JPS6185421A - Production of photosensitive resin - Google Patents

Production of photosensitive resin

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JPS6185421A
JPS6185421A JP20686584A JP20686584A JPS6185421A JP S6185421 A JPS6185421 A JP S6185421A JP 20686584 A JP20686584 A JP 20686584A JP 20686584 A JP20686584 A JP 20686584A JP S6185421 A JPS6185421 A JP S6185421A
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coating film
copolymer
photosensitive resin
methyl
cinnamoyloxyethane
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安生 松木
Masayuki Endo
昌之 遠藤
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聡 宮下
Shiyuichi Matsumoto
松本 脩一
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Abstract

PURPOSE:To obtain the titled resin suitable as photosensitive coating film- forming material, by copolymerization between each specific two sorts of polymerizable monomers. CONSTITUTION:The objective resin can be obtained by copolymerization between (A) a polymerizable monomer of formula I (R<1> is H or lower alkyl; R<2> is H, lower alkyl or lower alkoxy; n is 2-5) [e.g., 1-methacryloxy-2-(4-methyl) cinnamoyloxyethane] and (B) another polymerizable monomer of formula II (R<3> is H or lower alkyl; m is 1-5) (e.g., glycidhyl acrylate). USE:The coating film from this photosensitive resin is suitable as protective film for the base surface of various articles, antifouling protective layer for color-separation filter, surface-protective layer, etc.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は感光性樹脂の製造方法に関し、更に詳しくは感
光性塗膜の形成材料として好適な感光性樹脂の製造方法
に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a method for producing a photosensitive resin, and more particularly to a method for producing a photosensitive resin suitable as a material for forming a photosensitive coating film.

(従来の技術) 従来、各種物品の基体表面の劣化や損傷を防止するため
に、その表面に保護塗膜を形成することが広く行なわれ
ている。このような保護塗膜には、塗膜の基体への接着
性が高いこと、更に塗膜が平滑で強靭であること、耐熱
性および耐光性が高(て長期にわたって変色等の変質を
しないこと、耐水性および耐溶剤性が優れていること等
の性能が要求されている。
(Prior Art) Conventionally, in order to prevent deterioration and damage to the substrate surface of various articles, it has been widely practiced to form a protective coating on the surface of the substrate. This type of protective coating film must have high adhesion to the substrate, be smooth and strong, and have high heat and light resistance (so that it will not change in quality such as discoloration over a long period of time). Performance such as excellent water resistance and solvent resistance is required.

一方、近年、チャージカップルドデバイス(以下、rC
CDJと称する)等の光電変換素子として、色分離フィ
ルターを内蔵した固体撮像素子が種々発表されている。
On the other hand, in recent years, charge coupled devices (rC
Various solid-state image sensors with built-in color separation filters have been announced as photoelectric conversion elements such as CDJs.

この固体撮像素子の色分離フィルターは、例えばCCD
素子上に次のような工程を経て形成される。すなわち、
CCD素子(基体)の表面を透明な塗膜により平坦化し
た後、ポリビニルアルコール、グリユー、ゼラチン等に
感光性物質を加えて感光性を付与した感光性材料を、前
記基体上に均一に塗布し、パターンマスクを介して紫外
線を照射し、第1色目の色相部分を構成すべき部分のみ
を光硬化させ、未硬化部分を熔解除去して現像し、この
部分を所定の分光特性を有する染料で染色し、次いで透
明な防染保護膜によって被覆する。更にこの防染保護膜
上に上記感光性材料を塗布し、第2色目の色相部分につ
いても同様の工程によって、露光、現像、染色および防
染保WLm*の形成を行ない、更に第3色目の色相部分
についても同様の工程によって露光、現像、染色し、最
後に表面保護膜を形成する。この防染保護膜および表面
保護膜には、前述の保護塗膜に要求される性能、すなわ
ち接着性、平滑性、強靭性、耐熱性、耐光性、耐水性お
よび耐溶剤性等に加えて、更に透明性および染料に染色
されないための耐染性等の性能も要求される。
The color separation filter of this solid-state image sensor is, for example, a CCD.
It is formed on the element through the following steps. That is,
After the surface of the CCD element (substrate) is flattened with a transparent coating film, a photosensitive material made by adding a photosensitive substance to polyvinyl alcohol, grue, gelatin, etc. to impart photosensitivity is uniformly applied onto the substrate. , irradiate ultraviolet rays through a pattern mask to photocure only the portion that should constitute the hue portion of the first color, melt and remove the uncured portion and develop, and dye this portion with a dye having predetermined spectral characteristics. Dyeing and then covering with a transparent resist protection film. Furthermore, the above-mentioned photosensitive material is coated on this dye resist protective film, and the hue portion of the second color is exposed, developed, dyed and formed with the resist dye WLm* by the same process, and then the third color is coated with the photosensitive material. Similar steps are used to expose, develop, and dye the hue portion, and finally, a surface protective film is formed. In addition to the properties required for the above-mentioned protective coatings, such as adhesion, smoothness, toughness, heat resistance, light resistance, water resistance, and solvent resistance, these anti-dye protection films and surface protection films also have the following properties: Furthermore, performance such as transparency and resistance to staining by dyes are also required.

更にCCD等においては、防染保護膜または表表面保護
狽が不要なボンデイングパ7)部分などに塗布されたこ
れらの塗膜を選択的に除去するために該塗膜に感光性を
付与し、部分的に光硬化させることによって塗膜を溶媒
に対して不溶化させて未硬化部分を溶媒で除去すること
が必要となり、このために優れた感光性能が要求される
。そして、さらにこれらの塗膜を構成する材料は、溶液
として塗布されるが、均一な塗膜を形成させるために、
スピンコーターによる回転塗布法を用いる場合があり、
この塗布法にも適することが要求される。
Furthermore, in CCDs and the like, in order to selectively remove these coatings applied to areas such as bonding pads 7) where anti-dye protection coatings or surface protection are unnecessary, the coatings are imparted with photosensitivity; It is necessary to partially photocure the coating film to make it insoluble in a solvent and remove the uncured portion with a solvent, and for this purpose, excellent photosensitivity is required. Furthermore, the materials that make up these coatings are applied as a solution, but in order to form a uniform coating,
A spin coating method using a spin coater may be used.
It is also required to be suitable for this coating method.

従来、これらの要求性能を全て満足する感光性塗膜形成
材料は見出されていなかった。
Until now, no photosensitive coating film-forming material has been found that satisfies all of these required performances.

(発明が解決しようとする問題点) 本発明の目的は、感光性塗膜の形成材料として要求され
る前記の諸性能の全てを有する優れた感光性樹脂の製造
方法を提供することにある。
(Problems to be Solved by the Invention) An object of the present invention is to provide a method for producing an excellent photosensitive resin that has all of the above-mentioned performances required as a material for forming a photosensitive coating film.

