ローラ69と従動ローラ77とで
ガイドレール17を挾み込み、X軸モータ15を駆動さ
せて駆動ローラ69を回転させると、12!!勤案内部
材13はガイドレール17に案内されてX軸方向に移動
されることになる。なお、エアシリンダ97を作用させ
ると、プランジャ101が揺動体79の突出体79Tを
第5図において右方へ押し付けることにより、tili
 173体79は枢軸75を支点として第5図において
時計方向回りに0動しようとするから、従動O−ラフ7
はガイドレール17に一定の力で押し付けられて駆動ロ
ー569に対して逆回転される。たとえば、ガイドレー
ル17の平行度がラフに製作されていたとしても、駆動
ロー569を支持している支持体53と従動ローラ77
を支持している揺動体79とは解放用スプリング95で
常時付勢しているから、駆動ローラ69と従動ローラ7
7は、ガイドレール17に一定の押圧力を維持して回転
される。
前記解放用スプリング95が設けであることにより、X
軸モータ15を駆動させずに、手動に切り換えることに
よりワンタッチで手動操作することができる。
前記駆動O−ラをビニオン、ガイドレールをラックとし
ても回答実施例の実施B様は変らずに、バックラッシュ
を取り除いた駆動を行なうことができる。
なお、X軸モータ15の駆動部のみを説明したが、Y軸
モータ21および2軸モータ31の駆動部もX軸モータ
15の駆動部とほぼ同じものを採用しているので説明を
省略する。
[効果] 以上のごとき実施例の説明から理解されるように、本発
明によれば、回転駆動体をガイド部材から容易にかつ簡
単に脱着させることができる効果を奏する。ざらに、ガ
イド部材と回転駆動体とのバックラッシュを取り除いて
駆動させることができる。しかも、駆動部をセットする
時もワンタッチ装着が可能である。延いては、駆動部の
脱着作業に対して、作業者の工数が著しく軽減できかつ
従来に比べて短時間で行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明が適用される3次元測定装置の正面図で
ある。 第2図は第1図における■矢視図である。 第3図は第2図における■矢視図である。 第4図は第1図における■矢視部の拡大図である。 第5図は第4図におけるV矢視図である。 1・・・3次元測定装置 5.7・・・摺動暗内部 9・・・メインキャレッジ 11.13・・・摺動案内部材 15・・・X軸モータ   17・・・ガイドレール1
9・・・セントラルキャレッジ 21・・・Y軸モータ    25・・・スピンドル3
1・・・2軸モータ    53・・・支持体53T・
・・突出体     69・・・駆動ローラ75・・・
枢軸       77・・・従動ローラ79・・・f
SiF!l1体     79T・・・突出体95・・
・解放用スプリング 97・・・エアシリンダ  101・・・プランジャ゛
・−゛ご、】 代理人  弁理士  三 好  保 男: ”’置第1
図 第2図 ゛入 第3図 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. フレーム上に設けたガイド部材に沿って移動自在な移動
    フレームを設け、該移動フレームに支承された回転駆動
    体をガイド部材から離反自在に設け、回転駆動体をガイ
    ド部材から自動的に離反させる離反手段および回転駆動
    体をガイド部材に自動的に押圧せしめる押圧手段を設け
    てなることを特徴とする3次元測定装置の駆動装置
JP7835186A 1986-04-07 1986-04-07 3次元測定装置の駆動装置 Pending JPS62235502A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7835186A JPS62235502A (ja) 1986-04-07 1986-04-07 3次元測定装置の駆動装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP7835186A JPS62235502A (ja) 1986-04-07 1986-04-07 3次元測定装置の駆動装置

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Publication Number Publication Date
JPS62235502A true JPS62235502A (ja) 1987-10-15

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ID=13659566

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7835186A Pending JPS62235502A (ja) 1986-04-07 1986-04-07 3次元測定装置の駆動装置

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JP (1) JPS62235502A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9921049B2 (en) 2015-01-30 2018-03-20 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Three-dimensional coordinate measurement apparatus
JP2021092590A (ja) * 2021-03-16 2021-06-17 株式会社東京精密 三次元座標測定装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9921049B2 (en) 2015-01-30 2018-03-20 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Three-dimensional coordinate measurement apparatus
EP3527931A1 (en) 2015-01-30 2019-08-21 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Three-dimensional coordinate measurement apparatus
US10663283B2 (en) 2015-01-30 2020-05-26 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Three-dimensional coordinate measurement apparatus
US11067382B2 (en) 2015-01-30 2021-07-20 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Three-dimensional coordinate measurement apparatus
JP2021092590A (ja) * 2021-03-16 2021-06-17 株式会社東京精密 三次元座標測定装置

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