(問題点を解決するための手段) 本発明は、一般式(1) (式中R1は水素原子またはメチル基、エチル基、プロ
ピル基、ブチル基等の低級アルキル基、R2は水素原子
、低級アルキル基またはメトキシ基、エトを−、プロポ
キシ基、ブトキシ基等の低級アルコキシ基、nは2〜5
の整数を意味する)で表わされる重合性単量体と、一般
式(■)4(式中R3は水素原子または低級アルキル基
、mは1〜5の整数を意味する)で表わされる重合性単
量体とを共重合することを特徴とする感光性樹脂の製造
方法を提供するものである。
(Means for Solving the Problems) The present invention is based on the general formula (1) (wherein R1 is a hydrogen atom or a lower alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, and R2 is a hydrogen atom or a lower Alkyl group or lower alkoxy group such as methoxy group, etho, propoxy group, butoxy group, n is 2 to 5
(means an integer of 1 to 5) and a polymerizable monomer represented by the general formula (■) 4 (wherein R3 is a hydrogen atom or a lower alkyl group, and m means an integer of 1 to 5) The present invention provides a method for producing a photosensitive resin characterized by copolymerizing the photosensitive resin with a monomer.

一般式(I)の重合性単量体としては、例えばl−メタ
クロイロキシ−2−(4−メチル)シンナモイロキシエ
タン、 1−メタクロイロキシ−2−(4−エチル)シンナモイ
ロキシエタン、 l−メタクロイロキシ−2(4−n−プロピル)シンナ
モイロキシエタン、 1−メタクロイロキシ−2−(4−イソプロピル)シン
ナモイロキシエタン、 1−メタクロイロキシ−2−(4−n−ブチル)シンナ
モイロキシエタン、 ■−メタクロイロキシー2−(4−イソブチル)シンナ
モイロキシエタン、 ■−アクリロキシー2−(4−メチル)シンナンナモイ
ロキシエタン、 1−メタクロイロキシ−3−(4−メチル)シンナモイ
ロキシプロパン、 1−メタクロイロキシ−4−(4−イソプロピル)シン
ナモイロキシブタン、 1−アクリロキシ−2−シンナモイロキシエタン、 ■−メタクロイロキシー2−シンナモイロキシエタン、 1−(α−エチル)アクリロキシ−2−シンナモイロキ
シエタン、 1−(α−プロピル)アクリロキシ−2−シンナモイロ
キシエタン、 1−アクリロキシ−2−(4−メトキシ)シンナモイロ
キシエタン、 1−アクリロキシ−2−(4−エトキシ)シンナモイロ
キシエタン、 l−アクリロキシ−2−(4−プロポキシ)シンナモイ
ロキシエタン、 1−メタクロイロキシ−2−(4−メトキシ)シンナモ
イロキシエタン、 1−メタクロイロキシ−2−(4−エトキシ)シンナモ
イロキシエタン、 1−メタクロイロキシ−2−(4−プロポキシ)シンナ
モイロキシエタン、 1−(α−エチル)アクリロキシ−2−シンナモイロキ
シエタン、 1−(α−エチル)アクリロキシ−2−(4−メトキシ
)シンナモイロキシエタン、 1−(α−エチル)アクリロキシ−2−(4−エトキシ
)シンナモイロキシエタン、 l−アクリロキシ−3−シンナモイロキシプロパン、 ■−メタクロイロキシー3−シンナモイロキシプロパン
、 1−(α−エチル)アクリロキシ−3−シンナモイロキ
シプロパン、 1−(α−プロピル)アクリロキシ−3−シンナモイロ
キシプロパン、 1−アクリロキシ−3−(4−メトキシ)シンナモイロ
キシプロパン、 1−メタクロイロキシ−4−シンナモイロキシブタン、 1−メタクロイロキシ−4−(4−エトキシ)シンナモ
イロキシブタン、 1−(α−エチル)アクロキシ−4−(4−プロポキシ
)シンナモイロキシブタン、 1−(α−ブチル)アクリロキシ−4−(4−ブトキシ
)シンナモイロキシブタン、 等が挙げられる。
Examples of the polymerizable monomer of general formula (I) include l-methacryoloxy-2-(4-methyl)cinnamoyloxyethane, 1-methacryoloxy-2-(4-ethyl)cinnamoyloxyethane, l-methacryoloxy -2(4-n-propyl)cinnamoyloxyethane, 1-metachloroyloxy-2-(4-isopropyl)cinnamoyloxyethane, 1-metachloroyloxy-2-(4-n-butyl)cinnamoyloxyethane, ■- Methachloroyloxy 2-(4-isobutyl)cinnamoyloxyethane, ■-Acryloxy 2-(4-methyl)cinnamoyloxyethane, 1-Methachloroyloxy-3-(4-methyl)cinnamoyloxypropane, 1- Methachloroyloxy-4-(4-isopropyl)cinnamoyloxybutane, 1-acryloxy-2-cinnamoyloxyethane, ■-Methachloroyloxy-2-cinnamoyloxyethane, 1-(α-ethyl)acryloxy-2-cinnamoy Roxyethane, 1-(α-propyl)acryloxy-2-cinnamoyloxyethane, 1-acryloxy-2-(4-methoxy)cinnamoyloxyethane, 1-acryloxy-2-(4-ethoxy)cinnamoyloxyethane , l-acryloxy-2-(4-propoxy)cinnamoyloxyethane, 1-methacryloxy-2-(4-methoxy)cinnamoyloxyethane, 1-methacryloxy-2-(4-ethoxy)cinnamoyloxyethane, 1 -Metachlorooxy-2-(4-propoxy)cinnamoyloxyethane, 1-(α-ethyl)acryloxy-2-cinnamoyloxyethane, 1-(α-ethyl)acryloxy-2-(4-methoxy)cinnamoyloxy Ethane, 1-(α-ethyl)acryloxy-2-(4-ethoxy)cinnamoyloxyethane, l-acryloxy-3-cinnamoyloxypropane, ■-methacryloxy-3-cinnamoyloxypropane, 1-(α -ethyl)acryloxy-3-cinnamoyloxypropane, 1-(α-propyl)acryloxy-3-cinnamoyloxypropane, 1-acryloxy-3-(4-methoxy)cinnamoyloxypropane, 1-methacryloxy-4- Cinnamoyloxybutane, 1-methacryloxy-4-(4-ethoxy)cinnamoyloxybutane, 1-(α-ethyl)acroxy-4-(4-propoxy)cinnamoyloxybutane, 1-(α-butyl)acryloxy -4-(4-butoxy)cinnamoyloxybutane, and the like.

一般式(n)の重合性単量体としては、例えばアクリル
酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルア
クリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリ
シジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリ
ル酸−3,4−エポキシブチル、メタクリル酸−3,4
−エポキシブチル、メタクリル1%t−4,5−エポキ
シペンチル、アクリル酸−6,7−ニポキシヘブチル、
メタクリル酸−6,7−エポキシへブチル、メタクリル
酸−6,7−ニポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸
−6,7−エポキシへブチル等が挙げられる。これらの
化合物のうち、一般式(n)においてR3が水素原子、
メチル基またはエチル基の場合が好ましく、またmの値
は1または2の場合が好ましい。
Examples of the polymerizable monomer of general formula (n) include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, α-ethyl glycidyl acrylate, α-n-propyl glycidyl acrylate, α-n-butyl glycidyl acrylate, and acrylic acid. -3,4-epoxybutyl, methacrylic acid-3,4
-Epoxybutyl, methacrylic 1% t-4,5-epoxypentyl, 6,7-nipoxyhbutyl acrylate,
Examples thereof include 6,7-epoxyheptyl methacrylate, 6,7-nipoxyheptyl methacrylate, and 6,7-epoxyheptyl α-ethyl acrylate. Among these compounds, in the general formula (n), R3 is a hydrogen atom,
A methyl group or an ethyl group is preferred, and the value of m is preferably 1 or 2.

本発明の感光性樹脂を製造するに際して、一般式(1)
の重合性単量体と、一般式(II)の重合性単量体との
共重合比率は、(I)の共重合モル数/ ((1)の共
重合モル数十(II)の共重合モル数)X100=2〜
60であることが好ましく、特に好ましくは5〜40で
ある。一般式(I)の重合性単量体の共重合比率が小さ
いと感光性能が低下し、一般式(II)の重合性単量体
の共重合比率が小さいと塗膜の平滑性並びに光硬化した
場合の塗膜の密着性、耐熱性、耐溶剤性、耐染性および
硬度が低下するようになる。
When producing the photosensitive resin of the present invention, general formula (1)
The copolymerization ratio between the polymerizable monomer of formula (II) and the polymerizable monomer of general formula (II) is the number of copolymerized moles of (I)/(the number of copolymerized moles of (1)) of copolymerizable monomer (II). Polymerization mole number)X100=2~
It is preferably 60, particularly preferably 5-40. If the copolymerization ratio of the polymerizable monomer of general formula (I) is small, the photosensitive performance will decrease, and if the copolymerization ratio of the polymerizable monomer of general formula (II) is small, the smoothness and photocuring of the coating film will decrease. In this case, the adhesion, heat resistance, solvent resistance, dye resistance, and hardness of the coating film decrease.

本発明の感光性樹脂の製造に際しては、感光性能が損な
われない限り、一般式(I)および(■)の重合性単量
体以外に、第3の単量体成分を共重合していてもよい。
When producing the photosensitive resin of the present invention, a third monomer component may be copolymerized in addition to the polymerizable monomers of general formulas (I) and (■), as long as the photosensitivity is not impaired. Good too.

第3の単量体成分としては、例えばアクリル酸メチル、
メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸
エチル、アクリル酸n−ブチル、メタクリル酸n−ブチ
ル、アクリル酸t−ブチル、メタクリル酸t−ブチル、
41アクリロイロキシカルコン 4 v−メタクロイロ
キシカルコン、41−アクリロイロキシ−(4−メトキ
シカルコン)、4′−メタクロイロキシ−(4−メトキ
シカルコン)等のアクリル酸またはメタクリル酸のエス
テル、スチレン、α−メチルスチレン、p−メチルスチ
レン、ビニルナフタリン等のビニル芳香族化合物が用い
られる。これらの第3の単量体成分は、1lll常、一
般式(I)および(II)の重合性単量体の合計量1モ
ルに対して0.2モル程度以下である。
Examples of the third monomer component include methyl acrylate,
Methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, t-butyl acrylate, t-butyl methacrylate,
41 Acryloyloxychalcone 4 Esters of acrylic acid or methacrylic acid such as v-methacryloyloxychalcone, 41-acryloyloxy-(4-methoxychalcone), 4'-methacryloyloxy-(4-methoxychalcone), styrene, α-methyl Vinyl aromatic compounds such as styrene, p-methylstyrene, and vinylnaphthalene are used. The amount of these third monomer components is usually about 0.2 mol or less per 1 mol of the total amount of the polymerizable monomers of general formulas (I) and (II).

一般式(1)の重合性単量体と、一般式(II)の重合
性単量体との共重合形態は、特に制限されず、付加重合
によるランダム共重合、ブロック共重合等のいずれでも
よく、また共重合方法も溶液重合法、乳化重合法等のい
ずれでもよい。
The form of copolymerization of the polymerizable monomer of general formula (1) and the polymerizable monomer of general formula (II) is not particularly limited, and may be random copolymerization by addition polymerization, block copolymerization, etc. The copolymerization method may be either a solution polymerization method or an emulsion polymerization method.

次に、本発明の感光性樹脂の製造方法に関して、溶液重
合法を用いる場合について詳細に説明する。
Next, regarding the method for producing the photosensitive resin of the present invention, a case where a solution polymerization method is used will be described in detail.

溶液重合に使用する溶媒は、R量体および重合開始剤を
溶解し、かつ生成する感光性樹°脂を溶解し、また溶媒
自身が反応しないものであれば特に限定されるものでは
なく、例えばアセトン、メチルエチルケトン、メチル−
n−プロピルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチ
ル−n−ブチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチ
ル−n −アミルケトン、メチル−n−へキシルケトン
、ジエチルケトン、エチル−n−ブチルケトン、ジ−n
−プロピルケトン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサ
ノン、ホロン等のケトン系溶媒、エチルエーテル、イソ
プロピルエーテル、n−ブチルエーテル、ジイソアミル
エーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチ
レングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコー
ルジメチルエーテル、ジエチレングリコール、ジオキサ
ン、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒、ギ酸エチ
ル、ギ酸プロピル、ギ酸−n−ブチル、酢酸エチル、酢
酸−n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢M−n−ブチ
ル、酢酸−n−アミル、エチレングリコールモノメチル
エーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエ
ーテルアセテート、ジエチレングリコール七ツメチルエ
ーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエ
ーテルアセテート等のエステル系溶媒を挙げることがで
きる。これらの溶媒は単独で使用しても2種以上を混合
して使用してもよい。
The solvent used in the solution polymerization is not particularly limited as long as it dissolves the R-mer and the polymerization initiator, dissolves the photosensitive resin to be produced, and does not itself react; for example, Acetone, methyl ethyl ketone, methyl-
n-propyl ketone, methyl isopropyl ketone, methyl-n-butyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl-n-amyl ketone, methyl-n-hexyl ketone, diethyl ketone, ethyl-n-butyl ketone, di-n
- Ketone solvents such as propyl ketone, diisobutyl ketone, cyclohexanone, and holon; ethers such as ethyl ether, isopropyl ether, n-butyl ether, diisoamyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol, dioxane, and tetrahydrofuran; System solvent, ethyl formate, propyl formate, n-butyl formate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, M-n-butyl acetate, n-amyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl Examples include ester solvents such as ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, and diethylene glycol monoethyl ether acetate. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

また溶液重合法において使用される重合触媒は特に限定
されるものではなく、例えばラジカル重合開始剤を用い
ることができる。ラジカル重合開始剤としては、2.2
′−7ゾビスイソブチロニトリル、2.2′−アゾビス
(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2.2’−アゾ
ビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル
)、2゜2′−アゾビスイソ酪酸ジメチル、1.11−
アゾビス(シクロヘキサン−1−カルボニトリル)、2
.2′−アゾビス(2−アミジノプロパン)二塩酸塩等
のアゾ系化合物、ベンゾイルペルオキシド、ジクミルペ
ルオキシド、t−ブチルクミルペルオキシド、1.1−
ビス(t−ブチルペルオキシ)3.3.5−トリメチル
シクロヘキサン、2゜2−ビス(t−ブチルペルオキシ
)オクタン等のペルオキシ系化合物を例示することがで
きる。これらのラジカル重合開始剤を用いる場合の使用
量は、通常、重合に用いられる単量体の合計量1モルに
対してl/1000〜1/200モルであり、好ましく
は1/800〜1/300モルである。
Further, the polymerization catalyst used in the solution polymerization method is not particularly limited, and for example, a radical polymerization initiator can be used. As a radical polymerization initiator, 2.2
'-7zobisisobutyronitrile, 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2'-azobis(4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), 2゜2' -Dimethyl azobisisobutyrate, 1.11-
Azobis(cyclohexane-1-carbonitrile), 2
.. Azo compounds such as 2'-azobis(2-amidinopropane) dihydrochloride, benzoyl peroxide, dicumyl peroxide, t-butylcumyl peroxide, 1.1-
Examples include peroxy compounds such as bis(t-butylperoxy)3.3.5-trimethylcyclohexane and 2°2-bis(t-butylperoxy)octane. When using these radical polymerization initiators, the amount used is usually 1/1000 to 1/200 mol, preferably 1/800 to 1/200 mol, per 1 mol of the total amount of monomers used for polymerization. It is 300 moles.

使用量が少ないと重合収率が低下し、使用量が多すぎる
と分子量の感光性(樹脂の分子量が低下しやすくなる。
If the amount used is too small, the polymerization yield will decrease, and if the amount used is too large, the molecular weight photosensitivity (the molecular weight of the resin will tend to decrease).

なおこれらの場合の重合温度は特に限定されるものでは
ないが、通常20〜120℃の範囲である。
Note that the polymerization temperature in these cases is not particularly limited, but is usually in the range of 20 to 120°C.

溶液重合法において使用する溶媒の量は、一般的には前
単量体に対して0.5〜4倍量(重量)であり、好まし
くは1〜3.5倍量(重量)である。
The amount of solvent used in the solution polymerization method is generally 0.5 to 4 times (by weight), preferably 1 to 3.5 times (by weight) based on the amount of the premonomer.

溶媒の使用量が065倍量未満の場合は、重合系の粘度
が高(なり撹拌効率が悪くなるのみでなく、性成する感
光性樹脂がゲル化しやすくなる。また溶媒の使用量が4
倍量を越えると、感光性の樹脂の分子量が低下しやすく
なる。
If the amount of the solvent used is less than 0.65 times the amount, the viscosity of the polymerization system will be high (not only will the stirring efficiency deteriorate, but the photosensitive resin to be formed will be more likely to gel.
If the amount exceeds twice the amount, the molecular weight of the photosensitive resin tends to decrease.

本発明により得られる感光性樹脂は、一般式(および一
般式(IV) (式中R1、R2、R3、nおよびmは前記の意味を有
する)で表わされる構造単位から主としてなる。
The photosensitive resin obtained by the present invention mainly consists of a structural unit represented by the general formula (and general formula (IV) (wherein R1, R2, R3, n and m have the above-mentioned meanings).

本発明により得られる感光性樹脂の分子量は、ポリスチ
レン換算数平均分子量で50,000〜600.000
であることが好ましく、特に10o、ooo〜400,
000であることが好ましい、この数平均分子量が50
,000未満の場合には、感光性塗膜として紫外線照射
部を光架橋し、未照射部を溶剤により溶解してパターン
ニングする際に、分子量が小さいため、光架橋して溶剤
に不溶化するのにより大きな紫外線量を照射する必要が
あり、その結果、感光性能としての感度が悪化する。更
に、この場合は多量の紫外線を照射するため、ハレーシ
ョンによりパターンニング特性も悪化する。一方、数平
均分子量が600,000を超える場合には、感光性樹
脂の保存安定性が悪くなり、ゲル化しやすくなる。
The molecular weight of the photosensitive resin obtained by the present invention is 50,000 to 600.000 in terms of polystyrene equivalent number average molecular weight.
It is preferable that it is, especially 10o, ooo~400,
000, this number average molecular weight is preferably 50
If the molecular weight is less than ,000, when the UV irradiated area is photocrosslinked as a photosensitive coating and the unirradiated area is dissolved in a solvent for patterning, the molecular weight is small, so it is difficult to photocrosslink and make it insolubilized in the solvent. It is necessary to irradiate a larger amount of ultraviolet rays, and as a result, the sensitivity as a photosensitive performance deteriorates. Furthermore, in this case, since a large amount of ultraviolet rays are irradiated, patterning characteristics are also deteriorated due to halation. On the other hand, when the number average molecular weight exceeds 600,000, the storage stability of the photosensitive resin deteriorates and gelation tends to occur.

本発明により得られる感光性樹脂の分子量分散度には、
特に限定はないが、感光性能の1つであるパターンの解
像性の点からポリスチレン換算重量平均分子量/ポリス
チレン換算数平均分子量が5以下であることが好ましい
The molecular weight dispersion of the photosensitive resin obtained by the present invention includes:
Although there is no particular limitation, it is preferable that the weight average molecular weight in terms of polystyrene/number average molecular weight in terms of polystyrene is 5 or less from the viewpoint of pattern resolution, which is one of the photosensitive properties.

本発明により得られる感光性樹脂は、適当な溶媒に溶解
することにより感光性塗膜を形成するための感光性樹脂
溶液とすることができる。この際用いられる溶媒として
は、感光性樹脂を溶解し、かつこれと反応しないもので
あればよく、特に限定されない。例えばアセトン、メチ
ルエチルケトン、メチル−n−プロピルケトン、メチル
イソプロピルケトン、メチル−n−ブチルケトン、メチ
ルイソブチルケトン、メチル−n−アミルケトン、メチ
ル−n−へキシルケトン、ジエチルケトン、エチル−n
−ブチルケトン、ジ−n−プロピルケトン、ジイソブチ
ルケトン、シクロヘキサノン、ホロン等のケトン系溶媒
、エチルエーテル、イソプロピルエーテル、n−ブチル
エーテル、シ、イソアミルエーテル、エチレングリコー
ルジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエー
テル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチ
レングリコール、ジオキサン、テトラヒドロフラン等の
エーテル系溶媒、ギ酸エチル、ギ酸プロピル、ギ酸−n
−ブチル、酢酸エチル、酢酸−n−プロビル、酢酸イソ
プロピル、酢酸−n−ブチル、酢酸−n−アミル、エチ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレ
ングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレ
ングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエステ
ル系溶媒が用いられる。感光性樹脂溶液の濃度は、特に
限定されず、使用目的に応じて適宜選択することができ
るが、通常5〜50ffift%である。
The photosensitive resin obtained by the present invention can be made into a photosensitive resin solution for forming a photosensitive coating film by dissolving it in a suitable solvent. The solvent used at this time is not particularly limited as long as it dissolves the photosensitive resin and does not react with it. For example, acetone, methyl ethyl ketone, methyl-n-propyl ketone, methyl isopropyl ketone, methyl-n-butyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl-n-amyl ketone, methyl-n-hexyl ketone, diethyl ketone, ethyl-n
- Ketone solvents such as butyl ketone, di-n-propyl ketone, diisobutyl ketone, cyclohexanone, holon, etc., ethyl ether, isopropyl ether, n-butyl ether, isoamyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol , dioxane, ether solvents such as tetrahydrofuran, ethyl formate, propyl formate, formic acid-n
-Butyl, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, n-amyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate Ester solvents such as the following are used. The concentration of the photosensitive resin solution is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the purpose of use, but is usually 5 to 50 ffifft%.

感光性樹脂の溶液を、基体表面に塗布する方法として、
例えばスプレー法、ロールコート法、回転塗布法等が挙
げられる。
As a method of applying a photosensitive resin solution to the substrate surface,
Examples include a spray method, a roll coating method, a spin coating method, and the like.

これらの方法で塗布して得られる塗膜は、通常、50〜
100℃で10分間ないし1時間程度の熱処理を行ない
(ブレベーク)、溶媒を除去した後、ホトマスクを通じ
て例えば250〜400nmの紫外線を照射する。紫外
線照射量は、例えば波長254nmの紫外線で通常10
〜500mJ/cnlである。また塗膜の未照射部を溶
解除去して現像する際に用いられる溶媒は、未照射部が
溶出するものであればよく、通常、メチルエチルケトン
等の感光性樹脂に対する良溶媒と、イソプロピルアルコ
ール等の貧溶媒とを適当な割合で混合したものが使用さ
れる。またこのようにして現像された塗膜は、通常、膨
潤しているので、必要に応してリンスにより収縮させる
。リンス液としてはメチルイソブチルケトン等の貧溶媒
が使用される。
The coating film obtained by applying these methods usually has a thickness of 50 to
After heat treatment is performed at 100° C. for about 10 minutes to 1 hour (brebake) to remove the solvent, ultraviolet rays of, for example, 250 to 400 nm are irradiated through a photomask. For example, the amount of UV irradiation is usually 10
~500 mJ/cnl. The solvent used to dissolve and remove the unirradiated areas of the coating film for development may be any solvent as long as the unirradiated areas are eluted, and is usually a good solvent for photosensitive resins such as methyl ethyl ketone and isopropyl alcohol. A mixture of a poor solvent and a suitable proportion is used. Further, since the coating film developed in this manner is usually swollen, it is shrunk by rinsing if necessary. A poor solvent such as methyl isobutyl ketone is used as the rinsing liquid.

次いでこのようにして得られる塗膜を、100〜200
℃で30分間ないし2時間熱処理(ポストベーク)する
ことにより、所望の形状の光硬化した塗膜を得ることが
できる。
Next, the coating film obtained in this way is
By heat-treating (post-baking) at ℃ for 30 minutes to 2 hours, a photocured coating film with a desired shape can be obtained.

以下、実施例により本発明の詳細な説明する。Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to Examples.

なお本実施例におけるポリスチレン換算数平均分子量お
よびポリスチレン換算重量平均分子量は、ゲルパーミェ
ーションクロマトグラムを用い、下記の測定条件によっ
て求めたものである。
Note that the polystyrene equivalent number average molecular weight and polystyrene equivalent weight average molecular weight in this example were determined using a gel permeation chromatogram under the following measurement conditions.

装置:米国ウォーターズ社製高温高速ゲルパーミェーシ
ョンクロマトグラム(モデル150− CA L C/
G P C) カラム:昭和電工■製5HODEX  A−8M。
Equipment: High-temperature high-speed gel permeation chromatogram (Model 150-CALC/ manufactured by Waters, USA)
GPC) Column: 5HODEX A-8M manufactured by Showa Denko ■.

長さ50cI11 測定温度=40℃ 流速: 1m11分 溶媒:テトラヒドロフラン サンプル濃度:感光性樹脂(Ig)/テトラヒドロフラ
ン(100mj2) 標準ポリスチレン:米国プレッシャーケミカル社製標準
ポリスチレン 実施例1 攪拌装置、温度計、冷却用コンデンサおよび窒素ガス導
入口を備えた5 00 m 14の丸底フラスコ内を窒
素ガスで置換した後、このフラスコに脱気蒸留したジオ
キサン 343g(3,9モル)を加え、更にメタクリ
ル酸グリシジル 42.6g(0゜30モル)、■−メ
タクロイロキシー2−シンナモイロキシエタン 26.
0g(0,10モル)およびアゾビスイソブチロニトリ
ル 0.17g(0,001モル)を仕込んだ。
Length 50cI11 Measurement temperature = 40℃ Flow rate: 1m11 minutes Solvent: Tetrahydrofuran Sample concentration: Photosensitive resin (Ig) / Tetrahydrofuran (100mj2) Standard polystyrene: Standard polystyrene manufactured by US Pressure Chemical Company Example 1 Stirring device, thermometer, for cooling After purging the inside of a 500 m 14 round bottom flask equipped with a condenser and a nitrogen gas inlet with nitrogen gas, 343 g (3.9 mol) of degassed and distilled dioxane was added to the flask, and further glycidyl methacrylate 42. 6g (0°30mol), ■-Methachloroyloxy-2-cinnamoyloxyethane 26.
0 g (0.10 mol) and 0.17 g (0.001 mol) of azobisisobutyronitrile were charged.

次いで反応溶液を攪拌しながら、50℃で18時間加熱
することにより共重合し、その後反応溶液を室温まで冷
却して21のメタノールで処理し、生成した共重合体を
凝固させた。凝固した共重合体を濾別した後、室温下に
おいて減圧乾燥して白色粉末状の共重合体28gを得た
。この共重合体の組成比を紫外線吸光度法で定量したと
ころ、グリシジルユニットとシンナモイルユニットとの
モル比は77 : 23であった。またこの共重合体の
ポリスチレン換算数平均分子量は、170,000であ
った。ポリスチレン換算重量平均分子量とポリスチレン
換算数平均分子量との比(MW/MN)は2.51であ
った。
Next, the reaction solution was copolymerized by heating at 50° C. for 18 hours while stirring, and then the reaction solution was cooled to room temperature and treated with methanol No. 21 to solidify the produced copolymer. After the coagulated copolymer was filtered off, it was dried under reduced pressure at room temperature to obtain 28 g of a white powdery copolymer. When the composition ratio of this copolymer was determined by ultraviolet absorbance method, the molar ratio of glycidyl units to cinnamoyl units was 77:23. The number average molecular weight of this copolymer in terms of polystyrene was 170,000. The ratio of the weight average molecular weight in terms of polystyrene to the number average molecular weight in terms of polystyrene (MW/MN) was 2.51.

こうして得られた共重合体11gをエチルセロソルブア
セテ−)89.0gに溶解し、この溶液を孔径0.2μ
mのメンブランフィルタ−で加圧瀘過した後、スピンコ
ーターを用いてシリコンウェハー上に回転数2,400
rpmで回転塗布した。
11 g of the copolymer thus obtained was dissolved in 89.0 g of ethyl cellosolve acetate, and this solution was mixed with a pore size of 0.2 μm.
After pressure filtration with a membrane filter of
The coating was applied by spinning at rpm.

得られた塗膜の表面は極めて滑らかであり、膜荒れは全
く見られなかった。これを150 ”cで30分間熱処
理した後、触針式膜厚計(ダンクテーラーホブソン社製
、クリステツブ)により測定した膜厚は、1.01μm
であった。
The surface of the resulting coating film was extremely smooth, and no film roughness was observed. After heat-treating this at 150"C for 30 minutes, the film thickness was measured using a stylus-type film thickness meter (manufactured by Dank Taylor Hobson Co., Ltd., Christetsub). The film thickness was 1.01 μm.
Met.

更に共重合体溶液をシリコンウェハー上に回転数2.4
0Orpmで回転塗布したものを、80℃の恒温槽中に
おいて10分間熱処理した後、ホトマスクを通じて、光
源として500Wのキセノン−水銀ランプを使用したキ
ャノン(株)#の露光451 (PLA−521F)を
用いて紫外線を照射した。これをメチルエチルケトンと
イソプロピルアルコールとの混合溶媒(M量比で4.5
:1)に、室温で1分間浸漬することよにより、未照射
部分を熔解して現像した後、メチルイソブチルケトンに
室温で1分間?fffiしてリンス処理し、ホトマスク
に忠実な所望の形状の塗膜を得た。これを更に150℃
の恒温槽中で1時間熱処理した。
Furthermore, the copolymer solution was placed on a silicon wafer at a rotation speed of 2.4.
After spin-coating at 0 rpm and heat-treating for 10 minutes in a constant temperature bath at 80°C, it was exposed through a photomask using Canon #451 (PLA-521F) using a 500W xenon-mercury lamp as a light source. and irradiated with ultraviolet rays. This was mixed with a mixed solvent of methyl ethyl ketone and isopropyl alcohol (M ratio: 4.5
: After melting and developing the unirradiated area by immersing it in 1) at room temperature for 1 minute, it was immersed in methyl isobutyl ketone for 1 minute at room temperature. fffi and rinsing to obtain a coating film with a desired shape faithful to the photomask. This is further heated to 150℃
Heat treatment was performed for 1 hour in a constant temperature bath.

この場合の紫外線照射時間の最適値(以下、最適露光時
間と称す)は4秒(波長が254nmの紫外線エネルギ
ー換算量で30mJ/cot)であった。なお最適露光
時間とは、紫外線照射量の不足によって現像後に光硬化
した塗膜が肌荒れ現象を生ぜず、かつ紫外線照射量の過
多によって解像度が低下することのない紫外線照射時間
を示すものである。
In this case, the optimum value of the ultraviolet irradiation time (hereinafter referred to as optimum exposure time) was 4 seconds (30 mJ/cot in terms of ultraviolet energy energy with a wavelength of 254 nm). The optimum exposure time refers to an ultraviolet irradiation time that does not cause roughening of the photocured coating film after development due to an insufficient amount of ultraviolet irradiation, and does not cause a decrease in resolution due to an excessive amount of ultraviolet irradiation.

このようにして作製した光硬化した塗膜について、以下
の試験を行なった。まず上記の方法で光硬化した塗膜を
形成したガラス板の吸収スペクトルを、塗膜を形成しな
い同様のガラス板を対照として測定した。波長350〜
800nmの全領域において光線透過率は95%以上で
あった。
The following tests were conducted on the photocured coating film thus produced. First, the absorption spectrum of a glass plate on which a photocured coating film was formed by the above method was measured using a similar glass plate without a coating film as a control. Wavelength 350~
The light transmittance was 95% or more in the entire 800 nm region.

次にこのガラス板上で光硬化した塗膜の接着性を8周べ
るためにテープ剥離によるゴバン目試験(JIS  K
−5400)を行なったが、剥離は全く認められなかっ
た。またこのガラス板を沸騰水中に入れて5時間放置し
た後、同様にしてゴバン目試験を行なったが、この場合
も剥離は全く見られなかった。また上記の塗膜つきのガ
ラス板をトルエン中に入れて5時間加熱還流した後、ゴ
バン目試験を行なったが、この場合も剥離は全く認めら
れなかった。
Next, in order to test the adhesion of the photo-cured coating film on this glass plate for 8 times, a cross-cut test (JIS K
-5400), but no peeling was observed. In addition, this glass plate was placed in boiling water and allowed to stand for 5 hours, and then a similar cross-cut test was performed, but no peeling was observed in this case as well. Further, the glass plate with the above-mentioned coating film was placed in toluene and heated under reflux for 5 hours, and then a cross-cut test was conducted, but no peeling was observed in this case as well.

また上記と同様にして作製した光硬化した塗膜を形成し
たガラス板を、200℃のギヤオープン中で200時間
熱処理し、塗膜の耐熱性を検討したところ、クランクの
発生は認められず、また吸収スペクトルの変化も認めら
れなかった。
In addition, a glass plate with a photocured coating film prepared in the same manner as above was heat-treated for 200 hours in an open gear at 200°C, and when the heat resistance of the coating film was examined, no cranking was observed. Moreover, no change in the absorption spectrum was observed.

更に、上記と同様にして作製した光硬化した塗膜を形成
したガラス板にハロゲンランプ(岩崎電気■製のJCD
looV、650W/B)で10゜000ルツクスの光
を1,000時間照射し、塗膜の耐光性を検討したとこ
ろ、吸収スペクトルの変化は認められず、クランクの発
生も認められなかった。
Furthermore, a halogen lamp (JCD manufactured by Iwasaki Electric ■) was applied to the glass plate on which the photocured coating film prepared in the same manner as above was formed.
When the light resistance of the coating film was examined by irradiating it with 10°,000 lux light for 1,000 hours at 650 W/B), no change in the absorption spectrum was observed, and no cranking was observed.

また上記と同様にして作成した光硬化した塗膜の鉛筆硬
度をJIS  K−5400に準拠し測定したところ4
Bであった。
In addition, the pencil hardness of the photocured coating film created in the same manner as above was measured in accordance with JIS K-5400, and it was found to be 4.
It was B.

次に上記と同様にして作製した光硬化した塗膜を形成し
たガラス板を、下記組成の染色浴中に入れ、100℃で
30分間放置した後、ガラス板を取出してよく水洗し乾
燥した後、塗膜の様子を目視で開ぺ、耐染性を検討した
ところ、クランクや膜荒れ等の異常は認められず、また
塗膜の光線透過率は、波長400〜800nmの範囲に
おいて95%以上であった。
Next, the glass plate with the photocured coating produced in the same manner as above was placed in a dyeing bath with the composition shown below, left at 100°C for 30 minutes, and then the glass plate was taken out, thoroughly washed with water, and dried. When we visually inspected the paint film and examined its stain resistance, we found no abnormalities such as cracks or film roughness, and the light transmittance of the paint film was over 95% in the wavelength range of 400 to 800 nm. Met.

(染色浴) 酸性染料(Kayanoj!  Mtj!j!ingR
ed  R3−125)  2g 氷酢酸              2g蒸留水   
         100gこれらの結果をまとめて第
1表に示す。
(Dyeing bath) Acid dye (Kayanoj! Mtj!j!ingR
ed R3-125) 2g glacial acetic acid 2g distilled water
100g These results are summarized in Table 1.

一方、シリコンウェハー上に市販のゼラチン水溶液(固
形分含量:20%)を回転塗布して得た塗膜を、150
℃の恒温槽中で1時間熱処理した。
On the other hand, a coating film obtained by spin-coating a commercially available aqueous gelatin solution (solid content: 20%) on a silicon wafer was
Heat treatment was performed for 1 hour in a constant temperature bath at ℃.

この時のゼラチン膜厚は1.52μmであった。更に上
記の共重合体溶液と同様のものを用い、上記と同様にし
て、回転塗布、熱処理、露光、現像、リンス、熱処理の
各処理を行なって、2層構造の塗膜を形成した。この塗
膜についてテープ剥離によるゴバン目試験を行なったと
ころ、剥離は全く認められなかった。
The gelatin film thickness at this time was 1.52 μm. Further, using the same copolymer solution as above, spin coating, heat treatment, exposure, development, rinsing, and heat treatment were performed in the same manner as above to form a two-layered coating film. When this coating film was subjected to a cross-cut test using tape peeling, no peeling was observed.

実施例2 メタクリル酸グリシジルの代わりに、メタクリル酸−3
,4−エポキシブチル 53g(0,31モル)を用い
、その他は実施例1と同様にして共重合体を製造した。
Example 2 Methacrylic acid-3 instead of glycidyl methacrylate
, 4-epoxybutyl 53g (0.31 mol), and in the same manner as in Example 1 except that a copolymer was produced.

この共重合体のポリスチレン換算数平均分子量は、is
s、oooであり、MW/MNの値は2.45であった
。この共重合体の組成比を紫外線吸光度法で定量したと
ころ、シンナモイルユニットと3.4−エボキシプチル
ユニソトとのモル比は23ニア7であった。
The number average molecular weight of this copolymer in terms of polystyrene is
s, ooo, and the value of MW/MN was 2.45. When the composition ratio of this copolymer was determined by an ultraviolet absorbance method, the molar ratio of cinnamoyl unit to 3,4-epoxybutyl unisotho was 23 near 7.

次いでこの共重合体11gを用いて、実施例1と同様に
処理して共重合体溶液を調製し、これを用いて実施例1
と同様にして膜厚1.0μmの塗膜を形成し、この塗膜
について実施例1と同様に種々の特性を調べた。その結
果を第1表に示す。
Next, using 11 g of this copolymer, a copolymer solution was prepared by processing in the same manner as in Example 1, and this was used to prepare a copolymer solution in Example 1.
A coating film having a thickness of 1.0 μm was formed in the same manner as in Example 1, and various properties of this coating film were investigated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

実施例3 1−メタクロイロキシ−2−シンナモイロキシエタンの
代わりに、1−メタクロイロキシ−2−(4−メメトキ
シ)シンナモイロキシエタン 21g(0,072モル
)を用い、かつジオキサンの代わりに、テトラヒドロフ
ラン 320g(4,4モル)を用い、その他は実施例
1と同様にして共重合体を製造した。この共重合体のポ
リスチレン換算数平均分子量は、182,000であり
、MW/MNの値は2.23であった。この共重合体の
組成比を紫外線吸光度法で定量したところ、グリシジル
ユニットと4−メトキシシンナモイルユニットとのモル
比は82:18であった。
Example 3 21 g (0,072 mol) of 1-metachlorooxy-2-(4-memethoxy)cinnamoyloxyethane was used instead of 1-metachloroyloxy-2-cinnamoyloxyethane, and 320 g of tetrahydrofuran was used instead of dioxane. A copolymer was produced in the same manner as in Example 1 except for using (4.4 mol). The polystyrene equivalent number average molecular weight of this copolymer was 182,000, and the value of MW/MN was 2.23. When the composition ratio of this copolymer was determined by ultraviolet absorbance method, the molar ratio of glycidyl units and 4-methoxycinnamoyl units was 82:18.

次いでこの共重合体10gを用いて、実施例1と同様に
処理して共重合体溶液を調製し、これを用いて実施例1
と同様にして膜厚1.1μmの塗膜を形成し、この塗膜
について実施例1と同様に種々の特性を調べた。その結
果を第1表に示す。
Next, using 10 g of this copolymer, a copolymer solution was prepared by processing in the same manner as in Example 1, and this was used to prepare a copolymer solution in Example 1.
A coating film having a thickness of 1.1 μm was formed in the same manner as in Example 1, and various properties of this coating film were investigated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

実施例4 攪拌装置、温度針、冷却用コンデンサおよび窒素ガス導
入口を備えた5 00mj!の丸底フラスコ内を窒素ガ
スで置換した後、このフラスコに脱気蒸留したエチルセ
ロソルブアセテート 300g(2,27モル)を加え
、更にメタクリル酸グリシジル 45g(0,32モル
)、メタクリル酸【−ブチル 10g(0,07モル)
、1−メタクロイロキシ−2−シンナモイロキシエタン
 26g(0,1モル)およびアゾビスイソブチロニト
リル0.17 g (0,001モル)を仕込んだ。次
いで反応溶液を攪拌しながら、60℃で20時間加熱す
ることにより共重合し、その後反応溶液を室温まで冷却
して2Nのメタノールで処理し、生成した共重合体を凝
固させた。凝固した共重合体を濾別した後、室温下にお
いて減圧乾燥して白色粉末状の共重合体61gを得た。
Example 4 500mj equipped with a stirring device, temperature needle, cooling condenser and nitrogen gas inlet! After purging the inside of the round bottom flask with nitrogen gas, 300 g (2.27 mol) of degas-distilled ethyl cellosolve acetate was added to the flask, followed by 45 g (0.32 mol) of glycidyl methacrylate and [-butyl methacrylate]. 10g (0.07 mol)
, 26 g (0.1 mol) of 1-methacryloyloxy-2-cinnamoyloxyethane and 0.17 g (0.001 mol) of azobisisobutyronitrile were charged. Next, the reaction solution was copolymerized by heating at 60° C. for 20 hours while stirring, and then the reaction solution was cooled to room temperature and treated with 2N methanol to solidify the produced copolymer. After the coagulated copolymer was filtered off, it was dried under reduced pressure at room temperature to obtain 61 g of a white powdery copolymer.

この共重合体の組成比を核磁気共鳴法および紫外線吸光
度法で定量したところ、グリシジルユニットとt−ブチ
ルエステルユニットとシンナモイルユニットとのモル比
は、63:14:23であった。またこの共重合体の換
算数平均分子量は、220,000であり、MW/MN
の値は2.35であった。
When the composition ratio of this copolymer was determined by nuclear magnetic resonance method and ultraviolet absorbance method, the molar ratio of glycidyl units, t-butyl ester units, and cinnamoyl units was 63:14:23. Further, the converted number average molecular weight of this copolymer is 220,000, and MW/MN
The value was 2.35.

得られた共重合体11.5gを用いて、実施例1と同様
に処理して共重合体溶液を調製し、これを用いて実施例
1と同様にして膜厚0.95μmの塗膜を形成し、この
塗膜について実施例1と同様に種々の特性を調べた。そ
の結果を第1表に示す。
Using 11.5 g of the obtained copolymer, a copolymer solution was prepared by processing in the same manner as in Example 1, and using this, a coating film with a thickness of 0.95 μm was formed in the same manner as in Example 1. Various properties of this coating film were investigated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

比較例1 メタクリル酸グリシジルの代わりに、メタクリル酸メチ
ル 32g(0,32モル)を用い、その他は実施例1
と同様にして、メタクリル酸メチルと1−メタクロイロ
キシ−2−シンナモイロキシエタンとの共重合体を製造
した。この共重合体のポリスチレン換算数平均分子量は
、140,000であり、MW/MNの値は3.0であ
った。
Comparative Example 1 Instead of glycidyl methacrylate, 32 g (0.32 mol) of methyl methacrylate was used, and the other conditions were as in Example 1.
A copolymer of methyl methacrylate and 1-methacryloyloxy-2-cinnamoyloxyethane was produced in the same manner as above. The number average molecular weight of this copolymer in terms of polystyrene was 140,000, and the value of MW/MN was 3.0.

この共重合体の組成比を紫外線吸光度法で定量したとこ
ろ、メトキシカルボニルユニットとシンナモイルユニッ
トとの組成比は78 : 22であった。
When the composition ratio of this copolymer was determined by ultraviolet absorbance method, the composition ratio of methoxycarbonyl units to cinnamoyl units was 78:22.

次いでこの共重合体Logを用いて、実施例1と同様に
処理して共重合体溶液を稠製し、これを用いて実施例1
と同様にして膜厚0.85μmの塗膜を形成し、この塗
膜について実施例1と同様に種々の特性を調べた。その
結果を第1表に示す。
Next, using this copolymer Log, a copolymer solution was prepared by processing in the same manner as in Example 1, and using this, Example 1
A coating film having a thickness of 0.85 μm was formed in the same manner as in Example 1, and various properties of this coating film were investigated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

実施例5 実施例4におけるメタクリル酸t−ブチルにかえて、4
′−メタクロイロキシカルコン17g(0,06モル)
を用いたほかは他は実施例4と同様して、白色粉末状の
共重合体67gを得た。この共重合体の組成比を核磁気
共鳴法および紫外線吸光度法で定量したところ、グリシ
ジルユニットとカルコンユニットとシンナモイルユニッ
トとのモル比は64:12:24であった。またこの共
重合体のポリスチレン換算数平均分子量は250゜00
0であり、MW/MN値は2.3であった。この共重合
体10gをシクロヘキサノン90gに溶解し実施例1と
同様にして塗布溶液を1lil製し、この塗膜について
種々の特性を調べた。その結果を第1表に示す。
Example 5 Instead of t-butyl methacrylate in Example 4, 4
'-Methachlorooxychalcone 17g (0.06 mol)
67 g of a white powdery copolymer was obtained in the same manner as in Example 4 except that . When the composition ratio of this copolymer was determined by nuclear magnetic resonance method and ultraviolet absorbance method, the molar ratio of glycidyl unit, chalcone unit, and cinnamoyl unit was 64:12:24. The number average molecular weight of this copolymer in terms of polystyrene is 250°00.
0, and the MW/MN value was 2.3. 10 g of this copolymer was dissolved in 90 g of cyclohexanone to prepare 1 liter of a coating solution in the same manner as in Example 1, and various properties of this coating film were investigated. The results are shown in Table 1.

実施例6 実施例1におけるジオキサンにかえて、エチレングリコ
ールモノエチルエーテル七ノアセテート340g(2,
58モル)を用いたほかは実施例1と同様にして共重合
体26gを得た。この共重合体の組成比を実施例1と同
様にして定量したところグリシジルユニットとシンナモ
イルユニットとのモル比は?7 : 23であった。ま
たこの共重合体のポリスチレン換算数平均分子量は18
0,000でありMW/MN比は2.40であった。こ
の共重合体を用い、実施例1と同様にして塗布溶液を調
製し、この塗膜について種々の特性を調べた。
Example 6 Instead of dioxane in Example 1, 340 g of ethylene glycol monoethyl ether heptanoacetate (2,
26 g of a copolymer was obtained in the same manner as in Example 1 except that 58 mol) was used. The composition ratio of this copolymer was determined in the same manner as in Example 1. What was the molar ratio of glycidyl units to cinnamoyl units? It was 7:23. In addition, the number average molecular weight of this copolymer in terms of polystyrene is 18
0,000, and the MW/MN ratio was 2.40. A coating solution was prepared using this copolymer in the same manner as in Example 1, and various properties of this coating film were investigated.

その結果をまとめて第1表に示す。The results are summarized in Table 1.

実施例7 実施例1におけるアゾビスイソブチロニトリルにかえて
、ベンゾイルペルオキシド0.24g(0゜001モル
)を用いたほかは、実施例1と同様にして、白色粉末状
の共重合体22gを得た。この共重合体の組成比を実施
例1と同様にして定量したところ、グリシジルユニット
とシンナモイルユニットとのモル比は77:23であっ
た。またこの共重合体の共重合体のポリスチレンPA算
数平均分子量は180.000であり、MW/MN比は
2.50であった。この共重合体を用い、実施例1と同
様にして塗布溶液を調製し、この塗膜について種々の特
性を調べた。その結果をまとめて第1表に示す。
Example 7 22 g of a white powdery copolymer was prepared in the same manner as in Example 1, except that 0.24 g (0°001 mol) of benzoyl peroxide was used in place of azobisisobutyronitrile in Example 1. I got it. When the composition ratio of this copolymer was determined in the same manner as in Example 1, the molar ratio of glycidyl units to cinnamoyl units was 77:23. Further, the polystyrene PA arithmetic average molecular weight of this copolymer was 180.000, and the MW/MN ratio was 2.50. A coating solution was prepared using this copolymer in the same manner as in Example 1, and various properties of this coating film were investigated. The results are summarized in Table 1.

以下余白 ゛   (発明の効果) 本発明により得られる感光性樹脂の塗膜は、優れた感光
性能を有し、また光硬化した塗膜は、紫外から可視の領
域にわたる広い範囲の波長域において高い光線透過率を
有して透明性に優れているほか、ガラス、金属、プラス
チック等の種々の材料からなる基体に対して優れた接着
性を示す。またこの塗膜は平滑、強靭で、耐光性および
耐熱性に優れており、長期にわたる使用によっても変色
などの変質を起こすこともなく、更に、耐水性、耐溶剤
性および耐染性にも優れたもので、かつ硬度の高いもの
である。このため本発明により得られる感光性樹脂を用
いて形成される塗膜は、各種物品の基体表面の保護塗膜
として有用であるのみならず、色分離フィルターの防染
保護層、表面保護層等としても極めて好適であり、色の
鮮明度や明るさに優れた信頼性の高い色分離フィルター
を得ることができる。
The following is a margin. (Effects of the invention) The photosensitive resin coating film obtained by the present invention has excellent photosensitivity, and the photocured coating film has high sensitivity in a wide wavelength range from ultraviolet to visible regions. In addition to having excellent light transmittance and transparency, it also exhibits excellent adhesion to substrates made of various materials such as glass, metal, and plastic. In addition, this coating is smooth, tough, and has excellent light and heat resistance, and does not change in quality such as discoloration even after long-term use.It also has excellent water resistance, solvent resistance, and stain resistance. It has a high hardness. Therefore, the coating film formed using the photosensitive resin obtained by the present invention is not only useful as a protective coating film on the substrate surface of various articles, but also as an anti-dyeing protective layer of color separation filters, a surface protective layer, etc. It is extremely suitable as a color separation filter, and a highly reliable color separation filter with excellent color clarity and brightness can be obtained.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)一般式( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) (式中R^1は水素原子または低級アルキル基、R^2
は水素原子、低級アルキル基または低級アルコキシ基、
nは2〜5の整数を意味する)で表わされる重合性単量
体と、一般式(II) ▲数式、化学式、表等があります▼(II) (式中R^3は水素原子または低級アルキル基、mは1
〜5の整数を意味する)で表わされる重合性単量体とを
共重合することを特徴とする感光性樹脂の製造方法。
(1) General formula (I) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼(I) (In the formula, R^1 is a hydrogen atom or lower alkyl group, R^2
is a hydrogen atom, a lower alkyl group or a lower alkoxy group,
(n means an integer from 2 to 5) and the general formula (II) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼(II) (In the formula, R^3 is a hydrogen atom or a lower Alkyl group, m is 1
A method for producing a photosensitive resin, which comprises copolymerizing a polymerizable monomer represented by (meaning an integer of 5 to 5).
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